JP2000221213A - 電気光学プロ―ブ - Google Patents
電気光学プロ―ブInfo
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- JP2000221213A JP2000221213A JP11275385A JP27538599A JP2000221213A JP 2000221213 A JP2000221213 A JP 2000221213A JP 11275385 A JP11275385 A JP 11275385A JP 27538599 A JP27538599 A JP 27538599A JP 2000221213 A JP2000221213 A JP 2000221213A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R13/00—Arrangements for displaying electric variables or waveforms
- G01R13/20—Cathode-ray oscilloscopes
- G01R13/22—Circuits therefor
- G01R13/34—Circuits for representing a single waveform by sampling, e.g. for very high frequencies
- G01R13/347—Circuits for representing a single waveform by sampling, e.g. for very high frequencies using electro-optic elements
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学部品の点数を低減して、さらにS/N比
を向上することができる電気光学プローブを提供する。 【解決手段】 レーザ光を発するレーザダイオード11
と、レーザ光を集光する集光レンズ10aと、端面に反
射膜2aを有し、この反射膜側の端面に設けられた金属
ピンを介して電界が伝播されて光学特性が変化する電気
光学素子2と、反射膜2aにおいて反射された光を平行
光にするコリメートレンズ3と、1/4波長板と偏光ビ
ームスプリッタからなり平行光を分離する偏光検出部1
4と、平行光を電気信号に変換するフォトダイオード1
2、13とからなる電気光学サンプリングオシロスコー
プ用プローブであって、電気光学素子2へ入射する光の
光軸と、反射膜2aによって反射され電気光学素子2か
ら出射する光の光軸とが平行にならないようにしたこと
を特徴とする。
を向上することができる電気光学プローブを提供する。 【解決手段】 レーザ光を発するレーザダイオード11
と、レーザ光を集光する集光レンズ10aと、端面に反
射膜2aを有し、この反射膜側の端面に設けられた金属
ピンを介して電界が伝播されて光学特性が変化する電気
光学素子2と、反射膜2aにおいて反射された光を平行
光にするコリメートレンズ3と、1/4波長板と偏光ビ
ームスプリッタからなり平行光を分離する偏光検出部1
4と、平行光を電気信号に変換するフォトダイオード1
2、13とからなる電気光学サンプリングオシロスコー
プ用プローブであって、電気光学素子2へ入射する光の
光軸と、反射膜2aによって反射され電気光学素子2か
ら出射する光の光軸とが平行にならないようにしたこと
を特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定信号によっ
て発生する電界を電気光学結晶に結合させ、この電気光
学結晶に光を入射し、入射光の偏光状態により、被測定
信号の波形を観測する電気光学プローブであって、特
に、光学系を改良した電気光学プローブに関する。
て発生する電界を電気光学結晶に結合させ、この電気光
学結晶に光を入射し、入射光の偏光状態により、被測定
信号の波形を観測する電気光学プローブであって、特
に、光学系を改良した電気光学プローブに関する。
【0002】
【従来の技術】被測定信号によって発生する電界を電気
光学結晶に結合させ、この電気光学結晶にレーザ光を入
射し、レーザ光の偏光状態により被測定信号の波形を観
測することができる。ここでレーザ光をパルス状にし、
被測定信号をサンプリングすると非常に高い時間分解能
で測定することができる。この現象を利用した電気光学
プローブを用いたのが電気光学サンプリングオシロスコ
ープである。
光学結晶に結合させ、この電気光学結晶にレーザ光を入
射し、レーザ光の偏光状態により被測定信号の波形を観
