JP2000298207A - Color filter and production thereof - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To effectively protect a color layer from heat treatment and to prevent production of cracks and wrinkles by forming a protective layer containing a fluorine-contg. aromatic resin, having specified or higher transmittance in the visible light (460 to 610 nm) region. SOLUTION: This color filter has a protective film containing a fluorine- contg. aromatic resin, having 90% transmittance for the visible ray (460 to 610 nm) region. It is required that the fluorine-contg. aromatic resin has almost no absorption in the visible light region, namely, it is substantially transparent over the whole visible light region. More specifically, transmittance in the visible light region of a film having >=1 μm film thickness and containing 50 wt.% as higher fluorine-contg. aromatic resin is specified to 90% or higher, more preferably 95% or higher and most preferably 98% or higher. Thereby, the protective film having superior heat resistance and chemical resistance is formed, a color layer can be effectively protected from heat treatment in the production process of the color filter, especially in the forming process of a transparent conductive film, and occurrence of cracks and wrinkles can be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルター
に関するものである。より詳しくは、本発明は、耐熱性
に優れ、凹凸の少ない平坦な透明導電膜が形成でき、さ
らに、透明基板との接着強度が大きい保護膜を有するカ
ラーフィルター、特にカラー液晶表示装置に使用される
カラーフィルターおよびその製造方法に関するものであ
る。[0001] The present invention relates to a color filter. More specifically, the present invention is used for a color filter, particularly a color liquid crystal display device, which is excellent in heat resistance, can form a flat transparent conductive film with little unevenness, and further has a protective film having a large adhesive strength with a transparent substrate. And a method for manufacturing the same.

【０００２】[0002]

【従来の技術】カラー液晶表示装置は、透明電極を設け
たガラス等の透明な基板を１ないし１０μｍ程度の間隔
を設けてその間に液晶物質を封入し、電極間に印加した
電圧によって液晶を一定の方向に配向させて透明部分と
不透明部分を形成して画像を表示するが、この際、カラ
ー液晶表示装置には、いずれかの透明電極基板上に光の
三原色に対応する赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の三
色のカラーフィルターが設けられており、透明電極への
印加電圧の調整によって液晶の光の透過を制御してＲ、
Ｇ、Ｂの３色のフィルターを透過する光量を制御して３
原色の加色による発色によってカラー表示を行ってい
る。2. Description of the Related Art In a color liquid crystal display device, a transparent substrate such as glass provided with a transparent electrode is provided with an interval of about 1 to 10 .mu.m and a liquid crystal substance is sealed therebetween, and the liquid crystal is kept constant by a voltage applied between the electrodes. The image is displayed by forming a transparent part and an opaque part by orienting in the direction of (1). At this time, the color liquid crystal display device has red (R) corresponding to the three primary colors of light on one of the transparent electrode substrates. Three color filters of green (G) and blue (B) are provided, and the transmission of light of the liquid crystal is controlled by adjusting the voltage applied to the transparent electrode.
By controlling the amount of light transmitted through the three color filters G and B,
Color display is performed by adding colors by adding primary colors.

【０００３】カラー液晶表示装置のカラーフィルターで
は、透明基板、着色層、保護膜、及び透明導電膜がこの
順で積層されている。このうち、保護膜は熱、水蒸気や
エッチングに使用される薬剤から着色層を保護すると共
に、透明導電膜の基材としての役割を果たしている。保
護膜としては、従来、透明でかつその後のカラーフィル
ターの製造工程での熱処理温度に耐える材料から製造さ
れるものが挙げられるが、特に、熱硬化性のウレタン樹
脂、アクリル樹脂（例えば、特開平１−１０２４２９
号、特開昭６４−３５４１７号、特開昭６４−７０７９
２号、特開平５−７０１２２号、特公平５−７０１２２
号公報）やポリイミド樹脂（特開昭６２−１６３０１７
号、特開平１−１１４８２０号公報）、および光硬化性
のアクリル樹脂（例えば、特許第２８３９９３６号、特
開平５−４０２０４号、特開平５−２６４８１１号公
報）やポリイミド樹脂から製造される保護膜；２種の材
料から形成される保護膜（例えば、特許第２６４００９
７号公報）；ならびに２層状の保護膜（例えば、特開昭
６３−２６９５７０号、特開平２−３７３２５号、特開
平６−４３３１７号公報）などが使われている。In a color filter of a color liquid crystal display device, a transparent substrate, a colored layer, a protective film, and a transparent conductive film are laminated in this order. Among them, the protective film protects the colored layer from heat, water vapor, and chemicals used for etching, and plays a role as a base material of the transparent conductive film. Examples of the protective film include those which are conventionally made of a material which is transparent and which can withstand the heat treatment temperature in the subsequent color filter manufacturing process. In particular, a thermosetting urethane resin, an acrylic resin (for example, 1-1024429
JP-A-64-35417, JP-A-64-7079
No. 2, JP-A-5-70122, Japanese Patent Publication No. 5-70122
JP-A-62-163017 and polyimide resin
, JP-A-1-114820), a protective film made of a photocurable acrylic resin (for example, Japanese Patent No. 2839936, JP-A-5-40204, JP-A-5-264911) and a polyimide resin A protective film formed from two kinds of materials (for example, Japanese Patent No.
No. 7); and a two-layer protective film (for example, JP-A-63-269570, JP-A-2-37325, and JP-A-6-43317).

【０００４】しかしながら、カラー液晶表示装置の保護
膜として熱硬化性樹脂を使用した場合には、保護膜がカ
ラーフィルターの全面に形成されるので、保護膜を所定
の領域に限定することが困難である。また、保護膜がカ
ラーフィルター全面に形成されている場合には、カラー
フィルターと対向電極を接着剤によってはり合わせる際
に対向電極との接着を保護膜を介して行うこととなるた
めに充分な接着強度が得られないという問題がある。ま
た、カラーフィルターと透明電極とをはり合わせた後の
表示品質を検査した際にその品質に問題があって不良品
と判断された場合、カラーフィルターを再利用するため
に液晶のシール剤を剥離し、さらにタブを剥離する際
に、着色層の外周部の全面に保護膜を有するとシール剤
あるいはタブと共にカラーフィルターに形成された透明
電極もともに剥離してしまい、カラーフィルターの再利
用ができないという問題もある。However, when a thermosetting resin is used as a protective film of a color liquid crystal display device, it is difficult to limit the protective film to a predetermined region because the protective film is formed on the entire surface of the color filter. is there. In addition, when the protective film is formed on the entire surface of the color filter, when the color filter and the counter electrode are bonded to each other with an adhesive, the bonding with the counter electrode is performed through the protective film. There is a problem that strength cannot be obtained. In addition, when the display quality after laminating the color filter and the transparent electrode is judged to be defective due to a quality problem, the liquid crystal sealant is peeled off in order to reuse the color filter. When the tab is further removed, if the protective layer is provided on the entire outer peripheral portion of the colored layer, the transparent electrode formed on the color filter together with the sealing agent or the tab is also peeled off, and the color filter cannot be reused. There is also a problem.

