JP2000272711A - 製品保管装置及びその風量調整方法 - Google Patents
製品保管装置及びその風量調整方法Info
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- JP2000272711A JP2000272711A JP11083256A JP8325699A JP2000272711A JP 2000272711 A JP2000272711 A JP 2000272711A JP 11083256 A JP11083256 A JP 11083256A JP 8325699 A JP8325699 A JP 8325699A JP 2000272711 A JP2000272711 A JP 2000272711A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】収納保管される製品の収納保管数が変化して
も、製品収納保管部(棚)のエアーの風量そしてクリー
ンストッカ中心部のダウンフローの風量を一定に保ち、
また、開口部から吹き出すエアーの吹き出し量をも一定
に保つ製品保管装置(クリーンストッカ)及びその風量
調整方法を提供する。 【解決手段】ファンフィルタユニット3が各棚5の個々
に備えられ、クリーンストッカ1の棚5、中心部のダウ
ンフロー部及び開口部4の風速の測定・モニタリングを
リアルタイムに行う各部に設置した風速計8を有し、各
風速計8からリアルタイムに伝達される各部の風速デー
タと各部風速の最適値との比較を行い、クリーンストッ
カ制御部9からリアルタイムに伝達される各棚位置の製
品2の在荷情報を判別し、ファンフィルタユニット3の
ファン301のモーター303を個別に調整駆動し、フ
ァンフィルタユニット3の風量調整を個別に行う。
も、製品収納保管部(棚)のエアーの風量そしてクリー
ンストッカ中心部のダウンフローの風量を一定に保ち、
また、開口部から吹き出すエアーの吹き出し量をも一定
に保つ製品保管装置(クリーンストッカ)及びその風量
調整方法を提供する。 【解決手段】ファンフィルタユニット3が各棚5の個々
に備えられ、クリーンストッカ1の棚5、中心部のダウ
ンフロー部及び開口部4の風速の測定・モニタリングを
リアルタイムに行う各部に設置した風速計8を有し、各
風速計8からリアルタイムに伝達される各部の風速デー
タと各部風速の最適値との比較を行い、クリーンストッ
カ制御部9からリアルタイムに伝達される各棚位置の製
品2の在荷情報を判別し、ファンフィルタユニット3の
ファン301のモーター303を個別に調整駆動し、フ
ァンフィルタユニット3の風量調整を個別に行う。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、製品保管装置及び
その風量調整方法に関し、特に半導体製造工場のクリー
ンルーム内で使用される、半導体ウエハ等の製品の清浄
度を維持して保管する製品保管装置(以下、クリーンス
トッカという)及びその風量調整方法に関する。
その風量調整方法に関し、特に半導体製造工場のクリー
ンルーム内で使用される、半導体ウエハ等の製品の清浄
度を維持して保管する製品保管装置(以下、クリーンス
トッカという)及びその風量調整方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のクリーンストッカ及びその風量調
整方法(従来例1)は、図5のクリーンストッカの説明
図および図6のクリーンストッカ内の気流を示す説明図
で説明される。
整方法(従来例1)は、図5のクリーンストッカの説明
図および図6のクリーンストッカ内の気流を示す説明図
で説明される。
【0003】クリーンストッカ1は、半導体製造工場の
例えば0.1μm CLASS1の極めて高い清浄度で
あるクリーンルーム内に設置され、キャリヤに収納され
た半導体ウエハ等の製品2の入出庫および保管を行うも
のである。そして、半導体ウエハ等の製品2の清浄度を
維持して保管するものである。
例えば0.1μm CLASS1の極めて高い清浄度で
あるクリーンルーム内に設置され、キャリヤに収納され
た半導体ウエハ等の製品2の入出庫および保管を行うも
のである。そして、半導体ウエハ等の製品2の清浄度を
維持して保管するものである。
【0004】そのために、従来のクリーンストッカは、
図5のクリーンストッカの説明図に示すように、製品2
を収納保管する棚5がクリーンストッカ1内の前後に相
対して複数個設けられて、製品収納保管部を構成してい
る。
図5のクリーンストッカの説明図に示すように、製品2
を収納保管する棚5がクリーンストッカ1内の前後に相
対して複数個設けられて、製品収納保管部を構成してい
る。
【0005】そして、各製品2に対応する各棚5の各外
周部に、棚5の4個程度ごとにファンフィルタユニット
(以下、FFUともいう)3が1個備えられている。
周部に、棚5の4個程度ごとにファンフィルタユニット
(以下、FFUともいう)3が1個備えられている。
【0006】FFU3は、ファン301とフィルタ30
2とで構成され、FFU3にて浄化されたエアーを棚5
に収納保管された製品2へ送ることによって製品2の清
浄度を保つと共に、クリーンストッカ1内に図6に矢印
で示す気流を形成し、クリーンストッカ1全体の清浄度
を保持する。気流は基本的に内部循環であるが、クリー
ンストッカ1内の温度上昇を防ぐために、一部はクリー
ンストッカ1下部の外気取入口6より外気Dを取り入れ
ている。なお、外気取入口6より取り入れる外気Dはク
リーンルーム内の極めて清浄度の高いエアーである。
2とで構成され、FFU3にて浄化されたエアーを棚5
に収納保管された製品2へ送ることによって製品2の清
浄度を保つと共に、クリーンストッカ1内に図6に矢印
