JP2000311643A - Fluorescent light emission type indicator - Google Patents

Fluorescent light emission type indicator

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JP2000311643A
JP2000311643A JP11119946A JP11994699A JP2000311643A JP 2000311643 A JP2000311643 A JP 2000311643A JP 11119946 A JP11119946 A JP 11119946A JP 11994699 A JP11994699 A JP 11994699A JP 2000311643 A JP2000311643 A JP 2000311643A
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getter
lid member
fluorescent light
airtight container
emitting display
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JP11119946A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Tonegawa
武 利根川
Mikio Yokoyama
三喜男 横山
Yoshihiko Hirata
義彦 平田
Hidetake Iizuka
秀岳 飯塚
Yukitoshi Sugimoto
幸利 杉本
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Futaba Corp
Original Assignee
Futaba Corp
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  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the amount of a gas intruding into a gastight container body when a lid member is bonded to the gastight container body. SOLUTION: In the structure of this fluorescent light emission type indicator, a getter 108 is integrally arranged on a lid member 107. Thereby, when the lid member 107 is bonded to a getter chamber 103 constituting a gastight container body of the fluorescent light emission type indicator, a gas released from sealing glass 110 is adsorbed by the bulk getter 108, so that its intrusion into the gastight container body is reduced.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光表示管や蛍光
発光管等、気密容器本体に形成された開口を蓋部材によ
り封止して成る気密容器内に蛍光体を配設し、前記蛍光
体を発光させることにより表示を行う蛍光発光型表示器
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluorescent display device, such as a fluorescent display tube or a fluorescent light emitting tube, in which a phosphor is provided in an airtight container formed by sealing an opening formed in a hermetic container body with a cover member. The present invention relates to a fluorescent light-emitting display device that performs display by causing a body to emit light.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、蛍光体が被着された陽極電極
と、電子を放出する陰極部と、前記陽極電極と陰極部の
間に配設された制御電極とを気密容器内に配設して成る
蛍光表示管あるいは大画面表示装置用の画素を構成する
蛍光発光管等、気密容器内に蛍光体を配設し、前記蛍光
体を発光駆動することにより表示を行う蛍光発光型表示
器が種々の分野で使用され又、開発が進められている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an anode electrode on which a phosphor has been adhered, a cathode part for emitting electrons, and a control electrode disposed between the anode electrode and the cathode part have been arranged in an airtight container. A fluorescent display tube or a fluorescent light emitting tube that constitutes a pixel for a large screen display device, a fluorescent substance is disposed in an airtight container, and a fluorescent light emitting display that performs display by driving the fluorescent substance to emit light. Is used in various fields and is under development.

【0003】図12及び図13は各々、従来の蛍光発光
型表示器の一例を示す正面図、底面図である。図12及
び図13において、蛍光発光型表示器は、前面基板10
1、背面基板102、ゲッターを収容するゲッター室1
03及びこれらの周囲を封着するシールガラス1301
によって構成された気密容器本体と、前記気密容器本体
のゲッター室103に形成された排気口(図示せず)を
封止する蓋部材107とによって構成される気密容器を
備えている。
FIGS. 12 and 13 are a front view and a bottom view, respectively, showing an example of a conventional fluorescent display. In FIGS. 12 and 13, the fluorescent light-emitting display is provided with a front substrate 10.
1, a back substrate 102, a getter room 1 for accommodating a getter
03 and a sealing glass 1301 for sealing around them
, And a lid member 107 that seals an exhaust port (not shown) formed in the getter chamber 103 of the airtight container body.

【0004】尚、図示していないが、前面基板101の
内面上には陽極電極及び蛍光体が積層被着されている。
また、背面基板102の内面上には電子を放出する陰極
部が配設されている。前記陰極部は、制御電極と陰極電
極との間にエミッタコーンを配設したスピント(Spind
t)型の冷陰、あるいは前記エミッタコーンの代わりに
カーボンナノチューブを配設した構造の冷陰極等、種々
の構造の陰極が使用される。
[0004] Although not shown, an anode electrode and a phosphor are laminated on the inner surface of the front substrate 101.
Further, on the inner surface of the rear substrate 102, a cathode section for emitting electrons is provided. The cathode section includes a Spind (Spind) in which an emitter cone is disposed between the control electrode and the cathode electrode.
Various types of cathodes, such as a t) type cold shade or a cold cathode having a structure in which carbon nanotubes are provided in place of the emitter cone, are used.

【0005】また、蒸発ゲッター(図示せず)が配設さ
れたゲッター室103の外面上には、ゲッター室103
に形成された排気口(図示せず)を封止するために円盤
状の蓋部材107が固着されている。
Further, on the outer surface of the getter chamber 103 in which an evaporation getter (not shown) is provided, a getter chamber 103 is provided.
A disc-shaped lid member 107 is fixed to seal an exhaust port (not shown) formed at the bottom.

【0006】以上のように構成された蛍光発光型表示器
においては、前記陽極電極、制御電極及び陰極電極に駆
動信号を供給することにより前面基板101に配設され
た蛍光体を発光させ、グラフィック表示、あるいは大画
面表示装置の画素としての発光表示を得ることができ
る。
In the fluorescent light-emitting display device having the above-described structure, a driving signal is supplied to the anode electrode, the control electrode, and the cathode electrode to cause the phosphor disposed on the front substrate 101 to emit light. Display or light-emitting display as a pixel of a large-screen display device can be obtained.

【0007】図14及び図15は、前記従来の蛍光発光
型表示器の製造工程を説明するための図で、図12及び
図13と同一部分には同一符号を付している。図14及
び図15において、先ず、その内面上に蛍光体と陽極電
極が積層被着された前面基板101、その内面上に陰極
部が形成された背面基板102、バネ部材105によっ
て保持されBa等を含む材料によって形成された蒸発ゲ
ッター104を収納したゲッター室103、及び、シー
ルガラス1301を仮組みした状態で、加熱用ヒータ1
404を備えた真空チャンバー1403内の所定の位置
にセットする。
FIGS. 14 and 15 are views for explaining the steps of manufacturing the above-mentioned conventional fluorescent light emitting display, and the same parts as those in FIGS. 12 and 13 are denoted by the same reference numerals. 14 and 15, first, a front substrate 101 on which a phosphor and an anode electrode are laminated and adhered on its inner surface, a rear substrate 102 on which a cathode portion is formed on its inner surface, Ba held by a spring member 105, etc. In a state where the getter chamber 103 accommodating the evaporable getter 104 formed of a material containing
It is set at a predetermined position in a vacuum chamber 1403 provided with 404.

