JP2000285496A - Optical disk device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical disk device for suppressing the collision of an objective lens with an optical disk in an optical disk device. SOLUTION: In this optical disk device 1, an objective lens 10 is held by an objective lens holding body 13, and laser beams are converged through an objective lens 10 on the information recording face of an optical disk 2 driven so as to be rotated so that recording and reproduction can be executed. In this optical disk device 1, the objective lens holding body 13 is provided with a slider 40 floating by generating a dynamic pressure according to the rotation of the optical disk 2, and the dynamic pressure generating face of this slider 40 can be deformed according to the dynamic pressure.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク媒体と
この媒体上にレーザビームを集束させる対物レンズとの
衝突を抑制することのできる光ディスク装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical disk apparatus capable of suppressing collision between an optical disk medium and an objective lens for focusing a laser beam on the medium.

【０００２】[0002]

【従来の技術】光ディスク装置は、情報記録媒体である
例えば光ディスクを保持して回転させた状態で、この光
ディスク上にレーザビームを照射して情報を記録した
り、あるいは光ディスクからの反射光を検出して適当な
処理を施すことにより、光ディスクに記録されている情
報を再生したりする装置である。2. Description of the Related Art An optical disk device records information by irradiating a laser beam onto the optical disk, for example, while holding and rotating an optical disk as an information recording medium, or detects reflected light from the optical disk. This is an apparatus that reproduces information recorded on an optical disk by performing appropriate processing.

【０００３】ここで、光ディスクとはＣＤ−ＲＯＭやＤ
ＶＤ−ＲＯＭなどに代表される再生専用光ディスク、あ
るいは相変化型ディスク（ＰＤ：Phase-change Dis
k）、光磁気ディスク（ＭＯ：Magneto-Optical Disk）
やＤＶＤ−ＲＡＭなどに代表される記録再生兼用光ディ
スクなどの総称である。Here, an optical disk is a CD-ROM or D
A read-only optical disk represented by a VD-ROM or a phase-change disk (PD)
k), magneto-optical disk (MO: Magneto-Optical Disk)
It is a generic term for recording / playback optical disks represented by DVDs and DVD-RAMs.

【０００４】光ディスク装置は、一般に光ディスク保持
部と、この光ディスク保持部に保持される光ディスクに
対して駆動される光学ヘッドと、レーザダイオードなど
に代表される光源と、対物レンズなどの光学素子を含む
光学要素と、光学要素により導かれたレーザビームを検
出する光検出器とを主な構成要素としている。ここで対
物レンズは、情報の記録時や再生時にレーザビームを絞
り込んで光ディスク上にビームスポットを形成するため
に用いられる。An optical disk device generally includes an optical disk holding unit, an optical head driven for the optical disk held by the optical disk holding unit, a light source represented by a laser diode, and optical elements such as an objective lens. The main components are an optical element and a photodetector that detects a laser beam guided by the optical element. Here, the objective lens is used for forming a beam spot on an optical disc by narrowing down a laser beam when recording or reproducing information.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記のような光ディス
ク装置は、現在パーソナルコンピュータやＡＶ機器への
応用を目的として、小型化・薄型化が要求されている。
これらの要求に対し、従来より光学ヘッドの薄型化が図
られている。しかし光学ヘッドの薄型化にも限界がある
ため、対物レンズと光ディスクとの間の距離、いわゆる
作動距離ＷＤ（Working Distance）を狭くすることが検
討されつつある。The above-mentioned optical disk device is required to be reduced in size and thickness for the purpose of application to personal computers and AV equipment.
In response to these demands, the thickness of the optical head has been reduced conventionally. However, since there is a limit in reducing the thickness of the optical head, reduction of the distance between the objective lens and the optical disk, that is, the so-called working distance (WD) is being studied.

