JP2000117607A - Grinding tool - Google Patents

Grinding tool

Info

Publication number
JP2000117607A
JP2000117607A JP10289530A JP28953098A JP2000117607A JP 2000117607 A JP2000117607 A JP 2000117607A JP 10289530 A JP10289530 A JP 10289530A JP 28953098 A JP28953098 A JP 28953098A JP 2000117607 A JP2000117607 A JP 2000117607A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
attachment
polishing
polishing tool
air
base plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10289530A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kengo Yasui
健吾 安井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP10289530A priority Critical patent/JP2000117607A/en
Publication of JP2000117607A publication Critical patent/JP2000117607A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a grinding tool for generating a more proper finished surface. SOLUTION: An air chamber 14 is formed on the back surface side of the base tray 10 of this grinding tool by a disk 12, and a center hole 12a for receiving the tip 13a of a cylindrical attachment 13 is formed on the upper surface of the disk 12. The tip 13a of the attachment 13 can be vertically moved in the inside of the hole 12a, and an air supply port 12b passing to the chamber 14 is opened in the bottom of the hole 12a. Opening a regulator 18 provided on the air supply tube 19 of a compressor makes air from the compressor pass through the inside 13c of the attachment 13, to fill the chamber 14 to float the tip ball 13a of the attachment 13 from the edge of the port 12b of the disk 12 by the air pressure.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ミラー、レンズ等
の光学素子、成形用金型の研磨加工に用いられる研磨工
具に関する。
The present invention relates to a polishing tool used for polishing optical elements such as mirrors and lenses, and a molding die.

【0002】[0002]

【従来の技術】レンズ、ミラー等の光学素子、成形用金
型の研磨加工には、一般に、図4に示すような、被加工
物の表面形状に倣うように整形されたポリシャ40bを
有する研磨工具40が用いられている。この研磨工具4
0の台皿40aの裏面には、適当な径の中心穴40c
と、中心穴40cを通る溝40dが形成されている。
2. Description of the Related Art Generally, polishing of an optical element such as a lens or a mirror or a molding die involves polishing with a polisher 40b shaped to conform to the surface shape of a workpiece as shown in FIG. A tool 40 is used. This polishing tool 4
The center plate 40c having an appropriate diameter is provided on the back surface of the base plate 40a.
And a groove 40d passing through the center hole 40c is formed.

【0003】そして、研磨装置の工具軸41に一端が固
定されるアタッチメント42の他端には、台皿40aの
裏面の中心穴40cおよび溝40dにはめこまれるかん
ざし球42aおよびピン42bが形成されている。研磨
加工中、エアーシリンダ43から工具軸41に与えられ
る荷重およびモータ(不図示)から工具軸41に与えられ
る回転運動は、それぞれ、このアタッチメント42のか
んざし球42aおよびピン42bを介して研磨工具40
に伝達される。
[0003] At the other end of the attachment 42, one end of which is fixed to the tool shaft 41 of the polishing apparatus, is formed a pin 42b and a pin 42b which are fitted in a center hole 40c and a groove 40d on the back surface of the base plate 40a. ing. During the polishing process, the load applied to the tool shaft 41 from the air cylinder 43 and the rotational motion applied to the tool shaft 41 from the motor (not shown) are transmitted to the polishing tool 40 via the pin 42b and the pin 42b of the attachment 42, respectively.
Is transmitted to

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
研磨工具40には、アタッチメント42のかんざし球4
2aとの接触に起因する欠点を有している。すなわち、
(1)アタッチメント42のかんざし球42aから研磨工
具40に集中荷重がかかるため、ポリシャ40bと被加
工物との間に生じる研磨圧が均一になりにくく、(2)摩
擦による振動、モータおよび工具軸41等の振動が、ア
タッチメント42のかんざし球42aを介して研磨工具
40に伝達されるため、ポリシャ40bと被加工物とが
スムーズに摺動しないことが多い。このような問題(1)
(2)は、被加工物の仕上げ面精度に悪影響を及ぼすた
め、このような問題(1)(2)の発生を回避するために、
スペーサを入れる等の煩雑な調整作業が必要となる。
However, the above-mentioned conventional polishing tool 40 is provided with a pin 4 of the attachment 42.
It has disadvantages due to contact with 2a. That is,
(1) Since a concentrated load is applied to the polishing tool 40 from the bridge ball 42a of the attachment 42, the polishing pressure generated between the polisher 40b and the workpiece is difficult to be uniform. (2) Vibration due to friction, motor and tool shaft Since the vibration of the workpiece 41 and the like is transmitted to the polishing tool 40 via the hairpin 42a of the attachment 42, the polisher 40b and the workpiece often do not slide smoothly. Such a problem (1)
(2) has an adverse effect on the accuracy of the finished surface of the workpiece, and in order to avoid such problems (1) and (2),
Complicated adjustment work such as insertion of a spacer is required.

【0005】そこで、本発明は、より良好な仕上げ面を
効率的に創成することができる研磨工具を提供すること
を目的とする。
[0005] Therefore, an object of the present invention is to provide a polishing tool capable of efficiently creating a better finished surface.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、表面に研磨材を有する台皿と、前記台皿
を工具軸に取り付けるためのアタッチメントとを備えた
研磨工具であって、前記台皿の裏面と前記アタッチメン
トとの間を連結すると共に、前記台皿の裏面と前記アタ
ッチメントとの間に及ぼされる力によって前記台皿の裏
面側から前記アタッチメントを浮き上がらせる連結機構
を備えることを特徴とする研磨工具を提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention is a polishing tool comprising a plate having an abrasive on its surface, and an attachment for attaching the plate to a tool shaft. A connection mechanism that connects between the back surface of the base plate and the attachment, and that lifts the attachment from the back surface side of the base plate by a force applied between the back surface of the base plate and the attachment. A polishing tool characterized by the following.

【0007】本発明に係る研磨工具によれば、研磨加工
中、台皿の裏面側からアタッチメントが浮き上がるた
め、工具軸やモータ等の振動の台皿への伝達を防止する
ことができると共に、研磨材と被加工物との間に均一な
研磨圧を発生させることできる。したがって、従来のよ
うに煩雑な調整作業を行わなくても、より良好な研磨仕
上げ面を創成することができる。すなわち、本研磨工具
によれば、より良好な研磨仕上げ面を創成することがで
きる。
According to the polishing tool of the present invention, during the polishing process, the attachment floats from the back side of the base plate, so that the transmission of vibrations of the tool shaft, the motor, etc. to the base plate can be prevented, and the polishing can be performed. A uniform polishing pressure can be generated between the material and the workpiece. Therefore, a better polished surface can be created without performing complicated adjustment work as in the related art. That is, according to the present polishing tool, a better polished surface can be created.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照しなが
ら、本発明に係る実施の一形態について説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

【0009】最初に、図1により、本実施の形態に係る
研磨工具の基本構造について説明する。
First, the basic structure of the polishing tool according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

【0010】本研磨工具は、被加工物の表面形状に倣う
ように整形されたポリシャ11、ポリシャ11が貼り付
られた台皿10、先端で台皿10を取付けすると共に後
端が工具軸16にネジ等で固定される円筒型アタッチメ
ント13、円筒型アタッチメント13の先端と台皿10
とを連結する連結機構を備えている。
This polishing tool has a polisher 11 shaped so as to follow the surface shape of a workpiece, a base plate 10 to which the polisher 11 is attached, a base plate 10 attached at the tip and a tool shaft 16 at the rear end. Attachment 13 fixed to the bottom with screws or the like, the tip of the cylindrical attachment 13 and the base plate 10
And a connecting mechanism for connecting

【0011】以下、連結機構について説明する。台皿1
0の裏面の外周には側壁10aが設けられ、この側壁1
0aの上面には円板12が固定されている。そして、円
板12の上面には、研磨工具の回転中心Oに上に中心穴
12aが形成されている。円筒型アタッチメント13の
先端球13aは、この中心穴12aに入れられている。
そして、この中心穴12a内部で先端球13aがスムー
ズに上下動できるように、この中心穴12aの縁と円筒
型アタッチメント13との間にはベアリング17がはめ
こまれている。また、この中心穴12aの底には、台皿
10と円板12とによって形成された空気室14へと抜
けるエアー供給口12bが開けられている。そして、円
筒型アタッチメント13の先端球13aは、このエアー
供給口12bの縁にだけ接触している。さらに、この円
板12には、研磨工具の回転軸心Oにほぼ直交する貫通
穴12cが開けられている。そして、この貫通穴12c
に対応するように、アタッチメント13の先端球13a
にも、研磨工具の回転中心Oにほぼ直交する貫通穴13
bが開けられている。これら2つの貫通穴12c,13
bには、円筒型アタッチメント13と共に研磨工具を回
転させるためのピン15が差し込まれている。但し、貫
通穴12cのなかでピン15が上下動することができる
ように、すなわち、円筒型アタッチメント13の先端球
13aをエアー供給口12bの縁から浮き上がらせるこ
とができるように、円板12の貫通穴12cとピン15
との間には適当な隙間が設けられている。
Hereinafter, the connecting mechanism will be described. Plate 1
0 is provided with a side wall 10a on the outer periphery of the back surface.
A disk 12 is fixed to the upper surface of Oa. On the upper surface of the disk 12, a center hole 12a is formed above the rotation center O of the polishing tool. The tip sphere 13a of the cylindrical attachment 13 is inserted into the center hole 12a.
A bearing 17 is fitted between the edge of the center hole 12a and the cylindrical attachment 13 so that the tip ball 13a can move up and down smoothly inside the center hole 12a. At the bottom of the center hole 12a, an air supply port 12b is formed to pass into an air chamber 14 formed by the base plate 10 and the disk 12. The tip ball 13a of the cylindrical attachment 13 is in contact only with the edge of the air supply port 12b. Further, the disc 12 has a through hole 12c substantially perpendicular to the rotation axis O of the polishing tool. And this through hole 12c
The tip ball 13a of the attachment 13
In addition, the through hole 13 which is substantially perpendicular to the rotation center O of the polishing tool
b is open. These two through holes 12c, 13
A pin 15 for rotating the polishing tool together with the cylindrical attachment 13 is inserted into b. It should be noted that the disk 15 has a shape such that the pin 15 can move up and down in the through hole 12c, that is, the tip ball 13a of the cylindrical attachment 13 can be lifted from the edge of the air supply port 12b. Through hole 12c and pin 15
An appropriate gap is provided between the two.

【0012】工具軸16の内部にはエアー流路16aが
開けられている。そして、その一端は、円筒型アタッチ
メント13のエアー流路13cに連結され、他端は、ロ
ータリージョイント(相対的に回転可能な管継手:不図
示)によって、コンプレッサからのエアー供給管19に
連結されている。被加工物の表面にポリシャ11を接触
させた状態で、エアー供給管19に設けられたレギュレ
ーター18を開くと、コンプレッサからのエアーが、円
筒型アタッチメント13内部のエアー流路13cを通過
して空気室14に充填され、その空気圧によって、円板
12のエアー供給口12bの縁から円筒型アタッチメン
ト13の先端球13aが浮き上がる。そのままコンプレ
ッサからのエアーの供給を継続すれば、円筒型アタッチ
メント13と台皿10の裏面との非接触状態を維持する
ことができる。なお、アタッチメント13の先端球13
aとエアー供給口12bとの隙間等は、このときに空気
室14に絶えず送り込まれるエアーの逃げ道となる。
An air flow path 16a is opened inside the tool shaft 16. One end is connected to the air passage 13c of the cylindrical attachment 13, and the other end is connected to an air supply pipe 19 from a compressor by a rotary joint (a relatively rotatable pipe joint: not shown). ing. When the regulator 18 provided in the air supply pipe 19 is opened in a state where the polisher 11 is in contact with the surface of the workpiece, air from the compressor passes through the air flow path 13 c inside the cylindrical attachment 13, The chamber 14 is filled, and the tip end ball 13a of the cylindrical attachment 13 rises from the edge of the air supply port 12b of the disk 12 by the air pressure. If the supply of air from the compressor is continued as it is, the non-contact state between the cylindrical attachment 13 and the back surface of the base plate 10 can be maintained. In addition, the tip ball 13 of the attachment 13
The gap between the air supply port 12a and the air supply port 12b serves as an escape path for air constantly sent into the air chamber 14 at this time.

【0013】このような取付け構造によれば、研磨加工
中、円筒型アタッチメント13の先端球13aを台皿1
0の裏面に直接接触させないため、工具軸16やモータ
等の振動の台皿10への伝達を防止することができると
共に、ポリシャ11と被加工物との間に均一な研磨圧を
発生させることできる。したがって、本研磨工具によれ
ば、従来のような面倒な調整作業を行わなくても、より
良好な研磨仕上げ面を創成することができる。
According to such a mounting structure, the tip ball 13a of the cylindrical attachment 13 is fixed to the base plate 1 during polishing.
0, so that the vibration of the tool shaft 16 and the motor can be prevented from being transmitted to the base plate 10 and a uniform polishing pressure can be generated between the polisher 11 and the workpiece. it can. Therefore, according to the present polishing tool, a better polished surface can be created without performing a complicated adjustment operation as in the related art.

【0014】なお、本実施の形態においては、研磨加工
中に研磨工具の台皿10と円筒型アタッチメント13と
の非接触状態を維持するためにエアーの空気圧を利用し
たが、その代わりに磁石の反発力を利用しても構わな
い。その場合には、エアー供給に関連する部分(空気
室、エアー流路等)は不要となるが、図3に示すよう
に、台皿10の裏面とアタッチメント13の先端とに、
磁石30を、同極側が対向するように取り付けておく必
要がある。
In this embodiment, the air pressure of the air is used to maintain the non-contact state between the polishing tool base plate 10 and the cylindrical attachment 13 during the polishing process. Repulsion may be used. In this case, the parts related to the air supply (air chamber, air flow path, etc.) are not necessary, but as shown in FIG.
It is necessary to mount the magnet 30 so that the same poles face each other.

【0015】次に、図2により、この研磨工具を用いた
研磨加工について説明する。なお、ここでは、すでに、
研磨工具および被加工物Aが、それぞれ、研磨装置の工
具軸16およびワーク軸20に取り付けられていること
とする。
Next, the polishing process using this polishing tool will be described with reference to FIG. Note that here,
It is assumed that the polishing tool and the workpiece A are mounted on the tool shaft 16 and the work shaft 20 of the polishing apparatus, respectively.

【0016】エアーシリンダー23を駆動して、研磨工
具10のポリシャ11を被加工物Aの表面aに押圧す
る。次に、レギュレーター18を開き、研磨工具の空気
室14内部へのエアーの供給を開始する。さらにレギュ
レーター18の開度を調整し、円筒型アタッチメント1
3の先端球13aが、研磨工具10の円板12のエアー
供給口12bの縁から浮き上がった時点でエアー流量を
固定する。
The polisher 11 of the polishing tool 10 is pressed against the surface a of the workpiece A by driving the air cylinder 23. Next, the regulator 18 is opened, and supply of air into the air chamber 14 of the polishing tool is started. Further, the opening of the regulator 18 is adjusted, and the cylindrical attachment 1 is adjusted.
The air flow rate is fixed when the third tip ball 13a rises from the edge of the air supply port 12b of the disk 12 of the polishing tool 10.

【0017】そして、研磨工具のポリシャ11と被加工
物Aの表面aとの間にノズル21で研磨液22を供給し
ながら、ワーク軸20を回転させるモータ、工具軸16
を回転させるモータおよび工具軸11を揺動させるモー
タをそれぞれ駆動する。これにより、円筒型アタッチメ
ント13の先端球13aと台皿10の裏面との非接触状
態を維持しつつ、研磨工具のポリシャ11と被加工物A
の表面aとの摺動運動が行われる。
A motor for rotating the work shaft 20 while the polishing liquid 22 is supplied by the nozzle 21 between the polisher 11 of the polishing tool and the surface a of the workpiece A, and a tool shaft 16
And a motor for rotating the tool shaft 11 are driven. Thereby, the polisher 11 of the polishing tool and the workpiece A are maintained while maintaining the non-contact state between the tip sphere 13a of the cylindrical attachment 13 and the back surface of the base plate 10.
Sliding motion with the surface a is performed.

【0018】[0018]

【発明の効果】本発明に係る研磨工具によれば、より良
好な研磨仕上げ面を効率的に創成することができる。す
なわち、平面、球面、非球面その他の形状を有する光学
部品等を、より高精度かつ効率的に仕上げることができ
る。
According to the polishing tool of the present invention, a better polished surface can be efficiently created. That is, an optical component having a planar, spherical, aspherical or other shape can be finished with higher precision and efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)は、本発明の実施の一形態に係る研磨工具
の取付け部の構造を説明するための部分断面図であり、
(b)は、本発明の実施の一形態に係る研磨工具の上面図
である。
FIG. 1A is a partial cross-sectional view for explaining a structure of a mounting portion of a polishing tool according to an embodiment of the present invention,
(b) is a top view of the polishing tool according to one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施の一形態に係る研磨工具を用いた
研磨加工を説明するための図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a polishing process using a polishing tool according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施の一形態に係る研磨工具の取付け
部の構造を説明するための部分断面図である。
FIG. 3 is a partial cross-sectional view for explaining a structure of a mounting portion of the polishing tool according to one embodiment of the present invention.

【図4】(a)は、従来の研磨工具を取付け部の構造を示
した部分断面図であり、(b)は、そのA−A断面図であ
る。
FIG. 4A is a partial cross-sectional view showing a structure of a mounting portion of a conventional polishing tool, and FIG. 4B is a cross-sectional view along AA.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…台皿 11…ポリシャ 12…円板 12a…円筒型アタッチメント受入れ用の中心穴 12b…エアー供給口 12c…ピン差込用の貫通穴 13…円筒型アタッチメント 13a…円筒型アタッチメントの先端球 14…空気室 15…ピン 16…工具軸 17…エアシリンダ 18…レギュレーター 30…磁石 Reference Signs List 10: Plate 11: Polisher 12: Disc 12a: Center hole for receiving cylindrical attachment 12b: Air supply port 12c: Through hole for inserting pin 13: Cylindrical attachment 13a: Tip ball of cylindrical attachment 14 ... Air chamber 15 Pin 16 Tool shaft 17 Air cylinder 18 Regulator 30 Magnet

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】表面に研磨材を有する台皿と、前記台皿を
工具軸に取り付けるためのアタッチメントとを備えた研
磨工具であって、 前記台皿の裏面と前記アタッチメントとの間を連結する
と共に、前記台皿の裏面と前記アタッチメントとの間に
およぼされる力によって前記台皿の裏面側から前記アタ
ッチメントを浮き上がらせる連結機構を備えることを特
徴とする研磨工具。
1. A polishing tool comprising: a base plate having an abrasive on its surface; and an attachment for attaching the base plate to a tool shaft, wherein a connection is made between a back surface of the base plate and the attachment. A polishing tool, further comprising a coupling mechanism for lifting the attachment from the back surface side of the base plate by a force applied between the back surface of the base plate and the attachment.
【請求項2】請求項1記載の研磨工具であって、 前記力は、前記台皿の裏面と前記アタッチメントとの間
に導入される空気圧であることを特徴とする研磨工具。
2. The polishing tool according to claim 1, wherein the force is an air pressure introduced between a back surface of the plate and the attachment.
【請求項3】請求項1記載の研磨工具であって、 前記力を及ぼす磁石を備えることを特徴とする研磨工
具。
3. The polishing tool according to claim 1, further comprising a magnet that exerts the force.
JP10289530A 1998-10-12 1998-10-12 Grinding tool Pending JP2000117607A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10289530A JP2000117607A (en) 1998-10-12 1998-10-12 Grinding tool

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10289530A JP2000117607A (en) 1998-10-12 1998-10-12 Grinding tool

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000117607A true JP2000117607A (en) 2000-04-25

Family

ID=17744454

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10289530A Pending JP2000117607A (en) 1998-10-12 1998-10-12 Grinding tool

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000117607A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102794716A (en) * 2012-08-16 2012-11-28 厦门大学 Flexible grinding and polishing compound arc sand wheel
CN103962927A (en) * 2014-05-16 2014-08-06 厦门大学 Tool setting device for gas bag polishing
CN104858725A (en) * 2015-05-26 2015-08-26 浙江师范大学 Medical titanium alloy screw airbag magnetorheological brush polisher
CN109048515A (en) * 2018-07-12 2018-12-21 上海航天设备制造总厂有限公司 A kind of small opening cylindrical part end socket inner wall constant pressure flexibility grinding device
CN111015508A (en) * 2019-12-17 2020-04-17 中国航空工业集团公司济南特种结构研究所 Dot-matrix flexible polishing head structure

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102794716A (en) * 2012-08-16 2012-11-28 厦门大学 Flexible grinding and polishing compound arc sand wheel
CN103962927A (en) * 2014-05-16 2014-08-06 厦门大学 Tool setting device for gas bag polishing
CN103962927B (en) * 2014-05-16 2016-01-20 厦门大学 A kind of tool setting device for air bag polishing
CN104858725A (en) * 2015-05-26 2015-08-26 浙江师范大学 Medical titanium alloy screw airbag magnetorheological brush polisher
CN109048515A (en) * 2018-07-12 2018-12-21 上海航天设备制造总厂有限公司 A kind of small opening cylindrical part end socket inner wall constant pressure flexibility grinding device
CN111015508A (en) * 2019-12-17 2020-04-17 中国航空工业集团公司济南特种结构研究所 Dot-matrix flexible polishing head structure

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4598502A (en) Method and apparatus for surfacing optical lenses
US3552899A (en) Lens surfacing machine
JPH11291165A (en) Polishing device and polishing method
JPS6085859A (en) Pushing device for finishing surface of optical lens
JP2000117607A (en) Grinding tool
US3889426A (en) Optical lens generating machine having an air rotatable spherical bearing workpiece holder
JP2008142840A (en) Surface processing method and surface processing device
US6435955B2 (en) Abrasive machine
JP4229582B2 (en) Grinding and polishing equipment
JP2001259986A (en) End face polishing device
JPH05177535A (en) Method and device for polishing
JP2002307278A (en) Polishing tool retaining device and polishing device
US3830021A (en) Spherical bearing workpiece holder in an optical lens generating machine
JP2009233832A (en) Polishing tool mounting structure and polishing apparatus
JPH08229795A (en) Workpiece holding device
JP2021154403A (en) Device for polishing end face of optical fiber ferrule
JP2007105814A (en) Lens polishing device and lens polishing method
JP2002307279A (en) Polishing tool, polishing tool holding device, polishing device, and combination polishing method for processing polishing tool
JP3530555B2 (en) Work support device for optical element polishing machine
JP2599918B2 (en) Polishing holding device
JPH10286777A (en) Polishing tool plate
JP2002233939A (en) Polishing method for optical curved surface
JP2002079448A (en) Lens chamfering device and method
US3828483A (en) Optical lens generating machine having spherical bearing workpiece holder
JPS6284964A (en) Lens polishing device