JP2000226224A - 加熱炉及び光ファイバ母材加熱処理方法 - Google Patents
加熱炉及び光ファイバ母材加熱処理方法Info
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 加熱炉の炉心管に発生した亀裂、ピンホール
等を炉心管の使用中において検知を可能にする。 【解決手段】 炉心管１とその周囲を周回するヒータ２
と該ヒータ２を覆う炉体３とを備えた加熱炉であって、
前記炉心管１又は炉体３のいずれか一方のガス導入口１
ａ又は３ａに検知用ガス供給装置４を連結して検知用ガ
ス供給装置４から炭酸ガス又は酸素を供給し、前記ガス
導入口に前記検知用ガス供給装置４が連結されていない
炉心管１又は炉体３のガス排出口１ｂ又は３ｂに炭酸ガ
ス検知センサ５を連結する。そして、供給した炭酸ガス
又は酸素と炉体３内のヒータ材とが反応して生じた炭酸
ガスを前記炭酸ガス検知センサ５で検知することによ
り、炉心管１管壁でのガス漏れを検出する。
等を炉心管の使用中において検知を可能にする。 【解決手段】 炉心管１とその周囲を周回するヒータ２
と該ヒータ２を覆う炉体３とを備えた加熱炉であって、
前記炉心管１又は炉体３のいずれか一方のガス導入口１
ａ又は３ａに検知用ガス供給装置４を連結して検知用ガ
ス供給装置４から炭酸ガス又は酸素を供給し、前記ガス
導入口に前記検知用ガス供給装置４が連結されていない
炉心管１又は炉体３のガス排出口１ｂ又は３ｂに炭酸ガ
ス検知センサ５を連結する。そして、供給した炭酸ガス
又は酸素と炉体３内のヒータ材とが反応して生じた炭酸
ガスを前記炭酸ガス検知センサ５で検知することによ
り、炉心管１管壁でのガス漏れを検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ母材の
製造等に使用される加熱炉及び光ファイバ母材加熱処理
方法に関する。
製造等に使用される加熱炉及び光ファイバ母材加熱処理
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】通常、光ファイバは、ＶＡＤ法又はＯＶ
Ｄ法によって多孔質ガラス母材を得、それを脱水、焼結
して透明ガラス化しプリフォームとし、次いでそのプリ
フォームを線引きして得ている。ここで、多孔質ガラス
母材の脱水、焼結、あるいはプリフォームの線引きに当
たっては、これらそれぞれの工程における光ファイバ母
材を１０００℃以上で加熱処理する必要があり、加熱炉
を使用している。比較的良く用いる加熱炉は、円筒状の
石英、セラミック等からなる炉心管と、それを周回する
ようにリング状に配置したカーボン等からなるヒータ
と、ヒータを外気から遮断する炉体とを備えた装置であ
る。
Ｄ法によって多孔質ガラス母材を得、それを脱水、焼結
して透明ガラス化しプリフォームとし、次いでそのプリ
フォームを線引きして得ている。ここで、多孔質ガラス
母材の脱水、焼結、あるいはプリフォームの線引きに当
たっては、これらそれぞれの工程における光ファイバ母
材を１０００℃以上で加熱処理する必要があり、加熱炉
を使用している。比較的良く用いる加熱炉は、円筒状の
石英、セラミック等からなる炉心管と、それを周回する
ようにリング状に配置したカーボン等からなるヒータ
と、ヒータを外気から遮断する炉体とを備えた装置であ
る。
【０００３】そして、その加熱炉の炉心管内に、多孔質
ガラス母材等の光ファイバ母材を配置し、光ファイバ母
材の周囲には雰囲気ガスを満たして、ヒータで炉心管の
管壁を介して光ファイバ母材を加熱することによって加
熱処理を行なう。雰囲気ガスは、光ファイバ母材に施す
処理に応じて選択し、例えば多孔質ガラス母材の脱水処
理では、ハロゲンガスとヘリウム等の不活性ガスの混合
ガスを用いる。また、炉体内に配置されたカーボン製の
ヒータを酸化消耗から守るために、炉体内には不活性ガ
