JP2000229258A - Liquid coating device and liquid coating method - Google Patents
Liquid coating device and liquid coating methodInfo
- Publication number
- JP2000229258A JP2000229258A JP11031547A JP3154799A JP2000229258A JP 2000229258 A JP2000229258 A JP 2000229258A JP 11031547 A JP11031547 A JP 11031547A JP 3154799 A JP3154799 A JP 3154799A JP 2000229258 A JP2000229258 A JP 2000229258A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- coating
- application
- nozzle
- nozzles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、陰極線管、半導体
基板、液晶基板、光ディスク用基板等の塗布対象物に液
体を塗布して薄膜を形成するための液体塗布装置及び液
体塗布方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid coating apparatus and a liquid coating method for forming a thin film by applying a liquid to an object to be coated such as a cathode ray tube, a semiconductor substrate, a liquid crystal substrate, and an optical disk substrate.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、例えば、カラーテレビジョンを構
成する陰極線管（ＣＲＴ）の映像表示部分となる前面保
護ガラスには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３色
用の蛍光体膜が形成されている。この蛍光体膜は、液体
塗布装置を用いて、前面保護ガラスの裏面部に蛍光体を
含有した液体、すなわち、蛍光体スラリーを塗布するこ
とによって形成される。2. Description of the Related Art Conventionally, for example, a front protective glass serving as an image display portion of a cathode ray tube (CRT) constituting a color television has three colors of red (R), green (G) and blue (B). Phosphor film is formed. This phosphor film is formed by applying a liquid containing a phosphor, that is, a phosphor slurry, to the back surface of the front protective glass using a liquid coating device.
【０００３】この液体塗布装置は、前面保護ガラスを裏
面部を上方に向けて回転操作可能に支持する支持台と、
該裏面部の略々中央部に対して上方側より蛍光体スラリ
ーを注入する液体注入機構とを有している。液体注入機
構は、内径が５ｍｍ程度のパイプ状のノズル部と、この
ノズル部の上部に設けられた自動弁とを有して構成され
ている。[0003] The liquid application apparatus includes a support for rotatably supporting the front protective glass with the rear surface facing upward;
A liquid injection mechanism for injecting the phosphor slurry from above the substantially central portion of the back surface portion. The liquid injection mechanism includes a pipe-shaped nozzle portion having an inner diameter of about 5 mm, and an automatic valve provided above the nozzle portion.
【０００４】この液体塗布装置によって前面保護ガラス
を裏面部に蛍光体スラリーを塗布するには、支持台によ
って前面保護ガラスを回転させながら、自動弁を開いて
ノズル部を介して該前面保護ガラスの裏面部上に蛍光体
スラリーを注入し、この注入の完了後に、支持台によっ
て該前面保護ガラスをさらに高速で回転させる。この高
速回転時に、前面保護ガラスの裏面部上に注入された蛍
光体スラリーは、遠心力によって該裏面部上を外周側に
向けて流動して、薄い膜を形成して該裏面部に塗布され
る。[0004] In order to apply the phosphor slurry to the front protective glass on the rear surface by the liquid coating apparatus, an automatic valve is opened while the front protective glass is rotated by the support base, and the front protective glass is applied via the nozzle. The phosphor slurry is injected onto the rear surface, and after the injection is completed, the front protective glass is rotated at a higher speed by the support. At the time of this high-speed rotation, the phosphor slurry injected on the back surface of the front protective glass flows on the back surface toward the outer peripheral side by centrifugal force to form a thin film and is applied to the back surface. You.
【０００５】また、一列状に並べた複数のノズルより蛍
光体スラリーを吐出させつつこれらノズルを移動操作し
て、該蛍光体スラリーを前面保護ガラスの裏面部に塗布
するようにした液体塗布装置も提案されている。[0005] Further, there is also a liquid application apparatus in which the phosphor slurry is ejected from a plurality of nozzles arranged in a line while moving these nozzles to apply the phosphor slurry to the rear surface of the front protective glass. Proposed.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な液体塗布装置を用いた蛍光体スラリーの塗布において
は、蛍光体スラリーを前面保護ガラスの裏面部上で流動
させて塗布するため、最終的に該裏面部に付着する蛍光
体スラリーの量よりも相当に多くの蛍光体スラリーを該
裏面部上に注入しなければならない。そのため、過剰に
注入した蛍光体スラリーを回収して蛍光体スラリーの特
性、例えばスラリー比重、粘度、ｐＨなどを補正する装
置が必要となる。また、前面保護ガラスの外周側のスカ
ート部へ多量の蛍光体スラリーが付着することとなり、
裏面部への蛍光体スラリーの塗布後に、該スカート部へ
付着した蛍光体スラリーを除去する必要が生ずる。In the application of the phosphor slurry using the liquid coating apparatus as described above, the phosphor slurry is applied by flowing on the rear surface of the front protective glass. In this case, much more phosphor slurry must be injected onto the back surface than the amount of phosphor slurry adhered to the back surface. For this reason, an apparatus is required which collects the excessively injected phosphor slurry and corrects the properties of the phosphor slurry, for example, the specific gravity, viscosity, and pH of the slurry. In addition, a large amount of phosphor slurry adheres to the skirt portion on the outer peripheral side of the front protective glass,
After applying the phosphor slurry to the back surface, it is necessary to remove the phosphor slurry attached to the skirt.
