JP2000151002A - ガス放電レ―ザの性能制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザ混合ガスの状態とその経年変化又は劣
化の度合いを決定するための効率的で感度の良い方法を
提供する。 【解決手段】 電源によって放電チェンバの放電回路に
印加される駆動電圧といった入力パラメータに対する、
出力光線エネルギといった出力パラメータの最適な混合
ガスに対応するマスタデータセットが、一般に工場での
新規補充の後、生成される。別の時、次の始動手順の間
に混合ガスの現在の状態に対応する出力及び入力パラメ
ータの現在データセットが生成される（Ｓ４）。現在状
態データセットは、次いで、マスタデータセットと比較
され（Ｓ５）、現在の状態とマスタデータセットとの間
のずれが見いだされる（Ｓ６）。その後、フォローアッ
プ手続がプロセッサによって自動的に上記比較に基づい
て実行される（Ｓ９）。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス放電レーザの
放電チャンバ内のレーザ混合ガスの状態を決定するため
の方法（及びシステム）に関し、特に、印加された駆動
放電電圧又は他の調整可能な入力パラメータに対する出
力レーザ光線のパラメータを測定して、測定されたデー
タをマスタセット又は蓄積データのセットと比較してレ
ーザ混合ガスの状態及び／又は電気的、機械的、若しく
は光学的な問題がシステム内に存在するかどうかを決定
するための方法（及びシステム）に関する。

【０００２】

【従来の技術】ガス放電レーザ、例えば、エキシマ或い
は分子レーザは、多くの産業利用のための貴重なツール
として良く知られている。特にエレクトロニクスとフォ
トリソグラフィ処理を含む多くの分野におけるエキシマ
レーザの適用に関し、長期の継続時間に亘る精密な制御
と多くのレーザパラメータの同時の安定化を有すること
が非常に要望されている。レーザの「稼働時間」量、或
いはレーザが稼働中にあって産業利用に使用されている
時間は、稼働コストを議論する際に鍵となる変数であ
る。効率的かつ同時に、種々なレーザパラメータを継続
的に調整し、敏感に制御し、そして効率的に安定化せる
ことが可能であることが望まれる。

【０００３】ガス放電のタイプと質は、出力パワー、エ
ネルギ安定度、効率性、帯域幅、長軸及び短軸の光線輪
郭、時間及び空間のパルス幅と光線発散やコヒーレンス
（干渉性）のような、多くの重要なレーザパラメータに
影響を与える。ガス放電の質は、放電チェンバの混合ガ
スの組成、使用される予備電離の質、放電回路の特性
と、使用される電極の外形などの因子に依存する。詳細
についてはＲ．Ｓ．テイラー氏の応用物理学誌Ｂ４１巻
ＰＰ．１−２４（１９８６）の論文を参照されたい。混
合ガスの分解と汚染、ガス交換システムの設計（例え
ば、流速）も達成可能なレーザパラメータの限界を強く
決定する。電極の間の速いガス交換は、速い送風機ガス
循環を含むレーザ放電チャンバ設計を使用することによ
って実現されることがある。低温静電装置と技術が追加
的なガス精製に使用されてよい。詳細についてはドイツ
国特許第３２１２９２８号を参照されたい。

【０００４】種々なガス放電レーザのための最適な混合
ガスは一般に知られている。Ｆ₂ ：Ｋｒ：Ｎｅが０．
１：１．０：９８．９の割合になっていることは、例え
ばＫｒＦ−エキシマーレーザにとって十分に最適であ
り、Ｆ₂ ：Ｎｅが０．１：９９．９の割合になっている
ことはＦ₂ −エキシマレーザにとって十分に最適である
と思われている。図１は、Ｆ₂ 濃度に対するレーザ出力
パワーをプロットしたものであり、最適なＦ₂ 濃度が実
際に何であるかを決定する方法を表している。時間が経
過し、レーザが稼働するにつれ、混合ガスが継続的に劣
化又は「経年変化する」結果、金属ダストとの化学反応
を経てＦ₂ が希釈し、Ｆ₂ が消費される。この点に関し
て、本譲受人に譲渡されたビッテンソン氏の米国特許第
４，９７７，５７３号を参照されたい。ある量の時間の
後、ある数のパルスの後、又はガス劣化を補償してとり
わけ一定の出力エネルギを維持させるための放電電圧の
変化といったように、ある量だけパラメータが変化した
後、ガスの元々の分配を可能な限り近く、十分に回復さ
せ、レーザパラメータを最適化するために、ハロゲン注
入（ＨＩ（halogen injection））といった補充又はあ
る量のガス混合物の部分的なガス置換（ＰＲＧ）又はガ
ス混合物を全体的に新たに補充することが実行される。

【０００５】また、レーザ混合ガスの寿命を長くするこ
とが可能であることが望まれる。レーザガスが分解する
につれレーザ混合物が最適状態から変化することに付随
する問題によって、レーザ出力性能が著しく減少し、処
理エラーや、過度のレーザ操業停止時間が発生する。

【０００６】質量分析計が混合ガスの組成の精度分析の
ために使用されてよい。詳細については、ベッドウェル
氏の米国特許第５，０９０，０２０号を参照されたい。
しかしながら、エキシマレーザや分子レーザシステムを
継続的に稼働させるには、質量分析計は望ましくないほ
ど大きくかつ高価な装置部品である。レーザ混合ガスの
状態をモニタする他の方法としては、レーザ放出のスペ
クトル幅又は帯域幅を測定すること（ミゾグチ氏らの米
国特許第５，４５０，４３６号参照）、レーザ放出の光
線輪郭を測定すること（ワカバヤシ氏の米国特許第５，
６４２，３７４号参照）、そして放電幅又は出力光線の
時間的なパルス幅といった他の特性を測定することが含
まれ、ただしそこでは混合ガスの状態の粗評価がなされ
てよい。詳細については、サンドストロム氏の米国特許
第５，４４０，５７８を参照されたい。レーザ混合ガス
の経年変化を測定するもう一つの技術は、放電チェンバ
を最新の新規補充（the most recent new fill）のとき
からのレーザパルスの総数を計数することである。詳細
については、ダス氏の米国特許第５，６４６，９５４号
を参照されたい。

【０００７】出力光線エネルギ或いは有効性がモニター
され、最適なエネルギに出力光線を維持するステップが
実行される、多くの技術が知られている。ホチュリ氏の
米国特許第３、８９９，７５０号、ヨシダ氏らの米国特
許第４，４２９，３９２号、そしてビッテンソン氏らの
米国特許第４，９７７，５７３号を参照されたい。希ガ
スとハロゲンガスの濃度も、化学反応の複雑な系列を使
用して混合ガス濃度を決定し、使い果たされたガスを補
充することによって維持されてきた。これについてはハ
クタ氏らの米国特許第４，７４０，９８２号を参照され
たい。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】レーザ混合ガスの状態
を決定するために測定かつモニタされる上記パラメータ
は、それぞれ、例えば安定化した出力エネルギ、繰り返
し率（repetition rate）などの、混合ガス状態以外の
他のパラメータに依存する。それらはレーザシステムの
一般的に周知な振る舞いと、放電チェンバ内の混合ガス
の経年変化に関する一般的な経験に基づいている。分析
に影響を与える他のパラメータの変化なしに混合ガスを
モニタするための技術を持つことは望ましい。放電チャ
ンバ、光学機器と放電回路の特性などが、より大きな完
全性と精度を実現するために混合ガス状態をモニタする
手続において考慮されることも望ましい。

【０００９】そこで、本発明の目的は、混合ガスの状態
とその経年変化又は劣化の度合いを決定するための効率
的かつ感度が良い方法及びシステムを提供することにあ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、本発明の方法及びシステムにおいては、内部のコ
ンピュータ制御システムが、好ましくは特定のチェック
サブルーチンの間に放電チャンバ内のレーザ混合ガスの
状態を決定する。例えばパルスエネルギ、帯域幅、長軸
又は短軸の光線輪郭、エネルギ安定度、エネルギ効率、
増幅された自然放出（ＡＳＥ（amplified spontaneous
emission））、放電幅、光線発散、光線コヒーレンス、
空間的パルス幅若しくは時間的パルス幅、などの出力光
線パラメータが、例えば駆動電圧などの入力パラメータ
に対して、内部制御システムによって測定され、記憶さ
れる。測定されたデータは、次いで、混合ガスによる放
電チェンバの新規補充(new fill)後といった最適な混合
ガス状態が存在するときに測定されたマスタ分布（マス
タプロファル(master profile）)又はマスタデータセッ
トと比較される。好ましくは、複数のマスタデータセッ
トは混合ガス状態から独立したレーザの異なった作動状
態にそれぞれ対応するものとして測定される。

【００１１】システム内において、例えば、出力パルス
エネルギ、帯域幅、長軸又は短軸の光線輪郭、エネルギ
安定度、エネルギ効率、増幅された自然放出（ＡＳ
Ｅ）、放電幅、光線発散、光線コヒーレンス、空間のパ
ルス幅或いは時間のパルス幅、光線コヒーレンス、空間
的パルス幅又は時間的なパルス幅などの、測定可能な少
なくとも一つの特性パラメータを持つ出力光線を生成
し、そして混合ガスを含む放電チェンバを備えるガスレ
ーザシステムの混合ガスの状態を決定するための方法が
提供される。ただし、放電チェンバ内では、エネルギが
電源により放電回路の電極に駆動放電電圧を印加させる
ことによって混合ガスに供給される。稼働状態に依存す
る最適な混合ガスを好ましくは含む特定の稼働状態を有
するレーザに対して、出力光線パラメータのマスター分
布或いはマスタデータセットが駆動電圧のような入力パ
ラメータに対して測定される。このマスタデータセット
は、後の時間においてガス混合物の状態を測定すること
が望まれるレーザの制御システムのメモリに記憶され
る。別の時に、好ましくは始動手順の間といったチェッ
クサブルーチンの間に、マスタデータセット内の測定さ
れた入力パラメータに対するマスタデータセット内の測
定された出力光線パラメータの現在状態データセットが
ガス放電レーザに対して測定される。現在の状態データ
セットは、次いで、マスタデータセットと比較され、数
値及び／又は微分値について、例えばデータセットによ
って定義された曲線に沿ったデータポイントにおける勾
配又は積分値について、ずれが注目される。

【００１２】マスタ状態データと現在の状態データの間
の例えば値や勾配の小さなずれは、一般に、レーザ混合
ガスが経年変化したこと、或いは混合ガスのＦ₂ 濃度が
幾分使い尽くされていることを示すであろう。大きなず
れは、新規補充が必要であること、又は重大な機械的、
電気的、若しくは光学的なハードウェアの問題がシステ
ムに存在していることを示す場合がある。フォローアッ
プ手続（follow-up procedure）が、その後、マスタ状
態データセットと現在のデータ状態データセットとの間
にずれが存在するか否かや、どのようなタイプのずれが
存在するかに応じて実行される。

【００１３】現在データセットが新規補充後に測定され
てよく、そのデータセットは前の新規補充後に得られた
マスタデータセットと比較される。ずれが新規補充後の
マスタデータセットと現在データセットの間に存在する
と、さもなければ稼働状態が変化していないと仮定すれ
ば、ガス混合物の経年変化がまだ生じていないときにハ
ードウェアの問題が疑われる。

【００１４】好ましい実施態様では、異なったガス混合
物状態及び／又はレーザの稼働状態に対応する一つ以上
の較正データセットが最初に測定され、記憶される。プ
ロセッサは、マスタデータセットからずれた現在の状態
データ（ステータスデータ）を較正データセットと比較
して、マスタデータセットから最も類似してずれた較正
データセットを見い出す。プロセッサはそれから、類似
してずれた較正データに関する記憶されたガス混合物デ
ータから、どのようなタイプのフォローアップ手続が実
行されるべきかを決定する。例えば、フォローアップ手
続は、Ｆ₂ 、又はＨＣｌ、又は活性希ガス、又はハロゲ
ン化物分子と活性希ガスとの混合物、といった活性ハロ
ゲン化物化学種を含むある量の分子の補充を含んでよ
い。

【００１５】ガス放電レーザシステムも提供される。レ
ーザシステムは、レーザ光線を生成するために、レーザ
ガス混合物を含む放電チェンバと共振器を含む。電源回
路は、放電チェンバ内の電極を介して電位差を最終的に
提供する放電回路に駆動電圧を与えることによってガス
混合物にエネルギを供給する。システムは、さらに、例
えば駆動電圧などの入力パラメータを測定するための手
段と、例えばレーザの出力パワーなどの既に言及された
ような、ガス混合物の状態によって変化する出力光線パ
ラメータ測定するための手段を備える。プロセッサは、
そのとき現在の状態データセットとして入力及び出力の
パラメータ測定を受信する。現在の状態データセット
は、十分に最適なガス混合物とレーザ稼働状態を表すマ
スタデータセットと比較される。使われるマスタデータ
セットは、さまざまな使用年齢のレーザシステム或いは
繰り返し率といった他の稼働状態の間で異なることがあ
る。現在の状態データセットは、例えばハロゲン補充手
続に続いて、初期の始動手順の間、一つ以上のその後の
始動手順の間、その後の新規補充後、或いは最適な混合
ガス状態以外の状態下で、測定された、一つ以上の較正
データセットとも比較されてもよい。フォローアップ手
続は、データセットによって定義される曲線に沿ったポ
イントにおける、数値、微分値又は積分値といった、比
較からわかるずれのタイプに依存して実行されてよい。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を添付図面を参照しながら詳細に説明する。

【００１７】本発明によれば、出力パラメータと入力パ
ラメータは、最適なガスレーザ状態の下で、そして混合
ガスとレーザシステムの様々な他の状態の下で測定さ
れ、少なくとも一つのマスタデータセットと好ましくは
一つ以上の較正データセットが設定される。レーザの継
続動作の間に、同一のパラメータが測定され、現在の混
合ガスの状態とレーザ稼働状態に関連する現在データセ
ットが設定される。現在データセットはマスタデータセ
ットと同一又は異なったレーザを使って測定されてよ
い。一つ以上の較正データセットも現在データセットと
同一又は異なったレーザを使用して測定され、記憶され
てよい。マスタデータセットと較正データセットも同一
又は異なるレーザを使用して測定されてよい。現在デー
タセットはマスタデータセットと比較され、特にマスタ
データセットと現在データセットとの間にずれが見い出
されるときには、好ましくは一つ以上の較正データセッ
トの中の少なくとも一つのセットとも比較される。

【００１８】以下において本添付図面を参照しながら説
明される本発明の好ましい実施態様では、出力光線パラ
メータはパルスエネルギであり、入力パラメータは駆動
電圧である。帯域幅若しくはスペクトル幅、長軸若しく
は短軸の光線輪郭、光線発散、時間的若しくは空間的な
光線コヒーレンス、エネルギ安定度、エネルギ効率、放
電幅と空間的若しくは時間的パルス幅、又はエキシマ若
しくは分子レーザのようなガスレーザの混合ガス状態に
よって変化する他のパラメータといった他のパラメータ
が、測定される出力光線パラメータとして使用されてよ
い。入力パラメータは、レーザシステムが稼働し、及び
／又は空電的に経年変化するにつれて変化する別のパラ
メータであってよい。

【００１９】図２は、レーザの駆動回路の駆動電圧の関
数としてガスレーザの出力エネルギの定性的なプロット
を示している。測定される駆動電圧は、好ましくはレー
ザの電源から放電回路に印加されるものである。電源
は、一般に、昇圧変圧器に接続している充電コンデンサ
ーを充電する。接続はスイッチによって制御される。昇
圧変圧器からの電圧は放電チャンバの１セットの電極に
印加される。電極に加わる電圧又は充電若しくはピーク
キングコンデンサの電圧のような別の電圧が代わりに測
定される場合がある。

【００２０】このようにして、エネルギがレーザガスに
与えられ、レーザガスの分子を、その状態からの分子の
弛緩がレージング作用の源となるより高いエネルギ状態
まで励起させる。いくつかレーザでは、この電圧はレー
ザ活性ガスそれ自身ではなく、ポンプ媒体に印可される
が、しかし、駆動電圧（又は電流）は、それでもなおほ
とんどあらゆる周知のレーザシステムにおいて存在す
る。図示されているように、図２の駆動電圧に対するレ
ーザ出力エネルギの曲線の勾配は、どこでも正であり、
電圧とともに増加する。このグラフは、多種多様なガス
放電レーザについて実験的に測定されたデータ値を使用
して生成される。すなわち、一般に、図２のグラフは、
ＫｒＦ、ＡｒＦ、Ｆ₂ 、ＸｅＣｌ、ＸｅＦ、そしてＫｒ
Ｃｌレーザのようなエキシマレーザ及び分子レーザなど
のガス放電レーザに共通の特徴を示す。

【００２１】図２のグラフは、レーザシステムの内部コ
ンピュータ制御システム（以下、「プロセッサ」）に記
憶されたデータセットを表している。コンピュータは、
好ましく電源からメインの放電回路に印可された駆動電
圧の値を表すデータを受信し、他方、同時に好ましくは
レーザ光線の出力エネルギ、又はパワー、をエネルギメ
ータ若しくはパワーメータから受信する。駆動電圧に対
する出力エネルギのいくつかのデータポイントが測定さ
れ、記憶される。好ましくは、図２に示されるようなグ
ラフがプロセッサによって生成され、作り出される。ガ
スレーザシステムの始動サブルーチンの間に実行される
特定のサブルーチンの間になるべくデータが採られ、そ
してグラフが生成される。ただし、放電チェンバ内のレ
ーザ混合ガスの質をチェックすることが望ましい。

【００２２】実際、駆動電圧とレーザ出力エネルギの間
の関係はレーザ混合ガスの特定の特性曲線に対する独特
な依存性を持っている。始動手順の間に生成されたグラ
フを検査すると、混合ガスの個別のガスの相対的な配
分、全圧力、及び混合ガスの経年変化と劣化といった、
レーザ混合ガスに関連している数量がわかる。二つの異
なった始動手順といった異なった時（ｔｉｍｅ）に生成
された二つのグラフの比較は、グラフが生成されたその
二つの時におけるレーザ混合ガスの状態の相違を明らか
にすることがわかる。二つのグラフを比較することによ
って、ハードウェアとシステムの他の相違も二つの異な
った時における二つの始動の間で識別できる。

【００２３】マスタデータセットは、最適に構成され、
かつ、未だ経年変化していないレーザシステムを好まし
くは使用して測定される。すなわち、レーザ混合ガスの
新規補充が、好ましくはまさにマスタデータセットのデ
ータを測定する前に実行される。この時、レーザ混合ガ
スは未だ経年変化しておらず、レーザ混合ガスを構成す
るそれぞれのガスの配分又はそれぞれのガスのパーセン
テージは最適である。さらに、エレクトロニクスと光学
機器を含むシステムのハードウェアは、システムのぞれ
ぞれの光学モジュールの光学的配置とともに、マスタデ
ータセットから生成されるマスタグラフによって表現さ
れてよいマスタデータセットが測定されるときに最適で
ある。その後このマスタデータセットは、上記すべての
ことが確かめられた後、続いて測定されるそれぞれのデ
ータセットに比較されるべきマスタデータセットとして
記憶される。マスタデータセットは好ましくは最初の新
規補充及びレーザ混合ガスの稼働平衡温度までのウォー
ミングアップ後に採られたデータを使用して測定され
る。好ましくは、マスタデータセットからマスタグラフ
を生成するのに先だって、マスタデータセットの測定に
続いて、プロセッサによるアクセスが可能なメモリにマ
スタデータセットが好ましくは自動的に転送され記憶さ
れる。マスタデータセットは、一般に、新しいレーザの
製造後に工場において測定されてよい。マスタデータセ
ットは、後の時間にその混合ガス状態を学習することが
望まれるレーザと、同一のレーザ又は異なったレーザで
生成されてよい。

【００２４】二つ以上のマスタデータセットは、様々な
使用年齢（経年）のレーザを使用して生成されてよい
が、ただし、一つのマスタデータセットは一つの新しい
レーザによって好ましくは生成される。ガスレーザそれ
自身が経年変化するにつれて、混合ガス及び他のシステ
ム構成部品以外が最適であるときに測定されるデータセ
ットは一般に変化するであろう。従って、それぞれがレ
ーザそれ自身の異なった年齢範囲に対応する一つ以上の
マスタデータセットを持つことは好ましい。例えば、三
つのマスタデータセットが測定され、好ましくはそれか
らマスタグラフが生成され、それらは本発明において使
用される。第１のマスタデータセットは、例えば１０⁹
個のレーザパルス年齢未満のレーザの最適状態に対応す
る。第２のマスタデータセットは、例えば１〜２．５×
１０⁹ 個のレーザパルス年齢のレーザの最適状態に対応
する。第３のマスタデータセットは、例えば２．５×１
０⁹個のレーザパルス年齢より古いレーザの最適状態に
対応する。

【００２５】好ましくは、いくつかの「較正」データセ
ットも測定され、プロセッサでアクセスできるメモリー
に記憶される。それぞれの較正データセットは混合ガス
の異なった状態に対応する。Ｆ₂ 濃度を含む、種々な経
年変化状態の混合ガスに対応するデータセットのバンク
（bank）は、その後にプロセッサが最適からずれている
と決定されるものの正確な状態が知られいない混合ガス
に対応する続いて生成されるデータセットと比較するの
に利用可能である。使用者が時間、パルス計数に伴う発
展を知りかつ学習する他のレーザシステム状態、又はレ
ーザが稼働及び／又は停止している、或いは中間モード
にあるときに進展する他のパラメータに対応する較正デ
ータセットが測定され、記憶されてよい。

【００２６】このようにして、プロセッサは、好ましく
は駆動電圧に対する出力光線エネルギのいくつかの以前
に測定されたデータセットに関係する多くの値を分析し
て、好ましくはそのデータからグラフ又は曲線を生成
し、そしてそれらを現在データセットと比較して混合ガ
スの現在の状態を決定する。電気的及び機械的なハード
ウェア問題と光学的配置問題と劣化問題も時折起きる場
合があり、既に記述したチェック・サブルーチンの間に
気がつくことができ、発明のもう一つの利点が認識され
る。

【００２７】それは、しかしながら、レーザ混合ガスの
一般的かつ規則的な経年変化である。ただし、それはマ
スタデータセット及び／又は他の以前に測定かつ記憶さ
れた較正データセットと、マスタデータセットと他のグ
ラフを測定した後のある特定時において測定された現在
データセットとの間の比較によって観測可能である。特
に、例えばマスタデータセットと現在データセットを表
わしている曲線又はグラフの間の大きさと勾配の相違
は、レーザ混合ガスの重要な特徴を示す。一つのそのよ
うな特徴は、第２のデータセットが測定される時点での
混合ガスが一般に経年変化かつ劣化した度合いである。
もう一つの特徴は、最新の新規補充の時点から第２のデ
ータセットが生成されるまでの、例えばＦ₂ のような混
合物内の特定ガスの減少である。

【００２８】例えば、駆動電圧などの入力パラメータの
ある与えられた値に対する例えばレーザのエネルギなど
の出力光線パラメータのデータセットの大きさ、勾配な
どは、レーザ混合ガスの経年変化した状態、又は年齢に
依存し、好ましくは最新の新規補充からの時間やパルス
計数に関して測定されるが、しかし、レーザシステムに
重要な他の事象を参照してもよい。図３は、レーザ混合
ガスが時間とともに経年変化するにつれ、いかに出力エ
ネルギの大きさが減少するかを示している。三つの曲線
が図３に示されている。最も高い曲線は、新しい、或い
はほぼ新しいレーザと、新規補充の直後、或いはほぼ直
後、例えば百万パルス後に、採取されたデータとを使用
して生成されたマスタ曲線である。真ん中の曲線は、新
規補充の後のいつか、例えば２日又は５千パルス後に、
採取されたデータを使用して生成された。最も低い曲線
は、それより後のいつか、例えば新規補充の後の５日又
は一億パルス後に採取されたデータを使用して生成され
た。

【００２９】レーザ混合ガスが経年変化するにつれて、
曲線が期待された割合で下方へシフトするということが
図３から観測される。例えば一回以上の新規補充後に、
以前の新規補充に続く経験に基づいて、どれくらいレー
ザガスが経年変化したかを評価することができる。混合
ガスが経年変化するにつれて、ハロゲン濃度の減少や、
ＣＦ₄ やダストのような汚染物質の増加を含む多くの変
化が起きる。正確な産業利用において使用される場合が
ある適切なフォローアップ処置を行って出力光線の信頼
性を保証することができるので、この情報は重要であ
る。

【００３０】駆動電圧に対するガスレーザの出力エネル
ギの曲線の勾配もレーザ混合ガス内のＦ₂ パーセンテー
ジ濃度に依存する。図４は、レーザ混合ガス内のＦ₂ パ
ーセンテージ濃度が減少するにつれて、この勾配がいか
に減少するかを示している。ただＦ₂ 濃度だけが図４の
曲線の間で変化するので、図４の曲線は図３の曲線とは
異なり、一方、既に言及したように、レーザ混合ガスが
経年変化するにつれて生じる汚染物やダストの増加よう
な他の因子が、図３の曲線の勾配に影響を与える。

【００３１】三つの曲線が図４に示されている。最も高
い曲線は、第１のＦ₂ 濃度を持つレーザからのマスタデ
ータセットを使って生成されたマスター曲線である。真
ん中の曲線は、第１の濃度より低い第２のＦ₂ 濃度を持
つレーザからのデータを使って生成された。最も低い曲
線は、第１或いは第２の濃度のいずれよりも低い第３の
Ｆ₂ 濃度を持つレーザからのデータを使って生成され
た。Ｆ₂ パーセンテージ濃度が減少するにつれ、曲線の
勾配が期待される割合で減少するということが図４から
観測される。例えば一回以上の新規補充後に、以前の新
規補充に続く経験に基づいて、どれくらいＦ₂ 濃度が減
少したかを評価することができる。正確な産業利用にお
いて使用される場合がある最適なＦ₂ パーセンテージ濃
度を回復させることといった適切なフォローアップ処置
を行なうことにより、出力光線の信頼性を保証すること
ができるので、この情報は重要である。図４の曲線のよ
うな曲線を比較することによっても、レーザ混合ガスの
他のガスの時間のともなうパーセンテージ減少の特有な
徴候がもたらされることがある。

【００３２】図３及び図４を参照してまとめると、レー
ザ混合ガスの経年変化は、ある与えられた電圧における
駆動電圧に対するレーザ出力エネルギの降下から観測さ
れる。ただし、この降下は、図３におけるような曲線の
下方シフトによって明らかとなる。Ｆ₂ のような、ある
特定のガス成分の欠如が、図４に示されているような駆
動電圧に対するレーザ出力エネルギの曲線の勾配の減少
から観測できる。レーザの新規補充の直後又はほぼ直後
に測定されたマスタデータセットを使用して生成される
マスタグラフを、レーザの始動手順の間といったレーザ
システムのチェック・サブルーチンの間に測定されたデ
ータを使って生成される第２のグラフと比較し、広い範
囲の電圧上でこの二つのグラフの間のずれを分析するこ
とは、レーザ混合ガスの特徴のずれを明らかにするデリ
ケートな技術の役割を果たす。同じことが、パルスエネ
ルギのような重要な出力パラメータに影響を与える、電
圧以外の他の入力パラメータと、混合ガスが劣化するに
つれて変化する他の出力パラメータとで行われてよい。

【００３３】さらに、最新の新規補充からいくらか時間
が経ったときのサブルーチンの間に採取されたデータを
使用して生成されたグラフと、最適なハードウェアと光
学的位置合わせ配置を持つレーザでの新規補充の直後に
採取されたデータを使用して生成されたマスタグラフと
の比較によってずれがもたらされることもあるし、もた
らされないこともある。もし、ずれが見いだされないな
ら、そのときは混合ガスとシステムハードウェアは、本
発明のサブルーチンの下で満足いくものであると決定さ
れる。観察されるどのようなずれも以前の比較において
観測されてしまうことがあり、そのため、フォローアッ
プ処置が実行されるべきか否か、及び、どのようなタイ
プのフォーローアップ処置が実行されるべきかについて
結論を導くことができ、及び／又は、どのようなフォロ
ーアップ処置もその後に自動的操作又はユーザによる開
始操作の何れかで迅速かつ効率的にそして経験から実行
されてよい。例えば、ガス取り扱い手続は、測定された
データセット及び／又はデータセットから生成されたグ
ラフを比較し、どのようなずれも観測し、そして経験及
び／又はさもなくば観測されたずれが示しているものに
関する必要な知識に応じて、混合ガスを、補充、又は一
つ以上のガスのガス注入、又はガス置換、又は新規補
充、又はそれ以外の何れかによって、初期の状態に回復
させるために実行することができる。

【００３４】好ましくは、駆動電圧に対する出力エネル
ギが測定される。ただし、その測定結果は、混合ガスの
現在の状態を表すプロセッサによって生成されるグラフ
又はテーブルによって表現されてよい。グラフ或いはテ
ーブルの代わりに、別のデータベース構成が使用されて
よい。次いで、プロセッサは、グラフが一例として使用
されている図５のフローチャートに従って、現在データ
セットのテーブル又はグラフを、記憶されたデータセッ
トのグラフ又はテーブルと比較する。一般に、プロセッ
サは、現在の状態と最適な状態又は他の周知の混合ガス
の状態との間のどのようなずれも分析して、現在のグラ
フをマスタグラフ及び／又はプロセッサが記憶したグラ
フのバンク（集合）の全てと比較した後に、どのような
タイプのずれが存在して、どのようなフォローアップが
実行されるべきかを決定する。好ましい手続は、特に図
５のフローチャートで明らかにされる。

【００３５】図５に示された一般的な手順は、ユーザに
よって開始されるシステム電源投入信号の投入から始め
られる。或いは、さもなければレーザシステムのレーザ
チャンバ及び光学装置からの出力光線の放出を最高にす
るウォームアップ期間を開始する（ステップＳ１）。次
に、新規補充が要求されるかどうかが決定される（ステ
ップＳ２）。もし新規補充が要求されるなら、そのとき
は新規補充が行われる（ステップＳ３）。新規補充がス
テップＳ３で実行された後に、或いは、もし新規補充が
要求されない場合には、その後に測定が行われ、次い
で、グラフが生成される（ステップＳ４）。測定は、好
ましくは駆動電圧に対する出力光線エネルギで行われ
る。次に、ステップＳ４で生成された現在グラフの形で
あってよいステップＳ４で測定されたデータと、少なく
ともマスタデータセットのテーブル又はグラフを含む、
一つ以上の記憶されたデータセットのテーブル又はグラ
フとの比較が行われる（ステップＳ５）。好ましい実施
態様では、レーザの現在の年齢が最初にチェックされ
る。次いで、レーザの現在の年齢を含む年齢範囲に対応
する、好ましくは記憶されたマスタデータセットのテー
ブル又はグラフのグループの、マスタデータセットのテ
ーブル又はグラフが、ステップＳ５において、マスタデ
ータセットのテーブル又はグラフとして使用されるよう
選択される。

【００３６】もし、現在データセットのテーブル又はグ
ラフと、マスタデータセットのテーブル又はグラフが同
一或いはほぼ同一（特定の許容範囲内）であると決定さ
れたならば（ステップ６）、そときはレーザは例えばフ
ォトリソグラフィのような産業利用に使用され得る準備
完了状態となり（ステップＳ１０）、ステップＳ７〜Ｓ
９とステップＳ１１〜Ｓ１３は必要ではない。こうし
て、図５に示された本発明による好ましい実施態様の手
続は、このラン（流れ）に関しては終了する。

【００３７】もし、マスタデータセット及び現在データ
セットのテーブル或いはグラフが同一でないならば、大
きなずれが存在するか、又は小さなずれが存在するかが
決定される（ステップＳ７）。もし、小さいずれが観測
され、或いは、特定の許容範囲外にあるずれが観測され
るならば、そのときは好ましくはユーザは例えばコンピ
ュータディスプレイ上のメッセージ、或いは音声若しく
は視覚アラーム信号などのメッセージを介して告示され
る（ステップＳ８）。フォローアップ手続は、例えばメ
ッセージ又は信号を受信したことに応じたユーザ入力に
よって、又は、予めプログラムされたソフトウェアルー
チンを使用してプロセッサによって開始されるように自
動的に実行される（ステップＳ９）。ハロゲン注入、部
分的なガス置換、ガス補充と（例えばガス温度を調整す
ることによる）全圧力補正のようなフォローアップ手続
が実行される。フォローアップ処置の結果、混合ガス
は、好ましく初期の開始状態と最小限にずれた状態に戻
され、その結果、十分に最適なレーザシステム性能が再
び可能となり、レーザシステムの産業利用が促進され得
る（ステップＳ１０）。

【００３８】もし、大きなずれが存在すると決定され
た、又は、上述の如き特定の許容差をはるかに越え、そ
して許容範囲の第２のセット外にあるかもしれないずれ
が観測されたならば（ステップＳ７）、そのときは新規
補充が実行されたかどうかが決定される（ステップＳ１
１）。もし新規補充が実行されてなかったならば、その
ときはフォローアップの新規補充が実行される（ステッ
プＳ３）。

【００３９】フォローアップの新規補充が実行された
後、データセットが測定され、そして好ましくは駆動電
圧に対する出力エネルギのグラフ又はテーブルが生成さ
れてよく（ステップＳ４）、既に記述された手順が続い
て行われる。もし、新規補充がまさに実行され、現在デ
ータセットが最新の新規補充の直後に測定されたなら
ば、そのときは混合ガスは最適であると仮定される。現
在データセットが最新の新規補充の直後に測定され、混
合ガスが最適であると仮定されるこのケースでは、どの
ようなずれも経年変化した混合ガスの結果ではないと仮
定される。

【００４０】電気的、機械的、或いは光学的ハードウェ
ア問題がシステムのどこかに存在するという事実は、従
って、大きなずれの存在によって示唆される（ステップ
Ｓ１２）。いくつかの起こり得る問題としては、ガスデ
リバリシステム、光学窓又は線狭化及び／調整素子のよ
うなシステムの光学モジュール、レーザ放電チェンバそ
れ自身、電源や光路浄化システムのような電気部品のト
ラブルがある。いくつかのガスデリバリ問題には、漏
洩、ガスシリンダーの汚染、シリンダーからシリンダー
へのフッ素分圧変化、そしてほとんど空のシリンダの壁
からの汚染がある。ユーザはその後好ましくは、問題を
突き止めるための明確な指示に従い、できれば修理点検
を要求する（ステップＳ１３）。現在データセットのテ
ーブル又はグラフをマスタデータセットのテーブル又は
グラフと比較するときに観測される大きなずれによって
示されるこれらの深刻な問題は、ガスの経年変化とは容
易に区別がつく。なぜなら、マスタグラフからの現在の
グラフの大きなずれは一般的に経年変化によるものより
も遙かに大きく、新規補充を実行することによっては消
去されないからである。

【００４１】図６の方法は、図５のステップＳ８が図４
ｂのステップＳ８ａ及びＳ８ｂに置き換えられたという
点で図５の方法とは異なる。図６の方法によれば、現在
の状態が測定される前にいつか較正データセットのバン
ク（ｂａｎｋ）（図示されていない）が好ましくプロセ
ッサのメモリーに記憶される。一般に、較正データセッ
トは工場で測定され、それらは共通して経年変化するタ
イプの異なった混合ガスで動作するときにレーザシステ
ム（又は同様のレーザシステム）の応答を定義するもの
である。ステップＳ７に続いて、現在データセットのテ
ーブル又はグラフと、マスタデータセットのテーブル又
はグラフとの間の小さなずれが存在することが決定され
た後、現在データセットのテーブル又はグラフの一つ以
上又はすべての較正データセットのテーブル又はグラフ
との比較が実行され（ステップＳ８ａ）、マスタデータ
セットから同じようにずれた一つ以上の較正データセッ
トが見いだされる。その後、プロセッサは、同じように
ずれた一つ以上の較正データセットに関する記憶された
混合ガスデータから、混合ガスをより望ましい状態に戻
すためにどのようなタイプのフォローアップ手続を実行
するかを決定する。例えば、フォローアップ手続は、ガ
ス注入、部分的な置換、又はある量のＦ₂ 、ＨＣｌ、活
性希ガス若しくはそれらの混合気体の他の補充、或いは
（例えば、放電チャンバ内のガス温度又はガス総量を調
整することによる）全圧力補正を含んでよい。フォロー
アップ手続はユーザの補助がある又はなしに自動的に開
始及び／又は実行されるように、プロセッサはフォロー
アップ手続を開始してよい。

【００４２】本発明の好ましい方法を使用すれば、ガス
品質と分配組成を決定することは可能である。新規補充
の時間とガス補充のフォローアップ手続を予定すること
も容易である。さらに、この方法は、３×１０^-4絶対単
位に至るまでのＦ₂ 濃度が解決可能なほど、非常に感度
が良い。すなわち、０．３パーセント或いはもしかする
とより少しのずれが本発明の感度が良い方法を使って検
出可能である。この方法は同じく既存のシステムに付加
されるべき追加的なハードウェアを必要としない特別な
検査サブルーチンを使用するプロセッサによって効率的
に実行され、本発明の利点が低コストで実現される。さ
らに、プロセッサは、実際のレーザ性能が自動的にマス
タデータセットの水準まで再調整されるような方法で、
ガス取り扱いシステムを操作し、従って無限の寿命を持
つレーザ混合ガスを有するシステムが原理的に可能なも
のとなる。

【００４３】内部レーザパラメータ制御を有するガス放
電レーザシステムの好ましい配置が図７に示されてい
る。システムは、混合ガスを含むガス放電チェンバ１を
含み、かつ混合ガスを使って放電を起こさせるための電
極９を含む放電回路を備える。共振器は、例えば高反射
率の反射格子、プリズム又は後部ミラー２の高反射率の
裏面と、出力結合ビーム分割器又は前部ミラー３とをそ
れぞれ備えたレーザ管１を通る光路を構成する。光線の
外部結合部分（outcoupled portion）はビーム分割器４
に衝突して、その結果、外部結合部分は内部エネルギモ
ニタ５に向けて反射される。内部コンピュータ制御シス
テム６又はプロセッサは、内部エネルギモニター５から
データを受け取る。

【００４４】レーザシステムは、さらに、電極９又は放
電チャンバ１の放電回路に駆動電圧を印加させて混合ガ
スにエネルギを与えるための電源７を備える。内部エネ
ルギモニタ５によって測定され、かつ内部コンピュータ
制御システム６によっても受け取られる出力光線エネル
ギの検出値に好ましくは対応する駆動電圧の値は好まし
くは内部コンピュータ制御システム６によって受け取ら
れる。コンピュータ制御システム６は、好ましくは既に
記述したマスタデータセットと較正データセットをメモ
リに記憶し、そのメモリから検索する。制御システム６
は、その後どのデータセットについてもテーブル又はグ
ラフを生成し、或いは、そのデータセットを、データセ
ットの少なくともある一範囲又は一部を使用するデータ
ベース様式を含むいずれかの形で記憶する。制御システ
ム６は、好ましくは上に記述されたような多くの他の機
能を実行する。ガス区画室８は、ガス管によって放電チ
ャンバ１に接続され、内部コンピュータ制御システム６
によって又は手動で流量制御される。ビーム分割器４に
よって反射されなかった外部結合光線の部分は、システ
ムの出力光線１０である。

【００４５】本明細書、本添付図面、そして本要約書で
記述された特定の実施態様は、請求項のいずれかの範囲
を限定をすることを意図したものではなく、本発明の思
想を具体的な実施態様をもって説明するという意味合い
があるだけである。本発明の範囲は請求項の文言と、そ
の構造的均等物及び機能的均等物によってカバーされる
ことが理解される。

【００４６】

【発明の効果】以上の如く、本発明によれば、混合ガス
の状態とその経年変化又は劣化の度合いを決定するため
の効率的かつ感度が良い方法及びシステムを提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＫｒＦ−エキシマレーザでのＦ₂ 分圧に対する
レーザ出力エネルギのグラフを示す図であって、出力エ
ネルギの最大値が確定できるＦ₂ 分圧において存在する
ことを示す図である。

【図２】ガス放電レーザの放電チェンバの駆動電圧に対
するレーザ出力エネルギの定性的な依存性を示すグラフ
である。

【図３】図２の駆動電圧に対するレーザ出力エネルギの
グラフがいかにレーザ混合ガスの年齢とともに下方にシ
フトするかを示す図である。

【図４】図２の駆動電圧曲線に対するレーザ出力エネル
ギの勾配がいかにレーザ混合ガス内のＦ₂ 濃度に依存す
るかを示す図である。

【図５】レーザ混合ガスの状態と本発明によるレーザシ
ステムの他の部品をモニターするための段階的な手順を
説明するためのフローチャートである。

【図６】レーザ混合ガスの状態と本発明によるレーザシ
ステムの他の部品をモニターするための段階的な手順
（現在状態データセットの一つ以上の較正データセット
との比較を含む）を説明するためのフローチャートであ
る。

【図７】本発明によるレーザシステムの配置構成図であ
る。

【符号の説明】

１ レーザ管（放電チャンバ） ２ 後部ミラー ３ 前部ミラー ４ ビーム分割器 ５ 内部エネルギモニタ ６ 内部コンピュータ制御ユニット ７ 電源 ８ ガス区画室及びガス管 ９ 電極 １０ 出力光線

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 591283936 ラムダ・フィジーク・ゲゼルシャフト・ツ ァ・ヘルシュテルンク・フォン・ラーゼル ン・ミット・ベシュレンクテル・ハフツン グ ＬＡＭＢＤＡ ＰＨＹＳＩＫ ＧＥＳＥＬ ＬＳＣＨＡＦＴ ＺＵＲ ＨＥＲＳＴＥＬ ＬＵＮＧ ＶＯＮ ＬＡＳＥＲＮ ＭＩＴ ＢＥＳＣＨＲＡＮＫＴＥＲ ＨＡＦＴＵ ＮＧ ドイツ連邦共和国、37079 ゲッティンゲ ン、ハンス−ベックラー−シュトラーセ 12 (72)発明者 クラウス・ヴォルフガンク・フォーグラー ドイツ連邦共和国、37085 ゲッティンゲ ン、リヒテンヴァルダー・シュトラーセ 13 (72)発明者 ペーター・ハイスト ドイツ連邦共和国、07743 イェナ、クロ ーゼヴィッツァー・シュトラーセ ２アー

Claims (30)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 出力光線を生成し、かつ、電源によって
   その内部に含まれる混合ガスの成分にエネルギが与えら
   れる放電チェンバを備えたガス放電レーザのレーザ混合
   ガスの状態を決定するための方法であって、 混合ガス状態によって変化することが知られている出力
   光線パラメータの入力パラメータに対する関係について
   のマスタデータセットを測定して記憶するステップと、 以後の時間に第２のデータセットを測定するステップ
   と、 前記マスタデータセットを前記第２のデータセットと比
   較して、前記混合ガスの状態を決定するステップと、を
   それぞれ含むことを特徴とするガス放電レーザの性能制
   御方法。
2. 【請求項２】 出力光線を生成し、かつ、電源によって
   その内部に含まれる混合ガスの成分にエネルギが与えら
   れる放電チェンバを備えたガス放電レーザのレーザ混合
   ガスの状態を決定するための方法であって、 前記レーザへの入力パラメータを変化させることによっ
   てマスタデータセットを生成すると共に、出力パラメー
   タの変化をモニタし、かつ、それらのパラメータ情報を
   記憶するステップと、 前記マスタデータセットを生成した方法と同様の方法
   で、前記マスタデータセットの生成後に、第２のデータ
   セットを生成するステップと、 前記マスタデータセットを前記第２のデータセットと比
   較して、前記混合ガスの状態を決定するステップと、を
   それぞれ含むことを特徴とする方ガス放電レーザ性能制
   御方法。
3. 【請求項３】 現在のガス補充と初期の状態との差を最
   小化させるようにガス補充を調整するステップをさらに
   含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のガス放電
   レーザの性能制御方法。
4. 【請求項４】 前記マスタデータセット以外に前記混合
   ガスの一つ以上の状態に対応する一つ以上の較正データ
   セットを、前記マスタデータセットと前記第２のデータ
   セットのそれぞれを生成した方法と同様の方法で測定し
   て記憶するステップと、 前記一つ以上の較正データセットを前記第２のデータセ
   ットと比較して、前記混合ガスの状態を決定するステッ
   プと、をさらに含むことを特徴とする請求項１又は２に
   記載のガス放電レーザの性能制御方法。
5. 【請求項５】 前記比較ステップは、前記マスタデータ
   セットと前記第２のデータセットと間のずれが存在する
   かどうかを決定し、前記マスタデータセットと前記第２
   のデータセットとの間にずれが存在することが決定され
   たときは、前記第２のデータセットの前記一つ以上の較
   正データセットとの比較が実行されることを特徴とする
   請求項４に記載のガス放電レーザの性能制御方法。
6. 【請求項６】 前記混合ガスの現在の状態は、前記第２
   のデータセットの前記一つ以上の較正データセットとの
   比較に基づいて決定されることを特徴とする請求項５に
   記載のガス放電レーザの性能制御方法。
7. 【請求項７】 前記マスタデータセット及び前記第２の
   データセットは、同一モデルの異なったガスレーザを使
   用して生成されることを特徴とする請求項１又は２に記
   載のガス放電レーザの性能制御方法。
8. 【請求項８】 前記マスタデータセット及び前記第２の
   データセットは、同一のガスレーザを使用して生成され
   ることを特徴とする請求項１又は２に記載のガス放電レ
   ーザの性能制御方法。
9. 【請求項９】 前記測定された出力パラメータは、パル
   スエネルギ、帯域幅、スペクトル幅、長軸光線輪郭、短
   軸光線輪郭、光線発散、エネルギ安定度、エネルギ効
   率、放電幅、時間的光線コヒーレンス、空間的光線コヒ
   ーレンス、空間的パルス幅、増幅された自発放出、及び
   時間的パルス幅から成るグループから選択されることを
   特徴とする請求項１又は２に記載のガス放電レーザの性
   能制御方法。
10. 【請求項１０】 前記測定される入力パラメータは、前
    記混合ガスに印加されるエネルギの特性であることを特
    徴とする請求項９に記載のガス放電レーザの性能制御方
    法。
11. 【請求項１１】 前記測定される入力パラメータは、駆
    動電圧であることを特徴とする請求項９に記載のガス放
    電レーザの性能制御方法。
12. 【請求項１２】 前記測定される入力パラメータは、前
    記混合ガスに印加されるエネルギの特性であることを特
    徴とする請求項１又は２に記載のガス放電レーザの性能
    制御方法。
13. 【請求項１３】 前記測定される入力パラメータは、駆
    動電圧であることを特徴とする請求項１又は２に記載の
    ガス放電レーザの性能制御方法。
14. 【請求項１４】 前記第２のデータセットと前記マスタ
    データセットと間にずれが存在するか否か、及び、どの
    ようなタイプのずれが存在するかに依存して、フォロー
    アップ手続を実行するステップをさらに含むことを特徴
    とする請求項１又は２に記載のガス放電レーザの性能制
    御方法。
15. 【請求項１５】 前記現在のデータセットと前記マスタ
    データセットと間にずれが存在するか否かを決定するス
    テップをさらに含むことを特徴とする請求項１又は２に
    記載のガス放電レーザの性能制御方法。
16. 【請求項１６】 前記決定ステップからの結果に基づい
    て、当該レーザシステムのユーザにメッセージを伝える
    ステップをさらに含むことを特徴とする請求項１５に記
    載のガス放電レーザの性能制御方法。
17. 【請求項１７】 前記混合ガスの全圧力を調整するステ
    ップをさらに含むことを特徴とする請求項１５に記載の
    ガス放電レーザの性能制御方法。
18. 【請求項１８】 前記ずれが前記混合ガスにおけるハロ
    ゲン濃度の減少が原因となっていることが決定されたと
    き、前記放電チェンバにハロゲンを注入することによっ
    て前記混合ガスを自動的に補充するステップをさらに含
    むことを特徴とする請求項１５に記載のガス放電レーザ
    の性能制御方法。
19. 【請求項１９】 前記補充ステップは、前記放電チェン
    バから前記混合ガスの一部を放出するステップを含むこ
    とを特徴とする請求項１８に記載のガス放電レーザの性
    能制御方法。
20. 【請求項２０】 前記補充ステップは、前記プロセッサ
    からのコマンドによって開始されることを特徴とする請
    求項１８に記載のガス放電レーザの性能制御方法。
21. 【請求項２１】 前記補充ステップは、前記ユーザに前
    記混合ガス状態が知らされたときに、該ユーザからのコ
    マンドによって開始されることを特徴とする請求項１８
    に記載のガス放電レーザの性能制御方法。
22. 【請求項２２】 前記比較ステップは、前記マスタデー
    タセットと前記第２のデータセットとの間のずれが所定
    のずれの閾値を越えているか否かを決定するステップを
    含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のガス放電
    レーザの性能制御方法。
23. 【請求項２３】 前記決定ステップによって大きなずれ
    が存在することが決定されたとき、新規補充を始めるス
    テップをさらに含むことを特徴とする請求項２２に記載
    のガス放電レーザの性能制御方法。
24. 【請求項２４】 前記マスタデータセット及び前記第２
    のデータセットが生成されたときと同様の状態の下で、
    前記新規補充の直後に第３のデータセットを生成するス
    テップと、 前記第３のデータセットを前記マスタデータセットと比
    較して、当該レーザシステムのハードウェア部品の状態
    を決定するステップと、をさらに含むことを特徴とする
    請求項２３に記載のガス放電レーザの性能制御方法。
25. 【請求項２５】 前記第３のデータセットと前記マスタ
    データセットとの間にずれが存在するか否か、及び、ど
    のようなタイプのずれが存在するかに依存して、フォロ
    ーアップ手続を実行するステップをさらに含むことを特
    徴とする請求項２４に記載のガス放電レーザの性能制御
    方法。
26. 【請求項２６】 前記マスタデータセットからマスタグ
    ラフを生成するステップと、 前記第２のデータセットから第２のグラフを生成するス
    テップと、をさらに含むことを特徴とする請求項１又は
    ２に記載のガス放電レーザの性能制御方法。
27. 【請求項２７】 前記比較ステップは、入力パラメータ
    のある一範囲のデータポイントに対する前記出力光線パ
    ラメータの測定値を比較することを特徴とする請求項２
    ６に記載のガス放電レーザの性能制御方法。
28. 【請求項２８】 前記比較ステップは、入力パラメータ
    のある一範囲のデータポイントに対する前記出力光線パ
    ラメータの測定値を比較することを特徴とする請求項１
    又は２に記載のガス放電レーザの性能制御方法。
29. 【請求項２９】 前記比較ステップは、入力パラメータ
    のある一範囲のデータポイントに対する、前記マスタグ
    ラフと前記第２のグラフの勾配を比較することを特徴と
    する請求項２６に記載のガス放電レーザの性能制御方
    法。
30. 【請求項３０】 前記マスタデータセットは、前記レー
    ザが初期化されたときの状態に対応することを特徴とす
    る請求項１又は２に記載のガス放電レーザの性能制御方
    法。