JP2000269570A - 放電励起ガスレーザ発振器およびこの放電励起ガスレーザ発振器を用いたレーザ発振方法 - Google Patents
放電励起ガスレーザ発振器およびこの放電励起ガスレーザ発振器を用いたレーザ発振方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低出力時におけるレーザ強度分布の偏りをな
くすことのできる放電励起ガスレーザ発振器およびこの
放電励起ガスレーザ発振器を用いたレーザ発振方法を提
供する。 【解決手段】 循環するレーザガスに、レーザビームＬ
Ｂの光軸Ｌ方向に分割された複数の分割放電電極５Ａ、
５Ｂ、５Ｃのうち、電力供給手段７Ａ、７Ｂ、７Ｃによ
り電力を供給された分割放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃが放
電してレーザビームＬＢを出力するので、レーザ利得分
布がレーザビームＬＢの光軸Ｌと直角方向に均一とし、
レーザ強度分布も均一とすることができる。これによ
り、低出力時における加工速度や面粗度の改善を図るこ
とができる。
くすことのできる放電励起ガスレーザ発振器およびこの
放電励起ガスレーザ発振器を用いたレーザ発振方法を提
供する。 【解決手段】 循環するレーザガスに、レーザビームＬ
Ｂの光軸Ｌ方向に分割された複数の分割放電電極５Ａ、
５Ｂ、５Ｃのうち、電力供給手段７Ａ、７Ｂ、７Ｃによ
り電力を供給された分割放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃが放
電してレーザビームＬＢを出力するので、レーザ利得分
布がレーザビームＬＢの光軸Ｌと直角方向に均一とし、
レーザ強度分布も均一とすることができる。これによ
り、低出力時における加工速度や面粗度の改善を図るこ
とができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、放電励起ガスレ
ーザ発振器およびこの放電励起ガスレーザ発振器を用い
たレーザ発振方法に関するものである。
ーザ発振器およびこの放電励起ガスレーザ発振器を用い
たレーザ発振方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図６を参照するに、従来より放電励起に
よるガスレーザ発振器１０１では、真空容器１０３の内
部に放電電極１０５が設けられており、この放電電極１
０５に電力を供給する電源１０７が設けられている。ま
た、真空容器１０３の内部には、ガス流を円滑にするた
めの送風機１０９が設けられている。
よるガスレーザ発振器１０１では、真空容器１０３の内
部に放電電極１０５が設けられており、この放電電極１
０５に電力を供給する電源１０７が設けられている。ま
た、真空容器１０３の内部には、ガス流を円滑にするた
めの送風機１０９が設けられている。
【０００３】このようなレーザ発振器１０１では、放電
空間（放電電極面積）がそのレーザ発振器１０１の最大
仕様（出力）に合わせて予め決定されている。
空間（放電電極面積）がそのレーザ発振器１０１の最大
仕様（出力）に合わせて予め決定されている。
【０００４】すなわち、図６に示されているような三軸
直交型のレーザ発振器１０１の場合には、放電電極１０
５の面積が、レーザ発振器１０１における最大出力時に
全面積が放電するように設計されている。
直交型のレーザ発振器１０１の場合には、放電電極１０
５の面積が、レーザ発振器１０１における最大出力時に
全面積が放電するように設計されている。
【０００５】これは、放電電極１０５の面積が必要面積
より小さい場合には、放電電力最大時に異常なアーク放
電を起こして光変換効率を大幅に低下させるし、また必
要面積より大きい場合には、小さいときのような異常な
アーク放電を起こさないが、やはり光変換効率を低下さ
せるためである。これは、軸流タイプのレーザ発振器で
も同様であり、やはり適正な電極面積が設定されてい
る。
より小さい場合には、放電電力最大時に異常なアーク放
電を起こして光変換効率を大幅に低下させるし、また必
要面積より大きい場合には、小さいときのような異常な
アーク放電を起こさないが、やはり光変換効率を低下さ
せるためである。これは、軸流タイプのレーザ発振器で
も同様であり、やはり適正な電極面積が設定されてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来の技術にあっては、放電面積が最大出力に合わせ
て決定されているため、低出力時には放電電極１０５の
一部しか放電しないこととなる。また、その放電する部
分も一定していないので、例えばガス下流側の一部（図
７（Ａ）参照）であったり、光軸方向の出力ミラー側
（図７（Ｂ）参照）であったり、まちまちである。
な従来の技術にあっては、放電面積が最大出力に合わせ
て決定されているため、低出力時には放電電極１０５の
一部しか放電しないこととなる。また、その放電する部
分も一定していないので、例えばガス下流側の一部（図
７（Ａ）参照）であったり、光軸方向の出力ミラー側
（図７（Ｂ）参照）であったり、まちまちである。
【０００７】図８には、前述した図６に示されている三
軸直交型レーザ発振器１０１の断面が示されている。す
なわち、電源１０７から電力を供給されて放電する放電
電極１０５が対向して設けられており、この放電電極１
０５間をガスが流れるように送風機１０９が設けられ、
加熱されたガスを冷却する熱交換器１１１が設けられて
いる。
軸直交型レーザ発振器１０１の断面が示されている。す
なわち、電源１０７から電力を供給されて放電する放電
電極１０５が対向して設けられており、この放電電極１
０５間をガスが流れるように送風機１０９が設けられ、
加熱されたガスを冷却する熱交換器１１１が設けられて
いる。
【０００８】このような三軸直交型レーザ発振器１０１
では、図９（Ａ）、（Ｂ）に示されているように放電電
極１０５の間を光路Ｌが形成され、リアミラー１１３お
よび折返りミラー１１５，１１７で反射されて、出力ミ
ラー１１９からレーザ光ＬＢが出力されるようになって
いる。例えば、放電電極１０５の放電面積が最大出力時
の１／４の出力時には、図１０（Ａ）、（Ｂ）に示され
ているように放電電極１０５の一部でのみ放電すること
になり、図１１に示されているように、レーザの利得分
布をこれに従うこととなる。
では、図９（Ａ）、（Ｂ）に示されているように放電電
極１０５の間を光路Ｌが形成され、リアミラー１１３お
よび折返りミラー１１５，１１７で反射されて、出力ミ
ラー１１９からレーザ光ＬＢが出力されるようになって
いる。例えば、放電電極１０５の放電面積が最大出力時
の１／４の出力時には、図１０（Ａ）、（Ｂ）に示され
ているように放電電極１０５の一部でのみ放電すること
になり、図１１に示されているように、レーザの利得分
布をこれに従うこととなる。
【０００９】すなわち、図１２（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）
を参照するに、最大出力時と低出力時で出力されるレー
ザの強度分布が異なり、最終的には切断性能に差が出て
しまうので、図１２（Ｂ）に示した理想的な強度分布に
比べ、従来の図１２（Ｃ）に示した低出力時の強度分布
では、加工速度や面粗度が劣るという問題がある。これ
は、軸流型のレーザ発振器についても同様のことがいえ
る。
を参照するに、最大出力時と低出力時で出力されるレー
ザの強度分布が異なり、最終的には切断性能に差が出て
しまうので、図１２（Ｂ）に示した理想的な強度分布に
比べ、従来の図１２（Ｃ）に示した低出力時の強度分布
では、加工速度や面粗度が劣るという問題がある。これ
は、軸流型のレーザ発振器についても同様のことがいえ
る。
【００１０】この発明の目的は、以上のような従来の技
術に着目してなされたものであり、低出力時におけるレ
ーザ強度分布の偏りをなくすことのできる放電励起ガス
レーザ発振器およびこの放電励起ガスレーザ発振器を用
いたレーザ発振方法を提供することにある。
術に着目してなされたものであり、低出力時におけるレ
ーザ強度分布の偏りをなくすことのできる放電励起ガス
レーザ発振器およびこの放電励起ガスレーザ発振器を用
いたレーザ発振方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１による発明の放電励起ガスレーザ発振器
は、循環するレーザガスにおいて放電部が放電すること
によりレーザビームを出力する放電励起ガスレーザ発振
器であって、前記放電部が、前記レーザビームの光軸方
向に分割された複数の放電電極と、この複数の放電電極
に独立して放電電力を供給する電力供給手段と、を備え
てなることを特徴とするものである。
めに、請求項１による発明の放電励起ガスレーザ発振器
は、循環するレーザガスにおいて放電部が放電すること
によりレーザビームを出力する放電励起ガスレーザ発振
