JP2000090503A - Positioning mechanism of recording/reproducing device and tracking mechanism - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To attain the positioning control with high reproducibility by providing a positioning marker constituted of plural markers having spaces different from the spaces of plural probes on a position detecting probe and outputting a control signal in accordance with the output based on the detection of existence/absence of the marker. SOLUTION: The plural probes 505 are arranged so that styluses 504 provided at the tips are brought into contact against a recording medium 503 consisting of a recording layer 502 on a conductive substrate 501. In each probe 505, the stylus 504 is supported by an elastic body 506 generating the elastic deformation so as to be deflected. The position control signal is received from a position control circuit 513 controlled by a control computer 514, and an xyz stage 508 mounted on the recording medium 503 is driven by an xyz driving mechanism 507, then the probe 505 and the recording medium 503 are relatively moved in the three dimensional direction. The position of the stylus 504 on the probe 505 in the xy direction and z direction against the recording medium 503 is adjusted, then the positioning is carried out.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はＳＰＭ（走査型プロ
ーブ顕微鏡）の原理を用いた位置決め機構、及び高密度
・大容量メモリ装置における記録再生装置のトラッキン
グ機構に関するものである。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a positioning mechanism using the principle of a scanning probe microscope (SPM) and a tracking mechanism of a recording / reproducing apparatus in a high-density and large-capacity memory device.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、導体の電子構造を直接観察できる
走査型トンネル顕微鏡（以後、ＳＴＭと略す）が開発さ
れ［Ｇ．Ｂｉｎｎｉｇ ｅｔ ａｌ．Ｐｈｙｓ．Ｒｅ
ｖ．Ｌｅｔｔ，４９，５７（１９８２）］、単結晶、多
結晶を問わず実空間像の高い分解能の測定ができるよう
になった。以来、先端の尖ったプローブを走査すること
により様々な情報を得る走査プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）
や、さらに基板に電気的、化学的あるいは物理的作用を
及ぼす事を目的としたＳＰＭを応用した微細加工技術の
研究開発が行われている。さらに、このようなＳＰＭ技
術はメモリ技術にも応用されつつある。例えば、特開昭
６３−１６１５５２号公報、特開昭６３−１６１５５３
号公報等には、記録層として電圧電流のスイッチング特
性に対してメモリ効果を持つ材料、例えばπ電子径有機
化合物やカルコゲン化合物類の薄膜層を用いて、記録・
再生をＳＰＭで行う方法が開示されている。この方法を
用いて記録のビットサイズを直径１０ｎｍとすれば、１
０¹²ｂｉｔ／ｃｍ²の記録密度を持つ情報処理装置が実
現できる。2. Description of the Related Art In recent years, a scanning tunneling microscope (hereinafter abbreviated as STM) capable of directly observing the electronic structure of a conductor has been developed [G. Binnig et al. Phys. Re
v. Lett, 49, 57 (1982)], making it possible to measure a real space image with high resolution regardless of whether it is a single crystal or a polycrystal. Since then, a scanning probe microscope (SPM) that obtains various information by scanning a probe with a sharp tip
Also, research and development of fine processing technology using SPM for the purpose of exerting an electrical, chemical or physical action on a substrate has been conducted. Further, such SPM technology is being applied to memory technology. For example, JP-A-63-161552 and JP-A-63-161553
Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. H10-163873 discloses a recording / recording method using a material having a memory effect on a switching characteristic of a voltage and a current, for example, a thin film layer of a π electron diameter organic compound or a chalcogen compound.
A method of performing regeneration by SPM is disclosed. If the recording bit size is 10 nm in diameter using this method, 1
An information processing device having a recording density of 0 ¹² bit / cm ² can be realized.

【０００３】一般に、媒体上に記録された情報を読み出
す場合には、媒体上の情報列に沿って情報読み出し用の
プローブを相対移動させる必要がある。そのためには、
何らかの方法で情報列の位置を知り、その位置にプロー
ブを移動させることが必要となる。まず、情報列の位置
を検出する方法として媒体上に物理的なトラックを形成
し、そのトラックにプローブを沿わせる方法が知られて
いる。In general, when reading information recorded on a medium, it is necessary to relatively move a probe for reading information along an information sequence on the medium. for that purpose,
It is necessary to know the position of the information sequence in some way and move the probe to that position. First, as a method of detecting the position of an information sequence, a method is known in which a physical track is formed on a medium and a probe is moved along the track.

【０００４】特開平１−１０７３４１号公報には記録媒
体表面にトラックとしてＶ字型の溝を形成し、プローブ
電極が常にこの溝の中央に位置するように制御する方法
が開示されている。また特開平１−１３３２３９号公報
には記録媒体の下にトラックを導電体層で形成して、ト
ラックにトラッキング信号を印加し、プローブから検出
されるトラッキング信号に基づいてフィードバック制御
を行う方法が開示されている。Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-107341 discloses a method in which a V-shaped groove is formed as a track on the surface of a recording medium, and control is performed so that the probe electrode is always positioned at the center of the groove. JP-A-1-133239 discloses a method in which a track is formed of a conductive layer below a recording medium, a tracking signal is applied to the track, and feedback control is performed based on the tracking signal detected from a probe. Have been.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た特開平１−１０７３４１号公報や特開平１−１３３２
３９号公報に開示されているような媒体上に物理トラッ
クを作成する方法は、物理トラックを設ける工程が必要
になり記録媒体の作成工程が複雑になることや、物理的
な加工を行うために、記録媒体や、その基板の材質に対
する制限が問題となる。However, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. Hei 1-107341 and Hei 1-1332 describe the above.
The method of creating a physical track on a medium as disclosed in Japanese Patent Publication No. 39 requires a process of providing a physical track, which complicates the process of creating a recording medium, and requires a physical processing. However, there is a problem in that the material of the recording medium and its substrate is limited.

