JP2000317371A - Method for discharging liquid under rapid and precise control and device therefor - Google Patents

Method for discharging liquid under rapid and precise control and device therefor

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JP2000317371A
JP2000317371A JP11128916A JP12891699A JP2000317371A JP 2000317371 A JP2000317371 A JP 2000317371A JP 11128916 A JP11128916 A JP 11128916A JP 12891699 A JP12891699 A JP 12891699A JP 2000317371 A JP2000317371 A JP 2000317371A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To form a desired coating shape rapidly and precisely regardless of the viscosity of liquid by controlling the pressure and temperature of the liquid to be supplied to a discharge valve from a storage container so that the discharge flow velocity of the liquid is constant, when every fixed amount of the liquid is discharged from the storage container through the discharge valve. SOLUTION: When every fixed amount of liquid is discharged, for example, a motor 6 is actuated by a control means 19 based on a pressure detected by a pressure sensor 18 and thereby, a plunger 10 in a syringe 3 is elevated to maintain the pressure of the liquid in a liquid flow path 12 at a set value. Further, a discharge initiating signal and a discharge pressure signal are output by the control means 19 to rotate the motor 6 at a constant rate and thus the liquid in the syringe 3 is pressurized. At the same time, the piston 17 and the needle 14 of a cylinder 16 are moved backward timed to the pressurizing of the liquid in the syringe 3 to open a discharge aperture 13 and thus the discharging of the liquid is initiated. After that, a discharge ending signal is output to the motor 6 and a switch valve 20 respectively by the control means 19 to end a single round of fixed amount discharge.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業の属する技術分野】本発明は、液体を微量に吐出
または塗布する分野において、液体の微量吐出または塗
布を高速にかつ精密に制御する技術に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for rapidly and precisely controlling a minute amount of liquid to be ejected or applied in the field of ejecting or applying a small amount of liquid.

【０００２】[0002]

【従来の技術】所望の量の液体を吐出させるには液体定
量吐出装置を用い、また、所望の形状に液体を塗布する
には前記液体定量吐出装置とさらに被着体をまたはノズ
ルを動かすロボットを使用する方法を用いるのが一般的
である。液体を吐出する技術には、調圧した圧縮空気を
液体に所望の時間与えるＡｉｒ式とよばれる方法や、駆
動源に連接した押部材を液密に配接した押部材を所望の
量だけ移動させるプランジャ式とよばれる方法が知られ
ている。Ａｉｒ式は、圧縮空気を利用する極めてシンプ
ルな方法であり、貯留容器を除けば圧縮空気のみが液体
に接触するため、液体をクリーンな状態に保ちつつ使用
することが可能であるという利点があり、非常に一般的
に使用されている方法である。一方、プランジャ式は、
接液する押部材の断面積と、押部材の移動量とで吐出さ
れる液体の体積を決められる利点があり、液体の充填・
分注作業や、極めて微量な液体を塗布する場合に使用さ
れている方法である。2. Description of the Related Art In order to discharge a desired amount of liquid, a liquid metering device is used. To apply a liquid in a desired shape, the liquid metering device and a robot for moving an adherend or a nozzle are used. Is generally used. Techniques for discharging liquid include a method called an Air type in which regulated compressed air is applied to the liquid for a desired time, or a pressing member connected to a drive source that is liquid-tightly moved by a desired amount. There is known a method called a plunger type. The Air method is a very simple method using compressed air, and has the advantage that it can be used while keeping the liquid in a clean state because only the compressed air contacts the liquid except for the storage container. This is a very commonly used method. On the other hand, the plunger type
There is an advantage that the volume of the liquid to be discharged is determined by the cross-sectional area of the pressing member that comes into contact with the liquid and the moving amount of the pressing member.
This method is used when dispensing or applying a very small amount of liquid.

【０００３】所望の形状に液体を塗布するには、貯留容
器内の液体にこれら方法により液体を流動させることで
吐出口であるノズル先端より液体を吐出させ、この前記
装置の吐出口と被着体のどちらか一方、または両方を相
対的に移動させることにより、液体を所望の形状に描画
させることで行われている。しかし、これら方法は、液
体が一定の流速を得るまでに時間を要するため、一定流
速となるまでの時間、塗布線の描画を均一ならしめるこ
とが非常に難しかった。特に、高粘性液体を使用する場
合や高速に塗布する場合には、この影響が顕著で、具体
的には塗布線の始点部の細り・切れ、終点部での太り・
溜まりといった形でその影響が現れる。たとえば半導体
製造工程において、電子材料を基板上に規則的にまたは
不規則にポイント塗布、線状塗布等するに当って使用さ
れている従来の定量吐出装置としては、たとえば特開平
４−４９１０８号公報に開示された吐出装置は、吐出口
から吐出される液体の吐出量を、スクリューの回転速
度、回転時間等をもってコントロールするものであり、
これによれば、スクリューの回転速度と停止時期の精度
良い制御によって、液体の粘度、流動性や貯留容器内の
液体量に影響されることなく、連続的な吐出においても
液体の吐出量を安定させ、定量吐出を果たすことができ
るとする。ここでは、液体の吐出および停止を、スクリ
ューの回転および停止のそれぞれによって行うこととし
ており、吐出の停止時においてなお、吐出口が物理的な
開放状態にあることから、とくに、液体の粘度が低い場
合、貯留容器内の液体を加圧する場合、スクリューの外
周面とスクリューハウジングの内周面とのクリアランス
が大きい場合等には、液体の吐出停止時の液切れが悪
く、また、液体の重量および液体加圧力に起因する液体
の洩出があるという問題があり、この一方で、かかる問
題点の解決を図るべくスクリューの外周面とスクリュー
ハウジングの内周面とのクリアランスを小さくした場合
には、たとえば電子材料中のフィラーが破壊されるとい
う他の問題があった。In order to apply a liquid in a desired shape, the liquid is caused to flow through the liquid in the storage container by these methods, whereby the liquid is discharged from the nozzle tip which is a discharge port. This is done by relatively moving one or both of the bodies to draw the liquid in a desired shape. However, in these methods, it takes time for the liquid to obtain a constant flow rate, and it is very difficult to make the drawing of the coating line uniform until the liquid reaches the constant flow rate. In particular, when a highly viscous liquid is used or when applying at a high speed, this effect is remarkable. Specifically, the starting point of the application line becomes thinner / cut, and the end point becomes thicker / cut.
The effect appears in the form of pools. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-49108 discloses a conventional fixed-quantity discharge apparatus used for applying a point application or a linear application of an electronic material to a substrate regularly or irregularly in a semiconductor manufacturing process. The discharge device disclosed in the above, the discharge amount of the liquid discharged from the discharge port, is to control the rotation speed of the screw, rotation time, and the like,
According to this, accurate control of the screw rotation speed and stop timing stabilizes the liquid discharge amount even in continuous discharge without being affected by the viscosity, fluidity of the liquid or the amount of liquid in the storage container. It is assumed that a fixed amount discharge can be achieved. Here, the discharging and stopping of the liquid are performed by rotating and stopping the screw, respectively.At the time of stopping the discharging, since the discharging port is in a physically open state, the viscosity of the liquid is particularly low. In the case where the liquid in the storage container is pressurized, when the clearance between the outer peripheral surface of the screw and the inner peripheral surface of the screw housing is large, etc., the liquid shortage at the time of stopping the discharge of the liquid is poor, and the weight and There is a problem that there is leakage of liquid due to the liquid pressing force, while, when the clearance between the outer peripheral surface of the screw and the inner peripheral surface of the screw housing is reduced to solve such a problem, For example, there is another problem that a filler in an electronic material is destroyed.

【０００４】さらにＡｉｒ式の場合、圧縮性に優れる空
気を使用するために、急速に所望の圧力を得ることは極
めて難しく、この方法で線の始点や終点を線中央部と同
一の形状に形成させることはさらに困難であった。加え
て、周辺雰囲気の変化や、液体自身の化学反応等に応じ
て液体の粘度が変化するために、調圧された一定の空圧
を作用させるこの方法では、液体の粘度変化に応じて吐
出量が変化してしまう問題もあった。このように、粘性
変化を有する液体をＡｉｒ式吐出機で繊細な形状に塗成
させることは不可能であった。Further, in the case of the Air method, it is extremely difficult to quickly obtain a desired pressure because air having excellent compressibility is used. In this method, the starting point and the ending point of a line are formed in the same shape as the center of the line. Getting it was even more difficult. In addition, since the viscosity of the liquid changes in response to changes in the surrounding atmosphere, the chemical reaction of the liquid itself, etc., this method of applying a constant regulated air pressure discharges the liquid in accordance with the change in the viscosity of the liquid. There was also a problem that the amount changed. As described above, it was impossible to apply a liquid having a change in viscosity to a delicate shape using an Air-type discharger.

【０００５】プランジャ式の場合は、所望体積量の吐出
に本質的機能があるため、所望の量を正確に分注、充填
する用途が主であった。また、ピストン移動量が吐出量
を決める方法であり、精密性・定量性に優れた特徴があ
るため、その吐出作業は極めて慎重に、ゆっくりと行わ
れるのが一般的である。このようにこの方法は、一定量
を正確に吐出・塗布するところにその技術の本質を置く
ため、吐出中の流速に変化が起こっても、結果として塗
布量が均一となればそれで良い方法である。さらに、そ
の方法が高粘性液体の吐出に使用することは避けられて
いる。これは、高粘性液体を流動させるためには、非常
に大きな力を液体に作用させる必要があることに起因す
る。この大きな力は、貯留容器やピストンの膨張・歪
み、さらには弾性変形のほとんど無い液体にまで圧縮を
引き起こし、これらの変形がその方法の特徴である精密
性・定量性を損なわせる原因となるためである。特に、
高粘性液体を高速に塗布する場合や、低粘性液体の場合
でもノズルが細い場合や長い場合は、極めて高い圧力を
液体に作用される必要があるため、前記膨張・歪み・圧
縮といった変形が著しく、さらに吐出口のみが大気に露
出しているというその方法特有の特徴から、これら変形
の影響を、液体に高い圧力を作用させるほど、また吐出
口が小径であるほど受けやすかった。具体的には、吐出
の遅れ・液体のタレ、線形状の塗布においては切れ・溜
まり・歪みといった現象でその影響が現れていた。これ
らの変形は極めてわずかなものであるが、前記諸変形に
依存する影響は微細な形状の塗布を行う場合や、微量な
塗布の場合、さらには高速に塗布を行う場合には、この
弾性変形による影響は致命的な問題であり、このように
高い圧力を必要とする場合にその方法を用いることは全
くナンセンスである。[0005] In the case of the plunger type, there is an essential function in discharging a desired volume, so that it has been mainly used for accurately dispensing and filling a desired amount. In addition, the amount of piston movement is a method of determining the amount of discharge, and is characterized by excellent precision and quantification. Therefore, the discharge operation is generally performed very carefully and slowly. In this way, this method puts the essence of the technology in precisely discharging and applying a certain amount, so that even if the flow rate during discharge changes, as long as the applied amount becomes uniform, it is a good method. is there. Furthermore, the method is avoided from being used for discharging highly viscous liquids. This is because a very large force needs to be applied to the liquid in order to flow the highly viscous liquid. This large force causes expansion and distortion of the storage container and piston, and even compression to a liquid that has almost no elastic deformation, and these deformations cause the precision and quantitative characteristics that are characteristic of the method to be impaired. It is. In particular,
When a high-viscosity liquid is applied at a high speed, or when the nozzle is thin or long even in the case of a low-viscosity liquid, it is necessary to apply an extremely high pressure to the liquid. Further, due to the characteristic feature of the method that only the discharge port is exposed to the atmosphere, the influence of these deformations is more susceptible to the higher the pressure applied to the liquid and the smaller the diameter of the discharge port. More specifically, the effects have been manifested by phenomena such as discharge delay, liquid dripping, and cutting, accumulation, and distortion in linear coating. Although these deformations are very slight, the influence depending on the above-mentioned deformations is such that when applying a fine shape, when applying a very small amount, or when applying at a high speed, the elastic deformation Is a lethal problem and using such a method when such high pressures are required is completely nonsense.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、液体を微量
に吐出または塗布するに際し、液体の粘度に依存され
ず、高速にかつ精密に所望の塗布形状を形成する方法お
よび装置の提供を目的とする。特に、高粘性液体を使用
する場合や高速に塗布する場合であっても、線の始点部
・終点部の線形状が極めて容易に制御でき、例えば均一
な線形状の塗布は線の始点から終点に至るまで線の細り
・太りがなく、均一にそろった線形状の形成ができる方
法および装置を提供することを目的とする。本発明は、
フィラーの破壊のおそれなしに、吐出の停止時に液切れ
性を高め、また、液体の洩れ出しを十分に防止した液体
吐出方法を提供することを目的とする。本発明は、液体
が一定の流速を得るまでに時間を要することなく、塗布
線の描画を均一ならしめることが可能な液体の吐出また
は塗布方法を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for forming a desired coating shape at a high speed and precisely without depending on the viscosity of the liquid when discharging or applying a small amount of liquid. And In particular, even when using a highly viscous liquid or applying at high speed, the line shape at the start and end points of the line can be controlled very easily.For example, a uniform line shape is applied from the start point to the end point of the line. It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus capable of forming a uniform line shape without thinning and thickening of the line up to. The present invention
It is an object of the present invention to provide a liquid discharge method that enhances the liquid drainage property at the time of stopping discharge without sufficiently damaging the filler, and that sufficiently prevents liquid from leaking out. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of ejecting or applying a liquid that can make the drawing of an application line uniform without requiring time until the liquid obtains a constant flow velocity.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、液体貯留容器
から吐出バルブを経て定量吐出するに当り、吐出口から
の液体の吐出流速が一定になるように、液体貯留容器か
ら吐出バルブに供給する液体の圧力を制御するとともに
液体の温度を制御することを特徴とする液体定量吐出方
法を要旨としている。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, when a fixed amount is discharged from a liquid storage container via a discharge valve, the liquid is supplied from the liquid storage container to the discharge valve so that the discharge flow rate of the liquid from the discharge port is constant. The present invention is directed to a liquid dispensing method in which the pressure of a liquid to be discharged is controlled and the temperature of the liquid is controlled.

【０００８】上記方法はさらに、吐出を開始する前に予
め液体に圧力を加えておくことおよび／または吐出の終
了後における吐出口近傍部分の圧力が予め定めた特定値
となるようにすることを特徴とし、その場合本発明は、
液体貯留容器から吐出バルブを経て定量吐出するに当
り、吐出を開始する前に予め液体に圧力を加えておくこ
とおよび／または吐出の終了後における吐出口近傍部分
の圧力が予め定めた特定値となるようにする方法であっ
て、吐出口からの液体の吐出流速が一定になるように、
液体貯留容器から吐出バルブに供給する液体の圧力を制
御するとともに液体の温度を制御することを特徴とする
液体定量吐出方法である。[0008] The method may further include applying pressure to the liquid before starting the discharge and / or causing the pressure in the vicinity of the discharge port to become a predetermined specific value after the end of the discharge. Feature, in which case the present invention provides:
In discharging a fixed amount from the liquid storage container via the discharge valve, a pressure is preliminarily applied to the liquid before starting the discharge and / or the pressure in the vicinity of the discharge port after the end of the discharge is a predetermined specific value. It is a method to make the discharge flow rate of the liquid from the discharge port constant,
A liquid fixed amount discharging method characterized by controlling the pressure of the liquid supplied from the liquid storage container to the discharge valve and controlling the temperature of the liquid.

【０００９】液体貯留容器から吐出バルブに供給する液
体の圧力の制御は、液体貯留容器に貯留された液体の圧
力、好ましくは貯留された液体の減少する速度を制御す
ることにより、好ましくは一定または可変に制御するこ
とにより行い、その場合本発明は、液体貯留容器から吐
出バルブを経て定量吐出するに当り、必要により吐出を
開始する前に予め液体に圧力を加えておくことおよび／
または吐出の終了後における吐出口近傍部分の圧力が予
め定めた特定値となるようにする方法であって、吐出口
からの液体の吐出流速が一定になるように、液体貯留容
器に貯留された液体の圧力、好ましくは貯留された液体
の減少する速度を制御する、好ましくは一定または可変
に制御するとともに液体の温度を制御することを特徴と
する液体定量吐出方法である。[0009] The control of the pressure of the liquid supplied from the liquid storage container to the discharge valve is preferably performed by controlling the pressure of the liquid stored in the liquid storage container, preferably the decreasing speed of the stored liquid. In this case, according to the present invention, when performing a fixed amount discharge from the liquid storage container via the discharge valve, it is necessary to apply pressure to the liquid in advance before starting the discharge as necessary.
Or a method in which the pressure in the vicinity of the discharge port after the end of the discharge becomes a predetermined specific value, and the liquid is stored in the liquid storage container so that the discharge flow rate of the liquid from the discharge port becomes constant. A liquid dispensing method characterized by controlling a pressure of a liquid, preferably a decreasing speed of a stored liquid, preferably a constant or variable control, and controlling a temperature of the liquid.

【００１０】上記の圧力の制御は、貯留された液体に精
密に配設された押部材を用いて行い、その場合本発明
は、液体貯留容器から吐出バルブを経て定量吐出するに
当り、必要により吐出を開始する前に予め液体に圧力を
加えておくことおよび／または吐出の終了後における吐
出口近傍部分の圧力が予め定めた特定値となるようにす
る方法であって、吐出口からの液体の吐出流速が一定に
なるように、貯留された液体に精密に配設された押部材
を用いて、上記の貯留された液体の減少する速度を制御
する、より具体的には一定または可変に制御することに
より液体貯留容器から吐出バルブに供給する液体の圧力
を制御するとともに、液体の温度を制御することを特徴
とする液体定量吐出方法である。[0010] The above pressure control is performed by using a pressing member precisely arranged on the stored liquid. In this case, the present invention provides a method of discharging a fixed amount from the liquid storage container via a discharge valve as necessary. A method in which pressure is applied to the liquid in advance before the discharge is started and / or the pressure in the vicinity of the discharge port after the end of the discharge becomes a predetermined specific value, and the liquid from the discharge port is provided. Using a pressing member precisely arranged on the stored liquid so that the discharge flow rate of the stored liquid is constant, controlling the decreasing speed of the stored liquid, more specifically, constant or variable A liquid quantitative discharge method characterized by controlling the pressure of the liquid supplied from the liquid storage container to the discharge valve by controlling, and controlling the temperature of the liquid.

【００１１】液体の温度の制御は、液体貯留容器内と吐
出バルブ内の液体温度を所望温度となるように制御する
ことにより行い、その場合本発明は、液体貯留容器から
吐出バルブを経て定量吐出するに当り、必要により吐出
を開始する前に予め液体に圧力を加えておくことおよび
／または吐出の終了後における吐出口近傍部分の圧力が
予め定めた特定値となるようにする方法であって、吐出
口からの液体の吐出流速が一定になるように、必要によ
り貯留された液体に精密に配設された押部材を用いて、
好ましくは上記の貯留された液体の減少する速度を制御
する、より具体的には一定または可変に制御することに
より、液体貯留容器から吐出バルブに供給する液体の圧
力を制御するとともに、液体貯留容器内と吐出バルブ内
の液体温度を所望温度となるように液体の温度を制御す
ることを特徴とする液体定量吐出方法である。The temperature of the liquid is controlled by controlling the temperature of the liquid in the liquid storage container and the temperature of the liquid in the discharge valve to a desired temperature. In this case, the present invention provides a method of discharging a fixed amount from the liquid storage container via the discharge valve. In doing so, if necessary, a pressure may be applied to the liquid before starting the discharge, and / or the pressure in the vicinity of the discharge port after the end of the discharge may be a predetermined specific value. By using a pressing member precisely disposed on the stored liquid as necessary so that the discharge flow rate of the liquid from the discharge port is constant,
Preferably, by controlling the decreasing speed of the stored liquid, more specifically, by controlling constant or variable, the pressure of the liquid supplied from the liquid storage container to the discharge valve is controlled, and the liquid storage container is controlled. A liquid fixed amount discharging method characterized by controlling the temperature of the liquid so that the liquid temperature in the inside and the inside of the discharge valve become a desired temperature.

【００１２】また、本発明は、液体貯留容器、液体貯留
容器内の液体の加圧手段、および液体貯留容器に連通す
る吐出バルブを具える、液体貯留容器から吐出バルブを
経て液体を定量吐出する装置であって、加圧手段および
吐出バルブの作動を制御する作動制御手段および液体の
温度を制御する液体温度制御手段を設けたことを特徴と
する液体定量吐出装置を要旨としている。Further, the present invention comprises a liquid storage container, a means for pressurizing the liquid in the liquid storage container, and a discharge valve communicating with the liquid storage container, and discharges a fixed amount of liquid from the liquid storage container via the discharge valve. A liquid quantitative discharge device, which includes an operation control means for controlling operations of a pressurizing means and a discharge valve, and a liquid temperature control means for controlling a temperature of a liquid, is provided.

【００１３】吐出バルブがその吐出口の機械的開閉手段
を有しており、その場合本発明は、液体貯留容器、液体
貯留容器内の液体の加圧手段、および液体貯留容器に連
通して吐出口を機械的に開閉する吐出バルブを具える、
液体貯留容器から吐出バルブを経て液体を定量吐出する
装置であって、加圧手段および吐出バルブの作動を制御
する作動制御手段および液体の温度を制御する液体温度
制御手段を設けたことを特徴とする液体定量吐出装置で
ある。The discharge valve has means for mechanically opening and closing the discharge port. In this case, the present invention provides a liquid storage container, a means for pressurizing the liquid in the liquid storage container, and a discharge port communicating with the liquid storage container. Equipped with a discharge valve that mechanically opens and closes the outlet,
An apparatus for quantitatively discharging a liquid from a liquid storage container via a discharge valve, comprising an operation control means for controlling operation of a pressurizing means and a discharge valve, and a liquid temperature control means for controlling a temperature of the liquid. This is a liquid fixed-rate discharge device.

【００１４】上記の加圧手段は、液体貯留容器に貯留さ
れた液体をその粘度に応じた圧力で加圧するための手
段、好ましくは貯留された液体に精密に配設された押部
材であり、さらに好ましくは押部材を加圧する液体貯留
容器の内径より十分大きいボア径のエアシリンダを具え
た押部材であり、その場合本発明は、液体貯留容器、液
体貯留容器に貯留された液体をその粘度に応じた圧力で
加圧するための液体の加圧手段、好ましくは貯留された
液体に精密に配設された押部材、さらに好ましくは押部
材を加圧する液体貯留容器の内径より十分大きいボア径
のエアシリンダを具えた押部材、および液体貯留容器に
連通する吐出バルブ、好ましくは液体貯留容器に連通し
て吐出口を機械的に開閉する吐出バルブを具える、液体
貯留容器から吐出バルブを経て液体を定量吐出する装置
であって、加圧手段および吐出バルブの作動を制御する
作動制御手段および液体の温度を制御する液体温度制御
手段を設けたことを特徴とする液体定量吐出装置であ
る。The above-mentioned pressurizing means is a means for pressurizing the liquid stored in the liquid storage container with a pressure corresponding to the viscosity thereof, preferably a pressing member precisely arranged on the stored liquid, More preferably, the push member is provided with an air cylinder having a bore diameter sufficiently larger than the inner diameter of the liquid storage container that pressurizes the push member. In this case, the present invention relates to a liquid storage container, the liquid stored in the liquid storage container having a viscosity equal to the viscosity thereof. A liquid pressurizing means for pressurizing at a pressure corresponding to the pressure, preferably a pressing member precisely arranged on the stored liquid, more preferably a bore diameter sufficiently larger than the inner diameter of the liquid storage container for pressing the pressing member. A discharge member that includes an air cylinder and a discharge valve that communicates with the liquid storage container, preferably a discharge valve that communicates with the liquid storage container and mechanically opens and closes a discharge port. A liquid discharger which discharges liquid via a valve, comprising an operation control means for controlling the operation of the pressurizing means and the discharge valve, and a liquid temperature control means for controlling the temperature of the liquid. It is.

【００１５】上記の作動制御手段が、吐出口の近傍部分
で液体圧力を検出する圧力センサと、圧力センサからの
信号に基づいて前記加圧手段を作動させる手段を設けて
なり、その場合本発明は、液体貯留容器、液体貯留容器
内の液体の加圧手段、好ましくは液体貯留容器に貯留さ
れた液体をその粘度に応じた圧力で加圧するための液体
の加圧手段、より好ましくは貯留された液体に精密に配
設された押部材であって、必要により押部材を加圧する
液体貯留容器の内径より十分大きいボア径のエアシリン
ダを具えたもの、および液体貯留容器に連通する吐出バ
ルブ、好ましくは液体貯留容器に連通して吐出口を機械
的に開閉する吐出バルブを具える、液体貯留容器から吐
出バルブを経て液体を定量吐出する装置であって、吐出
口の近傍部分で液体圧力を検出する圧力センサと、圧力
センサからの信号に基づいて前記加圧手段を作動させる
手段を設けてなる、加圧手段および吐出バルブの作動を
制御する作動制御手段および液体の温度を制御する液体
温度制御手段を設けたことを特徴とする液体定量吐出装
置である。The operation control means includes a pressure sensor for detecting a liquid pressure near the discharge port, and means for operating the pressure means based on a signal from the pressure sensor. Is a liquid storage container, a liquid pressurizing means in the liquid storage container, preferably a liquid pressurizing means for pressurizing the liquid stored in the liquid storage container at a pressure corresponding to its viscosity, more preferably stored. A press member precisely arranged in the liquid, which has an air cylinder having a bore diameter sufficiently larger than the inner diameter of the liquid storage container to press the press member as necessary, and a discharge valve communicating with the liquid storage container, A device for discharging a fixed amount of liquid from a liquid storage container via a discharge valve, preferably comprising a discharge valve communicating with the liquid storage container to mechanically open and close the discharge port, wherein the liquid is discharged in a portion near the discharge port. A pressure sensor for detecting pressure, and a means for operating the pressurizing means based on a signal from the pressure sensor; an operation control means for controlling the operation of the pressurizing means and the discharge valve; and a temperature control of the liquid. A liquid dispensing apparatus characterized in that a liquid temperature control means is provided.

【００１６】上記の液体温度制御手段が、液体貯留容器
内と吐出バルブ内で液体温度をそれぞれ検出する温度セ
ンサと、温度センサからの信号に基づいて所望温度とな
る加熱冷却ユニットを設けてなり、その場合本発明は、
液体貯留容器、液体貯留容器内の液体の加圧手段、好ま
しくは液体貯留容器に貯留された液体をその粘度に応じ
た圧力で加圧するための液体の加圧手段、より好ましく
は貯留された液体に精密に配設された押部材であって、
必要により押部材を加圧する液体貯留容器の内径より十
分大きいボア径のエアシリンダを具えたもの、および液
体貯留容器に連通する吐出バルブ、好ましくは液体貯留
容器に連通して吐出口を機械的に開閉する吐出バルブを
具える、液体貯留容器から吐出バルブを経て液体を定量
吐出する装置であって、加圧手段および吐出バルブの作
動を制御する作動制御手段、好ましくは吐出口の近傍部
分で液体圧力を検出する圧力センサと、圧力センサから
の信号に基づいて前記加圧手段を作動させる手段を設け
てなるもの、および液体貯留容器内と吐出バルブ内で液
体温度をそれぞれ検出する温度センサと、温度センサか
らの信号に基づいて所望温度となる加熱冷却ユニットを
設けてなる液体の温度を制御する液体温度制御手段を設
けたことを特徴とする液体定量吐出装置である。The above-mentioned liquid temperature control means includes a temperature sensor for detecting a liquid temperature in the liquid storage container and a liquid temperature in the discharge valve, and a heating / cooling unit for obtaining a desired temperature based on a signal from the temperature sensor. In this case, the present invention
Liquid storage container, a liquid pressurizing means in the liquid storage container, preferably a liquid pressurizing means for pressurizing the liquid stored in the liquid storage container at a pressure according to its viscosity, more preferably a stored liquid Pressing member precisely arranged on the
An air cylinder having a bore diameter that is sufficiently larger than the inner diameter of the liquid storage container that presses the pressing member as necessary, and a discharge valve that communicates with the liquid storage container, preferably a discharge port that communicates with the liquid storage container and mechanically operates the discharge port. An apparatus for discharging a fixed amount of liquid from a liquid storage container via a discharge valve, comprising a discharge valve that opens and closes, and an operation control means for controlling the operation of a pressurizing means and a discharge valve, preferably the liquid in a portion near a discharge port. A pressure sensor for detecting pressure, a device provided with a means for operating the pressurizing means based on a signal from the pressure sensor, and a temperature sensor for detecting a liquid temperature in a liquid storage container and a discharge valve, respectively. Liquid temperature control means for controlling the temperature of the liquid provided with a heating / cooling unit for obtaining a desired temperature based on a signal from the temperature sensor; That is a liquid dispensing device.

【００１７】[0017]

【発明の実施の形態】以下にこの発明の実施の形態を説
明する。本発明は、液体を微量に吐出または塗布するに
際し、液体の粘度に依存されず、高速にかつ精密に所望
の塗布形状を形成する方法であって、吐出口からの液体
の吐出流速が一定になるように、液体貯留容器から吐出
バルブに供給する液体の圧力を制御するとともに液体の
温度を制御することを特徴とする方法である。上記の方
法における液体の圧力の制御は、液体貯留容器に貯留さ
れた液体の圧力を制御することにより、好ましくは貯留
された液体の減少する速度を一定または可変に制御する
ことにより行う。液体の温度の制御は、液体貯留容器内
と吐出バルブ内の液体温度を所望温度となるように制御
することにより行う。Embodiments of the present invention will be described below. The present invention is a method for forming a desired coating shape at high speed and precisely without discharging or applying a small amount of liquid without depending on the viscosity of the liquid, wherein the discharge flow rate of the liquid from the discharge port is constant. In this method, the pressure of the liquid supplied from the liquid storage container to the discharge valve is controlled and the temperature of the liquid is controlled. The control of the pressure of the liquid in the above method is performed by controlling the pressure of the liquid stored in the liquid storage container, preferably by controlling the rate of decrease of the stored liquid to be constant or variable. The control of the liquid temperature is performed by controlling the liquid temperature in the liquid storage container and the liquid temperature in the discharge valve to a desired temperature.

【００１８】また、本発明は、加圧手段および吐出バル
ブの作動を制御する作動制御手段および液体の温度を制
御する液体温度制御手段を設けたことを特徴とする装置
である。Ａｉｒ式もプランジャ式も対象にする。以下、
特に記述しない場合はプランジャ式についてあるいは共
通のことについて説明するものである。上記の吐出バル
ブがその吐出口の機械的開閉手段を有することを特徴と
する。上記の加圧手段は、液体貯留容器に貯留された液
体をその粘度に応じた圧力で加圧するための手段であ
り、好ましくは貯留された液体に精密に配設された押部
材である。上記の押部材は、それを加圧する液体貯留容
器の内径より十分大きいボア径のエアシリンダを具えた
ものである。上記の作動制御手段は、吐出口の近傍部分
で液体圧力を検出する圧力センサと、圧力センサからの
信号に基づいて前記加圧手段を作動させる手段を設けて
なることを特徴とする。上記の液体温度制御手段は、液
体貯留容器内と吐出バルブ内で液体温度をそれぞれ検出
する温度センサと、温度センサからの信号に基づいて所
望温度となる加熱冷却ユニットを設けてなることを特徴
とする。According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus comprising an operation control means for controlling the operation of the pressurizing means and the discharge valve, and a liquid temperature control means for controlling the temperature of the liquid. Both Air and plunger expressions are targeted. Less than,
Unless otherwise described, the description is about the plunger type or common matters. The discharge valve has a mechanical opening / closing means for the discharge port. The above-mentioned pressurizing means is means for pressurizing the liquid stored in the liquid storage container with a pressure corresponding to the viscosity thereof, and is preferably a pressing member precisely arranged on the stored liquid. The pressing member has an air cylinder having a bore diameter sufficiently larger than the inner diameter of the liquid storage container for pressurizing the pressing member. The operation control means includes a pressure sensor for detecting the liquid pressure near the discharge port, and means for operating the pressurizing means based on a signal from the pressure sensor. The above-mentioned liquid temperature control means is provided with a temperature sensor for detecting the liquid temperature in the liquid storage container and in the discharge valve, respectively, and a heating / cooling unit for obtaining a desired temperature based on a signal from the temperature sensor. I do.

【００１９】本発明の特徴点である上記の液体温度制御
手段について説明する。液体の粘度変化は、温度変化に
よるものの他に、例えば化学反応によっても起こるが、
この粘度変化により吐出量が微妙なレベルでばらつく。
しかし、従来法においては、スクリューの回転速度と停
止時期の精度良い制御に向けられおり、液体の粘度、流
動性や貯留容器内の液体量について考慮することがなか
った。本発明者らは液体の温度が変化しないよう制御す
ることは粘度変化を起こす一要因、それも主なる要因を
抑えることであり有効であるはずだという仮説を立て、
幾多の実験を行い、ついに温度変化による粘度変化が起
こらないように、液体の温度を一定に制御することが定
量的に液体を吐出するために有効であることを証明する
ことができた。上記の液体の温度の制御は、方法的に
は、液体貯留容器内と吐出バルブ内の液体温度を所望温
度となるように制御することにより行う。装置的には、
液体貯留容器内と吐出バルブ内で液体温度をそれぞれ検
出する温度センサと、温度センサからの信号に基づいて
所望温度となる加熱冷却ユニットを設けてなることを特
徴とする。The above-mentioned liquid temperature control means which is a feature of the present invention will be described. The viscosity change of the liquid can be caused not only by the temperature change but also by a chemical reaction, for example.
The discharge amount varies at a subtle level due to this change in viscosity.
However, the conventional method is directed to accurate control of the rotation speed and stop time of the screw, and does not consider the viscosity, fluidity, or amount of liquid in the storage container. The present inventors hypothesize that controlling the temperature of the liquid so as not to change is one of the factors causing the viscosity change, and it should be effective to suppress the main factor as well,
A number of experiments have been conducted, and it has been proved that controlling the temperature of the liquid to be constant so that the viscosity does not change due to the temperature change is effective for quantitatively discharging the liquid. The temperature of the liquid is controlled by controlling the temperature of the liquid in the liquid storage container and the temperature of the liquid in the discharge valve to a desired temperature. In terms of equipment,
It is characterized in that a temperature sensor for detecting a liquid temperature in the liquid storage container and a liquid temperature in the discharge valve, respectively, and a heating / cooling unit for obtaining a desired temperature based on a signal from the temperature sensor are provided.

【００２０】本発明の特徴点である、吐出を開始する前
に予め液体に圧力を加えておくことおよび／または吐出
の終了後における吐出口近傍部分の圧力が予め定めた特
定値となるようにすること、装置的には吐出口を機械的
に開閉することについて説明する。たとえば比較的少量
の液体の定量吐出に当っては、吐出の終了後における流
路内圧力、とくには吐出口近傍部分の圧力が予め定めた
特定値となるようにすることで、その後の液体吐出を常
に一定の流路条件の下にて行うことができ、従って、液
体貯留容器内の液体の加圧力、加圧時間等を設定するこ
とで、それらに応じた吐出量を、高い信頼性をもって繰
返し再現することができる。この一方で、比較的多量の
液体を定量吐出する場合には、上述したところに加え、
液体吐出中にもまた、液体圧力の検出結果に基づいて、
供給液体の圧力を、たとえば検出圧力の変動が小さくな
るようにすることで、所期した通りの定量吐出を行うこ
とができる。A feature of the present invention is that a pressure is applied to the liquid before starting the discharge and / or the pressure in the vicinity of the discharge port after the end of the discharge is a predetermined specific value. The operation and mechanical opening and closing of the discharge port will be described. For example, when a relatively small amount of liquid is discharged in a fixed amount, the pressure in the flow path after the end of the discharge, in particular, the pressure in the vicinity of the discharge port is set to a predetermined specific value, so that the subsequent liquid discharge is performed. Can always be performed under a constant flow path condition. Therefore, by setting the pressure of the liquid in the liquid storage container, the pressurizing time, etc., the discharge amount according to them can be obtained with high reliability. Can be reproduced repeatedly. On the other hand, when a relatively large amount of liquid is discharged in a fixed amount, in addition to the above,
Also during liquid ejection, based on the detection result of the liquid pressure,
By controlling the pressure of the supply liquid so that, for example, the fluctuation of the detected pressure becomes small, the desired fixed amount discharge can be performed.

【００２１】またここでは、液体貯留容器内の液体の、
加圧力の増加とタイミングを合わせて吐出バルブの吐出
口を機械的に開放することで液体吐出をタイムラグ無し
に開始することができる。そして、吐出の終了に際して
は、加圧力の増加分を除去し、併せてバルブの吐出口を
機械的に閉止することで、液体の洩出のおそれなしに、
高い液切れ性をもって定量吐出を終了することができ
る。このようにして一回の定量吐出を終えた後の、流路
内の液体圧力は、前述したように、液体圧力に応じて、
予め定めた特定値となるようにコントロールされる。Here, the liquid in the liquid storage container is
The liquid discharge can be started without a time lag by mechanically opening the discharge port of the discharge valve in synchronization with the increase in the pressing force. Then, at the end of the discharge, by removing the increase in the pressing force and mechanically closing the discharge port of the valve, without fear of liquid leakage,
The constant-volume discharge can be completed with a high liquid drainage property. After one fixed-quantity discharge in this way, the liquid pressure in the flow path is, as described above, according to the liquid pressure,
It is controlled so as to be a predetermined specific value.

【００２２】この発明の上記の装置では、加圧手段への
圧力信号および加圧時間信号に基づいて、液体貯留容器
内の液体を、圧力信号に応じた圧力に、加圧時間信号に
応じた時間加圧するとともに、加圧手段の作動とタイミ
ングを合わせて吐出バルブを開放して、その吐出口から
液体を吐出することで、タイムラグなしに吐出を開始す
ることができる。ここで、加圧手段による液体の加圧時
間が所定の時間に達し、これによって液体の吐出量が所
定量に達したときは、吐出バルブの機械的な閉止を、加
圧手段の作動停止とタイミングを合わせて行う。吐出バ
ルブはこの閉止によって、吐出口を物理的に閉止される
ことから、すぐれた液切れ性をもたらすとともに、その
後の液体の不測の洩出を完全に防止することができる。
このようにして一回の吐出を終えた後は、圧力センサを
もって吐出近傍部分の液体圧力を検出するとともに、こ
の時の圧力信号を制御手段へ入力する。制御手段はこの
信号に基づいて、吐出口近傍部分の残圧を、予め定めた
特定値とするべく、加圧手段をもって液圧の増加もしく
は減少をもたらす。なおここで、検出液圧が上記特定値
と一致するときは、加圧手段の再作動が不要であること
はもちろんである。吐出終了後の吐出口近傍部分、ひい
ては、液体流路の内圧を、このように、常に一定値とし
て流路条件の変動を除去した場合には、次回の定量吐出
に際して、液体の加圧力、加圧時間等を、不確定要素を
考慮することなく決定することができ、また、高精度の
定量吐出を行うことができる。ところで、液体の一回の
吐出が、液体の線状塗布等のように、比較的長い時間に
わたって継続される場合には、その吐出の途中において
も圧力センサによる圧力検出を行ない、この検出結果に
基いて、加圧手段による液体加圧力をコントロールする
ことが好ましい。In the above-described apparatus according to the present invention, the liquid in the liquid storage container is changed to a pressure corresponding to the pressure signal and to a pressure corresponding to the pressurization time signal based on the pressure signal and the pressurization time signal to the pressurizing means. The discharge can be started without a time lag by applying the time pressure and opening the discharge valve in synchronization with the operation of the pressurizing means and discharging the liquid from the discharge port. Here, when the pressurizing time of the liquid by the pressurizing means has reached a predetermined time, and thereby the discharge amount of the liquid has reached a predetermined amount, mechanical closing of the discharge valve is performed by stopping the operation of the pressurizing means. The timing is adjusted. By closing the discharge valve, the discharge port is physically closed, so that excellent discharge property can be obtained and unexpected leakage of the liquid can be completely prevented.
After one ejection in this way, the pressure sensor detects the liquid pressure in the vicinity of the ejection with a pressure sensor and inputs a pressure signal at this time to the control means. Based on this signal, the control means causes the pressurizing means to increase or decrease the hydraulic pressure so that the residual pressure in the vicinity of the discharge port becomes a predetermined specific value. Here, when the detected hydraulic pressure coincides with the specific value, it is needless to say that it is not necessary to restart the pressurizing means. If the internal pressure of the liquid passage near the discharge port after the end of the discharge, and thus the internal pressure of the liquid flow path, is always kept at a constant value and the fluctuation of the flow path condition is removed, the pressure and the pressure of the liquid will be increased in the next quantitative discharge. The pressure time and the like can be determined without considering uncertain factors, and high-precision quantitative discharge can be performed. By the way, when a single discharge of liquid is continued for a relatively long time, such as linear application of liquid, pressure detection by a pressure sensor is performed even during the discharge, and Based on this, it is preferable to control the liquid pressure by the pressurizing means.

