JP2000000729A - 真空吸着装置とその吸着方法 - Google Patents
真空吸着装置とその吸着方法Info
- Publication number
- JP2000000729A JP2000000729A JP10164698A JP16469898A JP2000000729A JP 2000000729 A JP2000000729 A JP 2000000729A JP 10164698 A JP10164698 A JP 10164698A JP 16469898 A JP16469898 A JP 16469898A JP 2000000729 A JP2000000729 A JP 2000000729A
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- Japan
- Prior art keywords
- rod
- vacuum
- suction device
- vacuum suction
- shaped rod
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 対象物を吸着した後の確認信号の出力が短時
間に行われる真空吸着装置を提供する。 【解決手段】 先端部分にバキュームパッド２が設けら
れ、このバキュームパッド２で真空吸着するようにした
真空吸着装置１において、前記バキュームパッド２が所
定の対象物９を吸着したことを確認するための棒状のロ
ッド４をこの真空吸着装置１の中心軸上８に設け、この
棒状のロッド４が所定の対象物９を吸着した際、所定の
確認信号を出力するように構成したことを特徴とする。
間に行われる真空吸着装置を提供する。 【解決手段】 先端部分にバキュームパッド２が設けら
れ、このバキュームパッド２で真空吸着するようにした
真空吸着装置１において、前記バキュームパッド２が所
定の対象物９を吸着したことを確認するための棒状のロ
ッド４をこの真空吸着装置１の中心軸上８に設け、この
棒状のロッド４が所定の対象物９を吸着した際、所定の
確認信号を出力するように構成したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空吸着装置とそ
の吸着方法に係わり、特に、半導体製造工程における加
工後のＩＣの搬送に好適な真空吸着装置に関する。
の吸着方法に係わり、特に、半導体製造工程における加
工後のＩＣの搬送に好適な真空吸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、バキュームヘッドによるＩＣ
の吸着装置においては、正常に吸着されたかどうかの確
認をバキュームセンサーで行っていた。従来のバキュー
ムセンサーは、真空到達度のレベルによりセンサーをＯ
Ｎ、ＯＦＦさせるため、配管長、配管径の影響を受けや
すく、このため、センサーがＯＮする迄の時間がかか
り、装置の生産能率を低下させる大きな要因になってい
た。
の吸着装置においては、正常に吸着されたかどうかの確
認をバキュームセンサーで行っていた。従来のバキュー
ムセンサーは、真空到達度のレベルによりセンサーをＯ
Ｎ、ＯＦＦさせるため、配管長、配管径の影響を受けや
すく、このため、センサーがＯＮする迄の時間がかか
り、装置の生産能率を低下させる大きな要因になってい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
した従来技術の欠点を改良し、特に、ＩＣを吸着すると
同時にスイッチＯＮさせ、直ちに吸着の状態を確認する
ことのできる新規な真空吸着装置とその吸着方法を提供
するものである。
した従来技術の欠点を改良し、特に、ＩＣを吸着すると
同時にスイッチＯＮさせ、直ちに吸着の状態を確認する
ことのできる新規な真空吸着装置とその吸着方法を提供
するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、基本的には、以下に記載されたような技
術構成を採用するものである。即ち、本発明に係わる真
空吸着装置の第１態様は、先端部分にバキュームパッド
が設けられ、このバキュームパッドで真空吸着するよう
にした真空吸着装置において、前記バキュームパッドが
所定の対象物を吸着したことを確認するための棒状のロ
ッドをこの真空吸着装置の中心軸上に設け、この棒状の
ロッドが所定の対象物を吸着した際、この真空吸着装置
は所定の確認信号を出力するように構成したことを特徴
とするものであり、又、第２態様は、前記棒状のロッド
は、第１の位置と第２の位置を有し、前記第１の位置に
ある時、所定の対象物を吸着しない状態であり、前記第
２の位置にある時、所定の対象物を吸着している状態で
