JP2000131245A - 透明フィルムの異物検査装置 - Google Patents
透明フィルムの異物検査装置Info
- Publication number
- JP2000131245A JP2000131245A JP10308506A JP30850698A JP2000131245A JP 2000131245 A JP2000131245 A JP 2000131245A JP 10308506 A JP10308506 A JP 10308506A JP 30850698 A JP30850698 A JP 30850698A JP 2000131245 A JP2000131245 A JP 2000131245A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent film
- dimensional ccd
- imaging
- ccd camera
- foreign matter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
- G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 透明フィルムが高速で走行しても、これに含
まれる異物を高精度に検出することのできる透明フィル
ムの異物検査装置を提供する。 【解決手段】 本発明に係る透明フィルムの異物検査装
置１は、走行する透明フィルム７に検査光を照射する照
明装置２と、透明フィルム７の走行方向Ａに移動しつつ
検査光を受光して透明フィルム７を撮像する一次元ＣＣ
Ｄカメラ３と、一次元ＣＣＤカメラ３の撮像結果に基づ
いて透明フィルム７中の異物を検査し、透明フィルム７
の良否を判定する良否判定装置とを有する。
まれる異物を高精度に検出することのできる透明フィル
ムの異物検査装置を提供する。 【解決手段】 本発明に係る透明フィルムの異物検査装
置１は、走行する透明フィルム７に検査光を照射する照
明装置２と、透明フィルム７の走行方向Ａに移動しつつ
検査光を受光して透明フィルム７を撮像する一次元ＣＣ
Ｄカメラ３と、一次元ＣＣＤカメラ３の撮像結果に基づ
いて透明フィルム７中の異物を検査し、透明フィルム７
の良否を判定する良否判定装置とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、透明なフィルムを
走行させてその中に含まれる異物を検査する透明フィル
ムの異物検査装置に関する。
走行させてその中に含まれる異物を検査する透明フィル
ムの異物検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、透明フィルムの異物検査装置
として、走行中の透明フィルムを一次元ＣＣＤカメラや
レーザー光でスキャンして透明フィルムの透過光量の変
化や拡散光を検出し、これにより透明フィルム中の異物
を検査してその製品としての良否を判定するものが知ら
れている。例えば特開平６−２４２０２３号公報に記載
された検査装置では、毎分数ｍの速さで走行する透明フ
ィルムを照明装置が下方から照射し、その透明フィルム
の上方に固定された所定の分解能を有する一次元ＣＣＤ
カメラが透明フィルムの透過光を受光し撮像することに
よって、透明フィルム中に含まれる異物の有無が検査さ
れる。
として、走行中の透明フィルムを一次元ＣＣＤカメラや
レーザー光でスキャンして透明フィルムの透過光量の変
化や拡散光を検出し、これにより透明フィルム中の異物
を検査してその製品としての良否を判定するものが知ら
れている。例えば特開平６−２４２０２３号公報に記載
された検査装置では、毎分数ｍの速さで走行する透明フ
ィルムを照明装置が下方から照射し、その透明フィルム
の上方に固定された所定の分解能を有する一次元ＣＣＤ
カメラが透明フィルムの透過光を受光し撮像することに
よって、透明フィルム中に含まれる異物の有無が検査さ
れる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の検査装置では、検査時間の短縮・効率化のた
めに透明フィルムを例えば毎分数十ｍの高速で走行させ
た場合に、その走行速度に一次元ＣＣＤカメラやレーザ
ー光のスキャン速度が追いつかず、異物の検出が困難に
なるという問題がある。とりわけ異物が微小である場合
にはその発見が難しく、本来不良品と判定されるべき透
明フィルムが良品として判定されるおそれが大きい。
うな従来の検査装置では、検査時間の短縮・効率化のた
めに透明フィルムを例えば毎分数十ｍの高速で走行させ
た場合に、その走行速度に一次元ＣＣＤカメラやレーザ
ー光のスキャン速度が追いつかず、異物の検出が困難に
なるという問題がある。とりわけ異物が微小である場合
にはその発見が難しく、本来不良品と判定されるべき透
明フィルムが良品として判定されるおそれが大きい。
【０００４】本発明は、上記の事情に鑑みて為されたも
ので、透明フィルムが高速で走行しても、これに含まれ
る異物を高精度に検出することのできる透明フィルムの
異物検査装置を提供することを課題としている。
ので、透明フィルムが高速で走行しても、これに含まれ
る異物を高精度に検出することのできる透明フィルムの
異物検査装置を提供することを課題としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１に記載の透明フィルムの異物検査装置は、
走行する透明フィルムに検査光を照射する照明装置と、
前記透明フィルムの走行方向に移動しつつ前記検査光を
受光して前記透明フィルムを撮像する撮像装置と、該撮
像装置の撮像結果に基づいて前記透明フィルム中の異物
を検査し、前記透明フィルムの良否を判定する良否判定
装置とを有することを特徴とする。
め、請求項１に記載の透明フィルムの異物検査装置は、
走行する透明フィルムに検査光を照射する照明装置と、
前記透明フィルムの走行方向に移動しつつ前記検査光を
受光して前記透明フィルムを撮像する撮像装置と、該撮
像装置の撮像結果に基づいて前記透明フィルム中の異物
を検査し、前記透明フィルムの良否を判定する良否判定
装置とを有することを特徴とする。
【０００６】この透明フィルムの異物検査装置によれ
ば、撮像装置が透明フィルムの走行方向に移動しつつ透
明フィルムの撮像を行うので、撮像装置から見た透明フ
ィルムの走行速度は減殺され、透明フィルムの走行速度
を絶対的には高速としても撮像装置から見たその走行速
度はそれほど高速とはならない。このため、透明フィル
ムの高速走行に撮像が追従可能で、透明フィルム中の異
物の検出を高精度に行うことができる。
ば、撮像装置が透明フィルムの走行方向に移動しつつ透
明フィルムの撮像を行うので、撮像装置から見た透明フ
ィルムの走行速度は減殺され、透明フィルムの走行速度
を絶対的には高速としても撮像装置から見たその走行速
度はそれほど高速とはならない。このため、透明フィル
ムの高速走行に撮像が追従可能で、透明フィルム中の異
物の検出を高精度に行うことができる。
【０００７】請求項２に記載の透明フィルムの異物検査
装置は、請求項１に記載の透明フィルムの異物検査装置
において、前記撮像装置が前記走行方向に沿って複数設
けられ、各撮像装置が前記走行方向に沿って往復動可能
であるとともに、一の撮像装置が前記走行方向と反対方
向に移動する際に撮像できない領域を他の撮像装置が撮
像することによって、前記透明フィルムの全面的な検査
を行うことを特徴とする。
装置は、請求項１に記載の透明フィルムの異物検査装置
において、前記撮像装置が前記走行方向に沿って複数設
けられ、各撮像装置が前記走行方向に沿って往復動可能
であるとともに、一の撮像装置が前記走行方向と反対方
向に移動する際に撮像できない領域を他の撮像装置が撮
像することによって、前記透明フィルムの全面的な検査
を行うことを特徴とする。
【０００８】この透明フィルムの異物検査装置によれ
ば、撮像装置が走行方向に沿って往復動可能であるの
で、その往復動のための距離を確保しうる範囲内で検査
装置全体の走行方向に沿った寸法を短く抑えることがで
きる。また、一の撮像装置が走行方向と反対方向に移動
する際に撮像できない領域を、他の撮像装置が撮像して
カバーするので、透明フィルムにおいて撮像されない領
域が生じうるという上記往復動に基づく弊害が除去され
る。
ば、撮像装置が走行方向に沿って往復動可能であるの
で、その往復動のための距離を確保しうる範囲内で検査
装置全体の走行方向に沿った寸法を短く抑えることがで
きる。また、一の撮像装置が走行方向と反対方向に移動
する際に撮像できない領域を、他の撮像装置が撮像して
カバーするので、透明フィルムにおいて撮像されない領
域が生じうるという上記往復動に基づく弊害が除去され
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００１０】図１及び図２は、本発明に係る透明フィル
ムの異物検査装置を示す。この透明フィルムの異物検査
装置１は、照明装置２と、撮像装置としての一次元ＣＣ
Ｄカメラ３と、制御装置４と、Ａ／Ｄ変換装置５と、良
否判定装置６と、図示を略すフィルム送り機構とを備え
ている。このフィルム送り機構は、走行方向Ａに透明フ
ィルム７を走行させる。透明フィルム７は、例えば液晶
の色パターン印刷用として使用され、無色透明、有色透
明の別は問わない。
ムの異物検査装置を示す。この透明フィルムの異物検査
装置１は、照明装置２と、撮像装置としての一次元ＣＣ
Ｄカメラ３と、制御装置４と、Ａ／Ｄ変換装置５と、良
否判定装置６と、図示を略すフィルム送り機構とを備え
ている。このフィルム送り機構は、走行方向Ａに透明フ
ィルム７を走行させる。透明フィルム７は、例えば液晶
の色パターン印刷用として使用され、無色透明、有色透
明の別は問わない。
【００１１】照明装置２は直管型の蛍光灯により構成さ
れ、走行方向Ａと直交する水平方向Ｂに沿ってのびるよ
うに、走行する透明フィルム７の下方に２台設置されて
いる。照明装置２は透明フィルム７に向けて検査光を照
射する照射部２ａを備え、この照射部２ａの走行方向Ａ
に沿った幅はＤとなっている。
れ、走行方向Ａと直交する水平方向Ｂに沿ってのびるよ
