JP3447567B2 - Flow control device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】この発明は、流量制御装置に
関するものである。 【０００２】 【従来の技術】例えば、半導体製造装置においては、各
種のガスが用いられるが、これらのガスの流量を制御す
るため、各ガスの供給流路には流量制御装置が介装され
ている。また、実用新案登録第３００８５４２号には、
かかる流量制御装置に流体の流量を表示する動作表示部
を設けたものが開示されている。 【０００３】図４は、かかる従来の流量制御装置を示す
図であり、図４において、２は流体流路、３はマスフロ
ーコントローラ本体１０Ａから離れた位置に設けられた
装置表示部、４は電源部１０Ｂと装置表示部３を接続す
るケーブル、１０は流体流路２に介装されたマスフロー
コントローラ、１０Ａは流体測定を行うマスフローコン
トローラ本体、１１は流体流量に応じた表示を行うため
の動作表示部である。 【０００４】次に動作について説明する。流体流路２の
入口から流入したガスは、図示しない流体センサ部によ
って整流され、その流量が検出され、図示しない流量制
御部において、設定信号Ｃに応じた制御が行われる。そ
して、ガスの流量はマスフローコントローラ１０の動作
表示部１１に表示されてその流量が視認される。 【０００５】また、特開平６−３４１８８０号公報に
は、アナログ式の設定器を備えた流量制御装置が開示さ
れている。このものでは、被測定流体の流量の設定値を
入力するため、ダイアルつまみ等を外部に設け、このダ
イアルつまみ等で設定された設定信号を設定器に入力
し、センサ出力信号をこの設定信号の信号レベルと比較
するようにしている。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】従来の流量制御装置は
以上のように構成されているので、設定作業を行うに
は、設定信号の信号レベルが、予定する設定値通りに設
定されたかどうかを確認するための電圧計が必要となっ
てくる。また、この電圧計に表示された電圧から被測定
流体の流量に変換して値を読まなければならず、現場で
設定作業を行うには煩雑である。図４の動作表示部１１
のように表示させた制御流量を見ながら、徐々に設定信
号を変化させて制御流量を設定値に合わせていくという
手段もあるが、制御を開始する前にあらかじめ設定値を
合わせておくことができないので、制御を開始した時に
希望していた流量よりはるかに大きい流量が流れてしま
うこともありうる。また、この方法では設定値を変更す
る時にも制御流量を確認しながら行わなければなないの
で、素早く設定を変更することができない。つまり目標
の流量が得られるまでに時間がかかってしまう。従来の
流量制御装置には、このような解決しなければならない
課題があった。 【０００７】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、被測定流体の流量を表示するもの
で設定値も表示できるようにして、現場で設定作業を容
易に行えるような流量制御装置を得ることを目的とす
る。 【０００８】 【課題を解決するための手段】この発明に係る流量制御
装置は、前記被測定流体の流量検出値を表示する検出値
表示モード又は被測定流体の流量の設定値を表示する設
定値表示モードのいずれかを選択する表示モード選択手
段と、該表示モード選択手段により選択された表示モー
ドを表示する表示モード表示手段と、前記表示モード選
択手段により選択された表示モードに応じて、被測定流
体の流量検出値又は設定値を表示する流量表示手段と、
前記表示モード選択手段により前記設定値表示モードが
選択されてから設定変更が行われなくなってから所定時
間経過したとき、検出値表示モードに切り替える表示モ
ード切替手段を備えたものである。 【０００９】 【００１０】 【００１１】 【００１２】 【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態１.図１は本発明に係る流量制御装置の実施
の形態１の構成を示す図であり、図１において、２１は
流量制御装置である。この流量制御装置２１はソレノイ
ド弁（調節弁）を備え、動作モードに応じてこのソレノ
イド弁の開度を調節するようにしたものである。尚、動
作モードについては後述する。 【００１３】また、２２は流量制御装置２１の流路ブロ
ック、２３は入口配管接続用ブロック、２５は被測定流
体が流れる円形断面の流路である。また、３１は被測定
流体の流れを整えるステンレス製の整流用金網、３２は
ステンレス製の整流用金網３１を挟持するリング状のス
ペーサ、３３はスペーサ３２を係止するための段部、３
４は被測定流体の流量を検出するマイクロフローセンサ
（流量検出手段）である。なお、この実施の形態１の被
測定流体としては、例えば、空気、窒素、アルゴン、炭
酸、酸素などの気体を対象としているが、本発明の対象
はこれに限られず、液体用の流量計であってもよい。 【００１４】マイクロフローセンサ３４には、例えば、
本願出願人が特願平３−１０６５２８号に係る明細書等
において開示した半導体ダイアフラム構成のものを使用
することができる。すなわち、このマイクロフローセン
サ３４は、図示例を省略するが、発熱部とこの発熱部の
上流側および下流側に配設された２つの温度検出部を有
し、これら２つの温度検出部によって検出される温度の
差を一定に保つために必要な発熱部に対する供給電力か
ら流速に対応する流量を求めたり、あるいは一定電流ま
たは一定電力で発熱部を加熱し、２つの温度検出部によ
って検出される温度の差から流量を求めるたりすること
ができるように形成されている。そして、このマイクロ
フローセンサ３４は、熱絶縁されたきわめて薄いダイア