【００２３】このような装置において、好ましくは、吐
出バルブをニードルバルブとする。ニードルそれ自体
は、十分小型化できるので、たとえば、１００〜２００
ｋｇｆ／ｃｍ２程度の高圧下にても、比較的小さな駆動
力によって、円滑にかつ迅速に開閉変位することがで
き、従って、吐出の終了時の液切れ性を高め、また、吐
出の開始時のタイムラグをより有効に除去することがで
きる。しかも、駆動力が小さくて済むこととの関連にお
いて、吐出バルブの全体を小型化することもできる。そ
して、より好ましくは、前記ニードルバルブに、液体圧
力補償ピストンを設ける。これによれば、液体圧力補償
ピストンの進退変位をもって液体流路、なかでも吐出お
よびその近傍部分の圧力変動に、より簡単かつ迅速に、
しかも的確に対処することができる。たとえば、ニード
ルバルブが開放作動させるときは、吐出口近傍部分に占
めるニードルの体積が減少し、逆に、ニードルバルブを
閉止作動させるときはニードルの占有体積が増加するこ
とになるので、前者の場合には、液体圧力補償ピストン
を進出変位させることで、吐出近傍部分の液圧の低下を
防止することができ、また後者の場合には、そのピスト
ンを後退変位させることで液圧の増加を防止することが
できる。従って、この液体圧力補償ピストンは、吐出の
終了後における液体残圧を、予め定めた特性値とするた
めに、前記加圧手段とともに、または、それに代えて適
用することもできる。さらに、このような装置におい
て、ワークに対して吐出ノズルを移動させる必要がある
場合には、その吐出ノズルを、たとえば直角座標型、即
ち三次元方向へ変位させることができるマニピュレータ
に取付けることが好ましく、そして、このマニピュレー
タの制御を加圧手段の制御および吐出バルブの制御に同
期させて制御することがさらに好ましい。In such an apparatus, the discharge valve is preferably a needle valve. Since the needle itself can be sufficiently reduced in size, for example, 100 to 200
Even under a high pressure of about kgf / cm 2 , the opening and closing displacement can be performed smoothly and quickly by a relatively small driving force, so that the liquid drainage property at the end of the discharge is improved, and Time lag can be more effectively removed. In addition, the entire discharge valve can be reduced in size in relation to the need for a small driving force. And, more preferably, the needle valve is provided with a liquid pressure compensating piston. According to this, the liquid flow path, especially the discharge and the pressure fluctuation in the vicinity thereof, with the reciprocating displacement of the liquid pressure compensating piston, can be more easily and quickly changed.
Moreover, it is possible to cope with the situation appropriately. For example, when opening the needle valve, the volume of the needle occupying the portion near the discharge port decreases, and conversely, when closing the needle valve, the volume occupied by the needle increases. In this case, it is possible to prevent the liquid pressure from dropping in the vicinity of the discharge by displacing the liquid pressure compensation piston, and in the latter case, prevent the liquid pressure from increasing by displacing the piston backward. can do. Therefore, the liquid pressure compensating piston can be applied together with or instead of the pressurizing means in order to set the remaining liquid pressure after the end of the discharge to a predetermined characteristic value. Further, in such an apparatus, when it is necessary to move the discharge nozzle with respect to the workpiece, it is preferable to attach the discharge nozzle to, for example, a rectangular coordinate type, that is, a manipulator that can be displaced in a three-dimensional direction. It is more preferable to control the manipulator in synchronization with the control of the pressurizing means and the control of the discharge valve.

【００２４】前記した通り、この発明の液体定量吐出装
置は、Ａｉｒ型も対象にしている。以下、Ａｉｒ型装置
について説明すると、前記の加圧手段が、液体貯留容器
内へ進入させたプランジャの進退変位を司るエアシリン
ダにて構成されるとともに、このエアシリンダのボア径
を、液体貯留容器の内径より大きくしたものである。こ
の装置では、制御手段からの信号に基づいて電磁切換弁
を作動させて、たとえば複動型とすることができるエア
シリンダ内へ所定圧力の加圧空気を導入して、液体貯留
容器内の液体をプランジャをもって加圧するとともに、
これとタイミングを合わせて吐出バルブを開放すること
で、エアシリンダへの供給圧力と対応する圧力の液体
を、バルブの吐出口から、ほとんどタイムラグなしに吐
出することができる。この一方で、液体圧力、ひいて
は、シリンダへの供給圧力と、吐出時間等との関連で定
まる液体吐出量が所定量に達した時には、制御手段の作
用下で、エアシリンダへの加圧空気の供給停止と、吐出
バルブの閉止とを同時に行わせることで、これもまたほ
とんどタイムラグなしに、液体の吐出を停止することが
でき、これによって、すぐれた定量吐出精度をもたらす
ことができる。しかも、ここにおける吐出の停止は、吐
出バルブの機械的な閉止によって行われるので、すぐれ
た液切れ性を実現できることはもちろん、その後の液体
の洩出を極めて効果的に防止することができる。As described above, the liquid metering apparatus of the present invention is applicable to the Air type. Hereinafter, the Air-type device will be described. The pressurizing means is configured by an air cylinder that controls the forward and backward displacement of a plunger that has entered the liquid storage container, and the bore diameter of the air cylinder is determined by the liquid storage container. It is larger than the inner diameter of. In this device, the electromagnetic switching valve is operated based on a signal from the control means, and pressurized air at a predetermined pressure is introduced into an air cylinder, which can be, for example, a double-acting type, and the liquid in the liquid storage container is With a plunger,
By opening the discharge valve at the same time as this, the liquid having a pressure corresponding to the supply pressure to the air cylinder can be discharged from the discharge port of the valve with almost no time lag. On the other hand, when the liquid pressure, that is, the supply pressure to the cylinder, and the liquid discharge amount determined in relation to the discharge time, etc. reach a predetermined amount, under the action of the control means, the pressurized air to the air cylinder is released. By simultaneously stopping the supply and closing the discharge valve, the discharge of the liquid can be stopped with almost no time lag, thereby providing excellent quantitative discharge accuracy. In addition, since the discharge is stopped by mechanically closing the discharge valve, excellent liquid drainage can be realized, and the subsequent leakage of the liquid can be extremely effectively prevented.

【００２５】ところで、このような液体の定量吐出を、
短いタクトタイムにて繰返し行って吐出作業能率を高め
るためには、プランジャによる液体の加圧力を高めて単
位時間当たりの吐出量を多くすることが必要となるとこ
ろ、一般的な工場のライン空気圧は５〜７kgf/cm
2 程度の低圧であるので、その空気圧をそのままエアシ
リン ダに供給するだけでは、液体圧力を所期するほどに
は高めることができず、従って、吐出作業能率にも自ず
と限界があった。そこでこの装置では、エアシリンダの
ボア径を、液体貯留容器の内径より十分大きくして、そ
こへの供給圧力が低くてもプランジャの圧下力を十分大
ならしめることで、液体圧力の所要に応じた増加を可能
として定量吐出のタクトタイムの短縮を担保する。な
お、この場合の液体圧力の調整、直接的にはエアシリン
ダへの供給圧力の調整は、空圧系に設けた減圧弁によっ
て行うことができる。このような装置において好ましく
は、吐出バルブの吐出口近傍部分に、液体圧力を検出す
る圧力センサを設けるとともに、圧力センサからの信号
に基づいてエアシリンダへの供給圧力を調整する調圧手
段を設ける。これによれば、圧力センサの検出信号を制
御手段に入力し、そしてこの制御手段から調圧手段、好
ましくは電空レギュレータに出力される調圧信号に基づ
いて調圧手段を作動させることで、エアシリンダへの供
給圧力を所要に応じて自動的に調整することができ、併
せて、液体の吐出中の圧力変動を、迅速かつ円滑に自動
補正することもできる。By the way, such a fixed amount discharge of the liquid is performed as follows.
In order to increase the discharge work efficiency by repeatedly performing with a short tact time, it is necessary to increase the pressure of the liquid by the plunger and increase the discharge amount per unit time. 5-7kgf / cm
Since the pressure is as low as about 2, the air pressure is
Only by supplying the phosphorus da it can not be increased to the extent that the desired fluid pressure, therefore, naturally there is a limit to the discharge working efficiency. Therefore, in this device, the bore diameter of the air cylinder is made sufficiently larger than the inner diameter of the liquid storage container, and even if the supply pressure to the liquid cylinder is low, the plunger rolling force is sufficiently increased to meet the required liquid pressure. In addition, the tact time of the fixed-quantity ejection can be shortened to ensure the increase. The adjustment of the liquid pressure in this case, that is, directly the adjustment of the supply pressure to the air cylinder, can be performed by a pressure reducing valve provided in the pneumatic system. In such a device, preferably, a pressure sensor for detecting the liquid pressure is provided in the vicinity of the discharge port of the discharge valve, and pressure regulating means for adjusting the supply pressure to the air cylinder based on a signal from the pressure sensor is provided. . According to this, the detection signal of the pressure sensor is input to the control means, and the pressure control means is operated from the control means, preferably based on the pressure control signal output to the electropneumatic regulator. The supply pressure to the air cylinder can be automatically adjusted as required, and the pressure fluctuation during the discharge of the liquid can be automatically corrected quickly and smoothly.

【００２６】ここでまた好ましくは、前記吐出バルブを
ニードルバルブとする。ニードルそれ自体は、十分小型
化できるので、たとえば、１００〜２００kgf/cm2 程度
の高い液圧下にても、比較的小さな駆動力によって、液
圧にほとんど影響されることなく、円滑かつ迅速に開閉
変位させることができ、従って、吐出の停止時の液切れ
性を高めるとともに、吐出の開始時および停止時のタイ
ムラグをより有効に除去することができる。しかも、駆
動力が小さくて済むこととの関連において、吐出バルブ
の全体を小型化することもできる。そして、より好まし
くは、前記ニードルバルブに、液体圧力補償ピストンを
設ける。これによれば、液体圧力補償ピストンの進退変
位をもって流体流路、なかでも吐出口およびその近傍部
分の圧力変動に、より簡単かつ迅速に、しかも的確に対
処することができる。たとえば、ニードルバルブを開放
作動させるときは、吐出口近傍部分に占めるニードルの
体積が減少し、逆に、ニードルバルブを閉止作動させる
ときはニードルの占有体積が増加することになるので、
前者の場合には、液体圧力補償ピストンを進出変位させ
ることで、吐出口近傍部分の液圧の低下を防止すること
ができ、また後者の場合には、そのピストンを後退変位
させることで液圧の増加を防止することができる。従っ
て、この液体圧力補償ピストンは、吐出の終了後におけ
る液体残圧を、予め定めた特性値とするために、前記エ
アシリンダとともに、または、それに代えて適用するこ
ともできる。Here, preferably, the discharge valve is a needle valve. The needle itself, because it sufficiently miniaturized, for example, even at 100~200kgf / cm 2 about a high liquid pressure, by the relatively small driving force, most are possible without being affected a hydraulic, smoothly and quickly opened and closed Therefore, the liquid can be displaced, so that the liquid drainage property at the time of stopping the discharge can be enhanced, and the time lag at the time of starting and stopping the discharge can be more effectively removed. In addition, the entire discharge valve can be reduced in size in relation to the need for a small driving force. And, more preferably, the needle valve is provided with a liquid pressure compensating piston. According to this, it is possible to more easily, promptly, and accurately cope with pressure fluctuations in the fluid flow path, particularly, in the discharge port and the vicinity thereof, with the reciprocating displacement of the liquid pressure compensating piston. For example, when opening the needle valve, the volume of the needle occupying the vicinity of the discharge port decreases, and conversely, when closing the needle valve, the volume occupied by the needle increases.
In the former case, the liquid pressure compensating piston is advanced and displaced to prevent a decrease in the hydraulic pressure in the vicinity of the discharge port, and in the latter case, the piston is retracted and the hydraulic pressure is reduced. Can be prevented from increasing. Therefore, the liquid pressure compensating piston can be applied together with or instead of the air cylinder in order to set the liquid residual pressure after the end of the discharge to a predetermined characteristic value.

