JP2000256032A - 光ファイバ用プリフォームの製造装置 - Google Patents
光ファイバ用プリフォームの製造装置Info
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- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
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- C03B2207/00—Glass deposition burners
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光ファイバ用プリフォームの製造装置におい
て、バーナとスート堆積体との位置関係が変動して、得
られたプリフォームの屈折率分布プロファイルが変動す
るのを防止するため、バーナの取付け固定精度とその再
現性を向上させ、長期間安定して高品質光ファイバ用プ
リフォームを製造する装置を提供する。 【解決手段】 光ファイバ用プリフォーム合成用のバー
ナと、該バーナを固定するバーナホルダと、該バーナホ
ルダのＸＹＺ３軸座標位置調整機能を持つバーナ固定治
具を備えた光ファイバ用プリフォームの製造装置であっ
て、バーナホルダのバーナ保持孔の精度が、バーナ中心
軸方向の角度として、±０．１°以内であることを特徴
とする光ファイバ用プリフォームの製造装置。
て、バーナとスート堆積体との位置関係が変動して、得
られたプリフォームの屈折率分布プロファイルが変動す
るのを防止するため、バーナの取付け固定精度とその再
現性を向上させ、長期間安定して高品質光ファイバ用プ
リフォームを製造する装置を提供する。 【解決手段】 光ファイバ用プリフォーム合成用のバー
ナと、該バーナを固定するバーナホルダと、該バーナホ
ルダのＸＹＺ３軸座標位置調整機能を持つバーナ固定治
具を備えた光ファイバ用プリフォームの製造装置であっ
て、バーナホルダのバーナ保持孔の精度が、バーナ中心
軸方向の角度として、±０．１°以内であることを特徴
とする光ファイバ用プリフォームの製造装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＶＡＤ法（気相軸
付け法）またはＯＶＤ法（外付け化学気相蒸着法）によ
る光ファイバ用プリフォームの製造技術に関する。特
に、バーナをスート堆積体に対して高精度に位置付けす
るバーナ固定治具に関する。
付け法）またはＯＶＤ法（外付け化学気相蒸着法）によ
る光ファイバ用プリフォームの製造技術に関する。特
に、バーナをスート堆積体に対して高精度に位置付けす
るバーナ固定治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＶＡＤ法またはＯＶＤ法による光ファイ
バ用プリフォームを合成する製造技術において、バーナ
とスート堆積体との空間的な位置関係は、スートの付着
速度や密度等に影響を及ぼすばかりでなく、得られたプ
リフォームの屈折率分布プロファイルを決定する上で極
めて重要である。特に、ＶＡＤ法においては、バーナと
スート堆積体の先端（以下、ターゲットということがあ
る）との空間的な位置関係にズレがあると、得られたプ
リフォームの屈折率分布プロファイルが微妙に変化する
ため、バーナの固定方法が重要であることが認識され、
種々の提案がなされてきた。
バ用プリフォームを合成する製造技術において、バーナ
とスート堆積体との空間的な位置関係は、スートの付着
速度や密度等に影響を及ぼすばかりでなく、得られたプ
リフォームの屈折率分布プロファイルを決定する上で極
めて重要である。特に、ＶＡＤ法においては、バーナと
スート堆積体の先端（以下、ターゲットということがあ
る）との空間的な位置関係にズレがあると、得られたプ
リフォームの屈折率分布プロファイルが微妙に変化する
ため、バーナの固定方法が重要であることが認識され、
種々の提案がなされてきた。
【０００３】例えば、実公平３−２２２５６号公報で
は、石英ガラス製のバーナのブレを解決する手段とし
て、モールド方式を用いてバーナを樹脂や石膏で取付け
ベースに固定している。しかしこの方法では、バーナが
破損して修理が必要な場合でもモールド部分からの取外
しが不可能で、修理も不可能となってしまう。また、こ
れらのバーナを長期間使用していると、原料ガスに起因
するゲル状物の付着等で汚れてしまうことがあり、取外
して洗浄しなければならないが、モールド方式ではそれ
も出来ない。さらに取付けべースごと取外してもベース
の材質が金属であるとゲル状物の洗浄には通常フッ酸等
の薬液を使用するため腐食してしまい再使用は困難とな
る。
は、石英ガラス製のバーナのブレを解決する手段とし
て、モールド方式を用いてバーナを樹脂や石膏で取付け
ベースに固定している。しかしこの方法では、バーナが
破損して修理が必要な場合でもモールド部分からの取外
しが不可能で、修理も不可能となってしまう。また、こ
れらのバーナを長期間使用していると、原料ガスに起因
するゲル状物の付着等で汚れてしまうことがあり、取外
して洗浄しなければならないが、モールド方式ではそれ
も出来ない。さらに取付けべースごと取外してもベース
の材質が金属であるとゲル状物の洗浄には通常フッ酸等
の薬液を使用するため腐食してしまい再使用は困難とな
る。
【０００４】さらに、バーナを設置する環境は、バーナ
の火炎により高温となるため、モールドが樹脂の場合は
熱劣化が起こり長期間使用できず、取付けべースが樹脂
の場合は、耐熱性がないと変形が起こりバーナの位置が
ズレてしまう。特に、ＶＡＤ法においては、前述のよう
にバーナ中心軸方向のズレが問題となる。このズレが、
例えば、角度で０．２°動いたとし、バーナ取付けベー
ス（バーナホルダ）からスート堆積体先端までの距離を
３００ｍｍとすると、バーナ中心軸の延長線はスート上
で約１ｍｍ動いてしまい、得られた光ファイバ用プリフ
ォームの屈折率分布プロファイルが変化し、品質が大幅
に変動してしまう。このように、従来法では、バーナの
取付け状態を長期にわたって定常状態とし、変動幅の小
さい安定した屈折率分布を得ることが困難であった。
の火炎により高温となるため、モールドが樹脂の場合は
