JP2000066062A - 並列伝送モジュ―ル - Google Patents

並列伝送モジュ―ル

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JP2000066062A
JP2000066062A JP11258185A JP25818599A JP2000066062A JP 2000066062 A JP2000066062 A JP 2000066062A JP 11258185 A JP11258185 A JP 11258185A JP 25818599 A JP25818599 A JP 25818599A JP 2000066062 A JP2000066062 A JP 2000066062A
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JP
Japan
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optical fiber
optical
fiber array
guide pin
parallel transmission
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JP11258185A
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English (en)
Inventor
Toshiaki Kakii
俊昭 柿井
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Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
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Publication date
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  • Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 製造及び現地組立作業が容易で、コンパクト
で実装密度を大きくすることができ、光モジュール−光
ファイバアレイ間の光結合を良好に保つことが可能な並
列伝送モジュールを得ること。 【解決手段】 並列伝送モジュールに外付けされる光コ
ネクタをガイドピンを介して位置決めするガイドピン孔
と、並列伝送モジュールと光コネクタを結合させるクリ
ップを係止する係止面とを有する光ファイバアレイと光
モジュールとを直接光結合させること。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信に用いるた
めの、並列光伝送の送受信モジュールや光導波路モジュ
ール(光合分岐、光合分波、光スイッチなど)といった
光モジュールの片面又は両端に光ファイバアレイレセプ
タクルを有する巾広いレセプタクルタイプの並列伝送モ
ジュールの改良に関するものである。より詳細には、本
発明は、ガイドピンを挿入するガイドピン孔を光ファイ
バアレイ端面に設けることにより、光モジュール端に設
けられた光ファイバアレイと外付けされる光コネクタと
を精密位置決めできる、並列伝送モジュールの改良に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、図13に示されるように、モジュ
ール本体31から多心光ファイバテープ30が突き出て
おり、その先端に多心光コネクタ29が取り付けられて
いるピグテール型になっている。図13は、従来の並列
伝送モジュールを示す模式図であり、(イ)はピグテー
ル型、(ロ)はジャンバー型の並列伝送モジュールを示
す。図13に示されるように、モジュール本体31とし
て、LDやPDの送受信モジュールだけでなく、例えば
光導波路モジュール(光合分岐、光合分波、光スイッチ
