JP2000311936A

JP2000311936A - ウェーハ収納方法およびこれに用いられるウェーハケース

Info

Publication number: JP2000311936A
Application number: JP11838799A
Authority: JP
Inventors: Mitsuhiro Endo; 光弘遠藤
Original assignee: Mitsubishi Materials Silicon Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Silicon Corp
Priority date: 1999-04-26
Filing date: 1999-04-26
Publication date: 2000-11-07
Anticipated expiration: 2019-04-26
Also published as: JP3925762B2

Abstract

(57)【要約】【課題】密閉空間を用いず、ガス使用量も少なく、短
時間でごみ侵入を防ぎ、不活性ガスをケースに充填す
る。不活性ガスの置換終了時を的確に検出する。ケース
のごみ濾過性を高める。ケース内外圧力差を短時間で解
除する。【解決手段】ウェーハケース内を不活性ガスでパージ
する場合、第１フィルタに吸出ノズルを、第２フィルタ
にガス供給ノズルを接続する。第１フィルタを通して微
細ごみ類を濾過しながら空気を吸い出し、第２フィルタ
で不活性ガス中の微細ごみ類を濾過しながらケース内へ
不活性ガスを供給する。この結果、ウェーハケース内へ
のごみ類の侵入を防止しながら、短時間で不活性ガスに
置換できる。ケースを外部から隔離するための真空容器
が不要で、ガス使用量も少なくなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はシリコンウェーハ
などをケースに収納するウェーハ収納方法およびこれに
用いられるウェーハケース、詳しくはごみ類のケース内
への侵入を防ぎながら不活性ガスをこのケース内に充填
するためのウェーハ収納方法およびこれに用いられるフ
ィルタ付きのウェーハケースに関する。

【０００２】

【従来の技術】ウェーハ製造工場で作製されたシリコン
ウェーハなどの半導体ウェーハは、輸送中における損傷
や汚染などを防止するために、通常、クリーンルームの
中で、ガスケット（パッキング材）によって蓋が密封さ
れたウェーハケースに収納されている。なお、このクリ
ーンルームの室内は、一般的に、ごみやほこりがフィル
タリングされた湿度５０％前後、室温（２０℃前後）の
空気で満たされている。ところで、どんなに高水準のク
リーンルームであっても、この室内には、微量ながら、
細かいごみやほこりが浮遊しているのが現状である。

【０００３】したがって、このクリーンルーム内でウェ
ーハケースを密封すると、このケース内にクリーンルー
ムの微細なごみ類が侵入するおそれがある。このごみ類
には、有機物が含まれている場合も多い。さらに、殊
に、輸送中に外気温度が低下した場合など、ウェーハケ
ースに密封されたクリーンルーム内の空気に含まれてい
る湿気が結露となり、この結露がシリコンウェーハの表
面にできると、このウェーハ表面に均一に分布していた
Ｎａ，Ｚｎ，Ｃａなどの微小な異物が水滴の張力で引き
寄せられて局部集中し、これが微小粒子の異常成長を招
くおそれもあった。しかも、その結果、結露が解消して
も、この異物が残されて、ウェーハの鏡面に局部的にく
もりが発生し、シリコンウェーハの品質が低下するとい
う問題点があった。

【０００４】これらの問題点を解消する従来技術とし
て、例えばウェーハケース内にＮ_２ガスなどの不活性ガ
スを充填して、この結露等を防止するウェーハ収納方法
が知られている。この従来方法は、まず真空容器内に、
容器本体内にウェーハが密封された蓋付きのウェーハケ
ースを配置し、真空ポンプにより容器内を減圧してケー
ス内の空気を抜き取る。その後、この容器内にＮ_２ガス
などの不活性ガスを供給することで、この不活性ガスが
ウェーハケース内に充填されるというものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来技術のウェーハ収納方法では、通常、この真空
容器の内部が汚れているために、不活性ガスをウェーハ
ケース内に充填する際、真空容器内に存在する微細なご
み類がケース内に侵入するおそれがあった。この結果、
収納されたシリコンウェーハの表面に、ごみ類が付着し
て、この面が汚染されるという問題点があった。また、
一連の不活性ガスの充填作業時には、いったん、真空容
器内を減圧したり、不活性ガスにより満たすようにしな
ければ、ウェーハケース内を減圧し、または、不活性ガ
スを充填することができない。この結果、真空容器と、
この容器内を減圧する大型の負圧装置とが必要となって
設備コストが嵩む一方、この充填作業に時間がかかって
作業性が悪くなり、さらに不活性ガスの使用量も増大す
るという問題点があった。

