JP2000131011A - Thickness measuring device and method therefor - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、陶器等の被測定物
の厚みを、誘導起電力を利用して測定する厚み測定装置
及び厚み測定方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thickness measuring apparatus and a thickness measuring method for measuring the thickness of an object to be measured such as ceramics using an induced electromotive force.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、誘導起電力を利用した厚み測
定装置及び厚み測定方法が案出されて使用されている。
例えば、特願昭５８−２４７０１又は特願昭５８−１１
８１８４においては、１次コイルに交流電流を流し、電
磁誘導によって２次コイル側に生じる誘導起電力を測定
することにより、凝固層の厚みを測定する測定方法であ
る。この測定方法は、図７に示すように、コイル１のま
わりに生じる磁束がコイル１からの距離に対応して分布
し、コイル１から離隔するに従って磁界の強さが弱くな
る原理を利用したものである。2. Description of the Related Art Conventionally, a thickness measuring apparatus and a thickness measuring method using an induced electromotive force have been devised and used.
For example, Japanese Patent Application No. 58-24701 or Japanese Patent Application No. 58-11
8184 is a measurement method for measuring the thickness of the solidified layer by flowing an alternating current through the primary coil and measuring the induced electromotive force generated on the secondary coil side by electromagnetic induction. As shown in FIG. 7, this measurement method utilizes the principle that the magnetic flux generated around the coil 1 is distributed according to the distance from the coil 1 and the strength of the magnetic field decreases as the distance from the coil 1 increases. It is.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の厚み測定装置及び厚み測定方法によれば、２次コイ
ル側に生じる誘導起電力は、１次コイル及び２次コイル
の設定位置によって異なるため、正確な厚み測定が困難
であったと考えられる。また、２次コイル側に生じる誘
導起電力は、雑音等によって、ばらつきが生じるため、
厚み測定値にもばらつきが生じたと考えられる。However, according to such a conventional thickness measuring apparatus and conventional thickness measuring method, the induced electromotive force generated on the secondary coil side differs depending on the set positions of the primary coil and the secondary coil. Therefore, it is considered that accurate thickness measurement was difficult. In addition, the induced electromotive force generated on the secondary coil side varies due to noise or the like.
It is considered that the thickness measured value also varied.
【０００４】そこで、本発明者は、このような課題を解
決するべく、さらに鋭意研究を重ねた結果、本発明に至
ったのである。The inventor of the present invention has conducted intensive studies in order to solve such a problem, and as a result, has arrived at the present invention.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明の厚み測定装置の
要旨とするところは、通電させられる一のコイルを有す
る通電部と、他のコイルを有し該通電部に対して離隔又
は接近させられる出力部とを備え、被測定物を該通電部
と該出力部によって挟み、該一のコイルに通電させた時
に電磁誘導によって他のコイルに生じる出力信号を測定
することにより、該被測定物の厚みを測定する厚み測定
装置において、前記他のコイル側の出力信号の最大値を
ホールドして検知するホールド手段を備えたことにあ
る。The gist of the thickness measuring apparatus of the present invention is as follows. An energizing part having one coil to be energized and another coil having another coil are separated from or approached to the energizing part. An output unit, the target device is sandwiched between the current-carrying unit and the output unit, and when the one coil is energized, an output signal generated in another coil by electromagnetic induction is measured. The thickness measuring apparatus for measuring the thickness of the other coil is provided with holding means for holding and detecting the maximum value of the output signal on the other coil side.
【０００６】ここに、本明細書において、ホールドと
は、所定時間内の最大値のデータを、電気的に保持する
ことを言う。このような本発明の厚み測定装置は、被測
定物の厚みを測定する場合には、まず、電源が入れら
れ、通電部の一のコイルへ、正弦波電流等が通電させら
れる。次に、通電部が被測定物の一の面に当接させら
れ、出力部が反対側の面に当接させられ、被測定物が通
電部と出力部とによって挟まれることとなる。Here, in this specification, "hold" means to electrically hold the maximum value data within a predetermined time. In such a thickness measuring apparatus of the present invention, when measuring the thickness of an object to be measured, first, the power is turned on, and a sine wave current or the like is supplied to one coil of the power supply unit. Next, the current-carrying part is brought into contact with one surface of the object to be measured, and the output part is brought into contact with the opposite surface, so that the object to be measured is sandwiched between the current-carrying part and the output part.
【０００７】被測定物が通電部と出力部とによって挟ま
れると、一のコイルに正弦波電流が流れることによって
生じる電磁誘導の作用により、他のコイルにも正弦波電
流が流れる。次に、通電部又は出力部を被測定物の面に
沿って摺動させると、一のコイルと他のコイルとが離隔
又は接近させられるため、他のコイルに作用する磁界の
強さが変化し、他のコイルに流れる正弦波電流の振幅が
減少又は増大させられる。このようにして減少又は増大
させられる正弦波電流によって生じる電圧値のうちの最
大値がホールド手段により保持され、検知される。When an object to be measured is sandwiched between the current-carrying part and the output part, a sine-wave current flows in another coil due to an electromagnetic induction effect caused by a sine-wave current flowing in one coil. Next, when the current-carrying part or the output part is slid along the surface of the device under test, one coil and the other coil are separated or approached, so that the strength of the magnetic field acting on the other coil changes. Then, the amplitude of the sinusoidal current flowing through the other coil is reduced or increased. The maximum value of the voltage values generated by the sinusoidal current reduced or increased in this way is held by the holding means and detected.
【０００８】ここで、一のコイルと他のコイルとが最接
近した時に、他のコイルに流れる正弦波電流の振幅は最
大となり、一の厚みに対しては、この最大値は理論上一
定となる。このため、ホールド手段により保持された値
は、一の厚みに対して一定値であり、被測定物の厚みを
換算することができる。すなわち、ホールドされた値に
よって、被測定物の厚みを表すことができる。Here, when one coil and the other coil come closest, the amplitude of the sinusoidal current flowing through the other coil becomes maximum, and for one thickness, this maximum value is theoretically constant. Become. For this reason, the value held by the holding means is a constant value for one thickness, and the thickness of the measured object can be converted. That is, the thickness of the measured object can be represented by the held value.
【０００９】また、本発明の厚み測定装置の要旨とする
ところは、前記厚み測定装置において、前記一のコイル
と他のコイルとが最接近した時の他のコイル側の出力信
号を検知することにある。The gist of the thickness measuring apparatus according to the present invention is that the thickness measuring apparatus detects an output signal of another coil when the one coil and the other coil are closest to each other. It is in.
【００１０】このような本発明の厚み測定装置は、通電
部の一のコイルへ正弦波電流等が通電させられ、被測定
物を通電部と出力部とによって挟み、出力部の他のコイ
ルの電圧値のうちの最大値がホールド手段により保持さ
れ、検知される。ここで、一のコイルと他のコイルとが
最接近した時に、他のコイルに作用する電界の強さは最
大となり、他のコイル側の出力信号が最大となると考え
られるため、このホールドした最大値は、一のコイルと
他のコイルとが最接近した時の他のコイル側の出力信号
の値と一致し、この値が厚みの測定値として把握され
る。In such a thickness measuring apparatus of the present invention, a sinusoidal current or the like is applied to one coil of the current-carrying section, the object to be measured is sandwiched between the current-carrying section and the output section, and the other section of the output section is connected to the coil. The maximum value of the voltage values is held by the holding means and detected. Here, when one coil and the other coil are closest, the strength of the electric field acting on the other coil is considered to be maximum, and the output signal of the other coil is considered to be maximum. The value matches the value of the output signal of the other coil when the one coil and the other coil are closest, and this value is grasped as a measured value of the thickness.
【００１１】また、本発明の厚み測定装置の要旨とする
ところは、前記厚み測定装置において、前記他のコイル
側の出力信号をハイパスフィルターを介した後に前記ホ
ールド手段によって出力信号の最大値をホールドして検
知することにある。The gist of the thickness measuring apparatus according to the present invention is as follows. In the thickness measuring apparatus, after holding the output signal of the other coil through a high-pass filter, the holding means holds the maximum value of the output signal. To detect.
【００１２】ここに、ハイパスフィルターとは、一定の
周波数以上の信号を伝送するとともに、それ以下の周波
数の信号は減衰させるようにしたフィルターを言う。こ
のような厚み測定装置は、他のコイル側の出力信号をハ
イパスフィルターを通すことにより、他のコイル側の出
力に測定の妨げとなる商用電源による誘導等、他の信号
成分が含まれない様に処理した後、ホールド手段によっ
て最大値がホールドされて検知される。Here, the high-pass filter is a filter that transmits a signal of a certain frequency or higher and attenuates a signal of a lower frequency. In such a thickness measuring device, the output signal of the other coil is passed through a high-pass filter so that the output of the other coil does not include other signal components such as induction from a commercial power supply that hinders measurement. After that, the maximum value is held and detected by the holding means.
【００１３】また、本発明の厚み測定方法の要旨とする
ところは、通電させられる一のコイルを有する通電部
と、他のコイルを有し該一のコイルに対して離隔又は接
近させられる出力部とによって、被測定物を挟み、該一
のコイルに通電させて他のコイルに誘導起電力を生じさ
せ、該他のコイル側に生じた出力信号を測定することに
より、該被測定物の厚みを測定する厚み測定方法におい
て、前記他のコイル側の出力信号の最大値をホールドし
て検知することにある。The gist of the thickness measuring method of the present invention is as follows. An energizing section having one coil to be energized, and an output section having another coil and separated from or approached to the one coil. By sandwiching the DUT, energizing the one coil to generate an induced electromotive force in the other coil, and measuring the output signal generated on the other coil side, the thickness of the DUT is measured. In the thickness measurement method for measuring the maximum value of the output signal on the other coil side.
【００１４】このような厚み測定方法は、通電部の一の
コイルへ、正弦波電流等が通電させられ、被測定物が通
電部と出力部とによって挟まれると、他のコイルに正弦
波電流が流れる正弦波の振幅が減少又は増大させられる
が、減少又は増大させられる電圧値のうちの最大値がホ
ールド手段により保持され、検知される方法である。According to such a thickness measuring method, when a sine wave current or the like is applied to one coil of the current-carrying portion and the object to be measured is sandwiched between the current-carrying portion and the output portion, the sinusoidal current is applied to the other coil. Is a method in which the amplitude of the sine wave flowing through is decreased or increased, but the maximum value of the decreased or increased voltage value is held and detected by the holding means.
【００１５】また、本発明の厚み測定方法の要旨とする
ところは、前記通電部と出力部とによって被測定物を挟
み、該通電部又は出力部のいずれか一方を該被測定物表
面に対して摺動させながら、他のコイル側の出力信号の
最大値をホールドして検知することにある。The gist of the thickness measuring method according to the present invention is that the object to be measured is sandwiched between the current-carrying part and the output part, and one of the current-carrying part and the output part is placed on the surface of the object to be measured. While holding the maximum value of the output signal on the other coil side and detecting it.
【００１６】このような厚み測定方法は、通電部又は出
力部のいずれか一方を被測定物表面に対して摺動させる
と、一のコイルと他のコイルとの距離が変化するため、
電磁誘導によって他のコイルに生じる電圧値が変化する
が、出力部の他のコイルの電圧値のうちの最大値をホー
ルド手段により保持し、検知する方法である。In such a thickness measuring method, when one of the current-carrying part and the output part is slid with respect to the surface of the object to be measured, the distance between one coil and another coil changes.
In this method, the voltage value generated in another coil due to electromagnetic induction changes, but the maximum value of the voltage values of the other coils in the output unit is held by the holding means and detected.
【００１７】また、本発明の厚み測定方法の要旨とする
ところは、前記通電部と出力部とによって被測定物を挟
み、該通電部又は出力部のいずれか一方を該被測定物表
面に対して摺動させ、前記一のコイルと他のコイルとが
最接近した時のコイル側の出力信号を検知することにあ
る。The gist of the thickness measuring method according to the present invention is that the object to be measured is sandwiched between the current-carrying part and the output part, and one of the current-carrying part and the output part is placed on the surface of the object to be measured. To detect the output signal of the coil when the one coil and the other coil are closest to each other.
【００１８】このような厚み測定方法は、電磁誘導によ
って他のコイルに生じる電圧値が変化するが、この最大
値を、一のコイルと他のコイルとが最接近した時の他の
コイル側の出力信号の値として把握する方法である。In such a thickness measuring method, the voltage value generated in another coil due to electromagnetic induction changes, and this maximum value is determined by determining the maximum value of one coil and the other coil when the other coil is closest. This is a method of grasping as the value of the output signal.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】次に、本発明に係る厚み測定装置
及び厚み測定方法の実施の形態について、図面に基づい
て詳しく説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the thickness measuring apparatus and the thickness measuring method according to the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.
【００２０】図１又は図２において、符号１０は、本発
明の厚み測定装置である。この厚み測定装置１０は、通
電させられる一のコイル１２を有する通電部１４と、他
のコイル１６を有し通電部１４に対して離隔又は接近さ
せられる出力部１８とを備え、壺２０の側壁（被測定
物）２２を通電部１４と出力部１８によって挟み、一の
コイル１２に通電させた時に電磁誘導によって他のコイ
ル１６に生じる出力信号を測定することにより、側壁２
２の厚みを測定する厚み測定装置である。In FIG. 1 or FIG. 2, reference numeral 10 denotes a thickness measuring device of the present invention. The thickness measuring device 10 includes an energizing unit 14 having one coil 12 to be energized, and an output unit 18 having another coil 16 and separated or approached from the energizing unit 14. (Measurement object) 22 is sandwiched between the power supply unit 14 and the output unit 18, and an output signal generated in the other coil 16 due to electromagnetic induction when one coil 12 is energized is measured.
2 is a thickness measuring device for measuring the thickness.
【００２１】この厚み測定装置１０は、他のコイル１６
側の出力信号の最大値をホールドして検知するホールド
手段２４を備えている。ホールド手段２４を構成する回
路は、検出した出力信号のピーク値を保持して検知でき
るものであれば、特に限定されないが、図３に、一例と
して、ホールド手段２４の回路として、ピーク値検出回
路２６を示す。This thickness measuring device 10 is provided with another coil 16.
Hold means 24 for holding and detecting the maximum value of the output signal on the side. The circuit constituting the holding means 24 is not particularly limited as long as the circuit can hold and detect the peak value of the detected output signal. FIG. 26 is shown.
