JP2000271829A - 回転テーブル - Google Patents
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- JP2000271829A JP2000271829A JP11082116A JP8211699A JP2000271829A JP 2000271829 A JP2000271829 A JP 2000271829A JP 11082116 A JP11082116 A JP 11082116A JP 8211699 A JP8211699 A JP 8211699A JP 2000271829 A JP2000271829 A JP 2000271829A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンパクトで剛性が高く、位置決め精度、回
転精度の良い回転テーブルを提供することである。 【解決手段】 可動盤５のステージ３の下面を固定盤２
の上面にスラスト転がり軸受８で支持し、このスラスト
転がり軸受８でスラスト荷重やモーメント荷重を受ける
とともに、アンギュラ玉軸受７をコイルばね１４で予圧
することにより、コンパクトな設計で高い剛性を確保
し、高精度な位置決めをできるようにしたのである。
転精度の良い回転テーブルを提供することである。 【解決手段】 可動盤５のステージ３の下面を固定盤２
の上面にスラスト転がり軸受８で支持し、このスラスト
転がり軸受８でスラスト荷重やモーメント荷重を受ける
とともに、アンギュラ玉軸受７をコイルばね１４で予圧
することにより、コンパクトな設計で高い剛性を確保
し、高精度な位置決めをできるようにしたのである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ワークが載置さ
れるステージを回転、位置決めする回転テーブルに関す
るものである。
れるステージを回転、位置決めする回転テーブルに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】プリント基盤や半導体等のワークを加工
や検査する装置に用いられる回転テーブルには、図５に
示すようなものがある。図５（ａ）に示す回転テーブル
は、ガイド孔４１を有する固定盤４２と、固定盤４２の
上に載置されたステージ４３の下側に軸部４４がボルト
結合された可動盤４５と、可動盤４５を水平面内で回転
駆動する駆動装置（図示省略）とで基本的に構成されて
いる。可動盤４５の軸部４４は、クロスローラ軸受４６
で固定盤４２のガイド孔４１に回転自在に支持され、軸
部４４の下端とガイド孔４１の下側孔縁には、それぞれ
クロスローラ軸受４６の内輪押さえ部材４７と外輪押さ
え部材４８が取り付けられている。また、可動盤４５の
中央には、下部光源からの光等を通すための貫通孔４９
が設けられている。
や検査する装置に用いられる回転テーブルには、図５に
示すようなものがある。図５（ａ）に示す回転テーブル
は、ガイド孔４１を有する固定盤４２と、固定盤４２の
上に載置されたステージ４３の下側に軸部４４がボルト
結合された可動盤４５と、可動盤４５を水平面内で回転
駆動する駆動装置（図示省略）とで基本的に構成されて
いる。可動盤４５の軸部４４は、クロスローラ軸受４６
で固定盤４２のガイド孔４１に回転自在に支持され、軸
部４４の下端とガイド孔４１の下側孔縁には、それぞれ
クロスローラ軸受４６の内輪押さえ部材４７と外輪押さ
え部材４８が取り付けられている。また、可動盤４５の
中央には、下部光源からの光等を通すための貫通孔４９
が設けられている。
【０００３】図５（ｂ）に示す回転テーブルは、固定盤
５０、可動盤５１および駆動装置（図示省略）の基本構
成は図５（ａ）に示したものと同じであり、可動盤５１
の軸部５２が２つのアンギュラ玉軸受５３で固定盤５０
のガイド孔５４に支持されている点が異なる。アンギュ
ラ玉軸受５３は、内輪押さえ用のロックナット５５と外
輪押さえ部材５６で軸方向を固定されている。
５０、可動盤５１および駆動装置（図示省略）の基本構
成は図５（ａ）に示したものと同じであり、可動盤５１
の軸部５２が２つのアンギュラ玉軸受５３で固定盤５０
