JP2000090611A - Servo track writer - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク型の情報
記録媒体に初期情報を記録するリニア駆動方式のサーボ
トラックライタにおいて、記録密度を高め、高速で高精
度に位置決めが可能で、しかもメンテナンスが容易なサ
ーボトラックライタを提供することを目的とする。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear drive type servo track writer for recording initial information on a disk-type information recording medium, which has a high recording density, can be positioned at high speed and with high accuracy, and requires less maintenance. It is an object to provide an easy servo track writer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図４に従来のリニア駆動方式によるサー
ボトラックライタの概略図を示す。2. Description of the Related Art FIG. 4 is a schematic diagram of a conventional servo track writer using a linear drive system.
【０００３】ベース１０１上にディスク１０４を回転駆
動するためのモータ１０５と、ヘッド１０４を搭載した
ステージ１１１を直線駆動するための位置決め装置１１
４とが配設されている。本サーボトラックライタは、デ
ィスク１０４の回転移動とヘッド１１０の直線移動によ
って、ディスク１０４とヘッド１１０が相対的に移動し
て、ディスクにトラックが書き込まれる。A motor 105 for rotating a disk 104 on a base 101 and a positioning device 11 for linearly driving a stage 111 on which a head 104 is mounted.
4 are provided. In this servo track writer, the disk 104 and the head 110 move relatively by the rotational movement of the disk 104 and the linear movement of the head 110, and a track is written on the disk.
【０００４】図５に上記位置決め装置の案内機構の概略
図を示す。FIG. 5 is a schematic view of a guide mechanism of the positioning device.
【０００５】１１２はガイドであり、ステージ１１１を
１軸方向に案内している。１２１は静圧軸受であり、ガ
イド１１２に対向するステージ１１１の４面に設けられ
ている。静圧軸受は、エアを流出することによって静圧
軸受１２１とガイド１１２との間に空隙を形成し、ステ
ージ１１１をガイド１１２に対して滑動自在に支持して
いる。A guide 112 guides the stage 111 in one axial direction. Reference numeral 121 denotes a hydrostatic bearing, which is provided on four surfaces of the stage 111 facing the guide 112. The static pressure bearing forms a gap between the static pressure bearing 121 and the guide 112 by flowing out air, and supports the stage 111 slidably with respect to the guide 112.
【０００６】ステージ１１１は不図示のボールネジによ
り駆動されている。The stage 111 is driven by a ball screw (not shown).
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上記の静圧案内機構
は、静圧面を４面備えた４面拘束の案内機構である。４
面拘束の案内機構は、高剛性という点では優れている
が、重量が重く、非常に高価である。また、４面拘束の
案内機構は、位置決め装置を配置する際、可動部である
ステージの重心に推力を与えるような設計が難しい。ま
た、２つの位置決め装置によりステージを挟むようにし
てステージの重心に推力を与えるように構成すると、装
置全体が大重量となりコストがかかるほか、推力のバラ
ンスを調整する必要から制御系が複雑になってしまう。
あるいは、２つのガイドの間に位置決め装置を配置する
構造も考えられるが、コストが高くなり、スペースも大
きくなってしまう。The above-described static pressure guide mechanism is a four-sided guide mechanism having four static pressure surfaces. 4
The surface-constrained guide mechanism is excellent in terms of high rigidity, but is heavy and very expensive. Further, it is difficult to design the guide mechanism of the four-plane constraint so as to apply a thrust to the center of gravity of the stage, which is a movable part, when disposing the positioning device. Further, if the thrust is applied to the center of gravity of the stage by sandwiching the stage between the two positioning devices, the entire device becomes heavy and costly, and the control system becomes complicated due to the need to adjust the thrust balance. .
Alternatively, a structure in which a positioning device is arranged between the two guides is also conceivable, but the cost increases and the space increases.
【０００８】よって、これまでリニア駆動型のサーボト
ラックライタにおいて、静圧軸受案内機構を採用するこ
とは難しかった。Accordingly, it has been difficult to adopt a hydrostatic bearing guide mechanism in a linear drive type servo track writer.
【０００９】本発明は、上記従来のサーボトラックライ
タを改良するものであり、高精度で整定性が良く、再現
性の高いサーボトラックライタを実現することを目的と
している。An object of the present invention is to improve the above-described conventional servo track writer, and an object of the present invention is to realize a servo track writer with high accuracy, good settling, and high reproducibility.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明のサーボトラックライタは、情報を記録する
ディスクを回転駆動するモータと、ヘッドを保持し該ヘ
ッドの位置決めを行うステージ装置とを備え、該ヘッド
と該ディスクを相対移動させてディスクに情報を記録す
るサーボトラックライタにおいて、該ステージ装置は、
該ヘッドを保持し移動可能なステージと、該ステージを
移動方向に駆動するリニアモータと、該ステージの重力
方向の支持を行う基準面を有する重力ガイドと、該基準
面と直交する案内面により該ステージの片側から該ステ
ージを移動方向に案内するヨーガイドと、該ステージに
設けられ、該重力ガイドおよび該ヨーガイドと対向する
ように設けられた静圧軸受と、該静圧軸受に予圧をかけ
るための予圧機構とを備えていることを特徴とする。According to the present invention, there is provided a servo track writer comprising: a motor for rotating a disk for recording information; a stage device for holding a head and positioning the head; In the servo track writer for recording information on the disk by relatively moving the head and the disk, the stage device,
A stage that holds and moves the head, a linear motor that drives the stage in the direction of movement, a gravity guide having a reference surface that supports the stage in the direction of gravity, and a guide surface that is orthogonal to the reference surface. A yaw guide for guiding the stage in the movement direction from one side of the stage, a static pressure bearing provided on the stage, and opposed to the gravity guide and the yaw guide, and a preload for applying a preload to the static pressure bearing. And a preload mechanism.
【００１１】前記モータと前記ステージ装置はベース上
に設けられており、該ベースに対する該ステージ装置の
傾きを調整する機構を有することが望ましい。It is desirable that the motor and the stage device are provided on a base, and a mechanism for adjusting the inclination of the stage device with respect to the base is provided.
【００１２】また、前記リニアモータは、前記ステージ
装置から着脱自在に取付けられていることが望ましく、
前記リニアモータはスペーサを有しており、該スペーサ
により該リニアモータの推進力が発生する位置を調整す
ることができることが好ましい。Preferably, the linear motor is detachably attached to the stage device.
It is preferable that the linear motor has a spacer, and the position at which the thrust of the linear motor is generated can be adjusted by the spacer.
【００１３】また、前記リニアモータが発生する推進力
が、前記ステージの重心を通るように配置されているこ
とが望ましい。Further, it is preferable that the propulsion generated by the linear motor is disposed so as to pass through the center of gravity of the stage.
【００１４】また、前記ステージ装置が有するリニアモ
ータは、１つであることが望ましい。It is preferable that the stage device has one linear motor.
【００１５】また、前記ステージの前記移動方向に関す
る位置を計測する位置計測手段を有することが望まし
く、前記位置計測手段は、エンコーダであることが好ま
しい。Further, it is desirable to have a position measuring means for measuring a position of the stage in the moving direction, and it is preferable that the position measuring means is an encoder.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】図１に本発明におけるサーボトラ
ックライタの実施形態の斜視図を示す。FIG. 1 is a perspective view of a servo track writer according to an embodiment of the present invention.
【００１７】１はベースである。ベース上にサブベース
２を支持するための柱３が設けられている。サブベース
は、ディスク４を回転駆動するモータ５を保持してい
る。モータ５にはディスク４の回転角度を計測するため
のエンコーダ（不図示）が取付けられている。1 is a base. A column 3 for supporting the sub-base 2 is provided on the base. The sub-base holds a motor 5 for driving the disk 4 to rotate. An encoder (not shown) for measuring the rotation angle of the disk 4 is attached to the motor 5.