スを充填する。
ガラス母材等の光ファイバ母材を配置し、光ファイバ母
材の周囲には雰囲気ガスを満たして、ヒータで炉心管の
管壁を介して光ファイバ母材を加熱することによって加
熱処理を行なう。雰囲気ガスは、光ファイバ母材に施す
処理に応じて選択し、例えば多孔質ガラス母材の脱水処
理では、ハロゲンガスとヘリウム等の不活性ガスの混合
ガスを用いる。また、炉体内に配置されたカーボン製の
ヒータを酸化消耗から守るために、炉体内には不活性ガ
スを充填する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】光ファイバ母材の加熱
は、ヒータによって炉心管の管壁を介して行うので、炉
心管は１０００℃以上の高温に加熱され、使用時間の経
過と共に劣化し、管壁に亀裂、ピンホール等が発生する
ことがある。管壁に亀裂、ピンホール等が生じた状態で
加熱炉の使用を続けると、炉体内のヒータ等に微量に含
まれる鉄、銅等の重金属がヒータ等から気散して管壁の
亀裂、ピンホール等を通って炉心管内に侵入し、光ファ
イバ母材内に取り込まれることが起こる。
は、ヒータによって炉心管の管壁を介して行うので、炉
心管は１０００℃以上の高温に加熱され、使用時間の経
過と共に劣化し、管壁に亀裂、ピンホール等が発生する
ことがある。管壁に亀裂、ピンホール等が生じた状態で
加熱炉の使用を続けると、炉体内のヒータ等に微量に含
まれる鉄、銅等の重金属がヒータ等から気散して管壁の
亀裂、ピンホール等を通って炉心管内に侵入し、光ファ
イバ母材内に取り込まれることが起こる。
【０００５】このような鉄、銅等の重金属は、光ファイ
バ母材から得られた光ファイバの伝送特性に極めて悪い
影響を与える。炉心管の亀裂、ピンホール等は、加熱炉
を解体しないと調べることが出来ないので、光ファイバ
の伝送特性悪化を防止するため、炉心管の使用時間を定
めて、炉心管の管壁に亀裂、ピンホール等が発生する前
に、新しい炉心管と交換している。炉心管は石英、セラ
ミック等からなる高価な管体であり、一定時間毎に取り
替えるのは、必ずしも経済的でない。出来るだけ、長く
使用したいとする要求がある。
バ母材から得られた光ファイバの伝送特性に極めて悪い
影響を与える。炉心管の亀裂、ピンホール等は、加熱炉
を解体しないと調べることが出来ないので、光ファイバ
の伝送特性悪化を防止するため、炉心管の使用時間を定
めて、炉心管の管壁に亀裂、ピンホール等が発生する前
に、新しい炉心管と交換している。炉心管は石英、セラ
ミック等からなる高価な管体であり、一定時間毎に取り
替えるのは、必ずしも経済的でない。出来るだけ、長く
使用したいとする要求がある。
【０００６】本発明は、このような要求に応えるもので
あって、炉心管に発生した亀裂、ピンホール等を炉心管
の使用中においても検知を可能ならしめるものである。
あって、炉心管に発生した亀裂、ピンホール等を炉心管
の使用中においても検知を可能ならしめるものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の加熱炉は、炉心
管とその周囲を周回するヒータと該ヒータを覆う炉体と
を備えた加熱炉であって、前記炉心管又は炉体のいずれ
か一方のガス導入口に検知用ガス供給装置を連結して検
知用ガス供給装置から炭酸ガス又は酸素を供給し、前記
ガス導入口に前記検知用ガス供給装置が連結されていな
い炉心管又は炉体のガス排出口に炭酸ガス検知センサを
連結している。
管とその周囲を周回するヒータと該ヒータを覆う炉体と
を備えた加熱炉であって、前記炉心管又は炉体のいずれ
か一方のガス導入口に検知用ガス供給装置を連結して検
知用ガス供給装置から炭酸ガス又は酸素を供給し、前記
ガス導入口に前記検知用ガス供給装置が連結されていな
い炉心管又は炉体のガス排出口に炭酸ガス検知センサを
連結している。
