JP2000304650A - 光学部品の観察・検査装置 - Google Patents
光学部品の観察・検査装置Info
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- JP2000304650A JP2000304650A JP11117173A JP11717399A JP2000304650A JP 2000304650 A JP2000304650 A JP 2000304650A JP 11117173 A JP11117173 A JP 11117173A JP 11717399 A JP11717399 A JP 11717399A JP 2000304650 A JP2000304650 A JP 2000304650A
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- observation
- optical component
- optical
- observation system
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来品は構造が複雑で、コストが高く、大型
であった。 【解決手段】 光学部品５の観察箇所７が観察系４の光
軸ａ−ａと斜めに対向する様に光学部品５又は観察系４
を配置可能とすると共に、光学部品５又は観察系４を回
転させて、前記観察箇所７の全体を観察可能とした。具
体的には光学部品５を保持する保持台６及び保持台回転
機構を設けた。観察系回転機構を設けた。光学部品５の
観察箇所７に２以上の異なる角度から光を照射可能な光
学系８を設けた。保持台回転機構又は観察系回転機構に
電気信号によって傾斜角度、回転量、回転速度等を制御
可能なアクチュエータを備えた。
であった。 【解決手段】 光学部品５の観察箇所７が観察系４の光
軸ａ−ａと斜めに対向する様に光学部品５又は観察系４
を配置可能とすると共に、光学部品５又は観察系４を回
転させて、前記観察箇所７の全体を観察可能とした。具
体的には光学部品５を保持する保持台６及び保持台回転
機構を設けた。観察系回転機構を設けた。光学部品５の
観察箇所７に２以上の異なる角度から光を照射可能な光
学系８を設けた。保持台回転機構又は観察系回転機構に
電気信号によって傾斜角度、回転量、回転速度等を制御
可能なアクチュエータを備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学部品、特に、
光コネクタフェルールの端面を観察したり、検査したり
するのに適する光学部品の観察・検査装置に関するもの
である。
光コネクタフェルールの端面を観察したり、検査したり
するのに適する光学部品の観察・検査装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】光学部品Ａ、例えばＰＣ（物理的接触）
接続等に使用される光コネクタフェルールを組み立てる
場合は、光学的に良好な接続面を得るために、図４に示
す様に、組み立て後に光コネクタフェルールＡの端面Ｂ
を円錐状又は半球状に研磨し、研磨後に同端面（観察箇
所）Ｂの傷の有無を観察・検査する必要がある。ここで
研磨後の光コネクタフェルールＡの端面Ｂに許される傷
は数ミクロン以下であるため、肉眼での確認は不可能で
あり、観察や検査には顕微鏡とかＣＣＤカメラ等（以下
まとめて「観察系」と記す）Ｃを使用している。
接続等に使用される光コネクタフェルールを組み立てる
場合は、光学的に良好な接続面を得るために、図４に示
す様に、組み立て後に光コネクタフェルールＡの端面Ｂ
を円錐状又は半球状に研磨し、研磨後に同端面（観察箇
所）Ｂの傷の有無を観察・検査する必要がある。ここで
研磨後の光コネクタフェルールＡの端面Ｂに許される傷
は数ミクロン以下であるため、肉眼での確認は不可能で
あり、観察や検査には顕微鏡とかＣＣＤカメラ等（以下
まとめて「観察系」と記す）Ｃを使用している。
【０００３】しかし、標準的な光コネクタフェルールＡ
の直径は２．５ｍｍ、ファイバコア径は１０μｍであ
り、観察目的である傷は上記の通り数ミクロン以下と極
めて小さい。この様な極小の傷を観察するためには観察
系Ｃの倍率を上げる必要があるが、そのようにすると必
然的に観察視野が狭くなり、光コネクタフェルールＡの
端面Ｂの全体を一度に観察・検査することができない。