【0008】一方、その周囲全域にわたってシールガラ
ス110が被着された円板状の蓋部材107を、局部加
熱ヒータが内蔵された台111上に載置する。このと
き、ゲッター室103と蓋部材107は、所定の間隔を
おいて離間した位置に配置する。
On the other hand, a disk-shaped lid member 107 on which a seal glass 110 is attached over the entire area is placed on a table 111 having a built-in local heater. At this time, the getter chamber 103 and the lid member 107 are arranged at positions separated by a predetermined distance.

【0009】この状態で、図15に示す温度プロファイ
ル及び雰囲気条件で加熱する。即ち、先ず真空中でヒー
タ1404によって約350度Cまで加熱し、真空チャ
ンバー1403内の残留ガスを排出する。
In this state, heating is performed under the temperature profile and atmosphere conditions shown in FIG. That is, first, it is heated to about 350 ° C. by the heater 1404 in a vacuum, and the residual gas in the vacuum chamber 1403 is discharged.

【0010】次に、シールガラス1301が加熱によっ
て泡を吹くことを防止するために、真空チャンバー14
03内を1気圧の不活性ガスで満たし、その後、ヒータ
1404によって約500度Cまで加熱する。
Next, in order to prevent the sealing glass 1301 from blowing bubbles by heating, the vacuum chamber 14
03 is filled with 1 atm of inert gas, and then heated to about 500 ° C. by a heater 1404.

【0011】これにより、シールガラス1301が溶融
し、前面基板101と背面基板102の外周部が封着さ
れ、前面基板101、背面基板102、ゲッター室10
3及びシールガラス1301による気密容器本体が完成
する。前記気密容器本体は、ゲッター室103に形成さ
れた排気口106を除いて気密容器となる。尚、このと
き、蓋部材107上のシールガラス110も溶融する
が、ゲッター室103とは所定間隔で離間しているた
め、蓋部材107はゲッター室103には接着されな
い。
As a result, the sealing glass 1301 is melted, the outer peripheral portions of the front substrate 101 and the rear substrate 102 are sealed, and the front substrate 101, the rear substrate 102, and the getter chamber 10 are sealed.
3 and the seal glass 1301 complete the hermetic container body. The airtight container body is an airtight container except for an exhaust port 106 formed in the getter chamber 103. At this time, the seal glass 110 on the lid member 107 is also melted, but is separated from the getter chamber 103 at a predetermined interval, so that the lid member 107 is not bonded to the getter chamber 103.

【0012】その後、約350度Cまで冷却した後、真
空チャンバー1403を排気する。これにより、前記気
密容器本体内も真空となる。この状態で、約350度C
で約1時間排気状態を保持する。
After cooling to about 350 ° C., the vacuum chamber 1403 is evacuated. Thereby, the inside of the airtight container body is also evacuated. In this state, about 350 degrees C
For about 1 hour.

【0013】その後、蓋部材107による封止作業を行
う。先ず、台111の局部加熱ヒータに通電して蓋部材
107のシールガラス110を加熱溶融させる。このと
き、前記気密容器本体は約350度Cに維持されている
が、シールガラス110は局部加熱されて約500度C
になり溶融する。
Thereafter, a sealing operation by the lid member 107 is performed. First, the local heater of the base 111 is energized to heat and melt the seal glass 110 of the lid member 107. At this time, the airtight container body is maintained at about 350 ° C., but the seal glass 110 is locally heated to about 500 ° C.
And melts.

【0014】この状態で、加圧シリンダー1405を操
作することによって前記気密容器本体を押し下げて、蓋
部材107に圧接させ、前記気密容器本体に蓋部材10
7を固着し、気密容器を完成させる。その後、前記気密
容器内に配設された蒸発ゲッター104を蒸発させるこ
とによって内部のガスを吸着させて高真空化し、蛍光発
光型表示器が完成する。
In this state, the airtight container main body is pushed down by operating the pressurizing cylinder 1405, and is brought into pressure contact with the lid member 107.
7 is fixed, and the airtight container is completed. Thereafter, the evaporating getter 104 disposed in the hermetic container is evaporated to adsorb the gas therein to create a high vacuum, thereby completing a fluorescent display.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】前記従来の蛍光発光型
表示器においては、蒸発ゲッター104によって気密容
器内のガスをある程度吸着することは可能ではあるが、
蓋部材107を前記気密容器本体に固着させる際に、シ
ールガラス110の溶融にともなって放出されるガスが
前記気密容器本体内に侵入してしまい、蛍光発光型表示
器の寿命が劣化するという問題があった。また、その一
方で、蛍光発光型表示器には薄型化が要請されている。
In the above-mentioned conventional fluorescent light emitting display, although the gas in the hermetic container can be adsorbed to some extent by the evaporation getter 104,
When the lid member 107 is fixed to the hermetic container main body, a gas released due to the melting of the sealing glass 110 enters into the hermetic container main body, thereby deteriorating the life of the fluorescent display. was there. On the other hand, fluorescent display devices are required to be thinner.

【0016】本発明は、気密容器本体に蓋部材を接着す
る際に前記気密容器本体内に侵入するガスを低減するこ
とを課題としている。また本発明は、気密容器の薄型化
を可能にすることを課題としている。
An object of the present invention is to reduce the gas that enters the airtight container main body when the lid member is bonded to the airtight container main body. Another object of the present invention is to make the airtight container thinner.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】本発明の蛍光発光型表示
器は、気密容器本体に形成された開口を封着材によって
蓋部材で封止して成る気密容器内に蛍光体を配設し、前
記蛍光体を発光させることにより表示を行う蛍光発光型
表示器において、前記蓋部材には、前記開口と対向する
側に、ゲッター部材が一体的に形成されていることを特
徴としている。前記蓋部材を前記気密容器本体に接着す
る際に発生するガスはゲッター部材に吸着されるため、
前記開口から侵入するガスは低減される。
According to the present invention, a fluorescent material is provided in a hermetically sealed container in which an opening formed in a hermetically sealed container body is sealed with a lid member with a sealing material. In the fluorescent light-emitting display device that performs display by emitting light from the phosphor, a getter member is integrally formed on the lid member on a side facing the opening. Gas generated when the lid member is bonded to the airtight container body is adsorbed by the getter member,
Gas entering through the opening is reduced.

【0018】前記蓋部材には前記開口と対向する側に凹
部が形成され、前記ゲッター部材の少なくとも一部は前
記凹部に収容されているように構成してもよい。また、
前記蓋部材は、円筒状の凹部と、前記凹部周囲に形成さ
れた円周部から構成され、前記凹部にはゲッター部材が
収容され、前記円周部下面はシールガラスにより前記開
口に封止されて成るように構成してもよい。さらに、前
記気密容器本体はゲッター部材を収容するゲッター室を
有すると共に前記開口が前記ゲッター室に形成され、前
記蓋部材は前記ゲッター室の外面に固着されているよう
に構成してもよい。
A recess may be formed in the cover member on a side facing the opening, and at least a part of the getter member may be housed in the recess. Also,
The lid member includes a cylindrical concave portion and a circumferential portion formed around the concave portion, a getter member is housed in the concave portion, and a lower surface of the circumferential portion is sealed with the opening by seal glass. You may comprise so that it may become. Further, the airtight container main body may have a getter chamber for accommodating a getter member, the opening may be formed in the getter chamber, and the lid member may be fixed to an outer surface of the getter chamber.

【0019】さらにまた、前記開口は前記気密容器本体
を構成する背面基板に形成され、前記蓋部材は前記背面
基板の外面に固着されているように構成してもよい。ま
た、前記ゲッター室又は背面基板の外面に凹部が形成さ
れると共に前記開口が前記凹部内に形成され、前記蓋部
材は前記凹部内に固着されているように構成してもよ
い。また、前記ゲッター部材は、バルクゲッター又は蒸
発ゲッターが使用できる。また、前記蓋部材はセラミッ
クによって形成してもよい。
Further, the opening may be formed in a back substrate constituting the airtight container main body, and the lid member may be fixed to an outer surface of the back substrate. Further, a recess may be formed in the outer surface of the getter chamber or the back substrate, the opening may be formed in the recess, and the lid member may be fixed in the recess. Further, as the getter member, a bulk getter or an evaporation getter can be used. Further, the lid member may be formed of ceramic.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施の形態に係
る蛍光発光型表示器の製造工程を説明するための図で、
図12乃至図14と同一部分には同一符号を付してい
る。図1に示す蛍光発光型表示器の構成は、蓋部材10
7に一体的にゲッター108を配設している点を除い
て、前記従来の蛍光発光型表示器と同一構成である。ま
た、製造工程や、製造工程における温度プロファイル及
び雰囲気条件は、図12乃至図15におけるものと同一
である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a view for explaining a manufacturing process of a fluorescent light emitting display according to an embodiment of the present invention.
12 to 14 are denoted by the same reference numerals. The configuration of the fluorescent display device shown in FIG.
7, except that a getter 108 is provided integrally with the conventional fluorescent light emitting display. Further, the manufacturing process, the temperature profile and the atmosphere conditions in the manufacturing process are the same as those in FIGS.

【0021】以下、本実施の形態に係る蛍光発光型表示
器の構成及び製造工程について説明する。但し、説明の
便宜上、従来の蛍光発光型表示器と同一の部分について
の説明は省略し、主として相違点について説明する。
Hereinafter, the configuration and manufacturing steps of the fluorescent light emitting display according to this embodiment will be described. However, for convenience of explanation, the description of the same parts as those of the conventional fluorescent light-emitting display device is omitted, and different points will be mainly described.

【0022】図1において、図14における場合と同様
に、その内面上に蛍光体と陽極電極が積層被着され硼珪
酸ガラスで形成された前面基板101、その内面上に陰
極部が配設され硼珪酸ガラスによって形成された背面基
板102、硼珪酸ガラスによって形成されたゲッター室
103及びシールガラス(図示せず)を仮組みした状態
で、加熱用ヒータを備えた真空チャンバー(図示せず)
内の所定の位置にセットする。ここで、前面基板10
1、背面基板102、ゲッター室103及び前記シール
ガラスは気密容器本体を構成している。
In FIG. 1, similarly to the case of FIG. 14, a phosphor and an anode electrode are laminated on the inner surface and a front substrate 101 made of borosilicate glass, and a cathode portion is disposed on the inner surface. A vacuum chamber (not shown) equipped with a heating heater in a state where the back substrate 102 made of borosilicate glass, the getter chamber 103 made of borosilicate glass, and the seal glass (not shown) are temporarily assembled.
Set to a predetermined position in Here, the front substrate 10
1. The back substrate 102, the getter chamber 103 and the seal glass constitute an airtight container body.

【0023】一方、その周囲全域にわたってシールガラ
ス110が塗布された円板状の蓋部材107を、局部加
熱ヒータが内蔵された台111上に載置する。このと
き、ゲッター室103と蓋部材107は、所定の間隔だ
け離間して配置する。尚、本実施の形態においては、蓋
部材107のゲッター室103と対向する側に、ゲッタ
ー収容用の凹部109を形成し、凹部109内にバルク
ゲッター108を収容している。尚、蓋部材107の形
状は、円板状でも角板状でもよく、凹部109の形状も
円筒状でも角筒状でもよい。本実施の形態は、円板状の
蓋部材107に円筒状の凹部109を形成した例を示し
ている。
On the other hand, a disk-shaped cover member 107 on which the seal glass 110 is applied over the entire surrounding area is placed on a base 111 having a built-in local heater. At this time, the getter chamber 103 and the cover member 107 are spaced apart from each other by a predetermined distance. In the present embodiment, a recess 109 for accommodating the getter is formed on the side of the lid member 107 facing the getter chamber 103, and the bulk getter 108 is accommodated in the recess 109. The shape of the lid member 107 may be a disk shape or a square plate shape, and the shape of the concave portion 109 may be a cylindrical shape or a rectangular tube shape. This embodiment shows an example in which a cylindrical concave portion 109 is formed in a disk-shaped lid member 107.