【０００６】光ディスク上に特定の大きさのビームスポ
ットを形成するために必要なレーザビーム径（対物レン
ズから出射されるレーザビームの径）は、作動距離ＷＤ
を小さくすることによって小さくすることができる。そ
のため、対物レンズを含む光学系を小型化・薄型化する
ことが可能となり、作動距離ＷＤを減少させることは、
光ディスク装置の薄型化を図る上で極めて効果的であ
る。しかしながら、作動距離ＷＤを小さくすると、以下
のように、対物レンズが光ディスクに衝突してしまう危
険性が増大する。すなわち、レーザビームが光ディスク
表面に正しく焦点を結ぶようにするために、対物レンズ
に対してフォーカス方向への位置決め制御が行われてい
る。しかし、外乱その他の原因によりフォーカス方向制
御が機能を失うことがあり、そのような場合には、作動
距離ＷＤが小さく設定された装置は対物レンズが光ディ
スクに衝突してしまう可能性が高くなってしまう。そし
て、対物レンズが光ディスクに衝突してしまうと光ディ
スクに傷がついたり対物レンズが損傷を受ける等の問題
が生じる。この問題を解決するため、光ディスク上にレ
ーザビームを集束させるための対物レンズについて、光
ディスクに対向する面の少なくとも一部に、回転する光
ディスクに近接したときその回転により光ディスクとの
衝突を防止する動圧（反発力）を発生する動圧発生面を
形成することが例えば、特願平９−３５２７５５号で検
討されている。動圧発生面の反発力による衝突までのポ
テンシャルエネルギが、フォーカス制御機能を失って
「暴走」する対物レンズの持つ運動エネルギより大きい
場合、対物レンズの運動エネルギが衝突前に全て変換さ
れて光ディスクとの衝突は回避される。ここで、動圧発
生面の形状を図２０のような形状とし、 ｒ＝０．２
（ｍ）、ｄ＝０．０５（ｍｍ）、Ｄ＝３．２（ｍｍ）、
Ｄ１＝３．０（ｍｍ）、Ｂ＝０．９（ｍｍ）およびＤ０
＝５．０（ｍｍ）とした場合に、光ディスクの周方向速
度を６．５６（ｍ／ｓ）（１８ｒｐｓ）として設計する
と、スライダと光ディスクとに傾きがない状況では、図
２１のように比較的大きな浮上力が発生する。 なお、
図２０において、２は光ディスク、３１は対物レンズ、
３４は対物レンズホルダ、３５は動圧スライダを示して
いる。図２１から分かるように、動圧力の大きさは、光
ディスクと動圧発生面の間隙が小さいほど大きくなり、
特に間隙が１μｍ以下になると飛躍的に大きな反発力が
発生する。理論的には、反発力は間隙距離の２乗に反比
例する。この動圧力は、確かに間隙が小さいところでは
非常に大きな力であるが、その作用する範囲が間隙が小
さい場合に限定されること、および光ディスク表面には
０．３μｍ程度の表面あらさがありそれ以下の間隙での
動圧力は衝突防止としての機能を期待できないこと等の
理由により、対物レンズと一体に形成された動圧スライ
ダに働く力のみで、対物レンズと光ディスクの間の衝突
を防止することは不可能であった。そこで、対物レンズ
や対物レンズを保持するレンズホルダと、スライダを別
体にて構成し、両者をばね・減衰系にて連結することに
より、質量の大きな対物レンズおよびレンズホルダの持
つ運動エネルギのほとんどをばね変形のエネルギに変換
し、質量の非常に小さいスライダの持つ運動エネルギの
みを動圧による力で受け止めるように構成でき、あまり
大きな動圧力が発生しなくても対物レンズと光ディスク
との衝突が可能である光ディスク装置が提案されている
（特願平１０―１７６１９４号）。ここで一般には、光
ディスクは回転に伴って周方向の傾き（タンジェンシャ
ルチルト）および半径方向の傾き（ラジアルチルト）が
生じる。これらの大きさは、ＤＶＤ（Digital Video Di
sk）では最大で７（ｍｒａｄ）程度とされている。ま
た、光学ヘッドが光ディスクの半径方向（トラッキング
方向）に移動したり、対物レンズがフォーカシング方向
に移動したとき、対物レンズの光軸には最大で２（ｍｒ
ａｄ）程度の傾き（シフトチルト）が生じる。従って、
光ディスクと対物レンズとはトータルとして相対的に９
（ｍｒａｄ）程度の傾きを生じる。したがって、対物レ
ンズが暴走した場合には動圧スライダによって光ディス
クとの衝突を回避させようとした場合、対物レンズがデ
ィスクに対して±９（ｍｒａｄ）の範囲で傾いたまま暴
走する場合も考慮する必要が有る。光ディスクと対物レ
ンズが傾いていない場合に効果的に動圧が働くように設
計された図２０のような動圧スライダに関して、対物レ
ンズと光ディスクとに９（ｍｒａｄ）の傾きがある場合
に発生する動圧の大きさについての各種計算結果を図２
２に示す。動圧スライダがディスクに対してどの方向に
傾いても、発生する動圧力は傾きがない場合に比べて極
端に少なくなる。この問題を解決するため、動圧発生面
の形状を円筒の側面形状とし、また動圧スライダを対物
レンズホルダに対して傾き方向に柔にて連結することが
提案されている（特願平１０―１９９５３４号）。この
ような構成によれば、動圧発生面が円筒側面形状を成し
ていることにより、対物レンズおよびスライダがディス
クに対してディスク半径方向に傾いて近接していても、
動圧発生面と光ディスクとの幾何学的関係が変化せず、
動圧力が低下しない。また動圧スライダは対物レンズホ
ルダに対して傾きに対して柔軟に連結されているため、
動圧力によってスライダと光ディスクとの間の傾きが修
正されるようなモーメントが発生し、両者の間の傾きが
小さくなり、大きな動圧力が発生するようになる。従っ
て衝突回避が可能となっていた。上述のような構成によ
って、通常の使用においては対物レンズと光ディスクと
の衝突は回避できるが、例えばモバイル機器の光ディス
クドライブとして使用される場合など、従来の仕様をは
るかに超える外乱が加わる場合がある。また光ディスク
装置の経年使用により、光ディスク表面に小さな傷が発
生していたり、また小さなごみが付着していたりするこ
とにより、スライダに発生する動圧力が低減することが
ある。このような場合には、上述のように円筒スライダ
をレンズホルダに柔軟な機構で連結するだけでは、対物
レンズと光ディスクとの衝突を完全に回避することは困
難であった。よってディスクや対物レンズに傷がついた
り、時には破損することがあった。スライダ自身にも傷
が付いたり破損したりして、次に衝突回避を行う時には
有効に働かないことがあった。更に、上述のような円筒
形状のスライダを対物レンズホルダに、フォーカス方向
およびチルト方向に柔に連結する構成を実現する方法と
して、従来はワイヤや板ばね等の弾性部剤を用いてレン
ズホルダに連結する方法が提案されていた（特願平１０
―１７６１９４号あるいは特願平１０―１９９５３４
号）。このようなスライダをレンズホルダに連結するた
めのワイヤや板ばねは、フォーカス方向およびチルト方
向にそれぞれ所定のばね特性を持つ必要があり、レンズ
アクチュエータの対物レンズ周辺の小さなスペースに取
り付け可能に設計することは、非常に困難であった。さ
らにはスライダ連結用のワイヤや板ばね等を必要とする
ことで部品点数が増え、レンズアクチュエータの組み立
てが煩雑になる上にコスト増にもつながるといった問題
もあった。本発明は、上記のような事情を考慮してなさ
れたもので、予想外の外乱などによる振動が加わった場
合や、また経年使用により光ディスク表面上に微細な傷
やごみがあるような場合においても、光ディスクと対物
レンズの衝突をできるだけ避け、たとえ衝突しても傷や
破損につながらないようにし、さらには部品点数の低減
により簡単な設計・組み立てが行える光ディスク装置を
提供することを目的としている。The laser beam diameter (diameter of the laser beam emitted from the objective lens) required to form a beam spot of a specific size on the optical disk is determined by the working distance WD
Can be reduced by reducing. Therefore, the optical system including the objective lens can be reduced in size and thickness, and the working distance WD can be reduced.
This is extremely effective in reducing the thickness of the optical disk device. However, when the working distance WD is reduced, the risk that the objective lens collides with the optical disk increases as described below. That is, in order for the laser beam to properly focus on the surface of the optical disk, positioning control of the objective lens in the focus direction is performed. However, the focus direction control may lose its function due to disturbance or other causes. In such a case, the apparatus in which the working distance WD is set to be small increases the possibility that the objective lens collides with the optical disc. I will. Then, if the objective lens collides with the optical disk, problems such as damage to the optical disk and damage to the objective lens occur. In order to solve this problem, an objective lens for focusing a laser beam on an optical disk is provided on at least a part of a surface facing the optical disk with a movement for preventing collision with the optical disk due to the rotation of the objective lens when the optical lens comes close to the rotating optical disk. Forming a dynamic pressure generating surface that generates pressure (repulsive force) has been studied, for example, in Japanese Patent Application No. 9-352755. If the potential energy before collision due to the repulsive force of the dynamic pressure generating surface is larger than the kinetic energy of the objective lens that loses the focus control function and “runs away”, all the kinetic energy of the objective lens is converted before the collision and Collision is avoided. Here, the shape of the dynamic pressure generating surface is as shown in FIG.
(M), d = 0.05 (mm), D = 3.2 (mm),
D1 = 3.0 (mm), B = 0.9 (mm) and D0
= 5.0 (mm), if the circumferential speed of the optical disk is designed to be 6.56 (m / s) (18 rps), and there is no tilt between the slider and the optical disk, the comparison is made as shown in FIG. A large levitation force is generated. In addition,
20, 2 is an optical disk, 31 is an objective lens,
Reference numeral 34 denotes an objective lens holder, and reference numeral 35 denotes a dynamic pressure slider. As can be seen from FIG. 21, the magnitude of the dynamic pressure increases as the gap between the optical disc and the dynamic pressure generating surface decreases,
Particularly when the gap is 1 μm or less, a remarkably large repulsive force is generated. Theoretically, the repulsion is inversely proportional to the square of the gap distance. This dynamic pressure is a very large force where the gap is small, but its working range is limited to the case where the gap is small, and the optical disk surface has a surface roughness of about 0.3 μm. The dynamic pressure in the following gap prevents the collision between the objective lens and the optical disk only by the force acting on the dynamic pressure slider formed integrally with the objective lens because the function of preventing collision cannot be expected. That was impossible. Therefore, the objective lens, the lens holder for holding the objective lens, and the slider are configured separately, and both are connected by a spring / damping system. Can be converted into the energy of spring deformation, and only the kinetic energy of the slider having a very small mass can be received by the force of the dynamic pressure, so that the collision between the objective lens and the optical disk can be achieved without generating a large dynamic pressure. A possible optical disk device has been proposed (Japanese Patent Application No. 10-176194). Here, in general, an optical disc is tilted in the circumferential direction (tangential tilt) and in the radial direction (radial tilt) as it rotates. These sizes are DVD (Digital Video Di
sk) is about 7 (mrad) at the maximum. Also, when the optical head moves in the radial direction (tracking direction) of the optical disk or the objective lens moves in the focusing direction, the optical axis of the objective lens has a maximum of 2 (mr).
ad) (shift tilt) occurs. Therefore,
The total number of the optical disk and the objective lens is 9
(Mrad). Therefore, when the objective lens runs away and the dynamic pressure slider attempts to avoid collision with the optical disk, a case where the objective lens runs away while tilting with respect to the disk in a range of ± 9 (mrad) is also considered. There is a need. Regarding the dynamic pressure slider as shown in FIG. 20 designed so that dynamic pressure works effectively when the optical disk and the objective lens are not tilted, this occurs when the objective lens and the optical disk have a tilt of 9 (mrad). Figure 2 shows the results of various calculations on the magnitude of dynamic pressure.
It is shown in FIG. Regardless of the direction in which the dynamic pressure slider is tilted with respect to the disk, the generated dynamic pressure is extremely small as compared with the case where there is no tilt. In order to solve this problem, it has been proposed that the dynamic pressure generating surface has a cylindrical side surface shape, and that the dynamic pressure slider is flexibly connected to the objective lens holder in the tilt direction (Japanese Patent Application No. Hei 10 (1998) -108). —199534). According to such a configuration, since the dynamic pressure generation surface has a cylindrical side surface shape, even if the objective lens and the slider are inclined and approach in the disk radial direction with respect to the disk,
The geometric relationship between the dynamic pressure generating surface and the optical disk does not change,
Dynamic pressure does not decrease. Since the dynamic pressure slider is flexibly connected to the objective lens holder with respect to tilt,
The dynamic pressure generates a moment such that the inclination between the slider and the optical disk is corrected, and the inclination between the two becomes small, so that a large dynamic pressure is generated. Therefore, collision avoidance was possible. With the above-described configuration, collision between the objective lens and the optical disk can be avoided in normal use, but a disturbance far exceeding conventional specifications may be applied, for example, when used as an optical disk drive of a mobile device. . Further, due to aged use of the optical disk device, a small scratch is generated on the surface of the optical disk, or small dust is attached thereto, so that the dynamic pressure generated on the slider may be reduced. In such a case, it is difficult to completely avoid collision between the objective lens and the optical disk only by connecting the cylindrical slider to the lens holder with a flexible mechanism as described above. Therefore, the disc and the objective lens may be damaged or sometimes damaged. The slider itself may be scratched or damaged, and may not work effectively the next time collision avoidance is performed. Further, as a method of realizing a configuration in which the cylindrical slider as described above is flexibly connected to the objective lens holder in the focus direction and the tilt direction, conventionally, the lens holder is formed by using an elastic member such as a wire or a leaf spring. A method of connection has been proposed (Japanese Patent Application No. Hei 10
-176194 or Japanese Patent Application No. 10-199534
issue). Wires and leaf springs for connecting such a slider to the lens holder need to have predetermined spring characteristics in the focus direction and the tilt direction, and are designed to be attachable to a small space around the objective lens of the lens actuator. That was very difficult. Further, the necessity of a wire for connecting the slider, a leaf spring, and the like increases the number of parts, which causes a problem that the assembly of the lens actuator becomes complicated and the cost increases. The present invention has been made in consideration of the above-described circumstances, and in a case where vibration due to unexpected disturbance or the like is applied, or when there is a minute scratch or dust on the optical disk surface due to use over time. It is another object of the present invention to provide an optical disk device that can avoid collision between an optical disk and an objective lens as much as possible, so that even if the collision occurs, it does not lead to scratches or breakage, and furthermore, the number of parts can be reduced to enable simple design and assembly.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め本発明の第１の手段によれば、対物レンズ保持体に対
物レンズを保持し、回転駆動される光ディスクの情報記
録面に前記対物レンズを通してレーザ光を集束して記録
再生を行う光ディスク装置において、前記対物レンズ保
持体に前記光ディスクの回転に伴い動圧力を発生して浮
上するスライダを設け、このスライダの動圧発生面を前
記動圧力により変形可能に構成したことを特徴としてい
る。According to a first aspect of the present invention, an objective lens is held on an objective lens holder, and the objective lens is provided on an information recording surface of a rotationally driven optical disk. In an optical disk apparatus that performs recording and reproduction by converging a laser beam through a lens, a slider that generates dynamic pressure with the rotation of the optical disk and floats is provided on the objective lens holder, and the dynamic pressure generation surface of the slider is moved by the dynamic pressure. It is characterized in that it can be deformed by pressure.

【０００８】また本発明の第２の手段によれば、対物レ
ンズ保持体に対物レンズを保持し、回転駆動される光デ
ィスクの情報記録面に前記対物レンズを通してレーザ光
を集束して記録再生を行う光ディスク装置において、前
記対物レンズ保持体に前記光ディスクの回転に伴い動圧
力を発生して浮上するスライダを設け、このスライダの
動圧発生面を前記動圧力により変形可能に構成すると共
に、前記スライダの前記動圧発生面の形状を、前記光デ
ィスクの半径方向の断面形状が凸状の曲線を形成するよ
うに構成したことを特徴としている。According to the second means of the present invention, the objective lens is held by the objective lens holder, and the laser beam is focused on the information recording surface of the optical disk which is rotationally driven through the objective lens to perform recording and reproduction. In the optical disk device, a slider is provided on the objective lens holder to generate a dynamic pressure with the rotation of the optical disk and floats, and a dynamic pressure generating surface of the slider is configured to be deformable by the dynamic pressure. The dynamic pressure generating surface is characterized in that the optical disk is configured such that a radial cross section of the optical disk forms a convex curve.

【０００９】また本発明の第３の手段によれば、前記ス
ライダは、剛部分と柔部分とから成り当該柔部分が前記
動圧力により変形可能に構成されていることを特徴とし
ている。According to a third aspect of the present invention, the slider is characterized in that the slider comprises a rigid portion and a soft portion, and the soft portion is deformable by the dynamic pressure.

【００１０】また本発明の第４の手段によれば、前記ス
ライダは、前記動圧発生面が薄膜で形成されており、前
記スライダの前記動圧発生面以外の少なくとも一部は弾
性体により形成されていることを特徴としている。According to a fourth aspect of the present invention, in the slider, the dynamic pressure generating surface is formed of a thin film, and at least a part of the slider other than the dynamic pressure generating surface is formed of an elastic body. It is characterized by being.

