JP2000193598A - 透明体インゴットの異物検出装置およびこれを用いた透明体の製造方法 - Google Patents
透明体インゴットの異物検出装置およびこれを用いた透明体の製造方法Info
- Publication number
- JP2000193598A JP2000193598A JP10371001A JP37100198A JP2000193598A JP 2000193598 A JP2000193598 A JP 2000193598A JP 10371001 A JP10371001 A JP 10371001A JP 37100198 A JP37100198 A JP 37100198A JP 2000193598 A JP2000193598 A JP 2000193598A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ingot
- transparent
- foreign matter
- transparent body
- imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
の異物検出装置およびこれを用いた生産性の高い透明体
の製造方法を提供する。 【解決手段】複数枚の透明体fに切断される透明体イン
ゴットIgに検査光を照射する検査光発生手段2と、透
明体インゴットIgを撮像する撮像手段3と、この撮像
手段3により撮像される透明体インゴットIgの撮像位
置および検査光により照射される透明体インゴットIg
の照射位置を移動させる移動手段4と、撮像手段3によ
り撮像された透明体インゴットIgに存在する異物mの
異物画像信号を受け、この異物画像信号を異物情報にす
る画像処理手段5と、この画像処理手段5で求めた異物
情報を出力する出力手段6と、検査光発生手段2、撮像
手段3、移動手段4および画像処理手段5を制御する制
御手段7とを有する透明体インゴットの異物検出装置。
Description
異物検出装置およびこれを用いた透明体の製造方法に係
わり、特に効率よく異物の検出が行える透明体インゴッ
トの異物検出装置およびこれを用いた生産性の高い透明
体の製造方法に関する。
透明石英ガラスからなるフォトマスク材は、電子回路等
を焼付ける原版となるため、光学的特性上、泡や金属粉
などの異物がガラス内に含まれないことが要求されてい
る。
材が切出される透明石英ガラスインゴットは、切断前に
石英ガラスインゴットIgをターンテーブル61に載置
して、作業員Hと蛍光灯62間に石英ガラスインゴット
Igを配置し、石英ガラスインゴットIg中の異物検査
を目視で行っている。最初にA面から検査を行い、A面
の検査が終了したらターンテーブル61を回転させて、
B面の検査を行う。さらに同様にC面、D面の検査を行
い検査を完了する。この検査結果に基づき、異物が存在
する石英ガラスインゴットIgの部位を除外してフォト
マスク材fを切出すようにしている。
は、作業者Hの目視により行っており、この目視検査は
小さな異物の検出には熟練を要すため、小さな異物を見
逃す可能性も高く、また異物の検出精度は作業者Hによ
りばらつきがあった。
スインゴットIg内に異物mを含む部位の切断を行い、
後検査工程で内部に異物が存在するフォトマスク材を検
出した場合は、このフォトマスク材は不良品として廃棄
されるため、不必要な切断作業を実施したこととなり、
生産性の低下をきたしていた。
体インゴットの異物検出装置およびこれを用いた生産性
の高い透明体の製造方法が要望されていた。
もので、効率よく異物の検出が行える透明体インゴット
の異物検出装置およびこれを用いた生産性の高い透明体
の製造方法を提供することを目的とする。
になされた本願請求項1の発明は、複数枚の透明体に切
断される透明体インゴットに検査光を照射する検査光発
生手段と、透明体インゴットを撮像する撮像手段と、こ
の撮像手段により撮像される透明体インゴットの撮像位
置を移動させる移動手段と、前記撮像手段により撮像さ
れた透明体インゴットに存在する異物の異物画像信号を
受け、この異物画像信号を異物情報にする画像処理手段
と、この画像処理手段で求めた異物情報を出力する出力
手段と、前記検査光発生手段、撮像手段、移動手段およ
び画像処理手段を制御する制御手段とを有することを特
徴とする透明体インゴットの異物検出装置であることを
要旨としている。
撮像手段により撮像される透明体インゴットの撮像位置
および検査光により照射される透明体インゴットの照射
位置を移動させることを特徴とする請求項1記載の透明
体インゴットの異物検出装置であることを要旨としてい
る。
透明体インゴットを移動させる移動装置であることを特
徴とする請求項2記載の透明体インゴットの異物検出装
置であることを要旨としている。
1次元ないし3次元に移動されることを特徴とする請求
項3に記載の透明体インゴットの異物検出装置であるこ
とを要旨としている。
手段は蛍光灯であり、撮像手段はCCDセンサであるこ
とを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載
の透明体インゴットの異物検出装置であることを要旨と
している。
手段はレーザ光発振装置であり、撮像手段はCCDセン
サであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか
1項に記載の透明体インゴットの異物検出装置であるこ
とを要旨としている。
サは2次元CCDセンサであることを特徴とする請求項
5または6に記載の透明体インゴットの異物検出装置で
あることを要旨としている。
手段はレーザ光発振装置であり、撮像手段は赤外線撮像
装置であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれ
か1項に記載の透明体インゴットの異物検出装置である
ことを要旨としている。
装置は赤外線撮像カメラであることを特徴とする請求項
8記載の透明体インゴットの異物検出装置であることを
要旨としている。
は異物の位置情報であることを特徴とする請求項1ない
し9のいずれか1項に記載の透明体インゴットの異物検
出装置であることを要旨としている。
は異物の種類情報であることを特徴とする請求項3また
は8または9に記載の透明体インゴットの異物検出装置
であることを要旨としている。
ンゴットは石英ガラスインゴットであり、透明体はフォ
トマスク材であることを特徴とする請求項1ないし11
のいずれか1項に記載の透明体インゴットの異物検出装
置であることを要旨としている。
に切断される被検出透明体インゴットを用意して、この
透明体インゴットに検査光を照射し、撮像位置を移動さ
せながら透明体インゴット全体を撮像して透明体インゴ
ットに存在する異物を撮像し、撮像された透明体インゴ
ット中の異物の画像信号を受け、この画像信号を異物情
報にし、異物情報を出力し、この出力された異物情報に
基づき異物が存在する部位を除外するように透明体イン
ゴットから透明体を切出すことを特徴とする透明体の製
造方法であることを要旨としている。
ンゴットは石英ガラスインゴットであり、透明体はフォ
トマスク材であることを特徴とする請求項13に記載の
透明体の製造方法であることを要旨としている。
ゴットの異物検出装置およびこれを用いた透明体の製造
方法の実施形態について添付図面に基づき説明する。
体インゴットの異物検出装置1は、複数枚の透明体、例
えばフォトマスク材に切断される透明体インゴット、例
えば石英ガラスインゴットIgに検査光を照射する検査
光発生手段、例えば蛍光灯2と、石英ガラスインゴット
Igに存在する気泡や金属粉などの異物mを撮像する撮
像手段、例えば1次元CCDセンサ3と、このCCDセ
ンサ3により撮像される透明体インゴットIgの撮像位
置および蛍光灯2により照射される透明体インゴットI
gの照射位置を移動させる移動手段、例えば移動装置で
あるリフトテーブル装置4と、CCDセンサ3から異物
の画像信号を受け、この画像信号を異物情報とする画像
処理装置5と、この画像処理装置5で求めた異物情報を
出力する出力手段、例えばディスプレイ6と、蛍光灯2
の電源2a、CCDセンサ3および画像処理装置5と制
御する制御装置7とを有している。
像処理装置5は画像処理機能部5aとカメラ制御機能部
5bを有し、CPUが所定のプログラムを処理すること
により、画像処理機能とカメラ制御機能を実現する。画
像処理機能部5aは本発明の画像処理手段に対応し、画
像処理装置5のカメラ制御機能部5bと制御装置7の制
御機能部7aが本発明の制御手段に対応する。また、出
力手段6は画像処理装置5で求めた異物情報が出力され
れば、画像処理装置5に直結されても、制御装置7を介
して画像処理装置5に接続されてもよい。
せてもよい。また、画像処理装置5と制御装置7は一体
にユニットに構成してもよい。
用いられているもので、リフトテーブル装置4に載置さ
れた石英ガラスインゴットIgに検査光を照射するため
のものであり、上記CCDセンサ3は石英ガラスインゴ
ットIgの画像を取込むためのもので、画像取込視野が
石英ガラスインゴットIgの幅より大きい範囲を有して
いる。
2とCCDセンサ3間にリフトテーブル装置4を挟むよ
うに配置され、かつ同一光軸上に配置されて、蛍光灯2
により石英ガラスインゴットIgが照射された部位をC
CDセンサ3が撮像するようになっている。
インゴットIgに対する検査光の照射位置およびCCD
センサ3による撮像位置を垂直方向(Z軸方向)に移動
させるためのもので、石英ガラスインゴットIgが載置
されるリフトテーブル本体4aと、このリフトテーブル
本体4aを昇降させるサーボモータ4bと、リフトテー
ブル本体4aの垂直方向の位置を検知する位置検知装
置、例えばリニアスケール4cとから構成されている。
なお、このリニアスケール4cは蛍光灯2が石英ガラス
インゴットIgを照射するのに邪魔にならないようにリ
フトテーブル本体4aの一側部に設けられている。
2を制御し、さらにリニアスケール4cからの位置情報
に基づきサーボモータ4bを制御してリフトテーブル本
体4aの昇降を制御する。
物検出装置を用いて検査された透明体インゴットから透
明体を製造する方法に使用される切断装置について説明
する。
断装置11は、駆動装置(図示せず)を有する切断刃
部、例えばバンドソー12と、このバンドソー12に対
向して設けられ装置基台13上に移動自在に設けられた
石英ガラスインゴットIgの取付台14と、この取付台
14を水平直線方向(X軸)に送る送り装置15とを有
している。この送り装置15は装置基台13に回動自在
に設けられ、装置基台13の底面に設けられた螺子部
(図示せず)を螺合貫通するスクリューシャフト15a
と、このスクリューシャフト15aを回動させるサーボ
モータ15bと、このサーボモータ15bおよびバンド
ソー12を制御する切断装置制御手段16を有してい
る。
介して取付台14に取付られた石英ガラスインゴットI
gを切断装置制御手段16の命令によりサーボモータ1
5b、スクリューシャフト15aを動作させて所定の位
置に移動できるようになっている。さらに、切断装置制
御手段16の近傍には、上述した異物検出装置1の画像
処理装置5に接続されたディスプレイ6が配置されてい
る。
異物検出装置およびこれを用いた透明体の製造方法を説
明する。
により成形された後、研磨されて正確な直方体に成形さ
れた石英ガラスインゴットIgは、この石英ガラスイン
ゴットIgに泡や金属粉などの異物が存在しないか、異
物検出装置1により検査される。
に位置するリフトテーブル本体4aに、石英ガラスイン
ゴットIgの切断面pが水平(リフトテーブル本体4a
と平行)になるように、長手方向を垂直にして載置す
る。次に制御装置7の命令により電源2aを介して蛍光
灯2を点灯させて石英ガラスインゴットIgの最下部位
を照射する。また、一方、制御装置7の命令により画像
処理装置5を介してCCDセンサ3は、蛍光灯2に照射
された石英ガラスインゴットIgの最下部位、例えば切
断されるフォトマスク材fの1枚目に相当する部位f1
の下端部f1eからを撮像を開始する。さらに、制御装置
7の命令によりリフトテーブル本体4aを連続的に上昇
させて、CCDセンサ3により直方体の石英ガラスイン
ゴットIgを連続的に撮像する。
でプログラムに従って演算され、フォトマスク材fの1
枚当たりの厚さ相当分毎に異物情報を出力するようにし
ておけば、撮像された部位f1 の画像信号は画像処理装
置5により画像処理されて出力され、画像処理装置5の
記憶部に記憶されると共にディスプレイ6、制御装置7
に出力される。この工程において、1枚目に相当する部
位f1 に異物が存在しない場合には、ディスプレイ6は
何らの表示もされない。
リフトテーブル本体4aの上昇量はリニアスケール4c
によって検知され、石英ガラスインゴットIgの位置情
報として、制御装置7に記憶される。
された2枚目に相当する部位f2 は撮像され、上述と同
様に撮像された部位f2 の画像信号は画像処理装置5に
より画像処理されて出力され、画像処理装置5の記憶部
に記憶されると共にディスプレイ6、制御装置7に出力
される。この工程において、2枚目に相当する部位f2
に異物m2 が存在する場合には、図4(a)に示すよう
に、画像処理装置5から異物情報としてディスプレイ6
に出力されると共に記憶部に異物m2 の大きさが記憶さ
れる。さらに上述と同様の工程を繰返し、3枚目に相当
する部位f3 の撮像が行われ、この工程において、3枚
目に相当する部位f3 に異物m3 が存在する場合には、
図4(b)に示すように、画像処理装置5から異物情報
としてディスプレイ6に出力されると共に記憶部に異物
m3 の大きさが記憶される。
fn までの撮像を行い、石英ガラスインゴットIgの異
物検出は完了する。
Igの立体図上では、図4(c)のように表示すること
ができる。
ガラスインゴットIgを面状に撮像するCCDセンサ
と、石英ガラスインゴットIgの撮像位置を撮像面と直
交(垂直)する方向に移動させる送り装置15の働きで
直方体の石英ガラスインゴットIgを全面に亘って異物
検出をすることができるので、異物を確実に検出するこ
とができる。
の異物検出装置1により検査された石英ガラスインゴッ
トIgを用いてフォトマスク材を製造する方法を説明す
る。
Igをリフトテーブル本体4aから切断装置11の取付
台14の上面に設けられた取付板17に移載し、接着剤
で取付板17に固定する。
石英ガラスインゴットIgの異物検出状況は、図4
(a)および、または図4(c)に示すような状態で切
断装置制御手段16の近傍に配置されたディスプレイ6
に表示される。例えば、1枚目に相当する部位f1 には
異物が存在しないので、切断装置制御手段16を制御し
てサーボモータ15bを駆動させ、スクリューシャフト
15aを回転させる。このスクリューシャフト15aの
回転により取付台14を所定量例えばフォトマスク材の
厚さ分だけ送る。しかる後、バンドソー12を作動させ
て石英ガラスインゴットIgをフォトマスク材の厚さに
切断する。次に2枚目および3枚目に相当する部位f1
には異物m2 、m3 が存在するので、2枚目f2 と3枚
目f3 間の切断は行わず、3枚目f3 と異物が存在しな
い4枚目f間の切断を行う。以下同様に切断を行い、石
英ガラスインゴットIgからフォトマスク材fを得る。
物の検出が不十分で異物の存在を見逃して、異物m2 、
m3 が存在して不良品となるべき2枚目f2 と3枚目f
3 も異物が含まれない部位を同様に切断を行い、切断後
不良品として2枚目f2 と3枚目f3 を破棄していたの
と異なり、異物mが存在する2枚目f2 と3枚目f3の
切断を行わないので、切断作業の無駄をなくすことがで
きて、フォトマスク材の生産性を上げることが可能とな
った。
段としてディスプレイ6を用いて、異物mの位置を表示
し、この異物mが存在する部位fの切断を行わないよう
にしたが、出力手段としてプリンタを用いて、この異物
mが存在する部位fを紙に打出し、異物mが存在する部
位fの切断を行わないようにしてもよい。
の制御装置7と切断装置制御手段16とを接続して、画
像処理装置5の記憶部に記憶された異物mの位置情報を
制御装置7に取出し、切断装置制御手段16に送り、検
出された異物mを避けるようにして廃棄原料を最小限に
するようにバンドソー12の切断位置を制御すれば、作
業員を介在させることなく、自動的にバンドソー12の
切断位置設定が行えて、効率的である。
の異物検出装置について説明する。
の異物検出装置1と同一部分には、同一符号を付して説
明する。
体インゴットの異物検出装置21は、石英ガラスインゴ
ットIgに検査光を照射する蛍光灯2と、2次元CCD