【0024】この状態で、図15に示す温度プロファイ
ル及び雰囲気条件で加熱する。即ち、先ず真空中で加熱
用ヒータによって約350度Cまで加熱して真空チャン
バー内の残留ガスを排出した後、真空チャンバー内を1
気圧の不活性ガスで充満させ、前記加熱用ヒータによっ
て約500度Cまで加熱する。
In this state, heating is performed under the temperature profile and atmosphere conditions shown in FIG. That is, first, the residual gas in the vacuum chamber is exhausted by heating to about 350 ° C. by a heater in a vacuum, and
It is filled with an inert gas at atmospheric pressure and heated to about 500 ° C. by the heater.

【0025】これにより、シールガラスが溶融し、前面
基板101と背面基板102の外周部が封着され、前面
基板101、背面基板102、ゲッター室103及びシ
ールガラスによる気密容器本体が完成する。前記気密容
器本体は、ゲッター室103に形成された開口としての
排気口106を除いて気密容器となる。
As a result, the seal glass is melted, the outer peripheral portions of the front substrate 101 and the rear substrate 102 are sealed, and the airtight container body made of the front substrate 101, the rear substrate 102, the getter chamber 103, and the seal glass is completed. The airtight container main body is an airtight container except for an exhaust port 106 as an opening formed in the getter chamber 103.

【0026】次に、約350度Cまで冷却した後、真空
チャンバーを排気する。これにより、前記気密容器本体
内も真空となる。この状態で、約350度Cで約1時間
排気状態を保持する。その後、蓋部材107による封止
作業を行う。先ず、台111の局部加熱ヒータに通電し
て蓋部材107のシールガラス110を加熱溶融させ
る。このとき、前記気密容器本体は約350度Cに維持
されているが、シールガラス110は局部加熱ヒータに
よっても局部加熱されて約500度Cになり、溶融す
る。
Next, after cooling to about 350 ° C., the vacuum chamber is evacuated. Thereby, the inside of the airtight container body is also evacuated. In this state, the exhaust state is maintained at about 350 ° C. for about 1 hour. After that, a sealing operation by the lid member 107 is performed. First, the local heater of the base 111 is energized to heat and melt the seal glass 110 of the lid member 107. At this time, the main body of the hermetic container is maintained at about 350 ° C., but the seal glass 110 is locally heated to about 500 ° C. by the local heater and melts.

【0027】この状態で、加圧シリンダー(図示せず)
を操作することによって前記気密容器本体を押し下げ
て、蓋部材107に圧接させ、前記気密容器本体に蓋部
材107を固着し、気密容器を完成させる。このとき、
図1の矢印で示すように、シールガラス110からガス
が発生するが、バルクゲッター108が約350度Cか
ら吸着機能を発揮し始めるため、前記ガスはバルクゲッ
ター108に吸着される。したがって、排気口106か
ら気密容器本体内へ侵入するガスが低減される。
In this state, a pressure cylinder (not shown)
By operating the airtight container body, the airtight container body is pressed down and pressed against the lid member 107, and the lid member 107 is fixed to the airtight container body to complete the airtight container. At this time,
As shown by the arrow in FIG. 1, gas is generated from the seal glass 110, but the gas is adsorbed by the bulk getter 108 since the bulk getter 108 starts to exhibit an adsorption function at about 350 ° C. Therefore, the amount of gas entering the airtight container main body from the exhaust port 106 is reduced.

【0028】尚、本実施の形態においては、バルクゲッ
ター108を使用したが、製造工程を変えることによ
り、他のゲッターを使用することが可能である。その
後、前記気密容器内に配設された蒸発ゲッター104を
蒸発させることによって内部のガスを吸着させて高真空
化し、蛍光発光型表示器が完成する。
Although the bulk getter 108 is used in the present embodiment, other getters can be used by changing the manufacturing process. Thereafter, the evaporating getter 104 disposed in the hermetic container is evaporated to adsorb the gas therein to create a high vacuum, thereby completing a fluorescent display.

【0029】図3は、蓋部材107に、バルクゲッター
108を一体化して収容する工程を示す図である。先
ず、図3(a)、(b)に示すように、円板状の蓋部材
107の中央部に、サンドブラスト、切削あるいはケミ
カルエッチング等の方法により、円柱状の凹部109を
形成し、その後、蓋部材107の周囲全域にわたってペ
ースト状のシールガラス110を塗布する。また、蓋部
材107の凹部の形成方法として、図3(d)に示すよ
うに、板状の蓋部材107の外周にシールガラス110
の壁面を形成し、その内側を凹部109とし、凹部10
9にバルクゲッター108を配設してもよい。
FIG. 3 is a view showing a process of integrally storing the bulk getter 108 in the lid member 107. First, as shown in FIGS. 3A and 3B, a columnar recess 109 is formed in the center of the disc-shaped lid member 107 by a method such as sandblasting, cutting, or chemical etching. A paste-like seal glass 110 is applied over the entire area around the lid member 107. As shown in FIG. 3D, a method for forming the concave portion of the lid member 107 is to seal the seal glass 110 around the outer periphery of the plate-shaped lid member 107.
The inside of the wall is formed as a recess 109, and the inside of the recess 10 is formed.
9 may be provided with a bulk getter 108.