【０００７】さらに、この液体塗布装置を用いた蛍光体
スラリーの塗布においては、蛍光体スラリーの注入の時
間差による塗布ムラが生じ易い。[0007] Further, in the application of the phosphor slurry using this liquid coating apparatus, application unevenness is likely to occur due to the time difference between the injection of the phosphor slurry.
【０００８】また、複数のノズルより蛍光体スラリーを
吐出させつつこれらノズルを移動操作する構成の塗布装
置においては、図５に示すように、蛍光体スラリー塗布
用の各ノズル１０４の先端は、陰極線管前面パネルのシ
ールエッジ部より上方にあり、実際の被塗布面、すなわ
ち、前面保護ガラス１０１の裏面部１０２までの距離
が、例えば１５インチパネルの場合で、５０ｍｍ乃至７
０ｍｍとなる位置にある。そのため、各ノズル１０４の
先端部から吐出された蛍光体スラリーは、流れの方向が
不安定となり、隣接ノズルからの流れと干渉したり、流
れの中にエアーが混入し、被塗布面に塗布されたときに
発泡を生じ易くなる。そのため、この蛍光体スラリーに
より形成される蛍光体塗布膜は、欠陥を生じて不良とな
る可能性が高い。Further, in a coating apparatus configured to move these nozzles while discharging the phosphor slurry from a plurality of nozzles, as shown in FIG. The distance from the seal edge of the tube front panel to the actual surface to be coated, that is, the distance to the rear surface 102 of the front protective glass 101 is, for example, 50 mm to 7 mm for a 15-inch panel.
It is at a position of 0 mm. Therefore, the direction of the flow of the phosphor slurry discharged from the tip of each nozzle 104 becomes unstable and interferes with the flow from the adjacent nozzle, or air is mixed into the flow and is applied to the surface to be coated. Foaming is likely to occur. Therefore, there is a high possibility that the phosphor coating film formed by the phosphor slurry will be defective due to defects.
【０００９】また、被塗布面である前面パネルが曲面で
ある場合にも、各ノズル１０４は、図５中矢印ａで示す
ように、水平方向に直線状にスキャン移動するため、前
面保護ガラス１０１上では、ノズルの位置によって該前
面保護ガラス１０１の裏面部１０２と蛍光体スラリーの
流れとの角度が変動し、塗膜の厚さが不均一になり易
い。Even when the front panel, which is the surface to be coated, has a curved surface, each nozzle 104 scans horizontally in a straight line as shown by an arrow a in FIG. Above, the angle between the back surface portion 102 of the front protective glass 101 and the flow of the phosphor slurry fluctuates depending on the position of the nozzle, and the thickness of the coating film tends to be uneven.
【００１０】そこで、本発明は、上述の実情に鑑みて提
案されるものであって、塗布対象物に塗布する液体の該
塗布対象物に対する注入量が少なくて済み、該液体の回
収及び特性の補正が不要となされ、塗布領域以外への該
液体の付着が少なくなされ、さらに、該液体内の発泡や
該液体の流れ同士の干渉、該液体の流れの方向と被塗布
面とのなす角度の変動などによる塗布ムラが生じないよ
うになされた液体塗布装置及び液体塗布方法を提供しよ
うとするものである。Therefore, the present invention has been proposed in view of the above-mentioned circumstances, and requires only a small amount of liquid to be applied to an object to be applied to the object to be applied. Correction is not required, adhesion of the liquid to areas other than the application area is reduced, and furthermore, bubbling in the liquid and interference between the flows of the liquid, and the angle between the direction of the flow of the liquid and the surface to be coated. It is an object of the present invention to provide a liquid coating apparatus and a liquid coating method that do not cause uneven coating due to fluctuations or the like.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明に係る液体塗布装置は、略々直線状に配列さ
れ塗布対象物の塗布部に対向されて該塗布部に向けて液
体を吐出させる複数の細孔ノズルと、これら複数の細孔
ノズルより液体が吐出されているときに塗布部と該複数
の細孔ノズルとを該複数の細孔ノズルの配列方向に直交
する方向に相対移動させる移動操作機構とを備えてい
る。そして、複数の細孔ノズルは、液体を吐出する先端
部から塗布部までの距離が５ｍｍ乃至１０ｍｍの一定距
離に維持されることを特徴とするものである。In order to solve the above-mentioned problems, a liquid applying apparatus according to the present invention is arranged in a substantially linear manner, and faces a coating portion of an object to be coated. And a plurality of fine nozzles, and when the liquid is being discharged from these fine nozzles, the application unit and the fine nozzles are arranged in a direction orthogonal to the arrangement direction of the fine nozzles. And a movement operation mechanism for performing relative movement. The plurality of fine nozzles are characterized in that the distance from the tip end for discharging the liquid to the application section is maintained at a constant distance of 5 mm to 10 mm.