【０００５】このような問題を考慮して、保護膜を形成
する部分を特定の部分に限るため、硬化すべき部分をマ
スクによって限定することが容易な光硬化性樹脂を用い
ることが試みられた。しかしながら、光硬化性樹脂とし
て従来から使用されている感光性ポリイミド樹脂は、吸
湿性が高く、また電極の形成等の際に使用するアルカリ
性の溶液に対する耐食性に欠ける上、高価であるため、
実用上好ましくない。また、従来の感光性アクリル樹脂
は、耐熱性に乏しく更に保護膜上に比較的厚い透明導電
性膜を形成した際に、カラーフィルター上にクラックや
しわが発生するという欠点を有する。[0005] In consideration of such problems, in order to limit the portion where the protective film is formed to a specific portion, an attempt has been made to use a photocurable resin in which the portion to be cured can be easily limited by a mask. . However, a photosensitive polyimide resin conventionally used as a photocurable resin has high hygroscopicity and lacks corrosion resistance to an alkaline solution used in forming an electrode or the like, and is expensive.
Not practically preferable. Further, the conventional photosensitive acrylic resin has a defect that cracks and wrinkles are generated on a color filter when a relatively thick transparent conductive film is formed on a protective film because of poor heat resistance.

【０００６】また、カラー液晶表示装置のカラーフィル
ターとして利用するためには、着色層のＲ、Ｇ、Ｂの位
置に対応する部分の液晶を駆動する透明導電膜（透明電
極）が、着色層の保護膜上に設けられている。カラーテ
レビの表示装置のように透明基板上に形成した薄膜トラ
ンジスタ（ＴＦＴ）の対極として作用する透明電極を保
護膜上に形成するアクティブ方式の液晶の駆動において
は透明電極の平坦性の問題は特に重要ではないが、パソ
コンのカラーディスプレーに使用されているＳＴＮ方式
による液晶の駆動方法の場合には、透明電極の平坦性が
大きな問題となる。このため、保護膜が十分平坦である
か否かが透明電極の平坦性を得る上での大きな鍵とな
る。Further, in order to use as a color filter of a color liquid crystal display device, a transparent conductive film (transparent electrode) for driving the liquid crystal in a portion corresponding to the positions of R, G and B of the colored layer is provided. It is provided on the protective film. The flatness of a transparent electrode is particularly important in driving an active type liquid crystal in which a transparent electrode acting as a counter electrode of a thin film transistor (TFT) formed on a transparent substrate, such as a display device of a color television, is formed on a protective film. However, in the case of the STN-type liquid crystal driving method used for a personal computer color display, the flatness of the transparent electrode is a major problem. Therefore, whether or not the protective film is sufficiently flat is a key to obtaining the flatness of the transparent electrode.

【０００７】さらに、保護膜を着色層上に限定する場合
にも着色層の周囲の壁面および壁面と隣接した透明基板
上に保護膜を形成して着色層を保護するが、着色層の周
辺部の透明基板と保護膜との接着強度が十分でない場合
には保護膜が透明基板から剥離したり、透明電極の成膜
工程や液晶表示装置の組立工程において使用される薬剤
や上記工程中で生じる水蒸気等が透明基板と保護膜との
間を浸透して着色層に悪影響を及ぼす。Further, when the protective film is limited on the colored layer, the colored layer is protected by forming the protective film on the wall surrounding the colored layer and on the transparent substrate adjacent to the wall. If the adhesive strength between the transparent substrate and the protective film is not sufficient, the protective film may be peeled off from the transparent substrate, or may occur during the above-described process or the chemical used in the film forming process of the transparent electrode or the assembly process of the liquid crystal display device. Water vapor or the like penetrates between the transparent substrate and the protective film and adversely affects the colored layer.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、カラーフィルターの製造工程、特に透明導電膜
の形成工程における熱処理から着色層を有効に保護で
き、これによりカラーフィルター上にクラックやしわが
発生が防止できる保護膜を有するカラーフィルターおよ
びその製造方法を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to effectively protect a colored layer from a heat treatment in a process of manufacturing a color filter, particularly in a process of forming a transparent conductive film. An object of the present invention is to provide a color filter having a protective film capable of preventing occurrence of wrinkles and a method for manufacturing the same.

【０００９】本発明の他の目的は、カラーフィルターの
製造工程、特に透明導電膜の形成工程における熱処理か
ら着色層を有効に保護できると同時に、凹凸の少ない平
坦な透明導電膜を形成することが可能な保護膜を有する
カラーフィルターおよびその製造方法を提供することで
ある。Another object of the present invention is to form a flat transparent conductive film with little unevenness while effectively protecting the colored layer from heat treatment in the process of manufacturing a color filter, especially in the process of forming the transparent conductive film. An object of the present invention is to provide a color filter having a possible protective film and a method for manufacturing the same.

【００１０】本発明のさらなる他の目的は、カラーフィ
ルターの製造工程、特に透明導電膜の形成工程における
熱処理から着色層を有効に保護でき、凹凸の少ない平坦
な透明導電膜を形成することが可能であり、かつ透明基
板と保護膜との接着強度を向上させて保護膜の周囲から
の剥離や透明基板及び保護膜間に透明電極の成膜工程や
液晶表示装置の組立工程において使用される薬剤や上記
工程中で生じる水蒸気が浸透するのを有効に防止できる
保護膜を有するカラーフィルターおよびその製造方法を
提供することである。Still another object of the present invention is to form a flat transparent conductive film with little unevenness, which can effectively protect the colored layer from heat treatment in the process of manufacturing a color filter, especially in the process of forming a transparent conductive film. And a chemical agent used in a process of forming a transparent electrode between the transparent substrate and the protective film, or a process of assembling a liquid crystal display device, by improving the adhesive strength between the transparent substrate and the protective film and peeling from the periphery of the protective film or between the transparent substrate and the protective film. And a color filter having a protective film capable of effectively preventing penetration of water vapor generated in the above steps, and a method for producing the same.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記諸目
的を達成するために鋭意検討した結果、含フッ素芳香族
樹脂が耐熱性や耐薬品性に優れていることに着目し、こ
のような含フッ素芳香族樹脂を用いて保護膜を製造する
ことにより、耐熱性及び耐薬品性に優れた保護膜が形成
でき、保護膜上に比較的厚い透明導電性膜を形成する際
であっても、カラーフィルター上にほとんどクラックや
しわが発生しないことを発見した。Means for Solving the Problems The present inventors have made intensive studies to achieve the above objects, and as a result, have noticed that fluorine-containing aromatic resins are excellent in heat resistance and chemical resistance. By producing a protective film using such a fluorinated aromatic resin, a protective film having excellent heat resistance and chemical resistance can be formed, which is a problem when forming a relatively thick transparent conductive film on the protective film. We found that there were almost no cracks or wrinkles on the color filters.