【0030】蓋部材107の材料としては、前面基板1
01や背面基板102と同一の材料である硼珪酸ガラス
あるいは金属やセラミック等、前面基板101や背面基
板102の材料と熱膨張係数が略等しい材料によって形
成することができる。尚、加工のし易さという点から
は、Al、SiO、ZrO等を成分とするセラ
ミックが適している。
As a material of the cover member 107, the front substrate 1
01 and the back substrate 102, the same material as the front substrate 101 and the back substrate 102, such as borosilicate glass or metal or ceramic. From the viewpoint of ease of processing, ceramics containing Al 2 O 3 , SiO, ZrO 2 or the like as components are suitable.

【0031】また、シールガラス110の材料として
は、PbO系の低融点ガラスにフィラーを混入させ、熱
膨張率を蓋部材107やゲッター室103の材料に整合
させたものが使用できる。尚、バインダーとしてはテレ
ビネオール等が使用できる。
As the material of the seal glass 110, a material in which a filler is mixed in a PbO-based low-melting glass and whose coefficient of thermal expansion matches the material of the lid member 107 and the getter chamber 103 can be used. In addition, TVneol or the like can be used as the binder.

【0032】次に、ペースト状のシールガラス110を
ドライシールガラスにするために、大気中約500度C
で約10分間焼成する。その後、図3(c)に示すよう
に、凹部109に、Zr、V、Ni、Feの合金である
ゲッター粉末を押し固めることにより完成する。
Next, in order to convert the paste-like seal glass 110 into a dry seal glass, the paste seal glass 110 is heated to about 500 ° C.
For about 10 minutes. Thereafter, as shown in FIG. 3C, the getter powder, which is an alloy of Zr, V, Ni, and Fe, is pressed into the recess 109 to complete the process.

【0033】尚、図3に示した実施の形態では、凹部1
09を蓋部材107の中央部付近のみに形成して前記凹
部109内にバルクゲッター108を収容すると共に蓋
部材107の上面とバルクゲッター108の上面を面一
に形成したが、図4の第2の実施の形態に示すように、
蓋部材107上面のシールガラス110を除く略全域に
わたって凹部109を形成し、前記凹部109内に、蓋
部材107の上面とシールガラス110の上面の中間位
置までバルクゲッター108が突出するように構成して
もよい。かかる構成の蓋部材107により気密容器本体
の排気口を封止した第2の実施の形態に係る蛍光発光型
表示器においては、ガスの吸着がより効果的に行われ
る。
Incidentally, in the embodiment shown in FIG.
9 is formed only near the center of the lid member 107 to accommodate the bulk getter 108 in the recess 109, and the upper surface of the lid member 107 and the upper surface of the bulk getter 108 are formed flush with each other. As shown in the embodiment of
A recess 109 is formed over substantially the entire area of the upper surface of the lid member 107 except for the seal glass 110, and the bulk getter 108 is configured to protrude into the recess 109 to an intermediate position between the upper surface of the lid member 107 and the upper surface of the seal glass 110. You may. In the fluorescent light emitting display according to the second embodiment in which the exhaust port of the airtight container main body is sealed by the lid member 107 having such a configuration, the gas is more effectively adsorbed.

【0034】図5及び図6は、各々、本発明の第3の実
施の形態に係る蛍光発光型表示器の背面図及びその底面
図である。図5及び図6において、蛍光発光型表示器
は、その内面上に蛍光体と陽極電極が積層被着され硼珪
酸ガラスで形成された前面基板501、その内面上に陰
極部が配設され硼珪酸ガラスによって形成された背面基
板502、前面基板501及び背面基板502の周囲全
域にわたって形成されたシールガラス601から成る気
密容器本体と、内部に蒸発ゲッター(図示せず)を有す
る蓋部材503とによって気密容器が構成されている。
FIGS. 5 and 6 are a rear view and a bottom view, respectively, of a fluorescent light emitting display according to a third embodiment of the present invention. 5 and 6, a fluorescent light-emitting display device has a front substrate 501 formed of borosilicate glass on which a phosphor and an anode electrode are laminated and coated on the inner surface, and a cathode portion disposed on the inner surface thereof. A rear substrate 502 made of silicate glass, an airtight container body made of a sealing glass 601 formed over the entire periphery of the front substrate 501 and the back substrate 502, and a lid member 503 having an evaporation getter (not shown) inside. An airtight container is configured.

【0035】尚、前記第1及び第2の実施の形態におい
ては、気密容器内に蒸発ゲッター104及びバルクゲッ
ター108を備えるように構成したが、本第3の実施の
形態においては、蓋部材503内にのみゲッターを配設
している。
In the first and second embodiments, the evaporation getter 104 and the bulk getter 108 are provided in the airtight container. However, in the third embodiment, the lid member 503 is provided. Getters are provided only in the inside.

【0036】図7は蓋部材503の斜視図で、図8
(a)は図7のX−X断面図、図8(b)は底面図であ
る。図7及び図8に示すように、蓋部材503内にはゲ
ッターを収容するための円筒状の凹部803と凹部80
3の周囲に平坦な円周部804が形成されており、凹部
803内にはバネ部材802によって、蒸発ゲッター8
01が取り付けられている。
FIG. 7 is a perspective view of the lid member 503, and FIG.
FIG. 8A is a sectional view taken along line XX of FIG. 7, and FIG. 8B is a bottom view. As shown in FIGS. 7 and 8, a cylindrical concave portion 803 and a concave portion 80 for accommodating a getter are provided in the lid member 503.
A flat circumferential portion 804 is formed around the periphery of the evaporating getter 8 in the concave portion 803 by a spring member 802.
01 is attached.

【0037】蓋部材503の円周部804の全域にわた
ってシールガラス(図示せず)を塗布した後、第1の実
施の形態と同一の製造工程を用いて、背面基板502に
形成された開口としての排気口901にゲッター801
が対向するように、蓋部材503を固着する。
After the sealing glass (not shown) is applied over the entire area of the circumferential portion 804 of the lid member 503, the opening formed in the rear substrate 502 is formed by using the same manufacturing process as in the first embodiment. Getter 801 on exhaust port 901
The lid member 503 is fixed so that the.