【００１２】そして、本発明に係る液体塗布方法は、塗
布対象物に液体を塗布する液体塗布方法であって、略々
直線状に配列され塗布対象物の塗布部に対向された複数
の細孔ノズルを介して該塗布部に向けて液体を吐出させ
る工程と、複数の細孔ノズルより液体を吐出させつつ塗
布部と該複数の細孔ノズルとを該複数の細孔ノズルの配
列方向に直交する方向に相対移動させる工程とからな
る。そして、各細孔ノズルとして、先端部から略々１０
ｍｍ程度以上に亘る部分のノズル内の形状が内径が０．
５ｍｍ乃至０．９ｍｍの円筒形状となっているものを使
用し、液体が吐出されるこれら細孔ノズルの先端部から
塗布部までの距離を５ｍｍ乃至１０ｍｍの一定距離に維
持することを特徴とするものである。A liquid application method according to the present invention is a liquid application method for applying a liquid to an object to be applied, comprising a plurality of fine pores arranged substantially linearly and opposed to an application portion of the object to be applied. A step of discharging the liquid toward the application section through the nozzle; and a step of orthogonally intersecting the application section and the plurality of fine nozzles in the arrangement direction of the plurality of fine nozzles while discharging the liquid from the plurality of fine nozzles. The relative movement in the direction of Then, as each of the fine pore nozzles, approximately 10
The inside diameter of the part of the nozzle extending over about mm is 0.
It is characterized by using a cylinder having a cylindrical shape of 5 mm to 0.9 mm, and keeping the distance from the tip of these fine nozzles from which the liquid is discharged to the application section at a constant distance of 5 mm to 10 mm. Things.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１４】この実施の形態は、本発明に係る液体塗布
装置を、塗布対象物となる陰極線管の前面保護ガラスの
裏面部に、蛍光体を含有した液体、すなわち、蛍光体ス
ラリーを塗布する装置として構成したのものである。こ
の実施の形態において、前面保護ガラスの裏面部は、蛍
光体スラリーが塗布される塗布部となる。そして、本発
明に係る液体塗布方法は、この液体塗布装置を用いるこ
とによって実施される。In this embodiment, a liquid coating apparatus according to the present invention is used to apply a liquid containing a phosphor, ie, a phosphor slurry, to the back surface of a front protective glass of a cathode ray tube to be coated. It is configured as In this embodiment, the back surface of the front protective glass is an application section to which the phosphor slurry is applied. The liquid applying method according to the present invention is performed by using the liquid applying apparatus.
【００１５】この液体塗布装置は、図１に示すように、
スラリータンク１に貯蔵された蛍光体スラリー２を、注
入ポンプ３の力によってシャワーノズル４に送り、この
シャワーノズル４を介して、前面保護ガラス１０１の裏
面部１０２に注入して塗布するものである。なお、蛍光
体スラリーは、比重が１．３０乃至１．４０で、粘度は
２０npas乃至５０npasである。また、注入ポンプは、通
称を「スネークポンプ」という無脈動型圧送ポンプであ
る。[0015] As shown in FIG.
The phosphor slurry 2 stored in the slurry tank 1 is sent to the shower nozzle 4 by the power of the injection pump 3, and is injected and applied to the back surface 102 of the front protective glass 101 via the shower nozzle 4. . The phosphor slurry has a specific gravity of 1.30 to 1.40 and a viscosity of 20 npas to 50 npas. Further, the infusion pump is a non-pulsation type pressure pump generally called a “snake pump”.
【００１６】スラリータンク１には、蛍光体スラリー２
を攪拌する攪拌フィン５及びこの攪拌フィン５を回転操
作するモータ６が設けられている。注入ポンプ３は、ス
ラリータンク１内の蛍光体スラリー２を搬送チューブ７
を介して吸い出して、ストレーナ８に送り出す。ストレ
ーナ８に送られた蛍光体スラリー２は、このストレーナ
８を経て、さらに分岐部９を経て、複数本の搬送チュー
ブ１０（φ８×１０程度）に分岐され、これら搬送チュ
ーブ１０を介してシャワーノズル４に送られる。The slurry tank 1 contains a phosphor slurry 2
And a motor 6 for rotating the stirring fin 5 are provided. The injection pump 3 transfers the phosphor slurry 2 in the slurry tank 1 to the transport tube 7.
And sucked out to the strainer 8. The phosphor slurry 2 sent to the strainer 8 passes through the strainer 8, further passes through a branch section 9, and is branched into a plurality of transport tubes 10 (about φ8 × 10). 4
【００１７】シャワーノズル４に送られた蛍光体スラリ
ー２は、このシャワーノズル４内の中空部内に送り込ま
れる。蛍光体スラリー２は、シャワーノズル４の中空部
内に送り込まれる前に、圧力計１１によって圧力を測定
される。蛍光体スラリー２の供給圧力は、０．１kgf/cm
２乃至０．５kgf/cm２である。また、各搬送チューブ１
０からシャワーノズル４の中空部内への入口部には、そ
れぞれ三方自動弁１２が設けられている。これら三方自
動弁１２は、各搬送チューブ１０を介して送られてきた
蛍光体スラリー２を、シャワーノズル４の中空部内に入
る経路と、該中空部内に入らない経路とに分岐させると
ともに、これら２つの経路を通る蛍光体スラリー２の比
率を可変調節する。The phosphor slurry 2 sent to the shower nozzle 4 is sent into a hollow portion of the shower nozzle 4. The pressure of the phosphor slurry 2 is measured by the pressure gauge 11 before being sent into the hollow portion of the shower nozzle 4. The supply pressure of the phosphor slurry 2 is 0.1 kgf / cm
It is 2 to 0.5 kgf / cm2. In addition, each transfer tube 1
A three-way automatic valve 12 is provided at each of the inlet portions from 0 to the hollow portion of the shower nozzle 4. These three-way automatic valves 12 branch the phosphor slurry 2 sent through each transport tube 10 into a path that enters the hollow part of the shower nozzle 4 and a path that does not enter the hollow part. The ratio of the phosphor slurry 2 passing through the two paths is variably adjusted.
【００１８】また、三方自動弁１２は、蛍光体スラリー
２を送り出す２つの経路のうちの一方を完全に閉じてし
まうこともできる。三方自動弁１２においてシャワーノ
ズル４の中空部内に入らない経路に送られた蛍光体スラ
リー２は、圧力調整弁１３を経て、スラリータンク１に
戻る。圧力調整弁１３は、開度を調節することにより、
蛍光体スラリー２がシャワーノズル４に供給されるとき
とスラリータンク１に戻されるときとで、該蛍光体スラ
リー２の圧力に変動がないようにすることができる。The three-way automatic valve 12 can also completely close one of the two paths for sending out the phosphor slurry 2. The phosphor slurry 2 sent to a path that does not enter the hollow portion of the shower nozzle 4 in the three-way automatic valve 12 returns to the slurry tank 1 via the pressure adjusting valve 13. The pressure adjustment valve 13 adjusts the opening degree,
When the phosphor slurry 2 is supplied to the shower nozzle 4 and when the phosphor slurry 2 is returned to the slurry tank 1, the pressure of the phosphor slurry 2 can be prevented from fluctuating.
【００１９】シャワーノズル４は、図２に示すように、
下面部に、前面保護パネル１０１の裏面部１０２に向け
て蛍光体スラリー２を吐出させるための複数の細孔ノズ
ル１４を有している。シャワーノズル４内の中空部は、
これら複数の細孔ノズル１４につながっている。複数の
細孔ノズル１４は、一列に直線状に配列され、下方に向
けられることにより前面保護パネル１０１の裏面部１０
２に対向されている。すなわち、前面保護パネル１０１
は、図１に示すように、裏面部１０２を上方に向けて、
支持台（ヘッド）１０３上に支持されている。The shower nozzle 4 is, as shown in FIG.
A plurality of fine nozzles 14 for discharging the phosphor slurry 2 toward the back surface 102 of the front protection panel 101 are provided on the lower surface. The hollow part in the shower nozzle 4
The plurality of small hole nozzles 14 are connected. The plurality of fine-hole nozzles 14 are linearly arranged in a line, and are directed downward so that the rear surface 10
2. That is, the front protection panel 101
As shown in FIG. 1, the back surface 102 is directed upward,
It is supported on a support (head) 103.
【００２０】各細孔ノズル１４は、図３に示すように、
同図中矢印Ｌで示す先端部から略々１０ｍｍ程度以上に
亘る部分のノズル内の形状が、同図中矢印φで示す内径
が０．５ｍｍ乃至０．９ｍｍ、望ましくは、０．６ｍｍ
乃至０．８ｍｍ程度の円筒形状となっている。これら細
孔ノズル１４間のピッチＰは、２．０ｍｍ乃至３．０ｍ
ｍ、望ましくは、２．４ｍｍ程度となされている。As shown in FIG. 3, each pore nozzle 14
In the figure, the shape of the inside of the nozzle at a portion extending approximately 10 mm or more from the tip end indicated by the arrow L has an inner diameter indicated by an arrow φ in the same figure of 0.5 mm to 0.9 mm, preferably 0.6 mm.
It has a cylindrical shape of about 0.8 mm to about 0.8 mm. The pitch P between these fine nozzles 14 is 2.0 mm to 3.0 m.
m, preferably about 2.4 mm.
【００２１】このシャワーノズル４は、図１に示すよう
に、移動操作機構１６によって支持されている。この移
動操作機構１６は、図４に示すように、複数の細孔ノズ
ル１４より蛍光体スラリー２が前面保護パネル１０１の
裏面部１０２に向けて吐出されているときに、シャワー
ノズル４を、図４中矢印Ｓで示すように、裏面部１０２
の形状に沿って、複数の細孔ノズル１４の配列方向に直
交する方向に該裏面部１０２に対し相対移動させる。複
数の細孔ノズル１４の配列方向に直交する方向は、前面
保護パネル１０１の対辺方向となる。The shower nozzle 4 is supported by a moving operation mechanism 16 as shown in FIG. As shown in FIG. 4, the moving operation mechanism 16 moves the shower nozzle 4 when the phosphor slurry 2 is being discharged from the plurality of fine nozzles 14 toward the back surface 102 of the front protection panel 101. 4 As shown by the middle arrow S,
Is moved relative to the back surface 102 in a direction perpendicular to the arrangement direction of the plurality of fine-hole nozzles 14 along the shape of. The direction orthogonal to the arrangement direction of the plurality of fine nozzles 14 is the opposite side direction of the front protection panel 101.
【００２２】複数の細孔ノズル１４より蛍光体スラリー
２が前面保護パネル１０１の裏面部１０２に向けて吐出
されているときには、各細孔ノズル１４の先端部と裏面
部１０２との間の距離は、５ｍｍ乃至１０ｍｍ程度の一
定距離に維持される。そして、シャワーノズル４と前面
保護パネル１０１の裏面部１０２がの相対移動される速
度は、１５０ｍｍ／sec乃至５００ｍｍ／sec程度であ
る。When the phosphor slurry 2 is being discharged from the plurality of fine nozzles 14 toward the rear surface 102 of the front protection panel 101, the distance between the front end of each fine nozzle 14 and the rear surface 102 is Is maintained at a constant distance of about 5 mm to 10 mm. The speed at which the shower nozzle 4 and the rear surface portion 102 of the front protection panel 101 are relatively moved is about 150 mm / sec to 500 mm / sec.