【０００６】そこで、本発明は上記した記録再生装置の
課題を解決し、記録媒体に物理的な加工を行うことな
く、数〜数十ｎｍオーダーで、記録再生と同じ原理、機
構を用いて、再現性の高い位置制御が可能な記録再生装
置の位置決め機構、及びトラッキング機構を提供するこ
とを目的とする。Accordingly, the present invention solves the above-mentioned problem of the recording / reproducing apparatus, and uses the same principle and mechanism as in recording / reproducing on the order of several to several tens nm without physically processing the recording medium. An object of the present invention is to provide a positioning mechanism and a tracking mechanism of a recording / reproducing apparatus capable of performing position control with high reproducibility.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するため、記録再生装置の位置決め機構、及びトラッ
キング機構を、つぎのように構成したことを特徴とする
ものである。すなわち、本発明の位置決め機構は、記録
媒体上をプローブで相対走査して該記録媒体上に情報を
記録し、または該記録媒体から情報を再生する記録再生
装置の位置決め機構において、複数本のプローブで構成
された位置検出プローブと、前記位置検出プローブと相
対し、該位置検出プローブと相対動作する記録媒体と、
前記位置検出プローブにおける複数本のプローブの間隔
と、異なる間隔を有する複数のマーカーによって構成さ
れた位置決めマーカーと、前記位置検出プローブによる
位置決めマーカーの有無の検出に基づく出力に応じた制
御信号を出力する制御信号出力手段と、前記制御信号に
よって、前記記録媒体と前記プローブの相対位置を制御
する制御手段と、を有することを特徴としている。ま
た、本発明の位置決め機構は、前記位置検出プローブの
長手方向が互いに直交する向きに配置されてなる二つ以
上の位置検出プローブを備え、該二つ以上の位置検出プ
ローブにおける一方の位置検出プローブと相対している
位置決めマーカーの向きと、他方の位置検出プローブと
相対している位置決めマーカーの向きとが、互いに直交
していることを特徴としている。また、本発明の位置決
め機構は、前記位置決めマーカーが、互いに平行な直線
状の形状を有することを特徴としている。また、本発明
の位置決め機構は、前記位置決めマーカーが、記録ビッ
トであることを特徴としている。また、本発明の位置決
め機構は、前記記録ビットを線状に並べ、直線状の形状
を有する位置決めマーカーを形成したことを特徴として
いる。また、本発明の位置決め機構は、前記位置決めマ
ーカーが、前記位置検出プローブを用いて形成されるこ
とを特徴としている。また、本発明の位置決め機構は、
前記制御信号出力手段は、前記位置検出プローブによる
位置決めマーカーの有無の検出に基づく出力に応じた制
御信号を出力する信号検出手段と、前記信号検出手段の
出力を、前記位置検出プローブの位置決め目標からの位
置に応じて演算する演算手段と、を有することを特徴と
している。また、本発明の位置決め機構は、前記演算手
段は、前記信号検出手段からの出力信号に対して、前記
位置検出プローブの位置決め目標からの位置に応じた符
号をつけて、加算することを特徴としている。また、本
発明の位置決め機構は、前記演算手段は、前記信号検出
手段からの出力信号に対して、前記位置検出プローブの
位置決め目標からの位置に応じた係数をかけた上で、加
算することを特徴としている。また、本発明の位置決め
機構は、前記制御信号出力手段は、過去の信号の履歴を
積分する積分手段と、信号を増幅し制御信号として出力
する増幅手段とを有することを特徴としている。また、
本発明のトラッキング機構は、記録媒体上をプローブで
相対走査して該記録媒体上に情報を記録し、または該記
録媒体から情報を再生する記録再生装置のトラッキング
機構において、複数本のプローブで構成されたトラッキ
ングプローブと、前記トラッキングプローブと相対し、
該トラッキングプローブと相対動作する記録媒体と、前
記トラッキングプローブにおける複数本のプローブの間
隔と、異なる間隔を有する複数のマーカーによって構成
されたトラッキングマーカーと、前記トラッキングプロ
ーブによるトラッキングマーカーの有無の検出に基づく
出力に応じた制御信号を出力する制御信号出力手段と、
前記制御信号によって、前記記録媒体と前記プローブの
相対位置を制御する制御手段と、を有することを特徴と
している。また、本発明のトラッキング機構は、前記ト
ラッキングマーカーが平行移動することで互いに重なり
合う線状の形状を有することを特徴としている。また、
本発明のトラッキング機構は、前記トラッキングマーカ
ーが記録ビットであることを特徴としている。また、本
発明のトラッキング機構は、前記記録ビットを線状に並
べ、直線状の形状を有するトラッキングマーカーを形成
したことを特徴としている。また、本発明のトラッキン
グ機構は、前記トラッキングマーカーが、前記トラッキ
ングプローブを用いて形成されることを特徴としてい
る。また、本発明のトラッキング機構は、前記制御信号
出力手段は、前記トラッキングプローブによるトラッキ
ングマーカーの有無の検出に基づく出力に応じた制御信
号を出力する信号検出手段と、前記信号検出手段の出力
を、前記トラッキングプローブのトラッキング目標から
の位置に応じて演算する演算手段と、を有することを特
徴としている。また、本発明のトラッキング機構は、前
記信号検出手段からの出力信号に対して、前記トラッキ
ングプローブのトラッキング目標からの位置に応じた符
号をつけて、加算することを特徴としている。また、本
発明のトラッキング機構は、前記信号検出手段からの出
力信号に対して、前記トラッキングプローブのトラッキ
ング目標からの位置に応じた係数をかけた上で、加算す
ることを特徴としている。また、本発明のトラッキング
機構は、前記制御信号出力手段は、過去の信号の履歴を
積分する積分手段と、信号を増幅し制御信号として出力
する増幅手段とを有することを特徴としている。また、
本発明は、上記した本発明のいずれかの記録再生装置の
位置決め機構によって、トラッキング機構を兼ねるよう
に構成したことを特徴としている。In order to achieve the above object, the present invention is characterized in that a positioning mechanism and a tracking mechanism of a recording / reproducing apparatus are configured as follows. That is, the positioning mechanism of the present invention is a positioning mechanism of a recording / reproducing apparatus that records information on the recording medium by relatively scanning the recording medium with a probe or reproduces information from the recording medium. A position detection probe configured with, a recording medium that is opposed to the position detection probe and relatively operates with the position detection probe,
Outputs a control signal corresponding to an interval between the plurality of probes in the position detection probe, a positioning marker constituted by a plurality of markers having different intervals, and an output based on detection of the presence or absence of the positioning marker by the position detection probe. It is characterized by having control signal output means and control means for controlling the relative position of the recording medium and the probe by the control signal. Further, the positioning mechanism of the present invention includes two or more position detection probes which are arranged so that the longitudinal directions of the position detection probes are orthogonal to each other, and one of the two or more position detection probes And the direction of the positioning marker facing the other position detection probe is orthogonal to the direction of the positioning marker facing the other position detection probe. Further, the positioning mechanism of the present invention is characterized in that the positioning markers have linear shapes parallel to each other. Further, the positioning mechanism of the present invention is characterized in that the positioning marker is a recording bit. Further, the positioning mechanism of the present invention is characterized in that the recording bits are linearly arranged to form a positioning marker having a linear shape. The positioning mechanism of the present invention is characterized in that the positioning marker is formed using the position detection probe. Further, the positioning mechanism of the present invention,
The control signal output unit outputs a control signal corresponding to an output based on detection of the presence or absence of a positioning marker by the position detection probe, and an output of the signal detection unit is output from a positioning target of the position detection probe. And an operation means for performing an operation according to the position. Further, the positioning mechanism of the present invention is characterized in that the arithmetic means attaches a sign corresponding to a position of the position detection probe from a positioning target to the output signal from the signal detection means, and adds the output signal. I have. Further, in the positioning mechanism according to the present invention, the arithmetic means multiplies an output signal from the signal detection means by a coefficient corresponding to a position of the position detection probe from a positioning target, and then adds the result. Features. Further, the positioning mechanism of the present invention is characterized in that the control signal output means includes an integration means for integrating the history of past signals, and an amplification means for amplifying the signal and outputting the signal as a control signal. Also,
The tracking mechanism of the present invention comprises a plurality of probes in a tracking mechanism of a recording / reproducing apparatus for relatively scanning a recording medium with a probe to record information on the recording medium or reproducing information from the recording medium. The tracking probe is opposed to the tracking probe,
A recording medium that operates relative to the tracking probe, an interval between the plurality of probes in the tracking probe, a tracking marker configured by a plurality of markers having different intervals, and detection of the presence or absence of the tracking marker by the tracking probe. Control signal output means for outputting a control signal according to the output,
Control means for controlling a relative position between the recording medium and the probe in accordance with the control signal. Further, the tracking mechanism of the present invention is characterized in that the tracking markers have linear shapes overlapping each other by moving in parallel. Also,
The tracking mechanism of the present invention is characterized in that the tracking marker is a recording bit. Further, the tracking mechanism of the present invention is characterized in that the recording bits are linearly arranged to form a tracking marker having a linear shape. Further, the tracking mechanism of the present invention is characterized in that the tracking marker is formed using the tracking probe. Further, in the tracking mechanism of the present invention, the control signal output unit outputs a control signal according to an output based on detection of the presence or absence of a tracking marker by the tracking probe, and an output of the signal detection unit. Calculating means for calculating according to the position of the tracking probe from the tracking target. Further, the tracking mechanism of the present invention is characterized in that a code corresponding to the position of the tracking probe from a tracking target is added to an output signal from the signal detecting means, and is added. Further, the tracking mechanism of the present invention is characterized in that an output signal from the signal detecting means is multiplied by a coefficient corresponding to a position of the tracking probe from a tracking target, and then added. Further, the tracking mechanism of the present invention is characterized in that the control signal output means includes an integrating means for integrating the history of past signals, and an amplifying means for amplifying the signal and outputting it as a control signal. Also,
The present invention is characterized in that the positioning mechanism of any one of the recording / reproducing apparatuses according to the present invention is configured to also serve as a tracking mechanism.

【０００８】[0008]

【発明の実施の形態】本発明は、上記構成により、記録
媒体に物理的な加工を行うことなく、数〜数十ｎｍオー
ダーで、記録再生と同じ原理、機構を用いて、再現性の
高い位置制御が可能な記録再生装置の位置決め機構、及
びトラッキング機構を実現することができる。また、本
発明においては、プローブ間隔とビット間隔をずらして
記録媒体上に位置決めマーカーを生成し、どのプローブ
がマーカー上にあるかを検出することにより、高精度の
位置決めが可能となる。また、本発明においては、位置
決めマーカー検出信号の有無のみにより、位置決めを行
うため、ノイズに強い位置決め制御系の構築が可能とな
る。また、本発明においては、位置決めに用いるプロー
ブの数を増やすことにより、より広範囲の位置決めが可
能となる。また、本発明においては、記録媒体上を位置
検出プローブで走査し、前記位置決め動作を行いなが
ら、これをトラッキング手段をも兼ねさせることが可能
となり、単純な構成で両機能を実現することができる。
さらに、記録媒体に対して、物理的な加工を施さず、記
録再生原理そのものによって、位置決め及びトラッキン
グが行われるため、記録再生機構と位置決め及びトラッ
キング機構との一体成形が容易であり、マーカーを位置
決め機構自身で形成することが可能となり、また、記録
媒体の材質に対する制限も小さくなる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS According to the present invention, with the above-described structure, the recording medium has high reproducibility on the order of several to several tens of nm without physical processing, using the same principle and mechanism as recording and reproduction. It is possible to realize a positioning mechanism and a tracking mechanism of a recording / reproducing apparatus capable of position control. Further, in the present invention, a positioning marker is generated on a recording medium by shifting the probe interval and the bit interval, and by detecting which probe is on the marker, highly accurate positioning can be performed. In the present invention, since positioning is performed only by the presence or absence of a positioning marker detection signal, it is possible to construct a positioning control system resistant to noise. Further, in the present invention, positioning can be performed over a wider range by increasing the number of probes used for positioning. Further, in the present invention, it is possible to scan the recording medium with the position detection probe and perform the positioning operation while also performing the positioning operation, thereby realizing both functions with a simple configuration. .
Furthermore, since positioning and tracking are performed by the recording / reproducing principle itself without performing physical processing on the recording medium, it is easy to integrally mold the recording / reproducing mechanism with the positioning / tracking mechanism, and the marker is positioned. The mechanism itself can be formed, and restrictions on the material of the recording medium are reduced.

【０００９】図５を用いて、本発明の実施の形態につい
て説明する。導電性を有する基板５０１上の記録層５０
２からなる記録媒体５０３に対し、先端に設けられてい
る探針５０４が接触するように、複数のプローブ５０５
が配置されている。各プローブ５０５において、探針５
０４は、たわむ様に弾性変形を生じる弾性体５０６によ
り支持されている。ここで、弾性体５０６の弾性変形の
弾性定数が約０．１［Ｎ／ｍ］、弾性変形量が約１［μ
ｍ］であるとすると、記録媒体に対する探針の接触力は
約１０^-7［Ｎ］程度となる。An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Recording layer 50 on conductive substrate 501
The plurality of probes 505 are provided so that the probe 504 provided at the tip thereof comes into contact with the recording medium 503 made of
Is arranged. In each probe 505, the probe 5
04 is supported by an elastic body 506 that elastically deforms to bend. Here, the elastic constant of elastic deformation of the elastic body 506 is about 0.1 [N / m], and the amount of elastic deformation is about 1 [μ].
m], the contact force of the probe with the recording medium is about 10 ⁻⁷ [N].

