JP2000000729A - 真空吸着装置とその吸着方法 - Google Patents
真空吸着装置とその吸着方法Info
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- JP2000000729A JP2000000729A JP10164698A JP16469898A JP2000000729A JP 2000000729 A JP2000000729 A JP 2000000729A JP 10164698 A JP10164698 A JP 10164698A JP 16469898 A JP16469898 A JP 16469898A JP 2000000729 A JP2000000729 A JP 2000000729A
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Abstract
間に行われる真空吸着装置を提供する。 【解決手段】 先端部分にバキュームパッド2が設けら
れ、このバキュームパッド2で真空吸着するようにした
真空吸着装置1において、前記バキュームパッド2が所
定の対象物9を吸着したことを確認するための棒状のロ
ッド4をこの真空吸着装置1の中心軸上8に設け、この
棒状のロッド4が所定の対象物9を吸着した際、所定の
確認信号を出力するように構成したことを特徴とする。
Description
の吸着方法に係わり、特に、半導体製造工程における加
工後のICの搬送に好適な真空吸着装置に関する。
の吸着装置においては、正常に吸着されたかどうかの確
認をバキュームセンサーで行っていた。従来のバキュー
ムセンサーは、真空到達度のレベルによりセンサーをO
N、OFFさせるため、配管長、配管径の影響を受けや
すく、このため、センサーがONする迄の時間がかか
り、装置の生産能率を低下させる大きな要因になってい
た。
した従来技術の欠点を改良し、特に、ICを吸着すると
同時にスイッチONさせ、直ちに吸着の状態を確認する
ことのできる新規な真空吸着装置とその吸着方法を提供
するものである。
達成するため、基本的には、以下に記載されたような技
術構成を採用するものである。即ち、本発明に係わる真
空吸着装置の第1態様は、先端部分にバキュームパッド
が設けられ、このバキュームパッドで真空吸着するよう
にした真空吸着装置において、前記バキュームパッドが
所定の対象物を吸着したことを確認するための棒状のロ
ッドをこの真空吸着装置の中心軸上に設け、この棒状の
ロッドが所定の対象物を吸着した際、この真空吸着装置
は所定の確認信号を出力するように構成したことを特徴
とするものであり、又、第2態様は、前記棒状のロッド
は、第1の位置と第2の位置を有し、前記第1の位置に
ある時、所定の対象物を吸着しない状態であり、前記第
2の位置にある時、所定の対象物を吸着している状態で
あることを特徴とするものであり、又、第3態様は、前
記棒状のロッドの先端部分は、前記第1の位置にある
時、前記バキュームパッドより突出していることを特徴
とするものであり、又、第4態様は、前記棒状のロッド
は、ばねにより前記バキュームパッド方向に付勢されて
いることを特徴とするものであり、又、第5態様は、前
記確認信号出力用のスイッチが設けられ、前記棒状のロ
ッドが第2の位置にあるとき、前記スイッチが所定の対
象物を吸着したことを示す確認信号を出力することを特
徴とするものである。
の態様は、先端部分にバキュームパッドが設けられ、こ
のバキュームパッドで真空吸着するようにした真空吸着
装置の吸着方法において、前記バキュームパッドを対象
物に密着させて吸着する工程と、前記吸着装置に設けら
れた棒状のロッドを、前記バキュームパッド内に移動せ
しめる工程と、前記棒状のロッドがスイッチを作動せし
める工程と、前記スイッチが対象物を吸着したことを示
す確認信号を出力する工程と、を含むことを特徴とする
ものである。
先端部分にバキュームパッドが設けられ、このバキュー
ムパッドで真空吸着するようにした真空吸着装置におい
て、前記バキュームパッドが所定の対象物を吸着したこ
とを確認するための棒状のロッドをこの真空吸着装置の
中心軸上に設け、この棒状のロッドが所定の対象物を吸
着した際、この真空吸着装置は所定の確認信号を出力す
るように構成したものであるから、対象物を吸着した後
の確認信号の出力が短時間に行われ、このため製造ライ
ンの効率が向上する。
吸着方法の具体例を図面を参照しながら詳細に説明す
る。図1は、本発明に係わる真空吸着装置の具体例の構
造を示す図であって、これらの図には、先端部分にバキ
ュームパッド2が設けられ、このバキュームパッド2で
真空吸着するようにした真空吸着装置1において、前記
バキュームパッド2が所定の対象物9を吸着したことを
確認するための棒状のロッド4をこの真空吸着装置1の
中心軸上8に設け、この棒状のロッド4が所定の対象物
9を吸着した際、所定の確認信号を出力するように構成
した真空吸着装置1が示されている。
された第1の位置と図2に示された第2の位置を有し、
前記第1の位置にある時、所定の対象物であるIC9を
吸着しない状態であり、前記第2の位置にある時、所定
の対象物9を吸着している状態となる。なお、前記棒状
のロッド4の先端部分4aは、前記第1の位置にある
時、前記バキュームパッド2よりわずか突出するように
構成され、また、前記棒状のロッド4は、ばねであるコ
イルスプリング5により、前記バキュームパッド2方向
に付勢されている。
着して棒状のロッド4が第2の位置にあるとき、棒状の
ロッド4に取り付けられているマグネット3がマグネッ
トスイッチ6に接近するので、これにより、マグネット
スイッチ6は、IC9を吸着したことを示す確認信号を
出力するように構成している。このように構成した真空
吸着装置において、バキュームパッド2をIC9に密着
させて吸着すると、この真空吸着装置に設けられた棒状
のロッド4はバキュームパッド2内に移動する。そし
て、棒状のロッド4の端部に取り付けられたマグネット
3が、マグネットスイッチ6に接近し、これにより、I
C9を吸着したことを示す確認信号を出力する。
棒状のロッド4は、再び、図1の第1の位置に戻るから
確認信号も停止し、IC9の搬送が終了する。なお、本
発明では、コイルスプリング5を用いたが、吸着を解除
した際、例えば、棒状のロッド4の自重で図1の第1の
位置に戻るように構成すれば、コイルスプリング5は必
ずしも必要ではない。
法は上述のように構成したので、対象物を吸着した後の
確認信号の出力が短時間に行われるから、装置の高速化
を図ることが可能になる。
着する前の側断面図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 先端部分にバキュームパッドが設けら
れ、このバキュームパッドで真空吸着するようにした真
空吸着装置において、 前記バキュームパッドが所定の対象物を吸着したことを
確認するための棒状のロッドをこの真空吸着装置の中心
軸上に設け、この棒状のロッドが所定の対象物を吸着し
た際、この真空吸着装置は所定の確認信号を出力するよ
うに構成したことを特徴とする真空吸着装置。 - 【請求項2】 前記棒状のロッドは、第1の位置と第2
の位置を有し、前記第1の位置にある時、所定の対象物
を吸着しない状態であり、前記第2の位置にある時、所
定の対象物を吸着している状態であることを特徴とする
請求項1記載の真空吸着装置。 - 【請求項3】 前記棒状のロッドの先端部分は、前記第
1の位置にある時、前記バキュームパッドより突出して
いることを特徴とする請求項1又は2記載の真空吸着装
置。 - 【請求項4】 前記棒状のロッドは、ばねにより前記バ
キュームパッド方向に付勢されていることを特徴とする
請求項1乃至3の何れかに記載の真空吸着装置。 - 【請求項5】 前記確認信号出力用のスイッチが設けら
れ、前記棒状のロッドが第2の位置にあるとき、前記ス
イッチが所定の対象物を吸着したことを示す確認信号を
出力することを特徴とする請求項2乃至4の何れかに記
載の真空吸着装置。 - 【請求項6】 先端部分にバキュームパッドが設けら
れ、このバキュームパッドで真空吸着するようにした真
空吸着装置の吸着方法において、 前記バキュームパッドを対象物に密着させて吸着する工
程と、 前記吸着装置に設けられた棒状のロッドを、前記バキュ
ームパッド内に移動せしめる工程と、 前記棒状のロッドがスイッチを作動せしめる工程と、 前記スイッチが対象物を吸着したことを示す確認信号を
出力する工程と、 を含むことを特徴とする真空吸着装置の吸着方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10164698A JP2000000729A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 真空吸着装置とその吸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10164698A JP2000000729A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 真空吸着装置とその吸着方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000000729A true JP2000000729A (ja) | 2000-01-07 |
Family
ID=15798180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10164698A Pending JP2000000729A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 真空吸着装置とその吸着方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000000729A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL2019526B1 (nl) * | 2017-09-11 | 2019-03-19 | Harrisson B V | Vacuümkop voor het vastpakken van een voorwerp, in het bijzonder een LED |
-
1998
- 1998-06-12 JP JP10164698A patent/JP2000000729A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL2019526B1 (nl) * | 2017-09-11 | 2019-03-19 | Harrisson B V | Vacuümkop voor het vastpakken van een voorwerp, in het bijzonder een LED |
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Effective date: 20041104 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060626 |
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