うに、走行する透明フィルム７の下方に２台設置されて
いる。照明装置２は透明フィルム７に向けて検査光を照
射する照射部２ａを備え、この照射部２ａの走行方向Ａ
に沿った幅はＤとなっている。
【００１２】透明フィルム７の上方には、走行方向Ａに
沿ってのびるガイドレール８と、ガイドレール８に支持
されこれに沿って移動可能なフレーム９とが設けられて
いる。フレーム９は水平方向Ｂに沿ってのびる一対の辺
部９ａ，９ｂを有し、一次元ＣＣＤカメラ３はその辺部
９ａ，９ｂにそれぞれ５台ずつ設けられている。この辺
部９ａの各一次元ＣＣＤカメラ３と辺部９ｂの各一次元
ＣＣＤカメラ３とは走行方向Ａに沿うように１台ずつ対
応して設置されている。
沿ってのびるガイドレール８と、ガイドレール８に支持
されこれに沿って移動可能なフレーム９とが設けられて
いる。フレーム９は水平方向Ｂに沿ってのびる一対の辺
部９ａ，９ｂを有し、一次元ＣＣＤカメラ３はその辺部
９ａ，９ｂにそれぞれ５台ずつ設けられている。この辺
部９ａの各一次元ＣＣＤカメラ３と辺部９ｂの各一次元
ＣＣＤカメラ３とは走行方向Ａに沿うように１台ずつ対
応して設置されている。
【００１３】フレーム９は制御装置４により動作制御さ
れ、ガイドレール８に沿って往復動を行う。このフレー
ム９の往復動に伴って、一次元ＣＣＤカメラ３は走行方
向Ａに沿って距離Ｌ１だけ往復動する（図５参照）。こ
こでは、距離Ｌ１と照射部２ａの幅Ｄとの間にＬ１＜Ｄ
の関係があり、フレーム９が往復動しても辺部９ａの一
次元ＣＣＤカメラ３は常に一の照明装置２の上方に位置
し、辺部９ｂの一次元ＣＣＤカメラ３は常に他の照明装
置２の上方に位置するようになっている。
れ、ガイドレール８に沿って往復動を行う。このフレー
ム９の往復動に伴って、一次元ＣＣＤカメラ３は走行方
向Ａに沿って距離Ｌ１だけ往復動する（図５参照）。こ
こでは、距離Ｌ１と照射部２ａの幅Ｄとの間にＬ１＜Ｄ
の関係があり、フレーム９が往復動しても辺部９ａの一
次元ＣＣＤカメラ３は常に一の照明装置２の上方に位置
し、辺部９ｂの一次元ＣＣＤカメラ３は常に他の照明装
置２の上方に位置するようになっている。
【００１４】Ａ／Ｄ変換装置５は、辺部９ａ，９ｂの各
一次元ＣＣＤカメラ３に接続され、制御装置４からの制
御信号に応じて一次元ＣＣＤカメラ３からの撮像信号を
取り込みこれをＡ／Ｄ変換する。良否判定装置６はその
Ａ／Ｄ変換装置５に接続され、一次元ＣＣＤカメラ３の
撮像結果に基づいて透明フィルム７中の異物を検査し、
透明フィルム７の製品としての良否を判定する。
一次元ＣＣＤカメラ３に接続され、制御装置４からの制
御信号に応じて一次元ＣＣＤカメラ３からの撮像信号を
取り込みこれをＡ／Ｄ変換する。良否判定装置６はその
Ａ／Ｄ変換装置５に接続され、一次元ＣＣＤカメラ３の
撮像結果に基づいて透明フィルム７中の異物を検査し、
透明フィルム７の製品としての良否を判定する。
【００１５】この検査装置１では、走行方向Ａに走行す
る透明フィルム７を照明装置２からの検査光が下方から
照射し、透明フィルム７を透過したその検査光を一次元
ＣＣＤカメラ３が走行方向Ａに移動しつつ受光すること
によって、透明フィルム７の撮像が行われる。詳細に
は、辺部９ａ，９ｂの各一次元ＣＣＤカメラ３を構成す
る画素の受光量が水平方向Ｂに沿って順次検出され、そ
の受光量が透明フィルム７に含まれる異物の遮光により
減少して予め設定された良否判定基準値を下回った場合
に（図３）、透明フィルム７が良否判定装置６により不
良と判断される。
る透明フィルム７を照明装置２からの検査光が下方から
照射し、透明フィルム７を透過したその検査光を一次元
ＣＣＤカメラ３が走行方向Ａに移動しつつ受光すること
によって、透明フィルム７の撮像が行われる。詳細に
は、辺部９ａ，９ｂの各一次元ＣＣＤカメラ３を構成す
る画素の受光量が水平方向Ｂに沿って順次検出され、そ
の受光量が透明フィルム７に含まれる異物の遮光により
減少して予め設定された良否判定基準値を下回った場合
に（図３）、透明フィルム７が良否判定装置６により不
良と判断される。
【００１６】その透明フィルム７の走行速度をＶｓ、一
次元ＣＣＤカメラ３の走行方向Ａの移動速度をＶｃｆ
（＜Ｖｓ）とすると、透明フィルム７は一次元ＣＣＤカ
メラ３から見て走行方向Ａに速度（Ｖｓ−Ｖｃｆ）で走
行する。よって、図４において上から下に順に示すよう
に、一次元ＣＣＤカメラ３による透明フィルム７の撮像
領域（図中の斜線部）は徐々に拡大していく。
次元ＣＣＤカメラ３の走行方向Ａの移動速度をＶｃｆ
（＜Ｖｓ）とすると、透明フィルム７は一次元ＣＣＤカ
メラ３から見て走行方向Ａに速度（Ｖｓ−Ｖｃｆ）で走
行する。よって、図４において上から下に順に示すよう
に、一次元ＣＣＤカメラ３による透明フィルム７の撮像
領域（図中の斜線部）は徐々に拡大していく。
【００１７】一次元ＣＣＤカメラ３は走行方向Ａに距離
Ｌ１だけ移動すると、走行方向Ａと反対方向に同じく距
離Ｌ１だけ移動して、再度走行方向Ａに移動しながら撮
像を行う。走行方向Ａと反対方向に移動しているその間
に一次元ＣＣＤカメラ３は撮像を行わない一方、透明フ
ィルム７は走行方向Ａに走行し続けている。このため、
走行方向Ａの上流側にある辺部９ａの一次元ＣＣＤカメ
ラ３のみでは撮像できない領域が生じ、同方向の下流側
に位置する辺部９ｂの一次元ＣＣＤカメラ３の設置は、
辺部９ａの一次元ＣＣＤカメラ３が撮像できない透明フ
ィルム７の領域を撮像しうるように以下の一般的考察に
基づいている。
Ｌ１だけ移動すると、走行方向Ａと反対方向に同じく距
離Ｌ１だけ移動して、再度走行方向Ａに移動しながら撮
像を行う。走行方向Ａと反対方向に移動しているその間
に一次元ＣＣＤカメラ３は撮像を行わない一方、透明フ
ィルム７は走行方向Ａに走行し続けている。このため、
走行方向Ａの上流側にある辺部９ａの一次元ＣＣＤカメ
ラ３のみでは撮像できない領域が生じ、同方向の下流側
に位置する辺部９ｂの一次元ＣＣＤカメラ３の設置は、
辺部９ａの一次元ＣＣＤカメラ３が撮像できない透明フ
ィルム７の領域を撮像しうるように以下の一般的考察に
基づいている。
【００１８】走行方向Ａに沿って一次元ＣＣＤカメラ３
がＮ台（Ｎ≧２）設置されているとき、図５に示すよう
に、一次元ＣＣＤカメラ３の設置間隔をＬ、撮像開始点
（往復動の上流側端点）をＳ、撮像終了点（往復動の下
流側端点）をＥとする。また、一次元ＣＣＤカメラ３が
走行方向Ａに移動しつつ撮像する透明フィルム７の領域
の長さをＬ２、このときの所要時間をｔ１、一次元ＣＣ
Ｄカメラ３が走行方向Ａと反対方向に移動している間に
透明フィルム７が走行する距離をＬ３、このときの一次
元ＣＣＤカメラ３の移動速度をＶｃｂ、所要時間をｔ２
とする。
がＮ台（Ｎ≧２）設置されているとき、図５に示すよう
に、一次元ＣＣＤカメラ３の設置間隔をＬ、撮像開始点
（往復動の上流側端点）をＳ、撮像終了点（往復動の下
流側端点）をＥとする。また、一次元ＣＣＤカメラ３が
走行方向Ａに移動しつつ撮像する透明フィルム７の領域
の長さをＬ２、このときの所要時間をｔ１、一次元ＣＣ
Ｄカメラ３が走行方向Ａと反対方向に移動している間に
透明フィルム７が走行する距離をＬ３、このときの一次
元ＣＣＤカメラ３の移動速度をＶｃｂ、所要時間をｔ２
とする。
【００１９】時刻ｔ＝０において撮像開始点Ｓにある各
一次元ＣＣＤカメラ３がｔ＝ｔ１で撮像終了点Ｅに達し
たとき、透明フィルム７においては、下流側の一次元Ｃ
ＣＤカメラ３による撮像の終了地点Ｑが上流側の一次元
ＣＣＤカメラ３による撮像の開始地点Ｐと一致して、両
者の撮像領域が重複なく連続するものとする。
一次元ＣＣＤカメラ３がｔ＝ｔ１で撮像終了点Ｅに達し
たとき、透明フィルム７においては、下流側の一次元Ｃ
ＣＤカメラ３による撮像の終了地点Ｑが上流側の一次元
ＣＣＤカメラ３による撮像の開始地点Ｐと一致して、両
者の撮像領域が重複なく連続するものとする。
【００２０】その撮像終了点Ｅから撮像開始点Ｓに各一
次元ＣＣＤカメラ３が戻るとき、透明フィルム７は距離
Ｌ３だけ走行するが、この間撮像は行われないため、各
一次元ＣＣＤカメラ３が撮像開始点Ｓに帰着し次の撮像
を開始するｔ＝ｔ１＋ｔ２の時点で、最も上流側の一次
元ＣＣＤカメラ３による撮像の終了地点が最も下流側の
一次元ＣＣＤカメラ３の撮像開始点Ｓよりも下流にまで
進行しているとすると、その撮像の終了地点よりも上流
側で撮像開始点Ｓよりも下流側の透明フィルム７の部分
は、いずれの一次元ＣＣＤカメラ３によっても撮像され
ず異物検査が不可能となる。
次元ＣＣＤカメラ３が戻るとき、透明フィルム７は距離
Ｌ３だけ走行するが、この間撮像は行われないため、各
一次元ＣＣＤカメラ３が撮像開始点Ｓに帰着し次の撮像
を開始するｔ＝ｔ１＋ｔ２の時点で、最も上流側の一次
元ＣＣＤカメラ３による撮像の終了地点が最も下流側の
一次元ＣＣＤカメラ３の撮像開始点Ｓよりも下流にまで
進行しているとすると、その撮像の終了地点よりも上流
側で撮像開始点Ｓよりも下流側の透明フィルム７の部分
は、いずれの一次元ＣＣＤカメラ３によっても撮像され
ず異物検査が不可能となる。
【００２１】したがって、最も上流側の一次元ＣＣＤカ
メラ３による撮像の終了地点の進行は、時刻ｔ＝ｔ１＋
ｔ２の時点でせいぜい最も下流側の一次元ＣＣＤカメラ
３の撮像開始点Ｓにとどまっていなければならず、ま
た、このような場合に撮像の重複なく最も効率的に検査
を行うことができるので、ここでは、ｔ＝ｔ１＋ｔ２の
時点において、最も上流側の一次元ＣＣＤカメラ３によ
る撮像の終了地点が最も下流側の一次元ＣＣＤカメラ３
の撮像開始点Ｓに位置するものとする。
メラ３による撮像の終了地点の進行は、時刻ｔ＝ｔ１＋
ｔ２の時点でせいぜい最も下流側の一次元ＣＣＤカメラ
３の撮像開始点Ｓにとどまっていなければならず、ま
た、このような場合に撮像の重複なく最も効率的に検査
を行うことができるので、ここでは、ｔ＝ｔ１＋ｔ２の
時点において、最も上流側の一次元ＣＣＤカメラ３によ
る撮像の終了地点が最も下流側の一次元ＣＣＤカメラ３
の撮像開始点Ｓに位置するものとする。
【００２２】このような設定の下で、最も上流側の一次
元ＣＣＤカメラ３により撮像できない透明フィルム７の
領域を下流に設置された（Ｎ−１）台の一次元ＣＣＤカ
メラ３により撮像するためには、以下の、の条件が
満たされることが必要となる。 １台の一次元ＣＣＤカメラ３で撮像できない透明フ
ィルム７の領域を他の（Ｎ−１）台の一次元ＣＣＤカメ
ラ３で撮像するために、一次元ＣＣＤカメラ３が１往復
する間に撮像できる領域が撮像できない領域の１／（Ｎ
−１）となっていること。 隣接する一次元ＣＣＤカメラ３の各撮像領域が連続
となるように、一次元ＣＣＤカメラ３の設置間隔Ｌが設
定されていること。すなわち、一次元ＣＣＤカメラ３が
１回に撮像できる領域の長さＬ２と設置間隔Ｌが等しい
こと。
元ＣＣＤカメラ３により撮像できない透明フィルム７の
領域を下流に設置された（Ｎ−１）台の一次元ＣＣＤカ
メラ３により撮像するためには、以下の、の条件が
満たされることが必要となる。 １台の一次元ＣＣＤカメラ３で撮像できない透明フ
ィルム７の領域を他の（Ｎ−１）台の一次元ＣＣＤカメ
ラ３で撮像するために、一次元ＣＣＤカメラ３が１往復
する間に撮像できる領域が撮像できない領域の１／（Ｎ
−１）となっていること。 隣接する一次元ＣＣＤカメラ３の各撮像領域が連続
となるように、一次元ＣＣＤカメラ３の設置間隔Ｌが設
定されていること。すなわち、一次元ＣＣＤカメラ３が
１回に撮像できる領域の長さＬ２と設置間隔Ｌが等しい
こと。
【００２３】図５からも明らかなように、１台の一次元
ＣＣＤカメラ３で撮像できない領域の長さは（Ｌ１＋Ｌ
３）であるので、、の各条件が満たされるとき次式
が成立する。
ＣＣＤカメラ３で撮像できない領域の長さは（Ｌ１＋Ｌ
３）であるので、、の各条件が満たされるとき次式
が成立する。
【００２４】 Ｌ２＝（Ｌ１＋Ｌ３）／（Ｎ−１） …（１） Ｌ＝Ｌ２ …（２） 一方、定義より Ｌ２＝（Ｖｓ−Ｖｃｆ）×ｔ１ …（３） ｔ１＝Ｌ１／Ｖｃｆ …（４） Ｌ３＝Ｖｓ×ｔ２ …（５） ｔ２＝Ｌ１／Ｖｃｂ …（６） が成り立ち、０＜α＜１なる係数α、β＞０なる係数β
を用いて Ｖｃｆ＝αＶｓ …（７） Ｖｃｂ＝βＶｃｆ＝αβＶｓ …（８） とすると、式（１）及び式（３）〜式（８）より β＝１／｛（１−α）Ｎ−１｝ …（９） が成立する。β＞０であるので （１−α）Ｎ−１＞０ よって、透明フィルム７の走行速度Ｖｓが定まると、 α＜（Ｎ−１）／Ｎ …（１０） が一次元ＣＣＤカメラ３の移動速度Ｖｃｆの制約条件と
なる。
を用いて Ｖｃｆ＝αＶｓ …（７） Ｖｃｂ＝βＶｃｆ＝αβＶｓ …（８） とすると、式（１）及び式（３）〜式（８）より β＝１／｛（１−α）Ｎ−１｝ …（９） が成立する。β＞０であるので （１−α）Ｎ−１＞０ よって、透明フィルム７の走行速度Ｖｓが定まると、 α＜（Ｎ−１）／Ｎ …（１０） が一次元ＣＣＤカメラ３の移動速度Ｖｃｆの制約条件と
なる。
【００２５】また、式（２）〜式（４）及び式（７）よ
り Ｌ＝Ｌ２＝｛（１−α）／α｝×Ｌ１ …（１１） となるので、透明フィルム７の走行速度Ｖｓ、一次元Ｃ
ＣＤカメラ３の移動速度Ｖｃｆ、往復動の距離Ｌ１を初
期条件として設定すると、式（７）〜式（９）より移動
速度Ｖｃｂを、式（１１）より設置間隔Ｌをそれぞれ算
出することができる。
り Ｌ＝Ｌ２＝｛（１−α）／α｝×Ｌ１ …（１１） となるので、透明フィルム７の走行速度Ｖｓ、一次元Ｃ
ＣＤカメラ３の移動速度Ｖｃｆ、往復動の距離Ｌ１を初
期条件として設定すると、式（７）〜式（９）より移動
速度Ｖｃｂを、式（１１）より設置間隔Ｌをそれぞれ算
出することができる。
【００２６】以下、より具体的な実施例について説明す
る。
る。
【００２７】検査装置１においてＮ＝２であり、透明フ
ィルム７の水平方向Ｂに沿った幅は１２００ｍｍとす
る。この透明フィルム７については、最小５０μｍ程度
の異物まで検出を要求される。
ィルム７の水平方向Ｂに沿った幅は１２００ｍｍとす
る。この透明フィルム７については、最小５０μｍ程度
の異物まで検出を要求される。
【００２８】一次元ＣＣＤカメラ３については、辺部９
ａ及び辺部９ｂの１ラインの素子数を５０００ｂｉｔ、
動作クロック（１素子の信号を読み込む周期）を２０Ｍ
Ｈｚ、カメラ１台当たりの視野を２５０ｍｍ、幅方向の
分解能を０．０５ｍｍ／画素とする。
ａ及び辺部９ｂの１ラインの素子数を５０００ｂｉｔ、
動作クロック（１素子の信号を読み込む周期）を２０Ｍ
Ｈｚ、カメラ１台当たりの視野を２５０ｍｍ、幅方向の
分解能を０．０５ｍｍ／画素とする。
【００２９】初期条件として透明フィルム７の走行速度
Ｖｓを毎分４０ｍ、一次元ＣＣＤカメラ３の往復動の距
離Ｌ１を３００ｍｍ、移動速度Ｖｃｆを式（１０）を満
たすように毎分１５ｍと設定すると、式（７）及び式
（９）よりα＝３／８、β＝４となって式（８）より移
動速度Ｖｃｂは毎分６０ｍとなる。さらに、式（１１）
より設置間隔Ｌは５００ｍｍとなるので、辺部９ｂの各
一次元ＣＣＤカメラ３は辺部９ａの各一次元ＣＣＤカメ
ラ３と５００ｍｍの間隔をあけて設置すればよい。
Ｖｓを毎分４０ｍ、一次元ＣＣＤカメラ３の往復動の距
離Ｌ１を３００ｍｍ、移動速度Ｖｃｆを式（１０）を満
たすように毎分１５ｍと設定すると、式（７）及び式
（９）よりα＝３／８、β＝４となって式（８）より移
動速度Ｖｃｂは毎分６０ｍとなる。さらに、式（１１）
より設置間隔Ｌは５００ｍｍとなるので、辺部９ｂの各
一次元ＣＣＤカメラ３は辺部９ａの各一次元ＣＣＤカメ
ラ３と５００ｍｍの間隔をあけて設置すればよい。
【００３０】この実施の形態に係る透明フィルムの異物
検査装置１では、一次元ＣＣＤカメラ３が透明フィルム
７の走行方向Ａに移動しつつその撮像を行うので、一次
元ＣＣＤカメラ３から見た透明フィルム７の走行速度は
移動速度Ｖｃｆだけ減殺され、透明フィルム７の走行速
度Ｖｓを絶対的には高速としても一次元ＣＣＤカメラ３
から見たその走行速度（Ｖｓ−Ｖｃｆ）はそれほど高速
とはならない。このため、透明フィルム７の高速走行に
撮像が追従可能で、透明フィルム７中に微小な異物が含
まれていてもこれを高精度に検出することができる。
検査装置１では、一次元ＣＣＤカメラ３が透明フィルム
７の走行方向Ａに移動しつつその撮像を行うので、一次
元ＣＣＤカメラ３から見た透明フィルム７の走行速度は
移動速度Ｖｃｆだけ減殺され、透明フィルム７の走行速
度Ｖｓを絶対的には高速としても一次元ＣＣＤカメラ３
から見たその走行速度（Ｖｓ−Ｖｃｆ）はそれほど高速
とはならない。このため、透明フィルム７の高速走行に
撮像が追従可能で、透明フィルム７中に微小な異物が含
まれていてもこれを高精度に検出することができる。
【００３１】例えば、上記実施例においては、一次元Ｃ
ＣＤカメラ３から見た透明フィルム７の相対速度（Ｖｓ
−Ｖｃｆ）は毎分２５ｍとなり、透明フィルム７の１秒
当たりの走行距離は｛（２５×１０3）／６０｝ｍｍと
なる。また、素子数ｎ、動作クロックＣ［ＭＨｚ］のラ
インセンサが１回のスキャンに要する時間は一般に｛ｎ
／（Ｃ×１０6）｝［秒］と表されるので、検査装置１
における流れ方向分解能、すなわち、１スキャン当たり
の透明フィルム７の移動距離は、 ｛（２５×１０3）／６０｝×｛５０００／（２０×１
０6）｝＝０．１０４ｍｍ となる。
ＣＤカメラ３から見た透明フィルム７の相対速度（Ｖｓ
−Ｖｃｆ）は毎分２５ｍとなり、透明フィルム７の１秒
当たりの走行距離は｛（２５×１０3）／６０｝ｍｍと
なる。また、素子数ｎ、動作クロックＣ［ＭＨｚ］のラ
インセンサが１回のスキャンに要する時間は一般に｛ｎ
／（Ｃ×１０6）｝［秒］と表されるので、検査装置１
における流れ方向分解能、すなわち、１スキャン当たり
の透明フィルム７の移動距離は、 ｛（２５×１０3）／６０｝×｛５０００／（２０×１
０6）｝＝０．１０４ｍｍ となる。
【００３２】一方、撮像装置が固定式の従来の検査装置
によれば、上記同様の条件の下では一次元ＣＣＤカメラ
に対する透明フィルムの移動速度が毎分４０ｍとなるの
で、流れ方向分解能は０．１６７ｍｍとなる。よって、
検査装置１は流れ方向分解能について従来比で約４０％
改善されていることになる。
によれば、上記同様の条件の下では一次元ＣＣＤカメラ
に対する透明フィルムの移動速度が毎分４０ｍとなるの
で、流れ方向分解能は０．１６７ｍｍとなる。よって、
検査装置１は流れ方向分解能について従来比で約４０％
改善されていることになる。
【００３３】また、この検査装置１では、一次元ＣＣＤ
カメラ３が走行方向Ａに沿って往復動可能であるので、
その往復動のための距離Ｌ１を確保しうる範囲内で検査
装置全体の走行方向Ａに沿った寸法を短く抑えることが
できる。ここでは、辺部９ａの一次元ＣＣＤカメラ３が
走行方向Ａと反対方向に移動する際に撮像できない領域
を、辺部９ｂの一次元ＣＣＤカメラ３が撮像してカバー
するので、透明フィルム７において撮像されない領域が
生じうるという上記往復動に基づく弊害が除去されてい
る。
カメラ３が走行方向Ａに沿って往復動可能であるので、
その往復動のための距離Ｌ１を確保しうる範囲内で検査
装置全体の走行方向Ａに沿った寸法を短く抑えることが
できる。ここでは、辺部９ａの一次元ＣＣＤカメラ３が
走行方向Ａと反対方向に移動する際に撮像できない領域
を、辺部９ｂの一次元ＣＣＤカメラ３が撮像してカバー
するので、透明フィルム７において撮像されない領域が
生じうるという上記往復動に基づく弊害が除去されてい
る。
【００３４】以上、本発明の具体的な実施の形態を図面
に基づいて説明したが、本発明は上述の構成に限られる
ものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲内での設計
変更等があっても本発明に含まれる。例えば、上記検査
装置１においては走行方向Ａに沿って一次元ＣＣＤカメ
ラ３を２台設置したが、３台以上設けてもよく、このよ
うに台数を増やすことにより撮像精度を確保しつつ透明
フィルムの走行速度を上げることができる。
に基づいて説明したが、本発明は上述の構成に限られる
ものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲内での設計
変更等があっても本発明に含まれる。例えば、上記検査
装置１においては走行方向Ａに沿って一次元ＣＣＤカメ
ラ３を２台設置したが、３台以上設けてもよく、このよ
うに台数を増やすことにより撮像精度を確保しつつ透明
フィルムの走行速度を上げることができる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、撮像装置が透明フィルムの走行方向に移動しつ
つ透明フィルムの撮像を行うので、撮像装置から見た透
明フィルムの走行速度は減殺され、透明フィルムの走行
速度を絶対的には高速としても撮像装置から見たその走
行速度はそれほど高速とはならない。このため、透明フ
ィルムの高速走行に撮像が追従可能で、透明フィルム中
の異物の検出を高精度に行うことができる。
よれば、撮像装置が透明フィルムの走行方向に移動しつ
つ透明フィルムの撮像を行うので、撮像装置から見た透
明フィルムの走行速度は減殺され、透明フィルムの走行
速度を絶対的には高速としても撮像装置から見たその走
行速度はそれほど高速とはならない。このため、透明フ
ィルムの高速走行に撮像が追従可能で、透明フィルム中
の異物の検出を高精度に行うことができる。
【００３６】請求項２の発明によれば、撮像装置が走行
方向に沿って往復動可能であるので、その往復動のため
の距離を確保しうる範囲内で検査装置全体の走行方向に
沿った寸法を短く抑えることができる。また、一の撮像
装置が走行方向と反対方向に移動する際に撮像できない
領域を、他の撮像装置が撮像してカバーするので、透明
フィルムにおいて撮像されない領域が生じうるという上
記往復動に基づく弊害が除去される。
方向に沿って往復動可能であるので、その往復動のため
の距離を確保しうる範囲内で検査装置全体の走行方向に
沿った寸法を短く抑えることができる。また、一の撮像
装置が走行方向と反対方向に移動する際に撮像できない
領域を、他の撮像装置が撮像してカバーするので、透明
フィルムにおいて撮像されない領域が生じうるという上
記往復動に基づく弊害が除去される。
【図１】本発明に係る透明フィルムの異物検査装置を示
す説明図である。
す説明図である。
【図２】図１の透明フィルムの異物検査装置の概略構成
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図３】一次元ＣＣＤカメラの撮像結果に基づく良否判
定方法を示す説明図である。
定方法を示す説明図である。
【図４】一次元ＣＣＤカメラの撮像領域が順次拡大して
いく様子を示す説明図である。
いく様子を示す説明図である。
【図５】複数の一次元ＣＣＤカメラによる撮像を経時的
に示す説明図である。
に示す説明図である。
１ 透明フィルムの異物検査装置 ２ 照明装置 ３ 一次元ＣＣＤカメラ（撮像装置） ７ 透明フィルム Ａ 走行方向
Claims (2)
- 【請求項１】走行する透明フィルムに検査光を照射する
照明装置と、前記透明フィルムの走行方向に移動しつつ
前記検査光を受光して前記透明フィルムを撮像する撮像
装置と、該撮像装置の撮像結果に基づいて前記透明フィ
ルム中の異物を検査し、前記透明フィルムの良否を判定
する良否判定装置とを有することを特徴とする透明フィ
ルムの異物検査装置。 - 【請求項２】前記撮像装置が前記走行方向に沿って複数
設けられ、各撮像装置が前記走行方向に沿って往復動可
能であるとともに、一の撮像装置が前記走行方向と反対
方向に移動する際に撮像できない領域を他の撮像装置が
撮像することによって、前記透明フィルムの全面的な検
査を行うことを特徴とする請求項１に記載の透明フィル
ムの異物検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10308506A JP2000131245A (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | 透明フィルムの異物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10308506A JP2000131245A (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | 透明フィルムの異物検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000131245A true JP2000131245A (ja) | 2000-05-12 |
Family
ID=17981852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10308506A Pending JP2000131245A (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | 透明フィルムの異物検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000131245A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009531718A (ja) * | 2007-03-28 | 2009-09-03 | エスエヌユー プレシジョン カンパニー リミテッド | ビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法 |
| KR101364148B1 (ko) | 2012-07-27 | 2014-02-17 | 윈텍 주식회사 | 카메라 이동형 자동 광학 검사 장치 |
| CN108303425A (zh) * | 2018-02-01 | 2018-07-20 | 深圳华龙讯达信息技术股份有限公司 | Ch小透包散包成像检测装置及*** |
-
1998
- 1998-10-29 JP JP10308506A patent/JP2000131245A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009531718A (ja) * | 2007-03-28 | 2009-09-03 | エスエヌユー プレシジョン カンパニー リミテッド | ビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法 |
| US8116555B2 (en) | 2007-03-28 | 2012-02-14 | Snu Precision Co., Ltd. | Vision inspection system and method for inspecting workpiece using the same |
| KR101364148B1 (ko) | 2012-07-27 | 2014-02-17 | 윈텍 주식회사 | 카메라 이동형 자동 광학 검사 장치 |
| CN108303425A (zh) * | 2018-02-01 | 2018-07-20 | 深圳华龙讯达信息技术股份有限公司 | Ch小透包散包成像检测装置及*** |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101343277B1 (ko) | 표면 검사 장치 | |
| US6259109B1 (en) | Web inspection system for analysis of moving webs | |
| RU2445571C1 (ru) | Устройство для измерения параметров пересечений | |
| US6909501B2 (en) | Pattern inspection apparatus and pattern inspection method | |
| US5101442A (en) | Three-dimensional imaging technique using sharp gradient of illumination | |
| HU224500B1 (hu) | Berendezés és eljárás tartályok vizsgálatára | |
| JPS60259904A (ja) | 路面横断プロフイル測定方法 | |
| JP2011038773A (ja) | ロボット追従式画像検査装置、ロボット追従式画像検査方法及びロボット追従式画像検査に用いるコンピュータプログラム | |
| JP2004184397A (ja) | 帯状体の形状不良検査方法およびその装置 | |
| JP3514107B2 (ja) | 塗装欠陥検査装置 | |
| JP2000131245A (ja) | 透明フィルムの異物検査装置 | |
| JP2008180578A (ja) | 周期性パターンのムラ検査装置 | |
| JP5576050B2 (ja) | リニア浮上式高速鉄道ガイドウェイ走行路検査装置及び検査方法 | |
| JPH11248643A (ja) | 透明フィルムの異物検査装置 | |
| KR101015808B1 (ko) | 본딩 전극 선폭 측정 장치 및 방법 | |
| JP2000221144A (ja) | 透明フィルムの異物検査装置 | |
| JP2004138417A (ja) | 鋼板の疵検査方法およびその装置 | |
| JPH10185830A (ja) | 透明シート検査装置 | |
| KR100229070B1 (ko) | 인쇄 회로 기판의 크림 납 검사 장치 및 방법 | |
| JP2001097212A (ja) | 画像撮影および評価システム | |
| JP2007298526A (ja) | 検査装置及び検査方法並びにパターン基板の製造方法 | |
| JP2004212353A (ja) | 光学的検査装置 | |
| US20040021857A1 (en) | Device for automatic surface inspection of an unwinding strip | |
| JP2004132800A (ja) | 帯状体の表面欠陥検査装置 | |
| JP2683248B2 (ja) | 着色周期性パターンの検査方法 |