【００２３】シャワーノズル４を移動操作する移動操作
機構１６としては、いわゆる多関節型（多軸型）のロボ
ットを使用することができる。この多関節型のロボット
においては、前面保護パネル１０１の裏面部１０２の形
状の情報を入力（ティーチング）しておくことにより、
シャワーノズル４の位置や角度、移動速度などの塗布条
件を任意に設定することができる。As the moving operation mechanism 16 for moving the shower nozzle 4, a so-called multi-joint (multi-axial) robot can be used. In this articulated robot, by inputting (teaching) information on the shape of the back surface 102 of the front protection panel 101,
The application conditions such as the position, angle, and moving speed of the shower nozzle 4 can be arbitrarily set.
【００２４】複数の細孔ノズル１４より吐出される蛍光
体スラリー２は、薄い膜状となされて前面保護パネル１
０１の裏面部１０２に対して注入され、この裏面部１０
２上に薄く塗布される。The phosphor slurry 2 discharged from the plurality of fine-hole nozzles 14 is formed into a thin film,
01 is injected into the back surface 102, and the back surface 10
2 is applied thinly.
【００２５】これら裏面部１０２とシャワーノズル４と
の相対移動は、シャワーノズル４を介して蛍光体スラリ
ーが塗布される箇所が該裏面部１０２の一側側より他側
側に至る範囲に亘って行われる。そして、複数の細孔ノ
ズル１４は、前面保護パネル１０１の裏面部１０２とシ
ャワーノズル４との相対移動の方向に直交する方向につ
いての該裏面部１０２の最大長部の長さに相当する長さ
に亘って配列されている。したがって、シャワーノズル
４より吐出される蛍光体スラリー２は、このシャワーノ
ズル４と前面保護パネル１０１との相対移動によって、
該前面保護パネル１０１の裏面部１０２の全面に亘って
塗布される。The relative movement between the back surface portion 102 and the shower nozzle 4 is such that the location where the phosphor slurry is applied via the shower nozzle 4 extends from one side of the back surface portion 102 to the other side. Done. The plurality of fine nozzles 14 have a length corresponding to the length of the maximum length of the back surface 102 in a direction orthogonal to the direction of relative movement between the back surface 102 of the front protection panel 101 and the shower nozzle 4. Are arranged. Therefore, the phosphor slurry 2 discharged from the shower nozzle 4 is moved by the relative movement between the shower nozzle 4 and the front protection panel 101.
The coating is applied over the entire rear surface 102 of the front protection panel 101.
【００２６】この塗布が終了すると、前面保護パネル
は、中心部分を中心として高速で回転操作され、この回
転による遠心力によって蛍光体スラリー２の塗膜の膜厚
を調整するいわゆるスピンコート法により、所望膜厚の
蛍光体スラリー２の塗膜を形成される。そして、蛍光体
スラリー２の塗膜は、乾燥される。When this coating is completed, the front protective panel is rotated at a high speed around the center portion, and the centrifugal force of this rotation adjusts the thickness of the coating film of the phosphor slurry 2 by the so-called spin coating method. A coating film of the phosphor slurry 2 having a desired thickness is formed. Then, the coating film of the phosphor slurry 2 is dried.
【００２７】なお、シャワーノズル４は、次の塗布工程
を実行する前に、図示しない超音波洗浄槽に定期的に浸
されることにより、先端部分を洗浄される。シャワーノ
ズル４の超音波洗浄槽への浸漬は、移動操作機構１６に
よって行うことができる。また、シャワーノズル４に
は、待機中、すなわち、この液体塗布装置の非使用時に
おける細孔ノズル１４内への蛍光体の沈降を防止するた
めに、この細孔ノズル１４内を定期的に水洗浄すること
ができる洗浄機構が設けられている。この洗浄機構は、
洗浄水用弁１５を有して構成されている。この洗浄水用
弁１５は、作動されると、シャワーノズル４内の空隙部
内に外方側より洗浄水を導入する。この洗浄水は、各細
径ノズル１４内を経て、シャワーノズル４の外方に排出
されることにより、空隙部内及び各細径ノズル１４内を
洗浄する。また、細孔ノズル１４内への蛍光体の沈降を
防止するには、蛍光体スラリーの塗布を行うとき以外に
も、いわゆる空出しを行って、該細孔ノズル１４内の蛍
光体スラリーを流動させることが有効である。Before the next coating step, the shower nozzle 4 is periodically immersed in an ultrasonic cleaning bath (not shown) to clean the tip. Immersion of the shower nozzle 4 in the ultrasonic cleaning tank can be performed by the moving operation mechanism 16. Further, in order to prevent the sedimentation of the fluorescent substance into the pore nozzle 14 during standby, that is, when the liquid coating apparatus is not used, the shower nozzle 4 periodically discharges water inside the pore nozzle 14. A cleaning mechanism capable of cleaning is provided. This cleaning mechanism
It has a cleaning water valve 15. When the cleaning water valve 15 is operated, the cleaning water is introduced from the outside into the gap in the shower nozzle 4. The washing water is discharged to the outside of the shower nozzle 4 through the inside of each small-diameter nozzle 14, thereby cleaning the inside of the gap and the inside of each small-diameter nozzle 14. In addition, in order to prevent the phosphor from settling in the fine nozzle 14, the phosphor slurry in the fine nozzle 14 is fluidized by performing so-called emptying, not only when the phosphor slurry is applied. It is effective to do so.