【００１１】また本発明の第５の手段によれば、前記ス
ライダは、前記動圧発生面を形成する表面部分が形状復
元力のある膜として形成されていることを特徴としてい
る。According to a fifth aspect of the present invention, in the slider, a surface portion forming the dynamic pressure generating surface is formed as a film having a shape restoring force.

【００１２】また本発明の第６の手段によれば、前記ス
ライダは、実質的な全体が弾性体で形成されていること
を特徴としている。According to a sixth aspect of the present invention, the slider is substantially entirely formed of an elastic body.

【００１３】また本発明の第７の手段によれば、前記ス
ライダには前記動圧発生面の変形を担う柔部分が形成さ
れており、該柔部分を前記対物レンズホルダに連結させ
て構成されていることを特徴としている。このような構
成の光ディスク装置によれば光ディスクと対物レンズと
の衝突回避の効果が向上し、また、たとえ軽く衝突した
としても衝突時の衝撃を大幅に緩和できる。まず、光デ
ィスクとスライダが近接した時には、凸状の曲線（円
筒）形状のスライダが動圧により平面形状に近づくよう
に変形され、形状が円筒のまま変化しない時に比べて大
きな動圧力が得られる。また、もしスライダが軽くディ
スクに衝突しても、動圧発生面が変形することでスライ
ダがショックアブソーバの役目を果たし、衝撃緩和が可
能となる。さらにはスライダの構成部分のうち動圧発生
面を変形可能とするための弾性体を、スライダとレンズ
ホルダとの弾性連結部分と兼用して一体的に成形するこ
とにより、設計・組み立てが複雑な連結ばねが不要とな
る。上述のように、スライダの動圧発生面が動圧や衝突
により変形可能なように柔軟であること、またスライダ
と連結ばね機構を一体的として成形すれば、衝突回避の
効果が向上し、たとえ衝突しても衝撃緩和が可能とな
り、さらには設計・組み立てが簡単でコストがかからな
いような、対物レンズと光ディスクとの衝突回避機能を
持つ光ディスク装置の実現が可能になる。According to a seventh aspect of the present invention, the slider is formed with a soft portion for deforming the dynamic pressure generating surface, and the soft portion is connected to the objective lens holder. It is characterized by having. According to the optical disk device having such a configuration, the effect of avoiding collision between the optical disk and the objective lens is improved, and even if the collision occurs lightly, the impact at the time of collision can be greatly reduced. First, when the optical disk and the slider approach each other, the convex curved (cylindrical) slider is deformed by dynamic pressure so as to approach a planar shape, and a larger dynamic pressure is obtained than when the shape remains unchanged in a cylindrical shape. Also, even if the slider collides lightly with the disk, the dynamic pressure generating surface is deformed, so that the slider functions as a shock absorber, and the impact can be reduced. Further, the elastic body for deforming the dynamic pressure generating surface of the slider component is integrally formed as an elastic connecting portion between the slider and the lens holder, so that the design and assembly are complicated. No connecting spring is required. As described above, if the dynamic pressure generating surface of the slider is flexible so that it can be deformed by dynamic pressure or collision, and if the slider and the coupling spring mechanism are integrally formed, the effect of collision avoidance is improved, Even if a collision occurs, it is possible to reduce the impact, and furthermore, it is possible to realize an optical disk device having a function of avoiding collision between the objective lens and the optical disk, which is simple and inexpensive to design and assemble.

【００１４】[0014]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態を説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【００１５】図１乃至図４は、本発明に係る光ディスク
装置の構成を示す図であり、図１は光ディスク装置の概
略構成を示す断面図、図２は光学ユニットの断面図、図
３は光学ヘッドを含む駆動系の平面図、図４は光学ヘッ
ドの断面図である。FIGS. 1 to 4 are views showing the structure of an optical disk device according to the present invention. FIG. 1 is a sectional view showing a schematic structure of the optical disk device, FIG. 2 is a sectional view of an optical unit, and FIG. FIG. 4 is a plan view of a drive system including the head, and FIG. 4 is a sectional view of the optical head.

【００１６】図１において、本発明に係る光ディスク装
置（情報記録／再生装置）１は、光ディスク保持部２ａ
と、光ディスク保持部２ａに保持される光ディスク２上
にレーザビームを集束させるための対物レンズ１０と、
対物レンズ１０を保持する対物レンズホルダ１３と、対
物レンズホルダ１３に設けられた動圧スライダ４０とを
備えている。動圧スライダ４０の光ディスク２側の端面
は、対物レンズ１０および対物レンズホルダ１３の光デ
ィスク２側の端面よりも光ディスク２に近く配置されて
いる。In FIG. 1, an optical disk device (information recording / reproducing device) 1 according to the present invention includes an optical disk holding unit 2a.
An objective lens 10 for focusing a laser beam on the optical disk 2 held by the optical disk holding unit 2a;
An objective lens holder 13 for holding the objective lens 10 and a dynamic pressure slider 40 provided on the objective lens holder 13 are provided. The end face of the dynamic pressure slider 40 on the optical disc 2 side is disposed closer to the optical disc 2 than the end faces of the objective lens 10 and the objective lens holder 13 on the optical disc 2 side.

【００１７】光ディスク２は、例えば再生専用ディスク
または相変化型ディスクや光磁気ディスクのような記録
再生用兼用ディスクである。この光ディスク２はターン
テーブル２ａ上に載置され、図示しないベースに固定さ
れたスピンドルモータ２ｍにマグネットチャック等のチ
ャッキング機構によって保持されており、記録時または
再生時には、スピンドルモータ２ｍによって回転駆動さ
れるようになっている。The optical disk 2 is a recording / reproducing disk such as a read-only disk or a phase change disk or a magneto-optical disk. The optical disk 2 is mounted on a turntable 2a and is held by a chucking mechanism such as a magnet chuck on a spindle motor 2m fixed to a base (not shown), and is rotated and driven by the spindle motor 2m during recording or reproduction. It has become so.

【００１８】また、本発明の光ディスク装置１は、一般
の光ディスク装置と同様に、光ディスク２に対して駆動
される光学ヘッド７と、光学ヘッド７に連続して設けら
れた光学ユニット６とを有している。光学ヘッド７は、
対物レンズ１０の下方（図中）に設けられている。Further, the optical disk device 1 of the present invention has an optical head 7 driven for the optical disk 2 and an optical unit 6 provided continuously to the optical head 7, similarly to a general optical disk device. are doing. The optical head 7 is
It is provided below the objective lens 10 (in the figure).

【００１９】次に、図２を用いて光学ユニット６の構成
について説明する。図２は、図１における光学ユニット
を示す断面図である。Next, the configuration of the optical unit 6 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a sectional view showing the optical unit in FIG.

【００２０】図２に示すように、光学ユニット６は、光
ディスク２に照射するためのレーザビームを生成するレ
ーザダイオード３と、光ディスク２から反射されるレー
ザビームを検出する光検出器４と、ＨＯＥ（Holographi
c Optical Element）素子５とを主たる要素として構成
されている。そして、この光学ユニット６は図１に示す
ように光学ヘッド７の下部に固定されている。As shown in FIG. 2, the optical unit 6 includes a laser diode 3 for generating a laser beam for irradiating the optical disk 2, a photodetector 4 for detecting a laser beam reflected from the optical disk 2, and a HOE. (Holographi
c Optical Element) element 5 as a main element. The optical unit 6 is fixed below the optical head 7 as shown in FIG.

【００２１】なお、図１および図２に示すように、光学
ユニット６の下面には放熱性を高める目的で複数の凹凸
が形成されており、光学ユニット６の上部にはプリズム
８が設けられている。As shown in FIGS. 1 and 2, a plurality of irregularities are formed on the lower surface of the optical unit 6 for the purpose of enhancing heat dissipation, and a prism 8 is provided on the upper portion of the optical unit 6. I have.

【００２２】図１および図２に示すように、レーザダイ
オード３より発せられたレーザビームは、ＨＯＥ素子５
をそのまま通過した後、プリズム８に入射して９０°向
きを変え、さらに立ち上げミラー９で再び９０°向きを
変えて、光学ヘッド７の上部に配置された対物レンズ１
０に入射するようになっている。この対物レンズ１０に
より、光ディスク２の記録面上にレーザビームが微小な
スポットとして集束される。As shown in FIGS. 1 and 2, the laser beam emitted from the laser diode 3 is
After passing through the prism 8, the light enters the prism 8 and changes its direction by 90 °, and then changes its direction by 90 ° again by the rising mirror 9 so that the objective lens 1 placed above the optical head 7
0 is incident. The laser beam is focused as a minute spot on the recording surface of the optical disk 2 by the objective lens 10.

【００２３】一方、光ディスク２からの反射光は、対物
レンズ１０、立ち上げミラー９およびプリズム８を経由
してＨＯＥ素子５に入射し、ＨＯＥ素子５で偏向されて
光検出器４に入射するようになっている。光検出器４
は、検出領域を複数に分割した多分割検出器として構成
されており、各検出領域の出力信号から図示しない演算
回路を介して、光ディスク２に記録されている情報に対
応した再生情報信号、フォーカス誤差信号およびトラッ
キング誤差信号が生成されるようになっている。On the other hand, the reflected light from the optical disk 2 enters the HOE element 5 via the objective lens 10, the rising mirror 9, and the prism 8, is deflected by the HOE element 5, and enters the photodetector 4. It has become. Photodetector 4
Is configured as a multi-segment detector in which a detection area is divided into a plurality of sections. A reproduction information signal corresponding to information recorded on the optical disc 2 is output from an output signal of each detection area via an arithmetic circuit (not shown). An error signal and a tracking error signal are generated.

【００２４】次に、図３および図４を用いて光学ヘッド
７について詳細に説明する。図３は、図１における光学
ヘッドを含む駆動系を示す平面図である。図４は、図１
における光学ヘッドを示す断面図である。Next, the optical head 7 will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 3 is a plan view showing a drive system including the optical head in FIG. FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the optical head in FIG.

【００２５】図３および図４に示すように、リニアモー
タコイル１２が筒状に形成されており、光学へッド７の
両側面に１個ずつ設けられている。また、光学へッド７
の両側には、リニアモータコイル１２を挟んで前後に計
４個の滑り軸受１５がそれぞれ形成されている。さら
に、２本のガイドシャフト１６が光ディスク１の半径方
向に沿って形成されており、滑り軸受１５と２本のガイ
ドシャフト１６がそれぞれ係合している。このような構
成により、光学ヘッド７は光ディスク１の半径方向に移
動が可能となっている。As shown in FIGS. 3 and 4, the linear motor coil 12 is formed in a cylindrical shape, and one linear motor coil 12 is provided on each side surface of the optical head 7. Also, the optical head 7
On both sides of the linear motor coil 12, a total of four sliding bearings 15 are formed before and after the linear motor coil 12, respectively. Further, two guide shafts 16 are formed along the radial direction of the optical disc 1, and the slide bearing 15 and the two guide shafts 16 are engaged with each other. With such a configuration, the optical head 7 can move in the radial direction of the optical disc 1.