器であって、前記放電部が、前記レーザビームの光軸方
向に分割された複数の放電電極と、この複数の放電電極
に独立して放電電力を供給する電力供給手段と、を備え
てなることを特徴とするものである。
【００１２】従って、循環するレーザガスに、放電部で
あるレーザビームの光軸方向に分割された複数の放電電
極のうち、電力供給手段により電力を供給された放電電
極が放電してレーザビームを出力する。
あるレーザビームの光軸方向に分割された複数の放電電
極のうち、電力供給手段により電力を供給された放電電
極が放電してレーザビームを出力する。
【００１３】請求項２による発明の放電励起ガスレーザ
発振器は、請求項１記載の放電励起ガスレーザ発振器に
おいて、前記電力供給手段が、前記各放電電極ごとに設
けられている複数の電源を有すること、を特徴とするも
のである。
発振器は、請求項１記載の放電励起ガスレーザ発振器に
おいて、前記電力供給手段が、前記各放電電極ごとに設
けられている複数の電源を有すること、を特徴とするも
のである。
【００１４】従って、電力を供給する電力供給手段であ
る複数の電源のうち、使用すべき放電電極のために設け
られている電源からのみ電力を供給する。
る複数の電源のうち、使用すべき放電電極のために設け
られている電源からのみ電力を供給する。
【００１５】請求項３による発明の放電励起ガスレーザ
発振器は、請求項１記載の放電励起ガスレーザ発振器に
おいて、前記電力供給手段が、前記各放電電極に接続さ
れた１個の電源と、この電源からの電力を独立してオン
・オフすべく前記各放電電極ごとに設けられている電源
スイッチと、を備えてなることを特徴とするものであ
る。
発振器は、請求項１記載の放電励起ガスレーザ発振器に
おいて、前記電力供給手段が、前記各放電電極に接続さ
れた１個の電源と、この電源からの電力を独立してオン
・オフすべく前記各放電電極ごとに設けられている電源
スイッチと、を備えてなることを特徴とするものであ
る。
【００１６】従って、使用すべき放電電極に電力をオン
・オフする電源スイッチをオンとして、各放電電極に接
続された１個の電源から電力を供給する。
・オフする電源スイッチをオンとして、各放電電極に接
続された１個の電源から電力を供給する。
【００１７】請求項４による発明のレーザ発振方法は、
請求項１記載の放電励起ガスレーザ発振器において、前
記放電電極の一つが規定以上の電力となった場合には、
他の電極へ電力を分配すること、を特徴とするものであ
る。
請求項１記載の放電励起ガスレーザ発振器において、前
記放電電極の一つが規定以上の電力となった場合には、
他の電極へ電力を分配すること、を特徴とするものであ
る。
【００１８】従って、レーザ出力に応じて１個づつ順に
放電電極に電力を供給し、供給される電力が規定値以上
となったら次の放電電極にも電力を供給する。
放電電極に電力を供給し、供給される電力が規定値以上
となったら次の放電電極にも電力を供給する。
【００１９】請求項５による発明のレーザ発振方法は、
請求項４記載のレーザ発振方法において、前記規定の電
力が、最大レーザ出力時の電力を放電電極の個数で割っ
た値の５０％であること、を特徴とするものである。
請求項４記載のレーザ発振方法において、前記規定の電
力が、最大レーザ出力時の電力を放電電極の個数で割っ
た値の５０％であること、を特徴とするものである。
【００２０】従って、レーザ出力に応じて１個づつ順に
放電電極に電力を供給し、供給される電力が、最大レー
ザ出力時の電力を放電電極の個数で割った値の５０％以
上となったら次の放電電極にも電力を供給する。
放電電極に電力を供給し、供給される電力が、最大レー
ザ出力時の電力を放電電極の個数で割った値の５０％以
上となったら次の放電電極にも電力を供給する。
【００２１】請求項６による発明のレーザ発振方法は、
請求項４記載のレーザ発振方法において、前記電力の分
配を、レーザ出力指令またはこれに相当する放電電力に
より行うこと、を特徴とするものである。
請求項４記載のレーザ発振方法において、前記電力の分
配を、レーザ出力指令またはこれに相当する放電電力に
より行うこと、を特徴とするものである。
【００２２】従って、放電電極への電力の供給は、レー
ザ出力指令またはこれに相当する放電電力により決定す
る。
ザ出力指令またはこれに相当する放電電力により決定す
る。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。
面に基づいて詳細に説明する。
【００２４】図１には、この発明に係る放電励起ガスレ
ーザ発振器１が示されている。このレーザ発振器１で
は、真空容器３の内部に複数（ここでは３個）に分割さ
れた放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃが光軸Ｌ方向に並んで設
けられており、各放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃごとに各々
電源７Ａ、７Ｂ、７Ｃが接続されて放電電力を供給する
ようになっている。また、真空容器３内部には、ガス流
を円滑にするための送風機９が設けられている。
ーザ発振器１が示されている。このレーザ発振器１で
は、真空容器３の内部に複数（ここでは３個）に分割さ
れた放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃが光軸Ｌ方向に並んで設
けられており、各放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃごとに各々
電源７Ａ、７Ｂ、７Ｃが接続されて放電電力を供給する
ようになっている。また、真空容器３内部には、ガス流
を円滑にするための送風機９が設けられている。
【００２５】従って、加工に要求されるレーザビームの
強度に応じて、レーザ出力指令や放電電力により使用す
べき放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃの電源７Ａ、７Ｂ、７Ｃ
に指令を与えて、放電する放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃと
各電力を決定する。
強度に応じて、レーザ出力指令や放電電力により使用す
べき放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃの電源７Ａ、７Ｂ、７Ｃ
に指令を与えて、放電する放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃと
各電力を決定する。
【００２６】このレーザ発振器１では、最大出力時に各
放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃの合計面積が放電するように
設定されている。そして、低出力時には、例えば放電電
極５Ａのみが放電するように電源７Ａから電力を供給
し、ある規定以上の出力（例えば最大レーザ出力時の電
力を放電電極の個数で割った値の５０％以上）が必要と
なったときには放電電極５Ａと放電電極５Ｂが放電する
ように電源７Ａおよび電源７Ｂに指令する。さらに大き
な出力が必要な場合には、放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃが
放電するように、電源７Ａ、７Ｂ、７Ｃに指令する。
放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃの合計面積が放電するように
設定されている。そして、低出力時には、例えば放電電
極５Ａのみが放電するように電源７Ａから電力を供給
し、ある規定以上の出力（例えば最大レーザ出力時の電
力を放電電極の個数で割った値の５０％以上）が必要と
なったときには放電電極５Ａと放電電極５Ｂが放電する
ように電源７Ａおよび電源７Ｂに指令する。さらに大き
な出力が必要な場合には、放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃが
放電するように、電源７Ａ、７Ｂ、７Ｃに指令する。
【００２７】例えば、前述の従来技術の欄で説明した図
１０（Ａ）（Ｂ）の出力に相当する出力を得るために
は、図２（Ａ）に示されているように、電源７Ａと電源
７Ｂの一部から電力を供給するようにする。
１０（Ａ）（Ｂ）の出力に相当する出力を得るために
は、図２（Ａ）に示されているように、電源７Ａと電源
７Ｂの一部から電力を供給するようにする。
【００２８】これにより、図２（Ｂ）に示されているよ
うに、光軸Ｌ（図２（Ｂ）において紙面直交方向）と直
角方向のレーザ利得分布は最大出力時と同様となり、レ
ーザ出力にかかわらずレーザ強度分布も均一とすること
ができる。
うに、光軸Ｌ（図２（Ｂ）において紙面直交方向）と直
角方向のレーザ利得分布は最大出力時と同様となり、レ
ーザ出力にかかわらずレーザ強度分布も均一とすること
ができる。
