JP2000062951A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JP2000062951A JP2000062951A JP23332398A JP23332398A JP2000062951A JP 2000062951 A JP2000062951 A JP 2000062951A JP 23332398 A JP23332398 A JP 23332398A JP 23332398 A JP23332398 A JP 23332398A JP 2000062951 A JP2000062951 A JP 2000062951A
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- JP
- Japan
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- air
- gas
- ceramic material
- glass substrate
- gas supply
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被搬送物を浮上状態で安定して搬送すること
が可能で、塵埃を発生したり、クリンルームの清浄度を
悪化させることのない搬送装置を提供する。 【解決手段】 搬送装置41,42は、通気性セラミッ
クス材12と、通気性セラミックス材12を通して空気
を噴出させるエア供給管13と、噴出する空気で浮上し
たガラス基板11を一定位置に保持する保持機構と、エ
ア供給管13などをレール20に沿って移動させる駆動
部32やベルト33などを備えている。また、搬送装置
40は、通気性セラミックス材12、エア供給管13な
どのほかにエア供給管13などを回転移動させる回転駆
動部22を備えている。
が可能で、塵埃を発生したり、クリンルームの清浄度を
悪化させることのない搬送装置を提供する。 【解決手段】 搬送装置41,42は、通気性セラミッ
クス材12と、通気性セラミックス材12を通して空気
を噴出させるエア供給管13と、噴出する空気で浮上し
たガラス基板11を一定位置に保持する保持機構と、エ
ア供給管13などをレール20に沿って移動させる駆動
部32やベルト33などを備えている。また、搬送装置
40は、通気性セラミックス材12、エア供給管13な
どのほかにエア供給管13などを回転移動させる回転駆
動部22を備えている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ガラス基板や
シリコンウエハーなどを浮上状態で搬送する装置に関す
る。
シリコンウエハーなどを浮上状態で搬送する装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】液晶ガラス基板などを搬送する場合、従
来より、専用のカセットに液晶ガラス基板を格納し、こ
のカセットをベルトコンベアで搬送する方法、あるいは
ロボットのアームに真空吸着パットを設け、液晶ガラス
基板を吸着した状態でアームを作動させて搬送する方法
などが採用されている。
来より、専用のカセットに液晶ガラス基板を格納し、こ
のカセットをベルトコンベアで搬送する方法、あるいは
ロボットのアームに真空吸着パットを設け、液晶ガラス
基板を吸着した状態でアームを作動させて搬送する方法
などが採用されている。
【0003】一方、セラミックス多孔体などの表面から
ガスを噴出させることによって対象物を浮上させて輸送
する技術が特開昭63−273781号公報、特開昭6
3−290388号公報、特開平1−167582号公
報などに開示されている。
ガスを噴出させることによって対象物を浮上させて輸送
する技術が特開昭63−273781号公報、特開昭6
3−290388号公報、特開平1−167582号公
報などに開示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】現在、液晶ガラス基板
のサイズは760mm×800mm×1.1mmが主流
であるが、パーソナルコンピュータ用の液晶ガラス基板
の場合、板厚が薄くなるほど画像が鮮明になる傾向があ
るため、最近では、800mm×1100mm×0.7
mmのサイズの需要が増大している。
のサイズは760mm×800mm×1.1mmが主流
であるが、パーソナルコンピュータ用の液晶ガラス基板
の場合、板厚が薄くなるほど画像が鮮明になる傾向があ
るため、最近では、800mm×1100mm×0.7
mmのサイズの需要が増大している。
【0005】ところが、板厚が0.7mmになると、自
重によって、液晶ガラス基板の中心付近に40mm程度
の撓みが生ずるため、従来のように、カセットに格納し
てベルトコンベアで搬送する方式では、振動によって液
晶ガラス基板が落下して破損したり、自重による撓みが
原因となって液晶ガラス基板が破損することが多い。
重によって、液晶ガラス基板の中心付近に40mm程度
の撓みが生ずるため、従来のように、カセットに格納し
てベルトコンベアで搬送する方式では、振動によって液
晶ガラス基板が落下して破損したり、自重による撓みが
原因となって液晶ガラス基板が破損することが多い。
【0006】一方、ロボットのアームなどを用いて液晶
ガラス基板を移送する場合、アームの真空パットで液晶
ガラス基板を吸着しているが、この真空を解除すると
き、液晶ガラス基板が破損することが多い。
ガラス基板を移送する場合、アームの真空パットで液晶
ガラス基板を吸着しているが、この真空を解除すると
き、液晶ガラス基板が破損することが多い。
【0007】このような問題を解決するためには、液晶
ガラス基板を撓ませることなく、しかも、真空パットな
どで吸着することなく浮上させる方法、すなわち、空気
の噴流を液晶ガラス基板の下面に衝突させ、空気噴流が
有する運動量によって液晶ガラス基板を浮上させる方法
を利用すれば良い。
ガラス基板を撓ませることなく、しかも、真空パットな
どで吸着することなく浮上させる方法、すなわち、空気
の噴流を液晶ガラス基板の下面に衝突させ、空気噴流が
有する運動量によって液晶ガラス基板を浮上させる方法
を利用すれば良い。
【0008】しかし、空気噴流による浮上方法を採用し
た場合、図6に示すように、清浄度を維持するためにク
リーンルーム34内に発生させている一定の空気流(一
方向流35)が、空気噴流によって乱され、作業者36
から発生する塵埃がクリーンルーム34内の清浄度を悪
化させるため、このような空気噴流による浮上方法は採
用することができない。
た場合、図6に示すように、清浄度を維持するためにク
リーンルーム34内に発生させている一定の空気流(一
方向流35)が、空気噴流によって乱され、作業者36
から発生する塵埃がクリーンルーム34内の清浄度を悪
化させるため、このような空気噴流による浮上方法は採
用することができない。
【0009】一方、特開昭63−273781号公報、
特開昭63−290388号公報、特開平1−1675
82号公報などに開示されている浮上輸送技術は、セラ
ミックス多孔体などの表面からガスを噴出させることに
よって対象物を浮上させて輸送するものであり、強力な
ガス噴流によって対象物周辺に絶えず乱流が発生するた
め、前述と同様の理由により、クリーンルーム内で液晶
ガラス基板などを搬送する手段として採用できない。
特開昭63−290388号公報、特開平1−1675
82号公報などに開示されている浮上輸送技術は、セラ
ミックス多孔体などの表面からガスを噴出させることに
よって対象物を浮上させて輸送するものであり、強力な
ガス噴流によって対象物周辺に絶えず乱流が発生するた
め、前述と同様の理由により、クリーンルーム内で液晶
ガラス基板などを搬送する手段として採用できない。
【0010】そこで、本発明が解決しようとする課題
は、被搬送物を浮上状態で安定して搬送することが可能
で、塵埃を発生したり、クリンルームの清浄度を悪化さ
せることのない、搬送装置を提供することにある。
は、被搬送物を浮上状態で安定して搬送することが可能
で、塵埃を発生したり、クリンルームの清浄度を悪化さ
せることのない、搬送装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明の搬送装置は、被搬送物の形状に合わせて分
散配置された複数の通気性セラミックス材と、通気性セ
ラミックス材を通して上方ヘ気体を噴出させる気体供給
手段と、通気性セラミックス材から噴出する気体によっ
て浮上する被搬送物を一定位置に保持する保持機構と、
気体供給手段および保持機構を移動させる移動機構とを
備えたことを特徴とする。ここで、被搬送物の形状に合
わせて分散配置とは、被搬送物の水平投影の範囲内に分
散配置することをいう。
め、本発明の搬送装置は、被搬送物の形状に合わせて分
散配置された複数の通気性セラミックス材と、通気性セ
ラミックス材を通して上方ヘ気体を噴出させる気体供給
手段と、通気性セラミックス材から噴出する気体によっ
て浮上する被搬送物を一定位置に保持する保持機構と、
気体供給手段および保持機構を移動させる移動機構とを
備えたことを特徴とする。ここで、被搬送物の形状に合
わせて分散配置とは、被搬送物の水平投影の範囲内に分
散配置することをいう。
【0012】このような構成とすることにより、複数の
通気性セラミックス材から噴出した気体が、それぞれの
通気性セラミックス材の上面に気体膜を形成するため、
これらの気体膜で被搬送物を安定的に浮上させることが
可能であり、この状態で移動機構を作動させれば、被搬
送物を浮上状態で搬送することができる。この場合、被
搬送物は保持機構で一定位置に保持されるため、移動機
構の作動中に被搬送物が通気性セラミックス材の直上か
ら離脱したり、脱落することがない。
通気性セラミックス材から噴出した気体が、それぞれの
通気性セラミックス材の上面に気体膜を形成するため、
これらの気体膜で被搬送物を安定的に浮上させることが
可能であり、この状態で移動機構を作動させれば、被搬
送物を浮上状態で搬送することができる。この場合、被
搬送物は保持機構で一定位置に保持されるため、移動機
構の作動中に被搬送物が通気性セラミックス材の直上か
ら離脱したり、脱落することがない。
【0013】また、被搬送物を浮上させる噴出気体は、
通気性セラミックス材内部の空隙を通過することによっ
て細かく分散された状態で噴出するため、クリーンルー
ム内の一方向流を乱すことがなく、清浄度を悪化させる
こともない。また、クリーンルームレベルの環境下にお
いて、通気性セラミックス材自体が酸化したり、変質す
ることがないため、長期間に渡って使用しても塵埃を発
生することがない。
通気性セラミックス材内部の空隙を通過することによっ
て細かく分散された状態で噴出するため、クリーンルー
ム内の一方向流を乱すことがなく、清浄度を悪化させる
こともない。また、クリーンルームレベルの環境下にお
いて、通気性セラミックス材自体が酸化したり、変質す
ることがないため、長期間に渡って使用しても塵埃を発
生することがない。
【0014】一方、本発明の搬送装置では、気体供給手
段として、略平行に配置された気体供給管と、気体供給
管に形成され通気性セラミックス材が装着可能な気体吹
出口とを備えることにより、被搬送物の形状に合わせて
分散配置された複数の通気性セラミックス材に対して、
均一かつ安定的に気体を供給することが可能となるた
め、被搬送物を安定的に浮上させることができる。
段として、略平行に配置された気体供給管と、気体供給
管に形成され通気性セラミックス材が装着可能な気体吹
出口とを備えることにより、被搬送物の形状に合わせて
分散配置された複数の通気性セラミックス材に対して、
均一かつ安定的に気体を供給することが可能となるた
め、被搬送物を安定的に浮上させることができる。
【0015】また、本発明の搬送装置では、保持機構と
して、被搬送物の周辺に分散配置された複数の通気性セ
ラミックス材と、これらの通気性セラミックス材を通し
て被搬送物の方向へ気体を噴出させる気体供給手段とを
備えることにより、被搬送物を噴出気体で一定位置に保
持することが可能となるため、いわゆる、無接触状態で
搬送することが可能となり、被搬送物の損傷、破損の防
止に有効である。
して、被搬送物の周辺に分散配置された複数の通気性セ
ラミックス材と、これらの通気性セラミックス材を通し
て被搬送物の方向へ気体を噴出させる気体供給手段とを
備えることにより、被搬送物を噴出気体で一定位置に保
持することが可能となるため、いわゆる、無接触状態で
搬送することが可能となり、被搬送物の損傷、破損の防
止に有効である。
【0016】さらに、本発明の搬送装置では、移動機構
として、気体供給手段および保持機構を平行移動、回転
移動させることのできるものを備えることにより、被搬
送物を任意の方向に搬送することが可能となるため、一
連の搬送ラインを形成する際の利便性が向上する。
として、気体供給手段および保持機構を平行移動、回転
移動させることのできるものを備えることにより、被搬
送物を任意の方向に搬送することが可能となるため、一
連の搬送ラインを形成する際の利便性が向上する。
【0017】ここで、本発明の搬送装置においては、通
気性セラミックス材の気孔率を30%〜50%とするこ
とにより、必要最小限の気体噴出量で被搬送物を安定的
に浮上させることが可能となり、クリーンルーム内の一
方向流を乱すこともない。なお、通気性セラミックス材
の気孔率が30%未満の場合は気体の圧力損失が大きく
なり浮上能力が低下しがちであり、50%を越える場合
は噴出量が増大しクリーンルーム内の一方向流を乱す可
能性が高まるので、30%〜50%の範囲内とすること
が望ましい。
気性セラミックス材の気孔率を30%〜50%とするこ
とにより、必要最小限の気体噴出量で被搬送物を安定的
に浮上させることが可能となり、クリーンルーム内の一
方向流を乱すこともない。なお、通気性セラミックス材
の気孔率が30%未満の場合は気体の圧力損失が大きく
なり浮上能力が低下しがちであり、50%を越える場合
は噴出量が増大しクリーンルーム内の一方向流を乱す可
能性が高まるので、30%〜50%の範囲内とすること
が望ましい。
【0018】また、本発明の搬送装置では、通気性セラ
ミックス材として、アルミナと、シリカ、チタニカ、マ
グネシア、カルシア、イットリアのいずれか一つ以上と
を含有する多孔質焼結体を用いることにより、耐酸化性
などがさらに向上し、経年変化もなくなるため、塵埃な
どを発生することがなく、長期間に渡って安定した気体
噴出を行うことができる。
ミックス材として、アルミナと、シリカ、チタニカ、マ
グネシア、カルシア、イットリアのいずれか一つ以上と
を含有する多孔質焼結体を用いることにより、耐酸化性
などがさらに向上し、経年変化もなくなるため、塵埃な
どを発生することがなく、長期間に渡って安定した気体
噴出を行うことができる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1は実施の形態である搬送装置
を組み合わせた状態で示す斜視図、図2,3は各々の搬
送装置の斜視図である。
に基づいて説明する。図1は実施の形態である搬送装置
を組み合わせた状態で示す斜視図、図2,3は各々の搬
送装置の斜視図である。
【0020】本実施形態においては、図1に示すよう
に、被搬送物であるガラス基板11を直線移動させるこ
とのできる2台の搬送装置41,42と、ガラス基板1
1を回転移動させることのできる搬送装置40とを組み
合わせて一連の搬送ラインを形成している。2台の搬送
装置41,42はいずれも図2に示すような構造であ
り、搬送装置40は図3に示すような構造である。な
お、図3においては保持機構については記載を省略して
いる。
に、被搬送物であるガラス基板11を直線移動させるこ
とのできる2台の搬送装置41,42と、ガラス基板1
1を回転移動させることのできる搬送装置40とを組み
合わせて一連の搬送ラインを形成している。2台の搬送
装置41,42はいずれも図2に示すような構造であ
り、搬送装置40は図3に示すような構造である。な
お、図3においては保持機構については記載を省略して
いる。
【0021】搬送装置41,42は、図2に示すよう
に、被搬送物であるガラス基板11の形状に合わせて分
散配置された複数の通気性セラミックス材12と、通気
性セラミックス材12を通して上方ヘ空気を噴出させる
ために平行配置された複数のエア供給管13と、通気性
セラミックス材13から噴出する空気によって浮上した
ガラス基板11を一定位置に保持する保持機構と、エア
供給管13および保持機構をレール20に沿って移動さ
せる駆動部32およびベルト33などを備えている。こ
こで、複数の通気性セラミックス材12はガラス基板1
1の水平投影の範囲内に分散配置されている。
に、被搬送物であるガラス基板11の形状に合わせて分
散配置された複数の通気性セラミックス材12と、通気
性セラミックス材12を通して上方ヘ空気を噴出させる
ために平行配置された複数のエア供給管13と、通気性
セラミックス材13から噴出する空気によって浮上した
ガラス基板11を一定位置に保持する保持機構と、エア
供給管13および保持機構をレール20に沿って移動さ
せる駆動部32およびベルト33などを備えている。こ
こで、複数の通気性セラミックス材12はガラス基板1
1の水平投影の範囲内に分散配置されている。
【0022】一方、搬送装置40は、図3に示すよう
に、被搬送物であるガラス基板11の形状に合わせて分
散配置された複数の通気性セラミックス材12と、通気
性セラミックス材12を通して上方ヘ空気を噴出させる
ために平行配置された複数のエア供給管13と、通気性
セラミックス材13から噴出する空気によって浮上した
ガラス基板11を一定位置に保持するストッパ21、エ
ア供給管13などを回転移動させる回転駆動部22など
を備えている。ここで、複数の通気性セラミックス材1
2はガラス基板11の水平投影の範囲内に分散配置され
ている。
に、被搬送物であるガラス基板11の形状に合わせて分
