JP2000193556A - 波長分散測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 波長分散測定装置において、被測定物の光路
長に関わらず、干渉法とほぼ同等の波長分散測定精度を
確保する。 【解決手段】 波長が既知の光源１と、光源１の出力光
を２分岐する光分岐器４Ａと、光分岐器４Ａの一方の出
力光の波長を所定量変化する波長シフタ３Ａと、光分岐
器４Ａの他方の出力光と波長シフタ３Ａの出力光を合波
して被測定物（ＤＵＴ）２に入力する光合波器５Ａと、
被測定物２からの出力光を２分岐する光分岐器４Ｂと、
光分岐器４Ｂの一方の出力光の波長を所定量変化する波
長シフタ３Ｂと、光分岐器４Ｂの他方の出力光と波長シ
フタ３Ｂの出力光を合波する光合波器５Ｂと、光合波器
５Ｂの出力光を入力し干渉光強度を測定する干渉光強度
測定部６と、波長シフタ３Ａ、３Ｂによる波長変化量と
光源１の出力波長を制御すると共に前記干渉光強度から
被測定物２の波長分散値を演算する制御演算処理部７
と、を備えた波長分散測定装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光ファイバを含
む光学素子の波長分散測定装置に関し、特に光通信分野
に用いられる波長分散測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】波長分散は光通信の信号波形劣化につな
がるので、光通信の高速化、波長多重化が進む中で、波
長分散の低減、あるいはその管理上、波長分散測定の重
要度が増してきている。波長分散は、物質中を伝搬する
光の速度が、波長により異なる現象である。波長分散を
表すにはいろいろ方法があるが、光通信では、主に光フ
ァイバ線路の波長分散を問題にするので、光ファイバ単
位長さ当たりの、単位波長当たりの光信号遅延時間で表
し、単位は[ps/nm/km]が一般的である。しかし、本発明
の測定対象物は光ファイバ以外にも考えられるので、以
下、波長分散は単位波長当たりの光信号遅延時間で表
す。

【０００３】一般に、長さＬ、屈折率ｎの媒質中を光が
伝搬するのに要する時間τは、次の（１）式となる。 τ＝ｎＬ／ｃ …（１） ここで、ｃは真空中の光速（約３×１０⁸m）で、ｎＬは
光路長である。屈折率ｎが波長により変化するので、伝
搬時間τは波長の関数である。波長は真空中の波長を意
味し、以下同じ意味で使用する。波長分散Ｄは、伝搬時
間τを波長λで微分したもので、（２）式で与えられ
る。 Ｄ＝ｄτ／ｄλ …（２） 単位は上述のように、伝搬時間τがps、波長λがnmで、
波長分散Ｄはps/nmである。

【０００４】従来の波長分散の主な測定方法には、干渉
法と、位相差法がある。各々、光周波数ｃ／λと変調周
波数ｆ_m を用いた遅延時間測定である。その測定精度
は、各周波数に依存し、光周波数を使用する干渉法のほ
うが高い。例えば、光通信に用いる光は約２００THz の
光周波数なので、位相差法の変調周波数を２GHz とすれ
ば、その精度比はおよそ１０⁵ となる。以下、２つの測
定方法による波長分散測定について説明する。

【０００５】まず、干渉法について、図１０を用いて説
明する。図１０は、従来技術の干渉法による波長分散測
定装置の構成例を示すブロック図である。光源１からの
出力光はハーフミラー５２Ａで透過光と反射光に２分岐
され、透過光は、光ファイバなどの被測定物（以下、被
測定物をＤＵＴという）２を通過し、ハーフミラー５２
Ｂで透過光と反射光に２分岐される。一方、ハーフミラ
ー５２Ａで反射した光は、空間を伝搬してミラー５３
Ａ、５３Ｂで反射され、ハーフミラー５２Ｂで透過光と
反射光に２分岐される。ＤＵＴ２を通過し、ハーフミラ
ー５２Ｂを透過した光は受光部５１に入射する。一方、
ミラー５３Ｂで反射され、ハーフミラー５２Ｂを透過し
た光はミラー５３Ｃで反射され、さらにハーフミラー５
２Ｂで反射された後、受光部５１へ入射する。受光部５
１は、この２光路を経た２つの光の干渉光強度を検出す
る。ここで、受光部５１での２つの光強度は共にＰ₀ で
あると仮定し、さらに、その位相差がφであるとすれ
ば、干渉光強度Ｐは良く知られているように、（３）式
で表される。 Ｐ／Ｐ₀＝２（１＋γ×ｃｏｓφ） …（３） ここで、γは可干渉性を示す係数で、その値は光源出力
光の可干渉度によるが、２経路の光路差が零の場合は１
で、２経路の光路差が長くなるほど零に近づく。その様
子の一例を図１１に示す。図１１において、横軸は光路
差に相当する位相差で、縦軸は干渉光強度である。可干
渉度が低い場合の例で、γは位相が２周期程度でほぼ零
になり、干渉がなくなり、光強度は一定値２Ｐ₀にな
る。

【０００６】この性質を利用して、波長によるＤＵＴ２
の光路長変化量を測定できる。ＤＵＴ２の屈折率をｎ、
長さをＬとする。まず、波長λ₁ において、ミラー５３
Ｃを移動させながら干渉光強度を測定し、γ＝１となる
位置を探す。続いて、波長λ₂ において、同様にミラー
５３Ｃを移動させてγ＝１となる位置を探す。この時の
ミラー５３Ｃの位置が、波長λ₁の時に比べて、ａ増加
したとすると、ＤＵＴ２の光路長ｎＬの変化量Δ（ｎ
Ｌ）は、 Δ（ｎＬ）＝２ａ …（４） となる。よって、遅延時間Δτは、前述の（１）式よ
り、 Δτ＝Δ（ｎＬ）／ｃ＝２ａ／ｃ …（５） となり、波長分散Ｄは、前述の（２）式より、 Ｄ＝２ａ／｛ｃ（λ₂−λ₁）｝ …（６） となる。

【０００７】ここで、ミラー５３Ｃの位置変化ａが、波
長オーダーすなわちμm 程度で測定でき、ｃは約３×１
０⁸mなので、測定波長差をλ₂−λ₁＝１nmとすると、
０．０１ps/nm オーダーの波長分散測定が可能である。
ただし、γ＝１となるミラー５３Ｃの位置を探すという
ことは、空間伝搬距離とＤＵＴ２の光路長がほぼ等しく
なるように設定する必要があり、測定できるＤＵＴ２の
光路長には制限がある。

【０００８】このように長さには制約があるが、ＤＵＴ
２の波長分散を精密に測定できる干渉法に対して、次に
示す位相差法は、測定精度では干渉法に劣るが、長さの
制約がないに等しく、通常、長尺光ファイバの波長分散
は、この位相差法によって測定されている。

【０００９】位相差法について、図１２を用いて説明す
る。図１２において、光源１から出力される波長λ₁ の
光は、光強度変調器６１で正弦波の強度変調をうけ、Ｄ
ＵＴ２へ入射される。強度変調周波数ｆ_mは、信号源６
２から供給される。ＤＵＴ２からの出力光は、受光部６
３で光電気変換され、位相測定部６４に入力される。位
相測定部６４は、ＤＵＴ２を経由してきた受光部出力信
号と、信号源６２から直接出力される信号との位相差φ
（λ₁）を測定する。この位相差は、ＤＵＴ２での位相
φ_DUT（λ₁）以外に、途中経路の波長に依存しない定数
項φ₀ を含み、（７）式で表される。 φ（λ₁）＝φ₀ ＋φ_DUT（λ₁） …（７） 光源１の出力波長を、波長λ₂ に変更して、再度位相差
を測定すれば、 φ（λ₂）＝φ₀ ＋φ_DUT（λ₂） …（８） となる。ここで、ＤＵＴ２内の伝搬時間τは、φ
_DUT（λ）を用いて（９）式で表される。 τ＝φ_DUT（λ）／（２πｆ_m） …（９） 以上の（７）式、（８）式、（９）式より、波長差λ₂
−λ₁ による遅延時間Δτは、以下の式で表される。 Δτ＝｛φ_DUT（λ₂）−φ_DUT（λ₁）｝／（２πｆ_m） …（１０） よって、波長分散は、前述の（２）式より、以下に示す
ようになる。 Ｄ＝｛φ_DUT（λ₂）−φ_DUT（λ₁）｝／（２πｆ_m）／（λ₂−λ₁） …（１１）

【００１０】次に、位相差の測定について、図１３で詳
しく説明する。図１３は、信号源と、上記２つの波長に
対して、正弦波信号強度を縦軸方向にずらして図示し、
各位相の関係を説明したものである。各正弦波の周期は
等しく、周波数はｆ_m である。２π以上離れた位相関係
は、２πの整数倍分が評価できず誤差となるので、図１
３のφ1とφ2は、正確には前述の（７）式や（８）式に
一致しない。ただし、この場合でも、波長の変化λ₂−
λ₁による位相の変化が２πより小さい場合は、図１３
のΔτ＝φ1−φ2が正確な値となる。このため、位相差
法による波長分散測定装置では、φ_DUT（λ₂）−φ_DUT
（λ₁）＜２πの条件で測定が行われる。位相差法によ
る波長分散の測定精度は、位相差が２π／１００程度で
測定でき、測定波長差をλ₂−λ₁＝１nmとし、ｆ_m＝１G
Hzとすると、１０ps/nm オーダーの波長分散測定が可能
であるが、上述の干渉法と比較して、精度は劣る。しか
し、強度変調の位相を測定しているので、ＤＵＴ２の長
さに関する制約はない。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ところで、光通信に要
求される伝送容量は年々増加し、光通信の高速化と、波
長多重通信が様々検討されている。そんな中で、伝送容
量拡大の制約条件の１つが波長分散であり、零分散化あ
るいは分散補償、分散制御といった検討、研究が盛んで
ある。これに伴い、波長分散測定に要求される精度も高
くなっており、長尺光ファイバにおいても干渉法なみの
精度要求がある。しかし、上述のように高精度に測定で
きる干渉法には光路長に制限があり、長尺光ファイバの
測定は難しい。一方、位相差法は光路長の制限はない
が、測定精度が不足するという課題がある。

【００１２】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、被測定物の光路長に関わらず、
干渉法とほぼ同等の波長分散測定精度を確保できる波長
分散測定装置を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決すべく
請求項１記載の発明は、波長分散測定装置において、波
長が既知である光源と、前記光源の出力光を入力し、２
分岐して出力する第一の光分岐器と、前記第一の光分岐
器の一方の出力光を入力し、波長を所定量変化して出力
する第一の波長シフタと、前記第一の光分岐器の他方の
出力光と前記第一の波長シフタの出力光を合波して被測
定物に入力する第一の光合波器と、前記被測定物を通過
した前記第一の光合波器の出力光を入力し、２分岐して
出力する第二の光分岐器と、前記第二の光分岐器の一方
の出力光を入力し、波長を所定量変化して出力する第二
の波長シフタと、前記第二の光分岐器の他方の出力光と
前記第二の波長シフタの出力光を合波して出力する第二
の光合波器と、前記第二の光合波器の出力光を入力し干
渉光強度を測定する干渉光強度測定部と、前記第一の波
長シフタ及び前記第二の波長シフタによる波長変化量と
前記光源の出力波長を制御すると共に、前記干渉光強度
測定部により測定された前記干渉光強度から前記被測定
物の波長分散値を演算する制御演算処理部と、を備えた
構成とした。

【００１４】請求項１記載の発明によれば、光源の出力
光は、第一の光分岐器、第一の波長シフタ及び第一の光
合波器によって２波長に分けられ、被測定物を通過した
後、一方の波長の光の少なくとも一部が、第二の光分岐
器、第二の波長シフタ及び第二の光合波器によって、も
う一方の波長の光と同一波長になるように波長変化され
てから干渉光強度測定部に入力される。即ち、干渉光強
度測定部では、異なる波長で被測定物を通過した光の干
渉を測定することができ、また、第一の波長シフタ及び
第二の波長シフタによる波長変化量や光源の出力波長を
制御演算処理部が制御することによって、被測定物を異
なる波長で通過して干渉光強度測定部で干渉する光の組
合せを適宜変化させることが可能であるため、複数種類
の光の組合せについて干渉光強度を得ることができ、そ
れら干渉光強度から被測定物の波長分散値を演算するこ
とができる。つまり、異なる波長で被測定物を通過した
光の干渉を測定することによって、被測定物の波長分散
値を導き出すため、被測定物の光路長に関わらず、干渉
法とほぼ同等の波長分散測定精度を確保できる。

【００１５】具体的に、例えば、第一の波長シフタによ
る波長変化量をΔλとし、第二の波長シフタによる波長
変化量を−Δλとすれば、同一の光源から出力された光
を、異なる波長で被測定物を通過させた後、干渉光強度
測定部で干渉させることが可能である。

【００１６】請求項２記載の発明は、波長分散測定装置
において、波長が既知である光源と、前記光源の出力光
を入力し、２分岐して出力する第一の光分岐器と、前記
第一の光分岐器の一方の出力光を入力し、波長を所定量
変化して出力する第一の波長シフタと、前記第一の光分
岐器の他方の出力光を入力し、波長を所定量変化して出
力する第二の波長シフタと、前記第一の波長シフタの出
力光と前記第二の波長シフタの出力光を合波して被測定
物に入力する第一の光合波器と、前記被測定物を通過し
た前記第一の光合波器の出力光を入力し、２分岐して出
力する第二の光分岐器と、前記第二の光分岐器の一方の
出力光を入力し、波長を所定量変化して出力する第三の
波長シフタと、前記第二の光分岐器の他方の出力光を入
力し、波長を所定量変化して出力する第四の波長シフタ
と、前記第三の波長シフタの出力光と前記第四の波長シ
フタの出力光を合波して出力する第二の光合波器と、前
記第二の光合波器の出力光を入力し干渉光強度を測定す
る干渉光強度測定部と、前記第一の波長シフタ、前記第
二の波長シフタ、前記第三の波長シフタ及び前記第四の
波長シフタによる波長変化量と前記光源の出力波長を制
御すると共に、前記干渉光強度測定部により測定された
前記干渉光強度から前記被測定物の波長分散値を演算す
る制御演算処理部と、を備えた構成とした。

【００１７】請求項２記載の発明によれば、光源の出力
光は、第一の光分岐器、第一の波長シフタ、第二の波長
シフタ及び第一の光合波器によって２波長に分けられ、
被測定物を通過した後、一方の波長の光の少なくとも一
部が、第二の光分岐器、第三の波長シフタ、第四の波長
シフタ及び第二の光合波器によって、もう一方の波長の
光と同一波長になるように波長変化されてから干渉光強
度測定部に入力される。即ち、干渉光強度測定部では、
異なる波長で被測定物を通過した光の干渉を測定するこ
とができ、また、各波長シフタによる波長変化量や光源
の出力波長を制御演算処理部が制御することによって、
被測定物を異なる波長で通過して干渉光強度測定部で干
渉する光の組合せを適宜変化させることが可能であるた
め、複数種類の光の組合せについて干渉光強度を得るこ
とができ、それら干渉光強度から被測定物の波長分散値
を演算することができる。つまり、異なる波長で被測定
物を通過した光の干渉を測定することによって、被測定
物の波長分散値を導き出すため、被測定物の光路長に関
わらず、干渉法とほぼ同等の波長分散測定精度を確保で
きる。

【００１８】具体的に、例えば、第一の波長シフタ及び
第三の波長シフタによる波長変化量をΔλとし、第二の
波長シフタ第四の波長シフタによる波長変化量を−Δλ
とすれば、同一の光源から出力された光を、異なる波長
で被測定物を通過させた後、干渉光強度測定部で干渉さ
せることが可能である。

【００１９】請求項３記載の発明は、波長分散測定装置
において、波長が既知である光源と、前記光源の出力光
を入力し、複数の波長を生成して被測定物に入力する多
波長発生器と、前記被測定物を通過した前記多波長発生
器の出力光を入力し、２分岐して出力する光分岐器と、
前記光分岐器の一方の出力光を入力し、波長を所定量変
化して出力する波長シフタと、前記光分岐器の他方の出
力光と前記波長シフタの出力光を合波して出力する光合
波器と、前記光合波器の出力光を入力し、特定の波長の
光を選択して出力する光フィルタと、前記光フィルタの
出力光を入力し干渉光強度を測定する干渉光強度測定部
と、前記光源の出力波長、前記多波長発生器の生成する
波長、前記波長シフタによる波長変化量、及び前記光フ
ィルタによる選択波長を制御すると共に、前記干渉光強
度測定部により測定された前記干渉光強度から前記被測
定物の波長分散値を演算する制御演算処理部と、を備え
た構成とした。

【００２０】請求項３記載の発明によれば、光源の出力
光は、多波長発生器によって複数の波長に分けられ、被
測定物を通過した後、所定波長の光の少なくとも一部
が、光分岐器、波長シフタ及び光合波器によって、前記
所定波長以外の波長の光（特定の波長の光を含む。）と
同一波長になるように波長変化され、その後、光フィル
タにより選択された特定の波長の光のみが干渉光強度測
定部に入力される。即ち、干渉光強度測定部では、異な
る波長で被測定物を通過し光フィルタによって波長選択
された光の干渉を測定することができ、また、波長シフ
タによる波長変化量、光源の出力波長、多波長発生器の
生成する波長、及び光フィルタによる選択波長を制御演
算処理部が制御することによって、被測定物を異なる波
長で通過して干渉光強度測定部で干渉する光の組合せを
適宜変化させることが可能であるため、複数種類の光の
組合せについて干渉光強度を得ることができ、それら干
渉光強度から被測定物の波長分散値を演算することがで
きる。つまり、異なる波長で被測定物を通過した光の干
渉を光フィルタで選択して測定することによって、被測
定物の波長分散値を導き出すため、被測定物の光路長に
関わらず、干渉法とほぼ同等の波長分散測定精度を確保
できる。

【００２１】具体的に、例えば、多波長発生器により生
成される光の波長をλ＋ｎΔλ（ｎは整数）、波長シフ
タによる波長変化量をΔλ、光フィルタの選択波長をλ
＋ｋΔλ（ｋは特定の整数）とすれば、同一の光源から
出力された光を、異なる波長で被測定物を通過させ、そ
の後、特定の波長の光のみを、光フィルタを透過させて
干渉光強度測定部で干渉させることが可能である。

【００２２】請求項４記載の発明は、請求項１〜３の何
れかに記載の波長分散測定装置において、前記干渉光強
度測定部で測定する干渉光の一方の光経路に、光路長を
調整可能な光ディレイラインを挿入した構成とした。

【００２３】請求項４記載の発明によれば、干渉光強度
測定部で測定する干渉光の一方の光経路に、光路長を調
整可能な光ディレイラインを挿入したため、異なる波長
で被測定物を通過して干渉光強度測定部で干渉する光の
光路長差を測定することが可能になる。従って、被測定
物の光路長に関わらず、干渉法とほぼ同等の波長分散測
定精度を確保できる。

【００２４】請求項５記載の発明は、請求項１〜４の何
れかに記載の波長分散測定装置において、前記制御演算
処理部が、演算した前記被測定物の前記波長分散値を用
いて特定の波長分散式の係数を求める構成とした。

【００２５】請求項５記載の発明によれば、制御演算処
理部が、演算した被測定物の波長分散値を用いて特定の
波長分散式の係数を求めるため、干渉法とほぼ同等の波
長分散測定精度の波長分散式を得ることができる。

【００２６】具体的に、特定の波長分散式としては、例
えば、屈折率に関するセルマイヤー式の近似式（ｎ
（λ）＝Ａλ² ＋Ｂ＋Ｃλ^-2、ｎ（λ）＝Ａλ⁴ ＋Ｂλ
² ＋Ｃ＋Ｅ^-2＋Ｆλ^-4）や、単純な２次方程式（ｎ
（λ）＝Ａλ² ＋Ｂλ＋Ｃ）などが挙げられる。

【００２７】請求項６記載の発明は、請求項１〜５の何
れかに記載の波長分散測定装置において、前記光源が、
波長可変光源であり、前記制御演算処理部が、波長計を
備えて、該波長計の計測値に基づき前記波長可変光源の
波長を制御する構成とした。

【００２８】請求項６記載の発明によれば、光源が波長
可変光源であり、該波長可変光源の波長を波長計の計測
値に基づき制御演算処理部が制御するため、測定波長の
波長確度を高めて、波長分散値の測定精度を向上させる
ことができる。

【００２９】請求項７記載の発明は、請求項１〜６の何
れかに記載の波長分散測定装置において、前記波長シフ
タが、音響光学素子である構成とした。

【００３０】請求項７記載の発明によれば、波長シフタ
が音響光学素子であるため、波長シフタによる波長変化
の精度を高めて、波長分散値の測定精度を向上させるこ
とができる。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図１〜図９の図面を参照しながら説明する。

【００３２】［第１の実施の形態］図１は、本発明を適
用した第１の実施の形態としての波長分散測定装置の構
成を示すブロック図である。なお、波長の変化を追いか
けるために、光を記号ａ_y ，ａ_yzで表す。ＤＵＴ２（被
測定物）に入射するまでは記号ａ_y で、ＤＵＴ２から出
射後はａ_yzで表す。添え字のｙとｚは、それぞれ、光源
１から出射された波長λの光がＤＵＴ２に入射するまで
にｙΔλ波長シフトして、ＤＵＴ２から出射後受光する
までにｚΔλ波長シフトしたことを示す。即ち、光ａ_yz
と記せば、ＤＵＴ２から出射後の位置にあり、その波長
は、添え字より、λ＋（ｙ＋ｚ）Δλであることがわか
る。

【００３３】光源１から出射された波長λの光ａ₀ は、
光分岐器（第一の光分岐器）４Ａで２分岐され、一方は
波長シフタ（第一の波長シフタ）３Ａに入射される。波
長シフタ３Ａは波長シフト量Δλをλに加えたλ＋Δλ
の波長の光ａ₁ を出射する。２分岐されたもう一方の光
ａ₀ と、波長シフタ３Ａの出射光ａ₁ は光合波器（第一
の光合波器）５Ａで合波され、ＤＵＴ２に入力される。
光源１を同じくする２波長の光ａ₀ とａ₁ はＤＵＴ２を
通過後、光分岐器（第二の光分岐器）４Ｂで２分岐さ
れ、一方は波長シフタ（第二の波長シフタ）３Ｂに入射
される。波長シフタ３Ｂは波長シフト量−Δλを各光の
波長λとλ＋Δλに加えた、λ−Δλの波長の光ａ_0-1
とλの波長の光ａ_1-1 を出射する。光分岐器４Ｂで２分
岐されたもう一方は、波長シフトされないので、光ａ₀₀
とａ₁₀と表すが、波長シフタ３Ｂの出射光ａ_0-1 とａ
_1-1 と、光合波器５Ｂ（第二の光合波器）で合波され、
干渉光強度測定部６に入射する。

【００３４】干渉光強度測定部６に入射する４種類の光
ａ_0-1 とａ_1-1 とａ₀₀とａ₁₀は、添え字からもわかるよ
うに、３種類の波長λ−Δλ、λ、λ＋Δλである。干
渉光強度測定部６では、異なる波長の光は、その差周波
数でのビート信号が観測され、同じ波長の光ａ_1-1 とａ
₀₀が干渉する。干渉光強度測定部６は、ローパスフィル
タの効果を有する受光部である。Δλや２Δλに相当す
る差周波数のビートは遮断され、波長λ−Δλとλ＋Δ
λの光強度と、波長λの干渉光強度のみが測定される。

【００３５】制御演算処理部７は、干渉光強度測定部６
から出力された波長λの干渉光強度より、位相φ（λ）
を測定する。制御演算処理部７が光源１の波長や、波長
シフト量を適宜変化させて、位相測定を行い、得られた
位相から後述の演算処理により、波長分散を求める。

【００３６】波長分散の演算方法の説明の前に、図２及
び図３を用いて、光源１から出射される光の波長シフト
の様子を詳しく説明する。図２は上述の条件での波長シ
フトを説明する図である。図２において、横軸は測定光
の装置内位置として、各構成要素を並べたもので、縦軸
は波長である。光源１の出射光ａ₀ は、Δλシフトの波
長シフタ３Ａのところでａ₁ とａ₀ の２波長に分かれ
る。２波長でＤＵＴ２を通過した光は、−Δλシフトの
波長シフタ３Ｂのところで、各波長が各々２波長に分か
れるため、４光（ａ₁₀、ａ_1-1 、ａ₀₀、ａ_0-1 ）、３波
長（λ＋Δλ、λ、λ−Δλ）になる。そして、干渉光
強度測定部６において、同一波長λになる２光ａ_1-1 と
ａ₀₀が干渉する。

【００３７】図３は、波長シフトの絶対値を、図２の２
倍の２Δλにした場合の、波長分散測定装置における測
定光の波長変化を説明する図である。図３において、光
源１の出射光ａ₀ は、図２と同様に波長シフトしてゆ
く。この場合も、干渉するのは波長λであるが、図２で
はＤＵＴ２中の波長差がΔλであったのに対して、図３
では２Δλに変わっていることが特徴である。

【００３８】次に、波長分散の演算方法について説明す
る。まず、図２の条件で測定される位相φ_0,1 （λ）
は、波長λとλ＋Δλの２光に対するＤＵＴ２の光路長
ｎＬの変化量に相当する値であるから、以下の式で表さ
れる。ただし、位相φ_0,1 （λ）の添え字は、２光の波
長λからの波長シフト量を意味している。 φ_0,1（λ）＝２π｛ｎ（λ）−ｎ（λ＋Δλ）｝Ｌ／λ …（１２） 同様に、図３の条件から測定される位相は以下の式とな
る。 φ_0,2（λ）＝２π｛ｎ（λ）−ｎ（λ＋２Δλ）｝Ｌ／λ …（１３） 従来例の図１３で説明したように、位相測定においては
２πの整数倍の誤差が見込まれる。ここで、（１２）
式、（１３）式は共に波長λでの干渉光の位相なので、
その差をとると、 φ_0,1 （λ）−φ_0,2 （λ）＝２π｛ｎ（λ＋２Δλ）−ｎ（λ＋Δλ）｝Ｌ ／λ …（１４） となる。Δλの設定は、この位相差に２πの整数倍の誤
差が出ないように選ばれる。さらに、前述した（１）式
より、屈折率の変化を伝達遅延時間差で置き換えると、 φ_0,1（λ）−φ_0,2（λ）＝２πｃΔτ（λ＋１．５Δλ）／λ …（１５） となる。Δτ（λ＋１．５Δλ）はτが測定波長λ＋
１．５Δλの関数という意味である。よって、λ＋１．
５Δλの関数として、波長分散は以下の式となる。 Ｄ（λ＋１．５Δλ）＝Δτ（λ＋１．５Δλ）／Δλ ＝｛φ_0,1（λ）−φ_0,2（λ）｝λ／（２πｃΔλ） …（１６） ここで、（１６）式を前述の（６）式と比較すれば、
｛φ_0,1（λ）−φ_0,2（λ）｝λ／（２π）が従来例の
干渉法での光路差２ａに相当する。

【００３９】以上のように、第１の実施の形態の波長分
散測定装置によれば、異なる波長でＤＵＴ２を通過した
光の干渉を測定することによって、ＤＵＴ２の波長分散
値を導き出すため、ＤＵＴ２の光路長に関わらず、干渉
法とほぼ同等の波長分散測定精度を確保できる。なお、
入力レベル変動による誤差をなくすために入力レベルで
規格化したり、偏光状態による干渉レベル変動の影響を
除くために偏光状態を調整したり、光強度の均等化のた
めの減衰器を備えたりすることは、光強度測定の精度を
上げるために通常用いられる手段であり、もちろん、本
実施の形態に追加してよいが、これらの説明については
省略する。以下の各実施の形態においても同様とする。

【００４０】［第２の実施の形態］次に、本発明の第２
の実施の形態について、図４を参照して説明する。図４
は、本発明を適用した第２の実施の形態としての波長分
散測定装置の構成を示すブロック図である。この第２の
実施の形態特有の部分以外は、前述の第１の実施の形態
におけると同様である。第２の実施の形態において、第
１の実施の形態と同一部分には同一符号を付し、その説
明を省略する。

【００４１】前述の第１の実施の形態では、光分岐器４
Ａ、４Ｂにより２分岐された光路の一方にのみ波長シフ
タが挿入されていたが、この第２の実施の形態では、２
分岐された光路の両方に波長シフタが挿入されている。
すべての波長シフタ１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｄは
制御演算処理部７により制御されている。

【００４２】先ず、光源１から出射される光の波長シフ
トの様子を図５及び図６を用いて説明する。図５は、Ｄ
ＵＴ２入射側の２つの波長シフタ（第一の波長シフタ）
１３Ａ、波長シフタ（第二の波長シフタ）１３Ｂの波長
シフト量が−ΔλとΔλで、ＤＵＴ２出射側の２つの波
長シフタ（第三の波長シフタ）１３Ｃ、波長シフタ（第
四の波長シフタ）１３Ｄの波長シフト量が−ΔλとΔλ
である場合の波長シフトを説明する図である。図５にお
いて、横軸は測定光の装置内位置として、各構成要素を
並べたもので、縦軸は波長である。光源１の出射光ａ₀
は、ＤＵＴ２入射側の２つの波長シフタ１３Ａ、１３Ｂ
でａ₁ とａ_-1の２波長に分かれる。２波長でＤＵＴ２を
通過した光は、ＤＵＴ２出射側の２つの波長シフタ１３
Ｃ、１３Ｄで、各波長が各々２波長に分かれるため、図
５に示すように、４光（ａ₁₁、ａ_1-1 、ａ_-11 、
ａ_-1-1）、３波長（λ＋２Δλ、λ、λ−２Δλ）にな
る。そして、干渉光強度測定部６において、同一波長λ
の２光ａ_1-1 とａ_-11 が干渉する。

【００４３】図６は、ＤＵＴ２入射側の一方の波長シフ
タの波長シフト量を２Δλとし、ＤＵＴ２出射側の一方
の波長シフタの波長シフト量を−２Δλとした場合の、
波長分散測定装置における測定光の波長変化を説明する
図である。図６において、光源１の出射光ａ₀ は、図５
と同様に波長シフトしてゆく。この場合も、干渉するの
は波長λであるが、図５ではＤＵＴ中の波長差が２Δλ
であったのに対して、３Δλに変わっていることが特徴
である。

【００４４】波長分散の演算方法は、前述の第１の実施
の形態と同様である。まず、図５の条件で測定される位
相φ_-1,1（λ）は、波長λ−Δλとλ＋Δλの２光に対
するＤＵＴ２の光路長ｎＬの変化量に相当する値である
から、以下の式で表される。 φ_-1,1（λ）＝２π｛ｎ（λ−Δλ）−ｎ（λ＋Δλ）｝Ｌ／λ …（１７） 同様に、図６の条件から測定される位相は以下の式とな
る。 φ_-1,2（λ）＝２π｛ｎ（λ−Δλ）−ｎ（λ＋２Δλ）｝Ｌ／λ…（１８） （１７）式、（１８）式は共に波長λでの干渉光の位相
なので、その差をとると、 φ_-1,1（λ）−φ_-1,2（λ）＝２π｛ｎ（λ＋２Δλ）−ｎ（λ＋Δλ）｝Ｌ ／λ …（１９） となる。Δλの設定は、この位相差に２πの整数倍の誤
差が出ないように選ばれる。さらに、前述の（１）式よ
り、屈折率の変化を伝達遅延時間差で置き換えると、 φ_-1,1（λ）−φ_-1,2（λ）＝２πｃΔτ（λ＋１．５Δλ）／λ…（２０） となる。よって波長分散は以下の式となる。 Ｄ（λ＋１．５Δλ）＝Δτ（λ＋１．５Δλ）／Δλ ＝｛φ_-1,1（λ）−φ_-1,2（λ）｝λ／（２πｃΔλ） …（２１）

【００４５】以上のように、第２の実施の形態の波長分
散測定装置によれば、波長シフタ１３Ａ、１３Ｂ、１３
Ｃ、１３Ｄの波長シフト量を適当に選択し、異なる波長
でＤＵＴ２を通過した光の干渉を測定することによっ
て、ＤＵＴ２の波長分散値を導き出すため、ＤＵＴ２の
光路長に関わらず、干渉法とほぼ同等の波長分散測定精
度を確保できる。なお、波長シフト量の設定は、上述の
例に限らず、ＤＵＴ２中を通過する時の２光の一方の波
長が基準となり得て、干渉時の波長が同一であれば、他
の組み合わせであってもかまわない。

【００４６】［第３の実施の形態］次に、本発明の第３
の実施の形態について、図７を参照して説明する。図７
は、本発明を適用した第３の実施の形態としての波長分
散測定装置の構成を示すブロック図である。

【００４７】光源１から出射された波長λの光ａ₀は、
多波長発生器２１に入射される。多波長発生器２１は、
入射光の波長λに対して、等波長間隔Δλの複数の波長
の光を生成する。なお、等波長間隔を実現するのは困難
であり、通常は、等周波数間隔の光発生器が用いられる
が、説明上は支障ないので、以下、等波長間隔として続
ける。多波長発生器２１は、波長シフタの直列、並列構
成で実現したり、光周波数コム発生器を用いたりする方
法が考えられる。

【００４８】多波長発生器２１から出射された等波長間
隔Δλの複数の光はＤＵＴ２に入射する。等波長間隔Δ
λの複数の光はＤＵＴ２を通過後、光分岐器２４により
２分岐され、一方は波長シフタ２３に入射される。波長
シフタ２３は波長シフト量Δλを等波長間隔Δλの複数
の光の波長に加え出射する。光分岐器２４の他方の出力
光は、波長シフトされないで、波長シフタ２３の出射光
と光合波器２４により合波され、光フィルタ２２に入射
する。光フィルタ２２に入射した複数の光は、フィルタ
リングされ、波長λ＋ｋΔλ（ｋは整数）の光のみが選
択され、干渉光強度測定部２６に入射される。そして、
干渉光強度測定部２６では、波長λ＋ｋΔλの光のみが
測定される。

【００４９】制御演算処理部２７は、干渉光強度測定部
２６から出力された、波長λ＋ｋΔλの光の干渉光強度
より、位相φ（λ＋ｋΔλ）を測定する。制御演算処理
部２７は、光フィルタ２２を制御して選択波長のｋの値
を変えて、位相測定し、さらに、光源１の波長や、波長
シフト量、多波長発生器２１で生成する波長を適宜変化
させて、位相測定を繰り返し、得られた位相から演算処
理により、波長分散を求める。

【００５０】波長分散の演算方法は、前述の第１の実施
の形態、第２の実施の形態で説明した手順に準じればよ
く、ここでは省略するが、図８により、多波長発生器２
１により３波長が発生される場合の、光源１から出射さ
れる光の波長シフトの様子を、一例として説明する。

【００５１】図８は、波長分散測定装置における測定光
の波長変化を説明する図である。まず、光源１の出射光
ａ₀ は、多波長発生器２１でａ₁ とａ₀ とａ_-1の３波長
に分かれる。３波長でＤＵＴ２を通過した光は、光分岐
器２４で２分岐され、一方は波長シフタ２３でａ₁₁とａ
₀₁とａ_-11 の３波長になる。２分岐のもう一方のａ₁₀と
ａ₀₀とａ_-10 と、波長シフタ２３の出射光は、光合波器
２５で合波され光フィルタ２２に入射する。

【００５２】光フィルタ２２に入射する光のうち、ａ₁₀
とａ₀₁は波長λ＋Δλの干渉光で、ａ₀₀とａ_-11 は波長
λの干渉光である。光フィルタ２２の選択波長をλとす
れば、干渉光強度測定部２６で、同一波長λの２光ａ₀₀
とａ_-11 が干渉光として受光される。続いて、光フィル
タ２２の選択波長をλ＋Δλとすれば、もう一方の干渉
光を測定できる。

【００５３】以上のように、第３の実施の形態の波長分
散測定装置によれば、多波長発生器２１の発生波長範囲
内では、光源１の波長を変更することなく、波長分散を
測定できる。また、異なる波長でＤＵＴ２を通過した光
の干渉を光フィルタ２２で選択して測定することによっ
て、ＤＵＴ２の波長分散値を導き出すため、ＤＵＴ２の
光路長に関わらず、干渉法とほぼ同等の波長分散測定精
度を確保できる。

【００５４】［第４の実施の形態］次に、本発明の第４
の実施の形態について、図９を参照して説明する。図９
は、本発明を適用した第４の実施の形態としての波長分
散測定装置の構成を示すブロック図である。この実施の
形態の波長分散測定装置は、前述の第１の実施の形態の
波長分散測定装置（図１）に、光ディレイライン３１を
追加した構成となっている。この第４の実施の形態特有
の部分以外は、前述の第１の実施の形態におけると同様
である。第４の実施の形態において、第１の実施の形態
と同一部分には同一符号を付し、その説明を省略する。

【００５５】干渉光強度測定部６では、前述の第１の実
施の形態において示した原理に従い、波長λの干渉光の
位相φ_0,1 （λ）が測定される。この時、光分岐器４Ｂ
で２分岐された光路の、波長シフタ３Ｂの挿入されてい
ない側に設けられた光ディレイライン３１を調整して、
ＤＵＴ２中の２光ａ₀ とａ₁ の光路差が零になるように
調整する。

【００５６】波長分散の求め方の手順は、従来技術の干
渉法に準じる。即ち、前述の図１０のミラー５３Ｃに相
当する光路長調整部が、この実施の形態では光ディレイ
ライン３１である。まず、前述の図２の条件にして、γ
＝１となるように光ディレイライン３１を調整する。こ
のとき、ＤＵＴ２を伝搬する波長λとλ＋Δλの光路長
差分が補正される。続いて、前述の図３の条件にして、
γ＝１となるように光ディレイライン３１を調整する。
このとき、ＤＵＴ２を伝搬する波長λとλ＋２Δλの光
路長差分が補正される。この間の、光ディレイライン３
１の光路長変化量を２ａとすると、２回の測定におい
て、波長λの光路長は等しいので、前述の（２）式より Ｄ（λ＋１．５Δλ）＝２ａ／（ｃΔλ） …（２２） となる。従来技術の干渉法では空間伝搬光の光路長を基
準に測定したが、この実施の形態では、波長λのＤＵＴ
２の光路長を基準に測定している。このため、ＤＵＴ２
の光路長に制約はない。

【００５７】なお、光ディレイライン３１により、ＤＵ
Ｔ２を伝搬する２波長のどちらかの光路長を調整できれ
ばよいので、図９の位置に限らず、光ディレイライン３
１は波長シフタ３Ｂと直列に挿入しても、ＤＵＴ２の入
射側の２分岐光路上に設けてもかまわない。また、この
第４の実施の形態では、前述の第１の実施の形態の波長
分散測定装置に光ディレイライン３１を追加する構成で
説明したが、第２の実施の形態の波長分散測定装置や、
第３の実施の形態の波長分散測定装置に適用することも
可能である。

【００５８】［第５の実施の形態］次に、本発明の第５
の実施の形態について、図１を参照して説明する。この
実施の形態では、制御演算処理部７が、波長分散値を用
いて特定の波長分散式の係数を求めるように構成されて
いる。

【００５９】即ち、まず、前述の第１の実施の形態で示
したように、波長分散値を求める。制御演算処理部７
は、測定により求めた波長分散値を用いて、あらかじめ
準備しておいた波長の関数としての分散の式の各係数を
求めて、その式を分散値として表示する。このように波
長分散式を求めることで、異なるＤＵＴ２間の波長分散
の差違を、具体的に数値で示すことができる。

【００６０】波長分散の式としては、屈折率に関するセ
ルマイヤー式の近似式、例えば、 ｎ（λ）＝Ａλ² ＋Ｂ＋Ｃλ^-2 …（２３） ｎ（λ）＝Ａλ⁴ ＋Ｂλ² ＋Ｃ＋Ｅ^-2＋Ｆλ^-4 …（２４） などや、単純な２次方程式、 ｎ（λ）＝Ａλ² ＋Ｂλ＋Ｃ …（２５） などを、ＤＵＴ２に合わせて適宜選択すればよい。ここ
で、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｅ，Ｆは波長に依らない係数である。
屈折率から波長分散への変換は、前述の（１）式及び
（２）式を用いる。また、上述のような近似式を用いれ
ば、分散の微分値の式も得られるので、各実施の形態に
おける、波長シフタの組み合わせ方やその波長シフト量
の自由度は増加する。例えば、前述の図２と図３におい
て、ＤＵＴ２中の２波長の一方は必ず一致している必要
があったが、近似式があれば、必ずしも一致していなく
ても、多数の測定結果より、係数を決定することが可能
である。なお、この実施の形態では、第１の実施の形態
の波長分散測定装置により説明したが、第２〜第４の各
実施の形態の波長分散測定装置により求めた波長分散値
を用いて上記波長分散式の係数を計算できることは言う
までもない。

【００６１】［第６の実施の形態］次に、本発明の第６
の実施の形態について、図１を参照して説明する。この
実施の形態では、光源１として、一定の波長ステップで
出力波長を可変できる波長可変光源が用いられ、制御演
算処理部７には、設定波長を測定可能な波長計が設けら
れた構成となっている。即ち、この第６の実施の形態の
波長分散測定装置によれば、波長計による測定値に基づ
き、制御演算処理部７が波長可変光源の出力波長を正確
に制御することで、λの波長確度を高めて、波長分散値
の計算確度を向上させることができる。なお、この実施
の形態では、第１の実施の形態の波長分散測定装置を例
にとって説明したが、これに限られるものではなく、第
２〜第５の各実施の形態の波長分散測定装置についても
同様に適用することが可能である。

【００６２】［第７の実施の形態］次に、本発明の第７
の実施の形態について、図１を参照して説明する。この
実施の形態では、波長シフタ３Ａ、３Ｂとして音響光学
素子が用いられた構成となっている。音響光学素子は、
１次あるいは−１次の回折光を利用した波長シフタであ
り、前述の図２、図３に示した波長シフトが実現でき
る。即ち、この第７の実施の形態の波長分散測定装置に
よれば、波長シフタに音響光学素子を用いることによっ
て、高精度な波長分散測定が可能になる。なお、この実
施の形態では、第１の実施の形態の波長分散測定装置の
波長シフタ３Ａ、３Ｂを例にとって説明したが、これに
限られるものではなく、第２〜第６の各実施の形態の波
長分散測定装置の各波長シフタを音響光学素子により構
成することも可能である。

【００６３】

【発明の効果】本発明に係る波長分散測定装置によれ
ば、異なる波長で被測定物を通過した光の干渉を測定す
ることによって、被測定物の波長分散値を導き出すた
め、被測定物の光路長に関わらず、干渉法とほぼ同等の
波長分散測定精度を確保できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した第１の実施の形態としての波
長分散測定装置の構成を示すブロック図である。

【図２】図１の波長分散測定装置における測定光の波長
変化を説明する図で、波長シフタ３Ａによる波長変化量
がΔλ、波長シフタ３Ｂによる波長変化量が−Δλ、で
ある場合を示している。

【図３】図１の波長分散測定装置における測定光の波長
変化を説明する図で、波長シフタ３Ａによる波長変化量
が２Δλ、波長シフタ３Ｂによる波長変化量が−２Δ
λ、である場合を示している。

【図４】本発明を適用した第２の実施の形態としての波
長分散測定装置の構成を示すブロック図である。

【図５】図４の波長分散測定装置における測定光の波長
変化を説明する図で、波長シフタ１３Ａ、１３Ｃによる
波長変化量が−Δλ、波長シフタ１３Ｂ、１３Ｄによる
波長変化量がΔλ、である場合を示している。

【図６】図４の波長分散測定装置における測定光の波長
変化を説明する図で、波長シフタ１３Ａによる波長変化
量が−Δλ、波長シフタ１３Ｂによる波長変化量が２Δ
λ、波長シフタ１３Ｃによる波長変化量が−２Δλ、波
長シフタ１３Ｄによる波長変化量がΔλ、である場合を
示している。

【図７】本発明を適用した第３の実施の形態としての波
長分散測定装置の構成を示すブロック図である。

【図８】図７の波長分散測定装置における測定光の波長
変化を説明する図で、多波長発生器により３波長が発生
される場合を示している。

【図９】本発明を適用した第４の実施の形態としての波
長分散測定装置の構成を示すブロック図である。

【図１０】従来技術の干渉法による波長分散測定装置の
構成例を示すブロック図である。

【図１１】可干渉性の低い光の位相差零付近の干渉光強
度を示す図である。

【図１２】従来技術の位相差法による波長分散測定装置
の構成例を示すブロック図である。

【図１３】図１２の波長分散測定装置で行われる位相差
測定を説明する図である。

【符号の説明】

１ 光源 ２ 被測定物 ３Ａ 波長シフタ（第一の波長シフタ） ３Ｂ 波長シフタ（第二の波長シフタ） ４Ａ 光分岐器（第一の光分岐器） ４Ｂ 光分岐器（第二の光分岐器） ５Ａ 光合波器（第一の光合波器） ５Ｂ 光合波器（第二の光合波器） ６、２６ 干渉光強度測定部 ７、２７ 制御演算処理部 １３Ａ 波長シフタ（第一の波長シフタ） １３Ｂ 波長シフタ（第二の波長シフタ） １３Ｃ 波長シフタ（第三の波長シフタ） １３Ｄ 波長シフタ（第四の波長シフタ） ２１ 多波長発生器 ２２ 光フィルタ ２３ 波長シフタ ２４ 光分岐器 ２５ 光合波器 ３１ 光ディレイライン

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】波長が既知である光源と、 前記光源の出力光を入力し、２分岐して出力する第一の
   光分岐器と、 前記第一の光分岐器の一方の出力光を入力し、波長を所
   定量変化して出力する第一の波長シフタと、 前記第一の光分岐器の他方の出力光と前記第一の波長シ
   フタの出力光を合波して被測定物に入力する第一の光合
   波器と、 前記被測定物を通過した前記第一の光合波器の出力光を
   入力し、２分岐して出力する第二の光分岐器と、 前記第二の光分岐器の一方の出力光を入力し、波長を所
   定量変化して出力する第二の波長シフタと、 前記第二の光分岐器の他方の出力光と前記第二の波長シ
   フタの出力光を合波して出力する第二の光合波器と、 前記第二の光合波器の出力光を入力し干渉光強度を測定
   する干渉光強度測定部と、 前記第一の波長シフタ及び前記第二の波長シフタによる
   波長変化量と前記光源の出力波長を制御すると共に、前
   記干渉光強度測定部により測定された前記干渉光強度か
   ら前記被測定物の波長分散値を演算する制御演算処理部
   と、 を備えたことを特徴とする波長分散測定装置。
2. 【請求項２】波長が既知である光源と、 前記光源の出力光を入力し、２分岐して出力する第一の
   光分岐器と、 前記第一の光分岐器の一方の出力光を入力し、波長を所
   定量変化して出力する第一の波長シフタと、 前記第一の光分岐器の他方の出力光を入力し、波長を所
   定量変化して出力する第二の波長シフタと、 前記第一の波長シフタの出力光と前記第二の波長シフタ
   の出力光を合波して被測定物に入力する第一の光合波器
   と、 前記被測定物を通過した前記第一の光合波器の出力光を
   入力し、２分岐して出力する第二の光分岐器と、 前記第二の光分岐器の一方の出力光を入力し、波長を所
   定量変化して出力する第三の波長シフタと、 前記第二の光分岐器の他方の出力光を入力し、波長を所
   定量変化して出力する第四の波長シフタと、 前記第三の波長シフタの出力光と前記第四の波長シフタ
   の出力光を合波して出力する第二の光合波器と、 前記第二の光合波器の出力光を入力し干渉光強度を測定
   する干渉光強度測定部と、 前記第一の波長シフタ、前記第二の波長シフタ、前記第
   三の波長シフタ及び前記第四の波長シフタによる波長変
   化量と前記光源の出力波長を制御すると共に、前記干渉
   光強度測定部により測定された前記干渉光強度から前記
   被測定物の波長分散値を演算する制御演算処理部と、 を備えたことを特徴とする波長分散測定装置。
3. 【請求項３】波長が既知である光源と、 前記光源の出力光を入力し、複数の波長を生成して被測
   定物に入力する多波長発生器と、 前記被測定物を通過した前記多波長発生器の出力光を入
   力し、２分岐して出力する光分岐器と、 前記光分岐器の一方の出力光を入力し、波長を所定量変
   化して出力する波長シフタと、 前記光分岐器の他方の出力光と前記波長シフタの出力光
   を合波して出力する光合波器と、 前記光合波器の出力光を入力し、特定の波長の光を選択
   して出力する光フィルタと、 前記光フィルタの出力光を入力し干渉光強度を測定する
   干渉光強度測定部と、 前記光源の出力波長、前記多波長発生器の生成する波
   長、前記波長シフタによる波長変化量、及び前記光フィ
   ルタによる選択波長を制御すると共に、前記干渉光強度
   測定部により測定された前記干渉光強度から前記被測定
   物の波長分散値を演算する制御演算処理部と、 を備えたことを特徴とする波長分散測定装置。
4. 【請求項４】前記干渉光強度測定部で測定する干渉光の
   一方の光経路に、光路長を調整可能な光ディレイライン
   を挿入したことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記
   載の波長分散測定装置。
5. 【請求項５】前記制御演算処理部は、演算した前記被測
   定物の前記波長分散値を用いて特定の波長分散式の係数
   を求めることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載
   の波長分散測定装置。
6. 【請求項６】前記光源は、波長可変光源であり、 前記制御演算処理部は、波長計を備えて、該波長計の計
   測値に基づき前記波長可変光源の波長を制御することを
   特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の波長分散測定
   装置。
7. 【請求項７】前記波長シフタは、音響光学素子であるこ
   とを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の波長分散
   測定装置。