JP2000190529A - Control method of amount of dissolved air in liquid within ink jet head, ink jet recording apparatus and color filter producing apparatus - Google Patents
Control method of amount of dissolved air in liquid within ink jet head, ink jet recording apparatus and color filter producing apparatusInfo
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- JP2000190529A JP2000190529A JP37072798A JP37072798A JP2000190529A JP 2000190529 A JP2000190529 A JP 2000190529A JP 37072798 A JP37072798 A JP 37072798A JP 37072798 A JP37072798 A JP 37072798A JP 2000190529 A JP2000190529 A JP 2000190529A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドにインクを供給するためのインク供給経路の途中に
脱気装置を設けたインクジェット記録装置において、イ
ンクジェットヘッドからインクを吐出させる動作中にイ
ンクジェットヘッド内をインクを流動させる際の、イン
クジェットヘッド内の液体中の溶存気体量の管理方法
や、その管理方法を用いるためのインクジェット記録装
置及び、そのインクジェット記録装置を用いたカラーフ
ィルタ製造装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording apparatus provided with a deaerator in the middle of an ink supply path for supplying ink to the ink jet head. The present invention relates to a method for managing the amount of dissolved gas in a liquid in an ink jet head when ink flows, an ink jet recording apparatus for using the method, and a color filter manufacturing apparatus using the ink jet recording apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、インクジェット記録装置にお
いては、インクなどの液体中に溶け込んだ気体を除去す
ることがインクジェットヘッドの吐出安定性に対して大
きな効果があることが知られている。このため、従来の
インクジェット記録装置では、タンクなどに貯留された
インクをインクジェットヘッドに供給するためのインク
供給系に脱気装置を組み込み、インクジェットヘッドの
供給するためのインクから、そのインク中に溶け込んだ
気体を脱気装置により除去している。そして、脱気装置
により溶存気体が除去されたインクがインクジェットヘ
ッドに送り込まれる。また、インク供給系を構成するチ
ューブの材質や、チューブの継ぎ手の材質として、ＰＶ
ＤＦなど、ガス透過性の低いものが用いられている。2. Description of the Related Art It has been known that, in an ink jet recording apparatus, removing gas dissolved in a liquid such as ink has a great effect on the ejection stability of an ink jet head. For this reason, in the conventional ink jet recording apparatus, a deaerator is incorporated in an ink supply system for supplying the ink stored in the tank or the like to the ink jet head, and the ink supplied from the ink jet head dissolves into the ink. Gas is removed by a deaerator. Then, the ink from which the dissolved gas has been removed by the deaerator is sent to the inkjet head. Further, as a material of a tube constituting an ink supply system or a material of a joint of the tube, PV
A material having low gas permeability such as DF is used.
【０００３】そして、インク供給経路における脱気装置
とインクジェットヘッドとの間に、そのインク供給経路
を流れるインク中の溶存気体量を測定する溶存気体測定
装置としての溶存酸素計が設けられている。従って、イ
ンク供給系では、インク供給路のインクの流れ方向にお
けるインクジェットヘッドよりも上流側に脱気装置が配
置され、インクジェットヘッドよりも上流側、かつ脱気
装置よりも下流側に溶存酸素計が配置されている。[0003] A dissolved oxygen meter as a dissolved gas measuring device for measuring the amount of dissolved gas in the ink flowing through the ink supply path is provided between the deaerator and the ink jet head in the ink supply path. Therefore, in the ink supply system, a deaerator is disposed upstream of the inkjet head in the ink flow direction of the ink supply path, and a dissolved oxygen meter is provided upstream of the inkjet head and downstream of the deaerator. Are located.
【０００４】このような従来のインクジェット記録装置
では、タンクに貯留されたインクを、インク供給路を通
してインクジェットヘッドに供給する際に、まず、イン
ク供給路を流れるインクが脱気装置を通過することによ
り、そのインク中の溶存気体が脱気装置により除去され
る。次に、溶存気体が除去されたインクは、溶存酸素計
を通過する際にそのインク中の溶存酸素量が測定され、
その後、溶存酸素計を通過したインクがインク供給路を
通ってインクジェットヘッドに供給される。溶存酸素計
により得られる、インク中の溶存気体量の測定値が既定
値を超える場合には、インクジェットヘッドへのインク
の供給を停止し、インク供給路内のインクを再度または
数回、脱気装置に送り込んだり、タンク内のインクを脱
気装置に数回送り込んだりして、インク中の溶存気体を
さらに除去する。このようにして、溶存酸素計により得
られる溶存気体量の測定結果を基に、インクジェットヘ
ッド内のインク中の溶存気体量が所定の値を超えないよ
うに、インクジェットヘッド内のインク中の溶存気体量
の管理が行われている。In such a conventional ink jet recording apparatus, when the ink stored in the tank is supplied to the ink jet head through the ink supply path, first, the ink flowing in the ink supply path passes through the deaerator. The dissolved gas in the ink is removed by the deaerator. Next, when the dissolved gas is removed from the ink, the amount of dissolved oxygen in the ink is measured when passing through the dissolved oxygen meter,
Thereafter, the ink that has passed through the dissolved oxygen meter is supplied to the inkjet head through the ink supply path. When the measured value of the dissolved gas amount in the ink obtained by the dissolved oxygen meter exceeds a predetermined value, the supply of the ink to the inkjet head is stopped, and the ink in the ink supply path is degassed again or several times. The dissolved gas in the ink is further removed by feeding the ink in the tank or the ink in the tank several times to the deaerator. In this way, based on the measurement result of the dissolved gas amount obtained by the dissolved oxygen meter, the dissolved gas amount in the ink in the ink jet head is controlled so that the amount of the dissolved gas in the ink in the ink jet head does not exceed a predetermined value. Quantity control is being performed.
【０００５】また、上記のインクジェット記録装置がカ
ラーフィルタ製造装置に用いられており、そのカラーフ
ィルタ製造装置では、ガラス基板などに向けてインクジ
ェットヘッドからインクを吐出してガラス基板を着色さ
せることによりカラーフィルタが製造される。The above-described ink jet recording apparatus is used in a color filter manufacturing apparatus. In the color filter manufacturing apparatus, a color is applied to a glass substrate by discharging ink from an ink jet head toward a glass substrate or the like. A filter is manufactured.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
インクジェット記録装置では溶存酸素計がインクジェッ
トヘッドよりも上流側に配置されているので、脱気装置
によりインク中の溶存気体がどの程度まで除去されてい
るかを測定することができるが、インクジェットヘッド
内にあるインク中の実際の溶存気体量を測定することが
できないという問題点がある。インクジェットヘッド自
体のガス透過性は比較的高く、そのため、脱気装置を通
過した直後のインク中の溶存気体量と、インクジェット
ヘッド内に供給されたインク中の溶存気体量との間に差
が生じてしまう。従って、従来のインクジェット記録装
置ではインクジェットヘッド内にあるインク中の溶存気
体量を充分に管理できているわけではない。However, in the conventional ink jet recording apparatus, since the dissolved oxygen meter is arranged on the upstream side of the ink jet head, the amount of dissolved gas in the ink is removed by the deaerator. Can be measured, but there is a problem that the actual dissolved gas amount in the ink in the ink jet head cannot be measured. The gas permeability of the inkjet head itself is relatively high, which causes a difference between the amount of dissolved gas in the ink immediately after passing through the deaerator and the amount of dissolved gas in the ink supplied to the inkjet head. Would. Therefore, in the conventional ink jet recording apparatus, the dissolved gas amount in the ink in the ink jet head cannot be managed sufficiently.
【０００７】本発明の目的は、インクジェットヘッド内
にあるインク中の実際の溶存酸素量を正確に測定してそ
の溶存気体量を管理するためのインクジェットヘッド内
の液体中の溶存気体量の管理方法、その管理方法を用い
るためのインクジェット記録装置及び、そのインクジェ
ットヘッドを用いたカラーフィルタ製造装置を提供する
ことにある。An object of the present invention is to provide a method for managing the amount of dissolved gas in a liquid in an ink jet head for accurately measuring the actual amount of dissolved oxygen in the ink in the ink jet head and managing the amount of the dissolved gas. And an ink jet recording apparatus for using the management method, and a color filter manufacturing apparatus using the ink jet head.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、液体を吐出するインクジェットヘッドか
ら液体を吐出させる動作中に、前記インクジェットヘッ
ドに供給するための液体から該液体中の溶存気体の少な
くとも一部を除去し、前記溶存気体の少なくとも一部が
除去された前記液体が前記インクジェットヘッドの内部
を流動するように、かつ、前記インクジェットヘッド内
の液体のうち前記インクジェットヘッドから吐出される
液体として使われなかった液体が前記インクジェットヘ
ッドの外部に排出されるように前記インクジェットヘッ
ドの内部に液体を供給する際に、前記インクジェットヘ
ッドから吐出される液体として使われずに前記インクジ
ェットヘッドから排出された液体中の溶存気体量を測定
し、測定された前記溶存気体量の測定値を基に、前記イ
ンクジェットヘッド内の液体中の溶存気体量が所定の値
以下となるように前記インクジェットヘッド内の液体中
の溶存気体量を管理する。In order to achieve the above object, the present invention provides a method for discharging a liquid from an ink-jet head which discharges the liquid, the method comprising the steps of: At least a portion of the dissolved gas is removed, and the liquid from which at least a portion of the dissolved gas has been removed flows through the inside of the inkjet head, and the liquid in the inkjet head is ejected from the inkjet head. When supplying liquid to the inside of the ink jet head so that liquid not used as the liquid to be discharged is discharged outside the ink jet head, the liquid is not used as the liquid discharged from the ink jet head. Measure the amount of dissolved gas in the discharged liquid, before the measurement Based on the measured value of the dissolved amount of gas, dissolved gas content in the liquid in the ink jet head to manage the dissolved amount of gas in the liquid in the ink jet head to be equal to or less than a predetermined value.
【０００９】上記の発明では、インクジェットヘッドか
ら排出された液体中の溶存気体量を測定することによ
り、インクジェットヘッド自体のガス透過性でインクジ
ェットヘッド内の液体中の溶存気体量が増加した場合で
も、インクジェットヘッド内にある液体中の実際の溶存
気体量を正確に測定することができ、溶存気体量の測定
値を基に、インクジェットヘッド内の液体中の溶存気体
量が所定の値以下となるようにその液体中の溶存気体量
を管理することができる。これにより、インクジェット
ヘッドの内部では、溶存気体量が少ない液体が常に流動
することとなり、インクジェットヘッドの吐出安定性を
充分に確保することができる。In the above invention, even if the amount of dissolved gas in the liquid in the ink jet head increases due to the gas permeability of the ink jet head itself, the amount of dissolved gas in the liquid discharged from the ink jet head is measured. The actual dissolved gas amount in the liquid in the ink jet head can be accurately measured, and based on the measured value of the dissolved gas amount, the dissolved gas amount in the liquid in the ink jet head becomes equal to or less than a predetermined value. In addition, the amount of dissolved gas in the liquid can be controlled. As a result, a liquid having a small amount of dissolved gas constantly flows inside the inkjet head, and the ejection stability of the inkjet head can be sufficiently ensured.
【００１０】具体的には、前記インクジェットヘッドに
供給するための液体がタンクに貯留されており、前記イ
ンクジェットヘッド内の液体中の溶存気体量を管理する
動作として、前記インクジェットヘッドから排出された
液体中の溶存気体量の測定値が前記所定の値を超えた場
合、前記インクジェットヘッドへの液体の供給を停止し
て前記タンク内の液体中の溶存気体を除去した後に前記
タンク内の液体を前記インクジェットヘッドに供給す
る。Specifically, a liquid to be supplied to the ink-jet head is stored in a tank, and the operation of managing the amount of dissolved gas in the liquid in the ink-jet head is performed by the liquid discharged from the ink-jet head. When the measured value of the dissolved gas amount in the liquid exceeds the predetermined value, the supply of the liquid to the inkjet head is stopped to remove the dissolved gas in the liquid in the tank, and then the liquid in the tank is removed. Supply to inkjet head.
【００１１】また、本発明のインクジェット記録装置
は、液体を吐出するインクジェットヘッドに供給するた
めの液体を貯留するタンクと、前記インクジェットヘッ
ドから液体を吐出させる動作中に前記インクジェットヘ
ッドの内部を液体が流動するように、かつ、前記インク
ジェットヘッド内の液体のうち前記インクジェットヘッ
ドから吐出される液体として使われなかった液体が前記
インクジェットヘッドの外部に排出されるように前記イ
ンクジェットヘッドに前記タンク内の液体を供給するた
めの液体供給路と、前記液体供給路の途中に配置され、
前記液体供給路を流れる液体中の溶存気体の少なくとも
一部を前記液体から除去する脱気装置と、前記インクジ
ェットヘッドから排出された液体中の溶存気体量を測定
する溶存気体測定装置とを有する。The ink jet recording apparatus according to the present invention further comprises a tank for storing a liquid to be supplied to the ink jet head for discharging the liquid, and a liquid inside the ink jet head during the operation of discharging the liquid from the ink jet head. The liquid in the tank is supplied to the ink jet head so that the liquid flows and the liquid not used as the liquid discharged from the ink jet head among the liquids in the ink jet head is discharged outside the ink jet head. A liquid supply path for supplying the liquid supply path, disposed in the middle of the liquid supply path,
A degassing device for removing at least a part of dissolved gas in the liquid flowing through the liquid supply path from the liquid; and a dissolved gas measuring device for measuring an amount of dissolved gas in the liquid discharged from the inkjet head.
【００１２】上記の発明では、脱気装置により溶存酸素
量の少なくとも一部が除去された液体を、液体供給路を
通してインクジェットヘッドに供給し、インクジェット
ヘッドの内部を流動してインクジェットヘッドから排出
された液体中の溶存気体量を溶存気体測定装置により測
定することにより、インクジェットヘッド内にある液体
中の溶存気体量を正確に測定できる。従って、このイン
クジェット記録装置において、溶存気体測定装置により
得られた測定値を基に、インクジェットヘッド内の液体
中の溶存気体量が所定の値以下となるようにその液体中
の溶存気体量を管理することにより、インクジェットヘ
ッドの吐出安定性が優れた、信頼性の高いインクジェッ
ト記録装置が得られる。In the above invention, the liquid from which at least a part of the dissolved oxygen amount has been removed by the deaerator is supplied to the ink jet head through the liquid supply path, and flows inside the ink jet head and is discharged from the ink jet head. By measuring the amount of dissolved gas in the liquid with the dissolved gas measuring device, the amount of dissolved gas in the liquid in the ink jet head can be accurately measured. Therefore, in this ink jet recording apparatus, the dissolved gas amount in the liquid is controlled based on the measurement value obtained by the dissolved gas measuring apparatus so that the dissolved gas amount in the liquid in the ink jet head becomes a predetermined value or less. By doing so, it is possible to obtain a highly reliable ink jet recording apparatus having excellent ink jet head ejection stability.
【００１３】上記のインクジェット記録装置は具体的
に、前記インクジェットヘッドから排出された液体を前
記タンク内に送り込むための、前記溶存気体測定装置が
途中に配置された液体戻し流路と、前記溶存気体測定装
置により得られた前記溶存気体量の測定値が所定の値を
超えた際に、前記タンクから前記液体供給路を流れて前
記脱気装置を通過した液体を前記インクジェットヘッド
を通さずに前記溶存気体測定装置に送り込むための第１
のバイパス路と、前記脱気装置を通過した液体を、前記
液体供給路を通して前記インクジェットヘッドに供給す
るか、前記第１のバイパス路を経由して前記溶存気体測
定装置に送り込むか切り替え可能な供給経路切り替え手
段とをさらに有している。前記第１のバイパス路は、前
記第１のバイパス路の一端が前記液体供給路における前
記脱気装置と前記インクジェットヘッドとの間の部分に
接続され、他端が前記液体戻し流路における前記インク
ジェットヘッドと前記溶存気体測定装置との間の部分に
接続されたものである。また、前記タンクには、前記タ
ンク内の液体を前記液体供給路に向けて加圧する加圧手
段が備えられている。さらに、前記溶存気体測定装置に
より得られた、液体中の溶存気体量の測定値に応じて、
前記供給経路切り替え手段の切り替え動作、及び前記加
圧手段の駆動及び停止の動作を制御する制御手段をさら
に有している。[0013] The above-mentioned ink jet recording apparatus is, specifically, a liquid return flow path in which the dissolved gas measuring device is provided in the middle for sending the liquid discharged from the ink jet head into the tank; When the measured value of the dissolved gas amount obtained by the measuring device exceeds a predetermined value, the liquid flowing from the tank through the liquid supply path and passing through the degassing device does not pass through the ink jet head. The first for sending to the dissolved gas measuring device
And a supply which can switch between the liquid passed through the deaerator and the ink supply through the liquid supply path to the ink jet head, or the liquid supplied to the dissolved gas measurement device via the first bypass path. Route switching means. In the first bypass path, one end of the first bypass path is connected to a portion of the liquid supply path between the deaerator and the inkjet head, and the other end is the inkjet path in the liquid return flow path. It is connected to a portion between the head and the dissolved gas measuring device. Further, the tank is provided with a pressurizing means for pressurizing the liquid in the tank toward the liquid supply path. Further, according to the measured value of the amount of dissolved gas in the liquid obtained by the dissolved gas measuring device,
There is further provided control means for controlling a switching operation of the supply path switching means and a driving and stopping operation of the pressurizing means.
【００１４】このようなインクジェット記録装置では、
溶存気体測定装置に得られた溶存気体量の測定値が所定
の値を超えている場合に、液体供給路を流れて脱気装置
を通過した液体を、第１のバイパス及び液体戻し流路を
通してタンク内に送り込むことにより、インクジェット
ヘッドには液体を供給せずに、タンクからの液体を、脱
気装置を通るように循環させることができる。このよう
にタンクからの液体の循環させることで、液体が脱気装
置を通過するごとに液体中の溶存気体が除去される。In such an ink jet recording apparatus,
When the measured value of the dissolved gas amount obtained by the dissolved gas measuring device exceeds a predetermined value, the liquid flowing through the liquid supply path and passing through the deaerator is passed through the first bypass and the liquid return flow path. By feeding the liquid into the tank, the liquid from the tank can be circulated through the deaerator without supplying the liquid to the inkjet head. By circulating the liquid from the tank in this way, every time the liquid passes through the deaerator, the dissolved gas in the liquid is removed.
【００１５】さらに、本発明のインクジェット記録装置
の具体例は、液体を吐出するインクジェットヘッドに供
給するためのインクを貯留するメインタンクと、該メイ
ンタンクから供給されるインクを貯留し、前記インクジ
ェットヘッドから吐出されるインクの水頭圧を決定する
ためのサブタンクと、前記メインタンクに貯留された液
体を前記サブタンクに供給するためのタンク間供給経路
と、前記インクジェットヘッドから液体を吐出する動作
中に前記インクジェットヘッドの内部を液体が流動する
ように、かつ、前記インクジェットヘッド内の液体のう
ち前記インクジェットヘッドから吐出される液体として
使われなかった液体が前記インクジェットヘッドの外部
に排出されるように前記インクジェットヘッドに前記サ
ブタンク内の液体を供給するための液体供給路と、前記
液体供給路の途中に配置され、前記液体供給路を流れる
液体中の溶存気体の少なくとも一部を前記液体から除去
する脱気装置と、前記サブタンクに備えられ、前記サブ
タンク内の液体を前記液体供給路に向けて加圧する加圧
手段と、前記インクジェットヘッドから排出される液体
を前記メインタンクの内部に送り込むためのメインタン
ク戻し流路と、前記メインタンク戻し流路の途中に配置
され、前記メインタンク戻し流路を流れる液体中の溶存
気体量を測定する溶存気体測定装置と、前記溶存気体測
定装置により得られた前記溶存気体量の測定値が所定の
値を超えた際に、前記サブタンクから前記液体供給路を
流れて前記脱気装置を通過した液体を前記インクジェッ
トヘッドを通さずに前記溶存気体測定装置に送り込むた
めの第１のバイパス路と、前記脱気装置を通過した液体
を、前記液体供給路を通して前記インクジェットヘッド
に供給するか、前記第１のバイパス路を経由して前記溶
存気体測定装置に送り込むか切り替え可能な供給経路切
り替え手段とを有する。Further, a specific example of the ink jet recording apparatus of the present invention includes a main tank for storing ink to be supplied to an ink jet head for discharging liquid, and an ink for storing ink supplied from the main tank. A sub-tank for determining the head pressure of ink ejected from the tank, an inter-tank supply path for supplying the liquid stored in the main tank to the sub-tank, and the operation of ejecting liquid from the inkjet head. The inkjet is performed such that the liquid flows inside the inkjet head, and liquid not used as the liquid ejected from the inkjet head among the liquids in the inkjet head is discharged to the outside of the inkjet head. Liquid in the sub tank in the head A liquid supply path for supplying, a deaeration device disposed in the middle of the liquid supply path, for removing at least a part of dissolved gas in the liquid flowing through the liquid supply path from the liquid, and the sub tank. Pressurizing means for pressurizing the liquid in the sub tank toward the liquid supply path, a main tank return flow path for feeding the liquid discharged from the ink jet head into the main tank, A dissolved gas measuring device that is disposed in the middle of the flow path and measures the dissolved gas amount in the liquid flowing through the main tank return flow path, and the measured value of the dissolved gas amount obtained by the dissolved gas measuring device is a predetermined value. When the value exceeds the value, the liquid flowing from the sub-tank through the liquid supply path and passing through the deaerator is measured for the dissolved gas without passing through the inkjet head. A first bypass path for feeding into the apparatus, and a liquid that has passed through the deaerator is supplied to the ink jet head through the liquid supply path, or the dissolved gas measurement apparatus is supplied through the first bypass path. And a supply path switching means capable of switching to or from the supply path.
【００１６】さらに、本発明のカラーフィルタ製造装置
は、上述したインクジェット記録装置を有し、前記イン
クジェット記録装置の前記インクジェットヘッドから液
体を吐出させてカラーフィルタを製造することを特徴と
する。これにより、カラーフィルタを高歩留りで製造す
ることでき、低価格のカラーフィルタを製造することが
可能なカラーフィルタ製造装置が得られる。Furthermore, a color filter manufacturing apparatus according to the present invention includes the above-described ink jet recording apparatus, and manufactures a color filter by discharging a liquid from the ink jet head of the ink jet recording apparatus. Thus, a color filter manufacturing apparatus capable of manufacturing a color filter at a high yield and capable of manufacturing a low-cost color filter can be obtained.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
【００１８】〈カラーフィルタ製造装置の全体の構成〉
図１は、本発明の一実施形態のカラーフィルタ製造装置
を示す斜視図である。本実施形態のカラーフィルタ製造
装置では、図１に示すように、架台２１の上面に、Ｘ方
向及びＹ方向に移動可能なＸＹテーブル２２が備えられ
ている。さらに、架台２１の側部には支柱２４が取り付
けられており、支柱２４の上部からＸＹテーブル２２の
上方に向って水平方向に延びた取り付け部材２４ａの先
端に、支持部材２３を介してインクジェットヘッド１２
０が取り付けられている。<Overall Configuration of Color Filter Manufacturing Apparatus>
FIG. 1 is a perspective view showing a color filter manufacturing apparatus according to one embodiment of the present invention. In the color filter manufacturing apparatus according to the present embodiment, as shown in FIG. Further, a column 24 is attached to a side portion of the gantry 21, and an inkjet head is attached via a support member 23 to a tip of a mounting member 24 a extending horizontally from above the column 24 to above the XY table 22. 12
0 is attached.
【００１９】インクジェットヘッド１２０は、支持部材
２３に対して取り付け位置が調整可能となっていて、所
望の取り付け位置でインクジェットヘッド１２０が支持
部材２３に固定されている。従って、インクジェットヘ
ッド１２０は、支柱２４及び支持部材２３によってＸＹ
テーブル２２の上方で所望の位置に固定されている。ま
た、インクジェットヘッド１２０は、赤色のインクを吐
出するインクジェットヘッド１２０ａと、緑色のインク
を吐出するインクジェットヘッド１２０ｂと、青色のイ
ンクを吐出するインクジェットヘッド１２０ｃとで構成
されている。そして、ＸＹテーブル２２の上面には基板
１が載置されている。この基板１の表面には、図８に基
づいて後述するブラックマトリクス及び樹脂組成物層３
が形成されている。The mounting position of the ink jet head 120 with respect to the support member 23 is adjustable, and the ink jet head 120 is fixed to the support member 23 at a desired mounting position. Therefore, the ink jet head 120 is XY
It is fixed at a desired position above the table 22. The inkjet head 120 includes an inkjet head 120a that ejects red ink, an inkjet head 120b that ejects green ink, and an inkjet head 120c that ejects blue ink. The substrate 1 is placed on the upper surface of the XY table 22. On the surface of the substrate 1, a black matrix and a resin composition layer 3 described later with reference to FIG.
Are formed.
【００２０】支柱２４の上端には弁ボックス３０が取り
付けられている。この弁ボックス３０の内部には、イン
クジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれ
ぞれに対応した三方弁や溶存酸素計などが備えられてい
る。この弁ボックス３０と、インクジェットヘッド１２
０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれぞれとが、インク供給
チューブによって接続されている。また、このカラーフ
ィルタ製造装置では、弁ボックス３０内の三方弁を通し
てインクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ
のそれぞれにインクを供給するためのインク供給ユニッ
ト３２が備えられている。A valve box 30 is attached to the upper end of the support post 24. Inside the valve box 30, a three-way valve, a dissolved oxygen meter, and the like corresponding to each of the inkjet heads 120a, 120b, and 120c are provided. The valve box 30 and the inkjet head 12
0a, 120b, and 120c are connected by ink supply tubes. Further, in this color filter manufacturing apparatus, the inkjet heads 120a, 120b, 120c pass through the three-way valve in the valve box 30.
Is provided with an ink supply unit 32 for supplying ink to each of them.
【００２１】インク供給ユニット３２には、メインタン
ク３０１ａ，３０１ｂ，３０１ｃ、メインポンプ３０
２、サブタンク４０１ａ，４０２ｂ，４０１ｃ、及びメ
イン脱気装置５１１ａ，５１１ｂ，５１１ｃが備えられ
ている。インクジェットヘッド１２０ａには、メインタ
ンク３０１ａ、サブタンク４０１ａ及びメイン脱気装置
５１１ａが対応しており、インクジェットヘッド１２０
ｂには、メインタンク３０１ｂ、サブタンク４０１ｂ及
びメイン脱気装置５１１ｂが対応している。また、イン
クジェットヘッド１２０ｃには、メインタンク３０１
ｃ、サブタンク４０１ｃ及びメイン脱気装置５１１ｃが
対応している。サブタンク４０１ａ，４０２ｂ，４０１
ｃやメイン脱気装置５１１ａ，５１１ｂ，５１１ｃのそ
れぞれと、弁ボックス３０とがチューブで接続されてい
る。これにより、インク供給ユニット３２からインクジ
ェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃに向けてイ
ンクが供給される。従って、このカラーフィルタ製造装
置では、インク供給ユニット３２や弁ボックス３０及
び、インク供給ユニット３２からインクジェットヘッド
１２０までのインクの供給経路を構成するチューブなど
によってインク供給系が構成されている。The ink supply unit 32 includes a main tank 301a, 301b, 301c, a main pump 30
2. Sub tanks 401a, 402b, and 401c, and main deaerators 511a, 511b, and 511c are provided. The main tank 301a, the sub tank 401a, and the main deaerator 511a correspond to the inkjet head 120a.
b corresponds to the main tank 301b, the sub tank 401b, and the main deaerator 511b. Further, the main tank 301 is provided in the inkjet head 120c.
c, the sub tank 401c, and the main deaerator 511c correspond. Sub tanks 401a, 402b, 401
c and each of the main deaerators 511a, 511b, 511c and the valve box 30 are connected by a tube. As a result, ink is supplied from the ink supply unit 32 to the inkjet heads 120a, 120b, and 120c. Therefore, in this color filter manufacturing apparatus, an ink supply system is constituted by the ink supply unit 32, the valve box 30, and a tube constituting an ink supply path from the ink supply unit 32 to the inkjet head 120.
【００２２】また、弁ボックス３０からはケーブル３１
が延びており、そのケーブル３１の先端に、パソコンな
どで構成された、制御手段としての制御ボックス２７が
接続されている。ケーブル３１は、弁ボックス３０内の
三方弁を駆動するためのケーブルと、弁ボックス３０内
の溶存酸素計からのケーブルとが束ねられたものであ
る。さらに、制御ボックス２７は、インクジェットヘッ
ド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれぞれとケーブル
２６によって接続されている。この制御ボックス２７の
上にはキーボード２８及びディスプレイ２９が載置され
ている。A cable 31 is connected to the valve box 30.
A control box 27 as a control means, which is constituted by a personal computer or the like, is connected to the end of the cable 31. The cable 31 is a bundle of a cable for driving the three-way valve in the valve box 30 and a cable from the dissolved oxygen meter in the valve box 30. Further, the control box 27 is connected to each of the inkjet heads 120a, 120b, and 120c by a cable 26. A keyboard 28 and a display 29 are mounted on the control box 27.
【００２３】〈インク供給系の構成〉図２は、図１に示
したカラーフィルタ製造装置のインク供給系の構成を示
す模式図である。図２では、図１に示したインク供給系
のうち、インクジェットヘッド１２０ａにインクなどの
液体を供給するためのインク供給系が示されている。イ
ンクジェットヘッド１２０ｂ及び１２０ｃのためのイン
ク供給系は、図２に示されるインク供給系と同様のもの
である。<Structure of Ink Supply System> FIG. 2 is a schematic diagram showing the structure of the ink supply system of the color filter manufacturing apparatus shown in FIG. FIG. 2 shows an ink supply system for supplying a liquid such as ink to the inkjet head 120a among the ink supply systems shown in FIG. The ink supply system for the inkjet heads 120b and 120c is similar to the ink supply system shown in FIG.
【００２４】図２に示すように、本実施形態のカラーフ
ィルタ製造装置のインク供給系には、インクジェットヘ
ッド１２０ａに供給するためのインクが貯留されたサブ
タンク４０１ａと、サブタンク４０１ａに供給されるイ
ンクが貯留されたメインタンク３０１ａとが備えられて
いる。サブタンク４０１ａによって、インクジェットヘ
ッド１２０ａから吐出されるインクの水頭圧が決定され
る。メインタンク３０１ａの内部には、メインタンク３
０１ａ内のインクの残量を検知するためのインク残量セ
ンサ３５０が備えられている。As shown in FIG. 2, the ink supply system of the color filter manufacturing apparatus of this embodiment includes a sub-tank 401a storing ink to be supplied to the ink jet head 120a, and an ink supplied to the sub-tank 401a. And a stored main tank 301a. The head pressure of the ink ejected from the inkjet head 120a is determined by the sub tank 401a. The main tank 3a is provided inside the main tank 301a.
An ink remaining amount sensor 350 for detecting the remaining amount of ink in 01a is provided.
【００２５】メインタンク３０１ａ内部の底面にはチュ
ーブ３５１の一端が配置され、チューブ３５１の他端は
ジョイント３７１によりチューブ３５２の一端と接続さ
れている。ジョイント３７１には、大気連通用のチュー
ブ３５７の一端が接続され、チューブ３５７の他端に二
方弁３０４が接続されている。二方弁３０４によってチ
ューブ３５７の他端部が開閉される。チューブ３５２の
他端にはメインポンプ３０２が接続されている。メイン
ポンプ３０２としては、インクの進行方向に向ってチュ
ーブを押し潰しながらインクを送り出すチューブポンプ
が用いられている。そのメインポンプ３０２にチューブ
３５３の一端が接続され、チューブ３５３の他端に、捕
捉粒子径２μｍのフィルタ３１１を介してチューブ３５
４の一端が接続されている。チューブ３５４の他端に
は、ジョイント３７２を介してチューブ３５５の一端が
接続されている。ジョイント３７２にはチューブ３７３
を介してカプラプラグ３７４が取り付けられている。チ
ューブ３５５の他端にはサブの脱気装置３２１が接続さ
れており、その脱気装置３２１にはチューブ３２３を介
して真空ポンプ３２２が接続されている。One end of a tube 351 is disposed on the bottom inside the main tank 301a, and the other end of the tube 351 is connected to one end of a tube 352 by a joint 371. One end of a tube 357 for communicating with the atmosphere is connected to the joint 371, and the two-way valve 304 is connected to the other end of the tube 357. The other end of the tube 357 is opened and closed by the two-way valve 304. The main pump 302 is connected to the other end of the tube 352. As the main pump 302, a tube pump that sends out ink while crushing the tube in the direction in which the ink travels is used. One end of a tube 353 is connected to the main pump 302, and the other end of the tube 353 is connected to the other end of the tube 353 via a filter 311 having a trapped particle diameter of 2 μm.
4 is connected to one end. One end of a tube 355 is connected to the other end of the tube 354 via a joint 372. Tube 373 for joint 372
The coupler plug 374 is attached via the. The other end of the tube 355 is connected to a sub deaerator 321, to which a vacuum pump 322 is connected via a tube 323.
【００２６】脱気装置３２１の内部には、気体透過性を
有する中空糸を複数本束ねたものが備えられている。脱
気装置３２１内の中空糸の中にインクを通過させて、中
空糸の外部から真空ポンプ３２２で真空引きすることに
よってインク中に溶け込んでいる気体がインクから取り
除かれる。中空糸を構成する中空糸脱気膜として、ポリ
（４−メチルペンテン−１）が用いられている。脱気装
置３２１では、真空ポンプ３２２によって３２±２Torr
の真空度で、脱気装置３２１を通過するインクの脱気を
行っている。The inside of the deaerator 321 is provided with a bundle of a plurality of hollow fibers having gas permeability. The ink dissolved in the ink is removed from the ink by passing the ink through the hollow fiber in the deaerator 321 and evacuating the outside of the hollow fiber with the vacuum pump 322. Poly (4-methylpentene-1) is used as a hollow fiber degassing membrane constituting a hollow fiber. In the deaerator 321, 32 ± 2 Torr by a vacuum pump 322.
The ink passing through the degassing device 321 is degassed at a degree of vacuum.
【００２７】さらに、脱気装置３２１にはチューブ３５
６の一端が接続されている。チューブ３５６の他端は、
タンク間供給経路切り替え手段である三方弁４０３を介
して、第２のバイパス路であるチューブ４５３の一端及
び、チューブ４５４の一端と接続されている。チューブ
４５４の他端はサブタンク４０１ａの内部と連通してい
る。従って、メインタンク３０１ａからサブタンク４０
１ａへのインクの供給は、チューブ３５１，３５２，３
５３，３５４，３５５，３５６，４５４を通して行われ
る。メインタンク３０１ａから、チューブ３５１、メイ
ンポンプ３０２、フィルタ３１１、脱気装置３２１、三
方弁４０３及びチューブ４５４を通ってサブタンク４０
１ａに至るまでの間のインク経路によって、タンク間供
給経路が構成されている。Further, a tube 35 is provided in the deaerator 321.
6 is connected to one end. The other end of the tube 356
The second bypass path is connected to one end of a tube 453 and one end of a tube 454 via a three-way valve 403 as a means for switching between tanks. The other end of the tube 454 communicates with the inside of the sub tank 401a. Therefore, the main tank 301a is moved from the sub tank 40
The supply of ink to 1a is performed by tubes 351, 352, 3
53, 354, 355, 356, 454. From the main tank 301a, through the tube 351, the main pump 302, the filter 311, the deaerator 321, the three-way valve 403, and the tube 454, the sub tank 40
The inter-tank supply path is constituted by the ink path leading to 1a.
【００２８】前述したカプラプラグ３７４にはカプラソ
ケット３７５が接続可能であるが、図２では、カプラソ
ケット３７５がカプラプラグ３７４から取り外された状
態が示されている。カプラプラグ３７４は、カプラプラ
グ３７４に何も接続されていない状態で先端が閉じる機
構となっているものである。一方、カプラソケット３７
５にはチューブ３７６の一端が接続され、チューブ３７
６の他端に吸引ポンプ３７７が接続されている。その吸
引ポンプ３７７にはチューブ３７８を介して廃液タンク
３７９が接続されている。カプラソケット３７５、チュ
ーブ３７６、吸引ポンプ３７７、チューブ３７８及び廃
液タンク３７９からインク吸引装置が構成されている。
そのインク吸引装置は、インクの供給経路内のインクを
抜く際にカプラプラグ３７４に接続される。Although the coupler socket 375 can be connected to the coupler plug 374 described above, FIG. 2 shows a state where the coupler socket 375 is removed from the coupler plug 374. The coupler plug 374 has a mechanism in which the tip is closed in a state where nothing is connected to the coupler plug 374. On the other hand, the coupler socket 37
5 is connected to one end of a tube 376.
A suction pump 377 is connected to the other end of 6. A waste liquid tank 379 is connected to the suction pump 377 via a tube 378. An ink suction device includes the coupler socket 375, the tube 376, the suction pump 377, the tube 378, and the waste liquid tank 379.
The ink suction device is connected to the coupler plug 374 when extracting the ink in the ink supply path.
【００２９】サブタンク４０１ａの底部にはチューブ４
５１の一端が接続され、チューブ４５１の他端に流量計
４５６を介してチューブ４５５の一端が接続されてい
る。チューブ４５５の他端にはメイン脱気装置５１１ａ
が接続されている。メイン脱気装置５１１ａにはチュー
ブ５８０の一端が接続され、チューブ５８０の他端には
ジョイント５８３を介してチューブ５８１及び５８２の
それぞれの一端が接続されている。チューブ５８１の他
端には真空ポンプ５２２が接続され、チューブ５８２の
他端には真空メータ５２１が接続されている。A tube 4 is provided at the bottom of the sub tank 401a.