熱劣化が起こり長期間使用できず、取付けべースが樹脂
の場合は、耐熱性がないと変形が起こりバーナの位置が
ズレてしまう。特に、ＶＡＤ法においては、前述のよう
にバーナ中心軸方向のズレが問題となる。このズレが、
例えば、角度で０．２°動いたとし、バーナ取付けベー
ス（バーナホルダ）からスート堆積体先端までの距離を
３００ｍｍとすると、バーナ中心軸の延長線はスート上
で約１ｍｍ動いてしまい、得られた光ファイバ用プリフ
ォームの屈折率分布プロファイルが変化し、品質が大幅
に変動してしまう。このように、従来法では、バーナの
取付け状態を長期にわたって定常状態とし、変動幅の小
さい安定した屈折率分布を得ることが困難であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、この
ような問題点に鑑みなされたもので、光ファイバ用プリ
フォームの製造技術において、バーナとスート堆積体と
の空間的位置関係がズレて、得られたプリフォームの屈
折率分布プロファイルが変動してしまうことを防止する
ため、バーナの取付け固定精度とその再現性を向上さ
せ、長期間安定して高品質光ファイバ用プリフォームを
製造することのできる装置を提供することを主たる目的
とする。
ような問題点に鑑みなされたもので、光ファイバ用プリ
フォームの製造技術において、バーナとスート堆積体と
の空間的位置関係がズレて、得られたプリフォームの屈
折率分布プロファイルが変動してしまうことを防止する
ため、バーナの取付け固定精度とその再現性を向上さ
せ、長期間安定して高品質光ファイバ用プリフォームを
製造することのできる装置を提供することを主たる目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するためになされたもので、本発明の請求項１に記載し
た発明は、光ファイバ用プリフォーム合成用のバーナ
と、該バーナを固定するバーナホルダと、該バーナホル
ダのＸＹＺ３軸座標位置調整機能を持つバーナ固定治具
を備えた光ファイバ用プリフォームの製造装置であっ
て、バーナホルダのバーナ保持孔の精度が、バーナ中心
軸方向の角度として、±０．１°以内であることを特徴
とする光ファイバ用プリフォームの製造装置である。
するためになされたもので、本発明の請求項１に記載し
た発明は、光ファイバ用プリフォーム合成用のバーナ
と、該バーナを固定するバーナホルダと、該バーナホル
ダのＸＹＺ３軸座標位置調整機能を持つバーナ固定治具
を備えた光ファイバ用プリフォームの製造装置であっ
て、バーナホルダのバーナ保持孔の精度が、バーナ中心
軸方向の角度として、±０．１°以内であることを特徴
とする光ファイバ用プリフォームの製造装置である。
【０００７】このように、バーナホルダのバーナ保持孔
の精度を、バーナ中心軸方向の角度として、±０．１°
以内となるように精密加工したバーナ固定治具を使用し
てプリフォームを製造すれば、ターゲットに対する火炎
の方向が高精度に保持されるので、得られる光ファイバ
用プリフォームの屈折率分布プロファイルを殆ど変動の
ないものとすることができる。従って光ファイバ用プリ
フォームの歩留り、生産性の向上を図り、高品質品を低
コストで供給することができる装置となる。
の精度を、バーナ中心軸方向の角度として、±０．１°
以内となるように精密加工したバーナ固定治具を使用し
てプリフォームを製造すれば、ターゲットに対する火炎
の方向が高精度に保持されるので、得られる光ファイバ
用プリフォームの屈折率分布プロファイルを殆ど変動の
ないものとすることができる。従って光ファイバ用プリ
フォームの歩留り、生産性の向上を図り、高品質品を低
コストで供給することができる装置となる。
【０００８】この場合、請求項２に記載したように、バ
ーナホルダのバーナ固定治具に対する固定を嵌め合い方
式とし、該嵌め合い精度が、バーナ中心軸方向の角度と
して、±０．１°以内になるようにするのが好ましい。
このように、バーナを装着したバーナホルダのバーナ固
定治具に対する固定を、結合面に設けた軸と穴による嵌
め合い方式とし、その精度をバーナ中心軸方向の角度と
して、±０．１°以内となるように加工したバーナ固定
治具を使用してプリフォームを製造すれば、上記バーナ
保持孔の精度と相まって、火炎の方向精度が高く安定し
たものとなり、得られる光ファイバ用プリフォームの屈
折率分布プロファイルを殆ど変動のないものとすること
ができる。
ーナホルダのバーナ固定治具に対する固定を嵌め合い方
式とし、該嵌め合い精度が、バーナ中心軸方向の角度と
して、±０．１°以内になるようにするのが好ましい。
このように、バーナを装着したバーナホルダのバーナ固
定治具に対する固定を、結合面に設けた軸と穴による嵌
め合い方式とし、その精度をバーナ中心軸方向の角度と
して、±０．１°以内となるように加工したバーナ固定
治具を使用してプリフォームを製造すれば、上記バーナ
保持孔の精度と相まって、火炎の方向精度が高く安定し
たものとなり、得られる光ファイバ用プリフォームの屈
折率分布プロファイルを殆ど変動のないものとすること
ができる。
【０００９】そして請求項３に記載した発明は、バーナ
ホルダのバーナ保持孔の精度およびバーナホルダのバー
ナ固定治具に対する嵌め合い精度を、バーナ中心軸方向
の角度として、±０．０５°以内に加工したものとする
ことができる。このようにバーナ保持精度をさらに一層
高めたバーナを使用してプリフォームを製造すれば、屈
折率分布の変動幅が極めて小さいプリフォームを長期間
安定して製造可能な装置となる。
ホルダのバーナ保持孔の精度およびバーナホルダのバー
ナ固定治具に対する嵌め合い精度を、バーナ中心軸方向
の角度として、±０．０５°以内に加工したものとする
ことができる。このようにバーナ保持精度をさらに一層
高めたバーナを使用してプリフォームを製造すれば、屈
折率分布の変動幅が極めて小さいプリフォームを長期間
安定して製造可能な装置となる。
【００１０】さらに、請求項４に記載したように、バー
ナの材質を、石英ガラスとすることができる。このよう
にバーナの材質を石英ガラスにすると、バーナを長期間
使用しているとゲル状の付着物等で汚染され、その除去
に洗浄する場合があるが、石英ガラスならば腐食するこ
とがなく、何回でも再使用が可能である。また、金属製