で示す気流を形成し、クリーンストッカ1全体の清浄度
を保持する。気流は基本的に内部循環であるが、クリー
ンストッカ1内の温度上昇を防ぐために、一部はクリー
ンストッカ1下部の外気取入口6より外気Dを取り入れ
ている。なお、外気取入口6より取り入れる外気Dはク
リーンルーム内の極めて清浄度の高いエアーである。
【0007】ここで、クリーンストッカ1の風量調整
は、FFU3の風量の調整で行う。FFU3の風量の調
整方法は、FFU3毎に設けられたボリューム(図示せ
ず)をマニュアル調整することにより、FFU3のファ
ン301のモーター(図示せず)の回転数を変化させて
行われる。そして、人間から発生するパーティクルがク
リーンストッカ1内に入り込まないように、クリーンス
トッカ1に設けられた製品2の入出庫を行う開口部4で
の気流Cがクリーンストッカ1外部に吹き出すように風
量を調整する。
は、FFU3の風量の調整で行う。FFU3の風量の調
整方法は、FFU3毎に設けられたボリューム(図示せ
ず)をマニュアル調整することにより、FFU3のファ
ン301のモーター(図示せず)の回転数を変化させて
行われる。そして、人間から発生するパーティクルがク
リーンストッカ1内に入り込まないように、クリーンス
トッカ1に設けられた製品2の入出庫を行う開口部4で
の気流Cがクリーンストッカ1外部に吹き出すように風
量を調整する。
【0008】そして、製品2の出し入れおよび保管は、
開口部4に載せられた製品2を、クリーンストッカ1内
の前後に相対して設けられた棚5の間を上下左右にレー
ル72上を移動する移載ロボット71で構成された移載
機7により行われ、クリーンストッカ1の制御部(図示
せず)が自動設定した位置の棚5への製品2の出し入れ
を自動的に行う。
開口部4に載せられた製品2を、クリーンストッカ1内
の前後に相対して設けられた棚5の間を上下左右にレー
ル72上を移動する移載ロボット71で構成された移載
機7により行われ、クリーンストッカ1の制御部(図示
せず)が自動設定した位置の棚5への製品2の出し入れ
を自動的に行う。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のクリー
ンストッカ1は、個々のFFU3の風量が一定であるた
め、製品収納保管部である棚5に製品2が収納されてい
る場合に比べて、製品2が収納されていない場合は、F
FU3から送られて来るエアーへの抵抗が少なく、図6
の製品収納保管部(棚5)からクリーンストッカ1中心
部に流れ込むエアーAの風量が多くなる。つまり、製品
収納保管数によってエアーAの風量が変化する。この結
果クリーンストッカ1中心部のダウンフローBの風量が
変化し、クリーンストッカ1内のエアーの流れ(気流)
が乱れて、エアーに含まれている塵埃やクリーンストッ
カ1内の溜まっていた塵埃が製品2に付着するという問
題が生ずる。
ンストッカ1は、個々のFFU3の風量が一定であるた
め、製品収納保管部である棚5に製品2が収納されてい
る場合に比べて、製品2が収納されていない場合は、F
FU3から送られて来るエアーへの抵抗が少なく、図6
の製品収納保管部(棚5)からクリーンストッカ1中心
部に流れ込むエアーAの風量が多くなる。つまり、製品
収納保管数によってエアーAの風量が変化する。この結
果クリーンストッカ1中心部のダウンフローBの風量が
変化し、クリーンストッカ1内のエアーの流れ(気流)
が乱れて、エアーに含まれている塵埃やクリーンストッ
カ1内の溜まっていた塵埃が製品2に付着するという問
題が生ずる。
【0010】また、クリーンストッカ1の開口部4の正
面の棚5に製品2が収納されていない場合は、クリーン
ストッカ1内のエアーが開口部4に直接流れ易くなり、
開口部4から吹き出すエアーCの吹き出し量が変化し、
クリーンルームのダウンフローの流れをも乱してしまう
という問題が生ずる。
面の棚5に製品2が収納されていない場合は、クリーン
ストッカ1内のエアーが開口部4に直接流れ易くなり、
開口部4から吹き出すエアーCの吹き出し量が変化し、
クリーンルームのダウンフローの流れをも乱してしまう
という問題が生ずる。
【0011】そして、例えば特開平10−291607
号公報(従来例2)には、各製品2に対応する各棚5の
各外周部にFFU3が1個ずつ備えられている荷保管装
置が示されている。
号公報(従来例2)には、各製品2に対応する各棚5の
各外周部にFFU3が1個ずつ備えられている荷保管装
置が示されている。
【0012】この従来例2は、各製品2に対応する各棚
5の各外周部にFFU3が1個ずつ備えられていること
により、各棚5の個々のFFU3の風量を調整できる点
において効果を奏している。
5の各外周部にFFU3が1個ずつ備えられていること
により、各棚5の個々のFFU3の風量を調整できる点
において効果を奏している。
【0013】しかしながら、この従来例2でも各棚5の
個々のFFU3の風量の調整を従来例1のようにマニュ
アル調整で行うため、前記従来例1のような問題を生ず
る。
個々のFFU3の風量の調整を従来例1のようにマニュ
アル調整で行うため、前記従来例1のような問題を生ず
る。
【0014】従って、本発明の目的は、クリーンストッ
カに収納保管される製品の収納保管数が変化しても、ク
リーンストッカの製品収納保管部(棚)からクリーンス
トッカ中心部に流れ込むエアーの風量そしてクリーンス
トッカ中心部のダウンフローの風量を一定に保ち、ま
た、クリーンストッカの開口部から吹き出すエアーの吹
き出し量をも一定に保つクリーンストッカ及びその風量
調整方法を提供することにある。
カに収納保管される製品の収納保管数が変化しても、ク
リーンストッカの製品収納保管部(棚)からクリーンス
トッカ中心部に流れ込むエアーの風量そしてクリーンス
トッカ中心部のダウンフローの風量を一定に保ち、ま
た、クリーンストッカの開口部から吹き出すエアーの吹
き出し量をも一定に保つクリーンストッカ及びその風量
調整方法を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明のクリーンストッ
カは、複数の製品を収納保管する複数の棚と、前記棚の
各外周部に備えられて前記製品にエアーを送るファンフ
ィルタユニットと、内部に外気を取り入れる外気取入口
と、製品の入出庫を行う開口部と、前記開口部に載せら
れた製品の前記棚への出し入れを行う製品移載手段と、
前記棚位置での製品の有無情報を管理制御するクリーン
ストッカ制御部とを有するクリーンストッカにおいて、
前記クリーンストッカ内の各部の風量の調整を自動的に
行う風量自動調整手段を有することを特徴とする。
カは、複数の製品を収納保管する複数の棚と、前記棚の
各外周部に備えられて前記製品にエアーを送るファンフ
ィルタユニットと、内部に外気を取り入れる外気取入口
と、製品の入出庫を行う開口部と、前記開口部に載せら
れた製品の前記棚への出し入れを行う製品移載手段と、
前記棚位置での製品の有無情報を管理制御するクリーン
ストッカ制御部とを有するクリーンストッカにおいて、
前記クリーンストッカ内の各部の風量の調整を自動的に
行う風量自動調整手段を有することを特徴とする。
【0016】また、前記ファンフィルタユニットが、前
記各製品の棚ごとに備えられている。
記各製品の棚ごとに備えられている。
【0017】また、前記風量自動調整手段は、前記クリ
ーンストッカ内の各部の風速の測定・モニタリングをリ
アルタイムに行う各部に設置した風速計と、前記各風速
計からリアルタイムに伝達される前記各部の風速データ
と前記各部風速の最適値との比較を行い、前記クリーン
ストッカからリアルタイムに伝達される前記各棚位置で
の製品有無情報を判別し、前記各ファンフィルタユニッ
トの回転数を指示する風速調整制御部と、前記風速調整
制御部からの出力に応じて前記ファンフィルタユニット
の風量を個別に調整駆動するファンフィルタユニットド
ライバとを有する。
ーンストッカ内の各部の風速の測定・モニタリングをリ
アルタイムに行う各部に設置した風速計と、前記各風速
計からリアルタイムに伝達される前記各部の風速データ
と前記各部風速の最適値との比較を行い、前記クリーン
ストッカからリアルタイムに伝達される前記各棚位置で
の製品有無情報を判別し、前記各ファンフィルタユニッ
トの回転数を指示する風速調整制御部と、前記風速調整
制御部からの出力に応じて前記ファンフィルタユニット
の風量を個別に調整駆動するファンフィルタユニットド
ライバとを有する。
【0018】また、前記風速計が、前記クリーンストッ
カの棚には個々に、前記クリーンストッカ中心部のダウ
ンフロー部には複数個所そして前記開口部には複数個所
設置されている。
カの棚には個々に、前記クリーンストッカ中心部のダウ
ンフロー部には複数個所そして前記開口部には複数個所
設置されている。
【0019】本発明のクリーンストッカの風量調整方法
は、クリーンストッカ内の各部に設置した風速計からリ
アルタイムに伝達される前記各部の風速データと前記各
部風速の最適値との比較を行い、前記クリーンストッカ
制御部からリアルタイムに伝達される製品の収納保管部
である各棚位置での製品の有無の在荷情報を判別し、前
記各部の風速の変化と前記製品の在荷状況の変化に応じ
て、前記棚個々に備えられているファンフィルタユニッ
トの風量を個別にリアルタイムに自動調整し、前記各部
の風速が最適な風速を保つように調整することを特徴と
する。
は、クリーンストッカ内の各部に設置した風速計からリ
アルタイムに伝達される前記各部の風速データと前記各
部風速の最適値との比較を行い、前記クリーンストッカ
制御部からリアルタイムに伝達される製品の収納保管部
である各棚位置での製品の有無の在荷情報を判別し、前
記各部の風速の変化と前記製品の在荷状況の変化に応じ
て、前記棚個々に備えられているファンフィルタユニッ
トの風量を個別にリアルタイムに自動調整し、前記各部
の風速が最適な風速を保つように調整することを特徴と
する。
【0020】また、前記クリーンストッカの個々の棚の
風速と、前記クリーンストッカ中心部のダウンフロー部
の風速と、前記クリーンストッカの開口部の風速とを測
定しモニタリングしている。
風速と、前記クリーンストッカ中心部のダウンフロー部
の風速と、前記クリーンストッカの開口部の風速とを測
定しモニタリングしている。
【0021】また、製品の在荷が無い前記棚位置のファ
ンフィルタユニットの風速を落とし、前記棚から前記ク
リーンストッカ中心部に流れ込むエアーの風速を保った
まま、前記クリーンストッカ中心部のダウンフローの風
速及び前記開口部からの吹き出しエアーの風速が最適な
風速を保つように調整する。
ンフィルタユニットの風速を落とし、前記棚から前記ク
リーンストッカ中心部に流れ込むエアーの風速を保った
まま、前記クリーンストッカ中心部のダウンフローの風
速及び前記開口部からの吹き出しエアーの風速が最適な
風速を保つように調整する。
【0022】また、前記クリーンストッカの各部の風速
データと前記各部風速の最適値との比較を行い、前記各
棚位置の製品の在荷情報を判別し、前記個々のファンフ
ィルタユニットの設定する回転数に対応したファンのモ
ーターの速度設定電圧を設定し、前記個々のファンフィ
ルタユニットのファンのモーターの回転数を検出するこ
とにより速度信号電圧を検出し、前記速度設定電圧と前
記速度信号電圧の差により、ファンフィルタユニットが
設定した回転数になるように前記差に応じた電圧を個別
にファンのモーターに与えて、個々のファンフィルタユ
ニットの風量を個別に自動調整する。