【００２９】なお、この発明は前述の発明の実施の形態
に限定されることなく、適宜な変更を行うことにより、
その他の態様で実施し得るものである。すなわち、前述
の発明の実施の形態においては、３個に分割した放電電
極５Ａ、５Ｂ、５Ｃを設けたが、この数を増やすと、よ
り細かな出力の調整を行うことができる。
に限定されることなく、適宜な変更を行うことにより、
その他の態様で実施し得るものである。すなわち、前述
の発明の実施の形態においては、３個に分割した放電電
極５Ａ、５Ｂ、５Ｃを設けたが、この数を増やすと、よ
り細かな出力の調整を行うことができる。
【００３０】また、図１に示したように、前述の発明の
実施の形態におけるレーザビームでは、各放電電極５
Ａ、５Ｂ、５Ｃに各々独立した電源７Ａ、７Ｂ、７Ｃを
設けたが、図３に示されているレーザ発振器１１のよう
に、一個の電源１３に放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃを並列
に接続し、各放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃに電力を供給す
るためのスイッチ１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃを設けて、電
力の供給を行うようにしても良い。
実施の形態におけるレーザビームでは、各放電電極５
Ａ、５Ｂ、５Ｃに各々独立した電源７Ａ、７Ｂ、７Ｃを
設けたが、図３に示されているレーザ発振器１１のよう
に、一個の電源１３に放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃを並列
に接続し、各放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃに電力を供給す
るためのスイッチ１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃを設けて、電
力の供給を行うようにしても良い。
【００３１】また、前述の発明の実施の形態において
は、対向する放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃの両側を分割し
たが、一方のみ分割し、他方は共通で用いるようにして
も良い。
は、対向する放電電極５Ａ、５Ｂ、５Ｃの両側を分割し
たが、一方のみ分割し、他方は共通で用いるようにして
も良い。
【００３２】また、前述の発明の実施の形態において
は、三軸直交型のレーザ発振器１、１１について説明し
たが、図４に示されているような軸流型のレーザ発振器
１７についても同様である。すなわち、複数個（ここで
は例えば２個）に分割された放電管１９Ａ、１９Ｂに対
して各々放電電力を供給する電源２１Ａ、２１Ｂを設
け、低出力時には例えば放電管１９Ａのみ放電させるよ
うにする。これにより、図５（Ａ）、（Ｂ）に示されて
いるように、光軸Ｌと直角方向のレーザ利得は均一とな
り、強度分布も前述の図２（Ｂ）に示されているように
一定となる。また、放電管１９Ａには出力ミラー２３
が、放電管１９Ｂにはリアミラー２５が設けられてお
り、中央にはガス流を円滑にするための送風機２７が設
けられている。なお、図５（Ｃ）には、従来における強
度分布が示されている。
は、三軸直交型のレーザ発振器１、１１について説明し
たが、図４に示されているような軸流型のレーザ発振器
１７についても同様である。すなわち、複数個（ここで
は例えば２個）に分割された放電管１９Ａ、１９Ｂに対
して各々放電電力を供給する電源２１Ａ、２１Ｂを設
け、低出力時には例えば放電管１９Ａのみ放電させるよ
うにする。これにより、図５（Ａ）、（Ｂ）に示されて
いるように、光軸Ｌと直角方向のレーザ利得は均一とな
り、強度分布も前述の図２（Ｂ）に示されているように
一定となる。また、放電管１９Ａには出力ミラー２３
が、放電管１９Ｂにはリアミラー２５が設けられてお
り、中央にはガス流を円滑にするための送風機２７が設
けられている。なお、図５（Ｃ）には、従来における強
度分布が示されている。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よる放電励起ガスレーザ発振器では、循環するレーザガ
スに、放電部であるレーザビームの光軸方向に分割され
た複数の放電電極のうち、電力供給手段により電力を供
給された放電電極が放電してレーザビームを出力するの
