JP2000042909A - 被研磨部材の保持材及びその製造方法 - Google Patents
被研磨部材の保持材及びその製造方法Info
- Publication number
- JP2000042909A JP2000042909A JP20906698A JP20906698A JP2000042909A JP 2000042909 A JP2000042909 A JP 2000042909A JP 20906698 A JP20906698 A JP 20906698A JP 20906698 A JP20906698 A JP 20906698A JP 2000042909 A JP2000042909 A JP 2000042909A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding material
- polyester
- foam layer
- wet foam
- supporter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
性、厚み均一性からポリエステルシートを使用するが、
ウレタンとの結合力が弱く、そのままではすぐに剥がれ
が生じる。 【解決手段】支持体に、支持体の組成と湿式発泡層の組
成を含む熱可塑性樹脂層、及び湿式発泡層を順次積層す
る事により、剥離強力の強い保持材を得る。更には、熱
可塑性樹脂層にポリエステル−ポリウレタン共重合体を
用いる事により、支持体−熱可塑性樹脂層−湿式発泡層
が互いに強固に接着し,2000g/25mmを大きく
上回る剥離強力の保持材を得る。
Description
液晶ガラス等の被研磨部材の保持材に関するものであ
る。
置等の研磨機を用いて研磨加工する場合には、ウエハー
を研磨機の定盤に固定し、そして、この定盤と対向して
配設された定盤に研磨布を相対的に回転されると共に、
両者間に砥粒等を含む研磨液を供給する事によって、ウ
エハー表面を研磨する。
レートへの保持方法としては、ウエハー片面にワックス
を塗布しセラミックプレートに固定するワックス方法
と、多孔質樹脂からなる保持材を用いてウエハーを水貼
りするワックスレス方法とがある。
除去作業が入る為、自動化の大きな障害となっている。
この点、ワックスレス方法が優れている。ワックスレス
方法は、ウエハーの研磨用セラミックプレートへの保持
だけでなく、液晶用ガラス等片面を仕上げ研磨する際も
非研磨体用保持材として、同様の保持材を用いて研磨す
る事が広く知られている。
にウレタン樹脂組成物を用いた湿式凝固で製造される。
この湿式凝固法は、ウレタン樹脂組成物を調整した後ウ
レタン樹脂組成物を支持体に塗布し、次いで水、ジメチ
ルフォルムアミド(DMF)混合溶液中にて湿式凝固処
理を行い、支持体上に発泡層を生成させ、その後乾燥し
場合によっては最表面をバフして保持材を得るものであ
る。
一般的には寸法安定性、厚み均一性からポリエステルシ
ートを使用するが、ウレタンとの結合力が弱く、そのま
まではすぐに剥がれが生じる。
体に塩化ビニル重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合
体、及び塩化ビニル−酢酸ビニル−ビニルアルコールか
らなるビニル重合体を混合し、支持体上に直接設けられ
ている事を特徴にする保持材が提案されている。
体は相溶性に乏しく、分離しやすく、工業的に生産する
事が困難である。また、剥離強力も650g/25mm
以上が記載されているが、実用上では通算100時間以
上使用する場合もあり少なくとも2000g/25mm
以上の剥離強力が必要である。
ートと強固に接着したポリウレタン多孔質層が形成され
ている保持材が求められている。
題点に鑑み鋭意研究し結果完成したものであって、本発
明の目的は剥離強力が強く、長時間使用可能な保持材を
提供する事にある。
湿式発泡層の組成を含む熱可塑性樹脂層、及び湿式発泡
層を順次積層する事により達成される。本発明に用いら
れる支持体としては、塩化ビニルシートやポリプロピレ
ンシート、ポリエステルシート等が挙げられるが、寸法
安定性、厚均一性からポリエステルシートが好適であ
る。
は、支持体との接着、上層のポリウレタン湿式発泡層と
の接着いずれも強固に接着する必要がある。
性よりポリエステルシートとは強力に接着するものの、
上層のポリウレタン湿式層との接着性に問題がある。ま
た、ポリウレタン系樹脂では、逆に、上層のポリウレタ
ン湿式層とは強力に接着するものの、ポリエステルシー
ト間との接着力に問題がある。
テル−ポリウレタン共重合体を用いる事により、支持体
−熱可塑性樹脂層−湿式発泡層が互いに強固に接着し,
2000g/25mmを大きく上回る剥離強力が得られ
る。
合体の組成比は相互に存在すればよく、特に限定される
ものではないが、好ましくはモル比にて20:80〜8
0:20である。
ポリプロピレンシート、ポリエステルシート等が挙げら
れるが、吸水性が低く湿潤時の寸法安定性が良く、研磨
液に対する化学的耐性に優れ、厚み精度が高く、表面平
滑性に優れるポリエステルシートを使用するのが一般的
である。好適にはクリスパーG1212’(東洋紡株式
会社製)が挙げられる。
やポリプロピレン、ポリエステル等と、ポリウレタンと
の共重合体が、相互接着強力の面から重要である。例え
ば市販品としては’バイロナールUR−1400’(東
洋紡株式会社製)が挙げられる。
粘度に調整する為、メチルエチルケトン等の溶剤に希釈
し、リバースコーター、ナイフコーター等にて支持体上
にコーティングする。その後、80℃〜120℃にて溶
剤を完全に除去する。熱可塑性樹脂層の膜厚は特に限定
はされねいが薄すぎると接着効果が十分発揮されず、厚
すぎると厚みむらによる保持材としての性能を損なう危
険もある。好適には30〜60μmである。
一般的に有機ジイソシアネート、ポリオール類及び鎖伸
長剤とから成る。
フェニルメタンー4、4’ージイソシアネート、キシリ
レンジイソシアネート、ジクロヘキシルメタンー4、
4’ージイソシアネート、ヘイサメチレンジイソシアネ
ート等、或はこれらの混合物が挙げられる。
ジペートグリコール、ポリプロピレンアジペートグリコ
ール、ポリエチレンプロピレンアジペートグリコール、
ポリブチレンアジペートグリコール、ポリエチレンブチ
レンアジペートグリコール、ポリペンタメチレンアジペ
ートグリコール等のポリエステルポリオール類、或はポ
リエチレンエーテルグリコール、ポリプロピレンエーテ
ルグリコール、ポリテトラメチレンエーテルグリコール
等のポリエーテルポリオール類、或はラクトン環を開環
重合したポリカプロラクトン類の両末端に水酸基を有す
る分子量500〜8000のグリコール、或はポリヘキ
サメチレンカーボネート、更にはポリヘキサメチレンカ
ーボネイトと上述のポリオール類を併合し共重合させた
ものが挙げられる。
分子化合物、例えばエチレングリコール、、プロピレン
グリコール、ブチレングリコール、ジエチレングリコー
ル等のグリコール類、、例えばエチレンジアミン、プロ
ピレンジアミン、ブチレンジアミン等のジアミン類、あ
るいはアミノアルコール等を挙げることができる。
する溶剤としては、例えばジメチルホルムアミド、ジメ
チルスルホキシド、エトラヒドロフラン、ジメチルアセ
トアミド、エチルアセテート、ジオキサン等の水混和性
有機溶剤を挙げることができるが、特にこれらに限定さ
れるものではない。
は10〜40重量%、更に好ましくは15〜30重量%
である。固形分濃度が低すぎると湿式凝固後のウレタン
層表面に大きなうねりが発生し平滑性が悪化する。又固
形分が高すぎる場合空気を巻き込みやすく湿式凝固後の
ウレタン表面に大きな陥没が発生する場合がある。
を、すでにコーティングされた熱可塑性樹脂層上にリバ
ースコーター、ナイフコーター等の適宜な塗工手段を用
いてコーティングする。コート量は、特に限定しないが
150g〜1200g/m2 が好適である。
溶液中にて湿式凝固せしめた後、脱溶剤のための水洗、
乾燥をすることにより、コート層に発泡層が得られる。
保持材として使用可能であり、液晶ガラスの場合は、こ
の保持材にガラスを水の表面張力により固定し研磨す
る。
パー好ましくは#120〜#320番手のサンドペーパ
ーを用いて、クリアランス0.3〜0.6mm、ライン
スピード1〜10m/分、ペーパー回転数500〜30
00rpmの条件にてバフィングを行う。
処理された保持材を使用し、ウエハーサイズに開口した
主としてガラス入りエポシキ樹脂にて形成されているテ
ンプレートを配置し、その中に非研磨物であるシリコン
ウエハーを水吸着して研磨する。
する。尚、実施例、及び比較例中の「部」及び「%」
は、特に断わりの無い限り重量当りの比率である「重量
部」及び、単位重量当りの重量%比率である「重量%」
を意味する。 剥離強力の測定方法 保持材を25mm×100mmの長方形状に切出し、こ
れを試験片とした。2枚の試験片に、ウレタン系接着剤
を10mmのつかみしろを残して塗布し、互いに接着す
る。次に、テンシロンU−1798(オリエンテック株
式会社製)に、接着した試験片を固定し、相対的に10
0mm/分の速度で引っ張り、その強さを測定する。保
持材の剥離強力の評価は、実測値(g/25mm)を求
めるとともに、保持材の過酷な使用環境を考慮し、20
00g/25mm以上を○、それ以下を×として行っ
た。 実施例1〜3 ポリエステル:ポリウレタンのモル比を80:20、5
0:50、20:80に調整し、実施例1、2、3のそ
れぞれのポリエステル−ポリウレタン共重合体を得た。
をメチルエチルケトンで希釈して固形分25%に調整
し、ポリエステルシート(東洋紡株式会社製、’クリス
パーG1212( 厚み0.188mm))上に、ナイフ
コーターでクリアランス0.15mmにて塗布した。そ
の後、80℃、15分間乾燥し、約35μmの熱可塑性
層を形成しコートしたシートを得た。
ール(PTMG)をポリオール成分として用い、ジフェ
ニル−4、4’−ジイスシアネート、ジアミンをジメチ
ルホルムアミド中で溶液重合させて、濃度30%のポリ
ウレタンエラストマー溶液を得た。このポリウレタンエ
ラストマー溶液100部に、カーボンブラック粉3部、
ステアリルアルコール3部、ジメチルホルムアミド10
0部を加え、塗布液を得た。
ーターで600g/m2 塗布した後、35℃の凝固浴
(水:ジメチルアミド=90:10重量比)中にて凝固
させ、温水で十分に脱溶媒した後、150℃にて熱風乾
燥を行い、厚み0.6mmの保持材を得た。 比較例1 ポリエステルシート上に、同一組成のポリエステル樹脂
(ポリウレタン樹脂不含)を使用する以外は、実施例1
〜3と同一の方法で保持材を製造した。 比較例2 ポリエステルシート上に、同一組成のポリウレタン樹脂
(ポリエステル樹脂不含)を使用する以外は、実施例1
〜3と同一の方法で保持材を製造した。
U−1798装置で剥離強力を測定した。その結果を表
1に示した。実施例で明らかな様に、ポリエステルシー
トにポリエステル−ポリウレタン共重合体を用いた保持
材は、剥離強力は飛躍的に増加し、強靭な保持材である
ことが分かる。
g/2.5mm以上を有し、長時間の加工にも十分使用
可能な保持材であった。
Claims (5)
- 【請求項1】支持体上に、支持体の組成と湿式発泡層の
組成を含む熱可塑性樹脂層、及び湿式発泡層が順次積層
されている事を特徴とする被研磨部材の保持材。 - 【請求項2】支持体がポリエステルからなる請求項1記
載の保持材。 - 【請求項3】熱可塑性樹脂層がポリエステルーポリウレ
タン共重合体である事を特徴とする請求項1或は、請求
項2記載の保持材。 - 【請求項4】湿式発泡層がポリウレタン樹脂を主体とな
す請求項1〜3記載の保持材。 - 【請求項5】請求項1〜4の保持材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20906698A JP3909155B2 (ja) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | 被研磨部材の保持材及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20906698A JP3909155B2 (ja) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | 被研磨部材の保持材及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000042909A true JP2000042909A (ja) | 2000-02-15 |
JP3909155B2 JP3909155B2 (ja) | 2007-04-25 |
Family
ID=16566695
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20906698A Expired - Fee Related JP3909155B2 (ja) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | 被研磨部材の保持材及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3909155B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005332873A (ja) * | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Nitto Denko Corp | 半導体ウェハ加工用保護シート、及び半導体ウェハの裏面研削方法 |
JP2009066717A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Nitta Haas Inc | 研磨パッド用隙間充填剤とその充填方法 |
JP2011073093A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Fujibo Holdings Inc | シート状研磨部材 |
JP2013052471A (ja) * | 2011-09-02 | 2013-03-21 | Teijin Cordley Ltd | 研磨用吸着パッド素材及びその製造方法 |
-
1998
- 1998-07-24 JP JP20906698A patent/JP3909155B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005332873A (ja) * | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Nitto Denko Corp | 半導体ウェハ加工用保護シート、及び半導体ウェハの裏面研削方法 |
JP2009066717A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Nitta Haas Inc | 研磨パッド用隙間充填剤とその充填方法 |
JP2011073093A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Fujibo Holdings Inc | シート状研磨部材 |
JP2013052471A (ja) * | 2011-09-02 | 2013-03-21 | Teijin Cordley Ltd | 研磨用吸着パッド素材及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3909155B2 (ja) | 2007-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6095902A (en) | Polyether-polyester polyurethane polishing pads and related methods | |
KR101399516B1 (ko) | 연마 패드 및 그 제조 방법 | |
JP4593643B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP5248152B2 (ja) | 研磨パッド | |
JPH0288229A (ja) | 積層体、並びに該積層体を用いた被研磨部材の保持材及び研磨布 | |
US6190746B1 (en) | Polishing cloth and a method for attaching/detaching the polishing cloth to/from a base plate of a polishing machine | |
WO2008029538A1 (fr) | Tampon à polir | |
KR100996802B1 (ko) | 경화성 에멀젼 및 그로부터의 연마 물품 | |
WO2008029537A1 (fr) | Procédé de production d'un tampon à polir | |
WO2007010766A1 (ja) | 積層シート及びその製造方法 | |
US5286541A (en) | Coated abrasive having combination backing member | |
JP4986129B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP4775898B2 (ja) | 積層シート | |
JP3909155B2 (ja) | 被研磨部材の保持材及びその製造方法 | |
JPH0547392B2 (ja) | ||
JP5306677B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP6575021B2 (ja) | 研磨パッド及びその製造方法 | |
JP4912548B2 (ja) | 被研磨部材の保持材の製造方法 | |
JP2004042250A (ja) | 研磨パッド | |
JP5230227B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP4149231B2 (ja) | 研磨パッドの製造方法及び研磨パッド | |
WO2022071205A1 (ja) | 研磨パッド、及び研磨加工物の製造方法 | |
JP2008169357A (ja) | 研磨パッド | |
JPH08267668A (ja) | 研磨用ウエハ保持部材及びそのウエハ保持部材の研磨機定盤への脱着方法 | |
JP2011235426A (ja) | 研磨パッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A072 | Dismissal of procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A072 Effective date: 20040217 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040406 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040527 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040622 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20040625 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20050218 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20050404 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20050404 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061120 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070122 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120126 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120126 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130126 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140126 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |