JP2000036528A - ウェハ搬送装置 - Google Patents
ウェハ搬送装置Info
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- JP2000036528A JP2000036528A JP20354698A JP20354698A JP2000036528A JP 2000036528 A JP2000036528 A JP 2000036528A JP 20354698 A JP20354698 A JP 20354698A JP 20354698 A JP20354698 A JP 20354698A JP 2000036528 A JP2000036528 A JP 2000036528A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 カセット内のウェハの状態を確実に、かつ安
定して検知することができるマッピング装置を有するウ
ェハ搬送装置を提供する。 【解決手段】 上下動可能な搬送装置本体４の上部に、
先端部にフォーク形状をした二股のウェハ載置台７を有
する搬送用アーム５と、カセット９内に収納されたウェ
ハＷの収納状態を検知するためのセンサ１４を取り付け
たマッピング装置１０とを有するウェハ搬送装置２にお
いて、マッピング装置１０を、搬送装置本体４に、搬送
用アーム５と独立して動作する直動アクチュエータ１１
を取り付けるとともに、直動アクチュエータ１１に移動
子アーム１２を取り付け、さらに移動子アーム１２に３
自由度の動作が可能な継手１３を介して、少なくとも２
組の透過型光センサ１４を、フォーク形状をした二股の
センサ支持体１５の両側に取り付けるようにしたもの。
定して検知することができるマッピング装置を有するウ
ェハ搬送装置を提供する。 【解決手段】 上下動可能な搬送装置本体４の上部に、
先端部にフォーク形状をした二股のウェハ載置台７を有
する搬送用アーム５と、カセット９内に収納されたウェ
ハＷの収納状態を検知するためのセンサ１４を取り付け
たマッピング装置１０とを有するウェハ搬送装置２にお
いて、マッピング装置１０を、搬送装置本体４に、搬送
用アーム５と独立して動作する直動アクチュエータ１１
を取り付けるとともに、直動アクチュエータ１１に移動
子アーム１２を取り付け、さらに移動子アーム１２に３
自由度の動作が可能な継手１３を介して、少なくとも２
組の透過型光センサ１４を、フォーク形状をした二股の
センサ支持体１５の両側に取り付けるようにしたもの。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カセット内に収納
された半導体ウェハまたはガラス基板（以下、単にウェ
ハという）の状態を検出するマッピング装置を有するウ
ェハ搬送装置に関するものである。
された半導体ウェハまたはガラス基板（以下、単にウェ
ハという）の状態を検出するマッピング装置を有するウ
ェハ搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェハ搬送装置は、図３に示すよ
うになっている。図において、１はベース、２はウェハ
搬送装置で、前記ベース１上に載置されている。前記ウ
ェハ搬送装置２は、次のように構成されている。すなわ
ち、前記ベース１上に固定ベース３が固定され、この固
定ベース３に、旋回および上下動可能に搬送装置本体４
が取り付けられている。また、前記搬送装置本体４の上
面に、搬送用アーム５が旋回可能に取り付けられてい
る。前記搬送用アーム５は、先端部にマッピング装置６
としての投光用と受光用からなる反射型光センサ６ａが
取り付けられた第１アーム５ａと、この第１アーム５ａ
に旋回可能に取り付けられた第２アーム５ｂとからなっ
ている。さらに、前記第２アーム５ｂの先端には、ウェ
ハ載置台７が取り付けられている。８は前記ベース１上
に載置されたカセット台で、上面に、内部にウェハＷを
収納するカセット９を載置している。次に、このように
構成されたウェハ搬送装置２の動作について説明する。
前記ウェハ搬送装置２は、前記カセット台８上のカセッ
ト９から、カセット９内部に収納されているウェハＷを
取り出して次工程に搬送するが、前記カセット９からウ
ェハＷを取り出す前に、前記マッピング装置６を用いて
カセット９内のウェハＷの収納状態を検出するように、
つまり、マッピングするようにしている。ウェハ搬送装
置２によるマッピングは、第１アーム５ａをカセット９
の正面に移動させて、反射型光センサ６ａの投光部より
検出用の光をウェハＷの端面へ投射するとともに、反射
光を反射型光センサ６ａの受光部で検出することにより
行う。マッピングによりカセット９内のウェハＷの収納
状態に異常がなければ、あるいは異常があってもウェハ
搬送装置２の動きでカバーできるときは、ウェハ搬送装
置２は、ウェハＷの搬送作業を開始する。もし、ウェハ
Ｗの収納状態に異常があり、しかもウェハ搬送装置２の
動きでカバーできないときは、アラームを出して異常を
知らせる。この場合、作業者が異常な状態を修復した
後、ウェハ搬送装置２は、ウェハＷの搬送作業を開始す
る。ウェハＷの搬送は、次のようにして行う。まず、搬