あることを特徴とするものであり、又、第３態様は、前
記棒状のロッドの先端部分は、前記第１の位置にある
時、前記バキュームパッドより突出していることを特徴
とするものであり、又、第４態様は、前記棒状のロッド
は、ばねにより前記バキュームパッド方向に付勢されて
いることを特徴とするものであり、又、第５態様は、前
記確認信号出力用のスイッチが設けられ、前記棒状のロ
ッドが第２の位置にあるとき、前記スイッチが所定の対
象物を吸着したことを示す確認信号を出力することを特
徴とするものである。
達成するため、基本的には、以下に記載されたような技
術構成を採用するものである。即ち、本発明に係わる真
空吸着装置の第１態様は、先端部分にバキュームパッド
が設けられ、このバキュームパッドで真空吸着するよう
にした真空吸着装置において、前記バキュームパッドが
所定の対象物を吸着したことを確認するための棒状のロ
ッドをこの真空吸着装置の中心軸上に設け、この棒状の
ロッドが所定の対象物を吸着した際、この真空吸着装置
は所定の確認信号を出力するように構成したことを特徴
とするものであり、又、第２態様は、前記棒状のロッド
は、第１の位置と第２の位置を有し、前記第１の位置に
ある時、所定の対象物を吸着しない状態であり、前記第
２の位置にある時、所定の対象物を吸着している状態で
あることを特徴とするものであり、又、第３態様は、前
記棒状のロッドの先端部分は、前記第１の位置にある
時、前記バキュームパッドより突出していることを特徴
とするものであり、又、第４態様は、前記棒状のロッド
は、ばねにより前記バキュームパッド方向に付勢されて
いることを特徴とするものであり、又、第５態様は、前
記確認信号出力用のスイッチが設けられ、前記棒状のロ
ッドが第２の位置にあるとき、前記スイッチが所定の対
象物を吸着したことを示す確認信号を出力することを特
徴とするものである。
【０００５】又、本発明に係る真空吸着装置の吸着方法
の態様は、先端部分にバキュームパッドが設けられ、こ
のバキュームパッドで真空吸着するようにした真空吸着
装置の吸着方法において、前記バキュームパッドを対象
物に密着させて吸着する工程と、前記吸着装置に設けら
れた棒状のロッドを、前記バキュームパッド内に移動せ
しめる工程と、前記棒状のロッドがスイッチを作動せし
める工程と、前記スイッチが対象物を吸着したことを示
す確認信号を出力する工程と、を含むことを特徴とする
ものである。
の態様は、先端部分にバキュームパッドが設けられ、こ
のバキュームパッドで真空吸着するようにした真空吸着
装置の吸着方法において、前記バキュームパッドを対象
物に密着させて吸着する工程と、前記吸着装置に設けら
れた棒状のロッドを、前記バキュームパッド内に移動せ
しめる工程と、前記棒状のロッドがスイッチを作動せし
める工程と、前記スイッチが対象物を吸着したことを示
す確認信号を出力する工程と、を含むことを特徴とする
ものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明に係わる真空吸着装置は、
先端部分にバキュームパッドが設けられ、このバキュー
ムパッドで真空吸着するようにした真空吸着装置におい
て、前記バキュームパッドが所定の対象物を吸着したこ
とを確認するための棒状のロッドをこの真空吸着装置の
中心軸上に設け、この棒状のロッドが所定の対象物を吸
着した際、この真空吸着装置は所定の確認信号を出力す
るように構成したものであるから、対象物を吸着した後
の確認信号の出力が短時間に行われ、このため製造ライ
ンの効率が向上する。
先端部分にバキュームパッドが設けられ、このバキュー
ムパッドで真空吸着するようにした真空吸着装置におい
て、前記バキュームパッドが所定の対象物を吸着したこ
とを確認するための棒状のロッドをこの真空吸着装置の
中心軸上に設け、この棒状のロッドが所定の対象物を吸
着した際、この真空吸着装置は所定の確認信号を出力す
るように構成したものであるから、対象物を吸着した後
の確認信号の出力が短時間に行われ、このため製造ライ
ンの効率が向上する。
【０００７】
【実施例】以下に、本発明に係わる真空吸着装置とその
吸着方法の具体例を図面を参照しながら詳細に説明す
る。図１は、本発明に係わる真空吸着装置の具体例の構
造を示す図であって、これらの図には、先端部分にバキ
ュームパッド２が設けられ、このバキュームパッド２で
真空吸着するようにした真空吸着装置１において、前記
バキュームパッド２が所定の対象物９を吸着したことを
確認するための棒状のロッド４をこの真空吸着装置１の
中心軸上８に設け、この棒状のロッド４が所定の対象物
９を吸着した際、所定の確認信号を出力するように構成
した真空吸着装置１が示されている。
吸着方法の具体例を図面を参照しながら詳細に説明す
る。図１は、本発明に係わる真空吸着装置の具体例の構
造を示す図であって、これらの図には、先端部分にバキ
ュームパッド２が設けられ、このバキュームパッド２で
真空吸着するようにした真空吸着装置１において、前記
バキュームパッド２が所定の対象物９を吸着したことを
確認するための棒状のロッド４をこの真空吸着装置１の
中心軸上８に設け、この棒状のロッド４が所定の対象物
９を吸着した際、所定の確認信号を出力するように構成
した真空吸着装置１が示されている。
【０００８】そして、前記棒状のロッド４は、図１に示
された第１の位置と図２に示された第２の位置を有し、
前記第１の位置にある時、所定の対象物であるＩＣ９を
吸着しない状態であり、前記第２の位置にある時、所定
の対象物９を吸着している状態となる。なお、前記棒状
のロッド４の先端部分４ａは、前記第１の位置にある
時、前記バキュームパッド２よりわずか突出するように
構成され、また、前記棒状のロッド４は、ばねであるコ
イルスプリング５により、前記バキュームパッド２方向
に付勢されている。
された第１の位置と図２に示された第２の位置を有し、
前記第１の位置にある時、所定の対象物であるＩＣ９を
吸着しない状態であり、前記第２の位置にある時、所定
の対象物９を吸着している状態となる。なお、前記棒状
のロッド４の先端部分４ａは、前記第１の位置にある
時、前記バキュームパッド２よりわずか突出するように
構成され、また、前記棒状のロッド４は、ばねであるコ
イルスプリング５により、前記バキュームパッド２方向
に付勢されている。
【０００９】そして、図２に示したように、ＩＣ９を吸
着して棒状のロッド４が第２の位置にあるとき、棒状の
ロッド４に取り付けられているマグネット３がマグネッ
トスイッチ６に接近するので、これにより、マグネット
スイッチ６は、ＩＣ９を吸着したことを示す確認信号を
出力するように構成している。このように構成した真空
吸着装置において、バキュームパッド２をＩＣ９に密着
させて吸着すると、この真空吸着装置に設けられた棒状
のロッド４はバキュームパッド２内に移動する。そし
て、棒状のロッド４の端部に取り付けられたマグネット
３が、マグネットスイッチ６に接近し、これにより、Ｉ
Ｃ９を吸着したことを示す確認信号を出力する。
着して棒状のロッド４が第２の位置にあるとき、棒状の
ロッド４に取り付けられているマグネット３がマグネッ
トスイッチ６に接近するので、これにより、マグネット
スイッチ６は、ＩＣ９を吸着したことを示す確認信号を
出力するように構成している。このように構成した真空
吸着装置において、バキュームパッド２をＩＣ９に密着
させて吸着すると、この真空吸着装置に設けられた棒状
のロッド４はバキュームパッド２内に移動する。そし
て、棒状のロッド４の端部に取り付けられたマグネット
３が、マグネットスイッチ６に接近し、これにより、Ｉ
Ｃ９を吸着したことを示す確認信号を出力する。
【００１０】そして、所定の位置で吸着を解除すると、
棒状のロッド４は、再び、図１の第１の位置に戻るから
確認信号も停止し、ＩＣ９の搬送が終了する。なお、本
発明では、コイルスプリング５を用いたが、吸着を解除
した際、例えば、棒状のロッド４の自重で図１の第１の
位置に戻るように構成すれば、コイルスプリング５は必
ずしも必要ではない。
棒状のロッド４は、再び、図１の第１の位置に戻るから
確認信号も停止し、ＩＣ９の搬送が終了する。なお、本
発明では、コイルスプリング５を用いたが、吸着を解除
した際、例えば、棒状のロッド４の自重で図１の第１の
位置に戻るように構成すれば、コイルスプリング５は必
ずしも必要ではない。
【００１１】
【発明の効果】本発明に係る真空吸着装置とその吸着方
法は上述のように構成したので、対象物を吸着した後の
確認信号の出力が短時間に行われるから、装置の高速化
を図ることが可能になる。
法は上述のように構成したので、対象物を吸着した後の
確認信号の出力が短時間に行われるから、装置の高速化
を図ることが可能になる。
【図１】本発明に係る真空吸着装置を示し、対象物を吸
着する前の側断面図である。
着する前の側断面図である。
【図２】対象物を吸着した状態での側断面図である。
１ バキュームヘッド本体 ２ バキュームパッド ３ マグネット ４ ロッド ５ コイルスプリング（ばね） ６ マグネットスイッチ ８ 中心軸 ９ ＩＣ（対象物）
Claims (6)
- 【請求項１】 先端部分にバキュームパッドが設けら
れ、このバキュームパッドで真空吸着するようにした真
空吸着装置において、 前記バキュームパッドが所定の対象物を吸着したことを
確認するための棒状のロッドをこの真空吸着装置の中心
軸上に設け、この棒状のロッドが所定の対象物を吸着し
た際、この真空吸着装置は所定の確認信号を出力するよ
うに構成したことを特徴とする真空吸着装置。 - 【請求項２】 前記棒状のロッドは、第１の位置と第２
の位置を有し、前記第１の位置にある時、所定の対象物
を吸着しない状態であり、前記第２の位置にある時、所
定の対象物を吸着している状態であることを特徴とする
請求項１記載の真空吸着装置。 - 【請求項３】 前記棒状のロッドの先端部分は、前記第
１の位置にある時、前記バキュームパッドより突出して
いることを特徴とする請求項１又は２記載の真空吸着装
置。 - 【請求項４】 前記棒状のロッドは、ばねにより前記バ
キュームパッド方向に付勢されていることを特徴とする
請求項１乃至３の何れかに記載の真空吸着装置。 - 【請求項５】 前記確認信号出力用のスイッチが設けら
れ、前記棒状のロッドが第２の位置にあるとき、前記ス
イッチが所定の対象物を吸着したことを示す確認信号を
出力することを特徴とする請求項２乃至４の何れかに記
載の真空吸着装置。 - 【請求項６】 先端部分にバキュームパッドが設けら
れ、このバキュームパッドで真空吸着するようにした真
空吸着装置の吸着方法において、 前記バキュームパッドを対象物に密着させて吸着する工
程と、 前記吸着装置に設けられた棒状のロッドを、前記バキュ
ームパッド内に移動せしめる工程と、 前記棒状のロッドがスイッチを作動せしめる工程と、 前記スイッチが対象物を吸着したことを示す確認信号を
出力する工程と、 を含むことを特徴とする真空吸着装置の吸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10164698A JP2000000729A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 真空吸着装置とその吸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10164698A JP2000000729A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 真空吸着装置とその吸着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000000729A true JP2000000729A (ja) | 2000-01-07 |
Family
ID=15798180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10164698A Pending JP2000000729A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 真空吸着装置とその吸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000000729A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL2019526B1 (nl) * | 2017-09-11 | 2019-03-19 | Harrisson B V | Vacuümkop voor het vastpakken van een voorwerp, in het bijzonder een LED |
-
1998
- 1998-06-12 JP JP10164698A patent/JP2000000729A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL2019526B1 (nl) * | 2017-09-11 | 2019-03-19 | Harrisson B V | Vacuümkop voor het vastpakken van een voorwerp, in het bijzonder een LED |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20041104 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060626 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060704 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20060803 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060829 |
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