センサ22と、このCCDセンサ22により撮像される
石英ガラスインゴットIgの撮像位置および蛍光灯2に
より照射される石英ガラスインゴットIgの照射位置を
移動させる移動手段23と、画像処理装置5と、この画
像処理装置5で求めた異物情報を出力するディスプレイ
6と、蛍光灯2、CCDセンサ22および画像処理装置
5と制御する制御装置7とを有している。
トIgが載置されるテーブル23aを3次元に移動可能
に形成されており、テーブル23aが摺動自在に載置さ
れるX軸テーブル23bと、テーブル23aを水平X方
向に移動させるスクリューシャフト23cと、このスク
リューシャフト23cを回動させるサーボモータ23d
とを有してテーブル23aをX方向に動かし、またX軸
テーブル23bが摺動自在に載置されるY軸テーブル2
3eを水平Y軸方向に移動させるスクリューシャフト
(図示せず)と、このスクリューシャフトを回動させる
サーボモータ(図示せず)とを有してテーブル23aを
Y軸方向に動かし、さらにX軸テーブル23bが載置さ
れるY軸テーブル23eが垂直Z軸方向に移動可能に取
付けられたZ軸テーブル23fと、このZ軸テーブル2
3fに回動自在に取付けられたスクリューシャフト23
gと、このスクリューシャフト23gを回動させるサー
ボモータ(図示せず)とを有してテーブル23aをZ軸
方向に動かすようになっている。
トの異物検出装置21を用いた石英ガラスインゴットI
gの検出方法を説明する。
テーブル23aに石英ガラスインゴットIgを載置す
る。次にCCDセンサ22の焦点および蛍光灯2の照射
位置を、石英ガラスインゴットIgを小さな複数個の直
方体に想定して区分されたセル、例えば第1撮像層の1
行目3列目の撮像部位p(1、3、1)に合わせる。こ
のセルは画像処理装置5および制御装置7でプログラム
に従って演算されて想定される。
てスクリューシャフトを回転させ、X軸テーブル23b
と共にテーブル23aを後退させ、石英ガラスインゴッ
トIgの第1撮像層の1行目1列目の撮像部位p(1、
1、1)の中心部をCCDセンサ22の焦点に位置させ
る。なお、CCDセンサ22には焦点深度があり、撮像
部位p(1、1、1)の中心部に焦点を合わせることに
より撮像部位p(1、1、1)全体が鮮明に撮像され
る。しかる後、制御装置7によりCCDセンサ22を制
御して、CCDセンサ22で撮像部位p(1、1、1)
を撮像する。
号は画像処理装置5により画像処理されて出力され、画
像処理装置5の記憶部に記憶されると共にディスプレイ
6、制御装置7に出力される。この工程において、撮像
部位p(1、1、1)に異物が存在しない場合には、デ
ィスプレイ6には何らの表示もされず、一方、制御装置
7は画像処理装置5からの出力によりサーボモータ23
dを駆動させることによりスクリューシャフト23cを
回動させて、テーブル23aをX軸方向に移動させ、撮
像部位p(2、1、1)にCCDセンサ22の焦点を合
わせ、撮像部位p(1、1、1)の撮像と同様に撮像部
位p(2、1、1)の撮像を行い、撮像された撮像部位
p(2、1、1)の画像信号は画像処理装置5により画
像処理されて出力され、画像処理装置5の記憶部に記憶
されると共にディスプレイ6、制御装置7に出力され
る。この工程において、撮像部位p(2、1、1)に異
物mが存在する場合には、画像処理装置5から異物情報
としてディスプレイ6に出力されると共に記憶部に異物
mの存在位置と大きさが記憶される。
位p(n、1、1)の撮像が完了したら、制御装置7に
よりサーボモータを作動させてスクリューシャフトを回
転させ、X軸テーブル23bと共にテーブル23aをY
軸方向に前進させ、石英ガラスインゴットIgの第1撮
像層の1行目2列目の撮像部位p(1、2、1)の中心
部をCCDセンサ22の焦点に位置させる。以下上述と
同様の撮像工程を行い、撮像部位p(n、n、n)まで
撮像したら異物検出は完了する。
Igは、上述した第1の実施形態と同様に出力手段に出
力された異物情報を活用して、切断工程の無駄がなく石
英ガラスインゴットIgからフォトマスクの切出しを行
う。
ては、石英ガラスインゴットIg撮像部位p(1、1、
1)〜p(n、n、n)のセルに分割して撮像するの
で、より鮮明に異物mを撮像することができて、異物発
見が容易になる。
の異物検出装置について説明する。
インゴットの異物検出装置1と同一部分には、同一符号
を付して説明する。
体インゴットの異物検出装置31は、石英ガラスインゴ
ットIgに検査光を照射する検査光発生装置、例えばレ
ーザ光発振装置32と、1次元CCDセンサ33と、こ
のCCDセンサ33により撮像される石英ガラスインゴ
ットIgの撮像位置およびレーザ光により照射される石
英ガラスインゴットIgの照射位置を移動させる移動手
段34と、画像処理装置5と、この画像処理装置5から
の異物情報を出力するディスプレイ6と、レーザ光発振
装置32、CCDセンサ33および画像処理装置5を制
御する制御装置7とを有している。
トIgが摺動自在に載置されるテーブル34aと、石英
ガラスインゴットIgをテーブル34a上で水平X軸方
向に移動させる押圧板34bと、この押圧板34bを連
結子34c、螺合部34dを介して押圧するスクリュー
シャフト34eと、このスクリューシャフト34eを回
動させるサーボモータ34fとを有している。
置32とCCDセンサ33の光軸上に撮像用透孔34g
が穿設されている。
トの異物検出装置31を用いた石英ガラスインゴットI
gの検出方法を説明する。
4bに密着させて石英ガラスインゴットIgをテーブル