など)の両端に取り付けられて、ジャンパー型になって
いるケースもある。いずれのケースも、モジュール本体
31に対して多心光ファイバテープ30が必ず付加して
おり、ピグテール型又はジャンパー型になっている。ま
た、一体型のケースもあるが、内部には光ファイバテー
プ部が必ず存在し、構成的にはピグテール型となってい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来、並列伝送モジュ
ール、特にピグテール型のものでは、光ファイバテープ
部のハンドリングが各製造工程で作業が難しい。特に、
光ファイバテープ被覆は樹脂から構成されており、耐熱
性に乏しく、光モジュールのハンダ固定や洗浄の際での
取扱いが難しい。また、光導波路モジュールに示される
ジャンパー型も同様に光ファイバテープ部のハンドリン
グが面倒であり、かつ小スペースに収納しようとする
と、光ファイバの曲げ半径を30mm以上確保する必要
があり、取付けスペースも大きくなる。本発明は、この
ような並列伝送モジュールのピグテール型、ジャンパー
型の問題点を克服する構成を提供するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者は上記課題につ
いて種々検討した結果、ガイドピンを挿入するガイドピ
ン孔を光ファイバアレイ端面に設けることにより、光モ
ジュール端に設けられた光ファイバアレイと外付けされ
る光コネクタとを精密位置決めできることを見出し、本
発明を完成するに至った。
【0005】即ち、本発明は: 光モジュールと、前記光モジュールと直接光結合さ
れた光ファイバアレイとからなる並列伝送モジュールに
おいて、前記光ファイバアレイは、前記並列伝送モジュ
ールに外付けされる光コネクタをガイドピンを介して位
置決めするガイドピン孔と、前記並列伝送モジュールと
前記光コネクタを結合させるクリップを係止する係止面
とを有する、並列伝送モジュールを提供する。また、 光ファイバアレイは、ガイドピンを位置決めするた
めのガイドピン溝と光ファイバを位置決めするための光
ファイバ溝とが加工された下プレートと、前記ガイドピ
ン溝及び光ファイバ溝の上部開口部分を塞ぐ上プレート
とが接合されてガイドピン孔及び光ファイバ孔が形成さ
れ、光ファイバは該光ファイバ孔に挿入固定される構成
をなし、且つ上下プレートは陽極接合又は直接接合によ
り接合されている点に特徴を有する。また、 光ファイバアレイは、ガイドピンを位置決めするた
めのガイドピン溝と光ファイバを位置決めするための光
ファイバ溝とが加工された下プレートと、前記ガイドピ
ン溝の上部開口部分を塞ぐ上プレートとが接合されてガ
イドピン孔が形成され、光ファイバは前記光ファイバ溝
内に加圧プレートにて加圧固定される構成をなし、且つ
上下プレートは陽極接合又は直接接合により接合されて
いる点に特徴を有する。また、 光ファイバアレイを構成する下プレートはシリコン
であり、上プレートはガラス、シリコン又はガラス薄膜
を形成したシリコンの何れかである点にも特徴を有す
る。また、
【0006】 光ファイバアレイの光ファイバは、1
部分又は全長にわたってハンダで固定されている点にも
特徴を有する。また、 金属スリーブを光ファイバアレイの外周に有してい
る点にも特徴を有する。また、 光ファイバアレイのガイドピン孔の1部が気密封止
されている点にも特徴を有する。また、 ガイドピン孔が光ファイバアレイの全長にわたって
貫通加工されていない点にも特徴を有する。また、 光ファイバアレイのガイドピン孔は貫通加工されて
おり、この貫通部はモジュールの気密封止領域の外側に
設けられている点にも特徴を有する。また、 (10) 光ファイバを固定している接着剤は、260℃×
10秒加熱においてガス発生量が重量比1%以下である
点にも特徴を有する。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に基づいて具
体的に説明する。図1は、本発明の並列伝送モジュール
の基本構成を示す概略図である。本発明の並列送モジ
ュールは、図1に示されるように、基本的に光ファイバ
アレイ5の片端がLDアレイ3、レンズアレイ4等から
なるモジュール光学系11と結合し、他端が外付けされ
る光コネクタ6と結合する構造となっている(請求項
1)。本発明の光ファイバアレイは、一部がケース1内
に収納されているのが典型的である。外付けされる光コ
ネクタとは、図1(d) に示されるクリップ13、例えば
板バネクリップで係止される。図1、2、5に示される
ように、本発明の光モジュール用光コネクタは、光モジ
ュール11と、光モジュールと直接光結合された光ファ
イバアレイ5と、光コネクタ6から基本的に構成される
並列伝送モジュールであって、光ファイバアレイ5が、
並列伝送モジュールに外付けされる光コネクタ6をガイ
ドピン18を介して位置決めするガイドピン孔14と、
並列伝送モジュールと光コネクタ6を結合させるクリッ
プ13を係止する係止面とを有する点に特徴を有する。
【0008】図1を更に説明する。図1(a)は、受・
発光素子と光ファイバアレイから構成される並列伝送モ
ジュールと外付けされる光コネクタを表し、光ファイバ
アレイ5と光コネクタ6は光ファイバアレイ結合ハウジ
ング機構、例えばプッシュプル式ハウジング8を介して
結合される。図1(b)は並列伝送モジュールと光コネ
クタ6との結合の代表例を示す概略図である。図1
(c)は光導波路、例えば1×8分岐の光導波路12と
両端に光ファイバアレイ5を備え、更に両端で光コネク
タ6と結合する並列伝送モジュールを示す概略図であ
る。図1(d)はクリップ13、例えば板ばねクリップ
で外付け光コネクタ6と結合させた並列伝送モジュール
を示す概略図である。
【0009】図2は、ガイドピン孔を有する光ファイバ
アレイの基本的構成を示す斜視図である。ガイドピン孔
14は、図10に示すように、両端から別々に加工され
ていてもよく、端部で2本でなくてもよい。図3は、上
下プレートで挟み込み、ハンダでシール固定した光ファ
イバアレイの例を示す横断面図である。3において、
光ファイバ15を上下プレート21、20で挟み込み、
ガラス接合用等のハンダ17でシール固定し、光ファイ
バアレイ5の気密封止を実現した例を示す(請求項
5)。また、ハンダの代わりに、低融点ガラス等を使用
してシール接着してもよい。ここで、光ファイバ15と
は、並列伝送モジュール内に挿入されるため、被覆を除
いた裸光ファイバを指し、被覆光ファイバは光ファイバ
テープ17が対応する。また、下プレート20に加工さ
れた溝を光ファイバ溝16’、ガイドピン溝14’と言
い、これらが上プレート21で接合されると夫々光ファ
イバ孔16、ガイドピン孔14と言う。
【0010】該光ファイバアレイとモジュール光学系と
の位置合わせは、図10に示されているように、ガイド
ピン18を用いても良いし、調心を行っても良い。ま
た、光ファイバアレイの固定には、接着剤で調心固定し
ても良い。図5(a) に示されるように、ハンダやYAG
溶接17’を用いてケース1に固定しても勿論構わな
い。
【0011】図10は、光ファイバアレイと光導波路、
例えば光導波路モジュールとをガイドピン18を用いて
結合した例を示す横断面図である。図10において、一
端に光ファイバアレイ(1心)5と他端に光ファイバア
レイ(4心)5と光導波路(1×4分岐タイプ)12を
ガイドピン18により結合した例を示し、両者の結合面
の固定は屈折率整合機能を有する接着剤26、例えば紫
外線硬化型接着剤で固定し、かつケース1と光ファイバ
アレイとの接合はハンダ又はYAG溶接17’により行
われ、光コネクタ結合用ガイドピン18の奥はシールさ
せることもできる。
【0012】図11は、光ファイバアレイとモジュール
光学系とが押圧材、例えばクリップ13で押圧固定され
ている例を示す模式図であり、(イ)はその平面図であ
り、(ロ)はその横断面図である。本発明でいうモジュ