【００２２】このピーク値検出回路２６は、入力電圧ｅ
ｉがオペアンプＡで増幅された後、コンデンサＣに充電
され、その電圧値を超える入力が来るまでは、その電圧
値が保持されるように構成されている。一方、ＳＷをオ
ンにすると、保持する電圧値がリセットされるように構
成されている。This peak value detection circuit 26 detects the input voltage e
After i is amplified by the operational amplifier A, the capacitor C is charged and the voltage value is held until an input exceeding the voltage value is received. On the other hand, when the SW is turned on, the held voltage value is reset.
【００２３】また、本発明の厚み測定装置１０は、他の
コイル１６側の出力信号のうち、ハイパスフィルター３
０を介して測定に用いる目的の信号成分のみを取り出し
た後にホールド手段２４によって出力信号の最大値をホ
ールドして検知するように構成されている。In addition, the thickness measuring device 10 of the present invention uses the high-pass filter 3
After extracting only the target signal component to be used for measurement via 0, the maximum value of the output signal is held by the holding means 24 and detected.
【００２４】このような厚み測定装置１０によって壺２
０の側壁２２の厚みを測定する場合には、まず、電源ス
イッチ３２が入れられ、正弦波発振器３４から緩衝増幅
回路３６を介して、通電部１４の一のコイル１２へ、正
弦波電流が通電させられる。次に、通電部１４が壺２０
の側壁２２の一の面に当接させられ、出力部１８が反対
側の面に当接させられ、側壁２２が通電部１４と出力部
１８とによって挟まれることとなる。With such a thickness measuring device 10, the pot 2
When measuring the thickness of the side wall 22 of zero, first, the power switch 32 is turned on, and a sine wave current is supplied from the sine wave oscillator 34 to one coil 12 of the current supply unit 14 through the buffer amplifier circuit 36. Let me do. Next, the energizing unit 14 is
The output portion 18 is brought into contact with one surface of the side wall 22 and the output portion 18 is brought into contact with the opposite surface, and the side wall 22 is sandwiched between the conducting portion 14 and the output portion 18.
【００２５】側壁２２が通電部１４と出力部１８とによ
って挟まれると、コイル１２に正弦波電流が流れること
によって生じる電磁誘導の作用により、コイル１６に正
弦波電流が流れる。コイル１６に流れた正弦波電流によ
り発生した電圧が、増幅回路３１によって増幅させら
れ、ハイパスフィルター３０によって測定に用いている
目的の信号成分のみが取り出され、整流回路３２によっ
て直流電圧に変換される。When the side wall 22 is sandwiched between the conducting part 14 and the output part 18, a sinusoidal current flows through the coil 16 due to the electromagnetic induction caused by the sinusoidal current flowing through the coil 12. The voltage generated by the sinusoidal current flowing through the coil 16 is amplified by the amplifier circuit 31, only the target signal component used for measurement is extracted by the high-pass filter 30, and converted to a DC voltage by the rectifier circuit 32. .
【００２６】次に、通電部１４又は出力部１８を側壁２
２の面に沿って摺動させると、コイル１２とコイル１６
とが離隔又は接近させられるため、コイル１６に作用す
る磁界の強さが変化し、コイル１６に流れる正弦波電流
の振幅が減少又は増大させられ、ホールド手段２４へ送
られる整流後の直流電圧値も減少又は増大させられる。
このようにして減少又は増大させられる電圧値のうちの
最大値がホールド手段２４により保持され、表示メータ
ー３８によって表示される。Next, the power supply unit 14 or the output unit 18 is connected to the side wall 2.
2 slides along the surfaces of the coils 12 and 16
Are separated or approached, the intensity of the magnetic field acting on the coil 16 changes, the amplitude of the sinusoidal current flowing through the coil 16 decreases or increases, and the rectified DC voltage value sent to the holding means 24 Is also reduced or increased.
The maximum value of the voltage values thus reduced or increased is held by the holding means 24 and displayed by the display meter 38.
【００２７】ここで、コイル１２とコイル１６とが最接
近した時に、コイル１６に流れる正弦波電流の振幅は最
大となり、一の側壁２２の厚みに対しては、この最大値
は理論上一定となる。このため、ホールド手段２４によ
り保持され、表示メーター３８によって表示された値
は、一の側壁２２の厚みに対して一定値であり、表示メ
ーター３８によって表示された値から側壁２２の厚みを
換算することができる。すなわち、表示メーター３８に
よって表示された値によって、側壁２２の厚みを表すこ
とができる。Here, when the coil 12 and the coil 16 come closest to each other, the amplitude of the sinusoidal current flowing through the coil 16 becomes maximum, and the maximum value is theoretically constant with respect to the thickness of one side wall 22. Become. For this reason, the value held by the holding means 24 and displayed by the display meter 38 is a constant value with respect to the thickness of the one side wall 22, and the thickness of the side wall 22 is converted from the value displayed by the display meter 38. be able to. That is, the thickness of the side wall 22 can be represented by the value displayed by the display meter 38.
【００２８】なお、ホールド手段２４は、モード切換ス
イッチ４４によって解除することができ、ホールド手段
２４を解除することにより、整流回路３２によって直流
に変換された誘導起電力を、表示メーター３８において
リアルタイムに表示することも可能である。The hold means 24 can be released by the mode changeover switch 44. By releasing the hold means 24, the induced electromotive force converted to DC by the rectifier circuit 32 is displayed on the display meter 38 in real time. It can also be displayed.
【００２９】このような本発明の厚み測定装置及び厚み
測定方法によれば、他のコイル１６の出力信号の最大値
をホールドして検知し、表示メーター３８により表示す
ることによって、側壁２２の厚みを認識することができ
る。このため、側壁２２の厚みの一の真値に対して得ら
れる測定値が略一定となり、測定値に、ばらつきが生じ
ることがなく、測定精度を向上させることができる。According to the thickness measuring apparatus and the thickness measuring method of the present invention as described above, the maximum value of the output signal of the other coil 16 is held and detected, and displayed by the display meter 38, whereby the thickness of the side wall 22 is obtained. Can be recognized. For this reason, the measured value obtained with respect to one true value of the thickness of the side wall 22 becomes substantially constant, and the measured value does not vary and the measuring accuracy can be improved.
【００３０】また、本発明の厚み測定装置及び厚み測定
方法によれば、コイル１２とコイル１６とが最接近する
時の出力信号の値を測定することにより、コイル１２と
コイル１６とが最接近した時の誘導起電力の大きさによ
って、側壁２２の厚みを把握することができる。このた
め、側壁２２の一の厚みに対しては、コイル１２とコイ
ル１６とが最接近する距離は常に同じであることを利用
して、略一定の測定値を得ることができる。Further, according to the thickness measuring apparatus and the thickness measuring method of the present invention, the value of the output signal when the coil 12 and the coil 16 come closest to each other is measured, so that the coil 12 and the coil 16 come closest to each other. The thickness of the side wall 22 can be grasped from the magnitude of the induced electromotive force at the time of the above. For this reason, for a certain thickness of the side wall 22, it is possible to obtain a substantially constant measurement value by utilizing that the closest distance between the coil 12 and the coil 16 is always the same.
【００３１】以上、本発明の一実施形態について説明し
たが、本発明の厚み測定装置及び厚み測定方法は、その
他の形態でも実施し得るものである。Although the embodiment of the present invention has been described above, the thickness measuring apparatus and the thickness measuring method of the present invention can be implemented in other forms.
【００３２】例えば、本発明の厚み測定装置１０におい
て、通電部及び出力部は、図４に示すような通電部４４
及び出力部４６であっても良い。この通電部４４及び出
力部４６は、コイル４８及び５０の中心線５２及び５４
が円弧状に構成され、先端部５６及び５８も円弧状に構
成されている。For example, in the thickness measuring apparatus 10 according to the present invention, the energizing section and the output section are constituted by an energizing section 44 as shown in FIG.
And the output unit 46. The energizing unit 44 and the output unit 46 are connected to the center lines 52 and 54 of the coils 48 and 50.
Are formed in an arc shape, and the tip portions 56 and 58 are also formed in an arc shape.
【００３３】このような通電部４４及び出力部４６によ
れば、被測定物６０の厚みを測定する場合に、通電部４
４及び出力部４６が被測定物６０に対して、中心線５２
及び５４の円弧形状方向に多少傾いている場合であって
も、コイル４８とコイル５０との距離を一定に保つこと
ができる。このため、得られる誘導起電力のばらつきを
少なくして、測定精度を高めることができる。According to the power supply unit 44 and the output unit 46, when the thickness of the device under test 60 is measured, the power supply unit 4
4 and the output unit 46 are connected to the DUT 60 with respect to the center line 52.
And 54, the distance between the coil 48 and the coil 50 can be kept constant. For this reason, the variation in the induced electromotive force can be reduced, and the measurement accuracy can be improved.
【００３４】また、本発明の厚み測定装置１０におい
て、通電部及び出力部は、図５に示すような通電部６２
及び出力部６４であっても良い。この通電部６２及び出
力部６４は、先端にローラー６６及び６８を備えてい
る。このような通電部６２又は出力部６４によれば、ロ
ーラー６６又は６８を転動させながら、被測定物６０に
対して滑らかに摺動させることができ、被測定物６０の
厚み測定を容易に行うことができる。In the thickness measuring apparatus 10 according to the present invention, the energizing section and the output section are constituted by an energizing section 62 as shown in FIG.
And the output unit 64. The energizing section 62 and the output section 64 have rollers 66 and 68 at their ends. According to such an energizing unit 62 or the output unit 64, the roller 66 or 68 can be smoothly slid with respect to the workpiece 60 while rolling, and the thickness of the workpiece 60 can be easily measured. It can be carried out.
【００３５】また、本発明の厚み測定装置１０におい
て、図６に示すように、電磁誘導によって生じた正弦波
を整流回路３２を通した後、Ａ／Ｄ変換器６９によって
デジタル化し、マイコン制御装置７０によって処理して
も良い。マイコン制御装置７０は、ＣＰＵ７１、メモリ
７２及びＩ／Ｏポート７８を備えて構成され、メモリ７
２内のプログラムによって、デジタル化された電圧値の
所定時間内の最大値をホールドし、ＬＥＤ７４によって
表示する。In the thickness measuring apparatus 10 of the present invention, as shown in FIG. 6, a sine wave generated by electromagnetic induction passes through a rectifier circuit 32, and is digitized by an A / D converter 69. 70. The microcomputer control device 70 includes a CPU 71, a memory 72, and an I / O port 78.
The maximum value within a predetermined time of the digitized voltage value is held by the program in 2 and displayed by the LED 74.
【００３６】このようなマイコン制御手段７０を備える
ことにより、ホールドする時間やＬＥＤ７４による表示
方法を、メモリ７２内のプログラムによって自由に設定
することができる。また、Ｉ／Ｏポート７８を介して、
他の機器との入出力を容易に行うことができる。また、
ホールドして得た数値を複数回採取して、平均値を求め
て、測定精度をより高めることもできる。By providing such microcomputer control means 70, the hold time and the display method using the LED 74 can be freely set by a program in the memory 72. Also, via the I / O port 78,
Input and output with other devices can be easily performed. Also,
The numerical value obtained by holding may be sampled a plurality of times, and the average value may be obtained to further improve the measurement accuracy.
【００３７】以上、本発明の実施形態について図面に基
づいて説明したが、本発明に係る厚み測定装置及び厚み
測定方法は、図示したものに限定されず、その他の態様
でも実施し得るものである。Although the embodiments of the present invention have been described with reference to the drawings, the thickness measuring apparatus and the thickness measuring method according to the present invention are not limited to those shown in the drawings, but may be implemented in other modes. .
【００３８】例えば、本発明の厚み測定装置及び厚み測
定方法によって測定する被測定物は、非磁性体であれば
特に限定されない。例えば、ガラス、樹脂、布等特に限
定されない。また、通電部及び出力部の形状及び構造等
は、図示したものには限定されない。例えば、通電部側
のコイルと出力側のコイルの巻き数を変えて、電圧を増
幅又は減衰させても良い。For example, the object to be measured by the thickness measuring apparatus and the thickness measuring method of the present invention is not particularly limited as long as it is a non-magnetic substance. For example, there is no particular limitation on glass, resin, cloth, and the like. Further, the shapes, structures, and the like of the energizing unit and the output unit are not limited to those illustrated. For example, the voltage may be amplified or attenuated by changing the number of windings of the current-carrying unit side coil and the output side coil.
【００３９】また、本発明の厚み測定装置及び厚み測定
方法において、一のコイルに与える電圧は、変動するこ
とによって他のコイルに誘導起電力を生じさせるもので
あれば、上述のような正弦波に限定されず、パルス波又
は矩形波であっても良い。また、一のコイルに与える電
圧の値は、±１２Ｖ、±２４Ｖ等、特に限定されること
はない。In the thickness measuring apparatus and the thickness measuring method according to the present invention, if the voltage applied to one coil fluctuates to generate an induced electromotive force in another coil, the above-described sinusoidal wave is used. The present invention is not limited to this, and may be a pulse wave or a rectangular wave. The value of the voltage applied to one coil is not particularly limited, such as ± 12 V, ± 24 V, and the like.
【００４０】その他、本発明はその趣旨を逸脱しない範
囲で当業者の知識に基づき種々なる改良，修正，変形を
加えた態様で実施できるものである。The present invention can be embodied in variously modified, modified, and modified forms based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention.
【００４１】[0041]
【発明の効果】本発明の厚み測定装置によれば、他のコ
イルの出力信号の最大値をホールドして検知することに
よって、被測定物の厚みを認識することができる。この
ため、被測定物の厚みの測定値に、ばらつきが生じるこ
とがなく、測定精度を向上させることができる。According to the thickness measuring apparatus of the present invention, the thickness of the measured object can be recognized by holding and detecting the maximum value of the output signal of another coil. Therefore, there is no variation in the measured value of the thickness of the object to be measured, and the measurement accuracy can be improved.
【００４２】また、一のコイルと他のコイルとが最接近
した時の他のコイル側の出力信号を検知することを特徴
とする本発明の厚み測定装置によれば、一のコイルと他
のコイルとが最接近する時の出力信号の値を測定するこ
とにより、一のコイルと他のコイルとが最接近した時の
誘導起電力の大きさによって、被測定物の厚みを把握す
ることができる。このため、被測定物の一の厚みに対し
ては、一のコイルと他のコイルとが最接近する距離は常
に同じであることを利用して、略一定の測定値を得るこ
とができる。According to the thickness measuring apparatus of the present invention, the output signal of the other coil is detected when one coil and the other coil are closest to each other. By measuring the value of the output signal when the coil comes closest, it is possible to grasp the thickness of the measured object by the magnitude of the induced electromotive force when one coil and the other coil come closest. it can. For this reason, for one thickness of the object to be measured, it is possible to obtain a substantially constant measurement value by utilizing that the closest distance between one coil and another coil is always the same.
【００４３】また、他のコイル側の出力信号をハイパス
フィルターを介した後にホールド手段によって出力信号
の最大値をホールドして検知することを特徴とする本発
明の厚み測定装置によれば、他のコイル側の出力信号を
ハイパスフィルターを通すことにより、他のコイル側の
出力に測定の妨げとなる商用電源による誘導など、他の
信号成分が含まれないように処理した後に、ホールド手
段によって最大値をホールドして検知することができ
る。According to the thickness measuring apparatus of the present invention, the maximum value of the output signal is detected by holding the maximum value of the output signal by the holding means after passing the output signal of the other coil through the high-pass filter. After passing the output signal of the coil side through a high-pass filter, the output of the other coil side is processed so that other signal components, such as induction by commercial power supply that hinders measurement, are not included, and then the maximum value is obtained by the holding means. Can be held and detected.
【００４４】また、本発明の厚み測定方法によれば、通
電部の一のコイルへ、正弦波電流等を通電させ、被測定
物が通電部と出力部とによって挟むと、他のコイルに正
弦波電流が流れる正弦波の振幅が減少又は増大させられ
るが、減少又は増大させられる電圧値のうちの最大値を
ホールド手段により保持し、検知することができる。こ
のため、被測定物の厚みの測定値に、ばらつきが生じる
ことがなく、測定精度を向上させることができる。Further, according to the thickness measuring method of the present invention, when a sine wave current or the like is applied to one coil of the current-carrying section, and the object to be measured is sandwiched between the current-carrying section and the output section, the sinusoidal current is applied to the other coil. Although the amplitude of the sine wave through which the wave current flows is reduced or increased, the maximum value of the reduced or increased voltage value can be held and detected by the holding means. Therefore, there is no variation in the measured value of the thickness of the object to be measured, and the measurement accuracy can be improved.
【００４５】また、通電部と出力部とによって被測定物
を挟み、通電部又は出力部のいずれか一方を被測定物表
面に対して摺動させながら、他のコイル側の出力信号の
最大値をホールドして検知することを特徴とする本発明
の厚み測定方法によれば、通電部又は出力部のいずれか
一方を被測定物表面に対して摺動させると、一のコイル
と他のコイルとの距離が変化するため、電磁誘導によっ
て他のコイルに生じる電圧値が変化するが、出力部の他
のコイルの電圧値のうちの最大値をホールド手段により
保持し、検知することができる。Further, the object to be measured is sandwiched between the current-carrying part and the output part, and while the one of the current-carrying part and the output part is slid with respect to the surface of the object to be measured, the maximum value of the output signal of the other coil According to the thickness measuring method of the present invention, which is detected by holding one of the coils, when one of the current-carrying part and the output part is slid with respect to the surface of the object to be measured, one coil and another coil Since the distance to the coil changes, the voltage value generated in the other coil by the electromagnetic induction changes. However, the maximum value of the voltage values of the other coils of the output unit can be held and detected by the holding means.
【００４６】また、通電部と出力部とによって被測定物
を挟み、通電部又は出力部のいずれか一方を該被測定物
表面に対して摺動させ、前記一のコイルと他のコイルと
が最接近した時のコイル側の出力信号を検知することを
特徴とする本発明の厚み測定方法によれば、電磁誘導に
よって他のコイルに生じる電圧値が変化するが、この最
大値を、一のコイルと他のコイルとが最接近した時の他
のコイル側の出力信号の値として把握することができ
る。The object to be measured is sandwiched between the current-carrying part and the output part, and one of the current-carrying part and the output part is slid with respect to the surface of the object to be measured, so that the one coil and the other coil are separated from each other. According to the thickness measuring method of the present invention, which detects the output signal of the coil side when approaching closest, the voltage value generated in the other coil due to electromagnetic induction changes. It can be grasped as the value of the output signal of the other coil when the coil and the other coil are closest.
【図１】本発明の厚み測定装置を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a thickness measuring device of the present invention.
【図２】図１に示す厚み測定装置を示す正面図である。FIG. 2 is a front view showing the thickness measuring device shown in FIG.
【図３】図１に示す厚み測定装置のホールド手段の一例
を示す回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram showing an example of a holding unit of the thickness measuring device shown in FIG.
【図４】本発明の厚み測定装置の他の実施形態を示す一
部拡大図である。FIG. 4 is a partially enlarged view showing another embodiment of the thickness measuring device of the present invention.
【図５】本発明の厚み測定装置の更に他の実施形態を示
す一部拡大図である。FIG. 5 is a partially enlarged view showing still another embodiment of the thickness measuring device of the present invention.
【図６】本発明の厚み測定装置の更に他の実施形態を示
す一部構成図である。FIG. 6 is a partial configuration diagram showing still another embodiment of the thickness measuring device of the present invention.
【図７】コイルによる磁束の状態を表す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating a state of a magnetic flux generated by a coil.
１０：厚み測定装置 １２，４８：一のコイル １４，４４，６２：通電部 １６，５０：他のコイル １８，４６，６４：出力部 ２２：側壁（被測定物） ２４：ホールド手段 ２６：ピーク値検出回路 ３０：ハイパスフィルター ６０：被測定物 10: thickness measuring device 12, 48: one coil 14, 44, 62: conducting part 16, 50: other coil 18, 46, 64: output part 22: side wall (measured object) 24: holding means 26: peak Value detection circuit 30: High-pass filter 60: DUT
Claims (6)
部と、他のコイルを有し該通電部に対して離隔又は接近
させられる出力部とを備え、被測定物を該通電部と該出
力部によって挟み、該一のコイルに通電させた時に電磁
誘導によって他のコイルに生じる出力信号を測定するこ
とにより、該被測定物の厚みを測定する厚み測定装置に
おいて、 前記他のコイル側の出力信号の最大値をホールドして検
知するホールド手段を備えたことを特徴とする厚み測定
装置。1. An electric power supply, comprising: an energizing section having one coil to be energized; and an output section having another coil and separated from or approaching the energizing section. In a thickness measuring device for measuring the thickness of the object to be measured by measuring an output signal generated in another coil by electromagnetic induction when the one coil is energized, the output of the other coil side A thickness measuring device comprising a holding means for holding and detecting a maximum value of a signal.
した時の他のコイル側の出力信号を検知することを特徴
とする請求項１に記載する厚み測定装置。2. The thickness measuring apparatus according to claim 1, wherein an output signal of another coil when the one coil and the other coil are closest to each other is detected.
フィルターを介した後に前記ホールド手段によって出力
信号の最大値をホールドして検知することを特徴とする
請求項１又は請求項２に記載する厚み測定装置。3. The method according to claim 1, wherein the output signal of the other coil is passed through a high-pass filter, and the maximum value of the output signal is held and detected by the holding means. Thickness measuring device.
部と、他のコイルを有し該一のコイルに対して離隔又は
接近させられる出力部とによって、被測定物を挟み、該
一のコイルに通電させて他のコイルに誘導起電力を生じ
させ、該他のコイル側に生じた出力信号を測定すること
により、該被測定物の厚みを測定する厚み測定方法にお
いて、 前記他のコイル側の出力信号の最大値をホールドして検
知することを特徴とする厚み測定方法。4. An object to be measured is sandwiched between an energizing section having one coil to be energized and an output section having another coil and separated or approached from the one coil, and the one coil In the thickness measurement method for measuring the thickness of the object to be measured by causing an induced electromotive force in another coil by energizing the other coil and measuring an output signal generated on the other coil side, the other coil side A thickness measuring method characterized by holding and detecting the maximum value of the output signal of (1).
を挟み、該通電部又は出力部のいずれか一方を該被測定
物表面に対して摺動させながら、他のコイル側の出力信
号の最大値をホールドして検知することを特徴とする請
求項４に記載する厚み測定方法。5. An output signal of another coil side while an object to be measured is sandwiched between the current-carrying unit and the output unit, and one of the current-carrying unit and the output unit is slid with respect to the surface of the object to be measured. The thickness measurement method according to claim 4, wherein the detection is performed by holding the maximum value of the thickness.
を挟み、該通電部又は出力部のいずれか一方を該被測定
物表面に対して摺動させ、前記一のコイルと他のコイル
とが最接近した時のコイル側の出力信号を検知すること
を特徴とする請求項４又は請求項５に記載する厚み測定
方法。6. An object to be measured is sandwiched between the current-carrying part and the output part, and one of the current-carrying part and the output part is slid with respect to the surface of the object to be measured. 6. The thickness measuring method according to claim 4, wherein an output signal on the coil side when the distance is closest is detected.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10301774A JP2000131011A (en) | 1998-10-23 | 1998-10-23 | Thickness measuring device and method therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10301774A JP2000131011A (en) | 1998-10-23 | 1998-10-23 | Thickness measuring device and method therefor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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ID=17901017
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| JP (1) | JP2000131011A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018155775A1 (en) * | 2017-02-24 | 2018-08-30 | 주식회사 엘지화학 | Thickness meter for battery material |
-
1998
- 1998-10-23 JP JP10301774A patent/JP2000131011A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018155775A1 (en) * | 2017-02-24 | 2018-08-30 | 주식회사 엘지화학 | Thickness meter for battery material |
| US11493316B2 (en) | 2017-02-24 | 2022-11-08 | Lg Energy Solution, Ltd. | Apparatus for measuring thickness of battery materials |
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