JP2000042951A - Automatically guided vehicle - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、主にクリーンルー
ム内においてウエハーカセットを搬送するため等に用い
て好適な無人搬送車に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an unmanned transfer vehicle suitable for transferring a wafer cassette in a clean room.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体の製造を行うクリーンルームにお
いては、無人搬送車によりウエーハカセット（ウエーハ
を多数収納する容器）の搬送を行っている。従来の無人
搬送車は、基本的に、走行台車上にワーク載置用の荷台
と、移載ロボットを備えた構成となっており、複数の製
造装置（外部装置）に沿って軌道を敷設しておき、この
軌道に沿って無人搬送車を走行させ、移載ロボットで各
製造装置と荷台との間でワークの移載を行うようになっ
ている。2. Description of the Related Art In a clean room for manufacturing semiconductors, wafer cassettes (containers for accommodating a large number of wafers) are transported by unmanned transport vehicles. A conventional automatic guided vehicle basically has a configuration in which a carrier for mounting a work and a transfer robot are provided on a traveling carriage, and a track is laid along a plurality of manufacturing apparatuses (external apparatuses). In advance, the unmanned carrier is driven along this track, and the transfer robot transfers the work between each manufacturing apparatus and the carrier.
【０００３】ところで、このような無人搬送車において
は、省スペース化を図るために、製造装置と無人搬送車
の間隔、および無人搬送車自体の外形寸法を縮小するこ
とが望まれており、このために種々の工夫がなされてい
る。In such an automatic guided vehicle, it is desired to reduce the space between the manufacturing apparatus and the automatic guided vehicle and the external dimensions of the automatic guided vehicle itself in order to save space. For this reason, various devices have been devised.
【０００４】図１３ないし図１５に示す各例において
は、いずれも、無人搬送車１は、走行台車２上の前部と
後部にワーク載置用の荷台３を設け、走行台車２の中央
部に移載ロボット４を備えた構成となっている。そし
て、無人搬送車１は、移載ロボット４の先端部に備えた
フィンガ６でワークＷをすくい取り、移載ロボット４の
アーム７を旋回させることによって、各製造装置（外部
装置）５のワーク受け渡しポート５ａと荷台３との間で
ワークＷの移載を行うようになっている。[0004] In each of the examples shown in FIGS. 13 to 15, the automatic guided vehicle 1 is provided with a load carrier 3 for mounting a work at a front portion and a rear portion on a traveling vehicle 2, and a central portion of the traveling vehicle 2. And a transfer robot 4. Then, the automatic guided vehicle 1 scoops up the work W with the finger 6 provided at the tip of the transfer robot 4 and turns the arm 7 of the transfer robot 4 to turn the work of each manufacturing apparatus (external device) 5. The transfer of the work W is performed between the delivery port 5a and the carrier 3.
【０００５】これらの例のうち、まず、図１３に示すも
のは、無人搬送車１と製造装置５との間隔を最小とする
ことを目的としたもので、この無人搬送車１Ａでは、ア
ーム７の上面にフィンガ６が備えられた構成となってい
る。そして、無人搬送車１と製造装置５との間隔を最小
限としたときに、アーム７の先端面を製造装置５の前面
に対向して位置してワーク受け渡しポート５ａにワーク
Ｗを受け渡しできるよう、フィンガ６の長さが設定され
ている。[0005] Of these examples, the one shown in FIG. 13 is aimed at minimizing the distance between the automatic guided vehicle 1 and the manufacturing apparatus 5. The finger 6 is provided on the upper surface of the. When the distance between the automatic guided vehicle 1 and the manufacturing apparatus 5 is minimized, the tip end surface of the arm 7 is positioned to face the front surface of the manufacturing apparatus 5 so that the work W can be transferred to the work transfer port 5a. , The length of the finger 6 is set.
【０００６】図１４に示すものは、無人搬送車１の前後
長を最小限とすることを目的としたもので、この無人搬
送車１Ｂでは、一方の荷台３にワークＷを受け渡しする
ときに、このワークＷを保持するフィンガ６の後端部が
他方の荷台３に干渉しない範囲内で、前後の荷台３，３
の間隔が最小限となるよう設定されている。FIG. 14 is intended to minimize the front-rear length of the automatic guided vehicle 1. In the automatic guided vehicle 1 B, when transferring the workpiece W to one of the loading platforms 3, As long as the rear end of the finger 6 holding the work W does not interfere with the other carrier 3, the front and rear carriers 3, 3
Is set to be the minimum.
【０００７】図１５に示すものは、フィンガ６の長さを
最小とすることを主眼としたもので、この無人搬送車１
Ｃでは、アーム７の先端部を構成する上部アーム７ａの
下面にフィンガ６Ｃを備えている。このような構成で
は、上部アーム７ａが製造装置５の前面に干渉すること
なくワーク受け渡しポート５ａ内に入り込むようになっ
ているため、フィンガ６Ｃが、ワーク受け渡しポート５
ａでワークＷを受け渡しできる最小限の長さに設定され
ている。FIG. 15 mainly shows that the length of the finger 6 is minimized.
In C, a finger 6C is provided on the lower surface of the upper arm 7a constituting the distal end of the arm 7. In such a configuration, since the upper arm 7a enters the work transfer port 5a without interfering with the front surface of the manufacturing apparatus 5, the finger 6C is connected to the work transfer port 5a.
The length is set to the minimum length that allows the work W to be transferred at a.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の無人搬送車には、以下のような問題が存
在する。まず、図１３に示した無人搬送車１Ａでは、フ
ィンガ６の長さが、アーム７の先端面を製造装置５の前
面に対向して位置させた状態でワーク受け渡しポート５
ａにワークＷを受け渡しできるよう設定されているた
め、フィンガ６が長くなる。したがって、アーム７を旋
回させるときの最小半径はフィンガ６の長さによって決
定されてしまい、その結果、図１３（ｂ）に示したよう
に、前後の荷台３，３間の間隔がフィンガ６の長さ以上
必要となり、無人搬送車１Ａの前後長をそれ以上縮める
ことができないという問題がある。However, the conventional automatic guided vehicle as described above has the following problems. First, in the automatic guided vehicle 1 </ b> A shown in FIG. 13, the length of the finger 6 is set such that the tip end surface of the arm 7 is positioned to face the front surface of the manufacturing apparatus 5 and the work transfer port 5
Since the setting is made such that the workpiece W can be transferred to a, the finger 6 becomes longer. Therefore, the minimum radius when the arm 7 is turned is determined by the length of the finger 6, and as a result, as shown in FIG. The length is longer than the length, and there is a problem that the front-rear length of the automatic guided vehicle 1A cannot be further reduced.
【０００９】また、図１４に示した無人搬送車１Ｂで
は、その前後長を最小限とすることができるものの、フ
ィンガ６を旋回させるときには、荷台３，３間の間隔が
狭いので、他方の荷台３に干渉しない範囲でフィンガ６
の後端部側を中心として先端部側を振って旋回させなけ
ればならない（図１４（ａ）中の二点鎖線を参照）。こ
のため、フィンガ６が無人搬送車１Ｂの側方に張り出し
て旋回することになるため、無人搬送車１Ｂと製造装置
５との間隔を狭めることができない。Further, in the automatic guided vehicle 1B shown in FIG. 14, although the front-rear length can be minimized, when the finger 6 is turned, the interval between the loading platforms 3, 3 is narrow, so that the other Finger 6 as long as it does not interfere with 3
(See the two-dot chain line in FIG. 14A). For this reason, since the finger 6 projects and turns to the side of the automatic guided vehicle 1B, the interval between the automatic guided vehicle 1B and the manufacturing apparatus 5 cannot be reduced.
【００１０】図１５に示した無人搬送車１Ｃでは、フィ
ンガ６Ｃの上方に上部アーム７ａが位置するため、フィ
ンガ６Ｃを引き込むとフィンガ６Ｃ上で保持したワーク
Ｗと上部アーム７ａが干渉してしまう（図１５（ａ）中
の二点鎖線を参照）。このため、フィンガ６Ｃの引き込
み寸法が制限され、アーム７を旋回させたときの旋回半
径（フィンガ６Ｃの先端部が旋回したときの軌跡）が大
きくなる。その結果、この旋回半径によって無人搬送車
１Ｃと製造装置５との間隔、および前後の荷台３，３の
間隔が決定されてしまい、無人搬送車１Ｃと製造装置５
との間隔については、図１３に示した無人搬送車１Ａの
場合ほど小さくすることができず、また前後の荷台３，
３の間隔については図１４に示した無人搬送車１Ｂの場
合ほど小さくすることができない。In the automatic guided vehicle 1C shown in FIG. 15, since the upper arm 7a is located above the finger 6C, when the finger 6C is retracted, the work W held on the finger 6C and the upper arm 7a interfere with each other ( (See the two-dot chain line in FIG. 15A). For this reason, the retraction dimension of the finger 6C is limited, and the turning radius when the arm 7 turns (the trajectory when the tip of the finger 6C turns) increases. As a result, the distance between the automatic guided vehicle 1C and the manufacturing device 5 and the distance between the front and rear loading platforms 3 and 3 are determined by the turning radius, and the automatic guided vehicle 1C and the manufacturing device 5 are determined.
Cannot be reduced as much as the case of the automatic guided vehicle 1A shown in FIG.
The interval of 3 cannot be made as small as that of the automatic guided vehicle 1B shown in FIG.
【００１１】このように、製造装置５と無人搬送車１の
間隔、および無人搬送車１自体の外形寸法を縮小するこ
とが望まれていながらも、これを実現できる決定的な無
人搬送車１は依然として提供されていないのが現実であ
る。As described above, although it is desired to reduce the distance between the manufacturing apparatus 5 and the automatic guided vehicle 1 and the external dimensions of the automatic guided vehicle 1 itself, the definitive automatic guided vehicle 1 capable of realizing this is: The reality is that it has not been provided yet.
【００１２】本発明は、以上のような点を考慮してなさ
れたもので、製造装置と無人搬送車の間隔、および無人
搬送車自体の外形寸法を縮小することのできる無人搬送
車を提供することを課題とする。The present invention has been made in view of the above points, and provides an automatic guided vehicle capable of reducing the distance between the manufacturing apparatus and the automatic guided vehicle and the external dimensions of the automatic guided vehicle itself. That is the task.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
荷台にワークを載せて搬送する走行台車上に、前記荷台
と外部装置との間でワークを移載する移載ロボットを搭
載した無人搬送車であって、前記走行台車の前後方向略
中央部分に前記移載ロボットが搭載され、前記移載ロボ
ットが、前記走行台車上に立設された主軸と、この主軸
の上端に水平面内で旋回可能に連結されたアームとを有
した構成とされ、前記アームの先端部には、前記ワーク
を把持するフィンガと、該フィンガを昇降させるための
昇降機構が備えられて、該昇降機構では、前記外部装置
のワーク受け渡しポートでワークを受け渡しするときに
は、前記フィンガが前記アームよりも下方に位置し、か
つ前記フィンガを引き込んだときには前記フィンガが前
記アームの上方に位置するよう、前記フィンガを昇降さ
せる構成となっていることを特徴としている。The invention according to claim 1 is
An unmanned carrier equipped with a transfer robot that transfers a work between the carrier and an external device, on a traveling carrier that carries the workpiece on the carrier, and is provided at a substantially central portion in the front-rear direction of the carrier. The transfer robot is mounted, the transfer robot is configured to have a main shaft erected on the traveling carriage, and an arm connected to the upper end of the main shaft so as to be pivotable in a horizontal plane, The distal end of the arm is provided with a finger for gripping the work and an elevating mechanism for elevating and lowering the finger. Is located below the arm, and when the finger is pulled in, the finger is positioned above the arm so that the finger is moved up and down. It is characterized in Rukoto.
【００１４】このようにしてアームの先端部にフィンガ
を昇降させる昇降機構を備え、ワーク受け渡しポートで
ワークを受け渡しするときにはフィンガがアームよりも
下方に下げることによって、アームの先端部が外部装置
に干渉することがなく、フィンガの長さを最小限にする
ことができる。また、フィンガを引き込んだときにはフ
ィンガをアームの上方に上げることによって、フィンガ
で保持したワークがアームの先端部に干渉することがな
く、フィンガの旋回半径を小さくすることができる。In this way, the lifting mechanism for raising and lowering the finger is provided at the distal end of the arm. When the workpiece is transferred at the workpiece transfer port, the finger is lowered below the arm, so that the distal end of the arm interferes with the external device. And the length of the fingers can be minimized. When the finger is pulled in, the finger is raised above the arm, so that the work held by the finger does not interfere with the tip of the arm, and the turning radius of the finger can be reduced.
【００１５】請求項２に係る発明は、請求項１記載の無
人搬送車であって、前記昇降機構が、一端が前記アーム
側に鉛直面内で回転駆動可能に連結され、他端が前記フ
ィンガに回動可能に連結された平行リンクからなること
を特徴としている。According to a second aspect of the present invention, there is provided the automatic guided vehicle according to the first aspect, wherein one end of the lifting mechanism is rotatably connected to the arm side in a vertical plane, and the other end is the finger. And a parallel link rotatably connected to the main body.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る無人搬送車の
実施の形態の一例を、図１ないし図１２を参照して説明
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of an automatic guided vehicle according to the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００１７】図１および図２に示す無人搬送車１０は、
主として半導体製造設備のクリーンルーム内に配備され
るものであり、下部に複数の走行車輪１１ａを備える走
行台車１１を有し、走行台車１１上の前後にはそれぞれ
半導体カセット等のワークＷを載置するための荷台３，
３が設けられ、荷台３，３間の略中央部分には、外部と
の間でワークＷを移載する移載ロボット１２が搭載され
ている。The automatic guided vehicle 10 shown in FIG. 1 and FIG.
It is mainly provided in a clean room of a semiconductor manufacturing facility, has a traveling vehicle 11 provided with a plurality of traveling wheels 11a at a lower portion, and places a work W such as a semiconductor cassette on the front and rear of the traveling vehicle 11 respectively. Loading platform 3,
A transfer robot 12 for transferring the work W between itself and the outside is mounted at a substantially central portion between the loading platforms 3 and 3.
【００１８】移載ロボット１２は、走行台車１１の上面
より上方に延びる主軸１３と、主軸１３の上端に設けら
れたアーム１４とを主体とし、アーム１４の先端部に
は、ワークＷをすくい上げて把持するフィンガ１５と、
このフィンガ１５を昇降させる昇降機構１６とが備えら
れている。アーム１４は、主軸１３の上端に下部アーム
１４ａの基端部が水平面内で旋回可能に連結され、下部
アーム１４ａの先端部には上部アーム１４ｂの基端部が
水平面内で旋回可能に連結された構成となっている。こ
のように、移載ロボット１２は、これら下部アーム１４
ａ、上部アーム１４ｂを駆動部（図示なし）によって水
平面内で自在に旋回駆動させる水平多関節形のロボット
を構成している。The transfer robot 12 is mainly composed of a main shaft 13 extending above the upper surface of the traveling vehicle 11 and an arm 14 provided at the upper end of the main shaft 13. Fingers 15 to be gripped,
An elevating mechanism 16 for raising and lowering the finger 15 is provided. In the arm 14, the base end of the lower arm 14a is connected to the upper end of the main shaft 13 so as to be pivotable in a horizontal plane, and the base end of the upper arm 14b is connected to the distal end of the lower arm 14a so as to be pivotable in the horizontal plane. Configuration. In this way, the transfer robot 12 can move these lower arms 14
a, a horizontal multi-joint type robot that freely rotates and drives the upper arm 14b in a horizontal plane by a driving unit (not shown).
【００１９】このとき、図２に示したように、移載ロボ
ット１２は、上部アーム１４ｂの上面が、製造装置５の
ワーク受け渡しポート５ａよりも上方で、かつ移載ロボ
ット１２の前後に設けられた荷台３よりも下方に位置す
るよう設定されている。言い換えれば、荷台３の高さ
が、上部アーム１４ｂの上面よりも上方となり、ワーク
受け渡しポート５ａの高さが、上部アーム１４ｂの上面
よりも下方となるよう設定されているAt this time, as shown in FIG. 2, the transfer robot 12 has the upper surface of the upper arm 14b provided above the work transfer port 5a of the manufacturing apparatus 5 and in front of and behind the transfer robot 12. It is set to be located lower than the loading platform 3. In other words, the height of the carrier 3 is set higher than the upper surface of the upper arm 14b, and the height of the work transfer port 5a is set lower than the upper surface of the upper arm 14b.
【００２０】昇降機構１６は、アーム１４の上部アーム
１４ｂの先端部の上面に駆動ユニット１７が取り付けら
れ、この駆動ユニット１７には、二本一対の平行リンク
１８，１８が鉛直面内で旋回駆動可能に連結された構成
となっている。そして、平行リンク１８，１８の先端部
には、上下方向に延在する連結部材１９が回動自在に連
結され、この連結部材１９の下端部には、平面視略コ字
状の前記フィンガ１５が一体に取り付けられている。The lifting mechanism 16 has a drive unit 17 mounted on the upper surface of the distal end of the upper arm 14b of the arm 14. The drive unit 17 has a pair of parallel links 18, 18 which are driven to rotate in a vertical plane. It is configured to be connected as possible. A connecting member 19 extending in the up-down direction is rotatably connected to the distal ends of the parallel links 18, 18, and the lower end of the connecting member 19 is provided with the finger 15 having a substantially U-shape in plan view. Are attached integrally.
【００２１】次に、上記構成の無人搬送車１の作用につ
いて説明する。このような無人搬送車１０で、製造装置
５のワーク受け渡しポート５ａ上のワークＷを、走行台
車１１の荷台３上に移載するには、まず、図３（ａ）お
よび（ｂ）に示すように、無人搬送車１０を製造装置５
に面した所定位置、つまり、移載ロボット１２がワーク
受け渡しポート５ａに面する位置で停止させる。Next, the operation of the automatic guided vehicle 1 having the above configuration will be described. In order to transfer the work W on the work transfer port 5a of the manufacturing apparatus 5 onto the carrier 3 of the traveling vehicle 11 in such an automatic guided vehicle 10, first, FIGS. 3A and 3B show. As shown in FIG.
, Ie, the transfer robot 12 is stopped at a position facing the workpiece transfer port 5a.
【００２２】次いで、移載ロボット１２のアーム１４の
下部アーム１４ａ，上部アーム１４ｂをそれぞれ水平旋
回駆動させて、フィンガ１５を製造装置５側に移動させ
る。そして、図４（ａ）および（ｂ）に示すように、下
部アーム１４ａと上部アーム１４ｂとが重なり、フィン
ガ１５がアーム１４と干渉しない位置、すなわち上部ア
ーム１４ｂよりも製造装置５側に寄った位置で、昇降機
構１６の駆動ユニット１７で平行リンク１８を駆動さ
せ、フィンガ１５を上部アーム１４ｂの下面よりも下方
に下降させ、ワーク受け渡しポート５ａと略同レベルに
位置させる。Next, the lower arm 14a and the upper arm 14b of the arm 14 of the transfer robot 12 are each driven to rotate horizontally to move the finger 15 to the manufacturing apparatus 5 side. Then, as shown in FIGS. 4A and 4B, the lower arm 14a and the upper arm 14b overlap, and the finger 15 does not interfere with the arm 14, that is, is closer to the manufacturing apparatus 5 side than the upper arm 14b. At this position, the parallel link 18 is driven by the drive unit 17 of the elevating mechanism 16 to lower the finger 15 below the lower surface of the upper arm 14b, so that the finger 15 is positioned at substantially the same level as the work transfer port 5a.
【００２３】続いて、図５（ａ）および（ｂ）に示すよ
うに、アーム１４の下部アーム１４ａ，上部アーム１４
ｂをそれぞれ水平旋回駆動させて、フィンガ１５をワー
ク受け渡しポート５ａに向けて押し出し、ワーク受け渡
しポート５ａ上のワークＷの下方に位置させる。このと
き、アーム１４の上部アーム１４ｂはフィンガ１５より
も上方に位置しているので、フィンガ１５をワーク受け
渡しポート５ａに向けて押し出しても、上部アーム１４
ｂは製造装置５に干渉することなく、ワーク受け渡しポ
ート５ａ内に入り込むこととなる。Subsequently, as shown in FIGS. 5A and 5B, the lower arm 14a and the upper arm
b are horizontally rotated to push the finger 15 toward the work transfer port 5a, and to position the finger 15 below the work W on the work transfer port 5a. At this time, since the upper arm 14b of the arm 14 is located above the finger 15, even if the finger 15 is pushed out toward the work transfer port 5a,
b enters the workpiece transfer port 5a without interfering with the manufacturing apparatus 5.
【００２４】そして、図６（ａ）および（ｂ）に示すよ
うに、昇降機構１６の駆動ユニット１７で平行リンク１
８を駆動し、フィンガ１５を上昇させてワークＷをすく
い上げる。Then, as shown in FIGS. 6A and 6B, the parallel link 1 is
8 is driven to raise the finger 15 to scoop up the workpiece W.
【００２５】この後、図７（ａ）および（ｂ）に示すよ
うに、アーム１４の下部アーム１４ａ，上部アーム１４
ｂをそれぞれ水平旋回駆動させて、フィンガ１５を無人
搬送車１０側に引き込む。そして、図８（ａ）および
（ｂ）に示すように、ワークＷがワーク受け渡しポート
５ａ外に引き出された時点で、昇降機構１６でフィンガ
１５をさらに上昇させ、アーム１４の上部アーム１４ｂ
よりも上方位置まで上昇させる。この状態で、アーム１
４を作動させてフィンガ１５をさらに引き込むことによ
って、フィンガ１５およびフィンガ１５で把持したワー
クＷが上部アーム１４ｂに干渉することはなく、フィン
ガ１５を、平面視すれば上部アーム１４ｂと重なる位置
まで引き込むことができる。Thereafter, as shown in FIGS. 7A and 7B, the lower arm 14a and the upper arm 14
Then, the fingers 15 are retracted into the automatic guided vehicle 10 by horizontally turning the b. Then, as shown in FIGS. 8A and 8B, when the work W is drawn out of the work transfer port 5a, the finger 15 is further raised by the elevating mechanism 16, and the upper arm 14b of the arm 14 is moved.
To an upper position. In this state, arm 1
The finger 15 and the workpiece W gripped by the finger 15 do not interfere with the upper arm 14b by operating the 4 to further retract the finger 15, and the finger 15 is retracted to a position overlapping the upper arm 14b in a plan view. be able to.
【００２６】次いで、図９（ａ）および（ｂ）に示すよ
うに、アーム１４の下部アーム１４ａを旋回駆動させ
て、フィンガ１５を９０゜旋回させ、ワークＷを移載す
べき側の荷台３に対向させる。そして、図１０（ａ）お
よび（ｂ）に示すように、アーム１４の下部アーム１４
ａ，上部アーム１４ｂをそれぞれ旋回駆動させて、フィ
ンガ１５を荷台３の上方に移動させた後、図１１（ａ）
および（ｂ）に示すように、昇降機構１６でフィンガ１
５を下降させ、把持したワークＷを荷台３上に降ろす。
しかる後に、図１２（ａ）および（ｂ）に示すように、
アーム１４の下部アーム１４ａ，上部アーム１４ｂをそ
れぞれ旋回駆動させて、フィンガ１５をワークＷの下方
から引き出すことによって、ワークＷの製造装置５から
無人搬送車１０への移載が完了する。Next, as shown in FIGS. 9A and 9B, the lower arm 14a of the arm 14 is driven to rotate to rotate the finger 15 by 90.degree., And the carrier 3 on the side where the workpiece W is to be transferred. To face. Then, as shown in FIGS. 10A and 10B, the lower arm 14
a, after the upper arm 14b is driven to turn, respectively, to move the finger 15 above the carrier 3, FIG.
And (b), the finger 1 is moved by the lifting mechanism 16.
5 is lowered, and the gripped work W is lowered onto the carrier 3.
Thereafter, as shown in FIGS. 12A and 12B,
The lower arm 14a and the upper arm 14b of the arm 14 are respectively driven to rotate, and the fingers 15 are pulled out from below the work W, whereby the transfer of the work W from the manufacturing apparatus 5 to the automatic guided vehicle 10 is completed.
【００２７】なお、ワークＷを無人搬送車１０の荷台３
上から製造装置５のワーク受け渡しポート５ａに移載す
るときには、上記と逆の手順で行えばよい。The work W is transferred to the carrier 3 of the automatic guided vehicle 10.
When transferring to the work delivery port 5a of the manufacturing apparatus 5 from above, the procedure may be reversed.
【００２８】上述した無人搬送車１０では、移載ロボッ
ト１２のアーム１４の先端部に、フィンガ１５と、フィ
ンガ１５を昇降させるための例えば平行リンク１８から
なる昇降機構１６とを備え、製造装置５のワーク受け渡
しポート５ａでワークＷを受け渡しするときには、フィ
ンガ１５がアーム１４の上部アーム１４ａの上面よりも
下方に位置し、フィンガ１５を走行台車１１側に引き込
んだときにはフィンガ１５がアーム１４の上部アーム１
４ａの上面の上方に位置するよう、昇降機構１６でフィ
ンガ１５を昇降させる構成となっている。このように、
ワーク受け渡しポート５ａでワークＷを受け渡しすると
きに、フィンガ１５をアーム１４よりも下方に位置させ
ることによって、アーム１４の先端部が製造装置５に干
渉することがなく、したがって、フィンガ１５の長さを
最小限とすることができる。しかもその結果、一方の荷
台３にフィンガ１５を対向させた状態で、フィンガ１５
の後端部が他方の荷台３に干渉しない範囲内で、荷台
３，３の間隔を前記最小限の長さのフィンガ１５に合わ
せて設定できるので、無人搬送車１０の前後長を最小限
とすることが可能となる。また、フィンガ１５を走行台
車１１側に引き込んだときには、昇降機構１６でフィン
ガ１５をアーム１４の上方に上げることによって、フィ
ンガ１５で保持したワークＷがアーム１４の先端部に干
渉することがなく、したがって、フィンガ１５の引き込
み寸法が制限されることなく、フィンガ１５および昇降
機構１６の旋回半径を小さくすることができる。その結
果、無人搬送車１０と製造装置５との間隔を最小限とす
ることができる。In the automatic guided vehicle 10 described above, a finger 15 and an elevating mechanism 16 composed of, for example, a parallel link 18 for elevating the finger 15 are provided at the tip of the arm 14 of the transfer robot 12. When the work W is transferred by the work transfer port 5a, the finger 15 is located below the upper surface of the upper arm 14a of the arm 14, and when the finger 15 is pulled into the traveling carriage 11, the finger 15 is moved to the upper arm of the arm 14. 1
The finger 15 is moved up and down by the elevating mechanism 16 so as to be located above the upper surface of 4a. in this way,
When the work W is transferred at the work transfer port 5a, the finger 15 is positioned below the arm 14, so that the distal end of the arm 14 does not interfere with the manufacturing apparatus 5, and therefore, the length of the finger 15 Can be minimized. Moreover, as a result, the finger 15 is placed in a state where the finger 15 is
As long as the rear end does not interfere with the other carrier 3, the interval between the carriers 3, 3 can be set to match the finger 15 having the minimum length, so that the front-rear length of the automatic guided vehicle 10 can be minimized. It is possible to do. Further, when the finger 15 is pulled into the traveling vehicle 11, the work W held by the finger 15 does not interfere with the tip of the arm 14 by raising the finger 15 by the lifting mechanism 16 above the arm 14. Therefore, the turning radius of the finger 15 and the elevating mechanism 16 can be reduced without limiting the drawing-in dimension of the finger 15. As a result, the distance between the automatic guided vehicle 10 and the manufacturing device 5 can be minimized.
【００２９】しかも、このように無人搬送車１０の前後
長を小さくし、さらに無人搬送車１０と製造装置５との
間隔を最小限とすることによって、フィンガ１５の移動
距離を最短距離にすることができ、したがってワークＷ
の移載動作をより短時間で行うことが可能となり、無人
搬送車１０によるワークＷの搬送能力を向上させること
が可能となる。In addition, the moving distance of the finger 15 can be minimized by reducing the front-rear length of the automatic guided vehicle 10 and minimizing the interval between the automatic guided vehicle 10 and the manufacturing apparatus 5 as described above. And therefore work W
Can be performed in a shorter time, and the transfer capability of the workpiece W by the automatic guided vehicle 10 can be improved.
【００３０】また、昇降機構１６をフィンガ１５の基端
部に組み付けることによって、ワークＷ上昇時に昇降機
構１６に作用する重力負荷はフィンガ１５とワークＷだ
けとなり、昇降機構１６をこれよりも移載ロボット１２
の基端部側、つまりアーム１４の根元側に組み付ける場
合に比較して、昇降機構１６の作動負荷を軽減すること
ができる。したがって、昇降機構１６をより低出力のも
ので構成することによる低コスト化、あるいは昇降機構
１６の動作速度を速めることによる一層の搬送能力の向
上、を図ることができる。By assembling the elevating mechanism 16 to the base end of the finger 15, the gravitational load acting on the elevating mechanism 16 when the work W is lifted is limited to the finger 15 and the work W, and the elevating mechanism 16 is moved further. Robot 12
The operation load of the lifting / lowering mechanism 16 can be reduced as compared with the case of assembling it on the base end side, that is, on the base side of the arm 14. Therefore, the cost can be reduced by configuring the lifting mechanism 16 with a lower output, or the transport capacity can be further improved by increasing the operating speed of the lifting mechanism 16.
