JP2000304650A - 光学部品の観察・検査装置 - Google Patents
光学部品の観察・検査装置Info
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- JP2000304650A JP2000304650A JP11117173A JP11717399A JP2000304650A JP 2000304650 A JP2000304650 A JP 2000304650A JP 11117173 A JP11117173 A JP 11117173A JP 11717399 A JP11717399 A JP 11717399A JP 2000304650 A JP2000304650 A JP 2000304650A
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Abstract
であった。 【解決手段】 光学部品5の観察箇所7が観察系4の光
軸a−aと斜めに対向する様に光学部品5又は観察系4
を配置可能とすると共に、光学部品5又は観察系4を回
転させて、前記観察箇所7の全体を観察可能とした。具
体的には光学部品5を保持する保持台6及び保持台回転
機構を設けた。観察系回転機構を設けた。光学部品5の
観察箇所7に2以上の異なる角度から光を照射可能な光
学系8を設けた。保持台回転機構又は観察系回転機構に
電気信号によって傾斜角度、回転量、回転速度等を制御
可能なアクチュエータを備えた。
Description
光コネクタフェルールの端面を観察したり、検査したり
するのに適する光学部品の観察・検査装置に関するもの
である。
接続等に使用される光コネクタフェルールを組み立てる
場合は、光学的に良好な接続面を得るために、図4に示
す様に、組み立て後に光コネクタフェルールAの端面B
を円錐状又は半球状に研磨し、研磨後に同端面(観察箇
所)Bの傷の有無を観察・検査する必要がある。ここで
研磨後の光コネクタフェルールAの端面Bに許される傷
は数ミクロン以下であるため、肉眼での確認は不可能で
あり、観察や検査には顕微鏡とかCCDカメラ等(以下
まとめて「観察系」と記す)Cを使用している。
の直径は2.5mm、ファイバコア径は10μmであ
り、観察目的である傷は上記の通り数ミクロン以下と極
めて小さい。この様な極小の傷を観察するためには観察
系Cの倍率を上げる必要があるが、そのようにすると必
然的に観察視野が狭くなり、光コネクタフェルールAの
端面Bの全体を一度に観察・検査することができない。
そこで現在は、図4に示す様に示す様に光コネクタフェ
ルールA又は観察系Cを前後左右(図4の矢印X−X方
向及びY−Y方向)に移動させて光コネクタフェルール
Aの端面Bの全体を観察・検査している。
平面ではなく、半球状或は円錐状であるため、観察系C
から端面Bまでの距離が場所によって異なる。そこで、
光コネクタフェルールA又は観察系Cを上下(図4の矢
印Z−Z方向)に移動させたり、図5に示す様に観察系
Cにオートフォーカス機構Dを設けて焦点を合わせたり
している。更に、観察系Cによって光コネクタフェルー
ルAの端面Bの観察を行う場合は、傷を浮き上がらせる
ために、図6(a)に示す様に光源(図示しない)が発
した光をライトガイドEによって観察系Cの鏡筒F内に
案内し、その光を鏡筒F内に配置したプリズムGによっ
て下方に反射させることによって、光コネクタフェルー
ルAの端面Bに、その真上から光を照射したり(同軸落
射)、同図(b)に示す様に鏡筒Fの下端外周に光源H
を設けて、同端面Bに対して斜めに光を照射したり(斜
光照明)しながら観察している。
・検査方法には次の様な課題があった。 .光コネクタフェルールA又は観察系Cを前後左右に
移動させて光コネクタフェルールAの端面Bの全体を観
察するためには、1mm単位の正確な位置決め精度が必
要とされるため、装置の構成や制御機構が複雑になると
共に、装置全体が大型化する。 .焦点合わせのために光コネクタフェルールA又は観
察系Cを上下に移動させるためには、そのための駆動機
構が必要となり、その分だけ構成が複雑になる。 .オートフォーカスを使用して焦点合わせをすると、
コスト高となり、装置も大型化する。 .同軸落射による照明では浅い傷が発見しにくい。ま
た、光コネクタフェルールAの端面Bは半球状又は円錐
状であるため、光の反射方向が一様でなく、端面Bの周
縁部分における光量が不足する。 .斜光照明では光コネクタフェルールAの端面Bの中
心部分が光量不足になる。この場合、光の照射角度を適
宜変更することで中心部分においても十分な光量を確保
することは可能であるが、それでは構造が複雑になると
共に、観察位置が変わるたびに光の角度を調節しなくて
はならない。
種課題を解決するために、光学部品、例えば、光コネク