34aに、長手方向を水平にして載置する。次に制御装
置7の命令によりサーボモータ34fを駆動させてスク
リューシャフト34eを回転させ、螺合部34d、連結
子34cを介して押圧板34bで石英ガラスインゴット
Igを押圧し、石英ガラスインゴットIgの最先端部
位、例えば切断されるフォトマスク材hの1枚目に相当
する部位h1に位置させる。しかる後、制御装置7によ
りレーザ光発振装置32を作動させてレーザ光Lを発振
させ、さらにCCDセンサ33により部位h1の撮像を
開始する。撮像開始に伴い、制御装置7の命令によりサ
ーボモータ34fを駆動させてスクリューシャフト34
eを回転させ、押圧板34bにより所定の速度で石英ガ
ラスインゴットIgをテーブル34aで移動させ、一
方、撮像用透孔34gを通過する部位hをレーザ光Lで
照射してCCDセンサ33で撮像する。このCCDセン
サ33による撮像工程において、CCDセンサ33から
の画像信号は画像処理装置5により画像処理されて出力
され、画像処理装置5の記憶部に記憶されると共にディ
スプレイ6、制御装置7に出力される。図8は画像処理
された出力を示すもので、泡や金属粉などの異物mが存
在すると出力レベルが増大して、石英ガラスインゴット
Igのどの部位hに異物mが存在するか明確に把握でき
る。
態と同様に異物情報を活用して、切断工程の無駄なく石
英ガラスインゴットIgからフォトマスクfの切出しを
行う。
ットIgを移動させながらレーザ光Lを照射して、撮像
するので、迅速な異物検出が可能である。
の異物検出装置について説明する。
インゴットの異物検出装置1と同一部分には、同一符号
を付して説明する。
体インゴットの異物検出装置41は、石英ガラスインゴ
ットIgにレーザ光を照射するレーザ光発振装置32
と、赤外線撮像装置、例えば赤外線撮像カメラ42と、
この赤外線撮像カメラ42により撮像される石英ガラス
インゴットIgの撮像位置およびレーザ光により照射さ
れる石英ガラスインゴットIgの照射位置を移動させる
移動手段43と、画像処理装置5と、この画像処理装置
5からの異物情報を出力するディスプレイ6と、レーザ
光発振装置32、赤外線撮像カメラ42および画像処理
装置5を制御する制御装置7とを有している。
トIgを固定したテーブル43aが摺動自在に載置され
るX軸テーブル43bと、テーブル43aを水平X方向
に移動させるスクリューシャフト43cと、このスクリ
ューシャフト43cを回動させるサーボモータ43dと
を有している。
トの異物検出装置41を用いた石英ガラスインゴットI
gの異物検出方法を説明する。
しているテーブル43aに石英ガラスインゴットIgを
載置する。次に制御装置7の命令によりサーボモータ4
3dを駆動させてスクリューシャフト43cを回転さ
せ、石英ガラスインゴットIgを移動させ、石英ガラス
インゴットIgの最先端部位、例えば切断されるフォト
マスク材の1枚目に相当する部位i1に赤外線撮像カメ
ラ42の焦点およびレーザ光Lの照射位置を合わせる。
しかる後、制御装置7によりレーザ光発振装置32を作
動させてレーザ光Lを発振させ、さらに赤外線撮像カメ
ラ42により部位i1の撮像を開始する。撮像開始に伴
い、制御装置7の命令によりサーボモータ43dを駆動
させてスクリューシャフト43cを回転させ、テーブル
43aに載置された石英ガラスインゴットIgを所定の
速度で移動させながら、レーザ光Lで照射して赤外線撮
像カメラ42で石英ガラスインゴットIgの全体に亘っ
て撮像する。この赤外線撮像カメラ42による撮像工程
において、赤外線撮像カメラ42からの画像信号は画像
処理装置5により画像処理されて出力され、画像処理装
置5の記憶部に記憶されると共にディスプレイ6、制御
装置7に出力される。
ので、泡や金属粉などの異物が存在しない状態を示すも
のであり、図11は異物mが存在する場合の出力画像を
示し、異物mがレーザ光Lにより加熱されて異物mの中
心が最も濃く放射状に色が薄くなる。なお、図12光学
式の画像取込みの出力画像を示す。
態と同様に異物情報を活用して、切断工程の無駄がなく
石英ガラスインゴットIgからフォトマスクの切出しを
行う。
物mの周囲にも影響を及ぼすため、異物mの大きさより
も大きく画像として表示されるので、異物mの大きさそ
のものを画像として取込む図12に示すような光学式画
像認識よりも、異物mの発見が容易である。
の異物検出装置について説明する。
インゴットの異物検出装置1と同一部分には、同一符号
を付して説明する。
英ガラスインゴットの異物検出装置51は、石英ガラス
インゴットIgにレーザ光Lを照射するレーザ光発振装
置32と、赤外線撮像装置、例えば赤外線撮像カメラ4
2と、この赤外線撮像カメラ42により撮像される石英
ガラスインゴットIgの撮像位置およびレーザ光Lによ
り照射される石英ガラスインゴットIgの照射位置を移
動させる移動手段23と、画像処理装置5と、この画像
処理装置5からの異物情報を出力するディスプレイ6
と、レーザ光発振装置32、赤外線撮像カメラ42およ
び画像処理装置5を制御する制御装置7とを有してい
る。
2の実施形態の移動手段と同様の構造を有し、テーブル
23aと、X軸テーブル23bと、スクリューシャフト
23cと、サーボモータ23dと、Y軸テーブル23e
と、スクリューシャフト23hと、サーボモータ23i
と、Z軸テーブル23fと、スクリューシャフト23g
と、サーボモータ(図示せず)とを有して、テーブル2
3aを3次元に動かせるようになっている。
トの異物検出装置51を用いた石英ガラスインゴットI
gの検出方法を説明する。
