JP2000310734A - 共焦点顕微鏡および調節方法 - Google Patents
共焦点顕微鏡および調節方法Info
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- JP2000310734A JP2000310734A JP11120185A JP12018599A JP2000310734A JP 2000310734 A JP2000310734 A JP 2000310734A JP 11120185 A JP11120185 A JP 11120185A JP 12018599 A JP12018599 A JP 12018599A JP 2000310734 A JP2000310734 A JP 2000310734A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 カラー画面とレーザによる共焦点白黒画面と
の合成画面が位置ずれを生じた場合に簡単に位置ずれを
解消できる共焦点顕微鏡を提供する。 【解決手段】 試料に光を照射する光源と前記対象物か
らの反射光または透過光を対物レンズを含む光学系を通
して第1受光素子に受光させる第1光学系と、前記光と
は異なる色情報用の照明光を試料に照射してその応答光
を第2受光素子に受光させる第2光学系と、を備え、前
記第1受光素子からの輝度情報と、前記第2受光素子か
らの色情報に基づいてカラーの共焦点画像を表示画面に
表示する共焦点顕微鏡において、前記輝度情報に基づく
表示画面および前記色情報に基づく表示画面に、調節用
標識をそれぞれ表示し、該調節用標識を用いてまず校正
ワークのカラー画面との調整をし、次に該標識と共焦点
白黒画面との調整をする。
の合成画面が位置ずれを生じた場合に簡単に位置ずれを
解消できる共焦点顕微鏡を提供する。 【解決手段】 試料に光を照射する光源と前記対象物か
らの反射光または透過光を対物レンズを含む光学系を通
して第1受光素子に受光させる第1光学系と、前記光と
は異なる色情報用の照明光を試料に照射してその応答光
を第2受光素子に受光させる第2光学系と、を備え、前
記第1受光素子からの輝度情報と、前記第2受光素子か
らの色情報に基づいてカラーの共焦点画像を表示画面に
表示する共焦点顕微鏡において、前記輝度情報に基づく
表示画面および前記色情報に基づく表示画面に、調節用
標識をそれぞれ表示し、該調節用標識を用いてまず校正
ワークのカラー画面との調整をし、次に該標識と共焦点
白黒画面との調整をする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、共焦点原理を利用
した顕微鏡に関するものである。
した顕微鏡に関するものである。
【0002】
【従来の技術】共焦点原理を利用した顕微鏡は、対物レ
ンズとピンホールを配設しており、対物レンズの焦点位
置に試料がある場合、このピンホールを通過したレーザ
光を第1受光素子で受光するので、観察したい高さの部
分についての画像、すなわち共焦点画像だけが鮮明に映
し出されるので、解像度が高くなる。このように、共焦
点型光学系では、焦点が合った位置で輝度が最大になる
という特長があり、そのため試料をZ軸方向に移動さ
せ、映像の各画素で最大の輝度信号を記憶してゆくと全
面に焦点の合った映像が得られる。
ンズとピンホールを配設しており、対物レンズの焦点位
置に試料がある場合、このピンホールを通過したレーザ
光を第1受光素子で受光するので、観察したい高さの部
分についての画像、すなわち共焦点画像だけが鮮明に映
し出されるので、解像度が高くなる。このように、共焦
点型光学系では、焦点が合った位置で輝度が最大になる
という特長があり、そのため試料をZ軸方向に移動さ
せ、映像の各画素で最大の輝度信号を記憶してゆくと全
面に焦点の合った映像が得られる。
【0003】ところが、かかる共焦点画像は白黒(無彩
色)の映像となるので、本出願人は、この白黒の映像に
第2受光素子からの色情報を用いることによりカラーの
映像を得ることのできる小型で低コストのカラー(有彩
色)の共焦点顕微鏡を発明し、出願している。これによ
れば、He−Neレーザーを光源とした共焦点型光学系
を採用することにより、通常の光学顕微鏡の限界を超え
た高解像度の映像を第1受光素子からえることができる
共に、第2受光素子からの色情報を用いるのでカラーの
映像が得られ、その結果、傷や付着物の詳細な観察が可
能になった。
色)の映像となるので、本出願人は、この白黒の映像に
第2受光素子からの色情報を用いることによりカラーの
映像を得ることのできる小型で低コストのカラー(有彩
色)の共焦点顕微鏡を発明し、出願している。これによ
れば、He−Neレーザーを光源とした共焦点型光学系
を採用することにより、通常の光学顕微鏡の限界を超え
た高解像度の映像を第1受光素子からえることができる
共に、第2受光素子からの色情報を用いるのでカラーの
映像が得られ、その結果、傷や付着物の詳細な観察が可
能になった。
【0004】以下、本発明の基礎となるこのカラー共焦
点顕微鏡について、図5〜図9にしたがって説明する。
図5において、顕微鏡は、レーザ光学系(第1光学系)
1と、白色光光学系(第2光学系)2とを備えている。
レーザ光学系1は、試料wの深度に関する情報を検出で
きる共焦点光学系で、たとえば赤色のレーザ光L1を出
射する He-Neレーザ10を光源としている。このレーザ
10の光軸上には、第1のコリメートレンズ11、偏光
ビームスプリッタ12、1/4波長板13、二次元走査
装置14、第1リレーレンズ15、第2リレーレンズ1
6および対物レンズ17が順に配設されている。対物レ
ンズ17の焦点位置の付近には、試料ステージ30が配
設されており、対物レンズ17はレーザ光L1を試料w
の表面に集光させる。二次元走査装置14は、たとえば
水平方向を音響光学偏向素子、垂直方向をガルバノミラ
ーで構成し、レーザ光L1を偏向させることで、試料w
への集光位置を試料wの表面に沿って二次元的(X,Y
方向)にリアルタイムで走査させる。試料ステージ30
は、ステージ制御回路40によりZ(上下)方向に駆動
制御され、X,Y方向については手動ハンドルで移動可
能となっている。
点顕微鏡について、図5〜図9にしたがって説明する。
図5において、顕微鏡は、レーザ光学系(第1光学系)
1と、白色光光学系(第2光学系)2とを備えている。
レーザ光学系1は、試料wの深度に関する情報を検出で
きる共焦点光学系で、たとえば赤色のレーザ光L1を出
射する He-Neレーザ10を光源としている。このレーザ
10の光軸上には、第1のコリメートレンズ11、偏光
ビームスプリッタ12、1/4波長板13、二次元走査
装置14、第1リレーレンズ15、第2リレーレンズ1
6および対物レンズ17が順に配設されている。対物レ
ンズ17の焦点位置の付近には、試料ステージ30が配
設されており、対物レンズ17はレーザ光L1を試料w
の表面に集光させる。二次元走査装置14は、たとえば
水平方向を音響光学偏向素子、垂直方向をガルバノミラ
ーで構成し、レーザ光L1を偏向させることで、試料w
への集光位置を試料wの表面に沿って二次元的(X,Y
方向)にリアルタイムで走査させる。試料ステージ30
は、ステージ制御回路40によりZ(上下)方向に駆動
制御され、X,Y方向については手動ハンドルで移動可
能となっている。
【0005】試料wで反射されたレーザ光(応答光)L
1は、対物レンズ17、第2リレーレンズ16および第
1リレーレンズ15を通り、再び、二次元走査装置14
を介して1/4波長板13および偏光ビームスプリッタ
12を透過し、第2の結像レンズ18に向かう。このレ
ーザ光L1は、第2の結像レンズ18によって集光さ
れ、ピンホールを有する光絞り部19aを通過して第1
受光素子19bに入射する。第1受光素子19bは、た
とえばフォトマルチプライヤまたはフォトダイオードな
どで構成され、入射したレーザ光L1を光電変換して、
アナログ光量信号を出力アンプおよびゲイン制御回路
(図示せず)を介して第1のA/D変換回路41に出力
する。
1は、対物レンズ17、第2リレーレンズ16および第
1リレーレンズ15を通り、再び、二次元走査装置14
を介して1/4波長板13および偏光ビームスプリッタ
12を透過し、第2の結像レンズ18に向かう。このレ
ーザ光L1は、第2の結像レンズ18によって集光さ
れ、ピンホールを有する光絞り部19aを通過して第1
受光素子19bに入射する。第1受光素子19bは、た
とえばフォトマルチプライヤまたはフォトダイオードな
どで構成され、入射したレーザ光L1を光電変換して、
アナログ光量信号を出力アンプおよびゲイン制御回路
(図示せず)を介して第1のA/D変換回路41に出力
する。
【0006】つぎに、レーザ光学系1によって得られる
輝度情報について説明する。光絞り部19aは、第2の
結像レンズ18の焦点位置に配設されており、一方、光
絞り部19aのピンホールは極めて微小であるから、レ
ーザ光L1が試料w上で焦点を結ぶと、その反射光L1
が光絞り部19aのピンホールで結像し、第1受光素子
19bに入射する受光光量が著しく大きくなる。逆に、
レーザ光L1が試料w上で焦点を結んでいないと、その
反射光L1は、光絞り部19aのピンホールを殆ど通過
しないので、第1受光素子19bの受光光量が著しく小
さくなる。
輝度情報について説明する。光絞り部19aは、第2の
結像レンズ18の焦点位置に配設されており、一方、光
絞り部19aのピンホールは極めて微小であるから、レ
ーザ光L1が試料w上で焦点を結ぶと、その反射光L1
が光絞り部19aのピンホールで結像し、第1受光素子
19bに入射する受光光量が著しく大きくなる。逆に、
レーザ光L1が試料w上で焦点を結んでいないと、その
反射光L1は、光絞り部19aのピンホールを殆ど通過
しないので、第1受光素子19bの受光光量が著しく小
さくなる。
【0007】図6は顕微鏡の明るさと解像力の関係を示
す図である。図6(A)は共焦点顕微鏡の明るさと解像
力の関係を示す図、図6(B)は通常の顕微鏡の明るさ
と解像力の関係を示す図である。図6(A)でわかるよ
うに、共焦点型光学系において焦点が合っている場合に
は光の大部分がピンホールを通過するが、焦点が合って
ない状態ではピンホールを通過する光量が激減すること
である。一方、図6(B)の通常の顕微鏡においては焦
点位置において解像力はピークになるが、明るさはあま
り変化しない。状態での光量とに差がない。このよう
に、共焦点型光学系において焦点が合っている場合には
焦点位置において明るさと解像力がピークになる。すな
わち、最大輝度と合焦点位置とが一致し、したがって、
焦点の合った部分について明るい映像が得られ、一方、
それ以外の高さの部分については暗い映像が得られるこ
ととなる。このように、共焦点顕微鏡では焦点深度の極
めて浅い画像が得られ、ターゲットとする層のみピント
の合った明るい、それ以外の層は暗い画像が得られるの
で、半導体の積層構造の検査などに利用することができ
る。また、試料をZ軸方向に移動させ、映像の各画素で
最大輝度信号を記憶すると、全面に焦点の合った映像と
なり、逆に、焦点深度が無限に深い映像を得ることもで
きるようになる。また、走査ラインの各画素において、
焦点の合うZ軸の高さ情報を記憶することにより、表面
形状を測定することもできる。
す図である。図6(A)は共焦点顕微鏡の明るさと解像
力の関係を示す図、図6(B)は通常の顕微鏡の明るさ
と解像力の関係を示す図である。図6(A)でわかるよ
うに、共焦点型光学系において焦点が合っている場合に
は光の大部分がピンホールを通過するが、焦点が合って
ない状態ではピンホールを通過する光量が激減すること
である。一方、図6(B)の通常の顕微鏡においては焦
点位置において解像力はピークになるが、明るさはあま
り変化しない。状態での光量とに差がない。このよう
に、共焦点型光学系において焦点が合っている場合には
焦点位置において明るさと解像力がピークになる。すな
わち、最大輝度と合焦点位置とが一致し、したがって、
焦点の合った部分について明るい映像が得られ、一方、
それ以外の高さの部分については暗い映像が得られるこ
ととなる。このように、共焦点顕微鏡では焦点深度の極
めて浅い画像が得られ、ターゲットとする層のみピント
の合った明るい、それ以外の層は暗い画像が得られるの
で、半導体の積層構造の検査などに利用することができ
る。また、試料をZ軸方向に移動させ、映像の各画素で
最大輝度信号を記憶すると、全面に焦点の合った映像と
なり、逆に、焦点深度が無限に深い映像を得ることもで
きるようになる。また、走査ラインの各画素において、
焦点の合うZ軸の高さ情報を記憶することにより、表面
形状を測定することもできる。
【0008】つぎに、白色光光学系2について説明す
る。白色光光学系2は、白色光(色情報用の照明光)L
2を出射する白色光源20を光源としている。この白色
光源20の光軸上には、第2のコリメートレンズ21、
第1のハーフミラー22および前記対物レンズ17が配
設されており、前記第1のハーフミラー22において2
つの光学系1,2の光軸が合致するように白色光光学系
2が配設されている。したがって、白色光L2は、レー
ザ光L1の走査領域と同一の箇所に集光される。試料w
で反射された白色光(応答光)L2は、前記対物レンズ
17、前記第1のハーフミラー22および第2リレーレ
ンズ16を透過し、さらに、第2のハーフミラー23で
反射されてカラーCCD(第2受光素子)24の表面で
結像する。すなわち、カラーCCD24は、光絞り部1
9aと共役ないし共役に近い位置に配設されている。な
お、カラーCCD24で撮像された画像は、アナログの
カラー撮像情報として、CCD駆動回路43に読み出さ
れて第2のA/D変換回路42に出力される。
る。白色光光学系2は、白色光(色情報用の照明光)L
2を出射する白色光源20を光源としている。この白色
光源20の光軸上には、第2のコリメートレンズ21、
第1のハーフミラー22および前記対物レンズ17が配
設されており、前記第1のハーフミラー22において2
つの光学系1,2の光軸が合致するように白色光光学系
2が配設されている。したがって、白色光L2は、レー
ザ光L1の走査領域と同一の箇所に集光される。試料w
で反射された白色光(応答光)L2は、前記対物レンズ
17、前記第1のハーフミラー22および第2リレーレ
ンズ16を透過し、さらに、第2のハーフミラー23で
反射されてカラーCCD(第2受光素子)24の表面で
結像する。すなわち、カラーCCD24は、光絞り部1
9aと共役ないし共役に近い位置に配設されている。な
お、カラーCCD24で撮像された画像は、アナログの
カラー撮像情報として、CCD駆動回路43に読み出さ
れて第2のA/D変換回路42に出力される。
【0009】つぎに、図7のカラー映像信号作成手段5
について説明する。カラー映像信号作成手段5は、第1
受光素子19bからの輝度情報と、カラーCCD24か
らの色情報とを組み合わせて、カラー映像用のデジタル
信号ro,go,boを作成するものである。前記カラ
ー映像信号作成手段5は、第1および第2領域回路5
1,52と、輝度変換回路53などを備えている。この
第1および第2領域回路51,52は、図8に示すよう
に、それぞれ、レーザ光学系1の撮像領域A1および白
色光光学系2の撮像領域A2の所定の共通部分を映像領
域A0として選択し、選択した部分についてデジタル信
号を出力する。すなわち、図7の第1領域回路51は、
前記映像領域A0について、カラーCCD24の各画素
に対応した分解能で輝度信号iを輝度用メモリMiに記
憶させる。一方、前記第2領域回路52は、前記映像領
域A0について、各画素ごとに赤、緑、青の色強度信号
rm,gm,bmを第1色強度メモリMr1,Mg1,
Mb1に記憶させる。なお、色強度信号とは、三原色に
ついての輝度(強度)を含む信号をいう。
について説明する。カラー映像信号作成手段5は、第1
受光素子19bからの輝度情報と、カラーCCD24か
らの色情報とを組み合わせて、カラー映像用のデジタル
信号ro,go,boを作成するものである。前記カラ
ー映像信号作成手段5は、第1および第2領域回路5
1,52と、輝度変換回路53などを備えている。この
第1および第2領域回路51,52は、図8に示すよう
に、それぞれ、レーザ光学系1の撮像領域A1および白
色光光学系2の撮像領域A2の所定の共通部分を映像領
域A0として選択し、選択した部分についてデジタル信
号を出力する。すなわち、図7の第1領域回路51は、
前記映像領域A0について、カラーCCD24の各画素
に対応した分解能で輝度信号iを輝度用メモリMiに記
憶させる。一方、前記第2領域回路52は、前記映像領
域A0について、各画素ごとに赤、緑、青の色強度信号
rm,gm,bmを第1色強度メモリMr1,Mg1,
Mb1に記憶させる。なお、色強度信号とは、三原色に
ついての輝度(強度)を含む信号をいう。
【0010】輝度変換回路53は、下記の演算式(1),
(2),(3) にしたがって、各画素についての前記色強度信
号rm,gm,bmの輝度情報を、輝度信号iの輝度情
報に置換して、変換色強度信号ro,go,boを求
め、この変換色強度信号ro,go,boを第2色強度
メモリMr2,Mg2,Mb2に記憶させるものであ
る。 Ro=I・Rm/(Rm+Gm+Bm) ・・・(1) Go=I・Gm/(Rm+Gm+Bm) ・・・(2) Bo=I・Bm/(Rm+Gm+Bm) ・・・(3) ここで、I:輝度信号iの輝度 Rm,Gm,Bm:色強度信号rm,gm,bmの輝度
(強度) Ro,Go,Bo:変換色強度信号ro,go,boの
輝度(強度) なお、第1色強度メモリMr1,Mg1,Mb1および
第2色強度メモリMr2,Mg2,Mb2はカラーCC
D24のうち前述の映像領域A0の部分の画素に対応し
た記憶部を有している。こうして得られた変換色強度信
号ro,go,boは、カラーCCD24からのカラー
撮像情報のうちの輝度情報を、第1受光素子19bから
の輝度情報に置換した信号となる。前記変換色強度信号
ro,go,boは、前記第2色強度メモリMr2,M
g2,Mb2から読み出されて、表示コントローラ72
を構成するD/A変換回路60に出力され、更に、表示
コントローラ72を構成する加算器61において同期信
号aが付加されて、アナログの複合カラー映像信号cと
なる。この複合カラー映像信号cは表示装置(モニタ)
62に出力されて、試料wの映像が映し出される。
(2),(3) にしたがって、各画素についての前記色強度信
号rm,gm,bmの輝度情報を、輝度信号iの輝度情
報に置換して、変換色強度信号ro,go,boを求
め、この変換色強度信号ro,go,boを第2色強度
メモリMr2,Mg2,Mb2に記憶させるものであ
る。 Ro=I・Rm/(Rm+Gm+Bm) ・・・(1) Go=I・Gm/(Rm+Gm+Bm) ・・・(2) Bo=I・Bm/(Rm+Gm+Bm) ・・・(3) ここで、I:輝度信号iの輝度 Rm,Gm,Bm:色強度信号rm,gm,bmの輝度
(強度) Ro,Go,Bo:変換色強度信号ro,go,boの
輝度(強度) なお、第1色強度メモリMr1,Mg1,Mb1および
第2色強度メモリMr2,Mg2,Mb2はカラーCC
D24のうち前述の映像領域A0の部分の画素に対応し
た記憶部を有している。こうして得られた変換色強度信
号ro,go,boは、カラーCCD24からのカラー
撮像情報のうちの輝度情報を、第1受光素子19bから
の輝度情報に置換した信号となる。前記変換色強度信号
ro,go,boは、前記第2色強度メモリMr2,M
g2,Mb2から読み出されて、表示コントローラ72
を構成するD/A変換回路60に出力され、更に、表示
コントローラ72を構成する加算器61において同期信
号aが付加されて、アナログの複合カラー映像信号cと
なる。この複合カラー映像信号cは表示装置(モニタ)
62に出力されて、試料wの映像が映し出される。
【0011】つぎに、本カラー共焦点顕微鏡の用い方に
ついて説明する。本カラー共焦点顕微鏡は、 CCDカメラによる領域探索モード、 白黒(無彩色)共焦点画像モード、 およびカラー共焦点画像モード の3つのモードのうち1つを選択して用いる。これらの
モードの設定は、表示画面に表示された上記〜のア
イコンを操作部(例えば、マウス)63で操作して設定
する。
ついて説明する。本カラー共焦点顕微鏡は、 CCDカメラによる領域探索モード、 白黒(無彩色)共焦点画像モード、 およびカラー共焦点画像モード の3つのモードのうち1つを選択して用いる。これらの
モードの設定は、表示画面に表示された上記〜のア
イコンを操作部(例えば、マウス)63で操作して設定
する。
【0012】の領域探索モードが選択されると、カラ
ー映像信号作成手段5は図5のレーザ駆動回路44を停
止させると共に、CCD駆動回路43を作動させてカラ
ーCCD24により撮像させる。この領域探索モードで
は、図7の第2領域回路52から第1色強度メモリMr
1,Mg1,Mb1に記憶された色強度信号rm,g
m,bmが、そのまま、D/A変換回路60に出力され
て、被写界深度の深い通常の拡大画像がモニタ62に映
し出される。したがって、図5の試料ステージ30を
X,Y方向に移動させることにより、撮像したい領域を
探し出すことができる。
ー映像信号作成手段5は図5のレーザ駆動回路44を停
止させると共に、CCD駆動回路43を作動させてカラ
ーCCD24により撮像させる。この領域探索モードで
は、図7の第2領域回路52から第1色強度メモリMr
1,Mg1,Mb1に記憶された色強度信号rm,g
m,bmが、そのまま、D/A変換回路60に出力され
て、被写界深度の深い通常の拡大画像がモニタ62に映
し出される。したがって、図5の試料ステージ30を
X,Y方向に移動させることにより、撮像したい領域を
探し出すことができる。
【0013】 また、白黒共焦点画像モードが選択さ
れると、カラー映像信号作成手段5(図7)は、レーザ
光学系1のレーザ駆動回路44および二次元走査装置1
4などを作動させ、レーザ光学系1により撮像させる。
この白黒共焦点画像モードでは、図7の第1領域回路5
1から輝度用メモリMiに記憶された輝度信号iが、そ
のまま、D/A変換回路60に出力されて、解像度の高
い白黒(無彩色)の拡大画像がモニタ62に映し出され
る。
れると、カラー映像信号作成手段5(図7)は、レーザ
光学系1のレーザ駆動回路44および二次元走査装置1
4などを作動させ、レーザ光学系1により撮像させる。
この白黒共焦点画像モードでは、図7の第1領域回路5
1から輝度用メモリMiに記憶された輝度信号iが、そ
のまま、D/A変換回路60に出力されて、解像度の高
い白黒(無彩色)の拡大画像がモニタ62に映し出され
る。
【0014】 さらに、カラー共焦点画像モードが選
択されると、レーザ駆動回路44とCCD駆動回路43
とが交互に駆動される。すなわち、このカラー共焦点画
像モードが選択されると、図9のステップS91でステ
ップS92に進み、レーザ光L1による1画面分の走査
がなされた後、ステップS93に進む。ステップS93
では図5のレーザ駆動回路44が停止し、レーザ10か
らレーザ光L1が出射されなくなる。この状態で図9の
ステップS94に進み、カラーCCD24に電荷を蓄積
する。このステップS94で得た図7の色強度信号r
m,gm,bmは、この信号に含まれている輝度情報が
前記ステップS92で得た輝度信号iの輝度情報に置換
され、変換色強度信号ro,go,boとなる。この変
換色強度信号ro,go,boは、それぞれ、第2色強
度メモリMr2,Mg2,Mb2に記憶された後、D/
A変換回路60に出力されてカラーの拡大画像が表示画
面62に映し出される。なお、図9のステップS94の
後にステップS95に進み、前記レーザ光L1の走査
と、CCD駆動回路43による電荷の蓄積および読み出
しとが繰り返される。こうして得られるカラー共焦点画
像は、色情報についての解像度が低いので、三原色のレ
ーザ光を用いた従来のカラーレーザ顕微鏡に比べ、若干
解像度が低くなるものの、通常の拡大画像よりも解像度
が高いので、十分利用価値の高い映像が得られる。
択されると、レーザ駆動回路44とCCD駆動回路43
とが交互に駆動される。すなわち、このカラー共焦点画
像モードが選択されると、図9のステップS91でステ
ップS92に進み、レーザ光L1による1画面分の走査
がなされた後、ステップS93に進む。ステップS93
では図5のレーザ駆動回路44が停止し、レーザ10か
らレーザ光L1が出射されなくなる。この状態で図9の
ステップS94に進み、カラーCCD24に電荷を蓄積
する。このステップS94で得た図7の色強度信号r
m,gm,bmは、この信号に含まれている輝度情報が
前記ステップS92で得た輝度信号iの輝度情報に置換
され、変換色強度信号ro,go,boとなる。この変
換色強度信号ro,go,boは、それぞれ、第2色強
度メモリMr2,Mg2,Mb2に記憶された後、D/
A変換回路60に出力されてカラーの拡大画像が表示画
面62に映し出される。なお、図9のステップS94の
後にステップS95に進み、前記レーザ光L1の走査
と、CCD駆動回路43による電荷の蓄積および読み出
しとが繰り返される。こうして得られるカラー共焦点画
像は、色情報についての解像度が低いので、三原色のレ
ーザ光を用いた従来のカラーレーザ顕微鏡に比べ、若干
解像度が低くなるものの、通常の拡大画像よりも解像度
が高いので、十分利用価値の高い映像が得られる。
【0015】また、図5の白色光源20とカラーCCD
24を用いた白色光光学系2によって色情報を得るか
ら、三原色のレーザ光を用いた従来のカラーレーザ顕微
鏡に比べ、光学系が著しく簡単な構造になるので、顕微
鏡のコストダウンと小型化を図り得る。また、図5のカ
ラーCCD24によって撮像する際には、レーザ駆動回
路44を停止してレーザ光L1がカラーCCD24に入
射しないようにしているので、レーザ光L1の色を帯び
た映像になることもなく、試料wの実際の色に近い色彩
の映像が得られる。レーザ光L1がカラーCCD24に
入射しないようにする手段としては、レーザ光L1を遮
光するシャッタを用いたり、あるいは、レーザ光L1の
走査範囲をカラーCCD24の撮像領域外に設定するな
ど種々の方法を採用することができる。
24を用いた白色光光学系2によって色情報を得るか
ら、三原色のレーザ光を用いた従来のカラーレーザ顕微
鏡に比べ、光学系が著しく簡単な構造になるので、顕微
鏡のコストダウンと小型化を図り得る。また、図5のカ
ラーCCD24によって撮像する際には、レーザ駆動回
路44を停止してレーザ光L1がカラーCCD24に入
射しないようにしているので、レーザ光L1の色を帯び
た映像になることもなく、試料wの実際の色に近い色彩
の映像が得られる。レーザ光L1がカラーCCD24に
入射しないようにする手段としては、レーザ光L1を遮
光するシャッタを用いたり、あるいは、レーザ光L1の
走査範囲をカラーCCD24の撮像領域外に設定するな
ど種々の方法を採用することができる。
【0016】図5の第2光学系2の第2受光素子として
カラーCCD24を用いたが、他の受光素子を用いても
よい。たとえば、ダイクロイックミラーを使用して反射
光L2を3原色に分解し、これらの3原色の反射光を3
つの白黒映像用の二次元CCDに入射させてもよい。ま
た、光学系は異なるが、第2受光素子としてカラーライ
ンCCDを用い、白色応答光を一次元的に走査する一次
元走査装置を設けてもよい。さらに、第2受光素子とし
ては、3つの白黒映像用のラインCCD(R,G,B
用)を用いることもでき、また、3つの点受光素子
(R,G,B用)を用いることもできる。なお、これら
の場合において、白色応答光を走査する走査装置は、レ
ーザ光L1を走査する走査装置と兼用することもでき
る。また、第2受光素子としては、カラーCCDの他に
MOS型などの他の固体撮像素子や複数の撮像管を組み
合わせたテレビカメラなどを用いることもできる。図5
では、レーザ光L1および白色光L2の反射光をそれぞ
れ、第1受光素子19bおよびカラーCCD24に受光
させることとしたが、試料wを透過した透過光や、前記
反射光を置換した蛍光を受光させるものであってもよ
い。また、ここでは色彩を光の三原色に分解したが、補
色系(黄、シアン、緑)に分解してもよい。また、色情
報として色差信号を用いてもよい。このように、先行発
明による本顕微鏡によれば、レーザ光とは異なる色情報
用の照明光を用いた第2光学系によって色情報を得るか
ら、三原色のレーザ光を用いた従来のカラーレーザ顕微
鏡に比べ、光学系が著しく簡単な構造になるので、コス
トダウンと小型化を図りることができる。
カラーCCD24を用いたが、他の受光素子を用いても
よい。たとえば、ダイクロイックミラーを使用して反射
光L2を3原色に分解し、これらの3原色の反射光を3
つの白黒映像用の二次元CCDに入射させてもよい。ま
た、光学系は異なるが、第2受光素子としてカラーライ
ンCCDを用い、白色応答光を一次元的に走査する一次
元走査装置を設けてもよい。さらに、第2受光素子とし
ては、3つの白黒映像用のラインCCD(R,G,B
用)を用いることもでき、また、3つの点受光素子
(R,G,B用)を用いることもできる。なお、これら
の場合において、白色応答光を走査する走査装置は、レ
ーザ光L1を走査する走査装置と兼用することもでき
る。また、第2受光素子としては、カラーCCDの他に
