JP2000133766A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2000133766A
JP2000133766A JP10307728A JP30772898A JP2000133766A JP 2000133766 A JP2000133766 A JP 2000133766A JP 10307728 A JP10307728 A JP 10307728A JP 30772898 A JP30772898 A JP 30772898A JP 2000133766 A JP2000133766 A JP 2000133766A
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semiconductor
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semiconductor element
connection terminal
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Masahiko Yugawa
昌彦 湯川
Keiichi Mogami
圭一 最上
Yukio Asami
幸雄 浅見
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Sony Corp
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32135Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/32145Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73253Bump and layer connectors

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  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の半導体素子を備えていても、実装面積
の増加を招くことのない半導体装置を提供する。 【解決手段】 複数の外部接続端子7を配置してなる外
部接続端子配置領域6を一方の面に有し、その外部接続
端子配置領域6を除く他の領域に、それぞれ折り曲げ可
能な配線引き回し領域11,12を介して独立に設けら
れた複数の半導体素子搭載領域8,9,10を有する配
線基板2と、それらの各半導体素子搭載領域8,9,1
0に搭載されるとともに、配線引き回し領域11,12
を折り曲げた状態で外部接続端子配置領域6の裏面側に
積層された複数の半導体素子3,4,5とを備えた半導
体装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置に係
り、特に、高密度実装性に優れた半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、半導体装置を用いた電子機器に
おいては、小型軽薄化の観点から、構成部品の高密度実
装が要求されている。この要求に応えるため、電子機器
の構成部品の一つである半導体装置では、半導体素子
(チップ)と略同等の大きさを有する、いわゆるチップ
サイズパッケージ(以下、CSPと称す)が提案され実
用化されている。
【0003】図6は従来における半導体装置(CSP)
の構成例を示す側断面図である。図6において、配線基
板51の上面には複数の突起電極52が形成されてい
る。これに対応して、半導体素子53の回路形成面側に
は複数の電極パッド54が形成され、かつ各々の電極パ
ッド54上に突起電極55が形成されている。半導体素
子53はその回路形成面側を下向きにした状態(フェー
スダウン)で配線基板51に実装され、この実装状態で
互いに対応する突起電極52,55同士が半田56を介
して電気的かつ機械的に接続されている。また、配線基
板51の下面には、複数の外部接続端子57が形成され
ている。
【0004】上記構成からなるCSPによれば、例えば
QFP(Quad Flat Package) やSOP(Small Out-line
Package)といった表面実装型の半導体装置のようにリー
ドピン(端子)がパッケージの側面から突出しないた
め、QFPやSOPの半導体装置に比べて実装面積を大
幅に削減することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで近年において
は、半導体装置を用いた電子機器で信号処理系のデジタ
ル化が主流となっている。ところが、信号処理系をデジ
タル化すると、これに伴って回路構成が複雑化し、構成
部品の点数も増加してしまう傾向にある。そこで従来に
おいては、部品点数を増加させないために、一つの半導
体装置(パッケージ)内に複数の半導体素子を組み込ん
だマルチチップモジュール(以下、MCMと称す)も採
用されているが、これまでのMCMでは複数の半導体素