【００２８】そして、本発明に係る液体塗布方法は、上
述のように構成された本発明に係る液体塗布装置を用い
ることによって実行される。すなわち、この液体塗布方
法は、塗布対象物に液体を塗布するための液体塗布方法
であって、略々直線状に配列され塗布対象物の塗布部に
対向された複数の細孔ノズル１４を介して該塗布部に向
けて液体を吐出させる工程と、該複数の細孔ノズル１４
より液体を吐出させつつ塗布部と該複数の細孔ノズル１
４とを該複数の細孔ノズル１４の配列方向に直交する方
向に相対移動させる工程とからなる。The liquid applying method according to the present invention is performed by using the liquid applying apparatus according to the present invention configured as described above. That is, this liquid application method is a liquid application method for applying a liquid to an object to be applied, and includes a plurality of fine nozzles 14 arranged in a substantially linear shape and facing the application portion of the object to be applied. Discharging the liquid toward the application section by using the plurality of fine nozzles 14.
The application section and the plurality of fine-hole nozzles 1 while discharging more liquid
4) in the direction perpendicular to the direction in which the plurality of micropore nozzles 14 are arranged.
【００２９】そして、各細孔ノズルとして、先端部から
略々１０ｍｍ程度以上に亘る部分のノズル内の形状が内
径が０．５ｍｍ乃至０．９ｍｍの円筒形状となっている
ものを使用し、液体が吐出されるこれら細孔ノズルの先
端部から塗布部までの距離を５ｍｍ乃至１０ｍｍ程度の
一定距離に維持する。Each of the nozzles has a cylindrical shape having an inner diameter of 0.5 mm to 0.9 mm in a portion extending from the tip portion to about 10 mm or more. Is maintained at a constant distance of about 5 mm to 10 mm from the tip of these fine nozzles to which the liquid is discharged.
【００３０】これら塗布部と細径ノズル１４との相対移
動は、該細径ノズル１４を介して蛍光体スラリーが塗布
される箇所が該塗布部の一側側より他側側に至る範囲に
亘って行われるので、細径ノズル１４より吐出される液
体は、この細径ノズル１４と塗布部との相対移動によっ
て、該塗布部の全面に亘って塗布される。The relative movement between the application section and the small-diameter nozzle 14 is such that the location where the phosphor slurry is applied via the small-diameter nozzle 14 extends from one side of the application section to the other side. The liquid ejected from the small-diameter nozzle 14 is applied over the entire surface of the application section by the relative movement between the small-diameter nozzle 14 and the application section.
【００３１】[0031]
【発明の効果】上述のように、本発明に係る液体塗布装
置及び液体塗布方法においては、塗布対象物に塗布され
る液体は、略々直線状に配列され塗布対象物の塗布部に
対向された複数の細孔ノズルより塗布部に向けて吐出さ
れる。そして、複数の細孔ノズルは、液体を吐出する先
端部から塗布部までの距離が、５ｍｍ乃至１０ｍｍの一
定距離に維持される。As described above, in the liquid applying apparatus and the liquid applying method according to the present invention, the liquid applied to the object to be applied is arranged in a substantially linear manner and is opposed to the application portion of the object to be applied. Is discharged from the plurality of fine nozzles toward the application section. Then, the distance between the tip end of the plurality of nozzles for discharging the liquid and the application section is maintained at a constant distance of 5 mm to 10 mm.
【００３２】そして、本発明に係る液体塗布方法におい
ては、略々直線状に配列され塗布対象物の塗布部に対向
された複数の細孔ノズルを介して該塗布部に向けて液体
を吐出させつつ、この細孔ノズルと塗布部とを該複数の
細孔ノズルの配列方向に直交する方向に相対移動させ
る。そして、各細孔ノズルとして、先端部から略々１０
ｍｍ程度以上に亘る部分のノズル内の形状が内径が０．
５ｍｍ乃至０．９ｍｍの円筒形状となっているものを使
用し、液体が吐出されるこれら細孔ノズルの先端部から
塗布部までの距離を５ｍｍ乃至１０ｍｍの一定距離に維
持する。In the liquid applying method according to the present invention, the liquid is ejected toward the application section through a plurality of fine nozzles arranged in a substantially straight line and facing the application section of the object to be applied. Meanwhile, the fine nozzle and the application section are relatively moved in a direction orthogonal to the arrangement direction of the plurality of fine nozzles. Then, as each of the fine pore nozzles, approximately 10
The inside diameter of the part of the nozzle extending over about mm is 0.
A cylinder having a cylindrical shape of 5 mm to 0.9 mm is used, and the distance from the tip of these fine nozzles from which the liquid is discharged to the application section is maintained at a constant distance of 5 mm to 10 mm.
【００３３】したがって、本発明に係る液体塗布装置及
び液体塗布方法においては、塗布対象物に塗布する液体
の該塗布対象物に対する注入量が少なくて済み、該液体
の回収及び特性の補正が不要であり、塗布領域以外への
該液体の付着が少なく、さらに、該液体内の発泡や該液
体の流れ同士の干渉、該液体の流れの方向と被塗布面と
のなす角度の変動などによる塗布ムラが生じないように
なされた液体塗布装置及び液体塗布方法を提供すること
ができるものである。Therefore, in the liquid applying apparatus and the liquid applying method according to the present invention, the injection amount of the liquid to be applied to the object to be applied to the object to be applied is small, and it is not necessary to recover the liquid and correct the characteristics. Yes, the adhesion of the liquid to the area other than the application area is small, and further, the coating unevenness due to foaming in the liquid, interference between the flows of the liquid, variation in the angle between the direction of the liquid flow and the surface to be coated, etc. It is possible to provide a liquid application device and a liquid application method in which no liquid is generated.
【図１】本発明に係る液体塗布装置の構成を示す正面図
である。FIG. 1 is a front view showing a configuration of a liquid application device according to the present invention.
【図２】上記液体塗布装置の要部となるシャワーノズル
の構成を示す正面図である。FIG. 2 is a front view showing a configuration of a shower nozzle which is a main part of the liquid coating apparatus.
【図３】上記シャワーノズルの要部となる細径ノズルの
構成を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged sectional view of a main part showing a configuration of a small diameter nozzle which is a main part of the shower nozzle.
【図４】上記液体塗布装置の動作を示す側面図である。FIG. 4 is a side view showing the operation of the liquid application device.
【図５】従来の液体塗布装置の動作を示す側面図であ
る。FIG. 5 is a side view showing the operation of the conventional liquid application device.
２ 蛍光体スラリー、３ 注入ポンプ、４ シャワーノ
ズル、１４ 細孔ノズル、１６ 移動操作機構、１０１
全面パネル部塗布対象物、１０２ 裏面部2 phosphor slurry, 3 injection pump, 4 shower nozzle, 14 pore nozzle, 16 moving operation mechanism, 101
Full-panel application target, 102 back
フロントページの続き (72)発明者 佐藤 竜矢 岐阜県瑞浪市小田町1905番地 ソニー瑞浪 株式会社内 (72)発明者 加藤 和則 岐阜県瑞浪市小田町1905番地 ソニー瑞浪 株式会社内 Ｆターム(参考） 4D075 AC08 AC09 AC73 AC93 AE03 CA48 CB09 DA23 DB13 DC19 EA05 EA45 4F041 AA05 AB01 BA13 BA21 BA56 5C028 HH04 Continuation of the front page (72) Inventor Tatsuya Sato 1905 Odacho, Mizunami-shi, Gifu Sony Mizunami Co., Ltd. (72) Inventor Kazunori 1905 Odamachi, Mizunami-shi, Gifu Sony Mizunami F-term (reference) 4D075 AC08 AC09 AC73 AC93 AE03 CA48 CB09 DA23 DB13 DC19 EA05 EA45 4F041 AA05 AB01 BA13 BA21 BA56 5C028 HH04
Claims (5)
布部に対向されて、該塗布部に向けて液体を吐出させる
複数の細孔ノズルと、 上記複数の細孔ノズルより液体が吐出されているとき
に、上記塗布部と該複数の細孔ノズルとを、該複数の細
孔ノズルの配列方向に直交する方向に相対移動させる移
動操作機構とを備え、 複数の細孔ノズルは、液体を吐出する先端部から上記塗
布部までの距離が５ｍｍ乃至１０ｍｍの一定距離に維持
されることを特徴とする液体塗布装置。A plurality of fine nozzles arranged substantially linearly, facing a coating portion of an object to be coated, and discharging liquid toward the coating portion; A moving operation mechanism for relatively moving the application section and the plurality of fine nozzles in a direction orthogonal to the arrangement direction of the plurality of fine nozzles when being ejected; And a distance from the tip end for discharging the liquid to the coating section is maintained at a constant distance of 5 mm to 10 mm.
ｍ程度以上に亘る部分のノズル内の形状が、内径が０．
５ｍｍ乃至０．９ｍｍの円筒形状となっていることを特
徴とする請求項１記載の液体塗布装置。2. Each pore nozzle is approximately 10 m from the tip.
The inside diameter of the nozzle in a portion extending over about m
The liquid application device according to claim 1, wherein the liquid application device has a cylindrical shape of 5 mm to 0.9 mm.
あって、塗布部の形状に合わせて、各細孔ノズルを移動
操作することを特徴とする請求項１記載の液体塗布装
置。3. The liquid application apparatus according to claim 1, wherein the movement operation mechanism is an articulated robot, and moves each fine nozzle according to the shape of the application section.