のガイド孔５４に支持されている点が異なる。アンギュ
ラ玉軸受５３は、内輪押さえ用のロックナット５５と外
輪押さえ部材５６で軸方向を固定されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の回転テ
ーブルは、可動盤の軸部の支持に、クロスローラ軸受や
アンギュラ玉軸受等、スラスト荷重も負荷可能な転がり
軸受を採用し、この転がり軸受で可動盤の回転を支持す
るとともに、スラスト荷重やモーメント荷重も支えるよ
うになっている。このため、スラスト荷重やモーメント
荷重に対する剛性が低く、これらの荷重による変位で位
置決め精度が低下する問題がある。この剛性を高める手
段としては、転がり軸受の寸法を大きくする方法がある
が、大寸法の軸受を用いると、回転テーブルの寸法、特
に厚み寸法が大きくなり、回転テーブルをコンパクトに
できない問題がある。また、従来の回転テーブルは、軸
受部のがたで位置決め精度が低下する問題もある。
ーブルは、可動盤の軸部の支持に、クロスローラ軸受や
アンギュラ玉軸受等、スラスト荷重も負荷可能な転がり
軸受を採用し、この転がり軸受で可動盤の回転を支持す
るとともに、スラスト荷重やモーメント荷重も支えるよ
うになっている。このため、スラスト荷重やモーメント
荷重に対する剛性が低く、これらの荷重による変位で位
置決め精度が低下する問題がある。この剛性を高める手
段としては、転がり軸受の寸法を大きくする方法がある
が、大寸法の軸受を用いると、回転テーブルの寸法、特
に厚み寸法が大きくなり、回転テーブルをコンパクトに
できない問題がある。また、従来の回転テーブルは、軸
受部のがたで位置決め精度が低下する問題もある。
【０００５】そこで、この発明の課題は、コンパクトで
剛性が高く、位置決め精度、回転精度の良い回転テーブ
ルを提供することである。
剛性が高く、位置決め精度、回転精度の良い回転テーブ
ルを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明は、中央にガイド孔を有する固定盤と、
この固定盤に重ねて載置され、前記ガイド孔に嵌挿され
た軸部を有する可動盤と、前記ガイド孔と軸部とで形成
される環状空間に設けられ、前記可動盤を回転自在に支
持する転がり軸受と、前記可動盤を水平面内で回転駆動
する駆動手段とから成る回転テーブルにおいて、前記可
動盤と固定盤との重ね合わせ面間に、スラスト転がり軸
受を介在させた構成を採用したのである。
めに、この発明は、中央にガイド孔を有する固定盤と、
この固定盤に重ねて載置され、前記ガイド孔に嵌挿され
た軸部を有する可動盤と、前記ガイド孔と軸部とで形成
される環状空間に設けられ、前記可動盤を回転自在に支
持する転がり軸受と、前記可動盤を水平面内で回転駆動
する駆動手段とから成る回転テーブルにおいて、前記可
動盤と固定盤との重ね合わせ面間に、スラスト転がり軸
受を介在させた構成を採用したのである。
【０００７】すなわち、可動盤と固定盤との重ね合わせ
面間にスラスト転がり軸受を介在させることにより、こ
のスラスト転がり軸受でスラスト荷重やモーメント荷重
を支えて高い剛性を確保するとともに、可動盤軸部を回
転自在に支持する転がり軸受を、これらの負荷荷重から
解放して、可動盤の回転を円滑にし、位置決め精度と回
転精度を高めることができる。さらに、転がり軸受が前
記負荷荷重から解放されるので、コンパクトな転がり軸
受を採用することができる。
面間にスラスト転がり軸受を介在させることにより、こ
のスラスト転がり軸受でスラスト荷重やモーメント荷重
を支えて高い剛性を確保するとともに、可動盤軸部を回
転自在に支持する転がり軸受を、これらの負荷荷重から
解放して、可動盤の回転を円滑にし、位置決め精度と回
転精度を高めることができる。さらに、転がり軸受が前
記負荷荷重から解放されるので、コンパクトな転がり軸
受を採用することができる。
【０００８】また、この発明は、中央にガイド孔を有す
る固定盤と、この固定盤に重ねて載置され、前記ガイド
孔に嵌挿された軸部を有する可動盤と、この可動盤の軸
部に固定され、前記固定盤を前記可動盤との間で上下方
向に挟持する挟持板と、前記ガイド孔と軸部とで形成さ