測することができる。ここでレーザ光をパルス状にし、
被測定信号をサンプリングすると非常に高い時間分解能
で測定することができる。この現象を利用した電気光学
プローブを用いたのが電気光学サンプリングオシロスコ
ープである。
【0003】この電気光学サンプリング(Electro−Opt
ic Sampling)オシロスコープ(以下「EOSオシロス
コープ」と略記する)は、電気式プローブを用いた従来
のサンプリングオシロスコープと比較して、 1)信号を測定する際に、グランド線を必要としないた
め、測定が容易 2)電気光学プローブの先端にある金属ピンが回路系か
ら絶縁されているので高入力インピーダンスを実現で
き、その結果被測定点の状態をほとんど乱すことがない 3)光パルスを利用することからGHzオーダーの広帯
域測定が可能 といった特徴があり注目を集めている。
ic Sampling)オシロスコープ(以下「EOSオシロス
コープ」と略記する)は、電気式プローブを用いた従来
のサンプリングオシロスコープと比較して、 1)信号を測定する際に、グランド線を必要としないた
め、測定が容易 2)電気光学プローブの先端にある金属ピンが回路系か
ら絶縁されているので高入力インピーダンスを実現で
き、その結果被測定点の状態をほとんど乱すことがない 3)光パルスを利用することからGHzオーダーの広帯
域測定が可能 といった特徴があり注目を集めている。
【0004】EOSオシロスコープによる信号測定を行
う際に用いられる従来の電気光学プローブ(以下プロー
ブと称す)の構成を図3を参照して説明する。図3にお
いて、符号1は、絶縁体でできたプローブヘッドであ
り、この中心に金属ピン1aが嵌め込まれている。符号
2は、電気光学素子であり、金属ピン1a側の端面に反
射膜2aが設けられ、金属ピン1aに接している。符号
3、10は、コリメートレンズである。符号4、7は1
/2波長板であり、符号5は、1/4波長板である。符
号6及び9は、偏光ビームスプリッタである。符号8は
入射された光の偏光面を45度回転するファラディー素
子である。符号11は、EOSオシロスコープ本体(図
示せず)から出力された制御信号に応じてレーザ光を発
するレーザダイオードである。符号12及び13は、フ
ォトダイオードであり、入力されたレーザ光を電気信号
にしてEOSオシロスコープ本体(図示せず)へ出力す
る。符号14aは、1/2波長板4、7と、1/4波長
板5、偏光ビームスプリッタ6、9及びファラディー素
子8からなる光アイソレータである。符号15は、プロ
ーブ本体である。
う際に用いられる従来の電気光学プローブ(以下プロー
ブと称す)の構成を図3を参照して説明する。図3にお
いて、符号1は、絶縁体でできたプローブヘッドであ
り、この中心に金属ピン1aが嵌め込まれている。符号
2は、電気光学素子であり、金属ピン1a側の端面に反
射膜2aが設けられ、金属ピン1aに接している。符号
3、10は、コリメートレンズである。符号4、7は1
/2波長板であり、符号5は、1/4波長板である。符
号6及び9は、偏光ビームスプリッタである。符号8は
入射された光の偏光面を45度回転するファラディー素
子である。符号11は、EOSオシロスコープ本体(図
示せず)から出力された制御信号に応じてレーザ光を発
するレーザダイオードである。符号12及び13は、フ
ォトダイオードであり、入力されたレーザ光を電気信号
にしてEOSオシロスコープ本体(図示せず)へ出力す
る。符号14aは、1/2波長板4、7と、1/4波長
板5、偏光ビームスプリッタ6、9及びファラディー素
子8からなる光アイソレータである。符号15は、プロ
ーブ本体である。
【0005】次に、図3を参照して、レーザダイオード
11から発せられたレーザ光の光路について説明する。
図3において、レーザ光の光路を符号Cで表す。先ず、
レーザダイオード11から出射したレーザ光はコリメー
トレンズ10により平行光に変換され、偏光ビームスプ
リッタ9、ファラデー素子8、1/2波長板7、偏光ビ
ームスプリッタ6を直進し、さらに、1/4波長板5、
1/2波長板4を通って、コリメートレンズ3によって
集光されて電気光学素子2に入射する。入射した光は、
金属ピン1a側の電気光学素子2の端面に形成された反
射膜2aにより反射する。
11から発せられたレーザ光の光路について説明する。
図3において、レーザ光の光路を符号Cで表す。先ず、
レーザダイオード11から出射したレーザ光はコリメー
トレンズ10により平行光に変換され、偏光ビームスプ
リッタ9、ファラデー素子8、1/2波長板7、偏光ビ
ームスプリッタ6を直進し、さらに、1/4波長板5、
1/2波長板4を通って、コリメートレンズ3によって