バーナでは燃焼反応によりバーナの先端が酸化されて損
傷され易く、火炎が乱れてプリフォームの屈折率分布の
再現性が悪くなる。また、損傷した時に発生する金属粉
がスート堆積体に入り込んで不純物となり光ファイバの
損失増大の原因となることがあるが、石英ガラスにすれ
ばこのような問題は起こらず、本発明に好適に使用する
ことができる。
ナの材質を、石英ガラスとすることができる。このよう
にバーナの材質を石英ガラスにすると、バーナを長期間
使用しているとゲル状の付着物等で汚染され、その除去
に洗浄する場合があるが、石英ガラスならば腐食するこ
とがなく、何回でも再使用が可能である。また、金属製
バーナでは燃焼反応によりバーナの先端が酸化されて損
傷され易く、火炎が乱れてプリフォームの屈折率分布の
再現性が悪くなる。また、損傷した時に発生する金属粉
がスート堆積体に入り込んで不純物となり光ファイバの
損失増大の原因となることがあるが、石英ガラスにすれ
ばこのような問題は起こらず、本発明に好適に使用する
ことができる。
【００１１】加えて請求項５に記載したように、バーナ
ホルダの材質を、ポリアセタール樹脂とすることができ
る。このように、バーナホルダの材質をポリアセタール
樹脂とすれば、該樹脂は、エンジニアリング・プラスチ
ックの１種で、機械的強度が高く、本発明のバーナ保持
孔や嵌め合い構造のような高精度の機械加工が容易であ
り、かつ適度の耐熱性と耐食性を有しているので、前記
ゲル状の付着物等の汚染を洗浄しても腐食することがな
く、何回でも再使用することができる。従って前記石英
ガラス製バーナのホルダとして好適に使用される装置と
なる。
ホルダの材質を、ポリアセタール樹脂とすることができ
る。このように、バーナホルダの材質をポリアセタール
樹脂とすれば、該樹脂は、エンジニアリング・プラスチ
ックの１種で、機械的強度が高く、本発明のバーナ保持
孔や嵌め合い構造のような高精度の機械加工が容易であ
り、かつ適度の耐熱性と耐食性を有しているので、前記
ゲル状の付着物等の汚染を洗浄しても腐食することがな
く、何回でも再使用することができる。従って前記石英
ガラス製バーナのホルダとして好適に使用される装置と
なる。
【００１２】本発明の請求項６に記載した発明は、バー
ナ表面とバーナホルダとの一部を接着剤で固定すること
ができるというものである。上記したように、本発明で
はバーナをバーナホルダの保持孔に挿入して固定する
が、その際、極僅かな遊びを許容すると、設定したバー
ナ中心軸方向角度の誤差範囲から外れることになり、プ
リフォームの屈折率分布にも悪影響を及ぼしかねないの
で、バーナ表面とバーナホルダとの一部を接着剤で固定
するようにした。ここで全面を接着剤で固定しないよう
にしたのは、全面を接着剤で固定すると、バーナの一部
が破損した場合等に、バーナホルダからバーナを取外せ
なくなり、バーナの修理が不可能になるからである。
ナ表面とバーナホルダとの一部を接着剤で固定すること
ができるというものである。上記したように、本発明で
はバーナをバーナホルダの保持孔に挿入して固定する
が、その際、極僅かな遊びを許容すると、設定したバー
ナ中心軸方向角度の誤差範囲から外れることになり、プ
リフォームの屈折率分布にも悪影響を及ぼしかねないの
で、バーナ表面とバーナホルダとの一部を接着剤で固定
するようにした。ここで全面を接着剤で固定しないよう
にしたのは、全面を接着剤で固定すると、バーナの一部
が破損した場合等に、バーナホルダからバーナを取外せ
なくなり、バーナの修理が不可能になるからである。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。本発明者らは、先ず、光ファイバ用プリフォームの
屈折率分布プロファイルに殆ど変動を与えないバーナの
中心軸方向のズレの限界値を求め、その精度を保持する
バーナ固定治具を開発し、諸条件を確立して本発明を完
成させた。
て説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。本発明者らは、先ず、光ファイバ用プリフォームの
屈折率分布プロファイルに殆ど変動を与えないバーナの
中心軸方向のズレの限界値を求め、その精度を保持する
バーナ固定治具を開発し、諸条件を確立して本発明を完
成させた。
【００１４】ここで、添付した図面に基づき、本発明を
詳細に説明する。図１は光ファイバ用プリフォームの製
造装置の構成例を示す概略図である。また、図２は、本
発明の光ファイバ用プリフォームの製造装置のバーナ部
の構成例を示す概略斜視図である。
詳細に説明する。図１は光ファイバ用プリフォームの製
造装置の構成例を示す概略図である。また、図２は、本
発明の光ファイバ用プリフォームの製造装置のバーナ部
の構成例を示す概略斜視図である。
【００１５】本発明のような光ファイバ用プリフォーム
の製造装置としては、例えばＶＡＤ法（気相軸付け法）
による製造装置がある。この装置は、例えば図１に示す
ように、基材としての石英基材（コア）３が挿入される
チャンバ４と、排気管と、該石英基材３の下端のターゲ
ットに先端を向けて配置されるコア用バーナ１を備えて
おり、このバーナ１に、光ファイバコア部材の原料とな
る四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ4 ）、屈折率を制御するため
のドーパントとしての四塩化ゲルマニウム（ＧｅＣｌ
4 ）等の原料ライン、酸水素火炎用のＨ2 ガス、Ｏ2 ガ
ス等のガスラインが接続されている。また、石英基材３
の側面に向けて配置されるクラッド用バーナ２を備え、
四塩化ケイ素ガスと酸水素ガスラインに接続されてい
る。
の製造装置としては、例えばＶＡＤ法（気相軸付け法）
による製造装置がある。この装置は、例えば図１に示す
ように、基材としての石英基材（コア）３が挿入される
チャンバ４と、排気管と、該石英基材３の下端のターゲ
ットに先端を向けて配置されるコア用バーナ１を備えて
おり、このバーナ１に、光ファイバコア部材の原料とな
る四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ4 ）、屈折率を制御するため
のドーパントとしての四塩化ゲルマニウム（ＧｅＣｌ