【００１８】１１は不図示のヘッドを搭載し、１軸方向
に移動可能なステージである。１２は、水平な基準面上
でステージ１１を支持し、ステージ進行方向に対するピ
ッチングおよびローリング方向の姿勢を拘束する重力ガ
イドである。重力ガイド１２は磁性体からなり、基準面
は研磨されている。１３は、重力ガイド１２の基準面と
直交する案内面を有するヨーガイドであり、ステージ進
行方向に対するヨーイングを拘束する。ヨーガイド１３
は磁性体からなり、案内面は研磨されている。重力ガイ
ド１２およびヨーガイド１３と対向するステージ１１の
２面には不図示の静圧軸受が設けられ、非接触で支持さ
れている。静圧軸受によるステージの支持については後
述する。Reference numeral 11 denotes a stage on which a head (not shown) is mounted and is movable in one axis direction. Reference numeral 12 denotes a gravity guide that supports the stage 11 on a horizontal reference plane and restricts the attitude in the pitching and rolling directions with respect to the stage traveling direction. The gravity guide 12 is made of a magnetic material, and the reference surface is polished. Reference numeral 13 denotes a yaw guide having a guide surface orthogonal to the reference surface of the gravity guide 12, and restricts yawing in the stage traveling direction. Yaw guide 13
Is made of a magnetic material, and the guide surface is polished. Static pressure bearings (not shown) are provided on two surfaces of the stage 11 facing the gravity guide 12 and the yaw guide 13, and are supported in a non-contact manner. The support of the stage by the hydrostatic bearing will be described later.
【００１９】１４は、電磁型リニアモータであり、ステ
ージ１１を非接触で直線駆動する。リニアモータ１４
は、重力ガイド１２と実質的に一体になるように固定さ
れたリニアモータ固定子と、ステージ１１と実質的に一
体になるように固定されたリニアモータ可動子とを有す
る。リニアモータ固定子は、重力ガイドに設けられた凹
部に収まるように配置されている。また、リニアモータ
１４はステージ１１の内部を貫く形で配置されている。Reference numeral 14 denotes an electromagnetic linear motor, which drives the stage 11 linearly without contact. Linear motor 14
Has a linear motor stator fixed to be substantially integrated with the gravity guide 12 and a linear motor movable element fixed to be substantially integrated with the stage 11. The linear motor stator is disposed so as to fit into a recess provided in the gravity guide. The linear motor 14 is disposed so as to penetrate the inside of the stage 11.
【００２０】１６は、ステージ１１の位置を計測するた
めのエンコーダである。エンコーダ１６は、ヨーガイド
１３から離れた位置でステージ１１の位置を計測する。
エンコーダ１６は、光学式または磁気式のリニアスケー
ルと、検出部であるヘッドを有している。光学式のエン
コーダの場合、検出部の光源には耐久性に優れたＬＥＤ
を使用することが望ましい。また、スケールの材料に
は、石英が使用され、高精度で安定した位置情報を得る
ことができる。ステージ１１の位置決め制御は、エンコ
ーダ１６により計測されたステージ１１の位置情報をフ
ィードバックさせてクローズドループにより行われてい
る。Reference numeral 16 denotes an encoder for measuring the position of the stage 11. The encoder 16 measures the position of the stage 11 at a position away from the yaw guide 13.
The encoder 16 has an optical or magnetic linear scale and a head as a detection unit. In the case of an optical encoder, the light source of the detection unit is an LED with excellent durability
It is desirable to use In addition, quartz is used as a material of the scale, and highly accurate and stable position information can be obtained. The positioning control of the stage 11 is performed in a closed loop by feeding back the position information of the stage 11 measured by the encoder 16.
【００２１】１８は、上記のステージ１１を位置決めす
るためのステージ装置をベース１に対して傾き（チル
ト）調整するためのマイクロヘッドである。マイクロヘ
ッドは、３箇所設けられており、３点でベースに対する
高さを調整することによって、ステージ装置のチルト調
整を行っている。ステージ装置のチルト調整を行うこと
により、ステージに搭載されている不図示のヘッドとデ
ィスク４との平行度を調整することができる。ヘッドと
ディスクの傾きを調整することにより、ディスクに対す
るヘッドの浮上量を安定に保つことができる。Reference numeral 18 denotes a micro head for adjusting a tilt of a stage device for positioning the stage 11 with respect to the base 1. Microheads are provided at three locations, and the height of the stage device is adjusted by adjusting the height with respect to the base at three points. By performing the tilt adjustment of the stage device, the parallelism between the head (not shown) mounted on the stage and the disk 4 can be adjusted. By adjusting the inclination of the head and the disk, the flying height of the head with respect to the disk can be stably maintained.
【００２２】図２に本発明で採用している静圧案内機構
を示す。FIG. 2 shows a static pressure guide mechanism employed in the present invention.
【００２３】同図において、２１は対向する重力ガイド
１２またはヨーガイド１３に高圧気体を均一に吹き付け
て間隙を保ち、非接触でステージ１１を支持するための
静圧軸受である。静圧軸受としては、固体潤滑質で多孔
質の物質を研磨したものが用いられる。２３は予圧機構
であり、金属のヨークと磁石とを有する。予圧機構２３
は、磁性体からなるガイドとの間で吸引力を発生し、静
圧軸受が形成する間隙に対して予圧をかけ、バネ剛性を
上げている。また、予圧機構２３によってステージ１１
をヨーガイド方向に予圧することで、ヨーガイド１３が
ステージ１１を支持するようになっているので、ヨーガ
イド１３は片面拘束であるが安定してステージ１１を案
内することができる。つまり、ステージ１１に設けられ
た静圧軸受２１と予圧機構２３によって、ステージ１１
は重力ガイドの基準面とヨーガイドの案内面との２面で
拘束されている。In FIG. 1, reference numeral 21 denotes a static pressure bearing for uniformly blowing high-pressure gas to the opposing gravity guide 12 or yaw guide 13 to maintain a gap and support the stage 11 in a non-contact manner. As the hydrostatic bearing, a solid lubricated porous material polished is used. 23 is a preload mechanism, which has a metal yoke and a magnet. Preload mechanism 23
Generates a suction force between the guide and a guide made of a magnetic material, applies a preload to a gap formed by the hydrostatic bearing, and increases spring rigidity. Further, the stage 11 is controlled by the preload mechanism 23.
Is preloaded in the yaw guide direction, so that the yaw guide 13 supports the stage 11. Therefore, the yaw guide 13 can be guided in a stable manner although it is one-sided. That is, the static pressure bearing 21 and the preload mechanism 23 provided on the stage 11
Are restricted by two surfaces, a reference surface of the gravity guide and a guide surface of the yaw guide.
【００２４】図３に本発明で使用するステージ装置の概
略図を示す。FIG. 3 is a schematic view of a stage device used in the present invention.
【００２５】同図において、前述した構成部材について
は、前図と同一の図番が付いているので、説明を省略す
る。In the figure, the same components as those in the previous figures are denoted by the same reference numerals as those in the previous figure, and therefore description thereof is omitted.
【００２６】ステージ１１上には、ヘッドを保持するア
ームアッセンブリ１０が搭載されている。ステージ１１
および重力ガイド１２に進行方向に沿った凹部を設け、
これにより構成される空間にリニアモータ１４が設けら
れる。リニアモータ固定子は重力ガイド１２に対してネ
ジにより着脱可能に固定され、リニアモータ可動子はス
テージ１１に対してネジにより着脱可能に固定されてい
る。つまり、リニアモータ１４は、ステージ装置から着
脱可能に固定されている。リニアモータ１４は、ステー
ジの重心部に推進力を与えるように配置されている。ま
た、リニアモータ可動子にスペーサ２４を挿入し、また
リニアモータ固定子にスペーサ２５を挿入することによ
って、リニアモータ１４がステージに与える推力の位置
を調節することが可能である。リニアモータ１４は、ム
ービングコイル方式を採用しており、リニアモータ可動
子はコイルを有しており、リニアモータ固定子は磁石を
有している。また、リニアモータ可動子のコイルへの電
流供給は、不図示のフラットケーブルからなるフレキシ
ブルケーブルにより行っており、リニアモータ可動子の
動作に対する抵抗は微小である。On the stage 11, an arm assembly 10 for holding a head is mounted. Stage 11
And a concave portion is provided in the gravity guide 12 along the traveling direction,
The linear motor 14 is provided in the space configured by this. The linear motor stator is detachably fixed to the gravity guide 12 by screws, and the linear motor mover is detachably fixed to the stage 11 by screws. That is, the linear motor 14 is detachably fixed to the stage device. The linear motor 14 is arranged so as to apply a propulsive force to the center of gravity of the stage. Also, by inserting the spacer 24 into the linear motor movable element and the spacer 25 into the linear motor stator, it is possible to adjust the position of the thrust applied by the linear motor 14 to the stage. The linear motor 14 employs a moving coil system, in which the linear motor mover has a coil and the linear motor stator has a magnet. The current supply to the coil of the linear motor mover is performed by a flexible cable composed of a flat cable (not shown), and the resistance to the operation of the linear motor mover is very small.
【００２７】本実施形態のサーボトラックライタによれ
ば、静圧案内を採用することによって、ステージに搭載
したアームアッセンブリに保持される磁気記録ヘッド
を、高精度で位置決めができ、整定時間も大幅に短くす
ることが出きる。また、静圧案内を採用することによ
り、摩擦抵抗が減少するため、ステージにより駆動され
るヘッドの位置の再現性が非常に良くなる。According to the servo track writer of the present embodiment, by employing the static pressure guide, the magnetic recording head held by the arm assembly mounted on the stage can be positioned with high accuracy, and the settling time is greatly reduced. You can make it shorter. In addition, since the frictional resistance is reduced by employing the static pressure guide, the reproducibility of the position of the head driven by the stage is greatly improved.
【００２８】また、ステージの案内を２つの直交する平
面から行っているので、案内機構を含めた全体の設計自
由度が大きくなる。特に、ステージの重心部にリニアモ
ータの推進力を加えるような構成を設計するとき、１個
のリニアモータで推力をステージ重心に配置する設計が
容易に可能である。また、２つの直交する平面から非接
触で支持・案内をしているので、ステージに対して過剰
な拘束を行わないため、ステージが変形することがな
い。Further, since the guide of the stage is performed from two orthogonal planes, the overall design freedom including the guide mechanism is increased. In particular, when designing a configuration in which the thrust of the linear motor is applied to the center of gravity of the stage, it is easy to design the thrust to be arranged at the center of gravity of the stage with one linear motor. Further, since the support and guide are performed in a non-contact manner from two orthogonal planes, the stage is not deformed because the stage is not excessively restrained.
【００２９】また、ステージの重心にリニアモータの推
進力を与えるため、ステージの共振周波数を高く設定で
きる。また、ステージの進行方向に対する姿勢変化（ヨ
ーイング、ピッチング、ローリング）を低く抑えること
ができる。そのため、ヘッドの位置決め制御を高速で行
うことができる。Further, since the driving force of the linear motor is applied to the center of gravity of the stage, the resonance frequency of the stage can be set high. In addition, it is possible to suppress a change in posture (yaw, pitch, and rolling) with respect to the traveling direction of the stage. Therefore, head positioning control can be performed at high speed.