【００２７】さらに好ましくは、液体貯留容器と吐出バ
ルブとの間の液体流路に、プランジャに貫通する上向部
分を設ける。液体貯留容器へのプランジャの進入当初に
は、好ましくは液体貯留容器に気密に内接するプランジ
ャと容器内液面との間に空気が封じ込められることにな
るも、流体流路に、プランジャに貫通する上向部分を設
けた場合には、液体の定量吐出に先立つそのプランジャ
の押し込みにより、液面の上方に封じ込められたその空
気は、上向部分を経て液体貯留容器から円滑に排出され
るので、その後の定量吐出に先立って、封入空気の圧縮
性等が液体圧力の増減に及ぼす影響を十分に除去するこ
とができる。More preferably, an upward portion penetrating through the plunger is provided in the liquid flow path between the liquid storage container and the discharge valve. At the beginning of the plunger entry into the liquid storage container, air is preferably confined between the plunger and the liquid level in the container, preferably in a gas-tight manner in the liquid storage container, but also penetrates through the plunger into the fluid flow path. When the upward portion is provided, the air trapped above the liquid level is smoothly discharged from the liquid storage container via the upward portion by pushing the plunger prior to the fixed amount discharge of the liquid, Prior to the subsequent quantitative discharge, it is possible to sufficiently remove the influence of the compressibility of the sealed air on the increase and decrease of the liquid pressure.

【００２８】[0028]

【作用】（１）液体の温度を一定に制御することによ
り、液体の粘度変化を起こす一要因、それも主たる要因
を抑制することができ、液体を安定して定量的に吐出す
ることができる。 （２）液体貯留容器に貯留された液体の圧力を制御する
ことにより、ノズル内で受ける管内抵抗に勝る推進力を
液体に作用させることになり、液体の吐出流速が一定に
なるよう制御される。液体は描画する塗布形状に最適な
ノズルの内を流動して吐出されるため、少なからずノズ
ル内で管内抵抗を受けるが、液体貯留容器に貯留された
液体の圧力を制御することにより、特に、高粘性流体を
吐出するような極めて高い抵抗を液体が受ける場合に有
効であり、この抵抗がいかに高くとも、前記抵抗に勝る
推進力を液体に作用させることになり、液体の吐出流速
が一定になるよう制御される。 （３）貯留された液体の圧力の制御は、貯留された液体
の減少する速度を制御する、より具体的には一定または
可変に制御することにより、吐出開始から吐出終了に至
るまで、液体の吐出流速を一定または所望にすることが
できる。貯留された液体の減少する速度を制御する、よ
り具体的には一定または可変に制御するということは、
所望の体積量に到達さえすれば時間は問わないという従
来法に、時間的概念を加え、所望の体積量に到達させる
その過程においても、所望の量ずつ吐出体積量を増加さ
せることを可能としたことを意味する。これにより、液
体の粘度に依存せずに塗布が可能となったことに加え
て、従来好まれなかった高粘度液体を用いた吐出におい
ても、押部材、貯留容器の弾性による影響を効果的に排
除することができ、その使用を可能ならしめ、安定した
塗布形状を容易に形成させることを可能とし、さらに液
圧を大気圧に戻す必要が無いために作業を高速に行うこ
とが可能となったものである。(1) By controlling the temperature of the liquid to be constant, one factor that causes a change in the viscosity of the liquid, which is also a main factor, can be suppressed, and the liquid can be stably and quantitatively discharged. . (2) By controlling the pressure of the liquid stored in the liquid storage container, a propulsive force exceeding the in-pipe resistance received in the nozzle acts on the liquid, and the discharge flow rate of the liquid is controlled to be constant. . Since the liquid flows and is discharged in the nozzle optimal for the application shape to be drawn, the pipe receives resistance in the nozzle at least in the nozzle, but by controlling the pressure of the liquid stored in the liquid storage container, This is effective when the liquid receives an extremely high resistance such as discharging a high-viscosity fluid.No matter how high this resistance is, the propulsive force exceeding the resistance acts on the liquid, and the discharge flow rate of the liquid becomes constant. Is controlled. (3) The pressure of the stored liquid is controlled by controlling the decreasing speed of the stored liquid, more specifically, by controlling the liquid to be constant or variably from the start of discharge to the end of discharge. The discharge flow rate can be constant or desired. Controlling the decreasing speed of the stored liquid, more specifically controlling it constant or variable,
The concept of time is added to the conventional method of irrespective of time as long as the desired volume is reached, and in the process of reaching the desired volume, it is possible to increase the discharge volume by the desired amount. Means you did. As a result, in addition to being able to apply without depending on the viscosity of the liquid, the effect of the elasticity of the pressing member and the storage container can be effectively reduced even in the discharge using a high-viscosity liquid, which has not been favored conventionally. It can be used, making it possible to use it, making it possible to easily form a stable coating shape, and because it is not necessary to return the liquid pressure to atmospheric pressure, it is possible to work at high speed It is a thing.

【００２９】（４）方法的には、吐出を開始する前に予
め液体に圧力を加えておくことおよび／または吐出の終
了後における吐出口近傍部分の圧力が予め定めた特定値
となるようにすることにより、装置的には、吐出バルブ
がその吐出口の機械的開閉手段を有することにより、た
とえば比較的少量の液体の定量吐出に当っては、吐出の
終了後における流路内圧力、とくには吐出口近傍部分の
圧力が予め定めた特定値となるようにすることで、その
後の液体吐出を常に一定の流路条件の下にて行うことが
でき、したがって、液体貯留容器内の液体の加圧力、加
圧時間等を設定することで、それらに応じた吐出量を、
高い信頼性をもって繰返し再現することができる。液体
の吐出が遅れる理由が、液体の圧力を上昇させる時間を
要する点と、吐出に使われるべきエネルギーが前記変形
に使用される点とにあるので、液体を与圧することは、
短い時間で所望の力を液体に作用させることが可能であ
ること、ならびに、予め前記変形を引き起こさせること
は、吐出中にさらなる変形を防止させることが可能であ
ること、のような効果をもたらし、液体を流動させるエ
ネルギーを効果的に使用することが可能となる。与圧は
吐出時に加える圧力と同等の力を与えること、ならび
に、同等の力で吐出を終了させることが好ましい。(4) In terms of method, a pressure is applied to the liquid before starting the discharge, and / or the pressure in the vicinity of the discharge port after the end of the discharge becomes a predetermined specific value. Accordingly, in terms of the device, the discharge valve has mechanical opening / closing means for the discharge port. For example, in the case of quantitative discharge of a relatively small amount of liquid, the pressure in the flow path after the end of the discharge, in particular, By setting the pressure in the vicinity of the discharge port to a predetermined specific value, the subsequent liquid discharge can always be performed under constant flow path conditions, and therefore, the liquid in the liquid storage container can be discharged. By setting the pressing force, pressurizing time, etc., the discharge amount according to them,
It can be reproduced repeatedly with high reliability. The reason why the ejection of the liquid is delayed is that it takes time to increase the pressure of the liquid and the point that the energy to be used for the ejection is used for the deformation.
It is possible to apply a desired force to the liquid in a short time, and to cause the deformation in advance has effects such as being able to prevent further deformation during ejection. In addition, the energy for flowing the liquid can be used effectively. It is preferable that the pressurization gives a force equivalent to the pressure applied at the time of discharge, and that the discharge be terminated with the same force.

【００３０】（５）容器に貯留された液体に精密に配設
された押部材の、移動量で液体の吐出量を、移動速度で
吐出流速を制御することにより、かつ、吐出開始前には
液体を一定に与圧し、吐出終了時には大気圧より高圧な
液圧で、好ましくは吐出開始前の与圧と同圧となったと
きに、吐出を終了するよう液体を制御することにより、
粘度の変化による影響を排除できることで、ノズル先端
から吐出される液体の流速を常に一定になるように制御
することことが可能となった。さらに、特に、従来問題
となっていた線形状の塗布における始点部・終点部の形
状形成を容易にならしめるものである。特に、これは線
形状に塗布を行うとその効果が顕著に現れ、従来技術で
は不安定であった線の始点部・終点部の線形状が極めて
容易に制御可能となり、例えば均一な線形状の塗布は線
の始点から終点に至るまで線の細り・太りがなく、均一
にそろった線形状の形成が可能となった。 （６）押部材を加圧するエアシリンダのボア径を、液体
貯留容器の内径より十分大きくすることで、そこへの供
給圧力が低くてもプランジャの加圧力を十分大ならしめ
ることで、液体圧力の所要に応じた増加を可能として定
量吐出のタクトタイムの短縮を担保することが可能とな
った。 （７）押部材を加圧する動力源としてモータを用いるこ
とにより、モータが発生するエネルギーが液体を流動さ
せるために必要なエネルギーに比べはるかに高いため、
押部材の移動速度を一定に保つことが可能である。(5) By controlling the discharge amount of the liquid by the movement amount and the discharge flow rate by the movement speed of the pressing member precisely arranged in the liquid stored in the container, and before the start of the discharge. The liquid is pressurized at a constant pressure, and at the end of the discharge, at a liquid pressure higher than the atmospheric pressure, preferably by controlling the liquid to end the discharge when the pressure becomes the same as the pre-pressurized pressure before the start of the discharge.
By being able to eliminate the influence of the change in viscosity, it has become possible to control the flow velocity of the liquid discharged from the tip of the nozzle to be always constant. Further, the present invention facilitates the formation of the shape of the starting point and the ending point in the application of a linear shape, which has conventionally been a problem. In particular, this is remarkable when the coating is performed in a linear shape, and the line shape of the start point and the end point of the line, which was unstable in the conventional technology, can be controlled very easily, for example, a uniform line shape. The coating did not cause the line to become thin or thick from the start point to the end point of the line, and it was possible to form a uniform line shape. (6) By making the bore diameter of the air cylinder for pressurizing the pressing member sufficiently larger than the inner diameter of the liquid storage container, the pressure of the plunger is sufficiently increased even if the supply pressure to the liquid storage container is low, so that the liquid pressure is increased. Can be increased as required, thereby shortening the takt time for fixed-quantity discharge. (7) By using a motor as a power source for pressing the pressing member, the energy generated by the motor is much higher than the energy required for flowing the liquid.
It is possible to keep the moving speed of the pressing member constant.

【００３１】[0031]

【実施例】本発明の実施例を図面に示すところに基づい
て説明する。本発明はこれらの実施例によって何ら限定
されるものではない。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The present invention is not limited by these examples.

【００３２】実施例１ 図１は液体温度制御手段を備えた液体定量吐出装置の説
明図である。図１に示す実施例は、貯留容器内と吐出バ
ルブ内とに液体の温度を測定する温度センサーと、温度
センサーからの信号を入力し加熱冷却ユニットへ信号を
出力する温度制御部と、温度制御部からの信号により所
望の温度となる加熱冷却ユニットとを、例えば実施例２
または実施例３の装置に付加した装置であり、加熱冷却
ユニットで液体貯留容器と吐出バルブとを覆った例であ
る。液体の温度は常に所望の温度となるよう制御されて
おり、本実施例では、貯留容器内の液体温度と、吐出バ
ルブ内の液体温度とが温度制御部により管理されてい
る。貯留容器と吐出バルブとを連通する液送チューブの
距離が長くなる場合や、吐出間隔が長く、液体の温度が
変化し得るほどの時間を掛けて、液体が液送チューブを
通過する場合は、液送チューブ内に温度センサーを配設
し、さらに液送チューブの一部または全長に渡って加熱
冷却ユニットで覆うことが望ましい。この場合、液送チ
ューブの長さや吐出間隔に応じて、液送チューブ内に配
設する温度センサーの数を決めることが望ましい。ま
た、環境温度を所望の温度に制御可能な恒温槽内に本装
置すべてを収納しても同様な効果が得られる。Embodiment 1 FIG. 1 is an explanatory view of a liquid fixed-quantity discharge device provided with a liquid temperature control means. The embodiment shown in FIG. 1 includes a temperature sensor that measures the temperature of a liquid in a storage container and a discharge valve, a temperature control unit that inputs a signal from the temperature sensor and outputs a signal to a heating / cooling unit, and a temperature control unit. A heating and cooling unit that reaches a desired temperature according to a signal from the
Alternatively, this is an apparatus added to the apparatus of the third embodiment, and is an example in which a liquid storage container and a discharge valve are covered by a heating / cooling unit. The temperature of the liquid is always controlled to be a desired temperature. In this embodiment, the temperature of the liquid in the storage container and the temperature of the liquid in the discharge valve are managed by the temperature control unit. When the distance of the liquid feed tube communicating the storage container and the discharge valve is long, or when the discharge interval is long, and the liquid passes through the liquid feed tube over a time period that can change the temperature of the liquid, It is desirable to dispose a temperature sensor in the liquid feeding tube and further cover the liquid feeding tube with a heating / cooling unit over a part or the entire length. In this case, it is desirable to determine the number of temperature sensors provided in the liquid feeding tube according to the length and the discharge interval of the liquid feeding tube. Further, the same effect can be obtained even if all of the present apparatus is housed in a constant temperature bath capable of controlling the environmental temperature to a desired temperature.

【００３３】実施例２ 図２は、本発明の液体定量吐出装置一実施の形態を示す
要部断面図である。図２に示す実施例は、実施例１の液
体温度制御手段を付加する対象となる装置であり、図
中、１は液体貯留容器を、２は、吐出バルブとしてのニ
ードルバルブをそれぞれ示す。ここにおける液体貯留容
器１は、たとえば合成樹脂材料製とすることができるシ
リンジ３と、このシリンジ３に外接してそれを保持する
ホルダ４とからなり、ホルダ４は、シリンジ３の着脱を
可能ならしめる。そして、かかる液体貯留容器１内の液
体を所要の圧力に加圧する加圧手段５は、モータ６の出
力軸に取付けたボールねじ７に螺合され、ボールねじ７
の回転に伴って昇降変位する雌ねじ部材８に、ロッド９
を介してプランジャ１０を連結することによって構成し
てなり、ここでプランジャ１０は、好ましくは、シリン
ジ３に液密に内接する。またここで、液体貯留容器１
に、液体流路１２を介して接続したニードルバルブ２
は、流路１２に連通して吐出口１３に至るアウトレット
スペース１４内で進退変位して、その吐出口１３を開閉
するニードル１５と、このニードル１５の進退作動をも
たらす、ここでは複動型のシリンダ１６とからなり、ニ
ードル１５をシリンダ１６のピストン１７に連結してな
る。さらにここでは、前記吐出口１３の近傍部分、図に
示すところでは、ニードルバルブ２への流路１２の接続
部に、その流路１２内の液体の圧力を検出する圧力セン
サ１８を配設するとともに、この圧力センサ１８による
検出信号を入力する制御手段１９を設ける。ここにおけ
るこの制御手段１９は、圧力センサ１８の検出結果に基
づいて、流路１２内、特には吐出口近傍部分の液圧が、
吐出の停止時に、より好ましくは吐出時にもまた、予め
定めた特定値となるように、モータ６の作動をコントロ
ールする他、液体の吐出に当っての、モータ６の回転速
度、回転時間等とともに、ニードルバルブ２の切換弁２
０の作動をもコントロールすべく機能する。Embodiment 2 FIG. 2 is a cross-sectional view of a principal part showing one embodiment of the liquid metering apparatus according to the present invention. The embodiment shown in FIG. 2 is a device to which the liquid temperature control means of the first embodiment is added. In the drawing, 1 indicates a liquid storage container, and 2 indicates a needle valve as a discharge valve. The liquid storage container 1 here comprises a syringe 3 made of, for example, a synthetic resin material, and a holder 4 circumscribing the syringe 3 and holding the syringe 3. Close. The pressurizing means 5 for pressurizing the liquid in the liquid storage container 1 to a required pressure is screwed into a ball screw 7 attached to an output shaft of a motor 6.
The female screw member 8 that moves up and down with the rotation of the
The plunger 10 is preferably inscribed in a liquid-tight manner with the syringe 3. Here, the liquid storage container 1
, A needle valve 2 connected via a liquid flow path 12
The needle 15 moves forward and backward in an outlet space 14 that communicates with the flow path 12 and reaches the discharge port 13 to open and close the discharge port 13, and causes the needle 15 to move forward and backward. A needle 15 is connected to a piston 17 of the cylinder 16. Further, here, a pressure sensor 18 for detecting the pressure of the liquid in the flow path 12 is provided at a portion in the vicinity of the discharge port 13, as shown in the figure, at a connection portion of the flow path 12 to the needle valve 2. In addition, a control means 19 for inputting a detection signal from the pressure sensor 18 is provided. Here, the control means 19 controls the hydraulic pressure in the flow path 12, particularly in the vicinity of the discharge port, based on the detection result of the pressure sensor 18.
When the discharge is stopped, more preferably also at the time of the discharge, the operation of the motor 6 is controlled so as to be a predetermined specific value, and the rotation speed, the rotation time, and the like of the motor 6 in discharging the liquid. , Switching valve 2 of needle valve 2
It also functions to control the zero operation.

【００３４】以上のように構成してなる装置による液体
の定量吐出に当っては、たとえば、圧力センサ１８の検
出圧力に基づき、制御手段１９をもってモータ６を作動
させて、シリンジ３内のプランジャ１０を下降もしくは
上昇させ、これによって液体流路１２内の液体圧力を、
予め定めた特定値として、吐出開始前の流路条件を常に
一定のものとする。その後は、制御手段１９から吐出開
始信号および吐出圧力信号を出力して、モータ６の所定
速度で定速回転させて、シリンジ３内の液体を所要の圧
力に加圧するとともに、そのモータ６の作動とタイミン
グを合わせて、シリンダ１６のピストン１７、ひいて
は、ニードル１４の後退変位をもたらして吐出口１３を
開放し、その吐出口１３からの液体の吐出を開始する。
ところで、この吐出が比較的長い時間にわたる場合に
は、その吐出中にもまた、圧力センサ１８による圧力検
出を行ない、その結果をモータ６の作動にフィードバッ
クして回転速度等を修正することが、定量吐出精度を高
める上で好ましい。そして、液体の所定量の吐出に見合
った所定時間の経過時には、制御手段１９から、モータ
６および切換弁２０のそれぞれに、吐出終了信号を出力
してモータ６の回転停止と、ニードルバルブ２の閉止作
動とを同時に行わせ、これによって一回の定量吐出が終
了する。この場合、特にニードルバルブ２のニードル１
５は、液体圧力の大小にかかわらず、常に円滑に、かつ
迅速に進出作動して吐出口１３を機械的に閉止するの
で、すぐれた液切れ性をもたらすとともに、吐出口１３
の完全閉止を実現して不測の液洩れを十分に防止するこ
とができる。In the constant discharge of the liquid by the apparatus having the above-described configuration, the motor 6 is operated by the control means 19 based on the pressure detected by the pressure sensor 18, and the plunger 10 in the syringe 3 is operated. Is lowered or raised, thereby increasing the liquid pressure in the liquid flow path 12.
As the predetermined specific value, the flow path condition before the start of discharge is always constant. Thereafter, a discharge start signal and a discharge pressure signal are output from the control means 19, and the motor 6 is rotated at a constant speed at a predetermined speed to pressurize the liquid in the syringe 3 to a required pressure and to operate the motor 6 At the same time, the piston 17 of the cylinder 16, and eventually the needle 14, is retracted to open the discharge port 13, and discharge of liquid from the discharge port 13 is started.
By the way, when the discharge is performed for a relatively long time, the pressure is also detected by the pressure sensor 18 during the discharge, and the result is fed back to the operation of the motor 6 to correct the rotation speed and the like. This is preferable for improving the accuracy of the quantitative discharge. When a predetermined time corresponding to the discharge of a predetermined amount of liquid has elapsed, the control means 19 outputs a discharge end signal to each of the motor 6 and the switching valve 20 to stop the rotation of the motor 6 and to stop the rotation of the needle valve 2. The closing operation is performed at the same time, whereby one fixed-quantity discharge is completed. In this case, in particular, the needle 1 of the needle valve 2
5 is always smooth and quick to operate regardless of the magnitude of the liquid pressure, and mechanically closes the discharge port 13, so that the liquid outlet 13 has excellent liquid drainage properties.
Can be completely closed and unexpected liquid leakage can be sufficiently prevented.

【００３５】図３は、液体流路の他の構成態様を示す断
面図であり、これは、液体貯留容器１の上部でプランジ
ャ１０に貫通して延びる液体流路１２を形成したもので
ある。この液体流路１２によれば、沈殿物が多い液体に
おいて、その沈殿物の吐出を有効に防止することができ
る。FIG. 3 is a cross-sectional view showing another configuration of the liquid flow path, in which a liquid flow path 12 extending through the plunger 10 above the liquid storage container 1 is formed. According to the liquid channel 12, it is possible to effectively prevent the discharge of the sediment in the liquid having a large amount of sediment.

【００３６】図４は、液体流路のさらに他の構成態様を
示す断面図である。ここでは、シリンジ３のホルダ４
に、シリンジ３の下端開口とニードルバルブ２とのそれ
ぞれに連通する液体流路１２を設ける。これによれば、
液体貯留容器１とニードルバルブ２とを一体的に構成す
ることで、流路形成用のチューブを不要ならしめること
ができ、流路が長いことに起因する圧力応答性の低下を
防止することができる。FIG. 4 is a sectional view showing still another configuration of the liquid flow path. Here, the holder 4 of the syringe 3
Further, a liquid flow path 12 communicating with each of the lower end opening of the syringe 3 and the needle valve 2 is provided. According to this,
By integrally configuring the liquid storage container 1 and the needle valve 2, a tube for forming a flow path can be eliminated, and a decrease in pressure responsiveness due to a long flow path can be prevented. it can.

【００３７】図５は、ニードルバルブ２の他の構成態様
を示す断面図である。このニードルバルブ２は、アウト
レットスペース１４と複動型のシリンダ１６との間に、
シリンダ１６からは独立して、アウトレットスペース１
４の区画に寄与する液体圧力補償ピストン２１を配設し
たものである。このピストン２１は、シリンダ１６側の
室２２への加圧流体、たとえば加圧空気を供給してそれ
を進出変位させた場合には、アウトレットスペース１４
の容積は低減すべくそれを、アウトレットスペース１４
側の室２３へ加圧空気を供給してそれを後退変位させて
場合には、アウトレットスペース１４の容積を増加させ
るべく機能する。従って、圧力センサ１８で検出した、
吐出口１３の近傍部分の液体圧力が、所定値より低い場
合には、その圧力補償ピストン２１を幾分進出変位させ
ることにより、また、所定値より高い場合には、圧力補
償ピストン２１を幾分後退変位させることにより所期し
た通りの液圧を実現することが可能となる。ちなみに、
液体の吐出の開始に伴うニードル１５の後退変位によっ
て、そのニードル１５の、アウトレットスペース１４内
に占める体積が減少することに起因する液圧低下に対し
ては、圧力補償ピストン２１を進出させ、逆に、ニード
ル１５の進出変位によって吐出を停止するときの占有体
積の増加に対しては、そのピストン２１を後退させるこ
とで、微妙な圧力変動を有効に吸収することができる。FIG. 5 is a sectional view showing another configuration of the needle valve 2. This needle valve 2 is provided between an outlet space 14 and a double-acting cylinder 16.
Outlet space 1 independent of cylinder 16
The liquid pressure compensating piston 21 that contributes to the fourth section is provided. When the piston 21 supplies a pressurized fluid, for example, pressurized air to the chamber 22 on the side of the cylinder 16 and displaces the same, the outlet space 14
To reduce the volume of the outlet space 14
When the pressurized air is supplied to the side chamber 23 and is displaced backward, it functions to increase the volume of the outlet space 14. Therefore, the pressure sensor 18 detects
When the liquid pressure in the vicinity of the discharge port 13 is lower than a predetermined value, the pressure compensating piston 21 is slightly advanced and displaced, and when the liquid pressure is higher than the predetermined value, the pressure compensating piston 21 is slightly moved. By performing the backward displacement, it is possible to realize the expected hydraulic pressure. By the way,
With respect to a decrease in hydraulic pressure caused by a decrease in the volume of the needle 15 occupying in the outlet space 14 due to the retreat displacement of the needle 15 at the start of liquid ejection, the pressure compensating piston 21 is advanced, and In addition, with respect to an increase in the occupied volume when the discharge is stopped due to the advance displacement of the needle 15, the delicate pressure fluctuation can be effectively absorbed by retracting the piston 21.

【００３８】ところで、図示のニードルバルブおよび先
に述べたニードルバルブのそれぞれにおいて、吐出口１
３の閉止時の液切れ性を高めるためには、吐出口１３
の、ニードル１５の着座位置より下方側への突出長さを
極力短くして、吐出口１３の閉止後においてなお、その
吐出口１３内に残留する液体を実質的に零とすることが
好ましい。このような液体定量吐出装置は、液体の塗布
対象物としてのワークが、液体の吐出タイミング等との
関連の下で適宜に変位する場合には、吐出バルブとして
のニードルバルブ２の位置を固定して使用に供すること
ができる。しかるに、ワークが特定位置に位置決め固定
されるものであるときは、ニードルバルブ２を所要の位
置および方向へ移動させることが必要となる。図６は、
かかる場合の、実施形態を示すものであり、これは、ニ
ードルバルブ２を直角座標型の三次元マニピュレータ２
５に取付け、このマニピュレータ２５を、前記制御手段
１９からの信号に基づいて位置信号を出力するコントロ
ーラ２６によって作動させることで、ニードルバルブ２
の吐出口１３を三次元座標系の所要の位置にもたらすも
のである。このような装置は、たとえばコンベアにてタ
クト搬送されるワークに用いて、すぐれた塗布効率をも
たらすことができる。By the way, in each of the illustrated needle valve and the previously described needle valve, the discharge port 1
In order to improve the liquid drainage property when the nozzle 3 is closed, the discharge port 13
It is preferable that the length of the needle 15 projecting downward from the seating position is made as short as possible so that the liquid remaining in the discharge port 13 after the closure of the discharge port 13 becomes substantially zero. Such a liquid fixed-rate discharge device fixes the position of the needle valve 2 as a discharge valve when a workpiece as a liquid application target is appropriately displaced in relation to a liquid discharge timing or the like. And can be used. However, when the work is to be positioned and fixed at a specific position, it is necessary to move the needle valve 2 to a required position and direction. FIG.
In such a case, an embodiment is shown, in which a needle valve 2 is connected to a rectangular coordinate type three-dimensional manipulator 2.
5, the manipulator 25 is actuated by a controller 26 which outputs a position signal based on a signal from the control means 19, so that the needle valve 2
Is brought to a required position in the three-dimensional coordinate system. Such an apparatus can provide excellent coating efficiency when used, for example, for a workpiece that is tact-conveyed on a conveyor.

【００３９】実施例３ 図７は、本発明の液体定量吐出装置の別の一実施の形態
を示す要部断面図である。図７に示す実施例は、実施例
１の液体温度制御手段を付加する対象となる装置であ
り、図中、１は液体貯留容器を、２は、吐出バルブとし
てのニードルバルブをそれぞれ示す。ここにおける液体
貯留容器１は、たとえば合成樹脂材料製とすることがで
きるシリンジ３と、このシリンジ３に外接してそれを保
持するホルダ４とからなり、このホルダ４は、シリンジ
３の所要に応じた着脱を自在ならしめる。かかる液体貯
留容器１内の液体を所要の圧力に加圧する加圧手段５
は、ここでは、シリンダ内径の約２〜１０倍のボア径を
有するエアシリンダ２７にて構成してなり、それのピス
トンロッド９の先端に、好ましくはシリンジ３に気密に
内接してそこへ進入するプランジャ１０を取付ける。ま
たここでは、液体貯留容器１に、液体流路１２を介して
接続したニードルバルブ２を、流路１２に連通して吐出
口１３に至るアウトレットスペース１４と、このアウト
レットスペース内で進退変位して、その吐出口１３を開
閉するニードル１５と、このニードル１５の進退作動を
もたらす、たとえば複動型のシリンダ１６とで構成して
なり、ニードル１５の後端はシリンダ１６のピストン１
７に連結してなる。さらにここでは、複動型とすること
ができるエアシリンダおよび複動型シリンダ１６のそれ
ぞれを、それぞれの電磁切換弁２８，２９に接続すると
ともに、これらの電磁切換弁２８，２９を、予め入力さ
れた時間信号に基づいて作動コントロールする制御手段
１９に接続し、また、エアシリンダ２７への加圧空気の
給排を司る一方の電磁切換弁２８を、たとえば手動減圧
弁３０を介して加圧空気供給源３１に、そして、他方の
電磁切換弁２９を加圧空気供給源３１に直接的に、それ
ぞれ接続する。Embodiment 3 FIG. 7 is a cross-sectional view of a main part showing another embodiment of the liquid metering apparatus according to the present invention. The embodiment shown in FIG. 7 is an apparatus to which the liquid temperature control means of the first embodiment is added. In the drawing, 1 indicates a liquid storage container, and 2 indicates a needle valve as a discharge valve. The liquid storage container 1 here comprises a syringe 3 which can be made of, for example, a synthetic resin material, and a holder 4 which circumscribes and holds the syringe 3. Can be freely attached and detached. Pressurizing means 5 for pressurizing the liquid in the liquid storage container 1 to a required pressure.
Here, an air cylinder 27 having a bore diameter of about 2 to 10 times the inner diameter of the cylinder is formed, and the tip of the piston rod 9 thereof is preferably airtightly inscribed in the syringe 3 and enters there. The plunger 10 is mounted. Further, here, the needle valve 2 connected to the liquid storage container 1 via the liquid flow path 12 is connected to the outlet space 14 which is connected to the flow path 12 and reaches the discharge port 13, and is moved forward and backward within the outlet space. A needle 15 for opening and closing the discharge port 13 and a double-acting cylinder 16 for causing the needle 15 to move forward and backward, for example.
7 Further, here, each of the double-acting air cylinder and the double-acting cylinder 16 is connected to the respective electromagnetic switching valves 28 and 29, and these electromagnetic switching valves 28 and 29 are inputted in advance. One of the electromagnetic switching valves 28 for controlling the supply and discharge of the pressurized air to and from the air cylinder 27 is connected to the control means 19 for controlling the operation based on the time signal. The supply 31 and the other electromagnetic switching valve 29 are connected directly to the pressurized air supply 31, respectively.

【００４０】このように構成してなる定量吐出装置で
は、液体の定量吐出に当たり、制御手段１９からそれぞ
れの電磁切換弁２８，２９に信号を出力して、エアシリ
ンダ２７に、手動減圧弁３０によって設定された空気圧
力を供給して、プランジャ１０を所要の力で圧下すると
ともに、それとタイミングを合わせてニードルバルブ２
を開放して、所要の圧力に加圧された液体を、吐出口１
３から、それの開口面積との関連で特定される一定時間
吐出することにより、液体の定量吐出をタイムラグなし
に高い精度で行うことができる。この一方で、定量吐出
の終了に当たっては、制御手段１９から電磁切換弁２
８，２９への吐出終了信号に基づいて、エアシリンダ２
７への加圧空気の供給を停止すると同時に、ニードルバ
ルブ２の吐出口１３をニードル１５をもって機械的に確
実に閉止する。従って、吐出口１３からの液体の流出
は、ニードルバルブ２の閉止をもって完全に停止される
ことになり、ニードルバルブ２の閉止中の液洩れのおそ
れは十分に除去されることになる。なお、この場合、ニ
ードルバルブ２の、小さな寸法および堆積のニードル１
５は、液体圧力の大小にかかわらず、常に円滑に、かつ
迅速に後退および進出して吐出口１３の開閉を行うの
で、バルブ２の開閉の確実性と併せて、すぐれた応答性
を実現することができる。In the constant-rate discharging device thus configured, a signal is output from the control means 19 to each of the electromagnetic switching valves 28 and 29 in the constant-rate discharging of the liquid, and the signal is output to the air cylinder 27 by the manual pressure reducing valve 30. The set air pressure is supplied to lower the plunger 10 with a required force, and the needle valve 2
To discharge the liquid pressurized to the required pressure
As described in 3 above, by discharging for a certain period of time specified in relation to the opening area thereof, a fixed amount of liquid can be discharged with high accuracy without a time lag. On the other hand, when terminating the fixed-quantity discharge, the control means 19 sends the electromagnetic switching valve 2
8 and 29 based on the discharge end signal.
At the same time as the supply of pressurized air to the nozzle 7 is stopped, the discharge port 13 of the needle valve 2 is securely closed mechanically with the needle 15. Therefore, the outflow of the liquid from the discharge port 13 is completely stopped when the needle valve 2 is closed, and the possibility of liquid leakage while the needle valve 2 is closed is sufficiently removed. In this case, the needle 1 having a small size and the accumulation
No. 5 always smoothly and rapidly retracts and advances to open and close the discharge port 13 irrespective of the magnitude of the liquid pressure, so that excellent responsiveness is realized in addition to the reliable opening and closing of the valve 2. be able to.

【００４１】図８は、液体流路の他の構成態様を示す断
面図であり、これは、液体貯留容器１の上部でプランジ
ャ１０に貫通して延びる上向部分を有する液体流路１２
を形成したものである。この液体流路１２によれば、沈
殿物が多い液体において、その沈殿物の吐出を有効に防
止することができる他、プランジャ１０のシリンジ３へ
の挿入当初に、そのプランジャ１０と液体との間に封じ
込められる空気を、液体の吐出に先立つプランジャ１０
の押し込みに基づいて、液体流路１２の上向部分を経て
十分に排出することができる。FIG. 8 is a cross-sectional view showing another embodiment of the liquid flow path, which is a liquid flow path 12 having an upward portion extending through the plunger 10 above the liquid storage container 1.
Is formed. According to the liquid flow path 12, in a liquid having a large amount of sediment, the discharge of the sediment can be effectively prevented. In addition, when the plunger 10 is inserted into the syringe 3, the liquid between the plunger 10 and the liquid can be prevented. The air confined in the plunger 10 is discharged prior to discharging the liquid.
The liquid can be sufficiently discharged through the upward portion of the liquid flow path 12 based on the pushing.

【００４２】図９は、プランジャおよび液体流路の他の
構成態様を示す図であり、これはプランジャ１０の下面
の形状をシリンジ３の底部形状に近づけたものである。
これによれば、プランジャ１０をそれの下限位置まで下
降させたときの、シリンジ内の残留空間を小ならしめ
て、液体の消費効率を高めることができる。また、図示
のように、プランジャ１０の側部に液体流路１２を開口
させたバルブには、封入空気の排出を一層容易に、かつ
確実に行うことができる。FIG. 9 is a diagram showing another configuration of the plunger and the liquid flow path, in which the shape of the lower surface of the plunger 10 is close to the shape of the bottom of the syringe 3.
According to this, the residual space in the syringe when the plunger 10 is lowered to its lower limit position can be reduced, and the liquid consumption efficiency can be increased. Further, as shown in the figure, the valve having the liquid flow path 12 opened on the side of the plunger 10 can discharge the sealed air more easily and reliably.

【００４３】図１０は、液体流路のさらに他の構成態様
を示す断面図である。これは、液体貯留容器１とニード
ルバルブ２とを一体的に構成したところにおいて、シリ
ンジ３のホルダ４に、シリンジ３の下端開口とニードル
バルブ２とのそれぞれに連通する液体流路１２に設けた
ものである。これによれば、液体貯留容器１とニードル
バルブ２とを一体的に構成することで、流路形成用のチ
ューブを不要ならしめることができ、流路が長いことに
起因する圧力応答性の低下を防止することができる。FIG. 10 is a sectional view showing still another configuration of the liquid flow path. This is because when the liquid storage container 1 and the needle valve 2 are integrally formed, the holder 4 of the syringe 3 is provided in the liquid flow path 12 communicating with the lower end opening of the syringe 3 and the needle valve 2 respectively. Things. According to this, since the liquid storage container 1 and the needle valve 2 are integrally configured, the tube for forming the flow path can be eliminated, and the pressure responsiveness is reduced due to the long flow path. Can be prevented.

【００４４】図１１は、ニードルバルブの他の構成態様
を示す断面図である。このニードルバルブは、アウトレ
ットスペース１４と複動型シリンダ１６との間に、シリ
ンダ１６からは独立して、アウトレットスペース１４の
区画に寄与する液体圧力補償ピストン３２を配設したも
のである。このピストン３２は、シリンダ１６側の室２
２へ加圧流体、たとえば加圧空気を供給してそれを進出
変位させた場合には、アウトレットスペース１４の容積
を低減すべく、そして、アウトレットスペース１４側の
室２３へ加圧空気を供給してそれを後退変位させた場合
には、アウトレットスペース１４の容積を増加させるべ
く機能する。従って、吐出口１３の近傍部分の液体圧力
が、所定値より低い場合には、その圧力補償ピストン３
２を幾分進出変位させることにより、また、所定値より
高い場合には、圧力補償ピストン２１を幾分後退変位さ
せることにより所期した通りの減圧を実現することが可
能となる。ちなみに、液体の吐出の開始に伴うニードル
１５の後退変位によって、そのニードル１５の、アウト
レットスペース１４内に占める体積が減少することに起
因する液圧低下に対しては、圧力補償ピストン３２を進
出させ、逆に、ニードル１５の進出変位によって吐出を
停止するときの占有体積の増加に対しては、そのピスト
ン３２を後退させることで、微妙な圧力変動を有効に吸
収することができる。ところで、図示のニードルバルブ
および先に述べたニードルバルブのそれぞれにおいて、
吐出口１３の閉止時の液切れ性を高めるためには、吐出
口１３の、ニードル１５の着座位置より下方側への突出
長さを極力短くして、吐出口１３の閉止後においてな
お、その吐出口１３内に残留する液体を実質的に零とす
ることが好ましい。FIG. 11 is a sectional view showing another configuration of the needle valve. In this needle valve, a liquid pressure compensating piston 32 that contributes to the section of the outlet space 14 is disposed between the outlet space 14 and the double-acting cylinder 16 independently of the cylinder 16. The piston 32 is provided in the chamber 2 on the cylinder 16 side.
In the case where a pressurized fluid, for example, pressurized air is supplied to and displaced toward the outlet 2, pressurized air is supplied to the chamber 23 on the outlet space 14 side in order to reduce the volume of the outlet space 14. When it is displaced backward, it functions to increase the volume of the outlet space 14. Therefore, when the liquid pressure in the vicinity of the discharge port 13 is lower than a predetermined value, the pressure compensating piston 3
2 is advanced slightly, and if it is higher than a predetermined value, the pressure compensating piston 21 is slightly retracted to achieve the desired pressure reduction. By the way, the pressure compensating piston 32 is advanced to cope with a decrease in hydraulic pressure caused by a decrease in the volume of the needle 15 occupying in the outlet space 14 due to the retreat displacement of the needle 15 due to the start of liquid ejection. Conversely, with respect to an increase in the occupied volume when the discharge is stopped due to the advance displacement of the needle 15, by moving the piston 32 backward, a fine pressure fluctuation can be effectively absorbed. By the way, in each of the illustrated needle valve and the needle valve described above,
In order to enhance the liquid drainage property when the discharge port 13 is closed, the length of the discharge port 13 protruding downward from the seating position of the needle 15 is made as short as possible, and after the discharge port 13 is closed, It is preferable that the liquid remaining in the discharge port 13 be substantially zero.

【００４５】以上のような液体定量吐出装置は、液体の
塗布対象物としてのワークが、液体の吐出タイミング等
との関連の下で適宜に変位する場合には、吐出バルブと
してのニードルバルブ２の位置を固定して使用に供する
ことができる。しかるに、ワークが特定位置に位置決め
固定されるものであるときは、ニードルバルブ２を所要
の位置および方向へ移動させることが必要となる。かか
る場合には、たとえば、ニードルバルブ２を直角座標型
の三次元マニピュレータに取付け、このマニピュレータ
を、前記制御手段１９からの信号に基づいて位置信号を
出力するコントローラによって作動させることで、ニー
ドルバルブ２の吐出口１３を三次元座標系の所要の位置
にもたらすことができ、コンベヤにてタクト搬送等され
るワークに用いて、すぐれた塗布効率をもたらすことが
できる。In the above-described liquid dispensing apparatus, when the workpiece to be applied with the liquid is appropriately displaced in relation to the timing of discharging the liquid or the like, the needle valve 2 as the discharge valve is displaced. It can be used in a fixed position. However, when the work is to be positioned and fixed at a specific position, it is necessary to move the needle valve 2 to a required position and direction. In such a case, for example, the needle valve 2 is attached to a three-dimensional manipulator of a rectangular coordinate system, and this manipulator is operated by a controller that outputs a position signal based on a signal from the control means 19. Discharge port 13 can be brought to a required position in a three-dimensional coordinate system, and can be used for a workpiece conveyed by tact on a conveyor, and can provide excellent application efficiency.

【００４６】図１２は、この発明に係る装置の他の実施
形態を示す図である。これはとくに、液体圧力補償ピス
トン３２を設けたまたは設けないニードルバルブ２の吐
出口１３の近傍部分、図ではニードルバルブ２への液体
流入部に、液体圧力を検出する圧力センサ１８を設ける
とともに、圧力センサ１８の検出信号を制御手段１９に
入力し、その制御手段１９では、エアシリンダ２７への
供給圧力、ひいては液体圧力の外部設定信号３３に基づ
き、加圧空気供給経路に設けた調圧手段、好ましくは電
空レギュレータ３４に、前記検出信号に応じた圧力調整
信号を出力するべく構成したものである。この装置で
は、液体の定量吐出中における圧力変動を圧力センサ１
８で検出した場合に、空電レギュレータ３４の作動によ
って、エアシリンダ２７への供給圧力を調整すること
で、液体圧力の変動を、外部設定信号３３に基づいて自
動的に補正することができる。加えて、外部設定信号そ
れ自体を変更した場合には、ニードルバルブ２に供給さ
れる液体の圧力を所要に応じて変更することができる。FIG. 12 is a diagram showing another embodiment of the apparatus according to the present invention. In particular, the pressure sensor 18 for detecting the liquid pressure is provided in the vicinity of the discharge port 13 of the needle valve 2 with or without the liquid pressure compensating piston 32, in the drawing, the liquid inflow portion to the needle valve 2. The detection signal of the pressure sensor 18 is input to the control means 19, and the control means 19 controls the pressure control means provided in the pressurized air supply path based on the external pressure setting signal 33 of the supply pressure to the air cylinder 27 and the liquid pressure. Preferably, a pressure adjustment signal corresponding to the detection signal is output to the electropneumatic regulator 34. In this device, a pressure sensor 1 detects a pressure fluctuation during a fixed amount of liquid discharge.
When the detection is made in step 8, the supply pressure to the air cylinder 27 is adjusted by the operation of the pneumatic regulator 34, so that the fluctuation of the liquid pressure can be automatically corrected based on the external setting signal 33. In addition, when the external setting signal itself is changed, the pressure of the liquid supplied to the needle valve 2 can be changed as required.

【００４７】[0047]

【発明の効果】液体の粘度に依存されず、微量の液体を
高速にかつ精密に所望の塗布形状に吐出または塗布する
方法および装置を提供することができる。特に、高粘性
液体を使用する場合や高速に塗布する場合であっても、
線の始点部・終点部の線形状が極めて容易に制御でき、
例えば均一な線形状の塗布は線の始点から終点に至るま
で線の細り・太りがなく、均一にそろった線形状の形成
ができる方法および装置を提供することができる。フィ
ラーの破壊のおそれなしに、吐出の停止時に液切れ性を
高め、また、液体の洩れ出しを十分に防止した液体吐出
方法および装置を提供することができる。液体が一定の
流速を得るまでに時間を要することなく、塗布線の描画
を均一ならしめることが可能な液体の吐出または塗布方
法および装置を提供することができる。According to the present invention, it is possible to provide a method and an apparatus for discharging or applying a small amount of liquid at a high speed and precisely to a desired application shape without depending on the viscosity of the liquid. In particular, even when using a highly viscous liquid or applying at a high speed,
The line shape at the start and end points of the line can be controlled very easily,
For example, it is possible to provide a method and apparatus capable of forming a uniform line shape without thinning and thickening the line from the start point to the end point of the line in the uniform line shape application. It is possible to provide a liquid discharge method and apparatus which can enhance liquid drainage when discharge is stopped and sufficiently prevent liquid from leaking out without fear of destruction of the filler. It is possible to provide a method and an apparatus for ejecting or applying a liquid, which can make the drawing of the application line uniform without requiring time until the liquid obtains a constant flow velocity.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】液体温度制御手段を備えた液体定量吐出装置の
説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a liquid fixed-quantity discharge device including a liquid temperature control unit.

【図２】液体温度制御手段を付加する対象となる好まし
い装置の態様を示す要部断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part showing an embodiment of a preferable apparatus to which a liquid temperature control unit is added.

【図３】図２の装置の流体流路の他の構成態様を示す断
面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing another configuration of the fluid flow path of the apparatus of FIG.

【図４】図２の装置の流体流路のさらに他の構成態様を
示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing still another configuration of the fluid flow path of the apparatus of FIG.

【図５】図２の装置のニードルバルブの他の構成態様を
示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing another configuration of the needle valve of the device of FIG. 2;

【図６】液体温度制御手段を付加する対象となる好まし
い装置の他の実施の形態を示す概略的斜視図である。FIG. 6 is a schematic perspective view showing another embodiment of a preferable device to which a liquid temperature control means is added.

【図７】液体温度制御手段を付加する対象となる好まし
い装置の別の態様を示す要部断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of a principal part showing another embodiment of a preferred apparatus to which a liquid temperature control unit is added.

【図８】図７の装置の液体流路の他の構成態様を示す断
面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing another configuration of the liquid channel of the apparatus of FIG.

【図９】図７の装置のプランジャおよび液体流路の他の
構成態様を示す断面図である。9 is a cross-sectional view showing another configuration of the plunger and the liquid flow path of the apparatus shown in FIG.

【図１０】図７の装置の液体流路のさらに他の構成態様
を示す断面図である。FIG. 10 is a sectional view showing still another configuration of the liquid flow path of the apparatus of FIG.

【図１１】図７の装置のニードルバルブの他の構成態様
を示す断面図である。FIG. 11 is a sectional view showing another configuration of the needle valve of the device of FIG. 7;

【図１２】液体温度制御手段を付加する対象となる好ま
しい装置のさらに別の態様を示す要部断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view of a main part showing still another embodiment of a preferable apparatus to which a liquid temperature control unit is added.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 液体貯留容器 ２ ニードルバルブ ３ シリンジ ４ ホルダ ５ 加圧手段 ６ モータ ７ ボールねじ ８ 雌ねじ部材 ９ ロッド １０ プランジャ １２ 液体流路 １３ 吐出口 １４ アウトレットスペース １５ ニードル １６ シリンダ １７ ピストン １８ 圧力センサ １９ 制御手段 ２０、２８、２９ （電磁部）切換弁 ２１ 液体圧力補償ピストン ２２、２３ 室 ２５ 三次元マニピュレータ ２６ コントローラ ２７ エアシリンダ ３０ 手動減圧弁 ３１ 加圧空気供給源 ３２ 液体圧力補償ピストン ３３ 外部設定信号 ３４ 電空レギュレータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid storage container 2 Needle valve 3 Syringe 4 Holder 5 Pressurizing means 6 Motor 7 Ball screw 8 Female screw member 9 Rod 10 Plunger 12 Liquid flow path 13 Discharge port 14 Outlet space 15 Needle 16 Cylinder 17 Piston 18 Pressure sensor 19 Control means 20 , 28, 29 (electromagnetic part) switching valve 21 liquid pressure compensating piston 22, 23 chamber 25 three-dimensional manipulator 26 controller 27 air cylinder 30 manual pressure reducing valve 31 pressurized air supply source 32 liquid pressure compensating piston 33 external setting signal 34 electropneumatic regulator

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D075 AC08 AC94 AC95 AC96 DA06 DB31 DC21 4F041 AA05 AA16 AB01 BA32 BA34 BA47 BA48 BA53 4F042 AA06 AA27 BA06 BA12 BA19 CA08 CA09 CB03 CB10 CB11 CB26  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 4D075 AC08 AC94 AC95 AC96 DA06 DB31 DC21 4F041 AA05 AA16 AB01 BA32 BA34 BA47 BA48 BA53 4F042 AA06 AA27 BA06 BA12 BA19 CA08 CA09 CB03 CB10 CB11 CB26

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 液体貯留容器から吐出バルブを経て定量
吐出するに当り、吐出口からの液体の吐出流速が一定に
なるように、液体貯留容器から吐出バルブに供給する液
体の圧力を制御するとともに液体の温度を制御すること
を特徴とする液体定量吐出方法。1. A method for controlling a pressure of a liquid supplied from a liquid storage container to a discharge valve so that a constant discharge speed of the liquid from a discharge port is constant when a constant amount is discharged from the liquid storage container via a discharge valve. A liquid fixed-quantity discharge method comprising controlling a temperature of a liquid. 【請求項２】 吐出を開始する前に予め液体に圧力を加
えておくことおよび／または吐出の終了後における吐出
口近傍部分の圧力が予め定めた特定値となるようにする
ことを特徴とする請求項１の液体定量吐出方法。2. The method according to claim 1, wherein a pressure is applied to the liquid in advance before the discharge is started, and / or a pressure in the vicinity of the discharge port after the end of the discharge is set to a predetermined specific value. The method for discharging a fixed amount of liquid according to claim 1. 【請求項３】 液体貯留容器から吐出バルブに供給する
液体の圧力の制御は、液体貯留容器に貯留された液体の
圧力を制御することにより行う請求項１または２の液体
定量吐出法。3. The method according to claim 1, wherein the control of the pressure of the liquid supplied from the liquid storage container to the discharge valve is performed by controlling the pressure of the liquid stored in the liquid storage container. 【請求項４】 貯留された液体の圧力の制御は、貯留さ
れた液体の減少する速度を制御することにより行う請求
項３の液体定量吐出法。4. The liquid dispensing method according to claim 3, wherein the control of the pressure of the stored liquid is performed by controlling a decreasing speed of the stored liquid. 【請求項５】 上記の減少する速度を、一定または可変
に制御する請求項４の液体定量吐出方法。5. The method according to claim 4, wherein the decreasing speed is controlled to be constant or variable. 【請求項６】 液体の温度の制御は、液体貯留容器内と
吐出バルブ内の液体温度を所望温度となるように制御す
ることにより行う請求項１ないし５のいずれかの液体定
量吐出法。6. The method according to claim 1, wherein the control of the temperature of the liquid is performed by controlling the liquid temperature in the liquid storage container and the liquid temperature in the discharge valve to a desired temperature. 【請求項７】 液体貯留容器、液体貯留容器内の液体の
加圧手段、および液体貯留容器に連通する吐出バルブを
具える、液体貯留容器から吐出バルブを経て液体を定量
吐出する装置であって、加圧手段および吐出バルブの作
動を制御する作動制御手段および液体の温度を制御する
液体温度制御手段を設けたことを特徴とする液体定量吐
出装置。7. An apparatus for discharging a fixed amount of liquid from a liquid storage container via a discharge valve, comprising: a liquid storage container, means for pressurizing the liquid in the liquid storage container, and a discharge valve communicating with the liquid storage container. And a liquid control device for controlling the operation of the pressurizing device and the discharge valve and a liquid temperature control device for controlling the temperature of the liquid. 【請求項８】 吐出バルブがその吐出口の機械的開閉手
段を有する請求項７の液体定量吐出装置。8. The liquid dispensing apparatus according to claim 7, wherein the discharge valve has mechanical opening / closing means for the discharge port. 【請求項９】 上記の加圧手段は、液体貯留容器に貯留
された液体をその粘度に応じた圧力で加圧するための手
段である請求項７または８の液体定量吐出装置。9. The liquid dispensing device according to claim 7, wherein the pressurizing means pressurizes the liquid stored in the liquid storage container with a pressure corresponding to the viscosity of the liquid. 【請求項１０】 上記の加圧手段は、貯留された液体に
精密に配設された押部材である請求項９の液体定量吐出
装置。10. The liquid dispensing apparatus according to claim 9, wherein the pressurizing means is a pressing member precisely arranged on the stored liquid. 【請求項１１】 上記の押部材が、それを加圧する液体
貯留容器の内径より十分大きいボア径のエアシリンダを
具えたものである請求項１０の液体定量吐出装置。11. The liquid dispensing apparatus according to claim 10, wherein the pressing member includes an air cylinder having a bore diameter sufficiently larger than the inner diameter of the liquid storage container for pressurizing the pressing member. 【請求項１２】 上記の作動制御手段が、吐出口の近傍
部分で液体圧力を検出する圧力センサと、圧力センサか
らの信号に基づいて前記加圧手段を作動させる手段を設
けてなる請求項７ないし１１のいずれかの液体定量吐出
装置。12. The operation control means includes a pressure sensor for detecting a liquid pressure near a discharge port, and means for operating the pressurizing means based on a signal from the pressure sensor. Liquid dispensing apparatus according to any one of claims 11 to 11. 【請求項１３】 上記の液体温度制御手段が、液体貯留
容器内と吐出バルブ内で液体温度をそれぞれ検出する温
度センサと、温度センサからの信号に基づいて所望温度
となる加熱冷却ユニットを設けてなる請求項７ないし１
２のいずれかの液体定量吐出装置。13. The liquid temperature control means includes a temperature sensor for detecting a liquid temperature in a liquid storage container and a liquid temperature in a discharge valve, and a heating / cooling unit for obtaining a desired temperature based on a signal from the temperature sensor. Claims 7 to 1
2. The liquid metering device according to any one of 2.
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