集光されて電気光学素子2に入射する。入射した光は、
金属ピン1a側の電気光学素子2の端面に形成された反
射膜2aにより反射する。
【0006】反射したレーザ光は、コリメートレンズ3
によって平行光にされ、再び1/2波長板4、1/4波
長板5を通り、レーザ光の一部は、偏光ビームスプリッ
タ6により反射されて、フォトダイオード12へ入射す
る。偏光ビームスプリッタ6を透過したレーザ光は、偏
光ビームスプリッタ9で反射されて、フォトダイオード
13へ入射する。なお、1/4波長板4はフォトダイオ
ード12とフォトダイオード13へ入射するレーザ光の
強度が同一になるように調整するものである。また、1
/2波長板4は、電気光学素子2へ入射する光の偏光面
を調整するものである。
によって平行光にされ、再び1/2波長板4、1/4波
長板5を通り、レーザ光の一部は、偏光ビームスプリッ
タ6により反射されて、フォトダイオード12へ入射す
る。偏光ビームスプリッタ6を透過したレーザ光は、偏
光ビームスプリッタ9で反射されて、フォトダイオード
13へ入射する。なお、1/4波長板4はフォトダイオ
ード12とフォトダイオード13へ入射するレーザ光の
強度が同一になるように調整するものである。また、1
/2波長板4は、電気光学素子2へ入射する光の偏光面
を調整するものである。
【0007】次に、図3に示した電気光学プローブを用
いて、被測定信号を測定する動作について説明する。金
属ピン1aを、測定点に接触させると、金属ピン1aに
加わる電圧によって、電気光学素子2では、その電界が
電気光学素子2へ伝搬し、ポッケルス効果により複屈折
率が変化する現象が起きる。これにより、レーザダイオ
ード11から発せられたレーザ光が電気光学素子2へ入
射して、そのレーザ光が電気光学素子2を伝搬するとき
に光の偏光状態が変化する。そして、この偏光状態が変
化したレーザ光は、反射膜2aによって反射され、フォ
トダイオード12、13へ入射して、電気信号に変換さ
れる。
いて、被測定信号を測定する動作について説明する。金
属ピン1aを、測定点に接触させると、金属ピン1aに
加わる電圧によって、電気光学素子2では、その電界が
電気光学素子2へ伝搬し、ポッケルス効果により複屈折
率が変化する現象が起きる。これにより、レーザダイオ
ード11から発せられたレーザ光が電気光学素子2へ入
射して、そのレーザ光が電気光学素子2を伝搬するとき
に光の偏光状態が変化する。そして、この偏光状態が変
化したレーザ光は、反射膜2aによって反射され、フォ
トダイオード12、13へ入射して、電気信号に変換さ
れる。
【0008】測定点の電圧の変化にともなって、電気光
学素子2による偏光状態の変化がフォトダイオード12
とフォトダイオード13の出力差になり、この出力差を
検出することによって、金属ピン1aに加わる電気信号
を測定することができる。なお、以上説明した電気光学
プローブにおいて、フォトダイオード12、13から得
られた電気信号は、EOSオシロスコープに入力され
て、処理されるが、これに代えて、フォトダイオード1
2、13に専用コントローラを介してリアルタイムオシ
ロスコープ等の従来からある測定器を接続し、信号測定
を行うこともできる。これにより、電気光学プローブを
使用して広帯域測定を簡単に行うことができる。
学素子2による偏光状態の変化がフォトダイオード12
とフォトダイオード13の出力差になり、この出力差を
検出することによって、金属ピン1aに加わる電気信号
を測定することができる。なお、以上説明した電気光学
プローブにおいて、フォトダイオード12、13から得
られた電気信号は、EOSオシロスコープに入力され
て、処理されるが、これに代えて、フォトダイオード1
2、13に専用コントローラを介してリアルタイムオシ
ロスコープ等の従来からある測定器を接続し、信号測定
を行うこともできる。これにより、電気光学プローブを
使用して広帯域測定を簡単に行うことができる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術の電気光学プローブにあっては、光アイソレータ14
aによって、電気光学素子2へ入射する光と、反射膜2
aによって反射された光とを分離していたため、この光
アイソレータ14aを構成する光学部品の点数が多くな
るという問題がある。
術の電気光学プローブにあっては、光アイソレータ14
aによって、電気光学素子2へ入射する光と、反射膜2
aによって反射された光とを分離していたため、この光
アイソレータ14aを構成する光学部品の点数が多くな
るという問題がある。
【0010】また、部品点数が多いため、各光学部品の
