JP2000131475A

JP2000131475A - 測定装置

Info

Publication number: JP2000131475A
Application number: JP10300835A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Endo; 淳遠藤
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1998-10-22
Filing date: 1998-10-22
Publication date: 2000-05-12

Abstract

(57)【要約】【課題】被測定物の搭載作業を容易にする測定装置を
得る。【課題手段】測定装置の所定の測定位置とは異なる位
置に、被測定物１をステージ１０４に載置できる搭載部
を設けることにより、容易に被測定物１を搭載できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物の搭載作
業を容易にかつ安全に行える測定装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来のレンズの光学性能を測定する装置
は、ベースと、レンズの面精度や収差を計測する干渉計
に代表される測定手段と、被測定物であるレンズを載置
してベース上のガイドに案内されるステージと、前記ス
テージをガイドに沿って水平に動かす駆動装置と、前記
測定手段の測定操作や前記駆動装置による前記ステージ
の搬送を制御する制御手段と、前記ステージを所定の測
定位置に固定するための位置決め手段とで構成されてい
る。

【０００３】この装置では、まず被測定物であるレンズ
を所定の測定位置と同じ高さにあるステージに搭載す
る。次に前記レンズを搭載したステージを水平駆動装置
により水平駆動用ガイドに沿って所定の測定位置まで搬
送する。前記ステージは、位置決め手段であるメカスト
ッパに接触することで所定の測定位置に固定される。そ
の後、レンズの面精度や収差等の光学性能測定が行われ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】近年被測定物であるレ
ンズが大型化して重量物となってきたために、上記のよ
うな装置では、被測定物を測定装置にに搭載する際の作
業性が悪く、安全性にも問題点がでてきた。そこで本発
明は、被測定物の搭載作業を容易にする測定装置を提供
することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し目
的を達成するために請求項１に記載の発明では、測定装
置の所定の測定位置とは異なる位置に、被測定物をステ
ージに載置できる搭載部を設け、さらに前記搭載部にお
いて被測定物を搭載したステージを搬送できる昇降手段
を設けることを特徴としている。

【０００６】また、請求項２に記載の発明では、被測定
物を載置したステージを昇降手段からベースに設けられ
た駆動手段へ搬送するための位置決め手段を測定装置に
設けることを特徴とした。以下に、本発明の実施の形態
を説明する。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図面を用いて説明する。図１は本発明の実施の
形態に係る測定装置の構成を示す正面図であり、図２は
同装置の側面図である。図１に示すように、ベース１０
１には、被測定物１の光学性能を計測する測定手段１０
２と、前記ベース１０１上とリフト台１０８上に分かれ
て敷設されている水平ガイド１０３と、被測定物１を載
置するステージ１０４を前記水平ガイド１０３の案内に
沿って搬送する水平用駆動装置１０５と、搬送されたス
テージ１０４を測定手段１０２で決められた所定の測定
位置に固定するためのメカストッパ１０７と、ステージ
１０４側面に設けられた駒１１１に連結されるフック１
１２と、前記ステージ１０４を搭載するリフト台１０８
と、前記リフト台１０８を垂直方向に搬送する昇降用駆
動装置１１０が設置されており、さらにベース１０１の
側面には、リフト台１０８の昇降ガイド１０９が設けら
れている。また、ベース１０１とは異なる位置に前記測
定手段１０２の計測操作や前記駆動装置１０５、１１０
による前記ステージの搬送操作を制御する制御手段１０
６が設けられている。本発明の実施の形態では、前記
水平ガイド１０３および昇降ガイド１０９として転がり
軸受けを用いたリニアモーションガイドを使用している
が、他の直進案内を使用しても構わない。またステージ
１０４の水平駆動装置１０５としては空気圧シリンダを
用いている。図２に示すように前記空気圧シリンダのロ
ッド先端には、ステージ１０４側面に設けられた駒１１
１を引っかけて水平方向に搬送するためのフック１１２
が取り付けられており、ステージ１０４が上昇すると、
前記フック１１２に前記駒１１１が入り込んで連結され
る。また、ステージ１０４が下降する際には、前記フッ
ク１１２から前記駒１１１が外れるように脱着可能な構
造になっている。リフト台１０８を動かすための昇降用
駆動装置１１０として本発明の実施の形態では、油圧シ
リンダを用いている。油圧シリンダは二個設置されてお
り、本体はベース１０１に固定され、前記油圧シリンダ
のロッド先端はリフト台１０８の下に当接されている。

