JP2000056051A - 移動ステ―ジ装置 - Google Patents
移動ステ―ジ装置Info
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- JP2000056051A JP2000056051A JP11175508A JP17550899A JP2000056051A JP 2000056051 A JP2000056051 A JP 2000056051A JP 11175508 A JP11175508 A JP 11175508A JP 17550899 A JP17550899 A JP 17550899A JP 2000056051 A JP2000056051 A JP 2000056051A
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- main stage
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 配線配管部の重量や剛性が大きい場合であっ
ても、主ステージを高精度に移動させ、かつ、一連の動
作を迅速に完了することができるようにする。 【構成】 ステージ連結部14は、リニアモータ4が発
生するx軸方向に沿う推力によって駆動される主ステー
ジ2と、配線配管12が接続されて外乱を受ける可能性
のある副ステージ8とを、x軸方向に沿った力だけが伝
達されるように連結する。
ても、主ステージを高精度に移動させ、かつ、一連の動
作を迅速に完了することができるようにする。 【構成】 ステージ連結部14は、リニアモータ4が発
生するx軸方向に沿う推力によって駆動される主ステー
ジ2と、配線配管12が接続されて外乱を受ける可能性
のある副ステージ8とを、x軸方向に沿った力だけが伝
達されるように連結する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、移動ステージ装置に関
し、特に、プリント基板やレチクルにパターンを光学的
に描画する装置等に使用される移動ステージ装置に関す
る。
し、特に、プリント基板やレチクルにパターンを光学的
に描画する装置等に使用される移動ステージ装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】移動ステージがエアベリングを有し、リ
ニアモーターによって駆動される移動ステージ装置は、
特開昭63−139291号公報に開示されている。こ
の場合の移動ステージで用いられるベアリングの軸受け
剛性は、機械式の軸受けに比べて、多数の電源ケーブル
や配管類を移動ステージに直接接続すると、多数の電源
ケーブルや配管類の重量や剛性等による力が外乱として
移動ステージに作用し、走り精度に悪影響を及ぼす。こ
のため外乱を低滅する為に最小限度の配線および配管に
する必要があった。
ニアモーターによって駆動される移動ステージ装置は、
特開昭63−139291号公報に開示されている。こ
の場合の移動ステージで用いられるベアリングの軸受け
剛性は、機械式の軸受けに比べて、多数の電源ケーブル
や配管類を移動ステージに直接接続すると、多数の電源
ケーブルや配管類の重量や剛性等による力が外乱として
移動ステージに作用し、走り精度に悪影響を及ぼす。こ
のため外乱を低滅する為に最小限度の配線および配管に
する必要があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
状況に鑑みてなされたものであり、移動精度を確保しつ
つ、迅速に動作を完了することができる移動ステージ装
置を提供することを目的とする。
状況に鑑みてなされたものであり、移動精度を確保しつ
つ、迅速に動作を完了することができる移動ステージ装
置を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の移動ス
テージ装置は、ステージ架台と、ステージ架台上に非接
触ベアリングを介して設けられ、試料を所定の方向に移
動する主ステージと、主ステージと連動して所定の方向
に移動する副ステージと、副ステージに連結された配線
配管部と、主ステージと副ステージとを所定の方向に駆
動するリニアモータと、主ステージと副ステージとを相
対移動可能に連結する連結部とを備えることを特徴とす
る。
テージ装置は、ステージ架台と、ステージ架台上に非接
触ベアリングを介して設けられ、試料を所定の方向に移
動する主ステージと、主ステージと連動して所定の方向
に移動する副ステージと、副ステージに連結された配線
配管部と、主ステージと副ステージとを所定の方向に駆
動するリニアモータと、主ステージと副ステージとを相
対移動可能に連結する連結部とを備えることを特徴とす
る。
【0005】請求項2に記載の移動ステージ装置は、非
接触ベアリングがエアベアリングであることを特徴とす
る。
接触ベアリングがエアベアリングであることを特徴とす
る。
【0006】請求項1に記載の移動ステージ装置におい
ては、主ステージと副ステージとが相対移動可能となる
ように連結部で連結され、副ステージに、配線配管部が
連結される。従って、配線配管部の重量や剛性が大きく
ても、主ステージの移動精度がそれにより悪影響を受け
るおそれが少なくなり、主ステージを高精度に移動させ
ることが可能となる。従って、装置本体から移動ステー
ジ装置に配管および配線を直接接続できる。
ては、主ステージと副ステージとが相対移動可能となる
ように連結部で連結され、副ステージに、配線配管部が
連結される。従って、配線配管部の重量や剛性が大きく
ても、主ステージの移動精度がそれにより悪影響を受け
るおそれが少なくなり、主ステージを高精度に移動させ
ることが可能となる。従って、装置本体から移動ステー
ジ装置に配管および配線を直接接続できる。
【0007】請求項2に記載の移動ステージ装置におい
ては、ステージ架台と主ステージとの間の非接触ベアリ
ングが、エアベアリングとされる。従って移動精度を非
常に高くすることができる。
ては、ステージ架台と主ステージとの間の非接触ベアリ
ングが、エアベアリングとされる。従って移動精度を非
常に高くすることができる。
【0008】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の移動ステージ装
置の実施の形態の構成を示す。ステージ架台1上には、
主ステージ2用の精密エアガイド6、副ステージ8用の
メカニカルガイド10、ならびに主および副ステージの
駆動用リニアモータ4が、延設されている。
置の実施の形態の構成を示す。ステージ架台1上には、
主ステージ2用の精密エアガイド6、副ステージ8用の
メカニカルガイド10、ならびに主および副ステージの
駆動用リニアモータ4が、延設されている。
【0009】主ステージ2の下面には、ブロックとエア
パッドとにより構成されるエアベアリングが設けられて
いる。リニアモータ4のキャリッジは、主ステージ2に
固定されており、制御電流に応じて、主ステージ2は、
エアガイド6によって案内されてx軸方向に移動させら
れる。エアガイド6を使用しているため、この移動精度
は、非常に高いが、エアガイド6は、メカニカルガイド
10ほど剛性は高くない。主ステージ2上に設けられる
試料台(図示せず)の上面には、プリント基板等(図示
せず)が載置される。
パッドとにより構成されるエアベアリングが設けられて
いる。リニアモータ4のキャリッジは、主ステージ2に
固定されており、制御電流に応じて、主ステージ2は、
エアガイド6によって案内されてx軸方向に移動させら
れる。エアガイド6を使用しているため、この移動精度
は、非常に高いが、エアガイド6は、メカニカルガイド
10ほど剛性は高くない。主ステージ2上に設けられる
試料台(図示せず)の上面には、プリント基板等(図示
せず)が載置される。
【0010】副ステージ8は、メカニカルガイド10に
よって案内され、主ステージ2とは独立にx軸方向へ移
動可能である。
よって案内され、主ステージ2とは独立にx軸方向へ移
動可能である。
【0011】電力や圧縮空気などを伝達する配線および
配管は、重量も大きく、また剛性も大きいため、装置本
体(図示せず)から引き出して主ステージ2に直接接続
してしまうと、x、yおよびz軸方向の力ならびに各軸
まわりのモーメントが作用し、主ステージ2の走り精度
が悪化してしまう。そこで、本実施の形態では、外乱を
生じさせる配線配管12を、剛性は高いが、走り精度は
悪くても良い副ステージ8に接続している。
配管は、重量も大きく、また剛性も大きいため、装置本
体(図示せず)から引き出して主ステージ2に直接接続
してしまうと、x、yおよびz軸方向の力ならびに各軸
まわりのモーメントが作用し、主ステージ2の走り精度
が悪化してしまう。そこで、本実施の形態では、外乱を
生じさせる配線配管12を、剛性は高いが、走り精度は
悪くても良い副ステージ8に接続している。
【0012】本実施の形態では、リニアモータ4の推力
を大きくし、x軸方向のみの外乱を受け持つことができ
るように構成されている。ステージ連結部14は、主ス
テージ2の駆動軸上すなわちリニアモータ4の推力軸に
設置されており、リニアモータ4の推力を、主ステージ
2だけでなく、副ステージ8にも伝達し、副ステージ8
専用の駆動源を設けずに副ステージ8の駆動を可能にし
ている。また、ステージ連結部14は、主ステージ2が
x軸方向のみの力を推力軸上に受け、yおよびz軸方向
の力ならびにx、yおよびz軸まわりの回転モーメント
を受けないようにして、主ステージ2の走り精度を高く
できるようにしている。
を大きくし、x軸方向のみの外乱を受け持つことができ
るように構成されている。ステージ連結部14は、主ス
テージ2の駆動軸上すなわちリニアモータ4の推力軸に
設置されており、リニアモータ4の推力を、主ステージ
2だけでなく、副ステージ8にも伝達し、副ステージ8
専用の駆動源を設けずに副ステージ8の駆動を可能にし
ている。また、ステージ連結部14は、主ステージ2が
x軸方向のみの力を推力軸上に受け、yおよびz軸方向
の力ならびにx、yおよびz軸まわりの回転モーメント
を受けないようにして、主ステージ2の走り精度を高く
できるようにしている。
【0013】図2は、図1のステージ連結部14の一構
成例を示す。x、yおよびz軸まわりの回転が可能な2
つの玉軸受け142および146は、互いに対向するよ
うに、玉軸受け142が、主ステージ2に固定され、玉
軸受け146が、支持部材144の一端に固定されてい
る。支持部材144の他端は、主ステージ2に固定され
ている。副ステージ8のアーム80が、対向する玉軸受
け142および146の間に挿入される。玉軸受け14
2および146ならびにアーム80に適当な予圧を与え
るために、ネジ部148Sおよびナット148Nにより
構成される予圧調整部148が設けられている。
成例を示す。x、yおよびz軸まわりの回転が可能な2
つの玉軸受け142および146は、互いに対向するよ
うに、玉軸受け142が、主ステージ2に固定され、玉
軸受け146が、支持部材144の一端に固定されてい
る。支持部材144の他端は、主ステージ2に固定され
ている。副ステージ8のアーム80が、対向する玉軸受
け142および146の間に挿入される。玉軸受け14
2および146ならびにアーム80に適当な予圧を与え
るために、ネジ部148Sおよびナット148Nにより
構成される予圧調整部148が設けられている。
【0014】ステージ連結部14をこのように構成する
ことにより、主ステージ2と副ステージ8の力学的結合
は、x軸方向の力Fxのみとなり、yおよびz軸方向の
力FyおよびFzならびに回転モーメントMx、Myお
よびMzは、結合されない。従って、メカニカルガイド
10の走り誤差や、配線配管12の外乱によって、副ス
テージ8の走り精度が悪くなっても、主ステージ2には
悪影響を与えることなく、リニアモータ4の推力を副ス
テージ8に伝達することができる。
ことにより、主ステージ2と副ステージ8の力学的結合
は、x軸方向の力Fxのみとなり、yおよびz軸方向の
力FyおよびFzならびに回転モーメントMx、Myお
よびMzは、結合されない。従って、メカニカルガイド
10の走り誤差や、配線配管12の外乱によって、副ス
テージ8の走り精度が悪くなっても、主ステージ2には
悪影響を与えることなく、リニアモータ4の推力を副ス
テージ8に伝達することができる。
【0015】図3は、図1のステージ連結部の別の構成
例を示す。このステージ連結部24は、x,yおよびz
軸まわりの回転が可能な玉軸受け242Aおよび242
Bが互いに背向するように組まれた玉軸受けユニット2
42が、副ステージ8の先端に固定され、主ステージ2
および支持部材244によって玉軸受けユニット242
を挟み込む構成となっている。予圧調整は、固定ねじ2
48および249によって、主ステージ2と支持部材2
44との間隔を調整することによって行う。このような
構成のステージ連結部24によっても、図2のステージ
連結部14と同様な利点が得られる。
例を示す。このステージ連結部24は、x,yおよびz
軸まわりの回転が可能な玉軸受け242Aおよび242
Bが互いに背向するように組まれた玉軸受けユニット2
42が、副ステージ8の先端に固定され、主ステージ2
および支持部材244によって玉軸受けユニット242
を挟み込む構成となっている。予圧調整は、固定ねじ2
48および249によって、主ステージ2と支持部材2
44との間隔を調整することによって行う。このような
構成のステージ連結部24によっても、図2のステージ
連結部14と同様な利点が得られる。
【0016】なお、図1の実施の形態において、主ステ
ージ2と副ステージ8との間の電気および空圧等の伝達
は、両ステージの間隔が小さく、ほとんど変化しないの
で、フレキシブルケーブルや、気密性樹脂をライニング
した布製蛇腹等を使用しておこなえばよい。
ージ2と副ステージ8との間の電気および空圧等の伝達
は、両ステージの間隔が小さく、ほとんど変化しないの
で、フレキシブルケーブルや、気密性樹脂をライニング
した布製蛇腹等を使用しておこなえばよい。
【0017】
【発明の効果】請求項1の移動ステージ装置によれば、
副ステージに配線配管部を連結し、主ステージと副ステ
ージとを、連結部により相対移動可能に連結するように
したので、配線配管部の重量や剛性が大きい場合であっ
ても、主ステージを高精度に移動させ、かつ、一連の動
作を迅速に完了することができる。
副ステージに配線配管部を連結し、主ステージと副ステ
ージとを、連結部により相対移動可能に連結するように
したので、配線配管部の重量や剛性が大きい場合であっ
ても、主ステージを高精度に移動させ、かつ、一連の動
作を迅速に完了することができる。
【0018】請求項2の移動ステージ装置によれば、非
接触ベアリングをエアベアリングとしたので、非常に高
い移動精度を確保することができる。
接触ベアリングをエアベアリングとしたので、非常に高
い移動精度を確保することができる。
【図1】本発明の移動ステージ装置の実施の形態の構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図2】図1のステージ連結部14の構成例を示す平面
図である。
図である。
【図3】図1のステージ連結部の別の構成例を示す平面
図である。
図である。
2 主ステージ 4 リニアモータ 6 精密エアガイド 8 副ステージ 10 メカニカルガイド 12 配線配管 14,24 ステージ連結部 80 アーム 142、146 玉軸受け 242 玉軸受けユニット 242A,242B 玉軸受け
Claims (2)
- 【請求項1】 ステージ架台と、 前記ステージ架台上に非接触ベアリングを介して設けら
れ、試料を所定の方向に移動する主ステージと、 前記主ステージと連動して前記所定の方向に移動する副
ステージと、 前記副ステージに連結された配線配管部と、 前記主ステージと前記副ステージとを前記所定の方向に
駆動するリニアモータと、 前記主ステージと前記副ステージとを相対移動可能に連
結する連結部とを備えることを特徴とする移動ステージ
装置。 - 【請求項2】 前記非接触ベアリングはエアベアリング
であることを特徴とする請求項1記載の移動ステージ装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17550899A JP3262228B2 (ja) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | 移動ステージ装置およびステージ移動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17550899A JP3262228B2 (ja) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | 移動ステージ装置およびステージ移動方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04040241A Division JP3141490B2 (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | 移動ステージ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000056051A true JP2000056051A (ja) | 2000-02-25 |
JP3262228B2 JP3262228B2 (ja) | 2002-03-04 |
Family
ID=15997285
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17550899A Expired - Fee Related JP3262228B2 (ja) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | 移動ステージ装置およびステージ移動方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3262228B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003053249A (ja) * | 2001-08-22 | 2003-02-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 枚葉式塗工装置 |
JP2008042201A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Asml Netherlands Bv | ケーブル接続、ケーブル接続用の制御システム、およびケーブル接続を経て振動が第1の対象から第2の対象へと伝達されることを軽減する方法 |
JPWO2005122242A1 (ja) * | 2004-06-07 | 2008-04-10 | 株式会社ニコン | ステージ装置、露光装置及び露光方法 |
US8472008B2 (en) | 2009-06-19 | 2013-06-25 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method |
JPWO2016139744A1 (ja) * | 2015-03-03 | 2017-05-25 | 三菱電機株式会社 | 半導体製造装置 |
CN113015346A (zh) * | 2019-12-19 | 2021-06-22 | 鸿劲精密股份有限公司 | 薄型化平台与应用该薄型化平台的作业设备 |
-
1999
- 1999-06-22 JP JP17550899A patent/JP3262228B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003053249A (ja) * | 2001-08-22 | 2003-02-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 枚葉式塗工装置 |
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JP4655039B2 (ja) * | 2004-06-07 | 2011-03-23 | 株式会社ニコン | ステージ装置、露光装置及び露光方法 |
JP2011077528A (ja) * | 2004-06-07 | 2011-04-14 | Nikon Corp | ステージ装置、露光装置及び露光方法 |
US8325326B2 (en) | 2004-06-07 | 2012-12-04 | Nikon Corporation | Stage unit, exposure apparatus, and exposure method |
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US8743344B2 (en) | 2006-08-08 | 2014-06-03 | Asml Netherlands B.V. | Cable connection, control system, and method to decrease the passing on of vibrations from a first object to a second object |
US8472008B2 (en) | 2009-06-19 | 2013-06-25 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method |
TWI502284B (zh) * | 2009-06-19 | 2015-10-01 | 尼康股份有限公司 | 移動體裝置、曝光裝置及裝置製造方法 |
WO2010147242A3 (en) * | 2009-06-19 | 2015-10-22 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method |
JPWO2016139744A1 (ja) * | 2015-03-03 | 2017-05-25 | 三菱電機株式会社 | 半導体製造装置 |
CN113015346A (zh) * | 2019-12-19 | 2021-06-22 | 鸿劲精密股份有限公司 | 薄型化平台与应用该薄型化平台的作业设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3262228B2 (ja) | 2002-03-04 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
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