One end of the tube 455 is connected to one end of the tube 451 via a flow meter 456 to the other end of the tube 451. At the other end of the tube 455 is a main deaerator 511a.
Is connected. One end of a tube 580 is connected to the main deaerator 511a, and one end of each of the tubes 581 and 582 is connected to the other end of the tube 580 via a joint 583. A vacuum pump 522 is connected to the other end of the tube 581, and a vacuum meter 521 is connected to the other end of the tube 582.
【００３０】メイン脱気装置５１１ａには、さらに、チ
ューブ５７１の一端が接続され、チューブ５７１の他端
にはジョイント５７７を介してチューブ５７３及び５７
４のそれぞれの一端が接続されている。チューブ５７４
の他端には三方弁５０４が接続されており、三方弁５０
４には、さらに、チューブ５５３及び、第１のバイパス
路であるチューブ５７５のそれぞれの一端が接続されて
いる。The main deaerator 511a is further connected to one end of a tube 571, and the other end of the tube 571 is connected to the tubes 573 and 57 via a joint 577.
4 are connected at one end. Tube 574
Is connected to the other end of the three-way valve 50.
4 is further connected to one end of a tube 553 and one end of a tube 575 that is a first bypass path.
【００３１】一方、ジョイント５７７によりチューブ５
７１及び５７４と接続されたチューブ５７３の他端には
三方弁５０２が接続されている。この三方弁５０２に
は、さらに、チューブ５７２及び５７６のそれぞれの一
端が接続されている。チューブ５７６の他端には三方弁
５０５が接続されており、三方弁５０５にはチューブ５
７５の他端及び、チューブ５５４の一端が接続されてい
る。三方弁５０４と５０５とから液体供給経路切り替え
手段が構成されている。チューブ５５３及び５５４の他
端には一体型カプラ５５５が接続されている。この一体
型カプラ５５５にはチューブ５５１及び５５２のそれぞ
れの一端が接続されており、一体型カプラ５５５によっ
て、チューブ５５３とチューブ５５１とが連通すると共
にチューブ５５４とチューブ５５２とが連通している。On the other hand, the tube 5
The other end of the tube 573 connected to 71 and 574 is connected to a three-way valve 502. One end of each of the tubes 572 and 576 is further connected to the three-way valve 502. A three-way valve 505 is connected to the other end of the tube 576.
The other end of 75 and one end of tube 554 are connected. The three-way valves 504 and 505 constitute a liquid supply path switching unit. An integrated coupler 555 is connected to the other ends of the tubes 553 and 554. One end of each of the tubes 551 and 552 is connected to the integrated coupler 555. The integrated coupler 555 allows the tubes 553 and 551 to communicate with each other and the tubes 554 and 552 to communicate with each other.
【００３２】チューブ５５１及び５５２のそれぞれの他
端には、チューブ５５１及び５５２をインクジェットヘ
ッド１２０ａに接続するためのコネクタ１０２が接続さ
れている。インクジェットヘッド１２０ａには供給口及
び排出口が設けられており、インクジェットヘッド１２
０ａの、供給口及び排出口が設けられた部分にコネクタ
１０２が取り付けられている。これにより、インクジェ
ットヘッド１２０ａの供給口がチューブ５５１と連通
し、インクジェットヘッド１２０ａの排出口がチューブ
５５２と連通している。The other end of each of the tubes 551 and 552 is connected to a connector 102 for connecting the tubes 551 and 552 to the ink jet head 120a. The ink jet head 120a is provided with a supply port and a discharge port.
The connector 102 is attached to a portion of the device 0a provided with a supply port and a discharge port. Thus, the supply port of the inkjet head 120a communicates with the tube 551, and the discharge port of the inkjet head 120a communicates with the tube 552.
【００３３】インクジェットヘッド１２０ａの内部で
は、インクジェットヘッド１２０ａの供給口からインク
ジェットヘッド１２０ａ内に流れ込んだインクが、イン
クジェットヘッド１２０ａの排出口からインクジェット
ヘッド１２０ａの外部に排出されるようにインク流路が
形成されている。そのインク流路の途中には、インク流
路内を流れる液体をインクジェットヘッド１２０ａから
吐出させるための熱エネルギーを発生する電気熱変換体
が備えられている。そして、インクジェットヘッド１２
０ａ内のインク流路を流れるインクの一部が電気熱変換
体によってインクジェットヘッド１２０ａから吐出され
る。In the ink jet head 120a, an ink flow path is formed so that the ink flowing into the ink jet head 120a from the supply port of the ink jet head 120a is discharged from the discharge port of the ink jet head 120a to the outside of the ink jet head 120a. Have been. In the middle of the ink flow path, there is provided an electrothermal converter for generating thermal energy for discharging the liquid flowing in the ink flow path from the inkjet head 120a. Then, the inkjet head 12
Part of the ink flowing through the ink flow path in Oa is ejected from the inkjet head 120a by the electrothermal transducer.
【００３４】インク吐出時にインクジェットヘッド１２
０ａに供給されるインクはインクジェットヘッド１２０
ａの外部のインク経路や、インクジェットヘッド１２０
ａの内部を常に流動している。ここで、インクジェット
ヘッド１２０ａに供給されるインクの量に比べて、イン
クジェットヘッド１２０ａから吐出されるインクの量は
非常に少ないため、インクジェットヘッド１２０ａから
吐出されなかったインクは、インクジェットヘッド１２
０ａの排出口からチューブ５５２に排出される。At the time of ink ejection, the ink jet head 12
0a is supplied to the inkjet head 120.
a and the ink path outside the ink jet head 120.
a is always flowing inside. Here, the amount of ink ejected from the inkjet head 120a is very small compared to the amount of ink supplied to the inkjet head 120a.
0a is discharged to the tube 552 from the discharge port.
【００３５】チューブ５５１ａ及び５５２の他端にコネ
クタ１０２を介してインクジェットヘッド１２０ａが接
続されている際に、一体型カプラ５５５でチューブ５５
１及び５５２をそれぞれ、チューブ５５３及び５５４か
ら切り離すことによって、インクジェットヘッド１２０
ａがインク供給系から分離される。一体型カプラ５５５
としては、一体型カプラ５５５でチューブ同士を切り離
した状態で一体型カプラ５５５の端部が閉じることな
く、開放状態のままであるものが用いられている。これ
により、一体型カプラ５５５によりチューブ同士を接続
した際に、一体型カプラ５５５の内部に入り込む空気の
抜けがよくなる。When the ink jet head 120a is connected to the other ends of the tubes 551a and 552 via the connector 102, the tube 55 is connected by the integral coupler 555.
1 and 552 from the tubes 553 and 554, respectively, so that the inkjet head 120
a is separated from the ink supply system. Integrated coupler 555
In this case, the end of the integrated coupler 555 is not closed in a state where the tubes are separated from each other by the integrated coupler 555, but the open state is used. Thus, when the tubes are connected to each other by the integrated coupler 555, the air that enters the inside of the integrated coupler 555 can be easily removed.
【００３６】一体型カプラ５５５には脱着センサ５５７
が取り付けられている。脱着センサ５５７によって、一
体型カプラ５５５によりチューブ同士が接続されている
か否かが検知される。これにより、一体型カプラ５５５
でチューブ同士が確実に接続されない状態でインク供給
系を稼動しないように、カラーフィルタ製造装置が構成
されている。The integrated coupler 555 has a detachable sensor 557.
Is attached. The attachment / detachment sensor 557 detects whether or not the tubes are connected to each other by the integrated coupler 555. Thereby, the integrated coupler 555
The color filter manufacturing apparatus is configured so that the ink supply system is not operated in a state where the tubes are not securely connected.
【００３７】一方、三方弁５０２に接続されたチューブ
５７２の他端には溶存気体測定装置である溶存酸素計５
２０が接続されている。溶存酸素計５２０には、測定手
段であるセンサ５２３、及びマグネチックスターラー５
３４が備えられている。溶存酸素計５２０の上部にはチ
ューブ４５２の一端が接続されている。チューブ４５２
の他端には、三方弁４０３に接続されたチューブ４５３
の他端、及びチューブ３８１の一端がジョイント４７１
を介して接続されている。チューブ３８１の一端は、イ
ンク戻り弁としての二方弁３８２を介してチューブ３８
３の一端と接続され、チューブ３８３の他端はメインタ
ンク３０１ａの上面からメインタンク３０１ａの内部に
差し込まれている。On the other hand, the other end of the tube 572 connected to the three-way valve 502 has a dissolved oxygen meter 5 as a dissolved gas measuring device.
20 are connected. The dissolved oxygen meter 520 has a sensor 523 as a measuring means and a magnetic stirrer 5.
34 are provided. One end of a tube 452 is connected to the upper part of the dissolved oxygen meter 520. Tube 452
At the other end of the tube 453 connected to the three-way valve 403
Of the tube 381 and one end of the tube 381
Connected through. One end of the tube 381 is connected to the tube 38 via a two-way valve 382 as an ink return valve.
3, and the other end of the tube 383 is inserted into the inside of the main tank 301a from the upper surface of the main tank 301a.
【００３８】次に、図２に示した三方弁５０２，５０
４，５０５の切り替え動作について図３〜図５を参照し
て説明する。三方弁５０２，５０４，５０５の切り替え
動作は、図１に示した制御ボックス２７によって制御さ
れる。Next, the three-way valves 502 and 50 shown in FIG.
The switching operation of 4,505 will be described with reference to FIGS. The switching operation of the three-way valves 502, 504, and 505 is controlled by the control box 27 shown in FIG.
【００３９】図３は、図２に示したインクジェットヘッ
ド１２０ａからインクを吐出する際の三方弁５０２，５
０４，５０５の状態を示す図である。FIG. 3 shows three-way valves 502 and 5 for discharging ink from the ink jet head 120a shown in FIG.
It is a figure which shows the state of 04,505.
【００４０】図３に示すように、インクジェットヘッド
１２０ａからインクを吐出する際には、三方弁５０２に
よってチューブ５７２とチューブ５７６とが連通し、チ
ューブ５７３の三方弁５０２側の端部は閉じた状態とな
る。三方弁５０５では、チューブ５７６とチューブ５５
４とが連通し、チューブ５７５の三方弁５０５側の端部
が閉じた状態となる。三方弁５０４では、チューブ５５
３とチューブ５７４とが連通し、チューブ５７５の三方
弁５０４側の端部が閉じた状態となる。As shown in FIG. 3, when ink is ejected from the ink jet head 120a, the tube 572 and the tube 576 are communicated by the three-way valve 502, and the end of the tube 573 on the three-way valve 502 side is closed. Becomes In the three-way valve 505, the tubes 576 and 55
4 and the end of the tube 575 on the three-way valve 505 side is closed. In the three-way valve 504, the tube 55
3 and the tube 574 are communicated, and the end of the tube 575 on the three-way valve 504 side is closed.
【００４１】従って、インクの吐出時には、サブタンク
４０１ａからメイン脱気装置５１１ａに向って流れるイ
ンクは、メイン脱気装置５１１ａを通過した後に、チュ
ーブ５７１、ジョイント５７７、チューブ５７４、三方
弁５０４及びチューブ５５３などを通してインクジェッ
トヘッド１２０ａの供給口に供給される。インクジェッ
トヘッド１２０ａにインクが供給された後に、インクジ
ェットヘッド１２０ａから吐出されずにインクジェット
ヘッド１２０ａの外部に排出されたインクは、チューブ
５５２、一体型カプラ５５５、チューブ５５４、三方弁
５０５、チューブ５７６、三方弁５０２及びチューブ５
７２を通して溶存酸素計５２０の内部に流れ込む。Therefore, when the ink is ejected, the ink flowing from the sub tank 401a to the main deaerator 511a passes through the main deaerator 511a, and then passes through the tube 571, the joint 577, the tube 574, the three-way valve 504, and the tube 553. The ink is supplied to the supply port of the inkjet head 120a through such as. After the ink is supplied to the inkjet head 120a, the ink discharged from the inkjet head 120a without being ejected from the inkjet head 120a is the tube 552, the integrated coupler 555, the tube 554, the three-way valve 505, the tube 576, and the three-way valve. Valve 502 and tube 5
It flows into the dissolved oxygen meter 520 through 72.
【００４２】サブタンク４０１ａから、チューブ４５
１、流量計４５６、メイン脱気装置５１１ａ、チューブ
５７１，５７４，５５３，５５１を通ってインクジェッ
トヘッド１２０ａに至るまでのインク経路によって液体
供給路が構成されている。また、インクジェットヘッド
１２０ａから、チューブ５５２，５５４，５７６，５７
２、溶存酸素計５２０、チューブ４５２，３８１，３８
３を通ってメインタンク３０１ａに至るまでのインク経
路によってメインタンク戻し流路が構成されている。こ
のメインタンク戻し流路と、メインタンク３０１ａと、
上述したタンク間供給経路とから、インクジェットヘッ
ド１２０ａから排出された液体をサブタンク４０１ａ内
に送り込むための液体戻し流路が構成されている。From the sub tank 401a, the tube 45
1. A liquid supply path is constituted by an ink path through the flow meter 456, the main deaerator 511a, the tubes 571, 574, 553, and 551 to the inkjet head 120a. Also, tubes 552, 554, 576, 57
2, dissolved oxygen meter 520, tubes 452, 381, 38
The main tank return flow path is constituted by an ink path extending through the ink tank 3 to the main tank 301a. The main tank return flow path, the main tank 301a,
A liquid return flow path for feeding the liquid discharged from the inkjet head 120a into the sub tank 401a is configured from the above-described inter-tank supply path.
【００４３】図４は、インクジェットヘッド１２０ａを
避けてインクを循環させるために、インクをバイパスす
る際の三方弁５０２，５０４，５０５の状態を示す図で
ある。三方弁５０２，５０４，５０５を、図４に示す状
態にした後に、後述するようにインクをインク供給系に
充填する動作や、インク供給系のインクを交換する動作
などが行われる。FIG. 4 is a view showing the state of the three-way valves 502, 504, and 505 when the ink is bypassed in order to circulate the ink while avoiding the ink jet head 120a. After setting the three-way valves 502, 504, and 505 to the state shown in FIG. 4, an operation of filling the ink supply system with ink and an operation of replacing ink in the ink supply system are performed as described later.
【００４４】図４に示すように、インクのバイパス時に
は、三方弁５０２によってチューブ５７２とチューブ５
７６とが連通し、チューブ５７３の三方弁５０２側の端
部は閉じた状態となる。三方弁５０５では、チューブ５
７６とチューブ５７５とが連通し、チューブ５５４の三
方弁５０５側の端部は閉じた状態となる。三方弁５０４
では、チューブ５７５とチューブ５７４とが連通し、チ
ューブ５５３の三方弁５０４側の端部は閉じた状態とな
る。As shown in FIG. 4, at the time of ink bypass, the three-way valve 502 controls the tube 572 and the tube 5.
And the end of the tube 573 on the three-way valve 502 side is closed. In the three-way valve 505, the tube 5
The tube 76 communicates with the tube 575, and the end of the tube 554 on the three-way valve 505 side is closed. Three-way valve 504
Then, the tube 575 and the tube 574 communicate with each other, and the end of the tube 553 on the three-way valve 504 side is closed.
【００４５】従って、インクのバイパス時では、サブタ
ンク４０１ａからメイン脱気装置５１１ａに向って流れ
るインクは、メイン脱気装置５１１ａを通過した後に、
チューブ５７１、ジョイント５７７、チューブ５７４、
三方弁５０４、チューブ５７５、三方弁５０５、チュー
ブ５７６、三方弁５０２及びチューブ５７２をこの順番
で通過して溶存酸素計５２０の内部に送り込まれる。そ
の場合とインクの流れが反対の場合、溶存酸素計５２０
及びチューブ５７２をこの順番で通過して三方弁５０２
に向って流れるインクはメイン脱気装置５１１ａの内部
に送り込まれる。三方弁５０２，５０４，５０５がこの
ような状態では、インクジェットヘッド１２０ａはメイ
ンタンク３０１ａ及びサブタンク４０１ａとインク供給
路によってつながっていない。Therefore, when the ink is bypassed, the ink flowing from the sub-tank 401a toward the main deaerator 511a passes through the main deaerator 511a.
Tube 571, joint 577, tube 574,
After passing through the three-way valve 504, the tube 575, the three-way valve 505, the tube 576, the three-way valve 502, and the tube 572 in this order, it is sent into the dissolved oxygen meter 520. In that case and when the ink flow is opposite, the dissolved oxygen meter 520
And the tube 572 in this order, and the three-way valve 502
Is sent into the main deaerator 511a. When the three-way valves 502, 504, and 505 are in such a state, the inkjet head 120a is not connected to the main tank 301a and the sub tank 401a by the ink supply path.
【００４６】図５は、後述するようにインクジェットヘ
ッド１２０ａの供給口及び排出口の両側に向けてインク
供給経路内のインクを加圧する際の三方弁５０２，５０
４，５０５の状態を示す図である。FIG. 5 shows three-way valves 502 and 50 for pressurizing the ink in the ink supply path toward both sides of the supply port and the discharge port of the ink jet head 120a as described later.
It is a figure which shows the state of 4,505.
【００４７】後述するようにサブタンク４０１ａ内のイ
ンクをインクジェットヘッド１２０ａの供給口及び排出
口の両側に向けて加圧する際には、図５に示すように、
三方弁５０２によってチューブ５７３とチューブ５７６
とが連通し、チューブ５７２の三方弁５０２側の端部は
閉じた状態となる。三方弁５０５では、チューブ５７６
とチューブ５５４とが連通し、チューブ５７５の三方弁
５０５側の端部が閉じた状態となる。三方弁５０４で
は、チューブ５７４とチューブ５５３とが連通し、チュ
ーブ５７５の三方弁５０４側の端部が閉じた状態とな
る。As described later, when the ink in the sub tank 401a is pressed toward both sides of the supply port and the discharge port of the ink jet head 120a, as shown in FIG.
Tube 573 and tube 576 by three-way valve 502
And the end of the tube 572 on the three-way valve 502 side is closed. In the three-way valve 505, the tube 576
And the tube 554 communicate with each other, and the end of the tube 575 on the three-way valve 505 side is closed. In the three-way valve 504, the tube 574 and the tube 553 communicate with each other, and the end of the tube 575 on the three-way valve 504 side is closed.