タフェルール端面の全体を、手軽に、精度良く、観察し
たり、検査したりすることができ、しかも構造が簡潔
で、小型である観察・検査装置を提供することにある。
察・検査装置は、鏡筒の軸方向一端に対物レンズを、他
端に接眼レンズ又はCCDカメラを備えた観察系と、被
観察物である光学部品を保持する保持台と、光学部品の
観察箇所に光を照射する光学系と、保持台を回転させる
保持台回転機構を有し、前記保持台は光学部品を、その
観察箇所が観察系の光軸と斜めに対向するように傾けた
状態に保持可能であり、前記保持台回転機構は光学部品
を保持している保持台を、光学部品の光軸を中心として
回転可能であるものである。
察・検査装置は、鏡筒の軸方向一端に対物レンズを、他
端に接眼レンズ又はCCDカメラを備えた観察系と、被
観察物である光学部品を保持する保持台と、光学部品の
観察箇所に光を照射する光学系と、観察系を回転させる
観察系回転機構を有し、観察系回転機構は、観察系を、
その光軸が光学部品の観察箇所と斜めに対向するように
配置可能であり、且つ、光学部品の光軸を中心として回
転可能であるものである。
察・検査装置は、鏡筒の軸方向一端に対物レンズを、他
端に接眼レンズ又はCCDカメラを備えた観察系と、被
観察物である光学部品を保持する保持台と、光学部品の
観察箇所に光を照射する光学系と、保持台を回転させる
保持台回転機構と、観察系を回転させる観察系回転機構
を有し、前記前記保持台は光学部品を、その観察箇所が
観察系の光軸と斜めに対向するように傾けた状態に保持
可能であり、前記保持台回転機構は光学部品を保持して
いる保持台を、光学部品の光軸を中心として回転可能で
あり、前記観察系回転機構は、観察系を、その光軸が光
学部品の観察箇所と斜めに対向するように配置可能であ
り、且つ、光学部品の光軸を中心として回転可能である
ものである。
察・検査装置は、前記第1乃至第3の光学部品の観察・
検査装置における光学系が被観察物である光学部品の観
察箇所に2以上の異なる角度から光を照射可能であるも
のである。
察・検査装置は、前記第1乃至第4のいずれかの光学部
品の観察・検査装置における保持台回転機構又は観察系
回転機構が電気信号によって傾斜角度、回転量、回転速
度等を制御可能なアクチュエータを備えてなるものであ
る。
の観察・検査装置の第1の実施形態を図1に基づいて詳
細に説明する。図1に示すものは被観察物である光学部
品5が光コネクタフェルールの場合であり、観察系4
と、光学部品5を保持する保持台6と、光学部品5の観
察面(箇所)7に光を照射する光学系8と、保持台6を
回転させる保持台回転機構を有する。
下端内側に対物レンズ2が設けられ、上端内側に接眼レ
ンズ又はCCDカメラ3が設けられ、対物レンズ2の倍
率と接眼レンズ又はCCDカメラ3の倍率の組み合わせ
によって所望の倍率が得られるようにしてある。
をセット可能な収容部11を有すると共に、同収容部1
1にセットされた光コネクタフェルール5を、その観察
面7が観察系4の光軸a−aと斜めに対向するように配
置可能とするために、斜めに傾斜可能としてある。
コネクタフェルール5を保持している保持台6を、光コ
ネクタフェルール5の光軸b−bを中心として180゜
〜360゜の範囲で回転(自転)させることができるよ
うにしてある。この保持台回転機構はアクチュエータを
備えており、電気信号によって保持台6の傾斜角度、回
転量、回転速度等を制御することにより、保持台6にセ
ットされている光コネクタフェルール5の傾斜角度、回
転量、回転速度等を制御することができるようにしてあ
る。ここで光コネクタフェルール5の傾斜角度θ1 (図
3a)は、光コネクタフェルール5の円錐状の観察面7
の頂点0と観察面7の一番低い点(下端)Pとを結ぶ直
線c−cが、観察系4の光軸a−aと直交する角度とす
ることが望ましい。光コネクタフェルール5の傾斜角度
θ1 をこの様にすることによって、光コネクタフェルー
ル5を回転させても、その観察面7と観察系4の対物レ
ンズ2との間の距離が変化せず、焦点合わせが不要とな
る。
フェルール5の観察面7に対して前記同軸落射を行うた
めの同軸落射照明部20及び前記斜光照明を行うリング
照明部30からなる。同軸落射照明部20は図1に示す
様に、光源21が発した光を前記観察系4の鏡筒1内に
ガイドするライトガイド22と、同鏡筒1の内側に配置
され、前記ライトガイド22によって鏡筒1内にガイド
された光を光コネクタフェルール5の観察面7に向けて
反射するプリズム23とからなり、光源21が発した光
を観察系4の対物レンズ2を透過させて光コネクタフェ
ルール5の観察面7に、その真上から照射できるように
してある。前記リング照明部30は図1に示す様に鏡筒
1の下端外周に、その周方向に沿ってリング状に設けら
れており、観察系4の対物レンズ2の外側から光コネク
タフェルール5の観察面7に向けて斜めに光を照射する
ことができるようにしてある。尚、リング状照明30は
鏡筒1に取り付け、取り外し可能としてある。
装置は以上のような構造を有するため、光学部品5を回
転させることによって、その観察面7の全体を観察可能
であると共に、同軸落射照明部20及びリング照明部3
0によって、光コネクタフェルール5の観察面7に対し
て、2以上の異なる角度から光を照射できるため、同観
察面7の形状の影響を受けることなく、観察面7の全体
に十分な量の光を当てることができ、浅い傷から深い傷
まで容易且つ確実に発見することができる。
・検査装置の第2の実施形態を図2に基づいて詳細に説
明する。図2に示す光学部品の観察・検査装置の基本構
成は図1に示すものと同一である。異なるのは図2に示
す光学部品の観察・検査装置では、観察系回転機構を備
え、同観察系回転機構によって、観察系4を、その光軸
a−aが光コネクタフェルール5の観察面7と斜めに対
向するように傾斜させると共に、光学部品5の光軸b−
bを中心に同光軸b−bの外側を回転(公転)させるこ
とができるようにしたことである。この観察系回転機構
も、前記保持台回転機構と同様にアクチュエータを備え
ている。この場合、観察系4の傾斜角度θ2 は、図3
(b)に示す様に観察系4の光軸a−aが、光コネクタ
フェルール5の観察面7の頂点Oと観察面7の一番低い
点(下端)Pとを結ぶ直線c−cと直交する角度とす
る。観察系4の傾斜角度θ2 を上記の様にすることによ
って、観察系4を回転(公転)させても、対物レンズ3
と光コネクタフェルール5の観察面7との間の距離が変
化しないため、焦点合わせが不要となる。
ける光学系8は図1に示す光学部品の観察・検査装置の
それと同様に同軸落射照明部20及びリング照明部30
を備えている。
その観察箇所が観察系の光軸と斜めに対向するように傾
けた状態で回転させることが可能であるため、次のよう
な効果を有する。 .光学部品を回転させるだけで、観察箇所(観察面)
の全体を観察、検査することができる。従って、従来の
ように光学部品を前後左右に移動させるための駆動機構
や位置決め機構が不要となり、低コスト化、小型化が可
能である。 .観察系と光学部品の観察箇所(観察面)との距離が
変化しないため、焦点合わせが不要となる。従って、観
察系又は光学部品を上下に移動させて焦点合わせを行う
ための駆動機構やオートフォーカス機構を設ける必要が
ない。
光軸が光学部品の観察箇所と斜めに対向するように配置
可能であり、且つ、光学部品の光軸を中心として回転可
能である観察系回転機構を備えているので、次のような
効果を有する。 .観察系を回転させるだけで、観察箇所(観察面)の
全体を観察、検査することができる。従って、従来のよ
うに観察系を前後左右に移動させるための駆動機構や位
置決め機構が不要となり、低コスト化、小型化が可能で
ある。 .観察系と光学部品の観察箇所(観察面)との距離が
変化しないため、焦点合わせが不要となる。従って、観
察系又は光学部品を上下に移動させて焦点合わせを行う
ための駆動機構やオートフォーカス機構を設ける必要が
ない。
を有する。 .保持台回転機構及び観察系回転機構を備えているた
め、光学部品及び観察系の傾斜角度を高密度に設定する
ことが可能である。
を有する。 .光コネクタフェルール端面に2以上の異なる角度か
ら光を照射可能であるため、同端面全体に十分な量の光
を当てることができ、浅い傷から深い傷まで発見するこ
とができる。
を有する。 .保持台回転機構又は観察系回転機構が電気信号によ
って傾斜角度、回転量、回転速度等を制御可能なアクチ
ュエータを備えてなるので、光学部品又は観察系の傾斜
角度、回転量、回転速度等を正確に制御することが可能
となり、精度の高い観察、検査を行うことができる。
施形態を示す説明図。
施形態を示す説明図。
例を示す説明図、(b)は光学系の傾斜角度の一例を示
す説明図。
方法の一例を示す説明図。
方法の他例を示す説明図。
面の観察・検査方法における光の照射方法の異なる例を
示す説明図。
Claims (5)
- 【請求項1】鏡筒(1)の軸方向一端に対物レンズ
(2)を、他端に接眼レンズ又はCCDカメラ(3)を
備えた観察系(4)と、被観察物である光学部品(5)
を保持する保持台(6)と、光学部品(5)の観察箇所
(7)に光を照射する光学系(8)と、保持台(6)を
回転させる保持台回転機構を有し、前記保持台(6)は
光学部品(5)を、その観察箇所(7)が観察系(4)
の光軸(a−a)と斜めに対向するように傾けた状態に
保持可能であり、前記保持台回転機構は光学部品(5)
を保持している保持台(6)を、光学部品(5)の光軸
(b−b)を中心として回転可能であることを特徴とす
る光学部品の観察・検査装置。 - 【請求項2】鏡筒(1)の軸方向一端に対物レンズ
(2)を、他端に接眼レンズ又はCCDカメラ(3)を
備えた観察系(4)と、被観察物である光学部品(5)
を保持する保持台(6)と、光学部品(5)の観察箇所
(7)に光を照射する光学系(8)と、観察系(4)を
回転させる観察系回転機構を有し、観察系回転機構は、
観察系(4)を、その光軸(a−a)が光学部品(5)
の観察箇所(7)と斜めに対向するように配置可能であ
り、且つ、光学部品(5)の光軸(b−b)を中心とし
て回転可能であることを特徴とする光学部品の観察・検
査装置。 - 【請求項3】鏡筒(1)の軸方向一端に対物レンズ
(2)を、他端に接眼レンズ又はCCDカメラ(3)を
備えた観察系(4)と、被観察物である光学部品(5)
を保持する保持台(6)と、光学部品(5)の観察箇所
(7)に光を照射する光学系(8)と、保持台(6)を
回転させる保持台回転機構と、観察系(4)を回転させ
る観察系回転機構を有し、前記前記保持台(6)は光学
部品(5)を、その観察箇所(7)が観察系(4)の光
軸(a−a)と斜めに対向するように傾けた状態に保持
可能であり、前記保持台回転機構は光学部品(5)を保
持している保持台(6)を、光学部品(5)の光軸(b
−b)を中心として回転可能であり、前記観察系回転機
構は、観察系(4)を、その光軸(a−a)が光学部品
(5)の観察箇所(7)と斜めに対向するように配置可
能であり、且つ、光学部品(5)の光軸(b−b)を中
心として回転可能であることを特徴とする光学部品の観
察・検査装置。 - 【請求項4】光学系(8)が被観察物である光学部品
(5)の観察箇所(7)に2以上の異なる角度から光を
照射可能であることを特徴とする請求項1乃至請求項3
のいずれかに記載の光学部品の観察・検査装置。 - 【請求項5】保持台回転機構又は観察系回転機構が電気
信号によって傾斜角度、回転量、回転速度等を制御可能
なアクチュエータを備えてなることを特徴とする請求項
1乃至請求項4のいずれかに記載の光学部品の観察・検
査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11117173A JP2000304650A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | 光学部品の観察・検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11117173A JP2000304650A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | 光学部品の観察・検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000304650A true JP2000304650A (ja) | 2000-11-02 |
Family
ID=14705252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11117173A Pending JP2000304650A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | 光学部品の観察・検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000304650A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020051959A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | シチズンファインデバイス株式会社 | 表面検査装置、部品の製造方法およびプログラム |
JP2020060387A (ja) * | 2018-10-05 | 2020-04-16 | 三菱電線工業株式会社 | 光学系端面検査具 |
-
1999
- 1999-04-23 JP JP11117173A patent/JP2000304650A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020051959A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | シチズンファインデバイス株式会社 | 表面検査装置、部品の製造方法およびプログラム |
JP7049970B2 (ja) | 2018-09-28 | 2022-04-07 | シチズンファインデバイス株式会社 | 表面検査装置、部品の製造方法およびプログラム |
JP2020060387A (ja) * | 2018-10-05 | 2020-04-16 | 三菱電線工業株式会社 | 光学系端面検査具 |
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