最後退位置、Y軸の中間位置およびZ軸の最下位に位置
するテーブル23aに石英ガラスインゴットIgを載置
する。次に赤外線撮像カメラ42の焦点およびレーザ光
Lの照射位置を石英ガラスインゴットIgのフォトマス
ク材の1枚目に相当する部位f1 の最上位置、中央部、
例えば撮像部位j(1、k、1)に合わせる。制御装置
7によりサーボモータを作動させてスクリューシャフト
を回転させて、X軸テーブル23bと共にテーブル23
aをY軸方向に後退させ、石英ガラスインゴットIgの
第1撮像層の1行目1列目の撮像部位j(1、1、1)
の中心部に赤外線撮像カメラ42の焦点を合わせる。
メラ42を制御して、赤外線撮像カメラ42で撮像部位
j(1、1、1)を撮像する。撮像された撮像部位j
(1、1、1)の画像信号は画像処理装置5により画像
処理されて出力され、画像処理装置5の記憶部に記憶さ
れると共にディスプレイ6、制御装置7に出力される。
この工程において、撮像部位j(1、1、1)に異物が
存在しない場合には、ディスプレイ6は何らの表示もさ
れず、一方、制御装置7は画像処理装置5からの出力に
よりサーボモータ23iを駆動させることによりスクリ
ューシャフト23hを回動させて、テーブル23aをY
軸方向に移動させ、撮像部位j(1、2、1)に赤外線
撮像カメラ42の焦点を合わせ、撮像部位j(1、1、
1)の撮像と同様に撮像部位j(1、2、1)の撮像を
行い、撮像された撮像部位j(1、2、1)の画像信号
は画像処理装置5により画像処理されて出力され、画像
処理装置5の記憶部に記憶されると共にディスプレイ
6、制御装置7に出力される。この工程において、撮像
部位j(1、2、1)に異物mが存在する場合には、画
像処理装置5から異物情報としてディスプレイ6に出力
として、異物mの存在位置、大きさ、数量および材質が
表示されると共に記憶部にも異物情報が記憶される。
から判明する撮像部位j(k、k、k)として表示さ
れ、異物mの大きさは赤外線撮像カメラ42と撮像部位
j(k、k、k)の距離およびセルと異物の画素数の比
から演算されて求められ、異物mの数量は大きさが演算
された個数をカウントして求められ、材質は熱分布によ
って求められる材質の比熱と予め求められ記憶されてい
る材質の比熱を比較することにより求められる。
程を繰返し、撮像部位j(1、n、n)の撮像が完了し
たら、制御装置7によりサーボモータ23dを作動させ
てスクリューシャフト23cを回転させ、Y軸、Z軸方
向の位置を保ったまま、X軸テーブル23bと共にテー
ブル23aをX軸方向に前進させ、石英ガラスインゴッ
トIgのフォトマスク材の2枚目に相当する部位の撮像
部位j(2、n、n)の中心部を赤外線撮像カメラ42
の焦点を合わせる。上述したX=1の部位(フォトマス
ク材の1枚目に相当する部位)とは、逆の順序で各セル
の撮像を行い、撮像部位j(n、n、n)まで撮像した
ら異物検出は完了する。
ては、異物mの存在位置、大きさ、数量および材質を図
15に示すようにが表示することができる。また、検出
された異物mは石英ガラスインゴットIgの立体図上で
は、図4(c)のように表示することもできる。
として、異物の存在量、異物の大きさ、異物の材質によ
ってセルの色分け表示を行うことで、より容易に石英ガ
ラスインゴットIg内の異物の存在位置、存在量、材質
を判別することができて、石英ガラスインゴットIg内
の異物mを避けてフォトマスク材を生産性よく切出すこ
とができる。
体インゴットの異物検出装置によれば、透明体インゴッ
トに存在する異物を確実に検出することができる。
よれば、透明体インゴットから透明体の切出しを無駄な
く生産性よく行うことができる。
移動させるようにすれば、直方体の透明体インゴットの
異物を容易に検出できる。
載置台とすれば、1次元撮像装置を用いても、直方体の
透明体インゴットの異物を容易に検出できる。
にCCDセンサを用いれば、確実かつ効率的に透明体の
異物を検出できる。
段にCCDセンサを用いれば確実かつ効率的に透明体の
異物を検出できる。
れば、透明体の移動装置を簡単にしても、直方体の透明
体インゴットの異物を容易かつ確実に検出できる。
段に赤外線撮像装置を用いれば、異物の位置、大きさの
みならず、異物の材質まで知ることができる。
れば、透明体の移動装置を簡単にしても、異物の位置、
大きさのみならず、異物の材質まで知ることができる。
が存在する部位を避けて透明体の切出しを行うことがで
きて、透明体製造の生産性を上げることができる。
が存在する部位を避けて透明体の切出しを行うことがで
きると共に、異物の混入工程を見付け出すのに便利であ
る。
であり、透明体がフォトマスク材である場合には、特に
微細な異物の存在も許されないフォトマスク材の製造の
生産性を上げることができる。
置の第1の実施形態の説明図。
置の第1の実施形態に用いられる画像処理・制御装置の
説明図。
切断装置の説明図。
明図。
置と切断装置の説明図。
置の第2の実施形態の説明図。
置の第3の実施形態の説明図。
置の第3の実施形態により検出された異物の部位を示す
説明図。
置の第4の実施形態の説明図。
装置の第4の実施形態による出力図。
装置の第4の実施形態により検出された異物の出力図。
図。
装置の第5の実施形態の説明図。
装置の第5の実施形態の撮像順序を示す説明図。
装置の第5の実施形態により検出された異物の状態を示
す説明図。
切出す状態を示す説明図。
Claims (14)
- 【請求項1】 複数枚の透明体に切断される透明体イン
ゴットに検査光を照射する検査光発生手段と、透明体イ