4 ）等の原料ライン、酸水素火炎用のＨ2 ガス、Ｏ2 ガ
ス等のガスラインが接続されている。また、石英基材３
の側面に向けて配置されるクラッド用バーナ２を備え、
四塩化ケイ素ガスと酸水素ガスラインに接続されてい
る。
【００１６】そしてこのような装置により、石英基材３
を回転させつつターゲット部に向けてバーナ１とバーナ
２から原料とガスを吹き付け、火炎加水分解反応を起こ
させてターゲット部の表面にすす状の反応生成物（Ｓｉ
Ｏ2 ）を軸方向に堆積させて行くと共に、石英基材３を
引上げて、屈折率の高いコアと屈折率の低いクラッドか
ら成るスート堆積体である光ファイバ用プリフォーム５
を製造する。
を回転させつつターゲット部に向けてバーナ１とバーナ
２から原料とガスを吹き付け、火炎加水分解反応を起こ
させてターゲット部の表面にすす状の反応生成物（Ｓｉ
Ｏ2 ）を軸方向に堆積させて行くと共に、石英基材３を
引上げて、屈折率の高いコアと屈折率の低いクラッドか
ら成るスート堆積体である光ファイバ用プリフォーム５
を製造する。
【００１７】以上説明したＶＡＤ法光ファイバ用プリフ
ォームの製造装置において、本発明の特徴であるバーナ
回りの構成例を図２に示した。図２ではクラッド用バー
ナ２の記載は省略している。バーナ固定治具２０は、Ｘ
ステージ２３と、Ｘステージ２３上に設けたＹＺステー
ジ２２とから成り、ＹＺステージ２２には嵌め合い構造
２６が設けられている。そしてこの嵌め合い構造２６
に、ポリアセタール樹脂製のブロック状バーナホルダ２
１が固定されている。さらに、石英ガラス製のコア用バ
ーナ１は、バーナホルダ２１のバーナ保持孔に挿入され
固定されている。バーナ１の火炎噴出口の反対側にはガ
スヘッダー２５があり、前記原料ライン、酸水素ガスラ
インに接続されている。
ォームの製造装置において、本発明の特徴であるバーナ
回りの構成例を図２に示した。図２ではクラッド用バー
ナ２の記載は省略している。バーナ固定治具２０は、Ｘ
ステージ２３と、Ｘステージ２３上に設けたＹＺステー
ジ２２とから成り、ＹＺステージ２２には嵌め合い構造
２６が設けられている。そしてこの嵌め合い構造２６
に、ポリアセタール樹脂製のブロック状バーナホルダ２
１が固定されている。さらに、石英ガラス製のコア用バ
ーナ１は、バーナホルダ２１のバーナ保持孔に挿入され
固定されている。バーナ１の火炎噴出口の反対側にはガ
スヘッダー２５があり、前記原料ライン、酸水素ガスラ
インに接続されている。
【００１８】ＹＺステージ２２、Ｘステージ２３にはそ
れぞれマイクロメータヘッド２４ａ、２４ｂ、２４ｃが
取付けられ、各軸方向に微少距離移動可能で、バーナの
石英基材（コア）３のターゲット部に対する座標位置を
調整し、所望の位置に設定することができる。この例で
はＺ軸は垂直ではなく、所定の角度を付けてバーナのタ
ーゲット部に対する位置合わせを容易にしている。
れぞれマイクロメータヘッド２４ａ、２４ｂ、２４ｃが
取付けられ、各軸方向に微少距離移動可能で、バーナの
石英基材（コア）３のターゲット部に対する座標位置を
調整し、所望の位置に設定することができる。この例で
はＺ軸は垂直ではなく、所定の角度を付けてバーナのタ
ーゲット部に対する位置合わせを容易にしている。
【００１９】以下、本発明の特徴についてさらに詳細に
説明する。先ず、光ファイバ用プリフォームの屈折率分
布プロファイルに殆ど変動を与えないバーナの中心軸方
向のズレ（以下、ガタツキということもある）の限界値
を、操業データの解析と実験によって求めた結果、コア
先端のターゲットとバーナ中心軸を結ぶ線に対して、バ
ーナ中心軸方向の角度として、±０．１°以内であるこ
とが判った。
説明する。先ず、光ファイバ用プリフォームの屈折率分
布プロファイルに殆ど変動を与えないバーナの中心軸方
向のズレ（以下、ガタツキということもある）の限界値
を、操業データの解析と実験によって求めた結果、コア
先端のターゲットとバーナ中心軸を結ぶ線に対して、バ
ーナ中心軸方向の角度として、±０．１°以内であるこ
とが判った。
【００２０】従って、本発明では、この精度を保持する
ための諸条件を見出し、これらを確立してバーナを固定
する装置を開発した。このようなバーナ中心軸の方向精
度を決める決め手は、先ずバーナをバーナ固定治具に取
付けるために使用するブロック状バーナホルダの構造と
精度である。ここで、バーナホルダに求められる特性を
列挙すると次の様になる。 石英ガラス製バーナを、破損することなくかつガタツ
キなく保持すること。 バーナホルダとバーナ固定治具間にガタのないこと。 バーナをフッ酸等で洗浄することがあるため、バーナ
ホルダは腐食の問題のない材質であること。 上記のガタツキは、バーナ中心軸方向の角度として、
±０．１°以内、好ましくは±０．０５°以内であるこ
と。
ための諸条件を見出し、これらを確立してバーナを固定
する装置を開発した。このようなバーナ中心軸の方向精
度を決める決め手は、先ずバーナをバーナ固定治具に取
付けるために使用するブロック状バーナホルダの構造と
精度である。ここで、バーナホルダに求められる特性を
列挙すると次の様になる。 石英ガラス製バーナを、破損することなくかつガタツ
キなく保持すること。 バーナホルダとバーナ固定治具間にガタのないこと。 バーナをフッ酸等で洗浄することがあるため、バーナ
ホルダは腐食の問題のない材質であること。 上記のガタツキは、バーナ中心軸方向の角度として、
±０．１°以内、好ましくは±０．０５°以内であるこ
と。
【００２１】本発明では、これらの課題を解決する手段
として、ファイバ用プリフォーム合成用のバーナと、該
バーナを固定するバーナホルダと、該バーナホルダのＸ
ＹＺ３軸座標位置調整機能を持つバーナ固定治具を備え
た光ファイバ用プリフォームの製造装置であって、バー
ナホルダのバーナ保持孔の精度を、バーナ中心軸方向の
角度として、±０．１°以内に設定した。
として、ファイバ用プリフォーム合成用のバーナと、該
バーナを固定するバーナホルダと、該バーナホルダのＸ
ＹＺ３軸座標位置調整機能を持つバーナ固定治具を備え
た光ファイバ用プリフォームの製造装置であって、バー
ナホルダのバーナ保持孔の精度を、バーナ中心軸方向の
角度として、±０．１°以内に設定した。
【００２２】このようにバーナホルダのバーナ保持孔の
精度を、バーナ中心軸方向の角度として、±０．１°以
内となるように加工したバーナホルダを使用してプリフ
ォームを製造すれば、ターゲットに対する火炎の方向が
高精度に保持されるので、得られる光ファイバ用プリフ
ォームの屈折率分布プロファイルを殆ど変動のないもの
とすることができる。
精度を、バーナ中心軸方向の角度として、±０．１°以
内となるように加工したバーナホルダを使用してプリフ
ォームを製造すれば、ターゲットに対する火炎の方向が
高精度に保持されるので、得られる光ファイバ用プリフ
ォームの屈折率分布プロファイルを殆ど変動のないもの
とすることができる。
【００２３】この場合、バーナホルダのバーナ固定治具
に対する固定を軸と穴による嵌め合い方式とし、該嵌め
合い精度が、バーナ中心軸方向の角度として、±０．１
°以内となるように加工して、上記バーナの保持孔精度
と共にバーナ方向精度の向上を図った。
に対する固定を軸と穴による嵌め合い方式とし、該嵌め
合い精度が、バーナ中心軸方向の角度として、±０．１
°以内となるように加工して、上記バーナの保持孔精度
と共にバーナ方向精度の向上を図った。
【００２４】また、上記バーナホルダのバーナ保持孔の
精度およびバーナホルダのバーナ固定治具に対する嵌め
合い精度を、バーナ中心軸方向の角度として、±０．０
５°以内に加工したものとすれば、バーナのターゲット
部先端に対する方向精度がより一層向上し、屈折率分布
プロファイルに変動が殆ど見られないプリフォームを得
ることができる。
精度およびバーナホルダのバーナ固定治具に対する嵌め
合い精度を、バーナ中心軸方向の角度として、±０．０
５°以内に加工したものとすれば、バーナのターゲット
部先端に対する方向精度がより一層向上し、屈折率分布
プロファイルに変動が殆ど見られないプリフォームを得
ることができる。
【００２５】さらに、上記バーナを装着したバーナホル
ダを固定するバーナ固定治具は、該バーナホルダのＸＹ
Ｚ３軸座標位置調整機能を持ち、これを微調整すること
によって前記バーナの方向精度を確保するようにしてい
る。ここでバーナホルダのＸＹＺ３軸座標位置調整機能
としては、図２に例示したようなＸステージとＹＺステ
ージから成りＺ軸を傾斜させたタイプの他、ＸＹＺ３軸
並進ステージにバーナ角度可変回転軸を付けたタイプ、
ＸＹステージとバーナ角度可変回転軸を付けたＺステー
ジから成るタイプ等を挙げることができる。これらのス
テージには、各軸別にマイクロメータヘッドを取付けて
微少距離計測、微調整を可能とし、バーナ方向精度を確
保している。これらステージの機械的精度（真直度）
は、１／１０００以上であることが望ましい。
ダを固定するバーナ固定治具は、該バーナホルダのＸＹ
Ｚ３軸座標位置調整機能を持ち、これを微調整すること
によって前記バーナの方向精度を確保するようにしてい
る。ここでバーナホルダのＸＹＺ３軸座標位置調整機能
としては、図２に例示したようなＸステージとＹＺステ
ージから成りＺ軸を傾斜させたタイプの他、ＸＹＺ３軸
並進ステージにバーナ角度可変回転軸を付けたタイプ、
ＸＹステージとバーナ角度可変回転軸を付けたＺステー
ジから成るタイプ等を挙げることができる。これらのス
テージには、各軸別にマイクロメータヘッドを取付けて
微少距離計測、微調整を可能とし、バーナ方向精度を確
保している。これらステージの機械的精度（真直度）
は、１／１０００以上であることが望ましい。
【００２６】次に本発明では、バーナの材質を石英ガラ
スとした。このようにバーナの材質を石英ガラスにする
と、バーナを長期間使用しているとゲル状の付着物等で
汚染され、その除去に洗浄する場合があるが、石英ガラ
スならば腐食することがなく、何回でも再使用が可能で
ある。また、金属製バーナでは燃焼反応によりバーナの
先端が酸化されて損傷され易く、火炎が乱れてプリフォ
ームの屈折率分布の再現性が悪くなり、また、損傷した
時に発生する金属粉がスート堆積体に入り込んで不純物
となり光ファイバの損失増大の原因となることがある
が、石英ガラスにすればそのような問題は起こらず、本
発明に好適に使用することができる。
スとした。このようにバーナの材質を石英ガラスにする
と、バーナを長期間使用しているとゲル状の付着物等で
汚染され、その除去に洗浄する場合があるが、石英ガラ
スならば腐食することがなく、何回でも再使用が可能で
ある。また、金属製バーナでは燃焼反応によりバーナの
先端が酸化されて損傷され易く、火炎が乱れてプリフォ
ームの屈折率分布の再現性が悪くなり、また、損傷した
時に発生する金属粉がスート堆積体に入り込んで不純物
となり光ファイバの損失増大の原因となることがある
が、石英ガラスにすればそのような問題は起こらず、本
発明に好適に使用することができる。
【００２７】加えて、バーナホルダの材質を、ポリアセ
タール樹脂とした。このように、バーナホルダの材質を
ポリアセタール樹脂とすれば、該樹脂は、エンジニアリ
ング・プラスチックの１種で、機械的強度が高く、本発
明のバーナ保持孔や嵌め合い構造のような高精度の機械
加工が容易に行え、かつ適度の耐熱性と耐食性を有して
いるので、前記ゲル状の付着物等による汚染を洗浄して
も腐食することがなく、何回でも再使用することができ
る。従って前記石英ガラス製バーナのホルダとして好適
に使用される。但し、本発明においてバーナホルダの材
質は、ポリアセタール樹脂に限定されるものではない。
上述のように、機械的強度、加工性、耐熱性、耐食性に
富むものであれば他の樹脂材料を用いてもよい。
タール樹脂とした。このように、バーナホルダの材質を
ポリアセタール樹脂とすれば、該樹脂は、エンジニアリ
ング・プラスチックの１種で、機械的強度が高く、本発
明のバーナ保持孔や嵌め合い構造のような高精度の機械
加工が容易に行え、かつ適度の耐熱性と耐食性を有して
いるので、前記ゲル状の付着物等による汚染を洗浄して
も腐食することがなく、何回でも再使用することができ
る。従って前記石英ガラス製バーナのホルダとして好適
に使用される。但し、本発明においてバーナホルダの材
質は、ポリアセタール樹脂に限定されるものではない。
上述のように、機械的強度、加工性、耐熱性、耐食性に
富むものであれば他の樹脂材料を用いてもよい。
【００２８】さらに、バーナの方向精度向上・維持対策
