JP2000131475A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
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- JP2000131475A JP2000131475A JP10300835A JP30083598A JP2000131475A JP 2000131475 A JP2000131475 A JP 2000131475A JP 10300835 A JP10300835 A JP 10300835A JP 30083598 A JP30083598 A JP 30083598A JP 2000131475 A JP2000131475 A JP 2000131475A
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- measuring
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被測定物の搭載作業を容易にする測定装置を
得る。 【課題手段】 測定装置の所定の測定位置とは異なる位
置に、被測定物1をステージ104に載置できる搭載部
を設けることにより、容易に被測定物1を搭載できる。
得る。 【課題手段】 測定装置の所定の測定位置とは異なる位
置に、被測定物1をステージ104に載置できる搭載部
を設けることにより、容易に被測定物1を搭載できる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物の搭載作
業を容易にかつ安全に行える測定装置に関するものであ
る。
業を容易にかつ安全に行える測定装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来のレンズの光学性能を測定する装置
は、ベースと、レンズの面精度や収差を計測する干渉計
に代表される測定手段と、被測定物であるレンズを載置
してベース上のガイドに案内されるステージと、前記ス
テージをガイドに沿って水平に動かす駆動装置と、前記
測定手段の測定操作や前記駆動装置による前記ステージ
の搬送を制御する制御手段と、前記ステージを所定の測
定位置に固定するための位置決め手段とで構成されてい
る。
は、ベースと、レンズの面精度や収差を計測する干渉計
に代表される測定手段と、被測定物であるレンズを載置
してベース上のガイドに案内されるステージと、前記ス
テージをガイドに沿って水平に動かす駆動装置と、前記
測定手段の測定操作や前記駆動装置による前記ステージ
の搬送を制御する制御手段と、前記ステージを所定の測
定位置に固定するための位置決め手段とで構成されてい
る。
【0003】この装置では、まず被測定物であるレンズ
を所定の測定位置と同じ高さにあるステージに搭載す
る。次に前記レンズを搭載したステージを水平駆動装置
により水平駆動用ガイドに沿って所定の測定位置まで搬
送する。前記ステージは、位置決め手段であるメカスト
ッパに接触することで所定の測定位置に固定される。そ
の後、レンズの面精度や収差等の光学性能測定が行われ
る。
を所定の測定位置と同じ高さにあるステージに搭載す
る。次に前記レンズを搭載したステージを水平駆動装置
により水平駆動用ガイドに沿って所定の測定位置まで搬
送する。前記ステージは、位置決め手段であるメカスト
ッパに接触することで所定の測定位置に固定される。そ
の後、レンズの面精度や収差等の光学性能測定が行われ
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】近年被測定物であるレ
ンズが大型化して重量物となってきたために、上記のよ
うな装置では、被測定物を測定装置にに搭載する際の作
業性が悪く、安全性にも問題点がでてきた。そこで本発
明は、被測定物の搭載作業を容易にする測定装置を提供
することを目的とする。
ンズが大型化して重量物となってきたために、上記のよ
うな装置では、被測定物を測定装置にに搭載する際の作
業性が悪く、安全性にも問題点がでてきた。そこで本発
明は、被測定物の搭載作業を容易にする測定装置を提供
することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し目
的を達成するために請求項1に記載の発明では、測定装
置の所定の測定位置とは異なる位置に、被測定物をステ
ージに載置できる搭載部を設け、さらに前記搭載部にお
いて被測定物を搭載したステージを搬送できる昇降手段
を設けることを特徴としている。
的を達成するために請求項1に記載の発明では、測定装
置の所定の測定位置とは異なる位置に、被測定物をステ
ージに載置できる搭載部を設け、さらに前記搭載部にお
いて被測定物を搭載したステージを搬送できる昇降手段
を設けることを特徴としている。
【0006】また、請求項2に記載の発明では、被測定
物を載置したステージを昇降手段からベースに設けられ
た駆動手段へ搬送するための位置決め手段を測定装置に
設けることを特徴とした。以下に、本発明の実施の形態
を説明する。
物を載置したステージを昇降手段からベースに設けられ
た駆動手段へ搬送するための位置決め手段を測定装置に
設けることを特徴とした。以下に、本発明の実施の形態
を説明する。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図面を用いて説明する。図1は本発明の実施の
形態に係る測定装置の構成を示す正面図であり、図2は
同装置の側面図である。図1に示すように、ベース10
1には、被測定物1の光学性能を計測する測定手段10
2と、前記ベース101上とリフト台108上に分かれ
て敷設されている水平ガイド103と、被測定物1を載
置するステージ104を前記水平ガイド103の案内に
沿って搬送する水平用駆動装置105と、搬送されたス
テージ104を測定手段102で決められた所定の測定
位置に固定するためのメカストッパ107と、ステージ
104側面に設けられた駒111に連結されるフック1
12と、前記ステージ104を搭載するリフト台108
と、前記リフト台108を垂直方向に搬送する昇降用駆
動装置110が設置されており、さらにベース101の
側面には、リフト台108の昇降ガイド109が設けら
れている。また、ベース101とは異なる位置に前記測
定手段102の計測操作や前記駆動装置105、110
による前記ステージの搬送操作を制御する制御手段10
6が設けられている。 本発明の実施の形態では、前記
水平ガイド103および昇降ガイド109として転がり
軸受けを用いたリニアモーションガイドを使用している
が、他の直進案内を使用しても構わない。またステージ
104の水平駆動装置105としては空気圧シリンダを
用いている。図2に示すように前記空気圧シリンダのロ
ッド先端には、ステージ104側面に設けられた駒11
1を引っかけて水平方向に搬送するためのフック112
が取り付けられており、ステージ104が上昇すると、
前記フック112に前記駒111が入り込んで連結され
る。また、ステージ104が下降する際には、前記フッ
ク112から前記駒111が外れるように脱着可能な構
造になっている。リフト台108を動かすための昇降用
駆動装置110として本発明の実施の形態では、油圧シ
リンダを用いている。油圧シリンダは二個設置されてお
り、本体はベース101に固定され、前記油圧シリンダ
のロッド先端はリフト台108の下に当接されている。
について図面を用いて説明する。図1は本発明の実施の
形態に係る測定装置の構成を示す正面図であり、図2は
同装置の側面図である。図1に示すように、ベース10
1には、被測定物1の光学性能を計測する測定手段10
2と、前記ベース101上とリフト台108上に分かれ
て敷設されている水平ガイド103と、被測定物1を載
置するステージ104を前記水平ガイド103の案内に
沿って搬送する水平用駆動装置105と、搬送されたス
テージ104を測定手段102で決められた所定の測定
位置に固定するためのメカストッパ107と、ステージ
104側面に設けられた駒111に連結されるフック1
12と、前記ステージ104を搭載するリフト台108
と、前記リフト台108を垂直方向に搬送する昇降用駆
動装置110が設置されており、さらにベース101の
側面には、リフト台108の昇降ガイド109が設けら
れている。また、ベース101とは異なる位置に前記測
定手段102の計測操作や前記駆動装置105、110
による前記ステージの搬送操作を制御する制御手段10
6が設けられている。 本発明の実施の形態では、前記
水平ガイド103および昇降ガイド109として転がり
軸受けを用いたリニアモーションガイドを使用している
が、他の直進案内を使用しても構わない。またステージ
104の水平駆動装置105としては空気圧シリンダを
用いている。図2に示すように前記空気圧シリンダのロ
ッド先端には、ステージ104側面に設けられた駒11
1を引っかけて水平方向に搬送するためのフック112
が取り付けられており、ステージ104が上昇すると、
前記フック112に前記駒111が入り込んで連結され
る。また、ステージ104が下降する際には、前記フッ
ク112から前記駒111が外れるように脱着可能な構
造になっている。リフト台108を動かすための昇降用
駆動装置110として本発明の実施の形態では、油圧シ
リンダを用いている。油圧シリンダは二個設置されてお
り、本体はベース101に固定され、前記油圧シリンダ
のロッド先端はリフト台108の下に当接されている。
【0008】次に本発明の実施の形態においてベース1
01とリフト台108に分けて敷設されている水平ガイ
ド103の位置決め手段について、図3を用いて説明す
る。本位置決め手段は、ベース101に取り付けられた
上下位置検出用センサ113と、水平位置検出用センサ
114と、上端用メカストッパ116と、リフト台10
8に取り付けられたL型ブロック115と、位置出しブ
ロック117とから構成される。前述の通り水平ガイド
103のレールは、ベース101上と、リフト台108
上とに分かれて設けられている。位置出しブロック11
7は、リフト台108上に敷設されている二本のレール
103よりも外側で、なおかつ測定手段102に近い角
部の二ケ所と、逆に測定手段102とは反対側の端部略
中央の一ケ所、合計三ケ所に設置されている。(図3で
はレール103の外側に設置されている一個を示し
た。)また、この位置出しブロック117に対応するベ
ース101上の位置に上端用メカストッパ116も同様
に三個設置されている。前記位置出しブロック117の