【０００８】そして、供給した炭酸ガスが炉心管の管壁
を通して炉体内側又は炉心管内側に漏れてきた炭酸ガ
ス、又は供給した酸素が炉心管の管壁を通して炉体内に
漏れその酸素と炉体内のヒータ材とが反応して生じた炭
酸ガス、若しくは供給した酸素が炉体内のヒータ材と反
応して生成し炉心管の管壁を通して漏れた炭酸ガスのい
ずれかを、前記炭酸ガス検知センサにて検知する。
を通して炉体内側又は炉心管内側に漏れてきた炭酸ガ
ス、又は供給した酸素が炉心管の管壁を通して炉体内に
漏れその酸素と炉体内のヒータ材とが反応して生じた炭
酸ガス、若しくは供給した酸素が炉体内のヒータ材と反
応して生成し炉心管の管壁を通して漏れた炭酸ガスのい
ずれかを、前記炭酸ガス検知センサにて検知する。
【０００９】このような炭酸ガス検知センサによる検知
を、前記炉心管内に光ファイバ母材を配置して前記ヒー
タによる光ファイバ母材の加熱処理中又は光ファイバ母
材の取り替え前後のヒータ運転中に行ない、その結果に
基づいて光ファイバ母材の加熱処理の処理続行可否を判
断すれば、光ファイバ母材の品質劣化を未然に防止する
ことが出来る。
を、前記炉心管内に光ファイバ母材を配置して前記ヒー
タによる光ファイバ母材の加熱処理中又は光ファイバ母
材の取り替え前後のヒータ運転中に行ない、その結果に
基づいて光ファイバ母材の加熱処理の処理続行可否を判
断すれば、光ファイバ母材の品質劣化を未然に防止する
ことが出来る。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１、図２は、それぞれ本発明の
加熱炉の実施形態を示す図であって、１は炉心管、１ａ
はガス導入口、１ｂはガス排出口、２はヒータ、３は炉
体、３ａはガス導入口、３ｂはガス排出口、４は検知用
ガス供給装置、４ａはバルブ、５は炭酸ガス検知セン
サ、５ａはバルブ、６は光ファイバ母材である。
加熱炉の実施形態を示す図であって、１は炉心管、１ａ
はガス導入口、１ｂはガス排出口、２はヒータ、３は炉
体、３ａはガス導入口、３ｂはガス排出口、４は検知用
ガス供給装置、４ａはバルブ、５は炭酸ガス検知セン
サ、５ａはバルブ、６は光ファイバ母材である。
【００１１】図１、図２の加熱炉は共に、石英、セラミ
ック等からなる炉心管１と、該炉心管１を周回するリン
グ状のカーボン等からなるヒータ２と、ヒータ２を外気
から遮断する炉体３を備えている。また、炉心管１内に
は加熱対象となる多孔質ガラス母材等の光ファイバ母材
６を配置して、回転又はスライド移動させながら、順次
長手方向にヒータ２によって加熱する。
ック等からなる炉心管１と、該炉心管１を周回するリン
グ状のカーボン等からなるヒータ２と、ヒータ２を外気
から遮断する炉体３を備えている。また、炉心管１内に
は加熱対象となる多孔質ガラス母材等の光ファイバ母材
６を配置して、回転又はスライド移動させながら、順次
長手方向にヒータ２によって加熱する。
【００１２】また、炉心管１内には、光ファイバ母材の
加熱処理工程に応じた不活性ガス、ハロゲンガス等の雰
囲気ガスを、ガス導入口１ａから導入し、ガス排出口１
ｂから排出している。また、炉体３内には、ヒータ２を
酸化消耗等から保護するため、窒素等の不活性ガスをガ
ス導入口３ａから導入してヒータ２の周囲の炉体３内を
満たしている。なお、検知用ガス供給装置４が作動して
いない場合は、これら炉心管内の雰囲気ガス、炉体内の
雰囲気ガスには、炭酸ガス及び酸素は含まれていない。
加熱処理工程に応じた不活性ガス、ハロゲンガス等の雰
囲気ガスを、ガス導入口１ａから導入し、ガス排出口１
ｂから排出している。また、炉体３内には、ヒータ２を
酸化消耗等から保護するため、窒素等の不活性ガスをガ
ス導入口３ａから導入してヒータ２の周囲の炉体３内を
満たしている。なお、検知用ガス供給装置４が作動して
いない場合は、これら炉心管内の雰囲気ガス、炉体内の
雰囲気ガスには、炭酸ガス及び酸素は含まれていない。