MOS型などの他の固体撮像素子や複数の撮像管を組み
合わせたテレビカメラなどを用いることもできる。図5
では、レーザ光L1および白色光L2の反射光をそれぞ
れ、第1受光素子19bおよびカラーCCD24に受光
させることとしたが、試料wを透過した透過光や、前記
反射光を置換した蛍光を受光させるものであってもよ
い。また、ここでは色彩を光の三原色に分解したが、補
色系(黄、シアン、緑)に分解してもよい。また、色情
報として色差信号を用いてもよい。このように、先行発
明による本顕微鏡によれば、レーザ光とは異なる色情報
用の照明光を用いた第2光学系によって色情報を得るか
ら、三原色のレーザ光を用いた従来のカラーレーザ顕微
鏡に比べ、光学系が著しく簡単な構造になるので、コス
トダウンと小型化を図りることができる。
【0017】なお、上記の説明における走査は試料を静
止させてレーザ光またはラインレーザ光を走査している
が、レーザ光またはラインレーザ光を走査せずに試料を
移動させてもよいし、レーザ光をX方向に走査し試料を
Y方向(X方向に直交する方向)に移動させるようにし
てもよい。また、カラー映像用の信号とは、光の三原色
(赤、緑、青)についての強度からなる映像信号や、輝
度信号および色差信号からなる信号や、水平同期信号お
よびカラーバースト信号を含んだ複合カラー映像信号な
ど、そのまま、または、加工した後、カラーの映像を映
し出すことのできる信号をいう。また、輝度情報とは、
色彩を含まない輝度に関する情報をいい、色情報とは、
たとえば色差信号のように色の強度のバランスに関する
情報をいう。
止させてレーザ光またはラインレーザ光を走査している
が、レーザ光またはラインレーザ光を走査せずに試料を
移動させてもよいし、レーザ光をX方向に走査し試料を
Y方向(X方向に直交する方向)に移動させるようにし
てもよい。また、カラー映像用の信号とは、光の三原色
(赤、緑、青)についての強度からなる映像信号や、輝
度信号および色差信号からなる信号や、水平同期信号お
よびカラーバースト信号を含んだ複合カラー映像信号な
ど、そのまま、または、加工した後、カラーの映像を映
し出すことのできる信号をいう。また、輝度情報とは、
色彩を含まない輝度に関する情報をいい、色情報とは、
たとえば色差信号のように色の強度のバランスに関する
情報をいう。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】このようなカラー共焦
点顕微鏡において、のカラー共焦点画像モードが選択
されると、レーザ駆動回路44とCCD駆動回路43と
が交互に駆動されて、CCDカメラで得られるカラー画
面とレーザによる共焦点白黒画面とが合成されることと
なる。この場合、前記カラー画面と前記共焦点白黒画面
とは位置ずれしないように、出荷時に調整がなされてい
るものであるが、その後の輸送や長い不使用期間中に温
度ドリフト等により位置ずれすることが起きた。このよ
うな位置ずれが起きると、目的とする綺麗な画像が得ら
れなくなったり、正確な計測ができなくなった。特に、
対象物のエッジ部や画像の両端などに顕著に影響を及ぼ
すことになった。したがって、本発明の目的は上記欠点
を解消するもので、温度ドリフト等によりカラー画面と
共焦点白黒画面との位置ずれが起きたときの、その位置
ずれを簡単に解消できる共焦点顕微鏡を提供することに
ある。
点顕微鏡において、のカラー共焦点画像モードが選択
されると、レーザ駆動回路44とCCD駆動回路43と
が交互に駆動されて、CCDカメラで得られるカラー画
面とレーザによる共焦点白黒画面とが合成されることと
なる。この場合、前記カラー画面と前記共焦点白黒画面
とは位置ずれしないように、出荷時に調整がなされてい
るものであるが、その後の輸送や長い不使用期間中に温
度ドリフト等により位置ずれすることが起きた。このよ
うな位置ずれが起きると、目的とする綺麗な画像が得ら
れなくなったり、正確な計測ができなくなった。特に、
対象物のエッジ部や画像の両端などに顕著に影響を及ぼ
すことになった。したがって、本発明の目的は上記欠点
を解消するもので、温度ドリフト等によりカラー画面と
共焦点白黒画面との位置ずれが起きたときの、その位置
ずれを簡単に解消できる共焦点顕微鏡を提供することに
ある。
【0019】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本願請求項1記載の発明は、対象物(試料)に光を
照射する光源と前記対象物からの反射光または透過光を
対物レンズを含む光学系を通して第1受光素子に受光さ
せる第1光学系と、前記光とは異なる色情報用の照明光
を試料に照射してその応答光を第2受光素子に受光させ
る第2光学系と、を備え、前記第1受光素子からの輝度
情報と、前記第2受光素子からの色情報に基づいてカラ
ーの共焦点画像を表示画面に表示する共焦点顕微鏡にお
いて、前記輝度情報に基づく表示画面および前記色情報
に基づく表示画面に、調節用標識がそれぞれ表示される
ようにしたことを特徴としている。また、請求項2記載
の発明は、対象物(試料)にレーザ光を照射すると共に
該レーザ光を前記試料表面に沿って相対的に走査させ、
該レーザ光による応答光を第1受光素子に受光させる第
1光学系と、前記レーザ光とは異なる色情報用の照明光
を試料に照射して、その応答光を第2受光素子に受光さ
せる第2光学系と、を備え、前記第1受光素子からの輝
度情報と、前記第2受光素子からの色情報に基づいてカ
ラーの共焦点画像を表示画面に表示する共焦点顕微鏡に
おいて、前記輝度情報に基づく表示画面および前記色情
報に基づく表示画面に、調節用標識がそれぞれ表示され
るようにしたことを特徴としている。さらに、請求項3
記載の発明は、前記第1光学系および第2光学系の少な
くとも位置調節用の各位置調節パラメータを前記表示画
面に重畳表示し、該表示画面に表示された各位置調節パ
ラメータを操作しながら各位置調節を行なう請求項1又
は2記載の共焦点顕微鏡において、前記調節用標識を制
御する各標識制御パラメータも前記表示画面に表示した
ことを特徴としている。そして、請求項4記載の発明
は、変更後の前記各パラメータ値をメモリに格納し、共
焦点顕微鏡用の毎電源投入時に該パラメータ値を自動的
に読み出すことを特徴としている。また、請求項5記載
の発明は、前記調節用標識が格子状模様であることを特
徴としている。さらに、請求項6記載の発明は、前記格
子状模様のうち中央付近の格子を他の格子と識別可能に
したことを特徴としている。
め、本願請求項1記載の発明は、対象物(試料)に光を
照射する光源と前記対象物からの反射光または透過光を
対物レンズを含む光学系を通して第1受光素子に受光さ
せる第1光学系と、前記光とは異なる色情報用の照明光
を試料に照射してその応答光を第2受光素子に受光させ
る第2光学系と、を備え、前記第1受光素子からの輝度
情報と、前記第2受光素子からの色情報に基づいてカラ
ーの共焦点画像を表示画面に表示する共焦点顕微鏡にお
いて、前記輝度情報に基づく表示画面および前記色情報
に基づく表示画面に、調節用標識がそれぞれ表示される
ようにしたことを特徴としている。また、請求項2記載
の発明は、対象物(試料)にレーザ光を照射すると共に
該レーザ光を前記試料表面に沿って相対的に走査させ、
該レーザ光による応答光を第1受光素子に受光させる第
1光学系と、前記レーザ光とは異なる色情報用の照明光
を試料に照射して、その応答光を第2受光素子に受光さ
せる第2光学系と、を備え、前記第1受光素子からの輝
度情報と、前記第2受光素子からの色情報に基づいてカ
ラーの共焦点画像を表示画面に表示する共焦点顕微鏡に
おいて、前記輝度情報に基づく表示画面および前記色情
報に基づく表示画面に、調節用標識がそれぞれ表示され
るようにしたことを特徴としている。さらに、請求項3
記載の発明は、前記第1光学系および第2光学系の少な
くとも位置調節用の各位置調節パラメータを前記表示画
面に重畳表示し、該表示画面に表示された各位置調節パ
ラメータを操作しながら各位置調節を行なう請求項1又
は2記載の共焦点顕微鏡において、前記調節用標識を制
御する各標識制御パラメータも前記表示画面に表示した
ことを特徴としている。そして、請求項4記載の発明
は、変更後の前記各パラメータ値をメモリに格納し、共
焦点顕微鏡用の毎電源投入時に該パラメータ値を自動的
に読み出すことを特徴としている。また、請求項5記載
の発明は、前記調節用標識が格子状模様であることを特
徴としている。さらに、請求項6記載の発明は、前記格
子状模様のうち中央付近の格子を他の格子と識別可能に
したことを特徴としている。
【0020】そして、請求項7記載の発明は、請求項3
〜6のいずれか1項記載のカラーの共焦点画像を表示画
面に表示する共焦点顕微鏡において、 まず、前記第2光学系による色情報に基づいて校正
ワークを画面表示し、 次に、当該第2光学系による校正ワークの表示画面
に前記調節用標識を表示させ、 重畳表示された前記各標識制御パラメータを操作し
ながら、前記表示画面に表示された前記調節用標識を移
動させて該調節用標識を該校正ワークの所定箇所に一致
させ、 一致したら、前記第2光学系による色情報に基づく
校正ワークの表示画面を消して、前記調節用標識をその
状態に保ったまま、代わりに前記第1光学系による輝度
情報に基づく前記校正ワークを画面表示し、 重畳表示状態で前記表示画面に表示された前記各位
置調節パラメータを操作しながら、前記表示画面に表示
された画面上の校正ワークを移動させて、前記校正ワー
クの所定箇所を前記調節用標識に一致させることを特徴
としている。
〜6のいずれか1項記載のカラーの共焦点画像を表示画
面に表示する共焦点顕微鏡において、 まず、前記第2光学系による色情報に基づいて校正
ワークを画面表示し、 次に、当該第2光学系による校正ワークの表示画面
に前記調節用標識を表示させ、 重畳表示された前記各標識制御パラメータを操作し