として、バーナ表面とバーナホルダ保持孔内面との一部
を接着剤で固定するようにした。上記したように、本発
明ではバーナをバーナホルダの保持孔に挿入して固定す
るが、その際、極僅かな遊びを許容すると、設定したバ
ーナ中心軸方向角度の誤差範囲から外れることになり、
屈折率分布にも悪影響を及ぼしかねないので、バーナ表
面とバーナホルダ保持孔内面との一部を接着剤で固定し
て遊びをなくそうとするものである。ここで全面を接着
剤で固定してしまわないのは、全面接着でバーナの一部
が破損した場合等には、バーナホルダからバーナを取外
せなくなり、バーナの修理が不可能になることを防止す
るためである。
として、バーナ表面とバーナホルダ保持孔内面との一部
を接着剤で固定するようにした。上記したように、本発
明ではバーナをバーナホルダの保持孔に挿入して固定す
るが、その際、極僅かな遊びを許容すると、設定したバ
ーナ中心軸方向角度の誤差範囲から外れることになり、
屈折率分布にも悪影響を及ぼしかねないので、バーナ表
面とバーナホルダ保持孔内面との一部を接着剤で固定し
て遊びをなくそうとするものである。ここで全面を接着
剤で固定してしまわないのは、全面接着でバーナの一部
が破損した場合等には、バーナホルダからバーナを取外
せなくなり、バーナの修理が不可能になることを防止す
るためである。
【００２９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて具体的
に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。 （実施例）ＶＡＤ法によりシングルモード光ファイバ用
プリフォームのコアスートを製造した。コア部合成用バ
ーナとして外径１９．９７ｍｍの石英ガラス製バーナ
を、ポリアセタール樹脂製ブロック状バーナホルダの孔
径２０．０５ｍｍのバーナ保持孔に挿入し、孔の両端の
一部を接着剤で固定した。
に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。 （実施例）ＶＡＤ法によりシングルモード光ファイバ用
プリフォームのコアスートを製造した。コア部合成用バ
ーナとして外径１９．９７ｍｍの石英ガラス製バーナ
を、ポリアセタール樹脂製ブロック状バーナホルダの孔
径２０．０５ｍｍのバーナ保持孔に挿入し、孔の両端の
一部を接着剤で固定した。
【００３０】このバーナホルダは全長が５０ｍｍなの
で、バーナとのズレ（孔の隙間の最大値は０．０８ｍ
ｍ）の最大値は±０．０４５°となる。このバーナを装
着したバーナホルダをスート堆積体の成長軸に対して垂
直な平面上でＹＺ方向に微調整が可能なステージを備え
たバーナ固定治具に取り付けた。バーナホルダとバーナ
固定治具とは嵌め合い構造により接合されており、その
ズレの最大値は±０．０１５°である。
で、バーナとのズレ（孔の隙間の最大値は０．０８ｍ
ｍ）の最大値は±０．０４５°となる。このバーナを装
着したバーナホルダをスート堆積体の成長軸に対して垂
直な平面上でＹＺ方向に微調整が可能なステージを備え
たバーナ固定治具に取り付けた。バーナホルダとバーナ
固定治具とは嵌め合い構造により接合されており、その
ズレの最大値は±０．０１５°である。
【００３１】以上の装置において、バーナとバーナ固定
治具とのズレの和の最大値は±０．０６０°となる。こ
れに対して、微調整用のＸＹステージのズレは極めて小
さく、無視することができる。また、この装置で、コア
用バーナの計算上のズレは、バーナ中心軸のスート堆積
体表面での延長線上で変位量として最大±０．３ｍｍで
あった（バーナ中心軸方向の角度で±０．０６°であ
る）。さらに、クラッド部を合成するためのバーナを４
本使用したが、バーナ外径とズレの程度がやや異なるの
みで、コア用バーナと同様にして装置に取り付けた。
治具とのズレの和の最大値は±０．０６０°となる。こ
れに対して、微調整用のＸＹステージのズレは極めて小
さく、無視することができる。また、この装置で、コア
用バーナの計算上のズレは、バーナ中心軸のスート堆積
体表面での延長線上で変位量として最大±０．３ｍｍで
あった（バーナ中心軸方向の角度で±０．０６°であ
る）。さらに、クラッド部を合成するためのバーナを４
本使用したが、バーナ外径とズレの程度がやや異なるの
みで、コア用バーナと同様にして装置に取り付けた。
【００３２】シングルモード光ファイバ用プリフォーム
（屈折率の△ｎ＝０．３３％）の製造ガス条件を設定
し、ガス条件の微調整を行うと共に、バーナ固定治具の
微調整機構を用いてバーナとスート堆積体表面との位置
関係の調整を行い、プロファイルを調整して製造を行っ
た。２０バッチの製造を行った結果では、１バッチ内の
△ｎのバラツキは０．００５％と極めて安定しており、
バッチ間のバラツキも０．００８％と安定した結果とな
った。このあと、バーナを取外してフッ酸で洗浄し、再
度取付けて２０バッチの製造を行った。その結果、洗浄
前後で△ｎの平均値が０．０１１％変化したが、バッチ
内、バッチ間のバラツキは洗浄前と同様安定した結果と
なった。ここで、△ｎは、比屈折率差と呼ばれるプリフ
ォームの特性のひとつであり、バーナとスート表面の位
置関係がズレると、スート表面での温度分布やドーパン
トの濃度分布が変化し、結果として△ｎが変化してしま
う。
（屈折率の△ｎ＝０．３３％）の製造ガス条件を設定
し、ガス条件の微調整を行うと共に、バーナ固定治具の
微調整機構を用いてバーナとスート堆積体表面との位置
関係の調整を行い、プロファイルを調整して製造を行っ
た。２０バッチの製造を行った結果では、１バッチ内の
△ｎのバラツキは０．００５％と極めて安定しており、
バッチ間のバラツキも０．００８％と安定した結果とな
った。このあと、バーナを取外してフッ酸で洗浄し、再
度取付けて２０バッチの製造を行った。その結果、洗浄
前後で△ｎの平均値が０．０１１％変化したが、バッチ
内、バッチ間のバラツキは洗浄前と同様安定した結果と
なった。ここで、△ｎは、比屈折率差と呼ばれるプリフ
ォームの特性のひとつであり、バーナとスート表面の位
置関係がズレると、スート表面での温度分布やドーパン
トの濃度分布が変化し、結果として△ｎが変化してしま
う。
【００３３】（比較例）実施例と同様に、ＶＡＤ法によ
りシングルモード光ファイバ用プリフォームのコアスー
トを製造した。ただし、コア部合成用バーナとして外径
１９．８５ｍｍの石英ガラス製バーナを、バーナ保持用
の貫通孔径が約２０ｍｍの塩化ビニル樹脂製のブロック
状バーナホルダに固定した。
りシングルモード光ファイバ用プリフォームのコアスー
トを製造した。ただし、コア部合成用バーナとして外径
１９．８５ｍｍの石英ガラス製バーナを、バーナ保持用
の貫通孔径が約２０ｍｍの塩化ビニル樹脂製のブロック
状バーナホルダに固定した。
【００３４】このバーナを装着したバーナホルダをスー
ト堆積体の成長軸に対して垂直な平面上でＹＺ方向に微
調整が可能なステージを備えたバーナ固定治具に取り付
けた。バーナホルダとバーナ固定治具とは嵌め合い構造
等ではなく単に面で接触するのみでボルト・ナットで締
め付けた。以上の装置において、コア用バーナの計算上
のズレは、バーナ中心軸のスート堆積体表面での延長線
上で変位量としておよそ±１ｍｍであった（バーナ中心
軸方向の角度で約０．２°）。さらに、クラッド部を合
成するためのバーナを４本使用したが、バーナ外径とズ
レの程度がやや異なるのみで、コア用バーナと同様にし
て装置に取り付けた。
ト堆積体の成長軸に対して垂直な平面上でＹＺ方向に微
調整が可能なステージを備えたバーナ固定治具に取り付
けた。バーナホルダとバーナ固定治具とは嵌め合い構造
等ではなく単に面で接触するのみでボルト・ナットで締
め付けた。以上の装置において、コア用バーナの計算上
のズレは、バーナ中心軸のスート堆積体表面での延長線
上で変位量としておよそ±１ｍｍであった（バーナ中心
軸方向の角度で約０．２°）。さらに、クラッド部を合
成するためのバーナを４本使用したが、バーナ外径とズ
レの程度がやや異なるのみで、コア用バーナと同様にし
て装置に取り付けた。
【００３５】シングルモード光ファイバ用プリフォーム
（屈折率の△ｎ＝０．３３％）の製造ガス条件を設定
し、ガス条件の微調整を行い、微調整機構を用いてバー
ナとスート堆積体表面との位置関係の調整を行い、プロ
ファイルを調整して製造を行った。２０バッチの製造を
行った結果では、１バッチ内の△ｎのバラツキは０．０
１５％と大きく、バッチ間のバラツキも０．０２０％と
大きかった。このあと、バーナを取外してフッ酸で洗浄
し、再度取付けて２０バッチの製造を行った。その結
果、洗浄前後で△ｎの平均値が０．０３５％変化してし
まい、バーナが大きくズレてしまったと推定される。バ
ッチ内、バッチ間のバラツキも洗浄前と同様不安定な結
果となった。
（屈折率の△ｎ＝０．３３％）の製造ガス条件を設定
し、ガス条件の微調整を行い、微調整機構を用いてバー
ナとスート堆積体表面との位置関係の調整を行い、プロ
ファイルを調整して製造を行った。２０バッチの製造を
行った結果では、１バッチ内の△ｎのバラツキは０．０
１５％と大きく、バッチ間のバラツキも０．０２０％と
大きかった。このあと、バーナを取外してフッ酸で洗浄
し、再度取付けて２０バッチの製造を行った。その結
果、洗浄前後で△ｎの平均値が０．０３５％変化してし
まい、バーナが大きくズレてしまったと推定される。バ
ッチ内、バッチ間のバラツキも洗浄前と同様不安定な結
果となった。
【００３６】上記実施例の結果から明らかなように、本
発明のように精度良く固定したバーナを具備したプリフ
ォーム製造装置を使用してプリフォームを製造すれば、
得られたプリフォームの屈折率分布プロファイルは、バ
ラツキが極めて小さく安定したものとなり、バーナの洗
浄交換等の外乱があっても屈折率分布の再現性は良く、
線引きした光ファイバの特性を安定化させることができ
た。
発明のように精度良く固定したバーナを具備したプリフ
ォーム製造装置を使用してプリフォームを製造すれば、
得られたプリフォームの屈折率分布プロファイルは、バ
ラツキが極めて小さく安定したものとなり、バーナの洗
浄交換等の外乱があっても屈折率分布の再現性は良く、
線引きした光ファイバの特性を安定化させることができ
た。
【００３７】以上、本発明を述べてきたが、本発明は上
記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は
例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術
的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を
奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的
範囲に包含される。
記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は
例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術
的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を
奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的
範囲に包含される。
【００３８】
【発明の効果】本発明によれば、バーナのターゲットに
対する方向精度が格段に向上し、火炎が安定化するの
で、得られた光ファイバ用プリフォームの屈折率分布プ
ロファイルは変動の殆どないものとなり、光ファイバの
特性を安定化すると共に、プリフォームの歩留りと生産
性の向上を図り、コストを大幅に改善することができ
る。
対する方向精度が格段に向上し、火炎が安定化するの
で、得られた光ファイバ用プリフォームの屈折率分布プ
ロファイルは変動の殆どないものとなり、光ファイバの
特性を安定化すると共に、プリフォームの歩留りと生産
性の向上を図り、コストを大幅に改善することができ
る。
【図１】本発明で使用したＶＡＤ法光ファイバ用プリフ
ォームの製造装置の構成例を示す概略図である。
ォームの製造装置の構成例を示す概略図である。
【図２】本発明の光ファイバ用プリフォームの製造装置
のバーナ部の構成例を示す概略図である。
のバーナ部の構成例を示す概略図である。
１…コア用バーナ、２…クラッド用バーナ、３…石英基
材（コア）、４…チャンバ、５…プリフォーム（多孔質