れる環状空間に設けられ、前記可動盤を回転自在に支持
する転がり軸受と、前記可動盤を水平面内で回転駆動す
る駆動手段とから成る回転テーブルにおいて、前記可動
盤と固定盤、および前記挟持板と固定盤のそれぞれの重
ね合わせ面間に、スラスト転がり軸受を介在させた構成
も採用することができ、この場合は、可動盤の支持がダ
ブルスラスト構造となるので、スラスト荷重やモーメン
ト荷重に対する剛性をより高めることができる。
る固定盤と、この固定盤に重ねて載置され、前記ガイド
孔に嵌挿された軸部を有する可動盤と、この可動盤の軸
部に固定され、前記固定盤を前記可動盤との間で上下方
向に挟持する挟持板と、前記ガイド孔と軸部とで形成さ
れる環状空間に設けられ、前記可動盤を回転自在に支持
する転がり軸受と、前記可動盤を水平面内で回転駆動す
る駆動手段とから成る回転テーブルにおいて、前記可動
盤と固定盤、および前記挟持板と固定盤のそれぞれの重
ね合わせ面間に、スラスト転がり軸受を介在させた構成
も採用することができ、この場合は、可動盤の支持がダ
ブルスラスト構造となるので、スラスト荷重やモーメン
ト荷重に対する剛性をより高めることができる。
【０００９】上述した各回転テーブルにおいて、前記ス
ラスト転がり軸受に予圧を付与することにより、回転テ
ーブルの剛性をさらに高めることができる。
ラスト転がり軸受に予圧を付与することにより、回転テ
ーブルの剛性をさらに高めることができる。
【００１０】また、前記環状空間に設けた転がり軸受に
予圧を付与することにより、スラスト転がり軸受の摩耗
等によるがたを吸収して、位置決め精度と可動盤ステー
ジの水平度を高い精度に維持することができる。
予圧を付与することにより、スラスト転がり軸受の摩耗
等によるがたを吸収して、位置決め精度と可動盤ステー
ジの水平度を高い精度に維持することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図１乃至図４に基づき、こ
の発明の実施形態を説明する。図１および図２は第１の
実施形態を示す。図１は平面図、図２は縦断面図であ
る。この回転テーブルは、ガイド孔１を有する固定盤２
と、固定盤２の上に載置されたステージ３の下側に軸部
４がボルト結合された可動盤５と、可動盤５を水平面内
で回転駆動する駆動装置６とで基本的に構成されてい
る。
の発明の実施形態を説明する。図１および図２は第１の
実施形態を示す。図１は平面図、図２は縦断面図であ
る。この回転テーブルは、ガイド孔１を有する固定盤２
と、固定盤２の上に載置されたステージ３の下側に軸部
４がボルト結合された可動盤５と、可動盤５を水平面内
で回転駆動する駆動装置６とで基本的に構成されてい
る。
【００１２】前記可動盤５は、軸部４とガイド孔１とで
形成される環状空間に設けられたアンギュラ玉軸受７
で、固定盤２に対し回転自在に支持され、ステージ３の
下面はスラスト転がり軸受８で固定盤２の上面側に支持
されている。固定盤２の上面外周側は段差で低く形成さ
れ、この低くなった外周側にスラスト転がり軸受８を配
置することにより、回転テーブルの厚み寸法がコンパク
トに形成されている。また、可動盤５の中央には、下部
光源からの光等を通すための貫通孔９が設けられてい
る。
形成される環状空間に設けられたアンギュラ玉軸受７
で、固定盤２に対し回転自在に支持され、ステージ３の
下面はスラスト転がり軸受８で固定盤２の上面側に支持
されている。固定盤２の上面外周側は段差で低く形成さ
れ、この低くなった外周側にスラスト転がり軸受８を配
置することにより、回転テーブルの厚み寸法がコンパク
トに形成されている。また、可動盤５の中央には、下部
光源からの光等を通すための貫通孔９が設けられてい
る。
【００１３】前記アンギュラ玉軸受７は、外輪１０を前
記ガイド孔１の上端部に設けられた鍔１１で支えられ、
内輪１２が前記軸部４の下端に取り付けられた座板１３
に受けられたコイルばね１４で上方に押圧され、予圧が
付与されている。したがって、スラスト転がり軸受８
は、このコイルばね１４でアンギュラ玉軸受７を介して
定圧で予圧され、可動盤５と固定盤２との間にがたが生
じないようになっている。