【００１２】また、本発明者らは、含フッ素芳香族樹脂
をＣＶＤ処理により保護膜とすることにより、着色層上
に形成されたＲ、Ｇ、Ｂ部分と基板表面との高さが違う
（Ｒ、Ｇ、Ｂ部分及び基板表面により凹凸部が形成され
る）にもかかわらず、凹凸がきわめて少ない平坦性の良
好な表面を有する保護膜となり、これによりカラーフィ
ルター上の透明電極が対向基板と短絡したり、あるいは
凹凸による液晶層の厚さの違いによる表示むらが生じた
りすることを有効に防止できることをも発見した。In addition, the present inventors differ in the height between the R, G, and B portions formed on the colored layer and the substrate surface by using the fluorine-containing aromatic resin as a protective film by CVD. (Uneven portions are formed by the R, G, and B portions and the substrate surface), but the protective film has a flat surface with very little unevenness and good flatness. It has also been found that a short circuit or display unevenness due to a difference in the thickness of the liquid crystal layer due to unevenness can be effectively prevented.

【００１３】さらに、本発明者らは、含フッ素芳香族樹
脂の保護膜を用いることにより、優れた基板と保護膜と
の密着性が得られ、これにより保護膜が透明基板から剥
離したり、透明電極の成膜工程や液晶表示装置の組立工
程において使用される薬剤や上記工程中で生じる水蒸気
等が透明基板と保護膜との間を浸透しないカラーフィル
ターの製造方法が達成できることをも発見した。これら
の知見に基づいて、本発明を完成するに至った。Further, the present inventors can obtain excellent adhesion between the substrate and the protective film by using the protective film made of the fluorine-containing aromatic resin, whereby the protective film can be peeled off from the transparent substrate, It has also been discovered that a method of manufacturing a color filter can be achieved in which a chemical used in a film forming process of a transparent electrode and an assembling process of a liquid crystal display device and water vapor generated in the above process do not penetrate between a transparent substrate and a protective film. . Based on these findings, the present invention has been completed.

【００１４】すなわち、上記諸目的は、以下の（ア）〜
（オ）によって達成される。That is, the above objects are as follows:
(E) is achieved.

【００１５】（ア）可視光（４６０〜６１０ｎｍ）領域
における透過率が９０％以上である含フッ素芳香族樹脂
を含む保護膜を有するカラーフィルター。(A) A color filter having a protective film containing a fluorine-containing aromatic resin having a transmittance of 90% or more in a visible light (460 to 610 nm) region.

【００１６】（イ）透明基板上に着色層を形成し、該着
色層上に前記（ア）に記載の含フッ素芳香族樹脂の薄膜
を保護膜として形成することからなるカラーフィルター
の製造方法。(A) A method for producing a color filter, comprising: forming a colored layer on a transparent substrate; and forming a thin film of the fluorine-containing aromatic resin described in (a) above as a protective film on the colored layer.

【００１７】（ウ）前記保護膜が含フッ素芳香族化合物
の化学的蒸着によって形成される、前記（イ）に記載の
方法。(C) The method according to (a), wherein the protective film is formed by chemical vapor deposition of a fluorine-containing aromatic compound.

【００１８】（エ）前記含フッ素芳香族化合物が以下の
群から選ばれるものである、前記（ウ）に記載の方法：(D) The method according to (c) above, wherein the fluorine-containing aromatic compound is selected from the following group:

【００１９】[0019]

【化１】 Embedded image

【００２０】ただし、Ｘ、Ｘ¹、Ｘ²及びＸ³は、それぞ
れ独立して、フッ素原子、塩素原子またはメチル基を表
し；Ｚ¹及びＺ²は、それぞれ独立して、臭素原子、塩素
原子またはヨウ素原子を表し；ｋ及びｋ’は、それぞれ
独立して、０〜４の整数であり；ｍ及びｍ’は、それぞ
れ独立して、０〜３の整数であり；ならびにｎは０〜２
の整数である。Wherein X, X ¹ , X ² and X ³ each independently represent a fluorine atom, a chlorine atom or a methyl group; Z ¹ and Z ² each independently represent a bromine atom, a chlorine atom Or i represents an iodine atom; k and k ′ are each independently an integer from 0 to 4; m and m ′ are each independently an integer from 0 to 3;
Is an integer.

【００２１】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail.

【００２２】第一の概念によると、本発明は、可視光
（４６０〜６１０ｎｍ）領域における透過率が９０％以
上である含フッ素芳香族樹脂を含む保護膜を有するカラ
ーフィルターを提供する。According to the first concept, the present invention provides a color filter having a protective film containing a fluorine-containing aromatic resin having a transmittance of 90% or more in a visible light (460 to 610 nm) region.

【００２３】本発明において、含フッ素芳香族樹脂は、
可視光領域においてほとんど吸収のない、すなわち、可
視光（４６０〜６１０ｎｍ）領域全域にわたって実質的
に透明であることを必須とし、詳しくは、含フッ素芳香
族樹脂を５０重量％以上含む膜厚１μｍの膜での、可視
光（４６０〜６１０ｎｍ）領域における透過率が９０％
以上、より好ましくは９５％以上、最も好ましくは９８
％以上である。In the present invention, the fluorinated aromatic resin is
It is essential that the film has almost no absorption in the visible light region, that is, it is essentially transparent over the entire visible light (460 to 610 nm) region. 90% transmittance in the visible light (460-610 nm) region of the film
Or more, more preferably 95% or more, and most preferably 98% or more.
% Or more.

【００２４】本発明において保護膜に使用される含フッ
素芳香族樹脂は、可視光（４６０〜６１０ｎｍ）領域に
おいてほとんど吸収のないものであれば特に制限される
ものではなく、含フッ素芳香族化合物を重合することに
よって得られる。本発明において使用される含フッ素芳
香族化合物としては、特に制限されないが、具体的に
は、環状骨格部に２個のＣＦ₂Ｚ（Ｚ＝Ｂｒ、Ｉまたは
Ｃｌ）基を有するベンゼン、ビフェニル、フェニルエー
テル、インデン、インダン、ナフタレン、１，４−ジヒ
ドロナフタレン、テトラリン、ビフェニレン、アセナフ
チレン、アセナフテン、フルオレン、フェナントレン、
アントラセン、フルオランテン、アセアントレン、ピレ
ン、１−フェニルナフタリン及び２−フェニルナフタリ
ン；ならびに下記式（１）〜（３）で示される化合物が
挙げられる。The fluorinated aromatic resin used for the protective film in the present invention is not particularly limited as long as it hardly absorbs in the visible light (460 to 610 nm) region. Obtained by polymerization. The fluorinated aromatic compound used in the present invention is not particularly limited, but specifically, benzene, biphenyl, or the like having _two CF ₂ Z (Z = Br, I or Cl) groups in the cyclic skeleton portion. Phenyl ether, indene, indane, naphthalene, 1,4-dihydronaphthalene, tetralin, biphenylene, acenaphthylene, acenaphthene, fluorene, phenanthrene,
Anthracene, fluoranthene, aceantrene, pyrene, 1-phenylnaphthalene and 2-phenylnaphthalene; and compounds represented by the following formulas (1) to (3).

【００２５】[0025]

【化２】 Embedded image

【００２６】[0026]

【化３】 Embedded image

【００２７】[0027]

【化４】 Embedded image

【００２８】上記式（１）及び（２）において、Ｘ¹及
びＸ²は、それぞれ独立して、フッ素原子、塩素原子ま
たはメチル基、好ましくはフッ素原子を表し；ならびに
ｋ及びｋ’は、それぞれ独立して、０〜４、好ましくは
０、３、４の整数、より好ましくは０、４の整数であ
る。また、上記式（３）において、Ｙ¹及びＹ²は、それ
ぞれ独立して、フッ素原子またはメチル基、好ましくは
フッ素原子を表し；ｐ及びｐ’は、それぞれ独立して、
１〜４、好ましくは１、３、４の整数、より好ましくは
１、４の整数であり；かつＹ¹及びＹ²の少なくとも一は
フッ素原子を表す。In the above formulas (1) and (2), X ¹ and X ² each independently represent a fluorine atom, a chlorine atom or a methyl group, preferably a fluorine atom; Independently, it is an integer of 0-4, preferably 0,3,4, more preferably 0,4. In the above formula (3), Y ¹ and Y ² each independently represent a fluorine atom or a methyl group, preferably a fluorine atom; p and p ′ each independently represent
1 to 4, preferably an integer of 1, 3, 4; more preferably an integer of 1, 4; and at least one of Y ¹ and Y ² represents a fluorine atom.

【００２９】上記した含フッ素芳香族化合物のうち、環
状骨格部において２個のＣＦ₂Ｚ（Ｚ＝Ｂｒ、Ｉまたは
Ｃｌ；以下、同様）基を有するベンゼン、ナフタレン及
びアントラセン；ならびに式（１）〜（３）で示される
化合物、より好ましくは環状骨格部において２個のＣＦ
₂Ｚ基を有するベンゼン、ナフタレン及びアントラセン
が好ましく使用される。さらに、本発明において好まし
く使用される環状骨格部に２個のＣＦ₂Ｚ基を有するベ
ンゼン、ナフタレン及びアントラセンにおいて、置換基
であるＣＦ₂Ｚ基の結合位置は、重合する際の含フッ素
芳香族樹脂の２次構造の点を考慮すると、環状骨格部に
おいて対称の位置となることが望ましく、即ち、下記６
種の含フッ素芳香族化合物が本発明において特に好まし
く使用される。Of the above-mentioned fluorine-containing aromatic compounds, benzene, naphthalene and anthracene having _two CF ₂ Z (Z = Br, I or Cl; the same applies hereinafter) groups in the cyclic skeleton portion; To (3), more preferably two CFs in the cyclic skeleton
Benzene, naphthalene and anthracene having a ₂ Z group are preferably used. Further, in benzene, naphthalene and anthracene having _two CF ₂ Z groups in the cyclic skeleton part preferably used in the present invention, the bonding position of the CF ₂ Z group as a substituent is determined by the fluorine-containing aromatic group at the time of polymerization. In consideration of the secondary structure of the resin, it is desirable that the symmetrical positions are provided in the cyclic skeleton portion.
Fluorine-containing aromatic compounds are particularly preferably used in the present invention.

【００３０】[0030]

【化５】 Embedded image

【００３１】上記式において、Ｘ、Ｘ¹、Ｘ²及びＸ
³は、それぞれ独立して、フッ素原子、塩素原子または
メチル基、好ましくはフッ素原子を表し；Ｚ¹及びＺ
²は、それぞれ独立して、臭素原子、塩素原子またはヨ
ウ素原子、好ましくは臭素原子を表し；ｋ及びｋ’は、
それぞれ独立して、０〜４、好ましくは０、３、４の整
数、より好ましくは０、４の整数であり；ｍ及びｍ’
は、それぞれ独立して、０〜３、好ましくは０、３の整
数であり；ならびにｎは０〜２、好ましくは０、２の整
数である。In the above formula, X, X ¹ , X ² and X
³ each independently represents a fluorine atom, a chlorine atom or a methyl group, preferably a fluorine atom; Z ¹ and Z
² each independently represents a bromine, chlorine or iodine atom, preferably a bromine atom; k and k ′ are
Each independently is an integer from 0-4, preferably 0,3,4, more preferably an integer 0,4; m and m '
Are each independently an integer from 0 to 3, preferably 0 or 3; and n is an integer from 0 to 2, preferably 0 or 2.

【００３２】本発明によると、含フッ素芳香族樹脂は、
上記含フッ素芳香族化合物を、必要であれば重合開始剤
等の他の添加剤と共に重合することによって得られる。
含フッ素芳香族樹脂としては、好ましくは、以下の６種
のいずれかが使用される。なお、本発明において、一種
の含フッ素芳香族樹脂が保護膜を形成することが好まし
いが、所望の特性によっては、二種以上の含フッ素芳香
族樹脂から保護膜を形成してもよい。According to the present invention, the fluorinated aromatic resin is
It can be obtained by polymerizing the above-mentioned fluorinated aromatic compound together with another additive such as a polymerization initiator, if necessary.
As the fluorinated aromatic resin, any one of the following six types is preferably used. In the present invention, it is preferable that one kind of fluorinated aromatic resin forms the protective film. However, depending on desired characteristics, the protective film may be formed of two or more kinds of fluorinated aromatic resin.

【００３３】[0033]

【化６】 Embedded image

【００３４】上記式において、Ｘ、Ｘ¹、Ｘ²、Ｘ³、
ｋ、ｋ’、ｍ、ｍ’、及びｎは、上記含フッ素芳香族化
合物の好ましい例で記載された定義と同様であり、なら
びにｑは、保護膜の所定の膜厚によって異なるが、平
均、通常、１，０００〜１，０００，０００、好ましく
は１０，０００〜１００，０００である。In the above formula, X, X ¹ , X ² , X ³ ,
k, k ′, m, m ′, and n are the same as the definitions described in the preferred examples of the above-mentioned fluorine-containing aromatic compound, and q differs depending on the predetermined thickness of the protective film. Usually, it is 1,000 to 1,000,000, preferably 10,000 to 100,000.

【００３５】本発明において、保護膜は、含フッ素芳香
族樹脂に加えて、さらに他の成分を含んでいてもよい。
さらなる成分としては、例えば、ポリイミド、ポリアミ
ドイミド、ポリ尿素、ポリウレタン、及びポリアゾメチ
ンなどが挙げられる。In the present invention, the protective film may further contain other components in addition to the fluorinated aromatic resin.
Additional components include, for example, polyimide, polyamideimide, polyurea, polyurethane, polyazomethine, and the like.

【００３６】第二の概念によると、本発明は、透明基板
上に着色層を形成し、この着色層上に本発明の含フッ素
芳香族樹脂の薄膜を保護膜として形成することからなる
カラーフィルターの製造方法を提供する。According to a second concept, the present invention provides a color filter comprising forming a colored layer on a transparent substrate and forming a thin film of the fluorine-containing aromatic resin of the present invention on the colored layer as a protective film. And a method for producing the same.

【００３７】以下に、上記概念を図１を参照しながら説
明する。The above concept will be described below with reference to FIG.

【００３８】図１は、本発明の一実施態様によるカラー
フィルターの断面図を示すものである。本発明におい
て、カラーフィルターの製造は、周知の方法により行う
ことができ、例えば、図示したものを例にとると、ガラ
ス基板上に、印刷法やフォトリソグラフィー法によりブ
ラックマトリックスと、色フィルターの赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）及び青（Ｂ）等の染料、顔料等の色材による各色
層を形成した後、着色層の上に本発明による保護膜を形
成し、さらに、保護膜上に透明導電膜（透明電極）を形
成することによって行われる。FIG. 1 is a sectional view of a color filter according to an embodiment of the present invention. In the present invention, the production of the color filter can be performed by a well-known method. For example, in the case of the illustrated example, a black matrix and a red color filter are formed on a glass substrate by a printing method or a photolithography method. (R), after forming each color layer with a coloring material such as a dye and a pigment such as green (G) and blue (B), a protective film according to the present invention is formed on the colored layer, and further on the protective film. This is performed by forming a transparent conductive film (transparent electrode).

【００３９】本発明において、透明基板の素材として
は、光透過性及び好ましくは耐熱性を有するものが使用
されるが、特に制限されず公知のものが使用できる。こ
のような透明基板を構成する素材の例としては、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、
ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホ
ン、ポリビニルアルコールや酢酸セルロース等の高分子
化合物；ソーダガラスや硼珪酸ガラス等のガラス；およ
び石灰やサファイア等の無機物質などが挙げられる。In the present invention, as the material of the transparent substrate, a material having light transmittance and preferably heat resistance is used, but is not particularly limited, and a known material can be used. Examples of the material constituting such a transparent substrate include polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate,
Polymer compounds such as polystyrene, polycarbonate, polyether sulfone, polyvinyl alcohol and cellulose acetate; glasses such as soda glass and borosilicate glass; and inorganic substances such as lime and sapphire.

【００４０】本発明において、このような透明基板は、
公知の方法を用いて、上記素材を板状、シート状あるい
はフィルム状に成形することによって製造される。ま
た、透明基板の厚みは、目的とする特性及びその材質に
合わせて適宜選択することができる。In the present invention, such a transparent substrate comprises:
It is manufactured by forming the above-mentioned material into a plate, sheet, or film using a known method. In addition, the thickness of the transparent substrate can be appropriately selected in accordance with desired characteristics and its material.

【００４１】本発明において、着色層もまた、特に制限
されず公知のものが使用できる。具体的には、図１に示
されるような赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の組み合
わせあるいはシアン、マゼンタ及びイエローの組み合わ
せ；ならびに上記組み合わせのうち２種の画素を有する
ものが挙げられる。また、これらの画素の配列は、スト
ライプ状やモザイク状など、規則的であればいずれの配
列でもよい。さらに、着色層の厚みは、透明基板の場合
と同様、用途及びその材質などに合わせて適宜選択する
ことができる。In the present invention, the coloring layer is also not particularly limited, and a known layer can be used. Specifically, as shown in FIG. 1, a combination of red (R), green (G) and blue (B) or a combination of cyan, magenta and yellow; No. Further, the arrangement of these pixels may be any arrangement as long as it is regular, such as a stripe shape or a mosaic shape. Further, the thickness of the colored layer can be appropriately selected according to the use and the material thereof, as in the case of the transparent substrate.

【００４２】本発明において、着色層の表面に形成され
る保護膜は、本願発明による含フッ素芳香族樹脂からな
ることを必須とし、これにより、たとえ保護膜上に厚い
透明電極を形成しても、クラックやしわが発生せず、同
時に凹凸の少ない平坦性の優れた膜であって透明基板と
の接着性の優れた保護膜が得られる。In the present invention, it is essential that the protective film formed on the surface of the colored layer be made of the fluorinated aromatic resin according to the present invention, so that even if a thick transparent electrode is formed on the protective film. In addition, it is possible to obtain a protective film which is free from cracks and wrinkles, has little unevenness, has excellent flatness, and has excellent adhesion to a transparent substrate.

【００４３】本発明において、保護膜の厚みは、前記と
同様、用途及びその材質などに合わせて適宜選択するこ
とができる。In the present invention, the thickness of the protective film can be appropriately selected according to the use and the material thereof, as described above.

【００４４】また、本発明において、保護膜の着色層上
への形成方法としては、特に制限されず公知の方法が使
用されるが、例えば、スピンコーティング、ロールコー
ティング、スプレイコーティング、バーコーティング、
フレキソ印刷、および化学的蒸着（ＣＶＤ）などの方法
により、上記含フッ素芳香族化合物を着色層上で重合し
て本発明による含フッ素芳香族樹脂膜を形成する方法な
どが挙げられ、これらのうち、凹凸の少ない平滑な保護
膜の形成が可能である点などを考慮すると、化学的蒸着
（ＣＶＤ）法が好ましい。In the present invention, the method of forming the protective film on the colored layer is not particularly limited, and a known method can be used. Examples of the method include spin coating, roll coating, spray coating, bar coating, and the like.
A method of forming the fluorine-containing aromatic resin film according to the present invention by polymerizing the above-mentioned fluorine-containing aromatic compound on the coloring layer by a method such as flexographic printing and chemical vapor deposition (CVD), and the like. In view of the fact that a smooth protective film with little unevenness can be formed, a chemical vapor deposition (CVD) method is preferable.

【００４５】ここで、化学的蒸着（ＣＶＤ）により含フ
ッ素芳香族樹脂の保護膜を着色膜上に形成する実施態様
を以下に詳述する。Here, an embodiment in which a protective film of a fluorine-containing aromatic resin is formed on a colored film by chemical vapor deposition (CVD) will be described in detail below.

【００４６】本発明において使用される化学的蒸着（Ｃ
ＶＤ）としては、熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ及び光ＣＶ
Ｄ等公知の化学的蒸着法が使用されるが、これらのう
ち、熱によって活性種を容易に生成することができるか
ら、熱ＣＶＤが好ましく使用され、特に、特開平６−３
３，２２４号に記載される方法が好ましく使用される。The chemical vapor deposition (C) used in the present invention
VD) includes thermal CVD, plasma CVD and optical CV
A known chemical vapor deposition method such as D is used. Among them, thermal CVD is preferably used because active species can be easily generated by heat.
The method described in US Pat. No. 3,224 is preferably used.

【００４７】また、ＣＶＤ工程において、上記含フッ素
芳香族化合物を必須に使用するが、必要であれば、アル
ゴン、窒素、ヘリウムガス等のキャリアガスをさらに使
用してもよい。In the CVD process, the above-mentioned fluorine-containing aromatic compound is essentially used. If necessary, a carrier gas such as argon, nitrogen, helium gas or the like may be further used.

【００４８】さらに、ＣＶＤ法において、反応条件は使
用するＣＶＤの種類および目的とする薄膜の均一性や厚
さなどによって異なるが、例えば、熱ＣＶＤ法を用いる
際には、温度は、蒸発室では、０〜３００℃、好ましく
は１００〜２００℃であり、分解室では、４００〜１０
００℃、好ましくは６００〜８００℃であり、さらに蒸
着室では、−５０〜３００℃、好ましくは室温である。
この際、抵抗線加熱、高周波誘導加熱、赤外線ランプ加
熱やレーザビーム加熱等の公知の手段によって上記温度
範囲に設定できる。また、圧力は、７６０〜１０ｍｍＴ
ｏｒｒである。Further, in the CVD method, the reaction conditions vary depending on the kind of the CVD used and the uniformity and thickness of the target thin film. For example, when using the thermal CVD method, the temperature is set in the evaporation chamber. , 0-300 ° C., preferably 100-200 ° C., and 400-10
The temperature is 00 ° C., preferably 600 to 800 ° C., and in the vapor deposition chamber, it is −50 to 300 ° C., preferably room temperature.
At this time, the temperature can be set in the above-mentioned temperature range by known means such as resistance wire heating, high-frequency induction heating, infrared lamp heating, and laser beam heating. The pressure is 760-10mmT
orr.

【００４９】さらにまた、ＣＶＤ法に使用される反応装
置としては、特に制限されず、例えば、特開平６−３
３，２２４号に記載される装置、常圧ＣＶＤの際には、
縦型常圧ＣＶＤ装置、インライン型常圧ＣＶＤ装置やベ
ルトコンベア型常圧ＣＶＤ装置などが；減圧ＣＶＤの際
には、ホットウォール型減圧ＣＶＤ装置やコールドウォ
ール型減圧ＣＶＤ装置などが；プラズマＣＶＤの際に
は、丸型平行平板電極型プラズマＣＶＤ装置、誘導コイ
ル型プラズマＣＶＤ装置、ホットウォール型プラズマＣ
ＶＤ装置やマイクロ波電子サイクロトロン共鳴（ＥＣ
Ｒ）型プラズマＣＶＤ装置などが；ならびに光ＣＶＤの
際には、低圧水銀ランプ、エキシマレーザ、アルゴンレ
ーザ、超高圧水銀ランプ、重水素ランプ、希ガス共鳴
線、ハロゲンランプやＦｅ／Ｈｇ金属・ハロゲンランプ
を光源として用いたＣＶＤ装置およびこれらの２種以上
のフォトンを同時に吸収させて所定のエネルギー準位ま
で電子を励起させる多光子吸収法などが挙げられる。こ
れらのうち、特開平６−３３，２２４号に記載される装
置が特に好ましく使用される。Further, the reaction apparatus used in the CVD method is not particularly limited.
No. 3,224, in the case of atmospheric pressure CVD,
Vertical atmospheric pressure CVD apparatus, in-line atmospheric pressure CVD apparatus, belt conveyor type normal pressure CVD apparatus, etc .; In the case of low pressure CVD, hot wall type low pressure CVD apparatus, cold wall type low pressure CVD apparatus, etc .; In this case, a round parallel plate electrode type plasma CVD device, an induction coil type plasma CVD device, a hot wall type plasma C
VD equipment and microwave electron cyclotron resonance (EC
R) type plasma CVD apparatus, etc .; and in the case of photo CVD, low pressure mercury lamp, excimer laser, argon laser, ultra high pressure mercury lamp, deuterium lamp, rare gas resonance line, halogen lamp, Fe / Hg metal / halogen Examples include a CVD apparatus using a lamp as a light source, and a multiphoton absorption method in which two or more of these photons are simultaneously absorbed to excite electrons to a predetermined energy level. Of these, the apparatus described in JP-A-6-33,224 is particularly preferably used.

【００５０】上記態様では、保護膜の形成に、本発明に
よる含フッ素芳香族化合物、及び必要であればキャリア
ガスを使用したが、さらに必要であれば、重合開始剤を
使用してもよい。重合開始剤を使用する際の重合開始剤
の例としては、ベンゾフェノン、イルガキュアー１８４
（チバガイギー社製）、イルガキュアー９０７（チバガ
イギー社製）、イルガキャアー６５１（チバガイギー社
製）、およびダロキュアー（メルク社製）などが挙げら
れる。In the above embodiment, the fluorine-containing aromatic compound according to the present invention and, if necessary, a carrier gas are used for forming the protective film. However, if necessary, a polymerization initiator may be used. Examples of the polymerization initiator when using the polymerization initiator include benzophenone and Irgacure 184.
(Ciba-Geigy), Irgacure 907 (Ciba-Geigy), Irgacair 651 (Ciba-Geigy), and Darocure (Merck).

【００５１】次に、このようにして着色膜上に本発明に
よる含フッ素芳香族樹脂の保護膜が形成された後は、保
護膜上に既知の方法を用いてさらに透明導電性膜を設け
て、本願発明のカラーフィルターが得られる。Next, after the protective film of the fluorinated aromatic resin according to the present invention is formed on the colored film in this manner, a transparent conductive film is further provided on the protective film by a known method. Thus, the color filter of the present invention is obtained.

【００５２】[0052]

【実施例】以下、本発明の実施例により具体的に説明す
る。The present invention will be described more specifically below with reference to examples.

【００５３】実施例１ 赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）の顔料を、それ
ぞれ、下記表１に示すような組成比で、感光性樹脂に分
散させて、赤色、緑色及び青色の着色感光性樹脂を作製
する。Example 1 Red (R), green (G), and blue (B) pigments were dispersed in a photosensitive resin at the composition ratios shown in Table 1 below to form red, green, and blue pigments. To prepare a colored photosensitive resin.

【００５４】[0054]

【表１】 本実施例において、基板としては、厚さ１．１ｍｍのガ
ラス基板（旭硝子（株）製ＡＬ材）を充分に洗浄して用
いた。[Table 1] In this example, a glass substrate (AL material manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) having a thickness of 1.1 mm was sufficiently washed and used as the substrate.

【００５５】次に、この基板上に、上記表１の組成の赤
色感光性樹脂を１．２μｍの膜厚になるように塗布し、
その後温度７０℃で３０分間オーブン中で乾燥させ、水
銀ランプを用いて露光し、水によるスプレー現像を１分
間行い、赤色画素を形成すべき領域に赤色のレリーフ画
像を形成し、さらに１５０℃で３０分間、加熱硬化させ
た。Next, a red photosensitive resin having the composition shown in Table 1 was applied on the substrate so as to have a thickness of 1.2 μm.
Thereafter, the film is dried in an oven at a temperature of 70 ° C. for 30 minutes, exposed using a mercury lamp, spray-developed with water for 1 minute, and a red relief image is formed in a region where a red pixel is to be formed. Heat cured for 30 minutes.

【００５６】さらに、同様の工程を繰り返して、緑色画
素を形成すべき領域に緑色のレリーフ画素を形成し、青
色画素を形成すべき領域に青色のレリーフ画素を形成す
ることによって、着色層を基板上に形成した。Further, the same steps are repeated to form a green relief pixel in a region where a green pixel is to be formed and a blue relief pixel in a region where a blue pixel is to be formed, thereby forming a colored layer on the substrate. Formed on top.

【００５７】続いて、下記式の含フッ素芳香族化合物を
アルゴンガス中に０．５（ｖ／ｖ）％で、蒸発室におい
て１７５℃の温度かつ１Ｔｏｒｒの圧力で、分解室にお
いて６８０℃の温度でかつ０．５Ｔｏｒｒの圧力で、さ
らに蒸着室において３０℃の温度でかつ０．１Ｔｏｒｒ
の圧力で２０分間、熱ＣＶＤ処理することによって、上
記で作製された着色層上に１μｍの厚さの保護膜を成膜
した。Subsequently, a fluorine-containing aromatic compound represented by the following formula was added to argon gas at 0.5 (v / v)% at a temperature of 175 ° C. and 1 Torr in an evaporation chamber, and at a temperature of 680 ° C. in a decomposition chamber. At a pressure of 0.5 Torr and at a temperature of 30 ° C. in a vapor deposition chamber and at a pressure of 0.1 Torr.
A protective film having a thickness of 1 μm was formed on the colored layer prepared above by performing a thermal CVD process at a pressure of 20 minutes.

【００５８】[0058]

【化７】 Embedded image

【００５９】次に、このようにして形成された保護膜上
にスパッタリング法により、厚さ０．４μｍのＩＴＯ膜
（Indium Tin Oxide：酸化インジウムと酸化錫の複合
膜）を被覆し、透明導電膜を形成した。この透明導電膜
の平坦性を探針式膜厚計によって測定したところ、平坦
性は良好であった。Next, an ITO film (Indium Tin Oxide: composite film of indium oxide and tin oxide) having a thickness of 0.4 μm is coated on the protective film thus formed by a sputtering method. Was formed. When the flatness of the transparent conductive film was measured by a probe-type film thickness meter, the flatness was good.

【００６０】また、得られたカラーフィルターを４００
℃で加熱したところ、異状は認められず、カラーフィル
ターは充分な耐熱性を有することも示された。Further, the obtained color filter was
When heated at ℃, no abnormality was observed, indicating that the color filter had sufficient heat resistance.

【００６１】実施例２ 実施例１と同様の方法にしたがって、含フッ素芳香族樹
脂の保護膜を着色層上に形成した。保護膜とガラス基板
との接着強度を碁盤目試験（ＪＩＳ規格）により評価し
たところ、保護膜の基板からの剥離は全く認められなか
った。したがって、本発明の含フッ素芳香族樹脂の保護
膜は、基板との密着性の面で優れた特性を発揮している
ことが分かった。また、本発明の含フッ素芳香族樹脂の
保護膜の透明性あるいは光の透過特性の変化を肉眼で観
察したことろ、特段の変化は認められなかった。Example 2 In the same manner as in Example 1, a protective film of a fluorine-containing aromatic resin was formed on the colored layer. When the adhesive strength between the protective film and the glass substrate was evaluated by a grid test (JIS standard), no peeling of the protective film from the substrate was observed. Therefore, it was found that the protective film of the fluorine-containing aromatic resin of the present invention exhibited excellent characteristics in terms of adhesion to the substrate. In addition, when a change in transparency or light transmission characteristics of the protective film of the fluorine-containing aromatic resin of the present invention was visually observed, no particular change was observed.

【００６２】比較例１ 実施例１において、含フッ素芳香族化合物の代わりにポ
リイミドを用いて保護膜を形成する以外は、実施例１と
同様にして、カラーフィルターを製造した。このカラー
フィルターについて、実施例２と同様にして、保護膜と
ガラス基板との接着強度を評価したところ、保護膜の一
部が着色層から剥離していた。Comparative Example 1 A color filter was manufactured in the same manner as in Example 1, except that a protective film was formed using polyimide instead of the fluorine-containing aromatic compound. When the adhesion strength between the protective film and the glass substrate was evaluated for this color filter in the same manner as in Example 2, a part of the protective film was peeled off from the colored layer.

【００６３】比較例２ 実施例１において、保護膜の形成をＣＶＤの代わりにス
ピンコーティングを用いて行った以外は、実施例１と同
様にして、カラーフィルターを製造した。このカラーフ
ィルターについて、実施例１と同様にして、透明導電膜
の平坦性を測定したところ、保護膜上にかなりの凹凸が
認められた。Comparative Example 2 A color filter was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the protective film was formed by using spin coating instead of CVD. When the flatness of the transparent conductive film of this color filter was measured in the same manner as in Example 1, considerable unevenness was recognized on the protective film.

【００６４】[0064]

【発明の効果】上述したように、本願発明のカラーフィ
ルターは、可視光（４６０〜６１０ｎｍ）領域において
ほとんど吸収のない、好ましくは膜厚１μｍの際の可視
光（４６０〜６１０ｎｍ）領域全域における透過率が９
０％以上の含フッ素芳香族樹脂を含むことを特徴とする
ものである。したがって、本願発明のカラーフィルター
は耐熱性や耐薬品性に優れた含フッ素芳香族樹脂からな
る保護膜を有するので、耐熱性及び耐薬品性に優れた保
護膜が形成でき、カラーフィルターの製造工程、特に透
明導電膜の形成工程における熱処理から着色層を有効に
保護でき、さらに保護膜上に比較的厚い透明導電性膜を
形成する際であっても、カラーフィルター上にクラック
やしわが発生が防止できるという利点がある。As described above, the color filter of the present invention hardly absorbs in the visible light (460 to 610 nm) region, and preferably transmits light in the entire visible light (460 to 610 nm) region when the film thickness is 1 μm. Rate 9
It contains 0% or more of a fluorine-containing aromatic resin. Therefore, since the color filter of the present invention has a protective film made of a fluorine-containing aromatic resin having excellent heat resistance and chemical resistance, a protective film having excellent heat resistance and chemical resistance can be formed. In particular, the colored layer can be effectively protected from heat treatment in the step of forming the transparent conductive film, and even when a relatively thick transparent conductive film is formed on the protective film, cracks and wrinkles are generated on the color filter. There is an advantage that it can be prevented.

【００６５】また、本願発明のカラーフィルターの製造
方法は、透明基板上に着色層を形成し、この着色層上に
本願発明による含フッ素芳香族樹脂の薄膜を保護膜とし
て形成する、好ましくは保護膜を含フッ素芳香族化合物
の化学的蒸着（ＣＶＤ）によって形成することからなる
ことを特徴とするものである。したがって、本願発明の
方法は、上記利点に加えて、以下の多くの利点が得られ
る。The method of manufacturing a color filter according to the present invention comprises forming a colored layer on a transparent substrate, and forming a thin film of the fluorine-containing aromatic resin according to the present invention as a protective film on the colored layer, preferably a protective layer. The method is characterized in that the film is formed by chemical vapor deposition (CVD) of a fluorine-containing aromatic compound. Therefore, the method of the present invention has the following advantages in addition to the above advantages.

【００６６】（ａ）着色層上に形成されたＲ、Ｇ、Ｂ部
分と基板表面との高さがかなり違う（Ｒ、Ｇ、Ｂ部分及
び基板表面により凹凸部が形成される）場合でも、凹凸
がきわめて少ない平坦性の良好な表面を有する保護膜が
形成でき、これによりカラーフィルター上の透明電極が
対向基板と短絡したり、あるいは凹凸による液晶層の厚
さの違いによる表示むらが生じたりすることを有効に防
止できる。(A) Even when the heights of the R, G, and B portions formed on the coloring layer and the substrate surface are significantly different (an uneven portion is formed by the R, G, and B portions and the substrate surface), A protective film having a surface with good flatness with very little unevenness can be formed, which causes a short circuit between the transparent electrode on the color filter and the counter substrate, or uneven display due to a difference in the thickness of the liquid crystal layer due to unevenness. Can be effectively prevented.

【００６７】（ｂ）基板と保護膜との密着性に優れるの
で、保護膜が透明基板から剥離したり、透明電極の成膜
工程や液晶表示装置の組立工程において使用される薬剤
や上記工程中で生じる水蒸気等が透明基板と保護膜との
間を浸透するのを有効に防止できる。(B) Since the adhesion between the substrate and the protective film is excellent, the protective film may be peeled off from the transparent substrate, or may be used in the step of forming a transparent electrode or in the step of assembling a liquid crystal display device. Can be effectively prevented from penetrating between the transparent substrate and the protective film.

【００６８】（ｃ）本願発明による含フッ素芳香族樹脂
は優れた薬剤耐性を有するため、透明導電膜のパターニ
ングの際に基板と着色層が良好に保護される。(C) Since the fluorine-containing aromatic resin according to the present invention has excellent drug resistance, the substrate and the colored layer are well protected when patterning the transparent conductive film.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】は、本発明の一実施態様によるカラーフィルタ
ーの断面図を示す。FIG. 1 is a sectional view of a color filter according to an embodiment of the present invention.

【付号の説明】[Description of numbering]

１ ブラックマトリックス ２ 着色層（Ｒ，Ｇ，Ｂ） ３ 保護膜 ４ 透明導電膜 ５ 透明基板 Reference Signs List 1 black matrix 2 colored layer (R, G, B) 3 protective film 4 transparent conductive film 5 transparent substrate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浅子 佳延 茨城県つくば市観音台１丁目25番地12 株 式会社日本触媒内 Ｆターム(参考） 2H048 BA02 BB02 BB14 BB42  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Yoshinobu Asako 1-25-12 Kannondai, Tsukuba-shi, Ibaraki Japan Nippon Shokubai Co., Ltd. F-term (reference) 2H048 BA02 BB02 BB14 BB42

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 可視光（４６０〜６１０ｎｍ）領域にお
ける透過率が９０％以上である含フッ素芳香族樹脂を含
む保護膜を有するカラーフィルター。1. A color filter having a protective film containing a fluorine-containing aromatic resin having a transmittance of 90% or more in a visible light (460 to 610 nm) region. 【請求項２】 透明基板上に着色層を形成し、該着色層
上に請求項１に記載の含フッ素芳香族樹脂の薄膜を保護
膜として形成することからなるカラーフィルターの製造
方法。2. A method for manufacturing a color filter, comprising: forming a colored layer on a transparent substrate; and forming a thin film of the fluorinated aromatic resin according to claim 1 on the colored layer as a protective film. 【請求項３】 該保護膜が含フッ素芳香族化合物の化学
的蒸着によって形成される、請求項２に記載の方法。3. The method according to claim 2, wherein said protective film is formed by chemical vapor deposition of a fluorine-containing aromatic compound.