【００１３】以上に加えて、図１に示す実施形態では、
炉心管１側のガス導入口１ａにバルブ４ａを介して検知
用ガス供給装置４を連結して、炭酸ガス又は酸素を供給
する。また、炉体３側にガス排出口３ｂを設けて、その
ガス排出口３ｂにバルブ５ａを介して炭酸ガス検知セン
サ５を連結する。炭酸ガス検知センサ５としては、理研
計器製のポータブル赤外線炭酸ガス測定器等を使用する
ことが出来る。光ファイバ母材の加熱処理中又は光ファ
イバ母材の取り替え前後のヒータ運転中にバルブ４ａを
開いて、検知用ガス供給装置４から炉心管１内に炭酸ガ
ス又は酸素を供給する。
炉心管１側のガス導入口１ａにバルブ４ａを介して検知
用ガス供給装置４を連結して、炭酸ガス又は酸素を供給
する。また、炉体３側にガス排出口３ｂを設けて、その
ガス排出口３ｂにバルブ５ａを介して炭酸ガス検知セン
サ５を連結する。炭酸ガス検知センサ５としては、理研
計器製のポータブル赤外線炭酸ガス測定器等を使用する
ことが出来る。光ファイバ母材の加熱処理中又は光ファ
イバ母材の取り替え前後のヒータ運転中にバルブ４ａを
開いて、検知用ガス供給装置４から炉心管１内に炭酸ガ
ス又は酸素を供給する。
【００１４】検知用ガス供給装置４から炭酸ガスを供給
する場合は、炉心管１の炉体３に囲まれた部分の管壁に
亀裂、ピンホール等があれば、そこを通過して炉体３内
に炭酸ガスが侵入する。また、炉体３側のガス排出口３
ｂに連結したバルブ５ａを開いて、その炉体３内のガス
を炭酸ガス検知センサ５に取り込み検知する。炭酸ガス
検知センサ５にて炭酸ガスが検出されれば、それは管壁
の亀裂、ピンホールを通過して来たものであり、亀裂、
ピンホールの存在を検出することが出来る。
する場合は、炉心管１の炉体３に囲まれた部分の管壁に
亀裂、ピンホール等があれば、そこを通過して炉体３内
に炭酸ガスが侵入する。また、炉体３側のガス排出口３
ｂに連結したバルブ５ａを開いて、その炉体３内のガス
を炭酸ガス検知センサ５に取り込み検知する。炭酸ガス
検知センサ５にて炭酸ガスが検出されれば、それは管壁
の亀裂、ピンホールを通過して来たものであり、亀裂、
ピンホールの存在を検出することが出来る。
【００１５】また、検知用ガス供給装置４から酸素を供
給する場合は、炉心管１側から管壁の亀裂、ピンホール
を通って炉体３側に入った酸素は高温になっているヒー
タ等の構成材料であるカーボンと反応して炭酸ガスを生
成する。そしてこの炭酸ガスを炭酸ガス検知センサ５で
検知することによって、検知用ガス供給装置４から炭酸
ガスを供給する場合と同様に、炉心管１の亀裂、ピンホ
ールの有無を知ることが出来る。
給する場合は、炉心管１側から管壁の亀裂、ピンホール
を通って炉体３側に入った酸素は高温になっているヒー
タ等の構成材料であるカーボンと反応して炭酸ガスを生
成する。そしてこの炭酸ガスを炭酸ガス検知センサ５で
検知することによって、検知用ガス供給装置４から炭酸
ガスを供給する場合と同様に、炉心管１の亀裂、ピンホ
ールの有無を知ることが出来る。
【００１６】また、図２に示す実施形態では、炉体３側
のガス導入口３ａにバルブ４ａを介して検知用ガス供給
装置４を連結し、炭酸ガス又は酸素を炉体３内に供給す
る。また、炉心管１のガス排出口１ｂにバルブ５ａを介
して炭酸ガス検知センサ５を連結する。バルブ４ａを開
いて炭酸ガスを炉体３内に供給する場合は、炉心管１の
炉体３に囲まれた部分の管壁に亀裂、ピンホール等があ
れば、その亀裂、ピンホールを通って炭酸ガスが炉心管
１内に侵入する。バルブ５ａを開いて炉心管１内のガス
を排出ガスと共に炭酸ガス検知センサ５に取り込みチェ
ックすれば、炉心管１内の雰囲気ガス中に炭酸ガスが含
まれていれば検知出来る。
のガス導入口３ａにバルブ４ａを介して検知用ガス供給
装置４を連結し、炭酸ガス又は酸素を炉体３内に供給す
る。また、炉心管１のガス排出口１ｂにバルブ５ａを介
して炭酸ガス検知センサ５を連結する。バルブ４ａを開
いて炭酸ガスを炉体３内に供給する場合は、炉心管１の
炉体３に囲まれた部分の管壁に亀裂、ピンホール等があ
れば、その亀裂、ピンホールを通って炭酸ガスが炉心管
１内に侵入する。バルブ５ａを開いて炉心管１内のガス
を排出ガスと共に炭酸ガス検知センサ５に取り込みチェ
ックすれば、炉心管１内の雰囲気ガス中に炭酸ガスが含
まれていれば検知出来る。
【００１７】また、酸素を炉体３内に供給する場合、酸
素が高熱になっているヒータ２の構成材料であるカーボ
ンと反応して炭酸ガスを生成する。そして、その炭酸ガ
スが炉心管１の炉体３に囲まれた部分の管壁の亀裂、ピ
ンホール等があれば、その亀裂、ピンホールを通って炉
心管１内に侵入する。従って、この場合もその生成され
た炭酸ガスを炭酸ガス検知センサ５で検知することによ
って、炉心管１の管壁の亀裂、ピンホールの有無を調べ
ることが出来る。
素が高熱になっているヒータ２の構成材料であるカーボ
ンと反応して炭酸ガスを生成する。そして、その炭酸ガ
スが炉心管１の炉体３に囲まれた部分の管壁の亀裂、ピ
ンホール等があれば、その亀裂、ピンホールを通って炉
心管１内に侵入する。従って、この場合もその生成され
た炭酸ガスを炭酸ガス検知センサ５で検知することによ
って、炉心管１の管壁の亀裂、ピンホールの有無を調べ
ることが出来る。
【００１８】検知用ガス供給装置４から供給する検知用
ガスとしては、炭酸ガス又は酸素のいずれも使用出来る
ことを説明したが、酸素の場合はヒータの消耗を早める
ことがあるので、検知頻度が多い場合は、検知用ガスは
炭酸ガスとすることが望ましい。また、炭酸ガス、酸素
は、炉心管１内のヘリウム、ハロゲンガス等の雰囲気ガ
スに混入しても、光ファイバ母材の処理に悪影響を与え
ることはない。また、炭酸ガス、酸素は共にハロゲンガ
ス等に比べて人体に危険をもたらすガスではないので、
取扱いも容易である。
ガスとしては、炭酸ガス又は酸素のいずれも使用出来る
ことを説明したが、酸素の場合はヒータの消耗を早める
ことがあるので、検知頻度が多い場合は、検知用ガスは
炭酸ガスとすることが望ましい。また、炭酸ガス、酸素
は、炉心管１内のヘリウム、ハロゲンガス等の雰囲気ガ
スに混入しても、光ファイバ母材の処理に悪影響を与え
ることはない。また、炭酸ガス、酸素は共にハロゲンガ
ス等に比べて人体に危険をもたらすガスではないので、
取扱いも容易である。
【００１９】また、本発明においては、検知用ガス供給
装置、炭酸ガス検知センサは、炉心管側、炉体側のいず
れにも連結し得るが、次の理由から、炉心管１側のガス
導入口１ａに検知用ガス供給装置４を連結し、炉体３側
のガス排出口３ｂに炭酸ガス検知センサを連結すること
が望ましい。
装置、炭酸ガス検知センサは、炉心管側、炉体側のいず
れにも連結し得るが、次の理由から、炉心管１側のガス
導入口１ａに検知用ガス供給装置４を連結し、炉体３側
のガス排出口３ｂに炭酸ガス検知センサを連結すること
が望ましい。
【００２０】その第一の理由は、炉心管１内にはハロゲ
ンガス等の腐食性ガスが雰囲気ガスとして導入されるこ
とがあるので、炉心管１側に炭酸ガス検知用センサ５を
連結すると、炭酸ガスと共に腐食性ガスが炭酸ガス検知
センサ５に取り込まれてセンサの腐食が起こり易い。そ
れに対して、炉体３内は通常不活性ガスが満たされてい
るだけであり、炉体３側に炭酸ガス検知センサ５を連結
しても炭酸ガスと不活性ガスの混合ガスが炭酸ガス検知
センサ５に取り込まれるので特に問題は起こらない。
ンガス等の腐食性ガスが雰囲気ガスとして導入されるこ
とがあるので、炉心管１側に炭酸ガス検知用センサ５を
連結すると、炭酸ガスと共に腐食性ガスが炭酸ガス検知
センサ５に取り込まれてセンサの腐食が起こり易い。そ
れに対して、炉体３内は通常不活性ガスが満たされてい
るだけであり、炉体３側に炭酸ガス検知センサ５を連結
しても炭酸ガスと不活性ガスの混合ガスが炭酸ガス検知
センサ５に取り込まれるので特に問題は起こらない。
【００２１】第二の理由は、炉心管内の方が炉体内より
も雰囲気ガスの内圧が高い場合が多いため、亀裂、ピン
ホールを通して炭酸ガスあるいは酸素が炉心管内から炉
体内に侵入し易いことである。なお、内圧の低い側に炭
酸ガスを供給しても拡散によって内圧の高い側にその炭
酸ガスが侵入するので、亀裂、ピンホールの検知は可能
である。
も雰囲気ガスの内圧が高い場合が多いため、亀裂、ピン
ホールを通して炭酸ガスあるいは酸素が炉心管内から炉
体内に侵入し易いことである。なお、内圧の低い側に炭
酸ガスを供給しても拡散によって内圧の高い側にその炭
酸ガスが侵入するので、亀裂、ピンホールの検知は可能
である。
【００２２】また、これら図１、図２に示す方法では、
炉心管の炉体に囲まれた部分の管壁以外の炉心管部分の
管壁に亀裂、ピンホールがある場合は検知することは出
来ないが、それらの部分はヒータに囲まれておらず、炉
体との境界部の管壁ほど高温にならないので、劣化する
ことが少ない。従って、炉心管の炉体に囲まれた部分の
管壁における亀裂、ピンホールを検知するようにしてお
けば十分である。
炉心管の炉体に囲まれた部分の管壁以外の炉心管部分の
管壁に亀裂、ピンホールがある場合は検知することは出
来ないが、それらの部分はヒータに囲まれておらず、炉
体との境界部の管壁ほど高温にならないので、劣化する
ことが少ない。従って、炉心管の炉体に囲まれた部分の
管壁における亀裂、ピンホールを検知するようにしてお
けば十分である。
【００２３】また、ヒータによる光ファイバ母材の加熱
処理中にバルブ４ａ、５ａを開放した状態にして、炭酸
ガス検知センサによって常時監視を行なうことも出来る
が、光ファイバ母材の加熱中には炉心管を交換すること
は出来ないので、処理対象となる光ファイバ母材の取り
替え前後のヒータ運転中にバルブ４ａ、５ａを開放し
て、その時だけ検知用ガス供給装置４から炭酸ガス又は
酸素を供給して、炭酸ガス検知センサ５にて検知するこ
とにすれば、炉心管の寿命管理としては十分である。
処理中にバルブ４ａ、５ａを開放した状態にして、炭酸
ガス検知センサによって常時監視を行なうことも出来る
が、光ファイバ母材の加熱中には炉心管を交換すること
は出来ないので、処理対象となる光ファイバ母材の取り
替え前後のヒータ運転中にバルブ４ａ、５ａを開放し
て、その時だけ検知用ガス供給装置４から炭酸ガス又は
酸素を供給して、炭酸ガス検知センサ５にて検知するこ
とにすれば、炉心管の寿命管理としては十分である。
【００２４】以上の説明においては、本発明の加熱炉を
光ファイバ母材の加熱処理に使用する例を示したが、本
発明の加熱炉は光ファイバ母材以外の光導波路等の製造
においても適用出来るものである。
光ファイバ母材の加熱処理に使用する例を示したが、本
発明の加熱炉は光ファイバ母材以外の光導波路等の製造
においても適用出来るものである。
【００２５】
【発明の効果】本発明の加熱炉は、炉心管とヒータと該
ヒータを覆う炉体とを備えた加熱炉であって、前記炉心
管又は炉体のいずれか一方のガス導入口に検知用ガス供
給装置を連結して炭酸ガス又は酸素を供給し、炉心管又
は炉体の内前記検知用ガス供給装置が連結されていない
側のガス排出口に炭酸ガス検知センサを連結し、供給し
た炭酸ガス又は供給した酸素と炉体内のヒータ材とが反
応して生じた炭酸ガスを前記炭酸ガス検知センサで検知
することにより、炉心管の炉体に囲まれた部分の管壁で
のガス漏れを検出するものであるので、加熱炉の使用中
においても炉心管の亀裂、ピンホール等の発生を調べる
ことが出来る。
ヒータを覆う炉体とを備えた加熱炉であって、前記炉心
管又は炉体のいずれか一方のガス導入口に検知用ガス供
給装置を連結して炭酸ガス又は酸素を供給し、炉心管又