【００３０】また、案内機構を分離することなくリニア
モータの着脱が可能なように、水平方向の静圧面の中央
付近に進行方向に沿って凹部（溝）を配置してリニアモ
ータを取付けている。したがって、高精度に組み立てら
れた案内機構を分離・再調整することなくリニアモータ
のメンテナンスや交換を容易に行うことができる。ま
た、磁気ヘッドやディスク等の条件よって搭載物の重量
が変わり、ステージ重心位置が変化しても、リニアモー
タのスペーサを交換することにより、リニアモータが発
生する推力がステージ重心を通るように調整することが
できるので、汎用的なサーボトラックライタを構成する
ことができる。Further, the linear motor is mounted by disposing a concave portion (groove) near the center of the horizontal static pressure surface along the traveling direction so that the linear motor can be attached and detached without separating the guide mechanism. . Therefore, the maintenance and replacement of the linear motor can be easily performed without separating and re-adjusting the guide mechanism assembled with high precision. Also, even if the weight of the load changes due to the conditions of the magnetic head, disk, etc., and the position of the center of gravity of the stage changes, the thrust generated by the linear motor is adjusted to pass through the center of gravity of the stage by replacing the linear motor spacer. Therefore, a general-purpose servo track writer can be configured.
【００３１】また、静圧案内機構に固体潤滑質で多孔質
の静圧軸受を採用しているので、万一気体の供給が停止
した場合も、静圧面にカジリついてキズを付けることが
少ない。また、静圧案内機構により、メンテナンスを長
期間行わずに済み、生産性を向上させることができる。In addition, since a solid lubricating and porous static pressure bearing is used for the static pressure guide mechanism, even if the supply of gas is stopped, the static pressure surface is less likely to be nicked and scratched. Further, the static pressure guide mechanism eliminates the need for maintenance for a long period of time, thereby improving productivity.
【００３２】また、本実施形態では、ステージ側にリニ
アスケールを設置し、検出部を固定部側に配置したこと
で、ステージが移動しても検出器の信号ケーブルを引き
ずらず、位置決め精度や整定時間に与える影響が少な
く、ヘッドの位置の再現性も高い。Also, in this embodiment, the linear scale is installed on the stage side and the detection unit is arranged on the fixed unit side, so that the signal cable of the detector is not pulled even if the stage moves, so that the positioning accuracy and settling can be achieved. The effect on time is small, and the reproducibility of the head position is high.
【００３３】また、リニアモータはムービングコイル方
式を採用しているため、リニアモータ可動子が小さく、
可動部であるステージを軽量化することができる。Further, since the linear motor employs a moving coil system, the linear motor mover is small.
The stage, which is a movable part, can be reduced in weight.
【００３４】本実施形態では、予圧機構に磁石を用いた
が、これに限るものではなく、例えば真空吸引による吸
引力を利用しても良い。この場合、ガイドの材質は磁性
体に限られるものではない。In this embodiment, the magnet is used for the preload mechanism. However, the present invention is not limited to this. For example, a suction force by vacuum suction may be used. In this case, the material of the guide is not limited to the magnetic material.
【００３５】また、ステージの位置計測にエンコーダを
用いたが、これに限るものではなく、例えば、レーザ干
渉計を用いて計測した位置情報をフィードバックしても
良い。Although the encoder is used for measuring the position of the stage, the present invention is not limited to this. For example, position information measured using a laser interferometer may be fed back.
【００３６】また、本実施形態では、ムービングコイル
方式のリニアモータを用いたが、これに限るものではな
く、ムービングマグネット方式のリニアモータを用いて
も良い。この場合、可動体であるステージ側には磁石が
固定されるので、電流供給のための配線を必要とせず、
高精度な位置決めを行うことができる。In this embodiment, a moving coil type linear motor is used. However, the present invention is not limited to this, and a moving magnet type linear motor may be used. In this case, the magnet is fixed to the stage, which is a movable body, so that wiring for current supply is not required,
Highly accurate positioning can be performed.
【００３７】また、本実施形態では、マイクロヘッドに
よって３箇所で高さ調整することによりステージ装置の
傾き角度の調整をしたが、これに限るものではなく、例
えば球面台座を用いればマイクロヘッドによる高さ合わ
せは２箇所で良い。Further, in the present embodiment, the inclination angle of the stage device is adjusted by adjusting the height at three places by the micro head. However, the present invention is not limited to this. Only two locations are required.
【００３８】[0038]
【発明の効果】本発明の請求項１記載のサーボトラック
ライタによれば、ステージの案内を２つの直交する平面
から行っているので、サーボトラックライタの設計自由
度が大きくなる。また、２つの平面から非接触で支持・
案内をしているので、ステージに対して過剰な拘束を行
わない。そのため、ステージの変形が少なく、高精度な
サーボトラックライタを実現することができる。According to the servo track writer of the first aspect of the present invention, since the stage is guided from two orthogonal planes, the degree of freedom in designing the servo track writer is increased. In addition, non-contact support from two planes
Since the guide is provided, do not restrain the stage excessively. Therefore, it is possible to realize a highly accurate servo track writer with less deformation of the stage.
【００３９】また、請求項２記載のサーボトラックライ
タによれば、ヘッドとディスクとの傾きを調整すること
が可能であるので、ヘッドの浮上量を安定させて高精度
なサーボトラックライタを提供することができる。According to the servo track writer of the present invention, since the inclination between the head and the disk can be adjusted, the flying height of the head is stabilized and a high-precision servo track writer is provided. be able to.
【００４０】また、請求項３記載のサーボトラックライ
タによれば、リニアモータのメンテナンスや交換を容易
に行うことができる。According to the servo track writer of the third aspect, maintenance and replacement of the linear motor can be easily performed.
【００４１】また、請求項４記載のサーボトラックライ
タによれば、ステージの搭載物の重量が変わっても対応
することができるので、汎用的にサーボトラックライタ
を使用できる。Further, according to the servo track writer of the present invention, since it is possible to cope with a change in the weight of the load on the stage, a servo track writer can be used for general purposes.
【００４２】また、請求項５記載のサーボトラックライ
タによれば、ステージの共振周波数を高く設定でき、ま
た、姿勢変化を低く抑えることができるので、ヘッドの
位置決め制御を高速に行うことができる。According to the servo track writer of the fifth aspect, the resonance frequency of the stage can be set high and the change in the attitude can be suppressed low, so that the positioning control of the head can be performed at high speed.
【００４３】また、請求項６記載のサーボトラックライ
タによれば、高速高精度のサーボトラックライタを安価
で省スペースに実現できる。According to the servo track writer of the sixth aspect, a high-speed and high-accuracy servo track writer can be realized at low cost and in a small space.
【図１】本発明のサーボトラックライタの概略斜視図FIG. 1 is a schematic perspective view of a servo track writer of the present invention.
【図２】本発明に採用している静圧案内機構の概略図FIG. 2 is a schematic diagram of a static pressure guide mechanism employed in the present invention.
【図３】本発明で使用するステージ装置の概略図FIG. 3 is a schematic view of a stage device used in the present invention.
【図４】従来のリニア駆動方式によるサーボトラックラ
イタの概略図FIG. 4 is a schematic diagram of a conventional servo track writer using a linear drive system.
【図５】従来のサーボトラックライタの案内機構の概略
図FIG. 5 is a schematic view of a guide mechanism of a conventional servo track writer.
１ ベース ２ サブベース ３ 柱 ４ ディスク ５ モータ １０ アームアッセンブリ １１ ステージ １２ 重力ガイド １３ ヨーガイド １４ リニアモータ １６ エンコーダ １８ マイクロヘッド ２１ 静圧軸受 ２３ 予圧機構 ２４、２５ スペーサ Reference Signs List 1 base 2 sub-base 3 pillar 4 disk 5 motor 10 arm assembly 11 stage 12 gravity guide 13 yaw guide 14 linear motor 16 encoder 18 micro head 21 static pressure bearing 23 preload mechanism 24, 25 spacer
Claims (8)
モータと、 ヘッドを保持し該ヘッドの位置決めを行うステージ装置
とを備え、該ヘッドと該ディスクを相対移動させてディ
スクに情報を記録するサーボトラックライタにおいて、 該ステージ装置は、該ヘッドを保持し移動可能なステー
ジと、 該ステージを移動方向に駆動するリニアモータと、 該ステージの重力方向の支持を行う基準面を有する重力
ガイドと、 該基準面と直交する案内面により該ステージの片側から
該ステージを移動方向に案内するヨーガイドと、 該ステージに設けられ、該重力ガイドおよび該ヨーガイ
ドと対向するように設けられた静圧軸受と、 該静圧軸受に予圧をかけるための予圧機構とを備えてい
ることを特徴とするサーボトラックライタ。1. A servo for recording information on a disk, comprising: a motor for rotating and driving a disk for recording information; and a stage device for holding a head and positioning the head. In a track writer, the stage device includes a stage that holds and moves the head, a linear motor that drives the stage in a moving direction, a gravity guide having a reference surface that supports the stage in the direction of gravity, A yaw guide that guides the stage in the movement direction from one side of the stage by a guide surface orthogonal to a reference surface; a hydrostatic bearing provided on the stage and provided to face the gravity guide and the yaw guide; A servo track writer comprising a preload mechanism for applying a preload to a hydrostatic bearing.
上に設けられており、該ベースに対する該ステージ装置
の傾きを調整する機構を有することを特徴とする請求項
１記載のサーボトラックライタ。2. The servo track writer according to claim 1, wherein said motor and said stage device are provided on a base, and have a mechanism for adjusting an inclination of said stage device with respect to said base.
から着脱自在に取付けられていることを特徴とする請求
項１または２記載のサーボトラックライタ。3. The servo track writer according to claim 1, wherein the linear motor is detachably attached to the stage device.
り、該スペーサにより該リニアモータの推進力が発生す
る位置を調整することができることを特徴とする請求項
３記載のサーボトラックライタ。4. The servo track writer according to claim 3, wherein the linear motor has a spacer, and the spacer can adjust a position at which the driving force of the linear motor is generated.
前記ステージの重心を通るように配置されていることを
特徴とする請求項１〜４いずれか記載のサーボトラック
ライタ。5. The driving force generated by the linear motor is as follows:
5. The servo track writer according to claim 1, wherein the servo track writer is disposed so as to pass through the center of gravity of the stage.
は、１つであることを特徴とする請求項１〜５いずれか
記載のサーボトラックライタ。6. The servo track writer according to claim 1, wherein the stage device has one linear motor.
置を計測する位置計測手段を有することを特徴とする請
求項１〜６いずれか記載のサーボトラックライタ。7. The servo track writer according to claim 1, further comprising a position measuring unit that measures a position of the stage in the moving direction.
ことを特徴とする請求項７記載のサーボトラックライ
タ。8. The servo track writer according to claim 7, wherein said position measuring means is an encoder.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10261858A JP2000090611A (en) | 1998-09-16 | 1998-09-16 | Servo track writer |
| US09/393,967 US6307284B1 (en) | 1998-09-16 | 1999-09-10 | Positioning apparatus, information recording/reproducing apparatus, and inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10261858A JP2000090611A (en) | 1998-09-16 | 1998-09-16 | Servo track writer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000090611A true JP2000090611A (en) | 2000-03-31 |
Family
ID=17367737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10261858A Pending JP2000090611A (en) | 1998-09-16 | 1998-09-16 | Servo track writer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000090611A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9236083B2 (en) * | 2002-07-23 | 2016-01-12 | Seagate Technology, Llc | Writer with working fluid bearing |
-
1998
- 1998-09-16 JP JP10261858A patent/JP2000090611A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9236083B2 (en) * | 2002-07-23 | 2016-01-12 | Seagate Technology, Llc | Writer with working fluid bearing |
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