【００２６】ガイドシャフト１６は磁性体で形成されて
おり、磁気回路のヨークとしての役割も果たすようにな
っている。各ガイドシャフト１６の外側には、コ字形の
バックヨーク１７が固定されている。また各バックヨー
ク１７には、磁気ギャップを挟んでリニアモータ１２と
対向するようにラジアル磁石１８が固定されている。こ
れらのガイドシャフト１６、バックヨーク１７およびラ
ジアル磁石１８は、ラジアル磁気回路を形成し、このラ
ジアル磁気回路は、リニアモータコイル１２に磁界を作
用させ、リニアモータコイル１２に流れる電流との電磁
作用により、光学へッド７を光ディスク２の半径方向へ
駆動させることができるようになっている。The guide shaft 16 is formed of a magnetic material, and also serves as a yoke for a magnetic circuit. A U-shaped back yoke 17 is fixed to the outside of each guide shaft 16. A radial magnet 18 is fixed to each back yoke 17 so as to face the linear motor 12 with a magnetic gap therebetween. The guide shaft 16, the back yoke 17, and the radial magnet 18 form a radial magnetic circuit. The radial magnetic circuit causes a magnetic field to act on the linear motor coil 12 and causes an electromagnetic action with a current flowing through the linear motor coil 12. The optical head 7 can be driven in the radial direction of the optical disk 2.

【００２７】また、対物レンズ１０を保持する対物レン
ズホルダ１３は、板状の非磁性材料からなる支持ワイヤ
１４の一端に固定され、支持ワイヤ１４の他端は光学ヘ
ッド７に固定されている。The objective lens holder 13 for holding the objective lens 10 is fixed to one end of a support wire 14 made of a plate-shaped nonmagnetic material, and the other end of the support wire 14 is fixed to the optical head 7.

【００２８】さらに、光学ヘッド７には、図１に示すよ
うに、対物レンズ１０の下方にフォーカスコイル１１が
設けられている。このフォーカスコイル１１に電流が流
れると、マグネットで形成された対物レンズホルダ１３
の磁界との電磁作用によって、対物レンズ１０に対して
光軸方向つまりフォーカス方向の駆動力が発生するよう
になっている。Further, the optical head 7 is provided with a focus coil 11 below the objective lens 10, as shown in FIG. When a current flows through the focus coil 11, the objective lens holder 13 formed by a magnet
By the electromagnetic action with the magnetic field, a driving force in the optical axis direction, that is, the focus direction is generated for the objective lens 10.

【００２９】ここで、光学ユニット６の光検出器４は、
図示しないフォーカスサーボ回路に接続されており、こ
のフォーカスサーボ回路は、フォーカス誤差信号に基づ
いて対物レンズ１０のフォーカス方向の位置ずれを補正
するようにフォーカスコイル１１に電流を流し、フォー
カスサーボ制御を行うようになっている。Here, the photodetector 4 of the optical unit 6 is
The focus servo circuit is connected to a focus servo circuit (not shown). The focus servo circuit supplies a current to the focus coil 11 so as to correct a displacement of the objective lens 10 in the focus direction based on the focus error signal, and performs focus servo control. It has become.

【００３０】同様に、光学ユニット６の光検出器４は、
図示しないトラッキングサーボ回路に接続されており、
このトラッキングサーボ回路は、トラッキング誤差信号
に基づいて対物レンズ１０のトラック方向の位置ずれを
補正するように、リニアモータコイル１２に電流を流す
と共に、立ち上げミラー９を位置調整のために移動させ
て、トラッキングサーボ制御を行うようになっている。Similarly, the photodetector 4 of the optical unit 6
It is connected to a tracking servo circuit (not shown)
The tracking servo circuit supplies a current to the linear motor coil 12 and moves the rising mirror 9 for position adjustment so as to correct the position error of the objective lens 10 in the track direction based on the tracking error signal. , And performs tracking servo control.

【００３１】［第１の実施の形態］次に、図５乃至図８
を用いて本実施形態に係る動圧スライダ４０の構成およ
び対物レンスホルダ１３との連結構成、その作用・効果
について説明する。図５は、本発明の第１の実施形態の
スライダ４０の概略構成示す斜視図である。このスライ
ダ４０については、まずその製造手順の説明を含めて構
成を説明する。まず図６（ａ）に示すように、数百ミク
ロン（例えば４００〜８００μｍ程度）以下の厚さのシ
リコンウエハ５０にエッチングにより縦横の溝５１を形
成し、エッチングされずに残っている肉厚部分にあたる
ウエハ製剛部分４１がマトリックス状に並ぶように加工
する。このように加工されたシリコンウエハ４０の溝５
１内に、例えばシリコンゴムやシリコンゲル等の弾性部
材４２を溶融させて流し込んだ後に固めると、図６
（ｂ）に示すようにウエハ製剛部分４１が弾性部材４２
の柔な部分でマトリックス状に連結されたスライダ部品
５２が形成できる。上記エッチングにより形成する溝５
１の深さは、ウエハ５０の厚さ（例えば４００〜８００
μｍ程度）よりも少し浅く設定すれば、このスライダ部
品５２の下面全面には一様な厚さのウエハ薄膜４３が形
成されたものとなる。このウエハ薄膜４３の厚みは、エ
ッチングにより形成する溝５１の深さを種々設定するこ
とにより調整可能であるが、スライダ部品５２をスライ
ダ４０として円筒状に形成する際の加工性を考慮して、
その厚みとしては例えば５０〜１００μｍ程度に設定す
る。元々のシリコンウエハ５０の表面は非常に平面度が
良いため、完成したスライダ部品５２のウエハ薄膜４３
も平面精度が極めて良好で、何ら二次加工を行なうこと
無くスライダ４０として利用できる。このスライダ部品
５２は弾性部材４２の柔軟部分を有しているため、光学
ヘッド７に取り付ける時に、図５に示すように僅かな曲
率を有するように湾曲させてスライダ４０として組立て
ることにより、スライダ４０の円筒表面の形状は簡単に
実現できる。なお、このスライダ４０の円筒表面の曲率
は、例えば曲率半径ｒとしてｒ＝２００ｍｍ相当程度あ
る。[First Embodiment] Next, FIGS.
The configuration of the dynamic pressure slider 40 according to the present embodiment, the connection configuration with the objective holder 13, and the operation and effect thereof will be described using FIGS. FIG. 5 is a perspective view showing a schematic configuration of the slider 40 according to the first embodiment of the present invention. The configuration of the slider 40 will be described first, including the description of the manufacturing procedure. First, as shown in FIG. 6A, vertical and horizontal grooves 51 are formed in a silicon wafer 50 having a thickness of several hundred microns (for example, about 400 to 800 μm) or less by etching, and a thick portion which remains without being etched. Is processed so that the rigid portions 41 made of wafers corresponding to the above-mentioned are arranged in a matrix. The groove 5 of the silicon wafer 40 thus processed
When the elastic member 42 such as silicon rubber or silicon gel is melted and poured into the inside of the device 1 and then solidified, FIG.
As shown in (b), the rigid portion 41 made of a wafer is
The slider parts 52 connected in a matrix at the flexible portions can be formed. Groove 5 formed by the above etching
1 corresponds to the thickness of the wafer 50 (for example, 400 to 800).
If it is set to be slightly shallower (about μm), a wafer thin film 43 having a uniform thickness is formed on the entire lower surface of the slider component 52. The thickness of the wafer thin film 43 can be adjusted by variously setting the depth of the groove 51 formed by etching, but in consideration of workability when forming the slider component 52 as the slider 40 in a cylindrical shape,
The thickness is set, for example, to about 50 to 100 μm. Since the surface of the original silicon wafer 50 has very good flatness, the wafer thin film 43 of the completed slider component 52 is formed.
Also, the surface accuracy is extremely good, and it can be used as the slider 40 without performing any secondary processing. Since the slider component 52 has a flexible portion of the elastic member 42, when the slider component 52 is attached to the optical head 7, it is curved to have a slight curvature as shown in FIG. The shape of the cylindrical surface can be easily realized. The curvature of the cylindrical surface of the slider 40 is, for example, about r = 200 mm as the radius of curvature r.

【００３２】このスライダ４０は、対物レンズホルダ１
３の対物レンズ１０の周囲にスライダ部品として取付け
てもよいし、あるいはスライダ４０の中央に貫通孔を形
成し、この貫通孔をレーザビームの通過光路として利用
するように加工してから対物レンズホルダ１３に取付け
てもよい。The slider 40 is mounted on the objective lens holder 1
The objective lens holder may be mounted as a slider component around the objective lens 3 or a through-hole may be formed in the center of the slider 40 and the through-hole may be used as an optical path for passing a laser beam. 13 may be attached.