厚さを調整することで、三個のブロックそれぞれの差異
をなくすとともに、リフト台108の垂直方向の位置出
しをすることができ、リフト台108が上昇した上端位
置で垂直方向の繋ぎが合うように調整が施してある。ま
た、リフト台108には、前記測定手段102側に設置
された位置出しブロック117(二個)と、前記位置出
しブロック117(二個)に各々近接するレール103
との間にL型ブロック115(二個)が設置されてい
る。また、前記L型ブロック115に対応する水平位置
検出センサ114が二個、ベース101上に設置されて
いる。前記L形ブロック115と前記水平位置検出用セ
ンサ114とにより、リフト台108が上昇した上端位
置で水平方向の繋ぎが合うようにレール103の調整が
施してある。一方レール103の繋ぎの合わせになる先
端部分は、各々四本ともテーパ下降が施されており、ス
テージ104が、リフト台108上の水平ガイド103
からベース101上の水平ガイド103へとスムーズに
移動できるようになっている。さらにまた、L型ブロッ
ク115(二個)とその各々に近接するレール103と
の間に、上下位置検出用センサ113が二個、ベース1
01に設置されてリフト台108の上下位置を検出でき
るようになっている。本発明の実施の形態では、前記上
端位置検出用センサ113と、水平位置検出用センサ1
14として、渦電流式変位センサを用いているが、他の
センサを用いても構わない。
01とリフト台108に分けて敷設されている水平ガイ
ド103の位置決め手段について、図3を用いて説明す
る。本位置決め手段は、ベース101に取り付けられた
上下位置検出用センサ113と、水平位置検出用センサ
114と、上端用メカストッパ116と、リフト台10
8に取り付けられたL型ブロック115と、位置出しブ
ロック117とから構成される。前述の通り水平ガイド
103のレールは、ベース101上と、リフト台108
上とに分かれて設けられている。位置出しブロック11
7は、リフト台108上に敷設されている二本のレール
103よりも外側で、なおかつ測定手段102に近い角
部の二ケ所と、逆に測定手段102とは反対側の端部略
中央の一ケ所、合計三ケ所に設置されている。(図3で
はレール103の外側に設置されている一個を示し
た。)また、この位置出しブロック117に対応するベ
ース101上の位置に上端用メカストッパ116も同様
に三個設置されている。前記位置出しブロック117の
厚さを調整することで、三個のブロックそれぞれの差異
をなくすとともに、リフト台108の垂直方向の位置出
しをすることができ、リフト台108が上昇した上端位
置で垂直方向の繋ぎが合うように調整が施してある。ま
た、リフト台108には、前記測定手段102側に設置
された位置出しブロック117(二個)と、前記位置出
しブロック117(二個)に各々近接するレール103
との間にL型ブロック115(二個)が設置されてい
る。また、前記L型ブロック115に対応する水平位置
検出センサ114が二個、ベース101上に設置されて
いる。前記L形ブロック115と前記水平位置検出用セ
ンサ114とにより、リフト台108が上昇した上端位
置で水平方向の繋ぎが合うようにレール103の調整が
施してある。一方レール103の繋ぎの合わせになる先
端部分は、各々四本ともテーパ下降が施されており、ス
テージ104が、リフト台108上の水平ガイド103
からベース101上の水平ガイド103へとスムーズに
移動できるようになっている。さらにまた、L型ブロッ
ク115(二個)とその各々に近接するレール103と
の間に、上下位置検出用センサ113が二個、ベース1
01に設置されてリフト台108の上下位置を検出でき
るようになっている。本発明の実施の形態では、前記上
端位置検出用センサ113と、水平位置検出用センサ1
14として、渦電流式変位センサを用いているが、他の
センサを用いても構わない。
【0009】以下に本装置の動作手順を説明する。ま
ず、油圧シリンダ110を駆動させ、リフト台108を
床面に近い一番低い位置にセットする。この操作により
被測定物であるレンズ1をステージ104に無理のない
姿勢で、容易に載置することができる。次に、油圧シリ
ンダ110を駆動させてリフト台108を昇降ガイド1
09に沿って上昇させる。リフト台108上に設置して
ある三個の位置出しブロック117がベース101上端
に設けられた上端用メカストッパ116に接触すること
により、あらかじめ決められていたリフト台108の最
上端位置で油圧シリンダ110が停止する。同時に、駒
111はフック112に連結され、ベースとリフト台双
方に設置された水平ガイド103の位置合わせの確認
が、以下のように行われる。垂直方向については、上端
位置検出用センサ113によりリフト台108の上面位
置を検出して、制御手段106に信号を出力する。一
方、水平方向についても、水平位置検出センサ114を
用いてL型ブロック115の位置を検出して、垂直方向
と同様に信号が出力され、双方の信号によって位置出し
確認が行われる。
ず、油圧シリンダ110を駆動させ、リフト台108を
床面に近い一番低い位置にセットする。この操作により
被測定物であるレンズ1をステージ104に無理のない
姿勢で、容易に載置することができる。次に、油圧シリ
ンダ110を駆動させてリフト台108を昇降ガイド1
09に沿って上昇させる。リフト台108上に設置して
ある三個の位置出しブロック117がベース101上端
に設けられた上端用メカストッパ116に接触すること
により、あらかじめ決められていたリフト台108の最
上端位置で油圧シリンダ110が停止する。同時に、駒
111はフック112に連結され、ベースとリフト台双
方に設置された水平ガイド103の位置合わせの確認
が、以下のように行われる。垂直方向については、上端
位置検出用センサ113によりリフト台108の上面位
置を検出して、制御手段106に信号を出力する。一
方、水平方向についても、水平位置検出センサ114を
用いてL型ブロック115の位置を検出して、垂直方向
と同様に信号が出力され、双方の信号によって位置出し
確認が行われる。
【0010】フック112は空気圧シリンダ105に接
続されているロッドの先端に設けられており、空気圧シ
リンダ105を駆動させてステージ104は水平ガイド
103に沿って測定手段102における所定の測定位置
に向かって搬送される。ここで、ステージ104はメカ
ストッパ107により測定手段102の所定の測定位置
に位置決めされる。その後、被測定物であるレンズの面
精度や収差等の所望の光学性能測定が行われる。
続されているロッドの先端に設けられており、空気圧シ
リンダ105を駆動させてステージ104は水平ガイド
103に沿って測定手段102における所定の測定位置
に向かって搬送される。ここで、ステージ104はメカ
ストッパ107により測定手段102の所定の測定位置
に位置決めされる。その後、被測定物であるレンズの面
精度や収差等の所望の光学性能測定が行われる。
【0011】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、測定装置
の所定の測定位置とは異なる位置に、被測定物をステー
ジに載置できる搭載部を設けることにより、被測定物を
無理なく容易にステージに載置でき、搭載作業が容易に
かつ安全に行える。
の所定の測定位置とは異なる位置に、被測定物をステー
ジに載置できる搭載部を設けることにより、被測定物を
無理なく容易にステージに載置でき、搭載作業が容易に
かつ安全に行える。
【図1】本発明による測定装置の構成を示す正面図であ
る。
る。
【図2】本発明による測定装置の構成を示す側面図であ
る。
る。
【図3】本発明による測定装置の位置決め手段部の詳細
図である。
図である。
1・・・被測定物(レンズ) 101・・・ベース 102・・・測定手段 103・・・水平ガイド(レール) 104・・・ステージ 105・・・水平用駆動装置(空気圧シリンダ) 106・・・制御手段 107・・・メカストッパ 108・・・リフト台 109・・・昇降ガイド 110・・・上下用駆動装置(油圧シリンダ) 111・・・駒 112・・・フック 113・・・上下位置検出用センサ 114・・・水平位置検出用センサ 115・・・L形ブロック 116・・・上端用メカストッパ 117・・・位置出しブロック
Claims (2)
- 【請求項1】 ベースと、前記ベース上に設けられ被測
定物を載置するステージと、前記ステージを動かすため
の駆動手段と、前記被測定物を所定の測定位置で測定す
るための測定手段と、前記駆動手段と前記測定手段とを
制御する制御手段とからなる測定装置において、前記測
定位置とは異なる位置で前記ステージを昇降する昇降手
段を設けることを特徴とする測定装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の測定装置における昇降
手段が、リフト台と、前記リフト台を昇降させるための
駆動手段と、前記リフト台と前記ベース上に分けて敷設
されたステージ駆動用ガイドの位置決め手段とからなる
ことを特徴とする測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10300835A JP2000131475A (ja) | 1998-10-22 | 1998-10-22 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10300835A JP2000131475A (ja) | 1998-10-22 | 1998-10-22 | 測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000131475A true JP2000131475A (ja) | 2000-05-12 |
Family
ID=17889695
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10300835A Pending JP2000131475A (ja) | 1998-10-22 | 1998-10-22 | 測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000131475A (ja) |
-
1998
- 1998-10-22 JP JP10300835A patent/JP2000131475A/ja active Pending
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