データと前記各部風速の最適値との比較を行い、前記各
棚位置の製品の在荷情報を判別し、前記個々のファンフ
ィルタユニットの設定する回転数に対応したファンのモ
ーターの速度設定電圧を設定し、前記個々のファンフィ
ルタユニットのファンのモーターの回転数を検出するこ
とにより速度信号電圧を検出し、前記速度設定電圧と前
記速度信号電圧の差により、ファンフィルタユニットが
設定した回転数になるように前記差に応じた電圧を個別
にファンのモーターに与えて、個々のファンフィルタユ
ニットの風量を個別に自動調整する。
【0023】この様な本発明によれば、クリーンストッ
カ内の各部の風速を常時測定・モニタリングし、風速の
変化を常にフィードバックし、各棚位置の製品の在荷情
報を判別し、個々のファンフィルタユニットの風量を個
別に調整することによって、製品の収納保管数が変化し
ても、クリーンストッカの製品収納保管部(棚)からク
リーンストッカ中心部に流れ込むエアー及びクリーンス
トッカ中心部のダウンフローの風速を一定に保つ。ま
た、クリーンストッカの開口部からのエアー吹き出し
を、わずかにクリーンストッカ外側向きに一定に保つ。
カ内の各部の風速を常時測定・モニタリングし、風速の
変化を常にフィードバックし、各棚位置の製品の在荷情
報を判別し、個々のファンフィルタユニットの風量を個
別に調整することによって、製品の収納保管数が変化し
ても、クリーンストッカの製品収納保管部(棚)からク
リーンストッカ中心部に流れ込むエアー及びクリーンス
トッカ中心部のダウンフローの風速を一定に保つ。ま
た、クリーンストッカの開口部からのエアー吹き出し
を、わずかにクリーンストッカ外側向きに一定に保つ。
【0024】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の一
実施形態を示す説明図、図2は図1のクリーンストッカ
内の気流を示す説明図、図3は図1のクリーンストッカ
内の風量の調整制御システムを示す構成図そして図4は
図3の個々のFFUの回転数の調整方法を示す説明図で
ある。
て図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の一
実施形態を示す説明図、図2は図1のクリーンストッカ
内の気流を示す説明図、図3は図1のクリーンストッカ
内の風量の調整制御システムを示す構成図そして図4は
図3の個々のFFUの回転数の調整方法を示す説明図で
ある。
【0025】図1に示すように、本実施形態のクリーン
ストッカでは、製品2を収納保管する棚5がクリーンス
トッカ1内の前後に相対して複数個設けられて、製品収
納保管部を構成している。
ストッカでは、製品2を収納保管する棚5がクリーンス
トッカ1内の前後に相対して複数個設けられて、製品収
納保管部を構成している。
【0026】そして、各製品2に対応する各棚5の各外
周部に、FFU3が1個ずつ備えられている。
周部に、FFU3が1個ずつ備えられている。
【0027】FFU3は、ファン301とフィルタ30
2とで構成され、FFU3にて浄化されたエアーを棚5
に収納保管された製品2へ送ることによって製品2の清
浄度を保つと共に、クリーンストッカ1内に図2に矢印
で示す気流を形成し、クリーンストッカ1全体の清浄度
を保持する。気流は基本的に内部循環であるが、クリー
ンストッカ1内の温度上昇を防ぐために、一部はクリー
ンストッカ1下部の外気取入口6より外気Dを取り入れ
ている。なお、外気取入口6より取り入れる外気Dはク
リーンルーム内の極めて清浄度の高いエアーである。
2とで構成され、FFU3にて浄化されたエアーを棚5
に収納保管された製品2へ送ることによって製品2の清
浄度を保つと共に、クリーンストッカ1内に図2に矢印
で示す気流を形成し、クリーンストッカ1全体の清浄度
を保持する。気流は基本的に内部循環であるが、クリー
ンストッカ1内の温度上昇を防ぐために、一部はクリー
ンストッカ1下部の外気取入口6より外気Dを取り入れ
ている。なお、外気取入口6より取り入れる外気Dはク
リーンルーム内の極めて清浄度の高いエアーである。
【0028】そして、クリーンストッカ1には、製品2
の入出庫を行う開口部4が設けられており、製品2の出
し入れおよび保管は、開口部4に載せられた製品2を、
クリーンストッカ1内の前後に相対して設けられた棚5
の間を上下左右にレール72上を移動する移載ロボット
71で構成された移載機7により行われ、クリーンスト
ッカ1の制御部9(図3に図示)が自動設定した位置の
棚5への製品2の出し入れを自動的に行う。
の入出庫を行う開口部4が設けられており、製品2の出
し入れおよび保管は、開口部4に載せられた製品2を、
クリーンストッカ1内の前後に相対して設けられた棚5
の間を上下左右にレール72上を移動する移載ロボット
71で構成された移載機7により行われ、クリーンスト
ッカ1の制御部9(図3に図示)が自動設定した位置の
棚5への製品2の出し入れを自動的に行う。
【0029】ここで、クリーンストッカ1の各部の風量
の調整は、各部の風速を測定・モニタリングしリアルタ
イムに各部の風速を調整して行っている。
の調整は、各部の風速を測定・モニタリングしリアルタ
イムに各部の風速を調整して行っている。
【0030】そして図3に示すように、クリーンストッ
カ1の風量の調整制御システムは構成され、動作する。
カ1の風量の調整制御システムは構成され、動作する。
【0031】まず、図1及び図2に示すように、クリー
ンストッカ1内の各部に風速計8が設置されており、各
部の風速の測定・モニタリングをリアルタイムに行って
いる。風速計8はクリーンストッカ1の製品保管部であ
る棚5には個々に、開口部4には2個所そしてクリーン
ストッカ中心部のダウンフロー部には左右中央部に合計
3個所、移載ロボット71に1個所設置されている。
ンストッカ1内の各部に風速計8が設置されており、各
部の風速の測定・モニタリングをリアルタイムに行って
いる。風速計8はクリーンストッカ1の製品保管部であ
る棚5には個々に、開口部4には2個所そしてクリーン
ストッカ中心部のダウンフロー部には左右中央部に合計
3個所、移載ロボット71に1個所設置されている。
【0032】そして、図3に示すように、クリーンスト
ッカ1内の各部に設置した各風速計8は各部の風速デー
タを測定・モニタリングしリアルタイムに風速調整制御
部10に伝達する。また、クリーンストッカ制御部9は
各棚5に位置する製品2の有り無しつまり在荷情報をリ
アルタイムに風速調整制御部10に伝達する。風速調整
制御部10は各部風速の最適値と測定データの比較を行
い、各棚5に位置する製品2の在荷情報を判別し、FF
Uドライバ11に対して、個々のFFU3の回転数を指
示する。FFUドライバ11はこれに応じてFFU31
〜3Nの回転数を個別に調整駆動する。そして、クリー
ンストッカ1内の各部の風速データは風速調整制御部1
0に常にフィードバックされ、個々のFFU3の風量は
リアルタイムに調整される。
ッカ1内の各部に設置した各風速計8は各部の風速デー
タを測定・モニタリングしリアルタイムに風速調整制御
部10に伝達する。また、クリーンストッカ制御部9は
各棚5に位置する製品2の有り無しつまり在荷情報をリ
アルタイムに風速調整制御部10に伝達する。風速調整
制御部10は各部風速の最適値と測定データの比較を行
い、各棚5に位置する製品2の在荷情報を判別し、FF
Uドライバ11に対して、個々のFFU3の回転数を指
示する。FFUドライバ11はこれに応じてFFU31
〜3Nの回転数を個別に調整駆動する。そして、クリー
ンストッカ1内の各部の風速データは風速調整制御部1
0に常にフィードバックされ、個々のFFU3の風量は
リアルタイムに調整される。
【0033】なおここで、個々のFFU3の回転数の調
整は、図4に示すように、個々のFFU3のファン30
1のモーター303の駆動電圧を調整することにより行
われる。風速調整制御部10は各部風速の最適値と測定
データの比較を行い、各棚位置の製品2の在荷情報を判
別し、FFUドライバ11に対して、個々のFFU3の
設定する回転数に対応したモーター303の速度設定電
圧S1を指示する。FFUドライバ11はこれに応じ
て、個々のFFU31〜3Nのファン301のモーター
303の回転数を検出することにより速度信号電圧S2
を検出し、FFUドライバ11の比較増幅部111は速
度設定電圧S1と速度信号電圧S2との差の電圧S3を
電圧制御部112に出力し、FFUドライバ11の電圧
制御部112は設定した回転数になるように比較増幅部
111からの出力に応じた駆動電圧S4を個別にモータ
ー303に与える。
整は、図4に示すように、個々のFFU3のファン30
1のモーター303の駆動電圧を調整することにより行
われる。風速調整制御部10は各部風速の最適値と測定
データの比較を行い、各棚位置の製品2の在荷情報を判
別し、FFUドライバ11に対して、個々のFFU3の
設定する回転数に対応したモーター303の速度設定電
圧S1を指示する。FFUドライバ11はこれに応じ
て、個々のFFU31〜3Nのファン301のモーター
303の回転数を検出することにより速度信号電圧S2
を検出し、FFUドライバ11の比較増幅部111は速
度設定電圧S1と速度信号電圧S2との差の電圧S3を
電圧制御部112に出力し、FFUドライバ11の電圧
制御部112は設定した回転数になるように比較増幅部
111からの出力に応じた駆動電圧S4を個別にモータ
ー303に与える。
【0034】ここで、クリーンストッカ1の各部の風量
調整は、個々のFFU3の風量の調整で行っており、ク
リーンストッカ1の風量自動調整の方法について説明す
る。クリーンストッカ1内の製品2の収納保管数の変化
等により、図2のクリーンストッカ1中心部のダウンフ
ローBの風速及び開口部4からの吹き出しエアーCの風
速が変化すると、各部の風速データ,製品2の在荷状況
の変化に応じて各FFU3の風量調整が行われる。これ
は具体的には、主に製品2の在荷が無い棚位置のFFU
3の風速を落とすことによって行われる。調整は、製品
2の収納保管数の変化に関わらず、製品2の収納保管部
である棚5からクリーンストッカ1中心部に流れ込むエ
アーAの風速を保ったまま、ダウンフローBの風速及び
開口部4からの吹き出しエアーCの風速が最適な風速に
なるように行われる。そして、特に開口部4からの吹き
出しエアーCの吹き出しは若干外側になるように行われ
る。
調整は、個々のFFU3の風量の調整で行っており、ク
リーンストッカ1の風量自動調整の方法について説明す
る。クリーンストッカ1内の製品2の収納保管数の変化
等により、図2のクリーンストッカ1中心部のダウンフ
ローBの風速及び開口部4からの吹き出しエアーCの風
速が変化すると、各部の風速データ,製品2の在荷状況
の変化に応じて各FFU3の風量調整が行われる。これ
は具体的には、主に製品2の在荷が無い棚位置のFFU
3の風速を落とすことによって行われる。調整は、製品
2の収納保管数の変化に関わらず、製品2の収納保管部
である棚5からクリーンストッカ1中心部に流れ込むエ
アーAの風速を保ったまま、ダウンフローBの風速及び
開口部4からの吹き出しエアーCの風速が最適な風速に
なるように行われる。そして、特に開口部4からの吹き
出しエアーCの吹き出しは若干外側になるように行われ
る。
【0035】図2に各部の最適風速の例を示す。すなわ
ち、エアーAの製品有りの場合の最適風速は0.25〜
0.35m/s、ダウンフローBの最適風速は3〜4m
/sそして吹き出しエアーCの最適風速は0.1〜0.
2m/sである。
ち、エアーAの製品有りの場合の最適風速は0.25〜
0.35m/s、ダウンフローBの最適風速は3〜4m
/sそして吹き出しエアーCの最適風速は0.1〜0.
2m/sである。
【0036】また、本実施形態では、クリーンストッカ
1内の各部の風量の測定・モニタリングに風速計8を設
け各部の風速を調整制御したがこれに限定されず、各部
に風量計を設け各部の風量を調整制御しても良い。
1内の各部の風量の測定・モニタリングに風速計8を設
け各部の風速を調整制御したがこれに限定されず、各部
に風量計を設け各部の風量を調整制御しても良い。
【0037】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ク
リーンストッカ内の各部の風速を常時測定・モニタリン
グし、風速の変化を常にフィードバックし、各棚位置の
製品の在荷情報を判別し、個々のFFUの風量を個別に
調整することによって、製品の収納保管数が変化して
も、クリーンストッカの製品収納保管部(棚)からクリ
ーンストッカ中心部に流れ込むエアー及びクリーンスト
ッカ中心部のダウンフローの風速を一定に保つため、ク
リーンストッカ内の気流の乱れを防ぎ、収納保管した製
品の清浄度を維持することができる。また、クリーンス
トッカの開口部からのエアー吹き出しを、わずかにクリ
ーンストッカ外側向きに一定に保つことができ、クリー
ンルームの一定したダウンフロー確保にも有効である。
リーンストッカ内の各部の風速を常時測定・モニタリン
グし、風速の変化を常にフィードバックし、各棚位置の
製品の在荷情報を判別し、個々のFFUの風量を個別に
調整することによって、製品の収納保管数が変化して
も、クリーンストッカの製品収納保管部(棚)からクリ
ーンストッカ中心部に流れ込むエアー及びクリーンスト
ッカ中心部のダウンフローの風速を一定に保つため、ク
リーンストッカ内の気流の乱れを防ぎ、収納保管した製
品の清浄度を維持することができる。また、クリーンス
トッカの開口部からのエアー吹き出しを、わずかにクリ
ーンストッカ外側向きに一定に保つことができ、クリー
ンルームの一定したダウンフロー確保にも有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の製品保管装置(クリーンストッカ)の
一実施形態を示す説明図である。
一実施形態を示す説明図である。
【図2】図1のクリーンストッカ内の気流を示す説明図
である。
である。
【図3】図1のクリーンストッカ内の風量の調整制御シ
ステムを示す構成図である。
ステムを示す構成図である。
【図4】図3の個々のFFUの回転数の調整方法を示す
説明図である。
説明図である。
【図5】従来技術の製品保管装置(クリーンストッカ)
を説明する説明図である。
を説明する説明図である。
【図6】図5のクリーンストッカ内の気流を示す説明図
である。
である。
1 クリーンストッカ 2 製品 3,31〜3N ファンフィルタユニット(FFU) 301 ファン 302 フィルタ 303 モーター 4 開口部 5 棚 6 外気取入口 7 移載機 71 移載ロボット 72 レール 8 風速計 9 クリーンストッカ制御部 10 風速調整制御部 11 FFUドライバ 111 比較増幅部 112 電圧制御部 A 製品収納保管部(棚)からクリーンストッカ中心
部に流れ込むエアー B クリーンストッカ中心部のダウンフロー C 開口部からの吹き出しエアー D 外気 S1 速度設定電圧 S2 速度信号電圧 S3 速度設定電圧と速度信号電圧との差の電圧 S4 駆動電圧
部に流れ込むエアー B クリーンストッカ中心部のダウンフロー C 開口部からの吹き出しエアー D 外気 S1 速度設定電圧 S2 速度信号電圧 S3 速度設定電圧と速度信号電圧との差の電圧 S4 駆動電圧
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成12年3月24日(2000.3.2
4)
4)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0015
【補正方法】変更
【補正内容】
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明のクリーンストッ
カは、複数の製品を収納保管する複数の棚と、前記各棚
の各外周部に備えられて前記製品にエアーを送るファン
フィルタユニットと、内部に外気を取り入れる外気取入
口と、前記製品の入出庫を行う開口部と、前記開口部に
載せられた前記製品の前記棚への出し入れを行う製品移
載手段と、前記棚位置での前記製品の有無情報を管理制
御するクリーンストッカ制御部と、クリーンストッカ内
各部の風量の調整を自動的に行う風量自動調整手段とを
有するクリーンストッカにおいて、前記風量自動調整手
段として、風速の測定・モニタリングをリアルタイムに
行う、個々の前記棚に設置された風速計と、前記クリー
ンストッカ中心部のダウンフロー部に設置された風速計
と、前記開口部に設置された風速計と、前記各風速計か
らリアルタイムに伝達される前記風速計の各設置箇所の
風速データと前記各設置箇所風速の最適値との比較を行
い、前記クリーンストッカ制御部からリアルタイムに伝
達される前記各棚位置での製品有無情報を判別し、前記
各ファンフィルタユニットの回転数を指示する風速調整
制御部と、前記風速調整制御部からの指示された前記回
転数に応じて前記ファンフィルタユニットのファンのモ
ーターの駆動電圧を調整して前記ファンフィルタユニッ
トの回転数を個別に調整駆動するファンフィルタユニッ
トドライバとを有していることを特徴とする。
カは、複数の製品を収納保管する複数の棚と、前記各棚
の各外周部に備えられて前記製品にエアーを送るファン
フィルタユニットと、内部に外気を取り入れる外気取入
口と、前記製品の入出庫を行う開口部と、前記開口部に
載せられた前記製品の前記棚への出し入れを行う製品移
載手段と、前記棚位置での前記製品の有無情報を管理制
御するクリーンストッカ制御部と、クリーンストッカ内
各部の風量の調整を自動的に行う風量自動調整手段とを
有するクリーンストッカにおいて、前記風量自動調整手
段として、風速の測定・モニタリングをリアルタイムに
行う、個々の前記棚に設置された風速計と、前記クリー
ンストッカ中心部のダウンフロー部に設置された風速計
と、前記開口部に設置された風速計と、前記各風速計か
らリアルタイムに伝達される前記風速計の各設置箇所の
風速データと前記各設置箇所風速の最適値との比較を行
い、前記クリーンストッカ制御部からリアルタイムに伝
達される前記各棚位置での製品有無情報を判別し、前記
各ファンフィルタユニットの回転数を指示する風速調整
制御部と、前記風速調整制御部からの指示された前記回
転数に応じて前記ファンフィルタユニットのファンのモ
ーターの駆動電圧を調整して前記ファンフィルタユニッ
トの回転数を個別に調整駆動するファンフィルタユニッ
トドライバとを有していることを特徴とする。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0016
【補正方法】削除
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0017
【補正方法】削除
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0018
【補正方法】削除
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0019
【補正方法】変更
【補正内容】
【0019】本発明のクリーンストッカの風量調整方法
は、クリーンストッカ内の製品の収納保管部である個々
の棚と、前記クリーンストッカ中心部のダウンフロー部
と、前記製品の入出庫を行う開口部とに設置した風速計
からリアルタイムに伝達される前記風速計の各設置箇所
の風速データと前記各設置箇所風速の最適値との比較を
行い、クリーンストッカ制御部からリアルタイムに伝達
される各前記棚位置での前記製品の有無の在荷情報を判
別し、前記各設置箇所の風速の変化と前記製品の在荷状
況の変化に応じて、前記棚個々に備えられているファン
フィルタユニットの風量を個別にリアルタイムに自動調
整し、前記製品の在荷が無い前記棚位置の前記ファンフ
ィルタユニットの風速を落とし、前記棚から前記クリー
ンストッカ中心部に流れ込むエアーの風速を保ったま
ま、前記クリーンストッカ中心部のダウンフローの風速
及び前記開口部からの吹き出しエアーの風速が最適な風
速を保つように調整することを特徴とする。
は、クリーンストッカ内の製品の収納保管部である個々
の棚と、前記クリーンストッカ中心部のダウンフロー部
と、前記製品の入出庫を行う開口部とに設置した風速計
からリアルタイムに伝達される前記風速計の各設置箇所
の風速データと前記各設置箇所風速の最適値との比較を
行い、クリーンストッカ制御部からリアルタイムに伝達
される各前記棚位置での前記製品の有無の在荷情報を判
別し、前記各設置箇所の風速の変化と前記製品の在荷状
況の変化に応じて、前記棚個々に備えられているファン
フィルタユニットの風量を個別にリアルタイムに自動調
整し、前記製品の在荷が無い前記棚位置の前記ファンフ
ィルタユニットの風速を落とし、前記棚から前記クリー
ンストッカ中心部に流れ込むエアーの風速を保ったま
ま、前記クリーンストッカ中心部のダウンフローの風速
及び前記開口部からの吹き出しエアーの風速が最適な風
速を保つように調整することを特徴とする。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0020
【補正方法】削除
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0021
【補正方法】削除
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0022
【補正方法】変更
【補正内容】
【0022】また、前記クリーンストッカの前記各設置
箇所の風速データと前記各設置箇所風速の最適値との比
較を行い、前記各棚位置の製品の在荷情報を判別し、前
記個々のファンフィルタユニットの設定する回転数に対
応したファンのモーターの速度設定電圧を設定し、前記
個々のファンフィルタユニットのファンのモーターの回
転数を検出することにより速度信号電圧を検出し、前記
速度設定電圧と前記速度信号電圧の差により、前記ファ
ンフィルタユニットが設定した回転数になるように前記
差に応じた電圧を個別に前記ファンのモーターに与え
て、個々のファンフィルタユニットの風量を個別に自動
調整する。
箇所の風速データと前記各設置箇所風速の最適値との比
較を行い、前記各棚位置の製品の在荷情報を判別し、前
記個々のファンフィルタユニットの設定する回転数に対
応したファンのモーターの速度設定電圧を設定し、前記
個々のファンフィルタユニットのファンのモーターの回
転数を検出することにより速度信号電圧を検出し、前記
速度設定電圧と前記速度信号電圧の差により、前記ファ
ンフィルタユニットが設定した回転数になるように前記
差に応じた電圧を個別に前記ファンのモーターに与え
て、個々のファンフィルタユニットの風量を個別に自動
調整する。
Claims (8)
- 【請求項1】 複数の製品を収納保管する複数の棚と、
前記棚の各外周部に備えられて前記製品にエアーを送る
ファンフィルタユニットと、内部に外気を取り入れる外
気取入口と、製品の入出庫を行う開口部と、前記開口部
に載せられた製品の前記棚への出し入れを行う製品移載
手段と、前記棚位置での製品の有無情報を管理制御する
製品保管装置制御部とを有する製品保管装置において、
前記製品保管装置内の各部の風量の調整を自動的に行う
風量自動調整手段を有することを特徴とする製品保管装
置。 - 【請求項2】 前記ファンフィルタユニットが、前記各
製品の棚ごとに備えられている請求項1記載の製品保管
装置。 - 【請求項3】 前記風量自動調整手段は、前記製品保管
装置の各部の風速の測定・モニタリングをリアルタイム
に行う各部に設置した風速計と、前記各風速計からリア
ルタイムに伝達される前記各部の風速データと前記各部
風速の最適値との比較を行い、前記製品保管装置制御部
からリアルタイムに伝達される前記各棚位置での製品有
無情報を判別し、前記各ファンフィルタユニットの回転
数を指示する風速調整制御部と、前記風速調整制御部か
らの出力に応じて前記ファンフィルタユニットの風量を
個別に調整駆動するファンフィルタユニットドライバと
を有する請求項1記載の製品保管装置。 - 【請求項4】 前記風速計が、前記製品保管装置の棚に
は個々に、前記製品保管装置中心部のダウンフロー部に
は複数個所そして前記開口部には複数個所設置されてい
る請求項3記載の製品保管装置。 - 【請求項5】 製品保管装置内の各部に設置した風速計
からリアルタイムに伝達される前記各部の風速データと
前記各部風速の最適値との比較を行い、前記製品保管装
置制御部からリアルタイムに伝達される製品の収納保管
部である各棚位置での製品の有無の在荷情報を判別し、
前記各部の風速の変化と前記製品の在荷状況の変化に応
じて、前記棚個々に備えられているファンフィルタユニ
ットの風量を個別にリアルタイムに自動調整し、前記各
部の風速が最適な風速を保つように調整することを特徴
とする製品保管装置の風量調整方法。 - 【請求項6】 前記製品保管装置の個々の棚の風速と、
前記製品保管装置中心部のダウンフロー部の風速と、前
記製品保管装置の開口部の風速とを測定しモニタリング
している請求項5記載の製品保管装置の風量調整方法。 - 【請求項7】 製品の在荷が無い前記棚位置のファンフ
ィルタユニットの風速を落とし、前記棚から前記製品保
管装置中心部に流れ込むエアーの風速を保ったまま、前
記製品保管装置中心部のダウンフローの風速及び前記開
口部からの吹き出しエアーの風速が最適な風速を保つよ
うに調整する請求項5記載の製品保管装置の風量調整方
法。 - 【請求項8】 前記製品保管装置の各部の風速データと
前記各部風速の最適値との比較を行い、前記各棚位置の
製品の在荷情報を判別し、前記個々のファンフィルタユ
ニットの設定する回転数に対応したファンのモーターの
速度設定電圧を設定し、前記個々のファンフィルタユニ
ットのファンのモーターの回転数を検出することにより
速度信号電圧を検出し、前記速度設定電圧と前記速度信
号電圧の差により、ファンフィルタユニットが設定した
回転数になるように前記差に応じた電圧を個別にファン
のモーターに与えて、個々のファンフィルタユニットの
風量を個別に自動調整する請求項5記載の製品保管装置
の風量調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11083256A JP3068603B1 (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 製品保管装置及びその風量調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11083256A JP3068603B1 (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 製品保管装置及びその風量調整方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3068603B1 JP3068603B1 (ja) | 2000-07-24 |
JP2000272711A true JP2000272711A (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=13797270
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11083256A Expired - Fee Related JP3068603B1 (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 製品保管装置及びその風量調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3068603B1 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7278237B2 (en) * | 2002-09-20 | 2007-10-09 | Taiyo Kogyo Co., Ltd. | Transplant production system |
JP2009184776A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫と自動倉庫へのクリーンエアの供給方法 |
JP2014033222A (ja) * | 2006-11-15 | 2014-02-20 | Dynamic Microsystems Semiconductor Equipment Gmbh | 環状に配置されているワークピースストッカ |
TWI564521B (zh) * | 2011-09-22 | 2017-01-01 | Murata Machinery Ltd | Clean room with automatic warehouse |
WO2019198205A1 (ja) * | 2018-04-12 | 2019-10-17 | 三菱電機株式会社 | 空調システム、空調管理サーバ、空調管理方法、および空調管理プログラム |
-
1999
- 1999-03-26 JP JP11083256A patent/JP3068603B1/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7278237B2 (en) * | 2002-09-20 | 2007-10-09 | Taiyo Kogyo Co., Ltd. | Transplant production system |
JP2014033222A (ja) * | 2006-11-15 | 2014-02-20 | Dynamic Microsystems Semiconductor Equipment Gmbh | 環状に配置されているワークピースストッカ |
JP2009184776A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫と自動倉庫へのクリーンエアの供給方法 |
TWI564521B (zh) * | 2011-09-22 | 2017-01-01 | Murata Machinery Ltd | Clean room with automatic warehouse |
WO2019198205A1 (ja) * | 2018-04-12 | 2019-10-17 | 三菱電機株式会社 | 空調システム、空調管理サーバ、空調管理方法、および空調管理プログラム |
JPWO2019198205A1 (ja) * | 2018-04-12 | 2020-07-27 | 三菱電機株式会社 | 空調システム、空調管理サーバ、空調管理方法、および空調管理プログラム |
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---|---|
JP3068603B1 (ja) | 2000-07-24 |
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