JP2000147122A - 光波測距装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】信頼性が高く、高精度で測距することができる
光波測距装置を提供する。 【解決手段】光源からの光を測距光路または基準光路の
いずれか一方に切り替える光路切り替え手段と、前記測
距光路の送信光路からの光を測定対象物へ送信すると共
に、前記測定対象物からの反射光を受信して前記測距光
路の受信光路に送る送受信光学系と、前記測距光路から
の光または前記基準光路からの光を受けて電気信号に変
換する受光手段と、前記受光手段が受光する前記測距光
路からの光と前記基準光路からの光との関係から測定対
象物までの距離を求める距離測定手段とを有する光波測
距装置において、前記光路切り替え手段をプレーナー型
ガルバノミラー３、音響光学素子、光源を一側長寸部に
固定した音叉のいずれかで構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は光波測距装置に関
し、特に、その光学系の一部を小型、軽量な光学素子に
より構成した新規な構成の光波測距装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光波測距装置はレーザ光を送出し、測定
対象物で反射されて戻ってくる前記レーザ光を受光し、
その受光したレーザ光の位相や遅延時間に基づいて距離
を計測する。図６は前記受光レーザ光の遅延時間に基づ
いて距離を計測する従来の光波測距装置を示すブロック
図である。図６において、光源であるレーザダイオード
１０１が発生したパルスレーザ光は、リレーレンズ１０
２で平行ビームとなり、ビームスプリッタ１０３へ入射
する。ビームスプリッタ１０３は、パルスレーザ光を透
過光と反射光に分岐する。

【０００３】ビームスプリッタ１０３を透過した透過光
は、光路切り替えシャッタ１０４の位置を通過し、リレ
ーレンズ１０５で集光され、光ファイバー１０６に入射
し、それを通過して、リレーレンズ１０９で平行ビーム
となり、光量減衰フィルタ１１０で所定量の光量に減衰
され、ビームスプリッタ１１１を経由してリレーレンズ
１１２で集光され、基準パルス光として受光素子１１３
へ入射する。受光素子１１３は入射した基準パルス光の
光量に応じた信号を距離測定手段１１４に出力する。

【０００４】上記のビームスプリッタ１０３から光ファ
イバー１０６を経由してビームスプリッタ１１１までの
光路が基準光路である。そして、光路切り替えシャッタ
１０４が基準光路側を開放（この時、後述の測距光路側
は閉鎖）に切り替えられているとき、この基準光路を経
由した基準パルス光が受光素子１１３へ入射する。ま
た、光量減衰フィルタ１１０の透過率は、基準光路から
受光素子１１３への入射光量を所定値に減衰されるよう
に組立時に調整される。

【０００５】一方、ビームスプリッタ１０３で反射され
た反射光は、光路切り替えシャツタ１０４の位置を通過
し、リレーレンズ１１５で集光され、光ファイバー１１
６に入射し、それを通過して、ビームスプリッタ１１９
の光軸付近にミラーがコーティングされた面１２０で反
射し、ダイクロイックミラー１２１で反射して、対物レ
ンズ１２３から測定対象物（図示せず）ヘ向けて送信パ
ルス光として送信される。

【０００６】測定対象物から戻ってきたパルス光は、対
物レンズ１２３で受信され受信パルス光となる。この受
信パルス光は、ダイクロイックミラー１２１で反射さ
れ、ビームスプリッタ１１９の面１２０のミラー以外の
部分を通過し、光ファイバー１２４、リレーレンズ１２
５、光量調整フィルタ１２６を経由してビームスプリッ
夕１１１へ入射する。そして、ビームスプリッタ１１１
で反射された光は、レンズ１１２で集光され受光素子１
１３へ入射する。

【０００７】上記のビームスプリッタ１０３から対物レ
ンズ１２３までが、測距光路の送信光路であり、対物レ
ンズ１２３からビームスプリッタ１１１を経由して受光
素子１１３までの経路が、測距光路の受信光路である。
受光素子１１３は、入射した受信パルス光の光量に応じ
た信号を距離測定手段１１４に出力する。なお、受信パ
ルス光が受光素子１１３へ入射するのは、光路切り替え
シャッタ１０４が測距光路側を開放状態に切り替えられ
ているときである。そして、距離測定手段１１４は、前
記基準パルス光による信号と前記受信パルス光による信
号との時間差から測定対象物までの距離を求める。

【０００８】さらに詳説すると、基準光路及び測距光路
について、それぞれ連続して複数個、例えばそれぞれ１
０００個のパルス光による信号を得て、それぞれの信号
の時間の平均値の差に基づいて測定対象物までの距離を
求める。複数個の時間の平均値をとることによって測距
光路中の空気のゆらぎなど、外乱の影響が削減され、基
準光路の値と測距光路の値との差をとることによって光
波測距装置の内部の温度変化に起因する誤差が除かれ
る。

【０００９】また、距離測定に先立って、測定対象物
は、測定者によって、接眼レンズ１２７、レチクル１２
８、正立プリズム１２９、合焦レンズ１２２、対物レン
ズ１２３からなる視準光学系を通して観察され、合焦レ
ンズ１２２をＸ方向に調整して焦点合わせされている。
レチクル１２８と光ファイバー１２４の端面とは光学的
に等価の位置に配置されている。

【００１０】さらに、測距光路の受信光路側経由で受光
素子１１３へ入射する受信パルス光の光量は、測距精度
を確保するために、基準光路経由で受光素子１１３へ入
射する基準パルス光の光量と同レベルとなるように光量
調整フィルタ１２６で調整される。光量調整フィルタ１
２６は円周方向に光学濃度が連続的に変化している円形
フィルタであり、光量調整フィルタ１２６の中心に回転
軸を固定されたモーター１３０によって回転され、受信
パルス光の透過率を調整する。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の装置は前記光路切り替えシャツタを動作させるのに
モーターを使用しているため、モーターの故障による光
路切り替えシャッタの動作不良が起こりやすく、信頼性
が低下するという問題があった。さらに、基準光路の値
と測距光路の値とを順次、複数個づつ獲得するので基準
光路の値の獲得と測距光路の値の獲得とに短時間ながら
時間的ズレを生じ、特に高い測距精度を要する場合や、
光波測距装置が熱的過渡状態にある時に測距を行うと誤
差を生じ易いという問題もあった。

【００１２】本発明はこの問題を解決し、信頼性が高
く、高精度で測距することができる光波測距装置を提供
することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、光源からの光を測距光路または基準光
路のいずれか一方に切り替える光路切り替え手段と、前
記測距光路の送信光路からの光を測定対象物へ送信する
と共に、前記測定対象物からの反射光を受信して前記測
距光路の受信光路に送る送受信光学系と、前記測距光路
からの光または前記基準光路からの光を受けて電気信号
に変換する受光手段と、前記受光手段が受光する前記測
距光路からの光と前記基準光路からの光との関係から測
定対象物までの距離を求める距離測定手段とを有する光
波測距装置において、前記光路切り替え手段をプレーナ
ー型ガルバノミラー、音響光学素子、光源を一側長寸部
に固定した音叉のいずれかで構成した。

【００１４】そして、前記光波測距装置において、前記
距離測定手段は前記受光手段が受光する前記測距光路か
らの光と前記基準光路からの光との関係から測定対象物
までの距離を求める測距処理を複数回行い、求めた複数
の測定対象物までの距離の平均値を求めるようにした。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例につ
いて図面を参照して説明する。しかしながら、本発明の
技術的範囲は、その実施の形態例に限定されるものでは
ない。図１は、本発明の第１の実施の形態例としての光
波測距装置の構成を示す図である。図１において、光源
であるレーザダイオード１が発生したパルスレーザ光
は、リレーレンズ２で平行ビームとなり、光路切り換え
手段としてのプレーナー型ガルバノミラー３へ入射す
る。プレーナー型ガルバノミラー３へ入射した光は反射
され、偏向されてリレーレンズ４で集光される。

【００１６】プレーナー型ガルバノミラー３は、前記偏
向され、集光された光が光ファイバー５の端面７に入射
する第１の状態と、光ファイバー６の端面８に入射する
第２の状態とのいずれかの状態をとり、光路を光ファイ
バー５又は光ファイバー６に切り換える。プレーナー型
ガルバノミラー３の詳細、プレーナー型ガルバノミラー
３による光路切り換えの詳細については後述する。

【００１７】端面７から光ファイバー５に入射した光
は、それを通過して、リレーレンズ９で平行ビームとな
り、光量減衰フィルタ１０で所定量の光量に減衰し、ビ
ームスプリッタ１１を経由してリレーレンズ１２で集光
され、基準パルス光として受光素子１３へ入射する。受
光素子１３は入射した基準パルス光の光量に応じた信号
を距離測定手段１４に出力する。

【００１８】上記のプレーナー型ガルバノミラー３から
光ファイバー５を経由してビームスプリッタ１１までの
光路が基準光路である。そして、プレーナー型ガルバノ
ミラー３で偏向された光が光ファイバー５へ入射するよ
うにプレーナー型ガルバノミラー３が光路を切り換えた
とき、基準光路のみを光が通過し（この時、後述の測距
光路側は光が通過しない）、この基準光路を経由した基
準パルス光が受光素子１３へ入射する。また、光量減衰
フィルタ１０の透過率は、基準光路から受光素子１３へ
の入射光量を所定値に減衰されるように組立時に調整さ
れる。

【００１９】一方、端面８から光ファイバー６に入射し
た光は、それを通過して、ビームスプリッタ１９の光軸
付近にミラーがコーティングされた面２０で反射し、ダ
イクロイックミラー２１で反射して、対物レンズ２３か
ら測定対象物（図示せず）ヘ向けて送信パルス光として
送信される。測定対象物で反射されて戻ってきたパルス
光は、対物レンズ２３で受信され受信パルス光となる。
この受信パルス光は、ダイクロイックミラー２１で反射
され、ビームスプリッタ１９の面２０の前記ミラー以外
の部分を通過し、光ファイバー２４、リレーレンズ２
５、光量調整フィルタ２６を経由してビームスプリッ夕
１１へ入射する。そして、ビームスプリッタ１１で反射
された光は、レンズ１２で集光され受光素子１３へ入射
する。

【００２０】上記のプレーナー型ガルバノミラー３から
対物レンズ２３までの光路が、測距光路の送信光路であ
り、対物レンズ２３からビームスプリッタ１１を経由し
て受光素子１３までの光路が、測距光路の受信光路であ
る。受光素子１３は、入射した受信パルス光の光量に応
じた信号を距離測定手段１４に出力する。なお、受信パ
ルス光が受光素子１３へ入射するように、プレーナー型
ガルバノミラー３で偏向された光が光ファイバー６へ入
射するようにプレーナー型ガルバノミラー３が光路を切
り換えたとき、測距光路のみを光が通過（この時、基準
光路側は光が通過しない）する。

【００２１】そして、距離測定手段１４は、前記基準パ
ルス光による信号と前記受信パルス光による信号との時
間差から測定対象物までの距離を求める。また、距離測
定に先立って、測定対象物は、測定者によって、接眼レ
ンズ２７、レチクル２８、正立プリズム２９、合焦レン
ズ２２、対物レンズ２３からなる視準光学系を通して観
察され、合焦レンズ２２をＸ方向に調整して焦点合わせ
されている。レチクル２８と光ファイバー２４のビーム
スプリッタ１９側端面とは、光学的に等価の位置にあ
る。

【００２２】さらに、測距光路の受信光路側経由で受光
素子１３へ入射する受信パルス光の光量は、測距精度を
確保するために、基準光路経由で受光素子１３へ入射す
る基準パルス光の光量と同レベルとなるように光量調整
フィルタ２６で調整される。光量調整フィルタ２６は円
周方向に光学濃度が連続的に変化している円形フィルタ
であり、光量調整フィルタ２６の中心に回転軸を固定さ
れたモーター３０によって回転され、受信パルス光の透
過率を調整する。

【００２３】距離測定手段１４はＣＰＵなどの演算手段
で構成されている。前記演算手段は制御手段としても用
いられ、プレーナー型ガルバノミラー３の状態を制御す
るドライバーや光量調整フィルタ２６を回転させるモー
ター３０のドライバーに制御指令を出力しプレーナー型
ガルバノミラー３や光量調整フィルタ２６を所定の状態
や位置とする。

【００２４】ここで、プレーナー型ガルバノミラーにつ
いて説明する。プレーナー型ガルバノミラーは特開平７
−１７５００５公報に記述されている公知の光学素子で
ある。図２はプレーナー型ガルバノミラー３の平面図で
ある。プレーナー型ガルバノミラーは、シリコン基板５
１と、平板状の可動板５４と、可動板５４を揺動可能に
シリコン基板５１に軸支するトーションバー５５とで構
成され、これらが一体に形成されたものである。可動板
５４の上面周縁部には通電により磁界を発生する平面コ
イル５６が、平面コイル５６で囲まれた上面中央部には
全反射ミラー５７が設けられている。５８は、平面コイ
ル５６に通電するための電極である。更に、シリコン基
板５１の上面の左右両端部にガラス基板５２を、下面全
面にガラス基板５３を設け、これらガラス基板５２、５
３の所定位置に平面コイル５６に磁界を作用させる永久
磁石（図示せず）が固定されている。

【００２５】動作原理は平面コイル５６に電流を流した
時に生成される磁界が、前記永久磁石（図示せず）によ
り平面コイル５６を横切るように形成された磁界と作用
して生じたローレンツ力によって可動板５４がトーショ
ンバー５５を回転軸として回転する。全反射ミラー５７
は、平面コイル５６に非通電時の第１の状態と、平面コ
イル５６に通電時の、前記第１の状態から所定角度回転
した第２の状態の、いずれかの状態となる。平面コイル
５６への通電、非通電は前記制御手段としての演算手段
からの指令信号によって制御される。

【００２６】次に、光路切り換え手段としてのプレーナ
ー型ガルバノミラー３の作用を図３（ａ）、（ｂ）を用
いて説明する。図３（ａ）は、平面コイル５６が非通電
の第１の状態にあり、プレーナー型ガルバノミラー３で
偏向された光が、リレーレンズ４で集光され、光ファイ
バー５の端面７に入射している。図３（ｂ）は、平面コ
イル５６が通電の第２の状態にあり、前記偏向された光
が、リレーレンズ４で集光され、光ファイバー６の端面
８に入射している。即ち、プレーナー型ガルバノミラー
３は、リレーレンズ２からの光を基準光路または測距光
路のいずれか一方に切り換える。なお、可動板５４は図
中のθ１方向に回転する。

【００２７】上記第１の実施の形態例の光波測距装置で
は基準光路と測距光路の切り替えに従来のモーターに代
えプレーナー型ガルバノミラー３を用いたので、モータ
ーの故障による光路切り替えシャッタの動作不良が無く
なり、信頼性が向上する。また、プレーナー型ガルバノ
ミラーの製造には半導体素子の製造プロセスが用いられ
るため生産性が高く、装置の製造コストが低減される。

【００２８】さて、プレーナー型ガルバノミラー３によ
る基準光路と測距光路の切り替えは、従来のモーター駆
動によるシャッタよりも格段に高速で行うことができ
る。そこで、前記制御手段としての演算手段は、基準光
路と測距光路の切り替えを連続して複数回行わせると共
に、時間的に隣接する複数組の基準光路からの光と測距
光路からの光との関係から測定対象物までの距離を複数
個求め、該求めた複数個の前記距離の平均値を測距値と
して求める。前記時間的に隣接する基準光路からの光と
測距光路からの光のそれぞれは１回の光路切り換え毎の
レーザーダイオード１の連続する複数回、例えば１０回
の発光による光の平均とし、複数回、例えば１００回の
光路切り換えで得た１００個の平均値の平均を求める値
としても良い。

【００２９】光量調整フィルタ２６による受光光路から
の受光素子１３へ入射光量の調整にも前記光路切り換え
と同じ高速性が要求されるが、これはモーターで駆動さ
れる光量調整フィルタ２６に代えて、電気信号によって
透過率が変化する素子、例えば液晶素子、或いは基板上
に形成された光導波路の屈折率を電気信号で可変制御し
て光の分岐比率を変化させる光分岐素子を用いることに
よって実現できる。

【００３０】測定対象物までの距離を求めるために組み
合わせる基準光路からの光と測距光路からの光との時間
的ズレが極めて小さいので、その間の光波測距装置の内
部の熱的変化も小さい。その結果、より高い精度での測
距が可能となる。また、光波測距装置が熱的過渡状態に
あってもその影響を最小限とすることができる。図４
は、本発明の第２の実施の形態例としての光波測距装置
の内部の光路切り替え部分を示す図である。第２の実施
の形態例の光波測距装置は、第１の実施の形態例の光波
測距装置の変形であり、第１の実施の形態例の光波測距
装置とは図４に示した光路切り換え手段のみが異なる。
図４において、第１の実施の形態例の光波測距装置と同
じ構成には同じ符号を付して説明を簡略に、または省略
した。

【００３１】第２の実施の形態例の光波測距装置では、
光路切り換え手段として第１の実施の形態例のプレーナ
ー型ガルバノミラー３の代わりに音響光学素子３１を用
いた。本実施の形態例の光波測距装置では、光源である
レーザダイオード１が発生したパルスレーザ光は、リレ
ーレンズ２で平行ビームとなり、音響光学素子３１へ入
射する。音響光学素子は公知の光学素子であり、光偏向
器として用いられている。

【００３２】図４において、発振器３２からトランスデ
ューサ３３に電気信号を印加して、音響光学素子３１内
に超音波を伝搬させる。すると、音響光学素子３１内に
屈折率変調型グレーティングが形成され、入射した光が
回折される。この回折の角度をθ２とすると、発振器３
２からの電気信号の駆動周波数ｆに対し、波長λの平行
な入射光は、θ２＝ｆλ／ｖなる方向に回折される。こ
こで、ｖは音響光学素子中を伝搬する音速である。

【００３３】発信器３２からの電気信号の駆動周波数ｆ
は、前記制御手段としての演算手段からの指令信号によ
って変化させることができる。即ち、前記駆動周波数ｆ
を変化させることによって回折角θ２を変化させ、光フ
ァイバー５または光ファイバー６への光の入射を切り替
え、基準光路と測距光路とを切り替えることができる。

【００３４】前述のように、その他の構成は第１の実施
の形態例と同じであり、測距動作も第１の実施の形態例
の光波測距装置と同じであるので説明を省略する。第２
の実施の形態例の光波測距装置では従来のモーター駆動
による光路切り替えシャッタが音響光学素子に置き換え
られたので、モーターの故障による光路切り替えシャッ
タの動作不良が無くなり、信頼性が向上する。

【００３５】本実施の形態例の音響光学素子３１も、基
準光路と測距光路の切り替えを高速で行うことができる
ので、第１の実施の形態例と同様にして高い精度での測
距や熱的過渡状態の影響を最小にすることができる。図
５は本発明の第３の実施の形態例の光波測距装置の光路
切り替え部分を示す図である。第３の実施の形態例の光
波測距装置は第１の実施の形態の光波測距装置の変形で
あり、第１の実施の形態例の光波測距装置とは図５に示
した部分のみが異なる。図５において、第１の実施の形
態例の光波測距装置と同じ構成には同じ符号を付して説
明を簡略に、または省略した。

【００３６】第３の実施の形態例の光波測距装置では、
光路切り換え手段として第１の実施の形態例のプレーナ
ー型ガルバノミラー３の代わりに光源１が固設された音
叉３８を用いた。第３の実施の形態例の光波測距装置で
は、Ｕ字型をした音叉３８の一側長寸部の先端に光源で
あるレーザダイオード１が取り付けられている。レーザ
ダイオード１は、音叉３８の振動により、光軸と垂直方
向（図中のＹ方向）に振動させられるようになってい
る。音叉３８の他側長寸部の先端部の側方には、音叉３
８を振動させるためのソレノイド４０が配設されてい
る。ソレノイド４０には音叉振動制御回路４１から信号
が与えられ、音叉３８の振動の振幅が一定になるように
制御されている。

【００３７】レーザダイオード１で発生したパルスレー
ザ光はレンズ３９で集光される。音叉３８の振動によ
り、レンズ３９による光ファイバー側（図５ではレンズ
３９の左側）の集光点の位置が変化し、光ファイバー５
または光ファイバー６への光の入射が周期的に切り換わ
り、基準光路と測距光路とを切り替えることができる。
その他の構成は第１の実施の形態例と同じであり、測距
動作は第１の実施の形態例の光波測距装置と同じである
ので、説明を省略する。

【００３８】第３の実施の形態の光波測距装置では、従
来のモーターで駆動される光路切り替えシャッタが、光
源１が固設された音叉３８に置き換えられたので、モー
ターの故障による光路切り替えシャッタの動作不良が無
くなり、信頼性が向上する。本実施の形態例の光源１が
固設された音叉３８も、基準光路と測距光路の切り替え
を高速で行うことができるので、第１の実施の形態例と
同様にして高い精度での測距や熱的過渡状態の影響を最
小にすることができる。

【００３９】第１から第３の実施の形態例では、時間遅
延により測距を行う光波測距装置について説明を行った
が、本発明の光波測距装置は位相による測距を行う光波
測距装置にも適用できる。第１から第３の実施の形態例
では、光源１にレーザダイオードを用いるとしたが、発
光ダイオードでも良い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態例の光波測距装置の
構成を示す図。

【図２】図１の光波測距装置のプレーナー型ガルバノミ
ラーの平面図。

【図３】図１の光波測距装置の光路切り替え部分を示す
図。

【図４】本発明の第２の実施の形態例の光波測距装置の
光路切り替え部分を示す図。

【図５】本発明の第３の実施の形態例の光波測距装置の
光路切り替え部分を示す図。

【図６】従来の光波測距装置の構成を示す図。

【符号の説明】

１、１０１・・・レーザダイオード ３・・・プレーナー型ガルバノミラー ５、６、２４、１０６、１１６、１２４・・・光ファイ
バー ７、８・・・光ファイバーの端面 １３、３６、４３、１１３・・・受光素子 １４、１１４・・・距離測定手段 ２３、１２３・・・対物レンズ ３１・・・音響光学素子 ３２・・・発振器 ３３・・・トランスデューサ ３８・・・音叉 ３９・・・レンズ ４０・・・ソレノイド ４１・・・音叉振動制御回路 ５４・・・可動板 ５５・・・トーションバー ５６・・・平面コイル

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光源からの光を測距光路または基準光路の
   いずれか一方に切り替える光路切り替え手段と、 前記測距光路の送信光路からの光を測定対象物へ送信す
   ると共に、前記測定対象物からの反射光を受信して前記
   測距光路の受信光路に送る送受信光学系と、 前記測距光路からの光、または前記基準光路からの光を
   受けて電気信号に変換する受光手段と、 前記受光手段が受光する前記測距光路からの光と前記基
   準光路からの光との関係から測定対象物までの距離を求
   める距離測定手段とを有する光波測距装置において、 前記光路切り替え手段がプレーナー型ガルバノミラーで
   構成されていることを特徴とする光波測距装置。
2. 【請求項２】光源からの光を測距光路または基準光路の
   いずれか一方に切り替える光路切り替え手段と、 前記測距光路の送信光路からの光を測定対象物へ送信す
   ると共に、前記測定対象物からの反射光を受信して前記
   測距光路の受信光路に送る送受信光学系と、 前記測距光路からの光または前記基準光路からの光を受
   けて電気信号に変換する受光手段と、 前記受光手段が受光する前記測距光路からの光と前記基
   準光路からの光との関係から測定対象物までの距離を求
   める距離測定手段とを有する光波測距装置において、 前記光路切り替え手段が音響光学素子で構成されている
   ことを特徴とする光波測距装置。
3. 【請求項３】光源と、 前記光源からの光を測距光路または基準光路のいずれか
   一方に切り替える光路切り替え手段と、 前記測距光路の送信光路からの光を測定対象物へ送信す
   ると共に、前記測定対象物からの反射光を受信して前記
   測距光路の受信光路に送る送受信光学系と、 前記測距光路からの光または前記基準光路からの光を受
   けて電気信号に変換する受光手段と、 前記受光手段が受光する前記測距光路からの光と前記基
   準光路からの光との関係から測定対象物までの距離を求
   める距離測定手段とを有する光波測距装置において、 前記光路切り替え手段が音叉で構成され、前記光源が前
   記音叉の一側長寸部に固定されていることを特徴とする
   光波測距装置。
4. 【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載の光波測距
   装置において、 前記距離測定手段は、前記受光手段が受光する前記測距
   光路からの光と前記基準光路からの光との関係から測定
   対象物までの距離を求める測距処理を複数回行い、求め
   た複数の測定対象物までの距離の平均値を求めることを
   特徴とする光波測距装置。