で、レーザ利得分布をレーザビームの光軸と直角方向に
均一とし、レーザ強度分布も均一とすることができる。
これにより、低出力時における加工速度や面粗度の改善
を図ることができる。
よる放電励起ガスレーザ発振器では、循環するレーザガ
スに、放電部であるレーザビームの光軸方向に分割され
た複数の放電電極のうち、電力供給手段により電力を供
給された放電電極が放電してレーザビームを出力するの
で、レーザ利得分布をレーザビームの光軸と直角方向に
均一とし、レーザ強度分布も均一とすることができる。
これにより、低出力時における加工速度や面粗度の改善
を図ることができる。
【００３４】請求項２の発明による放電励起ガスレーザ
発振器では、電力を供給する電力供給手段である複数の
電源のうち、使用すべき放電電極のために設けられてい
る電源からのみ電力を供給するので、必要な放電電極に
のみ電力を供給することができる。
発振器では、電力を供給する電力供給手段である複数の
電源のうち、使用すべき放電電極のために設けられてい
る電源からのみ電力を供給するので、必要な放電電極に
のみ電力を供給することができる。
【００３５】請求項３の発明による放電励起ガスレーザ
発振器では、使用すべき放電電極に電力をオン・オフす
る電源スイッチをオンとして、各放電電極に接続された
１個の電源から電力を供給するので、必要な放電電極に
のみ電力を供給することができる。
発振器では、使用すべき放電電極に電力をオン・オフす
る電源スイッチをオンとして、各放電電極に接続された
１個の電源から電力を供給するので、必要な放電電極に
のみ電力を供給することができる。
【００３６】請求項４の発明による放電励起ガスレーザ
発振器では、レーザ出力に応じて１個づつ順に放電電極
に電力を供給し、供給される電力が規定値以上となった
ら次の放電電極にも電力を供給するので、所望の強度の
レーザ出力を得ることができる。
発振器では、レーザ出力に応じて１個づつ順に放電電極
に電力を供給し、供給される電力が規定値以上となった
ら次の放電電極にも電力を供給するので、所望の強度の
レーザ出力を得ることができる。
【００３７】請求項５の発明による放電励起ガスレーザ
発振器では、レーザ出力に応じて１個づつ順に放電電極
に電力を供給し、供給される電力が、最大レーザ出力時
の電力を放電電極の個数で割った値の５０％以上となっ
たら次の放電電極にも電力を供給するので、所望の強度
のレーザ出力を得ることができる。
発振器では、レーザ出力に応じて１個づつ順に放電電極
に電力を供給し、供給される電力が、最大レーザ出力時
の電力を放電電極の個数で割った値の５０％以上となっ
たら次の放電電極にも電力を供給するので、所望の強度
のレーザ出力を得ることができる。
【００３８】請求項６の発明による放電励起ガスレーザ
発振器では、放電電極への電力の供給は、レーザ出力指
令またはこれに相当する放電電力により決定するので、
所望の強度のレーザ出力を得ることができる。
発振器では、放電電極への電力の供給は、レーザ出力指
令またはこれに相当する放電電力により決定するので、
所望の強度のレーザ出力を得ることができる。
【図１】この発明に係る放電励起ガスレーザ発振器を示
す構成図である。
す構成図である。
【図２】（Ａ）（Ｂ）は、低出力時における放電電極の
放電状態を示す説明図である。
放電状態を示す説明図である。
【図３】この発明に係る別の放電励起ガスレーザ発振器
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【図４】この発明に係るさらに別の放電励起ガスレーザ
発振器を示す構成図である。
発振器を示す構成図である。
【図５】（Ａ）（Ｂ）はこの発明に係る放電励起ガスレ
ーザ発振器による出力状態を示し、（Ｃ）は従来におけ
る低出力時の出力状態を示す説明図である。
ーザ発振器による出力状態を示し、（Ｃ）は従来におけ
る低出力時の出力状態を示す説明図である。
【図６】従来におけるレーザ発振器を示す構成図であ
る。
る。
【図７】（Ａ）、（Ｂ）は、従来における低出力時の放
電電極の放電状態を示す説明図である。
電電極の放電状態を示す説明図である。
【図８】従来におけるレーザ発振器を示す構成図であ
る。
る。
【図９】（Ａ）（Ｂ）は、代表的な光路と放電電極との
関係を示す説明図である。
関係を示す説明図である。
【図１０】（Ａ）（Ｂ）は、低出力時における放電状態
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図１１】レーザの利得分布を示すグラフである。
【図１２】（Ａ）〜（Ｃ）は、レーザ出力の強度分布を
示す説明図である。
示す説明図である。
１、１７ レーザ発振器 ５ 放電電極（放電部） ７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、１３、２１ 電源（電力供給手段） １５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ 電源スイッチ（電力供給手
段）
段）
Claims (6)
- 【請求項１】 循環するレーザガスにおいて放電部が放
電することによりレーザビームを出力する放電励起ガス
レーザ発振器であって、前記放電部が、前記レーザビー
ムの光軸方向に分割された複数の放電電極と、この複数
の放電電極に独立して放電電力を供給する電力供給手段
と、を備えてなることを特徴とする放電励起ガスレーザ
発振器。 - 【請求項２】 前記電力供給手段が、前記各放電電極ご
とに設けられている複数の電源を有すること、を特徴と
する請求項１記載の放電励起ガスレーザ発振器。 - 【請求項３】 前記電力供給手段が、前記各放電電極に
接続された１個の電源と、この電源からの電力を独立し
てオン・オフすべく前記各放電電極ごとに設けられてい
る電源スイッチと、を備えてなることを特徴とする請求
項１記載の放電励起ガスレーザ発振器。 - 【請求項４】 請求項１記載の放電励起ガスレーザ発振
器において、前記放電電極の一つが規定以上の電力とな
った場合には、他の電極へ電力を分配すること、を特徴
とするレーザ発振方法。 - 【請求項５】 前記規定の電力が、最大レーザ出力時の
電力を放電電極の個数で割った値の５０％であること、
を特徴とする請求項４記載のレーザ発振方法。 - 【請求項６】 前記電力の分配を、レーザ出力指令また
はこれに相当する放電電力により行うこと、を特徴とす
る請求項４または５記載のレーザ発振方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6902299A JP2000269570A (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | 放電励起ガスレーザ発振器およびこの放電励起ガスレーザ発振器を用いたレーザ発振方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6902299A JP2000269570A (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | 放電励起ガスレーザ発振器およびこの放電励起ガスレーザ発振器を用いたレーザ発振方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000269570A true JP2000269570A (ja) | 2000-09-29 |
Family
ID=13390555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6902299A Pending JP2000269570A (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | 放電励起ガスレーザ発振器およびこの放電励起ガスレーザ発振器を用いたレーザ発振方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000269570A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10103509B2 (en) | 2015-07-14 | 2018-10-16 | Gigaphoton Inc. | Excimer laser device |
-
1999
- 1999-03-15 JP JP6902299A patent/JP2000269570A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10103509B2 (en) | 2015-07-14 | 2018-10-16 | Gigaphoton Inc. | Excimer laser device |
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