送装置本体４内の図示しない駆動装置を駆動させて、第
１アーム５ａおよび第２アーム５ｂを旋回させることに
より、ウェハ載置台７をカセット９の方向に向けて直進
移動させ、カセット９内に挿入させる。次に、前記ウェ
ハ載置台７にウェハＷを載置し、さらに、ウェハ載置台
７を反カセットの方向に直進移動させて作動アームの最
小回転半径の所まで引き戻す。この状態で、今度は搬送
装置本体を１８０度旋回させてウェハ載置台７の向きを
反カセット方向に変え、向きが変わったところで再度直
進移動させてウェハを次工程に送る。
うになっている。図において、１はベース、２はウェハ
搬送装置で、前記ベース１上に載置されている。前記ウ
ェハ搬送装置２は、次のように構成されている。すなわ
ち、前記ベース１上に固定ベース３が固定され、この固
定ベース３に、旋回および上下動可能に搬送装置本体４
が取り付けられている。また、前記搬送装置本体４の上
面に、搬送用アーム５が旋回可能に取り付けられてい
る。前記搬送用アーム５は、先端部にマッピング装置６
としての投光用と受光用からなる反射型光センサ６ａが
取り付けられた第１アーム５ａと、この第１アーム５ａ
に旋回可能に取り付けられた第２アーム５ｂとからなっ
ている。さらに、前記第２アーム５ｂの先端には、ウェ
ハ載置台７が取り付けられている。８は前記ベース１上
に載置されたカセット台で、上面に、内部にウェハＷを
収納するカセット９を載置している。次に、このように
構成されたウェハ搬送装置２の動作について説明する。
前記ウェハ搬送装置２は、前記カセット台８上のカセッ
ト９から、カセット９内部に収納されているウェハＷを
取り出して次工程に搬送するが、前記カセット９からウ
ェハＷを取り出す前に、前記マッピング装置６を用いて
カセット９内のウェハＷの収納状態を検出するように、
つまり、マッピングするようにしている。ウェハ搬送装
置２によるマッピングは、第１アーム５ａをカセット９
の正面に移動させて、反射型光センサ６ａの投光部より
検出用の光をウェハＷの端面へ投射するとともに、反射
光を反射型光センサ６ａの受光部で検出することにより
行う。マッピングによりカセット９内のウェハＷの収納
状態に異常がなければ、あるいは異常があってもウェハ
搬送装置２の動きでカバーできるときは、ウェハ搬送装
置２は、ウェハＷの搬送作業を開始する。もし、ウェハ
Ｗの収納状態に異常があり、しかもウェハ搬送装置２の
動きでカバーできないときは、アラームを出して異常を
知らせる。この場合、作業者が異常な状態を修復した
後、ウェハ搬送装置２は、ウェハＷの搬送作業を開始す
る。ウェハＷの搬送は、次のようにして行う。まず、搬
送装置本体４内の図示しない駆動装置を駆動させて、第
１アーム５ａおよび第２アーム５ｂを旋回させることに
より、ウェハ載置台７をカセット９の方向に向けて直進
移動させ、カセット９内に挿入させる。次に、前記ウェ
ハ載置台７にウェハＷを載置し、さらに、ウェハ載置台
７を反カセットの方向に直進移動させて作動アームの最
小回転半径の所まで引き戻す。この状態で、今度は搬送
装置本体を１８０度旋回させてウェハ載置台７の向きを
反カセット方向に変え、向きが変わったところで再度直
進移動させてウェハを次工程に送る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術で
は、次のような問題があった。 (1) マッピング用のセンサが、反射型の光センサである
ため、反射光の散乱等により検出が不安定となることが
ある。 (2) マッピング用のセンサが、第１アームまたは第２ア
ームに取り付けられているため、ウェハが、カセット内
に前後あるいは左右方向に斜めに挿入されていないかど
うかの斜め挿入検出が困難であり、また、ウェハの前方
への飛び出しの検出が困難であった。そこで本発明は、
カセット内のウェハの状態を安定して、かつ確実に検知
することができるマッピング装置を有するウェハ搬送装
置を提供することを目的とするものである。
は、次のような問題があった。 (1) マッピング用のセンサが、反射型の光センサである
ため、反射光の散乱等により検出が不安定となることが
ある。 (2) マッピング用のセンサが、第１アームまたは第２ア
ームに取り付けられているため、ウェハが、カセット内
に前後あるいは左右方向に斜めに挿入されていないかど
うかの斜め挿入検出が困難であり、また、ウェハの前方
への飛び出しの検出が困難であった。そこで本発明は、
カセット内のウェハの状態を安定して、かつ確実に検知
することができるマッピング装置を有するウェハ搬送装
置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明は、上下動可能な搬送装置本体の上部に、先
端部にフォーク形状をした二股のウェハ載置台を有する
搬送用アームと、カセット内に収納されたウェハの収納
状態を検知するためのセンサを取り付けたマッピング装
置とを有するウェハ搬送装置において、前記マッピング
装置を、前記搬送装置本体に、搬送用アームと独立して
動作する直動アクチュエータを取り付けるとともに、前
記直動アクチュエータに移動子アームを取り付け、さら
に前記移動子アームに３自由度の動作が可能な継手を介
して、少なくとも２組の透過型光センサを、フォーク形
状をした二股のセンサ支持体の両側に取り付けるように
したものである。これにより、カセット台のレベルとウ
ェハ載置台のレベルを合致させることができ、ウェハの
前後左右の斜め挿入検出等が可能となる。また、センサ
支持体は、移動子アームに着脱自在に取り付けられてい
るので、ウェハのサイズに合わせて交換することができ
る。
め、本発明は、上下動可能な搬送装置本体の上部に、先
端部にフォーク形状をした二股のウェハ載置台を有する
搬送用アームと、カセット内に収納されたウェハの収納
状態を検知するためのセンサを取り付けたマッピング装
置とを有するウェハ搬送装置において、前記マッピング
装置を、前記搬送装置本体に、搬送用アームと独立して
動作する直動アクチュエータを取り付けるとともに、前
記直動アクチュエータに移動子アームを取り付け、さら
に前記移動子アームに３自由度の動作が可能な継手を介
して、少なくとも２組の透過型光センサを、フォーク形
状をした二股のセンサ支持体の両側に取り付けるように
したものである。これにより、カセット台のレベルとウ
ェハ載置台のレベルを合致させることができ、ウェハの
前後左右の斜め挿入検出等が可能となる。また、センサ
支持体は、移動子アームに着脱自在に取り付けられてい
るので、ウェハのサイズに合わせて交換することができ
る。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は、本発明のウェハ搬送装置を示す
側面図、図２は本発明のウェハ搬送装置を示す正面図
で、わかりやすくするためカセットの上部を取り除いて
ウェハが見えるようにしている。なお、両図において、
図３および図４と同一符号は、同一もしくは相当する部
材を示している。本発明のウェハ搬送装置の基本的な構
成は、従来技術と同じであるが、マッピング装置の構成
が異なっている。本発明におけるマッピング装置１０
は、搬送装置本体４に、搬送用アーム５と独立して動作
する直動アクチュエータ１１を取り付けるとともに、前
記直動アクチュエータ１１に移動子アーム１２を直線方
向に移動可能に取り付け、さらに前記移動子アーム１２
に３自由度の動作が可能な継手１３を介して、２組の透
過型光センサ１４を、フォーク形状をした二股のセンサ
支持体１５の両側に取り付けて構成している。前記直動
アクチュエータ１１は、例えば駆動モータ１１ａのシャ
フトにボールネジ１１ｂを固定して構成され、移動子ア
ーム１２は、前記ボールネジ１１ｂに螺合する図示しな
いボールネジナットを下部に有するとともに、図示しな
いリニアガイドによってスライド支持するように構成さ
れている。移動子アーム１２の先端部に取り付けられる
継手１３は、垂直な軸に対しての旋回、水平な軸に対し
ての傾動、および移動子アーム１２の直動方向に垂直な
軸に対しての回転という３自由度の動作ができるように
なっており、この移動子アーム１２の先端に取り付けら
れるセンサ支持体１５の姿勢を容易に調整することがで
きる。これにより、カセット台９の上に載置されている
カセット１０のレベルと、センサ支持体１４とレベルと
が合っていない場合でも、継手１３の姿勢を調整して、
センサ支持体１５のレベルを合わせることができる。し
たがって、ウェハＷの検出精度が向上するため、ウェハ
Ｗが２枚挿入された状態や、前後あるいは左右に斜めに
なっている状態が確実に検出できる。フォーク形状をし
た二股のセンサ支持体１５には、２組の透過型光センサ
１４を取り付けており、例えば、センサ支持体１５の先
端側の組の透過型光センサ１４ａは、ウェハ姿勢検出用
であり、センサ支持体の反先端側の組の透過型光センサ
１４ｂはウェハ姿勢検出用およびウェハ飛び出し検出用
である。前記２組の透過型センサ１４ａ、１４ｂは、水
平方向に一定の距離を置いて取り付けられている。な
お、透過型光センサ１４は、フォーク形状をした二股の
センサ支持体１５の一方側の部材に、投光用センサを取
り付け、他方側の部材に、前記投光用センサと光軸を合
わせて受光用センサを取り付けている。また、センサ支
持体１５は、前記継手１３に着脱自在に取り付けられて
いるので、ウェハＷのサイズに応じて交換することがで
きる。次に、このように構成されたウェハ搬送装置２の
マッピング動作について説明する。まず、直動アクチュ
エータ１１を、カセット９の方向へ一定距離動かし、移
動子アーム１２とともにセンサ支持体１５をウェハＷの
検出位置まで移動させる。前記直動アクチュエータ１１
は、検出位置まで移動すると停止し、この位置を保持す
る。次に、搬送装置本体４を上昇あるいは下降させて、
センサ支持体１５をカセット９の最下段へ移動させる。
センサ支持体１５がカセット９の最下段へ移動すると、
センサ支持体１５をカセット９の最下段から一定速度で
最上段まで上昇させる。このとき、センサ支持体１５に
取り付けられている２組の透過型光センサ１４ａ、１４
ｂを作動させて、２組のセンサ信号を読み取る。この場
合、マッピング用のセンサが、透過型の光センサである
ため、反射光の散乱等がなく、検出は安定して行える。
マッピング装置１０は、これらの信号を処理することに
より、カセット９内のウェハＷの状態を検知する。マッ
ピング動作が完了すると、センサ支持体１５を、搬送用
アーム５の回転に支障のない範囲、つまり、搬送用アー
ム５の最小回転半径内へ移動する。マッピングによりカ
セット９内のウェハＷの収納状態に異常がなければ、あ
るいは異常があってもウェハ搬送装置２の動きでカバー
できるときは、ウェハ搬送装置２は、ウェハＷの搬送作
業を開始する。もし、ウェハＷの収納状態に異常があ
り、しかもウェハ搬送装置２の動きでカバーできないと
きは、アラームを出して異常を知らせる。この場合、作
業者が異常な状態を修復した後、ウェハ搬送装置２は、
ウェハＷの搬送作業を開始する。なお、前記実施例にお
いては、透過型光センサ１４はセンサ支持体１５に２組
取り付けているが、３組取り付けるようにしてもよい。
つまり、センサ支持体１５の反先端側の組をさらにウェ
ハ姿勢検出専用とウェハ飛び出し検出専用の２組に分け
て、透過型光センサ１４を合計３組にするわけである。
いて説明する。図１は、本発明のウェハ搬送装置を示す
側面図、図２は本発明のウェハ搬送装置を示す正面図
で、わかりやすくするためカセットの上部を取り除いて
ウェハが見えるようにしている。なお、両図において、
図３および図４と同一符号は、同一もしくは相当する部
材を示している。本発明のウェハ搬送装置の基本的な構
成は、従来技術と同じであるが、マッピング装置の構成
が異なっている。本発明におけるマッピング装置１０
は、搬送装置本体４に、搬送用アーム５と独立して動作
する直動アクチュエータ１１を取り付けるとともに、前
記直動アクチュエータ１１に移動子アーム１２を直線方
向に移動可能に取り付け、さらに前記移動子アーム１２
に３自由度の動作が可能な継手１３を介して、２組の透
過型光センサ１４を、フォーク形状をした二股のセンサ
支持体１５の両側に取り付けて構成している。前記直動
アクチュエータ１１は、例えば駆動モータ１１ａのシャ
フトにボールネジ１１ｂを固定して構成され、移動子ア
ーム１２は、前記ボールネジ１１ｂに螺合する図示しな
いボールネジナットを下部に有するとともに、図示しな
いリニアガイドによってスライド支持するように構成さ
れている。移動子アーム１２の先端部に取り付けられる
継手１３は、垂直な軸に対しての旋回、水平な軸に対し
ての傾動、および移動子アーム１２の直動方向に垂直な
軸に対しての回転という３自由度の動作ができるように
なっており、この移動子アーム１２の先端に取り付けら
れるセンサ支持体１５の姿勢を容易に調整することがで
きる。これにより、カセット台９の上に載置されている
カセット１０のレベルと、センサ支持体１４とレベルと
が合っていない場合でも、継手１３の姿勢を調整して、
センサ支持体１５のレベルを合わせることができる。し
たがって、ウェハＷの検出精度が向上するため、ウェハ
Ｗが２枚挿入された状態や、前後あるいは左右に斜めに
なっている状態が確実に検出できる。フォーク形状をし
た二股のセンサ支持体１５には、２組の透過型光センサ
１４を取り付けており、例えば、センサ支持体１５の先
端側の組の透過型光センサ１４ａは、ウェハ姿勢検出用
であり、センサ支持体の反先端側の組の透過型光センサ
１４ｂはウェハ姿勢検出用およびウェハ飛び出し検出用
である。前記２組の透過型センサ１４ａ、１４ｂは、水
平方向に一定の距離を置いて取り付けられている。な
お、透過型光センサ１４は、フォーク形状をした二股の
センサ支持体１５の一方側の部材に、投光用センサを取
り付け、他方側の部材に、前記投光用センサと光軸を合
わせて受光用センサを取り付けている。また、センサ支
持体１５は、前記継手１３に着脱自在に取り付けられて
いるので、ウェハＷのサイズに応じて交換することがで
きる。次に、このように構成されたウェハ搬送装置２の
マッピング動作について説明する。まず、直動アクチュ
エータ１１を、カセット９の方向へ一定距離動かし、移
動子アーム１２とともにセンサ支持体１５をウェハＷの
検出位置まで移動させる。前記直動アクチュエータ１１
は、検出位置まで移動すると停止し、この位置を保持す
る。次に、搬送装置本体４を上昇あるいは下降させて、
センサ支持体１５をカセット９の最下段へ移動させる。
センサ支持体１５がカセット９の最下段へ移動すると、
センサ支持体１５をカセット９の最下段から一定速度で
最上段まで上昇させる。このとき、センサ支持体１５に
取り付けられている２組の透過型光センサ１４ａ、１４
ｂを作動させて、２組のセンサ信号を読み取る。この場
合、マッピング用のセンサが、透過型の光センサである
ため、反射光の散乱等がなく、検出は安定して行える。
マッピング装置１０は、これらの信号を処理することに
より、カセット９内のウェハＷの状態を検知する。マッ
ピング動作が完了すると、センサ支持体１５を、搬送用
アーム５の回転に支障のない範囲、つまり、搬送用アー
ム５の最小回転半径内へ移動する。マッピングによりカ
セット９内のウェハＷの収納状態に異常がなければ、あ
るいは異常があってもウェハ搬送装置２の動きでカバー
できるときは、ウェハ搬送装置２は、ウェハＷの搬送作
業を開始する。もし、ウェハＷの収納状態に異常があ
り、しかもウェハ搬送装置２の動きでカバーできないと
きは、アラームを出して異常を知らせる。この場合、作
業者が異常な状態を修復した後、ウェハ搬送装置２は、
ウェハＷの搬送作業を開始する。なお、前記実施例にお
いては、透過型光センサ１４はセンサ支持体１５に２組
取り付けているが、３組取り付けるようにしてもよい。
つまり、センサ支持体１５の反先端側の組をさらにウェ
ハ姿勢検出専用とウェハ飛び出し検出専用の２組に分け
て、透過型光センサ１４を合計３組にするわけである。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果がある。 (1) マッピング用のセンサが、透過型の光センサである
ため、反射光の散乱等がなく、検出が安定する。 (2) カセット内のウェハのマッピングを行う際に、搬送
用アームと独立して動作する直動アクチュエータに、移
動子アームと３自由度動作可能な機構を有する継手を介
して、少なくとも２組の透過型光センサを、フォーク形
状をした二股のセンサ支持体に取り付けているので、ウ
ェハの前方への飛び出し検出、およびウェハの斜め検出
等を確実に行うことができ、マッピング精度を大きく向
上することができる。
のような効果がある。 (1) マッピング用のセンサが、透過型の光センサである
ため、反射光の散乱等がなく、検出が安定する。 (2) カセット内のウェハのマッピングを行う際に、搬送
用アームと独立して動作する直動アクチュエータに、移
動子アームと３自由度動作可能な機構を有する継手を介
して、少なくとも２組の透過型光センサを、フォーク形
状をした二股のセンサ支持体に取り付けているので、ウ
ェハの前方への飛び出し検出、およびウェハの斜め検出
等を確実に行うことができ、マッピング精度を大きく向
上することができる。
【図１】本発明の実施例を示すウェハ搬送装置の側面図
である。
である。
【図２】本発明の実施例を示すウェハ搬送装置の平面図
で、わかりやすくするためカセットの上部を取り除いて
ウェハが見えるようにしている。
で、わかりやすくするためカセットの上部を取り除いて
ウェハが見えるようにしている。
【図３】従来のウェハ搬送装置を示す側面図である。
【図４】従来のウェハ搬送装置を示す平面図で、わかり
やすくするためカセットの上部を取り除いてウェハが見
えるようにしている。
やすくするためカセットの上部を取り除いてウェハが見
えるようにしている。
１ ベース、 ２ ウェハ搬送装置、 ３ 固定ベース、 ４ 搬送装置本体、 ５ 搬送用アーム、 ５ａ 第１アーム、 ５ｂ 第２アーム、 ６ マッピング装置、 ６ａ 反射型光センサ、 ７ ウェハ載置台、 ８ カセット台、 ９ カセット、 １０ マッピング装置、 １１ 直動アクチュエータ、 １１ａ 駆動モータ、 １１ｂ ボールネジ、 １２ 移動子アーム、 １３ 継手、 １４ 透過型光センサ、 １４ａ ウェハ姿勢検出用透過型光センサ、 １４ｂ ウェハ姿勢検出用およびウェハ飛び出し検出用
透過型光センサ、 １５ センサ支持体
透過型光センサ、 １５ センサ支持体
Claims (2)
- 【請求項１】 上下動可能な搬送装置本体の上部に、先
端部にフォーク形状をした二股のウェハ載置台を有する
搬送用アームと、カセット内に収納されたウェハの収納
状態を検知するためのセンサを取り付けたマッピング装
置とを有するウェハ搬送装置において、 前記マッピング装置を、前記搬送装置本体に、搬送用ア
ームと独立して動作する直動アクチュエータを取り付け
るとともに、前記直動アクチュエータに移動子アームを
取り付け、さらに前記移動子アームに３自由度の動作が
可能な継手を介して、少なくとも２組の透過型光センサ
を、フォーク形状をした二股のセンサ支持体の両側に取
り付けたことを特徴とするウェハ搬送装置。 - 【請求項２】 前記マッピング装置のセンサ支持体が、
直動アクチュエータの移動子アームに着脱自在に取り付
けられていることを特徴とする請求項１に記載のウェハ
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20354698A JP4096213B2 (ja) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | ウェハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20354698A JP4096213B2 (ja) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | ウェハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000036528A true JP2000036528A (ja) | 2000-02-02 |
| JP4096213B2 JP4096213B2 (ja) | 2008-06-04 |
Family
ID=16475939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20354698A Expired - Lifetime JP4096213B2 (ja) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | ウェハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4096213B2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004061942A1 (ja) * | 2003-01-06 | 2004-07-22 | Tokyo Electron Limited | 半導体処理用の基板検出方法及び装置並びに基板搬送システム |
| EP1471565A3 (en) * | 2003-04-21 | 2006-02-01 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Mapping device for semiconductor wafers |
| JP2006196676A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置および処理方法 |
| US7115891B2 (en) * | 2001-09-17 | 2006-10-03 | Rorze Corporation | Wafer mapping device and load port provided with same |
| JP2009049096A (ja) * | 2007-08-16 | 2009-03-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 載置台 |
| JP2010219209A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Yaskawa Electric Corp | 基板検出装置およびそれを備えた基板搬送装置 |
| CN102881560A (zh) * | 2012-09-27 | 2013-01-16 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 晶圆控制方法以及晶圆控制设备 |
| WO2016175133A1 (ja) * | 2015-04-27 | 2016-11-03 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよび基板検出方法 |
| KR101911156B1 (ko) | 2013-12-26 | 2018-10-24 | 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤 | 엔드 이펙터 장치 |
| CN110634782A (zh) * | 2018-06-20 | 2019-12-31 | 东京毅力科创株式会社 | 自动示教方法和控制装置 |
| CN110998817A (zh) * | 2017-08-09 | 2020-04-10 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用以存储用于基底的盒的存储设备及配备其的处理设备 |
| CN113140485A (zh) * | 2021-03-31 | 2021-07-20 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 晶圆清洗设备 |
| US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102061693B1 (ko) | 2013-10-07 | 2020-01-02 | 삼성전자주식회사 | 액추에이터 유닛, 이를 포함한 로봇 및 감속기 장치 |
| JP2015119066A (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | 株式会社安川電機 | 検出システムおよび検出方法 |
| JP6248788B2 (ja) | 2014-04-28 | 2017-12-20 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ウエハマッピング装置およびそれを備えたロードポート |
-
1998
- 1998-07-17 JP JP20354698A patent/JP4096213B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7115891B2 (en) * | 2001-09-17 | 2006-10-03 | Rorze Corporation | Wafer mapping device and load port provided with same |
| WO2004061942A1 (ja) * | 2003-01-06 | 2004-07-22 | Tokyo Electron Limited | 半導体処理用の基板検出方法及び装置並びに基板搬送システム |
| JP2004214462A (ja) * | 2003-01-06 | 2004-07-29 | Tokyo Electron Ltd | 基板検出方法及び装置並びに基板処理装置 |
| US7105847B2 (en) | 2003-01-06 | 2006-09-12 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor processing-purpose substrate detecting method and device, and substrate transfer system |
| KR100710925B1 (ko) * | 2003-01-06 | 2007-04-23 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 반도체 처리용의 기판 검출 방법 및 장치와 기판반송시스템 |
| EP1471565A3 (en) * | 2003-04-21 | 2006-02-01 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Mapping device for semiconductor wafers |
| US7043335B2 (en) | 2003-04-21 | 2006-05-09 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Mapping device |
| JP2006196676A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置および処理方法 |
| JP2009049096A (ja) * | 2007-08-16 | 2009-03-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 載置台 |
| JP2010219209A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Yaskawa Electric Corp | 基板検出装置およびそれを備えた基板搬送装置 |
| CN102881560A (zh) * | 2012-09-27 | 2013-01-16 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 晶圆控制方法以及晶圆控制设备 |
| KR101911156B1 (ko) | 2013-12-26 | 2018-10-24 | 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤 | 엔드 이펙터 장치 |
| WO2016175133A1 (ja) * | 2015-04-27 | 2016-11-03 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよび基板検出方法 |
| JP2016207947A (ja) * | 2015-04-27 | 2016-12-08 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよび基板検出方法 |
| CN107534009A (zh) * | 2015-04-27 | 2018-01-02 | 川崎重工业株式会社 | 衬底搬送机器人及衬底检测方法 |
| US10431482B2 (en) | 2015-04-27 | 2019-10-01 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate conveyance robot and substrate detection method |
| CN107534009B (zh) * | 2015-04-27 | 2021-04-27 | 川崎重工业株式会社 | 衬底搬送机器人及衬底检测方法 |
| CN110998817A (zh) * | 2017-08-09 | 2020-04-10 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用以存储用于基底的盒的存储设备及配备其的处理设备 |
| US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
| CN110998817B (zh) * | 2017-08-09 | 2023-11-10 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用以存储用于基底的盒的存储设备及配备其的处理设备 |
| CN110634782A (zh) * | 2018-06-20 | 2019-12-31 | 东京毅力科创株式会社 | 自动示教方法和控制装置 |
| CN113140485A (zh) * | 2021-03-31 | 2021-07-20 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 晶圆清洗设备 |
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| Publication number | Publication date |
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