JP2000028470A - Device and method for inspecting gas leakage in process gas supplying unit - Google Patents
Device and method for inspecting gas leakage in process gas supplying unitInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程で
使用され、プロセスガス供給弁、真空弁及びレギュレー
タ等の各種コンポーネント部品を、予め小型化・集積化
された多数のブロック上に個別に取り付けて構成するプ
ロセスガス供給ユニットに関する。更に詳しくは、上記
ユニットにおいて各ブロックでのガス漏れを検出するよ
うにしたプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検
査装置及びガス漏れ検査方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is used in a semiconductor manufacturing process and individually mounts various component parts such as a process gas supply valve, a vacuum valve, and a regulator on a large number of previously miniaturized and integrated blocks. And a process gas supply unit. More specifically, the present invention relates to a gas leak inspection device and a gas leak inspection method in a process gas supply unit in which a gas leak in each block is detected in the unit.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、半導体製造工程において、エッチ
ングガス等のプロセスガスを供給するためのプロセスガ
ス供給ユニットが開発されている。そして、半導体製造
工程が、複数枚のウェハをバッチ処理する方法から、ウ
ェハを１枚づつ処理する枚葉処理方法に移行するように
なり、プロセスガス供給ユニットの小型化がより強く要
求されている。2. Description of the Related Art Conventionally, a process gas supply unit for supplying a process gas such as an etching gas in a semiconductor manufacturing process has been developed. The semiconductor manufacturing process has shifted from a method of batch processing a plurality of wafers to a single wafer processing method of processing wafers one by one, and there is a strong demand for a smaller process gas supply unit. .
【０００３】プロセスガス供給ユニットを小型化するた
めに、本出願人は、特許第２５６８３６５号公報によ
り、マニホールドであるモジュールブロックに供給弁、
パージ弁、真空弁を上からボルトにより連結するプロセ
スガス供給ユニットを提案している。In order to reduce the size of a process gas supply unit, the present applicant disclosed in Japanese Patent No. 2568365 a supply valve for a module block which is a manifold.
A process gas supply unit that connects a purge valve and a vacuum valve with bolts from above is proposed.
【０００４】図１７に、このマニホールドを用いたプロ
セスガス供給ユニットを示す。このユニットにおいて、
第１の手動弁８１は、レギュレータ８３及び第２の手動
弁９１は、それぞれブラケットＹ１，Ｙ２，Ｙ３を介し
て取付パネルＤに固定されている。マニホールドＺ１に
取り付けられた入力弁８５及びパージ弁８６は、マニホ
ールドＺ２に取り付けられた真空弁８９及び出力弁９０
は、それぞれプレートＸ１，Ｘ２を介して取付パネルＤ
に固定されている。マスフローコントローラブロックＮ
に固定されたマスフローコントローラ８８は、両マニホ
ールドＺ１，Ｚ２に接続されている。第１の手動弁８１
とレギュレータ８３は、配管８１ｂ、継手Ｍ、逆止弁８
２、継手Ｍ及び配管８３ａを介して互いに接続されてい
る。第１の手動弁８１の上流側は、配管８１ａ及び継手
Ｍを介してプロセスガスの供給源（図示しない）に接続
されている。レギュレータ８３とマニホールドＺ１は、
継手Ｍ、配管８５ａ及び継手Ｍを介して互いに接続され
ている。配管８５ａの途中には、圧力計８４が配管８４
ａを介して接続されている。第２の手動弁９１とマニホ
ールドＺ２とは、継手Ｍ及び配管９１ａを介して互いに
接続されている。第２の手動弁９１の下流側は、配管９
１ｂ及び継手Ｍを介して真空チャンバ（図示しない）に
接続されている。FIG. 17 shows a process gas supply unit using this manifold. In this unit,
In the first manual valve 81, the regulator 83 and the second manual valve 91 are fixed to the mounting panel D via brackets Y1, Y2, and Y3, respectively. An input valve 85 and a purge valve 86 attached to the manifold Z1 are a vacuum valve 89 and an output valve 90 attached to the manifold Z2.
Is a mounting panel D via plates X1 and X2, respectively.
It is fixed to. Mass flow controller block N
Is connected to both manifolds Z1 and Z2. First manual valve 81
And the regulator 83, the pipe 81b, the joint M, the check valve 8
2. They are connected to each other via a joint M and a pipe 83a. The upstream side of the first manual valve 81 is connected to a process gas supply source (not shown) via a pipe 81a and a joint M. The regulator 83 and the manifold Z1
They are connected to each other via the joint M, the pipe 85a, and the joint M. In the middle of the pipe 85a, a pressure gauge 84
a. The second manual valve 91 and the manifold Z2 are connected to each other via a joint M and a pipe 91a. Downstream of the second manual valve 91 is a pipe 9
1b and connected to a vacuum chamber (not shown) via a joint M.
【０００５】ところが、上記のプロセスガス供給ユニッ
トでは、全ての機器を配管で接続していた時代と比較し
てユニット全体が小型化されたものの、配管及び継手が
なお多く存在するため、その分のスペースが必要になっ
ている。このため、近年のプロセスガス供給ユニットに
対する小型化・集積化の要求から見ると、未だ改良が不
十分ではあった。更に、構成要素の全てをブロック化し
てパイプ接続をなくして小型化することも考えられる
が、上部に取り付けられる各種弁等のコンポーネント部
品が種々多彩であることから、それらに合わせてブロッ
ク内に流路を形成することは煩雑であり、かつコストア
ップの点で問題があった。[0005] However, in the above process gas supply unit, although the entire unit has been reduced in size compared to the era when all the devices were connected by piping, since there are still many pipes and joints, there is a corresponding amount. Space is needed. For this reason, in view of recent demands for miniaturization and integration of the process gas supply unit, improvement has not been sufficient. Furthermore, it is conceivable to make all components into blocks to reduce the size by eliminating pipe connections.However, since there are various types of component parts such as various valves mounted on the upper part, the components flow into the blocks in accordance with them. Forming a road is complicated and has a problem in terms of cost increase.
【０００６】そこで、上記の問題点等に鑑み、本願出願
人は、特願平１０−１１６６３１号において、小型化・
集積化を実現できると共に、各種コンポーネント部品の
組み合わせに対しても複数種類のブロックの組み合わせ
を変更するだけで、必要なプロセスガス供給ユニットを
構成することのできるシステムを提案した。[0006] In view of the above-mentioned problems, the applicant of the present invention disclosed in Japanese Patent Application No. Hei 10-116331 a miniaturization.
We have proposed a system that can realize the integration and can configure the required process gas supply unit only by changing the combination of plural types of blocks for the combination of various component parts.
【０００７】この新システムは、各種構成要素の全てを
ブロック化してパイプ接続をなくし、全体を小型化・集
積化したものである。このシステムは、複数の上部モジ
ュールブロック、複数の流路形成ブロック及び複数の下
部流路ブロックを備える。各上部モジュールブロック
は、プロセスガス供給に使用されるコンポーネント部品
の１つが取り付けられるものである。流路形成ブロック
は、上部モジュールブロックがボルトで止められ、コン
ポーネント部品の間を接続して流路を形成するものであ
る。各下部流路ブロックは、異なる流路形成ブロックの
各々の下面に取り付けられ、異なる流路形成ブロックに
形成されている各々の流路を接続するための接続流路が
形成されるものである。In this new system, all of the various constituent elements are blocked to eliminate pipe connections, and the whole is reduced in size and integrated. The system includes a plurality of upper module blocks, a plurality of flow path forming blocks, and a plurality of lower flow path blocks. Each upper module block is one to which one of the component parts used for process gas supply is attached. In the flow path forming block, the upper module block is fixed with bolts and connects between component parts to form a flow path. Each lower flow path block is attached to the lower surface of each of the different flow path forming blocks, and forms a connection flow path for connecting the respective flow paths formed in the different flow path forming blocks.
【０００８】このように構成することで、様々な回路に
対して統一した形状、規格のモジュールブロックを使用
することができ、安価でコンパクトなプロセスガス供給
ユニットが提供できるようになる。With this configuration, it is possible to use a module block having a uniform shape and standard for various circuits, and to provide an inexpensive and compact process gas supply unit.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
新システムでは、全体を小型化・集積化できる反面、隣
接する各ブロックの間に位置する個々のシール部（ガス
ケット）について、ガス漏れの検査が行い難くなる傾向
にあった。However, in the above-mentioned new system, the entire system can be reduced in size and integrated, but the inspection for gas leakage is performed for each seal portion (gasket) located between adjacent blocks. There was a tendency for it to be difficult.
【００１０】即ち、従来のガス漏れ検査方法は、シール
箇所にトレーサガスであるヘリウムガスを外から吹きか
け、そのガスを検査機で検査することにより行ってい
た。上記新システムでは、個々のブロックをコンパクト
にして集積していることから、それらのシール箇所が互
いに極めて接近することになる。このため、上記ガス漏
れ検査方法では、ヘリウムガスを吹きかけても、どのシ
ール部に漏れがあるかを特定することが困難となる。That is, in the conventional gas leak inspection method, a helium gas, which is a tracer gas, is sprayed from the outside onto a sealing portion, and the gas is inspected by an inspection machine. In the new system, the individual blocks are compact and integrated, so that their sealing locations are very close to each other. For this reason, in the gas leakage inspection method described above, it is difficult to specify which seal portion has a leak even when helium gas is sprayed.