【００３３】上記したようなスライダ４０は、動圧発生
面３９弾性部材４２の弾性作用により変形可能であり、
このスライダ４０を対物レンズホルダ１３に取付けて光
ディスク装置１に搭載すると、光ディスクドライブがモ
バイル機器等に使用され、予想された以上の非常に大き
な衝撃が加わったり、表面に細かな傷やごみがある光デ
ィスクを装着して微少間隙での動圧力がそれほど発生で
きずに、光ディスク２とスライダ４０が衝突してしまっ
た場合でも、光ディスク２に衝突するのは柔軟に変形す
る動圧発生面３９であるため、衝突瞬間の衝撃は小さく
なる。よって、情報記録媒体として重要な光ディスク１
の面や、大きな動圧を発生させるため表面形状精度が重
要なスライダ４０の動圧発生面を損傷することはない。
なお、このように構成したスライダ４０のうちウエハ薄
膜４３である動圧発生面３９は、動圧力が働かない時に
は円筒側面に代表される凸面であり、光ディスク２が回
転駆動されてスライダ４０との間で動圧が働くと図７お
よび図８で示すように円筒形状が少しつぶれたような形
状に変形する。なお、図７は、光ディスク２の回転によ
る空気の流れが紙面に垂直な方向に対するスライダの模
式図で、図７（ａ）で示すスライダ４０は変形前、図７
（ｂ）で示すスライダ４０は変形後を示しており、動圧
発生面が３９ａで示すように平板状に変形している。図
８は、光ディスク２の回転による空気の流れが紙面に平
行な方向に対するスライダの模式図で、図８（ａ）はス
ライダ４０の変形前、図８（ｂ）はスライダ４０の変形
後を示しており、動圧発生面が３９ｂで示すように平板
状に変形している。一般に、図９で示すように動圧スラ
イダ４０は、光ディスク２とスライダ４０との間に傾き
がない場合を想定した場合には、平板状の形状が最も大
きな動圧（浮上力）が働き、次に円筒状部材をレンズの
周囲に配置したドーナッツ状の形状、そして円筒状の形
状の順に動圧は順次小さくなる。よって図５に示すよう
な円筒状のスライダ４０を用いた場合には、そのままの
円筒形状では動圧（浮上力）はさほど大きくとれない
が、本実施形態では弾性部材４２を設けたために図７お
よび図８に示したようにスライダ４０自体が平板状に変
形可能（動圧面変形スライダ）である。つまり、本実施
形態のスライダ４０は、光ディスク２が回転駆動されて
スライダ４０との間で動圧が働くと図７、図８で示すよ
うに円筒形状の動圧発生面３９の形状が変形し、平板状
部分の動圧発生面３９ａ，３９ｂが形成される。このよ
うにスライダ４０の動圧発生面３９に平板状部分が形成
されることにより、図９に示したような大きな動圧（浮
上力）が発生し、対物レンズ１０と光ディスク２との衝
突が回避される。The above-described slider 40 is deformable by the elastic action of the elastic member 42 of the dynamic pressure generating surface 39.
When the slider 40 is mounted on the objective lens holder 13 and mounted on the optical disk device 1, the optical disk drive is used for mobile devices and the like, and an extremely large impact is applied more than expected, and fine scratches and dust are present on the surface. Even if the optical disk 2 is mounted and the dynamic pressure in the minute gap cannot be generated so much and the optical disk 2 and the slider 40 collide, the dynamic pressure generating surface 39 that collides with the optical disk 2 flexibly deforms. Therefore, the impact at the moment of the collision becomes small. Therefore, the important optical disc 1 as an information recording medium
This does not damage the surface of the slider 40 or the dynamic pressure generating surface of the slider 40 whose surface shape accuracy is important for generating a large dynamic pressure.
The dynamic pressure generating surface 39, which is the wafer thin film 43, of the slider 40 configured as described above is a convex surface typified by a cylindrical side surface when no dynamic pressure is applied. When a dynamic pressure acts between them, the cylindrical shape is deformed into a slightly crushed shape as shown in FIGS. FIG. 7 is a schematic diagram of the slider in a direction in which the air flow due to the rotation of the optical disk 2 is perpendicular to the paper surface. The slider 40 shown in FIG.
The slider 40 shown in (b) shows a state after deformation, and the dynamic pressure generating surface is deformed into a flat plate shape as shown by 39a. 8A and 8B are schematic views of the slider in a direction in which the air flow caused by the rotation of the optical disk 2 is parallel to the paper surface. FIG. 8A shows the state before the slider 40 is deformed, and FIG. The dynamic pressure generating surface is deformed into a flat plate shape as indicated by 39b. In general, assuming that the dynamic pressure slider 40 has no inclination between the optical disc 2 and the slider 40 as shown in FIG. 9, a flat plate-shaped shape exerts the largest dynamic pressure (flying force). Next, the dynamic pressure decreases sequentially in the order of the donut shape in which the cylindrical member is arranged around the lens and the cylindrical shape. Therefore, when the cylindrical slider 40 as shown in FIG. 5 is used, the dynamic pressure (flying force) cannot be increased so much in the cylindrical shape as it is, but in this embodiment, the elastic member 42 is provided, so that FIG. As shown in FIG. 8, the slider 40 itself can be deformed into a flat plate shape (dynamic pressure surface deformation slider). That is, when the optical disk 2 is rotationally driven and a dynamic pressure acts on the slider 40, the shape of the cylindrical dynamic pressure generating surface 39 is deformed as shown in FIGS. And the dynamic pressure generating surfaces 39a and 39b of the flat plate portion are formed. By forming the flat plate portion on the dynamic pressure generating surface 39 of the slider 40 in this manner, a large dynamic pressure (flying force) as shown in FIG. 9 is generated, and the collision between the objective lens 10 and the optical disk 2 may occur. Be avoided.

【００３４】なお、動圧が働かない時の動圧発生面３９
は略円筒側面形状であるが、この円筒形状であることに
より得られる作用・効果は次の通りである。The dynamic pressure generating surface 39 when no dynamic pressure is applied
Has a substantially cylindrical side surface, and the operation and effect obtained by this cylindrical shape are as follows.

【００３５】図１０に示すように、光ディスク２と動圧
スライダ４０との間に傾きがなくても、光ディスク２と
動圧スライダ４０の最小間隙を形成する領域は全体の幅
Ｌ（ここでは１０ｍｍ）より狭い。しかし、図１１に比
較例として示した動圧発生面３９が平面である場合と違
って、傾きがある場合であっても、光ディスク２と動圧
スライダ４０との最小間隙部分近傍の領域は略平行２平
面の近接状態とみなすことができる。As shown in FIG. 10, even if there is no inclination between the optical disc 2 and the dynamic pressure slider 40, the area forming the minimum gap between the optical disc 2 and the dynamic pressure slider 40 is the entire width L (here, 10 mm). ) Narrower. However, unlike the case where the dynamic pressure generating surface 39 shown as a comparative example in FIG. 11 is flat, even when the dynamic pressure generating surface 39 is inclined, the area near the minimum gap between the optical disc 2 and the dynamic pressure slider 40 is substantially equal. It can be regarded as a proximity state of two parallel planes.

【００３６】光ディスク２と対物レンズ１０とが、±９
（ｍｒａｄ）の範囲で傾いていても常に幾何学的に同様
な近接状態が選られるようにするには、図１０に示すよ
うに、動圧発生面３９を形成する扇形の中心角度を１８
（ｍｒａｄ）以上にすれば良い。中心角度を決めると、
動圧スライダ４０の幅によって回転半径が決まる。中心
角度を１８（ｍｒａｄ）とした時の扇形の回転半径は、
特願平１０−１９９５３４号を参照するならば、０．５
６（ｍ）、また光ディスク２と動圧スライダ４０の動圧
発生面３９との最小間隙を０．３μｍとした場合の間隙
１μｍ以下の部分の長さｌを比較すると、まず、図１１
に示した動圧スライダが平板状である場合で傾きが存在
しない場合は動圧スライダ４０の横幅Ｌである１０（ｍ
ｍ）全体となるが、傾きが９（ｍｒａｄ）である場合に
は７７．８（μｍ）であるのに対して、図１０に示した
ように動圧スライダ４０の形状が円筒面形状である場合
では、スライダ端部での影響が無視できる範囲では傾き
の大きさによらずに一定で、１７７（μｍ）とそれぞれ
求めることができる。The optical disk 2 and the objective lens 10 are set to ± 9
(Mrad), in order to always select a geometrically similar proximity state even when inclined in the range of (mrad), the central angle of the sector forming the dynamic pressure generating surface 39 is set to 18 as shown in FIG.
(Mrad) or more. When you decide the center angle,
The radius of rotation is determined by the width of the dynamic pressure slider 40. When the central angle is 18 (mrad), the turning radius of the sector is
If reference is made to Japanese Patent Application No. 10-199534, 0.5
11 (m), and the length 1 of the gap 1 μm or less when the minimum gap between the optical disc 2 and the dynamic pressure generating surface 39 of the dynamic pressure slider 40 is 0.3 μm.
In the case where the dynamic pressure slider shown in FIG. 4 is flat and there is no inclination, the width L of the dynamic pressure slider 40 is 10 (m).
m) The entirety is 77.8 (μm) when the inclination is 9 (mrad), whereas the shape of the dynamic pressure slider 40 is a cylindrical surface as shown in FIG. In this case, it is possible to obtain a constant value of 177 (μm) irrespective of the magnitude of the inclination in a range where the influence at the slider end can be ignored.

【００３７】すなわち、光ディスク２と動圧スライダ４
０の動圧発生面３９との最小間隙を０．３μｍとした場
合の間隙１μｍ以下の部分の長さｌを比較すると、本実
施形態のような円筒面形状の動圧スライダの場合は１７
７（μｍ）であり、動圧発生面が平面（平板状スライ
ダ）の７７．８（μｍ）に対して２倍以上大きくなる。That is, the optical disk 2 and the dynamic pressure slider 4
Compared with the length l of the portion having a gap of 1 μm or less when the minimum gap with the dynamic pressure generating surface 39 of 0 is 0.3 μm, in the case of the cylindrical dynamic pressure slider as in the present embodiment, 17
7 (μm), and the dynamic pressure generation surface is at least twice as large as 77.8 (μm) of the flat surface (flat slider).

【００３８】したがって、本実施形態の動圧スライダ４
０が発生する動圧は圧倒的に大きくなり、動圧発生面３
９を円筒面状とすることで、対物レンズ１０と光ディス
ク２とに光ディスク２の半径方向に９（ｍｒａｄ）程度
の傾きが発生しても動圧力がほとんど低減しないことが
分かる。参考までに９（ｍｒａｄ）の傾きがある場合の
動圧（浮上力）の比較データを図１２に示す。Therefore, the dynamic pressure slider 4 of the present embodiment
The dynamic pressure at which 0 is generated becomes overwhelmingly large,
It can be seen that, by making the cylindrical shape 9, the dynamic pressure hardly decreases even if the objective lens 10 and the optical disk 2 have an inclination of about 9 (mrad) in the radial direction of the optical disk 2. For reference, FIG. 12 shows comparison data of dynamic pressure (flying force) when there is an inclination of 9 (mrad).