そこで現在は、図４に示す様に示す様に光コネクタフェ
ルールＡ又は観察系Ｃを前後左右（図４の矢印Ｘ−Ｘ方
向及びＹ−Ｙ方向）に移動させて光コネクタフェルール
Ａの端面Ｂの全体を観察・検査している。
の直径は２．５ｍｍ、ファイバコア径は１０μｍであ
り、観察目的である傷は上記の通り数ミクロン以下と極
めて小さい。この様な極小の傷を観察するためには観察
系Ｃの倍率を上げる必要があるが、そのようにすると必
然的に観察視野が狭くなり、光コネクタフェルールＡの
端面Ｂの全体を一度に観察・検査することができない。
そこで現在は、図４に示す様に示す様に光コネクタフェ
ルールＡ又は観察系Ｃを前後左右（図４の矢印Ｘ−Ｘ方
向及びＹ−Ｙ方向）に移動させて光コネクタフェルール
Ａの端面Ｂの全体を観察・検査している。
【０００４】また、光コネクタフェルールＡの端面Ｂは
平面ではなく、半球状或は円錐状であるため、観察系Ｃ
から端面Ｂまでの距離が場所によって異なる。そこで、
光コネクタフェルールＡ又は観察系Ｃを上下（図４の矢
印Ｚ−Ｚ方向）に移動させたり、図５に示す様に観察系
Ｃにオートフォーカス機構Ｄを設けて焦点を合わせたり
している。更に、観察系Ｃによって光コネクタフェルー
ルＡの端面Ｂの観察を行う場合は、傷を浮き上がらせる
ために、図６（ａ）に示す様に光源（図示しない）が発
した光をライトガイドＥによって観察系Ｃの鏡筒Ｆ内に
案内し、その光を鏡筒Ｆ内に配置したプリズムＧによっ
て下方に反射させることによって、光コネクタフェルー
ルＡの端面Ｂに、その真上から光を照射したり（同軸落
射）、同図（ｂ）に示す様に鏡筒Ｆの下端外周に光源Ｈ
を設けて、同端面Ｂに対して斜めに光を照射したり（斜
光照明）しながら観察している。
平面ではなく、半球状或は円錐状であるため、観察系Ｃ
から端面Ｂまでの距離が場所によって異なる。そこで、
光コネクタフェルールＡ又は観察系Ｃを上下（図４の矢
印Ｚ−Ｚ方向）に移動させたり、図５に示す様に観察系
Ｃにオートフォーカス機構Ｄを設けて焦点を合わせたり
している。更に、観察系Ｃによって光コネクタフェルー
ルＡの端面Ｂの観察を行う場合は、傷を浮き上がらせる
ために、図６（ａ）に示す様に光源（図示しない）が発
した光をライトガイドＥによって観察系Ｃの鏡筒Ｆ内に
案内し、その光を鏡筒Ｆ内に配置したプリズムＧによっ
て下方に反射させることによって、光コネクタフェルー
ルＡの端面Ｂに、その真上から光を照射したり（同軸落
射）、同図（ｂ）に示す様に鏡筒Ｆの下端外周に光源Ｈ
を設けて、同端面Ｂに対して斜めに光を照射したり（斜
光照明）しながら観察している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の光学部品の観察
・検査方法には次の様な課題があった。 ．光コネクタフェルールＡ又は観察系Ｃを前後左右に
移動させて光コネクタフェルールＡの端面Ｂの全体を観
察するためには、１ｍｍ単位の正確な位置決め精度が必
要とされるため、装置の構成や制御機構が複雑になると
共に、装置全体が大型化する。 ．焦点合わせのために光コネクタフェルールＡ又は観
察系Ｃを上下に移動させるためには、そのための駆動機
構が必要となり、その分だけ構成が複雑になる。 ．オートフォーカスを使用して焦点合わせをすると、
コスト高となり、装置も大型化する。 ．同軸落射による照明では浅い傷が発見しにくい。ま
た、光コネクタフェルールＡの端面Ｂは半球状又は円錐
状であるため、光の反射方向が一様でなく、端面Ｂの周
縁部分における光量が不足する。 ．斜光照明では光コネクタフェルールＡの端面Ｂの中
心部分が光量不足になる。この場合、光の照射角度を適
宜変更することで中心部分においても十分な光量を確保
することは可能であるが、それでは構造が複雑になると
共に、観察位置が変わるたびに光の角度を調節しなくて
はならない。
・検査方法には次の様な課題があった。 ．光コネクタフェルールＡ又は観察系Ｃを前後左右に
移動させて光コネクタフェルールＡの端面Ｂの全体を観
察するためには、１ｍｍ単位の正確な位置決め精度が必
要とされるため、装置の構成や制御機構が複雑になると
共に、装置全体が大型化する。 ．焦点合わせのために光コネクタフェルールＡ又は観
察系Ｃを上下に移動させるためには、そのための駆動機
構が必要となり、その分だけ構成が複雑になる。 ．オートフォーカスを使用して焦点合わせをすると、
コスト高となり、装置も大型化する。 ．同軸落射による照明では浅い傷が発見しにくい。ま