ガラス母材）、２０…バーナ固定治具、２１…バーナホ
ルダ、２２…ＹＺステージ、２３…Ｘステージ、２４
ａ、２４ｂ、２４ｃ…マイクロメータヘッド、２５…ガ
スヘッダー、２６…嵌め合い構造。
材（コア）、４…チャンバ、５…プリフォーム（多孔質
ガラス母材）、２０…バーナ固定治具、２１…バーナホ
ルダ、２２…ＹＺステージ、２３…Ｘステージ、２４
ａ、２４ｂ、２４ｃ…マイクロメータヘッド、２５…ガ
スヘッダー、２６…嵌め合い構造。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 Ｆターム(参考） 4G021 EA01 EA03 EB14 EB26
Claims (6)
- 【請求項１】 光ファイバ用プリフォーム合成用のバー
ナと、該バーナを固定するバーナホルダと、該バーナホ
ルダのＸＹＺ３軸座標位置調整機能を持つバーナ固定治
具を備えた光ファイバ用プリフォームの製造装置であっ
て、バーナホルダのバーナ保持孔の精度が、バーナ中心
軸方向の角度として、±０．１°以内であることを特徴
とする光ファイバ用プリフォームの製造装置。 - 【請求項２】 前記バーナホルダのバーナ固定治具に対
する固定を嵌め合い方式とし、該嵌め合い精度が、バー
ナ中心軸方向の角度として、±０．１°以内であること
を特徴とする請求項１に記載した光ファイバ用プリフォ
ームの製造装置。 - 【請求項３】 前記バーナホルダのバーナ保持孔の精度
およびバーナホルダのバーナ固定治具に対する嵌め合い
精度が、バーナ中心軸方向の角度として、±０．０５°
以内であることを特徴とする請求項１または請求項２に
記載した光ファイバ用プリフォームの製造装置。 - 【請求項４】 前記バーナの材質が、石英ガラスである
ことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１
項に記載した光ファイバ用プリフォームの製造装置。 - 【請求項５】 前記バーナホルダの材質が、ポリアセタ
ール樹脂であることを特徴とする請求項１ないし請求項
４のいずれか１項に記載した光ファイバ用プリフォーム
の製造装置。 - 【請求項６】 前記バーナ表面とバーナホルダとの一部
を接着剤で固定することを特徴とする請求項１ないし請
求項５のいずれか１項に記載した光ファイバ用プリフォ
ームの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11058861A JP2000256032A (ja) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | 光ファイバ用プリフォームの製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11058861A JP2000256032A (ja) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | 光ファイバ用プリフォームの製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000256032A true JP2000256032A (ja) | 2000-09-19 |
Family
ID=13096507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11058861A Pending JP2000256032A (ja) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | 光ファイバ用プリフォームの製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000256032A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9028912B2 (en) | 2004-09-30 | 2015-05-12 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method of manufacturing optical fiber base material and apparatus therefor |
| KR20220162977A (ko) * | 2021-06-02 | 2022-12-09 | 한국세라믹기술원 | 플라즈마내식성 석영유리 및 그 제조방법 |
| KR20220162981A (ko) * | 2021-06-02 | 2022-12-09 | 한국세라믹기술원 | 플라즈마내식성이 우수한 석영유리 및 그 제조방법 |
-
1999
- 1999-03-05 JP JP11058861A patent/JP2000256032A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9028912B2 (en) | 2004-09-30 | 2015-05-12 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method of manufacturing optical fiber base material and apparatus therefor |
| KR20220162977A (ko) * | 2021-06-02 | 2022-12-09 | 한국세라믹기술원 | 플라즈마내식성 석영유리 및 그 제조방법 |
| KR20220162981A (ko) * | 2021-06-02 | 2022-12-09 | 한국세라믹기술원 | 플라즈마내식성이 우수한 석영유리 및 그 제조방법 |
| KR102539325B1 (ko) | 2021-06-02 | 2023-06-01 | 한국세라믹기술원 | 플라즈마내식성 석영유리 및 그 제조방법 |
| KR102539330B1 (ko) | 2021-06-02 | 2023-06-01 | 한국세라믹기술원 | 플라즈마내식성이 우수한 석영유리 및 그 제조방법 |
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