子を平面的に並べた構造となっているため、半導体素子
の個数によって構造体の平面サイズが拡大し、マザーボ
ード等に実装する際の実装面積が増加してしまう。
【0006】そこで本発明は、複数の半導体素子を備え
ていても実装面積の増加を招くことのない、高密度実装
性に優れた半導体装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明による半導体装置
においては、複数の外部接続端子を配置してなる外部接
続端子配置領域を一方の面に有し、前記外部接続端子配
置領域を除く他の領域に、それぞれ折り曲げ可能な配線
引き回し領域を介して独立に設けられた複数の半導体素
子搭載領域を有する配線基板と、前記各半導体素子搭載
領域に搭載されるとともに、前記配線引き回し領域を折
り曲げた状態で前記外部接続端子配置領域の裏面側に積
層された複数の半導体素子とを備えた構成となってい
る。
【0008】上記構成の半導体装置においては、配線基
板に設けられた複数の半導体素子搭載領域にそれぞれ半
導体素子を搭載し、これら複数の半導体素子を配線引き
回し領域の折り曲げによって外部接続端子配置領域の裏
面側に積層したので、構造体の平面サイズを拡大せず
に、しかも外部接続端子を構造体の側面から突出させず
に、MCM化を図ることが可能となる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は本発明に係
る半導体装置の一実施形態を示す側断面図である。図示
した半導体装置1は、主として、長尺状の配線基板2
と、複数(図例では3つ)の半導体素子3,4,5とに
よって構成されている。
【0010】配線基板2は、例えばポリイミドテープ等
の絶縁基材2aと、この絶縁基材2aの片面に張設され
かつ所定の形状にパターニングされた銅材等の配線基材
2bと、この配線基材2bを被覆する絶縁保護膜2cと
からなるもので、その平面的な構造を図2に示す。図2
において、(a)は配線基板2の一方の面を示す概略図
であり、(b)は配線基板2の他方の面を示す概略図で
ある。
【0011】先ず、配線基板2の一方の面には、図2
(a)に示すように、その長手方向の中央に位置して外
部接続端子配置領域6が設けられている。この外部接続
端子配置領域6には複数の外部接続端子7…がエリア状
に配置されている。各々の外部接続端子7は、外部接続
端子配置領域6内に露出した上記配線基材2bの電極部
分に電気的かつ機械的に接続されている。
【0012】一方、配線基板2の他方の面には、図2
(b)に示すように、その長手方向の中央と両端に位置
して3つの半導体素子搭載領域8,9,10が設けられ
ている。各々の半導体素子搭載領域8,9,10の大き
さは、後述する半導体素子の外形寸法と同等かそれより
も若干大きく設定されている。また、各々の半導体素子
搭載領域8,9,10の相互間には、それぞれ配線引き
回し領域11,12が設けられ、これら2つの配線引き
回し領域11,12を介して各半導体素子搭載領域8,
9,10が独立に分離されている。ちなみに、基板長手
方向の中央に設けられた半導体素子搭載領域8は、上記
外部接続端子配置領域6の真裏に形成されている。
【0013】また、上記2つの配線引き回し領域11,
12は、ポリイミドフィルム等を絶縁基材2aとした配
線基板2自体の可撓性により、それぞれ折り曲げ可能に
構成されている。さらに、各々の半導体素子搭載領域
8,9,10には、上記絶縁保護膜2cから突出する状
態で、それぞれ複数の突起電極13,14,15(図1
参照)が設けられている。
【0014】これに対して、上記複数の半導体素子3,
4,5は、それぞれに対応する半導体素子搭載領域8,
9,10に搭載されている。すなわち、図3に示すよう
に、半導体素子3は半導体素子搭載領域8に、半導体素
子4は半導体素子搭載領域9に、半導体素子5は半導体
素子搭載領域10に、それぞれ搭載されている。以降、
説明の便宜上、「半導体素子3」を「第1素子3」、
「半導体素子4」を「第2素子4」、「半導体素子5」
を「第3素子5」を称する。また、「半導体素子搭載領
域8」を「第1搭載領域8」、「半導体素子搭載領域
9」を「第2搭載領域9」、「半導体素子搭載領域1
0」を「第3搭載領域10」と称する。
【0015】図3において、第1素子3の回路形成面側
には複数の電極パッド17が形成され、かつ各々の電極
パッド17上に突起電極18が形成されている。第1素
子53はその回路形成面側を下向きにした状態(フェー
スダウン)で、配線基板2の第1搭載領域8に実装さ
れ、この実装状態で互いに対応する突起電極13,18
同士が半田19を介して電気的かつ機械的に接続されて
いる。
【0016】これと同様に、第2素子4及び第3素子5
の各回路形成面側にもそれぞれ複数の電極パッド20,
21が形成され、かつ各々の電極パッド20,21上に
突起電極22,23が形成されている。そして、第2素
子4及び第3素子5は、それぞれの回路形成面を下向き
にした状態(フェースダウン)で、配線基板2の第2搭
載領域9及び第3搭載領域10に実装され、この実装状
態で互いに対応する突起電極14,22及び15,23
同士が各々半田24,25を介して電気的かつ機械的に
接続されている。
【0017】これにより、外部接続端子配置領域6に配
置された複数の外部接続端子7のうち、その一部は第1
搭載領域8に搭載された第1素子3と電気的に接続さ
れ、それ以外の他部は、第2搭載領域9に搭載された第
2素子4または第3搭載領域10に搭載された第3素子
5に電気的に接続されている。
【0018】ちなみに、半導体素子(3,4,5)と配
線基板2との接続(接合)には、上述した半田19,2
4,25に代えて、導電性接着剤による接合構造を採用
することも可能である。また、半導体素子(3,4,
5)と配線基板2との接合部分に、必要に応じてアンダ
ーフィル材(例えば、エポキシ系樹脂)を充填すること
も可能である。
【0019】一方、配線基板2に設けられた2つの配線
引き回し領域11,12は、図1に示すように、それぞ
れ上方に向けて折り曲げられ、これによって外部接続端
子配置領域6の裏面側(上方)に、第1素子3、第2素
子4及び第3素子5といった3つの半導体素子が積層さ
れている。すなわち、外部接続端子配置領域6の裏面に
第1搭載領域8が設けられ、この第1搭載領域8に第1
素子3が搭載されている。また、第1搭載領域8に搭載
された第1素子3の上には、第2搭載領域9に搭載され
た第2素子4が背中合わせの状態、つまり互いのチップ
裏面(非回路形成面)を対向させた状態で積層されてい
る。さらに、第2素子4が搭載された第2搭載領域9の
裏面側には、第3素子5が積層されている。
【0020】このうち、第1素子3と第2素子4とは適
宜位置決めされて接着剤26により固着され、さらに第
2搭載領域9の裏面側では、第3素子5が適宜位置決め
されて接着剤27により配線基板2に固着されている。
なお、接着剤26,27としては、素子同士の接着及び
素子と基板の接着を可能とするものであれば、特にいず
れのものを使用してもよく、またフィルム状の接着剤や
ペースト状の接着剤のいずれを選択してもかまわない。
【0021】上記構成からなる半導体装置1において
は、第1素子3、第2素子4及び第3素子5といった3
つの半導体素子を備えているにもかかわらず、それら3
つの半導体素子(3,4,5)を配線引き回し領域1
1,12の折り曲げにより外部接続端子配置領域6の裏
面側(上方)に積層することで、一つの平面領域内に複
数の外部接続端子7と3つの半導体素子(3,4,5)
とを立体的に構築し、かつそれらを電気的に接続したの
で、装置の高機能化と小型化を両立させた、いわゆるマ
ルチチップCSPが実現される。
【0022】上記マルチチップCSPでは、例えば高機
能化への対応として複数の半導体素子を備えたもので
も、それらの個数によって構造体の平面サイズが拡大し
たり、外部接続端子が構造体の側面から突出することが
ないため、従来におけるMCMに比べると、格段に高密
度実装性に優れたものとなる。また、配線引き回し領域
11,12の存在により、複数の半導体素子(3,4,
5)を積層した構造でありながら、各半導体素子と外部
接続端子とを電気的に接続する配線パターンの引き回し
も容易になる。
【0023】したがって、上記マルチチップCSPを用
いて電子機器を構成することにより、例えば信号処理系
のデジタル化に伴って回路構成が複雑化しても、実装面
積の増加を招くことなく、半導体装置をMCM化するこ
とができるため、部品点数の増加を抑えて電子機器の小
型軽薄化を実現することが可能となる。
【0024】なお、上記実施形態においては、配線基板
2の一方の面に外部接続端子配置領域6を設け、同他方
の面に第1搭載領域8、第2搭載領域9及び第3搭載領
域10といった3つの半導体素子搭載領域を設けるよう
にしたが、本発明はこれに限らず、例えば、図示はしな
いが第2,第3搭載領域9,10を外部接続端子配置領
域6とともに配線基板2の一方の面に設けるようにした
り、図4に示すように配線基板2の両面にそれぞれ半導
体素子搭載領域28,29を設け、これらの半導体素子
搭載領域28,29に半導体素子30,31を搭載した
構成を採用することも可能である。
【0025】また、配線基板2の平面形状としても、図
2に示すような長尺状に限らず、例えばT字形、L字
形、十字形など、種々の形状のものを採用することが可
能である。さらに、上記実施形態においては、半導体素
子と配線基板の接続方式としてフェースダウンのフリッ
プチップ方式を例に挙げたが、フェースアップのワイヤ
ボンディング方式を採用することも可能であり、また一
つの半導体装置内に搭載される半導体素子の数も、図1
で例示した3つに限らず、2つまたは4つ以上であって
もよい。
【0026】また、上記実施形態の応用例として、半導
体装置1に組み込まれた3つの半導体素子(3,4,
5)のうち、例えば最上部に積層された半導体素子5
を、図5に示すように2つの半導体素子5a,5bに分
離し、これら2つの半導体素子5a,5bを一つの半導
体素子搭載領域10に並べて搭載することも可能であ
る。このように一つの半導体素子搭載領域に2つの半導
体素子を搭載することにより、半導体素子の積層数を増
加させることなく、素子の回路機能を独立に分割するこ
とが可能となる。
【0027】ちなみに、図5においては、最上部に積層
された半導体素子5を2つに分離して一つの半導体素子
搭載領域10に搭載した例を示したが、これと同様に、
最下部及び中間部に積層された半導体素子3、4をそれ
ぞれ2つに分離して一つの半導体素子搭載領域8、9に
搭載することも可能であり、さらに一つの半導体素子搭
載領域に3つ以上の半導体素子を搭載することも可能で
ある。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように本発明の半導体装置
によれば、配線基板に設けられた複数の半導体素子搭載
領域にそれぞれ半導体素子を搭載し、これら複数の半導
体素子を配線引き回し領域の折り曲げによって外部接続
端子配置領域の裏面側に積層した構成を採用したことに
より、例えば高機能化への対応として複数の半導体素子
を組み込む場合でも、構造体の平面サイズを拡大した
り、外部接続端子を構造体の側面から突出させることな
く、MCM化を図ることが可能となる。これにより、回
路構成の複雑化等に伴う高機能化の要求にも、実装面積
の増加を招くことなく好適に対応できるため、電子機器
の小型軽薄化を容易に実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体装置の一実施形態を示す側
断面図である。
【図2】実施形態における配線基板の構造説明図であ
る。
【図3】配線基板に対する半導体素子の実装構造を説明
する図である。
【図4】配線基板における半導体素子搭載領域の他の形
成例を示す図である。
【図5】実施形態の応用例を説明する図である。
【図6】従来における半導体装置の構成例を示す側断面
図である。
【符号の説明】
1…半導体装置、2…配線基板、3…第1素子(半導体
素子)、4…第2素子(半導体素子)、5…第3素子
(半導体素子)、6…外部接続端子配置領域、7…外部
接続端子、8…第1搭載領域(半導体素子搭載領域)、
9…第2搭載領域(半導体素子搭載領域)、10…第3
搭載領域(半導体素子搭載領域)、11,12…配線引
き回し領域

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の外部接続端子を配置してなる外部
    接続端子配置領域を一方の面に有し、前記外部接続端子
    配置領域を除く他の領域に、それぞれ折り曲げ可能な配
    線引き回し領域を介して独立に設けられた複数の半導体
    素子搭載領域を有する配線基板と、 前記各半導体素子搭載領域に搭載されるとともに、前記
    配線引き回し領域を折り曲げた状態で前記外部接続端子
    配置領域の裏面側に積層された複数の半導体素子とを備
    えたことを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記複数の半導体素子搭載領域のうち、
    少なくともいずれか一つの半導体素子搭載領域に2つ以
    上の半導体素子を搭載してなることを特徴とする請求項
    1記載の半導体装置。
JP10307728A 1998-10-29 1998-10-29 半導体装置 Pending JP2000133766A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001026155A1 (fr) * 1999-10-01 2001-04-12 Seiko Epson Corporation Dispositif a semi-conducteur, procede et dispositif permettant d'obtenir ce dernier, carte de circuit imprime et equipement electronique

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001026155A1 (fr) * 1999-10-01 2001-04-12 Seiko Epson Corporation Dispositif a semi-conducteur, procede et dispositif permettant d'obtenir ce dernier, carte de circuit imprime et equipement electronique
US6489687B1 (en) 1999-10-01 2002-12-03 Seiko Epson Corporation Semiconductor device and method of manufacturing the same, manufacturing device, circuit board, and electronic equipment

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