た、光コネクタフェルールＡの端面Ｂは半球状又は円錐
状であるため、光の反射方向が一様でなく、端面Ｂの周
縁部分における光量が不足する。 ．斜光照明では光コネクタフェルールＡの端面Ｂの中
心部分が光量不足になる。この場合、光の照射角度を適
宜変更することで中心部分においても十分な光量を確保
することは可能であるが、それでは構造が複雑になると
共に、観察位置が変わるたびに光の角度を調節しなくて
はならない。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は上記の各
種課題を解決するために、光学部品、例えば、光コネク
タフェルール端面の全体を、手軽に、精度良く、観察し
たり、検査したりすることができ、しかも構造が簡潔
で、小型である観察・検査装置を提供することにある。
種課題を解決するために、光学部品、例えば、光コネク
タフェルール端面の全体を、手軽に、精度良く、観察し
たり、検査したりすることができ、しかも構造が簡潔
で、小型である観察・検査装置を提供することにある。
【０００７】本件出願の第１の発明である光学部品の観
察・検査装置は、鏡筒の軸方向一端に対物レンズを、他
端に接眼レンズ又はＣＣＤカメラを備えた観察系と、被
観察物である光学部品を保持する保持台と、光学部品の
観察箇所に光を照射する光学系と、保持台を回転させる
保持台回転機構を有し、前記保持台は光学部品を、その
観察箇所が観察系の光軸と斜めに対向するように傾けた
状態に保持可能であり、前記保持台回転機構は光学部品
を保持している保持台を、光学部品の光軸を中心として
回転可能であるものである。
察・検査装置は、鏡筒の軸方向一端に対物レンズを、他
端に接眼レンズ又はＣＣＤカメラを備えた観察系と、被
観察物である光学部品を保持する保持台と、光学部品の
観察箇所に光を照射する光学系と、保持台を回転させる
保持台回転機構を有し、前記保持台は光学部品を、その
観察箇所が観察系の光軸と斜めに対向するように傾けた
状態に保持可能であり、前記保持台回転機構は光学部品
を保持している保持台を、光学部品の光軸を中心として
回転可能であるものである。
【０００８】本件出願の第２の発明である光学部品の観
察・検査装置は、鏡筒の軸方向一端に対物レンズを、他
端に接眼レンズ又はＣＣＤカメラを備えた観察系と、被
観察物である光学部品を保持する保持台と、光学部品の
観察箇所に光を照射する光学系と、観察系を回転させる
観察系回転機構を有し、観察系回転機構は、観察系を、
その光軸が光学部品の観察箇所と斜めに対向するように
配置可能であり、且つ、光学部品の光軸を中心として回
転可能であるものである。
察・検査装置は、鏡筒の軸方向一端に対物レンズを、他
端に接眼レンズ又はＣＣＤカメラを備えた観察系と、被
観察物である光学部品を保持する保持台と、光学部品の
観察箇所に光を照射する光学系と、観察系を回転させる
観察系回転機構を有し、観察系回転機構は、観察系を、
その光軸が光学部品の観察箇所と斜めに対向するように
配置可能であり、且つ、光学部品の光軸を中心として回
転可能であるものである。
【０００９】本件出願の第３の発明である光学部品の観
察・検査装置は、鏡筒の軸方向一端に対物レンズを、他
端に接眼レンズ又はＣＣＤカメラを備えた観察系と、被
観察物である光学部品を保持する保持台と、光学部品の
観察箇所に光を照射する光学系と、保持台を回転させる
保持台回転機構と、観察系を回転させる観察系回転機構
を有し、前記前記保持台は光学部品を、その観察箇所が
観察系の光軸と斜めに対向するように傾けた状態に保持
可能であり、前記保持台回転機構は光学部品を保持して
いる保持台を、光学部品の光軸を中心として回転可能で
あり、前記観察系回転機構は、観察系を、その光軸が光
学部品の観察箇所と斜めに対向するように配置可能であ
り、且つ、光学部品の光軸を中心として回転可能である
ものである。
察・検査装置は、鏡筒の軸方向一端に対物レンズを、他
端に接眼レンズ又はＣＣＤカメラを備えた観察系と、被
観察物である光学部品を保持する保持台と、光学部品の
観察箇所に光を照射する光学系と、保持台を回転させる
保持台回転機構と、観察系を回転させる観察系回転機構
を有し、前記前記保持台は光学部品を、その観察箇所が
観察系の光軸と斜めに対向するように傾けた状態に保持
可能であり、前記保持台回転機構は光学部品を保持して
いる保持台を、光学部品の光軸を中心として回転可能で
あり、前記観察系回転機構は、観察系を、その光軸が光
学部品の観察箇所と斜めに対向するように配置可能であ
り、且つ、光学部品の光軸を中心として回転可能である
ものである。
【００１０】本件出願の第４の発明である光学部品の観
察・検査装置は、前記第１乃至第３の光学部品の観察・
検査装置における光学系が被観察物である光学部品の観
察箇所に２以上の異なる角度から光を照射可能であるも
のである。
察・検査装置は、前記第１乃至第３の光学部品の観察・
検査装置における光学系が被観察物である光学部品の観
察箇所に２以上の異なる角度から光を照射可能であるも
のである。
【００１１】本件出願の第５の発明である光学部品の観
察・検査装置は、前記第１乃至第４のいずれかの光学部
品の観察・検査装置における保持台回転機構又は観察系
回転機構が電気信号によって傾斜角度、回転量、回転速
度等を制御可能なアクチュエータを備えてなるものであ
る。
察・検査装置は、前記第１乃至第４のいずれかの光学部
品の観察・検査装置における保持台回転機構又は観察系
回転機構が電気信号によって傾斜角度、回転量、回転速
度等を制御可能なアクチュエータを備えてなるものであ
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】（実施形態１）本発明の光学部品
の観察・検査装置の第１の実施形態を図１に基づいて詳
細に説明する。図１に示すものは被観察物である光学部
品５が光コネクタフェルールの場合であり、観察系４
と、光学部品５を保持する保持台６と、光学部品５の観
察面（箇所）７に光を照射する光学系８と、保持台６を
回転させる保持台回転機構を有する。
の観察・検査装置の第１の実施形態を図１に基づいて詳
細に説明する。図１に示すものは被観察物である光学部
品５が光コネクタフェルールの場合であり、観察系４
と、光学部品５を保持する保持台６と、光学部品５の観
察面（箇所）７に光を照射する光学系８と、保持台６を
回転させる保持台回転機構を有する。
【００１３】図１の観察系４は円筒状の鏡筒１の軸方向
下端内側に対物レンズ２が設けられ、上端内側に接眼レ
ンズ又はＣＣＤカメラ３が設けられ、対物レンズ２の倍
率と接眼レンズ又はＣＣＤカメラ３の倍率の組み合わせ
によって所望の倍率が得られるようにしてある。
下端内側に対物レンズ２が設けられ、上端内側に接眼レ
ンズ又はＣＣＤカメラ３が設けられ、対物レンズ２の倍
率と接眼レンズ又はＣＣＤカメラ３の倍率の組み合わせ
によって所望の倍率が得られるようにしてある。
【００１４】図１の保持台６は光コネクタフェルール５
をセット可能な収容部１１を有すると共に、同収容部１
１にセットされた光コネクタフェルール５を、その観察
面７が観察系４の光軸ａ−ａと斜めに対向するように配
置可能とするために、斜めに傾斜可能としてある。
をセット可能な収容部１１を有すると共に、同収容部１
１にセットされた光コネクタフェルール５を、その観察
面７が観察系４の光軸ａ−ａと斜めに対向するように配
置可能とするために、斜めに傾斜可能としてある。
【００１５】前記保持台回転機構は、図１に示す様に光
コネクタフェルール５を保持している保持台６を、光コ
ネクタフェルール５の光軸ｂ−ｂを中心として１８０゜
〜３６０゜の範囲で回転（自転）させることができるよ
うにしてある。この保持台回転機構はアクチュエータを
備えており、電気信号によって保持台６の傾斜角度、回
転量、回転速度等を制御することにより、保持台６にセ
ットされている光コネクタフェルール５の傾斜角度、回
転量、回転速度等を制御することができるようにしてあ
る。ここで光コネクタフェルール５の傾斜角度θ1 （図
３ａ）は、光コネクタフェルール５の円錐状の観察面７
の頂点０と観察面７の一番低い点（下端）Ｐとを結ぶ直
線ｃ−ｃが、観察系４の光軸ａ−ａと直交する角度とす
ることが望ましい。光コネクタフェルール５の傾斜角度
θ1 をこの様にすることによって、光コネクタフェルー
ル５を回転させても、その観察面７と観察系４の対物レ
ンズ２との間の距離が変化せず、焦点合わせが不要とな
る。
コネクタフェルール５を保持している保持台６を、光コ
ネクタフェルール５の光軸ｂ−ｂを中心として１８０゜
〜３６０゜の範囲で回転（自転）させることができるよ
うにしてある。この保持台回転機構はアクチュエータを
備えており、電気信号によって保持台６の傾斜角度、回
転量、回転速度等を制御することにより、保持台６にセ
ットされている光コネクタフェルール５の傾斜角度、回
転量、回転速度等を制御することができるようにしてあ
る。ここで光コネクタフェルール５の傾斜角度θ1 （図
３ａ）は、光コネクタフェルール５の円錐状の観察面７
の頂点０と観察面７の一番低い点（下端）Ｐとを結ぶ直
線ｃ−ｃが、観察系４の光軸ａ−ａと直交する角度とす
ることが望ましい。光コネクタフェルール５の傾斜角度
θ1 をこの様にすることによって、光コネクタフェルー
ル５を回転させても、その観察面７と観察系４の対物レ
ンズ２との間の距離が変化せず、焦点合わせが不要とな
る。
【００１６】前記光学系８は図１に示す様に光コネクタ
フェルール５の観察面７に対して前記同軸落射を行うた
めの同軸落射照明部２０及び前記斜光照明を行うリング
照明部３０からなる。同軸落射照明部２０は図１に示す
様に、光源２１が発した光を前記観察系４の鏡筒１内に
ガイドするライトガイド２２と、同鏡筒１の内側に配置
され、前記ライトガイド２２によって鏡筒１内にガイド
された光を光コネクタフェルール５の観察面７に向けて
反射するプリズム２３とからなり、光源２１が発した光
を観察系４の対物レンズ２を透過させて光コネクタフェ
ルール５の観察面７に、その真上から照射できるように
してある。前記リング照明部３０は図１に示す様に鏡筒
１の下端外周に、その周方向に沿ってリング状に設けら
れており、観察系４の対物レンズ２の外側から光コネク
タフェルール５の観察面７に向けて斜めに光を照射する
ことができるようにしてある。尚、リング状照明３０は
鏡筒１に取り付け、取り外し可能としてある。
フェルール５の観察面７に対して前記同軸落射を行うた
めの同軸落射照明部２０及び前記斜光照明を行うリング
照明部３０からなる。同軸落射照明部２０は図１に示す
様に、光源２１が発した光を前記観察系４の鏡筒１内に
ガイドするライトガイド２２と、同鏡筒１の内側に配置
され、前記ライトガイド２２によって鏡筒１内にガイド
された光を光コネクタフェルール５の観察面７に向けて
反射するプリズム２３とからなり、光源２１が発した光
を観察系４の対物レンズ２を透過させて光コネクタフェ
ルール５の観察面７に、その真上から照射できるように
してある。前記リング照明部３０は図１に示す様に鏡筒
１の下端外周に、その周方向に沿ってリング状に設けら
れており、観察系４の対物レンズ２の外側から光コネク
タフェルール５の観察面７に向けて斜めに光を照射する
ことができるようにしてある。尚、リング状照明３０は
鏡筒１に取り付け、取り外し可能としてある。
【００１７】図１に示す本発明の光学部品の観察・検査
装置は以上のような構造を有するため、光学部品５を回
転させることによって、その観察面７の全体を観察可能
であると共に、同軸落射照明部２０及びリング照明部３
０によって、光コネクタフェルール５の観察面７に対し
て、２以上の異なる角度から光を照射できるため、同観
察面７の形状の影響を受けることなく、観察面７の全体
に十分な量の光を当てることができ、浅い傷から深い傷
まで容易且つ確実に発見することができる。
装置は以上のような構造を有するため、光学部品５を回
転させることによって、その観察面７の全体を観察可能
であると共に、同軸落射照明部２０及びリング照明部３
０によって、光コネクタフェルール５の観察面７に対し
て、２以上の異なる角度から光を照射できるため、同観
察面７の形状の影響を受けることなく、観察面７の全体
に十分な量の光を当てることができ、浅い傷から深い傷
まで容易且つ確実に発見することができる。
【００１８】（実施の形態２）本発明の光学部品の観察
・検査装置の第２の実施形態を図２に基づいて詳細に説
明する。図２に示す光学部品の観察・検査装置の基本構
成は図１に示すものと同一である。異なるのは図２に示
す光学部品の観察・検査装置では、観察系回転機構を備
え、同観察系回転機構によって、観察系４を、その光軸
ａ−ａが光コネクタフェルール５の観察面７と斜めに対
向するように傾斜させると共に、光学部品５の光軸ｂ−
ｂを中心に同光軸ｂ−ｂの外側を回転（公転）させるこ
とができるようにしたことである。この観察系回転機構
も、前記保持台回転機構と同様にアクチュエータを備え
ている。この場合、観察系４の傾斜角度θ2 は、図３
（ｂ）に示す様に観察系４の光軸ａ−ａが、光コネクタ
フェルール５の観察面７の頂点Ｏと観察面７の一番低い
点（下端）Ｐとを結ぶ直線ｃ−ｃと直交する角度とす
る。観察系４の傾斜角度θ2 を上記の様にすることによ
って、観察系４を回転（公転）させても、対物レンズ３
と光コネクタフェルール５の観察面７との間の距離が変
化しないため、焦点合わせが不要となる。
・検査装置の第２の実施形態を図２に基づいて詳細に説
明する。図２に示す光学部品の観察・検査装置の基本構
成は図１に示すものと同一である。異なるのは図２に示
す光学部品の観察・検査装置では、観察系回転機構を備
え、同観察系回転機構によって、観察系４を、その光軸
ａ−ａが光コネクタフェルール５の観察面７と斜めに対
向するように傾斜させると共に、光学部品５の光軸ｂ−
ｂを中心に同光軸ｂ−ｂの外側を回転（公転）させるこ
とができるようにしたことである。この観察系回転機構
も、前記保持台回転機構と同様にアクチュエータを備え
ている。この場合、観察系４の傾斜角度θ2 は、図３
（ｂ）に示す様に観察系４の光軸ａ−ａが、光コネクタ
フェルール５の観察面７の頂点Ｏと観察面７の一番低い
点（下端）Ｐとを結ぶ直線ｃ−ｃと直交する角度とす
る。観察系４の傾斜角度θ2 を上記の様にすることによ
って、観察系４を回転（公転）させても、対物レンズ３
と光コネクタフェルール５の観察面７との間の距離が変
化しないため、焦点合わせが不要となる。
【００１９】図２に示す光学部品の観察・検査装置にお
ける光学系８は図１に示す光学部品の観察・検査装置の
それと同様に同軸落射照明部２０及びリング照明部３０
を備えている。
ける光学系８は図１に示す光学部品の観察・検査装置の
それと同様に同軸落射照明部２０及びリング照明部３０
を備えている。
【００２０】
【発明の効果】本件出願の第１の発明は、光学部品を、
その観察箇所が観察系の光軸と斜めに対向するように傾
けた状態で回転させることが可能であるため、次のよう
な効果を有する。 ．光学部品を回転させるだけで、観察箇所（観察面）
の全体を観察、検査することができる。従って、従来の
ように光学部品を前後左右に移動させるための駆動機構
や位置決め機構が不要となり、低コスト化、小型化が可
能である。 ．観察系と光学部品の観察箇所（観察面）との距離が
変化しないため、焦点合わせが不要となる。従って、観
察系又は光学部品を上下に移動させて焦点合わせを行う
ための駆動機構やオートフォーカス機構を設ける必要が
ない。
その観察箇所が観察系の光軸と斜めに対向するように傾
けた状態で回転させることが可能であるため、次のよう
な効果を有する。 ．光学部品を回転させるだけで、観察箇所（観察面）
の全体を観察、検査することができる。従って、従来の
ように光学部品を前後左右に移動させるための駆動機構
や位置決め機構が不要となり、低コスト化、小型化が可
能である。 ．観察系と光学部品の観察箇所（観察面）との距離が
変化しないため、焦点合わせが不要となる。従って、観
察系又は光学部品を上下に移動させて焦点合わせを行う
ための駆動機構やオートフォーカス機構を設ける必要が
ない。
【００２１】本件出願の第２の発明は、観察系を、その
光軸が光学部品の観察箇所と斜めに対向するように配置
可能であり、且つ、光学部品の光軸を中心として回転可
能である観察系回転機構を備えているので、次のような
効果を有する。 ．観察系を回転させるだけで、観察箇所（観察面）の
全体を観察、検査することができる。従って、従来のよ
うに観察系を前後左右に移動させるための駆動機構や位
置決め機構が不要となり、低コスト化、小型化が可能で
ある。 ．観察系と光学部品の観察箇所（観察面）との距離が
変化しないため、焦点合わせが不要となる。従って、観
察系又は光学部品を上下に移動させて焦点合わせを行う
ための駆動機構やオートフォーカス機構を設ける必要が
ない。
光軸が光学部品の観察箇所と斜めに対向するように配置
可能であり、且つ、光学部品の光軸を中心として回転可
能である観察系回転機構を備えているので、次のような
効果を有する。 ．観察系を回転させるだけで、観察箇所（観察面）の
全体を観察、検査することができる。従って、従来のよ
うに観察系を前後左右に移動させるための駆動機構や位
置決め機構が不要となり、低コスト化、小型化が可能で
ある。 ．観察系と光学部品の観察箇所（観察面）との距離が
変化しないため、焦点合わせが不要となる。従って、観
察系又は光学部品を上下に移動させて焦点合わせを行う
ための駆動機構やオートフォーカス機構を設ける必要が
ない。
【００２２】本件出願の第３の発明は、次のような効果
を有する。 ．保持台回転機構及び観察系回転機構を備えているた
め、光学部品及び観察系の傾斜角度を高密度に設定する
ことが可能である。
を有する。 ．保持台回転機構及び観察系回転機構を備えているた
め、光学部品及び観察系の傾斜角度を高密度に設定する
ことが可能である。
【００２３】本件出願の第４の発明は、次のような効果
を有する。 ．光コネクタフェルール端面に２以上の異なる角度か
ら光を照射可能であるため、同端面全体に十分な量の光
を当てることができ、浅い傷から深い傷まで発見するこ
とができる。
を有する。 ．光コネクタフェルール端面に２以上の異なる角度か
ら光を照射可能であるため、同端面全体に十分な量の光
を当てることができ、浅い傷から深い傷まで発見するこ
とができる。
【００２４】本件出願の第５の発明は、次のような効果
を有する。 ．保持台回転機構又は観察系回転機構が電気信号によ
って傾斜角度、回転量、回転速度等を制御可能なアクチ
ュエータを備えてなるので、光学部品又は観察系の傾斜
角度、回転量、回転速度等を正確に制御することが可能
となり、精度の高い観察、検査を行うことができる。
を有する。 ．保持台回転機構又は観察系回転機構が電気信号によ
って傾斜角度、回転量、回転速度等を制御可能なアクチ
ュエータを備えてなるので、光学部品又は観察系の傾斜
角度、回転量、回転速度等を正確に制御することが可能
となり、精度の高い観察、検査を行うことができる。
【図１】本発明の光学部品の観察・検査装置の第１の実
施形態を示す説明図。
施形態を示す説明図。
【図２】本発明の光学部品の観察・検査装置の第２の実
施形態を示す説明図。
施形態を示す説明図。
【図３】（ａ）は光コネクタフェルールの傾斜角度の一
例を示す説明図、（ｂ）は光学系の傾斜角度の一例を示
す説明図。
例を示す説明図、（ｂ）は光学系の傾斜角度の一例を示
す説明図。
【図４】従来の光コネクタフェルール端面の観察・検査
方法の一例を示す説明図。
方法の一例を示す説明図。
【図５】従来の光コネクタフェルール端面の観察・検査
方法の他例を示す説明図。
方法の他例を示す説明図。
【図６】（ａ）（ｂ）は従来の光コネクタフェルール端
面の観察・検査方法における光の照射方法の異なる例を
示す説明図。
面の観察・検査方法における光の照射方法の異なる例を
示す説明図。
１ 鏡筒 ２ 対物レンズ ３ 接眼レンズ又はＣＣＤカメラ ４ 観察系 ５ 光学部品 ６ 保持台 ７ 観察箇所 ８ 光学系
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AA90 AB07 AC22 CA04 CB05 DA08 2G086 EE12 2H036 QA11 QA13
Claims (5)
- 【請求項１】鏡筒（１）の軸方向一端に対物レンズ
（２）を、他端に接眼レンズ又はＣＣＤカメラ（３）を
備えた観察系（４）と、被観察物である光学部品（５）
を保持する保持台（６）と、光学部品（５）の観察箇所
（７）に光を照射する光学系（８）と、保持台（６）を
回転させる保持台回転機構を有し、前記保持台（６）は
光学部品（５）を、その観察箇所（７）が観察系（４）
の光軸（ａ−ａ）と斜めに対向するように傾けた状態に
保持可能であり、前記保持台回転機構は光学部品（５）
を保持している保持台（６）を、光学部品（５）の光軸
（ｂ−ｂ）を中心として回転可能であることを特徴とす
る光学部品の観察・検査装置。 - 【請求項２】鏡筒（１）の軸方向一端に対物レンズ
（２）を、他端に接眼レンズ又はＣＣＤカメラ（３）を
備えた観察系（４）と、被観察物である光学部品（５）
を保持する保持台（６）と、光学部品（５）の観察箇所
（７）に光を照射する光学系（８）と、観察系（４）を
回転させる観察系回転機構を有し、観察系回転機構は、
観察系（４）を、その光軸（ａ−ａ）が光学部品（５）
の観察箇所（７）と斜めに対向するように配置可能であ
り、且つ、光学部品（５）の光軸（ｂ−ｂ）を中心とし
て回転可能であることを特徴とする光学部品の観察・検
査装置。 - 【請求項３】鏡筒（１）の軸方向一端に対物レンズ
（２）を、他端に接眼レンズ又はＣＣＤカメラ（３）を
備えた観察系（４）と、被観察物である光学部品（５）
を保持する保持台（６）と、光学部品（５）の観察箇所
（７）に光を照射する光学系（８）と、保持台（６）を
回転させる保持台回転機構と、観察系（４）を回転させ
る観察系回転機構を有し、前記前記保持台（６）は光学
部品（５）を、その観察箇所（７）が観察系（４）の光
軸（ａ−ａ）と斜めに対向するように傾けた状態に保持
可能であり、前記保持台回転機構は光学部品（５）を保
持している保持台（６）を、光学部品（５）の光軸（ｂ
−ｂ）を中心として回転可能であり、前記観察系回転機
構は、観察系（４）を、その光軸（ａ−ａ）が光学部品
（５）の観察箇所（７）と斜めに対向するように配置可
能であり、且つ、光学部品（５）の光軸（ｂ−ｂ）を中
心として回転可能であることを特徴とする光学部品の観
察・検査装置。 - 【請求項４】光学系（８）が被観察物である光学部品
（５）の観察箇所（７）に２以上の異なる角度から光を
照射可能であることを特徴とする請求項１乃至請求項３
のいずれかに記載の光学部品の観察・検査装置。 - 【請求項５】保持台回転機構又は観察系回転機構が電気
信号によって傾斜角度、回転量、回転速度等を制御可能
なアクチュエータを備えてなることを特徴とする請求項
１乃至請求項４のいずれかに記載の光学部品の観察・検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11117173A JP2000304650A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | 光学部品の観察・検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11117173A JP2000304650A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | 光学部品の観察・検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000304650A true JP2000304650A (ja) | 2000-11-02 |
Family
ID=14705252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11117173A Pending JP2000304650A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | 光学部品の観察・検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000304650A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020051959A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | シチズンファインデバイス株式会社 | 表面検査装置、部品の製造方法およびプログラム |
| JP2020060387A (ja) * | 2018-10-05 | 2020-04-16 | 三菱電線工業株式会社 | 光学系端面検査具 |
-
1999
- 1999-04-23 JP JP11117173A patent/JP2000304650A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020051959A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | シチズンファインデバイス株式会社 | 表面検査装置、部品の製造方法およびプログラム |
| JP7049970B2 (ja) | 2018-09-28 | 2022-04-07 | シチズンファインデバイス株式会社 | 表面検査装置、部品の製造方法およびプログラム |
| JP2020060387A (ja) * | 2018-10-05 | 2020-04-16 | 三菱電線工業株式会社 | 光学系端面検査具 |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060417 |
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|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080507 |
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