【0038】図9は、図6の部分拡大断面図であり、図
9に示すように、背面基板502に形成された排気口9
01にゲッター801が対向するように、背面基板50
2と対向する蓋部材503の面の周囲全域にわたって塗
布されたシールガラス110によって蓋部材503が固
着される。尚、蓋部材503を気密容器本体に固着する
際、蒸発ゲッターの一部を蒸発させながら固着すること
により、蓋部材503に塗布されたシールガラスで発生
したガスの気密容器内への侵入を低減することが可能に
なる。製造工程や要求される真空度等によってはバルク
ゲッターを使用することも可能である。
FIG. 9 is a partially enlarged sectional view of FIG. 6, and as shown in FIG.
01 so that the getter 801 faces the back substrate 50.
The cover member 503 is fixed by the seal glass 110 applied over the entire area around the surface of the cover member 503 facing the cover member 2. When the cover member 503 is fixed to the airtight container main body, a part of the evaporable getter is fixed while evaporating to reduce the invasion of the gas generated by the seal glass applied to the cover member 503 into the airtight container. It becomes possible to do. It is also possible to use a bulk getter depending on the manufacturing process and the required degree of vacuum.

【0039】以上の構成とすることにより、蓋部材50
3を固着する際に発生するシールガラスからのガスが、
前面基板501、背面基板502及びシールガラス60
1によって構成された気密容器本体内に侵入することを
抑制することが可能になる。また、気密容器本体内に
は、ゲッターを収容しないため、蛍光発光型表示器の薄
型化を図ることが可能になる。
With the above configuration, the cover member 50
Gas from the sealing glass generated when fixing 3 is
Front substrate 501, rear substrate 502 and seal glass 60
1 can be prevented from entering the hermetic container main body. Further, since the getter is not accommodated in the airtight container main body, it is possible to reduce the thickness of the fluorescent light emitting display.

【0040】図10は、本発明の第4の実施の形態に係
る蛍光発光型表示器の部分拡大断面図で、図9に対応し
た図である。図9の実施の形態においては、背面基板5
02は平板状とし、これに蓋部材503を固着するよう
にしたが、図10の実施の形態においては、背面基板5
02の外面に、排気口901に連通する円柱状の凹部1
011を形成し、凹部1011内に蓋部材503を、背
面基板502と対向する蓋部材503の面の周囲全域に
わたって塗布されたシールガラス110によって固着す
る構成としている。
FIG. 10 is a partially enlarged sectional view of a fluorescent light emitting display according to a fourth embodiment of the present invention, and corresponds to FIG. In the embodiment shown in FIG.
02 is a flat plate, and the lid member 503 is fixed to the flat plate. However, in the embodiment of FIG.
02, a cylindrical recess 1 communicating with the exhaust port 901
No. 011 is formed, and the cover member 503 is fixed in the concave portion 1011 by the seal glass 110 applied over the entire area around the surface of the cover member 503 facing the back substrate 502.

【0041】これにより、蓋部材503を固着する際に
発生するシールガラスからのガスが気密容器本体内に侵
入することを抑制することが可能になるばかりでなく、
気密容器本体内にはゲッターを収容しないため蛍光発光
型表示器の薄型を図ることが可能になると共に、蓋部材
503を凹部内に固着するため、さらに薄型化が可能に
なる。
This not only makes it possible to prevent gas from the seal glass generated when the lid member 503 is fixed from entering the airtight container main body, but
Since the getter is not accommodated in the hermetic container body, the fluorescent light emitting display can be made thinner, and the lid member 503 is fixed in the concave portion, so that the thickness can be further reduced.

【0042】以上述べたように本実施の形態に係る蛍光
発光型表示器は、気密容器本体に形成された開口として
の排気口106、901を、封着材であるシールガラス
110によって蓋部材107、503で封止して成る気
密容器内に蛍光体を配設し、前記蛍光体を発光させるこ
とにより表示を行う蛍光発光型表示器において、蓋部材
107、503には、排気口106、901と対向する
側に、ゲッター部材108、801が一体的に形成され
ていることを特徴としている。
As described above, in the fluorescent light emitting display according to the present embodiment, the exhaust ports 106 and 901 as openings formed in the hermetic container main body are covered with the cover member 107 by the sealing glass 110 as a sealing material. , 503, a fluorescent material is provided in an airtight container sealed by, and the fluorescent material emits light, and a display is performed by emitting light. Is characterized in that the getter members 108 and 801 are integrally formed on the side opposite to.

【0043】したがって、蓋部材107、503を気密
容器本体に接着する際に発生するガスはゲッター部材1
08、801に吸着されるため、排気口106、901
から侵入するガスを低減することができ、長時間にわた
って高輝度な表示を行うことが可能になる。
Therefore, the gas generated when the lid members 107 and 503 are adhered to the airtight container body is the getter member 1.
08, 801, the exhaust ports 106, 901
The gas which intrudes from the substrate can be reduced, and high-luminance display can be performed for a long time.

【0044】蓋部材107、503には排気口106、
901と対向する側に凹部109、803が形成され、
ゲッター部材108、801の少なくとも一部は凹部1
09、903に収容されるように構成してもよい。これ
により、ゲッター部材108、801を容易に蓋部材1
07,503と一体化することが可能になる。
The cover member 107, 503 has an exhaust port 106,
Concave portions 109 and 803 are formed on the side facing 901,
At least a part of the getter members 108 and 801
09, 903. Thereby, the getter members 108 and 801 can be easily replaced with the lid member 1.
07, 503.

【0045】また、前記気密容器本体はゲッター室10
3を有すると共に排気口106、901がゲッター室1
03に形成され、蓋部材107はゲッター室103の外
面に固着されるように構成してもよい。
The main body of the airtight container is a getter room 10.
3 and the exhaust ports 106 and 901 are in the getter chamber 1
03, and the cover member 107 may be configured to be fixed to the outer surface of the getter chamber 103.

【0046】さらに、前記気密容器本体の背面基板50
2の外面に凹部1011を形成し、蓋部材503を凹部
1011に固着するようにしてもよい。これにより、薄
型化が可能になる。さらにまた、前記ゲッター部材は、
バルクゲッター108又は蒸発ゲッター801によって
構成することができる。特に、気密容器内部にゲッター
を1つしか有しない場合には、ガスの吸着効率の点ら、
蒸発ゲッターが適している。
Further, the back substrate 50 of the airtight container body
A concave portion 1011 may be formed on the outer surface of the second member 2, and the cover member 503 may be fixed to the concave portion 1011. As a result, the thickness can be reduced. Furthermore, the getter member is
It can be constituted by the bulk getter 108 or the evaporation getter 801. In particular, when only one getter is provided inside the airtight container, the gas adsorption efficiency is low.
Evaporable getters are suitable.

【0047】また、前記蓋部材107、503はセラミ
ック材料によって形成してもよい。これにより、蓋部材
107、503の加工が容易となり、したがって、蓋部
材107、503に凹部109、803を容易に形成す
ることが可能になる。また、フィラーを変更することに
よって熱膨張率を変更できるため、ゲッター室103や
背面基板502の材料に略等しい熱膨張率の蓋部材10
7、503を容易に形成することが可能になる。尚、前
記各実施の形態においては、蛍光表示管や蛍光発光管の
場合について説明したが、プラズマディスプレイ(PD
P)等の蛍光発光型表示器にも適用することが可能であ
る。
Further, the lid members 107 and 503 may be formed of a ceramic material. Thereby, the processing of the lid members 107 and 503 becomes easy, and therefore, the concave portions 109 and 803 can be easily formed in the lid members 107 and 503. Further, since the coefficient of thermal expansion can be changed by changing the filler, the lid member 10 having a coefficient of thermal expansion substantially equal to the material of the getter chamber 103 and the material of the rear substrate 502
7, 503 can be easily formed. In each of the above embodiments, the case of the fluorescent display tube or the fluorescent light emitting tube has been described.
The present invention can be applied to a fluorescent display such as P).

【0048】また、第1及び第2の実施の形態における
ゲッター室103に、第4の実施の形態のように凹部を
形成し、該凹部内に蓋部材107を固着して、薄型化を
図るようにしてもよい。
Further, a recess is formed in the getter chamber 103 in the first and second embodiments as in the fourth embodiment, and a lid member 107 is fixed in the recess to reduce the thickness. You may do so.

【0049】[0049]

【実施例】図11は、本発明の実施例に係る蛍光発光型
表示器のエミッション残存特性を示す特性図である。本
実施例は、蛍光発光型表示器を図1に示す構成とし又、
蓋部材107をコバールから成るセラミック材料により
形成すると共に、バルクゲッター108をZrVFe合
金から成る材料によって形成した例である。
FIG. 11 is a characteristic diagram showing the emission residual characteristics of a fluorescent display according to an embodiment of the present invention. In the present embodiment, the fluorescent light emitting display is configured as shown in FIG.
In this example, the lid member 107 is formed of a ceramic material made of Kovar, and the bulk getter 108 is formed of a material made of a ZrVFe alloy.

【0050】図11に示すように、本実施例に係る蛍光
発光型表示器のエミッション残存率特性(A)は、図1
4に示す従来の蛍光発光型表示器のエミッション残存率
特性(B)に比べて、格段に改善されていることがわか
る。
As shown in FIG. 11, the emission residual ratio characteristic (A) of the fluorescent light emitting display according to this embodiment is shown in FIG.
It can be seen that the emission residual ratio characteristic (B) of the conventional fluorescent light emitting display shown in FIG.

【0051】[0051]

【発明の効果】本発明の蛍光発光型表示器によれば、気
密容器本体に蓋部材を接着する際に、前記気密容器本体
内に侵入するガスを低減することが可能になる。したが
って、長時間にわたって高輝度な表示を行うことが可能
になる。また、ゲッターを収容した蓋部材を背面基板に
固着するように構成することにより、又、ゲッターを収
容した蓋部材をゲッター室や背面基板に形成した凹部内
に固着するように構成することにより、気密容器の薄型
化が可能になる。
According to the fluorescent light emitting display of the present invention, when the lid member is adhered to the hermetic container main body, it is possible to reduce gas entering the hermetic container main body. Therefore, high-luminance display can be performed for a long time. In addition, by configuring the lid member accommodating the getter to be fixed to the rear substrate, and by configuring the lid member accommodating the getter to be fixed in a recess formed in the getter chamber or the rear substrate, The airtight container can be made thinner.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の第1の実施の形態に係る蛍光発光型
表示器の製造工程を説明するための図である。
FIG. 1 is a diagram for explaining a manufacturing process of a fluorescent light emitting display according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の第1の実施の形態に係る蛍光発光型
表示器の製造工程を説明するための部分拡大断面図であ
る。
FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view for explaining a manufacturing process of the fluorescent light emitting display according to the first embodiment of the present invention.

【図3】 本発明の第1の実施の形態に使用する蓋部材
の製造工程を説明するための図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining a manufacturing process of a lid member used in the first embodiment of the present invention.

【図4】 本発明の第2の実施の形態に使用する蓋部材
の側断面図である。
FIG. 4 is a side sectional view of a lid member used in a second embodiment of the present invention.

【図5】 本発明の第3の実施の形態に係る蛍光発光型
表示器の背面図である。
FIG. 5 is a rear view of a fluorescent display according to a third embodiment of the present invention.

【図6】 図5に示す蛍光発光型表示器の底面図であ
る。
FIG. 6 is a bottom view of the fluorescent display shown in FIG. 5;

【図7】 本発明の第3の実施の形態に使用する蓋部材
の斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view of a lid member used in a third embodiment of the present invention.

【図8】 本発明の第3の実施の形態に使用する蓋部材
の側断面図及び底面図である。
FIG. 8 is a side sectional view and a bottom view of a lid member used in a third embodiment of the present invention.

【図9】 本発明の第3の実施の形態に係る蛍光発光型
表示器の部分拡大断面図である。
FIG. 9 is a partially enlarged cross-sectional view of a fluorescent light emitting display according to a third embodiment of the present invention.

【図10】 本発明の第4の実施の形態に係る蛍光発光
型表示器の部分拡大断面図である。
FIG. 10 is a partially enlarged cross-sectional view of a fluorescent light emitting display according to a fourth embodiment of the present invention.

