JP2000074171A - アクチュエ―タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】アクチュエータの送りねじに潤滑油が不要とな
り、塵埃等が減少し、騒音が小さいとともに、安定して
ワーク等を搬送することが可能なアクチュエータを提供
する。 【解決手段】送りねじ３６には２条の螺旋状の雄ねじ部
５８ａ、５８ｂが形成される。雄ねじ部５８ａ、５８ｂ
の山部には磁極６０ａ、６０ｂが形成され、谷部には磁
極６２ａ、６２ｂが形成される。変位部材６６には雌ね
じ部６８ａ、６８ｂが形成される。雌ねじ部６８ａ、６
８ｂの谷部には磁極７０ａ、７０ｂが形成され、山部に
は磁極７２ａ、７２ｂが形成される。このため、送りね
じ３６の磁極６０ａ、６０ｂ、６２ａ、６２ｂと変位部
材６６の磁極７０ａ、７０ｂ、７２ａ、７２ｂとが反発
して送りねじ３６と変位部材６６とは非接触に保持され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回転駆動源による
回転運動を直線運動に変換し、前記直線運動の作用下に
スライダが変位するアクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ワーク等を搬送する駆動源と
して、送りねじを用いたアクチュエータが使用されてい
る。このアクチュエータ１０は、例えば、図２３に示す
ように、モータ１２の回転軸にボールねじ１６が設けら
れ、該ボールねじ１６には変位部材１８が螺合する。該
変位部材１８にはフレーム２０のガイド部２２が係合し
て当該変位部材１８の回転が阻止される。前記モータ１
２が付勢されると、前記ボールねじ１６の回転運動は変
位部材１８によって直線運動に変換され、変位部材１８
はガイド部２２に沿って変位する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術に係るアクチュエータ１０では、ボールねじ１
６に付着している潤滑油等が飛散して作業環境を汚染す
る懸念がある。このため、このようなアクチュエータ１
０を、例えば、半導体製品の製造工程に使用されるクリ
ーンルーム等の、塵埃等を嫌う環境に使用することがで
きないという問題がある。また、このアクチュエータ１
０では、ボールねじ１６と変位部材１８とが摺動する際
に騒音が発生するという欠点が指摘されている。

【０００４】また、特開平５−１７６４９６号公報に
は、送りねじに螺旋状の磁性体を設け、この磁性体が移
動体に設けた磁石を引きつけることにより、送りねじと
移動体とが非接触で保持されるとともに、送りねじの回
転にともなって移動体が直線往復移動するように構成さ
れた回転直線変換機構が開示されている。

【０００５】ところが、この回転直線変換機構では、送
りねじと移動体とが磁力により引きつけられているだけ
で、機械的な結合がないため、送りねじの磁性体と移動
体の磁石との結合が外れやすく、安定した搬送作用を営
むことができないという問題がある。

【０００６】本発明は前記の課題を解決すべくなされた
ものであって、アクチュエータの送りねじに潤滑油が不
要となり、塵埃等が減少し、騒音が小さいとともに、安
定してワーク等を搬送することが可能なアクチュエータ
を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、回転駆動源による回転運動を直線運動
に変換し、前記直線運動の作用下にスライダが変位する
アクチュエータにおいて、雄ねじ部が形成され、前記回
転駆動源により回転する送りねじと、前記雄ねじ部に螺
合する雌ねじ部が形成され、前記送りねじの回転運動を
直線運動に変換する変位部材と、前記雄ねじ部に形成さ
れた磁極と、前記雌ねじ部に形成され、前記雄ねじ部の
磁極に対向するとともに、該雄ねじ部の磁極と同一のパ
ターンからなる磁極と、を備え、前記送りねじと前記変
位部材とは、それぞれの磁極が互いに反発することによ
って互いに非接触状態に保持されることを特徴とする。

【０００８】本発明によれば、送りねじと変位部材との
間に摩耗が生じることがないため、潤滑油が不要となる
とともに塵埃等の発生が減少し、騒音も小さくなる。

【０００９】この場合、前記雄ねじ部および前記雌ねじ
部のそれぞれの磁極が、該雄ねじ部および雌ねじ部の山
部および（または）谷部に沿って螺旋状に形成される
と、送りねじの回転運動を非接触で直線運動に変換して
変位部材に伝達することができ、好適である。

【００１０】また、この場合、前記送りねじおよび前記
変位部材がチューブによって囲繞され、前記変位部材の
外周部と前記スライダの内周部とは前記チューブを介し
て対向し、前記変位部材および前記スライダのそれぞれ
の対向面には互いに引き合う同一のパターンからなる磁
極が形成されると、塵埃等が送りねじに付着することが
防止され、好ましい。

【００１１】さらに、この場合、前記変位部材および前
記スライダが、前記チューブを介してそれぞれが互いに
係合可能なスプライン状や、断面四角形状または断面楕
円形状に形成されると、変位部材の軸線回りの回転を阻
止することができ、好ましい。

【００１２】また、前記変位部材にはＴ字状溝部が形成
され、一方、前記変位部材に対向する前記スライダには
前記チューブを介して前記Ｔ字状溝部に係合可能なＴ字
状凸部が形成されてもよい。

【００１３】さらにまた、この場合、前記変位部材の磁
極が、周方向に所定間隔離間し軸線方向に沿って平行に
形成された複数の駆動側磁気パターンと、軸線方向に所
定間隔離間し周方向に沿って平行に形成された複数の駆
動側磁気パターンと、を有し、一方、前記スライダの磁
極が、前記軸線方向に沿った駆動側磁気パターンおよび
前記周方向に沿った駆動側磁気パターンに対応する軸線
方向に沿って平行に形成された複数の受動側磁気パター
ンおよび周方向に沿って平行に形成された複数の受動側
磁気パターンを有すると、変位部材の直線運動をチュー
ブを介してスライダに伝達することができ、好適であ
る。

【００１４】この場合、前記変位部材の磁極が軸線方向
および周方向に所定間隔離間して配置された複数の駆動
側磁気パターンであり、一方、前記スライダの磁極が前
記駆動側磁気パターンに対応し、軸線方向および周方向
に所定間隔離間して配置された複数の受動側磁気パター
ンであってもよい。

【００１５】あるいは、前記変位部材の磁極が軸線方向
に対して傾斜する方向に所定間隔離間して配置された複
数の駆動側磁気パターンであり、一方、前記スライダの
磁極が前記駆動側磁気パターンに対応し、軸線方向に対
して傾斜する方向に所定間隔離間して配置された複数の
受動側磁気パターンであってもよく、また、前記変位部
材の磁極が軸線方向に対して傾斜する方向に延在する駆
動側磁気パターンであり、一方、前記スライダの磁極が
前記駆動側磁気パターンに対応し、軸線方向に対して傾
斜する方向に延在する受動側磁気パターンであってもよ
い。

【００１６】また、この場合、前記スライダに、前記チ
ューブに当接し、多孔質体、繊維状体、不織布体または
スポンジ体のいずれかにより形成された給油部材が設け
られると、該給油部材は前記チューブに潤滑油を供給す
るとともに、前記チューブに付着した塵埃等を吸着する
ことができ、好ましい。

【００１７】また、この場合、前記磁極がネオジウム、
鉄、磁性体を含有する樹脂、あるいは電磁石により形成
されていてもよい。

【００１８】さらに、この場合、前記送りねじが前記回
転駆動源の回転軸と一体的に形成されると、アクチュエ
ータを構成する部品点数を減少させることができ、好適
である。

【００１９】さらにまた、この場合、前記回転駆動源の
回転軸の端部に形成され、回転方向に沿って極性の異な
る磁極が交互に形成された第１磁極部と、前記送りねじ
の端部に形成され、前記回転方向に沿って極性の異なる
磁極が交互に形成された第２磁極部と、を備え、前記第
１磁極部および前記第２磁極部が互いに非接触状態で、
且つ、近接して配設されると、前記送りねじと前記回転
軸とを離間させることができ、しかも、回転軸の回転運
動を送りねじに伝達することができ、好ましい。

【００２０】さらに、前記回転駆動源がＡＣサーボモー
タであると、このアクチュエータを高精度に制御するこ
とができ、一層好ましい。

【００２１】

【発明の実施の形態】本発明に係るアクチュエータにつ
いて、好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しな
がら以下詳細に説明する。

【００２２】図１において、参照符号３０は、本発明の
第１の実施の形態に係るアクチュエータを示す。このア
クチュエータ３０は、基本的には、回転駆動源であるＡ
Ｃサーボモータ３２が配設されたベース部材３４と、Ａ
Ｃサーボモータ３２の回転軸３５に一体的に形成された
送りねじ３６と、送りねじ３６と平行に設けられたガイ
ドシャフト３８ａ、３８ｂと、送りねじ３６、ガイドシ
ャフト３８ａ、３８ｂの端部が固着された支持部材４０
と、送りねじ３６およびガイドシャフト３８ａ、３８ｂ
の長手方向に沿って変位する変位機構４２とを備える。

【００２３】ＡＣサーボモータ３２の筐体４６および支
持部材４０には回転軸３５、送りねじ３６が軸支される
ベアリング４８ａ乃至４８ｃが設けられる。回転軸３５
には複数の磁石５０が固着され、磁石５０の外周には筐
体４６の内部に設けられた複数の固定子巻線５２が配設
される。回転軸３５にはエンコーダ５４が設けられる。

【００２４】送りねじ３６はネオジウム、鉄の如き磁性
材料で形成され、送りねじ３６には、図２に示すよう
に、２条の螺旋状の雄ねじ部５８ａ、５８ｂが形成さ
れ、一方の雄ねじ部５８ａの山部にはＮ極の磁極６０ａ
が形成され、他方の雄ねじ部５８ｂの山部にはＳ極の磁
極６０ｂが形成される。雄ねじ部５８ａと雄ねじ部５８
ｂとの間の谷部にはＮ極およびＳ極の磁極６２ａ、６２
ｂが形成される。

【００２５】送りねじ３６はスプライン状に形成された
チューブ６４により囲繞され（図３参照）、チューブ６
４の両端はＡＣサーボモータ３２の筐体４６および支持
部材４０によって支持される（図１参照）。チューブ６
４の端部にはシール部材６５ａ、６５ｂが設けられ、こ
のため、チューブ６４の内部は気密に保持される。チュ
ーブ６４の内部には変位機構４２を構成し送りねじ３６
に螺合する変位部材６６が設けられる。変位部材６６は
ネオジウム、鉄の如き磁性材料で形成される。変位部材
６６の外周はチューブ６４の内壁に沿ってスプライン状
に形成される（図３参照）。

【００２６】変位部材６６には、図２に示すように、雄
ねじ部５８ａ、５８ｂに螺合する雌ねじ部６８ａ、６８
ｂが形成される。Ｎ極の磁極６０ａに対向する雌ねじ部
６８ａの谷部にはＮ極の磁極７０ａが形成され、一方、
Ｓ極の磁極６０ｂに対向する雌ねじ部６８ｂの谷部には
Ｓ極の磁極７０ｂが形成される。また、雌ねじ部６８ａ
と雌ねじ部６８ｂとの間の山部には、Ｎ極の磁極６２ａ
に対向するＮ極の磁極７２ａと、Ｓ極の磁極６２ｂに対
向するＳ極の磁極７２ｂとが形成される。このため、変
位部材６６の磁極７０ａ、７０ｂ、７２ａ、７２ｂは送
りねじ３６の磁極６０ａ、６０ｂ、６２ａ、６２ｂと反
発し、変位部材６６と送りねじ３６とが非接触に保持さ
れる。変位部材６６の外周にはＮ極およびＳ極の磁極７
４ａ、７４ｂが所定間隔毎に交互に形成される。

【００２７】チューブ６４の外部には変位部材６６に近
接して変位機構４２を構成するスライダ８０が設けら
れ、スライダ８０の内周はチューブ６４の外壁に沿って
スプライン状に形成される（図３参照）。スライダ８０
はネオジウム、鉄の如き磁性材料で形成される。スライ
ダ８０の内周には変位部材６６のＮ極の磁極７４ａに対
向してＳ極の磁極８２ａが形成され、また、Ｓ極の磁極
７４ｂに対向してＮ極の磁極８２ｂが形成される。従っ
て、磁極７４ａ、７４ｂと磁極８２ａ、８２ｂとはチュ
ーブ６４を介して互いに引き合う。

【００２８】スライダ８０にはブシュ８４ａ、８４ｂが
設けられ、ブシュ８４ａ、８４ｂにはガイドシャフト３
８ａ、３８ｂが挿通する（図１参照）。このため、スラ
イダ８０はガイドシャフト３８ａ、３８ｂによって支持
され、スライダ８０の内壁はチューブ６４の外壁から若
干離間して保持される。

【００２９】第１の実施の形態に係るアクチュエータ３
０は、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作について説明する。

【００３０】図示しない制御装置からアクチュエータ３
０のＡＣサーボモータ３２に駆動信号が送られると、回
転軸３５が送りねじ３６とともに回転する。この回転運
動は変位部材６６に伝達され、変位部材６６が送りねじ
３６とともに回転しようとするが、スプライン状の変位
部材６６がチューブ６４に係合することによって回転が
阻止される（図３参照）。このため、送りねじ３６の回
転運動は直線運動に変換されて変位部材６６に伝達さ
れ、変位部材６６が矢印ＡまたはＢ方向に変位する。

【００３１】変位部材６６が変位すると、変位部材６６
の磁極７４ａ、７４ｂはチューブ６４を介してスライダ
８０の磁極８２ａ、８２ｂを引きつけ、変位部材６６の
変位にともなってスライダ８０が矢印Ａ、Ｂ方向に変位
する。このため、図示しないワークがスライダ８０によ
って搬送される。

【００３２】このアクチュエータ３０では、図２に示す
ように、変位部材６６の磁極７０ａ、７０ｂ、７２ａ、
７２ｂは送りねじ３６の磁極６０ａ、６０ｂ、６２ａ、
６２ｂと反発し、変位部材６６と送りねじ３６とは非接
触に保持され、送りねじ３６と変位部材６６との間に摩
耗が生じることがないため、潤滑油が不要となるととも
に塵埃等や騒音の発生も減少する。従って、このアクチ
ュエータ３０の寿命が長くなり、メンテナンス等の作業
も減少する。また、送りねじ３６がチューブ６４に囲繞
されているため、塵埃等が送りねじ３６に付着すること
が防止される。また、雄ねじ部５８ａ、５８ｂと雌ねじ
部６８ａ、６８ｂとが螺合して機械的に結合されている
ため、安定した搬送作用を営むことができる。

【００３３】第１の実施の形態に係るアクチュエータ３
０では、チューブ６４、変位部材６６の外周およびスラ
イダ８０の内周はスプライン状に形成されているが、図
４に示す第２の実施の形態に係るアクチュエータ８５の
ように、断面正方形状や、図５に示す第３の実施の形態
に係るアクチュエータ８６のように断面楕円形状に形成
してもよい。あるいは、図６に示す第４の実施の形態に
係るアクチュエータ８８のように、チューブ６４、変位
部材６６の外周およびスライダ８０の内周を断面長方形
状に形成し、変位部材６６の短辺側にＴ字状溝部９０
ａ、９０ｂを形成し、チューブ６４をこのＴ字状溝部９
０ａ、９０ｂに沿って形成し、スライダ８０にＴ字状溝
部９０ａ、９０ｂに嵌合するＴ字状凸部９２ａ、９２ｂ
を形成するようにしてもよい。さらに、図７に示す第５
の実施の形態に係るアクチュエータ９３のように、チュ
ーブ６４、変位部材６６の外周およびスライダ８０の内
周を断面正方形状に形成し、それぞれの辺にＴ字状溝部
９４ａ乃至９４ｄ、Ｔ字状凸部９６ａ乃至９６ｄを形成
してもよい。

【００３４】また、送りねじ３６、変位部材６６および
スライダ８０の磁極６０ａ、６０ｂ、６２ａ、６２ｂ、
７０ａ、７０ｂ、７２ａ、７２ｂ、７４ａ、７４ｂ、８
２ａ、８２ｂを、磁性体を含有する樹脂、あるいは、電
磁石により形成することも可能である。

【００３５】次に、第６の実施の形態に係るアクチュエ
ータ１００について、図８および図９を参照して説明す
る。なお、第１の実施の形態に係るアクチュエータ３０
と同一の構成要素には同一の参照数字を付し、その詳細
な説明を省略する。以下、他の実施の形態についても同
様である。

【００３６】このアクチュエータ１００は、長尺状に形
成されたケーシング１０２と、ケーシング１０２の一端
側に配設された回転駆動源であるＡＣサーボモータ３２
と、ＡＣサーボモータ３２によって回転する送りねじ３
６と、送りねじ３６を囲繞するチューブ１０４と、送り
ねじ３６によってケーシング１０２の長手方向に変位す
る変位機構１０６とを備える。

【００３７】ケーシング１０２は、図９に示すように、
アクチュエータ１００の下部に配設されたベース部材１
０８と、アクチュエータ１００の両側部に配設されたサ
イドフレーム１１０ａ、１１０ｂとを有する。ベース部
材１０８には継手１１２が設けられ、該継手１１２を介
して前記ケーシング１０２の内部と外部とが連通する。
ベース部材１０８の上部にはその長手方向に沿ってレー
ル部材１５０が固着される。ベース部材１０８の一端側
には、図８に示すように、板状部材１１４を介してＡＣ
サーボモータ３２の筐体４６が固着される。このアクチ
ュエータ１００には、図示しないが、変位機構１０６が
所定の位置に変位したときに信号を出力する位置検出ス
イッチが設けられる。位置検出スイッチ、固定子巻線５
２およびエンコーダ５４はベース部材１０８の下部のコ
ネクタ１１８ａ乃至１１８ｃに接続される。

【００３８】ベース部材１０８の端部にはエンドプレー
ト１２０が固着され、また、エンドプレート１２０およ
び筐体４６によって送りねじ３６が回転自在に軸支され
るとともに、チューブ１０４の両端が支持される。

【００３９】送りねじ３６は変位機構１０６を構成する
変位部材１２６に挿通する。変位部材１２６は、図１０
および図１１に示すように、ネオジウム、鉄の如き磁性
材料によって略筒状に形成され、その内部には送りねじ
３６の雄ねじ部５８ａ、５８ｂが螺合する雌ねじ部６８
ａ、６８ｂが形成される。雄ねじ部５８ａ、５８ｂに
は、第１の実施の形態と同様に、磁極６０ａ、６０ｂ、
６２ａ、６２ｂが形成され（図２参照）、一方、雌ねじ
部６８ａ、６８ｂには磁極６０ａ、６０ｂ、６２ａ、６
２ｂと反発する磁極７０ａ、７０ｂ、７２ａ、７２ｂが
形成される。このため、送りねじ３６と変位部材１２６
とは非接触に保持される。

【００４０】変位部材１２６の一端側外周には軸線方向
に沿った複数の駆動側磁気パターン（磁極）１２８が突
出形成され、それぞれの駆動側磁気パターン１２８は互
いに周方向に所定間隔離間して配置される。一方、変位
部材１２６の他端側外周には周方向に沿った複数の駆動
側磁気パターン（磁極）１３０が突出形成され、それぞ
れの駆動側磁気パターン１３０は互いに軸線方向に所定
間隔離間して配置される。変位部材１２６の外周には、
磁力の漏れを防止するために、隣接する駆動側磁気パタ
ーン１２８の間隙にアルミニウム、銅の如き非磁性体で
形成された磁気シールド１３２が嵌合する（図１２、図
１３参照）。また、隣接する駆動側磁気パターン１３０
の間隙にも、同様に磁気シールド１３４が嵌合する（図
１１参照）。凸状の駆動側磁気パターン１２８、１３０
はチューブ１０４の内周から僅かに離間する。

【００４１】チューブ１０４の外周部には変位機構１０
６を構成するスライダ１３６がチューブ１０４の軸線方
向に変位自在に設けられる（図８参照）。スライダ１３
６の内周には、図１１乃至図１３に示すように、ネオジ
ウム、鉄の如き磁性材料、あるいは磁性体を含有する樹
脂により長尺に形成され軸線方向に沿った複数の磁石１
３８が周方向に所定間隔離間して固着され、また、リン
グ状に形成され周方向に沿った複数の磁石１３９が軸線
方向に所定間隔離間して固着される。それぞれの磁石１
３８、１３９は、変位部材１２６の軸線方向に沿った駆
動側磁気パターン１２８、周方向に沿った駆動側磁気パ
ターン１３０に対応して軸線方向に沿った受動側磁気パ
ターン（磁極）１４０、周方向に沿った受動側磁気パタ
ーン（磁極）１４２として形成される。それぞれの受動
側磁気パターン１４０、１４２を構成する磁石１３８、
１３９はＮ極とＳ極とが交互に配設される。スライダ１
３６の内周には、図１２、図１３に示すように、隣接す
る受動側磁気パターン１４０の間隙にアルミニウム、銅
の如き非磁性体で形成された磁気シールド１４４が嵌合
する。また、隣接する受動側磁気パターン１４２の間隙
にも、同様に磁気シールド１４６が嵌合する（図１１参
照）。

【００４２】スライダ１３６の下部には、図８および図
９に示すように、ガイドブロック１４８が固着され、ガ
イドブロック１４８は前記レール部材１５０に摺動自在
に係合する。このため、ガイドブロック１４８、レール
部材１５０によりガイド機構１５２が構成され、該ガイ
ド機構１５２がスライダ１３６の回転を防止する。スラ
イダ１３６の上部には板状のテーブル１５４が固着さ
れ、テーブル１５４はケーシング１０２の上部から外部
に突出する。テーブル１５４にはこのアクチュエータ１
００によって搬送されるワーク１５６が載置される。

【００４３】第６の実施の形態に係るアクチュエータ１
００は、基本的には以上のように構成されるものであ
り、次にその動作について説明する。

【００４４】図示しない制御装置からアクチュエータ１
００のＡＣサーボモータ３２に駆動信号が送られると、
ＡＣサーボモータ３２の回転軸３５が回転し、送りねじ
３６が回転する（図８参照）。このため、送りねじ３６
の回転にともなって変位部材１２６も回転しようとす
る。このとき、図１３に示すように、スライダ１３６に
設けられたＳ極の受動側磁気パターン１４０ａに対向し
ている駆動側磁気パターン１２８ａの表面にはＮ極が発
生し、隣接するＮ極の受動側磁気パターン１４０ｂに対
向している駆動側磁気パターン１２８ｂの表面にはＳ極
が発生する。従って、駆動側磁気パターン１２８ａは対
向する受動側磁気パターン１４０ａに引きつけられると
ともにこれに隣接する受動側磁気パターン１４０ｂに対
して反発し、駆動側磁気パターン１２８ｂは対向する受
動側磁気パターン１４０ｂに引きつけられるとともにこ
れに隣接する受動側磁気パターン１４０ａに対して反発
する。この結果、駆動側磁気パターン１２８ａは受動側
磁気パターン１４０ｂに対向する位置に変位することが
阻止される。また、スライダ１３６もガイド機構１５２
によってその回転が阻止され、結局、変位部材１２６の
回転が阻止される（図１２および図１３参照）。このた
め、変位部材１２６は送りねじ３６の回転運動を直線運
動に変換してアクチュエータ１００の長手方向に沿って
変位する。

【００４５】このとき、変位部材１２６の磁極７０ａ、
７０ｂ、７２ａ、７２ｂは送りねじ３６の磁極６０ａ、
６０ｂ、６２ａ、６２ｂと反発し、変位部材１２６と送
りねじ３６とは非接触に保持され、送りねじ３６と変位
部材１２６との間に摩耗が生じることがないため、潤滑
油が不要となるとともに塵埃等や騒音の発生も減少す
る。

【００４６】変位部材１２６が変位すると、駆動側磁気
パターン１３０が対向する受動側磁気パターン１４２を
構成する磁石１３９に引きつけられるとともに、これに
隣接する受動側磁気パターン１４２に対して反発され
る。従って、スライダ１３６は変位部材１２６の変位に
ともなってチューブ１０４に沿って変位する。以上のよ
うにして、テーブル１５４に載置されたワーク１５６は
スライダ１３６の変位作用下に搬送される。

【００４７】以上のように、第６の実施の形態に係るア
クチュエータ１００では、変位部材１２６とスライダ１
３６とに設けられ軸線方向に沿った駆動側磁気パターン
１２８、受動側磁気パターン１４０により周方向に極性
の異なる磁極が交互に形成されているため、変位部材１
２６とスライダ１３６とが互いに離間していても変位部
材１２６が送りねじ３６の回転にともなって回転してし
まうことが阻止され、該変位部材１２６によって送りね
じ３６の回転運動が直線運動に変換される。また、この
直線運動は周方向に沿った駆動側磁気パターン１３０と
受動側磁気パターン１４２とが互いに引き合うことによ
りスライダ１３６に伝達される。従って、送りねじ３６
をチューブ１０４によって囲繞することができ、アクチ
ュエータ１００が使用される作業環境中に送りねじ３６
の塵埃等が飛散することが防止され、作業環境を汚染す
る懸念が減少する。また、作業環境中の塵埃等が送りね
じ３６に付着することが防止される。

【００４８】第６の実施の形態では、スライダ１３６の
受動側磁気パターン１４０、１４２を磁石１３８により
形成し、変位部材１２６の駆動側磁気パターン１２８、
１３０は磁石１３８に引きつけられる磁性材料で形成し
たが、変位部材１２６の駆動側磁気パターン１２８、１
３０を磁石により形成し、スライダ１３６の受動側磁気
パターン１４０、１４２を磁性材料で形成してもよい。
また、変位部材１２６の駆動側磁気パターン１２８、１
３０と、スライダ１３６の受動側磁気パターン１４０、
１４２を全て磁石で形成するようにしてもよい。さら
に、この磁石は電磁石であってもよい。

【００４９】次に、第７の実施の形態に係るアクチュエ
ータ２００について、図１４を参照して説明する。

【００５０】このアクチュエータ２００の送りねじ３６
は変位部材２０２に挿通する。変位部材２０２の外周全
域には複数の駆動側磁気パターン（磁極）２０４が突出
形成され、それぞれの駆動側磁気パターン２０４は変位
部材２０２の軸線方向および周方向にそれぞれ所定間隔
離間して配置される。駆動側磁気パターン２０４はそれ
ぞれＮ極とＳ極とが隣接して配置される。それぞれの駆
動側磁気パターン２０４の間には非磁性体で形成された
磁気シールド２０６が設けられる。変位部材２０２はチ
ューブ１０４の内部に配設される。

【００５１】一方、スライダ２０８には駆動側磁気パタ
ーン２０４に対応する複数の受動側磁気パターン（磁
極）２１０が突出形成され、それぞれの受動側磁気パタ
ーン２１０は軸線方向および周方向に所定間隔離間して
配置される。受動側磁気パターン２１０はそれぞれＮ極
とＳ極とが隣接して配置される。それぞれの受動側磁気
パターン２１０の間には非磁性体で形成された磁気シー
ルド２１２が設けられる。

【００５２】駆動側磁気パターン２０４、受動側磁気パ
ターン２１０を形成する方法としては、変位部材２０
２、スライダ２０８に磁石を固着して形成し、または、
変位部材２０２、スライダ２０８を磁性材料で形成して
それぞれの磁気パターン２０４、２１０を磁化して形成
する等の方法がある。

【００５３】送りねじ３６の回転運動が変位部材２０２
に伝達されると、変位部材２０２が回転しようとする
が、駆動側磁気パターン２０４は対向する受動側磁気パ
ターン２１０に引きつけられ、また、駆動側磁気パター
ン２０４は、第６の実施の形態と同様に、対向している
受動側磁気パターン２１０の周方向に隣接する受動側磁
気パターン２１０と反発するために変位することが阻止
されて、変位部材２０２は周方向への回転が阻止され
る。従って、変位部材２０２は軸線方向にのみ変位す
る。

【００５４】このように変位部材２０２が軸線方向に変
位すると、軸線方向に配列された駆動側磁気パターン２
０４は対向する受動側磁気パターン２１０に引きつけら
れるとともに、これに隣接する受動側磁気パターン２１
０に対して反発され、スライダ２０８は変位部材２０２
の変位作用下に軸線方向に変位する。以上のようにして
スライダ２０８が変位する。

【００５５】この場合も、変位部材２０２の磁極７０
ａ、７０ｂ、７２ａ、７２ｂは、図２に示すように、送
りねじ３６の磁極６０ａ、６０ｂ、６２ａ、６２ｂと反
発し、変位部材２０２と送りねじ３６とは非接触に保持
されているため、送りねじ３６と変位部材２０２との間
に摩耗が生じることがなく、潤滑油が不要となるととも
に塵埃等や騒音の発生も減少する。

【００５６】第７の実施の形態に係るアクチュエータ２
００では、変位部材２０２とスライダ２０８とに設けら
れた駆動側磁気パターン２０４、受動側磁気パターン２
１０により周方向および軸線方向に極性の異なる磁極が
交互に形成されているため、変位部材２０２とスライダ
２０８とが互いに離間していても変位部材２０２が送り
ねじ３６の回転にともなって回転してしまうことが阻止
されて送りねじ３６の回転運動が直線運動に変換され、
この直線運動がスライダ２０８に伝達される。従って、
送りねじ３６をチューブ１０４によって囲繞することが
でき、アクチュエータ２００が使用される作業環境中に
送りねじ３６の塵埃等が飛散することが防止され、ま
た、送りねじ３６に塵埃等が付着することが防止され
る。

【００５７】次いで、図１５に基づいて、第８の実施の
形態に係るアクチュエータ２３０について説明する。

【００５８】このアクチュエータ２３０の変位部材２３
２の外周には複数の駆動側磁気パターン（磁極）２３４
が突出形成され、それぞれの駆動側磁気パターン２３４
は軸線方向および軸線方向に対して傾斜する方向に所定
間隔離間して配置される。すなわち、駆動側磁気パター
ン２３４は軸線に沿ってスパイラル状に並べて配設され
る。駆動側磁気パターン２３４はＮ極とＳ極とが交互に
配設され、それぞれの駆動側磁気パターン２３４の間に
は非磁性体で形成された磁気シールド２３６が設けられ
る。一方、スライダ２３８には前記駆動側磁気パターン
２３４に対応する複数の受動側磁気パターン（磁極）２
４０が突出形成され、それぞれの受動側磁気パターン２
４０は軸線方向および軸線方向に対して傾斜する方向に
所定間隔離間して配置される。受動側磁気パターン２４
０はＮ極とＳ極とが交互に配設され、それぞれの受動側
磁気パターン２４０の間には非磁性体で形成された磁気
シールド２４２が設けられる。

【００５９】このように形成される第８の実施の形態で
は、駆動側磁気パターン２３４は、第６の実施の形態と
同様に、対向する受動側磁気パターン２４０を引きつけ
る。一方、駆動側磁気パターン２３４は、対向する受動
側磁気パターン２４０に隣接する受動側磁気パターン２
４０と反発するため、変位部材２３２は送りねじ３６の
回転にともなって回転することが阻止され、変位部材２
３２が軸線方向に変位するとスライダ２３８は該変位部
材２３２の変位にともなって軸線方向にのみ変位する。

【００６０】このアクチュエータ２３０では、第１乃至
第７の実施の形態と同様に、変位部材２３２とスライダ
２３８とが離間していても、ボールねじ３６の回転運動
を変位部材２３２によって直線運動に変換してスライダ
２３８に伝達することができる。従って、送りねじ３６
をチューブ１０４によって囲繞することができ、アクチ
ュエータ２３０が使用される作業環境中に塵埃等が飛散
することが防止され、また、送りねじ３６に塵埃等が付
着することが防止される。

【００６１】次に、図１６に基づき、第９の実施の形態
に係るアクチュエータ２５０について説明する。

【００６２】このアクチュエータ２５０の変位部材２５
２には螺旋状に延在して複数の駆動側磁気パターン（磁
極）２５４が突出形成され、一方、スライダ２５６には
前記駆動側磁気パターン２５４に対応する複数の受動側
磁気パターン（磁極）２５８が螺旋状に延在して突出形
成される。隣接する駆動側磁気パターン２５４、受動側
磁気パターン２５８はそれぞれＮ極とＳ極とが交互に配
設される。また、それぞれの駆動側磁気パターン２５
４、受動側磁気パターン２５８の間隙には非磁性体で形
成された磁気シールド２６０、２６２が設けられる。

【００６３】このように形成される第９の実施の形態に
おいても、隣接する駆動側磁気パターン２５４は周方向
および軸線方向に所定間隔離間することになり、一方、
受動側磁気パターン２５８も周方向および軸線方向に所
定間隔離間することになるため、第６の実施の形態と同
様に、駆動側磁気パターン２５４は対向する受動側磁気
パターン２５８を引きつけ、一方、対向する前記受動側
磁気パターン２５８に隣接する受動側磁気パターン２５
８と反発し、変位部材２５２は送りねじ３６の回転にと
もなって回転することが阻止され、変位部材２５２が軸
線方向に変位するとスライダ２５６は該変位部材２５２
の変位にともなって軸線方向にのみ変位する。

【００６４】このように、変位部材２５２とスライダ２
５６とが離間していても、送りねじ３６の回転運動を変
位部材２５２によって直線運動に変換してスライダ２５
６に伝達することができる。従って、送りねじ３６をチ
ューブ１０４によって囲繞することができ、アクチュエ
ータ２５０が使用される作業環境中に送りねじ３６の塵
埃等が飛散することが防止され、また、送りねじ３６に
塵埃等が付着することが防止される。

【００６５】次に、第１０の実施の形態に係るアクチュ
エータ３００について、図１７を参照して説明する。

【００６６】このアクチュエータ３００は長尺なケーシ
ング３０２と、ケーシング３０２の一端側に設けられた
ＡＣサーボモータ（回転駆動源）３０４と、ＡＣサーボ
モータ３０４によって回転する送りねじ３０６と、送り
ねじ３０６を囲繞するチューブ３０８と、送りねじ３０
６によって変位する変位機構３１０とを備える。

【００６７】ケーシング３０２の外壁には、図１８に示
すように、このアクチュエータ３００を他の装置等に連
結するための略Ｔ字状の溝部３１４が複数画成される。
ケーシング３０２の底部には継手３１６が設けられ、継
手３１６を介してケーシング３０２の内部と外部とが連
通する。

【００６８】ＡＣサーボモータ３０４の回転軸３１８の
一端部には、図１９に示すように、チューブ３０８の端
部に接近する円盤部材３２０が形成され、円盤部材３２
０には第１磁極部を構成する複数の磁石３２２が固着さ
れる。磁石３２２は、図２０に示すように、周方向にＮ
極とＳ極とが交互に配置される。

【００６９】前記チューブ３０８の両端側は閉蓋され、
該チューブ３０８の内部に設けられた送りねじ３０６は
チューブ３０８の外部から隔離される（図１７参照）。
前記送りねじ３０６はベアリング３２４ａ乃至３２４ｃ
によって軸支され、送りねじ３０６の端部にはＡＣサー
ボモータ３０４の円盤部材３２０に対向して円盤部材３
２６が形成される。円盤部材３２６には第２磁極部を構
成する複数の磁石３２８が固着され、磁石３２８は周方
向にＮ極とＳ極が交互に配置される。

【００７０】送りねじ３０６の雄ねじ部５８ａ、５８ｂ
には、第１の実施の形態に係るアクチュエータ３０と同
様に、変位部材１２６の雌ねじ部６８ａ、６８ｂが螺合
し、雄ねじ部５８ａ、５８ｂと雌ねじ部６８ａ、６８ｂ
には互いに反発する磁極６０ａ、６０ｂおよび磁極７０
ａ、７０ｂが形成され、このため、送りねじ３０６と変
位部材１２６とは非接触に保持される（図２参照）。ま
た、チューブ３０８の外周には変位機構３１０を構成す
るスライダ１３６が摺動自在に設けられる。スライダ１
３６にはガイドブロック３３０が固着され、ガイドブロ
ック３３０、ケーシング３０２には、図１８に示すよう
に、互いに対向する面に複数のボール溝３３２、３３４
が形成され、ボール溝３３２、３３４には複数のボール
部材３３６が転動自在に係合する。このため、ガイドブ
ロック３３０はボール部材３３６を介してケーシング３
０２に変位自在に支持される。

【００７１】スライダ１３６の端部にはチューブ３０８
の外周に当接し、多孔質体、繊維状体、不織布体または
スポンジ体の如き材料で形成された給油部材３３８ａ、
３３８ｂが設けられ、給油部材３３８ａ、３３８ｂには
潤滑油が含まれる。

【００７２】ガイドブロック３３０の上部には突部３４
０ａ、３４０ｂが形成され（図１８参照）、突部３４０
ａ、３４０ｂはケーシング３０２に画成されたスリット
３４２ａ、３４２ｂから外部に突出する。突部３４０
ａ、３４０ｂの変位方向両端部は、図２１に示すよう
に、くさび状に形成される。スリット３４２ａ、３４２
ｂを形成する壁部にはそれぞれ一対のシール部材３４４
ａ乃至３４４ｄが設けられ、該シール部材３４４ａ乃至
３４４ｄの縁部が突部３４０ａ、３４０ｂの側壁部に当
接することにより、スリット３４２ａ、３４２ｂから塵
埃等がアクチュエータ３００に侵入することや、塵埃等
がアクチュエータ３００から外部に飛散することを阻止
する。突部３４０ａ、３４０ｂにはテーブル３４６が固
着され、テーブル３４６には図示しないワークが載置可
能に形成される。

【００７３】第１０の実施の形態に係るアクチュエータ
３００は、基本的には以上のように構成され、次に、そ
の動作について説明する。

【００７４】アクチュエータ３００の継手３１６には図
示しない真空吸引源が接続され、真空吸引源が付勢され
ると、アクチュエータ３００の内部の空気が真空吸引源
に吸引される。このため、アクチュエータ３００の内部
の塵埃等がスリット３４２ａ、３４２ｂを通して外部に
飛散することが防止される。

【００７５】ＡＣサーボモータ３０４が付勢されると、
回転軸３１８とともに円盤部材３２０が回転する（図１
７参照）。この回転運動は、円盤部材３２０の磁石３２
２と送りねじ３０６の円盤部材３２６に固着された磁石
３２８とが互いに引き合い、あるいは反発し合うことに
より、送りねじ３０６に伝達される（図１９参照）。

【００７６】送りねじ３０６が回転すると、変位部材１
２６が送りねじ３０６とともに回転しようとするが、第
６の実施の形態と同様に、変位部材１２６の駆動側磁気
パターン１２８が対向するスライダ１３６の受動側磁気
パターン１４０と互いに磁気的に引き合い、これに隣接
する受動側磁気パターン１４０と反発することにより、
変位部材１２６の回転が阻止される。このため、変位部
材１２６は送りねじ３０６の回転運動を直線運動に変換
して軸線方向にのみ変位する。そして、変位部材１２６
の変位にともなってスライダ１３６が軸線方向に変位
し、テーブル３４６に載置されたワーク（図示せず）が
搬送される。

【００７７】このとき、給油部材３３８ａ、３３８ｂに
よって潤滑油がチューブ３０８の表面に塗布されるた
め、スライダ１３６はチューブ３０８の外周を円滑に摺
動する。また、給油部材３３８ａ、３３８ｂはチューブ
３０８の外周に付着した塵埃等を吸着するため、この塵
埃等によってスライダ１３６等の動作に支障を来す懸念
が払拭される。さらに、給油部材３３８ａ、３３８ｂは
チューブ３０８の外周の余分な潤滑油を吸着する作用を
営む。

【００７８】第１０の実施の形態では、送りねじ３０６
がチューブ３０８によって完全に囲繞されているため、
送りねじ３０６から塵埃等がアクチュエータ３００の外
部に飛散することが防止され、また、送りねじ３０６に
塵埃等が付着することも防止される。

【００７９】また、第１０の実施の形態では、ＡＣサー
ボモータ３０４の円盤部材３２０に複数の磁石３２２が
固着され、一方、送りねじ３０６の円盤部材３２６にも
複数の磁石３２８が固着されているが、図２２に示す第
１１の実施の形態に係るアクチュエータ３４８のよう
に、ＡＣサーボモータ３０４、送りねじ３０６のそれぞ
れの円盤部材３５０、３５２の表面に互いに対向する複
数の突部３５４、３５６を形成し、それぞれの突部３５
４、３５６をＮ極とＳ極とに交互に磁化し、且つ、それ
らの間に磁気シールド３５８を設けるようにしてもよ
い。

【００８０】

【発明の効果】本発明に係るアクチュエータによれば、
以下のような効果ならびに利点が得られる。

【００８１】変位部材の磁極は送りねじの磁極と反発
し、変位部材と送りねじとは互いに非接触に保持される
ため、送りねじと変位部材との間に摩耗が生じることが
なく、潤滑油が不要となるとともに塵埃等や騒音の発生
も減少する。従って、このアクチュエータの寿命が長く
なり、メンテナンス等の作業も減少する。

【００８２】また、雄ねじ部と雌ねじ部とが螺合して機
械的に結合されているため、このアクチュエータによっ
て安定した搬送作用を営むことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るアクチュエー
タの概略縦断面図である。

【図２】図１に示すアクチュエータの一部拡大縦断面図
である。

【図３】図１に示すアクチュエータのＩＩＩ−ＩＩＩ線
断面図である。

【図４】本発明の第２の実施の形態に係るアクチュエー
タの概略縦断面図である。

【図５】本発明の第３の実施の形態に係るアクチュエー
タの概略縦断面図である。

【図６】本発明の第４の実施の形態に係るアクチュエー
タの概略縦断面図である。

【図７】本発明の第５の実施の形態に係るアクチュエー
タの概略縦断面図である。

【図８】本発明の第６の実施の形態に係るアクチュエー
タの概略縦断面図である。

【図９】図８に示すアクチュエータのＩＸ−ＩＸ線断面
図である。

【図１０】図８に示すアクチュエータに使用される変位
部材の概略斜視図である。

【図１１】図８に示すアクチュエータの変位部材および
スライダの概略縦断面図である。

【図１２】図１１に示す変位部材およびスライダのＸＩ
Ｉ−ＸＩＩ線断面図である。

【図１３】図１２に示す変位部材およびスライダの磁束
を示す模式図である。

【図１４】本発明の第７の実施の形態に係るアクチュエ
ータの変位部材およびスライダの一部断面斜視図であ
る。

【図１５】本発明の第８の実施の形態に係るアクチュエ
ータの変位部材およびスライダの概略縦断面図である。

【図１６】本発明の第９の実施の形態に係るアクチュエ
ータの変位部材およびスライダの概略縦断面図である。

【図１７】本発明の第１０の実施の形態に係るアクチュ
エータの概略縦断面図である。

【図１８】図１７に示すアクチュエータのＸＶＩＩＩ−
ＸＶＩＩＩ線断面図である。

【図１９】図１７に示すアクチュエータの円盤部材の一
部拡大概略縦断面図である。

【図２０】図１９に示す円盤部材の概略正面図である。

【図２１】図１７に示すアクチュエータの突部の一部拡
大概略斜視図である。

【図２２】本発明の第１１の実施の形態に係るアクチュ
エータの円盤部材の一部拡大概略縦断面図である。

【図２３】従来技術に係るアクチュエータの概略斜視図
である。

【符号の説明】

３０、８５、８６、８８、９３、１００、２００、２３
０、２５０、３００、３４８…アクチュエータ ３２、３０４…ＡＣサーボモータ ３６、３０６…送り
ねじ ５０、１３８、１３９、３２２、３２８…磁石 ５８ａ、５８ｂ…雄ねじ部 ６０ａ、６０ｂ、６２ａ、６２ｂ、７０ａ、７０ｂ、７
２ａ、７２ｂ、７４ａ、７４ｂ、８２ａ、８２ｂ…磁極 ６４、１０４、３０８…チューブ ６６、１２６、２０２、２３２、２５２…変位部材 ６８ａ、６８ｂ…雌ねじ部 ８０、１３６、２０８、２３８、２５６…スライダ

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】回転駆動源による回転運動を直線運動に変
   換し、前記直線運動の作用下にスライダが変位するアク
   チュエータにおいて、 雄ねじ部が形成され、前記回転駆動源により回転する送
   りねじと、 前記雄ねじ部に螺合する雌ねじ部が形成され、前記送り
   ねじの回転運動を直線運動に変換する変位部材と、 前記雄ねじ部に形成された磁極と、 前記雌ねじ部に形成され、前記雄ねじ部の磁極に対向す
   るとともに、該雄ねじ部の磁極と同一のパターンからな
   る磁極と、 を備え、前記送りねじと前記変位部材とは、それぞれの
   磁極が互いに反発することによって互いに非接触状態に
   保持されることを特徴とするアクチュエータ。
2. 【請求項２】請求項１記載のアクチュエータにおいて、 前記雄ねじ部および前記雌ねじ部のそれぞれの磁極は、
   該雄ねじ部および雌ねじ部の山部および（または）谷部
   に沿って螺旋状に形成されることを特徴とするアクチュ
   エータ。
3. 【請求項３】請求項１または２記載のアクチュエータに
   おいて、 前記送りねじおよび前記変位部材はチューブによって囲
   繞され、前記変位部材の外周部と前記スライダの内周部
   とは前記チューブを介して対向し、前記変位部材および
   前記スライダのそれぞれの対向面には互いに引き合う同
   一のパターンからなる磁極が形成されることを特徴とす
   るアクチュエータ。
4. 【請求項４】請求項３記載のアクチュエータにおいて、 前記変位部材および前記スライダは、前記チューブを介
   してそれぞれが互いに係合可能なスプライン状に形成さ
   れることを特徴とするアクチュエータ。
5. 【請求項５】請求項３記載のアクチュエータにおいて、 前記変位部材および前記スライダは、前記チューブを介
   してそれぞれが互いに係合可能な断面四角形状に形成さ
   れることを特徴とするアクチュエータ。
6. 【請求項６】請求項３記載のアクチュエータにおいて、 前記変位部材および前記スライダは、前記チューブを介
   してそれぞれが互いに係合可能な断面楕円形状に形成さ
   れることを特徴とするアクチュエータ。
7. 【請求項７】請求項３記載のアクチュエータにおいて、 前記変位部材にはＴ字状溝部が形成され、一方、前記変
   位部材に対向する前記スライダには前記チューブを介し
   て前記Ｔ字状溝部に係合可能なＴ字状凸部が形成される
   ことを特徴とするアクチュエータ。
8. 【請求項８】請求項３記載のアクチュエータにおいて、 前記変位部材の磁極は、周方向に所定間隔離間し軸線方
   向に沿って平行に形成された複数の駆動側磁気パターン
   と、 軸線方向に所定間隔離間し周方向に沿って平行に形成さ
   れた複数の駆動側磁気パターンと、 を有し、一方、前記スライダの磁極は、前記軸線方向に
   沿った駆動側磁気パターンおよび前記周方向に沿った駆
   動側磁気パターンに対応する軸線方向に沿って平行に形
   成された複数の受動側磁気パターンおよび周方向に沿っ
   て平行に形成された複数の受動側磁気パターンを有する
   ことを特徴とするアクチュエータ。
9. 【請求項９】請求項３記載のアクチュエータにおいて、 前記変位部材の磁極は軸線方向および周方向に所定間隔
   離間して配置された複数の駆動側磁気パターンであり、
   一方、前記スライダの磁極は前記駆動側磁気パターンに
   対応し、軸線方向および周方向に所定間隔離間して配置
   された複数の受動側磁気パターンであることを特徴とす
   るアクチュエータ。
10. 【請求項１０】請求項３記載のアクチュエータにおい
    て、 前記変位部材の磁極は軸線方向に対して傾斜する方向に
    所定間隔離間して配置された複数の駆動側磁気パターン
    であり、一方、前記スライダの磁極は前記駆動側磁気パ
    ターンに対応し、軸線方向に対して傾斜する方向に所定
    間隔離間して配置された複数の受動側磁気パターンであ
    ることを特徴とするアクチュエータ。
11. 【請求項１１】請求項３記載のアクチュエータにおい
    て、 前記変位部材の磁極は軸線方向に対して傾斜する方向に
    延在する駆動側磁気パターンであり、一方、前記スライ
    ダの磁極は前記駆動側磁気パターンに対応し、軸線方向
    に対して傾斜する方向に延在する受動側磁気パターンで
    あることを特徴とするアクチュエータ。
12. 【請求項１２】請求項３記載のアクチュエータにおい
    て、 前記スライダには、前記チューブに当接し、多孔質体、
    繊維状体、不織布体またはスポンジ体のいずれかにより
    形成された給油部材が設けられ、該給油部材は前記チュ
    ーブに潤滑油を供給するとともに、前記チューブに付着
    した塵埃等を吸着することを特徴とするアクチュエー
    タ。
13. 【請求項１３】請求項１乃至１２のいずれか１項に記載
    のアクチュエータにおいて、 前記磁極はネオジウムまたは鉄により形成されることを
    特徴とするアクチュエータ。
14. 【請求項１４】請求項１乃至１２のいずれか１項に記載
    のアクチュエータにおいて、 前記磁極は磁性体を含有する樹脂により形成されること
    を特徴とするアクチュエータ。
15. 【請求項１５】請求項１乃至１２のいずれか１項に記載
    のアクチュエータにおいて、 前記磁極は電磁石により形成されることを特徴とするア
    クチュエータ。
16. 【請求項１６】請求項１乃至１５のいずれか１項に記載
    のアクチュエータにおいて、 前記送りねじは前記回転駆動源の回転軸と一体的に形成
    されることを特徴とするアクチュエータ。
17. 【請求項１７】請求項１乃至１５のいずれか１項に記載
    のアクチュエータにおいて、 前記回転駆動源の回転軸の端部に形成され、回転方向に
    沿って極性の異なる磁極が交互に形成された第１磁極部
    と、 前記送りねじの端部に形成され、前記回転方向に沿って
    極性の異なる磁極が交互に形成された第２磁極部と、 を備え、前記第１磁極部および前記第２磁極部が互いに
    非接触状態で、且つ、近接して配設されることを特徴と
    するアクチュエータ。
18. 【請求項１８】請求項１乃至１７のいずれか１項に記載
    のアクチュエータにおいて、 前記回転駆動源はＡＣサーボモータであることを特徴と
    するアクチュエータ。