ンゴットを撮像する撮像手段と、この撮像手段により撮
像される透明体インゴットの撮像位置を移動させる移動
手段と、前記撮像手段により撮像された透明体インゴッ
トに存在する異物の異物画像信号を受け、この異物画像
信号を異物情報にする画像処理手段と、この画像処理手
段で求めた異物情報を出力する出力手段と、前記検査光
発生手段、撮像手段、移動手段および画像処理手段を制
御する制御手段とを有することを特徴とする透明体イン
ゴットの異物検出装置。 - 【請求項2】 上記移動手段は撮像手段により撮像され
る透明体インゴットの撮像位置および検査光により照射
される透明体インゴットの照射位置を移動させることを
特徴とする請求項1記載の透明体インゴットの異物検出
装置。 - 【請求項3】 上記移動手段は透明体インゴットを移動
させる移動装置であることを特徴とする請求項2記載の
透明体インゴットの異物検出装置。 - 【請求項4】 上記移動装置は1次元ないし3次元に移
動されることを特徴とする請求項3に記載の透明体イン
ゴットの異物検出装置。 - 【請求項5】 上記検査光発生手段は蛍光灯であり、撮
像手段はCCDセンサであることを特徴とする請求項1
ないし4のいずれか1項に記載の透明体インゴットの異
物検出装置。 - 【請求項6】 上記検査光発生手段はレーザ光発振装置
であり、撮像手段はCCDセンサであることを特徴とす
る請求項1ないし4のいずれか1項に記載の透明体イン
ゴットの異物検出装置。 - 【請求項7】 上記CCDセンサは2次元CCDセンサ
であることを特徴とする請求項5または6に記載の透明
体インゴットの異物検出装置。 - 【請求項8】 上記検査光発生手段はレーザ光発振装置
であり、撮像手段は赤外線撮像装置であることを特徴と
する請求項1ないし4のいずれか1項に記載の透明体イ
ンゴットの異物検出装置。 - 【請求項9】 上記赤外線撮像装置は赤外線撮像カメラ
であることを特徴とする請求項8記載の透明体インゴッ
トの異物検出装置。 - 【請求項10】 上記異物情報は異物の位置情報である
ことを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに1項に
記載の透明体インゴットの異物検出装置。 - 【請求項11】 上記異物情報は異物の種類情報である
ことを特徴とする請求項3または8または9に記載の透
明体インゴットの異物検出装置。 - 【請求項12】 上記透明体インゴットは石英ガラスイ
ンゴットであり、透明体はフォトマスク材であることを
特徴とする請求項1ないし11のいずれか1項に記載の
透明体インゴットの異物検出装置。 - 【請求項13】 複数枚の透明体に切断される被検出透
明体インゴットを用意して、この透明体インゴットに検
査光を照射し、撮像位置を移動させながら透明体インゴ
ット全体を撮像して透明体インゴットに存在する異物を
撮像し、撮像された透明体インゴット中の異物の画像信
号を受け、この画像信号を異物情報にし、異物情報を出
力し、この出力された異物情報に基づき異物が存在する
部位を除外するように透明体インゴットから透明体を切
出すことを特徴とする透明体の製造方法。 - 【請求項14】 上記透明体インゴットは石英ガラスイ
ンゴットであり、透明体はフォトマスク材であることを
特徴とする請求項13に記載の透明体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP37100198A JP4176221B2 (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 透明体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP37100198A JP4176221B2 (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 透明体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000193598A true JP2000193598A (ja) | 2000-07-14 |
JP4176221B2 JP4176221B2 (ja) | 2008-11-05 |
Family
ID=18497968
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP37100198A Expired - Fee Related JP4176221B2 (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 透明体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4176221B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007041312A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Hoya Corp | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、露光用マスクの製造方法、及び欠陥検査装置 |
WO2010058759A1 (ja) * | 2008-11-20 | 2010-05-27 | 旭硝子株式会社 | 透明体検査装置 |
-
1998