ながら、前記表示画面に表示された前記調節用標識を移
動させて該調節用標識を該校正ワークの所定箇所に一致
させ、 一致したら、前記第2光学系による色情報に基づく
校正ワークの表示画面を消して、前記調節用標識をその
状態に保ったまま、代わりに前記第1光学系による輝度
情報に基づく前記校正ワークを画面表示し、 重畳表示状態で前記表示画面に表示された前記各位
置調節パラメータを操作しながら、前記表示画面に表示
された画面上の校正ワークを移動させて、前記校正ワー
クの所定箇所を前記調節用標識に一致させることを特徴
としている。
【0021】以上の構成により、CCDカメラで得られ
るカラー画面とレーザによる共焦点白黒画面とが合成さ
れた画面が長い不使用期間中に温度ドリフト等により位
置ずれすることが起きた場合、本発明による格子状模様
などの調節用標識を仲立ちとして、まず校正ワークのカ
ラー画面と調節用標識との調整をし、その後、この調節
用標識とレーザによる校正ワークの共焦点白黒画面との
調整をすることにより、結果的に、カラー画面と共焦点
白黒画面との位置ずれを簡単に解消でき、したがって、
目的とする綺麗な画像が簡単に得られ、正確な計測がで
きるようになる。
るカラー画面とレーザによる共焦点白黒画面とが合成さ
れた画面が長い不使用期間中に温度ドリフト等により位
置ずれすることが起きた場合、本発明による格子状模様
などの調節用標識を仲立ちとして、まず校正ワークのカ
ラー画面と調節用標識との調整をし、その後、この調節
用標識とレーザによる校正ワークの共焦点白黒画面との
調整をすることにより、結果的に、カラー画面と共焦点
白黒画面との位置ずれを簡単に解消でき、したがって、
目的とする綺麗な画像が簡単に得られ、正確な計測がで
きるようになる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図1
〜図4を用いて説明する。図2は図7の表示装置62に
表示された基本メニューを表している。画面中の「+」
はその属するパラメータ値の増加、「−」はパラメータ
値の減少の各ボタンである。マウスのポインタをいずれ
かの「+」又は「−」ボタンに置いてクリックすると、
そのパラメータ値が増加又は減少することとなる。
「+」および「−」の各ボタンは、ともに0〜任意の値
まで変えることができる。
〜図4を用いて説明する。図2は図7の表示装置62に
表示された基本メニューを表している。画面中の「+」
はその属するパラメータ値の増加、「−」はパラメータ
値の減少の各ボタンである。マウスのポインタをいずれ
かの「+」又は「−」ボタンに置いてクリックすると、
そのパラメータ値が増加又は減少することとなる。
「+」および「−」の各ボタンは、ともに0〜任意の値
まで変えることができる。
【0023】次に、この基本メニューに表示されている
各種パラメータについて説明する。画面内の点線で囲っ
たBはレーザ光による白黒共焦点画面の各種調節であ
り、垂直方向の調節はガルバノ振幅パラメータとオフセ
ットパラメータで行ない、水平方向の調節はピクセルク
ロック位相パラメータとレゾナント振幅パラメータと粗
密パラメータとで行なう。B11aはガルバノ振幅パラ
メータである。このガルバノ振幅パラメータB11a
は、ビームを垂直方向に走査しているガルバノミラー
(図5の二次元走査装置14の中にある。)の振幅を変
えるもので、画面中の「+」の指示により垂直の幅を広
くし、「−」の指示により狭くすることができる。
各種パラメータについて説明する。画面内の点線で囲っ
たBはレーザ光による白黒共焦点画面の各種調節であ
り、垂直方向の調節はガルバノ振幅パラメータとオフセ
ットパラメータで行ない、水平方向の調節はピクセルク
ロック位相パラメータとレゾナント振幅パラメータと粗
密パラメータとで行なう。B11aはガルバノ振幅パラ
メータである。このガルバノ振幅パラメータB11a
は、ビームを垂直方向に走査しているガルバノミラー
(図5の二次元走査装置14の中にある。)の振幅を変
えるもので、画面中の「+」の指示により垂直の幅を広
くし、「−」の指示により狭くすることができる。
【0024】B11bはオフセットパラメータである。
このオフセットパラメータB11bは、これが最適に調
節されている場合、表示画面の垂直方向上から下まで過
不足なく表示されているが、オフセット調節がずれると
表示画面上の垂直位置での開始点が途中からになり下の
画面が切れるか、逆に、開始点が早くなり表示画面の途
中で表示が終わってしまうこととなる。このように、オ
フセットパラメータB11bは垂直方向の幅は変えず
に、その開始点を「+」の指示により早めたり、「−」
の指示により遅くするものである。
このオフセットパラメータB11bは、これが最適に調
節されている場合、表示画面の垂直方向上から下まで過
不足なく表示されているが、オフセット調節がずれると
表示画面上の垂直位置での開始点が途中からになり下の
画面が切れるか、逆に、開始点が早くなり表示画面の途
中で表示が終わってしまうこととなる。このように、オ
フセットパラメータB11bは垂直方向の幅は変えず
に、その開始点を「+」の指示により早めたり、「−」
の指示により遅くするものである。
【0025】水平方向の調節の調節はピクセルクロック
位相パラメータとレゾナント振幅パラメータと粗密パラ
メータとで行なう。B12aはピクセルクロック位相パ
ラメータである。このピクセルクロック位相パラメータ
B12aは画面で水平方向の表示開始点を変えるパラメ
ータである。「+」の指示により開始点を早め、「−」
の指示により遅くする。
位相パラメータとレゾナント振幅パラメータと粗密パラ
メータとで行なう。B12aはピクセルクロック位相パ
ラメータである。このピクセルクロック位相パラメータ
B12aは画面で水平方向の表示開始点を変えるパラメ
ータである。「+」の指示により開始点を早め、「−」
の指示により遅くする。
【0026】B12bはレゾナント振幅パラメータであ
る。このレゾナント振幅パラメータB12bはビームを
水平方向に走査している音響光学偏光素子(図5の二次
元走査装置14の中にある。)の振幅を変えるパラメー
タで、これにより水平方向の幅を広くしたり狭くしたり
することができる。画面中の「+」の指示により水平の
幅を広くし、「−」の指示により狭くすることができ
る。
る。このレゾナント振幅パラメータB12bはビームを
水平方向に走査している音響光学偏光素子(図5の二次
元走査装置14の中にある。)の振幅を変えるパラメー
タで、これにより水平方向の幅を広くしたり狭くしたり
することができる。画面中の「+」の指示により水平の
幅を広くし、「−」の指示により狭くすることができ
る。
【0027】B12cは粗密パラメータである。この粗
密パラメータB12cは、画面の中央部と画面の周辺部
との単位面積の大きさのバランスを調節するものであ
る。画面中の「+」の指示により画面の中央部の単位面
積の大きさを周辺部のそれより大きくし、「−」の指示
により逆にすることができる。
密パラメータB12cは、画面の中央部と画面の周辺部
との単位面積の大きさのバランスを調節するものであ
る。画面中の「+」の指示により画面の中央部の単位面
積の大きさを周辺部のそれより大きくし、「−」の指示
により逆にすることができる。
【0028】以上がレーザ光による白黒共焦点画面の各
種調節である。次に、図2の画面でその下の点線で囲っ
たエリアCはCCDカメラによる表示画面の調節であ
る。C10はカラーオフセット調節用のパラメータあ
る。このカラーオフセット調節用パラメータC10はC
CDカメラによるカラー表示画面の開始位置を変えるパ
ラメータである。「+」の指示により開始点を早め、
「−」の指示により遅くする。
種調節である。次に、図2の画面でその下の点線で囲っ
たエリアCはCCDカメラによる表示画面の調節であ
る。C10はカラーオフセット調節用のパラメータあ
る。このカラーオフセット調節用パラメータC10はC
CDカメラによるカラー表示画面の開始位置を変えるパ
ラメータである。「+」の指示により開始点を早め、
「−」の指示により遅くする。
【0029】次に、図2の画面でその下の点線で囲った
エリアDが、本発明により表示画面に新たに表示させた
格子線の各種調節パラメータである。中央左は縦の格子
線のオフセットを変えるパラメータ(D13v1,D1
3v2)とその幅を変えるパラメータ(D13v3,D
13v4)である。パラメータD13v1を操作すると
オフセット開始点が遅くなり、パラメータD13v2を
操作するとオフセット開始点が早くなる。また、パラメ
ータD13v3を操作すると幅が広がり、パラメータD
13v4を操作すると幅が狭くなる。
エリアDが、本発明により表示画面に新たに表示させた
格子線の各種調節パラメータである。中央左は縦の格子
線のオフセットを変えるパラメータ(D13v1,D1
3v2)とその幅を変えるパラメータ(D13v3,D
13v4)である。パラメータD13v1を操作すると
オフセット開始点が遅くなり、パラメータD13v2を
操作するとオフセット開始点が早くなる。また、パラメ
ータD13v3を操作すると幅が広がり、パラメータD
13v4を操作すると幅が狭くなる。
【0030】中央右は横の格子線のオフセットを変える
パラメータ(D13h1,D13h2)と横の格子線の
幅を変えるパラメータ(D13h3,D13h4)であ
る。パラメータD13h1を操作するとオフセット開始
点が遅くなり、パラメータD13h2を操作するとオフ
セット開始点が早くなる。また、パラメータD13h3
を操作すると線の幅が広がり、パラメータD13h4を
操作すると線の幅が狭くなる。
パラメータ(D13h1,D13h2)と横の格子線の
幅を変えるパラメータ(D13h3,D13h4)であ
る。パラメータD13h1を操作するとオフセット開始
点が遅くなり、パラメータD13h2を操作するとオフ
セット開始点が早くなる。また、パラメータD13h3
を操作すると線の幅が広がり、パラメータD13h4を
操作すると線の幅が狭くなる。
【0031】さらに、図2の基本メニュー画面の下辺に
並ぶ5個のアイコンは画面表示の切り換えボタンを示し
ている。画面の下辺左から第1〜第3までのアイコン
(E15、E16、E17)は画面表示の切り換え用で
ある。アイコンE15を操作するとCCDカメラの写す
画面が表示され、アイコンE16を操作するとCCDカ
メラの白黒共焦点画面が表示され、アイコンE17を操
作するとCCDカメラによるカラーの共焦点画面が表示
される。
並ぶ5個のアイコンは画面表示の切り換えボタンを示し
ている。画面の下辺左から第1〜第3までのアイコン
(E15、E16、E17)は画面表示の切り換え用で
ある。アイコンE15を操作するとCCDカメラの写す
画面が表示され、アイコンE16を操作するとCCDカ
メラの白黒共焦点画面が表示され、アイコンE17を操
作するとCCDカメラによるカラーの共焦点画面が表示
される。
【0032】また、基本メニュー画面の下辺左から第4
のアイコンF18と第5のアイコンF19は測定開始用
である。アイコンF18を操作すると白黒測定を開始
し、アイコンF19を操作するとカラー測定を開始す
る。
のアイコンF18と第5のアイコンF19は測定開始用
である。アイコンF18を操作すると白黒測定を開始
し、アイコンF19を操作するとカラー測定を開始す
る。
【0033】図3は本発明の共焦点顕微鏡のブロック図
を示している。図3において、80は制御部であり、こ
の制御部80は、CPU81、RAM82、ROM8
3、フレームメモリ84、インタフェース85、表示コ
ントローラ86を備えている。また、制御部80には、
図5において既述の第1A/D変換器41と第2A/D
変換器42、操作部(例えば、マウス、キーボード、ト
ラックボール等)63が入力として接続され、同じく、
図5において既述のレーザ光駆動回路44、二次元走査
装置14、ステージ制御回路40、およびCRT、LC
D等の表示装置62が出力として接続されている。CP
U81は、ROM83内に格納された演算処理手順にし
たがって、RAM82およびフレームメモリ84の制御
およびデータ処理を行なう。RAM82は、前記CPU
81が処理すべきデータや処理したデータを格納する。
ROM83は、CPU81の演算処理手順を記憶する。
フレームメモリ84は、インタフェース85から授受し
た第1A/D変換回路および第2A/D変換回路からの
出力値を格納する。表示コントローラ86は、フレーム
メモリ84内のビットマップデータを表示装置62に表
示するよう制御する。ROM87は、図1において既述
の本発明に係る格子線(碁盤目)の表示データを格納す
るためのメモリである。表示装置62は、フレームメモ
リ84内のビットマップデータを表示する。操作部63
は、各種プログラムおよび各種パラメータの書き込み・
読み出し・作成・変更・モニタリング・保存・実行等の
際に使用する。
を示している。図3において、80は制御部であり、こ
の制御部80は、CPU81、RAM82、ROM8
3、フレームメモリ84、インタフェース85、表示コ
ントローラ86を備えている。また、制御部80には、
図5において既述の第1A/D変換器41と第2A/D
変換器42、操作部(例えば、マウス、キーボード、ト
ラックボール等)63が入力として接続され、同じく、
図5において既述のレーザ光駆動回路44、二次元走査
装置14、ステージ制御回路40、およびCRT、LC
D等の表示装置62が出力として接続されている。CP
U81は、ROM83内に格納された演算処理手順にし
たがって、RAM82およびフレームメモリ84の制御
およびデータ処理を行なう。RAM82は、前記CPU
81が処理すべきデータや処理したデータを格納する。
ROM83は、CPU81の演算処理手順を記憶する。
フレームメモリ84は、インタフェース85から授受し
た第1A/D変換回路および第2A/D変換回路からの
出力値を格納する。表示コントローラ86は、フレーム
メモリ84内のビットマップデータを表示装置62に表
示するよう制御する。ROM87は、図1において既述
の本発明に係る格子線(碁盤目)の表示データを格納す
るためのメモリである。表示装置62は、フレームメモ
リ84内のビットマップデータを表示する。操作部63
は、各種プログラムおよび各種パラメータの書き込み・
読み出し・作成・変更・モニタリング・保存・実行等の
際に使用する。
【0034】次に、以上の各種パラメータおよび各種ア
イコンを用いてカラー画面と共焦点白黒画面との位置ず
れを解消する方法について、図1の表示画面、図2の基
本メニューおよび図4のフローチャートを用いて説明す
る。 まず、校正ワークwをステージ(図5の30参照)
の上に乗せる。校正ワークwには、白黒のコントラスト
のはっきりした模様Mを用いるのがよい。ここでは、模
様Mとして、図1(A)のような黒色四角形が縦横に定
間隔を置いて配置されているいわゆる「市松模様」を採
用している。もちろん、市松模様に限られるものではな
く、縦横に定間隔を置いて配置されるトンボマーク
「+」や幾何学模様のもの(例えば、多重円や多重四角
形等の組み合わせ)であってもよい。 表示装置(図7の62参照)の表示画面には図2の
基本メニューが表示されているので、基本メニューの下
辺左部のアイコンE15(CCDカメラ表示)をマウス
でクリックすると、表示画面には、前記第2光学系(図
7参照)による色情報に基づいて校正ワークが表示され
る。この場合、図1の校正ワーク画面と図2の基本メニ
ュー画面は、表示装置の表示画面にマルチウインドウ
(Multiple Windows)で表示させておくと便利である。
すなわち、表示画面を上下または左右に二分して、一方
に図1の校正ワーク画面を表示させ、他方に図2の基本
メニュー画面を表示させると、オペレータは図1の校正
ワーク画面を見ながら、そのズレを図2の基本メニュー
画面を用いて修正していくことができるので、修正が簡
単にできるようになる。 表示画面に表示された校正ワークが斜めになってい
たり、上下左右にずれていたり、ピントが合っていない
場合には調節をする。校正ワークが斜めに表示されてい
る場合の調節は、校正ワークの市松模様の各上辺・下辺
が真横になるまで手で校正ワークを回して行なう。校正
ワークの市松模様が上下左右にずれている場合の調節
は、試料ステージ30を手動ハンドルでX,Y方向に移
動させることにより行なう。また、ピントが合っていな
い場合の調節は、ステージ制御回路40を使って試料ス
テージ30をZ(上下)方向に駆動制御することによっ
て行なう。図1(A)はこのようにして調整された後の
校正ワークのカラー表示の状態を示している(図4のス
テップS1)。
イコンを用いてカラー画面と共焦点白黒画面との位置ず
れを解消する方法について、図1の表示画面、図2の基
本メニューおよび図4のフローチャートを用いて説明す
る。 まず、校正ワークwをステージ(図5の30参照)
の上に乗せる。校正ワークwには、白黒のコントラスト
のはっきりした模様Mを用いるのがよい。ここでは、模
様Mとして、図1(A)のような黒色四角形が縦横に定
間隔を置いて配置されているいわゆる「市松模様」を採
用している。もちろん、市松模様に限られるものではな
く、縦横に定間隔を置いて配置されるトンボマーク
「+」や幾何学模様のもの(例えば、多重円や多重四角
形等の組み合わせ)であってもよい。 表示装置(図7の62参照)の表示画面には図2の
基本メニューが表示されているので、基本メニューの下
辺左部のアイコンE15(CCDカメラ表示)をマウス
でクリックすると、表示画面には、前記第2光学系(図
7参照)による色情報に基づいて校正ワークが表示され
る。この場合、図1の校正ワーク画面と図2の基本メニ
ュー画面は、表示装置の表示画面にマルチウインドウ
(Multiple Windows)で表示させておくと便利である。
すなわち、表示画面を上下または左右に二分して、一方
に図1の校正ワーク画面を表示させ、他方に図2の基本
メニュー画面を表示させると、オペレータは図1の校正
ワーク画面を見ながら、そのズレを図2の基本メニュー
画面を用いて修正していくことができるので、修正が簡
単にできるようになる。 表示画面に表示された校正ワークが斜めになってい
たり、上下左右にずれていたり、ピントが合っていない
場合には調節をする。校正ワークが斜めに表示されてい
る場合の調節は、校正ワークの市松模様の各上辺・下辺
が真横になるまで手で校正ワークを回して行なう。校正
ワークの市松模様が上下左右にずれている場合の調節
は、試料ステージ30を手動ハンドルでX,Y方向に移
動させることにより行なう。また、ピントが合っていな
い場合の調節は、ステージ制御回路40を使って試料ス
テージ30をZ(上下)方向に駆動制御することによっ
て行なう。図1(A)はこのようにして調整された後の
校正ワークのカラー表示の状態を示している(図4のス
テップS1)。
【0035】 次に、この校正ワークの表示画面に本
発明による調節用標識Gを表示させる。調節用標識Gと
しては、上記の市松模様に対応した間隔の横格子線G1
と縦格子線G2で構成される格子(グリッド)状(「碁
盤目」)模様がよい。また、複数の縦・横格子線G1,
G2のうちとくに中央部の格子Nの垂直格子(N1)と
水平格子(N2)を他よりも太く表示する(図1(D)
参照。)と、センター部を合わせやすくできる。もちろ
ん、太く表示する代わりに、色を変えて表示するとか、
鎖線にする等の他より区別できるものにしてもよい。格
子線の表示のさせ方は、マルチウインドウ表示されてい
る図2の基本メニューの中央エリアDの「格子線調節
用」エリアをマウスでクリックすることにより行なわれ
る。図1(B)はこの校正ワークの表示画面に調節用標
識を単に表示させた状態を示している。したがって図1
(B)では市松模様の各辺と格子線がずれている。 そこで、市松模様の各辺と格子線のずれをなくする
操作を行なう。ここでは、校正ワークの表示画面はその
ままにして、格子線の方を矢印で示す上下左右方向に移
動させることによって市松模様の各辺と格子線のずれを
なくする手法をとる。そのため、重畳表示された前述の
格子線調節用各パラメータ(図2のD13v1〜D13
v4,D13h1〜D13h4)を操作しながら、前記
表示画面に表示された前記縦横格子線を移動させて、該
縦横格子線が該校正ワークの各辺に一致するまで繰り返
す(図4のステップS2とステップS3)。調節の順序
としては、まず校正ワークの中央部に縦横格子線の中央
部を合わせ、そのあと上下・左右方向に順次合わせてゆ
くのがよい。
発明による調節用標識Gを表示させる。調節用標識Gと
しては、上記の市松模様に対応した間隔の横格子線G1
と縦格子線G2で構成される格子(グリッド)状(「碁
盤目」)模様がよい。また、複数の縦・横格子線G1,
G2のうちとくに中央部の格子Nの垂直格子(N1)と
水平格子(N2)を他よりも太く表示する(図1(D)
参照。)と、センター部を合わせやすくできる。もちろ
ん、太く表示する代わりに、色を変えて表示するとか、
鎖線にする等の他より区別できるものにしてもよい。格
子線の表示のさせ方は、マルチウインドウ表示されてい
る図2の基本メニューの中央エリアDの「格子線調節
用」エリアをマウスでクリックすることにより行なわれ
る。図1(B)はこの校正ワークの表示画面に調節用標
識を単に表示させた状態を示している。したがって図1
(B)では市松模様の各辺と格子線がずれている。 そこで、市松模様の各辺と格子線のずれをなくする
操作を行なう。ここでは、校正ワークの表示画面はその
ままにして、格子線の方を矢印で示す上下左右方向に移
動させることによって市松模様の各辺と格子線のずれを
なくする手法をとる。そのため、重畳表示された前述の
格子線調節用各パラメータ(図2のD13v1〜D13
v4,D13h1〜D13h4)を操作しながら、前記
表示画面に表示された前記縦横格子線を移動させて、該
縦横格子線が該校正ワークの各辺に一致するまで繰り返
す(図4のステップS2とステップS3)。調節の順序
としては、まず校正ワークの中央部に縦横格子線の中央
部を合わせ、そのあと上下・左右方向に順次合わせてゆ
くのがよい。
【0036】 図1(C)は、このようにして格子線
を移動させた結果、市松模様の各辺と縦横格子線が一致
した状態を示している。市松模様の各辺と縦横格子線が
一致したら図4のステップS4へ進み、前記第2光学系
による色情報に基づく校正ワークの表示画面を消して、
前記縦横格子線をこの状態(図1(D)の表示状態。)
に保ったまま、代わりに前記第1光学系(図7参照)に
より校正ワークを白黒測定し白黒共焦点画面を生成して
画面表示する。この表示は、基本メニューの下辺左部の
アイコンD16(白黒表示)をマウスでクリックするこ
とにより行なわれる。 図1(E)は表示された白黒共焦点画面による校正
ワークの各辺と縦横格子線がずれている状態を示してい
る。このように白黒共焦点画面による校正ワークの各辺
と縦横格子線がずれている場合、ずれをなくする操作を
行なう。ここでは、格子線の表示画面はそのままにし
て、白黒共焦点画面による校正ワークの方を矢印で示す
上下左右方向に移動させることによって格子線とのずれ
をなくする。そのため、表示装置62に重畳表示された
前述の白黒共焦点画面調節用の各パラメータ(図2のB
11a〜B11b,B12a〜B12c)をマウスで操
作して校正ワークを白黒測定しながら校正ワークの表示
を上下左右に移動させていき、前記校正ワークの各辺と
格子線のずれを無くしていく(図4のステップS6,S
7)。図1(F)は、このような校正ワークの移動の結
果、校正ワークの各辺と縦横格子線のずれが無くなった
状態を示している。
を移動させた結果、市松模様の各辺と縦横格子線が一致
した状態を示している。市松模様の各辺と縦横格子線が
一致したら図4のステップS4へ進み、前記第2光学系
による色情報に基づく校正ワークの表示画面を消して、
前記縦横格子線をこの状態(図1(D)の表示状態。)
に保ったまま、代わりに前記第1光学系(図7参照)に
より校正ワークを白黒測定し白黒共焦点画面を生成して
画面表示する。この表示は、基本メニューの下辺左部の
アイコンD16(白黒表示)をマウスでクリックするこ
とにより行なわれる。 図1(E)は表示された白黒共焦点画面による校正
ワークの各辺と縦横格子線がずれている状態を示してい
る。このように白黒共焦点画面による校正ワークの各辺
と縦横格子線がずれている場合、ずれをなくする操作を
行なう。ここでは、格子線の表示画面はそのままにし
て、白黒共焦点画面による校正ワークの方を矢印で示す
上下左右方向に移動させることによって格子線とのずれ
をなくする。そのため、表示装置62に重畳表示された
前述の白黒共焦点画面調節用の各パラメータ(図2のB
11a〜B11b,B12a〜B12c)をマウスで操
作して校正ワークを白黒測定しながら校正ワークの表示
を上下左右に移動させていき、前記校正ワークの各辺と
格子線のずれを無くしていく(図4のステップS6,S
7)。図1(F)は、このような校正ワークの移動の結
果、校正ワークの各辺と縦横格子線のずれが無くなった
状態を示している。
【0037】 必要に応じて、カラー共焦点画面の位
置を調節する(図4のステップS8)。この場合、図2
のCCDカメラオフセット調節用CのパラメータC10
も変更することになる。 最後に、カラー共焦点測定でずれの無いことを確認
し(図4のステップS9)、その状態の各パラメータを
RAMメモリ(図3の82)に登録しておく(図4のス
テップS10)。
置を調節する(図4のステップS8)。この場合、図2
のCCDカメラオフセット調節用CのパラメータC10
も変更することになる。 最後に、カラー共焦点測定でずれの無いことを確認
し(図4のステップS9)、その状態の各パラメータを
RAMメモリ(図3の82)に登録しておく(図4のス
テップS10)。
【0038】なお、調節後の各パラメータの値はRAM
メモリの他に、磁気ディスク等の不揮発性メモリにも格
納しておき、電源を切った後、ふたたび電源を入れたと
きまずこの不揮発性メモリの中の各パラメータを読み出
すようにしておくと、電源オフ前の状態を再現すること
ができるので便利である。
メモリの他に、磁気ディスク等の不揮発性メモリにも格
納しておき、電源を切った後、ふたたび電源を入れたと
きまずこの不揮発性メモリの中の各パラメータを読み出
すようにしておくと、電源オフ前の状態を再現すること
ができるので便利である。
【0039】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、レーザ駆動回路とCCD駆動回路とが交互に駆動さ
れてCCDカメラで得られるカラー画面とレーザによる
共焦点白黒画面とが合成された画面が、長い不使用期間
中に温度ドリフト等により位置ずれすることが起きた場
合、校正ワークを用いるとともに、本発明による縦横格
子線などの調節用標識を仲立ちとして、まず校正ワーク
のカラー画面と調節用標識との調整をし、そのあとこの
調節用標識とレーザによる校正ワークの共焦点白黒画面
との調整をすることにより、結果的に位置ずれを簡単に
解消でき、したがって、目的とする綺麗な画像が簡単に
得られ、正確な計測ができるようになる。
ば、レーザ駆動回路とCCD駆動回路とが交互に駆動さ
れてCCDカメラで得られるカラー画面とレーザによる
共焦点白黒画面とが合成された画面が、長い不使用期間
中に温度ドリフト等により位置ずれすることが起きた場
合、校正ワークを用いるとともに、本発明による縦横格
子線などの調節用標識を仲立ちとして、まず校正ワーク
のカラー画面と調節用標識との調整をし、そのあとこの
調節用標識とレーザによる校正ワークの共焦点白黒画面
との調整をすることにより、結果的に位置ずれを簡単に
解消でき、したがって、目的とする綺麗な画像が簡単に
得られ、正確な計測ができるようになる。
【図1】本発明に係る格子状模様を用いて位置ずれを調
整する各手順における表示装置に表示された表示画像を
示す図である。
整する各手順における表示装置に表示された表示画像を
示す図である。
【図2】表示装置に表示された基本メニューを表す図で
ある。
ある。
【図3】共焦点顕微鏡の構成ブロックを示す図である。
【図4】カラー画面と共焦点白黒画面との位置ずれを本
発明に係る格子状模様を用いて調整する手順を示すフロ
ーチャートである。
発明に係る格子状模様を用いて調整する手順を示すフロ
ーチャートである。
【図5】本発明の基礎となるカラー共焦点顕微鏡の概略
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【図6】共焦点顕微鏡の明るさと解像力の関係を示す図
(A)と、通常の顕微鏡の明るさと解像力の関係を示す
図(B)である。
(A)と、通常の顕微鏡の明るさと解像力の関係を示す
図(B)である。
【図7】共焦点顕微鏡のカラー映像信号作成手段につい
てのブロック図である。
てのブロック図である。
【図8】カラー共焦点顕微鏡の撮像領域を示す平面図で
ある。
ある。
【図9】カラー共焦点顕微鏡のレーザ駆動回路とCCD
駆動回路とが交互に駆動されて合成画面が得られる手順
を示すフローチャートである。
駆動回路とが交互に駆動されて合成画面が得られる手順
を示すフローチャートである。
1 レーザ光学系(第1光学系) 10 レーザ光L1を出射するレーザ 11 第1コリメートレンズ 12 偏光ビームスプリッタ 13 1/4波長板 14 二次元走査装置 15 第1リレーレンズ 16 第2リレーレンズ 17 対物レンズ 18 第2結像レンズ 19a ピンホールを有する光絞り部 19b 第1受光素子 2 白色光光学系(第2光学系) 20 白色光を出射する白色光源 21 第2コリメートレンズ 22 第1ハーフミラー 23 第2ハーフミラー 24 カラーCCD(第2受光素子) 30 試料ステージ 41 第1A/D変換回路 42 第2A/D変換回路 43 CCD駆動回路 5 カラー映像信号作成手段 51 第1領域回路 52 第2領域回路 53 輝度変換回路 60 D/A変換回路 61 加算器 62 表示装置(モニタ) 72 表示コントローラ 80 制御部 81 CPU 82 RAM 83 ROM 84 フレームメモリ 85 インタフェース 86 表示コントローラ 87 格子線データ格納用メモリ L1 反射光 L2 白色光 A0 共通の映像領域 A1 レーザ光学系の撮像領域 A2 白色光光学系の撮像領域 c カラー映像用の信号(複合カラー映像信号) i 輝度信号 w ワーク(試料) ro,go,bo カラー映像用のデジタル信号(変換
色強度信号) rm,gm,bm 赤、緑、青の色強度信号 Mi 輝度用メモリ Mr1,Mg1,Mb1 第1色強度メモリ Mr2,Mg2,Mb2 第2色強度メモリ B11a〜B11b 白黒共焦点画面の垂直方向調節用
の各パラメータ B12a〜B12c 白黒共焦点画面の水平方向調節用
の各パラメータ C10 CCDカメラオフセット調節用パラメータ D13v1〜D13v4 格子線の縦線調節用各パラメ
ータ D13h1〜D13h4 格子線の横線調節用各パラメ
ータ E15 CCDカメラ表示用アイコン E16 白黒表示用アイコン E17 カラー表示用アイコン F18 白黒測定用アイコン F19 カラー測定用アイコン
色強度信号) rm,gm,bm 赤、緑、青の色強度信号 Mi 輝度用メモリ Mr1,Mg1,Mb1 第1色強度メモリ Mr2,Mg2,Mb2 第2色強度メモリ B11a〜B11b 白黒共焦点画面の垂直方向調節用
の各パラメータ B12a〜B12c 白黒共焦点画面の水平方向調節用
の各パラメータ C10 CCDカメラオフセット調節用パラメータ D13v1〜D13v4 格子線の縦線調節用各パラメ
ータ D13h1〜D13h4 格子線の横線調節用各パラメ
ータ E15 CCDカメラ表示用アイコン E16 白黒表示用アイコン E17 カラー表示用アイコン F18 白黒測定用アイコン F19 カラー測定用アイコン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H052 AA07 AA08 AA13 AC04 AC14 AC15 AC27 AC29 AC34 AD02 AD17 AD20 AD34 AF06 AF11 AF14 AF21 AF25
Claims (7)
- 【請求項1】 対象物(試料)に光を照射する光源と前
記対象物からの反射光または透過光を対物レンズを含む
光学系を通して第1受光素子に受光させる第1光学系
と、前記光とは異なる色情報用の照明光を試料に照射し
てその応答光を第2受光素子に受光させる第2光学系
と、を備え、前記第1受光素子からの輝度情報と、前記
第2受光素子からの色情報に基づいてカラーの共焦点画
像を表示画面に表示する共焦点顕微鏡において、 前記輝度情報に基づく表示画面および前記色情報に基づ
く表示画面に、調節用標識がそれぞれ表示されるように
したことを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 【請求項2】 対象物(試料)にレーザ光を照射すると
共に該レーザ光を前記試料表面に沿って相対的に走査さ
せ、該レーザ光による応答光を第1受光素子に受光させ
る第1光学系と、前記レーザ光とは異なる色情報用の照
明光を試料に照射して、その応答光を第2受光素子に受
光させる第2光学系と、を備え、前記第1受光素子から
の輝度情報と、前記第2受光素子からの色情報に基づい
てカラーの共焦点画像を表示画面に表示する共焦点顕微
鏡において、 前記輝度情報に基づく表示画面および前記色情報に基づ
く表示画面に、調節用標識がそれぞれ表示されるように
したことを特徴とするレーザ共焦点顕微鏡。 - 【請求項3】 前記第1光学系および第2光学系の少な
くとも位置調節用の各位置調節パラメータを前記表示画
面に重畳表示し、該表示画面に表示された各位置調節パ
ラメータを操作しながら各位置調節を行なう請求項1又
は2記載の共焦点顕微鏡において、 前記調節用標識を制御する各標識制御パラメータも前記
表示画面に表示したことを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 【請求項4】 変更後の前記各パラメータ値をメモリに
格納し、共焦点顕微鏡用の毎電源投入時に該パラメータ
値を自動的に読み出すことを特徴とする請求項3記載の
共焦点顕微鏡。 - 【請求項5】 前記調節用標識が格子状模様であること
を特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の共焦点
顕微鏡。 - 【請求項6】 前記格子状模様のうち中央付近の格子を
他の格子と識別可能にしたことを特徴とする請求項5記
載の共焦点顕微鏡。 - 【請求項7】 請求項3〜6のいずれか1項記載のカラ
ーの共焦点画像を表示画面に表示する共焦点顕微鏡にお
いて、 まず、前記第2光学系による色情報に基づいて校正
ワークを画面表示し、 次に、当該第2光学系による校正ワークの表示画面
に前記調節用標識を表示させ、 重畳表示された前記各標識制御パラメータを操作し
ながら、前記表示画面に表示された前記調節用標識を移
動させて該調節用標識を該校正ワークの所定箇所に一致
させ、 一致したら、前記第2光学系による色情報に基づく
校正ワークの表示画面を消して、前記調節用標識をその
状態に保ったまま、代わりに前記第1光学系による輝度
情報に基づく前記校正ワークを画面表示し、 重畳表示状態で前記表示画面に表示された前記各位
置調節パラメータを操作しながら、前記表示画面に表示
された画面上の校正ワークを移動させて、前記校正ワー
クの所定箇所を前記調節用標識に一致させることを特徴
とする共焦点顕微鏡の第1光学系と第2光学系との位置
ずれ調節方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11120185A JP2000310734A (ja) | 1999-04-27 | 1999-04-27 | 共焦点顕微鏡および調節方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11120185A JP2000310734A (ja) | 1999-04-27 | 1999-04-27 | 共焦点顕微鏡および調節方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000310734A true JP2000310734A (ja) | 2000-11-07 |
Family
ID=14780024
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11120185A Pending JP2000310734A (ja) | 1999-04-27 | 1999-04-27 | 共焦点顕微鏡および調節方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000310734A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103245292A (zh) * | 2013-05-09 | 2013-08-14 | 哈尔滨工业大学 | 一种超分辨声光调制共焦成像装置与方法 |
JP2014523537A (ja) * | 2011-03-25 | 2014-09-11 | カール ツアイス メディテック アクチエンゲゼルシャフト | Octシステムを含む外科用顕微鏡システム |
JP2022071436A (ja) * | 2020-10-28 | 2022-05-16 | オムロン株式会社 | 埋設物探査装置および埋設物探査装置の表示制御方法、表示制御プログラム |
US11960527B2 (en) | 2020-11-25 | 2024-04-16 | Omron Corporation | Buried object information management device, buried object information management system comprising same, buried object information management method, and buried object information management program |
-
1999
- 1999-04-27 JP JP11120185A patent/JP2000310734A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014523537A (ja) * | 2011-03-25 | 2014-09-11 | カール ツアイス メディテック アクチエンゲゼルシャフト | Octシステムを含む外科用顕微鏡システム |
CN103245292A (zh) * | 2013-05-09 | 2013-08-14 | 哈尔滨工业大学 | 一种超分辨声光调制共焦成像装置与方法 |
CN103245292B (zh) * | 2013-05-09 | 2015-07-22 | 哈尔滨工业大学 | 一种超分辨声光调制共焦成像装置与方法 |
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