【００１１】例えば、個々のシール部に対してヘリウム
ガスを非常に少量づつ吹きかけて、その場所の違いと検
査機の反応の違いから、漏れ箇所を推定する方法もある
が、時間がかかる上に、ガス漏れの判断を誤って行うお
それがある。或いは、プロセスガス供給ユニットを組み
立てる過程で、個々のブロックを一つ組み付ける毎に対
応する一つのシール部にヘリウムガスを吹きかけてガス
漏れ検査を行い、それらの工程を繰り返すことにより全
部のシール部の検査を済ませる方法もある。しかし、こ
の方法では、組立工数と時間が増大することになった。For example, there is a method in which a very small amount of helium gas is sprayed on each seal portion to estimate a leak location from a difference in the location and a difference in a reaction of the inspection machine. In addition, there is a risk that the determination of gas leakage may be made erroneously. Alternatively, in the process of assembling the process gas supply unit, each time one of the individual blocks is assembled, helium gas is blown onto one corresponding seal portion to perform a gas leak inspection, and the process is repeated to repeat all the processes. There is also a way to complete the inspection. However, this method increases the number of assembling steps and time.
【００１２】この発明は上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、その目的は、小型化・集積化された多数の
ブロック上に各種コンポーネント部品を個別に取り付け
て構成するプロセスガス供給ユニットにおいて、各ブロ
ックの間のシール部を一つに特定してガス漏れを正確
に、かつ短時間で検出することを可能にしたプロセスガ
ス供給ユニットのガス漏れ検査装置及びガス漏れ検査方
法を提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a process gas supply unit configured by individually mounting various component parts on a large number of miniaturized and integrated blocks. To provide a gas leakage inspection device and a gas leakage inspection method for a process gas supply unit, which enable a gas leak to be detected accurately and in a short time by specifying a single seal portion between blocks. It is in.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明のガス漏れ検査装置は、小
型化・集積化された多数のブロック上に各種コンポーネ
ント部品を取り付け、各ブロックに形成された流路を互
いに接続することにより構成されるプロセスガス供給ユ
ニットにおいて、各ブロックのシール部のガス漏れを検
査するようにしたガス漏れ検査装置であって、互いに隣
接するブロックの間の空間に装着される検査治具と、そ
の検査治具が空間に装着されたときに一つのブロックの
シール部に整合するよに検査治具に設けられたガスポー
トと、検査治具に設けられ、ガスポートに検査用ガスを
供給するためのガス通路と、ガスポートに供給された検
査用ガスがシール部を通じてプロセスガス供給ユニット
の流路に流れたときに、その検査用ガスをガス漏れの存
在を示すガスとして検出するための漏れガス検出手段と
を備えたことを趣旨とする。In order to achieve the above object, a gas leak inspection apparatus according to the first aspect of the present invention mounts various component parts on a large number of miniaturized and integrated blocks. In a process gas supply unit configured by connecting flow passages formed in each block to each other, a gas leakage inspection device configured to inspect gas leakage of a seal portion of each block, wherein a gas leakage inspection device of a block adjacent to each other is inspected. An inspection jig mounted in the space between the inspection jigs, a gas port provided in the inspection jig so that the inspection jig is aligned with the seal portion of one block when the inspection jig is mounted in the space, and an inspection jig. A gas passage for supplying a test gas to the gas port, and the test gas supplied to the gas port flowed through the seal portion to the flow path of the process gas supply unit. In, and the spirit that a leak gas detection means for detecting the test gas as a gas to indicate the presence of a gas leak.
【００１４】上記の構成によれば、小型化・集積化され
た多数のブロック上に各種コンポーネント部品を取り付
けて構成するプロセスガス供給ユニットにおいて、互い
に隣接するブロックの間の空間に検査治具を装着し、そ
の一つのブロックのシール部に対して検査治具のガスポ
ートを整合させる。そして、検査治具に設けられたガス
通路を通じてガスポートに検査用ガスを供給する。これ
により、一つのブロックのシール部が不良でガス漏れを
許容する場合には、その検査用ガスがシール部を通じて
プロセスガス供給ユニットの流路に流入することにな
り、その検査用ガスがガス漏れの存在を示すガスとして
漏れガス検出手段により検出される。一方、シール部が
正常な場合には、その検査用ガスがシール部からプロセ
スガス供給ユニットの流路に流入することがなく、検査
用ガスがガス漏れの存在を示すガスとして漏れガス検出
手段により検出されることはない。従って、隣接するブ
ロックの間で複数のシール部が隣接していても、対象と
する一つのシール部を他のシール部と区別してガス漏れ
の有無を判断することが可能となる。According to the above configuration, in a process gas supply unit configured by mounting various component parts on a large number of miniaturized and integrated blocks, an inspection jig is mounted in a space between adjacent blocks. Then, the gas port of the inspection jig is aligned with the seal portion of the one block. Then, an inspection gas is supplied to the gas port through a gas passage provided in the inspection jig. As a result, when the seal portion of one block is defective and gas leakage is allowed, the inspection gas flows into the flow path of the process gas supply unit through the seal portion, and the inspection gas is leaked. Is detected by the leak gas detection means as a gas indicating the presence of On the other hand, when the seal portion is normal, the test gas does not flow from the seal portion into the flow path of the process gas supply unit, and the test gas is used as a gas indicating the presence of a gas leak by the leak gas detecting means. It will not be detected. Therefore, even if a plurality of seal portions are adjacent to each other between adjacent blocks, it is possible to determine the presence or absence of gas leakage by distinguishing one target seal portion from another seal portion.
【００１５】上記の目的を達成するために、請求項２に
記載の発明のプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏
れ検査装置は、請求項１に記載の発明の構成において、
各シール部にはガスケットが設けられ、ブロックにはシ
ール部を外部へ連通させる連通路が設けられ、検査治具
には、検査治具が空間に装着されたときに、隣接するブ
ロックとの間でガスポートの周囲をシールするためのシ
ール材が設けられることを趣旨とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided a gas leakage inspection apparatus in a process gas supply unit according to the first aspect of the present invention.
Each seal portion is provided with a gasket, the block is provided with a communication passage for communicating the seal portion to the outside, and the inspection jig is provided between the adjacent block when the inspection jig is mounted in the space. The purpose is to provide a sealing material for sealing around the gas port.
【００１６】上記の構成によれば、請求項１の発明の作
用に加え、ガス漏れを許容するシール部の不良として、
ガスケットの不良が検出されることになる。ここでは、
シール部の連通路に対して検査治具のガスポートを整合
させればよく、両者を整合させたときには、ガスポート
の周囲がシール材によりシールされることから、検査用
ガスの外部への漏れが抑えられる。尚、ガスケットが正
常に機能するときには、シール部にガス漏れのおそれが
ないことから、連通路からガスが漏れることはない。According to the above construction, in addition to the operation of the first aspect of the present invention, the defect of the seal portion allowing gas leakage is determined as follows.
Gasket failure will be detected. here,
It is only necessary to align the gas port of the inspection jig with the communication passage of the seal portion, and when the two are aligned, the periphery of the gas port is sealed by the sealing material. Is suppressed. When the gasket functions normally, there is no possibility of gas leakage in the seal portion, so that gas does not leak from the communication passage.
【００１７】上記の目的を達成するために、請求項３に
記載の発明のプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏
れ検査装置は、請求項２に記載の発明の構成において、
検査治具には、シール材を対応するブロックに押し付け
るための付勢手段が設けられることを趣旨とする。According to a third aspect of the present invention, there is provided a gas leakage inspection device for a process gas supply unit according to the second aspect of the present invention.
It is intended that the inspection jig is provided with an urging means for pressing the sealing material against the corresponding block.
【００１８】上記の構成によれば、請求項２の発明の作
用に加え、付勢手段により、シール材が対応するブロッ
クに押し付けられることから、検査用ガスの外部への漏
れが確実に抑えられる。According to the above construction, in addition to the effect of the second aspect of the present invention, since the sealing member is pressed against the corresponding block by the urging means, the leakage of the inspection gas to the outside is reliably suppressed. .
【００１９】上記の目的を達成するために、請求項４に
記載の発明のプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏
れ検査装置は、請求項１乃至３の一つに記載の発明の構
成において、検査治具には、ガスポートに検査用ガスが
供給されていることを示すための表示手段が設けられる
ことを趣旨とする。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a gas leakage inspection apparatus for a process gas supply unit according to the first aspect of the present invention. Is provided with display means for indicating that the gas for inspection is being supplied to the gas port.
【００２０】上記の構成によれば、請求項１乃至３の一
つに記載の発明の作用に加え、ガスポートに検査用ガス
が供給されているときには、そのことが検査治具におけ
る表示手段により示される。このため、検査用ガスの供
給が表示手段により表示されているときに、漏れガス検
出手段によりガス検出を行うことにより、ガス漏れの有
無が誤って判断されることがない。例えば、検査用ガス
が供給されていないときに、漏れガス検出手段によるガ
ス検出が行われないことにより、ガス漏れがないという
誤った判断がなされることがない。According to the above configuration, in addition to the operation of the invention according to one of the first to third aspects, when the gas for inspection is supplied to the gas port, this is indicated by the display means in the inspection jig. Is shown. Therefore, when the supply of the inspection gas is displayed by the display means, the presence or absence of gas leakage is not erroneously determined by performing gas detection by the leak gas detection means. For example, when the gas for inspection is not supplied, the gas detection by the leak gas detecting means is not performed, so that there is no erroneous determination that there is no gas leak.
【００２１】上記の目的を達成するために、請求項５に
記載の発明のプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏
れ検査方法は、小型化・集積化された多数のブロック上
に各種コンポーネント部品を取り付け、各ブロックに形
成された流路を互いに接続することにより構成されるプ
ロセスガス供給ユニットにおいて、各ブロックのシール
部のガス漏れを検査するようにしたガス漏れ検査方法で
あって、互いに隣接するブロックの間の空間に検査治具
を装着し、一つのブロックのシール部に検査治具のガス
ポートを整合させる検査治具装着工程と、シール部に整
合されたガスポートを真空にする真空工程と、真空にさ
れたガスポートに検査用ガスを供給し、その供給された
検査用ガスがシール部を通じてプロセスガス供給ユニッ
トの流路に流れたときに、その検査用ガスをガス漏れの
存在を示すガスとして検出するための漏れガス検出工程
とを備えたことを趣旨とする。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method for inspecting a gas leak in a process gas supply unit, wherein various component parts are mounted on a large number of miniaturized and integrated blocks. In a process gas supply unit configured by connecting flow passages formed in blocks to each other, a gas leakage inspection method for inspecting gas leakage of a seal portion of each block, wherein a gas leakage inspection method is performed between adjacent blocks. An inspection jig mounting process of mounting an inspection jig in the space of the block and aligning the gas port of the inspection jig with the seal portion of one block, a vacuum process of vacuuming the gas port aligned with the seal portion, Inspection gas was supplied to the gas port set in the above, and the supplied inspection gas flowed into the flow path of the process gas supply unit through the seal portion. To come to a purpose that a leak gas detection step for detecting the test gas as a gas to indicate the presence of a gas leak.
【００２２】上記の構成によれば、検査治具装着工程に
おいて、検査治具を、互いに隣接するブロックの間の空
間に装着し、一つのブロックのシール部にガスポートを
整合させることにより、一つのシール部のみがガス漏れ
検査の対象となる。次に、真空工程において、シール部
に整合されたガスポートを真空にすることにより、ガス
ポート付近の残留ガスが除去される。次に、漏れガス検
出工程において、真空にされたガスポートに検査用ガス
を供給することにより、シール部が不良である場合に
は、供給された検査用ガスがシール部を通じてプロセス
ガス供給ユニットの流路に流れることになる。そして、
その検査用ガスがガス漏れの存在を示すガスとして検出
されることになる。従って、隣接するブロックの間で複
数のシール部が隣接していても、対象とする一つのシー
ル部を他のシール部と区別してガス漏れの有無を判断す
ることが可能となるAccording to the above configuration, in the inspection jig mounting step, the inspection jig is mounted in the space between the blocks adjacent to each other, and the gas port is aligned with the seal portion of one block, whereby Only one seal is subject to gas leak inspection. Next, in a vacuum step, the gas port aligned with the seal portion is evacuated to remove residual gas near the gas port. Next, in the leak gas detection step, by supplying the test gas to the gas port that has been evacuated, if the seal portion is defective, the supplied test gas is supplied to the process gas supply unit through the seal portion. It will flow into the channel. And
The test gas is detected as a gas indicating the presence of a gas leak. Therefore, even if a plurality of seal portions are adjacent between adjacent blocks, it is possible to determine the presence or absence of gas leakage by distinguishing one target seal portion from another seal portion.
【００２３】[0023]
【発明の実施の形態】以下、本発明のプロセスガス供給
ユニットにおけるガス漏れ検査装置及びガス漏れ検査方
法を具体化した一実施の形態を図面を参照して詳細に説
明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a gas leak inspection apparatus and a gas leak inspection method in a process gas supply unit according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００２４】図１に本実施の形態におけるガス漏れ検査
装置５０及びその検査対象であるプロセスガス供給ユニ
ット７０の外観を示す。このプロセスガス供給ユニット
７０は、基本的には、手動弁１ａ，１ｂ，１ｃ、レギュ
レータ３ａ，３ｂ，３ｃ、圧力計４ａ，４ｂ，４ｃ、入
力弁５ａ，５ｂ，５ｃ、マスフローコントローラ８ａ，
８ｂ，８ｃ、出力弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃ、フィルタ
７ａ，７ｂ，７ｃ及びパージ弁６ａ，６ｂ，６ｃ等のコ
ンポーネント部品Ｅと、各コンポーネント部品Ｅがそれ
ぞれ取り付けられる複数の上部モジュールブロックＡ
と、各上部モジュールブロックＡがそれぞれ上面に取り
付けられる複数の流路形成ブロックＢと、各流路形成ブ
ロックＢがそれぞれ上面に取り付けられる複数の下部流
路ブロックＣと、各下部流路ブロックＣがそれぞれ固定
される一つの取付パネルＤとを備える。FIG. 1 shows the appearance of a gas leak inspection device 50 and a process gas supply unit 70 to be inspected by the gas leakage inspection device 50 according to the present embodiment. The process gas supply unit 70 basically includes manual valves 1a, 1b, 1c, regulators 3a, 3b, 3c, pressure gauges 4a, 4b, 4c, input valves 5a, 5b, 5c, a mass flow controller 8a,
8b, 8c, component valves E such as output valves 10a, 10b, 10c, filters 7a, 7b, 7c and purge valves 6a, 6b, 6c, and a plurality of upper module blocks A to which each of the component components E is attached.
A plurality of flow path forming blocks B each having an upper module block A mounted on the upper surface, a plurality of lower flow path blocks C each having the respective flow path forming blocks B mounted on the upper surface, and each lower flow path block C And one mounting panel D fixed to each.
【００２５】この実施の形態において、上部モジュール
ブロックＡは４つの種類に分けられる。図２にその一例
を示す。上部モジュールブロックＡは、全種類におい
て、下面が縦横３９ｍｍの寸法を有する同一正方形をな
す。このブロックＡは、中央に複数のポート１３，１９
を有し、上面に各ポート１３，１９を内包する円筒形状
の接続用ブラケット１８を有する。接続用ブラケット１
８は、取り付けられるコンポーネント部品Ｅに対応した
寸法で形成される。各コンポーネント部品Ｅは、接続用
ブラケット１８に対して、ネジ締め等により固定され
る。このブロックＡの各種類の間では、上記ポート１
３，１９等の数と種類が異なる。このブロックＡは、そ
の四隅にボルト孔１４を有する。各ボルト孔１４は、同
ブロックＡを流路形成ブロックＢに固定するためのもの
である。In this embodiment, the upper module block A is divided into four types. FIG. 2 shows an example. The upper module blocks A have the same square shape having a size of 39 mm in length and width in all types. This block A has a plurality of ports 13 and 19 at the center.
, And has a cylindrical connection bracket 18 including the ports 13 and 19 on the upper surface. Connection bracket 1
8 is formed in a size corresponding to the component part E to be attached. Each component component E is fixed to the connection bracket 18 by screwing or the like. Between each type of the block A, the port 1
The numbers and types of 3, 19 etc. are different. The block A has bolt holes 14 at its four corners. Each bolt hole 14 is for fixing the block A to the flow path forming block B.
【００２６】四つの種類の上部モジュールブロックＡに
コンポーネント部品Ｅが取り付けられることにより、コ
ンポーネント部品Ｅの取付方向に関して１６のパターン
が得られる。By attaching the component parts E to the four types of upper module blocks A, sixteen patterns are obtained in the mounting direction of the component parts E.
【００２７】この実施の形態において、各上部モジュー
ルブロックＡの上面に取り付けられるコンポーネント部
品Ｅは、５つの種類に分けられる。図３にその一例を示
す。この図は入力弁５ａ〜５ｃ、パージ弁６ａ〜６ｃ、
出力弁１０ａ〜１０ｃ及び真空弁９ａ〜９ｃとして使用
されるエアオペレーション弁を上部モジュールブロック
Ａに取り付けた状態を示す。図３（ａ）は、前記取り付
け状態を上方向から見た斜視図を、図３（ｂ），（ｃ）
は全体をひっくり返したときの斜視図をそれぞれ示す。
図３（ｂ），（ｃ）は、互いにタイプの違いを示すもの
である。In this embodiment, the component parts E mounted on the upper surface of each upper module block A are classified into five types. FIG. 3 shows an example. This figure shows input valves 5a-5c, purge valves 6a-6c,
The state which attached the air operation valve used as the output valves 10a-10c and the vacuum valves 9a-9c to the upper module block A is shown. FIG. 3A is a perspective view of the mounting state as viewed from above, and FIG. 3B and FIG.
Shows perspective views when the whole is turned over.
FIGS. 3B and 3C show the difference between the types.
【００２８】図４に下部流路ブロックＣの斜視図を示
す。図５（ａ）に同ブロックＣの平面図を、図５（ｂ）
に同ブロックＣの側断面図をそれぞれ示す。下部流路ブ
ロックＣは、その上面中央に一対の連通孔２２を有す
る。両連通孔２２は、図５（ｂ）に示すように、断面が
Ｖ字形のＶ字連通路２７により互いに連通される。各連
通孔２２は、その周囲に、シール部材である金属ガスケ
ットを装着するための座ぐり２３を有する。このブロッ
クＣは、各連通孔２２の両脇に、ボルト孔２４を有す
る。このブロックＣは、その長手方向の両端部におい
て、同ブロックＣを取付パネルＤに取り付けるための一
対の取付孔２５を有する。各取付孔２５は、その上面に
座ぐり孔２５ａを有する。このブロックＣは、その長手
方向の両端部四隅に、切り欠き逃げ部２６を有する。FIG. 4 is a perspective view of the lower flow path block C. FIG. 5A is a plan view of the block C, and FIG.
2 shows a side sectional view of the same block C. The lower channel block C has a pair of communication holes 22 at the center of the upper surface. As shown in FIG. 5B, the two communication holes 22 communicate with each other through a V-shaped communication passage 27 having a V-shaped cross section. Each communication hole 22 has a counterbore 23 around which a metal gasket as a seal member is mounted. The block C has bolt holes 24 on both sides of each communication hole 22. The block C has a pair of mounting holes 25 at both ends in the longitudinal direction for mounting the block C to the mounting panel D. Each mounting hole 25 has a counterbore 25a on its upper surface. The block C has cutout relief portions 26 at the four corners at both ends in the longitudinal direction.
【００２９】この実施の形態において、流路形成ブロッ
クＢは１４種類に分けられる。図６にその一例の平面図
に示す。図７に同ブロックＢの上面を斜視図に示す。図
８に同ブロックＢの下面を斜視図に示す。流路形成ブロ
ックＢは、上部モジュールブロックＡの下面と同じ寸法
形状をなした上面及び下面を有する。その上面には、上
部モジュールブロックＡが取り付けられる。このブロッ
クＢは、その上面中央に二つの上面ポート３１，３３
を、その下面二縁に二つの下面ポート３２，３４をそれ
ぞれ有する。各上面ポート３１，３３及び各下面ポート
３２，３４は、それらの周囲に座ぐり３１ａ，３３ａ，
３２ａ，３４ａをそれぞれ有する。上面ポート３１及び
下面ポート３２は互いに斜めの連通路により連通する。
同様に、上面ポート３３及び下面ポート３４は互いに斜
めの連通路により連通する。各下面ポート３２，３４
は、対応する下部流路ブロックＣの連通孔２２に整合す
るものである。各下面ポート３２，３４の両脇に形成さ
れた取付孔３５は、同ブロックＢを上下に貫通する。各
取付孔３５は、その周囲に座ぐり３６を有する。このブ
ロックＢは、その四隅に、上部モジュールブロックＡの
取付ボルトをねじ止めするためのボルト孔３７を有す
る。図７，８に示すように、このブロックＢは、その下
面縁部に、各下面ポート３２，３４の座ぐり３２ａ，３
４ａに対応して開けられた連通路３２ｂ，３４ｂをそれ
ぞれ有する。これら座ぐり３２ａ，３４ａには、金属製
のガスケット４０がそれぞれ装着される。そして、流路
形成ブロックＢの金属製のガスケット４０を含む各下面
ポート３２，３４及び座ぐり３２ａ，３４ａ、並びに下
部流路ブロックＣの連通孔２２及び座ぐり２３の部分
が、本発明のシール部Ｓを構成する。In this embodiment, the flow path forming blocks B are divided into 14 types. FIG. 6 shows a plan view of one example. FIG. 7 is a perspective view showing the upper surface of the block B. FIG. 8 is a perspective view showing the lower surface of the block B. The flow path forming block B has an upper surface and a lower surface having the same dimensions and shape as the lower surface of the upper module block A. The upper module block A is mounted on the upper surface. This block B has two upper ports 31 and 33 at the center of the upper surface.
And two lower surface ports 32, 34 at two lower edges thereof. Each upper surface port 31, 33 and each lower surface port 32, 34 have a counterbore 31a, 33a,
32a and 34a. The upper surface port 31 and the lower surface port 32 communicate with each other through an oblique communication path.
Similarly, the upper surface port 33 and the lower surface port 34 communicate with each other through an oblique communication path. Each lower surface port 32, 34
Are aligned with the corresponding communication holes 22 of the lower flow path block C. Mounting holes 35 formed on both sides of each lower surface port 32, 34 penetrate the same block B up and down. Each mounting hole 35 has a counterbore 36 around it. The block B has bolt holes 37 at four corners for screwing mounting bolts of the upper module block A. As shown in FIGS. 7 and 8, this block B has counterbore 32a, 3 of each lower surface port 32, 34 on its lower surface edge.
It has communication passages 32b and 34b opened corresponding to 4a, respectively. A metal gasket 40 is mounted on each of the counterbore 32a and 34a. The lower surface ports 32, 34 and the counterbore 32a, 34a including the metal gasket 40 of the flow path forming block B, and the communication hole 22 and the counterbore 23 of the lower flow path block C are the seal of the present invention. The unit S is configured.
【００３０】上記した上部モジュールブロックＡ、流路
形成ブロックＢ、下部流路ブロックＣ、取付パネルＤ及
びコンポーネント部品Ｅをそれぞれ複数互いに組み付け
ることにより、図１に示すようなプロセスガス供給ユニ
ット７０が構成される。By assembling a plurality of the upper module blocks A, the flow path forming blocks B, the lower flow path blocks C, the mounting panels D and the component parts E, a process gas supply unit 70 as shown in FIG. Is done.
【００３１】即ち、図１に示すように、取付パネルＤの
上面には、複数の下部流路ブロックＣが取り付けられ、
各下部流路ブロックＣの上面には、複数の流路形成ブロ
ックＢが取り付けられ、各流路形成ブロックＢの上面に
は、対応するコンポーネント部品Ｅを固定してなる複数
の上部モジュールブロックＡが取り付けられる。That is, as shown in FIG. 1, a plurality of lower flow path blocks C are mounted on the upper surface of the mounting panel D,
A plurality of flow path forming blocks B are attached to the upper surface of each lower flow path block C, and a plurality of upper module blocks A to which corresponding component components E are fixed are provided on the upper surface of each flow path forming block B. It is attached.
【００３２】図９には、取付パネルＤの上面に下部流路
ブロックＣが取り付けられた状態を示す。図１０には、
取付パネルＤ上の下部流路ブロックＣの上面に流路形成
ブロックＢが取り付けられた状態を示す。この流路形成
ブロックＢの上面に上部モジュールブロックＡを含むコ
ンポーネント部品Ｅが取り付けられることにより、図１
に示すようなプロセスガス供給ユニット７０が得られ
る。即ち、小型化・集積化された多数のブロック等Ａ〜
Ｄ上に各種コンポーネント部品Ｅが取り付けられ、各ブ
ロック等Ａ〜Ｄに形成された流路が互いに接続されてな
るプロセスガス供給ユニット７０が得られる。このユニ
ット７０の構成において、各ブロック等Ａ〜Ｅのポート
及び流路が互いに組み合わされて接続され、所定の回路
が構成される。図１１にはそのユニット７０の回路構成
を示す。FIG. 9 shows a state in which the lower channel block C is mounted on the upper surface of the mounting panel D. In FIG.
The state where the flow path forming block B is mounted on the upper surface of the lower flow path block C on the mounting panel D is shown. By mounting the component part E including the upper module block A on the upper surface of the flow path forming block B,
The process gas supply unit 70 shown in FIG. That is, a large number of miniaturized and integrated blocks A to
The various component parts E are mounted on D, and the process gas supply unit 70 in which the channels formed in the blocks A to D are connected to each other is obtained. In the configuration of the unit 70, the ports and the flow paths of the blocks A to E are combined and connected to each other to form a predetermined circuit. FIG. 11 shows a circuit configuration of the unit 70.
【００３３】ここで、図１に示すように、互いに隣接す
る上部モジュールブロックＡ及び流路形成ブロックＢの
間には、所定の大きさ（例えば、幅２ｍｍ程度）の隙間
Ｇａが形成される。この隙間Ｇａに対応して、前述した
互いに対応する流路形成ブロックＢ及び下部流路ブロッ
クＣの間のシール部Ｓが配置される。この実施の形態の
ユニット７０において、上記シール部Ｓは、互いに隣接
する二つの流路形成ブロックＢの間に形成される隙間Ｇ
ａに対して二つ存在することになる。Here, as shown in FIG. 1, a gap Ga having a predetermined size (for example, about 2 mm in width) is formed between the upper module block A and the flow path forming block B adjacent to each other. Corresponding to the gap Ga, the seal portion S between the corresponding flow path forming block B and the lower flow path block C described above is arranged. In the unit 70 of this embodiment, the seal portion S is formed by a gap G formed between two adjacent flow path forming blocks B.
There will be two for a.
【００３４】次に上記のように構成したプロセスガス供
給ユニット７０におけるガス漏れ検査装置５０について
説明する。図１に示すように、ガス漏れ検査装置は、検
査治具５１と、コントロールボックス５２と、ヘリウム
センサ５３とを備える。Next, the gas leak inspection device 50 in the process gas supply unit 70 configured as described above will be described. As shown in FIG. 1, the gas leakage inspection device includes an inspection jig 51, a control box 52, and a helium sensor 53.
【００３５】検査治具５１は、互いに隣接する上記各ブ
ロックＡ，Ｂの間の空間としての隙間Ｇａに差し込まれ
て装着されるものである。図１２に検査治具５１の正面
図を、図１３に検査治具５１の側面図をそれぞれ示す。
この検査治具５１は、二枚の板材を接合してなる薄板状
をなし、その下端両脇に一対の突起５１ａを有する。検
査治具５１は、その下部中央に検査用ガスを導出するた
めのガスポート５４を有し、その内部にガスポート５４
に通じるガス流路５５を有する。このガス流路５５は、
検査治具５１の上端に設けられた管継手５６に連通す
る。ガスポート５４は、検査治具５１が前記隙間Ｇａに
装着されたときに一つの流路形成ブロックＢの一つのシ
ール部Ｓに整合するよに配置されるものである。ガス通
路５５は、管継手５６に導入される検査用ガスをガスポ
ート５４に導くためのものである。検査治具５１は、そ
のガスポート５４の周囲に取り付けられたシール材とし
てのゴムライニング５７を有する。このゴムライニング
５７は、検査治具５１が前記隙間Ｇａに装着されたとき
に、隣接するブロックＢとの間でガスポート５４の周囲
をシールするためのものである。又、検査治具５１は、
ガスポート５４に対応する反対側面に、ゴムライニング
５７を対応するブロックＢに押し付けるための付勢手段
としての板バネ５８を有する。更に、検査治具５１は、
その上端部に設けられたＬＥＤランプ５９を有する。こ
のＬＥＤランプ５９は、ガスポート５４に検査用ガスが
供給されていることを示すために動作する本発明の表示
手段に相当するものである。The inspection jig 51 is mounted by being inserted into a gap Ga as a space between the blocks A and B adjacent to each other. FIG. 12 is a front view of the inspection jig 51, and FIG. 13 is a side view of the inspection jig 51.
The inspection jig 51 has a thin plate shape formed by joining two plate members, and has a pair of protrusions 51a on both sides on a lower end thereof. The inspection jig 51 has a gas port 54 for leading out an inspection gas at the lower center thereof.
Has a gas flow path 55 communicating with the gas flow path. This gas flow path 55
It communicates with a pipe joint 56 provided at the upper end of the inspection jig 51. The gas port 54 is arranged so as to be aligned with one seal portion S of one flow path forming block B when the inspection jig 51 is mounted in the gap Ga. The gas passage 55 guides the test gas introduced into the pipe joint 56 to the gas port 54. The inspection jig 51 has a rubber lining 57 as a sealing material attached around the gas port 54. The rubber lining 57 is for sealing around the gas port 54 with the adjacent block B when the inspection jig 51 is mounted in the gap Ga. In addition, the inspection jig 51
On the opposite side corresponding to the gas port 54, a leaf spring 58 is provided as urging means for pressing the rubber lining 57 against the corresponding block B. Further, the inspection jig 51
It has an LED lamp 59 provided at its upper end. The LED lamp 59 corresponds to a display unit of the present invention that operates to indicate that the inspection gas is being supplied to the gas port 54.
【００３６】図１に示すヘリウムセンサ５３は、プロセ
スガス供給ユニット７０の出力側に接続されるものであ
り、ヘリウム分子の存在を検出したときに、ヘリウムガ
スの検出を示す信号を出力するものである。このセンサ
５３は、そのハウジングに検出回路（図示しない）を内
蔵し、そのハウジングの上壁面にアラームランプ５３ａ
を有する。従って、ヘリウムセンサ５３がヘリウムガス
の検出信号を出力したときに、検出回路が動作してアラ
ームランプ５３ａが点灯されることになる。ヘリウムセ
ンサ５３は、本発明の漏れガス検出手段を構成する。The helium sensor 53 shown in FIG. 1 is connected to the output side of the process gas supply unit 70, and outputs a signal indicating the detection of helium gas when detecting the presence of helium molecules. is there. The sensor 53 has a built-in detection circuit (not shown) in its housing, and has an alarm lamp 53a on an upper wall surface of the housing.
Having. Therefore, when the helium sensor 53 outputs a helium gas detection signal, the detection circuit operates and the alarm lamp 53a is turned on. The helium sensor 53 constitutes a leak gas detecting means of the present invention.
【００３７】コントロールボックス５２は、検査治具５
１に対する検査用ガスの供給等を制御するためのもので
ある。図１４にコントロールボックス５２の回路構成を
示す。このコントロールボックス５２は、負圧を発生さ
せるためのエジェクタＥＪと、エジェクタＥＪの入力ポ
ートに接続された第１の電磁弁Ｖ１と、エジェクタＥＪ
の出力ポートにそれぞれ直列に接続される第２の電磁弁
Ｖ２、第３の電磁弁Ｖ３、レギュレータＲＧ及び手動弁
ＨＶとを備える。第１の電磁弁Ｖ１の入力ポートは、窒
素（Ｎ2 ）ガスの供給源に接続される。手動弁ＨＶの入
力ポートは、ヘリウムガスの供給源に接続される。この
実施の形態では、前述した検査用ガスとして、ヘリウム
ガスが使用される。第２の電磁弁Ｖ２と第３の電磁弁Ｖ
３との間の配管は、チューブ６０を介して検査治具５１
の管継手５６に接続される。更に、コントロールボック
ス５２は、第１〜第３の電磁弁Ｖ１〜Ｖ３等を制御する
ためのコントローラ６１を備える。コントローラ６１に
は、第１〜第３の電磁弁Ｖ１〜Ｖ３が電気的に接続され
る。コントローラ６１には、検査治具５１のＬＥＤラン
プ５９がリード線５９ａを介して電気的に接続される。
コントローラ６１には、検査の開始を指示するためのス
タートボタン６２及び電源がそれぞれ接続される。又、
コントローラ６１は、外部装置（図示しない）に接続さ
れ、必要に応じて制御経過を示す外部信号を外部装置へ
出力するようになっている。コントローラ６１は、中央
処理装置（ＣＰＵ）、読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）、
ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）及びバックアップＲ
ＡＭ等よりなる周知の構成を備えたものである。ＲＯＭ
は、前述した漏れ検査用の制御に係る所定の制御プログ
ラムを予め記憶している。コントローラ（ＣＰＵ）６１
は、この制御プログラムに従って漏れ検査の制御を実行
する。この実施の形態において、コントローラ６１は、
ガス漏れ検査の制御を司るための制御手段を構成する。
又、エジェクタＥＪ、第１〜第３の電磁弁Ｖ１〜Ｖ３、
レギュレータＲＧ及び手動弁ＨＶ等よりなる空圧回路
は、検査治具５１のガスポート５４に検査用ガスとして
のヘリウムガスを供給するための検査用ガス供給手段を
構成する。The control box 52 includes an inspection jig 5
This is for controlling the supply of the inspection gas to the device 1 and the like. FIG. 14 shows a circuit configuration of the control box 52. The control box 52 includes an ejector EJ for generating a negative pressure, a first solenoid valve V1 connected to an input port of the ejector EJ, and an ejector EJ.
A second solenoid valve V2, a third solenoid valve V3, a regulator RG, and a manual valve HV, which are respectively connected in series to the output ports. The input port of the first solenoid valve V1 is connected to a nitrogen (N2) gas supply source. The input port of the manual valve HV is connected to a source of helium gas. In this embodiment, helium gas is used as the above-described inspection gas. The second solenoid valve V2 and the third solenoid valve V
3 is connected to an inspection jig 51 via a tube 60.
To the pipe joint 56. Further, the control box 52 includes a controller 61 for controlling the first to third solenoid valves V1 to V3 and the like. First to third solenoid valves V1 to V3 are electrically connected to the controller 61. The LED lamp 59 of the inspection jig 51 is electrically connected to the controller 61 via a lead wire 59a.
The controller 61 is connected with a start button 62 for instructing the start of an inspection and a power supply. or,
The controller 61 is connected to an external device (not shown), and outputs an external signal indicating the progress of control to the external device as necessary. The controller 61 includes a central processing unit (CPU), a read-only memory (ROM),
Random access memory (RAM) and backup R
It has a well-known configuration such as AM. ROM
Stores in advance a predetermined control program related to the above-described control for leak inspection. Controller (CPU) 61
Executes the leak inspection control according to the control program. In this embodiment, the controller 61
The control means for controlling the gas leak inspection is constituted.
Also, the ejector EJ, the first to third solenoid valves V1 to V3,
The pneumatic circuit including the regulator RG and the manual valve HV constitutes an inspection gas supply unit for supplying helium gas as an inspection gas to the gas port 54 of the inspection jig 51.
【００３８】次に、上記のように構成したガス漏れ検査
装置５０を使用して行われる検査方法について説明す
る。Next, a description will be given of an inspection method performed using the gas leakage inspection apparatus 50 configured as described above.
【００３９】図１５にプロセスガス供給ユニット７０の
隙間Ｇａに対する検査治具５１の装着状態を示す。図１
５には、便宜上、上部モジュールブロックＡ及びコンポ
ーネント部品Ｅを省略して示す。図１６に、コントロー
ラ６１が実行するガス漏れ検査の制御プログラムの内容
を示す。FIG. 15 shows how the inspection jig 51 is attached to the gap Ga of the process gas supply unit 70. FIG.
In FIG. 5, the upper module block A and the component parts E are omitted for convenience. FIG. 16 shows the contents of a control program for the gas leak inspection executed by the controller 61.
【００４０】ガス漏れ検査に際して、先ず作業者は、検
査治具装着工程において、図１５に示すように、プロセ
スガス供給ユニット７０の互いに隣接する流路形成ブロ
ックＢ１，Ｂ２の間の隙間Ｇａに検査治具５１を差し込
んで装着し、一つの流路形成ブロックＢ１及び一つの下
部流路ブロックＣ１の間の一つのシール部Ｓ１に検査治
具５１のガスポート５４を整合させる。これにより、一
つのシール部Ｓ１のみがガス漏れ検査の対象となる。こ
のとき、差し込まれた検査治具５１の両突起５１ａは、
下部流路ブロックＣ１の長手方向両端面を挟み込むかた
ちで装着されることから、検査治具５１が隙間Ｇａの中
を横滑りするようなことはない。又、ガスポート５４を
シール部Ｓ１に対して確実に位置決めすることができ
る。At the time of the gas leak inspection, first, in the inspection jig mounting step, as shown in FIG. 15, the operator inspects the gap Ga between the mutually adjacent flow path forming blocks B1 and B2 of the process gas supply unit 70. The jig 51 is inserted and mounted, and the gas port 54 of the inspection jig 51 is aligned with one seal portion S1 between one flow path forming block B1 and one lower flow path block C1. Thereby, only one seal portion S1 is a target of the gas leak inspection. At this time, both projections 51a of the inserted inspection jig 51
Since the lower flow path block C1 is mounted so as to sandwich both longitudinal end surfaces thereof, the inspection jig 51 does not slide in the gap Ga. Further, the gas port 54 can be reliably positioned with respect to the seal portion S1.
【００４１】次に、真空工程において、上記のシール部
Ｓ１に整合されたガスポート５４を真空にすることによ
り、検知治具５１のガス流路５５及びガスポート５４に
残留するヘリウムガス等が排気され除去される。Next, in the vacuum step, the gas port 54 aligned with the seal portion S1 is evacuated to exhaust the helium gas and the like remaining in the gas flow path 55 and the gas port 54 of the detection jig 51. Is removed.
【００４２】その後、漏れガス検出工程において、上記
のように真空にされたガスポート５４に検査用ガスであ
るヘリウムガスを供給することにより、そのシール部Ｓ
１が不良である場合に、供給されたヘリウムガスがシー
ル部Ｓ１を通じてプロセスガス供給ユニット７０の流路
に流れたときに、そのヘリウムガスをガス漏れの存在を
示すガスとしてヘリウムセンサ５３により検出させる。Thereafter, in the leak gas detection step, helium gas, which is an inspection gas, is supplied to the gas port 54 evacuated as described above, so that the sealing portion S
If the supplied helium gas flows into the flow path of the process gas supply unit 70 through the seal portion S1 when the helium gas is defective, the helium sensor 53 detects the helium gas as a gas indicating the presence of a gas leak. .
【００４３】この実施の形態では、上記の真空工程及び
漏れガス検出工程を、コントロールボックス５２のコン
トローラ６１が実行する。即ち、図１６に示すように、
ステップ１００において、コントローラ６１は、スター
トボタン６２がオンされたか否かを判断する。ここで、
作業者は、上記の検査治具装着工程を完了したときにス
タートボタン６２を操作することになっていることか
ら、コントローラ６１は、スタートボタン６２のオン操
作を待って次ぎのステップ１１０へ処理を移行すること
になる。In this embodiment, the controller 61 of the control box 52 executes the above-described vacuum step and leak gas detecting step. That is, as shown in FIG.
In step 100, the controller 61 determines whether the start button 62 has been turned on. here,
Since the operator operates the start button 62 when the inspection jig mounting process is completed, the controller 61 waits for the start button 62 to be turned on and proceeds to the next step 110. Will be migrated.
【００４４】次に、ステップ１１０において、真空工程
を実行するために、第１及び第２の電磁弁Ｖ１，Ｖ２を
開いてエジェクタＥＪにより、検知治具５１のガス流路
５５内を真空にして残留ガスを排気する。ここで、第１
の電磁弁Ｖ１に窒素ガスを供給することにより、エジェ
クタＥＪが作動してその出力ポートに負圧が発生するこ
とになる。この負圧がチューブ６０を通じて検査治具５
１のガス流路５５に作用し、同流路５５内の残留ガスが
排気されることになる。Next, in step 110, in order to execute a vacuum process, the first and second solenoid valves V1 and V2 are opened, and the gas flow path 55 of the detection jig 51 is evacuated by the ejector EJ. Exhaust residual gas. Here, the first
By supplying nitrogen gas to the solenoid valve V1, the ejector EJ operates to generate a negative pressure at its output port. This negative pressure is applied to the inspection jig 5 through the tube 60.
The gas acts on the first gas flow path 55, and the residual gas in the flow path 55 is exhausted.
【００４５】次に、コントローラ６１は、ステップ１２
０において、所定時間が経過するのを待って、ステップ
１３０において、第２の電磁弁Ｖ２を閉じ、次いで、ス
テップ１４０において、第１の電磁弁Ｖ１を閉じる。即
ち、コントローラ６１は、検査治具５１のガス流路５５
内を所定時間だけ真空にした後、第２の電磁弁Ｖ２、第
１の電磁弁Ｖ１の順序で各電磁弁Ｖ２，Ｖ１をそれぞれ
閉じる。Next, the controller 61 proceeds to step 12
At 0, after a predetermined time has elapsed, in step 130, the second solenoid valve V2 is closed, and then, in step 140, the first solenoid valve V1 is closed. That is, the controller 61 controls the gas flow path 55 of the inspection jig 51.
After the inside is evacuated for a predetermined time, the solenoid valves V2 and V1 are closed in the order of the second solenoid valve V2 and the first solenoid valve V1, respectively.
【００４６】次に、ステップ１５０において、上記漏れ
ガス検出工程を実行するために、コントローラ６１は、
第３の電磁弁Ｖ３を開いて検査治具５１のガス流路５５
内にヘリウムガスを供給する。即ち、ガス流路５５内を
ヘリウムガスで置換する。Next, in step 150, in order to execute the above-mentioned leak gas detection step, the controller 61
The third solenoid valve V3 is opened to open the gas passage 55 of the inspection jig 51.
Supply helium gas inside. That is, the inside of the gas passage 55 is replaced with helium gas.
【００４７】ステップ１６０において、コントローラ６
１は、ガスポート５４にヘリウムガスが供給されている
ことを示すためにＬＥＤランプ５９を点灯させる。In step 160, the controller 6
1 turns on the LED lamp 59 to indicate that the helium gas is supplied to the gas port 54.
【００４８】コントローラ６１は、ステップ１７０にお
いて、所定時間の経過を待って、ステップ１８０におい
て、ＬＥＤランプ５９を消灯させ、その後の処理を終了
する。The controller 61 waits for the elapse of a predetermined time in step 170, turns off the LED lamp 59 in step 180, and ends the subsequent processing.
【００４９】即ち、ステップ１５０〜１８０において、
コントローラ６１は、検査治具５１のガスポート５４に
ヘリウムガスを所定時間だけ供給し、そのヘリウムガス
を供給している間だけガス供給中であることを作業者に
知らせるためにＬＥＤランプ５９を点灯させるのであ
る。That is, in steps 150 to 180,
The controller 61 supplies the helium gas to the gas port 54 of the inspection jig 51 for a predetermined time, and turns on the LED lamp 59 to inform the operator that the gas is being supplied only while the helium gas is being supplied. Let it do.
【００５０】そして、作業者は、ＬＥＤランプ５９が点
灯している間にヘリウムセンサ５３のアラームランプ５
３ａの点灯の有無に基づいて、ガス漏れの存在を判断す
るのである。即ち、ＬＥＤランプ５９が点灯している間
にアラームランプ５３ａが点灯していれば、検査対象で
あるシール部Ｓ１が不良であり、ガス漏れが有ることを
判断することができる。一方、ＬＥＤランプ５９が点灯
している間にアラームランプ５３ａが点灯していなけれ
ば、検査対象であるシール部Ｓ１が正常であり、ガス漏
れが無いことを判断することができる。Then, while the LED lamp 59 is lit, the operator operates the alarm lamp 5 of the helium sensor 53.
The presence of gas leakage is determined based on the presence or absence of lighting of 3a. That is, if the alarm lamp 53a is lit while the LED lamp 59 is lit, it can be determined that the seal S1 to be inspected is defective and that there is gas leakage. On the other hand, if the alarm lamp 53a is not lit while the LED lamp 59 is lit, it can be determined that the seal portion S1 to be inspected is normal and that there is no gas leakage.
【００５１】以上説明したように、本実施の形態のガス
漏れ検査装置５０及びその装置５０を使用したガス漏れ
検査方法によれば、小型化・集積化された多数のブロッ
ク等Ａ〜Ｄ上に各種コンポーネント部品Ｅを取り付けて
構成するプロセスガス供給ユニット７０を検査対象とし
ている。このユニット７０において、互いに隣接する各
ブロックＡ〜Ｃの間の隙間Ｇａに検査治具５１を装着
し、その一つのブロックＢ，Ｃに対応する一つのシール
部Ｓに対して検査治具５１のガスポート５４を整合させ
る。そして、検査治具５１に設けられたガス通路５５を
通じてガスポート５４に検査用ガスであるヘリウムガス
を供給するようにしている。これにより、それぞれ一つ
のブロックＢ，Ｃのシール部Ｓが不良でガス漏れを許容
する場合には、そのヘリウムガスがシール部Ｓを通じて
プロセスガス供給ユニット７０の流路に流入することに
なり、そのヘリウムガスがガス漏れの存在を示すガスと
してヘリウムセンサ５３により検出され、そのアラーム
ランプ５３ａに表示される。一方、シール部Ｓが正常な
場合には、そのヘリウムガスがシール部Ｓからプロセス
ガス供給ユニット７０の流路に流入することがなく、ヘ
リウムガスがガス漏れの存在を示すガスとしてヘリウム
センサ５３により検出されることがない。As described above, according to the gas leak inspection apparatus 50 of the present embodiment and the gas leak inspection method using the apparatus 50, a large number of miniaturized and integrated blocks A to D are mounted. A process gas supply unit 70 having various component parts E attached is configured as an inspection target. In this unit 70, the inspection jig 51 is mounted in the gap Ga between the blocks A to C adjacent to each other, and the inspection jig 51 is attached to one seal portion S corresponding to one of the blocks B and C. Align gas port 54. Then, helium gas as an inspection gas is supplied to the gas port 54 through a gas passage 55 provided in the inspection jig 51. Accordingly, when the seal portion S of each of the blocks B and C is defective and gas leakage is allowed, the helium gas flows into the flow path of the process gas supply unit 70 through the seal portion S. Helium gas is detected by the helium sensor 53 as a gas indicating the presence of a gas leak, and is displayed on the alarm lamp 53a. On the other hand, when the seal portion S is normal, the helium gas does not flow from the seal portion S into the flow path of the process gas supply unit 70, and the helium gas is used as a gas indicating the presence of a gas leak by the helium sensor 53. Not detected.
【００５２】従って、この実施の形態のプロセスガス供
給ユニット７０のように、隣接する二つの流路形成ブロ
ックＢの間で二つのシール部Ｓが隣接していても、対象
とする一つのシール部Ｓを他のシール部Ｓと区別してガ
ス漏れの有無を判断することが可能となる。このため、
プロセスガス供給ユニット７０において、各ブロックＡ
〜Ｃの間のシール部Ｓを一つに特定し、そのシール部Ｓ
についてのみガス漏れを正確に検出することができ、ガ
ス漏れ検査の所要時間を短縮化することができるように
なる。Therefore, even if two seal portions S are adjacent between two adjacent flow path forming blocks B as in the process gas supply unit 70 of this embodiment, one target seal portion S S can be distinguished from other seal portions S to determine whether or not there is gas leakage. For this reason,
In the process gas supply unit 70, each block A
To C, one seal portion S is specified, and the seal portion S
, The gas leak can be accurately detected, and the time required for the gas leak inspection can be shortened.
【００５３】本実施の形態のガス漏れ検査装置５０によ
れば、ガス漏れを許容するシール部Ｓの不良として、ガ
スケット４０の不良が検出されることになる。ここで
は、一つのシール部Ｓに対応して流路形成ブロックＢに
形成された一つの連通路３２ａ，３４ａに対して検査治
具５１のガスポート５４を整合させればよい。そして、
両者３２ａ，３４ａ，５４を整合させたときには、ガス
ポート５４の周囲がゴムライニング５７によりシールさ
れることから、それによってヘリウムガスの外部への漏
れが抑えられることになる。尚、ガスケット４０が正常
に機能するときには、シール部Ｓにガス漏れのおそれが
ないことから、連通路３２ａ，３４ａからガスが外部へ
漏れることはない。このように、ヘリウムガスの外部漏
れが抑えられることから、ヘリウムガスの分圧を安定化
させることができ、検査対象を変える毎にヘリウムガス
分圧が変わることがなくなり、複数のシール部Ｓに関す
るガス漏れ検査をより正確なものにすることができるよ
うになる。According to the gas leak inspection device 50 of the present embodiment, a defect of the gasket 40 is detected as a defect of the seal portion S that allows gas leakage. Here, the gas port 54 of the inspection jig 51 may be aligned with one communication path 32a, 34a formed in the flow path forming block B corresponding to one seal part S. And
When the two 32a, 34a and 54 are aligned, the periphery of the gas port 54 is sealed by the rubber lining 57, so that leakage of helium gas to the outside is suppressed. When the gasket 40 functions normally, there is no risk of gas leaking through the seal portion S, so that gas does not leak outside from the communication passages 32a and 34a. As described above, since the external leakage of the helium gas is suppressed, the partial pressure of the helium gas can be stabilized, and the partial pressure of the helium gas does not change every time the inspection target is changed. Gas leak inspection can be made more accurate.
【００５４】本実施の形態のガス漏れ検査装置５０によ
れば、検査治具５１において、板バネ５８によりゴムラ
イニング５７が対応する一つの流路形成ブロックＢに押
し付けられることから、ガスポート５４からのヘリウム
ガスの外部漏れがより確実に抑えられる。この意味で、
上記ヘリウムガスの分圧を更に安定化させることがで
き、複数のシール部Ｓに係るガス漏れ検査の精度を更に
高めることができるようになる。According to the gas leakage inspection device 50 of the present embodiment, the rubber jig 57 is pressed against the corresponding one flow path forming block B by the plate spring 58 in the inspection jig 51, so that the gas port 54 External leakage of helium gas is more reliably suppressed. In this sense,
The partial pressure of the helium gas can be further stabilized, and the accuracy of gas leak inspection for the plurality of seal portions S can be further increased.
【００５５】本実施の形態のガス漏れ検査装置５０によ
れば、検査治具５１において、ガスポート５４にヘリウ
ムガスが供給されているときには、そのことが検査治具
５１におけるＬＥＤランプ５９により示される。このた
め、ヘリウムガスの供給がランプ５９により表示されて
いるときに、ヘリウムセンサ５３によりガス検出を行う
ことにより、ガス漏れの有無が誤って判断されることが
ない。例えば、ガスポート５４へヘリウムガスが供給さ
れていないときに、ヘリウムセンサ５３のアラームラン
プ５３ａが点灯していないことにより、ガス漏れが無い
という誤った判断がなされることがない。この意味で、
作業者がガス漏れの有無を誤って判断することを未然に
防止することができるようになる。According to the gas leak inspection apparatus 50 of the present embodiment, when helium gas is supplied to the gas port 54 in the inspection jig 51, this is indicated by the LED lamp 59 in the inspection jig 51. . Therefore, when the supply of the helium gas is indicated by the lamp 59, the gas detection is performed by the helium sensor 53, so that the presence or absence of the gas leakage is not erroneously determined. For example, when the helium gas is not supplied to the gas port 54, since the alarm lamp 53a of the helium sensor 53 is not turned on, there is no erroneous determination that there is no gas leakage. In this sense,
It is possible to prevent an operator from erroneously determining whether or not there is a gas leak.
【００５６】この実施の形態のガス漏れ検査装置５０に
よれば、上記のように検査対象である一つのシール部Ｓ
を特定してガス漏れを検査できることから、プロセスガ
ス供給ユニット７０を組み上げてから、個々のシール部
Ｓを集中的に検査することができるようになる。このこ
とは、従来の検査方法のようにプロセスガス供給ユニッ
トを組み立てる過程で個々のブロックを一つ組み付ける
毎にガス漏れ検査を行う場合とは異なり、ユニット７０
の組立工数を減らすことができ、組立時間を短縮化する
ことができるようになる。According to the gas leak inspection device 50 of this embodiment, as described above, one seal portion S to be inspected is used.
Can be specified and the gas leak can be inspected, so that the individual seal portions S can be inspected intensively after the process gas supply unit 70 is assembled. This is different from the case where a gas leak inspection is performed every time one individual block is assembled in the process of assembling the process gas supply unit as in the conventional inspection method.
Can reduce the number of assembling steps and the assembling time.
【００５７】尚、この発明は前記実施の形態に限定され
るものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲
で以下のように実施することができる。The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be implemented as follows without departing from the spirit of the invention.
【００５８】例えば、前記実施の形態では、検査治具５
１を薄板形状としたが、これに限定されるものではな
く、隣接するブロック間の空間形状に合わせて適宜な形
状としてもよい。For example, in the above embodiment, the inspection jig 5
Although 1 is a thin plate shape, the shape is not limited to this, and may be an appropriate shape according to the space shape between adjacent blocks.
【００５９】[0059]
【発明の効果】請求項１に記載の発明の構成によれば、
小型化・集積化された多数のブロック上に各種コンポー
ネント部品を個別に取り付けて構成するプロセスガス供
給ユニットにおいて、互いに隣接するブロックの間の空
間に検査治具を装着し、一つのブロックのシール部に対
してガスポートを整合させ、ガス通路を通じてガスポー
トに検査用ガスを供給するようにしている。そして、一
つのブロックのシール部にガス漏れを許容する不良があ
る場合に、シール部を通じてプロセスガス供給ユニット
の流路に流入した検査用ガスをガス漏れの存在を示すガ
スとして漏れガス検出手段により検出させるようにして
いる。従って、隣接するブロックの間で複数のシール部
が隣接していても、対象とする一つのシール部を他のシ
ール部と区別してガス漏れの有無を判断することが可能
となる。このため、各ブロックの間のシール部を一つに
特定してガス漏れを正確に、かつ短時間で検出すること
ができるという効果を発揮する。According to the first aspect of the present invention,
In a process gas supply unit that is configured by individually mounting various component parts on a large number of miniaturized and integrated blocks, an inspection jig is mounted in the space between adjacent blocks, and the seal portion of one block The gas ports are aligned with respect to, and the test gas is supplied to the gas ports through the gas passages. Then, when there is a defect that allows gas leakage in the seal portion of one block, the inspection gas that has flowed into the flow path of the process gas supply unit through the seal portion is used as a gas indicating the presence of the gas leak by the leak gas detection means. I try to detect it. Therefore, even if a plurality of seal portions are adjacent to each other between adjacent blocks, it is possible to determine the presence or absence of gas leakage by distinguishing one target seal portion from another seal portion. For this reason, it is effective to specify the seal portion between the blocks as one and detect gas leakage accurately and in a short time.
【００６０】請求項２に記載の発明の構成によれば、請
求項１の発明の作用及び効果に加え、ガス漏れを許容す
るシール部の不良としてガスケットの不良が検出される
ことになり、シール部の連通路に対して検査治具のガス
ポートを整合させたときに、ガスポートの周囲がシール
材によりシールされて検査用ガスの外部漏れが抑えられ
る。このため、検査用ガスの分圧を安定化させることが
でき、複数のシール部に係るガス漏れ検査をより正確な
ものにすることができるという効果を発揮する。According to the second aspect of the present invention, in addition to the functions and effects of the first aspect of the present invention, a defect of the gasket is detected as a defect of the seal portion permitting gas leakage. When the gas port of the inspection jig is aligned with the communication passage of the section, the periphery of the gas port is sealed with a sealant, and external leakage of the inspection gas is suppressed. For this reason, it is possible to stabilize the partial pressure of the inspection gas, and to exert an effect that the gas leak inspection for the plurality of seal portions can be made more accurate.
【００６１】請求項３に記載の発明の構成によれば、請
求項２の発明の作用及び効果に加え、付勢手段により、
シール材が対応するブロックに押し付けられることか
ら、検査用ガスの外部への漏れが確実に抑えられる。こ
のため、検査用ガスの分圧を更に安定化させることがで
き、複数のシール部に係るガス漏れ検査の精度を更に高
めることができるという効果を発揮する。According to the third aspect of the present invention, in addition to the function and effect of the second aspect of the present invention, the urging means can
Since the sealing material is pressed against the corresponding block, leakage of the test gas to the outside is reliably suppressed. For this reason, it is possible to further stabilize the partial pressure of the inspection gas, and it is possible to further improve the accuracy of the gas leak inspection for the plurality of seal portions.
【００６２】請求項４に記載の発明の構成によれば、請
求項１乃至３の一つの発明の作用及び効果に加え、ガス
ポートに検査用ガスが供給されていることが表示手段に
より示されることから、表示手段が表示しているとき
に、漏れガス検出手段でガス検出を行うことにより、ガ
ス漏れの有無が誤って判断されることがない。このた
め、作業者がガス漏れの有無を誤って判断することを未
然に防止することができるという効果を発揮する。According to the structure of the invention described in claim 4, in addition to the function and effect of one of the inventions of claims 1 to 3, the display means indicates that the test gas is supplied to the gas port. Accordingly, when the gas is detected by the leaked gas detecting means while the display means is displaying, the presence or absence of gas leakage is not erroneously determined. Therefore, it is possible to prevent an operator from erroneously determining whether or not there is a gas leak.
【００６３】請求項５に記載の発明の構成によれば、検
査治具装着工程において、検査治具を、隣接するブロッ
クの間の空間に装着し、一つのブロックのシール部にガ
スポートを整合させることにより、一つのシール部のみ
がガス漏れ検査の対象となる。次に、真空工程におい
て、シール部に整合されたガスポートを真空にすること
により、ガスポート付近の残留ガスが除去される。次
に、漏れガス検出工程において、真空のガスポートに検
査用ガスを供給することにより、シール部が不良である
場合に、検査用ガスをシール部を通じてプロセスガス供
給ユニットの流路に流れさせ、その検査用ガスをガス漏
れの存在を示すガスとして漏れガス検出手段により検出
させるようにしている。従って、隣接するブロックの間
で複数のシール部が隣接していても、対象とする一つの
シール部を他のシール部と区別してガス漏れの有無を判
断することが可能となる。このため、各ブロックの間の
シール部を一つに特定してガス漏れを正確に、かつ短時
間で検出することができるという効果を発揮する。According to the fifth aspect of the present invention, in the inspection jig mounting step, the inspection jig is mounted in a space between adjacent blocks, and the gas port is aligned with the seal portion of one block. By doing so, only one seal portion is subjected to the gas leak inspection. Next, in a vacuum step, the gas port aligned with the seal portion is evacuated to remove residual gas near the gas port. Next, in the leak gas detection step, by supplying the test gas to the vacuum gas port, when the seal portion is defective, the test gas flows through the seal portion to the flow path of the process gas supply unit, The test gas is detected by a leak gas detecting means as a gas indicating the presence of a gas leak. Therefore, even if a plurality of seal portions are adjacent to each other between adjacent blocks, it is possible to determine the presence or absence of gas leakage by distinguishing one target seal portion from another seal portion. For this reason, it is effective to specify the seal portion between the blocks as one and detect gas leakage accurately and in a short time.
【図１】一実施の形態に係るガス漏れ検査装置及びその
検査対象であるプロセスガス供給ユニットの外観を示す
斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an external appearance of a gas leak inspection apparatus according to an embodiment and a process gas supply unit to be inspected therefor.
【図２】同じく、上部モジュールブロックの一例を示す
部分破断斜視図である。FIG. 2 is a partially cutaway perspective view showing an example of an upper module block.
【図３】同じく、（ａ）〜（ｃ）は、上部モジュールブ
ロッに取り付けられたコンポーネント部品の一例を示す
斜視図である。3 (a) to 3 (c) are perspective views showing an example of a component part mounted on an upper module block.
【図４】同じく、下部流路ブロックを示す斜視図であ
る。FIG. 4 is a perspective view showing a lower flow path block.
【図５】同じく、（ａ）は下部流路ブロックを示す平面
図であり、（ｂ）は同ブロックの内部を示す側断面図で
ある。5A is a plan view showing a lower flow path block, and FIG. 5B is a side sectional view showing the inside of the block.
【図６】同じく、流路形成ブロックの一例を示す平面図
である。FIG. 6 is a plan view showing an example of a flow path forming block.
【図７】同じく、流路形成ブロックの上面を示す斜視図
である。FIG. 7 is a perspective view showing the upper surface of the flow path forming block.
【図８】同じく、流路形成ブロックの下面を示す斜視図
である。FIG. 8 is a perspective view showing the lower surface of the flow path forming block.
【図９】同じく、取付パネル及び下部流路ブロックの組
み付け状態を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing an assembled state of the mounting panel and the lower flow path block.
【図１０】同じく、取付パネル、下部流路ブロック及び
流路形成ブロックの組み付け状態を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing an assembled state of the mounting panel, the lower channel block, and the channel forming block.
【図１１】同じく、プロセスガス供給ユニットを示す回
路図である。FIG. 11 is a circuit diagram showing a process gas supply unit.
【図１２】同じく、検査治具を示す正面図である。FIG. 12 is a front view showing the inspection jig.
【図１３】同じく、検査治具を示す側面図である。FIG. 13 is a side view showing the inspection jig.
【図１４】同じく、コントロールボックス等を示す回路
図である。FIG. 14 is a circuit diagram showing a control box and the like.
【図１５】同じく、検査治具の装着状態を示す斜視図で
ある。FIG. 15 is a perspective view showing the state of attachment of the inspection jig.
【図１６】同じく、ガス漏れ検査の制御プログラムを示
すフローチャートである。FIG. 16 is a flowchart showing a control program of a gas leak inspection.
【図１７】従来のプロセスガス供給ユニットを示す正面
図である。FIG. 17 is a front view showing a conventional process gas supply unit.
Ａ 上部モジュールブロック Ｂ 流路形成ブロック Ｃ 下部流路ブロック Ｄ 取付パネル Ｅ コンポーネント部品 Ｇａ 隙間 Ｓ シール部 ３２ｂ 連通路 ３４ｂ 連通路 ４０ ガスケット ５０ ガス漏れ検査装置 ５１ 検査治具 ５３ ヘリウムセンサ（漏れガス検出手段） ５４ ガスポート ５５ ガス流路 ５７ ゴムライニング（シール材） ５８ 板バネ（付勢手段） ５９ ＬＥＤランプ（表示手段） ７０ プロセスガス供給ユニット Reference Signs List A upper module block B flow path forming block C lower flow path block D mounting panel E component part Ga gap S seal portion 32b communication path 34b communication path 40 gasket 50 gas leak inspection device 51 inspection jig 53 helium sensor (leak gas detection means ) 54 gas port 55 gas flow path 57 rubber lining (sealing material) 58 leaf spring (biasing means) 59 LED lamp (display means) 70 process gas supply unit
Claims (5)
に各種コンポーネント部品を取り付け、前記各ブロック
に形成された流路を互いに接続することにより構成され
るプロセスガス供給ユニットにおいて、前記各ブロック
のシール部のガス漏れを検査するようにしたガス漏れ検
査装置であって、 互いに隣接するブロックの間の空間に装着される検査治
具と、 前記検査治具が前記空間に装着されたときに一つのブロ
ックのシール部に整合するよに前記検査治具に設けられ
たガスポートと、 前記検査治具に設けられ、前記ガスポートに検査用ガス
を供給するためのガス通路と、 前記ガスポートに供給された前記検査用ガスが前記シー
ル部を通じて前記プロセスガス供給ユニットの流路に流
れたときに、その検査用ガスをガス漏れの存在を示すガ
スとして検出するための漏れガス検出手段とを備えたこ
とを特徴とするプロセスガス供給ユニットにおけるガス
漏れ検査装置。1. A process gas supply unit configured by mounting various component parts on a large number of miniaturized and integrated blocks and connecting flow paths formed in the respective blocks to each other. A gas leak inspection device for inspecting gas leakage of a seal portion of the inspection device, wherein an inspection jig mounted in a space between mutually adjacent blocks, and when the inspection jig is mounted in the space, A gas port provided on the inspection jig so as to be aligned with a seal portion of one block; a gas passage provided on the inspection jig for supplying an inspection gas to the gas port; When the inspection gas supplied to the process gas flows into the flow path of the process gas supply unit through the seal portion, the inspection gas indicates the presence of a gas leak. Gas leakage inspection apparatus in the process gas supply unit, characterized in that a leakage gas detection means for detecting a scan.
いて、 前記各シール部にはガスケットが設けられ、前記ブロッ
クには前記シール部を外部へ連通させる連通路が設けら
れ、 前記検査治具には、前記検査治具が前記空間に装着され
たときに、前記隣接するブロックとの間で前記ガスポー
トの周囲をシールするためのシール材が設けられること
を特徴とするプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏
れ検査装置。2. The gas leak inspection device according to claim 1, wherein each of the seal portions is provided with a gasket, and the block is provided with a communication passage for communicating the seal portion to the outside. In the process gas supply unit, when the inspection jig is mounted in the space, a sealing material for sealing around the gas port with the adjacent block is provided. Gas leak inspection device.
いて、 前記検査治具には、前記シール材を対応するブロックに
押し付けるための付勢手段が設けられることを特徴とす
るプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査装
置。3. The process gas supply unit according to claim 2, wherein the inspection jig is provided with a biasing means for pressing the sealing material against a corresponding block. Gas leak inspection equipment.
検査装置において、前記検査治具には、前記ガスポート
に前記検査用ガスが供給されていることを示すための表
示手段が設けられることを特徴とするプロセスガス供給
ユニットにおけるガス漏れ検査装置。4. The gas leak inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection jig has a display unit for indicating that the inspection gas is being supplied to the gas port. A gas leak inspection device in a process gas supply unit, which is provided.
に各種コンポーネント部品を取り付け、前記各ブロック
に形成された流路を互いに接続することにより構成され
るプロセスガス供給ユニットにおいて、前記各ブロック
のシール部のガス漏れを検査するようにしたガス漏れ検
査方法であって、 互いに隣接するブロックの間の空間に検査治具を装着
し、一つのブロックのシール部に検査治具のガスポート
を整合させる検査治具装着工程と、 前記シール部に整合された前記ガスポートを真空にする
真空工程と、 前記真空にされたガスポートに検査用ガスを供給し、そ
の供給された検査用ガスが前記シール部を通じて前記プ
ロセスガス供給ユニットの流路に流れたときに、その検
査用ガスをガス漏れの存在を示すガスとして検出するた
めの漏れガス検出工程とを備えたことを特徴とするプロ
セスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査方法。5. A process gas supply unit configured by mounting various component parts on a large number of miniaturized and integrated blocks and connecting flow paths formed in the respective blocks to each other. A gas leak inspection method for inspecting a gas leak of a seal part of the above, wherein an inspection jig is mounted in a space between adjacent blocks, and a gas port of the inspection jig is attached to a seal part of one block. An inspection jig mounting step of aligning, a vacuum step of vacuuming the gas port aligned with the seal portion, an inspection gas is supplied to the evacuated gas port, and the supplied inspection gas is Leakage for detecting the test gas as a gas indicating the presence of a gas leak when flowing into the flow path of the process gas supply unit through the seal portion A gas detection method for a process gas supply unit, comprising: a gas detection step.
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|---|---|---|---|
| JP19433298A JP3626014B2 (en) | 1998-07-09 | 1998-07-09 | Gas leak inspection apparatus and gas leak inspection method in process gas supply unit |
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