- 1998-12-25 JP JP37100198A patent/JP4176221B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007041312A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Hoya Corp | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、露光用マスクの製造方法、及び欠陥検査装置 |
JP4688150B2 (ja) * | 2005-08-03 | 2011-05-25 | Hoya株式会社 | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、露光用マスクの製造方法、及び欠陥検査装置 |
WO2010058759A1 (ja) * | 2008-11-20 | 2010-05-27 | 旭硝子株式会社 | 透明体検査装置 |
US8648905B2 (en) | 2008-11-20 | 2014-02-11 | Asahi Glass Company, Limited | Transparent body inspecting device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4176221B2 (ja) | 2008-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6669594B2 (ja) | ウエーハ生成方法 | |
JP5733954B2 (ja) | 光デバイスウエーハの分割方法 | |
CN1799752A (zh) | 激光加工装置 | |
JP5398332B2 (ja) | 半導体ウェーハの製造方法及びその装置 | |
TW201904702A (zh) | 雷射加工裝置以及雷射加工方法 | |
JP2010500617A (ja) | 動的走査を行う自動式顕微鏡および方法 | |
JP2014181912A (ja) | 形状測定装置 | |
JP7285636B2 (ja) | 板状物の加工方法 | |
JP2005049221A (ja) | 検査装置および検査方法 | |
CN110116280B (zh) | 非破坏检测方法 | |
JP5902490B2 (ja) | レーザー光線のスポット形状検出方法およびスポット形状検出装置 | |
CN209969856U (zh) | 一种新型激光开封机 | |
JP7358107B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP4176221B2 (ja) | 透明体の製造方法 | |
CN115165894A (zh) | 一种激光增材制造在线检测方法 | |
JP2000074644A (ja) | 棒状切削工具の測定装置並びに該測定装置を使用したドリルの測定方法 | |
JP2005061872A (ja) | 特定高分子結晶の評価装置 | |
JP6698440B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2009121900A (ja) | 寸法測定装置、及びワーク製造方法 | |
KR102671826B1 (ko) | 검사 장치, 판상물 제조장치, 검사 방법, 판상물 제조방법 | |
JP7083654B2 (ja) | 分割予定ラインの検出方法 | |
JP6224462B2 (ja) | レーザー加工装置における加工送り機構の作動特性検出方法およびレーザー加工装置 | |
CN115900561A (zh) | 一种钣金检测装置及检测方法 | |
JP2007198761A (ja) | 欠陥検出方法および装置 | |
JP2001027613A (ja) | 透明体インゴットの異物検出装置およびこれを用いた透明体の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050909 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070711 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080212 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080520 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080716 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080819 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080820 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110829 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110829 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120829 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120829 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130829 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |