JP2000020134A - Flow rate controller - Google Patents
Flow rate controllerInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、流量制御装置に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow control device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、半導体製造装置においては、各
種のガスが用いられるが、これらのガスの流量を制御す
るため、各ガスの供給流路には流量制御装置が介装され
ている。また、実用新案登録第３００８５４２号には、
かかる流量制御装置に流体の流量を表示する動作表示部
を設けたものが開示されている。2. Description of the Related Art For example, in a semiconductor manufacturing apparatus, various gases are used. In order to control the flow rate of these gases, a flow control device is interposed in a supply passage of each gas. In addition, in Utility Model Registration No. 3008542,
An apparatus in which an operation display unit for displaying a flow rate of a fluid is provided in such a flow control apparatus is disclosed.
【０００３】図４は、かかる従来の流量制御装置を示す
図であり、図４において、２は流体流路、３はマスフロ
ーコントローラ本体１０Ａから離れた位置に設けられた
装置表示部、４は電源部１０Ｂと装置表示部３を接続す
るケーブル、１０は流体流路２に介装されたマスフロー
コントローラ、１０Ａは流体測定を行うマスフローコン
トローラ本体、１１は流体流量に応じた表示を行うため
の動作表示部である。FIG. 4 is a view showing such a conventional flow control device. In FIG. 4, reference numeral 2 denotes a fluid flow path, 3 denotes a device display provided at a position remote from the mass flow controller main body 10A, and 4 denotes a power supply. A cable connecting the unit 10B and the device display unit 3, 10 is a mass flow controller interposed in the fluid flow path 2, 10A is a mass flow controller main body that performs fluid measurement, and 11 is an operation display for performing a display corresponding to the fluid flow rate. Department.
【０００４】次に動作について説明する。流体流路２の
入口から流入したガスは、図示しない流体センサ部によ
って整流され、その流量が検出され、図示しない流量制
御部において、設定信号Ｃに応じた制御が行われる。そ
して、ガスの流量はマスフローコントローラ１０の動作
表示部１１に表示されてその流量が視認される。Next, the operation will be described. The gas that has flowed in from the inlet of the fluid flow path 2 is rectified by a fluid sensor unit (not shown), its flow rate is detected, and a flow control unit (not shown) performs control according to the setting signal C. Then, the flow rate of the gas is displayed on the operation display section 11 of the mass flow controller 10, and the flow rate is visually recognized.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】このような流量制御装
置を、例えば半導体製造装置等へ供給する流体の制御に
用いた場合、工程の調整作業等のために流体流量を一時
的にゼロにしたいことがある。上記の流量制御装置にお
いては、流量の設定信号をいちいちゼロに設定し直すこ
とが必要であり、しかも、元の流量に戻すには再度設定
し直さなければならず、操作が煩雑であった。When such a flow control device is used for controlling a fluid supplied to, for example, a semiconductor manufacturing device, it is desired to temporarily reduce the fluid flow to zero for process adjustment work and the like. Sometimes. In the flow rate control device described above, it is necessary to reset the flow rate setting signal to zero each time, and to return to the original flow rate, the setting must be reset again, and the operation is complicated.
【０００６】また、ガスの流量を表示する表示器で動作
モードも表示するようにした場合、全閉モードが選択さ
れたときに、流量表示からすぐに全閉モードであること
を示す「ＯＦＦ」表示に切り替えてしまうと、万一、調
節弁にリークがあったり、センサのゼロ点オフセットが
あったりしてもユーザはこれに気づかないままこの装置
を使用するおそれがある。従来の流量制御装置では、こ
のような解決しなければならない課題があった。この発
明は上記のような課題を解決するためになされたもの
で、操作性のよい流量制御装置を得ることを目的とす
る。また、この発明は、現在の動作モードから他の動作
モードに切り替えたときに新たな動作モードを確認可能
として、使い勝手の向上を図ることが可能な流量制御装
置を得ることを目的とする。[0006] When the operation mode is also displayed on the display for displaying the gas flow rate, when the fully closed mode is selected, "OFF" indicating that the mode is the fully closed mode immediately from the flow rate display. If the display is switched, even if there is a leak in the control valve or a zero point offset of the sensor, the user may use this apparatus without noticing this. The conventional flow control device has such a problem to be solved. The present invention has been made to solve the above-described problems, and has as its object to obtain a flow control device with good operability. Another object of the present invention is to provide a flow control device capable of confirming a new operation mode when switching from the current operation mode to another operation mode, thereby improving usability.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】この発明に係る流量制御
装置は、動作モードとして、少なくとも、流量検出手段
によって検出された被測定流体の流量が所定流量となる
ように調節弁の開度を制御する制御モードと被測定流体
の流量がゼロとなるように調節弁の開度を制御する全閉
モードとを備えており、この動作モードの中からいずれ
かを選択する動作モード選択手段と、該動作モード選択
手段により選択された動作モードにしたがって駆動手段
を制御する制御手段と、前記被測定流体の流量および選
択された動作モードを表示可能な表示手段とを備えたも
のである。A flow control device according to the present invention controls an opening of a control valve so that at least a flow rate of a fluid to be measured detected by a flow rate detection means becomes a predetermined flow rate as an operation mode. Operating mode selecting means for selecting one of the operating modes, and a fully closed mode for controlling the opening of the control valve so that the flow rate of the fluid to be measured becomes zero. The control device includes a control unit that controls the driving unit in accordance with the operation mode selected by the operation mode selection unit, and a display unit that can display the flow rate of the fluid to be measured and the selected operation mode.
【０００８】この発明に係る流量制御装置は、表示手段
が、被測定流体の流量または選択された動作モードを表
示するものであって、動作モード選択手段により全閉モ
ードが選択されたとき、全閉モードが選択されたときか
ら所定時間が経過するまでは前記流量を表示し、所定時
間経過してから全閉モードを表示するものである。In the flow control device according to the present invention, the display means displays the flow rate of the fluid to be measured or the selected operation mode. When the operation mode selection means selects the fully closed mode, the display means displays the flow rate. The flow rate is displayed until a predetermined time elapses from when the closed mode is selected, and the fully closed mode is displayed after the predetermined time elapses.
【０００９】この発明に係る流量制御装置は、表示手段
が、被測定流体の流量または選択された動作モードを表
示するものであって、動作モード選択手段により全閉モ
ードが選択されたとき、全閉モードが選択されたときか
ら前記流量がゼロになるまでは流量を表示し、前記流量
がゼロになったときに全閉モードを表示するものであ
る。In the flow control device according to the present invention, the display means displays the flow rate of the fluid to be measured or the selected operation mode. When the operation mode selection means selects the fully closed mode, the display means displays the flow rate. The flow rate is displayed from when the closed mode is selected until the flow rate becomes zero, and the fully closed mode is displayed when the flow rate becomes zero.
【００１０】この発明に係る流量制御装置は、表示手段
が、動作モード選択手段により現在の動作モードから他
の動作モードが選択されたとき、他の動作モードが選択
されたときから所定時間経過するまでは選択された動作
モードを表示し、所定時間経過してからは被測定流体の
流量を表示するように構成されたものである。In the flow control device according to the present invention, when the display means selects another operation mode from the current operation mode by the operation mode selection means, a predetermined time elapses from when the other operation mode is selected. Until the selected operation mode is displayed, the flow rate of the fluid to be measured is displayed after a predetermined time has elapsed.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態１.図１は本発明に係る流量制御装置の実施
の形態１の構成を示す図であり、図１において、２１は
流量制御装置である。この流量制御装置２１はソレノイ
ド弁（調節弁）を備え、動作モードに応じてこのソレノ
イド弁の開度を調節するようにし、かつ、この動作モー
ドと被測定流体の流量とを表示できるようにしたもので
ある。尚、動作モードについては後述する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below. Embodiment 1 FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a flow control device according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 21 denotes a flow control device. The flow control device 21 is provided with a solenoid valve (adjustment valve) to adjust the opening of the solenoid valve according to the operation mode, and to display the operation mode and the flow rate of the fluid to be measured. Things. The operation mode will be described later.
【００１２】２２は流量制御装置２１の流路ブロック、
２３は入口配管接続用ブロック、２５は被測定流体が流
れる円形断面の流路である。また、３１は被測定流体の
流れを整えるステンレス製の整流用金網、３２はステン
レス製の整流用金網３１を挟持するリング状のスペー
サ、３３はスペーサ３２を係止するための段部、３４は
被測定流体の流量を検出するマイクロフローセンサ（流
量検出手段）である。なお、この実施の形態１の被測定
流体としては、例えば、空気、窒素、アルゴン、炭酸、
酸素などの気体を対象としているが、本発明の対象はこ
れに限られず、液体用の流量計であってもよい。Reference numeral 22 denotes a flow path block of the flow control device 21,
Reference numeral 23 denotes an inlet pipe connection block, and reference numeral 25 denotes a flow path having a circular cross section through which the fluid to be measured flows. Reference numeral 31 denotes a stainless steel rectifying wire mesh that regulates the flow of the fluid to be measured, 32 denotes a ring-shaped spacer that sandwiches the stainless steel rectifying wire mesh 31, 33 denotes a step portion for locking the spacer 32, and 34 denotes a stepped portion. It is a micro flow sensor (flow rate detecting means) for detecting the flow rate of the fluid to be measured. The fluid to be measured in the first embodiment includes, for example, air, nitrogen, argon, carbonic acid,
Although a gas such as oxygen is targeted, the subject of the present invention is not limited to this, and may be a flow meter for a liquid.
【００１３】マイクロフローセンサ３４には、例えば、
本願出願人が特願平３−１０６５２８号に係る明細書等
において開示した半導体ダイアフラム構成のものを使用
することができる。すなわち、このマイクロフローセン
サ３４は、図示例を省略するが、発熱部とこの発熱部の
上流側および下流側に配設された２つの温度検出部を有
し、これら２つの温度検出部によって検出される温度の
差を一定に保つために必要な発熱部に対する供給電力か
ら流速に対応する流量を求めたり、あるいは一定電流ま
たは一定電力で発熱部を加熱し、２つの温度検出部によ
って検出される温度の差から流量を求めるたりすること
ができるように形成されている。そして、このマイクロ
フローセンサ３４は、熱絶縁された極めて薄いダイアフ
ラム構造を採用しているため、高速応答、低消費電力と
いう特長を備えている。３５〜３７は例えば合成ゴムか
らなるＯリングである。The micro flow sensor 34 includes, for example,
The semiconductor diaphragm configuration disclosed by the applicant of the present application in the specification of Japanese Patent Application No. 3-106528 can be used. That is, although not shown, the micro flow sensor 34 has a heat generating portion and two temperature detecting portions disposed upstream and downstream of the heat generating portion. The flow rate corresponding to the flow velocity is obtained from the power supplied to the heat generating portion necessary to keep the difference in the temperature to be constant, or the heat generating portion is heated with a constant current or constant power and detected by the two temperature detecting portions. It is formed so that the flow rate can be determined from the temperature difference. Since the micro flow sensor 34 employs an extremely thin diaphragm structure that is thermally insulated, the micro flow sensor 34 has features of high-speed response and low power consumption. 35 to 37 are O-rings made of synthetic rubber, for example.
【００１４】４１は被測定流体の流れを制御するソレノ
イド弁（調節弁）、４２は被測定流体が流れる流路４３
と流路４４とが形成された弁座、４５は流路４３と流路
４４とを連通する弁室、４６は弁室４５に収納されて流
路４４を開閉する弁体、４７は弁体４６に連結された磁
性体のプランジャ、４８は通電されてプランジャ４７を
上下させるソレノイドコイル、４９は流路ブロック２２
と弁座４２との間をシールするシールリングである。Reference numeral 41 denotes a solenoid valve (control valve) for controlling the flow of the fluid to be measured. Reference numeral 42 denotes a flow path 43 through which the fluid to be measured flows.
And a valve seat 45 having a flow path 44 formed therein, a valve chamber 45 communicating the flow path 43 with the flow path 44, a valve element 46 housed in the valve chamber 45 for opening and closing the flow path 44, and a valve element 47. A magnetic plunger connected to 46, a solenoid coil 48 energized to move the plunger 47 up and down, and 49 a flow path block 22
And a seal ring for sealing between the valve seat and the valve seat.
【００１５】前述の動作モードには全開モード、制御モ
ード及び全閉モードがあり、全開モードは、このソレノ
イド弁４１を全開するモードであり、制御モードはマイ
クロフローセンサ３４によって検出された被測定流体の
流量が所定流量となるようにソレノイド弁４１の開度を
制御するモードであり、全閉モードは被測定流体の流量
がゼロとなるようにソレノイド弁４１を閉止するモード
である。後述する操作により、動作モードを選択でき
る。The above-described operation modes include a fully open mode, a control mode, and a fully closed mode. The fully open mode is a mode in which the solenoid valve 41 is fully opened, and the control mode is a fluid to be measured detected by the micro flow sensor 34. Is a mode in which the opening degree of the solenoid valve 41 is controlled so that the flow rate becomes a predetermined flow rate, and the fully closed mode is a mode in which the solenoid valve 41 is closed so that the flow rate of the fluid to be measured becomes zero. An operation mode can be selected by an operation described later.
【００１６】５１は制御部、５２はマイクロフローセン
サ３４からのセンサ信号を処理する信号処理回路、５３
はソレノイド弁４１を駆動する駆動回路（駆動手段）、
５４は制御部５１に所定の指令信号を入力するための入
力スイッチ、５５は現在の運転状態を表示するＬＥＤ表
示灯、５６は被測定流体の流量または動作モードを文字
表示する４桁の７セグメント表示器（表示手段）、５７
は信号処理回路５２によって処理された被測定流体の流
量の検出値、入力スイッチ５４からの指令信号を入力
し、これらの信号に基づいて駆動回路５３を制御するＣ
ＰＵ（制御手段）、５８はＣＰＵ５７に電圧、電流を供
給するとともにＣＰＵ５７との間で信号を入出力するた
めのコネクタ、５９は設定操作や演算処理のためのアル
ゴリズム、制御プログラムなどが予め書き込まれている
ＲＯＭ、６０はその流量制御装置に応じたパラメータ等
を記憶したＥＥＰＲＯＭ、６１は測定された流量データ
などを随時保存するＲＡＭである。Reference numeral 51 denotes a control unit; 52, a signal processing circuit for processing a sensor signal from the micro flow sensor 34;
Is a drive circuit (drive means) for driving the solenoid valve 41,
54, an input switch for inputting a predetermined command signal to the control unit 51; 55, an LED indicator for displaying the current operating state; 56, a 4-digit 7-segment for displaying the flow rate or operation mode of the fluid to be measured; Display (display means), 57
Is a signal for inputting a detected value of the flow rate of the fluid to be measured processed by the signal processing circuit 52 and a command signal from the input switch 54, and controlling the drive circuit 53 based on these signals.
A PU (control means) 58 is a connector for supplying voltage and current to the CPU 57 and for inputting and outputting signals to and from the CPU 57, and 59 is previously written with an algorithm for setting operation and arithmetic processing, a control program, and the like. A ROM 60 is an EEPROM that stores parameters and the like corresponding to the flow control device, and a RAM 61 is a RAM that stores measured flow data and the like as needed.
【００１７】次に入力スイッチ５４の各スイッチとＬＥ
Ｄ表示灯５５の各ランプの機能について説明する。５４
−１は動作モードを切り替えるときに押すＤＲＩＶＥス
イッチ（動作モード選択手段）であり、通常は押す毎に
全閉モードと制御モードが交互に切り替わるが、全開モ
ードにするときはＤＲＩＶＥスイッチ５４−１を２秒以
上押し続ける。５４−２はイベント設定等、特殊な設定
を行うときに押すモードスイッチ、５４−３、５４−４
は、それぞれ設定値を変更するときに押すダウンスイッ
チ（▽）、アップスイッチ（△）、５４−５は、アップ
スイッチ５４−４、ダウンスイッチ５４−３により設定
値を変更したとき、変更したその設定値を確定させると
きに押すＥＮＴスイッチであり、ＥＮＴスイッチ５４−
５はアラーム、リセットや積算リセット等をするスイッ
チとしても使用される。５４−６は７セグメント表示器
５６の表示内容を切り替えるときに押すＤＩＳＰスイッ
チであり、表示内容はＤＩＳＰスイッチ５４−６を押す
毎に瞬時ＰＶ値（流量計測値）→瞬時ＳＰ値（流量設定
値）→積算ＰＶ値→瞬時ＰＶ値→…のように循環して切
り替わる。Next, each switch of the input switch 54 and the LE
The function of each lamp of the D display lamp 55 will be described. 54
-1 is a DRIVE switch (operation mode selection means) which is pressed when switching the operation mode. Normally, each time the switch is pressed, the fully closed mode and the control mode are alternately switched. Press and hold for more than 2 seconds. Reference numeral 54-2 denotes a mode switch to be pressed when performing special settings such as event settings, and 54-3 and 54-4.
The down switch (▽) and the up switch (△), which are pressed when changing the set value, respectively, are changed when the set value is changed by the up switch 54-4 and the down switch 54-3. This is an ENT switch that is pressed when finalizing the set value.
Reference numeral 5 is also used as a switch for performing an alarm, reset, integration reset, and the like. Numeral 54-6 denotes a DISP switch which is pressed when the display content of the 7-segment display 56 is switched. ) → integrated PV value → instant PV value →...
【００１８】５５−１は７セグメント表示器５６に表示
された内容がＳＰ表示のときに点灯するＳＰランプ、５
５−２は７セグメント表示器５６に表示された内容がＰ
Ｖ表示のときに点灯するＰＶランプ、５５−３は瞬時流
量が設定値に一致している時に点灯し、動作モードが全
開モードのときに点滅するＯＫランプ、５５−４は異常
検出時に点灯するＡＬＡＲＭランプ、５５−５は７セグ
メント表示器５６に表示された内容が積算流量を示すと
きに点灯するＬランプ、５５−６は７セグメント表示器
５６に表示された内容が瞬時流量を示すときに点灯する
Ｌ／ｍｉｎランプである。Reference numeral 55-1 denotes an SP lamp which lights up when the content displayed on the 7-segment display 56 is SP display.
5-2 indicates that the content displayed on the 7-segment display 56 is P
A PV lamp that lights up when the V display is displayed, 55-3 lights up when the instantaneous flow rate matches the set value, and an OK lamp that flashes when the operation mode is the fully open mode, and 55-4 lights up when an abnormality is detected. ALARM lamp, 55-5 is an L lamp that lights when the content displayed on the 7-segment display 56 indicates the integrated flow rate, and 55-6 is when the content displayed on the 7-segment display 56 indicates the instantaneous flow rate. It is an L / min lamp that lights up.
【００１９】次に図２のフローチャートに基づいて動作
について説明する。まず、入力スイッチ５４のＤＲＩＶ
Ｅスイッチ５４−１が押されたときは動作モードを切り
替えると判定してステップＳＴ１からステップＳＴ２に
進む。ステップＳＴ２では、ＤＲＩＶＥスイッチ５４−
１の操作から全閉モードが選択されたかどうかを判定す
る。現在のモードが制御モードまたは全開モードである
ときにＤＲＩＶＥスイッチ５４−１が押されたら全閉モ
ードである。Next, the operation will be described with reference to the flowchart of FIG. First, the DRIV of the input switch 54
When the E switch 54-1 is pressed, it is determined that the operation mode is to be switched, and the process proceeds from step ST1 to step ST2. In step ST2, the DRIVE switch 54-
It is determined whether or not the fully closed mode has been selected from the first operation. If the DRIVE switch 54-1 is pressed while the current mode is the control mode or the fully open mode, the mode is the fully closed mode.
【００２０】全閉モードが選択されたときは、駆動回路
５３からソレノイドコイル４８への通電を停止するよう
に制御する。これにより今までソレノイドコイル４８の
励磁作用で引き上げられていたプランジャ４７が予圧バ
ネの力で押し下げられる。全閉モードが選択されたと判
定したときは、ステップＳＴ３に進む。ステップＳＴ３
では、タイマをスタートさせる。ステップＳＴ４では、
７セグメント表示器５６に表示された流量表示をそのま
ま継続する。ステップＳＴ５では、タイマがタイムアッ
プしたかどうかを判定する。タイムアップしていないと
きは、ステップＳＴ４に戻り、タイムアップしたとき
は、ステップＳＴ６に進み、７セグメント表示器５６に
「ＯＦＦ」と表示して全閉モードであることを表示す
る。When the fully closed mode is selected, control is performed so that the drive circuit 53 stops energizing the solenoid coil 48. As a result, the plunger 47, which has been pulled up by the exciting action of the solenoid coil 48, is pushed down by the force of the preload spring. If it is determined that the fully closed mode has been selected, the process proceeds to step ST3. Step ST3
Now, start the timer. In step ST4,
The flow rate display displayed on the 7-segment display 56 is continued as it is. In step ST5, it is determined whether or not the timer has expired. If the time has not elapsed, the process returns to step ST4. If the time has elapsed, the process proceeds to step ST6, where "OFF" is displayed on the 7-segment display 56 to indicate that the mode is the fully closed mode.
【００２１】尚、タイマをスタートさせてからタイムア
ップするまでの時間はソレノイドコイル４８への通電を
停止してから弁体４６が弁座４２に完全に着座するまで
の時間及び７セグメント表示器５６を視認できる時間を
考慮して設定された時間であり、通常は１〜数秒に設定
しておけば良い。正常であれば、この間に弁体４６によ
り流路４４が閉じ、流量がゼロとなる。もし、この間に
流量がゼロにならなかったときはソレノイド弁４１がリ
ークしているか、マイクロフローセンサ３４のゼロ点が
オフセットしているか、なんらかの不具合が生じている
と考えられ、ユーザは７セグメント表示器５６の表示内
容をみてその不具合に気づくことになる。The time from when the timer is started to when the time is up is the time from when the energization of the solenoid coil 48 is stopped to when the valve body 46 is completely seated on the valve seat 42 and the 7-segment display 56 The time is set in consideration of the time during which the user can visually recognize the image, and usually may be set to 1 to several seconds. If normal, the flow path 44 is closed by the valve body 46 during this time, and the flow rate becomes zero. If the flow rate does not become zero during this time, it is considered that the solenoid valve 41 is leaking, the zero point of the micro flow sensor 34 is offset, or some problem has occurred. Looking at the display contents of the device 56, the user will notice the problem.
【００２２】次に、制御モードが判定されたときは、ス
テップＳＴ２、ステップＳＴ７からステップＳＴ８に進
む。即ち、この判定は現在のモードが全閉モードである
ときにＤＲＩＶＥスイッチ５４−１が押されたときに行
われる。制御モードにおいては流路２５を流れる被測定
流体の流量がマイクロフローセンサ３４により検出さ
れ、その検出信号が信号処理回路５２において信号処理
され、ＣＰＵ５７に入力される。ＣＰＵ５７では、検出
信号に基づいて流量を演算し、流量が設定値に一致する
ように駆動回路５３を介してソレノイドコイル４８への
通電量を制御する。これにより、弁体４６が開き始め
る。Next, when the control mode is determined, the process proceeds from step ST2 and step ST7 to step ST8. That is, this determination is made when the DRIVE switch 54-1 is pressed while the current mode is the fully closed mode. In the control mode, the flow rate of the fluid to be measured flowing through the flow path 25 is detected by the micro flow sensor 34, and the detection signal is subjected to signal processing in the signal processing circuit 52 and input to the CPU 57. The CPU 57 calculates the flow rate based on the detection signal, and controls the amount of power to the solenoid coil 48 via the drive circuit 53 so that the flow rate matches the set value. Thereby, the valve element 46 starts to open.
【００２３】そして、制御モードが選択されたと判定し
たときはステップＳＴ８に進む。ステップＳＴ８では、
タイマをスタートさせる。ステップＳＴ９では、７セグ
メント表示器５６に例えば「ｏｎ］と表示して、制御モ
ードであることを表示する。ステップＳＴ１０におい
て、タイムアップしていないときは、ステップＳＴ９に
戻り、タイムアップしたときはステップＳＴ１１に進
む。ステップＳＴ１１では、例えば「００５６」という
ように、その流量を７セグメント表示器５６に表示して
流量表示を開始する。正常であれば、所定流量の被測定
流体が流路２５を流れてその流量が７セグメント表示器
５６に文字表示される。If it is determined that the control mode has been selected, the process proceeds to step ST8. In step ST8,
Start the timer. In step ST9, for example, "on" is displayed on the 7-segment display 56 to indicate that it is in the control mode. The process proceeds to step ST11, where the flow rate is displayed on the 7-segment display 56, for example, "0056", and flow rate display is started. If the flow rate is normal, a predetermined flow rate of the fluid to be measured flows through the flow path 25, and the flow rate is displayed in characters on the 7-segment display 56.
【００２４】次に全開モードであると判定したときは、
ステップＳＴ１２に進む。この判定は、ＤＲＩＶＥスイ
ッチ５４−１が２秒以上押されたときに行われる。ステ
ップＳＴ１２では、タイマをスタートさせる。ステップ
ＳＴ１３では、７セグメント表示器５６に「ＦＵＬＬ」
と表示して全開モードであることを表示する。ステップ
ＳＴ１４では、タイマがタイムアップしたかどうかを判
定し、タイムアップしたときは、ステップＳＴ１５に進
み、７セグメント表示器５６に流量表示を開始する。即
ち、流路２５を流れる被測定流体の流量が制御モードの
ときと同じようにマイクロフローセンサ３４により検出
され、その検出信号が信号処理回路５２において信号処
理され、ＣＰＵ５７によって流量が演算されて、演算さ
れた流量が７セグメント表示器５６に表示される。全開
モードでは、流量制御機能のない単なる流量計として用
いられる。Next, when it is determined that the mode is the full open mode,
It proceeds to step ST12. This determination is made when the DRIVE switch 54-1 is pressed for 2 seconds or more. In step ST12, a timer is started. In step ST13, "FULL" is displayed on the 7-segment display 56.
Is displayed to indicate that the mode is the full open mode. In step ST14, it is determined whether or not the time of the timer has expired. If the time has expired, the process proceeds to step ST15 to start displaying the flow rate on the 7-segment display 56. That is, the flow rate of the fluid to be measured flowing through the flow path 25 is detected by the micro flow sensor 34 in the same manner as in the control mode, the detection signal is processed by the signal processing circuit 52, and the flow rate is calculated by the CPU 57. The calculated flow rate is displayed on the 7-segment display 56. In the fully open mode, it is used as a simple flow meter without a flow control function.
【００２５】以上のように、この実施の形態１によれ
ば、動作モード選択手段としてのＤＲＩＶＥスイッチ５
４−１で動作モードを簡単に選択することができ、流量
に加えて動作モードも表示するようにしたので、視認性
が高まるという効果が得られる。また、動作モードが選
択されたとき、所定時間、流量が表示されるので、流量
が実際にゼロになったことを確認でき、特に全閉モード
を選択したにもかかわらず、流量がゼロにならなかった
ときは、その不具合を認識できるので、不具合が生じた
まま使用するといったことも防止できる。さらに、全閉
モードから制御モード又は全開モードを選択したとき
も、選択した制御モード又は全開モードが所定時間表示
されるので、選択した動作モードを確認できるという効
果もある。As described above, according to the first embodiment, the DRIVE switch 5 as the operation mode selecting means is provided.
Since the operation mode can be easily selected in 4-1 and the operation mode is displayed in addition to the flow rate, the effect that visibility is improved can be obtained. In addition, when the operation mode is selected, the flow rate is displayed for a predetermined time, so that it can be confirmed that the flow rate has actually become zero. If not, the problem can be recognized, so that it is possible to prevent the device from being used with the problem. Further, when the control mode or the fully open mode is selected from the fully closed mode, the selected control mode or the fully open mode is displayed for a predetermined time, so that the selected operation mode can be confirmed.
【００２６】実施の形態２．実施の形態２の構成は、実
施の形態１と同じである。次に図３のフローチャートに
基づいて実施の形態２の動作について説明する。尚、図
２のフローチャートと同じ動作をするステップについて
は、同一符号を付して説明を省略する。Embodiment 2 FIG. The configuration of the second embodiment is the same as that of the first embodiment. Next, the operation of the second embodiment will be described based on the flowchart of FIG. Steps that perform the same operations as those in the flowchart of FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
【００２７】ステップＳＴ２において、全閉モードが選
択されたと判定されたときは、ステップＳＴ２１に進
み、７セグメント表示器５６に流量表示を開始する。ス
テップＳＴ２２では、ソレノイド弁４１が全閉となるよ
うに制御する。ステップＳＴ２３では、流量がゼロにな
ったか否かを判定する。流量がゼロではないときは、ス
テップＳＴ２２に戻る。そして流量がゼロになったとき
は、ステップＳＴ６に進み、７セグメント表示器５６に
「ＯＦＦ」と表示して全閉モードを表示する。When it is determined in step ST2 that the fully closed mode has been selected, the process proceeds to step ST21, and the flow rate display is started on the seven-segment display 56. In step ST22, control is performed so that the solenoid valve 41 is fully closed. In step ST23, it is determined whether or not the flow rate has become zero. If the flow rate is not zero, the process returns to step ST22. When the flow rate becomes zero, the process proceeds to step ST6, where "OFF" is displayed on the seven-segment display 56, and the fully closed mode is displayed.
【００２８】また、制御モードが選択されたと判定され
たときは、ステップＳＴ７からステップＳＴ２４に進
み、制御モードであることを７セグメント表示器５６に
表示する。ステップＳＴ２５では、ソレノイド弁４１を
制御して被測定流体の流量を制御する。ステップＳＴ２
６では、被測定流体の流量が予め設定された値になった
か否かを判定する。流量が設定値になっていないとき
は、ステップＳＴ２５に戻り、設定値になったときは、
ステップＳＴ１１に進み、流量表示を開始する。If it is determined that the control mode has been selected, the process proceeds from step ST7 to step ST24, where the control mode is displayed on the 7-segment display 56. In step ST25, the solenoid valve 41 is controlled to control the flow rate of the fluid to be measured. Step ST2
At 6, it is determined whether or not the flow rate of the fluid to be measured has reached a preset value. If the flow rate has not reached the set value, the process returns to step ST25.
The process proceeds to step ST11 to start displaying the flow rate.
【００２９】また、全開モードが選択されたと判定され
たときは、ステップＳＴ２７に進み、７セグメント表示
器５６に「ＦＵＬＬ」と表示して全開モードであること
を表示する。ステップＳＴ２８では、ソレノイド弁４１
が全開となるように制御する。ステップＳＴ２８では、
ソレノイド弁４１が全開になったか否かを判定する。全
開ではないと判定したときは、ステップＳＴ２８に戻
り、全開になったと判定したときは、ステップＳＴ１５
に進み、７セグメント表示器５６に流量表示を開始す
る。If it is determined that the full-open mode has been selected, the process proceeds to step ST27, where "FULL" is displayed on the seven-segment display 56 to indicate that the full-open mode has been selected. In step ST28, the solenoid valve 41
Is controlled to be fully open. In step ST28,
It is determined whether the solenoid valve 41 has been fully opened. When it is determined that the shutter is not fully opened, the process returns to step ST28, and when it is determined that the shutter is fully opened, the process proceeds to step ST15.
To start the flow rate display on the 7-segment display 56.
【００３０】以上のように、実施の形態２によれば、ソ
レノイド弁４１が完全に選択された動作モード通りに制
御されたときに動作モード表示、あるいは流量表示に切
り替えるので、確実に動作したか否かを視認することが
できる。As described above, according to the second embodiment, the operation mode display or the flow rate display is switched when the solenoid valve 41 is completely controlled according to the selected operation mode. It can be visually recognized whether or not.
【００３１】尚、上記実施の形態１および実施の形態２
では、動作モードとして、全閉モードと制御モードと全
開モードとを備えるものとしたが、これに限定されるも
のではなく、少なくとも全閉モードおよび制御モードを
備えていさえすればよい。また、上記の３つのモード以
外の動作モードを備えるものとしても良い。例えば、シ
ーケンスモードとして予めプログラムされた順に流量制
御を行うモードを設けることもできる。あるいは、所定
の弁開度を維持するモードや故障診断用のモード等も考
えられる。The first and second embodiments are described above.
In the embodiment, the operation mode includes the fully closed mode, the control mode, and the fully open mode. However, the present invention is not limited to this, and it is sufficient that at least the fully closed mode and the control mode are provided. Further, an operation mode other than the above three modes may be provided. For example, a mode in which the flow rate is controlled in a sequence programmed in advance as a sequence mode may be provided. Alternatively, a mode for maintaining a predetermined valve opening degree, a mode for failure diagnosis, and the like are also conceivable.
【００３２】さらに、動作モード選択手段としては、上
記実施の形態１および実施の形態２で示した押しボタン
式のＤＲＩＶＥスイッチ５４−１の他、外部から所定の
電圧信号を加えてそれに応じた動作モードを選択するよ
うにしても良い。As the operation mode selection means, in addition to the push-button type DRIVE switch 54-1 shown in the first and second embodiments, an operation corresponding to the operation by applying a predetermined voltage signal from the outside. The mode may be selected.
【００３３】さらにまた、表示手段としては、上記実施
の形態１および実施の形態２で示した７セグメント表示
器５６の他、液晶表示器でも良いし、流量を数字表示で
はなく棒グラフ表示するような表示器を用いることもで
きる。このような数字表示以外の表示器に動作モードを
表示するには、例えば各モードに応じた時間間隔で点滅
表示するようにすれば良い。Further, as the display means, in addition to the 7-segment display 56 shown in the first and second embodiments, a liquid crystal display may be used, and the flow rate may be displayed in a bar graph instead of a numerical display. An indicator can also be used. In order to display the operation mode on a display device other than the numeric display, for example, the operation mode may be blinked at a time interval corresponding to each mode.
【００３４】また、上記実施の形態１および実施の形態
２で調節弁としてソレノイド型のものを用いたが、当然
のことながらこれに限られず、電動モータや空気プラン
ジャをアクチュエータとして用いたものや、ボール弁、
バタフライ弁等を用いたもの等、様々な応用例を採用す
ることが可能である。In the first and second embodiments, the control valve is of a solenoid type. However, it is needless to say that the control valve is not limited to this, and that the control valve uses an electric motor or an air plunger as an actuator. Ball valve,
Various application examples, such as those using a butterfly valve or the like, can be adopted.
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上のように、この発明に係る流量制御
装置によれば、動作モード選択手段により選択するだけ
で動作モードを簡単に選択することができ、流量に加え
て動作モードも表示されるので、視認性が高まるという
効果がある。As described above, according to the flow control device of the present invention, the operation mode can be easily selected only by selecting the operation mode by the operation mode selection means, and the operation mode is displayed in addition to the flow rate. Therefore, there is an effect that visibility is improved.
【００３６】この発明に係る流量制御装置によれば、流
量が実際にゼロになったことを確認できるという効果が
ある。According to the flow rate control device of the present invention, there is an effect that it can be confirmed that the flow rate has actually become zero.
【００３７】この発明に係る流量制御装置によれば、他
の動作モードを選択したときに選択した動作モードを確
認できるという効果がある。According to the flow control device of the present invention, there is an effect that when another operation mode is selected, the selected operation mode can be confirmed.
【図１】この発明の流量制御装置の実施の形態１を示す
構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a flow control device of the present invention.
【図２】図１の流量制御装置の動作を示すフローチャー
トである。FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the flow control device of FIG.
【図３】この発明の流量制御装置の実施の形態２の動作
を示すフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart showing an operation of a flow control device according to a second embodiment of the present invention.
【図４】従来の流量制御装置の構成を示すブロック図で
ある。FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a conventional flow control device.
２５ 流路 ３４ マイクロフローセンサ（流量検出手段） ４１ ソレノイド弁（調節弁） ５３ 駆動回路（駆動手段） ５４−１ ＤＲＩＶＥスイッチ（動作モード選択手段） ５６ ７セグメント表示器（表示手段） ５７ ＣＰＵ（制御手段） 25 flow path 34 micro flow sensor (flow rate detection means) 41 solenoid valve (control valve) 53 drive circuit (drive means) 54-1 DRIVE switch (operation mode selection means) 56 7-segment display (display means) 57 CPU (control) means)
Claims (4)
流体の流量を調節する調節弁と、前記被測定流体の流量
を検出する流量検出手段と、前記調節弁を駆動する駆動
手段とを備えた流量制御装置において、 動作モードとして、少なくとも、前記流量検出手段によ
って検出された被測定流体の流量が所定流量となるよう
に調節弁の開度を制御する制御モードと被測定流体の流
量がゼロとなるように調節弁の開度を制御する全閉モー
ドとを備えており、この動作モードの中からいずれかを
選択する動作モード選択手段と、 該動作モード選択手段により選択された動作モードにし
たがって駆動手段を制御する制御手段と、 前記被測定流体の流量および選択された動作モードを表
示可能な表示手段とを備えたことを特徴とする流量制御
装置。1. A flow path through which a fluid to be measured flows, a control valve for adjusting a flow rate of the fluid to be measured, a flow rate detecting means for detecting a flow rate of the fluid to be measured, and a driving means for driving the control valve. A flow rate control device comprising: a control mode for controlling an opening degree of a control valve such that at least a flow rate of the fluid to be measured detected by the flow rate detection means is a predetermined flow rate; and a flow rate of the fluid to be measured. Operating mode selecting means for selecting any one of the operating modes, and an operation selected by the operating mode selecting means. A flow control device comprising: control means for controlling a driving means according to a mode; and display means capable of displaying a flow rate of the fluid to be measured and a selected operation mode.
択された動作モードを表示するものであって、動作モー
ド選択手段により全閉モードが選択されたとき、全閉モ
ードが選択されたときから所定時間が経過するまでは前
記流量を表示し、所定時間経過してから全閉モードを表
示することを特徴とする請求項１記載の流量制御装置。2. The display means displays the flow rate of the fluid to be measured or the selected operation mode. When the operation mode selection means selects the fully closed mode, the display means selects the fully closed mode. The flow control device according to claim 1, wherein the flow rate is displayed until a predetermined time elapses from the time, and the fully closed mode is displayed after the predetermined time elapses.
択された動作モードを表示するものであって、動作モー
ド選択手段により全閉モードが選択されたとき、全閉モ
ードが選択されたときから前記流量がゼロになるまでは
流量を表示し、前記流量がゼロになったときに全閉モー
ドを表示することを特徴とする請求項１記載の流量制御
装置。3. The display means displays the flow rate of the fluid to be measured or the selected operation mode. When the operation mode selection means selects the fully closed mode, the display means selects the fully closed mode. 2. The flow control device according to claim 1, wherein a flow rate is displayed until the flow rate becomes zero, and a fully closed mode is displayed when the flow rate becomes zero.
現在の動作モードから他の動作モードが選択されたと
き、他の動作モードが選択されたときから所定時間経過
するまでは選択された動作モードを表示し、所定時間経
過してからは被測定流体の流量を表示するように構成さ
れたことを特徴とする請求項１から請求項３のうちのい
ずれか１項記載の流量制御装置。4. The operation mode selection means, wherein when the operation mode selection means selects another operation mode from the current operation mode, the operation mode selected until a predetermined time elapses after the other operation mode is selected. The flow rate control device according to any one of claims 1 to 3, wherein the flow rate of the fluid to be measured is displayed after a predetermined time has elapsed.
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| JP18540998A JP3445155B2 (en) | 1998-06-30 | 1998-06-30 | Flow control device |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011048502A (en) * | 2009-08-25 | 2011-03-10 | Horiba Stec Co Ltd | Flow controller |
| JP2012160215A (en) * | 2012-05-28 | 2012-08-23 | Horiba Stec Co Ltd | Flow control apparatus |
| JP2013161422A (en) * | 2012-02-08 | 2013-08-19 | Azbil Corp | Flow rate control device |
| JP2013160715A (en) * | 2012-02-08 | 2013-08-19 | Azbil Corp | Flow rate control device |
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|---|---|---|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US9081388B2 (en) | 2009-08-25 | 2015-07-14 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Flow rate control device |
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| JP2013161422A (en) * | 2012-02-08 | 2013-08-19 | Azbil Corp | Flow rate control device |
| JP2013160715A (en) * | 2012-02-08 | 2013-08-19 | Azbil Corp | Flow rate control device |
| JP2012160215A (en) * | 2012-05-28 | 2012-08-23 | Horiba Stec Co Ltd | Flow control apparatus |
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