ール光学系とは、図1(a) に示されるように、LDアレ
イ3、レンズアレイ4、PDアレイの送受信素子だけで
なく、図1(c) に示すように、光導波路12をも含むも
のである。図11に示すように、ケース1内部で光ファ
イバアレイ5とモジュール光学系11とをクリップ13
などで押圧固定すると、信頼性は更に向上する。
【0013】図6に示されるように、上プレート21は
ガイドピン溝14’が加工された下プレート20と接合
されてガイドピン孔14を形成しており、加圧プレート
22は光ファイバ5を加圧する形で光ファイバ上面より
光ファイバ5に固定されている(請求項3)。なお、加
圧プレート22のヤング率Eは、上下プレート21、2
0のヤング率と比較して同等以下の値であることが望ま
しい。その理由は、端面研磨時に加圧プレート22のヤ
ング率が小さいと研磨され易く、端面からこの部分が突
き出さない構造がとれる。さらに、光ファイバアレイ5
と並列伝送モジュールのケース1ともハンダや低融点ガ
ラス等を使用してシール固定され気密封止を実現する。
この場合に、光ファイバ5は、ハンダがつき易くするた
めにメタルコートしておくか、カーボンコートしておく
ことが信頼性を向上させる上で好ましい。
【0014】また、図12に示されるように、金属スリ
ーブ28を光ファイバアレイ5の外周に有していてもよ
い(請求項6)。金属スリーブ28と光ファイバアレイ
5との隙間にも、もちろんハンダ17が充填されてい
る。金属スリーブ28の形状は角型でも丸型でもよく、
モジュール光学系に合わせて設計すれば良い。金属スリ
ーブ28の材質は光ファイバアレイ5と熱膨張が比較的
等しいアンバーやコバールが良い。
【0015】特に、光ファイバ15はハンダ固定時に2
00℃以上の熱作用を受けるので、光ファイバ表面のク
ラックが急成長し光ファイバが破断し易くなるのを、カ
ーボンコートすると抑制できる。ハンダ17としては、
光ファイバを構成するガラスの接合に適するハンダが好
ましく、通常のPb−Sn系合金に、Zn、Sb、A
l、Ti、Si、Cu等の添加材を加えるものを挙げる
ことができる。その場合に、ハンダに対する上記添加材
の配合量はハンダ100重量部当たり0.01〜5重量
部、好ましくは0.05〜1.5重量部である。添加材
の配合量が0.01重量部未満の場合、ガラスに対する
充分な接着力が得られないし、また5重量部を越えて配
合しても、接着力が向上しないし、むしろハンダ自体の
性状を失う。
【0016】図4は、接着剤を用いずに、上下プレート
21、20を接合した光ファイバアレイ5を示す横断面
図である。上下プレート21、20は陽極接合又は直接
接合9のいずれで接合してもよく、これにより一体化
し、接合の信頼性が著しく向上できる(請求項2、
3)。図4に示されるように、陽極接合はシリコン又は
ジルコニアからなる下プレート20とパイレックスガラ
ス、アルミノ珪酸ガラス等のガラス、シリコン又はガラ
ス蒸着膜を有するシリコンからなる上プレート21を重
ね合わせ、約400℃、1000Vを印加して接合を行
うものである(請求項4)。また、直接接合またはそれ
らと同様の作用が得られるものなら、陽極接合、直接接
合に限らず、任意の方法が採用できる。直接接合とはシ
リコン表面を鏡面化して重ね合わせ、1,000℃以上
に加熱接合するとことを言う。
【0017】ガイドピン孔14を設けると、そのシール
が問題となるが、図5はガイドピン孔14と気密封止と
の構成例を示す横断面図である。即ち、図5(a)は、
ガイドピン18より奥側をハンダ等17’でシールする
例を示す模式図である(請求項7)。図5(b)は、ガ
イドピン孔14が貫通していない例を示す模式図である
(請求項8)。図5(c)は、ガイドピン孔14は貫通
し、かつケース1の外側に全て位置しているので、気密
封止と独立に取り扱える例を示す模式図である(請求項
9)。
【0018】図6は、加圧用窓23を設け、光ファイバ
15を独立した加圧プレート22で加圧固定した光ファ
イバアレイの構成例を示す斜視図である。図6におい
て、光ファイバアレイは上プレート21とは別に加圧プ
レート22を設け、上プレート21の加圧用窓23によ
り加圧プレート22を加圧し、下プレート20との隙間
をハンダ17で固定することによりシールする(請求項
3)。勿論、上下プレート21、20の接合は陽極接合
でも直接接合でもよい。
【0019】図7は、図6の変形例を示し、加圧用窓の
代わりにスリット状開口部23’を設けた例を示す斜視
図である。図7において、図6における窓部23の代わ
りにスリット状開口部23’を設け、加圧プレート22
で光ファイバ15を加圧固定した例を示す。なお、図
6、7において、ガイドピン孔14は中間までしか加工
せず、非貫通の状態にしておきガイドピン孔14のない
側からハンダ17を注入すると、ガイドピン孔14にハ
ンダ17が流れ込むことなく光ファイバ15を固定でき
る利点がある(請求項8)。
【0020】図8は、各種MFD変換した光ファイバア
レイの例(a)〜(d)(又はそれらの組合せ)を示す
模式図であり、これにより軸ずれの許容範囲が広くな
り、調整が楽になる。図8(a) は、光ファイバアレイ5
のモジュール光学系側のMFDが拡大している、いわゆ
る拡大MFD27を示す模式図である。図8(b) は、光
ファイバアレイ5のMFDを大きくし、光コネクタ6側
で変換させた例を示す模式図である。図8(c)は、G
I光ファイバ15’を一定長距離L(例えば0.8m
m)はなして同一基板にセットし、集光レンズ作用を付
加した例を示す模式図である。図8(d) は、2種類の光
ファイバの融着接続により光コネクタ内部でMFD一致
させた例を示す模式図である。
【0021】図9は、光ファイバアレイ5の端面に、
(イ)無反射コート24や(ロ)斜め研磨をして斜め角
度結合25をした例を示す模式図である。図9に示すよ
うに、光ファイバアレイ5の端面に、(イ)無反射コー
ト24や(ロ)斜め研磨をして斜め角度結合(例えば5
〜10°)25をしたタイプを示すが、該光コネクタと
しては複数のコネクタ6A、6Bを組合せてもよい。
【0022】光ファイバを固定する接着剤としては、耐
熱性の高い、例えば260℃×10秒の加熱でガス発生
量が重量比1%以下である接着剤、例えばエポキシ樹脂
接着剤が望ましい(請求項10)。
【0023】
【実施例】本発明は下記の実施例により具体的に説明す
るが、これらの記載は本発明の範囲を制限しない。単一
モードファイバ12心を用いて、V溝加工したシリコン
基板にガラスを陽極合して、図6に示す加圧プレート
タイプの加圧プレート22で光ファイバ15を加圧し、
ハンダ17を超音波注入して、全体をシールした。この
場合、光ファイバアレイの全長は約10mm、肉厚は
2.0mmである。光ファイバは全心1μm以下に位置
決めした。ガイドピン孔14は中間まで加工されてお
り、他部は接合シールされている。
【0024】図1に示されるように、LDアレイ3に対
しては、レンズアレイ4を介して調心位置決めしハンダ
でケース1に固定した。ケース1内には、光ファイバア
レイ5を駆動するIC2も合わせて気密封止されてい
る。なお、ケース1にハンダ固定し易くするために、光
ファイバアレイ5の外周には、図12に示されるよう
に、プレス加工した金属スリーブ28が形成されてお
り、その金属スリーブ28とケースとをハンダ又はYA
G溶接17’で固定している。図12に示されるよう
に、光ファイバアレイ5と金属スリーブ28との隙間に
もハンダ17が充填されている。金属スリーブ28はそ
の形状に制限はなく、角形又は丸型でも良くモジュール
に合わせて設計すれば良い。一部に張出部をつけてそこ
をハンダ又はYAG溶接するようにしても良い。
【0025】なお、金属スリーブ28は光ファイバアレ
イと熱膨張が比較的等しいアンバーかコバールが良い。
この光ファイバアレイに、多心光コネクタを結合し、こ
の結合部の損失を評価したところ、12心平均で約0.
35dBと実用上問題ないレベルであることが分かる。
光コネクタには、図1(a) に示されるように、プッシュ
−プル式ハウジング8を取り付けて簡単に操作できるよ
うにした。MFDを通常の9.5μmから18μmまで
拡大した光コネクタと光ファイバアレイについてテスト
したところ、損失は約0.20dBと向上すると共に、
着脱バラツキも±0.02dBと非常に安定した傾向を
示した。また、ハンダで光ファイバを固定しているの
で、無反射コートし易く、テストの結果、入=1.3μ
mに対して容易に30dB以上の反射特性が得られる。
【0026】
【発明の効果】 従来のピクテール型やジャンパー型
のモジュールをレセプタクル型のモジュールにすること
ができ、製造及び現地組立作業が著しく容易になった。
また、光ファイバテープを取り付ける必要がないので、
それだけコンパクト化もでき、実装密度も向上する。 クリップの結合力が、光ファイバアレイと外付けさ
れる光コネクタの間だけに働き、光モジュールに及ばな
いので、光モジュール−光ファイバアレイ間の光結合を
良好に保つことが可能である。 陽極接合又は直接接合を用いることにより、部品点
数を少なくし、かつ信頼性の高い組立が可能となる。 ガイドピン孔のシールも、陽極接合又は直接接合と
中間までの溝加工を組合せることにより容易に実現でき
る。
【0027】 加圧プレートを独立に設けることで
(図6参照)光ファイバが確実に光ファイバ(V)溝両
辺に接触でき、1μm以下の偏心を容易に達成できる。 図5(b) に示すように、ガイドピン孔を非貫通にす
ると、他端よりハンダ注入する時に、ガイドピン孔には
ハンダが流入しないので、作業が楽になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の並列伝送モジュールの基本構成を示す
概略図である。図1(a)は、受・発光素子と光ファイ
バアレイとの並列伝送モジュールと外付け光コネクタと
がプッシュ−プル式ハウジングを介して結合される構成
を示す模式図を表す。図1(b)は、並列伝送モジュー
ルと光コネクタとの結合の代表例を示す概略図である。
図1(c)は、光導波路と両端に光ファイバアレイ5を
備え、両端で光コネクタ6と結合する並列伝送モジュー
ルを示す概略図である。図1(d)は、クリップで外付
け光コネクタと結合させた並列伝送モジュールを示す概
略図である。
【図2】ガイドピンを有する光ファイバアレイの基本
的構成を示す斜視図である。
【図3】上下プレートで挟み込み、ハンダでシール固定
した光ファイバアレイの例を示す横断面図である。
【図4】接着剤を用いずに、上下プレートを接合した光
ファイバアレイを示す横断面図である。
【図5】ガイドピン孔と気密封止との構成例を示す横断
面図である。図5(a)は、ガイドピンより奥側をハン
ダ等でシールする例を示す模式図である。図5(b)
は、ガイドピン孔が貫通していない例を示す模式図であ
る。図5(c)は、ガイドピン孔は貫通し、かつケース
外側に全て位置していて、気密封止と独立に取り扱える
例を示す模式図である。
【図6】加圧用の窓を設けた、光ファイバを独立した加
圧プレートで加圧固定した光ファイバアレイの構成例を
示す斜視図である。
【図7】図6の変形例を示し、加圧用窓の代わりにスリ
ット状開口部を設けた例を示す斜視図である。
【図8】MFD変換した光ファイバアレイの例(a)〜
(d)を示す模式図である。図8(a)は、光ファイバ
アレイのモジュール側のMFDが拡大している例を示す
模式図である。図8(b)は、光ファイバアレイのMF
Dを大きくし、光コネクタ側で変換させた例を示す模式
図である。図8(c)は、GI光ファイバを一定長距離
はなして同一基板にセットし、集光レンズ作用を付加し
た例を示す模式図である。図8(d) は、2種類の光ファ
イバの融着接続により光コネクタ内部でMFD一致させ
た例を示す模式図である。
【図9】光ファイバアレイの端面に、(イ)無反射コー
トや(ロ)斜め研磨をして斜め角度結合をした例を示す
模式図である。
【図10】光ファイバアレイと光導波路とをガイドピン
を用いて結合した例を示す横断面図である。
【図11】光ファイバアレイとモジュール内部とが押圧
材で押圧固定されている例を示す模式図であり、(イ)
はその平面図であり、(ロ)はその横断面図である。
【図12】光コネクタとの結合を保持する金属スリーブ
を光ファバーアレイの外周に有する並列伝送モジュール
を示す概略図である。
【図13】従来の並列伝送モジュールを示す模式図であ
り、(イ)はピグテール型、(ロ)はジャンパー型の並
列伝送モジュールを示す。
【符号の説明】
1 ケース 2 IC 3 LDアレイ 4 レンズアレイ 5 光ファイバアレイ 6 光コネクタ 6A、6B 光コネクタ 7 光ファイバテープ 8 プッシュ−プル式ハウジング 9 陽極接合又は直接接合 11 モジュール光学系 12 光導波路 13 クリップ 14 ガイドピン孔 14’ガイドピン溝 15 光ファイバ 15’拡大MFD 16 光ファイバ孔 16’光ファイバ溝 17 ハンダ 17’ハンダ又はYAG溶接 18 ガイドピン 20 下プレート 21 上プレート 22 加圧プレート 23 加圧用窓 23’スリット状開口部 24 無反射コート 25 斜め角度結合 26 接着剤で固定 27 スリーブの窓 28 金属スリーブ 29 多心光コネクタ 30 多心光ファイバテープ 31 モジュール本体

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光モジュールと、前記光モジュールと直
    接光結合された光ファイバアレイとからなる並列伝送モ
    ジュールにおいて、 前記光ファイバアレイは、前記並列伝送モジュールに外
    付けされる光コネクタをガイドピンを介して位置決めす
    るガイドピン孔と、前記並列伝送モジュールと前記光コ
    ネクタを結合させるクリップを係止する係止面とを有す
    ることを特徴とする、並列伝送モジュール。
  2. 【請求項2】 光ファイバアレイは、ガイドピンを位置
    決めするためのガイドピン溝と光ファイバを位置決めす
    るための光ファイバ溝とが加工された下プレートと、前
    記ガイドピン溝及び光ファイバ溝の上部開口部分を塞ぐ
    上プレートとが接合されてガイドピン孔及び光ファイバ
    孔が形成され、光ファイバは該光ファイバ孔に挿入固定
    される構成をなし、 且つ上下プレートは陽極接合又は直接接合により接合さ
    れていることを特徴とする請求項1記載の並列伝送モジ
    ュール。
  3. 【請求項3】 光ファイバアレイは、ガイドピンを位置
    決めするためのガイドピン溝と光ファイバを位置決めす
    るための光ファイバ溝とが加工された下プレートと、前
    記ガイドピン溝の上部開口部分を塞ぐ上プレートとが接
    合されてガイドピン孔が形成され、光ファイバは前記光
    ファイバ溝内に加圧プレートにて加圧固定される構成を
    なし、 且つ上下プレートは陽極接合又は直接接合により接合さ
    れていることを特徴とする請求項1記載の並列伝送モジ
    ュール。
  4. 【請求項4】 光ファイバアレイを構成する下プレート
    はシリコンであり、上プレートはガラス、シリコン又は
    ガラス薄膜を形成したシリコンの何れかであることを特
    徴とする請求項2又は3記載の並列伝送モジュール。
  5. 【請求項5】 光ファイバアレイの光ファイバは、1部
    分又は全長にわたってハンダで固定されていることを特
    徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の並列伝送モジ
    ュール。
  6. 【請求項6】 金属スリーブを光ファイバアレイの外周
    に有していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか
    に記載の並列伝送モジュール。
  7. 【請求項7】 光ファイバアレイのガイドピン孔の1部
    が気密封止されていることを特徴とする請求項2〜6の
    いずれかに記載の並列伝送モジュール。
  8. 【請求項8】 ガイドピン孔が光ファイバアレイの全長
    にわたって貫通加工されていないことを特徴とする請求
    項2〜6のいずれかに記載の並列伝送モジュール。
  9. 【請求項9】 光ファイバアレイのガイドピン孔は貫通
    加工されており、この貫通部はモジュールの気密封止領
    域の外側に設けられていることを特徴とする請求項2〜
    6のいずれかに記載の並列伝送モジュール。
  10. 【請求項10】 光ファイバを固定している接着剤は、
    260℃×10秒加熱においてガス発生量が重量比1%
    以下であることを特徴とする、請求項2〜6のいずれか
    に記載の並列伝送モジュール。
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