記ガイド孔１の上端部に設けられた鍔１１で支えられ、
内輪１２が前記軸部４の下端に取り付けられた座板１３
に受けられたコイルばね１４で上方に押圧され、予圧が
付与されている。したがって、スラスト転がり軸受８
は、このコイルばね１４でアンギュラ玉軸受７を介して
定圧で予圧され、可動盤５と固定盤２との間にがたが生
じないようになっている。
【００１４】前記駆動装置６は、シリンダ１５にピスト
ン１６が組み込まれたものであり、シリンダ１５がブラ
ケット１７で固定盤２の側面に固定され、ピストン１６
の先端が屈曲自在の継手１８を介してステージ３に連結
されており、ピストン１６の直線駆動で可動盤５が軸部
４の中心を回転中心として水平面内で回転する。
ン１６が組み込まれたものであり、シリンダ１５がブラ
ケット１７で固定盤２の側面に固定され、ピストン１６
の先端が屈曲自在の継手１８を介してステージ３に連結
されており、ピストン１６の直線駆動で可動盤５が軸部
４の中心を回転中心として水平面内で回転する。
【００１５】図３は第２の実施形態を示す。この回転テ
ーブルは、ガイド孔１９を有する固定盤２０と、軸部２
１の上下にステージ２２と挟持板２３がボルト結合され
た可動盤２４と、第１の実施形態と同様の駆動装置（図
示省略）とで基本的に構成されている。また、可動盤２
４には下部光源用の貫通孔２５も設けられている。
ーブルは、ガイド孔１９を有する固定盤２０と、軸部２
１の上下にステージ２２と挟持板２３がボルト結合され
た可動盤２４と、第１の実施形態と同様の駆動装置（図
示省略）とで基本的に構成されている。また、可動盤２
４には下部光源用の貫通孔２５も設けられている。
【００１６】前記可動盤２４は、軸部２１とガイド孔１
９とで形成される環状空間に設けられた深溝玉軸受２６
で、固定盤２０に対し回転自在に支持され、固定盤２０
の上下面は、それぞれスラスト転がり軸受２７、２８を
介して、前記ステージ２２の下面と挟持板２３の上面で
挟持されている。各スラスト転がり軸受２７、２８は、
ステージ２２と挟持板２３との間隔と、これら両者に挟
持される固定盤２０と各スラスト転がり軸受２７、２８
の高さとの関係を調整することにより、所謂定位置予圧
をかけて組み込まれている。このスラスト転がり軸受２
７、２８への定位置予圧の付与により、スラスト荷重や
モーメント荷重に対する可動盤２４の剛性がさらに高く
なる。
９とで形成される環状空間に設けられた深溝玉軸受２６
で、固定盤２０に対し回転自在に支持され、固定盤２０
の上下面は、それぞれスラスト転がり軸受２７、２８を
介して、前記ステージ２２の下面と挟持板２３の上面で
挟持されている。各スラスト転がり軸受２７、２８は、
ステージ２２と挟持板２３との間隔と、これら両者に挟
持される固定盤２０と各スラスト転がり軸受２７、２８
の高さとの関係を調整することにより、所謂定位置予圧
をかけて組み込まれている。このスラスト転がり軸受２
７、２８への定位置予圧の付与により、スラスト荷重や
モーメント荷重に対する可動盤２４の剛性がさらに高く
なる。
【００１７】また、前記深溝玉軸受２６はコイルばね２
９で押圧され、所謂定圧予圧を付与されている。この深
溝玉軸受２６の定圧予圧により、前記スラスト転がり軸
受２７、２８に摩耗が生じても、この摩耗によるがたを
吸収することができる。なお、コイルばね２９で付与さ
れる予圧量は、前記スラスト転がり軸受２７、２８に付
与される予圧量よりも小さく設定されているので、スラ
スト転がり軸受２７、２８に付与された予圧が抜けるこ
とはない。
９で押圧され、所謂定圧予圧を付与されている。この深
溝玉軸受２６の定圧予圧により、前記スラスト転がり軸
受２７、２８に摩耗が生じても、この摩耗によるがたを
吸収することができる。なお、コイルばね２９で付与さ
れる予圧量は、前記スラスト転がり軸受２７、２８に付
与される予圧量よりも小さく設定されているので、スラ
スト転がり軸受２７、２８に付与された予圧が抜けるこ
とはない。
【００１８】図４は第３の実施形態を示す。この回転テ
ーブルは、基本的な構成は第２の実施形態と同じであ
り、可動盤３０の軸部３１を固定盤３２のガイド孔３３
に支持するアンギュラ玉軸受３４が、ステージ３５に取
り付けられたねじ３６で押圧され、アンギュラ玉軸受３
４が定位置に予圧されている点のみが異なる。すなわ
ち、ステージ３５と挟持板３７との間隔と、これら両者
に挟持される固定盤２０と各スラスト転がり軸受３８、
３９の高さとの関係が、スペーサ４０に当接されるねじ
３６の進退で調整され、各スラスト転がり軸受３７、３
８が予圧されるようになっている。これにより、スラス
ト転がり軸受３８、３９の予圧を簡便に行うことができ
る。
ーブルは、基本的な構成は第２の実施形態と同じであ
り、可動盤３０の軸部３１を固定盤３２のガイド孔３３
に支持するアンギュラ玉軸受３４が、ステージ３５に取
り付けられたねじ３６で押圧され、アンギュラ玉軸受３
４が定位置に予圧されている点のみが異なる。すなわ
ち、ステージ３５と挟持板３７との間隔と、これら両者
に挟持される固定盤２０と各スラスト転がり軸受３８、
３９の高さとの関係が、スペーサ４０に当接されるねじ
３６の進退で調整され、各スラスト転がり軸受３７、３
８が予圧されるようになっている。これにより、スラス
ト転がり軸受３８、３９の予圧を簡便に行うことができ
る。
【００１９】上述した各実施形態では、可動盤の軸部を
支持する転がり軸受に玉軸受を採用したが、本発明の回
転テーブルはスラスト荷重やモーメント荷重をスラスト
転がり軸受で受ける構成としたので、ころ軸受等の任意
の転がり軸受を用いることができる。また、スラスト転
がり軸受の予圧についても、任意の形態を採用すること
ができる。
支持する転がり軸受に玉軸受を採用したが、本発明の回
転テーブルはスラスト荷重やモーメント荷重をスラスト
転がり軸受で受ける構成としたので、ころ軸受等の任意
の転がり軸受を用いることができる。また、スラスト転
がり軸受の予圧についても、任意の形態を採用すること
ができる。
【００２０】
【発明の効果】以上のように、この発明の回転テーブル
は、可動盤と固定盤との重ね合わせ面間にスラスト転が
り軸受を介在させたので、このスラスト転がり軸受でス
ラスト荷重やモーメント荷重を支えて高い剛性を確保す
るとともに、可動盤軸部を回転自在に支持する転がり軸
受を、これらの負荷荷重から解放して、コンパクトな転
がり軸受で可動盤の回転を円滑にし、位置決め精度と回
転精度を高めることができる。
は、可動盤と固定盤との重ね合わせ面間にスラスト転が
り軸受を介在させたので、このスラスト転がり軸受でス
ラスト荷重やモーメント荷重を支えて高い剛性を確保す
るとともに、可動盤軸部を回転自在に支持する転がり軸
受を、これらの負荷荷重から解放して、コンパクトな転
がり軸受で可動盤の回転を円滑にし、位置決め精度と回
転精度を高めることができる。
【００２１】また、固定盤を可動盤との間で挟持する挟
持板を設けたダブルスラスト構造の回転テーブルでは、
可動盤と固定盤、および挟持板と固定盤のそれぞれの重
ね合わせ面間にスラスト転がり軸受を介在させたので、
スラスト荷重やモーメント荷重に対する剛性をより高め
ることができる。
持板を設けたダブルスラスト構造の回転テーブルでは、
可動盤と固定盤、および挟持板と固定盤のそれぞれの重
ね合わせ面間にスラスト転がり軸受を介在させたので、
スラスト荷重やモーメント荷重に対する剛性をより高め
ることができる。
【００２２】さらに、前記スラスト転がり軸受に予圧を
付与することにより、回転テーブルの剛性をさらに高め
ることができ、可動盤軸部を支持する転がり軸受に予圧
を付与することにより、スラスト転がり軸受の摩耗等に
よるがたを吸収して、位置決め精度と可動盤ステージの
水平度を高い精度に維持することができる。
付与することにより、回転テーブルの剛性をさらに高め
ることができ、可動盤軸部を支持する転がり軸受に予圧
を付与することにより、スラスト転がり軸受の摩耗等に
よるがたを吸収して、位置決め精度と可動盤ステージの
水平度を高い精度に維持することができる。
【図１】第１の実施形態の回転テーブルを示す平面図
【図２】図１の縦断面図
【図３】第２の実施形態の回転テーブルを示す縦断面図
【図４】第３の実施形態の回転テーブルを示す縦断面図
【図５】ａ、ｂはそれぞれ従来の回転テーブルを示す縦
断面図
断面図