おいて不要な反射光が発生し、結果的にノイズ成分が増
加して信号処理におけるS/N比が低下するという問題
がある。さらに、2個のフォトダイオード12、13へ
入射する光の強度を、光学部品を回転することによって
調整を行わなければならないという問題がある。
おいて不要な反射光が発生し、結果的にノイズ成分が増
加して信号処理におけるS/N比が低下するという問題
がある。さらに、2個のフォトダイオード12、13へ
入射する光の強度を、光学部品を回転することによって
調整を行わなければならないという問題がある。
【0011】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、電気光学プローブ内において用いられる光学
部品の点数を低減して、さらにS/N比を向上すること
ができる電気光学プローブを提供することを目的とす
る。
たもので、電気光学プローブ内において用いられる光学
部品の点数を低減して、さらにS/N比を向上すること
ができる電気光学プローブを提供することを目的とす
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、オシロスコープ本体の制御信号に基づいてレーザ光
を発するレーザダイオードと、端面に反射膜を有し、こ
の反射膜側の端面に設けられた金属ピンを介して電界が
伝播されて光学特性が変化する電気光学素子と、前記レ
ーザ光を集光して前記電気光学素子へ入射させる集光レ
ンズと、前記レーザ光が前記反射膜において反射された
光を平行光にするコリメートレンズと、1/4波長板と
偏光ビームスプリッタからなり前記平行光を互いに直交
する偏光成分に分離する偏光検出部と、前記偏光検出部
によって分離された前記平行光を電気信号に変換するフ
ォトダイオードと、からなる電気光学プローブであっ
て、前記電気光学素子へ入射する光の光軸と、前記反射
膜によって反射され電気光学素子から出射する光の光軸
とが異なるようにしたことを特徴とする。
は、オシロスコープ本体の制御信号に基づいてレーザ光
を発するレーザダイオードと、端面に反射膜を有し、こ
の反射膜側の端面に設けられた金属ピンを介して電界が
伝播されて光学特性が変化する電気光学素子と、前記レ
ーザ光を集光して前記電気光学素子へ入射させる集光レ
ンズと、前記レーザ光が前記反射膜において反射された
光を平行光にするコリメートレンズと、1/4波長板と
偏光ビームスプリッタからなり前記平行光を互いに直交
する偏光成分に分離する偏光検出部と、前記偏光検出部
によって分離された前記平行光を電気信号に変換するフ
ォトダイオードと、からなる電気光学プローブであっ
て、前記電気光学素子へ入射する光の光軸と、前記反射
膜によって反射され電気光学素子から出射する光の光軸
とが異なるようにしたことを特徴とする。
【0013】請求項2に記載の発明は、前記フォトダイ
オード及び前記レーザダイオードは、電気光学サンプリ
ングオシロスコープに接続され、前記レーザダイオード
は、前記レーザ光を前記電気光学サンプリングオシロス
コープからの制御信号に基づいてパルス光として発する
ことを特徴とする。請求項3に記載の発明は、前記レー
ザダイオードは、前記レーザ光として連続光を発するこ
とを特徴とする。請求項4に記載の発明は、前記電気光
学プローブは、前記コリメートレンズを集光レンズに置
き換え、前記反射膜において反射された光を集光して前
記フォトダイオードに入射させることを特徴とする。
オード及び前記レーザダイオードは、電気光学サンプリ
ングオシロスコープに接続され、前記レーザダイオード
は、前記レーザ光を前記電気光学サンプリングオシロス
コープからの制御信号に基づいてパルス光として発する
ことを特徴とする。請求項3に記載の発明は、前記レー
ザダイオードは、前記レーザ光として連続光を発するこ
とを特徴とする。請求項4に記載の発明は、前記電気光
学プローブは、前記コリメートレンズを集光レンズに置
き換え、前記反射膜において反射された光を集光して前
記フォトダイオードに入射させることを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態による
電気光学プローブ(以下、プローブと称す)を図面を参
照して説明する。図1は同実施形態の構成を示した図で
ある。図1において、図3に示す従来のプローブと同一
の部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。こ
の図に示すプローブが従来技術と異なる点は、1/2波
長板4、7と、ファラディー素子8と、偏光ビームスプ
リッタ9とを省き、偏光成分を分離する偏光検出部14
を1/4波長板5及び偏光ビームスプリッタ6のみによ
って構成した点である。さらに電気光学素子2へ入射す
る光の光軸と電気光学素子2から出射する光の光軸とを
一致させずにずらした点である。また、コリメートレン
ズ10は集光レンズ10aに置き換えられている。
電気光学プローブ(以下、プローブと称す)を図面を参
照して説明する。図1は同実施形態の構成を示した図で
ある。図1において、図3に示す従来のプローブと同一
の部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。こ
の図に示すプローブが従来技術と異なる点は、1/2波
長板4、7と、ファラディー素子8と、偏光ビームスプ
リッタ9とを省き、偏光成分を分離する偏光検出部14
を1/4波長板5及び偏光ビームスプリッタ6のみによ
って構成した点である。さらに電気光学素子2へ入射す
る光の光軸と電気光学素子2から出射する光の光軸とを
一致させずにずらした点である。また、コリメートレン
ズ10は集光レンズ10aに置き換えられている。
【0015】次に、図1を参照して、レーザダイオード
11から発せられたレーザ光の光路について説明する。
図1において、レーザ光の光路を符号Aで表す。先ず、
レーザダイオード11から出射したレーザ光は集光レン
ズ10aにより集光されて電気光学素子2に入射し、金
属ピン1a側の電気光学素子2の端面に形成された反射
膜2aにより反射する。集光レンズ10aは、レーザダ
イオード11から発せられたレーザ光が反射膜2a上に
集光される位置に配置されているために、レーザ光は反
射膜2a上の1点に集光される。
11から発せられたレーザ光の光路について説明する。
図1において、レーザ光の光路を符号Aで表す。先ず、
レーザダイオード11から出射したレーザ光は集光レン
ズ10aにより集光されて電気光学素子2に入射し、金
属ピン1a側の電気光学素子2の端面に形成された反射
膜2aにより反射する。集光レンズ10aは、レーザダ
イオード11から発せられたレーザ光が反射膜2a上に
集光される位置に配置されているために、レーザ光は反
射膜2a上の1点に集光される。
【0016】反射膜2aにおいて、反射されたレーザ光
は、コリメートレンズ3によって平行光に変換され、こ
の平行光は1/4波長板5を通り、さらに偏光ビームス
プリッタ6によって分離される。偏光ビームスプリッタ
6によって反射されたレーザ光はフォトダイオード12
へ入射し、偏光ビームスプリッタ6を透過したレーザ光
はフォトダイオード13に入射して、それぞれ電気信号
に変換される。
は、コリメートレンズ3によって平行光に変換され、こ
の平行光は1/4波長板5を通り、さらに偏光ビームス
プリッタ6によって分離される。偏光ビームスプリッタ
6によって反射されたレーザ光はフォトダイオード12
へ入射し、偏光ビームスプリッタ6を透過したレーザ光
はフォトダイオード13に入射して、それぞれ電気信号
に変換される。
【0017】測定点の電圧の変化にともなって、電気光
学素子2による偏光状態の変化がフォトダイオード12
とフォトダイオード13の出力差になり、この出力差を
検出することによって、金属ピン1aに加わる電気信号
を測定することができる。
学素子2による偏光状態の変化がフォトダイオード12
とフォトダイオード13の出力差になり、この出力差を
検出することによって、金属ピン1aに加わる電気信号
を測定することができる。
【0018】このように、電気光学素子2へ入射する光
と、反射膜2aによって反射されて電気光学素子2から
出射する光との光路がずれるように光学部品を配置した
ため、光アイソレータを設ける必要がなく、偏光成分を
分離する偏光検出部14を構成する光学部品の点数を少
なくすることができる。
と、反射膜2aによって反射されて電気光学素子2から
出射する光との光路がずれるように光学部品を配置した
ため、光アイソレータを設ける必要がなく、偏光成分を
分離する偏光検出部14を構成する光学部品の点数を少
なくすることができる。
【0019】また、光学部品の点数を減らすことができ
るため、光学部品の表面において反射することによって
発生するノイズ成分の光の発生を抑えることができ、さ
らに光学部品の光軸合わせを行う必要がある調整箇所を
減らすことができる。
るため、光学部品の表面において反射することによって
発生するノイズ成分の光の発生を抑えることができ、さ
らに光学部品の光軸合わせを行う必要がある調整箇所を
減らすことができる。
【0020】また、1個の偏光ビームスプリッタ6によ
って分離した光を2個のフォトダイオード12、13に
よって直接受光するようにしたため、これらのフォトダ