【図11】 本発明の実施例に係る蛍光発光型表示器の
特性図である。
FIG. 11 is a characteristic diagram of the fluorescent light emitting display according to the embodiment of the present invention.

【図12】 従来の蛍光発光型表示器の背面図である。FIG. 12 is a rear view of a conventional fluorescent light emitting display.

【図13】 図12に示す従来の蛍光発光型表示器の底
面図である。
FIG. 13 is a bottom view of the conventional fluorescent light emitting display shown in FIG.

【図14】 従来の蛍光発光型表示器の製造工程を説明
するための図である。
FIG. 14 is a view for explaining a manufacturing process of a conventional fluorescent light emitting display.

【図15】 一般的な蛍光発光型表示器の製造工程を説
明するための図である。
FIG. 15 is a view for explaining a manufacturing process of a general fluorescent light emitting display.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101、501・・・気密容器本体を構成する前面基板 102、502・・・気密容器本体を構成する背面基板 103・・・気密容器本体を構成するゲッター室 105、802・・・バネ部材 106・・・開口としての排気口 108・・・バルクゲッター 109、803、1011・・・凹部 110、504、1301・・・シールガラス 107、503・・・蓋部材 801・・・蒸発ゲッター 101, 501: Front substrate forming the airtight container main body 102, 502: Back substrate forming the airtight container main body 103: Getter chamber 105, 802 forming the airtight container main body 105, 802: Spring member 106 ··· Exhaust port as opening 108 ··· Bulk getter 109, 803, 1011 ··· Recess 110, 504, 1301 ··· Seal glass 107, 503 ··· Cover member 801 ··· Evaporation getter

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平田 義彦 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内 (72)発明者 飯塚 秀岳 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内 (72)発明者 杉本 幸利 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内 Fターム(参考) 5C032 AA06 AA07 JJ07 JJ08 JJ17 5C036 EE19 EF01 EF06 EF09 EG02 EG05 EH04  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Yoshihiko Hirata 629 Oshiba, Mobara-shi, Chiba Futaba Electronics Co., Ltd. (72) Inventor Hidetake Iizuka 629 Oshiba, Mobara-shi, Chiba Futaba Electronics Co., Ltd. (72 ) Inventor Yukitoshi Sugimoto 629 Oshiba, Mobara City, Chiba Prefecture F-term in Futaba Electronics Co., Ltd.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 気密容器本体に形成された開口を蓋部材
により封止して成る気密容器内に蛍光体を配設し、前記
蛍光体を発光させることにより表示を行う蛍光発光型表
示器において、 前記蓋部材には、前記開口と対向する側に、ゲッター部
材が一体的に形成されていることを特徴とする蛍光発光
型表示器。
1. A fluorescent light emitting display device in which a phosphor is provided in an airtight container having an opening formed in a hermetic container body sealed with a lid member, and the phosphor emits light to perform display. A fluorescent light emitting display, wherein a getter member is formed integrally with the lid member on a side facing the opening.
【請求項2】 前記蓋部材には前記開口と対向する側に
凹部が形成され、前記ゲッター部材の少なくとも一部は
前記凹部に収容されていることを特徴とする請求項1記
載の蛍光発光型表示器。
2. The fluorescent light emitting type according to claim 1, wherein a recess is formed in the lid member on a side facing the opening, and at least a part of the getter member is housed in the recess. display.
【請求項3】 前記蓋部材は、円筒状の凹部と、前記凹
部周囲に形成された円周部から構成され、前記凹部には
ゲッター部材が収容され、前記円周部下面はシールガラ
スにより前記開口に封止されて成ることを特徴とする請
求項2記載の蛍光発光型表示器。
3. The lid member includes a cylindrical concave portion and a circumferential portion formed around the concave portion, a getter member is housed in the concave portion, and a lower surface of the circumferential portion is formed of a seal glass. 3. The fluorescent display device according to claim 2, wherein the display device is sealed in the opening.
【請求項4】 前記気密容器本体はゲッター部材を収容
するゲッター室を有すると共に前記開口が前記ゲッター
室に形成され、前記蓋部材は前記ゲッター室の外面に固
着されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれ
か一に記載の蛍光発光型表示器。
4. The airtight container body has a getter chamber for accommodating a getter member, the opening is formed in the getter chamber, and the lid member is fixed to an outer surface of the getter chamber. Item 4. The fluorescent light emitting display according to any one of Items 1 to 3.
【請求項5】 前記開口は前記気密容器本体を構成する
背面基板に形成され、前記蓋部材は前記背面基板の外面
に固着されていることを特徴とする請求項1乃至3のい
ずれか一に記載の蛍光発光型表示器。
5. The airtight container body according to claim 1, wherein the opening is formed in a rear substrate constituting the airtight container main body, and the lid member is fixed to an outer surface of the rear substrate. The fluorescent light-emitting display device according to claim 1.
【請求項6】 前記ゲッター室又は背面基板の外面に凹
部が形成されると共に前記開口が前記凹部内に形成さ
れ、前記蓋部材は前記凹部内に固着されていることを特
徴とする請求項3乃至5のいずれか一に記載の蛍光発光
型表示器。
6. A concave portion is formed in the outer surface of the getter chamber or the back substrate, the opening is formed in the concave portion, and the lid member is fixed in the concave portion. 6. The fluorescent light-emitting display device according to any one of items 1 to 5,
【請求項7】 前記ゲッター部材は、バルクゲッター又
は蒸発ゲッターであることを特徴とする請求項1乃至6
のいずれか一に記載の蛍光発光型表示器。
7. The getter member according to claim 1, wherein the getter member is a bulk getter or an evaporation getter.
The fluorescent display of any one of the above.
【請求項8】 前記蓋部材はセラミックによって形成さ
れていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一
に記載の蛍光発光型表示器。
8. The fluorescent light emitting display according to claim 1, wherein the lid member is formed of ceramic.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2009277657A (en) * 2008-05-14 2009-11-26 Qinghua Univ Sealing method of vacuum element

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