１ ガイド孔 ２ 固定盤 ３ ステージ ４ 軸部 ５ 可動盤 ６ 駆動装置 ７ アンギュラ玉軸受 ８ スラスト転がり軸受 ９ 貫通孔 １０ 外輪 １１ 鍔 １２ 内輪 １３ 座板 １４ コイルばね １５ シリンダ １６ ピストン １７ ブラケット １８ 継手 １９ ガイド孔 ２０ 固定盤 ２１ 軸部 ２２ ステージ ２３ 挟持板 ２４ 可動盤 ２５ 貫通孔 ２６ 深溝玉軸受 ２７、２８ スラスト転がり軸受 ２９ コイルばね ３０ 可動盤 ３１ 軸部 ３２ 固定盤 ３３ ガイド孔 ３４ アンギュラ玉軸受 ３５ ステージ ３６ ねじ ３７ 挟持板 ３８、３９ スラスト転がり軸受 ４０ スペーサ ４１ ガイド孔 ４２ 固定盤 ４３ ステージ ４４ 軸部 ４５ 可動盤 ４６ クロスローラ軸受 ４７、４８ 押さえ部材 ４９ 貫通孔 ５０ 固定盤 ５１ 可動盤 ５２ 軸部 ５３ アンギュラ玉軸受 ５４ ガイド孔 ５５ ロックナット ５６ 押さえ部材
Claims (4)
- 【請求項１】 中央にガイド孔を有する固定盤と、この
固定盤に重ねて載置され、前記ガイド孔に嵌挿された軸
部を有する可動盤と、前記ガイド孔と軸部とで形成され
る環状空間に設けられ、前記可動盤を回転自在に支持す
る転がり軸受と、前記可動盤を水平面内で回転駆動する
駆動手段とから成る回転テーブルにおいて、前記可動盤
と固定盤との重ね合わせ面間に、スラスト転がり軸受を
介在させたことを特徴とする回転テーブル。 - 【請求項２】 中央にガイド孔を有する固定盤と、この
固定盤に重ねて載置され、前記ガイド孔に嵌挿された軸
部を有する可動盤と、この可動盤の軸部に固定され、前
記固定盤を前記可動盤との間で上下方向に挟持する挟持
板と、前記ガイド孔と軸部とで形成される環状空間に設
けられ、前記可動盤を回転自在に支持する転がり軸受
と、前記可動盤を水平面内で回転駆動する駆動手段とか
ら成る回転テーブルにおいて、前記可動盤と固定盤、お
よび前記挟持板と固定盤のそれぞれの重ね合わせ面間
に、スラスト転がり軸受を介在させたことを特徴とする
回転テーブル。 - 【請求項３】 前記スラスト転がり軸受に予圧を付与し
た請求項１または２に記載の回転テーブル。 - 【請求項４】 前記環状空間に設けた転がり軸受に予圧
を付与した請求項１乃至３のいずれかに記載の回転テー
ブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11082116A JP2000271829A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | 回転テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11082116A JP2000271829A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | 回転テーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000271829A true JP2000271829A (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=13765450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11082116A Pending JP2000271829A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | 回転テーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000271829A (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002341076A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-27 | Nippon Thompson Co Ltd | 角度調整テーブル装置 |
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