【００３９】なお、上記実施の形態において弾性部材４
２としては、シリコンゴムやシリコンゲルを例示した
が、この弾性部材４２は製造性を考慮して溶融状態で溝
４１内に充填可能で、使用時に溝４１内から流出しない
程度の粘弾性を有するものであれば良く、紫外線硬化型
の接着剤などを溝４１内に充填し紫外線によりその表面
だけを硬化させて使用しても良い。上記したような動圧
面が変形可能なスライダ４０を搭載すると、先に述べた
ように光ディスク２とスライダ４０が衝突してしまった
場合でも、光ディスク２に衝突するのは柔軟に変形する
動圧発生面３９であるため、衝突瞬間の衝撃は小さくな
り、情報記録媒体として重要な光ディスク１の面や、大
きな動圧を発生させるため表面形状精度が重要なスライ
ダ４０の動圧発生面を損傷することはないといった作用
・効果が得られることに加えて、上述した通り、スライ
ダ４０の動圧発生面３９が変形して平板状部分が形成さ
れることにより、大きな動圧（浮上力）が発生し、対物
レンズ１０と光ディスク２との衝突が回避されると共
に、動圧が働かない時の動圧発生面３９を略円筒側面形
状としたことにより、対物レンズ１０と光ディスク２と
に光ディスク２の半径方向に比較的大きな傾きが発生し
ても動圧力がほとんど低減しないといった作用・効果が
得られる。In the above embodiment, the elastic member 4
Silicon rubber or silicon gel is exemplified as 2; however, this elastic member 42 can be filled into the groove 41 in a molten state in consideration of manufacturability, and has such viscoelasticity that it does not flow out of the groove 41 during use. Any material may be used, and an ultraviolet-curable adhesive or the like may be filled in the groove 41 and only the surface thereof may be cured by ultraviolet light before use. When the slider 40 having a deformable dynamic pressure surface as described above is mounted, even if the optical disk 2 and the slider 40 collide as described above, the collision with the optical disk 2 is caused by the generation of the dynamic pressure that flexibly deforms. Since the surface 39 is used, the impact at the moment of collision is small, and the surface of the optical disk 1 which is important as an information recording medium and the dynamic pressure generating surface of the slider 40 whose surface shape precision is important for generating a large dynamic pressure may be damaged. In addition to the above-described functions and effects, a large dynamic pressure (flying force) is generated by deforming the dynamic pressure generating surface 39 of the slider 40 to form a flat plate portion as described above. In addition, the collision between the objective lens 10 and the optical disc 2 is avoided, and the dynamic pressure generating surface 39 when no dynamic pressure is applied has a substantially cylindrical side surface. Even a relatively large inclination occurs in the radial direction of the optical disc 2 functions and effects such as the dynamic pressure hardly reduced is obtained.

【００４０】［第２の実施の形態］次に図１３を参照し
て、第２の実施の形態について説明する。[Second Embodiment] Next, a second embodiment will be described with reference to FIG.

【００４１】図１３は、第２の実施の形態に係る動圧ス
ライダの断面図であり、先の図５に示した第１の実施の
形態と同一部分には同一符号を付し異なる部分について
のみ説明を行なう。FIG. 13 is a sectional view of a dynamic pressure slider according to the second embodiment. The same parts as those in the first embodiment shown in FIG. Only an explanation will be given.

【００４２】この第２の実施の形態は、第１の実施の形
態の動圧スライダ４０の弾性部材４２の部分を図１３に
示したように先の実施の形態よりも厚く構成し、この弾
性部材４２を直接的に対物レンズホルダ１３に接着剤な
どを介して取り付けるように構成したことが特徴であ
る。In the second embodiment, as shown in FIG. 13, the elastic member 42 of the dynamic pressure slider 40 of the first embodiment is made thicker than the previous embodiment. A feature is that the member 42 is directly attached to the objective lens holder 13 via an adhesive or the like.

【００４３】このように構成された動圧スライダ４０に
よれば、肉厚の弾性部材４２は動圧スライダ４０と対物
レンズホルダ１３を連結するフォーカス方向、チルト方
向の連結ばねとしての機能を持つことになる。動圧スラ
イダ４０の動圧発生面３９には、動圧により対物レンズ
１０と光ディスク２との衝突を避けようとする反発力が
働くが、この時、動圧発生面３９と対物レンズホルダ１
３を連結する肉厚の弾性部材４２の部分には、対物レン
ズホルダ１３からの慣性力と動圧発生面３９の反発力に
より圧縮方向の力が働き弾性部材４２は圧縮される。よ
って動圧発生面３９全体と対物レンズホルダ１３との相
対距離は一時的に短くなる。このような現象を利用する
と、質量の軽いスライダ４０の運動エネルギのみを動圧
により受けとめ、スライダ４０の一部として構成された
フォーカス方向の連結ばねの要素を持つ肉厚の弾性部材
４２の部分の変形エネルギに質量の大きな対物レンズ１
０や対物レンズホルダ１３の運動エネルギを変換できる
ので、小さな動圧力しか働かなくても対物レンズ１０と
光ディスク１との衝突を回避できる。According to the thus configured dynamic pressure slider 40, the thick elastic member 42 has a function as a connecting spring in the focus direction and the tilt direction for connecting the dynamic pressure slider 40 and the objective lens holder 13. become. A repulsive force acts on the dynamic pressure generating surface 39 of the dynamic pressure slider 40 to avoid collision between the objective lens 10 and the optical disc 2 by the dynamic pressure. At this time, the dynamic pressure generating surface 39 and the objective lens holder 1
The elastic member 42 is compressed by a force in the compression direction due to the inertial force from the objective lens holder 13 and the repulsive force of the dynamic pressure generating surface 39 on the thick elastic member 42 connecting the third member 3. Therefore, the relative distance between the entire dynamic pressure generating surface 39 and the objective lens holder 13 is temporarily reduced. Utilizing such a phenomenon, only the kinetic energy of the slider 40 having a small mass is received by the dynamic pressure, and the portion of the thick elastic member 42 having an element of the connecting spring in the focus direction formed as a part of the slider 40 is formed. Objective lens 1 with large mass for deformation energy
Since zero and the kinetic energy of the objective lens holder 13 can be converted, the collision between the objective lens 10 and the optical disk 1 can be avoided even if only a small dynamic pressure acts.

【００４４】また動圧発生面３９には動圧発生面３９全
体と光ディスク２上面との相対傾きを補正するようなモ
ーメントが働く。よって動圧発生面３９全体と光ディス
ク１の上面との相対傾きは一時的に減少する。このよう
な現象を利用すると、発生する動圧力を大きくすること
が可能となり、対物レンズ１０と光ディスク１との衝突
を回避できる。A moment acts on the dynamic pressure generating surface 39 to correct the relative inclination between the entire dynamic pressure generating surface 39 and the upper surface of the optical disk 2. Therefore, the relative inclination between the entire dynamic pressure generating surface 39 and the upper surface of the optical disc 1 temporarily decreases. When such a phenomenon is used, the generated dynamic pressure can be increased, and collision between the objective lens 10 and the optical disc 1 can be avoided.

【００４５】つまり、肉厚の弾性部材４２を備えた動圧
スライダ４０自身がスライダ４０と対物レンズホルダ１
３を連結するフォーカス方向、チルト方向の連結ばねと
しての機能を有しているため、スライダ４０以外の連結
用ばね部品が不要となり、設計・組み立てが非常に容易
で安価な衝突防止の機構が実現できる。なお上記第１、
第２の実施形態の説明では、シリコンウエハ５０にエッ
チングにより溝５１を形成し溶融した弾性部材４２を流
し込む（充填する）製造方法を一例として説明したが、
シリコンウエハ５０はシリコン以外の他の成分のウエハ
でも良く、またウエハ以外の例えば燐青銅などを主成分
とする平板部材でも良い。またこれらウエハや平板部材
に溝などを形成する方法も、エッチングに限定されるこ
と無く、イオンビーム加工や電子ビーム加工、あるいは
ケミカルミリング、光造形法など他の微細加工手法を用
いても良い。また、弾性部材４２としては先に記載し
た、シリコンゴム、シリコンゲルや硬化型接着剤の表面
のみ硬化させて使用する構成の他に、オイルなどの液体
状の粘性体を溝４１内に封入してシールする構造なども
採用することができる。That is, the dynamic pressure slider 40 itself having the thick elastic member 42 is connected to the slider 40 and the objective lens holder 1.
3 has a function as a connecting spring in a focus direction and a tilting direction for connecting, so that connecting spring parts other than the slider 40 become unnecessary, and a design and assembly that is very easy and realizes an inexpensive collision prevention mechanism. it can. The first,
In the description of the second embodiment, the manufacturing method in which the groove 51 is formed in the silicon wafer 50 by etching and the melted elastic member 42 is poured (filled) is described as an example.
The silicon wafer 50 may be a wafer of a component other than silicon, or may be a flat plate member other than the wafer, for example, mainly composed of phosphor bronze. Also, the method of forming grooves and the like in these wafers and plate members is not limited to etching, and other fine processing methods such as ion beam processing, electron beam processing, chemical milling, and optical modeling may be used. In addition to the above-described configuration in which only the surface of silicon rubber, silicone gel, or a curable adhesive is used as the elastic member 42, a liquid viscous material such as oil is sealed in the groove 41. It is also possible to adopt a structure in which the seal is provided.

【００４６】［第３の実施の形態］次に、図１４および
図１５を参照して本発明の第３の実施の形態を説明す
る。本実施形態の動圧スライダの製造手法は、図１４で
示すようにまず、厚さが数百ミクロン以下（例えば５０
〜２００μｍ程度）のウエハ５０の周囲を固定して中央
に荷重を加えるとわずかながら変形する。この変形した
形状は両端固定中央荷重のモデルとして材料力学的に簡
単に導き出せる。この変形した形状は完全な円弧ではな
いが、中央が凸の形状であり略円弧とみなせる。ウエハ
５０に荷重を加えこの略円弧形状に保持したまま、ウエ
ハ５０の凹面側に弾性部材４２を溶融させて流し込みこ
の円弧形状のまま保持して弾性部材４２を固化させて所
定の弾性性能を有する弾性部材とする。弾性部材４２の
固化後に荷重を解除すると弾性部材４２の存在によりウ
エハ５０は、図１５に示すように中央が凸の形状を保持
した状態となり、ウエハ５０の凸部を動圧発生面３９と
して利用可能な動圧スライダ４０となる。[Third Embodiment] Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. According to the method of manufacturing the dynamic pressure slider of the present embodiment, first, as shown in FIG.
When the periphery of the wafer 50 (about 200 μm) is fixed and a load is applied to the center, the wafer 50 slightly deforms. This deformed shape can be easily derived mechanically as a model of the center load fixed at both ends. Although the deformed shape is not a perfect arc, the center has a convex shape and can be regarded as a substantially arc. The elastic member 42 is melted and poured into the concave side of the wafer 50 while a load is applied to the wafer 50 and held in the substantially arc shape, and the elastic member 42 is solidified while maintaining the arc shape to have a predetermined elastic performance. An elastic member. When the load is released after the elastic member 42 is solidified, the wafer 50 is kept in a convex shape at the center as shown in FIG. 15 due to the presence of the elastic member 42, and the convex portion of the wafer 50 is used as the dynamic pressure generating surface 39. A possible dynamic pressure slider 40 is obtained.

【００４７】なお、上記した弾性部材４２は、第１の実
施形態で説明したシリコンゴム、シリコンゲル、紫外線
硬化型接着剤、多孔質ゲルなどを用いることができる。
なお、上述したような平面状のウエハに荷重を付加した
状態を保持して弾性部材４２を流し込む以外に、ウエハ
５０の周囲を密封して圧力を付加して弾性部材４２を流
し込んだり、あるいは溶融した弾性部材を圧力を加えて
流し込んで固め込むようにしても、ウエハ５０の中央が
凸の形状となる。上記の製法で得られたウエハ５０と弾
性部材４２とで構成されたスライダ部品は、表面はウエ
ハ５０で内部に弾性部材４２が設けられているため、ウ
エハ５０の表面精度と弾性部材の柔軟性を併せ持つ。こ
のスライダ部品を第１の実施形態と同様にそのまま動圧
スライダ４０として利用すれば、動圧発生面３９が変形
可能である作用が得られ、対物レンズ１０と光ディスク
２の衝突回避の効果が向上し、たとえ衝突しても大幅な
衝撃緩和が可能となる。またウエハ５０の凹面側に流し
込む弾性部材４２の厚みを少し厚目に設定することで、
動圧スライダ４０と対物レンズホルダ１３を連結する連
結ばねの役目を兼用した構成にでき、設計・組み立てが
非常に容易で安価な衝突防止の機構が実現できる。The elastic member 42 can be made of the silicone rubber, silicone gel, ultraviolet curable adhesive, porous gel, or the like described in the first embodiment.
In addition to pouring the elastic member 42 while maintaining the state where a load is applied to the planar wafer as described above, the periphery of the wafer 50 is sealed and pressure is applied to flow the elastic member 42 or the elastic member 42 is melted. The center of the wafer 50 has a convex shape even when the elastic member is hardened by applying pressure to the elastic member. The slider component composed of the wafer 50 and the elastic member 42 obtained by the above-described method has a wafer 50 on which the elastic member 42 is provided, so that the surface accuracy of the wafer 50 and the flexibility of the elastic member 42 are provided. Has both. If this slider component is used as it is as the dynamic pressure slider 40 as in the first embodiment, an effect that the dynamic pressure generation surface 39 can be deformed is obtained, and the effect of avoiding collision between the objective lens 10 and the optical disk 2 is improved. However, even if a collision occurs, it is possible to significantly reduce the impact. Also, by setting the thickness of the elastic member 42 flowing into the concave side of the wafer 50 to be slightly thicker,
A structure that also serves as a connection spring for connecting the dynamic pressure slider 40 and the objective lens holder 13 can be realized, and a collision prevention mechanism that is very easy to design and assemble and that is inexpensive can be realized.

【００４８】［第４の実施の形態］次に、図１６および
図１７を参照して第３の実施形態に係る動圧スライダに
ついて説明する。図１６に示すように、厚さが数百ミク
ロン以下のウエハ５０を両端の固定部材５５に取付け、
両端から荷重を加えると中央が略凸の形状にわずかなが
ら変形する。この変形を保持した状態で図１７に示すよ
うにウエハ５０に平面薄板５６を接着剤などで固定し、
その平面薄板５６の上にスライダ４０と対物レンズホル
ダ１３を連結する連結ばね用の弾性部材（図示省略）を
設ける。変形されたウエハ５０で構成された動圧発生面
３９は、形状復元力のある薄膜として外力（動圧）が加
わるとはりの変形モデルにしたがってさらに変形が可能
である。図１４、図１５で示した第３の実施の形態の場
合よりもウエハ５０の厚さを少し厚く構成（例えば１５
０〜３００μｍ程度）しておくことにより図１７に示す
ようにウエハ５０と平面薄板５６とで囲まれる内部空間
中に弾性部材などの弾性体が設けられていなくてもウエ
ハ５０自身の弾性により、一種の復元力のある膜として
機能するため、動圧発生面３９が変形する動圧スライダ
４０を構成することができる。したがって、先の第１、
第２の実施の形態と同様に、衝突防止効果が向上し、た
とえ衝突しても大幅な衝撃緩和が可能となる。[Fourth Embodiment] Next, a dynamic pressure slider according to a third embodiment will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 16, a wafer 50 having a thickness of several hundred microns or less is attached to fixing members 55 at both ends.
When a load is applied from both ends, the center slightly deforms into a substantially convex shape. With this deformation maintained, a flat thin plate 56 is fixed to the wafer 50 with an adhesive or the like as shown in FIG.
An elastic member (not shown) for a connection spring for connecting the slider 40 and the objective lens holder 13 is provided on the flat thin plate 56. The dynamic pressure generating surface 39 composed of the deformed wafer 50 can be further deformed according to a deformation model of the beam when an external force (dynamic pressure) is applied as a thin film having a shape restoring force. A configuration in which the thickness of the wafer 50 is slightly larger than that of the third embodiment shown in FIGS.
17 to about 300 μm), the elasticity of the wafer 50 itself does not cause an elastic member such as an elastic member to be provided in the internal space surrounded by the wafer 50 and the flat thin plate 56 as shown in FIG. Since it functions as a kind of film having a restoring force, a dynamic pressure slider 40 in which the dynamic pressure generation surface 39 is deformed can be configured. Therefore, the first,
As in the second embodiment, the effect of preventing a collision is improved, and even if a collision occurs, significant impact can be alleviated.

【００４９】［第５の実施の形態］次に、図１８および
図１９を参照して第５の実施形態に係る動圧スライダに
ついて説明する。図１８に示すような凹形状を有した金
型５７に弾性体を溶融させて流し込み、固化させて弾性
を有する凸状のスライダ４０を弾性部材４２にて成形す
る。金型５７の凹形状の型を非常に形状精度よく製作
し、また成形性の良い弾性材料を使用すれば、動圧発生
面の形状精度もよく表面あらさも少なくなり、スライダ
として十分に機能する。なお、弾性体としては、第１乃
至第３の実施形態で説明したシリコンゴムやシリコンゲ
ルなどでもよいが、前述の成形性の良い弾性材料として
は、例えばポリカーボネート等を用い、金型５７内に数
十μｍ程度のポリカーボネート膜を例えば２重構造とし
て形成したものなどを用いることができる。また、金型
５７の内側に離形剤を塗布しておいてから弾性体を溶融
させて流し込めば作業性が向上し、さらに金型５７にま
ず離形剤を塗布して金属薄膜を形成し、この金属薄膜に
固着するように弾性体を流し込むようにしてもよく、金
属薄膜を表面に形成することにより動圧発生面３９の表
面の平坦度を向上させることが可能となる。この動圧ス
ライダ４０はスライダ自身が弾性体にて構成されている
ため、当然のことながら動圧発生面３９は容易に変形可
能である。したがって、第１乃至第４の実施の形態で説
明したのと同様に対物レンズと光ディスクとの衝突防止
効果が向上する。また、たとえ衝突しても、動圧スライ
ダ４０自体が弾性部材であるためスライダ全体が弾性変
形して非常に有効な衝撃緩和部品としても作用する。さ
らにスライダ４０自身が全体として対物レンズホルダ１
３との連結ばねとしても働くため、スライダ４０以外の
余分な部品は全く不要であり、設計・組み立ては非常に
容易であり、コストも低減することができる。[Fifth Embodiment] Next, a dynamic pressure slider according to a fifth embodiment will be described with reference to FIGS. The elastic body is melted and poured into a mold 57 having a concave shape as shown in FIG. 18 and solidified to form an elastic convex slider 40 with the elastic member 42. If the concave mold of the mold 57 is manufactured with extremely high shape accuracy and an elastic material having good moldability is used, the shape accuracy of the dynamic pressure generating surface is reduced and the surface roughness is reduced, and the device functions sufficiently as a slider. . The elastic body may be silicon rubber or silicon gel described in the first to third embodiments. However, as the elastic material having good moldability, for example, polycarbonate or the like is used, and For example, a polycarbonate film having a thickness of about several tens of μm formed as a double structure can be used. Further, if a release agent is applied to the inside of the mold 57 and then the elastic body is melted and poured, workability is improved. Further, the release agent is first applied to the mold 57 to form a metal thin film. An elastic body may be poured so as to be fixed to the metal thin film. By forming the metal thin film on the surface, the flatness of the surface of the dynamic pressure generating surface 39 can be improved. Since the slider 40 itself is made of an elastic body, the dynamic pressure generating surface 39 can be easily deformed. Therefore, the effect of preventing the collision between the objective lens and the optical disk is improved, as described in the first to fourth embodiments. Even if a collision occurs, since the dynamic pressure slider 40 itself is an elastic member, the entire slider is elastically deformed and acts as a very effective shock absorbing component. Further, the slider 40 itself as a whole is the objective lens holder 1.
Since it also functions as a connection spring with the third member, no extra parts other than the slider 40 are required at all, design and assembly are very easy, and costs can be reduced.

【００５０】なお上記の第１乃至第５の実施形態の中で
は、動圧スライダ４０の動圧発生面３９をシリコンウエ
ハで構成し、動圧発生面を変形可能に構成するための柔
軟な部分、さらには対物レンズホルダ１３との連結ばね
部分を弾性部材４２として説明したが、これらの材質は
一例であり、これらに限定されるものではなく、シリコ
ンウエハ以外の他の成分のウエハや、またウエハ以外の
例えば燐青銅などを主成分とする平板部材でも良く、ま
た、弾性部材としては先に記載した、シリコンゴム、シ
リコンゲルや硬化型接着剤の表面のみ硬化させて使用す
る構成や、オイルなどの液体状の粘性体を封入してシー
ルする構造なども採用することができる。以上説明した
ように、動圧スライダの動圧発生面が動圧や衝突により
変形可能なように柔軟に構成することで、たとえ衝突し
ても衝撃緩和が可能となり、また動圧スライダと対物レ
ンズホルダとの連結ばね機構を一体として成形すれば、
衝突回避の効果が向上する上に設計・組み立てが簡単で
コストがかからない、対物レンズと光ディスクとの衝突
回避機能を持つレンズアクチュエータの実現が可能にな
る。In the first to fifth embodiments, the dynamic pressure generating surface 39 of the dynamic pressure slider 40 is made of a silicon wafer, and the flexible portion for making the dynamic pressure generating surface deformable. Furthermore, the connection spring portion with the objective lens holder 13 has been described as the elastic member 42, but these materials are merely examples, and the material is not limited thereto. For example, a flat plate member mainly composed of phosphor bronze or the like other than the wafer may be used.Also, as the elastic member, a structure in which only the surface of silicon rubber, silicon gel, or a curable adhesive is used by hardening, or an oil A structure in which a liquid viscous material such as the above is sealed and sealed can be employed. As described above, the dynamic pressure generating surface of the dynamic pressure slider is flexibly configured so that it can be deformed by dynamic pressure or collision, so that impact can be reduced even if collision occurs. If the connecting spring mechanism with the holder is molded integrally,
It is possible to realize a lens actuator having a function of avoiding collision between an objective lens and an optical disk, in which the effect of collision avoidance is improved, design and assembly are simple, and cost is low.

【００５１】[0051]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
ディスク装置の薄型化を図るべく対物レンズと光ディス
クとの作動距離を小さくしても、動圧スライダにて発生
する動圧力により対物レンズと光ディスクとの衝突が回
避され、外乱等によりたとえディスクとの衝突が避けら
れなくても大幅な衝撃緩和機能が得られる光ディスク装
置の実現が可能になる。As described above, according to the present invention, even if the working distance between the objective lens and the optical disk is reduced in order to reduce the thickness of the optical disk device, the objective lens is not affected by the dynamic pressure generated by the dynamic pressure slider. Therefore, it is possible to realize an optical disk device which can obtain a significant shock absorbing function even if collision with the disk cannot be avoided due to disturbance or the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明に係る光ディスク装置に係る概略断面
図。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an optical disc device according to the present invention.

【図２】図１における光学ユニットを示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing the optical unit in FIG. 1;

【図３】図１における光学ヘッドを示す平面図。FIG. 3 is a plan view showing the optical head in FIG. 1;

【図４】図１における光学ヘッドの詳細な構成を示す断
面図。FIG. 4 is a sectional view showing a detailed configuration of the optical head in FIG. 1;

【図５】本発明の第１の実施の形態に係わる動圧スライ
ダの詳細を示す斜視図。FIG. 5 is a perspective view showing details of a dynamic pressure slider according to the first embodiment of the present invention.

【図６】図５における動圧スライダの製造方法を模式的
に説明する斜視図。FIG. 6 is a perspective view schematically illustrating a method for manufacturing the dynamic pressure slider in FIG.

【図７】本発明に係る動圧スライダにおいて動圧発生面
が変形して動圧力が大きくなる様子を模式的に説明する
図。FIG. 7 is a diagram schematically illustrating how the dynamic pressure generating surface of the dynamic pressure slider according to the present invention is deformed to increase the dynamic pressure.

【図８】本発明に係る動圧スライダにおいて動圧発生面
が変形して動圧力が大きくなる様子を模式的に説明する
図。FIG. 8 is a diagram schematically illustrating how the dynamic pressure generating surface of the dynamic pressure slider according to the present invention is deformed to increase the dynamic pressure.

【図９】傾きが無い場合の、動圧スライダの動圧発生面
形状による発生動圧の違いを示す図。FIG. 9 is a view showing a difference in generated dynamic pressure depending on the shape of a dynamic pressure generating surface of a dynamic pressure slider when there is no inclination.

【図１０】図１における動圧スライダの光ディスク半径
方向拡大断面図。FIG. 10 is an enlarged sectional view of the dynamic pressure slider in FIG. 1 in the radial direction of the optical disk.

【図１１】平面状の動圧発生面と光ディスクとの位置関
係を示す図。FIG. 11 is a diagram showing a positional relationship between a planar dynamic pressure generating surface and an optical disk.

【図１２】半径方向に傾きがある場合の、動圧スライダ
の動圧発生面形状による発生動圧の違いを示す図。FIG. 12 is a diagram illustrating a difference in generated dynamic pressure depending on a shape of a dynamic pressure generating surface of a dynamic pressure slider when the dynamic pressure slider is inclined in a radial direction.

【図１３】本発明の第２の実施形態の動圧スライダの模
式図。FIG. 13 is a schematic view of a dynamic pressure slider according to a second embodiment of the present invention.

【図１４】本発明の第３の実施形態に係る動圧スライダ
の製造方法を説明する模式図。FIG. 14 is a schematic view illustrating a method for manufacturing a dynamic pressure slider according to a third embodiment of the present invention.

【図１５】本発明の第３の実施形態に係る動圧スライダ
を示す模式図。FIG. 15 is a schematic diagram showing a dynamic pressure slider according to a third embodiment of the present invention.

【図１６】本発明の第４の実施形態に係る動圧スライダ
の製造方法を説明する模式図。FIG. 16 is a schematic view illustrating a method for manufacturing a dynamic pressure slider according to a fourth embodiment of the present invention.

【図１７】本発明の第４の実施形態に係る動圧スライダ
を示す模式図。FIG. 17 is a schematic diagram showing a dynamic pressure slider according to a fourth embodiment of the present invention.

【図１８】本発明の第５の実施形態に係る動圧スライダ
の製造方法を説明する模式図。FIG. 18 is a schematic view illustrating a method for manufacturing a dynamic pressure slider according to a fifth embodiment of the present invention.

【図１９】本発明の第５の実施形態に係る動圧スライダ
を示す模式図。FIG. 19 is a schematic view showing a dynamic pressure slider according to a fifth embodiment of the present invention.

【図２０】対物レンズと一体に成形された動圧スライダ
を示す断面図。FIG. 20 is a sectional view showing a dynamic pressure slider formed integrally with the objective lens.

【図２１】動圧スライダに発生する力と、動圧スライダ
のディスク側面と光ディスクとの最小間隙との関係を示
す図。FIG. 21 is a diagram illustrating a relationship between a force generated in a dynamic pressure slider and a minimum gap between a disk side surface of the dynamic pressure slider and an optical disk.

【図２２】動圧スライダが光ディスク周方向に傾いてい
る場合についての、動圧スライダに発生する力と、動圧
スライダのディスク側面と光ディスクとの最小間隙との
関係を示す図。FIG. 22 is a diagram showing the relationship between the force generated on the dynamic pressure slider and the minimum gap between the disk side surface of the dynamic pressure slider and the optical disk when the dynamic pressure slider is inclined in the circumferential direction of the optical disk.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 光ディスク装置 ２ 光ディスク ２ａ 光ディスク保持部 ２ｍ スピンドルモータ ３ レーザダイオード ４ 光検出器 ５ ＨＯＥ素子 ６ 光学ユニット ７ 光学ヘッド ８ プリズム ９ 立ち上げミラー １０ 対物レンズ １１ フォーカスコイル １２ リニアモータコイル １３ 対物レンズホルダ １４ 支持ワイヤ １５ 滑り軸受 ３９ 動圧発生面 ４０ 動圧スライダ ４１ ウエハ製剛部分 ４２ 弾性部材 ４３ ウエハ薄膜 ５０ ウエハ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical disk apparatus 2 Optical disk 2a Optical disk holding part 2m Spindle motor 3 Laser diode 4 Photodetector 5 HOE element 6 Optical unit 7 Optical head 8 Prism 9 Start-up mirror 10 Objective lens 11 Focus coil 12 Linear motor coil 13 Objective lens holder 14 Support Wire 15 Slide bearing 39 Dynamic pressure generating surface 40 Dynamic pressure slider 41 Rigid part made of wafer 42 Elastic member 43 Wafer thin film 50 Wafer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D118 AA02 AA06 AA28 BA01 BB02 BF02 BF03 DC03 EA08 5D119 AA02 AA31 AA32 AA38 BA01 CA06 CA09 DA01 DA05 FA05 JA14 JA43 KA02 LB07 MA06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 5D118 AA02 AA06 AA28 BA01 BB02 BF02 BF03 DC03 EA08 5D119 AA02 AA31 AA32 AA38 BA01 CA06 CA09 DA01 DA05 FA05 JA14 JA43 KA02 LB07 MA06

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】対物レンズ保持体に対物レンズを保持し、
回転駆動される光ディスクの情報記録面に前記対物レン
ズを通してレーザ光を集束して記録再生を行う光ディス
ク装置において、 前記対物レンズ保持体に前記光ディスクの回転に伴い動
圧力を発生して浮上するスライダを設け、このスライダ
の動圧発生面を前記動圧力により変形可能に構成したこ
とを特徴とする光ディスク装置。An object lens is held by an object lens holder,
In an optical disc apparatus that performs recording and reproduction by converging a laser beam through the objective lens on an information recording surface of a rotationally driven optical disc, a slider that generates dynamic pressure with the rotation of the optical disc and floats on the objective lens holder is provided. An optical disk drive, wherein a dynamic pressure generating surface of the slider is deformable by the dynamic pressure. 【請求項２】対物レンズ保持体に対物レンズを保持し、
回転駆動される光ディスクの情報記録面に前記対物レン
ズを通してレーザ光を集束して記録再生を行う光ディス
ク装置において、 前記対物レンズ保持体に前記光ディスクの回転に伴い動
圧力を発生して浮上するスライダを設け、このスライダ
の動圧発生面を前記動圧力により変形可能に構成すると
共に、前記動圧発生面の形状を、前記光ディスクの半径
方向の断面形状が凸状の曲線を形成するように構成した
ことを特徴とする光ディスク装置。2. An objective lens is held by an objective lens holder,
In an optical disc apparatus that performs recording and reproduction by converging a laser beam through the objective lens on an information recording surface of a rotationally driven optical disc, a slider that generates dynamic pressure with the rotation of the optical disc and floats on the objective lens holder is provided. And the dynamic pressure generating surface of the slider is configured to be deformable by the dynamic pressure, and the shape of the dynamic pressure generating surface is configured such that the radial cross section of the optical disk forms a convex curve. An optical disc device characterized by the above-mentioned. 【請求項３】前記スライダは、剛部分と柔部分とから成
り該柔部分が前記動圧力により変形可能に構成されてい
ることを特徴とする請求項１あるいは請求項２記載の光
ディスク装置。3. The optical disk device according to claim 1, wherein the slider comprises a rigid portion and a soft portion, and the soft portion is configured to be deformable by the dynamic pressure. 【請求項４】前記スライダは、前記動圧発生面が薄膜で
形成されており、前記スライダの前記動圧発生面以外の
少なくとも一部は弾性体により形成されていることを特
徴とする請求項１あるいは請求項２記載の光ディスク装
置。4. The slider according to claim 1, wherein the dynamic pressure generating surface is formed of a thin film, and at least a part of the slider other than the dynamic pressure generating surface is formed of an elastic body. An optical disk device according to claim 1 or 2. 【請求項５】前記スライダは、前記動圧発生面を形成す
る表面部分が形状復元力のある膜として形成されている
ことを特徴とする請求項１あるいは請求項２記載の光デ
ィスク装置。5. The optical disk device according to claim 1, wherein a surface portion of the slider that forms the dynamic pressure generating surface is formed as a film having a shape restoring force. 【請求項６】前記スライダは、実質的な全体が弾性体で
形成されていることを特徴とする請求項１あるいは請求
項２記載の光ディスク装置。6. The optical disk device according to claim 1, wherein the slider is formed substantially entirely of an elastic body. 【請求項７】前記スライダには前記動圧発生面の変形を
担う柔部分が形成されており、該柔部分を前記対物レン
ズホルダに連結させて構成されていることを特徴とする
請求項１あるいは請求項２記載の光ディスク装置。7. The slider according to claim 1, wherein a soft portion is formed on the slider to deform the dynamic pressure generating surface, and the soft portion is connected to the objective lens holder. Alternatively, the optical disk device according to claim 2.