【００１０】制御コンピュータ５１４により制御された
位置制御回路５１３からの位置制御信号を受け、ｘｙｚ
駆動機構５０７により、記録媒体５０３に取り付けられ
たｘｙｚステージ５０８が駆動され、プローブ５０５と
記録媒体５０３とは相対的に３次元方向に移動する。記
録媒体５０３に対し、プローブにおける探針５０４のｘ
ｙ方向及びｚ方向位置を調節し、探針５０４先端が記録
媒体５０３上の所望の位置で、かつ所望の接触力で接触
させた状態になるようプローブ５０５が位置合せされ
る。上記の記録再生装置において記録媒体５０３に対し
プローブ５０５を走査する際、プローブ５０５上の探針
５０４先端は記録媒体５０３に対し、常に接触した状態
を保つ。このような接触走査方式は、探針５０４先端を
記録媒体５０３に対し接触させたまま走査する場合に、
記録媒体５０３の表面に凹凸があっても、弾性体５０６
の弾性変形によりこれを吸収するため、探針５０４先端
と記録媒体５０３表面の接触力はほぼ一定に保たれ、探
針５０４先端や記録媒体５０３表面が破壊することを避
けられる。この方式は個々のプローブをｚ方向に位置合
せするピエゾ素子等の手段が不必要であるため、構成が
複雑にならず、特に複数のプローブを有する装置に適し
ている。Upon receiving a position control signal from a position control circuit 513 controlled by a control computer 514, xyz
The xyz stage 508 attached to the recording medium 503 is driven by the driving mechanism 507, and the probe 505 and the recording medium 503 move relatively three-dimensionally. For the recording medium 503, the x of the probe 504 in the probe
The positions of the y direction and the z direction are adjusted, and the probe 505 is positioned so that the tip of the probe 504 is in a desired position on the recording medium 503 and is in a state of contact with a desired contact force. When the probe 505 scans the recording medium 503 in the above recording / reproducing apparatus, the tip of the probe 504 on the probe 505 always keeps in contact with the recording medium 503. In such a contact scanning method, when scanning while keeping the tip of the probe 504 in contact with the recording medium 503,
Even if the surface of the recording medium 503 has irregularities,
Since this is absorbed by the elastic deformation of the probe 504, the contact force between the tip of the probe 504 and the surface of the recording medium 503 is kept substantially constant, so that the tip of the probe 504 and the surface of the recording medium 503 can be prevented from being broken. This method does not require a means such as a piezo element for aligning the individual probes in the z direction, so that the configuration is not complicated, and is particularly suitable for an apparatus having a plurality of probes.

【００１１】また、記録媒体５０３に対する個々のプロ
ーブ５０５のｚ方向位置のフィードバック制御が不必要
であるため、記録媒体５０３に対するプローブ５０５の
高速走査が可能となる。制御コンピュータ５１４により
制御された記録制御回路５１１から発生された記録信号
が、記録系に切り替えられた切り替えスイッチ５０９を
通し、各探針５０４から記録媒体５０３に印加される。
このようにして、記録層５０２の探針５０４先端が接触
する部分に局所的に記録が行われる。Further, since it is unnecessary to perform feedback control of the position of each probe 505 in the z direction with respect to the recording medium 503, high-speed scanning of the probe 505 with respect to the recording medium 503 becomes possible. A recording signal generated from a recording control circuit 511 controlled by the control computer 514 is applied to the recording medium 503 from each probe 504 through a changeover switch 509 switched to a recording system.
In this manner, recording is locally performed on the portion of the recording layer 502 where the tip of the probe 504 contacts.

【００１２】上述の装置における記録層５０２として
は、電圧印加により流れる電流値が変化するような材料
を用いる。具体例としては、第１に、特開昭６３−１６
１５５２号公報、特開昭６３−１６１５５３号公報に開
示されているようなポリイミドやＳＯＡＺ（ビス−ｎ−
オクチルスクアリリウムアズレン）等電気メモリー効果
を有するＬＢ膜（＝Ｌａｎｇｍｕｉｒ−Ｂｌｏｄｇｅｔ
ｔｅ法により作成された有機単分子膜の累積膜）が挙げ
られる。この材料は、探針−ＬＢ膜−基板間にしきい値
以上の電圧（５〜１０［Ｖ］程度）を印加するとＬＢ膜
の導電性が変化（ＯＦＦ状態→ＯＮ状態）し、再生用の
バイアス電圧（０．０１〜２［Ｖ］程度）を印加した際
に流れる電流が増大するものである。As the recording layer 502 in the above-described device, a material whose current value changes when a voltage is applied is used. As a specific example, first, JP-A-63-16 / 1988
No. 1552, Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-161553, and polyimide or SOAZ (bis-n-
LB film having an electric memory effect such as octylsquarylium azulene (= Langmuir-Blodget)
(a cumulative film of organic monomolecular films formed by the te method). When a voltage higher than a threshold value (about 5 to 10 [V]) is applied between the probe, the LB film, and the substrate, the conductivity of the LB film changes (from the OFF state to the ON state). The current flowing when a voltage (about 0.01 to 2 [V]) is applied increases.

【００１３】第２の具体例として、ＧｅＴｅ，ＧａＳ
ｂ，ＳｎＴｅ等の非晶質薄膜材料が挙げられる。この材
料は、探針−非晶質薄膜材料−基板間に電圧を印加し、
流れる電流により発生する熱で非晶質→結晶質への相転
移を起こさせるものである。これにより材料の導電性が
変化し、再生用のバイアス電圧を印加した際に流れる電
流が増大するものである。第３の具体例として、Ｚｎや
Ｗ、Ｓｉ、ＣａＡｓ等の酸化性金属・半導体材料が挙げ
られる。この材料は、探針−酸化性金属・半導体材料間
に電圧を印加すると、流れる電流により、材料表面に吸
着している水や大気中の酸素と反応し、表面に酸化膜が
形成される。このため材料表面の接触抵抗が変化し、バ
イアス電圧を印加した際に流れる電流が減少する。As a second specific example, GeTe, GaS
b, an amorphous thin film material such as SnTe. This material applies a voltage between the probe, the amorphous thin film material, and the substrate,
The heat generated by the flowing current causes a phase transition from amorphous to crystalline. As a result, the conductivity of the material changes, and the current flowing when a bias voltage for reproduction is applied increases. As a third specific example, an oxidizable metal / semiconductor material such as Zn, W, Si, and CaAs can be given. When a voltage is applied between the probe and the oxidizable metal / semiconductor material, this material reacts with water adsorbed on the surface of the material or oxygen in the atmosphere by a flowing current to form an oxide film on the surface. For this reason, the contact resistance of the material surface changes, and the current flowing when a bias voltage is applied decreases.

【００１４】さて、上述のように記録が行われたビット
の再生は次のように行う。スイッチ５０９により、各プ
ローブ５０５からの信号配線を再生系に切り替えた後、
バイアス電圧印加手段５１０により、探針５０４と基板
５０１との間にバイアス電圧を印加し、間に流れる電流
を再生制御回路５１２において検出する。記録媒体５０
３上の記録ビットの部分は記録がなされていない部分に
比べ電流が多く（または、少なく）流れるため、再生制
御回路５１２において、この電流の違いを検出し、再生
信号とし、制御コンピュータ５１４に出力する。なお、
本発明においては説明のため、前述の電流が多く流れる
状態を電流が流れる、電流が少なく流れる状態を電流が
流れないと記述する。The reproduction of the bits recorded as described above is performed as follows. After the signal wiring from each probe 505 is switched to the reproduction system by the switch 509,
A bias voltage is applied between the probe 504 and the substrate 501 by the bias voltage applying means 510, and a current flowing therebetween is detected in the reproduction control circuit 512. Recording medium 50
Since a larger amount (or a smaller amount) of current flows through the portion of the recording bit on No. 3 than in the portion where no recording is performed, the reproduction control circuit 512 detects the difference in the current and outputs it as a reproduction signal, which is output to the control computer 514. I do. In addition,
In the present invention, for the sake of explanation, the above-described state where a large amount of current flows is described as a state where a current flows, and the state where a small amount of current flows is described as a state where no current flows.

【００１５】以下、図面を参照しながら本発明の構成と
動作について説明する。図１において、ｄは２本のプロ
ーブ１０２，１０３の間隔を示している。これに対し
て、位置決めビット１０６はプローブ間隔ｄに対してΔ
ｄだけずれた間隔で作られている。図１は、ビット列の
間隔をｄ＋ΔｄすなわちΔｄだけ広くした場合の例であ
る。もちろん、ビットの間隔をｄ−ΔｄすなわちΔｄだ
け狭くしてもかまわない。ここで、ビットの書き込まれ
た記録媒体上で複数本のプローブに、バイアス電圧を印
加すると、プローブがビット１０６上にある場合には、
プローブと記録媒体との間に電流が流れる。この電流を
モニタすることにより、どのプローブがビット１０６上
にあるかを判別することができる。The configuration and operation of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, d indicates the interval between the two probes 102 and 103. On the other hand, the positioning bit 106 is ΔΔ
They are made at intervals shifted by d. FIG. 1 shows an example in which the interval between bit strings is increased by d + Δd, that is, Δd. Of course, the bit interval may be narrowed by d-Δd, that is, Δd. Here, when a bias voltage is applied to a plurality of probes on the recording medium on which the bits are written, when the probes are on the bits 106,
A current flows between the probe and the recording medium. By monitoring this current, it is possible to determine which probe is on bit 106.

【００１６】ここで、プローブ１０３がビットの中心に
くるように位置あわせを行った場合の例を図１、３、４
を用いて説明する。図３に示すように、プローブが目標
通りの位置にある場合には、プローブ１０２，１０３，
１０４に電流が流れる。電流の流れるプローブの配置は
目標のプローブ１０３に対して対称である。しかし、ビ
ットに対して誤差が生じた場合、電流の流れるプローブ
の配置は目標のプローブ１０３に対して対称でなくな
る。例えば、図４の例では、プローブ１０３，１０４，
１０５に電流が流れる。ここで、誤差の向きに応じた極
性と電流の流れるプローブの本数に応じた大きさを持つ
信号を、演算手段を用いて出力する。これを用いて位置
あわせを行う。FIGS. 1, 3, and 4 show examples in which the probe 103 is positioned so as to be at the center of the bit.
This will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 3, when the probe is at the target position, the probes 102, 103,
Current flows through 104. The arrangement of the probe through which current flows is symmetric with respect to the target probe 103. However, when an error occurs in the bit, the arrangement of the probe through which the current flows is not symmetrical with respect to the target probe 103. For example, in the example of FIG. 4, the probes 103, 104,
Current flows through 105. Here, a signal having a polarity corresponding to the direction of the error and a magnitude corresponding to the number of probes through which the current flows is output using the arithmetic means. Alignment is performed using this.

【００１７】以上、プローブが５本の場合について説明
したが、プローブの本数はこれに限定されるものではな
い。位置決め精度はプローブ間隔とビット間隔の差、す
なわち前記Δｄに依存するが、位置決めできる範囲は、
Δｄが一定の場合、プローブの本数に比例して大きくな
る。すなわち、目標とする位置を選べる範囲が大きくな
る、あるいは、より大きな位置ずれに対応した位置決め
を行うことができる。The case where five probes are used has been described above, but the number of probes is not limited to this. The positioning accuracy depends on the difference between the probe interval and the bit interval, that is, the above-mentioned Δd.
When Δd is constant, it increases in proportion to the number of probes. That is, the range in which the target position can be selected becomes large, or positioning corresponding to a larger positional deviation can be performed.

【００１８】また、電流の流れるプローブを検出するの
ではなく、電流の流れないプローブを検出して、位置あ
わせを行うことも可能であるが、この場合、位置あわせ
に用いられるプローブの配置が、位置あわせの目標に対
して、対称である必要がある。さらに、本方式を、記録
再生時のトラッキング手段として用いることも可能であ
る。例えば、図１において、図中矢印の方向に走査を行
いながら、プローブ１０１，１０２，１０４，１０５を
用いて前記位置あわせを行い、同時に、プローブ１０３
を記録再生プローブとして利用することで、トラッキン
グ機構を有する記録再生装置を構成することができる。
本発明を適用する記録再生装置は前記構成の装置に限ら
れるものではない。磁気記録再生装置、光磁気記録再生
装置等、近接場光記録再生装置等、他の記録再生装置に
も適用可能である。In addition, instead of detecting a probe through which a current flows, it is possible to detect a probe through which a current does not flow and perform positioning. In this case, the arrangement of probes used for positioning is It needs to be symmetric with respect to the alignment target. Further, the present method can be used as tracking means at the time of recording and reproduction. For example, in FIG. 1, while performing scanning in the direction of the arrow in the figure, the positioning is performed using the probes 101, 102, 104, and 105, and at the same time, the probe 103 is scanned.
Is used as a recording / reproducing probe, a recording / reproducing apparatus having a tracking mechanism can be configured.
The recording / reproducing apparatus to which the present invention is applied is not limited to the apparatus having the above configuration. The present invention can be applied to other recording / reproducing devices such as a magnetic recording / reproducing device, a magneto-optical recording / reproducing device, and a near-field optical recording / reproducing device.

【００１９】[0019]

【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。 ［実施例１］図１及び図２を用いて、前記構成の記録再
生装置に対し、本発明のトラッキング機構を適用した実
施例１について以下に詳細な説明を行う。まず、上記装
置に対して、２００μｍ間隔で一体成形された５本のプ
ローブ群１０１，１０２，１０３，１０４，１０５を取
り付けた。全プローブの先端を記録媒体に接触させてか
ら、プローブ１０１に電圧パルスを印加した。電圧は
５．５Ｖ、印加時間は０．３μｓｅｃである。生成され
た位置合わせビットの直径は約１０ｎｍであった。この
後、プローブ群をプローブ１０１からみてプローブ１０
５の方向に４ｎｍ移動させた後、電圧パルスを印加して
位置合わせビットを生成するという動作をプローブ１０
２からプローブ１０５まで順次行った。Embodiments of the present invention will be described below. [First Embodiment] A first embodiment in which the tracking mechanism of the present invention is applied to the recording / reproducing apparatus having the above-described configuration will be described below in detail with reference to FIGS. First, five probe groups 101, 102, 103, 104, and 105 integrally formed at an interval of 200 μm were attached to the above apparatus. After the tips of all the probes were brought into contact with the recording medium, a voltage pulse was applied to the probe 101. The voltage is 5.5 V and the application time is 0.3 μsec. The diameter of the generated alignment bit was about 10 nm. Thereafter, the probe group is viewed from the probe 101 and the probe 10
The probe 10 moves 4 nm in the direction of 5, and then applies a voltage pulse to generate an alignment bit.
Steps 2 to 105 were performed sequentially.

【００２０】次に、プローブ１０３が位置あわせビット
の直上に位置するように位置合わせ動作を行った。ここ
で、図２を用いて本実施例で用いた位置合わせ機構につ
いて説明する。５本のプローブから出力された位置あわ
せビットの電流信号はＩ／Ｖ変換回路２０１によって電
圧信号に変換され、増幅回路２０２によってそれぞれ増
幅された後、信号検出回路２０３で、プローブに通流が
流れているか検出される。信号検出回路２０３は、それ
ぞれに対応するプローブに電流が流れた場合は１、流れ
ていない場合は０の２値の信号を加算回路２０４へ出力
する。加算回路２０４では入力された信号のうち、位置
合わせ目標のプローブ１０３よりプローブ１０１側にあ
るプローブ、すなわちプローブ１０１，１０２の信号を
正負反転し、プローブ１０４，１０５の信号と共に足し
込み出力する。プローブ１０３の信号は足し込まない。
加算回路２０４の出力信号はＰＩＤフィルタ２０５を通
り、積分回路２０６で過去の履歴と足し合わされ、増幅
回路２０７で増幅され、図６におけるｘｙｚ駆動機構５
０７を制御する。プローブ群を元の位置に戻してから、
５本のプローブに１．５Ｖのバイアス電圧を印加し、そ
れぞれのプローブに流れる電流をモニタした結果、プロ
ーブ１０１，１０２に電流が流れていることが検出され
た。次に、図２に示す回路を接続した後、それぞれのプ
ローブに流れる電流をモニタした結果、プローブ１０
２，１０３，１０４に電流が流れていることが検出され
た。次にプローブ群を、位置合わせ前の位置に戻してか
ら長さ１００μｍにわたり、線速度０．１ｍｍ／ｓで直
線状に走査を行った。走査中、プローブ１０１を用い
て、２０４８回電圧パルスを印加した。電圧は５．５
Ｖ、印加時間は０．３μｓｅｃである。生成されたトラ
ッキングビットの直径は約１０ｎｍ、ビット間隔は約５
０ｎｍであった。走査終了後、プローブを走査前の位置
に戻した。次に、プローブ群をプローブ１０１からプロ
ーブ１０５の方向に４ｎｍ動かし、同様に走査を行い、
電圧パルスを印加し、走査前の位置に戻すという動作を
プローブ１０２からプローブ１０５まで繰り返して行っ
た。Next, a positioning operation was performed so that the probe 103 was positioned immediately above the positioning bit. Here, the positioning mechanism used in the present embodiment will be described with reference to FIG. The current signals of the alignment bits output from the five probes are converted into voltage signals by the I / V conversion circuit 201 and amplified by the amplification circuit 202, and then flow through the probes in the signal detection circuit 203. Is detected. The signal detection circuit 203 outputs a binary signal of 1 to the addition circuit 204 when a current flows through the corresponding probe and 0 when no current flows to the corresponding probe. The adder circuit 204 inverts the signals of the probes located closer to the probe 101 than the probe 103 as the alignment target, that is, the signals of the probes 101 and 102 from the input signals, and adds and outputs the signals together with the signals of the probes 104 and 105. The signal of the probe 103 is not added.
The output signal of the addition circuit 204 passes through the PID filter 205, is added to the past history by the integration circuit 206, is amplified by the amplification circuit 207, and is output from the xyz driving mechanism 5 in FIG.
07 is controlled. After returning the probe group to the original position,
As a result of applying a bias voltage of 1.5 V to the five probes and monitoring the current flowing through each probe, it was detected that current was flowing through the probes 101 and 102. Next, after the circuit shown in FIG. 2 was connected, the current flowing through each probe was monitored.
It was detected that a current was flowing through 2,103,104. Next, the probe group was returned to the position before the alignment, and then linearly scanned at a linear velocity of 0.1 mm / s over a length of 100 μm. During scanning, a voltage pulse was applied 2048 times using the probe 101. The voltage is 5.5
V, the application time is 0.3 μsec. The diameter of the generated tracking bit is about 10 nm, and the bit interval is about 5 nm.
It was 0 nm. After the scanning, the probe was returned to the position before the scanning. Next, the probe group was moved by 4 nm in the direction from the probe 101 to the probe 105, and scanning was performed in the same manner.
The operation of applying a voltage pulse and returning to the position before scanning was repeated from the probe 102 to the probe 105.