【００４８】サブタンク４０１ａ内のインクをインクジ
ェットヘッド１２０ａに向けて加圧するには、サブタン
ク４０１ａに備えられたタービン４０２ａを回転させ
る。図５に示した状態でタービン４０２ａを回転させる
と、サブタンク４０１ａ内のインクはチューブ４５１を
通してメイン脱気装置５１１ａに向けて送り出される。
送り出されたインクは、メイン脱気装置５１１ａ及びチ
ューブ５７１を通過した後に、ジョイント５７７でチュ
ーブ５７４及び５７３に分岐される。ジョイント５７７
でチューブ５７４及び５７３のそれぞれに分岐されたイ
ンクは、それぞれの供給経路を通してインクジェットヘ
ッド１２０ａに送り込まれる。To pressurize the ink in the sub tank 401a toward the ink jet head 120a, the turbine 402a provided in the sub tank 401a is rotated. When the turbine 402a is rotated in the state shown in FIG. 5, the ink in the sub tank 401a is sent out to the main deaerator 511a through the tube 451.
The sent ink passes through the main deaerator 511a and the tube 571, and is branched into tubes 574 and 573 by a joint 577. Joint 577
The ink branched into each of the tubes 574 and 573 is sent to the inkjet head 120a through each supply path.
【００４９】次に、上述したインク供給系におけるイン
クの供給経路に配置された構成部品について説明する。Next, components arranged in the ink supply path in the above-described ink supply system will be described.
【００５０】サブタンク４０１ａには、チューブ４５１
を通してインクを流量計４５６に向けて圧送するタービ
ン４０２ａと、タービン４０２ａを駆動する加圧モータ
４０２とが備えられている。加圧モータ４０２及びター
ビン４０２ａによって、加圧手段が構成されていて、こ
の加圧手段の駆動及び停止が、図１に示した制御ボック
ス２７により制御される。また、サブタンク４０１ａ側
面の、底面から所定の高さの位置にはドレイン４０４が
設けられている。ドレイン４０４には、チューブ３５８
の一端が接続され、チューブ３５８の他端はメインタン
ク３０１ａに導かれている。The tube 451 is provided in the sub tank 401a.
And a pressurizing motor 402 for driving the turbine 402a. The pressurizing means is constituted by the pressurizing motor 402 and the turbine 402a, and the driving and stopping of the pressurizing means are controlled by the control box 27 shown in FIG. In addition, a drain 404 is provided on a side surface of the sub tank 401a at a predetermined height from the bottom surface. The drain 404 has a tube 358
Is connected, and the other end of the tube 358 is led to the main tank 301a.
【００５１】また、サブタンク４０１ａには、サブタン
ク４０１ａ内のインクの液位が一定の高さ以下とならな
いように、サブタンク４０１ａ内のインクの残量を検知
する残量センサ４０５が設けられている。これにより、
サブタンク４０１ａ内のインクがタービン４０２ａによ
って圧送されてサブタンク４０１ａ内の液位が下がり、
サブタンク４０１ａが空になることでインクの供給経路
内に空気が圧送されることが防止される。本実施形態で
は、サブタンク４０１ａ内のインクがドレイン４０４を
通ってメインタンク３０１ａへ流れ出すインクの高さか
ら１０ｍｍ下がった液位で残量センサ４０５がインクの
液面を検知するような構成となっている。The sub-tank 401a is provided with a remaining amount sensor 405 for detecting the remaining amount of the ink in the sub-tank 401a so that the liquid level of the ink in the sub-tank 401a does not become lower than a predetermined height. This allows
The ink in the sub tank 401a is pressure-fed by the turbine 402a, and the liquid level in the sub tank 401a decreases,
When the sub tank 401a becomes empty, the air is prevented from being pumped into the ink supply path. In the present embodiment, the remaining amount sensor 405 detects the liquid level of the ink at a liquid level that is 10 mm lower than the height of the ink that flows from the sub tank 401a to the main tank 301a through the drain 404. I have.
【００５２】残量センサ４０５がインクの液面を検知す
ると、メインポンプ３０２の駆動によりメインタンク３
０１ａからサブタンク４０１ａにインクが補充される。
この補充の際の三方弁４０３では、チューブ３５６から
三方弁４０３に向かって流れるインクをチューブ４５４
にのみ、すなわち図２の矢印Ａの方向にのみに流す状態
になっている。メインポンプ３０２は、ドレイン４０４
からインクが流れ出るまで駆動する。When the remaining amount sensor 405 detects the ink level, the main pump 302 is driven to drive the main tank 3.
From 01a, the ink is replenished to the sub tank 401a.
In the three-way valve 403 during the replenishment, the ink flowing from the tube 356 toward the three-way valve 403 is supplied to the tube 454.
, Ie, only in the direction of arrow A in FIG. The main pump 302 has a drain 404
It is driven until ink flows out of.
【００５３】流量計４５６は、サブタンク４０１ａから
圧送されたインクの流量を測定するものであり、流量計
４５６としては、瞬時流量及び積算流量のいずれも測定
可能なものを用いている。The flow meter 456 measures the flow rate of the ink fed from the sub tank 401a. The flow meter 456 is capable of measuring both the instantaneous flow rate and the integrated flow rate.
【００５４】メイン脱気装置５１１ａは、脱気装置３２
１と同様に、インク中に溶け込んでいる気体を取り除く
ものあり、メイン脱気装置５１１ａ内には、気体透過性
を有する中空糸を複数本束ねたものが備えられている。
その中空糸の中にインクを通過させると共に、真空ポン
プ５２２により中空糸の外部から真空引きすることによ
って、インク中の気体が取り除かれる。メイン脱気装置
５１１ａでは、中空糸を構成する中空糸脱気膜としてフ
ッ素樹脂（四フッ化エチレン）が用いられている。ま
た、真空ポンプ５２２によって、真空度約１０Torrでイ
ンクの脱気が行われている。The main deaerator 511a is connected to the deaerator 32.
As in the case of 1, there is a device for removing the gas dissolved in the ink. The main deaerator 511a is provided with a bundle of a plurality of hollow fibers having gas permeability.
The gas in the ink is removed by passing the ink through the hollow fiber and evacuating the hollow fiber from the outside by the vacuum pump 522. In the main deaerator 511a, a fluororesin (ethylene tetrafluoride) is used as a hollow fiber deaeration film constituting a hollow fiber. In addition, the ink is degassed by a vacuum pump 522 at a degree of vacuum of about 10 Torr.
【００５５】溶存酸素計５２０は、溶存酸素計５２０を
通過するインク中の溶存気体量を測定するものである。
図６は、溶存酸素計５２０の詳細を示す断面図である。
図６に示すように、溶存酸素計５２０では、気体透過性
の低い樹脂（例えばＰＶＤＦ）、あるいはステンレスか
らなる容器５２８の下部の側面に、チューブ継手５２７
ａによりチューブ５７２が接続されている。容器５２８
の上面にはチューブ継手５２７ｂによりチューブ４５２
が接続されている。そして、容器５２８側面の、チュー
ブ５７２と異なる位置に、センサ５２３がセンサ固定治
具５２９によって、容器５２８内のインクが漏れないよ
うに固定され、センサ５２３がほぼ水平となっている。
容器５２８内部の形状としては、容器５２８内の空気が
インクと共にチューブ５７２へ抜けやすいように上部が
テーパ状になっている。これにより、容器５２８内に空
気が入ったとしても、サブタンク４０１ａから圧送され
たインクがチューブ５７２を通して容器５２８内に底部
から流れ込むことで、容器５２８内の空気が容器５２８
の上部からチューブ４５２に流れ込みやすくなる。セン
サ５２３はポーラロ式の酸素電極を用いたものである。
センサ５２３の測定原理により、センサ５２３の、容器
５２８内部の先端の電極部で酸素が消費されるので、正
確な溶存気体量の測定を行うためには、後述する溶存酸
素計の測定原理から、センサ５２３の先端部の付近の液
体を撹拌する必要がある。The dissolved oxygen meter 520 measures the amount of dissolved gas in the ink passing through the dissolved oxygen meter 520.
FIG. 6 is a sectional view showing details of the dissolved oxygen meter 520.
As shown in FIG. 6, in the dissolved oxygen meter 520, a tube joint 527 is attached to a lower side surface of a container 528 made of a resin having low gas permeability (for example, PVDF) or stainless steel.
The tube 572 is connected by a. Container 528
The tube 452 is attached to the upper surface of the
Is connected. The sensor 523 is fixed at a position different from the tube 572 on the side surface of the container 528 by a sensor fixing jig 529 so that the ink inside the container 528 does not leak, and the sensor 523 is substantially horizontal.
The inside of the container 528 has a tapered upper portion so that the air in the container 528 easily escapes to the tube 572 together with the ink. Thereby, even if air enters the container 528, the ink in the container 528 is pumped from the sub tank 401a and flows into the container 528 from the bottom through the tube 572, so that the air in the container 528 is released.
Easily flows into the tube 452 from above. The sensor 523 uses a polaro-type oxygen electrode.
Oxygen is consumed at the electrode portion at the tip inside the container 528 of the sensor 523 according to the measurement principle of the sensor 523. Therefore, in order to accurately measure the dissolved gas amount, from the measurement principle of the dissolved oxygen meter described later, It is necessary to stir the liquid near the tip of the sensor 523.
【００５６】容器５２８内の液体を攪拌するために、容
器５２８の内部には、磁石が内蔵された回転子５２６が
入れられている。また、容器５２８の底面には、回転子
５２６を回転させるためのマグネチックスターラー５２
４が備えられている。このマグネチックスターラー５２
４によって、回転子５２６が容器５２８内の底面に接し
た状態で回転子５２６が回転させられる。このようにし
て容器５２８内のインクを常に撹拌することで、インク
の溶存酸素量を正確に測定することができる。In order to stir the liquid in the container 528, a rotor 526 having a built-in magnet is placed inside the container 528. A magnetic stirrer 52 for rotating the rotor 526 is provided on the bottom surface of the container 528.
4 are provided. This magnetic stirrer 52
4, the rotor 526 is rotated while the rotor 526 is in contact with the bottom surface in the container 528. By constantly stirring the ink in the container 528 in this manner, the dissolved oxygen amount of the ink can be accurately measured.
【００５７】〈溶存酸素計の測定原理〉図２及び図６に
示した溶存酸素計５２０として用いたポーラロ式の溶存
酸素計は、一般的に隔膜式溶存酸素電極と呼ばれている
ものであり、酸素の還元を測定原理として用いている。<Measurement Principle of the Dissolved Oxygen Meter> The polaro-type dissolved oxygen meter used as the dissolved oxygen meter 520 shown in FIGS. 2 and 6 is generally called a diaphragm type dissolved oxygen electrode. , Oxygen reduction is used as the measurement principle.
【００５８】図７は、ポーラロ式の溶存酸素計の測定原
理を説明するための模式図である。図７に示すように、
ポーラロ式の溶存酸素計は、酸素電極５３７ａと低電圧
電源５３３と直流電流計５３８とで構成されている。酸
素電極５３７ａでは、電極ボディ５３７の一端が開口し
ており、その電極ボディ５３７の開口部が隔膜５３４で
覆われることで電極ボディ５３７の一端が塞がれてい
る。電極ボディ５３７の内部には、銀からなる棒状の陽
極５３２が備えられている。陽極５３２の隔膜５３５側
の端部には、白金からなる陰極５３１が備えられてい
る。また、電極ボディ５３７内には電解液５３６が満た
され、その電解液５３６に陰極５３１及び陽極５３２が
浸っている。このような酸素電極５３７ａが、隔膜５３
５を下方に向けて容器５３９内の測定液５３４に浸され
ている。陰極５３１及び陽極５３２は、容器５３９の外
部の定電圧電源５３３及び直流電流計５３８と電気的に
接続されている。FIG. 7 is a schematic diagram for explaining the measurement principle of the polaro-type dissolved oxygen meter. As shown in FIG.
The polaro-type dissolved oxygen meter includes an oxygen electrode 537a, a low-voltage power supply 533, and a DC ammeter 538. In the oxygen electrode 537a, one end of the electrode body 537 is open, and one end of the electrode body 537 is closed by covering the opening of the electrode body 537 with the diaphragm 534. Inside the electrode body 537, a bar-shaped anode 532 made of silver is provided. At the end of the anode 532 on the diaphragm 535 side, a cathode 531 made of platinum is provided. The electrode body 537 is filled with an electrolyte 536, and the cathode 531 and the anode 532 are immersed in the electrolyte 536. Such an oxygen electrode 537a serves as the diaphragm 53
5 is immersed in the measuring liquid 534 in the container 539 with the downward direction. The cathode 531 and the anode 532 are electrically connected to a constant voltage power supply 533 and a DC ammeter 538 outside the container 539.
【００５９】このような溶存酸素計では、陰極５３１と
陽極５３２との間に、酸素を還元するために必要な定電
圧（例えば、６００〜７００ｍＡ）を低電圧電源５３３
により予めかけておく。測定液５３４中の酸素が隔膜５
３５を透過して電解液５３６に溶け込むと、溶け込んだ
酸素は陰極５３１で水酸基に還元され、溶存酸素計の回
路中に還元電流が流れる。この時の陽極５３２での化学
反応は下記の式（１）で表わされ、陰極５３１での化学
反応は下記の式（２）で表わされる。In such a dissolved oxygen meter, a constant voltage (for example, 600 to 700 mA) required for reducing oxygen is supplied between the cathode 531 and the anode 532 by the low voltage power supply 533.
In advance. The oxygen in the measurement liquid 534 is
When the oxygen permeates through the electrolyte solution 536 after passing through 35, the dissolved oxygen is reduced to hydroxyl groups at the cathode 531 and a reduction current flows through the circuit of the dissolved oxygen meter. The chemical reaction at the anode 532 at this time is represented by the following equation (1), and the chemical reaction at the cathode 531 is represented by the following equation (2).
【００６０】 ４Ａｇ ＋ ４ＯＨ- → ２Ａｇ2Ｏ ＋ ２Ｈ2Ｏ ・・・・・（１） Ｏ2 ＋ ２Ｈ2Ｏ ＋ ４ｅ → ４ＯＨ- ・・・・・・・・・（２） 上記の式（２）で示される還元電流は測定液５３４中の
酸素濃度に比例する。例えば測定液５３４中の酸素が増
すと、隔膜５３５を透過して電解液５３６に溶け込む酸
素の量が多くなり、直流電流計５３８に流れる還元電流
が電解液５３６中の酸素濃度に比例して大きくなる。ま
た、測定中の測定液５３４では、隔膜５３５付近が酸素
濃度が低い低濃度領域５３４ａとなっており、低濃度領
域５３４ａの外側が、低濃度領域５３４ａよりも酸素濃
度が高い中濃度領域５３４ｂとなっている。そして、中
濃度領域５３４ｂの外側が、中濃度領域５３４ｂよりも
酸素濃度が高い高濃度領域５３４ｃとなっている。この
ように、溶存酸素計は、溶存酸素計の回路中を流れる還
元電流を測定し、その還元電流の測定値を酸素濃度に換
算することによって測定液５３４の酸素濃度の測定を行
っている。[0060] 4Ag + 4OH - → 2Ag 2 O + 2H 2 O ····· (1) O 2 + 2H 2 O + 4e → 4OH - ········· (2) the above formula ( The reduction current shown in 2) is proportional to the oxygen concentration in the measurement liquid 534. For example, when the oxygen in the measurement liquid 534 increases, the amount of oxygen permeating through the diaphragm 535 and dissolving in the electrolyte 536 increases, and the reduction current flowing through the DC ammeter 538 increases in proportion to the oxygen concentration in the electrolyte 536. Become. Further, in the measurement liquid 534 during the measurement, the vicinity of the diaphragm 535 is a low concentration region 534a having a low oxygen concentration, and the outside of the low concentration region 534a is a middle concentration region 534b having a higher oxygen concentration than the low concentration region 534a. Has become. The outside of the middle concentration region 534b is a high concentration region 534c having a higher oxygen concentration than the middle concentration region 534b. As described above, the dissolved oxygen meter measures the reduction current flowing in the circuit of the dissolved oxygen meter, and converts the measured value of the reduction current into the oxygen concentration to measure the oxygen concentration of the measurement liquid 534.
【００６１】上述したように、ポーラロ式の酸素電極
は、陰極として白金、陽極として銀、電解液としてアル
カリ溶液を用いて外部電極による酸素の定電位電解が行
われるものである。このポーラロ式に対して、隔膜式の
溶存酸素計のもう一つの測定方法であるガルバニ式で
は、陽極として白金、陰極として鉛、電解液としてアル
カリ溶液を用い、外部電極を用いないで酸素電極自身の
電池反応による電圧を利用して酸素の定電位電解が行わ
れている。As described above, the polaro-type oxygen electrode is one in which platinum is used as a cathode, silver is used as an anode, and an alkaline solution is used as an electrolytic solution to carry out constant potential electrolysis of oxygen using an external electrode. In contrast to the polaro method, the galvanic method, which is another measuring method of a diaphragm type dissolved oxygen meter, uses platinum as an anode, lead as a cathode, an alkaline solution as an electrolyte, and the oxygen electrode itself without using an external electrode. The constant potential electrolysis of oxygen is performed using the voltage due to the battery reaction of the above.
【００６２】ポーラロ式はガルバニ式と比較して、次に
説明する利点を有している。第１の利点としては測定の
再現性がよい。第２の利点としては、沈殿物の発生が少
ないので長期的に測定が安定している。第３の利点とし
ては電圧を酸素電極をかけているので温度の影響が小さ
い。これらの利点により、本実施形態ではポーラロ式の
溶存酸素計を用いている。The polaro system has the following advantages over the galvanic system. The first advantage is good reproducibility of measurement. The second advantage is that the measurement is stable for a long period of time because the generation of precipitates is small. As a third advantage, since the voltage is applied to the oxygen electrode, the influence of temperature is small. Due to these advantages, a polaro-type dissolved oxygen meter is used in this embodiment.
【００６３】次に、図６に示したように、センサ５２３
をほぼ水平となるように容器５２８に取り付けたことに
ついて説明する。図７に示した溶存酸素計を長時間使用
していると、陽極５３２の表面に塩化銀の層が形成さ
れ、その塩化銀の層が陽極５３２から剥離して、陰極５
３１と隔膜５３５との間に入る。このように、陰極５３
１と隔膜５３５との間に塩化銀が入り込むと、溶存酸素
計の安定した性能が得られなくなってしまう。従って、
隔膜５３５を下方に向けて酸素電極５３７ａを取り付け
る方法では、塩化銀が陰極５３１と隔膜５３５との間に
入り込みやすいので、この取り付け方法は、長期にわた
って使用する場合、望ましいものでない。また、これと
は逆に隔膜５３５を上方に向けて酸素電極５３７ａを取
り付けようとすると、酸素電極５３７ａを容器５３９の
底面に取り付けることになり、図６に示した溶存酸素計
の場合、センサ５２３を容器５２８の底面に取り付けな
ければならない。しかしながら、容器５２８内の底部で
は、回転子５２６で撹拌を行うので、容器５２８の底面
でセンサ５２３とマグネチックスターラー５２４とを並
べる必要があり、容器５２８が大きくなる。容器５２８
が大きくなると容器５２８内に滞留するインクの量が多
くなってしまい望ましくない。従って、図６に示した溶
存酸素計では、センサ５２３の寿命が長く、かつ、容器
５２８内部の容積が小さくなるように、センサ５２３が
ほぼ水平に容器５２８に取り付けられている。Next, as shown in FIG.