は炉体の内前記検知用ガス供給装置が連結されていない
側のガス排出口に炭酸ガス検知センサを連結し、供給し
た炭酸ガス又は供給した酸素と炉体内のヒータ材とが反
応して生じた炭酸ガスを前記炭酸ガス検知センサで検知
することにより、炉心管の炉体に囲まれた部分の管壁で
のガス漏れを検出するものであるので、加熱炉の使用中
においても炉心管の亀裂、ピンホール等の発生を調べる
ことが出来る。
【００２６】また、前記炉心管内に光ファイバ母材を配
置してヒータによる光ファイバ母材の加熱処理中又は光
ファイバ母材の取り替え前後のヒータ運転中に炭酸ガス
の漏れ検知を行なうことで、光ファイバ母材の加熱処理
の処理続行可否を判断すれば、光ファイバ母材にヒータ
等から気散した金属元素が取り込まれるような事態を早
めに阻止するが出来る。また、炉心管からハロゲンガス
等の危険ガスが漏れるのを早期に発見し防止することが
出来る。また、本発明においては、ハロゲンガス等に比
べて身体に影響のない炭酸ガス又は酸素を使用している
ので、安全性が高い。
置してヒータによる光ファイバ母材の加熱処理中又は光
ファイバ母材の取り替え前後のヒータ運転中に炭酸ガス
の漏れ検知を行なうことで、光ファイバ母材の加熱処理
の処理続行可否を判断すれば、光ファイバ母材にヒータ
等から気散した金属元素が取り込まれるような事態を早
めに阻止するが出来る。また、炉心管からハロゲンガス
等の危険ガスが漏れるのを早期に発見し防止することが
出来る。また、本発明においては、ハロゲンガス等に比
べて身体に影響のない炭酸ガス又は酸素を使用している
ので、安全性が高い。
【図１】本発明の加熱炉の実施形態を示す図である。
【図２】本発明の加熱炉の他の実施形態を示す図であ
る。
る。
１：炉心管 １ａ：ガス導入口 １ｂ：ガス排出口 ２：ヒータ ３：炉体 ３ａ：ガス導入口 ３ｂ：ガス排出口 ４：検知用ガス供給装置 ４ａ：バルブ ５：炭酸ガス検知センサ ５ａ：バルブ ６：光ファイバ母材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 真澄 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 (72)発明者 松井 雅彦 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 Ｆターム(参考） 2G059 AA05 BB01 CC04 EE01 HH01 JJ02 KK09 2G067 AA12 BB02 BB25 CC04 DD17 4G021 CA00
Claims (3)
- 【請求項１】 炉心管とその周囲を周回するヒータと該
ヒータを覆う炉体とを備えた加熱炉において、前記炉心
管又は炉体のいずれか一方のガス導入口に検知用ガス供
給装置を連結して該検知用ガス供給装置から炭酸ガス又
は酸素を供給し、前記ガス導入口に前記検知用ガス供給
装置が連結されていない炉心管又は炉体のガス排出口に
炭酸ガス検知センサを連結して、供給した酸素と炉体内
のヒータ材とが反応して生じた炭酸ガス又は漏れた炭酸
ガスを前記炭酸ガス検知センサで検知することにより、
炉心管の管壁のガス漏れを検出することを特徴とする加
熱炉。 - 【請求項２】 前記炉心管側のガス導入口に検知用ガス
供給装置を連結して、該検知用ガス供給装置から炭酸ガ
スを供給し、前記炉体側のガス排出口に炭酸ガス検知セ
ンサを連結したことを特徴とする請求項１に記載の加熱
炉。 - 【請求項３】 炉心管とその周囲を周回するヒータと該
ヒータを覆う炉体とを備えた加熱炉を使用し、炉心管又
は炉体のいずれか一方のガス導入口に検知ガス供給装置
を連結して検知ガス供給装置から炭酸ガス又は酸素を供
給し、前記ガス導入口に前記炭酸ガス供給装置が連結さ
れていない炉心管又は炉体のガス排出口に炭酸ガス検知