フラム構造を採用しているため、高速応答、低消費電力
という特長を備えている。３５〜３７は例えば合成ゴム
からなるＯリングである。 【００１５】４１は被測定流体の流れを制御するソレノ
イド弁（調節弁）、４２は被測定流体が流れる流路４３
と流路４４とが形成された弁座、４５は流路４３と流路
４４とを連通する弁室、４６は弁室４５に収納されて流
路４４を開閉する弁体、４７は弁体４６に連結された磁
性体のプランジャ、４８は通電されてプランジャ４７を
上下させるソレノイドコイル、４９は流路ブロック２２
と弁座４２との間をシールするシールリングである。 【００１６】尚、前述の動作モードには全開モード、制
御モード及び全閉モードがあり、全開モードは、このソ
レノイド弁４１を全開するモードであり、制御モードは
マイクロフローセンサ３４によって検出された被測定流
体の流量が所定流量となるようにソレノイド弁４１の開
度を制御するモードであり、全閉モードは被測定流体の
流量がゼロとなるようにソレノイド弁４１を閉止するモ
ードである。後述する操作により、動作モードを選択で
きる。 【００１７】５１は制御部、５２はマイクロフローセン
サ３４からのセンサ信号を処理する信号処理回路、５３
はソレノイド弁４１を駆動する駆動回路、５４は制御部
５１に所定の指令信号を入力するための入力スイッチ、
５５は現在の運転状態を表示するＬＥＤ表示灯、５６は
被測定流体の流量、動作モード、エラーを文字表示する
４桁の７セグメント表示器（流量表示手段）、５７は信
号処理回路５２によって処理された被測定流体の流量の
検出値、入力スイッチ５４からの指令信号を入力し、こ
れらの信号に基づいて駆動回路５３を制御するＣＰＵ
（制御手段、表示モード切替手段）、５８はＣＰＵ５７
に電圧、電流を供給するとともにＣＰＵ５７との間で信
号を入出力するためのコネクタ、５９はＲＯＭ、６０は
データの書き換え可能なＥＥＰＲＯＭ、６１は測定され
た流量データなどを随時保存するＲＡＭ、６２はＡ／Ｄ
変換器（アナログ／ディジタル変換手段）である。 【００１８】次に入力スイッチ５４の各スイッチとＬＥ
Ｄ表示灯５５の各ランプの機能について説明する。５４
−１は動作モードを切り替えるときに押すＤＲＩＶＥス
イッチであり、通常は押す毎に全閉モードと制御モード
が交互に切り替わるが、全開モードにするときはＤＲＩ
ＶＥスイッチ５４−１を２秒以上押し続ける。５４−２
はイベント設定等、特殊な設定を行うときに押すモード
スイッチ、５４−３、５４−４は、それぞれ設定値を変
更するときに押すダウンスイッチ（▽：ディジタル設定
値入力手段）、アップスイッチ（△：ディジタル設定値
入力手段）、５４−５は、アップスイッチ５４−４、ダ
ウンスイッチ５４−３により設定値を変更したとき、変
更したその設定値を確定させるときに押すＥＮＴスイッ
チであり、ＥＮＴスイッチ５４−５はアラーム、リセッ
トや積算リセット等をするスイッチとしても使用され
る。５４−６は７セグメント表示器５６の表示内容を切
り替えるときに押すＤＩＳＰスイッチ（表示モード選択
手段）であり、表示内容はＤＩＳＰスイッチ５４−６を
押す毎に瞬時ＰＶ値（流量計測値）→瞬時ＳＰ値（流量
設定値）→積算ＰＶ値→瞬時ＰＶ値→…のように循環し
て切り替わる。 【００１９】５５−１は７セグメント表示器５６に表示
された内容がマイクロフローセンサ３４によって検出さ
れたＳＰ値を表示しているときに点灯するＳＰランプ
（表示モード表示手段）、５５−２は７セグメント表示
器５６に表示された内容がＰＶ値を表示しているときに
点灯するＰＶランプ（表示モード表示手段）、５５−３
は瞬時流量が設定値に一致している時に点灯し、動作モ
ードが全開モードのときに点滅するＯＫランプ、５５−
４は異常検出時に点灯するＡＬＡＲＭランプ、５５−５
は７セグメント表示器５６に表示された内容が積算流量
を示すときに点灯するＬランプ、５５−６は７セグメン
ト表示器５６に表示された内容が瞬時流量を示すときに
点灯するＬ／ｍｉｎランプである。 【００２０】また、図２はアナログ式設定器の構成を示
す図である。図２において、６５はコネクタ５８、Ａ／
Ｄ変換器６２を介してＣＰＵ５７に被測定流体の流量の
設定値としてアナログ電圧信号を入力するアナログ式設
定器（アナログ信号入力手段）、６６はアナログ式設定
器６５の直流電源、ＶＲは可変抵抗である。 【００２１】次に図３のフローチャートに基づいて動作
について説明する。ステップＳＴ１では、７セグメント
表示器５６にＰＶ値を表示する。これにより現在のＰＶ
値が現場作業者によって視認される。また、ＰＶランプ
５５−２を点灯させて７セグメント表示器５６に表示さ
れた内容がＰＶ値であることを示す。 【００２２】ステップＳＴ２では、ＤＩＳＰスイッチ５
４−６が押された（オン）か否かを判定する。ＤＩＳＰ
スイッチ５４−６が押されたときは、ステップＳＴ３に
進み、７セグメント表示器５６にＳＰ値を表示する。こ
れにより現在のＳＰ値が現場作業者によって視認され
る。また、ＰＶランプ５５−２を消灯させ、ＳＰランプ
５５−１を点灯させて７セグメント表示器５６に表示さ
れた内容がＳＰ値であることを示す。 【００２３】ステップＳＴ４では、アナログ設定か否か
を判定する。アナログ設定にするには、図２に示すよう
なアナログ式設定器６５をコネクタ５８に接続すればよ
い。これによりアナログ設定であることが認識され、被
測定流体の流量の設定値としてアナログ式設定器６５に
より設定されたアナログ電圧信号がコネクタ５８を介し
てＡ／Ｄ変換器６２に入力され、ディジタル値に変換さ
れてＣＰＵ５７に入力される。 【００２４】アナログ設定のときは、ステップＳＴ５に
進み、入力されたアナログ電圧信号に変化があったか否
かを判定する。アナログ電圧信号の信号レベルはアナロ
グ式設定器６５の可変抵抗ＶＲを調節することにより変
化し、信号レベルに変化があったときはステップＳＴ６
に進み、ＳＰ値の表示を更新する。ステップＳＴ７で
は、ＳＰ値を更新する。ＳＰ値が更新されたらステップ
ＳＴ５に戻る。 【００２５】次に入力されたアナログ電圧信号の信号レ
ベルに変化がなかったときは、ステップＳＴ８に進み、
５秒経過したか否かを判定する。信号レベルが変化して
から５秒経過していないときは、ステップＳＴ９に進
み、ＤＩＳＰスイッチ５４−６が押されたか否かを判定
する。 【００２６】もし、ＤＩＳＰスイッチ５４−６が押され
てなければ、ステップＳＴ５に戻る。また、信号レベル
が変化せずに５秒経過したとき、又はＤＩＳＰスイッチ
５４−６が押されたときは、ステップＳＴ１に戻り、Ｐ
Ｖ値の表示に切り替える。 【００２７】次に、ディジタル設定のときは、コネクタ
５８からアナログ式設定器６５を外しておく。これによ
りディジタル設定であることが認識され、ステップＳＴ
４からステップＳＴ１０に進む。ステップＳＴ１０で
は、アップスイッチ５４−４、ダウンスイッチ５４−３
が操作されたか否かを判定する。７セグメント表示器５
６にはＳＰ値が表示されているので、現場作業者はこの
設定表示を見ながら目的のＳＰ値に合わせる。 【００２８】設定値を変えるためにアップスイッチ５４
−４、ダウンスイッチ５４−３が操作されたときは、ス
テップＳＴ１１に進み、ＳＰ値の表示を更新する。ステ
ップＳＴ１２では、ＥＮＴスイッチ５４−５が押された
か否かを判定する。ＥＮＴスイッチ５４−５が押された
ときは、目的の設定値に合わせられたものとして、ステ
ップＳＴ１３に進み、ＳＰ値を更新する。ステップＳＴ
１４では、更新したＳＰ値をＥＥＰＲＯＭ６０に記憶す
る。 【００２９】次に、ステップＳＴ１０において、ディジ
タル設定時、アップスイッチ５４−４、ダウンスイッチ
５４−３が操作されていないときは、ステップＳＴ１０
からステップＳＴ１５に進み、操作してから５秒経過し
たときは、ステップＳＴ１に戻る。また、５秒以内であ
ってもＤＩＳＰスイッチ５４−６がオンしたときは、ス
テップＳＴ１６からステップＳＴ１に戻る。 【００３０】アップスイッチ５４−４、ダウンスイッチ
５４−３が操作されないで５秒経過したとき、あるいは
ＤＩＳＰスイッチ５４−６が押されてなければステップ
ＳＴ１０に戻り、再度、アップスイッチ５４−４、ダウ
ンスイッチ５４−３が操作されたか否かを判定する。
尚、ステップＳＴ８，ＳＴ１５が表示モード切替手段に
相当する。 【００３１】以上のように、この実施の形態１によれ
ば、７セグメント表示器５６に流量検出値のみならずそ
の設定値も表示されるので、設定作業及び設定確認作業
が容易になるという効果が得られる。また、制御流量を
確認しながら徐々に設定を合わせていく方法に比べて設
定作業が素早く行えるという効果も得られる。 【００３２】また、コネクタ５８にアナログ式設定器６
５を接続しなければ、ディジタル的に設定入力を行うこ
とができ、設定入力操作が容易である。 【００３３】さらに、コネクタ５８にアナログ式設定器
６５を接続すればアナログ電圧信号を入力することがで
き、従来のアナログ式設定部を備えた流量制御装置の代
替として使用することができる。 【００３４】さらに、ＳＰ値を表示にしたまま放置して
も、５秒間、入力操作がなければＰＶ値が表示されるの
で、ＳＰ値を表示にしたままで放置されてしまうことを
防止できる。 【００３５】尚、本実施の形態１では、ＳＰランプ５５
−１、ＰＶランプ５５−２を用いてＳＰ表示、ＰＶ表示
を行ったが、７セグメント表示器５６を用いてＳＰ表
示、ＰＶ表示を行うこともできる。 【００３６】また、上記実施の形態１では、動作モード
として、全閉モードと制御モードと全開モードとを備え
るものとしたが、これに限定されるものではなく、少な
くとも制御モードを備えていさえすればよい。また、上
記の３つのモード以外の動作モードを備えるものとして
も良い。例えば、シーケンスモードとして予めプログラ
ムされた順に流量制御を行うモードを設けることもでき
る。あるいは、所定の弁開度を維持するモードや故障診
断用のモード等も考えられる。尚、この実施の形態１は
制御モード中である必要はなく、全閉モードや、全開モ
ードであっても設定作業を行うことができる。よって、
制御作業を確認しながら徐々に設定を合わせていく方法
では、制御を開始するまで目標の設定に合わせることが
できないが実施の形態１では、制御を開始する前でも設
定を正確に行うことが可能となる。 【００３７】さらに、動作モードを選択するには、上記
実施の形態１で示した押しボタン式のＤＲＩＶＥスイッ
チ５４−１の他、外部から所定の電圧信号を加えてそれ
に応じた動作モードを選択するようにしても良い。 【００３８】さらに、流量を表示するものとしては、上
記実施の形態１で示した７セグメント表示器５６の他、
液晶表示器でも良いし、流量を数字表示ではなく棒グラ
フ表示するような表示器を用いることもできる。このよ
うな数字表示以外の表示器に動作モードを表示するに
は、例えば各モードに応じた時間間隔で点滅表示するよ
うにすれば良い。 【００３９】また、上記実施の形態１で調節弁としてソ
レノイド型のものを用いたが、当然のことながらこれに
限られず、電動モータや空気プランジャをアクチュエー
タとして用いたものや、ボール弁、バタフライ弁等を用
いたもの等、様々な応用例を採用することが可能であ
る。 【００４０】 【発明の効果】以上のように、この発明によれば、設定
値をみながら設定作業を行うことができ、設定作業及び
設定確認作業が容易になるという効果がある。また、制
御流量を確認しながら徐々に設定を合わせていく方法に
比べ、 １．制御を開始する前に設定ができる。 ２．設定が素早く行える。 【００４１】 【００４２】 【００４３】この発明によれば、設定モードにしたまま
放置しても、入力操作がなければ所定時間経過後に検出
値表示モードに切り替えられ、設定値表示モードのまま
放置されてしまうことを防止できるという効果がある。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow control device. 2. Description of the Related Art For example, in a semiconductor manufacturing apparatus, various gases are used. In order to control the flow rate of these gases, a flow control device is interposed in a supply passage of each gas. I have. In addition, in Utility Model Registration No. 3008542,
An apparatus in which an operation display unit for displaying a flow rate of a fluid is provided in such a flow control apparatus is disclosed. FIG. 4 is a view showing such a conventional flow control device. In FIG. 4, reference numeral 2 denotes a fluid flow path, 3 denotes a device display provided at a position remote from the mass flow controller main body 10A, and 4 denotes a power supply. A cable connecting the unit 10B and the device display unit 3, 10 is a mass flow controller interposed in the fluid flow path 2, 10A is a mass flow controller main body that performs fluid measurement, and 11 is an operation display for performing a display corresponding to the fluid flow rate. Department. Next, the operation will be described. The gas that has flowed in from the inlet of the fluid flow path 2 is rectified by a fluid sensor unit (not shown), its flow rate is detected, and a flow control unit (not shown) performs control according to the setting signal C. Then, the flow rate of the gas is displayed on the operation display section 11 of the mass flow controller 10, and the flow rate is visually recognized. Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-341880 discloses a flow control device provided with an analog setting device. In this device, a dial knob or the like is provided outside in order to input a set value of the flow rate of the fluid to be measured, a setting signal set by the dial knob or the like is input to a setting device, and a sensor output signal is converted to the setting signal. It is compared with the signal level. [0006] Since the conventional flow control device is configured as described above, the signal level of the setting signal is set to a predetermined set value in order to perform the setting operation. A voltmeter is needed to check if the battery is hot. In addition, it is necessary to convert the voltage displayed on the voltmeter into a flow rate of the fluid to be measured and read the value, and it is troublesome to perform a setting operation on site. Operation display unit 11 in FIG.
There is also a means to gradually change the setting signal and adjust the control flow rate to the set value while watching the control flow rate displayed as shown in the above.However, it is necessary to match the set value before starting control. Since the control cannot be performed, a flow rate much larger than a flow rate desired when the control is started may flow. Further, in this method, the setting value must be changed while checking the control flow rate, so that the setting cannot be changed quickly. That is, it takes time until the target flow rate is obtained. The conventional flow control device has such a problem to be solved. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and is intended to display a flow rate of a fluid to be measured and to display a set value, so that a setting operation can be easily performed on site. It is intended to obtain a flow control device. [0008] A flow control device according to the present invention is a detection value display mode for displaying the flow rate detection value of the fluid to be measured or a set value for displaying a set value of the flow rate of the fluid to be measured. Display mode selection means for selecting one of the display modes; display mode display means for displaying the display mode selected by the display mode selection means; and display mode selection means for displaying the display mode selected by the display mode selection means. Flow rate display means for displaying the flow rate detection value or set value of the measurement fluid ,
The set value display mode is set by the display mode selection means.
At a predetermined time after the setting is no longer changed after the selection
Display mode to switch to the detection value display mode
It is provided with a mode switching means . An embodiment of the present invention will be described below. Embodiment 1 FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a flow control device according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 21 denotes a flow control device. The flow control device 21 includes a solenoid valve (control valve) and adjusts the opening of the solenoid valve according to the operation mode. The operation mode will be described later. Reference numeral 22 denotes a flow path block of the flow control device 21, reference numeral 23 denotes an inlet pipe connection block, and reference numeral 25 denotes a flow path having a circular cross section through which a fluid to be measured flows. Reference numeral 31 denotes a rectifying wire mesh made of stainless steel for adjusting the flow of the fluid to be measured; 32, a ring-shaped spacer for holding the rectifying wire mesh 31 made of stainless steel; 33, a step portion for locking the spacer 32;
Reference numeral 4 denotes a micro flow sensor (flow rate detecting means) for detecting the flow rate of the fluid to be measured. The fluid to be measured according to the first embodiment is, for example, a gas such as air, nitrogen, argon, carbon dioxide, or oxygen. However, the subject of the present invention is not limited to this. There may be. The micro flow sensor 34 includes, for example,
The semiconductor diaphragm configuration disclosed by the applicant of the present application in the specification of Japanese Patent Application No. 3-106528 can be used. That is, although not shown, the micro flow sensor 34 has a heat generating portion and two temperature detecting portions disposed upstream and downstream of the heat generating portion. The flow rate corresponding to the flow velocity is obtained from the power supplied to the heat generating portion necessary to keep the difference in the temperature to be constant, or the heat generating portion is heated with a constant current or constant power and detected by the two temperature detecting portions. It is formed so that the flow rate can be determined from the temperature difference. Since the micro flow sensor 34 employs an extremely thin diaphragm structure that is thermally insulated, it has the features of high-speed response and low power consumption. 35 to 37 are O-rings made of synthetic rubber, for example. Reference numeral 41 denotes a solenoid valve (control valve) for controlling the flow of the fluid to be measured. Reference numeral 42 denotes a flow path 43 through which the fluid to be measured flows.
And a valve seat 45 having a flow path 44 formed therein, a valve chamber 45 communicating the flow path 43 with the flow path 44, a valve element 46 housed in the valve chamber 45 for opening and closing the flow path 44, and a valve element 47. A magnetic plunger connected to 46, a solenoid coil 48 energized to move the plunger 47 up and down, and 49 a flow path block 22
And a seal ring for sealing between the valve seat 42 and the valve seat 42. The above-mentioned operation modes include a fully open mode, a control mode, and a fully closed mode. The fully open mode is a mode in which the solenoid valve 41 is fully opened, and the control mode is a state detected by the micro flow sensor 34. This is a mode in which the opening of the solenoid valve 41 is controlled so that the flow rate of the measurement fluid becomes a predetermined flow rate, and the fully closed mode is a mode in which the solenoid valve 41 is closed so that the flow rate of the fluid to be measured becomes zero. An operation mode can be selected by an operation described later. Reference numeral 51 denotes a control unit; 52, a signal processing circuit for processing a sensor signal from the micro flow sensor 34;
Is a drive circuit for driving the solenoid valve 41, 54 is an input switch for inputting a predetermined command signal to the control unit 51,
55 is an LED indicator for displaying the current operating state, 56 is a 4-digit 7-segment display (flow rate display means) for displaying the flow rate, operation mode, and error of the fluid to be measured, and 57 is processed by the signal processing circuit 52. CPU that inputs the detected value of the flow rate of the fluid to be measured and the command signal from the input switch 54, and controls the drive circuit 53 based on these signals.
(Control means, display mode switching means), 58 is a CPU 57
A connector for supplying voltage and current to the CPU and for inputting and outputting signals to and from the CPU 57; 59, a ROM; 60, an rewritable EEPROM; 61, a RAM for storing measured flow rate data as needed; Is A / D
It is a converter (analog / digital conversion means). Next, each switch of the input switch 54 and the LE
The function of each lamp of the D display lamp 55 will be described. 54
-1 is a DRIVE switch that is pressed when switching the operation mode. Normally, each time the switch is pressed, the fully closed mode and the control mode are alternately switched.
Hold down the VE switch 54-1 for more than 2 seconds. 54-2
Is a mode switch that is pressed when performing special settings such as event settings, and 54-3 and 54-4 are down switches (押 す: digital set value input means) and up switches (△) that are pressed to change set values. : Digital set value input means), and an ENT switch 54-5 which is pressed when the set value is changed by the up switch 54-4 and the down switch 54-3 and when the changed set value is confirmed. 54-5 is also used as a switch for performing an alarm, a reset, an integration reset, and the like. Reference numeral 54-6 denotes a DISP switch (display mode selection means) which is pressed when switching the display content of the 7-segment display 56. The display content is instantaneous PV value (flow rate measurement value) → instantanely every time the DISP switch 54-6 is pressed. The flow is switched in the order of SP value (flow rate setting value) → integrated PV value → instant PV value →. Reference numeral 55-1 denotes an SP lamp (display mode display means) which is turned on when the contents displayed on the 7-segment display 56 indicate the SP value detected by the micro flow sensor 34. PV lamp (display mode display means) that lights up when the content displayed on the 7-segment display 56 indicates a PV value, 55-3.
Is turned on when the instantaneous flow rate matches the set value, and blinks when the operation mode is the fully open mode.
4 is an ALARM lamp that lights up when an abnormality is detected, 55-5
Is an L lamp which is lit when the content displayed on the 7-segment display 56 indicates the integrated flow rate, and 55-6 is an L / min lamp which is lit when the content displayed on the 7-segment display 56 indicates the instantaneous flow rate. It is. FIG. 2 is a diagram showing a configuration of the analog type setting device. In FIG. 2, 65 is a connector 58, A /
An analog setting device (analog signal input means) for inputting an analog voltage signal as a set value of the flow rate of the fluid to be measured to the CPU 57 via the D converter 62, 66 is a DC power supply of the analog setting device 65, and VR is a variable resistor. It is. Next, the operation will be described with reference to the flowchart of FIG. In step ST1, the PV value is displayed on the 7-segment display 56. As a result, the current PV
The value is viewed by a field worker. The PV lamp 55-2 is turned on to indicate that the content displayed on the 7-segment display 56 is the PV value. In step ST2, the DISP switch 5
It is determined whether 4-6 is pressed (ON). DISP
If the switch 54-6 has been pressed, the process proceeds to step ST3, where the SP value is displayed on the 7-segment display 56. Thereby, the current SP value is visually recognized by the site worker. In addition, the PV lamp 55-2 is turned off and the SP lamp 55-1 is turned on to indicate that the content displayed on the 7-segment display 56 is the SP value. In step ST4, it is determined whether or not analog setting is set. In order to perform the analog setting, an analog setting device 65 as shown in FIG. As a result, the analog setting is recognized as an analog setting, and an analog voltage signal set by the analog setting device 65 as a set value of the flow rate of the fluid to be measured is input to the A / D converter 62 via the connector 58 and the digital value is set. And input to the CPU 57. In the case of analog setting, the process proceeds to step ST5, where it is determined whether or not the input analog voltage signal has changed. The signal level of the analog voltage signal changes by adjusting the variable resistor VR of the analog setting device 65. If the signal level changes, the process goes to step ST6.
To update the display of the SP value. In step ST7, the SP value is updated. When the SP value is updated, the process returns to step ST5. Next, when there is no change in the signal level of the input analog voltage signal, the process proceeds to step ST8,
It is determined whether five seconds have elapsed. If five seconds have not elapsed since the signal level changed, the process proceeds to step ST9, and it is determined whether the DISP switch 54-6 has been pressed. If the DISP switch 54-6 has not been pressed, the process returns to step ST5. If 5 seconds have elapsed without any change in the signal level, or if the DISP switch 54-6 has been pressed, the process returns to step ST1 and returns to step ST1.
Switch to V value display. Next, at the time of digital setting, the analog setter 65 is disconnected from the connector 58. As a result, the digital setting is recognized, and step ST
The process proceeds from step 4 to step ST10. In step ST10, the up switch 54-4 and the down switch 54-3
It is determined whether or not has been operated. 7 segment display 5
Since the SP value is displayed in 6, the field worker adjusts to the target SP value while watching the setting display. Up switch 54 for changing the set value
If the down switch 54-3 has been operated, the process proceeds to step ST11 to update the display of the SP value. In step ST12, it is determined whether or not the ENT switch 54-5 has been pressed. When the ENT switch 54-5 is pressed, the process proceeds to step ST13, where the SP value is updated, assuming that the target value has been set. Step ST
At 14, the updated SP value is stored in the EEPROM 60. Next, in step ST10, if the up switch 54-4 and the down switch 54-3 are not operated at the time of digital setting, the operation proceeds to step ST10.
The process proceeds to step ST15, and when 5 seconds have elapsed since the operation, the process returns to step ST1. If the DISP switch 54-6 is turned on even within 5 seconds, the process returns from step ST16 to step ST1. If five seconds have elapsed without operating the up switch 54-4 and the down switch 54-3, or if the DISP switch 54-6 has not been pressed, the process returns to step ST10, and again the up switch 54-4 and the down switch It is determined whether the switch 54-3 has been operated.
Steps ST8 and ST15 correspond to display mode switching means. As described above, according to the first embodiment, not only the detected flow value but also the set value is displayed on the 7-segment display 56, so that the setting operation and the setting confirmation operation are facilitated. Is obtained. In addition, an effect that the setting operation can be performed quickly is obtained as compared with a method of gradually adjusting the setting while checking the control flow rate. Further, the analog setting device 6 is connected to the connector 58.
If connection 5 is not made, setting input can be performed digitally, and setting input operation is easy. Further, if an analog setting device 65 is connected to the connector 58, an analog voltage signal can be input, and can be used as a substitute for a flow control device having a conventional analog setting portion. Further, even if the display is left while the SP value is displayed, the PV value is displayed if there is no input operation for 5 seconds, so that it is possible to prevent the display from being left without displaying the SP value. In the first embodiment, the SP lamp 55
1, SP display and PV display are performed using the PV lamp 55-2, but SP display and PV display can also be performed using the 7-segment display 56. In the first embodiment, the operation modes include the fully closed mode, the control mode, and the fully open mode. However, the present invention is not limited to this, and at least the control mode is provided. I just need. Further, an operation mode other than the above three modes may be provided. For example, a mode in which the flow rate is controlled in a sequence programmed in advance as a sequence mode may be provided. Alternatively, a mode for maintaining a predetermined valve opening degree, a mode for failure diagnosis, and the like are also conceivable. In the first embodiment, it is not necessary to be in the control mode, and the setting operation can be performed even in the fully closed mode or the fully open mode. Therefore,
In the method of gradually adjusting the setting while checking the control work, it is not possible to match the target setting until the control is started. However, in the first embodiment, the setting can be accurately performed even before the control is started. Becomes Further, in order to select an operation mode, in addition to the push-button type DRIVE switch 54-1 described in the first embodiment, a predetermined voltage signal is externally applied to select an operation mode according to the applied voltage. You may do it. Further, in order to display the flow rate, in addition to the 7-segment display 56 shown in the first embodiment,
A liquid crystal display may be used, or a display that displays the flow rate in a bar graph instead of a numerical display may be used. In order to display the operation mode on a display device other than the numeric display, for example, the operation mode may be blinked at a time interval corresponding to each mode. Although the solenoid type control valve is used in the first embodiment, it is needless to say that the control valve is not limited to this, and may use an electric motor or an air plunger as an actuator, a ball valve, a butterfly valve, or the like. It is possible to adopt various application examples such as those using the above. As described above, according to the present invention, the setting operation can be performed while observing the set value, and the setting operation and the setting confirmation operation are facilitated. Also, compared to the method of gradually adjusting the setting while checking the control flow rate, Settings can be made before starting control. 2. Settings can be made quickly. According to the present invention, even if the apparatus is left in the setting mode, if there is no input operation, the mode is switched to the detection value display mode after a predetermined time has elapsed, and the apparatus is left in the setting value display mode. There is an effect that it is possible to prevent that.

【図面の簡単な説明】 【図１】この発明の実施の形態１による流量制御装置の
構成を示す構成図である。 【図２】アナログ設定を行うときに用いられる実施の形
態１によるアナログ式設定器の構成を示す回路図であ
る。 【図３】この発明の実施の形態１による流量制御装置の
動作を示すフローチャートである。 【図４】従来の流量制御装置の構成を示すブロック図で
ある。 【符号の説明】 ２５ 流路 ３４ マイクロフローセンサ（流量検出手段） ４１ ソレノイド弁（調節弁） ５４−３ ダウンスイッチ（ディジタル設定値入力手
段） ５４−４ アップスイッチ（ディジタル設定値入力手
段） ５４−６ ＤＩＳＰスイッチ（表示モード選択手段） ５５−１ ＳＰランプ（表示モード表示手段） ５５−２ ＰＶランプ（表示モード表示手段） ５６ ７セグメント表示器（流量表示手段） ５７ ＣＰＵ（制御手段、表示モード切替手段） ６２ Ａ／Ｄ変換器（アナログ／ディジタル変換手段） ６５ アナログ式設定器（アナログ信号入力手段）BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of a flow control device according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 2 is a circuit diagram showing a configuration of an analog setting device according to the first embodiment used when performing analog setting. FIG. 3 is a flowchart showing an operation of the flow control device according to the first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a conventional flow control device. [Description of Signs] 25 Flow path 34 Micro flow sensor (flow rate detecting means) 41 Solenoid valve (control valve) 54-3 Down switch (digital set value input means) 54-4 Up switch (digital set value input means) 54- 6 DISP switch (display mode selection means) 55-1 SP lamp (display mode display means) 55-2 PV lamp (display mode display means) 56 7-segment display (flow rate display means) 57 CPU (control means, display mode switching) Means) 62 A / D converter (analog / digital conversion means) 65 analog setting device (analog signal input means)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G05D 7/06 G01F 1/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (58) Field surveyed (Int.Cl. ⁷ , DB name) G05D 7/06 G01F 1/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 被測定流体が流れる流路と、この被測定
流体の流量を調節する調節弁と、前記被測定流体の流量
を検出する流量検出手段と、前記被測定流体の流量が予
め設定された設定値となるように、該流量検出手段によ
り検出された被測定流体の流量検出値に基づいて調節弁
の開度を制御する制御手段とを備えた流量制御装置にお
いて、 前記被測定流体の流量検出値を表示する検出値表示モー
ド又は被測定流体の流量の設定値を表示する設定値表示
モードのいずれかを選択する表示モード選択手段と、 該表示モード選択手段により選択された表示モードを表
示する表示モード表示手段と、 前記表示モード選択手段により選択された表示モードに
応じて、被測定流体の流量検出値又は設定値を表示する
流量表示手段と、 前記表示モード選択手段により前記設定値表示モードが
選択されてから設定変更が行われなくなってから所定時
間経過したとき、検出値表示モードに切り替える表示モ
ード切替手段 を備えたことを特徴とする流量制御装置。(57) [Claims] A flow path through which a fluid to be measured flows;
A control valve for adjusting a flow rate of the fluid, and a flow rate of the fluid to be measured
Flow rate detecting means for detecting the flow rate of the fluid to be measured.
So that the flow rate is detected by the flow rate detecting means.
Control valve based on the detected flow rate value of the measured fluid
And a control means for controlling the opening of
And A detection value display mode for displaying a flow rate detection value of the fluid to be measured.
Set value display that displays the set value of the flow rate of the fluid or the measured fluid
Display mode selection means for selecting one of the modes, The display mode selected by the display mode selection means is displayed.
Display mode display means for displaying; The display mode selected by the display mode selection means.
Displays the flow rate detection value or set value of the fluid to be measured
Flow rate display means and, The set value display mode is set by the display mode selection means.
At a predetermined time after the setting is no longer changed after the selection
Display mode to switch to the detection value display mode
Mode switching means A flow control device comprising: