JP2000022243A - Laser oscillator - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、気体のレーザ発振
器に関し、特にフロー型の二酸化炭素ガスレーザ発振器
に関する。The present invention relates to a gas laser oscillator, and more particularly to a flow type carbon dioxide gas laser oscillator.
【０００２】[0002]
【従来の技術】気体レーザ装置は、通常共振器をなす
鏡、気体を入れたレーザ管、及びポンピング源によって
構成されており、他のレーザと比べて連続的発振が容易
であり発振光のコヒーレンスの度合も優れているが、粒
子の密度が非常に小さいため単位長さ当たりの増幅利得
は固体レーザに比べて一般にかなり小さい。このため気
体レーザ装置はある程度長さの長いレーザ管を必要と
し、ポンピングは放電によって行われる。フロー型の二
酸化炭素ガスレーザ発振器装置ではその効率が５〜１５
％で、５０ワットから１５キロワットの連続出力（発振
波長１０．６μｍ）が得られる。フロー型のこの装置で
は、炭酸ガスと他のガスの混合ガスを流して共振させ、
この時気体温度が上昇するのでガス循環回路に熱交換器
を備えて冷却している。共振器のレーザ管から低圧の気
体を吸引し熱交換器に送り込むためのガス圧縮機構を有
するブロワをその中間に設け、熱交換器で冷却されたガ
スが再び共振器のレーザ管に供給される。そして、ガス
の補充及び更新のために、ガスボンベと真空ポンプを備
えている。2. Description of the Related Art A gas laser device is generally composed of a mirror forming a resonator, a laser tube containing gas, and a pumping source. However, since the density of the particles is very small, the amplification gain per unit length is generally considerably smaller than that of a solid-state laser. For this reason, the gas laser device requires a laser tube having a certain length, and the pumping is performed by electric discharge. The efficiency of the flow type carbon dioxide gas laser oscillator is 5 to 15
%, A continuous output of 50 watts to 15 kilowatts (oscillation wavelength 10.6 μm) is obtained. In this flow type device, a mixed gas of carbon dioxide gas and other gas is caused to flow and resonate,
At this time, since the gas temperature rises, the gas circulation circuit is provided with a heat exchanger for cooling. A blower having a gas compression mechanism for sucking low-pressure gas from the laser tube of the resonator and sending it to the heat exchanger is provided in the middle, and the gas cooled by the heat exchanger is supplied again to the laser tube of the resonator. . Further, a gas cylinder and a vacuum pump are provided for gas replenishment and renewal.
【０００３】従来の気体レーザ発振器装置は図３に示す
ように、レーザ発振器１、ブロワ２１、熱交換器２から
なるガス循環回路を有する装置で、レーザ発振器１は共
振器とレーザ管とからなり、その内部はレーザガスが供
給される機構を有し、ポンピングによってレーザ光を発
射する。ブロワ２１はガス圧縮部３とモータ駆動部４と
から構成され、その両部に回転体が軸を介して設けら
れ、その軸の両部間にはラビリンスシール（シール機構
２３）が設けられている。ガス圧縮部３の回転体には低
圧気体を引き込む円錐状の翼部が設けられて、レーザ発
振器１のレーザ管内のガスをこの翼部の回転により吸引
する。モータ駆動部４は回転軸の下部にモータを備え、
インバータ５でモータを回転制御している。モータ駆動
部４の内部には回転のための潤滑油が入れられている。
熱交換器２はブロワ２１のガス圧縮部３から送り出され
たガスを冷却し、再びレーザ発振器１に戻す。この様に
ガスを循環してレーザ発振器１を安定させて使用する。As shown in FIG. 3, a conventional gas laser oscillator device has a gas circulation circuit including a laser oscillator 1, a blower 21, and a heat exchanger 2. The laser oscillator 1 includes a resonator and a laser tube. The inside has a mechanism for supplying a laser gas, and emits a laser beam by pumping. The blower 21 includes a gas compression unit 3 and a motor drive unit 4, and a rotating body is provided on both parts via a shaft, and a labyrinth seal (seal mechanism 23) is provided between both parts of the shaft. I have. The rotating body of the gas compression unit 3 is provided with a conical wing for drawing low-pressure gas, and sucks gas in the laser tube of the laser oscillator 1 by rotation of the wing. The motor drive unit 4 includes a motor below the rotating shaft,
The rotation of the motor is controlled by the inverter 5. Lubricating oil for rotation is contained in the motor drive unit 4.
The heat exchanger 2 cools the gas sent from the gas compressor 3 of the blower 21 and returns the gas to the laser oscillator 1 again. The gas is circulated in this manner to stably use the laser oscillator 1.
【０００４】上記ガス循環回路のガスを交換するとき
は、１１のバルブを開けて真空ポンプ６でガスを排気す
る。その後バルブ１１を閉じてバルブ１２を開けてボン
ベ７から新鮮なガスを必要量だけ供給し、バルブ１２を
閉じる。また、必要によりモータ駆動部４内の圧力をガ
ス圧縮部３内の圧力より低くするために、バルブ１４を
開けて真空ポンプ６で引く。これはモータ駆動部４内の
潤滑油がガス圧縮部３内に入り込まないようにするため
である。When replacing the gas in the gas circulation circuit, the valve 11 is opened and the gas is exhausted by the vacuum pump 6. Thereafter, the valve 11 is closed and the valve 12 is opened to supply a required amount of fresh gas from the cylinder 7, and the valve 12 is closed. In order to make the pressure in the motor drive unit 4 lower than the pressure in the gas compression unit 3 if necessary, the valve 14 is opened and the vacuum pump 6 pulls. This is to prevent the lubricating oil in the motor drive unit 4 from entering the gas compression unit 3.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ発振器は
以上のように構成されているが、モータ駆動部４内の潤
滑油がレーザ発振器１のガス流路に流入しないようにガ
ス圧縮部３とモータ駆動部４との間にラビリンスシール
（シール機構２３）などが設けられて、モータ駆動部４
内の圧力がガス圧縮部３内の圧力より低くなるように真
空ポンプ６で真空引きを行なっているが、引きすぎるこ
とによりガス圧縮部３から循環ガスをモータ駆動部４内
にも引き込むことになり、レーザ発振器１内の圧力低下
が起きるのでその減少ガス分をボンベ７から補給しなけ
ればならないという問題があった。また、ガス圧縮部３
内の回転体を加速したり減速するときには、ガス圧縮部
３内の圧力が変動するため、モータ駆動部４内の圧力を
それに応じて調整することが大変難しく、そのためラビ
リンスシールを通してモータ駆動部４の潤滑油がガス圧
縮部３内に侵入し、循環ガス中に混入してレーザ発振器
１の発振に悪影響を及ぼすという問題があった。The conventional laser oscillator is configured as described above. However, the gas compression unit 3 and the gas compression unit 3 are arranged so that the lubricating oil in the motor drive unit 4 does not flow into the gas flow path of the laser oscillator 1. A labyrinth seal (seal mechanism 23) and the like are provided between the motor driving unit 4 and the motor driving unit 4.
Vacuum is drawn by the vacuum pump 6 so that the internal pressure is lower than the pressure in the gas compressor 3. However, the circulating gas is drawn from the gas compressor 3 into the motor drive 4 by pulling too much. In other words, there is a problem that the pressure in the laser oscillator 1 drops, and the reduced gas must be supplied from the cylinder 7. In addition, the gas compression unit 3
When accelerating or decelerating the rotating body in the motor, since the pressure in the gas compression unit 3 fluctuates, it is very difficult to adjust the pressure in the motor driving unit 4 according to the pressure. There is a problem that the lubricating oil enters the gas compression section 3 and mixes into the circulating gas to adversely affect the oscillation of the laser oscillator 1.
【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、モータ駆動部４内の圧力を回転体の加
速や減速にかかわらず常に一定に保ち安定して使用する
ことができるレーザ発振器を提供することを目的とす
る。The present invention has been made in view of such circumstances, and can stably maintain the pressure in the motor driving unit 4 constantly regardless of the acceleration or deceleration of the rotating body. It is an object to provide a laser oscillator.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のレーザ発振器は、気体レーザ発振器とガス
循環用ブロワとガス熱交換器とガス供給用ボンベとから
なるレーザ発振器装置において、常に、ガス循環用ブロ
ワのモータ駆動部内の圧力がガス循環用ブロワの圧縮部
内の圧力より低くなるように、そのモータ制御用インバ
ータの回転信号で制御される電磁バルブを介してモータ
駆動部内を真空ポンプで引く機構を備えたことを特徴と
する。In order to achieve the above object, a laser oscillator according to the present invention comprises a gas laser oscillator, a gas circulation blower, a gas heat exchanger, and a gas supply cylinder. In order to keep the pressure in the motor drive unit of the gas circulation blower always lower than the pressure in the compression unit of the gas circulation blower, the motor drive unit is evacuated via an electromagnetic valve controlled by the rotation signal of the motor control inverter. It is characterized by having a mechanism for pulling by a pump.
【０００８】本発明のレーザ発振器は上記のように構成
されており、モータ駆動部と真空ポンプ間に電磁バルブ
を設けて、モータ制御用インバータからの回転信号で電
磁バルブの開閉制御をすることで、モータ駆動部内の圧
力を常に一定に保つことができる。The laser oscillator of the present invention is configured as described above. An electromagnetic valve is provided between the motor drive unit and the vacuum pump, and the opening and closing of the electromagnetic valve is controlled by a rotation signal from a motor control inverter. In addition, the pressure in the motor drive unit can always be kept constant.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】本発明のレーザ発振器の一実施例
を図１、図２により説明する。このレーザ発振器は、レ
ーザ発振器１、ブロワ２１、熱交換器２からなるガス循
環回路を有する装置で、レーザ発振器１は共振器とレー
ザ管とからなり、その内部はレーザガスが供給される機
構を有し、レーザ光を発射する。ブロワ２１はガス圧縮
部３とモータ駆動部４とから構成され、インバータ５で
制御されるモータ駆動部４内部のモータによって、ガス
圧縮部３内の翼部を回転し、レーザ発振器１内の低圧気
体を吸引して圧縮し、熱交換器２に送り込む。図２にブ
ロワ２１の断面を示す。熱交換器２はブロワ２１のガス
圧縮部３から送り出されたガスを冷却し、再びレーザ発
振器１に戻す。そして、上記ガス循環回路のガスを交換
するときは、バルブ１３を閉め、バルブ１１を開けて真
空ポンプ６でガスを排気する。その後バルブ１１を閉
じ、バルブ１２を開けてボンベ７から新鮮なガスを必要
量だけ供給し、バルブ１２を閉じる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of a laser oscillator according to the present invention will be described with reference to FIGS. This laser oscillator is a device having a gas circulation circuit including a laser oscillator 1, a blower 21, and a heat exchanger 2. The laser oscillator 1 includes a resonator and a laser tube, and the inside thereof has a mechanism for supplying a laser gas. And emits laser light. The blower 21 includes a gas compression unit 3 and a motor drive unit 4. The wings in the gas compression unit 3 are rotated by a motor inside the motor drive unit 4 controlled by the inverter 5. The gas is sucked and compressed, and sent to the heat exchanger 2. FIG. 2 shows a cross section of the blower 21. The heat exchanger 2 cools the gas sent from the gas compressor 3 of the blower 21 and returns the gas to the laser oscillator 1 again. Then, when replacing the gas in the gas circulation circuit, the valve 13 is closed, the valve 11 is opened, and the gas is exhausted by the vacuum pump 6. Thereafter, the valve 11 is closed, the valve 12 is opened, fresh gas is supplied from the cylinder 7 in a required amount, and the valve 12 is closed.
【００１０】一方、ブロワ２１のモータ駆動部４と真空
ポンプ６との間に配管９及び配管１０を設け、配管１０
にはバルブ１４を設け、一方の配管９にはモータ２４を
回転制御するインバータ５からの回転信号により開閉制
御する電磁バルブ８を設け、この電磁バルブ８とバルブ
１４を介して配管９と配管１０で、ブロワ２１のモータ
駆動部４内部の圧力を一定に保つように真空ポンプ６で
排気する。ブロワ２１のガス圧縮部３とモータ駆動部４
との間には回転体の軸に位置する部分にシール機構２３
（ラビリンスシール等）が設けられている。On the other hand, pipes 9 and 10 are provided between the motor drive unit 4 of the blower 21 and the vacuum pump 6,
Is provided with a valve 14, and one of the pipes 9 is provided with an electromagnetic valve 8 which is controlled to open and close by a rotation signal from an inverter 5 for controlling the rotation of a motor 24. The pipe 9 and the pipe 10 are connected through the electromagnetic valve 8 and the valve 14. Then, the air is evacuated by the vacuum pump 6 so as to keep the pressure inside the motor drive unit 4 of the blower 21 constant. Gas compressor 3 and motor drive 4 of blower 21
And the seal mechanism 23
(Such as a labyrinth seal).
【００１１】図２に示すようにブロワ２１はモータ２４
に回転部材の翼部２２を軸着して、数万ｒｐｍで高速回
転されるように構成したものである。モータ２４はイン
バータ５の制御により、回転数が制御される。回転体３
３は回転軸であるシャフト２５、モータ回転子２６、お
よびその上下転がり軸受２７を介してハウジング２８に
回転可能に軸支して構成される。シャフト２５の内部に
は軸長手方向に中空穴２９を設ける。また、中空穴２９
の下端には遠心ポンプ３０を設け、遠心ポンプ３０が常
に転がり軸受２７に供給する潤滑油を汲み上げることが
できるようにハウジング２８の下部にオイルだめ３１を
設ける。また転がり軸受２７近傍には、中空穴２９から
転がり軸受２７に向かい小さい穴３２を設けている。さ
らにシャフト２５の上部とハウジング２８間にシール機
構２３（ラビリンスシールなど）を設けている。回転体
３３のモータ２４による高速回転中に潤滑油は遠心ポン
ブ３０の回転により中空穴２９を上方に伝って汲みあが
っていく。汲みあがった潤滑油は小さな穴３２から遠心
方向に向かいシャフト２５外に向かい流れ出る。流れ出
た潤滑油は転がり軸受２７に供給され滑らかな潤滑が可
能となる。転がり軸受２７から出た潤滑油は重力によっ
て下方に落ちていく。落ちた潤滑油はオイルだめ３１に
受けられる。潤滑油はモ一タ駆動部４に噴霧状態及び循
環状態にて存在する。潤滑油がガス圧縮部３に漏れ出る
ことは、ラビリンスシール等のシール機構２３により防
がれている。[0011] As shown in FIG.
The wing portion 22 of the rotating member is axially mounted on the rotator so as to be rotated at a high speed of tens of thousands of rpm. The rotation speed of the motor 24 is controlled by the control of the inverter 5. Rotating body 3
Numeral 3 is rotatably supported by a housing 28 via a shaft 25 as a rotating shaft, a motor rotor 26, and a vertical rolling bearing 27 thereof. A hollow hole 29 is provided in the shaft 25 in the axial longitudinal direction. Also, the hollow hole 29
A centrifugal pump 30 is provided at the lower end, and an oil sump 31 is provided at a lower portion of the housing 28 so that the centrifugal pump 30 can always pump up the lubricating oil supplied to the rolling bearing 27. In the vicinity of the rolling bearing 27, a small hole 32 is provided from the hollow hole 29 to the rolling bearing 27. Further, a seal mechanism 23 (such as a labyrinth seal) is provided between the upper portion of the shaft 25 and the housing 28. While the rotating body 33 is being rotated at a high speed by the motor 24, the lubricating oil is pumped upward through the hollow hole 29 by the rotation of the centrifugal pump 30. The pumped lubricating oil flows out of the small hole 32 in the centrifugal direction and out of the shaft 25. The lubricating oil that has flowed out is supplied to the rolling bearing 27 to enable smooth lubrication. The lubricating oil that has come out of the rolling bearing 27 falls downward due to gravity. The dropped lubricating oil is received by the oil sump 31. The lubricating oil exists in the motor drive unit 4 in a spray state and a circulating state. Leakage of the lubricating oil into the gas compressor 3 is prevented by a seal mechanism 23 such as a labyrinth seal.
【００１２】モータ駆動部４はガス圧縮部３に対し低圧
が保たれるよう、真空ポンプ６に配管９および配管１０
の２系統でつながっている。一方の配管１０は定格運転
中に必要な真空排気速度を得るようバルブ１４が所定の
開口度に設定されている。また他方の配管９には電磁バ
ルブ８が備えられており、ブロワの加速時、減速時、ま
た必要に応じて停止時には開となる。インバータ５の制
御によりモータ２４が定格回転数で回転中にはインバー
タ５からの信号により電磁バルブは閉となる。The motor drive unit 4 is connected to the vacuum pump 6 with a pipe 9 and a pipe 10 so that a low pressure is maintained with respect to the gas compression unit 3.
The two systems are connected. One of the pipes 10 has a valve 14 set to a predetermined opening so as to obtain a necessary evacuation speed during the rated operation. The other pipe 9 is provided with an electromagnetic valve 8, which is opened when the blower is accelerating, decelerating and, if necessary, stopped. When the motor 24 is rotating at the rated speed under the control of the inverter 5, the electromagnetic valve is closed by a signal from the inverter 5.
【００１３】レーザ発振器１を停止するときには、ポン
ピング源の電源をＯＦＦし、レーザ管が所定の温度に冷
えるまでブロワ２１を回転し、熱交換器２を働かせてお
き、ガスを循環しておく。そして、インバータ５でモー
タの回転速度を徐々に低下させてブロワ２１を停止さ
せ、インバータ５からの信号により電磁バルブ８を開に
して、真空ポンプ６によって配管１０のバルブ１４と配
管９の電磁バルブ８を介して真空引きを続け、モータ駆
動部４内の圧力をガス圧縮部３内の圧力より低くしてバ
ルブ１３を閉じ、真空ポンプ６を停止させ、バルブ１３
を閉じる。When the laser oscillator 1 is stopped, the power of the pumping source is turned off, the blower 21 is rotated until the laser tube cools to a predetermined temperature, the heat exchanger 2 is operated, and the gas is circulated. Then, the rotation speed of the motor is gradually reduced by the inverter 5 to stop the blower 21, the electromagnetic valve 8 is opened by a signal from the inverter 5, and the vacuum pump 6 opens the electromagnetic valve 8 of the pipe 10 and the electromagnetic valve of the pipe 9. 8, the pressure in the motor drive unit 4 is made lower than the pressure in the gas compression unit 3, the valve 13 is closed, and the vacuum pump 6 is stopped.
Close.
【００１４】レーザ発振器１を始動するときには、真空
ポンプ６を働かせ、バルブ１３およびバルブ１１を開に
して、モータ駆動部４内とレーザ発振器１のガス循環回
路内の真空引きを行ない、バルブ１１を閉じる。そして
バルブ１２を開にしてボンベ７からガス循環回路に新鮮
なガスを所定の圧力に送り込みバルブ１２を閉じる。一
方、モータ駆動部４内は、始動時には配管９の電磁バル
ブ８、および配管１０のバルブ１４を介し、バルブ１３
を経由して真空ポンプ６で真空引きが行われ、モータ駆
動部４の翼部を所定の回転速度にインバータ５が制御
し、モータ駆動部４の翼部が定常回転状態になった時点
で、インバータ５の信号により電磁バルブ８を閉じ、バ
ルブ１４のみを介し真空ポンプ６で真空引きが行われ
る。従ってモータ駆動部４内の圧力は常にガス圧縮部３
内の圧力より低くなる。そして熱交換器２の電源を入
れ、その後レーザ発振器１のポンピング電源を入れる。
レーザ発振器１の定常状態では、モータ駆動部４内は、
電磁バルブ８が閉じられた状態で、配管１０のバルブ１
４およびバルブ１３を介して真空ポンプ６で真空引きさ
れ、モータ駆動部４内の圧力はガス圧縮部３内の圧力よ
りも常に低い。ブロワ２１の運転状態によりガス圧縮部
３内は変動するが、インバータ５からのブロワ２１の翼
部の回転信号で電磁バルブ８を開閉することにより、真
空排気系のインピーダンス（排気回路）を変化させてい
るので、本装置では常にモータ駆動部４内の圧力はガス
圧縮部３内の圧力に対し負圧となる。When the laser oscillator 1 is started, the vacuum pump 6 is operated, the valves 13 and 11 are opened, and the inside of the motor drive unit 4 and the gas circulation circuit of the laser oscillator 1 are evacuated. close. Then, the valve 12 is opened, fresh gas is sent from the cylinder 7 to the gas circulation circuit to a predetermined pressure, and the valve 12 is closed. On the other hand, in the motor drive unit 4, at the time of starting, the electromagnetic valve 8 of the pipe 9 and the valve 14 of the pipe 10
Is evacuated by the vacuum pump 6 via the inverter, and the inverter 5 controls the wings of the motor drive unit 4 to a predetermined rotation speed, and when the wings of the motor drive unit 4 are in a steady rotation state, The electromagnetic valve 8 is closed by a signal from the inverter 5, and the vacuum is pumped by the vacuum pump 6 via only the valve 14. Therefore, the pressure in the motor drive unit 4 is always
Lower than the internal pressure. Then, the power of the heat exchanger 2 is turned on, and then the pumping power of the laser oscillator 1 is turned on.
In the steady state of the laser oscillator 1, the inside of the motor drive unit 4 is:
With the electromagnetic valve 8 closed, the valve 1 of the pipe 10
Vacuum is drawn by the vacuum pump 6 through the valve 4 and the valve 13, and the pressure in the motor drive unit 4 is always lower than the pressure in the gas compression unit 3. Although the inside of the gas compression unit 3 fluctuates depending on the operation state of the blower 21, the impedance (exhaust circuit) of the vacuum exhaust system is changed by opening and closing the electromagnetic valve 8 by the rotation signal of the blade of the blower 21 from the inverter 5. Therefore, in this apparatus, the pressure in the motor drive unit 4 is always a negative pressure with respect to the pressure in the gas compression unit 3.
【００１５】上記の実施例ではターボブロワ２１を用い
て説明したが、ガス圧縮器３はルーツブロワを用いたも
のでも良い。また実施例ではインバータ５の信号により
回転数をモニターしているが、振動計などにより実回転
数をモニターしても良い。また実施例では簡易型として
制御バルブをインバータ５の定格回転の信号により開閉
していたが、回転数にあわせて開口度を調整しても良
い。この場合配管系統を１系統としても良い。Although the above embodiment has been described using the turbo blower 21, the gas compressor 3 may use a roots blower. In the embodiment, the rotation speed is monitored by the signal of the inverter 5, but the actual rotation speed may be monitored by a vibration meter or the like. In the embodiment, the control valve is opened and closed by a signal of the rated rotation of the inverter 5 as a simple type, but the opening degree may be adjusted according to the rotation speed. In this case, one piping system may be used.
【００１６】[0016]
【発明の効果】本発明のレーザ発振器は上記のように構
成されており、ガス循環回路のブロワ運転中は潤滑油が
モータ駆動部内に噴霧状に上がっているが、常にモータ
駆動部内の圧力がガス圧縮部内の圧力に比べて低圧とな
っているので、ガス循環回路に潤滑油が混入することな
く、レーザ発振器を安定して使用することができる。ま
た、ブロワの運転状態に応じて、モータ駆動部内の圧力
を変化できるため、レーザ発振器用の混合ガスの消費量
の低減を図ることができる。The laser oscillator according to the present invention is constructed as described above. During the blower operation of the gas circulation circuit, the lubricating oil is sprayed into the motor drive section, but the pressure in the motor drive section is always increased. Since the pressure is lower than the pressure in the gas compressor, the laser oscillator can be used stably without lubricating oil being mixed into the gas circulation circuit. Further, since the pressure in the motor drive unit can be changed according to the operation state of the blower, the consumption of the mixed gas for the laser oscillator can be reduced.
【図１】 本発明のレーザ発振器の一実施例を示す図で
ある。FIG. 1 is a diagram showing one embodiment of a laser oscillator of the present invention.
【図２】 ブロワの構造を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing a structure of a blower.
【図３】 従来のレーザ発振器を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a conventional laser oscillator.
１…レーザ発振器 ２…熱交換器 ３…ガス圧縮部 ４…モータ駆動部 ５…インバータ ６…真空ポンプ ７…ボンベ ８…電磁バルブ ９…配管 １０…配管 １１…バルブ １２…バルブ １３…バルブ １４…バルブ ２１…ブロワ ２２…翼部 ２３…シール機構 ２４…モータ ２５…シャフト ２６…モータ回転子 ２７…軸受 ２８…ハウジング ２９…中空穴 ３０…遠心ポンプ ３１…オイルため ３２…穴 ３３…回転体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laser oscillator 2 ... Heat exchanger 3 ... Gas compression part 4 ... Motor drive part 5 ... Inverter 6 ... Vacuum pump 7 ... Cylinder 8 ... Electromagnetic valve 9 ... Piping 10 ... Piping 11 ... Valve 12 ... Valve 13 ... Valve 14 ... Valve 21 ... Blower 22 ... Wing 23 ... Sealing mechanism 24 ... Motor 25 ... Shaft 26 ... Motor rotor 27 ... Bearing 28 ... Housing 29 ... Hollow hole 30 ... Centrifugal pump 31 ... For oil 32 ... Hole 33 ... Rotating body
Claims (1)
ス熱交換器とガス供給用ボンベとからなるレーザ発振器
装置において、常に、ガス循環用ブロワのモータ駆動部
内の圧力がガス循環用ブロワの圧縮部内の圧力より低く
なるように、そのモータ制御用インバータの回転信号で
制御される電磁バルブを介してモータ駆動部内を真空ポ
ンプで引く機構を備えることを特徴とするレーザ発振
器。In a laser oscillator device comprising a gas laser oscillator, a gas circulation blower, a gas heat exchanger, and a gas supply cylinder, the pressure in a motor drive unit of the gas circulation blower always compresses the gas circulation blower. A laser oscillator, comprising: a mechanism for pulling the inside of a motor drive unit with a vacuum pump via an electromagnetic valve controlled by a rotation signal of a motor control inverter so that the pressure becomes lower than the pressure in the unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18368198A JP2000022243A (en) | 1998-06-30 | 1998-06-30 | Laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18368198A JP2000022243A (en) | 1998-06-30 | 1998-06-30 | Laser oscillator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000022243A true JP2000022243A (en) | 2000-01-21 |
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ID=16140072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006038451A1 (en) | 2004-10-07 | 2006-04-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas laser oscillator |
| JP2006125316A (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Shimadzu Corp | Turbo type rotary apparatus |
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-
1998
- 1998-06-30 JP JP18368198A patent/JP2000022243A/en active Pending
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| WO2006038451A1 (en) | 2004-10-07 | 2006-04-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas laser oscillator |
| US7580439B2 (en) | 2004-10-07 | 2009-08-25 | Panasonic Corporation | Gas laser oscillator |
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