イオード12、13へ入射する光の強度の光学系の損失
によるバランス差をなくすことができる。
って分離した光を2個のフォトダイオード12、13に
よって直接受光するようにしたため、これらのフォトダ
イオード12、13へ入射する光の強度の光学系の損失
によるバランス差をなくすことができる。
【0021】次に、図2を参照して他の実施形態を説明
する。図2に示す実施形態と、図1に示す実施形態との
相違点は、コリメートレンズ3を集光レンズ10bに置
き換えた点である。この集光レンズ10bの焦点距離
は、集光レンズ10aと同一である。集光レンズ10a
は、レーザダイオード11から光軸長B1だけ離され、
さらに反射膜2aから光軸長B2だけ離された位置に配
置されている。また、集光レンズ10bは、反射膜2a
から光軸長B1だけ離され、さらにフォトダイオード1
3から光軸長B2だけ離された位置に配置されている。
する。図2に示す実施形態と、図1に示す実施形態との
相違点は、コリメートレンズ3を集光レンズ10bに置
き換えた点である。この集光レンズ10bの焦点距離
は、集光レンズ10aと同一である。集光レンズ10a
は、レーザダイオード11から光軸長B1だけ離され、
さらに反射膜2aから光軸長B2だけ離された位置に配
置されている。また、集光レンズ10bは、反射膜2a
から光軸長B1だけ離され、さらにフォトダイオード1
3から光軸長B2だけ離された位置に配置されている。
【0022】このような配置にすることによって、使用
するレンズを同じ焦点距離とすることができる。さら
に、フォトダイオード12、13へ入射する光を集光す
ることができる。このため、レーザダイオード11から
出射した光を効率よくフォトダイオード12、13内の
受光素子へ入射することができるためにS/N比を向上
することができる。なお、上記実施の形態において、レ
ーザダイオード11から連続光を発するようにすれば、
リアルタイムオシロスコープ、サンプリングオシロスコ
ープ、スペアナ等の従来からある汎用測定器による信号
測定も可能となる。この場合、フォトダイオード12、
13に、EOSオシロスコープに代えて、専用コントロ
ーラを介して、リアルタイムオシロスコープ、サンプリ
ングオシロスコープ、スペアナなどを接続するようにす
ればよい。
するレンズを同じ焦点距離とすることができる。さら
に、フォトダイオード12、13へ入射する光を集光す
ることができる。このため、レーザダイオード11から
出射した光を効率よくフォトダイオード12、13内の
受光素子へ入射することができるためにS/N比を向上
することができる。なお、上記実施の形態において、レ
ーザダイオード11から連続光を発するようにすれば、
リアルタイムオシロスコープ、サンプリングオシロスコ
ープ、スペアナ等の従来からある汎用測定器による信号
測定も可能となる。この場合、フォトダイオード12、
13に、EOSオシロスコープに代えて、専用コントロ
ーラを介して、リアルタイムオシロスコープ、サンプリ
ングオシロスコープ、スペアナなどを接続するようにす
ればよい。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、電気光学素子へ入射する光と、電気光学素子から出
射する光との光軸がずれるように光学部品を配置したた
め、光アイソレータを形成する必要がなく、さらに光学
部品点数を減らすことができるという効果が得られる。
また、光学部品点数を減らすことによって、光学部品の
表面において反射することによって発生するノイズ成分
の光の発生を抑えることができる。
ば、電気光学素子へ入射する光と、電気光学素子から出
射する光との光軸がずれるように光学部品を配置したた
め、光アイソレータを形成する必要がなく、さらに光学
部品点数を減らすことができるという効果が得られる。
また、光学部品点数を減らすことによって、光学部品の
表面において反射することによって発生するノイズ成分
の光の発生を抑えることができる。
【0024】また、この発明によれば、1個の偏光ビー
ムスプリッタによって光を分離しているために、2個の
フォトダイオードに入射する光の光路長を同じ長さにで
きる。このため、2個のフォトダイオードに入射する光
の強度のバランス差をなくすことができる。
ムスプリッタによって光を分離しているために、2個の
フォトダイオードに入射する光の光路長を同じ長さにで
きる。このため、2個のフォトダイオードに入射する光
の強度のバランス差をなくすことができる。
【図1】本発明の一実施形態の構成を示した構成図であ
る。
る。
【図2】本発明の他の実施形態の構成を示した構成図で
ある。
ある。
【図3】従来技術による電気光学プローブの構成を示し
た構成図である。
た構成図である。
1 プローブヘッド 1a 金属ピン 2 電気光学素子 2a 反射膜 3 コリメートレンズ 5 1/4波長板 6 偏光ビームスプリッタ 10a 集光レンズ 11 レーザダイオード 12 フォトダイオード 13 フォトダイオード 14 偏光検出部 15 プローブ本体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 克志 東京都大田区蒲田4丁目19番7号 安藤電 気株式会社内 (72)発明者 八木 敏之 東京都大田区蒲田4丁目19番7号 安藤電 気株式会社内 (72)発明者 品川 満 東京都千代田区大手町二丁目3番1号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 永妻 忠夫 東京都千代田区大手町二丁目3番1号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 山田 順三 東京都千代田区大手町二丁目3番1号 日 本電信電話株式会社内
Claims (4)
- 【請求項1】 オシロスコープ本体の制御信号に基づい
てレーザ光を発するレーザダイオードと、 端面に反射膜を有し、この反射膜側の端面に設けられた
金属ピンを介して電界が伝播されて光学特性が変化する
電気光学素子と、 前記レーザ光を集光して前記電気光学素子へ入射させる
集光レンズと、 前記レーザ光が前記反射膜において反射された光を平行
光にするコリメートレンズと、 1/4波長板と偏光ビームスプリッタからなり前記平行
光を互いに直交する偏光成分に分離する偏光検出部と、 前記偏光検出部によって分離された前記平行光を電気信
号に変換するフォトダイオードと、 からなる電気光学プローブであって、 前記電気光学素子へ入射する光の光軸と、前記反射膜に
よって反射され電気光学素子から出射する光の光軸とが
異なるようにしたことを特徴とする電気光学プローブ。 - 【請求項2】 前記フォトダイオード及び前記レーザダ
イオードは、電気光学サンプリングオシロスコープに接
続され、 前記レーザダイオードは、前記レーザ光を前記電気光学
サンプリングオシロスコープからの制御信号に基づいて
パルス光として発することを特徴とする請求項1記載の
電気光学プローブ。 - 【請求項3】 前記レーザダイオードは、前記レーザ光
として連続光を発することを特徴とする請求項1記載の
電気光学プローブ。 - 【請求項4】 前記電気光学プローブは、前記コリメー
トレンズを集光レンズに置き換え、前記反射膜において
反射された光を集光して前記フォトダイオードに入射さ
せることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかの項に
記載の電気光学プローブ。
Priority Applications (2)
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JP11275385A JP2000221213A (ja) | 1998-11-24 | 1999-09-28 | 電気光学プロ―ブ |
US09/448,525 US6369562B2 (en) | 1998-11-24 | 1999-11-23 | Electro-optical probe for oscilloscope measuring signal waveform |
Applications Claiming Priority (3)
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JP10-333309 | 1998-11-24 | ||
JP33330998 | 1998-11-24 | ||
JP11275385A JP2000221213A (ja) | 1998-11-24 | 1999-09-28 | 電気光学プロ―ブ |
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ID=26551450
Family Applications (1)
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JP11275385A Pending JP2000221213A (ja) | 1998-11-24 | 1999-09-28 | 電気光学プロ―ブ |
Country Status (2)
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JP (1) | JP2000221213A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113418680A (zh) * | 2021-06-23 | 2021-09-21 | 青岛大学 | 一种基于电光调制的薄凸透镜焦距测量装置及方法 |
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US10802066B1 (en) * | 2019-12-17 | 2020-10-13 | Quantum Valley Ideas Laboratories | Single-pixel imaging of electromagnetic fields |
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US4745361A (en) * | 1987-03-03 | 1988-05-17 | University Of Rochester | Electro-optic measurement (network analysis) system |
US4864123A (en) * | 1987-05-08 | 1989-09-05 | Nikon Corporation | Apparatus for detecting the level of an object surface |
JP2527965B2 (ja) | 1987-05-31 | 1996-08-28 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電圧検出装置 |
JPS63308572A (ja) | 1987-06-10 | 1988-12-15 | Hamamatsu Photonics Kk | 電圧検出装置 |
DE3889986T2 (de) * | 1987-07-13 | 1994-09-15 | Hamamatsu Photonics Kk | Anordnung eines Spannungsdetektors. |
WO1989009413A1 (en) | 1988-03-25 | 1989-10-05 | Princeton Applied Research Corporation | Electro-optic probe |
FR2661003B2 (fr) | 1989-12-26 | 1992-06-12 | Commissariat Energie Atomique | Capteur de champ electrique a effet pockels. |
DE69232905T2 (de) * | 1991-08-05 | 2003-08-21 | Koninklijke Philips Electronics N.V., Eindhoven | Elektrooptische Messanordnung zum Messen eines elektrischen Signals in einem elektronischen Bauteil |
JPH0798329A (ja) | 1993-09-28 | 1995-04-11 | Hamamatsu Photonics Kk | E−oプローブ |
JP3003974B2 (ja) * | 1993-11-22 | 2000-01-31 | 富士通株式会社 | 電圧・変位検出プローブ及びこれを用いた電圧・変位測定装置 |
-
1999
- 1999-09-28 JP JP11275385A patent/JP2000221213A/ja active Pending
- 1999-11-23 US US09/448,525 patent/US6369562B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113418680A (zh) * | 2021-06-23 | 2021-09-21 | 青岛大学 | 一种基于电光调制的薄凸透镜焦距测量装置及方法 |
CN113418680B (zh) * | 2021-06-23 | 2024-01-26 | 青岛大学 | 一种基于电光调制的薄凸透镜焦距测量装置及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20020011830A1 (en) | 2002-01-31 |
US6369562B2 (en) | 2002-04-09 |
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