【０００８】次に本発明の実施の形態においてベース１
０１とリフト台１０８に分けて敷設されている水平ガイ
ド１０３の位置決め手段について、図３を用いて説明す
る。本位置決め手段は、ベース１０１に取り付けられた
上下位置検出用センサ１１３と、水平位置検出用センサ
１１４と、上端用メカストッパ１１６と、リフト台１０
８に取り付けられたＬ型ブロック１１５と、位置出しブ
ロック１１７とから構成される。前述の通り水平ガイド
１０３のレールは、ベース１０１上と、リフト台１０８
上とに分かれて設けられている。位置出しブロック１１
７は、リフト台１０８上に敷設されている二本のレール
１０３よりも外側で、なおかつ測定手段１０２に近い角
部の二ケ所と、逆に測定手段１０２とは反対側の端部略
中央の一ケ所、合計三ケ所に設置されている。（図３で
はレール１０３の外側に設置されている一個を示し
た。）また、この位置出しブロック１１７に対応するベ
ース１０１上の位置に上端用メカストッパ１１６も同様
に三個設置されている。前記位置出しブロック１１７の
厚さを調整することで、三個のブロックそれぞれの差異
をなくすとともに、リフト台１０８の垂直方向の位置出
しをすることができ、リフト台１０８が上昇した上端位
置で垂直方向の繋ぎが合うように調整が施してある。ま
た、リフト台１０８には、前記測定手段１０２側に設置
された位置出しブロック１１７（二個）と、前記位置出
しブロック１１７（二個）に各々近接するレール１０３
との間にＬ型ブロック１１５（二個）が設置されてい
る。また、前記Ｌ型ブロック１１５に対応する水平位置
検出センサ１１４が二個、ベース１０１上に設置されて
いる。前記Ｌ形ブロック１１５と前記水平位置検出用セ
ンサ１１４とにより、リフト台１０８が上昇した上端位
置で水平方向の繋ぎが合うようにレール１０３の調整が
施してある。一方レール１０３の繋ぎの合わせになる先
端部分は、各々四本ともテーパ下降が施されており、ス
テージ１０４が、リフト台１０８上の水平ガイド１０３
からベース１０１上の水平ガイド１０３へとスムーズに
移動できるようになっている。さらにまた、Ｌ型ブロッ
ク１１５（二個）とその各々に近接するレール１０３と
の間に、上下位置検出用センサ１１３が二個、ベース１
０１に設置されてリフト台１０８の上下位置を検出でき
るようになっている。本発明の実施の形態では、前記上
端位置検出用センサ１１３と、水平位置検出用センサ１
１４として、渦電流式変位センサを用いているが、他の
センサを用いても構わない。

【０００９】以下に本装置の動作手順を説明する。ま
ず、油圧シリンダ１１０を駆動させ、リフト台１０８を
床面に近い一番低い位置にセットする。この操作により
被測定物であるレンズ１をステージ１０４に無理のない
姿勢で、容易に載置することができる。次に、油圧シリ
ンダ１１０を駆動させてリフト台１０８を昇降ガイド１
０９に沿って上昇させる。リフト台１０８上に設置して
ある三個の位置出しブロック１１７がベース１０１上端
に設けられた上端用メカストッパ１１６に接触すること
により、あらかじめ決められていたリフト台１０８の最
上端位置で油圧シリンダ１１０が停止する。同時に、駒
１１１はフック１１２に連結され、ベースとリフト台双
方に設置された水平ガイド１０３の位置合わせの確認
が、以下のように行われる。垂直方向については、上端
位置検出用センサ１１３によりリフト台１０８の上面位
置を検出して、制御手段１０６に信号を出力する。一
方、水平方向についても、水平位置検出センサ１１４を
用いてＬ型ブロック１１５の位置を検出して、垂直方向
と同様に信号が出力され、双方の信号によって位置出し
確認が行われる。

【００１０】フック１１２は空気圧シリンダ１０５に接
続されているロッドの先端に設けられており、空気圧シ
リンダ１０５を駆動させてステージ１０４は水平ガイド
１０３に沿って測定手段１０２における所定の測定位置
に向かって搬送される。ここで、ステージ１０４はメカ
ストッパ１０７により測定手段１０２の所定の測定位置
に位置決めされる。その後、被測定物であるレンズの面
精度や収差等の所望の光学性能測定が行われる。

【００１１】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、測定装置
の所定の測定位置とは異なる位置に、被測定物をステー
ジに載置できる搭載部を設けることにより、被測定物を
無理なく容易にステージに載置でき、搭載作業が容易に
かつ安全に行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による測定装置の構成を示す正面図であ
る。

【図２】本発明による測定装置の構成を示す側面図であ
る。

【図３】本発明による測定装置の位置決め手段部の詳細
図である。

【符号の説明】

１・・・被測定物（レンズ）１０１・・・ベース１０２・・・測定手段１０３・・・水平ガイド（レール）１０４・・・ステージ１０５・・・水平用駆動装置（空気圧シリンダ）１０６・・・制御手段１０７・・・メカストッパ１０８・・・リフト台１０９・・・昇降ガイド１１０・・・上下用駆動装置（油圧シリンダ）１１１・・・駒１１２・・・フック１１３・・・上下位置検出用センサ１１４・・・水平位置検出用センサ１１５・・・Ｌ形ブロック１１６・・・上端用メカストッパ１１７・・・位置出しブロック

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ベースと、前記ベース上に設けられ被測
定物を載置するステージと、前記ステージを動かすため
の駆動手段と、前記被測定物を所定の測定位置で測定す
るための測定手段と、前記駆動手段と前記測定手段とを
制御する制御手段とからなる測定装置において、前記測
定位置とは異なる位置で前記ステージを昇降する昇降手
段を設けることを特徴とする測定装置。
【請求項２】請求項１に記載の測定装置における昇降
手段が、リフト台と、前記リフト台を昇降させるための
駆動手段と、前記リフト台と前記ベース上に分けて敷設
されたステージ駆動用ガイドの位置決め手段とからなる
ことを特徴とする測定装置。