【００２１】次に、プローブ１０１，１０２，１０４，
１０５を用いてトラッキングを行いながらプローブ１０
３を用いてビット列の再生動作を行った。ここで、図２
を用いて本実施例で用いた位置合わせ機構について説明
する。５本のプローブから出力された位置あわせビット
の電流信号はＩ／Ｖ変換回路２０１によって電圧信号に
変換され、増幅回路２０２によってそれぞれ増幅された
後、信号検出回路２０３で、プローブに電流が流れてい
るか検出される。信号検出回路２０３は、それぞれに対
応するプローブに電流が流れた場合は１、流れていない
場合は０の２値の信号を加算回路２０４へ出力する。加
算回路２０４では入力された信号のうち、位置合わせ目
標のプローブ１０３よりプローブ１０１側にあるプロー
ブ、すなわちプローブ１０１，１０２の信号を正負反転
し、プローブ１０４，１０５の信号と共に足し込み出力
する。プローブ１０３の信号は足し込まない。加算回路
２０４の出力信号はＰＩＤフィルタ２０５を通り、積分
回路２０６で過去の履歴と足し合わされ、増幅回路２０
７で増幅された後、位置制御信号と足し合わされて、図
６におけるｘｙｚ駆動機構５０７を制御する。前記ビッ
ト列の生成動作が終了した状態で、プローブ群はプロー
ブ１０５が第一番目のビットの直上にある状態にある。
そこでまず、前記位置決め方法で、プローブ１０１，１
０２，１０４，１０５を用いて、プローブ１０３が第一
番目のビットの直上に位置するよう、位置決め動作を行
った。次に、前記位置決め動作をトラッキング動作とし
て行ったまま、プローブ群で記録媒体上を線速度０．１
ｍｍ／ｓで走査して、５０往復の再生動作を行い、プロ
ーブ１０３からの再生信号をモニタした結果、再生エラ
ーは認められなかった。Next, the probes 101, 102, 104,
Probe 10 while performing tracking using 105
3 was used to perform a bit string reproduction operation. Here, FIG.
The alignment mechanism used in this embodiment will be described with reference to FIG. The current signals of the alignment bits output from the five probes are converted into voltage signals by the I / V conversion circuit 201 and amplified by the amplifier circuits 202, respectively. Is detected. The signal detection circuit 203 outputs a binary signal of 1 to the addition circuit 204 when a current flows through the corresponding probe and 0 when no current flows to the corresponding probe. The adder circuit 204 inverts the signals of the probes located closer to the probe 101 than the probe 103 as the alignment target, that is, the signals of the probes 101 and 102 from the input signals, and adds and outputs the signals together with the signals of the probes 104 and 105. The signal of the probe 103 is not added. The output signal of the addition circuit 204 passes through a PID filter 205, is added to the past history by an integration circuit 206, and
After being amplified by 7, the signal is added to the position control signal to control the xyz drive mechanism 507 in FIG. In a state where the operation of generating the bit string has been completed, the probe group is in a state where the probe 105 is located immediately above the first bit.
Therefore, first, the probes 101, 1
The positioning operation was performed using 02, 104, and 105 so that the probe 103 was located immediately above the first bit. Next, with the positioning operation being performed as a tracking operation, a linear velocity of 0.1
As a result of monitoring the reproduced signal from the probe 103 by scanning at mm / s and performing a reciprocating operation of 50 reciprocations, no reproducing error was recognized.

【００２２】［実施例２］図６及び図７を用いて、前記
構成の記録再生装置に対し、本発明の位置決め機構を適
用した実施例２について以下に詳細な説明を行う。上記
装置に対して、２００μｍ間隔で一体成形された５本の
プローブ群を２組用意し、まず、第１の位置検出プロー
ブ群１０１，１０２，１０３，１０４，１０５を取り付
けた。次に、図６に示すように、第２の位置検出プロー
ブ群６０１，６０２，６０３，６０４，６０５を第１の
プローブ群と直交するように取り付けた。さらに、１本
の記録再生プローブ６０６を取り付けた。以上１１本の
プローブは一体となって動作するように取り付けられて
いる。ここで、全プローブの先端を記録媒体に接触させ
た。[Second Embodiment] A second embodiment in which the positioning mechanism of the present invention is applied to the recording / reproducing apparatus having the above-described configuration will be described below in detail with reference to FIGS. Two sets of five probe groups integrally formed at 200 μm intervals were prepared for the above apparatus, and first, the first position detection probe groups 101, 102, 103, 104, and 105 were attached. Next, as shown in FIG. 6, the second position detection probe groups 601, 602, 603, 604, and 605 were mounted so as to be orthogonal to the first probe group. Further, one recording / reproducing probe 606 was attached. The above eleven probes are attached so as to operate integrally. Here, the tips of all the probes were brought into contact with the recording medium.

【００２３】次に、第１の位置検出プローブ群を用い
て、位置決めビットを作成した。まず、プローブ１０１
に電圧パルスを印加した。電圧は５．５Ｖ、印加時間は
０．３μｓｅｃである。生成された位置合わせビットの
直径は約１０ｎｍであった。この後、全プローブを図６
中Ｘの正の方向に、７ｎｍ移動させ、同条件でパルス印
加を行った。この動作を繰り返し、計９点、位置決めビ
ットを生成し、図６に示すように帯状の位置決めビット
群を形成した。ビット群形成後、全プローブを、図６中
Ｘの負の方向に５６ｎｍ移動させた。さらに、プローブ
全体をＹの負の方向に４ｎｍ移動させるごとに、プロー
ブ１０１と同様に位置決めビット群を形成する動作をプ
ローブ１０２，１０３，１０４，１０５と順に行い、計
５列の位置決めビット群を形成した。隣り合う位置決め
ビット群の間隔は隣り合うプローブの間隔より４ｎｍ広
くなっている。以上の第１の位置検出プローブ群による
位置決めビット群の形成が終了した段階で、全プローブ
は、プローブ１０５が第１番目の位置決めビットの直上
に位置する位置にある。ここで、全プローブを図６中Ｘ
の正の方向に２０ｎｍ、Ｙの負の方向に２０ｎｍ移動さ
せた。Next, a positioning bit was prepared using the first position detection probe group. First, the probe 101
Was applied with a voltage pulse. The voltage is 5.5 V and the application time is 0.3 μsec. The diameter of the generated alignment bit was about 10 nm. After this, all the probes are
It was moved 7 nm in the positive direction of the middle X, and pulse application was performed under the same conditions. This operation was repeated to generate a total of nine positioning bits, and a band-shaped positioning bit group was formed as shown in FIG. After forming the bit group, all the probes were moved by 56 nm in the negative direction of X in FIG. Further, every time the entire probe is moved by 4 nm in the negative direction of Y, an operation of forming a positioning bit group in the same manner as the probe 101 is sequentially performed with the probes 102, 103, 104, and 105, and a total of five rows of positioning bit groups are formed. Formed. The spacing between adjacent positioning bit groups is 4 nm wider than the spacing between adjacent probes. At the stage where the formation of the positioning bit group by the first position detection probe group is completed, all the probes are at positions where the probe 105 is located immediately above the first positioning bit. Here, all probes are denoted by X in FIG.
20 nm in the positive direction and 20 nm in the negative Y direction.

【００２４】次に、第２の位置検出プローブ群を用い
て、位置決めビットを作成した。まず、プローブ６０１
に電圧パルスを印加した。電圧は５．５Ｖ、印加時間は
０．３μｓｅｃである。生成された位置合わせビットの
直径は約１０ｎｍであった。この後、全プローブを図６
中Ｙの正の方向に、７ｎｍ移動させ、同条件でパルス印
加を行った。この動作を繰り返し、計９点、位置決めビ
ットを生成し、図６に示すように帯状の位置決めビット
群を形成した。ビット群形成後、全プローブを、図６中
Ｙの負の方向に５６ｎｍ移動させた。さらに、プローブ
全体をＸの正の方向に４ｎｍ移動させるごとに、プロー
ブ６０１と同様に位置決めビット群を形成する動作をプ
ローブ６０２，６０３，６０４，６０５と順に行い、計
５列の位置決めビット群を形成した。隣り合う位置決め
ビット群の間隔は隣り合うプローブの間隔より４ｎｍ広
くなっている。以上の第２の位置検出プローブ群による
位置決めビット群の形成が終了した段階で、全プローブ
は、プローブ６０５が第１番目の位置決めビットの直上
に位置する位置にある。ここで、全プローブを図６中Ｙ
の正の方向に２０ｎｍ移動させた。これでプローブ全体
はプローブ１０５と６０５がそれぞれの位置決めビット
群の直上に位置するようになっている。Next, a positioning bit was created using the second position detection probe group. First, the probe 601
Was applied with a voltage pulse. The voltage is 5.5 V and the application time is 0.3 μsec. The diameter of the generated alignment bit was about 10 nm. After this, all the probes are
It was moved 7 nm in the positive direction of the middle Y, and pulse application was performed under the same conditions. This operation was repeated to generate a total of nine positioning bits, and a band-shaped positioning bit group was formed as shown in FIG. After forming the bit group, all the probes were moved by 56 nm in the negative direction of Y in FIG. Further, every time the entire probe is moved by 4 nm in the positive direction of X, an operation of forming a positioning bit group in the same manner as the probe 601 is sequentially performed with the probes 602, 603, 604, and 605, and a total of five rows of positioning bit groups Formed. The spacing between adjacent positioning bit groups is 4 nm wider than the spacing between adjacent probes. At the stage when the formation of the positioning bit group by the second position detection probe group is completed, all the probes are at positions where the probe 605 is located immediately above the first positioning bit. Here, all the probes are denoted by Y in FIG.
Was moved 20 nm in the positive direction. As a result, the probes 105 and 605 of the entire probe are positioned immediately above the respective positioning bit groups.

【００２５】ここで、プローブ１０３，６０３が位置決
めビットの直上に位置するように位置合わせ動作を行っ
た。ここで、図７を用いて本実施例で用いた位置合わせ
機構について説明する。第１あるいは第２位置検出プロ
ーブ群のそれぞれ５本のプローブから出力された位置あ
わせビットの電流信号はＩ／Ｖ変換回路２０１によって
電圧信号に変換され、増幅回路２０２によってそれぞれ
増幅された後、信号検出回路２０３で、プローブに電流
が流れているか検出される。信号検出回路２０３は、そ
れぞれに対応するプローブに電流が流れた場合は１、流
れていない場合は０の２値の信号を加算回路２０４へ出
力する。加算回路２０４では入力された信号のうち、例
えば、プローブ１０３が位置合わせビットの直上に位置
するように、位置合わせを行う場合、プローブ１０３よ
りプローブ１０１側にあるプローブ、すなわちプローブ
１０１，１０２の信号を正負反転し、プローブ１０４，
１０５の信号と共に足し込み出力する。プローブ１０３
の信号は足し込まない。加算回路２０４の出力信号はＰ
ＩＤフィルタ２０５を通り、積分回路２０６で過去の履
歴と足し合わされ、増幅回路２０７で増幅され、図６に
おけるｘｙｚ駆動機構５０７を制御する。Here, the positioning operation was performed so that the probes 103 and 603 were located immediately above the positioning bits. Here, the positioning mechanism used in this embodiment will be described with reference to FIG. The current signal of the alignment bit output from each of the five probes of the first or second position detection probe group is converted into a voltage signal by the I / V conversion circuit 201 and amplified by the amplification circuit 202, respectively. The detection circuit 203 detects whether a current is flowing through the probe. The signal detection circuit 203 outputs a binary signal of 1 to the addition circuit 204 when a current flows through the corresponding probe and 0 when no current flows to the corresponding probe. In the adder circuit 204, of the input signals, for example, when positioning is performed so that the probe 103 is located immediately above the positioning bit, the signals of the probes located on the probe 101 side from the probe 103, that is, the signals of the probes 101 and 102 Is inverted, and the probe 104,
The output is added together with the signal of 105. Probe 103
Signal is not added. The output signal of the adding circuit 204 is P
The signal passes through the ID filter 205, is added to the past history by the integration circuit 206, is amplified by the amplification circuit 207, and controls the xyz driving mechanism 507 in FIG.

【００２６】図７に示す回路を接続し、第１及び第２の
位置検出プローブ群の１０本のプローブに１．５Ｖのバ
イアス電圧を印加した。その後、それぞれのプローブに
流れる電流をモニタした結果、プローブ１０２，１０
３，１０４，６０２，６０３，６０４に電流が流れてい
ることが検出された。これにより、目標位置に位置決め
が行われたことを確認した。ここで、記録再生プローブ
６０６に電圧パルスを印加して、記録ビット６０７を生
成した。電圧は５．５Ｖ、印加時間は０．３μｓｅｃで
ある。生成された記録ビット６０７の直径は約１０ｎｍ
であった。ここで、記録再生プローブ６０６に１．５Ｖ
のバイアス電圧を印加したところ、プローブ６０６に電
流が流れていることが、電流検出回路２０３で検出され
た。The circuit shown in FIG. 7 was connected, and a bias voltage of 1.5 V was applied to ten probes of the first and second position detection probe groups. Then, as a result of monitoring the current flowing through each probe, the probes 102, 10
It was detected that current was flowing through 3,104,602,603,604. As a result, it was confirmed that positioning was performed at the target position. Here, a recording pulse 607 was generated by applying a voltage pulse to the recording / reproducing probe 606. The voltage is 5.5 V and the application time is 0.3 μsec. The diameter of the generated recording bit 607 is about 10 nm
Met. Here, 1.5 V is applied to the recording / reproducing probe 606.
When the bias voltage was applied, the current detection circuit 203 detected that a current was flowing through the probe 606.

【００２７】次に、全プローブのバイアス電圧を切って
から、図７に示す回路を接続したまま、プローブ全体を
図６中Ｘの正の方向に１０ｎｍ、Ｙの正の方向に１０ｎ
ｍ移動させた。ここで、記録再生プローブ６０６に１．
５Ｖのバイアス電圧を印加したところ、電流は流れなか
った。記録再生プローブ６０６のバイアス電圧を切った
後、第１、第２の位置検出プローブ群の全１０本の位置
検出プローブに、１．５Ｖのバイアス電圧を印加し、プ
ローブ１０３，６０３がそれぞれの位置決めビット群の
直上に位置するように、位置合わせを行った。次に、記
録再生プローブ６０６に１．５Ｖのバイアス電圧を印加
したところ、プローブ６０６に電流が流れていることが
検出され、プローブ６０６が記録ビット６０７を生成し
た位置に再び位置あわせされた事が確認された。Next, after the bias voltages of all the probes are turned off, the entire probe is moved to 10 nm in the positive X direction and to 10 n in the positive Y direction in FIG. 6 while the circuit shown in FIG. 7 is connected.
m. Here, 1.
When a bias voltage of 5 V was applied, no current flowed. After the bias voltage of the recording / reproducing probe 606 is turned off, a bias voltage of 1.5 V is applied to all ten position detection probes of the first and second position detection probe groups, and the probes 103 and 603 determine their respective positions. Positioning was performed so as to be located directly above the bit group. Next, when a bias voltage of 1.5 V was applied to the recording / reproducing probe 606, it was detected that a current was flowing through the probe 606, and the probe 606 was again positioned at the position where the recording bit 607 was generated. confirmed.

【００２８】［実施例３］図８、図９、及び図１０を用
いて、前記構成の記録再生装置に対し、本発明の位置決
め及びトラッキング機構を適用した実施例３について以
下に詳細な説明を行う。上記装置に対して、２００μｍ
間隔で一体形成された２１本のプローブ群を用意し、ト
ラッキング及び記録再生プローブ群として、図８に示す
ように取り付けた。この２１本のプローブのうち１１本
の奇数番目のプローブは記録再生プローブ６０６、１０
本の偶数番目のプローブはトラッキングプローブ８０
１，８０２として用いられる。また、本装置に用いられ
る前記記録媒体には、電子線描画装置によって、線状の
形状を持つトラッキングマーカー８０３を書き込んだ。
トラッキングマーカー８０３は幅１２ｎｍ、長さ１１０
μｍで、隣り合うトラッキングプローブの間隔より６ｎ
ｍ広い間隔で平行に１０本並んでいる。Third Embodiment A third embodiment in which the positioning and tracking mechanism of the present invention is applied to the recording / reproducing apparatus having the above-described configuration will be described below in detail with reference to FIGS. 8, 9 and 10. Do. 200 μm for the above device
A group of 21 probes integrally formed at intervals were prepared, and attached as tracking and recording / reproducing probe groups as shown in FIG. Of the 21 probes, 11 odd-numbered probes are the recording / reproducing probes 606, 10
The even-numbered probe is a tracking probe 80
1,802. Further, a tracking marker 803 having a linear shape was written on the recording medium used in the present apparatus by an electron beam drawing apparatus.
The tracking marker 803 has a width of 12 nm and a length of 110
6 μm from the distance between adjacent tracking probes
10 lines are arranged in parallel at m wide intervals.

【００２９】ここで、６番目の記録再生プローブがトラ
ッキングマーカー群の中央に位置するように位置合わせ
動作を行った。ここで、図９を用いて本実施例で用いた
位置合わせ機構について説明する。１０本のトラッキン
グプローブから出力されたトラッキングマーカーの電流
信号はＩ／Ｖ変換回路２０１によって電圧信号に変換さ
れ、増幅回路２０２によってそれぞれ増幅された後、信
号検出回路２０３で、プローブに電流が流れているか検
出される。信号検出回路２０３は、それぞれに対応する
プローブに電流が流れた場合は１、流れていない場合は
０の２値の信号を加算回路２０４へ出力する。加算回路
２０４では入力された信号のうち、例えば、６番目の記
録再生プローブがトラッキングマーカー群の中央に位置
するように、位置合わせを行う場合、図１０に示す係数
をかけてから、全トラッキングプローブの信号検出回路
からの出力を足し込み出力する。重み付け加算回路９０
１の出力信号はＰＩＤフィルタ２０５を通り、積分回路
２０６で過去の履歴と足し合わされ、増幅回路２０７で
増幅され、図６におけるｘｙｚ駆動機構５０７を制御す
る。Here, the positioning operation was performed so that the sixth recording / reproducing probe was located at the center of the tracking marker group. Here, the positioning mechanism used in the present embodiment will be described with reference to FIG. The current signals of the tracking markers output from the ten tracking probes are converted into voltage signals by the I / V conversion circuit 201 and amplified by the amplifier circuits 202, respectively. Is detected. The signal detection circuit 203 outputs a binary signal of 1 to the addition circuit 204 when a current flows through the corresponding probe and 0 when no current flows to the corresponding probe. The adder circuit 204 multiplies the coefficients shown in FIG. 10 by a coefficient shown in FIG. 10 when performing positioning so that, for example, the sixth recording / reproducing probe is located at the center of the tracking marker group among the input signals. The output from the signal detection circuit is added and output. Weight addition circuit 90
The 1 output signal passes through the PID filter 205, is added to the past history by the integration circuit 206, is amplified by the amplification circuit 207, and controls the xyz driving mechanism 507 in FIG.

【００３０】図９に示す回路を接続し、全トラッキング
プローブに１．５Ｖのバイアス電圧を印加し、位置合わ
せを行った。次に、前記位置決め動作を用いてトラッキ
ングを行いながら、記録再生プローブ群を用いて記録動
作を行った。長さ１００μｍにわたり、線速度０．１ｍ
ｍ／ｓで直線状に走査を行う。走査中、１１本の記録再
生プローブを用いて、あらかじめ用意したデータに合わ
せて、各プローブ最大２０４８回電圧パルスを印加し
た。電圧は５．５Ｖ、印加時間は０．３μｓｅｃであ
る。生成されたデータビットの直径は約１０ｎｍ、ビッ
ト間隔は約５０ｎｍであった。さらに、プローブ全体を
元の位置に戻してから、前記位置決め動作を用いてトラ
ッキングを行いながら記録再生プローブ群を用いてデー
タビット列の再生動作を行った。全プローブに１．５Ｖ
のバイアス電圧を印加し、線速度２ｍｍ／ｓで、長さ１
００μｍにわたり、走査を行った。走査中、全記録再生
プローブの再生信号をモニタした。５０往復の再生動作
を行った結果、再生エラーは認められなかった。The circuit shown in FIG. 9 was connected, and a bias voltage of 1.5 V was applied to all tracking probes to perform positioning. Next, a recording operation was performed using the recording / reproducing probe group while tracking was performed using the positioning operation. 0.1m linear velocity over 100μm length
Scanning is performed linearly at m / s. During scanning, a voltage pulse of a maximum of 2048 times was applied to each probe in accordance with data prepared in advance using 11 recording / reproducing probes. The voltage is 5.5 V and the application time is 0.3 μsec. The diameter of the generated data bits was about 10 nm, and the bit interval was about 50 nm. Further, after the entire probe was returned to the original position, the data bit sequence was reproduced using the recording / reproducing probe group while performing tracking using the positioning operation. 1.5V for all probes
At a linear velocity of 2 mm / s and a length of 1
Scanning was performed over 00 μm. During scanning, the reproduced signals of all the recording and reproducing probes were monitored. As a result of performing a reciprocating operation of 50 round trips, no reproducing error was recognized.

【００３１】[0031]

【発明の効果】本発明によれば、上記した構成により、
記録媒体に物理的な加工を行うことなく、数〜数十ｎｍ
オーダーで、記録再生と同じ原理、機構を用いて、再現
性の高い位置制御が可能な記録再生装置の位置決め機
構、及びトラッキング機構を実現することができる。ま
た、本発明においては、プローブ間隔とビット間隔をず
らして記録媒体上に位置決めマーカーを生成し、どのプ
ローブがマーカー上にあるかを検出することにより、高
精度の位置決めが可能となる。また、本発明において
は、位置決めマーカー検出信号の有無のみにより、位置
決めを行うことができるため、ノイズに強い位置決め制
御系の構築が可能となる。また、本発明においては、位
置決めに用いるプローブの数を増やすことにより、より
広範囲の位置決めが可能となる。また、本発明において
は、位置決め機構によってトラッキング機構を兼ねるよ
うに構成することが可能なため、単純な構成で両機能を
実現することができる。また、本発明においては、記録
媒体に対して、物理的な加工を施さず、記録再生原理そ
のものによって、位置決め及びトラッキングが行うこと
ができ、記録再生機構と位置決め及びトラッキング機構
との一体成形が容易となり、マーカーを位置決め機構自
身で形成することができ、さらに、記録媒体の材質に対
する制限も小さくなる。According to the present invention, according to the above structure,
Several to several tens of nm without physical processing on the recording medium
The positioning mechanism and the tracking mechanism of the recording / reproducing apparatus capable of controlling the position with high reproducibility can be realized on the order using the same principle and mechanism as the recording / reproducing. Further, in the present invention, a positioning marker is generated on a recording medium by shifting the probe interval and the bit interval, and by detecting which probe is on the marker, highly accurate positioning can be performed. In the present invention, positioning can be performed only by the presence or absence of a positioning marker detection signal, so that a positioning control system resistant to noise can be constructed. Further, in the present invention, positioning can be performed over a wider range by increasing the number of probes used for positioning. Further, in the present invention, since the positioning mechanism can be configured to also serve as the tracking mechanism, both functions can be realized with a simple configuration. Further, in the present invention, positioning and tracking can be performed by the recording / reproducing principle itself without performing physical processing on the recording medium, and the recording / reproducing mechanism and the positioning / tracking mechanism can be integrally formed easily. Thus, the marker can be formed by the positioning mechanism itself, and the restriction on the material of the recording medium is reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の実施例１を説明する図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a first embodiment of the present invention.

【図２】本発明の実施例１の位置決め及びトラッキング
機構を説明する図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a positioning and tracking mechanism according to the first embodiment of the present invention.

【図３】本発明の位置決め及びトラッキング機構の原理
を説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating the principle of the positioning and tracking mechanism of the present invention.

【図４】本発明の位置決め及びトラッキング機構の原理
を説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating the principle of the positioning and tracking mechanism of the present invention.

【図５】本発明を適用する記録再生装置の全体構成を説
明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating an overall configuration of a recording / reproducing apparatus to which the present invention is applied.

【図６】本発明の実施例２を説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a second embodiment of the present invention.

【図７】本発明の実施例２の位置決め機構を説明する図
である。FIG. 7 is a diagram illustrating a positioning mechanism according to a second embodiment of the present invention.

【図８】本発明の実施例３を説明する図である。FIG. 8 is a diagram illustrating a third embodiment of the present invention.

【図９】本発明の実施例３の位置決め及びトラッキング
機構を説明する図である。FIG. 9 is a diagram illustrating a positioning and tracking mechanism according to a third embodiment of the present invention.

【図１０】本発明の実施例３の重み付け加算回路におけ
る係数を表す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating coefficients in a weighted addition circuit according to a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０１：位置検出プローブ１ １０２：位置検出プローブ２ １０３：位置検出プローブ３ １０４：位置検出プローブ４ １０５：位置検出プローブ５ １０６：位置決めビット ２０１：Ｉ／Ｖ変換回路 ２０２：増幅回路 ２０３：信号検出回路 ２０４：加算回路 ２０５：ＰＩＤフィルタ ２０６：積分回路 ２０７：増幅回路 ５０１：基板 ５０２：記録層 ５０３：記録媒体 ５０４：探針 ５０５：プローブ ５０６：弾性体 ５０７：ｘｙｚ駆動機構 ５０８：ｘｙｚ駆動ステージ ５０９：切り替えスイッチ ５１０：バイアス印加手段 ５１１：記録制御回路 ５１２：再生制御回路 ５１３：位置制御回路 ５１４：制御コンピュータ ６０１：位置検出プローブ６ ６０２：位置検出プローブ７ ６０３：位置検出プローブ８ ６０４：位置検出プローブ９ ６０５：位置検出プローブ１０ ６０６：記録再生プローブ ６０７：記録ビット ８０１：トラッキングプローブ１ ８０２：トラッキングプローブ１０ ８０３：トラッキングマーカー ９０１：重み付け加算回路 101: position detection probe 1 102: position detection probe 2 103: position detection probe 3 104: position detection probe 4 105: position detection probe 5 106: positioning bit 201: I / V conversion circuit 202: amplification circuit 203: signal detection circuit 204: addition circuit 205: PID filter 206: integration circuit 207: amplification circuit 501: substrate 502: recording layer 503: recording medium 504: probe 505: probe 506: elastic body 507: xyz drive mechanism 508: xyz drive stage 509: Changeover switch 510: bias applying unit 511: recording control circuit 512: reproduction control circuit 513: position control circuit 514: control computer 601: position detection probe 6 602: position detection probe 7 603: position detection probe 8 604: position detection probe 605: position detection probe 10 606: recording reproducing probe 607: recording bit 801: Tracking Probe 1 802: Tracking Probe 10 803: Tracking markers 901: weighted addition circuit

Claims (20)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】記録媒体上をプローブで相対走査して該記
録媒体上に情報を記録し、または該記録媒体から情報を
再生する記録再生装置の位置決め機構において、 複数本のプローブで構成された位置検出プローブと、 前記位置検出プローブと相対し、該位置検出プローブと
相対動作する記録媒体と、 前記位置検出プローブにおける複数本のプローブの間隔
と、異なる間隔を有する複数のマーカーによって構成さ
れた位置決めマーカーと、 前記位置検出プローブによる位置決めマーカーの有無の
検出に基づく出力に応じた制御信号を出力する制御信号
出力手段と、 前記制御信号によって、前記記録媒体と前記プローブの
相対位置を制御する制御手段と、 を有することを特徴とする記録再生装置の位置決め機
構。1. A positioning mechanism of a recording / reproducing apparatus for recording information on a recording medium by relatively scanning the recording medium with a probe or reproducing information from the recording medium, comprising a plurality of probes. A position detection probe, a recording medium opposed to the position detection probe, and relatively operating with the position detection probe, an interval between a plurality of probes in the position detection probe, and a positioning constituted by a plurality of markers having different intervals. A marker; a control signal output unit that outputs a control signal corresponding to an output based on detection of the presence or absence of the positioning marker by the position detection probe; and a control unit that controls a relative position between the recording medium and the probe by the control signal. And a positioning mechanism for the recording / reproducing apparatus. 【請求項２】前記位置検出プローブの長手方向が互いに
直交する向きに配置されてなる二つ以上の位置検出プロ
ーブを備え、該二つ以上の位置検出プローブにおける一
方の位置検出プローブと相対している位置決めマーカー
の向きと、他方の位置検出プローブと相対している位置
決めマーカーの向きとが、互いに直交していることを特
徴とする請求項１に記載の記録再生装置の位置決め機
構。2. The apparatus according to claim 1, further comprising: two or more position detection probes arranged in a direction in which the longitudinal directions of the position detection probes are orthogonal to each other, wherein one of the two or more position detection probes is opposed to one of the position detection probes. 2. The positioning mechanism of a recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein the direction of the positioning marker and the direction of the positioning marker facing the other position detection probe are orthogonal to each other. 【請求項３】前記位置決めマーカーが、互いに平行な直
線状の形状を有することを特徴とする請求項１または請
求項２に記載の記録再生装置の位置決め機構。3. The positioning mechanism of a recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein the positioning markers have linear shapes parallel to each other. 【請求項４】前記位置決めマーカーが、記録ビットであ
ることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１
項に記載の記録再生装置の位置決め機構。4. The apparatus according to claim 1, wherein said positioning marker is a recording bit.
Item 15. A positioning mechanism for a recording / reproducing apparatus according to Item 1. 【請求項５】前記記録ビットを線状に並べ、直線状の形
状を有する位置決めマーカーを形成したことを特徴とす
る請求項４に記載の記録再生装置の位置決め機構。5. A positioning mechanism for a recording / reproducing apparatus according to claim 4, wherein said recording bits are arranged linearly to form a positioning marker having a linear shape. 【請求項６】前記位置決めマーカーが、前記位置検出プ
ローブを用いて形成されることを特徴とする請求項１か
ら請求項５のいずれか１項に記載の記録再生装置の位置
決め機構。6. The positioning mechanism according to claim 1, wherein the positioning marker is formed by using the position detection probe. 【請求項７】前記制御信号出力手段は、前記位置検出プ
ローブによる位置決めマーカーの有無の検出に基づく出
力に応じた制御信号を出力する信号検出手段と、 前記信号検出手段の出力を、前記位置検出プローブの位
置決め目標からの位置に応じて演算する演算手段と、を
有することを特徴とする請求項１に記載の記録再生装置
の位置決め機構。7. The control signal output means outputs a control signal corresponding to an output based on detection of the presence or absence of a positioning marker by the position detection probe, and outputs the control signal to the position detection probe. The positioning mechanism of the recording / reproducing apparatus according to claim 1, further comprising: an operation unit that performs an operation in accordance with a position of the probe from a positioning target. 【請求項８】前記演算手段は、前記信号検出手段からの
出力信号に対して、前記位置検出プローブの位置決め目
標からの位置に応じた符号をつけて、加算することを特
徴とする請求項７に記載の記録再生装置の位置決め機
構。8. The apparatus according to claim 7, wherein said calculating means adds a code corresponding to a position of said position detecting probe from a positioning target to said output signal from said signal detecting means and adds the signals. 3. The positioning mechanism of the recording / reproducing apparatus according to claim 1. 【請求項９】前記演算手段は、前記信号検出手段からの
出力信号に対して、前記位置検出プローブの位置決め目
標からの位置に応じた係数をかけた上で、加算すること
を特徴とする請求項７に記載の記録再生装置の位置決め
機構。9. The method according to claim 1, wherein said calculating means multiplies an output signal from said signal detecting means by a coefficient corresponding to a position of said position detecting probe from a positioning target, and then adds said multiplied signal. Item 8. A positioning mechanism for a recording / reproducing device according to Item 7. 【請求項１０】前記制御信号出力手段は、過去の信号の
履歴を積分する積分手段と、信号を増幅し制御信号とし
て出力する増幅手段とを有することを特徴とする請求項
１に記載の記録再生装置の位置決め機構。10. The recording apparatus according to claim 1, wherein said control signal output means has an integrating means for integrating a history of past signals, and an amplifying means for amplifying a signal and outputting it as a control signal. Positioning mechanism of the playback device. 【請求項１１】記録媒体上をプローブで相対走査して該
記録媒体上に情報を記録し、または該記録媒体から情報
を再生する記録再生装置のトラッキング機構において、 複数本のプローブで構成されたトラッキングプローブ
と、 前記トラッキングプローブと相対し、該トラッキングプ
ローブと相対動作する記録媒体と、 前記トラッキングプローブにおける複数本のプローブの
間隔と、異なる間隔を有する複数のマーカーによって構
成されたトラッキングマーカーと、 前記トラッキングプローブによるトラッキングマーカー
の有無の検出に基づく出力に応じた制御信号を出力する
制御信号出力手段と、 前記制御信号によって、前記記録媒体と前記プローブの
相対位置を制御する制御手段と、 を有することを特徴とする記録再生装置のトラッキング
機構。11. A tracking mechanism of a recording / reproducing apparatus for relatively scanning a recording medium with a probe to record information on the recording medium or reproducing information from the recording medium, the tracking mechanism comprising a plurality of probes. A tracking probe, a recording medium facing the tracking probe, and operating relative to the tracking probe, an interval between a plurality of probes in the tracking probe, and a tracking marker constituted by a plurality of markers having different intervals; Control signal output means for outputting a control signal corresponding to an output based on detection of the presence or absence of a tracking marker by a tracking probe; andcontrol means for controlling a relative position between the recording medium and the probe by the control signal. Track for recording / reproducing apparatus characterized by the following Grayed mechanism. 【請求項１２】前記トラッキングマーカーが平行移動す
ることで互いに重なり合う線状の形状を有することを特
徴とする請求項１１に記載のトラッキング機構。12. The tracking mechanism according to claim 11, wherein the tracking markers have linear shapes overlapping each other by moving in parallel. 【請求項１３】前記トラッキングマーカーが記録ビット
であることを特徴とする請求項１１に記載のトラッキン
グ機構。13. The tracking mechanism according to claim 11, wherein said tracking marker is a recording bit. 【請求項１４】前記記録ビットを線状に並べ、直線状の
形状を有するトラッキングマーカーを形成したことを特
徴とする請求項１３に記載のトラッキング機構。14. The tracking mechanism according to claim 13, wherein said recording bits are linearly arranged to form a tracking marker having a linear shape. 【請求項１５】前記トラッキングマーカーが、前記トラ
ッキングプローブを用いて形成されることを特徴とする
トラッキング機構。15. A tracking mechanism, wherein the tracking marker is formed using the tracking probe. 【請求項１６】前記制御信号出力手段は、前記トラッキ
ングプローブによるトラッキングマーカーの有無の検出
に基づく出力に応じた制御信号を出力する信号検出手段
と、 前記信号検出手段の出力を、前記トラッキングプローブ
のトラッキング目標からの位置に応じて演算する演算手
段と、を有することを特徴とする請求項１１に記載の記
録再生装置のトラッキング機構。16. A control signal output means for outputting a control signal corresponding to an output based on detection of the presence or absence of a tracking marker by the tracking probe, and an output of the signal detection means, 12. The tracking mechanism of the recording / reproducing apparatus according to claim 11, further comprising: an operation unit that performs an operation in accordance with a position from a tracking target. 【請求項１７】前記信号検出手段からの出力信号に対し
て、前記トラッキングプローブのトラッキング目標から
の位置に応じた符号をつけて、加算することを特徴とす
る請求項１６に記載の記録再生装置のトラッキング機
構。17. The recording / reproducing apparatus according to claim 16, wherein a code corresponding to a position of said tracking probe from a tracking target is added to an output signal from said signal detecting means and added. Tracking mechanism. 【請求項１８】前記信号検出手段からの出力信号に対し
て、前記トラッキングプローブのトラッキング目標から
の位置に応じた係数をかけた上で、加算することを特徴
とする請求項１６に記載の記録再生装置のトラッキング
機構。18. The recording according to claim 16, wherein an output signal from said signal detecting means is multiplied by a coefficient corresponding to a position of said tracking probe from a tracking target, and then added. The tracking mechanism of the playback device. 【請求項１９】前記制御信号出力手段は、過去の信号の
履歴を積分する積分手段と、信号を増幅し制御信号とし
て出力する増幅手段とを有することを特徴とする請求項
１１に記載の記録再生装置のトラッキング機構。19. The recording apparatus according to claim 11, wherein said control signal output means includes an integrating means for integrating a history of past signals, and an amplifying means for amplifying the signal and outputting it as a control signal. The tracking mechanism of the playback device. 【請求項２０】請求項１から請求項１０のいずれか１項
に記載の記録再生装置の位置決め機構によって、トラッ
キング機構を兼ねるように構成したことを特徴とする記
録再生装置における位置決め機構兼用のトラッキング機
構。20. A recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein the positioning mechanism of the recording / reproducing apparatus also serves as a tracking mechanism. mechanism.