【００３１】なお、移載ロボット１２の関節数、フィン
ガ１５の形状、昇降機構１６の機構等については、上記
実施の形態で挙げたものに何ら限定されるものではな
い。例えば、昇降機構１６については、平行リンク１８
以外の構成を採用しても良い。The number of joints of the transfer robot 12, the shape of the fingers 15, the mechanism of the lifting mechanism 16, and the like are not limited to those described in the above embodiment. For example, regarding the lifting mechanism 16, the parallel link 18
Other configurations may be employed.
【００３２】これ以外にも、本発明の主旨を逸脱しない
範囲内であれば、いかなる構成を採用しても良く、また
上記したような構成を適宜選択的に組み合わせたものと
しても良いのは言うまでもない。Other than this, any configuration may be adopted as long as it does not depart from the gist of the present invention, and it is needless to say that the above-described configurations may be selectively combined as appropriate. No.
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１および２
に係る無人搬送車によれば、走行台車上に備えた移載ロ
ボットのアームの先端部に、フィンガと、フィンガを昇
降させるための例えば平行リンクからなる昇降機構とを
備え、外部装置のワーク受け渡しポートでワークを受け
渡しするときには、フィンガがアームよりも下方に位置
し、フィンガを引き込んだときにはフィンガがアームの
上方に位置するよう、昇降機構でフィンガを昇降させる
構成となっている。このように、ワーク受け渡しポート
でワークを受け渡しするときには、フィンガをアームよ
りも下方に位置させることによって、アームの先端部が
外部装置に干渉することがなく、フィンガの長さを最小
限とすることができる。その結果、この最小限の長さの
フィンガに合わせて荷台の間隔を設定できるので、無人
搬送車の前後長を最小限とすることが可能となる。ま
た、フィンガを走行台車側に引き込んだときには、昇降
機構でフィンガをアームの上方に上げることによって、
フィンガで保持したワークがアームの先端部に干渉する
ことがなく、したがって、フィンガの引き込み寸法が制
限されることなく、フィンガの旋回半径を小さくするこ
とができる。その結果、無人搬送車と外部装置との間隔
を最小限とすることができる。しかも、このように無人
搬送車の前後長を小さくし、さらに無人搬送車と外部装
置との間隔を最小限とすることによって、フィンガの移
動距離を最短距離にすることができ、したがってワーク
の移載動作をより短時間で行うことが可能となり、ひい
ては無人搬送車によるワークの搬送能力を向上させるこ
とが可能となる。また、昇降機構をフィンガの基端部に
組み付けることによって、ワーク上昇時に昇降機構に作
用する重力負荷はフィンガとワークだけとなり、昇降機
構をこれよりも移載ロボットの基端部側、つまりアーム
の根元側に組み付ける場合に比較して、昇降機構の作動
負荷を軽減することができ、昇降機構をより低出力のも
ので構成することによる低コスト化、あるいは昇降機構
の動作速度を速めることによる一層の搬送能力の向上、
を図ることができる。As described above, claims 1 and 2
According to the automatic guided vehicle according to the above, the end of the arm of the transfer robot provided on the traveling carriage is provided with a finger and an elevating mechanism composed of, for example, a parallel link for elevating the finger, and transferring the work of the external device. The fingers are moved up and down by an elevating mechanism so that the fingers are located below the arm when the workpiece is transferred at the port, and the fingers are located above the arm when the fingers are retracted. As described above, when the work is transferred at the work transfer port, the finger is positioned below the arm so that the tip of the arm does not interfere with the external device and the length of the finger is minimized. Can be. As a result, since the spacing between the loading platforms can be set in accordance with the finger having the minimum length, the front-rear length of the automatic guided vehicle can be minimized. In addition, when the finger is pulled into the traveling bogie, the finger is raised above the arm by the lifting mechanism,
The work held by the finger does not interfere with the tip of the arm, and therefore, the turning radius of the finger can be reduced without limiting the drawing-in dimension of the finger. As a result, the distance between the automatic guided vehicle and the external device can be minimized. In addition, by reducing the front-rear length of the automatic guided vehicle and minimizing the distance between the automatic guided vehicle and an external device, the moving distance of the finger can be minimized, and therefore, the transfer of the workpiece can be performed. The loading operation can be performed in a shorter time, and the transfer capability of the workpiece by the automatic guided vehicle can be improved. Also, by assembling the elevating mechanism to the base end of the finger, the gravitational load acting on the elevating mechanism when the work is lifted is limited to the finger and the work only. The operating load of the lifting mechanism can be reduced as compared with the case where the lifting mechanism is mounted on the base side, and the cost can be reduced by configuring the lifting mechanism with a lower output, or further by increasing the operating speed of the lifting mechanism. The transfer capacity of
Can be achieved.
【図１】 本発明に係る無人搬送車の一例を示す平面図
である。FIG. 1 is a plan view showing an example of an automatic guided vehicle according to the present invention.
【図２】 図１の側面図である。FIG. 2 is a side view of FIG.
【図３】 前記無人搬送車でワークを移載する方法を示
す図であって、初期状態を示す平面図および側面図であ
る。FIG. 3 is a plan view and a side view showing an initial state, showing a method of transferring a work by the automatic guided vehicle.
【図４】 同、フィンガをアームよりも下方に下げた状
態を示す平面図および側面図である。FIG. 4 is a plan view and a side view showing a state where the finger is lowered below the arm.
【図５】 同、アームを伸ばし、フィンガをワークの下
方に差し込んだ状態を示す平面図および側面図である。FIGS. 5A and 5B are a plan view and a side view showing a state in which the arm is extended and a finger is inserted below the work.
【図６】 同、フィンガを上昇させてワークをすくい上
げた状態を示す平面図および側面図である。FIG. 6 is a plan view and a side view showing a state in which the work is scooped up by raising the finger.
【図７】 同、フィンガを引き込んだ状態を示す平面図
および側面図である。FIG. 7 is a plan view and a side view showing a state where the finger is retracted.
【図８】 同、フィンガをアームよりも上方に上げた状
態を示す平面図および側面図である。FIG. 8 is a plan view and a side view showing a state where the finger is raised above the arm.
【図９】 同、フィンガの向きを変えた状態を示す平面
図および正面図である。FIG. 9 is a plan view and a front view showing a state in which the direction of the finger is changed.
【図１０】 同、アームを荷台に向けて伸ばした状態を
示す平面図および正面図である。FIG. 10 is a plan view and a front view showing a state where the arm is extended toward the carrier.
【図１１】 同、ワークを荷台に載せた状態を示す平面
図および正面図である。FIG. 11 is a plan view and a front view showing a state where the work is placed on a carrier.
【図１２】 同、フィンガを引き込んだ状態を示す平面
図および正面図である。FIG. 12 is a plan view and a front view showing a state in which the finger is drawn in;
【図１３】 従来の無人搬送車の一例を示す図である。FIG. 13 is a diagram illustrating an example of a conventional automatic guided vehicle.
【図１４】 従来の無人搬送車の他の一例を示す図であ
る。FIG. 14 is a diagram showing another example of a conventional automatic guided vehicle.
【図１５】 従来の無人搬送車のさらに他の一例を示す
図である。FIG. 15 is a view showing still another example of the conventional automatic guided vehicle.
３ 荷台 ５ 製造装置（外部装置） １０ 無人搬送車 １１ 走行台車 １２ 移載ロボット １４ アーム １５ フィンガ １６ 昇降機構 １８ 平行リンク Ｗ ワーク Reference Signs List 3 loading bed 5 manufacturing device (external device) 10 automatic guided vehicle 11 traveling cart 12 transfer robot 14 arm 15 finger 16 lifting mechanism 18 parallel link W work
Claims (2)
上に、前記荷台と外部装置との間でワークを移載する移
載ロボットを搭載した無人搬送車であって、 前記走行台車の前後方向略中央部分に前記移載ロボット
が搭載され、 前記移載ロボットが、前記走行台車上に立設された主軸
と、この主軸の上端に水平面内で旋回可能に連結された
アームとを有した構成とされ、 前記アームの先端部には、前記ワークを把持するフィン
ガと、該フィンガを昇降させるための昇降機構が備えら
れて、該昇降機構では、前記外部装置のワーク受け渡し
ポートでワークを受け渡しするときには、前記フィンガ
が前記アームよりも下方に位置し、かつ前記フィンガを
引き込んだときには前記フィンガが前記アームの上方に
位置するよう、前記フィンガを昇降させる構成となって
いることを特徴とする無人搬送車。1. An unmanned carrier equipped with a transfer robot for transferring a work between the carrier and an external device on a carrier that transports the workpiece on a carrier. The transfer robot is mounted at a substantially central portion in a direction, the transfer robot has a main shaft erected on the traveling vehicle, and an arm connected to the upper end of the main shaft so as to be pivotable in a horizontal plane. At the tip of the arm, a finger for gripping the work and an elevating mechanism for elevating and lowering the finger are provided, and the elevating mechanism transfers the work through a work transfer port of the external device. The finger is moved up and down so that the finger is located below the arm, and when the finger is retracted, the finger is located above the arm. An automatic guided vehicle characterized in that it has a configuration.
記昇降機構が、一端が前記アーム側に鉛直面内で回転駆
動可能に連結され、他端が前記フィンガに回動可能に連
結された平行リンクからなることを特徴とする無人搬送
車。2. The automatic guided vehicle according to claim 1, wherein one end of the lifting mechanism is rotatably connected to the arm side in a vertical plane, and the other end is rotatably connected to the finger. An automatic guided vehicle, comprising a parallel link.
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