JP2000009792A - Test burn-in system and test burn-in system calibrating method therefor - Google Patents
Test burn-in system and test burn-in system calibrating method thereforInfo
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- G01R31/2874—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、テストバーンイン
システムに係り、詳細には、電流測定回路を内蔵した校
正された診断ボードを使用してテストバーンイン装置が
有する電流測定機能を自動的に校正するテストバーンイ
ンシステム、及びテストバーンインシステム校正方法に
関する。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a test burn-in system, and more particularly, to automatically calibrating a current measurement function of a test burn-in device using a calibrated diagnostic board having a current measurement circuit. The present invention relates to a test burn-in system and a test burn-in system calibration method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、様々な電子機器に用いられる回路
のＩＣ（Integrated Circuit：集積回路）化が急速に進
められてきた。ＩＣ、ＬＳＩ（Large Scale Integrated
circuit）等は、抵抗や、コンデンサ、トランジスタ等
の各素子の働きを、印刷、蒸着等の方法により形成した
回路によって実現するが、大量生産されるそれぞれの製
品間には多少の特性のばらつきが生じる。このようなＩ
ＣやＬＳＩ等の半導体の特性が、様々な温度条件下にお
いて規格を満たしているか否かを試験する装置としてテ
ストバーンインシステムがある。2. Description of the Related Art In recent years, the use of ICs (Integrated Circuits) in circuits used in various electronic devices has been rapidly advanced. IC, LSI (Large Scale Integrated)
circuit) implements the function of each element such as a resistor, a capacitor, and a transistor by a circuit formed by printing, vapor deposition, etc., but there is a slight variation in characteristics between mass-produced products. Occurs. Such an I
There is a test burn-in system as an apparatus for testing whether the characteristics of semiconductors such as C and LSI satisfy standards under various temperature conditions.
【０００３】テストバーンインシステムは、被測定デバ
イスとしての半導体に印可する試験信号を生成し、ま
た、被測定デバイスから出力された信号を解析して良否
判定を行うテストバーンイン装置と、被測定デバイスを
実装したテストバーンインボードを装着するための複数
のスロットを有し、様々な温度条件に従う環境を作り出
す恒温槽とによって構成される。A test burn-in system generates a test signal to be applied to a semiconductor as a device under test, and analyzes a signal output from the device under test to determine whether the device is good or bad. It has a plurality of slots for mounting the mounted test burn-in boards, and a thermostat that creates an environment according to various temperature conditions.
【０００４】そして、テストバーンイン装置には、多く
の場合、被測定デバイスに印可する電源電流を測定する
電源電流測定回路が内蔵されている。従来、この電源電
流測定回路の動作が正常であるか確認をする場合には、
テストバーンインシステムの恒温槽内に設けられた検査
用バーンインボードに電子負荷（定電流印加装置；抵抗
等）を接続して、テストバーンイン装置から電流を発生
させ、テストバーンイン装置内の電流測定回路で電流値
を測定し、テストバーンイン装置側のＣＰＵ（Central
Processing Unit)に読み取らせていた。[0004] In many cases, the test burn-in apparatus includes a power supply current measuring circuit for measuring a power supply current applied to a device under test. Conventionally, when checking whether the operation of this power supply current measurement circuit is normal,
An electronic load (constant current application device; resistance, etc.) is connected to the test burn-in board provided in the temperature chamber of the test burn-in system, and a current is generated from the test burn-in device. The current value is measured, and the CPU (Central
Processing Unit).
【０００５】図２は、上述したような従来のテストバー
ンインシステムにおいて、テストバーンイン装置の電流
測定回路を校正する場合の接続状態を示す図である。な
お、同図では、テストバーンインシステムを構成する回
路の内、電源電流測定に関与する回路のみを示し、被測
定デバイスの試験に関与する回路部分を省略している。FIG. 2 is a diagram showing a connection state when the current measuring circuit of the test burn-in device is calibrated in the above-described conventional test burn-in system. FIG. 1 shows only circuits involved in power supply current measurement among circuits included in the test burn-in system, and omits circuit parts involved in testing a device under test.
【０００６】この図２において、テストバーンインシス
テム２００は、ＰＳ電源１５、電流測定回路１６、及び
ＣＰＵ１８によって構成されるテストバーンイン装置１
１と、様々な温度条件下での試験を行うための恒温槽１
２に装着された診断ボード１９と、この診断ボード１９
に接続された電子負荷１０とによって構成される。In FIG. 2, a test burn-in system 200 includes a test burn-in system 1 including a PS power supply 15, a current measuring circuit 16, and a CPU 18.
1 and a thermostatic chamber 1 for conducting tests under various temperature conditions
2 and a diagnostic board 19 mounted on the
And an electronic load 10 connected to the electronic load.
【０００７】図２に示すように、ＰＳ電源１５の出力端
子は電流測定回路１６の入力端子に接続され、電流測定
回路６の出力端子は診断ボード１９を介して電子負荷１
０の一方の端子に接続されている。また、電子負荷１０
の他方の端子は、診断ボード１９を介してテストバーン
イン装置１１内のグランドＧＮＤに接続されることによ
り接地されている。As shown in FIG. 2, the output terminal of the PS power supply 15 is connected to the input terminal of the current measuring circuit 16, and the output terminal of the current measuring circuit 6 is connected to the electronic load 1 via the diagnostic board 19.
0 is connected to one terminal. In addition, the electronic load 10
The other terminal is connected to the ground GND in the test burn-in device 11 via the diagnostic board 19 and is grounded.
【０００８】このような接続状態において、ＰＳ電源１
５から出力される電源電圧は、電流測定回路１６、及び
恒温槽１２内に装着された診断ボード１９を介して、一
方の端子を接地された電子負荷１０に印可される。ま
た、電流測定回路１６内の抵抗Ｒの両端には、ＰＳ電源
１５から出力される電源電圧の電圧降下による両端電圧
が発生し、この抵抗Ｒの両端電圧の値は、電流測定回路
１６内の増幅回路ＡＭＰによって増幅され、更に、Ａ／
ＤコンバータＡＤＣによってＡ／Ｄ変換されてデジタル
データとなり、バスを介してＣＰＵ１８に入力される。In such a connection state, the PS power supply 1
The power supply voltage output from 5 is applied to the electronic load 10 having one terminal grounded via the current measuring circuit 16 and the diagnostic board 19 mounted in the thermostat 12. Further, a voltage between both ends of the resistor R in the current measuring circuit 16 is generated due to a voltage drop of the power supply voltage output from the PS power supply 15, and the value of the voltage between both ends of the resistor R is Amplified by the amplifier circuit AMP,
The data is A / D-converted by the D-converter ADC into digital data, which is input to the CPU 18 via the bus.
【０００９】ＣＰＵ１８では、入力されたデジタルデー
タに基づいて、電流測定回路１６において測定された電
流値を算出し、テストバーンイン装置１１が備える表示
部等（不図示）に出力する。そして、測定者は、ＣＰＵ
１８によって算出され表示される電流値が、電子負荷１
０の値及びＰＳ電源１５の電源電圧に依存して定まる規
格値内の値であるかを確認する。前記表示される電流値
が、規格値内の値でない場合には、電流測定回路１６内
のＡ／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及びオフセットを適
宜手動で調節して、表示部に表示される電流値が規格値
内に収まるように調整を行う。The CPU 18 calculates a current value measured by the current measuring circuit 16 based on the input digital data, and outputs the current value to a display unit (not shown) provided in the test burn-in device 11. Then, the measurer uses the CPU
The current value calculated and displayed by the electronic load 1
It is checked whether the value is within a standard value determined depending on the value of 0 and the power supply voltage of the PS power supply 15. If the displayed current value is not a value within the standard value, the gain and offset of the A / D converter ADC in the current measuring circuit 16 are manually adjusted as appropriate so that the current value displayed on the display unit is changed. Adjust so that it is within the standard value.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来のテストバーンインシステムでは、規格内
の電流値が得られない場合は、電流測定回路１６内のＡ
／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及びオフセットを繰り返
し手動で調節しなくてはならず、膨大な作業時間がかか
っていた。However, in the conventional test burn-in system as described above, if the current value within the standard cannot be obtained, the A in the current measuring circuit 16 is not measured.
The gain and offset of the / D converter ADC had to be repeatedly and manually adjusted, which required an enormous amount of work time.
【００１１】そこで、本発明の課題は、恒温槽内に実装
した診断ボードによって測定された電流値を基準とし
て、テストバーンイン装置側の電流測定回路から得られ
た結果を適宜補正するための補正値を算出し、テストバ
ーンイン装置の電流測定値を自動的に調整するテストバ
ーンインシステム、及びテストバーンインシステム校正
方法を提供することである。Therefore, an object of the present invention is to provide a correction value for appropriately correcting a result obtained from a current measurement circuit of a test burn-in device on the basis of a current value measured by a diagnostic board mounted in a thermostat. And a test burn-in system for automatically adjusting the measured current value of the test burn-in device, and a method for calibrating the test burn-in system.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
所定の温度条件に従う環境を生成する恒温槽と、この恒
温槽内に装着されたテストバーンインボードに実装され
る被測定デバイスに対して試験信号を印可して被測定デ
バイスの良否を判定するテストバーンイン装置とによっ
て構成されるテストバーンインシステムにおいて、前記
恒温槽は、前記テストバーンイン装置から供給される電
源の電流値を測定する第１の電流測定手段を備える診断
ボードを装着し、前記テストバーンイン装置は、当該テ
ストバーンイン装置に所定電圧の電源を供給する電源装
置と、この電源装置から当該テストバーンイン装置に供
給される電源の電流値を測定する第２の電流測定手段
と、前記第１の電流測定手段によって測定される電流値
を基準値として、前記第２の電流測定手段によって測定
される電流値を補正するための補正信号を生成する補正
信号生成手段と、この補正信号生成手段によって生成さ
れる補正信号に基づいて、前記第２の電源電流測定手段
によって測定される電流値を調整する調整手段と、によ
って構成されることを特徴としている。According to the first aspect of the present invention,
A test chamber for generating an environment according to a predetermined temperature condition, and a test burn-in for applying a test signal to a device to be measured mounted on a test burn-in board mounted in the constant temperature chamber to determine the quality of the device to be measured. In the test burn-in system constituted by the test burn-in device, the constant temperature bath is equipped with a diagnostic board including first current measuring means for measuring a current value of a power supply supplied from the test burn-in device, A power supply for supplying power of a predetermined voltage to the test burn-in device, a second current measuring means for measuring a current value of power supplied from the power supply to the test burn-in device, and the first current measurement The current value measured by the second current measuring means is corrected using the current value measured by the means as a reference value. Correction signal generating means for generating a correction signal for adjusting the current value measured by the second power supply current measuring means based on the correction signal generated by the correction signal generating means; It is characterized by comprising.
【００１３】請求項１記載の発明のテストバーンインシ
ステムによれば、前記恒温槽に装着された診断ボード
は、第１の電流測定手段によって、前記テストバーンイ
ン装置から供給される電源の電流値を測定し、前記テス
トバーンイン装置は、電源装置によって、当該テストバ
ーンイン装置に所定電圧の電源を供給し、第２の電流測
定手段によって、前記電源装置から当該テストバーンイ
ン装置に供給される電源の電流値を測定し、補正信号生
成手段によって、前記第１の電流測定手段によって測定
される電流値を基準値として、前記第２の電流測定手段
によって測定される電流値を補正するための補正信号を
生成し、調整手段によって、前記補正信号生成手段によ
って生成される補正信号に基づいて、前記第２の電源電
流測定手段によって測定される電流値を調整する。According to the test burn-in system of the present invention, the diagnostic board mounted on the constant temperature chamber measures the current value of the power supplied from the test burn-in device by the first current measuring means. The test burn-in device supplies power of a predetermined voltage to the test burn-in device by a power supply device, and a second current measuring unit measures a current value of the power supplied from the power supply device to the test burn-in device. A correction signal for correcting the current value measured by the second current measuring means, using the current value measured by the first current measuring means as a reference value, , By the adjusting unit, based on the correction signal generated by the correction signal generating unit, by the second power supply current measuring unit. Adjusting the current value to be constant.
【００１４】請求項５記載の発明のテストバーンインシ
ステム校正方法によれば、所定の温度条件に従う環境を
生成する恒温槽と、この恒温槽内に装着されたテストバ
ーンインボードに実装される被測定デバイスに対して試
験信号を印可して被測定デバイスの良否を判定するテス
トバーンイン装置とによって構成されるテストバーンイ
ンシステムの電源電流測定機能を校正するテストバーン
インシステム校正方法において、前記恒温槽に装着され
た診断ボード側で、前記テストバーンイン装置から供給
される電源の電流値を測定し、前記テストバーンイン装
置側で、所定電圧の電源を供給する電源装置から当該テ
ストバーンイン装置に供給される電源の電流値を測定
し、前記診断ボード側で測定される電流値を基準値とし
て、前記テストバーンイン装置側で測定される電流値を
補正するための補正信号を生成し、当該生成される補正
信号に基づいて、前記テストバーンイン装置側で測定さ
れる電流値を調整する。According to the test burn-in system calibration method of the present invention, a thermostatic chamber for generating an environment according to a predetermined temperature condition, and a device to be measured mounted on a test burn-in board mounted in the thermostatic chamber A test burn-in system calibration method for calibrating a power supply current measurement function of a test burn-in system constituted by a test burn-in device configured to apply a test signal to the test burn-in device to determine whether the device under test is good or bad. On the diagnostic board side, measure the current value of the power supplied from the test burn-in device, and on the test burn-in device side, measure the current value of the power supplied to the test burn-in device from the power supply device that supplies power of a predetermined voltage. Is measured, and the current value measured on the diagnostic board side is used as a reference value, and the test bar Generating a correction signal for correcting the current value measured by the in-device side, on the basis of the correction signal the generated, to adjust the current value measured by the test burn-in system side.
【００１５】したがって、診断ボードを恒温槽に装着し
て、診断ボード側で測定された電流値を基準値とし、テ
ストバーンイン装置側で測定された電流値を補正するこ
とができるため、テストバーンインシステムの電流を自
動的に測定することができるとともに、テストバーンイ
ン装置側の電流測定機能の自動調整を行うことができ
る。このことにより、テストバーンインシステムを校正
する作業を短時間で行うことができるとともに、定期的
に校正された診断ボードによってテストバーンインシス
テムを校正することにより、手動で行う校正作業と比較
して正確な校正を行うことができる。Therefore, the diagnostic board can be mounted on a thermostat, and the current value measured on the diagnostic board side can be used as a reference value to correct the current value measured on the test burn-in device side. Current can be automatically measured, and the current measurement function of the test burn-in device can be automatically adjusted. As a result, the work of calibrating the test burn-in system can be performed in a short time, and by calibrating the test burn-in system with a diagnostic board that has been periodically calibrated, the calibration work can be performed more accurately than a manual calibration work. Calibration can be performed.
【００１６】また、請求項２記載の発明のように、請求
項１記載のテストバーンインシステムにおいて、前記第
１の電流測定手段は、一端を前記第２の電流測定手段と
接続され、また他端を接地されており、抵抗値を切り換
えることによって測定する電流レンジを切り換え可能と
する電流値切り換え回路と、この電流値切り換え回路の
両端電圧の値を所定増幅率で増幅する増幅回路と、この
増幅回路から入力されるアナログ信号をデジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換回路と、によって構成されることが
有効である。According to a second aspect of the present invention, in the test burn-in system according to the first aspect, the first current measuring means has one end connected to the second current measuring means and the other end connected to the second current measuring means. A current value switching circuit for switching a current range to be measured by switching a resistance value, an amplification circuit for amplifying a voltage value across the current value switching circuit at a predetermined amplification factor, It is effective that the A / D converter circuit converts an analog signal input from the circuit into a digital signal.
【００１７】この請求項２記載の発明のテストバーンイ
ンシステムによれば、請求項１記載の発明の効果に加え
て、測定する電流レンジを適宜切り換えることができる
とともに、Ａ／Ｄ変換回路のゲインやオフセット等を調
整することにより、前記第１の電流測定手段自身を容易
に校正することができるため、定期的に前記第１の電流
測定手段を校正した上でテストバーンインシステムの校
正を行うこととすれば、より正確な校正を行うことがで
きる。According to the test burn-in system of the second aspect of the present invention, in addition to the effects of the first aspect of the invention, the current range to be measured can be appropriately switched, and the gain and the gain of the A / D conversion circuit can be changed. By adjusting the offset or the like, the first current measuring means itself can be easily calibrated. Therefore, it is necessary to calibrate the first current measuring means periodically and then calibrate the test burn-in system. Then, more accurate calibration can be performed.
【００１８】また、アナログ信号をデジタル信号にＡ／
Ｄ変換することにより、測定された電流値を補正する信
号を生成する補正信号生成手段としては、予めＲＯＭ
（ReadOnly Memory）等に格納されたプログラムを実行
するＣＰＵ等を使用することができるため、テストバー
ンインシステムの汎用性を高めることができる。Further, an analog signal is converted into a digital signal by A /
As a correction signal generating means for generating a signal for correcting the measured current value by performing D conversion, a ROM
(Read Only Memory) or the like which executes a program stored in a read only memory or the like can be used, so that the versatility of the test burn-in system can be improved.
【００１９】また、請求項３記載の発明のように、請求
項１記載のテストバーンインシステムにおいて、前記第
２の電流測定手段は、一端を前記電源装置と、また他端
を前記第１の電流測定手段と接続されており、前記電源
装置から供給される電源電圧に応じて両端間に電圧降下
による電圧を生じる抵抗器と、この抵抗器の両端電圧の
値を所定増幅率で増幅する増幅回路と、この増幅回路か
ら入力されるアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ
／Ｄ変換回路と、によって構成されることが有効であ
る。According to a third aspect of the present invention, in the test burn-in system according to the first aspect, the second current measuring means has one end connected to the power supply device and the other end connected to the first current source. A resistor connected to the measuring means and generating a voltage due to a voltage drop between both ends according to a power supply voltage supplied from the power supply device, and an amplifier circuit for amplifying a value of a voltage between both ends of the resistor at a predetermined amplification factor A that converts an analog signal input from this amplifier circuit into a digital signal
/ D conversion circuit is effective.
【００２０】この請求項３記載の発明のテストバーンイ
ンシステムによれば、請求項１記載の発明の効果に加え
て、アナログ信号をデジタル信号にＡ／Ｄ変換すること
により、測定された電流値を補正する信号を生成する補
正信号生成手段としては、予めＲＯＭ等に格納されたプ
ログラムを実行するＣＰＵ等を使用することができるた
め、テストバーンインシステムの汎用性を高めることが
できる。According to the test burn-in system of the third aspect of the present invention, in addition to the effect of the first aspect of the invention, the measured current value is converted by A / D conversion of an analog signal into a digital signal. As a correction signal generation unit that generates a signal to be corrected, a CPU or the like that executes a program stored in a ROM or the like in advance can be used, so that the versatility of the test burn-in system can be improved.
【００２１】また、請求項４記載の発明のように、請求
項３記載のテストバーンインシステムにおいて、前記補
正信号生成手段は、前記第２の電流測定手段によって測
定される電流値を補正するための補正信号として、前記
第２の電流測定手段を構成するＡ／Ｄ変換回路のゲイン
を補正するゲイン補正信号及びオフセットを補正するオ
フセット補正信号を生成し、前記調整手段は、前記ゲイ
ン補正信号及び前記オフセット補正信号に基づいて、前
記第２の電流測定手段を構成するＡ／Ｄ変換回路のゲイ
ン及びオフセットを調整することが有効である。According to a fourth aspect of the present invention, in the test burn-in system according to the third aspect, the correction signal generating means corrects a current value measured by the second current measuring means. As a correction signal, a gain correction signal for correcting a gain of an A / D conversion circuit constituting the second current measuring means and an offset correction signal for correcting an offset are generated. It is effective to adjust the gain and offset of the A / D conversion circuit constituting the second current measuring means based on the offset correction signal.
【００２２】この請求項４記載の発明のテストバーンイ
ンシステムによれば、請求項３記載の発明の効果に加え
て、前記第２の電流測定手段を構成するＡ／Ｄ変換回路
のゲイン及びオフセットを調整することにより、前記第
２の電流測定手段の校正を容易に行うことができる。According to the test burn-in system of the fourth aspect of the present invention, in addition to the effects of the third aspect of the present invention, the gain and offset of the A / D conversion circuit constituting the second current measuring means are adjusted. The adjustment makes it easy to calibrate the second current measuring means.
【００２３】[0023]
【発明の実施の形態】以下、図１を参照して本発明に係
るテストバーンインシステムの実施の形態を詳細に説明
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a test burn-in system according to the present invention will be described in detail with reference to FIG.
【００２４】まず構成を説明する。図１は、本発明の一
実施の形態におけるテストバーンインシステム１００の
回路構成を示すブロック図である。なお、図１では、テ
ストバーンインシステム１００を構成する回路の内、電
源電流測定に関与する回路のみを示し、被測定デバイス
の試験に関与する回路部分を省略している。First, the configuration will be described. FIG. 1 is a block diagram showing a circuit configuration of a test burn-in system 100 according to one embodiment of the present invention. FIG. 1 shows only circuits involved in power supply current measurement among circuits constituting the test burn-in system 100, and omits circuit parts involved in testing a device under test.
【００２５】この図１において、テストバーンインシス
テム１００は、ＰＳ電源５、電流測定回路６、調整回路
７、及びＣＰＵ８によって構成されるテストバーンイン
装置１と、電流測定回路４を実装し、様々な温度条件下
での試験を行うための恒温槽２にセッティングされた診
断ボード９と、によって構成される。In FIG. 1, a test burn-in system 100 includes a test burn-in device 1 composed of a PS power supply 5, a current measuring circuit 6, an adjusting circuit 7, and a CPU 8, and a current measuring circuit 4, and has various temperatures. And a diagnostic board 9 set in the thermostat 2 for performing a test under conditions.
【００２６】テストバーンイン装置１は、図示しない被
測定デバイスの試験に関与する回路によって、被測定デ
バイスとしての半導体に印可する試験信号を生成し、ま
た、被測定デバイスから出力された信号を解析して良否
判定を行う。また、このテストバーンイン装置１は、被
測定デバイスに印可する電源電流を測定する電源電流測
定回路を内蔵しており、この電源電流測定回路は、図１
に示すように、ＰＳ電源５、電流測定回路６、調整回路
７、及びＣＰＵ８によって構成されている。The test burn-in apparatus 1 generates a test signal to be applied to a semiconductor as a device under test by a circuit involved in testing the device under test (not shown), and analyzes a signal output from the device under test. Pass / fail judgment. The test burn-in apparatus 1 has a built-in power supply current measurement circuit for measuring a power supply current applied to a device under test.
As shown in (1), it is composed of a PS power supply 5, a current measurement circuit 6, an adjustment circuit 7, and a CPU 8.
【００２７】ＰＳ電源５は、複数設定された所定の電圧
値の中から選択された所定の定電源電圧を発生し、電流
測定回路６、及び診断ボード９内の電流測定回路４に対
して電源を供給する。The PS power supply 5 generates a predetermined constant power supply voltage selected from a plurality of predetermined voltage values, and supplies power to the current measurement circuit 6 and the current measurement circuit 4 in the diagnostic board 9. Supply.
【００２８】電流測定回路６は、図１に示すように、Ｐ
Ｓ電源５から供給された電源による電圧降下によって電
流値を測定するための抵抗Ｒと、この抵抗Ｒの両端の電
圧値を増幅する増幅回路ＡＭＰと、この増幅回路ＡＭＰ
の出力値をＡ／Ｄ（Analog to Digital ）変換するＡ／
ＤコンバータＡＤＣとによって構成されている。そし
て、電流測定回路６は、抵抗Ｒの両端の電圧値を、増幅
回路ＡＭＰによって所定の増幅率で増幅し、Ａ／Ｄコン
バータＡＤＣによってＡ／Ｄ変換した後、バスを介して
ＣＰＵ８に対して出力する。また、電流測定回路６のＡ
／ＤコンバータＡＤＣは、ゲイン及びオフセットの値を
調整回路７によって適宜調整される。The current measuring circuit 6, as shown in FIG.
A resistor R for measuring a current value by a voltage drop from a power supply supplied from the S power supply 5, an amplifier circuit AMP for amplifying a voltage value across the resistor R, and an amplifier circuit AMP
A / D (Analog to Digital) conversion of the output value of
And a D converter ADC. Then, the current measurement circuit 6 amplifies the voltage value at both ends of the resistor R at a predetermined amplification rate by the amplification circuit AMP, and performs A / D conversion by the A / D converter ADC. Output. In addition, A of the current measurement circuit 6
The value of the gain and the offset of the / D converter ADC are appropriately adjusted by the adjustment circuit 7.
【００２９】調整回路７は、ＣＰＵ８から入力されるゲ
イン補正値を格納するメモリと、このメモリから入力さ
れるデジタルデータをＤ／Ａ（Digital to Analog ）変
換するＤ／ＡコンバータＤＡＣとによって構成されるゲ
イン調整回路７ａと、ＣＰＵ８から入力されるオフセッ
ト補正値を格納するメモリと、このメモリから入力され
るデジタルデータをＤ／Ａ変換するＤ／ＡコンバータＤ
ＡＣとによって構成されるオフセット調整回路７ｂとに
よって構成される。そして、調整回路７は、恒温槽２の
複数のスロットに装着された診断ボード９毎にＣＰＵ８
によって演算されたゲイン補正値及びオフセット補正値
を、ゲイン調整回路７ａ内のメモリあるいはオフセット
調整回路７ｂ内のメモリに順次格納する。また、調整回
路７は、ゲイン調整回路７ａ及びオフセット調整回路７
ｂ内のメモリに格納された診断ボード９毎に対応する補
正値に基づいて、被測定デバイスの試験時には、電流測
定回路６のＡ／ＤコンバータＡＤＣを調整する。The adjustment circuit 7 includes a memory for storing a gain correction value input from the CPU 8 and a D / A converter DAC for converting digital data input from the memory into digital to analog (D / A) signals. Gain adjustment circuit 7a, a memory for storing an offset correction value input from CPU 8, and a D / A converter D / A for D / A converting digital data input from this memory.
And an offset adjustment circuit 7b composed of AC. Then, the adjusting circuit 7 controls the CPU 8 for each diagnostic board 9 mounted on the plurality of slots of the thermostat 2.
The gain correction value and the offset correction value calculated by the above are sequentially stored in a memory in the gain adjustment circuit 7a or a memory in the offset adjustment circuit 7b. The adjustment circuit 7 includes a gain adjustment circuit 7 a and an offset adjustment circuit 7.
When testing the device under test, the A / D converter ADC of the current measuring circuit 6 is adjusted based on the correction value corresponding to each diagnostic board 9 stored in the memory in b.
【００３０】ＣＰＵ８は、図示しないＲＯＭ等に格納さ
れたプログラムに基づく処理を行う。すなわち、診断ボ
ード９上の電流測定回路４内のＡ／ＤコンバータＡＤＣ
から入力されるデジタルデータに基づいて、電流測定回
路４によって測定される電流値を算出し、この電流値を
基準値とする。そして、同様に、電流測定回路６内のＡ
／ＤコンバータＡＤＣから入力されるデジタルデータに
基づいて、電流測定回路６によって測定される電流値を
算出し、当該算出された電流値を測定値とする。The CPU 8 performs processing based on a program stored in a ROM or the like (not shown). That is, the A / D converter ADC in the current measurement circuit 4 on the diagnostic board 9
A current value measured by the current measuring circuit 4 is calculated based on the digital data input from the, and this current value is used as a reference value. Then, similarly, A in the current measurement circuit 6
A current value measured by the current measurement circuit 6 is calculated based on digital data input from the / D converter ADC, and the calculated current value is used as a measured value.
【００３１】更に、前記測定値と前記基準値とを比較
し、前記測定値が前記基準値と合致しない場合には、前
記測定値が前記基準値と合致するように電流測定回路６
内のＡ／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及びオフセットを
調整するためのゲイン補正値及びオフセット補正値を算
出して、バスを介してそれぞれゲイン調整回路７ａある
いはオフセット調整回路７ｂに出力する。また、ＣＰＵ
８は、ＲＯＭ等に格納されたプログラムに基づいて診断
ボード９上の電流測定回路４内の電流値切り換え回路３
のリレーを適宜切り換える信号を出力して、電流値切り
換え回路３を制御する。Further, the measured value is compared with the reference value. If the measured value does not match the reference value, the current measuring circuit 6 is adjusted so that the measured value matches the reference value.
Calculate a gain correction value and an offset correction value for adjusting the gain and offset of the A / D converter ADC therein, and output them to the gain adjustment circuit 7a or the offset adjustment circuit 7b via the bus. Also, CPU
Reference numeral 8 denotes a current value switching circuit 3 in the current measurement circuit 4 on the diagnostic board 9 based on a program stored in a ROM or the like.
A signal for appropriately switching the relay is output to control the current value switching circuit 3.
【００３２】恒温槽２は、複数のテストバーンインボー
ドを装着するスロットを備えており、所定温度の状態に
おいてテストバーンインボードに実装された被測定デバ
イスの試験を行うために、様々な温度条件に従う環境を
作り出す。The thermostatic chamber 2 has a slot for mounting a plurality of test burn-in boards, and performs an environment under various temperature conditions in order to test a device to be measured mounted on the test burn-in board at a predetermined temperature. To produce
【００３３】診断ボード９は、テストバーンイン装置１
の電源電流測定回路の動作が正常であるか診断を行うた
めのボードであり、テストバーンイン装置１側の電流測
定回路６とは独立の電流測定回路４を備えている。The diagnostic board 9 includes the test burn-in device 1
This is a board for diagnosing whether the operation of the power supply current measurement circuit is normal or not, and includes a current measurement circuit 4 independent of the current measurement circuit 6 on the test burn-in device 1 side.
【００３４】電流測定回路４は、図１に示すように、電
流値切り換え回路３と、電流値切り換え回路３の両端の
電圧値を増幅する増幅回路ＡＭＰと、この増幅回路ＡＭ
Ｐの出力値をＡ／Ｄ変換するＡ／ＤコンバータＡＤＣと
によって構成されている。この電流測定回路４内の電流
値切り換え回路３は、図１に示すように、直列に接続さ
れた抵抗Ｒi （i ＝１〜４）とリレーＲＬとが、並列に
接続されることによって構成されており、リレーＲＬ側
のノードがテストバーンイン装置１内の電流測定回路６
の出力端子と接続され、抵抗Ｒi 側のノードがグランド
ＧＮＤに接続されて接地されている。この電流値切り換
え回路３は、テストバーンイン装置１内のＣＰＵ８によ
り制御されるリレーＲＬの切換によって、並列接続され
る抵抗Ｒi の組み合わせを切り換えて測定する電流のレ
ンジを選択する。As shown in FIG. 1, the current measuring circuit 4 includes a current value switching circuit 3, an amplifier circuit AMP for amplifying a voltage value at both ends of the current value switching circuit 3, and an amplifier circuit AM.
And an A / D converter ADC for A / D converting the output value of P. As shown in FIG. 1, the current value switching circuit 3 in the current measuring circuit 4 is configured by connecting a resistor Ri (i = 1 to 4) connected in series and a relay RL in parallel. The node on the relay RL side is connected to the current measuring circuit 6 in the test burn-in device 1
, And the node on the side of the resistor Ri is connected to the ground GND and grounded. The current value switching circuit 3 selects a range of the current to be measured by switching the combination of the resistors Ri connected in parallel by switching the relay RL controlled by the CPU 8 in the test burn-in device 1.
【００３５】そして、電流測定回路４は、電流値切り換
え回路３の両端の電圧値を、増幅回路ＡＭＰによって所
定の増幅率で増幅し、Ａ／ＤコンバータＡＤＣによって
Ａ／Ｄ変換した後、バスを介してＣＰＵ８に対して出力
する。また、電流測定回路４のＡ／ＤコンバータＡＤＣ
は、ゲイン及びオフセットの値を外部から調整すること
が可能であり、回路の信頼性を向上させるために定期的
に構成することができる。Then, the current measuring circuit 4 amplifies the voltage value at both ends of the current value switching circuit 3 at a predetermined amplification rate by the amplifier circuit AMP and A / D converts the voltage value by the A / D converter ADC. Output to the CPU 8 via. The A / D converter ADC of the current measuring circuit 4
Can externally adjust gain and offset values, and can be configured periodically to improve circuit reliability.
【００３６】次に動作を説明する。まず、テストバーン
イン装置１内のＰＳ電源５は、所定の定電源電圧を発生
し、電流測定回路６、及び診断ボード９内の電流測定回
路４に対して電源を供給する。また、ＣＰＵ８は、電流
値切り換え回路３の抵抗Ｒi の組み合わせを切り換える
ためのリレーＲＬ制御信号を出力し、電流値切り換え回
路３を測定する電流のレンジに切り換える。Next, the operation will be described. First, the PS power supply 5 in the test burn-in device 1 generates a predetermined constant power supply voltage and supplies power to the current measurement circuit 6 and the current measurement circuit 4 in the diagnostic board 9. Further, the CPU 8 outputs a relay RL control signal for switching the combination of the resistance Ri of the current value switching circuit 3 and switches the current value switching circuit 3 to the range of the current to be measured.
【００３７】そして、電流測定回路６は、抵抗Ｒの両端
の電圧値を、増幅回路ＡＭＰによって所定の増幅率で増
幅し、Ａ／ＤコンバータＡＤＣによってＡ／Ｄ変換した
後、バスを介してＣＰＵ８に対して出力する。同様に、
電流測定回路４は、ＣＰＵ８のリレーＲＬ制御信号によ
って電流測定レンジを切り換えられた電流値切り換え回
路３の両端の電圧値を、増幅回路ＡＭＰによって所定の
増幅率で増幅し、Ａ／ＤコンバータＡＤＣによってＡ／
Ｄ変換した後、バスを介してＣＰＵ８に対して出力す
る。Then, the current measuring circuit 6 amplifies the voltage value at both ends of the resistor R at a predetermined amplification rate by the amplifier circuit AMP, and A / D converts the voltage value by the A / D converter ADC. Output to Similarly,
The current measurement circuit 4 amplifies the voltage value at both ends of the current value switching circuit 3 whose current measurement range has been switched by the relay RL control signal of the CPU 8 at a predetermined amplification factor by the amplifier circuit AMP, and by the A / D converter ADC. A /
After the D conversion, it is output to the CPU 8 via the bus.
【００３８】ＣＰＵ８は、図示しないＲＯＭ等に格納さ
れたプログラムに基づく処理を行い、電流測定回路４内
のＡ／ＤコンバータＡＤＣから入力されるデジタルデー
タに基づいて、電流測定回路４によって測定される電流
値を算出し、この電流値を基準値とする。同様に、ＣＰ
Ｕ８は、電流測定回路６内のＡ／ＤコンバータＡＤＣか
ら入力されるデジタルデータに基づいて、電流測定回路
６によって測定される電流値を算出し、当該算出された
電流値を測定値とする。The CPU 8 performs processing based on a program stored in a ROM (not shown) or the like, and is measured by the current measuring circuit 4 based on digital data input from an A / D converter ADC in the current measuring circuit 4. A current value is calculated, and this current value is used as a reference value. Similarly, CP
U8 calculates a current value measured by the current measurement circuit 6 based on digital data input from the A / D converter ADC in the current measurement circuit 6, and sets the calculated current value as a measurement value.
【００３９】そして、ＣＰＵ８は、前記測定値と前記基
準値とを比較し、前記測定値が前記基準値と合致しない
場合には、前記測定値が前記基準値と合致するように電
流測定回路６内のＡ／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及び
オフセットを調整するためのゲイン補正値及びオフセッ
ト補正値を算出して、バスを介してそれぞれゲイン調整
回路７ａあるいはオフセット調整回路７ｂに出力する。Then, the CPU 8 compares the measured value with the reference value. If the measured value does not match the reference value, the current measuring circuit 6 determines that the measured value matches the reference value. Calculate a gain correction value and an offset correction value for adjusting the gain and offset of the A / D converter ADC therein, and output them to the gain adjustment circuit 7a or the offset adjustment circuit 7b via the bus.
【００４０】調整回路７は、ＣＰＵ８から入力されるゲ
イン補正値をゲイン調整回路７ａ内のメモリに格納し、
更にＤ／ＡコンバータＤＡＣによってＤ／Ａ変換して電
流測定回路６のゲイン調整入力とするとともに、ＣＰＵ
８から入力されるオフセット補正値をオフセット調整回
路７ｂ内のメモリに格納し、更にＤ／ＡコンバータＤＡ
ＣによってＤ／Ａ変換して電流測定回路６のオフセット
調整入力とする。このことにより、電流測定回路６内の
Ａ／ＤコンバータＡＤＣからバスを介してＣＰＵ８に対
して出力されるデジタルデータの値が変更される。The adjustment circuit 7 stores the gain correction value input from the CPU 8 in a memory in the gain adjustment circuit 7a,
Further, the D / A converter DAC performs D / A conversion to obtain a gain adjustment input of the current measuring circuit 6 and a CPU.
8 is stored in a memory in the offset adjustment circuit 7b, and is further stored in the D / A converter DA.
D / A conversion is performed by C to obtain an offset adjustment input of the current measurement circuit 6. As a result, the value of the digital data output from the A / D converter ADC in the current measuring circuit 6 to the CPU 8 via the bus is changed.
【００４１】更に、ＣＰＵ８は、当該デジタルデータに
基づいて再度電流値を算出して、当該算出された電流値
を測定値として前記基準値と比較する。そして、前記測
定値と前記基準値が合致していない場合には、ＣＰＵ８
は、再び前記測定値が前記基準値と合致するように電流
測定回路６内のＡ／ＤコンバータＡＤＣのゲイン及びオ
フセットを調整するためのゲイン補正値及びオフセット
補正値を算出して、バスを介してそれぞれゲイン調整回
路７ａあるいはオフセット調整回路７ｂに出力する。Further, the CPU 8 calculates a current value again based on the digital data, and compares the calculated current value as a measured value with the reference value. If the measured value does not match the reference value, the CPU 8
Calculates a gain correction value and an offset correction value for adjusting the gain and offset of the A / D converter ADC in the current measuring circuit 6 again so that the measured value matches the reference value, and then calculates the corrected value via the bus. Output to the gain adjustment circuit 7a or the offset adjustment circuit 7b, respectively.
【００４２】このような処理によって前記測定値と前記
基準値が合致した場合には、その時点での前記ゲイン補
正値及びオフセット補正値を最終値として、診断ボード
９に対する電源電流測定処理を終了し、同様の処理を繰
り返すことによって、複数の診断ボード９に対して順次
電源電流測定処理を行う。When the measured value and the reference value match by such processing, the power supply current measuring processing for the diagnostic board 9 is terminated with the gain correction value and offset correction value at that time as final values. By repeating the same processing, the power supply current measurement processing is sequentially performed on the plurality of diagnostic boards 9.
【００４３】以上説明したように、本実施の形態におけ
るテストバーンインシステム１００によれば、ＰＳ電源
５から電源が供給されると、電流測定回路６は、測定す
る電流値に比例する抵抗Ｒの両端電圧値に基づくデジタ
ルデータを、バスを介してＣＰＵ８に対して出力し、同
様に、電流測定回路４は、測定する電流値に比例する電
流値切り換え回路３の両端の電圧値に基づくデジタルデ
ータを、ＣＰＵ８に対して出力する。そして、ＣＰＵ８
は、電流測定回路６を補正するためのゲイン補正値及び
オフセット補正値を算出して調整回路７に転送し、調整
回路７は、当該補正値をメモリに格納した後、Ｄ／Ａ変
換して電流測定回路６内のＡ／ＤコンバータＡＤＣに対
して出力してＡ／ＤコンバータＡＤＣから出力されるデ
ジタルデータの値を補正する。As described above, according to the test burn-in system 100 of the present embodiment, when the power is supplied from the PS power supply 5, the current measuring circuit 6 detects both ends of the resistor R proportional to the current value to be measured. The digital data based on the voltage value is output to the CPU 8 via the bus. Similarly, the current measuring circuit 4 converts the digital data based on the voltage value at both ends of the current value switching circuit 3 proportional to the measured current value. , To the CPU 8. And CPU8
Calculates a gain correction value and an offset correction value for correcting the current measurement circuit 6 and transfers them to the adjustment circuit 7. The adjustment circuit 7 stores the correction value in a memory and then performs D / A conversion. It outputs to the A / D converter ADC in the current measuring circuit 6 and corrects the value of digital data output from the A / D converter ADC.
【００４４】したがって、電流測定回路４を内蔵した校
正された診断ボード９を恒温槽２に装着して電流測定回
路４によって測定された電流値を基準値とし、テストバ
ーンイン装置１側の電流測定回路６の電流測定値をＣＰ
Ｕ８、及び調整回路７によって補正することができるた
め、テストバーンインシステム１００の電流を自動的に
測定することができるとともに、テストバーンイン装置
１に内蔵された電流測定回路６の自動調整を行うことが
できる。このことにより、テストバーンインシステム１
００を校正する作業を短時間で行うことができるととも
に、定期的に校正された電流測定回路４を内蔵する診断
ボード９によってテストバーンインシステム１００を校
正することにより、手動で行う校正作業と比較して正確
な校正を行うことができる。Therefore, the calibrated diagnostic board 9 incorporating the current measuring circuit 4 is mounted on the thermostat 2 and the current value measured by the current measuring circuit 4 is used as a reference value, and the current measuring circuit on the test burn-in device 1 side is used. The current measurement of 6 is CP
Since the correction can be performed by the U8 and the adjusting circuit 7, the current of the test burn-in system 100 can be automatically measured, and the current measuring circuit 6 built in the test burn-in apparatus 1 can be automatically adjusted. it can. As a result, the test burn-in system 1
The calibration work can be performed in a short period of time, and the test burn-in system 100 is calibrated by the diagnostic board 9 having the current measurement circuit 4 that is periodically calibrated. And accurate calibration can be performed.
【００４５】[0045]
【発明の効果】請求項１または請求項５記載の発明によ
れば、診断ボードを恒温槽に装着して、診断ボード側で
測定された電流値を基準値とし、テストバーンイン装置
側で測定された電流値を補正することができるため、テ
ストバーンインシステムの電流を自動的に測定すること
ができるとともに、テストバーンイン装置側の電流測定
機能の自動調整を行うことができる。このことにより、
テストバーンインシステムを校正する作業を短時間で行
うことができるとともに、定期的に校正された診断ボー
ドによってテストバーンインシステムを校正することに
より、手動で行う校正作業と比較して正確な校正を行う
ことができる。According to the first or fifth aspect of the present invention, the diagnostic board is mounted on a constant temperature bath, and the current value measured on the diagnostic board side is used as a reference value to measure the current value on the test burn-in apparatus side. Since the current value can be corrected, the current of the test burn-in system can be automatically measured, and the current measurement function of the test burn-in device can be automatically adjusted. This allows
The test burn-in system can be calibrated in a short period of time, and the test burn-in system is calibrated with a regularly calibrated diagnostic board, so that it can be calibrated more accurately than manual calibration. Can be.
【００４６】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の効果に加えて、測定する電流レンジを適宜切
り換えることができるとともに、Ａ／Ｄ変換回路のゲイ
ンやオフセット等を調整することにより、前記第１の電
流測定手段自身を容易に校正することができるため、定
期的に前記第１の電流測定手段を校正した上でテストバ
ーンインシステムの校正を行うこととすれば、より正確
な校正を行うことができる。また、アナログ信号をデジ
タル信号にＡ／Ｄ変換することにより、測定された電流
値を補正する信号を生成する補正信号生成手段として
は、予めＲＯＭ等に格納されたプログラムを実行するＣ
ＰＵ等を使用することができるため、テストバーンイン
システムの汎用性を高めることができる。According to the second aspect of the present invention, in addition to the effect of the first aspect of the invention, the current range to be measured can be appropriately switched, and the gain and offset of the A / D conversion circuit are adjusted. This makes it possible to easily calibrate the first current measuring means itself. Therefore, if the first current measuring means is periodically calibrated and then the test burn-in system is calibrated, more accurate Calibration can be performed. The correction signal generating means for generating a signal for correcting the measured current value by A / D converting an analog signal into a digital signal includes a C which executes a program stored in a ROM or the like in advance.
Since a PU or the like can be used, the versatility of the test burn-in system can be improved.
【００４７】請求項３記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の効果に加えて、アナログ信号をデジタル信号
にＡ／Ｄ変換することにより、測定された電流値を補正
する信号を生成する補正信号生成手段としては、予めＲ
ＯＭ等に格納されたプログラムを実行するＣＰＵ等を使
用することができるため、テストバーンインシステムの
汎用性を高めることができる。According to the third aspect of the present invention, in addition to the effect of the first aspect, a signal for correcting the measured current value is generated by A / D converting an analog signal into a digital signal. As the correction signal generating means for performing
Since a CPU that executes a program stored in the OM or the like can be used, the versatility of the test burn-in system can be improved.
【００４８】請求項４記載の発明によれば、請求項３記
載の発明の効果に加えて、前記第２の電流測定手段を構
成するＡ／Ｄ変換回路のゲイン及びオフセットを調整す
ることにより、前記第２の電流測定手段の校正を容易に
行うことができる。According to the fourth aspect of the invention, in addition to the effect of the third aspect of the invention, by adjusting the gain and offset of the A / D conversion circuit constituting the second current measuring means, Calibration of the second current measuring means can be easily performed.
【図１】本発明の一実施の形態におけるテストバーンイ
ンシステム１００の電源電流測定に関与する回路構成を
示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a circuit configuration involved in power supply current measurement of a test burn-in system 100 according to an embodiment of the present invention.
【図２】従来のテストバーンインシステムにおいて、テ
ストバーンイン装置の電流測定回路を校正する場合の接
続状態を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a connection state when calibrating a current measurement circuit of a test burn-in device in a conventional test burn-in system.
１００ テストバーンインシステム １ テストバーンイン装置 ２ 恒温槽 ３ 電流値切り換え回路 ４ 電流測定回路 ５ ＰＳ電源 ６ 電流測定回路 ７ 調整回路 ７ａ ゲイン調整回路 ７ｂ オフセット調整回路 ８ ＣＰＵ ９ 診断ボード ２００ テストバーンインシステム １０ 電子負荷 １１ テストバーンイン装置 １２ 恒温槽 １５ ＰＳ電源 １６ 電流測定回路 １８ ＣＰＵ １９ 診断ボード REFERENCE SIGNS LIST 100 test burn-in system 1 test burn-in device 2 constant temperature chamber 3 current value switching circuit 4 current measurement circuit 5 PS power supply 6 current measurement circuit 7 adjustment circuit 7 a gain adjustment circuit 7 b offset adjustment circuit 8 CPU 9 diagnostic board 200 test burn-in system 10 electronic load Reference Signs List 11 Test burn-in device 12 Constant temperature bath 15 PS power supply 16 Current measurement circuit 18 CPU 19 Diagnostic board
Claims (5)
槽と、この恒温槽内に装着されたテストバーンインボー
ドに実装される被測定デバイスに対して試験信号を印可
して被測定デバイスの良否を判定するテストバーンイン
装置とによって構成されるテストバーンインシステムに
おいて、 前記恒温槽は、 前記テストバーンイン装置から供給される電源の電流値
を測定する第１の電流測定手段を備える診断ボードを装
着し、 前記テストバーンイン装置は、 当該テストバーンイン装置に所定電圧の電源を供給する
電源装置と、 この電源装置から当該テストバーンイン装置に供給され
る電源の電流値を測定する第２の電流測定手段と、 前記第１の電流測定手段によって測定される電流値を基
準値として、前記第２の電流測定手段によって測定され
る電流値を補正するための補正信号を生成する補正信号
生成手段と、 この補正信号生成手段によって生成される補正信号に基
づいて、前記第２の電源電流測定手段によって測定され
る電流値を調整する調整手段と、 によって構成されることを特徴とするテストバーンイン
システム。An apparatus for generating an environment according to a predetermined temperature condition, and applying a test signal to a device to be measured mounted on a test burn-in board mounted in the constant temperature bath to determine whether the device to be measured is good or bad. A test burn-in system configured by a test burn-in device that determines a value of the test burn-in device, wherein the thermostatic chamber is equipped with a diagnostic board including first current measuring means for measuring a current value of a power supply supplied from the test burn-in device; A power supply unit for supplying power of a predetermined voltage to the test burn-in device; a second current measuring unit for measuring a current value of a power supply supplied from the power supply device to the test burn-in device; Using the current value measured by the first current measuring means as a reference value, the current value measured by the second current measuring means is used. Correction signal generation means for generating a correction signal for correcting a current value to be adjusted, and adjusting the current value measured by the second power supply current measurement means based on the correction signal generated by the correction signal generation means. A test burn-in system.
接地されており、抵抗値を切り換えることによって測定
する電流レンジを切り換え可能とする電流値切り換え回
路と、 この電流値切り換え回路の両端電圧の値を所定増幅率で
増幅する増幅回路と、 この増幅回路から入力されるアナログ信号をデジタル信
号に変換するＡ／Ｄ変換回路と、 によって構成されることを特徴とする請求項１記載のテ
ストバーンインシステム。2. The first current measuring means has one end connected to the second current measuring means and the other end grounded, and is capable of switching a current range to be measured by switching a resistance value. A current value switching circuit, an amplifier circuit for amplifying a voltage value between both ends of the current value switching circuit at a predetermined gain, an A / D converter circuit for converting an analog signal input from the amplifier circuit into a digital signal, The test burn-in system according to claim 1, wherein
手段と接続されており、前記電源装置から供給される電
源電圧に応じて両端間に電圧降下による電圧を生じる抵
抗器と、 この抵抗器の両端電圧の値を所定増幅率で増幅する増幅
回路と、 この増幅回路から入力されるアナログ信号をデジタル信
号に変換するＡ／Ｄ変換回路と、 によって構成されることを特徴とする請求項１記載のテ
ストバーンインシステム。3. The second current measuring means has one end connected to the power supply device and the other end connected to the first current measurement means, and is connected to a power supply voltage supplied from the power supply device. A resistor that generates a voltage due to a voltage drop between both ends; an amplifier circuit that amplifies the value of the voltage between both ends of the resistor at a predetermined amplification factor; The test burn-in system according to claim 1, wherein the test burn-in system comprises: a conversion circuit.
測定手段によって測定される電流値を補正するための補
正信号として、前記第２の電流測定手段を構成するＡ／
Ｄ変換回路のゲインを補正するゲイン補正信号及びオフ
セットを補正するオフセット補正信号を生成し、 前記調整手段は、前記ゲイン補正信号及び前記オフセッ
ト補正信号に基づいて、前記第２の電流測定手段を構成
するＡ／Ｄ変換回路のゲイン及びオフセットを調整する
ことを特徴とする請求項３記載のテストバーンインシス
テム。4. The A / D converter according to claim 2, wherein said correction signal generating means includes an A / A signal constituting said second current measuring means as a correction signal for correcting a current value measured by said second current measuring means.
A gain correction signal for correcting a gain of the D conversion circuit and an offset correction signal for correcting an offset are generated. The adjustment unit configures the second current measurement unit based on the gain correction signal and the offset correction signal. 4. The test burn-in system according to claim 3, wherein a gain and an offset of the A / D conversion circuit are adjusted.
槽と、この恒温槽内に装着されたテストバーンインボー
ドに実装される被測定デバイスに対して試験信号を印可
して被測定デバイスの良否を判定するテストバーンイン
装置とによって構成されるテストバーンインシステムの
電源電流測定機能を校正するテストバーンインシステム
校正方法において、 前記恒温槽に装着された診断ボード側で、前記テストバ
ーンイン装置から供給される電源の電流値を測定し、 前記テストバーンイン装置側で、所定電圧の電源を供給
する電源装置から当該テストバーンイン装置に供給され
る電源の電流値を測定し、前記診断ボード側で測定され
る電流値を基準値として、前記テストバーンイン装置側
で測定される電流値を補正するための補正信号を生成
し、当該生成される補正信号に基づいて、前記テストバ
ーンイン装置側で測定される電流値を調整することを特
徴とするテストバーンインシステム校正方法。5. A test chamber for generating an environment according to a predetermined temperature condition, and applying a test signal to a device under test mounted on a test burn-in board mounted in the thermostat to determine whether the device under test is good or bad. A test burn-in system calibration method for calibrating a power supply current measurement function of a test burn-in system configured by a test burn-in device for determining whether power is supplied from the test burn-in device on the diagnostic board mounted on the constant temperature chamber The test burn-in device side measures a current value of a power supply supplied to the test burn-in device from a power supply device that supplies power of a predetermined voltage, and a current value measured on the diagnostic board side A correction signal for correcting the current value measured on the test burn-in device side with reference to , Based on the correction signal the generated test burn system calibration method characterized by adjusting the current value measured by the test burn-in system side.
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