ス部であり、 塗布部は、上記前面保護ガラス部の裏面であり、 液体は、上記前面保護ガラス部の裏面に塗布される蛍光
体を含有した液体であることを特徴とする請求項１記載
の液体塗布装置。4. An object to be applied is a front protective glass portion of the cathode ray tube, an application portion is a back surface of the front protective glass portion, and a liquid is applied to the back surface of the front protective glass portion. The liquid application device according to claim 1, wherein the liquid application device is a liquid containing:
法であって、 略々直線状に配列され上記塗布対象物の塗布部に対向さ
れた複数の細孔ノズルを介して該塗布部に向けて液体を
吐出させる工程と、 上記複数の細孔ノズルより液体を吐出させつつ、上記塗
布部と該複数の細孔ノズルとを、該複数の細孔ノズルの
配列方向に直交する方向に相対移動させる工程とからな
り、 上記各細孔ノズルとして、先端部から略々１０ｍｍ程度
以上に亘る部分のノズル内の形状が内径が０．５ｍｍ乃
至０．９ｍｍの円筒形状となっているものを使用し、液
体が吐出されるこれら細孔ノズルの先端部から上記塗布
部までの距離を５ｍｍ乃至１０ｍｍの一定距離に維持す
ることを特徴とする液体塗布方法。5. A liquid application method for applying a liquid to an object to be applied, wherein the liquid is applied to the application part through a plurality of fine nozzles arranged in a substantially linear manner and facing the application part of the object to be applied. And discharging the liquid toward the application section, while discharging the liquid from the plurality of fine nozzles, the application section and the plurality of fine nozzles are relatively positioned in a direction orthogonal to the arrangement direction of the plurality of fine nozzles. A step of moving the nozzle, wherein each of the nozzles has a cylindrical shape with an inner diameter of 0.5 mm to 0.9 mm in a portion extending from the tip portion to about 10 mm or more. And a method of maintaining a distance from the tip of the micropore nozzle from which the liquid is discharged to the application section at a constant distance of 5 mm to 10 mm.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11031547A JP2000229258A (en) | 1999-02-09 | 1999-02-09 | Liquid coating device and liquid coating method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11031547A JP2000229258A (en) | 1999-02-09 | 1999-02-09 | Liquid coating device and liquid coating method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000229258A true JP2000229258A (en) | 2000-08-22 |
Family
ID=12334227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11031547A Withdrawn JP2000229258A (en) | 1999-02-09 | 1999-02-09 | Liquid coating device and liquid coating method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000229258A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1314537C (en) * | 2003-05-20 | 2007-05-09 | 精工爱普生株式会社 | Device for arranging liquid drops, electro-optical panel, electro-optical device, electronic apparatus |
| WO2009098940A1 (en) * | 2008-02-08 | 2009-08-13 | Central Glass Company, Limited | Device and method for applying application liquid |
| JP2009247994A (en) * | 2008-04-07 | 2009-10-29 | Central Glass Co Ltd | Applicator of coating liquid |
| CN104370471A (en) * | 2014-12-12 | 2015-02-25 | 中航三鑫太阳能光电玻璃有限公司 | Uniform coating solution distributor |
| CN115155976A (en) * | 2022-08-22 | 2022-10-11 | 深圳市广晟德科技发展有限公司 | Multi-path continuous dispensing mechanism for flexible lamp strip |
-
1999
- 1999-02-09 JP JP11031547A patent/JP2000229258A/en not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1314537C (en) * | 2003-05-20 | 2007-05-09 | 精工爱普生株式会社 | Device for arranging liquid drops, electro-optical panel, electro-optical device, electronic apparatus |
| WO2009098940A1 (en) * | 2008-02-08 | 2009-08-13 | Central Glass Company, Limited | Device and method for applying application liquid |
| US20100310778A1 (en) * | 2008-02-08 | 2010-12-09 | Central Glass Company, Limited | Apparatus and Method of Applying a Coating Solution |
| US8561571B2 (en) | 2008-02-08 | 2013-10-22 | Central Glass Company, Limited | Apparatus and method of applying a coating solution |
| JP2009247994A (en) * | 2008-04-07 | 2009-10-29 | Central Glass Co Ltd | Applicator of coating liquid |
| CN104370471A (en) * | 2014-12-12 | 2015-02-25 | 中航三鑫太阳能光电玻璃有限公司 | Uniform coating solution distributor |
| CN115155976A (en) * | 2022-08-22 | 2022-10-11 | 深圳市广晟德科技发展有限公司 | Multi-path continuous dispensing mechanism for flexible lamp strip |
| CN115155976B (en) * | 2022-08-22 | 2024-01-30 | 深圳市广晟德科技发展有限公司 | Multi-path continuous dispensing mechanism for flexible lamp strip |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100284556B1 (en) | Coating film forming method and apparatus therefor | |
| US6214409B1 (en) | Liquid coating nozzle liquid coating nozzle manufacturing method liquid coating method liquid coating apparatus and cathode ray tube manufacturing method | |
| US6749688B2 (en) | Coating method and apparatus for semiconductor process | |
| JP3227595B2 (en) | Development processing method and development processing apparatus | |
| JP2798503B2 (en) | Liquid coating method and coating device | |
| US20050217573A1 (en) | Apparatus for coating photoresist having slit nozzle | |
| WO2011102201A1 (en) | Application method and application device | |
| KR100283443B1 (en) | Developing apparatus and developing method | |
| US5885661A (en) | Droplet jet method for coating flat substrates with resist or similar materials | |
| JP2000229258A (en) | Liquid coating device and liquid coating method | |
| JPH11156314A (en) | Washing apparatus and washing of precision substrate | |
| KR0149567B1 (en) | Apparatus and processes for painting | |
| JPH10106918A (en) | Treatment liquid jetting nozzle and substrate treatment equipment | |
| JP4528614B2 (en) | Nozzle device for applying liquid on a substrate | |
| JP2002045757A (en) | Apparatus for forming coating film | |
| KR101309037B1 (en) | Slit coater | |
| JP4005335B2 (en) | Substrate processing equipment | |
| JP2002100556A (en) | Substrate developing apparatus | |
| JPH11221506A (en) | Liquid coating device and liquid coating method | |
| US20070000516A1 (en) | Device and method for cleaning the edges of substrates | |
| JP3361872B2 (en) | Substrate cleaning equipment | |
| JP3669601B2 (en) | Chemical discharge nozzle | |
| JPH0899057A (en) | Method and device for coating base plate with resist liquid | |
| JP5338071B2 (en) | Coating method, coating apparatus, and method for manufacturing liquid crystal display member | |
| JPH0736195A (en) | Substrate developing device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060509 |