散配置された複数の通気性セラミックス材12と、通気
性セラミックス材12を通して上方ヘ空気を噴出させる
ために平行配置された複数のエア供給管13と、通気性
セラミックス材13から噴出する空気によって浮上した
ガラス基板11を一定位置に保持するストッパ21、エ
ア供給管13などを回転移動させる回転駆動部22など
を備えている。ここで、複数の通気性セラミックス材1
2はガラス基板11の水平投影の範囲内に分散配置され
ている。
【0023】ここで、複数のエア供給管13はホルダ2
3によって一体化された状態で回転板24に固定され、
回転板24は回転駆動部22の回転軸25に固定されて
いるため、複数のエア供給管13は回転軸25を中心に
回転可能であり、浮上させたガラス基板11を回転移動
させることができる。また、回転軸25はエアシリンダ
26によって軸方向に昇降可能であるため、浮上させた
ガラス基板11を上下方向に移動させることができる。
3によって一体化された状態で回転板24に固定され、
回転板24は回転駆動部22の回転軸25に固定されて
いるため、複数のエア供給管13は回転軸25を中心に
回転可能であり、浮上させたガラス基板11を回転移動
させることができる。また、回転軸25はエアシリンダ
26によって軸方向に昇降可能であるため、浮上させた
ガラス基板11を上下方向に移動させることができる。
【0024】また、搬送装置41,42のエア供給管1
3と搬送装置40のエア供給管13とは、互いに行き違
い接触しないような間隔に配列されているため、図1に
示すように、搬送装置41,42と搬送装置40との間
でガラス基板11の受け渡しを行うことができる。
3と搬送装置40のエア供給管13とは、互いに行き違
い接触しないような間隔に配列されているため、図1に
示すように、搬送装置41,42と搬送装置40との間
でガラス基板11の受け渡しを行うことができる。
【0025】このような構成とすることにより、搬送装
置41で直線状に搬送してきたガラス基板11を搬送装
置40に移し、搬送装置40でガラス基板11を90度
回転移動させた後、搬送装置42へガラス基板11を移
し、この後、搬送装置42でガラス基板11を直線状に
搬送していくことができる。これらの搬送過程において
は、後述するように、ガラス基板11を全くの非接触状
態で搬送することが可能であるため、ガラス基板11の
損傷などを防止することができる。
置41で直線状に搬送してきたガラス基板11を搬送装
置40に移し、搬送装置40でガラス基板11を90度
回転移動させた後、搬送装置42へガラス基板11を移
し、この後、搬送装置42でガラス基板11を直線状に
搬送していくことができる。これらの搬送過程において
は、後述するように、ガラス基板11を全くの非接触状
態で搬送することが可能であるため、ガラス基板11の
損傷などを防止することができる。
【0026】なお、図1に示す搬送ラインは、直線移動
と90度回転移動とを組み合わせたものであるが、これ
に限定するものではないので、直線移動のみの搬送ライ
ン、鋭角回転移動や鈍角回転移動を含む搬送ライン、あ
るいは上下移動を伴う搬送ラインなど、必要に応じて任
意の搬送ラインを構築することが可能であり、これらの
搬送ラインの全てを非接触化することができる。
と90度回転移動とを組み合わせたものであるが、これ
に限定するものではないので、直線移動のみの搬送ライ
ン、鋭角回転移動や鈍角回転移動を含む搬送ライン、あ
るいは上下移動を伴う搬送ラインなど、必要に応じて任
意の搬送ラインを構築することが可能であり、これらの
搬送ラインの全てを非接触化することができる。
【0027】ここで、図4,5を参照して、搬送装置4
1,42における浮上機構について説明する。図4は搬
送機構を示す斜視図、図5は図4のA−A線における断
面図である。
1,42における浮上機構について説明する。図4は搬
送機構を示す斜視図、図5は図4のA−A線における断
面図である。
【0028】搬送装置41,42の浮上機構10におい
ては、ベース材15上に複数のエア供給管13が平行に
配置され、浮上対象物であるガラス基板11の形状に合
わせて複数の通気性セラミックス材12がこれらのエア
供給管13に分散配置されている。また、エア供給管1
3には、エアホース14を経由して圧縮空気が供給さ
れ、この圧縮空気が通気性セラミックス材12を通して
上方ヘ噴出される。さらに、ベース材15はレール20
にスライド自在に係止されている。なお、通気性セラミ
ックス材12は、エア供給管13に形成された空気吹出
口13aにそれぞれ取り付けられている。
ては、ベース材15上に複数のエア供給管13が平行に
配置され、浮上対象物であるガラス基板11の形状に合
わせて複数の通気性セラミックス材12がこれらのエア
供給管13に分散配置されている。また、エア供給管1
3には、エアホース14を経由して圧縮空気が供給さ
れ、この圧縮空気が通気性セラミックス材12を通して
上方ヘ噴出される。さらに、ベース材15はレール20
にスライド自在に係止されている。なお、通気性セラミ
ックス材12は、エア供給管13に形成された空気吹出
口13aにそれぞれ取り付けられている。
【0029】複数の通気性セラミックス材12から噴出
した空気は、それぞれの通気性セラミックス材12の上
面に空気膜を形成するため、これらの空気膜によって、
通気性セラミックス材12から1mm程度の位置にガラ
ス基板11を浮上させることができる。この場合、ガラ
ス基板11は分散配置された複数の通気性セラミック材
12から噴出する空気で浮上しているため、自重による
撓みなどが発生せず、破損のおそれもない。
した空気は、それぞれの通気性セラミックス材12の上
面に空気膜を形成するため、これらの空気膜によって、
通気性セラミックス材12から1mm程度の位置にガラ
ス基板11を浮上させることができる。この場合、ガラ
ス基板11は分散配置された複数の通気性セラミック材
12から噴出する空気で浮上しているため、自重による
撓みなどが発生せず、破損のおそれもない。
【0030】また、浮上機構10では、ガラス基板11
の保持機構として、ガラス基板11の周辺にストッパ2
1a,21bが分散配置されているが、ストッパ21
a,21bにはそれぞれ通気性セラミックス材21x,
21yが取り付けられ、これらの通気性セラミックス材
21x,21yを通してガラス基板11方向ヘ空気を噴
出させる構造である。
の保持機構として、ガラス基板11の周辺にストッパ2
1a,21bが分散配置されているが、ストッパ21
a,21bにはそれぞれ通気性セラミックス材21x,
21yが取り付けられ、これらの通気性セラミックス材
21x,21yを通してガラス基板11方向ヘ空気を噴
出させる構造である。
【0031】したがって、通気性セラミック材12から
の噴出空気で浮上しているガラス基板11を、通気性セ
ラミックス材21x,21yから噴出する空気によって
一定位置に保持することが可能であり、いわゆる、無接
触でガラス基板11を一定位置に拘束することができ
る。これによって、ガラス基板11が浮上中に勝手に移
動するのを阻止することができるため、搬送作業中の脱
落による破損などを防止することができる。なお、搬送
装置40の浮上機構は、前述した浮上機構10とほぼ同
様の構造、機能であるため説明を省略する。
の噴出空気で浮上しているガラス基板11を、通気性セ
ラミックス材21x,21yから噴出する空気によって
一定位置に保持することが可能であり、いわゆる、無接
触でガラス基板11を一定位置に拘束することができ
る。これによって、ガラス基板11が浮上中に勝手に移
動するのを阻止することができるため、搬送作業中の脱
落による破損などを防止することができる。なお、搬送
装置40の浮上機構は、前述した浮上機構10とほぼ同
様の構造、機能であるため説明を省略する。
【0032】次に、図6を参照して、クリーンルーム内
における搬送装置の使用状態について説明する。図6は
搬送装置の使用状態を示す正面図である。なお、図6に
おいては、浮上機構のストッパ21a,21bを省略し
て記載している。
における搬送装置の使用状態について説明する。図6は
搬送装置の使用状態を示す正面図である。なお、図6に
おいては、浮上機構のストッパ21a,21bを省略し
て記載している。
【0033】前述したように、浮上機構10を構成する
通気性セラミックス材12,21x,21yから噴出す
る空気は、通気性セラミックス材12,21x,21y
内部の空隙を通過することによって、細かく分散された
状態で噴出されるため、図6に示すように、クリーンル
ーム34内に形成されている一方向流35を乱すことが
なく、作業者36から発生する塵埃がガラス基板11に
付着したり、クリーンルーム34内の清浄度が悪化する
ことがない。
通気性セラミックス材12,21x,21yから噴出す
る空気は、通気性セラミックス材12,21x,21y
内部の空隙を通過することによって、細かく分散された
状態で噴出されるため、図6に示すように、クリーンル
ーム34内に形成されている一方向流35を乱すことが
なく、作業者36から発生する塵埃がガラス基板11に
付着したり、クリーンルーム34内の清浄度が悪化する
ことがない。
【0034】また、クリーンルーム34内において、長
期間に渡って稼働させた場合でも、通気性セラミックス
材12,21x,21y自体が酸化したり、変質するこ
とがないため、塵埃の発生源となることもない。
期間に渡って稼働させた場合でも、通気性セラミックス
材12,21x,21y自体が酸化したり、変質するこ
とがないため、塵埃の発生源となることもない。
【0035】一方、浮上機構10において、通気性セラ
ミックス材12,21x,21yの気孔率を35%とし
たところ、必要最小限の空気噴出量で、ガラス基板11
を安定的に浮上させることが可能で、クリーンルーム3
4内の一方向流35を乱すこともなく、スムーズな搬送
作業を行うことができた。
ミックス材12,21x,21yの気孔率を35%とし
たところ、必要最小限の空気噴出量で、ガラス基板11
を安定的に浮上させることが可能で、クリーンルーム3
4内の一方向流35を乱すこともなく、スムーズな搬送
作業を行うことができた。
【0036】また、浮上機構10では、通気性セラミッ
クス材12,21x,21yとしてアルミナ、シリカを
含有する多孔質焼結体を用いている。多孔質焼結体は、
粒径10μ〜100μのセラミック粒子と添加材との混
合体を加圧、加熱することによって焼結させたものであ
るが、その内部には微小な空孔が多数形成され、全体的
には35%程度の気孔率となっている。また、アルミ
ナ、シリカのほかに、チタニカ、マグネシア、カルシ
ア、イットリアなどを含有する多孔質焼結体を用いるこ
ともできる。
クス材12,21x,21yとしてアルミナ、シリカを
含有する多孔質焼結体を用いている。多孔質焼結体は、
粒径10μ〜100μのセラミック粒子と添加材との混
合体を加圧、加熱することによって焼結させたものであ
るが、その内部には微小な空孔が多数形成され、全体的
には35%程度の気孔率となっている。また、アルミ
ナ、シリカのほかに、チタニカ、マグネシア、カルシ
ア、イットリアなどを含有する多孔質焼結体を用いるこ
ともできる。
【0037】なお、通気性セラミックス材12,21
x,21yの気孔率は、原料となるセラミック粒子の粒
径、添加材の種類、加圧力、焼結温度などを変えること
によって、調整することができるため、作業条件に適し
た気孔率を設定することができる。この多孔質焼結体
は、空気中で酸化、変質しにくいため、塵埃などを発生
することもなく、長期間に渡って安定した空気噴出を行
うことができる。
x,21yの気孔率は、原料となるセラミック粒子の粒
径、添加材の種類、加圧力、焼結温度などを変えること
によって、調整することができるため、作業条件に適し
た気孔率を設定することができる。この多孔質焼結体
は、空気中で酸化、変質しにくいため、塵埃などを発生
することもなく、長期間に渡って安定した空気噴出を行
うことができる。
【0038】次に、図7〜9を参照して、浮上機構の他
の実施形態について説明する。図7は他の実施形態であ
る浮上機構を示す平面図、図8は前記浮上機構の側面
図、図9は前記浮上機構の正面図である。
の実施形態について説明する。図7は他の実施形態であ
る浮上機構を示す平面図、図8は前記浮上機構の側面
図、図9は前記浮上機構の正面図である。
【0039】本実施形態の浮上機構50は、円板状をし
たシリコンウエハー51を浮上させるためのものであ
り、平行に配置されたエア供給管52に、シリコンウエ
ハー51の形状に合わせて複数の通気性セラミックス材
53が分散配置されている。また、シリコンウエハー5
1の外周には、通気性セラミック54aを備えたストッ
パ54が配置されている。通気性セラミックス材53を
通過した空気は上向きに噴出し、通気性セラミック54
aを通過した空気はシリコンウエハー51方向へ噴出す
る。
たシリコンウエハー51を浮上させるためのものであ
り、平行に配置されたエア供給管52に、シリコンウエ
ハー51の形状に合わせて複数の通気性セラミックス材
53が分散配置されている。また、シリコンウエハー5
1の外周には、通気性セラミック54aを備えたストッ
パ54が配置されている。通気性セラミックス材53を
通過した空気は上向きに噴出し、通気性セラミック54
aを通過した空気はシリコンウエハー51方向へ噴出す
る。
【0040】このような構成とすることにより、浮上機
構10の場合と同様、シリコンウエハー51を安定的に
浮上させることが可能であり、浮上したシリコンウエハ
ー51は通気性セラミック54aを通して噴出する空気
によって一定位置に保持される。したがって、前述した
搬送装置40,41,42の浮上機構10などと、浮上
機構50とを置き換えれば、シリコンウエハー51を全
くの無接触で搬送することが可能な搬送装置を提供する
ことができる。
構10の場合と同様、シリコンウエハー51を安定的に
浮上させることが可能であり、浮上したシリコンウエハ
ー51は通気性セラミック54aを通して噴出する空気
によって一定位置に保持される。したがって、前述した
搬送装置40,41,42の浮上機構10などと、浮上
機構50とを置き換えれば、シリコンウエハー51を全
くの無接触で搬送することが可能な搬送装置を提供する
ことができる。
【0041】また、浮上機構50の場合も、通気性セラ
ミック材53,54aを通して噴出する空気が周囲の空
気流を乱すことがないので、図6に示すようなクリーン
ルーム34内における搬送装置の一部として採用して
も、清浄度を悪化させたり、塵埃の発生源となることが
ない。このため、浮上機構50は、クリーンルーム34
内において、長期間に渡って使用することができる。
ミック材53,54aを通して噴出する空気が周囲の空
気流を乱すことがないので、図6に示すようなクリーン
ルーム34内における搬送装置の一部として採用して
も、清浄度を悪化させたり、塵埃の発生源となることが
ない。このため、浮上機構50は、クリーンルーム34
内において、長期間に渡って使用することができる。
【0042】
【発明の効果】本発明により、以下の効果を奏すること
ができる。
ができる。
【0043】(1)被搬送物の形状に合わせて分散配置
された複数の通気性セラミックス材と、通気性セラミッ
クス材を通して上方ヘ気体を噴出させる気体供給手段
と、通気性セラミックス材から噴出する気体によって浮
上する被搬送物を一定位置に保持する保持機構と、気体
供給手段および保持機構を移動させる移動機構とを備え
ることにより、それぞれの通気性セラミックス材の上面
に形成された気体膜で被搬送物を浮上させた状態で安定
して搬送することが可能となる。また、被搬送物は保持
機構で一定位置に保持されるため、被搬送物が通気性セ
ラミックス材の直上から離脱したり、脱落することがな
い。
された複数の通気性セラミックス材と、通気性セラミッ
クス材を通して上方ヘ気体を噴出させる気体供給手段
と、通気性セラミックス材から噴出する気体によって浮
上する被搬送物を一定位置に保持する保持機構と、気体
供給手段および保持機構を移動させる移動機構とを備え
ることにより、それぞれの通気性セラミックス材の上面
に形成された気体膜で被搬送物を浮上させた状態で安定
して搬送することが可能となる。また、被搬送物は保持
機構で一定位置に保持されるため、被搬送物が通気性セ
ラミックス材の直上から離脱したり、脱落することがな
い。
【0044】(2)被搬送物を浮上させる噴出気体は、
通気性セラミックス材内部の空隙を通過することによっ
て細かく分散された状態で噴出するため、クリーンルー
ム内の一方向流を乱すことがなく、清浄度を悪化させる
こともない。また、クリーンルームレベルの環境下にお
いて、通気性セラミックス材自体が酸化したり、変質す
ることがないため、長期間に渡って使用しても塵埃を発
生することがない。
通気性セラミックス材内部の空隙を通過することによっ
て細かく分散された状態で噴出するため、クリーンルー
ム内の一方向流を乱すことがなく、清浄度を悪化させる
こともない。また、クリーンルームレベルの環境下にお
いて、通気性セラミックス材自体が酸化したり、変質す
ることがないため、長期間に渡って使用しても塵埃を発
生することがない。
【0045】(3)気体供給手段として、略平行に配置
された気体供給管と、気体供給管に形成され通気性セラ
ミックス材が装着可能な気体吹出口とを備えることによ
り、被搬送物の形状に合わせて分散配置された複数の通
気性セラミックス材に対して、均一かつ安定的に気体を
供給することが可能となるため、被搬送物を安定的に浮
上させることができる。
された気体供給管と、気体供給管に形成され通気性セラ
ミックス材が装着可能な気体吹出口とを備えることによ
り、被搬送物の形状に合わせて分散配置された複数の通
気性セラミックス材に対して、均一かつ安定的に気体を
供給することが可能となるため、被搬送物を安定的に浮
上させることができる。
【0046】(4)保持機構として、被搬送物の周辺に
分散配置された複数の通気性セラミックス材と、これら
の通気性セラミックス材を通して被搬送物の方向へ気体
を噴出させる気体供給手段とを備えることにより、被搬
送物を噴出気体で一定位置に保持することが可能となる
ため、いわゆる、無接触状態で搬送することが可能とな
り、被搬送物の損傷、破損の防止に有効である。
分散配置された複数の通気性セラミックス材と、これら
の通気性セラミックス材を通して被搬送物の方向へ気体
を噴出させる気体供給手段とを備えることにより、被搬
送物を噴出気体で一定位置に保持することが可能となる
ため、いわゆる、無接触状態で搬送することが可能とな
り、被搬送物の損傷、破損の防止に有効である。
【0047】(5)移動機構として、気体供給手段およ
び保持機構を平行移動、回転移動させることのできるも
のを備えることにより、被搬送物を任意の方向に搬送す
ることが可能となるため、一連の搬送ラインを形成する
際の利便性が向上する。
び保持機構を平行移動、回転移動させることのできるも
のを備えることにより、被搬送物を任意の方向に搬送す
ることが可能となるため、一連の搬送ラインを形成する
際の利便性が向上する。
【0048】(6)通気性セラミックス材の気孔率を3
0%〜50%とすることにより、必要最小限の気体噴出
量で被搬送物を安定的に浮上させることが可能となり、
クリーンルーム内の一方向流を乱すこともない。
0%〜50%とすることにより、必要最小限の気体噴出
量で被搬送物を安定的に浮上させることが可能となり、
クリーンルーム内の一方向流を乱すこともない。
【0049】(7)通気性セラミックス材として、アル
ミナと、シリカ、チタニカ、マグネシア、カルシア、イ
ットリアのいずれか一つ以上とを含有する多孔質焼結体
を用いることにより、耐酸化性などがさらに向上するた
め、塵埃などを発生することもなく、長期間に渡って安
定した気体噴出を行うことができる。
ミナと、シリカ、チタニカ、マグネシア、カルシア、イ
ットリアのいずれか一つ以上とを含有する多孔質焼結体
を用いることにより、耐酸化性などがさらに向上するた
め、塵埃などを発生することもなく、長期間に渡って安
定した気体噴出を行うことができる。
【図1】実施の形態である搬送装置を複数組み合わせて
搬送ラインを形成した状態を示す斜視図である。
搬送ラインを形成した状態を示す斜視図である。
【図2】図1に示す搬送装置の斜視図である。
【図3】図1に示す搬送装置の斜視図である。
【図4】図1の搬送装置の浮上機構を示す斜視図であ
る。
る。
【図5】図4のA−A線における断面図である。
【図6】搬送装置の使用状態を示す斜視図である。
【図7】浮上機構の他の実施形態を示す平面図である。
【図8】図5に示す浮上機構の側面図である。
【図9】図5に示す浮上機構の正面図である。
10,50 浮上機構
11 ガラス基板
12,21x,21y,53,54a 通気性セラミッ
ク材 13,52 エア供給管 13a 空気吹出口 15 ベース材 14 エアホース 20 レール 21,21a,21b,54 ストッパ 22 回転駆動部 23 ホルダ 24 回転板 25 回転軸 26 エアシリンダ 30 搬送装置 31 フレーム体 32 駆動部 33 ベルト 34 クリーンルーム 35 一方向流 36 作業者 40,41,42 搬送装置 51 シリコンウエハー
ク材 13,52 エア供給管 13a 空気吹出口 15 ベース材 14 エアホース 20 レール 21,21a,21b,54 ストッパ 22 回転駆動部 23 ホルダ 24 回転板 25 回転軸 26 エアシリンダ 30 搬送装置 31 フレーム体 32 駆動部 33 ベルト 34 クリーンルーム 35 一方向流 36 作業者 40,41,42 搬送装置 51 シリコンウエハー
Claims (6)
- 【請求項1】 被搬送物の形状に合わせて分散配置され
た複数の通気性セラミックス材と、前記通気性セラミッ
クス材を通して上方ヘ気体を噴出させる気体供給手段
と、前記通気性セラミックス材から噴出する気体によっ
て浮上する被搬送物を一定位置に保持する保持機構と、
前記気体供給手段および前記保持機構を移動させる移動
機構とを備えた搬送装置。 - 【請求項2】 前記気体供給手段として、略平行に配置
された気体供給管と、前記気体供給管に形成され前記通
気性セラミックス材が装着可能な気体吹出口とを備えた
請求項1記載の搬送装置。 - 【請求項3】 前記保持機構として、前記被搬送物の周
辺に分散配置された複数の通気性セラミックス材と、前
記通気性セラミックス材を通して前記被搬送物の方向へ
気体を噴出させる気体供給手段とを備えた請求項1,2
記載の搬送装置。 - 【請求項4】 前記移動機構が、前記気体供給手段およ
び前記保持機構を平行移動、回転移動させるものである
請求項1〜3記載の搬送装置。 - 【請求項5】 前記通気性セラミックス材の気孔率が3
0%〜50%である請求項1〜4記載の搬送装置。 - 【請求項6】 前記通気性セラミックス材がアルミナ
と、シリカ、チタニカ、マグネシア、カルシア、イット
リアのいずれか一つ以上とを含有する多孔質焼結体であ
る請求項1〜5記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23332398A JP2000062951A (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23332398A JP2000062951A (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | 搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000062951A true JP2000062951A (ja) | 2000-02-29 |
Family
ID=16953349
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23332398A Pending JP2000062951A (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000062951A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005075543A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
KR100490971B1 (ko) * | 2002-12-12 | 2005-05-23 | (주)에스티아이 | 액정표시장치용 유리기판의 부상장치 |
JP2005145650A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
US7004711B2 (en) | 2003-12-16 | 2006-02-28 | Daifuku Co., Ltd. | Transporting apparatus |
WO2006030798A1 (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-23 | Fujikura Rubber Ltd. | 除振台装置 |
US7108474B2 (en) | 2003-04-14 | 2006-09-19 | Daifuku Co., Ltd. | Apparatus for transporting plate-shaped work piece |
US7284945B2 (en) | 2003-08-29 | 2007-10-23 | Daifuku Co., Ltd. | Transporting apparatus |
KR100809648B1 (ko) * | 2003-05-14 | 2008-03-05 | 호야 가부시키가이샤 | 기판유지구, 기판처리장치, 기판검사장치 및 이들의사용방법 |
WO2008143257A1 (ja) * | 2007-05-22 | 2008-11-27 | Kabushiki Kaisha Watanabe Shoko | 浮上搬送装置 |
JP2013152141A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-08 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス板の端部検査装置 |
CN106030777A (zh) * | 2014-12-19 | 2016-10-12 | 埃托特克德国有限公司 | 用于大型基板的水平湿式化学处理的设备的处理模块 |
-
1998
- 1998-08-19 JP JP23332398A patent/JP2000062951A/ja active Pending
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100490971B1 (ko) * | 2002-12-12 | 2005-05-23 | (주)에스티아이 | 액정표시장치용 유리기판의 부상장치 |
US7108474B2 (en) | 2003-04-14 | 2006-09-19 | Daifuku Co., Ltd. | Apparatus for transporting plate-shaped work piece |
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US7284945B2 (en) | 2003-08-29 | 2007-10-23 | Daifuku Co., Ltd. | Transporting apparatus |
JP2005075543A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
JP2005145650A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
US7004711B2 (en) | 2003-12-16 | 2006-02-28 | Daifuku Co., Ltd. | Transporting apparatus |
CN100431933C (zh) * | 2003-12-16 | 2008-11-12 | 株式会社大福 | 输送装置 |
WO2006030798A1 (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-23 | Fujikura Rubber Ltd. | 除振台装置 |
WO2008143257A1 (ja) * | 2007-05-22 | 2008-11-27 | Kabushiki Kaisha Watanabe Shoko | 浮上搬送装置 |
JP2008290814A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Watanabe Shoko:Kk | 浮上搬送装置 |
JP2013152141A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-08 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス板の端部検査装置 |
CN106030777A (zh) * | 2014-12-19 | 2016-10-12 | 埃托特克德国有限公司 | 用于大型基板的水平湿式化学处理的设备的处理模块 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040831 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041027 |
|
A02 | Decision of refusal |
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