センサを連結して、前記炉心管内に光ファイバ母材を配
置して前記ヒータによる光ファイバ母材の加熱処理中又
は光ファイバ母材の取り替え前後のヒータ運転中に、供
給した酸素と炉体内のヒータ材とが反応して生じた炭酸
ガス又は漏れた炭酸ガスを前記炭酸ガス検知センサで検
知することによって、光ファイバ母材の加熱処理の処理
続行可否を判断することを特徴とする光ファイバ母材加
熱処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11029621A JP2000226224A (ja) | 1999-02-08 | 1999-02-08 | 加熱炉及び光ファイバ母材加熱処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11029621A JP2000226224A (ja) | 1999-02-08 | 1999-02-08 | 加熱炉及び光ファイバ母材加熱処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000226224A true JP2000226224A (ja) | 2000-08-15 |
Family
ID=12281168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11029621A Pending JP2000226224A (ja) | 1999-02-08 | 1999-02-08 | 加熱炉及び光ファイバ母材加熱処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000226224A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8978421B2 (en) | 2010-06-30 | 2015-03-17 | Fujikura Ltd. | Muffle tube inspection method and manufacturing method of silica glass-based optical fiber preform |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS614471B2 (ja) * | 1981-12-10 | 1986-02-10 | Yoshitake Eda | |
| WO1998025120A1 (en) * | 1996-12-02 | 1998-06-11 | True Technology, Inc. | Method and apparatus for detecting leaks |
| JPH10185752A (ja) * | 1996-12-26 | 1998-07-14 | Teijin Seiki Co Ltd | 密封体の漏れ検査方法および装置 |
| JPH111337A (ja) * | 1997-06-13 | 1999-01-06 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバ母材の焼結工程における炉芯管割れ検知方法及び光ファイバ母材の製造方法 |
-
1999
- 1999-02-08 JP JP11029621A patent/JP2000226224A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS614471B2 (ja) * | 1981-12-10 | 1986-02-10 | Yoshitake Eda | |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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