【０００６】

【発明の目的】この発明は、ウェーハケースを外部より
遮断する真空容器などの密閉空間を用いず、かつ不活性
ガスの使用量も少なく、さらに比較的短時間で、しかも
ごみ類の侵入を防ぎながら、この不活性ガスをケース内
に充填することができるウェーハ収納方法およびこれに
用いられるウェーハケースを提供することを、その目的
としている。また、この発明は、ウェーハケースの内部
空気と不活性ガスとの置換終了時を的確に検出すること
ができるウェーハ収納方法を提供することを、その目的
としている。さらに、この発明は、ウェーハケースの略
全ての内部空気を不活性ガスと置換することができるウ
ェーハケースを提供することを、その目的としている。
また、この発明は、ごみの濾過性が高いウェーハケース
を提供することを、その目的としている。さらに、この
発明は、ケース内外に生じた圧力差を比較的短時間で解
除でき、これによりウェーハケースの内部空気を不活性
ガスでパージする時間を短縮できるウェーハケースを提
供することを、その目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、ウェーハが収納されて、容器本体および／またはこ
れを密閉する蓋の外壁に、ケース内外を連通する第１の
フィルタと第２のフィルタとを互いに離間して配設され
たウェーハケースを準備し、上記第１のフィルタに上記
ウェーハケースの内部空気の吸い出しノズルを接続する
一方、上記第２のフィルタに不活性ガスの供給ノズルを
接続し、その後、上記第１のフィルタを通して、上記吸
い出しノズルから上記ウェーハケースの内部空気を吸い
出すとともに、上記第２のフィルタを通して、上記供給
ノズルから上記ウェーハケース内へ不活性ガスを供給す
ることで、上記ウェーハケースの内部空気と不活性ガス
とを置換するウェーハ収納方法である。

【０００８】容器本体および蓋の素材としては、例えば
ポリカーボネート（ＰＣ），ポリエチレン（ＰＥ），ポ
リプロピレン（ＰＰ），ポリスチレン（ＰＳ）、ＰＥＥ
Ｋ、ポリブチルテレフタレート（ＰＢＴ）などの各種の
プラスチックや、硬質アルミニウム，ステンレスなどの
金属でもよい。容器本体と蓋との間には、通常、閉蓋時
にケース内の密封性を高めるためにガスケットが介在さ
れている。また、このウェーハケースの密封性の度合い
は、ウェーハの航空輸送の場合、航空機が高度数千〜１
万ｍを飛行して、その際の機内貨物室の気圧が０．７〜
０．８ａｔｍに達することから、フィルタの圧力損失以
上の耐圧が得られるように設計した方が好ましい。

【０００９】第１，第２のフィルタの素材としては、例
えばニトロセルロース、セルロースアセテート、四フッ
化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、親水性四フッ化エチレン
樹脂などの各種合成樹脂からなるメンブランフィルタな
ど、周知のフィルタが採用することができる。両フィル
タの平均孔径は、大気中に浮遊するごみなどをフィルタ
リングすることができる大きさであれば限定されない。
また、これらのフィルタの外形寸法も、フィルタがケー
ス内外の圧力差に耐えられる寸法であれば、限定されな
い。さらに、両フィルタの取り付け位置は、容器本体、
蓋のどの部分でもよい。また、容器本体と蓋との両方に
取り付けてもよい。さらに、第１のフィルタおよび第２
のフィルタの各個数は限定されない。例えば、それぞれ
１個ずつでも、２個以上の複数個ずつでも、異なる個数
どうしを組み合わせたものでもよい。

【００１０】各フィルタに接続される吸い出しノズルや
供給ノズルは、ケース内の空気を排出したり、このケー
ス内へ不活性ガスを供給したりできれば、どのような材
質（可撓性の有無を含む），大きさ，形状のものでもよ
い。また、第１または第２のフィルタが複数個ある場合
は、同じ種類のフィルタに、それぞれ対応するノズルを
個別に取り付けてもよいし、または例えばフード状の大
口ノズルを使用して、同じ種類の各フィルタを外部から
一括して覆うようにしてもよい。ウェーハケースの内部
空気と置換可能な不活性ガスとしては、例えばＮ_２ガ
ス，Ａｒガスなどが挙げられる。なお、これらの事項は
請求項３にも該当する。

【００１１】請求項２に記載の発明は、上記ウェーハケ
ースの内部空気と不活性ガスとの置換は、上記第１のフ
ィルタを通過した内部空気の酸素濃度が１０^−５ｍｏｌ
／リットル以下になったときに終了する請求項１に記載
のウェーハ収納方法である。内部空気の酸素濃度を測定
するのは、第１のフィルタを通過後の内部空気吸い出し
系の任意箇所でよい。酸素濃度の検出基準値は１０^−５
ｍｏｌ／リットルである。また、検出基準値が１０^−６
ｍｏｌ／リットル未満では時間がかかり過ぎるという不
都合が生じる。

【００１２】請求項３に記載の発明は、ウェーハが収納
される容器本体を蓋を用いて密封するウェーハケースに
おいて、上記容器本体および／または上記蓋の外壁に、
上記ウェーハケース内外を連通する第１のフィルタと第
２のフィルタとを互いに離間して配設したウェーハケー
スである。

【００１３】請求項４に記載の発明は、上記第１のフィ
ルタおよび第２のフィルタは、上記容器本体および／ま
たは蓋の外壁の対角位置に配設されている請求項３に記
載のウェーハケースである。容器本体および／または蓋
の外壁の対角位置とは、容器本体の対角位置、蓋の外壁
の対角位置、または、容器本体と蓋の外壁との対角位置
のどこでもよい。

【００１４】請求項５に記載の発明は、上記第１のフィ
ルタおよび／または第２のフィルタは、０．０５μｍ以
上の大きさの微細なごみ類を９９．９％以上濾過するこ
とができる請求項３または請求項４に記載のウェーハケ
ースである。このフィルタは、パーティクルカウンタで
０．０５μｍ以上のごみやほこりを検出するときに、そ
の９９．９％を濾過可能な性能を有する。フィルタが、
０．０５μｍ未満のほこりを濾過することができるもの
とすれば、常圧に戻るために要する時間が長くなる。な
お、０．０５μｍ以上の大きさの微細なごみ類を９９．
９％以上濾過することができるフィルタは、第１のフィ
ルタだけでもよいし、または第２のフィルタだけでもよ
く、さらには第１，第２のフィルタの両方であってもよ
い。

【００１５】請求項６に記載の発明は、ウェーハケース
の容積をＶとしたとき、上記フィルタは、Ｖ／１５００
（ｍｏｌ／分）以上の値で気体の流出入を許容する請求
項３〜請求項５の内、いずれか１項に記載のウェーハケ
ースである。フィルタによる気体濾過の速度が、Ｖ／１
５００（ｍｏｌ／分）未満とすると、ケース内外の差圧
をなくすための時間が長くなり過ぎ、ウェーハケースの
内部空気を不活性ガスにパージする時間が長くなる。な
お、この場合のフィルタの個数は上述のように任意であ
り、複数個のフィルタの場合、全体として上記条件を満
たすこととなる。

【００１６】

【作用】この発明によれば、ウェーハが収納されたウェ
ーハケース内の空気を不活性ガスにパージする場合に
は、まず容器本体および／またはこれを密閉する蓋の外
壁に配設された第１フィルタに吸い出しノズルを接続す
るとともに、第２のフィルタに不活性ガスの供給ノズル
を接続する。次いで、第１のフィルタを通して、内部空
気の微細なごみ類を濾過しながら、吸い出しノズルより
ケース内空気を吸い出すとともに、第２のフィルタによ
り、不活性ガス中の微細なごみ類を濾過しながら、供給
ノズルよりウェーハケース内へ不活性ガスを供給する。
この結果、ウェーハケースの内部空気と不活性ガスと
が、外気中に浮遊するごみ類の侵入を防止しながら、短
時間のうちに効率良く置換される。この際、従来手段の
場合に使用していたウェーハケースを外部から遮断する
ための、例えば真空容器などが不要となるので、設備コ
ストが大幅に低減される。しかも、不活性ガスの使用量
も少なくなる。その後、ウェーハケースは、この不活性
ガスが充填されたままで、通常は、例えばアルミフィル
ム袋やラミネート袋で梱包された後、各種の輸送機関に
よりデバイス工場などに出荷される。

【００１７】特に、請求項２の発明によれば、第１のフ
ィルタを通過した内部空気の酸素濃度が１０^−５ｍｏｌ
／リットル以下になったら、不活性ガスによるパージが
終了したものとみなして、ウェーハケースの内部空気と
不活性ガスとの置換を終了する。これにより、ウェーハ
ケースの内部空気と不活性ガスとの置換終了時を的確に
検出することができる。

【００１８】また、請求項４の発明によれば、第１，第
２のフィルタが容器本体および／または蓋の外壁に対角
配置されているので、ウェーハケース内で、ケース外へ
吸い出される内部空気と、ケース内へ供給される不活性
ガスとの対流が生じ、これによって略全ての内部空気を
ケース内に滞留させることなく良好に外部へ排出すると
ともに、ケース内を不活性ガスで充満させることができ
る。

【００１９】さらに、請求項５の発明によれば、フィル
タとして、０．０５μｍ以上のごみやほこりを９９．９
％以上濾過することができるものを採用したため、不活
性ガスをケース内に充填する際に、密閉空間内のかなり
微細なごみまでフィルタリングすることができる。

【００２０】さらにまた、請求項６に記載の発明では、
フィルタによる気体の流出入の速度をＶ／１５００（ｍ
ｏｌ／分）としているので、比較的短時間で、ケース内
外の圧力差を解除することができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施例に係るウ
ェーハ収納方法およびこれに用いられるウェーハケース
を説明する。図１はこの発明の一実施例に係るウェーハ
収納方法の説明図である。図２はこの発明の一実施例に
係るウェーハケースの全体斜視図である。図３はこの発
明の一実施例に係るウェーハケースの正面図である。図
４は同平面図である。図５は同閉蓋中における図２のＡ
−Ａ拡大断面図である。図６（ａ）は容器本体と蓋との
接合部の構造を示す部分拡大断面図である。図６（ｂ）
はガスケットの圧縮変形を説明するための略図である。
図７はフィルタユニットの拡大斜視図である。図８はフ
ィルタユニットの使用状態の拡大断面図である。

【００２２】図２〜図４に示すように、１０はこの発明
の一実施例に係るウェーハケースである。このウェーハ
ケース１０は、例えば８インチのシリコンウェーハ１１
が収納される四角形で箱形の容器本体１２と、この容器
本体１２の上面にある開口部を閉蓋する蓋１３と、これ
らの容器本体１２や蓋１３の開口周縁部の外壁間に介在
されたパッキング材の一例である環状ゴム製のガスケッ
ト１４と、蓋１３の上壁の対角位置の内面に装着され
て、ケース内外を連通する第１，第２のフィルタユニッ
ト１５Ａ，１５Ｂとを備えた内容量約１５０００ｃｃの
密閉式のケースである。蓋１３は、閉蓋時の上方側が凹
となった四角形の浅い皿状に成形されている。

【００２３】容器本体１２および蓋１３の素材として
は、透明もしくは半透明のポリプロピレン（ＰＰ）およ
びポリカーボネート（ＰＣ）が使用される。ガスケット
１４は断面矩形の環状のゴム製である。容器本体１２や
蓋１３の鍔状の開口周縁部間に介在されて、ウェーハケ
ース１０の密閉性を確保するパッキング材としての役目
を果たす。具体的には、図６（ａ），（ｂ）に示すよう
に、このガスケット１４は、容器本体１２の開口周縁部
に周設された矩形断面のシール溝３０に、若干その頭部
を突出させて収納されている。ガスケット１４の内，外
周部（非圧縮部）には、その全周にわたって凹部３４が
形成されている。したがって、ガスケット１４の非圧縮
面とシール溝３０の壁部との間には間隙３５が形成され
ることとなる。

【００２４】また、蓋１３は、ガスケット１４を介し
て、容器本体１２の開口部に、航空輸送時のケース内外
の圧力差が０．２気圧になったときもこれに耐え得る高
い密閉性でもって閉蓋される。そして、蓋１３の上壁の
表面には、透明な上壁を通して覗き見えるウェーハ１１
の枚数が、その枚数分の厚さ位置に合わせて表示されて
いる。また、蓋１３の上壁の対角部には、図８に示すよ
うに、それぞれ容器内へ先細り状に突出する一対のボス
形状をした孔部１３ａが形成されている。各孔部１３ａ
にはケース内外を連通する通気孔が形成されている。こ
れらの孔部１３ａには、第１，第２のフィルタユニット
１５のハウジング１６の元部１６ａが外嵌されている。

【００２５】一方、図６に示すように、容器本体１２の
シール溝３０の下面と、蓋１３の周縁部に形成されたシ
ール溝３２の上面とには、ガスケット１４の上面および
下面にそれぞれ当接する一対のリブ３１，３３が周設さ
れている。したがって、閉蓋時には、ガスケット１４の
上部および下部がリブ３１，３３によって押し潰される
（図６（ａ）参照）。しかしながら、ガスケット１４の
非圧縮面とシール溝３０の側壁との間に形成された間隙
３５が、潰されて膨出したガスケット１４の逃げ部とな
る（図６（ｂ）参照）。この結果、圧縮力を受けたガス
ケット１４は、シール溝３０の側壁に妨げられることな
く、スムーズに変形する。よって、蓋１３の閉蓋操作が
容易になるとともに、接合部におけるシール機能の信頼
性が向上する。このような閉蓋構造により、蓋１３は容
器本体１２の開口部に、ケース内外の圧力差０．２気圧
に耐え得る高い密閉性で閉蓋される。

【００２６】この閉蓋時において、蓋１３を手動（自動
でも可）で容器本体１２に圧着させる治具が、図２およ
び図５に示す容器本体１２の側板上部間に対向状態で配
設された一対のフック・レバー部４０である。以下、こ
れを説明する。図２，図５に示すように、フック・レバ
ー部４０は、ともに板材であるフック部材４１とレバー
部材４２とにより構成されている。フック部材４１の上
部には係合孔４１ａが穿設されていて、下部にレバー部
材４２の連結軸４２ａが軸支される切欠部が形成されて
いる。このレバー部材４２の元部両側には、容器本体１
２の側板上部から突出するリブ間に軸支された一対の取
り付け軸４２ｂが突出している。なお、蓋１３の開口周
縁部には、各係合孔４１ａと対向する箇所に、閉蓋時
に、この係合孔４１ａと接合する係合突起１３ｄが突出
している。

【００２７】したがって、閉蓋時には、容器本体１２の
開口部上に蓋１３を載置し、その後、各係合孔４１ａを
それぞれの対応する係合突起１３ｄに係合させる。次
に、レバー部材４２を取り付け軸４２ｂを中心に垂直面
内で下方へ回動する。この結果、フック部材４１は連結
軸４２ａを中心に垂直面内で回動させられながら押し下
げられる。これにより、蓋１３が堅固に閉蓋される。な
お、開蓋時には、この操作とは反対の操作を行う。

【００２８】図７，図８に示すように、第１，第２のフ
ィルタユニット１５Ａ，１５Ｂは、軸線方向の長さが
１．５ｃｍほどの小型のユニットである。この第１，第
２のフィルタユニット１５Ａ，１５Ｂは、ハウジング１
６と、その内部に収納された第１，第２のフィルタ１７
Ａ，１７Ｂとにより構成されている。ハウジング１６
は、ポリプロピレン製の略コマ形状をした小型管体であ
り、上記筒状の元部１６ａの先端側に、第１，第２のフ
ィルタ１７Ａ，１７Ｂの収納部を有する円盤状の濾過部
１６ｂと、若干小径な円筒状の先部１６ｃとが順次連結
されている。なお、この先部１６ｃをカットして、第
１，第２のフィルタユニット１５Ａ，１５Ｂの軸線方向
の長さをより短くしてもよい。第１，第２のフィルタ１
７Ａ，１７Ｂとしては、直径１３ｍｍ、平均孔径０．５
μｍ（気体の場合０．０５μｍ程度の粒子を濾過可
能）、有効濾過面積０．９ｃｍ^２耐圧強度（２５℃時）
５．３ｋｇｆ／ｃｍ^２（５．３×１０^４Ｐａ）、耐熱温
度６０℃の四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）製のメン
ブランフィルタが採用されている。

【００２９】次に、この一実施例に係るウェーハケース
１０を用いたウェーハ収納方法を説明する。図２〜図４
に示すように、ケースパーツの洗浄後に組み立てられ、
さらに第１，第２のフィルタユニット１５Ａ，１５Ｂが
組み込まれたウェーハケース１０は、クリーンルーム内
で本体容器１２内に所定枚数のウェーハ１１が収納され
た後、フック・レバー部４０を用いて、ガスケット１４
を挟んで蓋１３を閉蓋することにより、ウェーハ１１が
良好に密封される。その後、図１に示すように、第１の
フィルタ１７Ａを内蔵した第１のフィルタユニット１５
Ａに、ウェーハケース１０の内部空気を吸い出す吸い出
しノズル３０Ａを接続する。吸い出しノズル３０Ａは、
真空ポンプ３１にホース連結されている。一方、第２の
フィルタ１７Ｂを内蔵した第２のフィルタユニット１５
Ｂに、Ｎ_２ガスボンベ３２にホース連結された供給ノズ
ル３０Ｂを接続する（図８も参照）。

【００３０】次に、真空ポンプ３１を作動させる。これ
により、ウェーハケース１０の内部空気は、この空気中
に含まれる微細なごみ類が第１のフィルタ１７Ａにより
濾過されながら、吸い出しノズル３０Ａから外部へと吸
い出される。この結果、ウェーハケース１０内は負圧化
する。この減圧と同時、または、ウェーハケース１０内
が所定値まで減圧後、Ｎ_２ガスボンベ３２のバルブ３３
を開く。これにより、Ｎ_２ガスが供給ノズル３０Ｂを通
過してケース１０内に供給される。なお、Ｎ_２ガス中の
微細なごみやほこりは、第２のフィルタユニット１５Ｂ
を通過する際に濾過される。このようにしてケース内の
空気をＮ_２ガスに置換するので、従来手段のように、ウ
ェーハケース１０を密閉する空間を形成するための真空
容器が不要となる。この結果、設備コストを大幅に低減
できる。しかも、Ｎ_２ガスが充填されるのは、このウェ
ーハケース１０内だけとなるので、Ｎ_２ガスの使用量も
減少する。

【００３１】さらには、従来手段のように、前もって真
空容器の内部空気をＮ_２ガスに置換しなくてもよいの
で、両フィルタ１７Ａ，１７Ｂによって外気中またはＮ
_２ガス中に存在する微細なごみ類をフィルタリングしな
がら、ウェーハケース１０の内部空気とＮ_２ガスとを、
短時間のうちに効率良く置換することができる。また、
この一実施例では、第１，第２のフィルタ１７Ａ，１７
Ｂを、蓋１３の対向する角部に対角配置したので、ウェ
ーハケース１０において、ケース外へ吸い出される内部
空気と、ケース内へ供給される不活性ガス（Ｎ_２ガス）
との対流が発生する。これにより、略全ての内部空気を
滞留させることなく良好にケース外へ排出し、かつこの
ケース内を不活性ガスで充分に満たすことができる。

【００３２】なお、この内部空気とＮ_２ガスとのパージ
中、常時、図示しない酸素濃度検出装置によって、吸い
出しノズル３０Ａを通過中の内部空気の酸素濃度を検出
する。そして、酸素濃度が１０^−５ｍｏｌ／リットル以
下になった場合には、このパージを終了する。このよう
にパージ作業を制御したので、ウェーハケース１０の内
部空気とＮ_２ガスとの置換終了の時点を的確に検出する
ことができる。その後、ウェーハケース１０はＮ_２ガス
を充填したままで、図外のナイロン（ポリアミド繊維の
商品名）またはポリエチレン製の内袋と、アルミニウム
フィルム製の外袋１９とにより二重にラッピングされた
後、各種の輸送機関を利用して、ユーザー側のデバイス
工場などへ出荷される。

【００３３】このように、ウェーハケース１０に第１，
第２のフィルタ１７Ａ，１７Ｂを内蔵する第１，第２の
フィルタユニット１５Ａ，１５Ｂを取り付けたので、外
気中を浮遊するごみやほこりがケース内に侵入するのを
防ぎながら、このケース内にＮ_２ガスを充填すること
ができる。ウェーハケース１０内の空気がＮ_２ガスに置
換されることで、有機物を含む微細なごみ類のウェーハ
付着を原因としたウェーハ表面の汚染が解消されたり、
ケース内の湿気を原因としたウェーハ表面の微小粒子を
防いだり、またデバイス工場で、この微小粒子などを除
去するＨＦ洗浄が省けるなどの効果が得られる。また、
蓋１３に第１，第２のフィルタ１７Ａ，１７Ｂを有する
第１，第２のフィルタユニット１５Ａ，１５Ｂを組み付
けただけなので、比較的低コストで前述した効果が得ら
れる。

【００３４】さらに、第１，第２のフィルタ１７Ａ，１
７Ｂが、０．０５μｍ以上のごみやほこりを９９．９％
以上濾過することができるほど細かいので、ケース内に
Ｎ_２ガスを供給する際に、Ｎ_２ガス中の微細なごみ類を
フィルタリングすることができるとともに、パージ終了
後、例えばウェーハ輸送時などの際において、外気中の
かなり微細なごみやほこりまで除去することができる。
さらにまた、第１，第２のフィルタ１７による気体の濾
過速度をＶ／１５００（ｍｏｌ／分）としたので、第
１，第２のフィルタユニット１５を介して、最大１時間
くらいでケース内外の圧力を等しくすることができる。
この結果、ウェーハケース１０内にＮ_２ガスを充填する
作業時間を短縮することができる。

【００３５】

【発明の効果】この発明によれば、ウェーハケースの内
部空気を不活性ガスにパージする場合には、第１，第２
のフィルタ、および、各フィルタに接続された吸い出
し，供給ノズルを介して、このケース内の空気と不活性
ガスとの置換を行うようにしたので、短時間のうちに効
率良く、外気中に浮遊するごみ類の侵入を防止しなが
ら、不活性ガスをウェーハケースに充填することができ
る。この際、従来手段で使用されていたウェーハケース
を外部から遮断する、例えば真空容器などを不要とする
ことができる。この結果、設備コストが大幅に低減され
て、不活性ガスの使用量も減少させることができる。

【００３６】特に、請求項２の発明によれば、第１のフ
ィルタを通過した内部空気の酸素濃度が１０^−５ｍｏｌ
／リットル以下になったら、ウェーハケースの内部空気
と不活性ガスとの置換を終了するようにしたので、ウェ
ーハケースの内部空気と不活性ガスとの置換終了時を的
確に検出することができる。

【００３７】また、請求項４の発明によれば、第１，第
２のフィルタを容器本体および／または蓋の外壁に対角
配置したので、このウェーハケース内で、内部空気と不
活性ガスとの対流が起き、これにより両気体間の置換が
さらに良好となる。

【００３８】特に、請求項５に記載の発明では、フィル
タとして、０．０５μｍ以上のごみやほこりを９９．９
％以上濾過することができる目の細かいものを採用した
ので、不活性ガスをケース内に充填する際に、密閉空間
内のかなり微細なごみまで濾過することができる。

【００３９】また、請求項６に記載の発明では、フィル
タとして、ウェーハケースの容積をＶとしたとき、Ｖ／
１５００（ｍｏｌ／分）以上の値で気体の流出入を許容
するものを採用したので、比較的短時間で、ケース内外
の圧力差を解除することができる。この結果、ウェーハ
ケース内に不活性ガスを充填する作業時間を短縮するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例に係るウェーハ収納方法の
説明図である。

【図２】この発明の一実施例に係るウェーハケースの全
体斜視図である。

【図３】この発明の一実施例に係るウェーハケースの正
面図である。

【図４】この発明の一実施例に係るウェーハケースの平
面図である。

【図５】この発明の一実施例に係るウェーハケースでの
閉蓋中における図２のＡ−Ａ拡大断面図である。

【図６】（ａ）は容器本体と蓋との接合部の構造を示す
部分拡大断面図である。（ｂ）はガスケットの圧縮変形
を説明するための略図である。

【図７】フィルタユニットの拡大斜視図である。

【図８】フィルタユニットの使用状態の拡大断面図であ
る。

【符号の説明】

１０ウェーハケース、１１ウェーハ、１２容器本体、１３蓋、１５Ａ第１のフィルタユニット、１５Ｂ第２のフィルタユニット、１６ハウジング、１７Ａ第１のフィルタ、１７Ｂ第２のフィルタ、３０Ａ吸い出しノズル、３０Ｂ供給ノズル。

フロントページの続きＦターム(参考） 3E067 AA13 AB99 AC04 AC11 BA05A BB14A GA19 3E096 AA06 BA16 BB04 CA02 CB03 DA30 DC02 EA02Y EA04X FA03 FA29 GA07 5F031 DA08 EA01 EA02 EA11 EA14 NA04 NA14 NA20

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウェーハが収納されて、容器本体および
／またはこれを密閉する蓋の外壁に、ケース内外を連通
する第１のフィルタと第２のフィルタとを互いに離間し
て配設されたウェーハケースを準備し、上記第１のフィルタに上記ウェーハケースの内部空気の
吸い出しノズルを接続する一方、上記第２のフィルタに
不活性ガスの供給ノズルを接続し、その後、上記第１のフィルタを通して、上記吸い出しノ
ズルから上記ウェーハケースの内部空気を吸い出すとと
もに、上記第２のフィルタを通して、上記供給ノズルか
ら上記ウェーハケース内へ不活性ガスを供給すること
で、上記ウェーハケースの内部空気を不活性ガスに置換
するウェーハ収納方法。
【請求項２】上記ウェーハケースの内部空気と不活性
ガスとの置換は、上記第１のフィルタを通過した内部空
気の酸素濃度が１０^−５ｍｏｌ／リットル以下になった
ときに終了する請求項１に記載のウェーハ収納方法。
【請求項３】ウェーハが収納される容器本体を蓋を用
いて密封するウェーハケースにおいて、上記容器本体および／または上記蓋の外壁に、上記ウェ
ーハケース内外を連通する第１のフィルタと第２のフィ
ルタとを互いに離間して配設したウェーハケース。
【請求項４】上記第１のフィルタおよび第２のフィル
タは、上記容器本体および／または蓋の外壁の対角位置
に配設されている請求項３に記載のウェーハケース。
【請求項５】上記第１のフィルタおよび／または第２
のフィルタは、０．０５μｍ以上の大きさの微細なごみ
類を９９．９％以上濾過することができる請求項３また
は請求項４に記載のウェーハケース。
【請求項６】ウェーハケースの容積をＶリットルとし
たとき、上記フィルタは、Ｖ／１５００（ｍｏｌ／分）
以上の値で気体の流出入を許容する請求項３〜請求項５
のうちのいずれか１項に記載のウェーハケース。