A description will be given of the fact that is attached to the container 528 so as to be substantially horizontal. When the dissolved oxygen meter shown in FIG. 7 is used for a long time, a silver chloride layer is formed on the surface of the anode 532, and the silver chloride layer is peeled off from the anode 532, and the cathode 5
31 and between the diaphragm 535. Thus, the cathode 53
If silver chloride enters between the membrane 1 and the diaphragm 535, stable performance of the dissolved oxygen meter cannot be obtained. Therefore,
In the method of mounting the oxygen electrode 537a with the diaphragm 535 facing downward, silver chloride easily enters between the cathode 531 and the diaphragm 535, so this mounting method is not desirable when used for a long time. Conversely, when the oxygen electrode 537a is mounted with the diaphragm 535 facing upward, the oxygen electrode 537a is mounted on the bottom of the container 539. In the case of the dissolved oxygen meter shown in FIG. Must be attached to the bottom of the container 528. However, since the stirring is performed by the rotor 526 at the bottom in the container 528, the sensor 523 and the magnetic stirrer 524 need to be arranged on the bottom surface of the container 528, and the container 528 becomes large. Container 528
Is large, the amount of ink staying in the container 528 increases, which is not desirable. Therefore, in the dissolved oxygen meter shown in FIG. 6, the sensor 523 is attached to the container 528 almost horizontally so that the life of the sensor 523 is long and the volume inside the container 528 is small.
【００６４】〈インク供給系の動作〉図２に示したイン
ク供給系の動作について、図２及び図３を参照して説明
する。インクジェットヘッド１２０ａによるインク吐出
動作では、三方弁５０２，５０４，５０５が、前述した
ように図３に示した状態となるように制御される。三方
弁４０３では、チューブ３５６とチューブ４５４とが連
通し、チューブ４５３の三方弁４０３側の端部が閉じた
状態となっている。従って、三方弁４０３では、チュー
ブ３５６から三方弁４０３に向かって流れるインクがチ
ューブ４５４の方向、すなわち図２の矢印Ａの方向に流
れる。二方弁３８２は開いた状態となり、チューブ３８
１とチューブ３８３とが連通している。<Operation of Ink Supply System> The operation of the ink supply system shown in FIG. 2 will be described with reference to FIGS. In the ink ejection operation by the inkjet head 120a, the three-way valves 502, 504, and 505 are controlled so as to be in the state shown in FIG. 3 as described above. In the three-way valve 403, the tube 356 and the tube 454 communicate with each other, and the end of the tube 453 on the three-way valve 403 side is closed. Accordingly, in the three-way valve 403, ink flowing from the tube 356 toward the three-way valve 403 flows in the direction of the tube 454, that is, in the direction of arrow A in FIG. The two-way valve 382 is opened and the tube 38
1 and the tube 383 communicate with each other.
【００６５】サブタンク４０１ａは、メインタンク３０
１ａよりも高い位置に配置されている。従って、通常、
インクがインクジェットヘッドから吐出されている時に
は、サブタンク４０１ａに貯留されているインクの液面
の高さと、メインタンク３０１ａ内の液面の高さとには
差があるため、サブタンク４０１ａ内のインクがインク
ジェットヘッド１２０ａに向かってチューブ４５１に流
れ込む。チューブ４５１に流れ込んだインクは、流量計
４５６及びチューブ４５５を通過してメイン脱気装置５
１１ａ内に流れ込む。メイン脱気装置５１１ａに流れ込
んだインクは、メイン脱気装置５１１ａを通過すること
で脱気される。メイン脱気装置５１１ａを通過して溶存
気体量が少なくなったインクは、チューブ５７１、ジョ
イント５７７、チューブ５７４、三方弁５０４、チュー
ブ５５３、一体型カプラ５５５、チューブ５５１及びコ
ネクタ１０２をこの順番で通過してインクジェットヘッ
ド１２０ａに供給される。The sub tank 401a is
It is arranged at a position higher than 1a. Therefore, usually
When ink is being ejected from the ink jet head, there is a difference between the liquid level of the ink stored in the sub tank 401a and the liquid level in the main tank 301a. It flows into the tube 451 toward the head 120a. The ink that has flowed into the tube 451 passes through the flow meter 456 and the tube 455 and passes through the main deaerator 5.
11a. The ink flowing into the main deaerator 511a is deaerated by passing through the main deaerator 511a. The ink having a reduced dissolved gas amount after passing through the main deaerator 511a passes through the tube 571, the joint 577, the tube 574, the three-way valve 504, the tube 553, the integrated coupler 555, the tube 551, and the connector 102 in this order. Is supplied to the inkjet head 120a.
【００６６】インクの供給に応じて、インクジェットヘ
ッド１２０ａに形成された吐出口からインクを吐出して
透明ガラス基板上に着色を行う。この時にインクジェッ
トヘッド１２０ａへ送り込まれるインクは脱気装置３２
１及びメイン脱気装置５１１ａを通過しているので、そ
のインクは、吐出の不安定要因となる気泡が内部にない
だけでなく、溶存気体もほとんど取り除かれた状態であ
る。In accordance with the supply of the ink, the ink is ejected from the ejection port formed in the ink jet head 120a to color the transparent glass substrate. At this time, the ink sent to the inkjet head 120a is supplied to the deaerator 32.
1 and the main deaerator 511a, the ink is in a state in which not only air bubbles that cause unstable ejection but also dissolved gas are almost removed.
【００６７】本実施形態では、インク吐出時にインクジ
ェットヘッド１２０ａに供給されるインクの流量が３．
２cc/minとなるようにインク供給系が構成されている。
上述したように、インクジェットヘッド１２０ａに供給
されるインクの量に比べて、インクジェットヘッド１２
０ａから吐出されるインクの量は非常に少なく、吐出に
使われなかったインクはインクジェットヘッド１２０ａ
の排出口からコネクタ１０２を経てチューブ５５２に送
り出される。チューブ５５２に送られたインクは、一体
型カプラ５５５、チューブ５５４、三方弁５０５、チュ
ーブ５７６、三方弁５０２及びチューブ５７２をこの順
番で通過して溶存酸素計５２０の内部に流れ込み、流れ
込んだインク中の溶存気体量が溶存酸素計５２０によっ
て測定される。In the present embodiment, the flow rate of the ink supplied to the ink jet head 120a at the time of ink ejection is set to 3.
The ink supply system is configured to be 2 cc / min.
As described above, compared to the amount of ink supplied to the inkjet head 120a,
0a, the amount of ink ejected from the ink jet head 120a is very small.
Through the connector 102 to the tube 552. The ink sent to the tube 552 passes through the integrated coupler 555, the tube 554, the three-way valve 505, the tube 576, the three-way valve 502, and the tube 572 in this order, flows into the dissolved oxygen meter 520, and flows into the ink. Is measured by the dissolved oxygen meter 520.
【００６８】溶存酸素計５２０を通過したインクは、チ
ューブ４５２、ジョイント４７１、チューブ３８１、二
方弁３８２、チューブ３８３をこの順番で通過してメイ
ンタンク３０１ａ内に流し込まれる。また、サブタンク
４０１ａ内のインクの液面が低くなった場合には、その
液面が残量センサ４０５により検知される。この残量セ
ンサ４０５の検知結果に基づいてメインポンプ３０２が
駆動されてメインタンク３０１ａのインクがサブタンク
４０１ａに供給される。このようにインク供給系でイン
クを循環させつつインクジェットヘッド１２０ａへのイ
ンクの供給が行われている。The ink that has passed through the dissolved oxygen meter 520 passes through the tube 452, the joint 471, the tube 381, the two-way valve 382, and the tube 383 in this order, and flows into the main tank 301a. Further, when the liquid level of the ink in the sub tank 401 a becomes low, the liquid level is detected by the remaining amount sensor 405. The main pump 302 is driven based on the detection result of the remaining amount sensor 405, and the ink in the main tank 301a is supplied to the sub tank 401a. In this way, ink is supplied to the inkjet head 120a while circulating the ink in the ink supply system.
【００６９】上述したように本実施形態のインク供給系
では、インクジェットヘッド１２０ａを通過したインク
中の溶存気体量が溶存酸素計５２０によって測定され
る。溶存酸素計５２０により得られた測定値が既定値を
超えた場合、三方弁５０２，５０４，５０５を図４に示
したようにインクバイパス時の状態に切り換る。これに
より、インクジェットヘッド１２０ａへのインクの供給
が停止し、メイン脱気装置５１１ａからチューブ５７１
及び５７４を介して三方弁５０４に向かって流れるイン
クが、チューブ５７５、三方弁５０５、チューブ５７
６、三方弁５０２及びチューブ５７２を通して溶存酸素
計５２０に流し込まれる。As described above, in the ink supply system of this embodiment, the amount of dissolved gas in the ink that has passed through the ink jet head 120a is measured by the dissolved oxygen meter 520. When the measured value obtained by the dissolved oxygen meter 520 exceeds a predetermined value, the three-way valves 502, 504, and 505 are switched to the state at the time of ink bypass as shown in FIG. Accordingly, the supply of the ink to the inkjet head 120a is stopped, and the tube 571 is supplied from the main deaerator 511a.
And 574, the ink flowing toward the three-way valve 504 is supplied to the tube 575, the three-way valve 505, and the tube 57.
6. Flowed into the dissolved oxygen meter 520 through the three-way valve 502 and the tube 572.
【００７０】このようにサブタンク４０１ａからのイン
クが流量計４５６、メイン脱気装置５１１ａ、溶存酸素
計５２０をこの順番で通過してメインタンク３０１ａに
流し込まれるようにしておき、加圧モータ４０２を駆動
してタービン４０２ａを回転させる。これにより、サブ
タンク４０１ａ内のインクがチューブ４５１に圧出さ
れ、圧出されたインクがメイン脱気装置５１１ａ及び溶
存酸素計５２０を通過してメインタンク３０１ａに流れ
込む。また、サブタンク４０１ａ内のインクの液面が低
下し、その液面が残量センサ４０５により検知された場
合には、メインポンプ３０２が駆動されてメインタンク
３０１ａ内のインクが脱気装置３２１を通してサブタン
ク４０１ａに供給される。ここでも、溶存酸素計５２０
によりインク中の溶存気体量を測定し、測定値が既定値
以下になるまで加圧モータ４０２を駆動する。As described above, the ink from the sub-tank 401a passes through the flow meter 456, the main deaerator 511a, and the dissolved oxygen meter 520 in this order, and flows into the main tank 301a. Then, the turbine 402a is rotated. Thereby, the ink in the sub tank 401a is pressed out to the tube 451, and the pressed out ink flows into the main tank 301a through the main deaerator 511a and the dissolved oxygen meter 520. When the liquid level of the ink in the sub tank 401a decreases and the liquid level is detected by the remaining amount sensor 405, the main pump 302 is driven, and the ink in the main tank 301a is discharged through the deaerator 321 to the sub tank. 401a. Again, the dissolved oxygen meter 520
, The amount of dissolved gas in the ink is measured, and the pressurizing motor 402 is driven until the measured value becomes equal to or less than a predetermined value.
【００７１】このように、メイン脱気装置５１１ａや脱
気装置３２１によりインク中の溶存気体を除去するよう
にインク供給系でインクを循環させた後に、三方弁５０
２，５０４，５０５を、図３に示した状態に切り替え、
加圧モータ４０２を駆動して、脱気されたインクをイン
クジェットヘッド１２０ａに供給する。インク中の溶存
気体量は溶存酸素計５２０によって常にモニタされ、イ
ンクの溶存気体量が既定値以下となるように加圧回復の
動作が行われる。これにより、インクジェットヘッド１
２０ａには、脱気されたインクが常に送り込まれるよう
になり、インクジェットヘッド１２０ａの吐出の安定性
が確保される。As described above, after the ink is circulated in the ink supply system so that the dissolved gas in the ink is removed by the main deaerator 511a and the deaerator 321, the three-way valve 50
2, 504, 505 are switched to the state shown in FIG.
The pressurizing motor 402 is driven to supply the degassed ink to the inkjet head 120a. The dissolved gas amount in the ink is constantly monitored by the dissolved oxygen meter 520, and the operation of pressure recovery is performed so that the dissolved gas amount of the ink becomes equal to or less than a predetermined value. Thereby, the ink jet head 1
The degassed ink is always fed into the ink jet head 20a, and the ejection stability of the ink jet head 120a is ensured.
【００７２】また、インク供給系を長時間動作させなか
った時など、溶存酸素量が所定の値を越える場合には、
吐出の安定化を実現するために、三方弁５０２，５０
４，５０５を、前述したように図４に示したバイパス時
の状態に切り替える。そして、加圧モータ４０２を駆動
してタービン４０２ａを回転させることにより、サブタ
ンク４０１ａ内のインクがチューブ４５１に押し出され
てメイン脱気装置５１１ａ及び溶存酸素計５２０を通過
し、メインタンク３０１ａ内に流し込まれる。その後、
三方弁５０２，５０４，５０５を、図３に示したインク
吐出時の状態に切り替えて、再度、加圧モータ４０２を
駆動することにより、メイン脱気装置５１１ａを通過し
て十分に脱気されたインクがインクジェットヘッド１２
０ａに供給される。これにより、インクが無駄に消費さ
れず、インクジェットヘッドには、溶存酸素量が一定値
以下のインクが常に送り込まれ、インクの吐出の安定化
が実現される。When the amount of dissolved oxygen exceeds a predetermined value, such as when the ink supply system has not been operated for a long time,
In order to stabilize the discharge, the three-way valves 502, 50
4, 505 is switched to the state at the time of bypass shown in FIG. 4 as described above. Then, by driving the pressurizing motor 402 to rotate the turbine 402a, the ink in the sub tank 401a is pushed out by the tube 451, passes through the main deaerator 511a and the dissolved oxygen meter 520, and flows into the main tank 301a. It is. afterwards,
The three-way valves 502, 504, and 505 are switched to the state at the time of ink ejection shown in FIG. 3, and the pressurizing motor 402 is driven again, so that the gas passes through the main deaerator 511a and is sufficiently deaerated. The ink is the inkjet head 12
0a. As a result, the ink is not wastefully consumed, and the ink having the dissolved oxygen amount equal to or less than the predetermined value is always sent to the ink jet head, thereby stabilizing the ejection of the ink.
【００７３】このように本実施形態では、インクジェッ
トヘッド１２０ａへのインク供給時におけるインクの流
れ方向でインクジェットヘッド１２０ａよりも下流側に
溶存酸素計５２０を配置し、溶存酸素計５２０によっ
て、インクジェットヘッド１２０ａから排出されたイン
ク中の溶存酸素量を測定する。これにより、インクジェ
ットヘッド１２０ａ内にあるインク中の実際の溶存気体
量を正確に測定することができ、溶存酸素計５２０の測
定結果を基に、インクジェットヘッド１２０ａ内のイン
ク中の溶存気体量が所定の値以下となるように、インク
ジェットヘッド１２０ａ内のインク中の溶存気体量を管
理することができる。従って、インクジェットヘッド１
２０ａには、溶存気体量が少ないインクが常に供給され
ることになり、インクジェットヘッド１２０ａの吐出安
定性が充分に得られる。As described above, in the present embodiment, the dissolved oxygen meter 520 is disposed downstream of the ink jet head 120a in the ink flow direction when the ink is supplied to the ink jet head 120a. The amount of dissolved oxygen in the ink discharged from is measured. Thus, the actual dissolved gas amount in the ink in the ink jet head 120a can be accurately measured, and the dissolved gas amount in the ink in the ink jet head 120a is determined based on the measurement result of the dissolved oxygen meter 520. The amount of dissolved gas in the ink in the ink jet head 120a can be controlled so as to be equal to or less than the value of. Therefore, the inkjet head 1
The ink with a small amount of dissolved gas is always supplied to 20a, so that the ejection stability of the inkjet head 120a is sufficiently obtained.
【００７４】〈インク充填時の動作〉次に、図２に示し
たインク供給系にインクを充填するときの動作について
説明する。<Operation at the time of ink filling> Next, the operation at the time of filling the ink supply system shown in FIG. 2 with ink will be described.
【００７５】まず、インク供給系にインクを充填すると
きには、二方弁３０４及び３８２を閉じ、三方弁５０
２，５０４，５０５を、図４に示したバイパス時の状態
に切り替える。また、三方弁４０３では、チューブ３５
６とチューブ４５３とが連通し、チューブ４５４の三方
弁４０３側の端部が閉じた状態となっている。従って、
三方弁４０３では、チューブ３５６から三方弁４０３に
向かって流れるインクがチューブ４５３の方向、すなわ
ち図２の矢印Ｂの方向に流れる。First, when filling the ink supply system with ink, the two-way valves 304 and 382 are closed, and the three-way valve 50 is closed.
2, 504 and 505 are switched to the state at the time of bypass shown in FIG. In the three-way valve 403, the tube 35
6 and the tube 453 are in communication, and the end of the tube 454 on the three-way valve 403 side is closed. Therefore,
In the three-way valve 403, ink flowing from the tube 356 toward the three-way valve 403 flows in the direction of the tube 453, that is, in the direction of arrow B in FIG.
【００７６】この状態で第１の工程として、メインポン
プ３０２を動作させ、メインタンク３０１ａ内のインク
をチューブ３５１及び３５２を通してくみ上げると、イ
ンクは、チューブ３５３、フィルタ３１１、チューブ３
５４，３５５、脱気装置３２１、チューブ３５６、三方
弁４０３、チューブ４５３，４５２、溶存酸素計５２
０、チューブ５７２、三方弁５０２、チューブ５７６、
三方弁５０５、チューブ５７５、三方弁５０４、チュー
ブ５７４，５７１、メイン脱気装置５１１ａ、チューブ
４５５、流量計４５６、チューブ４５１、サブタンク４
０１ａ、ドレイン４０４、チューブ３５８をこの順番で
通過し、インク供給経路のほぼ全体にインクが行き渡
る。この時、メインポンプ３０２の流量は、２００cc/m
inに設定する。また、脱気装置３２１用の真空ポンプ３
２２は、脱気装置３２１内の真空度が約３０Torrとなる
ように運転し、メイン脱気装置５１１ａ用の真空ポンプ
５２２は、メイン脱気装置５１１ａ内の真空度が約１０
Torrとなるように運転する。In this state, as a first step, the main pump 302 is operated, and the ink in the main tank 301a is pumped up through the tubes 351 and 352.
54, 355, deaerator 321, tube 356, three-way valve 403, tubes 453, 452, dissolved oxygen meter 52
0, tube 572, three-way valve 502, tube 576,
Three-way valve 505, tube 575, three-way valve 504, tubes 574, 571, main deaerator 511a, tube 455, flow meter 456, tube 451, sub tank 4
01a, the drain 404, and the tube 358 in this order, and ink spreads over substantially the entire ink supply path. At this time, the flow rate of the main pump 302 is 200 cc / m
Set to in. Also, a vacuum pump 3 for the deaerator 321
22 is operated so that the degree of vacuum in the deaerator 321 becomes approximately 30 Torr, and the vacuum pump 522 for the main deaerator 511a is operated to reduce the degree of vacuum in the main deaerator 511a to about 10 Torr.
Drive to Torr.
【００７７】上記のような第１の工程によってインク供
給系にインクを充填した直後は、脱気装置３２１を通過
したインクが、チューブ３５６、三方弁４０３、チュー
ブ４５３，４５２、溶存酸素計５２０、チューブ５７
２、三方弁５０２、チューブ５７６、三方弁５０５、チ
ューブ５７５、三方弁５０４、チューブ５７４，５７
１、メイン脱気装置５１１ａに行き渡る。メイン脱気装
置５１１ａを通過したインクはさらに脱気されており、
脱気されたインクがチューブ４５５、流量計４５６、チ
ューブ４５１、サブタンク４０１ａの各々の内部に満た
される。Immediately after the ink is filled in the ink supply system in the first step as described above, the ink that has passed through the deaerator 321 is supplied to the tube 356, the three-way valve 403, the tubes 453, 452, the dissolved oxygen meter 520, Tube 57
2, three-way valve 502, tube 576, three-way valve 505, tube 575, three-way valve 504, tubes 574, 57
1. It reaches the main deaerator 511a. The ink that has passed through the main deaerator 511a is further deaerated,
The inside of each of the tube 455, the flow meter 456, the tube 451, and the sub tank 401a is filled with the degassed ink.
【００７８】ところが、図６に示したように、溶存酸素
計５２０を構成する容器５２８の内部には、センサ５２
３の先端部のためのスペースや、回転子５２６が回転す
るためのスペースとして、ある程度の容積が必要とさ
れ、この容器５２８内の容積が約１０ｍｌとなってい
る。また、チューブ５７２から容器５２８の内部に送り
込まれた空気がチューブ４５２を通して容器５２８の外
部に抜けやすくなるように、容器５２８でのチューブ５
７２及び４５２の接続位置が決定されている。従って、
前述したようにチューブ５７２が容器５２８の下部に接
続され、チューブ４５２が容器５２８の上部に接続され
ている。そのため、上述したインクの充填時にチューブ
４５２から容器５２８の内部に入った空気が全てチュー
ブ５７２に抜けていかず、一部の空気が容器５２８の内
部に残ってしまう。However, as shown in FIG. 6, the inside of the container 528 constituting the dissolved oxygen meter 520 has a sensor 52
A certain amount of volume is required as a space for the distal end of No. 3 and a space for rotating the rotor 526, and the volume in the container 528 is about 10 ml. In addition, the tube 5 in the container 528 is formed so that air sent from the tube 572 to the inside of the container 528 can easily escape through the tube 452 to the outside of the container 528.
The connection positions of 72 and 452 have been determined. Therefore,
As described above, the tube 572 is connected to the lower part of the container 528, and the tube 452 is connected to the upper part of the container 528. Therefore, all the air that has entered the inside of the container 528 from the tube 452 at the time of filling the ink does not escape to the tube 572, and a part of the air remains in the container 528.
【００７９】従って、一定時間、メインポンプ３０２を
運転させてインク供給系にインクを充填してからメイン
ポンプ３０２を停止した後に、二方弁３８２を開けた状
態にする。そして、第２の工程として、加圧モータ４０
２を駆動させ、前述したインクの充填時におけるインク
の流れとは逆向きにインクを送る。ここで、メインポン
プ３０２としては、メインポンプ３０２が運転停止の状
態のときに、メインポンプ３０２に接続されたチューブ
内のインクの流れを遮断する構造のものを用いている。
従って、サブタンク４０１ａから送られるインクは、ジ
ョイント４７１でチューブ４５３の方向へは流れず、チ
ューブ３８１、二方弁３８２及びチューブ３８３を通っ
てメインタンク３０１ａに戻される。Therefore, after the main pump 302 is operated for a certain period of time to fill the ink supply system with ink, the main pump 302 is stopped, and then the two-way valve 382 is opened. Then, as a second step, the pressing motor 40
2 is driven to send the ink in a direction opposite to the flow of the ink at the time of filling the ink. Here, as the main pump 302, one having a structure that shuts off the flow of ink in a tube connected to the main pump 302 when the operation of the main pump 302 is stopped is used.
Therefore, the ink sent from the sub tank 401a does not flow toward the tube 453 at the joint 471, but is returned to the main tank 301a through the tube 381, the two-way valve 382, and the tube 383.
【００８０】この第２の工程によって、サブタンク４０
１ａから流量計４５６、メイン脱気装置５１１ａ、三方
弁５０４，５０５，５０２、溶存酸素計５２０及び二方
弁３８２を通ってメインタンク３０１ａに至るインクの
経路内からは、ほぼ完全に空気が取り除かれる。また、
このようにして脱気されたインクは、メイン脱気装置５
１１ａから三方弁５０４，５０５，５０２を通過してチ
ューブ４５２，３８１、二方弁３８２、チューブ３８３
を経てメインタンク３０１ａ内へと、あるいは、さらに
メイン脱気装置５１１ａへと循環される。これによりイ
ンク経路内は、チューブ５７３を除いて、脱気されたイ
ンクで全て満たされることとなる。このような第１及び
第２の工程の循環動作を数回繰り返すことによって、循
環されるインクがメイン脱気装置５１１ａを何回か通過
することとなり、インクの脱気レベルが上がる。上述し
た第１及び第２の工程における動作は、図１に示した制
御ボックス２７によって制御される。In the second step, the sub tank 40
Air is almost completely removed from the ink path from 1a through the flow meter 456, the main deaerator 511a, the three-way valves 504, 505, 502, the dissolved oxygen meter 520 and the two-way valve 382 to the main tank 301a. It is. Also,
The ink thus degassed is supplied to the main degasser 5
11a, passing through the three-way valves 504, 505, 502, the tubes 452, 381, the two-way valve 382, the tube 383
And circulated into the main tank 301a or further to the main deaerator 511a. Thus, the inside of the ink path is completely filled with the degassed ink except for the tube 573. By repeating the circulation operation of the first and second steps several times, the circulated ink passes through the main deaerator 511a several times, and the deaeration level of the ink increases. The operations in the first and second steps described above are controlled by the control box 27 shown in FIG.
【００８１】次に、インクが充填されていない残りの部
分に、脱気されたインクを充填するために、三方弁５０
２，５０４，５０５を、図５に示したようにインクジェ
ットヘッド１２０ａの供給口及び排出口の両側に向けて
インクを加圧するための状態に切り替える。そして、加
圧モータ４０２を駆動してサブタンク４０１ａからイン
クを送り出すと、チューブ５７３，５５３，５５４，５
５１，５５２やインクジェットヘッド１２０ａ内に、脱
気されたインクが充填される。Next, in order to fill the remaining portion not filled with ink with the degassed ink, a three-way valve 50 is used.
5, 2, and 505 are switched to a state for pressurizing the ink toward both sides of the supply port and the discharge port of the inkjet head 120a as shown in FIG. When the ink is sent from the sub tank 401a by driving the pressurizing motor 402, the tubes 573, 553, 554, 5
The degassed ink is filled in the ink jet heads 51 and 552 and the inkjet head 120a.
【００８２】このように、本実施形態では、インクジェ
ットヘッド１２０ａの近傍でインクジェットヘッド１２
０ａを通らない経路を経由してインクを循環させること
のできる液体循環経路を設けることによって、メイン脱
気装置５１１ａとインクジェットヘッド１２０ａとの間
のインクを無駄に捨てずに、インクの消費を最小限にと
どめて効率的にインク供給系全体に、脱気されたインク
を満たすことができる。As described above, in this embodiment, the inkjet head 12 is located near the inkjet head 120a.
By providing a liquid circulation path through which ink can be circulated via a path that does not pass through Oa, ink consumption between the main deaerator 511a and the inkjet head 120a is minimized without wasteful disposal. As a result, the entire ink supply system can be efficiently filled with the degassed ink.
【００８３】〈インク交換時の動作〉次に、図２に示さ
れるインク供給系でインクを交換する時の動作について
説明する。インク供給経路内のインクの交換は、コネク
タ１０２の接続を切り離すことなく実現される。<Operation at the time of ink replacement> Next, the operation at the time of ink replacement in the ink supply system shown in FIG. 2 will be described. The replacement of the ink in the ink supply path is realized without disconnecting the connector 102.
【００８４】まず、インク供給系からインクを抜く動作
について説明する。二方弁３０４を開き、二方弁３８２
を閉じて、三方弁５０２，５０４，５０５を、図４に示
したバイパス時の状態に切り替える。また、三方弁４０
３では、チューブ３５６とチューブ４５３とが連通し、
チューブ３５６からチューブ４５３に向かって、図２の
矢印Ｂの方向にインクが流れる状態にする。この状態で
メインポンブ３０２を動作させると、二方弁３０４の、
何も接続されていない口から空気が吸い込まれる。二方
弁３０４から吸い込まれた空気は、チューブ３５７，３
５２、メインポンプ３０２、チューブ３５３、フィルタ
３１１、チューブ３５４，３５５、脱気装置３２１、チ
ューブ３５６、三方弁４０３、チューブ４５３，４５
２、溶存酸素計５２０、チューブ５７２、三方弁５０
２、チューブ５７６、三方弁５０５、チューブ５７５、
三方弁５０４、チューブ５７４，５７１、メイン脱気装
置５１１ａ、チューブ４５５、流量計４５６、チューブ
４５１をこの順番で通過してサブタンク４０１ａの内部
に流し込まれる。First, the operation of removing ink from the ink supply system will be described. The two-way valve 304 is opened, and the two-way valve 382 is opened.
Is closed, and the three-way valves 502, 504, and 505 are switched to the bypass state shown in FIG. Also, the three-way valve 40
In 3, the tube 356 communicates with the tube 453,
The ink flows from the tube 356 toward the tube 453 in the direction of arrow B in FIG. When the main pump 302 is operated in this state, the two-way valve 304
Air is sucked in from an unconnected mouth. The air sucked from the two-way valve 304 is supplied to the tubes 357, 3
52, main pump 302, tube 353, filter 311, tubes 354, 355, deaerator 321, tube 356, three-way valve 403, tubes 453, 45
2, dissolved oxygen meter 520, tube 572, three-way valve 50
2, tube 576, three-way valve 505, tube 575,
The three-way valve 504, the tubes 574, 571, the main deaerator 511a, the tube 455, the flow meter 456, and the tube 451 are passed in this order and flow into the inside of the sub tank 401a.
【００８５】このようにインク供給系に空気が流し込ま
れることにより、インク経路の内部にあったインクはサ
ブタンク４０１ａの内部へ流し込まれる。サブタンク４
０１ａでは、チューブ４５１からサブタンク４０１ａ内
にインクが流し込まれることでインクの液位が上昇し、
サブタンク４０１ａ内のインクがドレイン４０４及びチ
ューブ３５８を通してメインタンク３０１ａの内部へ流
し込まれる。従って、サブタンク４０１ａ内のドレイン
４０４よりも低い部分のインクを除いて、インク経路内
のインクがほぼ全てメインタンク３０１ａに流し込ま
れ、インク経路内に残されたインクのほとんどがメイン
タンク３０１ａに回収される。[0086] As described above, by flowing air into the ink supply system, the ink inside the ink path is flowed into the sub tank 401a. Sub tank 4
In 01a, the ink level rises by flowing the ink from the tube 451 into the sub tank 401a,
The ink in the sub tank 401a flows into the main tank 301a through the drain 404 and the tube 358. Therefore, except for the portion of the ink lower than the drain 404 in the sub tank 401a, almost all of the ink in the ink path flows into the main tank 301a, and most of the ink remaining in the ink path is collected in the main tank 301a. You.
【００８６】サブタンク４０１ａ内に残されたインクを
回収するためには、カプラプラグ３７４にカプラソケッ
ト３７５を接続する。そして、吸引ポンプ３７７を駆動
することによって、サブタンク４０１ａ内のインクが、
チューブ４５１、流量計４５６、チューブ４５５、メイ
ン脱気装置５１１ａ、チューブ５７１，５７４、三方弁
５０４、チューブ５７５、三方弁５０５、チューブ５７
６、三方弁５０２、チューブ５７２、溶存酸素計５２
０、チューブ４５２，４５３、三方弁４０３、チューブ
３５６、脱気装置３２１、チューブ３５５，３７３、カ
プラプラグ３７４、カプラソケット３７５、チューブ３
７６、吸引ポンプ３７７、チューブ３７８をこの順番で
通過して廃液タンク３７９に流し込まれる。To collect the ink remaining in the sub tank 401a, a coupler socket 375 is connected to the coupler plug 374. Then, by driving the suction pump 377, the ink in the sub tank 401a is
Tube 451, flow meter 456, tube 455, main deaerator 511a, tubes 571, 574, three-way valve 504, tube 575, three-way valve 505, tube 57
6, three-way valve 502, tube 572, dissolved oxygen meter 52
0, tubes 452, 453, three-way valve 403, tube 356, deaerator 321, tubes 355, 373, coupler plug 374, coupler socket 375, tube 3
76, the suction pump 377, and the tube 378 in this order, and are poured into the waste liquid tank 379.
【００８７】上記の動作により、メインタンク３０１ａ
や、三方弁５０４及び５０５からインクジェットヘッド
１２０ａまでの間のチューブ５５３，５５４，５５１，
５５２及び、チューブ５７３以外のインク経路は、ほぼ
完全にインクが抜けた状態となる。その後、メインタン
ク３０１ａごと別のメインタンクに交換するか、メイン
タンク３０１ａ内のインクを入れ換えることによってイ
ンクが交換される。By the above operation, the main tank 301a
And tubes 553, 554, 551, between the three-way valves 504 and 505 and the inkjet head 120a.
The ink paths other than the ink path 552 and the tube 573 are in a state where the ink is almost completely removed. Thereafter, the ink is replaced by replacing the main tank 301a with another main tank or by replacing the ink in the main tank 301a.
【００８８】さらにその後、インク供給系のインク経路
内に、入れ換えた新しいインクを充填する際には、前述
したようなインクを充填する動作を行う。そのインクの
充填動作を行う際には、チューブ５７３及びチューブ５
５３，５５４，５５１，５５２や、インクジェットヘッ
ド１２０ａの内部には交換前のインクが残されたままで
あるが、残されたインクは脱気されており、交換前のイ
ンクで満たされたインク経路には空気が入り込んでいな
い。例えばチューブ５７３に空気が入り込んだ場合に
は、次に説明する動作によりチューブ５７３内の空気を
排除することができる。Thereafter, when the replaced new ink is filled in the ink path of the ink supply system, the above-described ink filling operation is performed. When performing the ink filling operation, the tubes 573 and 5
53, 554, 551, 552 and the inside of the ink jet head 120a, the ink before replacement remains, but the remaining ink is degassed, and the ink path is filled with the ink before replacement. Has no air. For example, when air enters the tube 573, the air in the tube 573 can be removed by the operation described below.
【００８９】二方弁３０４を閉じ、二方弁３８２を開
き、三方弁５０２，５０４，５０５を、図５に示した状
態に切り替える。そして、わずかな時間だけ加圧モータ
４０２を駆動してサブタンク４０１ａ内のインクをチュ
ーブ４５１へ加圧し、チューブ５７３内の空気を、三方
弁５０２を通してチューブ５７６の内部へ送り込む。次
に、三方弁５０２，５０４，５０５をバイパス時の状態
に切り替え、加圧モータ４０２を駆動することによっ
て、チューブ５７６内の空気が、三方弁５０２、チュー
ブ５７２、溶存酸素計５２０、チューブ４５２，３８
１，３８３と経由してメインタンク３０１ａの内部に送
り込まれる。これにより、インク供給路内は全て、空気
が一切含まれていない状態となる。また、この時、チュ
ーブ５７３に残っている交換前のインクが、交換後の新
しいインクと混じり合ってしまうが、チューブ５７３内
の残ったインクはインク供給系の総インク量に対してご
くわずかな量であり、また、全く異なる色ではなく、濃
度や色が若干異なる程度の違いであるため、カラーフィ
ルタを形成する際に特に問題となるレベルではない。The two-way valve 304 is closed, the two-way valve 382 is opened, and the three-way valves 502, 504, and 505 are switched to the state shown in FIG. Then, the pressurizing motor 402 is driven for a short time to pressurize the ink in the sub tank 401a to the tube 451, and the air in the tube 573 is sent into the tube 576 through the three-way valve 502. Next, by switching the three-way valves 502, 504, and 505 to the state at the time of bypass and driving the pressurizing motor 402, the air in the tube 576 is released from the three-way valve 502, the tube 572, the dissolved oxygen meter 520, the tube 452, 38
1, 383, and is fed into the main tank 301a. As a result, the inside of the ink supply path is completely free of air. At this time, the ink before replacement remaining in the tube 573 is mixed with the new ink after replacement, but the remaining ink in the tube 573 is very small with respect to the total ink amount of the ink supply system. It is not a level that is particularly problematic when forming a color filter because it is an amount and not a completely different color but a slightly different density or color.
【００９０】その後、三方弁５０２，５０４，５０５
を、図５に示した状態に切り替えて加圧モータ４０２を
駆動することによって、チューブ５５３，５５４，５５
１，５５２、及びインクジェットヘッド１２０ａの内部
に残っている交換前のインクがインクジェットヘッド１
２０ａの吐出口から押し出される。この時、インク供給
経路中に空気が一切存在しないので、インクジェットヘ
ッド１２０ａに空気が送り込まれないだけでなく、イン
クジェットヘッド１２０ａには、高いレベルに脱気され
たインクが供給されることとなる。Thereafter, the three-way valves 502, 504, 505
Are switched to the state shown in FIG. 5 to drive the pressurizing motor 402 so that the tubes 553, 554, 55
1 and 552 and the ink before replacement remaining inside the inkjet head 120a is the inkjet head 1
It is extruded from the outlet of 20a. At this time, since no air exists in the ink supply path, not only is the air not sent to the inkjet head 120a, but also the ink that has been degassed to a high level is supplied to the inkjet head 120a.
【００９１】また、インクを交換する際にインクジェッ
トヘッド１２０ａを取り外す必要がないので、インクジ
ェットヘッド取り付け直後に、そのインクジェットヘッ
ドの位置合わせの操作を行う必要がない。Further, since there is no need to remove the ink jet head 120a when exchanging ink, there is no need to perform an operation of positioning the ink jet head immediately after the ink jet head is attached.
【００９２】〈カラーフィルタの製造方法〉図１に示さ
れる本実施形態のカラーフィルタ製造装置を用いたカラ
ーフィルタの製造方法について図８を参照して説明す
る。<Method of Manufacturing Color Filter> A method of manufacturing a color filter using the color filter manufacturing apparatus of the present embodiment shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG.
【００９３】図８は、図１に示されるカラーフィルタ製
造装置を用いたカラーフィルタの製造方法を説明するた
めの図である。本実施形態のカラーフィルタ製造装置に
よるカラーフィルタの製造方法では、図８に示される図
（ａ）〜図（ｆ）の工程を経てカラーフィルタが製造さ
れる。図８（ｃ）及び（ｅ）の中のｈνは、照射する光
の強度を示している。FIG. 8 is a view for explaining a method of manufacturing a color filter using the color filter manufacturing apparatus shown in FIG. In the method for manufacturing a color filter by the color filter manufacturing apparatus of the present embodiment, the color filter is manufactured through the steps shown in FIGS. Hv in FIGS. 8C and 8E indicates the intensity of light to be applied.
【００９４】まず、図８（ａ）において、基板１の表面
に、遮光部であるブラックマトリクス２を形成する。ブ
ラックマトリクス２には開口部が形成されていて、その
開口部が基板１の表面で光透過部７となっている。First, in FIG. 8A, a black matrix 2 as a light shielding portion is formed on the surface of the substrate 1. An opening is formed in the black matrix 2, and the opening serves as a light transmitting portion 7 on the surface of the substrate 1.
【００９５】本実施形態においては、基板１として一般
にガラス基板が用いられるが、液晶用カラーフィルタと
しての透明性、機械的強度などの必要特性を有するもの
であればガラス基板に限定されるものではない。In the present embodiment, a glass substrate is generally used as the substrate 1. However, the substrate 1 is not limited to a glass substrate as long as it has necessary characteristics such as transparency and mechanical strength as a color filter for liquid crystal. Absent.
【００９６】次に、図８（ｂ）において、ブラックマト
リクス２が形成された基板１の表面上に、光を照射する
か、あるいは光を照射すると共と加熱することにより硬
化可能であり、かつインク受容性を有する樹脂組成物を
塗布し、必要に応じてプリベークを行って樹脂組成物層
３を形成する。基板１の表面に樹脂組成物を塗布する方
法として、スピンコート、ロールコート、バーコート、
スプレーコート、ディップコートなどの塗布方法を用い
ることができ、特に限定されるものではない。次に、図
８（ｃ）において、樹脂組成物層３の表面に対して、所
望のパターンを有するフォトマスク４を使用してパター
ン露光を行うことにより、樹脂組成物層３の、ブラック
マトリクス２に対応する部分の一部を硬化させ、インク
を吸収しない非着色部５を形成する。この非着色部５
は、ブラックマトリクス２に形成された複数の開口部を
１つずつ区分けするように形成されている。その後、フ
ォトマスク４を除去する。Next, in FIG. 8 (b), the surface of the substrate 1 on which the black matrix 2 is formed can be cured by irradiating light, or by irradiating with light and heating together. A resin composition having ink receptivity is applied, and prebaking is performed as necessary to form a resin composition layer 3. As a method of applying the resin composition to the surface of the substrate 1, spin coating, roll coating, bar coating,
An application method such as a spray coat or a dip coat can be used, and is not particularly limited. Next, in FIG. 8C, the surface of the resin composition layer 3 is subjected to pattern exposure using a photomask 4 having a desired pattern, whereby the black matrix 2 of the resin composition layer 3 is formed. Is hardened to form a non-colored portion 5 that does not absorb ink. This uncolored part 5
Are formed so as to divide the plurality of openings formed in the black matrix 2 one by one. After that, the photomask 4 is removed.
【００９７】次に、図８（ｄ）において、図１に示した
カラーフィルタ製造装置のインクジェットヘッド１２０
によって、樹脂組成物層３に対して着色を行う。この
時、樹脂組成物層３では、Ｒ（赤）に対応する領域にＲ
のインクが、Ｇ（緑）に対応する領域にＧのインクが、
Ｂ（青）に対応する領域にＢのインクがインクジェット
ヘッド１２０から吐出される。このインクジェットヘッ
ド１２０による樹脂組成物層３の着色は１つの工程で一
度に行われる。その後、必要に応じて基板１上のインク
の乾燥を行う。図８（ｃ）に示したフォトマスク４とし
ては、前述したように、樹脂組成物層３の、ブラックマ
トリクス２に対応する部分を硬化させるために開口部を
有したものを用いる。この際、ブラックマトリクス２に
接する部分での着色剤の色抜けを防止するために比較的
多くのインクを付与することが必要である。そのため
に、フォトマスク４の開口部は、図８（ｃ）に示される
ようにブラックマトリクス２の幅よりも狭いことが好ま
しい。Next, in FIG. 8D, the ink jet head 120 of the color filter manufacturing apparatus shown in FIG.
Thereby, the resin composition layer 3 is colored. At this time, in the resin composition layer 3, R (red) corresponds to the region corresponding to R (red).
Is in the area corresponding to G (green),
B ink is ejected from the inkjet head 120 to a region corresponding to B (blue). The coloring of the resin composition layer 3 by the inkjet head 120 is performed in one step at a time. Thereafter, the ink on the substrate 1 is dried as necessary. As described above, the photomask 4 shown in FIG. 8C has an opening for curing the portion of the resin composition layer 3 corresponding to the black matrix 2. At this time, it is necessary to apply a relatively large amount of ink in order to prevent the colorant from missing in a portion in contact with the black matrix 2. Therefore, it is preferable that the opening of the photomask 4 is narrower than the width of the black matrix 2 as shown in FIG.
【００９８】着色に使用するインクとしては、色素系、
顔料系のどちらのものも使用可能であり、また、液状イ
ンク、ソリッドインク共に使用可能である。The inks used for coloring include pigments,
Both types of pigments can be used, and both liquid inks and solid inks can be used.
【００９９】本実施形態で使用するインクジェット方式
としては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用
いたバブルジェットタイプ、あるいは圧電素子を用いた
ピエゾジェットタイプなどが使用可能であり、着色面積
及び着色パターンは任意に設定することができる。As the ink jet system used in this embodiment, a bubble jet type using an electrothermal converter or a piezo jet type using a piezoelectric element can be used as an energy generating element. Can be set arbitrarily.
【０１００】また、本実施形態では、基板上にブラック
マトリクスが形成された例を示しているが、ブラックマ
トリクスは、硬化可能な樹脂組成物層を形成後、あるい
は着色後に樹脂組成物層上に形成されたものであっても
特に問題はなく、ブラックマトリクスが形成される形態
は本実施形態に限定されるものではない。また、ブラッ
クマトリクスの形成方法としては、基板上にスパッタも
しくは蒸着により金属薄膜を形成し、その金属薄膜をフ
ォトリソグラフィー工程によりパターニングすることが
好ましいが、この形成方法に限定されるものではない。In this embodiment, an example is shown in which a black matrix is formed on a substrate. However, the black matrix is formed on the resin composition layer after the curable resin composition layer is formed or after being colored. Even if it is formed, there is no particular problem, and the form in which the black matrix is formed is not limited to this embodiment. As a method for forming a black matrix, it is preferable to form a metal thin film on a substrate by sputtering or vapor deposition, and pattern the metal thin film by a photolithography process, but it is not limited to this method.
【０１０１】次に、図８（ｅ）において、光照射のみ、
熱処理のみ、または光照射及び熱処理を行って硬化可能
な樹脂組成物層３を硬化させる。これにより、基板１の
表面に、赤色領域６ａ、緑色領域６ｂ及び青色領域６ｃ
が形成される。Next, in FIG. 8E, only light irradiation is performed.
The heat curable resin composition layer 3 is cured only by heat treatment or by light irradiation and heat treatment. Thereby, the red region 6a, the green region 6b, and the blue region 6c are formed on the surface of the substrate 1.
Is formed.
【０１０２】次に、図８（ｆ）において、赤色領域６
ａ，緑色領域６ｂ，青色領域６ｃ、及び非着色部５の表
面全体に、必要に応じて保護層８を形成する。なお、図
８（ｃ）及び（ｅ）において光の強度をｈνで示した
が、熱処理の場合は、強度がｈνの光の代わりに熱を加
える。保護層８としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプ
あるいは光熱併用タイプの樹脂組成物を用いて形成する
か、あるいは無機材料を用いて蒸着またはスパッタによ
って形成することができ、カラーフィルタとした場合の
透明性を有し、その後のＩＴＯ（Indium Tin Oxide）形
成プロセス、配向膜形成プロセスなどに十分耐えうるも
のであればよい。Next, in FIG.
a, a green layer 6b, a blue area 6c, and a protective layer 8 are formed on the entire surface of the non-colored portion 5 as necessary. In FIGS. 8C and 8E, the light intensity is indicated by hν, but in the case of heat treatment, heat is applied instead of the light having the intensity hν. The protective layer 8 can be formed using a resin composition of a photo-curing type, a thermo-setting type, or a combination of light and heat, or can be formed by vapor deposition or sputtering using an inorganic material. Any material may be used as long as it has transparency and can withstand the subsequent ITO (Indium Tin Oxide) forming process, alignment film forming process, and the like.
【０１０３】〈カラーフィルタの構成〉次に、上述した
カラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィ
ルタについて説明する。図９は、本実施形態のカラーフ
ィルタ製造装置により製造されたカラーフィルタのパタ
ーンを示す図である。<Structure of Color Filter> Next, a color filter manufactured by the above-described method for manufacturing a color filter will be described. FIG. 9 is a diagram illustrating a pattern of a color filter manufactured by the color filter manufacturing apparatus according to the present embodiment.
【０１０４】図９に示すように、Ｒ（赤），Ｇ（緑），
Ｂ（青）のインクにより着色された赤色領域６ａ，緑色
領域６ｂ，青色領域６ｃのそれぞれが、一つの画素（フ
ィルタエレメント）を構成しており、各画素の形状はほ
ぼ長方形をしている。画素の大きさは全て同じで、一方
の辺の長さａが１５０μｍであり、他方の辺の長さｂが
６０μｍである。一つの画素の長手方向をＸ方向とし、
Ｘ方向と直角な方向をＹ方向とすると、Ｘ方向のピッチ
ｃが３００μｍ、Ｙ方向のピッチｄが１００μｍであ
る。そして、Ｘ方向には同じ色の画素が一直線上に配列
され、Ｙ方向にはＲ，Ｇ，Ｂの順で並んだ３つの画素が
Ｙ方向に繰り返すように配列されている。また、この図
９に示されるカラーフィルタのパターンは、図８（ａ）
の工程で形成されたブラックマトリクス２のパターンに
相当する。画素の個数は、Ｘ方向に４８０個、Ｙ方向に
１９２０個（各色６４０個）である。As shown in FIG. 9, R (red), G (green),
Each of the red region 6a, the green region 6b, and the blue region 6c colored with B (blue) ink forms one pixel (filter element), and the shape of each pixel is substantially rectangular. The sizes of the pixels are all the same, the length a of one side is 150 μm, and the length b of the other side is 60 μm. Let the longitudinal direction of one pixel be the X direction,
Assuming that the direction perpendicular to the X direction is the Y direction, the pitch c in the X direction is 300 μm and the pitch d in the Y direction is 100 μm. Then, pixels of the same color are arranged on a straight line in the X direction, and three pixels arranged in the order of R, G, B in the Y direction are arranged so as to be repeated in the Y direction. Further, the pattern of the color filter shown in FIG.
Corresponds to the pattern of the black matrix 2 formed in the step. The number of pixels is 480 in the X direction and 1920 in the Y direction (640 for each color).
【０１０５】図１０は、図１に示した本実施形態のカラ
ーフィルタ製造装置により製造されたカラーフィルタの
画面全体の大きさを示す図である。図１０に示すよう
に、カラーフィルタの画面全体の大きさは、一方の辺の
長さｅが１４４ｍｍ、他方の辺の長さｆがｌ９２ｍｍ、
対角線の長さｇが２４０ｍｍとなっており、９．４イン
チサイズの液晶パネル用に対応している。FIG. 10 is a diagram showing the size of the entire screen of a color filter manufactured by the color filter manufacturing apparatus of this embodiment shown in FIG. As shown in FIG. 10, the size of the entire screen of the color filter is such that the length e of one side is 144 mm, the length f of the other side is 192 mm,
The length g of the diagonal line is 240 mm, which corresponds to a 9.4 inch size liquid crystal panel.
【０１０６】[0106]
【発明の効果】以上説明したように本発明は、インクジ
ェットヘッドの内部で液体が流動するようにインクジェ
ットヘッドに液体を供給する際に、インクジェットヘッ
ドから排出された液体中の溶存気体量を測定することに
より、インクジェットヘッド内にある液体中の実際の溶
存気体量を正確に測定することができ、溶存気体量の測
定値を基に、インクジェットヘッド内の液体中の溶存気
体量が所定の値以下となるようにその液体中の溶存気体
量を管理することができる。これにより、インクジェッ
トヘッドには、溶存気体量が少ない液体が常に供給さ
れ、インクジェットヘッドの吐出安定性を充分に確保す
ることができるという効果がある。As described above, the present invention measures the amount of dissolved gas in the liquid discharged from the ink jet head when supplying the liquid to the ink jet head so that the liquid flows inside the ink jet head. By this, the actual dissolved gas amount in the liquid in the ink jet head can be accurately measured, and based on the measured value of the dissolved gas amount, the dissolved gas amount in the liquid in the ink jet head is equal to or less than a predetermined value. The amount of dissolved gas in the liquid can be controlled so that As a result, a liquid having a small amount of dissolved gas is always supplied to the inkjet head, and there is an effect that the ejection stability of the inkjet head can be sufficiently ensured.
【０１０７】また、上記のようにインクジェットヘッド
内の液体中の溶存気体量を管理するインクジェット記録
装置をカラーフィルタ製造装置に用いることにより、カ
ラーフィルタを製造する際の歩留りが高くなり、低価格
のカラーフィルタを製造することができるという効果が
ある。Further, by using the ink jet recording apparatus for controlling the amount of dissolved gas in the liquid in the ink jet head for the color filter manufacturing apparatus as described above, the yield in manufacturing the color filter is increased and the cost is reduced. There is an effect that a color filter can be manufactured.
【図１】本発明の一実施形態のカラーフィルタ製造装置
を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a color filter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１に示されるカラーフィルタ製造装置のイン
ク供給系の構成を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration of an ink supply system of the color filter manufacturing apparatus shown in FIG.
【図３】図２に示したインクジェットヘッドからインク
を吐出する際の三方弁の状態を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a state of a three-way valve when ink is ejected from the inkjet head illustrated in FIG. 2;
【図４】図２に示したインクジェットヘッドを避けてイ
ンクを循環させるために、インクをバイパスする際の三
方弁の状態を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a state of a three-way valve when ink is bypassed in order to circulate the ink while avoiding the inkjet head shown in FIG. 2;
【図５】図２に示したインクジェットヘッドの供給口及
び排出口の両側に向けてインク供給経路内のインクを加
圧する際の三方弁の状態を示す図である。5 is a diagram illustrating a state of a three-way valve when ink in an ink supply path is pressurized toward both sides of a supply port and a discharge port of the inkjet head illustrated in FIG. 2;
【図６】図２に示される溶存酸素計の詳細を示す断面図
である。FIG. 6 is a sectional view showing details of a dissolved oxygen meter shown in FIG. 2;
【図７】ポーラロ式の溶存酸素計の測定原理を説明する
ための模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram for explaining a measurement principle of a polaro-type dissolved oxygen meter.
【図８】図１に示されるカラーフィルタ製造装置を用い
たカラーフィルタの製造方法を説明するための図であ
る。FIG. 8 is a diagram for explaining a method of manufacturing a color filter using the color filter manufacturing apparatus shown in FIG.
【図９】図１に示されるカラーフィルタ製造装置により
製造されたカラーフィルタのパターンを示す図である。9 is a diagram showing a pattern of a color filter manufactured by the color filter manufacturing apparatus shown in FIG.
【図１０】図１に示されるカラーフィルタ製造装置によ
り製造されたカラーフィルタの画面全体を示す図であ
る。10 is a diagram showing an entire screen of a color filter manufactured by the color filter manufacturing apparatus shown in FIG.
１ 基板 ２ ブラックマトリクス ３ 樹脂組成物層 ４ フォトマスク ５ 非着色部 ６ａ 赤色領域 ６ｂ 緑色領域 ６ｃ 青色領域 ８ 保護層 ２１ 架台 ２２ ＸＹステージ ２３ 支持部材 ２４ 支柱 ２４ａ 取り付け部 ２６ ケーブル ２７ 制御ボックス ２８ キーボード ２９ ディスプレイ ３０ 弁ボックス ３１ ケーブル ３２ インク供給ユニット ３３ インク供給チューブ １０２ コネクタ １２０、１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ インクジェ
ットヘッド ３０１ａ、３０１ｂ、３０１ｃ メインタンク ３０２ メインポンプ ３０４、３８２ 二方弁 ３１１ フィルタ ３２１ 脱気装置 ３２２ 真空ポンプ ３２３、３５１、３５２、３５３、３５４、３５５、３
５６、３５７、３５８、３７３、３７６、３７８、３８
１、３８３、４５１、４５２、４５３、４５４、４５
５、５５１、５５２、５５３、５５４、５７１、５７
２、５７３、５７４、５７５、５７６、５８０、５８
１、５８２ チューブ ３５０ インク残量センサ ３７１、３７２、４７１、５７７、５８３ ジョイン
ト ３７４ カプラプラグ ３７５ カプラソケット ３７７ 吸引ポンプ ３７９ 廃液タンク ４０１ａ、４０１ｂ、４０１ｃ サブタンク ４０２ 加圧モータ ４０２ａ タービン ４０４ ドレイン ４０５ 残量センサ ４５６ 流量計 ４０３、５０２、５０４、５０５ 三方弁 ５１１ａ、５１１ｂ、５１１ｃ メイン脱気装置 ５２０ 溶存酸素計（チャンバ） ５２１ 真空メータ ５２２ 真空ポンプ ５２３ センサ ５２４ マグネチックスターラー ５２６ 回転子 ５２７ａ、５２７ｂ チューブ継手 ５２８ 容器 ５２９ センサ固定治具 ５３１ 陰極 ５３２ 陽極 ５３３ 定電圧電源 ５３４ 測定液 ５３４ａ 低濃度領域 ５３４ｂ 中濃度領域 ５３４ｃ 高濃度領域 ５３５ 隔膜 ５３６ 電解液 ５３７ 電極ボディ ５３７ａ 酸素電極 ５３８ 直流電流計 ５３９ 容器 ５５５ カプラ ５５７ 脱着センサDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Black matrix 3 Resin composition layer 4 Photomask 5 Non-colored part 6a Red area 6b Green area 6c Blue area 8 Protective layer 21 Mount 22 XY stage 23 Support member 24 Support 24a Mounting part 26 Cable 27 Control box 28 Keyboard 29 Display 30 Valve box 31 Cable 32 Ink supply unit 33 Ink supply tube 102 Connector 120, 120a, 120b, 120c Inkjet head 301a, 301b, 301c Main tank 302 Main pump 304, 382 Two-way valve 311 Filter 321 Deaerator 322 Vacuum pump 323, 351, 352, 353, 354, 355, 3
56, 357, 358, 373, 376, 378, 38
1,383,451,452,453,454,45
5,551,552,553,554,571,57
2,573,574,575,576,580,58
1, 582 Tube 350 Ink remaining amount sensor 371, 372, 471, 577, 583 Joint 374 Coupler plug 375 Coupler socket 377 Suction pump 379 Waste liquid tank 401a, 401b, 401c Sub tank 402 Pressurized motor 402a Turbine 404 Drain 405 Remaining sensor 456 Flow meter 403, 502, 504, 505 Three-way valve 511a, 511b, 511c Main deaerator 520 Dissolved oxygen meter (chamber) 521 Vacuum meter 522 Vacuum pump 523 Sensor 524 Magnetic stirrer 526 Rotor 527a, 527b Tube joint 528 Container 529 Sensor fixing jig 531 Cathode 532 Anode 533 Constant voltage power supply 534 Measurement liquid 534a Low concentration area 534b Medium concentration area 534c High concentration area 5 5 membrane 536 electrolyte 537 electrode body 537a oxygen electrode 538 DC ammeter 539 container 555 coupler 557 desorption sensor
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斎藤 忠雄 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C056 EA15 EB16 EB29 EC16 EC51 FA15 FB01 FB08 KB04 KB10 KB15 KD02 2H048 BA64 BB02 BB14 BB24 BB37 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Tadao Saito 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo F-term in Canon Inc. (reference) 2C056 EA15 EB16 EB29 EC16 EC51 FA15 FB01 FB08 KB04 KB10 KB15 KD02 2H048 BA64 BB02 BB14 BB24 BB37
Claims (18)
ら液体を吐出させる動作中に、前記インクジェットヘッ
ドに供給するための液体から該液体中の溶存気体の少な
くとも一部を除去し、前記溶存気体の少なくとも一部が
除去された前記液体が前記インクジェットヘッドの内部
を流動するように、かつ、前記インクジェットヘッド内
の液体のうち前記インクジェットヘッドから吐出される
液体として使われなかった液体が前記インクジェットヘ
ッドの外部に排出されるように前記インクジェットヘッ
ドの内部に液体を供給する際に、 前記インクジェットヘッドから吐出される液体として使
われずに前記インクジェットヘッドから排出された液体
中の溶存気体量を測定し、測定された前記溶存気体量の
測定値を基に、前記インクジェットヘッド内の液体中の
溶存気体量が所定の値以下となるように前記インクジェ
ットヘッド内の液体中の溶存気体量を管理するインクジ
ェットヘッド内の液体中の溶存気体量の管理方法。1. An apparatus for ejecting a liquid from an inkjet head that ejects the liquid, wherein at least a portion of a dissolved gas in the liquid is removed from a liquid to be supplied to the inkjet head, and at least one of the dissolved gases is removed. The liquid from which the portion has been removed flows inside the inkjet head, and among the liquids in the inkjet head, the liquid not used as the liquid discharged from the inkjet head is outside the inkjet head. When supplying the liquid to the inside of the inkjet head to be discharged, the amount of dissolved gas in the liquid discharged from the inkjet head without being used as the liquid discharged from the inkjet head was measured and measured. Based on the measured value of the dissolved gas amount, the inkjet head is used. The dissolved gas content of the management method of the liquid in the ink jet head to manage the dissolved amount of gas in the liquid in the ink jet head as dissolved gas content in the liquid is equal to or lower than a predetermined value in the.
めの液体がタンクに貯留されており、前記インクジェッ
トヘッド内の液体中の溶存気体量を管理する動作とし
て、前記インクジェットヘッドから排出された液体中の
溶存気体量の測定値が前記所定の値を超えた場合、前記
インクジェットヘッドへの液体の供給を停止して前記タ
ンク内の液体中の溶存気体を除去した後に前記タンク内
の液体を前記インクジェットヘッドに供給する請求項１
に記載のインクジェットヘッド内の液体中の溶存気体量
の管理方法。2. A liquid to be supplied to the ink-jet head is stored in a tank, and the operation of managing the amount of dissolved gas in the liquid in the ink-jet head is performed by dissolving the liquid in the liquid discharged from the ink-jet head. When the measured value of the gas amount exceeds the predetermined value, the supply of the liquid to the inkjet head is stopped to remove the dissolved gas in the liquid in the tank, and then the liquid in the tank is supplied to the inkjet head. Claim 1 to supply
3. The method for managing the amount of dissolved gas in a liquid in an inkjet head according to item 1.
供給するための液体を貯留するタンクと、 前記インクジェットヘッドから液体を吐出させる動作中
に前記インクジェットヘッドの内部を液体が流動するよ
うに、かつ、前記インクジェットヘッド内の液体のうち
前記インクジェットヘッドから吐出される液体として使
われなかった液体が前記インクジェットヘッドの外部に
排出されるように前記インクジェットヘッドに前記タン
ク内の液体を供給するための液体供給路と、 前記液体供給路の途中に配置され、前記液体供給路を流
れる液体中の溶存気体の少なくとも一部を前記液体から
除去する脱気装置と、 前記インクジェットヘッドから排出された液体中の溶存
気体量を測定する溶存気体測定装置とを有するインクジ
ェット記録装置。3. A tank for storing a liquid to be supplied to an ink jet head for discharging a liquid, wherein the liquid flows inside the ink jet head during an operation of discharging the liquid from the ink jet head, and A liquid supply path for supplying the liquid in the tank to the ink jet head so that liquid not used as the liquid discharged from the ink jet head among the liquid in the ink jet head is discharged to the outside of the ink jet head A degassing device disposed in the middle of the liquid supply path to remove at least a part of the dissolved gas in the liquid flowing through the liquid supply path from the liquid; and a dissolved gas in the liquid discharged from the inkjet head. An ink jet recording apparatus having a dissolved gas measuring device for measuring the amount.
た液体を前記タンク内に送り込むための、前記溶存気体
測定装置が途中に配置された液体戻し流路と、 前記溶存気体測定装置により得られた前記溶存気体量の
測定値が所定の値を超えた際に、前記タンクから前記液
体供給路を流れて前記脱気装置を通過した液体を前記イ
ンクジェットヘッドを通さずに前記溶存気体測定装置に
送り込むための第１のバイパス路と、 前記脱気装置を通過した液体を、前記液体供給路を通し
て前記インクジェットヘッドに供給するか、前記第１の
バイパス路を経由して前記溶存気体測定装置に送り込む
か切り替え可能な供給経路切り替え手段とをさらに有す
る請求項３に記載のインクジェット記録装置。4. A liquid return flow path in which the dissolved gas measuring device is disposed in the middle for sending the liquid discharged from the ink jet head into the tank; and the dissolved gas obtained by the dissolved gas measuring device. When the measured value of the gas amount exceeds a predetermined value, the liquid flowing through the liquid supply path from the tank and passing through the deaerator is sent to the dissolved gas measuring device without passing through the inkjet head. A first bypass passage, and switching between supplying the liquid that has passed through the degassing device to the inkjet head through the liquid supply passage, and sending the liquid to the dissolved gas measurement device through the first bypass passage. 4. The ink jet recording apparatus according to claim 3, further comprising a supply path switching unit.
イパス路の一端が前記液体供給路における前記脱気装置
と前記インクジェットヘッドとの間の部分に接続され、
他端が前記液体戻し流路における前記インクジェットヘ
ッドと前記溶存気体測定装置との間の部分に接続された
ものである請求項４に記載のインクジェット記録装置。5. The first bypass passage, wherein one end of the first bypass passage is connected to a portion of the liquid supply passage between the deaerator and the inkjet head,
The ink jet recording apparatus according to claim 4, wherein the other end is connected to a portion of the liquid return flow path between the ink jet head and the dissolved gas measuring device.
前記液体供給路に向けて加圧する加圧手段が備えられて
いる請求項３〜５のいずれか１項に記載のインクジェッ
ト記録装置。6. The ink jet recording apparatus according to claim 3, wherein the tank is provided with a pressurizing unit that pressurizes the liquid in the tank toward the liquid supply path.
液体中の溶存気体量の測定値に応じて、前記供給経路切
り替え手段の切り替え動作、及び前記加圧手段の駆動及
び停止の動作を制御する制御手段をさらに有する請求項
３〜６のいずれか１項に記載のインクジェット記録装
置。7. Obtained by the dissolved gas measuring device,
7. The control device according to claim 3, further comprising a control unit configured to control a switching operation of the supply path switching unit and a driving and stopping operation of the pressurizing unit in accordance with a measured value of a dissolved gas amount in the liquid. 8. Item 6. The ink jet recording apparatus according to item 1.
供給するためのインクを貯留するメインタンクと、 該メインタンクから供給されるインクを貯留し、前記イ
ンクジェットヘッドから吐出されるインクの水頭圧を決
定するためのサブタンクと、 前記メインタンクに貯留された液体を前記サブタンクに
供給するためのタンク間供給経路と、 前記インクジェットヘッドから液体を吐出する動作中に
前記インクジェットヘッドの内部を液体が流動するよう
に、かつ、前記インクジェットヘッド内の液体のうち前
記インクジェットヘッドから吐出される液体として使わ
れなかった液体が前記インクジェットヘッドの外部に排
出されるように前記インクジェットヘッドに前記サブタ
ンク内の液体を供給するための液体供給路と、 前記液体供給路の途中に配置され、前記液体供給路を流
れる液体中の溶存気体の少なくとも一部を前記液体から
除去する脱気装置と、 前記サブタンクに備えられ、前記サブタンク内の液体を
前記液体供給路に向けて加圧する加圧手段と、 前記インクジェットヘッドから排出される液体を前記メ
インタンクの内部に送り込むためのメインタンク戻し流
路と、 前記メインタンク戻し流路の途中に配置され、前記メイ
ンタンク戻し流路を流れる液体中の溶存気体量を測定す
る溶存気体測定装置と、 前記溶存気体測定装置により得られた前記溶存気体量の
測定値が所定の値を超えた際に、前記サブタンクから前
記液体供給路を流れて前記脱気装置を通過した液体を前
記インクジェットヘッドを通さずに前記溶存気体測定装
置に送り込むための第１のバイパス路と、 前記脱気装置を通過した液体を、前記液体供給路を通し
て前記インクジェットヘッドに供給するか、前記第１の
バイパス路を経由して前記溶存気体測定装置に送り込む
か切り替え可能な供給経路切り替え手段とを有するイン
クジェット記録装置。8. A main tank for storing ink to be supplied to an ink jet head for discharging a liquid, storing ink supplied from the main tank, and determining a head pressure of the ink discharged from the ink jet head. A sub-tank for supplying the liquid stored in the main tank to the sub-tank, and an inter-tank supply path, so that the liquid flows inside the inkjet head during the operation of discharging the liquid from the inkjet head. And supplying the liquid in the sub-tank to the inkjet head such that the liquid not used as the liquid ejected from the inkjet head among the liquids in the inkjet head is discharged to the outside of the inkjet head. Of the liquid supply path, and of the liquid supply path A degassing device that is disposed in the liquid supply path and removes at least a part of the dissolved gas in the liquid flowing through the liquid supply path from the liquid; provided in the sub tank, and directs the liquid in the sub tank to the liquid supply path. Pressurizing means for pressurizing; a main tank return flow path for feeding the liquid discharged from the ink jet head into the main tank; and a main tank return flow path arranged in the middle of the main tank return flow path A dissolved gas measuring device that measures the amount of dissolved gas in the liquid flowing through the liquid supply path from the sub tank when the measured value of the dissolved gas amount obtained by the dissolved gas measuring device exceeds a predetermined value. A first bypass passage for sending the liquid flowing through the deaerator to the dissolved gas measuring device without passing through the inkjet head; Supply path switching means for switching whether the liquid passed through the deaerator is supplied to the inkjet head through the liquid supply path or sent to the dissolved gas measurement apparatus via the first bypass path. Ink jet recording device.
イパス路の一端が前記液体供給路における前記脱気装置
と前記インクジェットヘッドとの間の部分に接続され、
他端が前記メインタンク戻し流路における前記インクジ
ェットヘッドと前記溶存気体測定装置との間の部分に接
続されたものである請求項８に記載のインクジェット記
録装置。9. The first bypass passage, wherein one end of the first bypass passage is connected to a portion of the liquid supply passage between the deaerator and the inkjet head,
9. The ink jet recording apparatus according to claim 8, wherein the other end is connected to a portion between the ink jet head and the dissolved gas measuring device in the main tank return flow path.
ンタンクと前記タンク間供給経路とから、前記インクジ
ェットヘッドから排出された液体を前記サブタンク内に
送り込むための液体戻し流路が構成されている請求項８
または９に記載の記載のインクジェット記録装置。10. A liquid return flow path for feeding liquid discharged from the ink jet head into the sub tank from the main tank return flow path and the supply path between the main tank and the tank. Item 8
Or the inkjet recording apparatus according to item 9.
接続され、他端が前記メインタンク戻し流路における前
記溶存気体測定装置と前記メインタンクとの間に接続さ
れた第２のバイパス路と、 前記第２のバイパス路と前記タンク間供給経路との接続
部分に備えられ、前記メインタンクから前記タンク間供
給経路を通して前記接続部分に向かって流れる液体を前
記第２のバイパス路に流し込ませるか、前記タンク間供
給経路を通して前記サブタンクに供給するか切り替え可
能なタンク間供給経路切り替え手段とをさらに有する請
求項８〜１０のいずれか１項に記載のインクジェット記
録装置。11. A second bypass passage having one end connected in the middle of the inter-tank supply passage and the other end connected between the dissolved gas measuring device and the main tank in the main tank return flow passage. A liquid that is provided at a connection portion between the second bypass path and the inter-tank supply path and that flows liquid flowing from the main tank toward the connection part through the inter-tank supply path into the second bypass path; The ink jet recording apparatus according to any one of claims 8 to 10, further comprising inter-tank supply path switching means capable of switching between supply to the sub-tank through the inter-tank supply path.
前記メインタンク戻し流路のぞれぞれの内部に何も充填
されていない状態から前記液体供給路、前記バイパス路
及び前記メインタンク戻し流路のそれぞれの内部に液体
を充填する動作として、 前記メインタンク内の液体を、前記タンク間供給経路に
おける前記メインタンクと前記第２のバイパス路との間
の部分、及び前記第２のバイパス路を経由して前記メイ
ンタンク戻し流路に流し込み、前記メインタンク戻し流
路における前記第２のバイパス路と前記第１のバイパス
路との間の部分、前記第１のバイパス路、前記液体供給
路における前記第１のバイパス路と前記サブタンクとの
間の部分、及び前記サブタンクに前記メインタンク内の
液体を充填する第１の工程を行った後に、前記サブタン
ク内の液体を前記加圧手段により前記液体供給路に流し
込み、前記液体供給路における前記サブタンクと前記第
１のバイパス路との間の部分、前記第１のバイパス路及
び前記メインタンク戻し流路に前記サブタンク内の液体
を充填する第２の工程を行うように制御し、 必要に応じて前記第１及び第２の工程を複数回繰り返す
ように制御する制御手段をさらに有する請求項１１に記
載のインクジェット記録装置。12. The liquid supply path, the bypass path, and the main tank return flow from a state where nothing is filled in each of the liquid supply path, the bypass path, and the main tank return flow path. As an operation of filling each of the paths with the liquid, the liquid in the main tank is filled with the liquid between the main tank and the second bypass path in the inter-tank supply path, and the second bypass path. Through the main tank return flow path, a portion of the main tank return flow path between the second bypass path and the first bypass path, the first bypass path, and the liquid supply path. After performing the first step of filling the liquid in the main tank into the portion between the first bypass path and the sub tank and the sub tank in The liquid in the tank is poured into the liquid supply path by the pressurizing means, and a portion of the liquid supply path between the sub tank and the first bypass path, the first bypass path, and the main tank return path 12. The control device according to claim 11, further comprising: a control unit that controls to perform a second process of filling the liquid in the sub-tank, and controls the first and second processes to be repeated a plurality of times as necessary. Inkjet recording device.
置により得られた溶存気体量の測定値に応じて、前記供
給経路切り替え手段の切り替え動作、及び前記加圧手段
の駆動及び停止の動作をさらに制御するものである請求
項１２に記載のインクジェット記録装置。13. The control unit controls a switching operation of the supply path switching unit and an operation of driving and stopping the pressurizing unit in accordance with a measured value of a dissolved gas amount obtained by the dissolved gas measuring device. The ink jet recording apparatus according to claim 12, which further controls.
ジェットヘッド側の接続部が上部に設けられると共に前
記インクジェットヘッド側と反対側の接続部が下部に設
けられた、耐気体透過性を有する容器に測定手段が取り
付けられたものである請求項３〜１３のいずれか１項に
記載のインクジェット記録装置。14. The dissolved gas measuring apparatus according to claim 1, wherein the connection portion on the ink jet head side is provided in an upper portion, and the connection portion on the opposite side to the ink jet head side is provided in a lower portion. The inkjet recording apparatus according to any one of claims 3 to 13, further comprising a measuring unit.
項１４に記載のインクジェット記録装置。15. The ink jet recording apparatus according to claim 14, wherein said measuring means is a dissolved oxygen meter.
である請求項１５に記載のインクジェット記録装置。16. The ink jet recording apparatus according to claim 15, wherein said dissolved oxygen meter is of a polaro type.
前記溶存酸素計は略水平に前記容器の側壁に取り付けら
れている請求項１６に記載のインクジェット記録装置。17. The dissolved oxygen meter has a rod shape,
17. The ink jet recording apparatus according to claim 16, wherein the dissolved oxygen meter is mounted substantially horizontally on a side wall of the container.
のインクジェット記録装置を有し、前記インクジェット
記録装置の前記インクジェットヘッドから液体を吐出さ
せてカラーフィルタを製造することを特徴とするカラー
フィルタ製造装置。18. A color filter comprising the ink jet recording apparatus according to claim 3, wherein a color filter is manufactured by discharging liquid from the ink jet head of the ink jet recording apparatus. Filter manufacturing equipment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37072798A JP2000190529A (en) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | Control method of amount of dissolved air in liquid within ink jet head, ink jet recording apparatus and color filter producing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37072798A JP2000190529A (en) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | Control method of amount of dissolved air in liquid within ink jet head, ink jet recording apparatus and color filter producing apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000190529A true JP2000190529A (en) | 2000-07-11 |
Family
ID=18497495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37072798A Pending JP2000190529A (en) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | Control method of amount of dissolved air in liquid within ink jet head, ink jet recording apparatus and color filter producing apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
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