JP2000108067A - Suction pat - Google Patents

Suction pat

Info

Publication number
JP2000108067A
JP2000108067A JP10282129A JP28212998A JP2000108067A JP 2000108067 A JP2000108067 A JP 2000108067A JP 10282129 A JP10282129 A JP 10282129A JP 28212998 A JP28212998 A JP 28212998A JP 2000108067 A JP2000108067 A JP 2000108067A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction pad
suction
work
pat
view
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10282129A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasushi Kodama
泰 児玉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Meidensha Corp
Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Meidensha Corp
Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Meidensha Corp, Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd filed Critical Meidensha Corp
Priority to JP10282129A priority Critical patent/JP2000108067A/en
Publication of JP2000108067A publication Critical patent/JP2000108067A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the lowering of suction force and to reduce suction defectives of a work by providing a contact preventing member within a suction pat so as to prevent a soft work from entering into the suction pat due to deformation of this work and from contacting the bottom of the suction pat provided with an air intake port, when the work is sucked by the suction pat. SOLUTION: A suction pat 11 of such a shape that a container is turned upside down has a suction part 12 spreading downward on a lower part. At the center part of an upper bottom 13, an air intake port 14 leading into the suction pat 11 is provided. At the inside of the suction pat 11, four props 16 as contact preventing members preventing a work 15 from contacting the upper bottom 13 are projectingly provided toward an opening surface 17 of the suction pat 11 on the upper bottom 13 of the suction pat 11 so as to surround the air intake port 14 in the vicinity of the air intake port 14. Even if the work 15 is deformed, enters into the suction pat 11 and is going to contact the upper bottom 13 of the suction pat 11 when the soft work 15 is sucked by the suction pat 11, this contact can be prevented by the props 16.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は吸着パットに関し、
デパレタイズロボットのハンド部などに取り付けられる
吸着パットに適用して有用なものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an adsorption pad,
This is useful when applied to a suction pad attached to a hand portion of a depalletizing robot.

【0002】[0002]

【従来の技術】デパレタイズロボットは、パレットなど
の上に載置・配列されているバケット、箱又は袋などの
ワークを順に取り出す「デパレタイズ動作」を行うロボ
ットである。そして、かかるデパレタイズロボットに
は、ワークを吸着してパレットから取り出すために吸着
パットが取り付けられているものがある。
2. Description of the Related Art A depalletizing robot is a robot that performs a "depalletizing operation" for sequentially taking out a work such as a bucket, a box or a bag placed and arranged on a pallet or the like. Some of such depalletizing robots are provided with a suction pad for sucking a work and removing the work from a pallet.

【0003】図3(a)は従来の吸着パットの平面図
(図3(b)のA方向矢視図)、図3(b)は前記吸着
パットの正面図、図3(c)は前記吸着パットの平面図
(図3(d)のB方向矢視図)、図3(d)は前記吸着
パットの側面図である。また、図4(a)及び(b)は
デパレタイズロボットのハンド部へ前記吸着パットを取
り付けた状態を示す正面図及び側面図である。
FIG. 3 (a) is a plan view of a conventional suction pad (a view in the direction of arrow A in FIG. 3 (b)), FIG. 3 (b) is a front view of the suction pad, and FIG. FIG. 3D is a plan view of the suction pad (a view in the direction of arrow B in FIG. 3D), and FIG. 3D is a side view of the suction pad. FIGS. 4A and 4B are a front view and a side view showing a state where the suction pad is attached to the hand portion of the depalletizing robot.

【0004】図3に示すように、吸着パット1は容器を
逆さにしたような形状を有している。吸着パット1の下
部には下方に広がった吸着部2を有しており、上底3の
中央部には吸着パット1内へと通ずる空気吸込口4が設
けられている。従って、空気吸込口4から吸着パット1
内の空気を吸い込むと、ワーク5が吸着部2に吸着され
る。
As shown in FIG. 3, the suction pad 1 has a shape like an inverted container. The lower part of the suction pad 1 has a suction part 2 extending downward, and an air suction port 4 communicating with the inside of the suction pad 1 is provided at the center of the upper bottom 3. Therefore, the suction pad 1
When the air inside is sucked, the work 5 is adsorbed by the adsorbing section 2.

【0005】そして、この吸着パット1は、図4に示す
ように、デパレタイズロボットのアーム7の先端のハン
ド部6に取り付けられ、空気吸込口4(図3参照)には
空気吸込管8が接続される。従って、吸着パット1はロ
ボットアーム7の動作により移動し、図示しないパレッ
ト上のワーク5を吸着してパレットから順次取り出す。
As shown in FIG. 4, the suction pad 1 is attached to a hand portion 6 at the tip of an arm 7 of a depalletizing robot, and an air suction pipe 8 is provided at an air suction port 4 (see FIG. 3). Connected. Therefore, the suction pad 1 is moved by the operation of the robot arm 7, and sucks the work 5 on the pallet (not shown) and sequentially removes the work 5 from the pallet.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の吸着パット1では、ワーク5が袋などのような柔ら
かいものの場合には、図2及び図4中に二点鎖線で示す
ように、吸着パット1でワーク5を吸着したときに、こ
のワーク5が変形して吸着パット1内に入り込み、空気
吸込口4が設けられている上底3に接触する。その結
果、吸着断面積が空気吸込口4部分だけと小さくなり、
吸着パット1の吸着力が大幅に低下してしまう。このた
め、ワーク5の吸着不良の原因となる。
However, in the conventional suction pad 1 described above, when the work 5 is a soft material such as a bag, as shown by a two-dot chain line in FIGS. When the work 5 is sucked at 1, the work 5 is deformed and enters the suction pad 1, and comes into contact with the upper bottom 3 provided with the air suction port 4. As a result, the adsorption cross-sectional area is reduced to only the air suction port 4 portion,
The suction force of the suction pad 1 is greatly reduced. For this reason, it causes a suction failure of the work 5.

【0007】従って本発明は上記従来技術に鑑み、ワー
クが袋などのような柔らかいものの場合でも、吸着力の
低下を抑えてワークの吸着不良を大幅に低減することが
できる吸着パットを提供することを課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made in view of the above-mentioned prior art, and provides a suction pad capable of suppressing a decrease in suction force and greatly reducing poor suction of a work even when the work is soft such as a bag. As an issue.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する第1
発明の吸着パットは、ロボットのハンド部などに取り付
けられてワークを吸着する吸着パットにおいて、この吸
着パットで柔らかいワークを吸着したときに、このワー
クが変形して吸着パット内に入り込み、空気吸込口が設
けられている吸着パットの底に接触するのを阻止するよ
うに、接触阻止部材を吸着パット内に設けたことを特徴
とする。
Means for Solving the Problems A first method for solving the above problems is described below.
The suction pad of the present invention is a suction pad attached to a hand portion of a robot for sucking a work. When the suction pad sucks a soft work, the work is deformed and enters the suction pad, and an air suction port is formed. The contact preventing member is provided in the suction pad so as to prevent the contact with the bottom of the suction pad provided with the contact pad.

【0009】また、第2発明の吸着パットは、第1発明
の吸着パットにおいて、前記接触阻止部材は、前記吸着
パットの底に、吸着パットの開口面へ向けて突設したつ
っかえ棒であることを特徴とする。
A suction pad according to a second aspect of the present invention is the suction pad according to the first aspect, wherein the contact preventing member is a holding rod protruding from the bottom of the suction pad toward an opening surface of the suction pad. It is characterized by.

【0010】従って、これら第1又は第2発明の吸着パ
ットによれば、吸着パットで柔らかいワークを吸着した
ときに、このワークが変形し吸着パット内に入り込んで
吸着パットの底に接触しようとしても、これをつっかえ
棒などの接触阻止部材によって阻止することができる。
[0010] Therefore, according to the suction pad of the first or second aspect of the present invention, when a soft work is sucked by the suction pad, the work is deformed and enters the suction pad to contact the bottom of the suction pad. This can be prevented by a contact preventing member such as a stick.

【0011】また、第3発明の吸着パットは、第2発明
の吸着パットにおいて、前記つっかえ棒の先端に、前記
吸着パットの開口面に略平行に板を設けたことを特徴と
する。
A suction pad according to a third invention is characterized in that, in the suction pad according to the second invention, a plate is provided at a tip end of the holding rod substantially parallel to an opening surface of the suction pad.

【0012】従って、この第3発明の吸着パットによれ
ば、つっかえ棒の先端に、吸着パットの開口面に略平行
に板を設けたため、吸着パットで柔らかいワークを吸着
したときには、このワークが前記板に当たるため、ワー
クにかかる負荷を低減することができる。
Therefore, according to the suction pad of the third aspect of the present invention, since the plate is provided at the end of the holding rod substantially in parallel with the opening surface of the suction pad, when a soft work is sucked by the suction pad, the work is removed. Since it hits the plate, the load on the work can be reduced.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0014】<実施の形態1>図1(a)は本発明の実
施の形態1に係る吸着パットの平面図(図1(b)のC
方向矢視図)、図1(b)は前記吸着パットの正面図、
図1(c)は前記吸着パットの平面図(図1(d)のD
方向矢視図)、図1(d)は前記吸着パットの側面図で
ある。
<First Embodiment> FIG. 1A is a plan view of a suction pad according to a first embodiment of the present invention (C in FIG. 1B).
1 (b) is a front view of the suction pad,
FIG. 1C is a plan view of the suction pad (D in FIG. 1D).
FIG. 1D is a side view of the suction pad.

【0015】図1に示すように、吸着パット11は容器
を逆さにしたような形状を有している。吸着パット11
の下部には下方に広がった吸着部12を有しており、上
底13の中央部には吸着パット11内へと通ずる空気吸
込口14が設けられている。従って、空気吸込口14か
ら吸着パット11内の空気を吸い込むと、ワーク15が
吸着部12に吸着される。
As shown in FIG. 1, the suction pad 11 has a shape like an inverted container. Suction pad 11
Has a suction portion 12 extending downward, and an air suction port 14 communicating with the inside of the suction pad 11 is provided at the center of the upper bottom 13. Therefore, when the air in the suction pad 11 is sucked from the air suction port 14, the work 15 is sucked by the suction part 12.

【0016】そして、本吸着パット11の内部には、上
底13へのワーク15の接触を阻止する接触阻止部材と
して、4本のつっかえ棒16が設けられている。これら
4本のつっかえ棒16は空気吸込口14の近傍で空気吸
込口14の周囲を囲むようして、吸着パット11の上底
13に、吸着パット11の開口面17へ向けて突設され
ている。
Further, inside the main suction pad 11, four holding rods 16 are provided as contact preventing members for preventing the work 15 from contacting the upper bottom 13. These four refill rods 16 project from the upper bottom 13 of the suction pad 11 toward the opening surface 17 of the suction pad 11 so as to surround the air suction port 14 near the air suction port 14. I have.

【0017】従って、上記構成の吸着パット11によれ
ば、図1中に二点鎖線で示すように、ワーク15が袋な
どのような柔らかいものの場合、この柔らかいワーク1
5を吸着パット11で吸着したときに、ワーク15が変
形し吸着パット11内に入り込んで吸着パット11の上
底13に接触しようとしても、これをつっかえ棒8によ
って阻止することができる。
Therefore, according to the suction pad 11 having the above structure, as shown by the two-dot chain line in FIG.
If the work 15 is deformed and enters the suction pad 11 to contact the upper bottom 13 of the suction pad 11 when the work piece 5 is sucked by the suction pad 11, the work 15 can be prevented by the catch rod 8.

【0018】このため、ワーク15が袋などのような柔
らかいものの場合でも、吸着力の低下を抑えてワーク1
5の吸着不良を大幅に低減することができる。
For this reason, even when the work 15 is a soft material such as a bag, the work 1 can be prevented from lowering in the attraction force.
5 can be significantly reduced.

【0019】<実施の形態2>図2(a)は本発明の実
施の形態2に係る吸着パットの平面図(図2(b)のE
方向矢視図)、図2(b)は前記吸着パットの正面図、
図2(c)は前記吸着パットの平面図(図2(d)のF
方向矢視図)、図2(d)は前記吸着パットの側面図で
ある。なお、図2中、上記実施の形態1(図1参照)と
同様の部分には同一の符号を付し、重複する詳細な説明
は省略する。
<Second Embodiment> FIG. 2A is a plan view of a suction pad according to a second embodiment of the present invention (E in FIG. 2B).
FIG. 2B is a front view of the suction pad,
FIG. 2C is a plan view of the suction pad (F in FIG. 2D).
FIG. 2D is a side view of the suction pad. In FIG. 2, the same parts as those in the first embodiment (see FIG. 1) are denoted by the same reference numerals, and overlapping detailed description will be omitted.

【0020】図2に示すように、本実施の形態2に係る
吸着パット21では、つっかえ棒16の先端に、吸着パ
ット21の開口面17に平行にリング状の板22が設け
られている。
As shown in FIG. 2, in the suction pad 21 according to the second embodiment, a ring-shaped plate 22 is provided at the tip of the holding rod 16 in parallel with the opening surface 17 of the suction pad 21.

【0021】従って、上記構成の吸着パット21によれ
ば、つっかえ棒16の先端に、吸着パット21の開口面
17に平行に板22を設けたため、吸着パット21で柔
らかいワーク15を吸着したときには、このワーク15
が板22に当たるため、ワーク15にかかる負荷を低減
することができる。
Therefore, according to the suction pad 21 having the above structure, since the plate 22 is provided at the tip of the holding rod 16 in parallel with the opening surface 17 of the suction pad 21, when the suction pad 21 sucks the soft work 15, This work 15
Hits the plate 22, so that the load on the work 15 can be reduced.

【0022】つまり、上記実施の形態1の吸着パット1
1では、図1に示すように、吸着パット11で柔らかい
ワーク15を吸着したときには、このワーク15がつっ
かえ棒16の先端にのみ当たるため、ワーク15にかか
る負荷が大きい。このため、ワーク15の材質がビニー
ルなどの弱いものである場合にはワーク15の破損を招
く虞がある。
That is, the suction pad 1 of the first embodiment
In FIG. 1, as shown in FIG. 1, when a soft work 15 is sucked by the suction pad 11, the work 15 hits only the tip of the stick 16 so that the load on the work 15 is large. Therefore, if the material of the work 15 is a weak material such as vinyl, the work 15 may be damaged.

【0023】これに対して、上記のようにつっかえ棒1
6の先端に板22を設ければ、この板22にワーク15
が当たるため、ワーク15にかかる負荷を低減すること
ができる。このため、ワーク15がビニールなどの弱い
材質のものであっても、ワーク15の破損を防止するこ
とができる。
On the other hand, the stick 1
If the plate 22 is provided at the tip of the workpiece 6, the work 15
, The load on the work 15 can be reduced. Therefore, even if the work 15 is made of a weak material such as vinyl, the work 15 can be prevented from being damaged.

【0024】なお、上記の吸着パット11,21を図4
に示すデパレタイズロボットのハンド部6に取り付ける
場合には、従来の吸着パット1と同様に取り付けられる
(図4参照)。
The above suction pads 11, 21 are shown in FIG.
When it is attached to the hand part 6 of the depalletizing robot shown in FIG. 1, it is attached in the same manner as the conventional suction pad 1 (see FIG. 4).

【0025】また、本発明の吸着パットはデパレタイズ
ロボットのハンド部に取り付けて有用なものであるが、
これに限定するものではなく、その他のロボットのハン
ド部など、その他の機器に取り付けてもよい。
The suction pad of the present invention is useful when attached to the hand of a depalletizing robot.
The present invention is not limited to this, and may be attached to another device such as a hand portion of another robot.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上、発明の実施の形態と共に具体的に
説明したように、第1又は第2発明の吸着パットによれ
ば、吸着パットで柔らかいワークを吸着したときに、こ
のワークが変形し吸着パット内に入り込んで吸着パット
の底に接触しようとしても、これをつっかえ棒などの接
触阻止部材によって阻止することができる。このため、
ワークが袋などのような柔らかいものの場合でも、吸着
力の低下を抑えてワークの吸着不良を大幅に低減するこ
とができる。
As described above in detail with the embodiment of the present invention, according to the suction pad of the first or second invention, when a soft work is sucked by the suction pad, the work is deformed. Even if the user enters the suction pad and attempts to contact the bottom of the suction pad, this can be prevented by a contact prevention member such as a catch bar. For this reason,
Even when the work is a soft material such as a bag or the like, it is possible to suppress a decrease in the suction force and greatly reduce the suction failure of the work.

【0027】また、第3発明の吸着パットによれば、つ
っかえ棒の先端に、吸着パットの開口面に略平行に板を
設けたため、吸着パットで柔らかいワークを吸着したと
きには、このワークが前記板に当たるため、ワークにか
かる負荷を低減することができる。このため、ワークが
ビニールなどの弱い材質のものであっても、ワークの破
損を防止することができる。
According to the suction pad of the third aspect of the present invention, since the plate is provided at the tip of the holding rod so as to be substantially parallel to the opening surface of the suction pad, when a soft work is sucked by the suction pad, the work is removed by the plate. Therefore, the load on the work can be reduced. For this reason, even if the work is made of a weak material such as vinyl, breakage of the work can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)は本発明の実施の形態1に係る吸着パッ
トの平面図((b)のC方向矢視図)、(b)は前記吸
着パットの正面図、(c)は前記吸着パットの平面図
((d)のD方向矢視図)、(d)は前記吸着パットの
側面図である。
1 (a) is a plan view of a suction pad according to Embodiment 1 of the present invention (a view in the direction of arrow C in FIG. 1 (b)), FIG. 1 (b) is a front view of the suction pad, and FIG. FIG. 3 is a plan view of the suction pad (a view in the direction of arrow D in (d)), and (d) is a side view of the suction pad.

【図2】(a)は本発明の実施の形態2に係る吸着パッ
トの平面図((b)のE方向矢視図)、(b)は前記吸
着パットの正面図、(c)は前記吸着パットの平面図
((d)のF方向矢視図)、(d)は前記吸着パットの
側面図である。
2A is a plan view of the suction pad according to Embodiment 2 of the present invention (a view in the direction of arrow E in FIG. 2B), FIG. 2B is a front view of the suction pad, and FIG. FIG. 4 is a plan view of the suction pad (a view in the direction of arrow F in (d)), and (d) is a side view of the suction pad.

【図3】(a)は従来の吸着パットの平面図((b)の
A方向矢視図)、(b)は前記吸着パットの正面図、
(c)は前記吸着パットの平面図((d)のB方向矢視
図)、図3(d)は前記吸着パットの側面図である。
3A is a plan view of a conventional suction pad (a view in the direction of arrow A in FIG. 3B), FIG. 3B is a front view of the suction pad,
(C) is a plan view of the suction pad (viewed in the direction of arrow B in (d)), and FIG. 3 (d) is a side view of the suction pad.

【図4】(a)及び(b)はデパレタイズロボットのハ
ンド部へ前記吸着パットを取り付けた状態を示す正面図
及び側面図である。
FIGS. 4A and 4B are a front view and a side view showing a state where the suction pad is attached to a hand portion of a depalletizing robot.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 吸着パット 12 吸着部 13 上底 14 空気吸込口 16 つっかえ棒 17 開口面 21 吸着パット 22 板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Suction pad 12 Suction part 13 Top bottom 14 Air suction port 16 Refill bar 17 Opening surface 21 Suction pad 22 Plate

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ロボットのハンド部などに取り付けられ
てワークを吸着する吸着パットにおいて、 この吸着パットで柔らかいワークを吸着したときに、こ
のワークが変形して吸着パット内に入り込み、空気吸込
口が設けられている吸着パットの底に接触するのを阻止
するように、接触阻止部材を吸着パット内に設けたこと
を特徴とする吸着パット。
1. A suction pad attached to a hand portion of a robot for sucking a work. When a soft work is sucked by the suction pad, the work deforms and enters the suction pad, and an air suction port is formed. A suction pad, wherein a contact blocking member is provided in the suction pad so as to prevent contact with the bottom of the provided suction pad.
【請求項2】 請求項1に記載する吸着パットにおい
て、 前記接触阻止部材は、前記吸着パットの底に、吸着パッ
トの開口面へ向けて突設したつっかえ棒であることを特
徴とする吸着パット。
2. The suction pad according to claim 1, wherein the contact preventing member is a holding rod protruding from a bottom of the suction pad toward an opening surface of the suction pad. .
【請求項3】 請求項2に記載する吸着パットにおい
て、 前記つっかえ棒の先端に、前記吸着パットの開口面に略
平行に板を設けたことを特徴とする吸着パット。
3. The suction pad according to claim 2, wherein a plate is provided at an end of the holding rod substantially parallel to an opening surface of the suction pad.
JP10282129A 1998-10-05 1998-10-05 Suction pat Pending JP2000108067A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10282129A JP2000108067A (en) 1998-10-05 1998-10-05 Suction pat

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10282129A JP2000108067A (en) 1998-10-05 1998-10-05 Suction pat

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000108067A true JP2000108067A (en) 2000-04-18

Family

ID=17648506

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10282129A Pending JP2000108067A (en) 1998-10-05 1998-10-05 Suction pat

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000108067A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010524712A (en) * 2007-04-26 2010-07-22 ペース イノベーションズ, エル.シー. Vacuum gripping device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010524712A (en) * 2007-04-26 2010-07-22 ペース イノベーションズ, エル.シー. Vacuum gripping device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0629370A (en) Transfer device of semiconductor wafer
WO2007017919A1 (en) Work suction head
JP2000108067A (en) Suction pat
JP2007090469A (en) Part conveying apparatus and part conveying method
JPH11116046A (en) Robot hand for wafer carrying robot
JP2002001686A (en) Semiconductor storage container carrying device and method, and suction pad used for it
KR100480804B1 (en) device for take up semiconductor package by the force of vacuum
JPH10193291A (en) Suction carrying device of carrying object
JP2512633Y2 (en) Adsorption device
JP2502958Y2 (en) Tray of adsorption mechanism Adsorption prevention mechanism
JPS5823495Y2 (en) Electrode for attracting workpieces in projection welding
JPH0680610U (en) Suction pad for transferring packages
JP3717953B2 (en) Electronic component adsorption holding device
KR19980069658A (en) Double sided vacuum chuck
JPS60257537A (en) Die bonding apparatus
JPH06216168A (en) Manufacturing apparatus for semiconductor device
JP2534101Y2 (en) Adsorption collet
KR100529636B1 (en) Wafer loading apparatus and particle cleaning method using the same
JPH0237726Y2 (en)
JPH0529149U (en) Vacuum pin set
JP2003197714A (en) Vacuum absorption chip for wafer
JPS6269529A (en) Photomask holding tool
JPH07108481A (en) Suction pad
JPH04137051U (en) Vacuum suction holding device
JPH05191092A (en) Electronic component holding head

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040823

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20061005

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061017

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070306