IT9009367A1

IT9009367A1 - Metodo ed impianto interferometrico a frange codificate per rivelazione del fronte d'onda in ottica.

Info

Publication number: IT9009367A1
Application number: IT009367A
Authority: IT
Inventors: Antonio Lapucci
Original assignee: Galileo Spa Off
Priority date: 1990-04-13
Filing date: 1990-04-13
Publication date: 1991-10-13
Also published as: JPH0599610A; EP0452283A3; IT1238711B; US5192982A; IT9009367A0; EP0452283A2

Description

Descrizione dell Invenzione Industriale dal titolo “METODO ED IMPIANTO INTERFEROMETRICO A FRANGE CODIFICATE PER RIVELAZIONE DEL FRONTE D ONDA IN OTTICA

RIASSUNTO

Per la rivelazione del fronte d’onda di un fascio, basata su di una configurazione interferometrica Mach-Zehnder, una rivelazione sincrona - che sostituisce una scansione temporale o una dimensione spaziale della matrice di sensori - e’ ottenuta con una codifica in frequenza delle frange presenti nella funzione I(x,y).

DESCRIZIONE

L'invenzione riguarda un metodo ed una apparecchiatura per la rivelazione del fronte d’onda in specie nel campo dell’ottica adattiva.

Un primo oggetto dell’invenzione e’ un metodo di rivelazione del fronte d’onda di un fascio, basato su di una configurazione interferometrica Mach-Zehnder, secondo il quale, sostanzialmente, una rivelazione sincrona - che sostituisce una scansione temporale o una dimensione spaziale della matrice di sensori - e’ ottenuta con una codifica in frequenza delle frange presenti nella funzione I(x,y).

In una pratica attuazione, viene acquisito un segnale per mezzo di una sezione, parallela all’asse X, del sistema di frange in esame, e viene elaborato il segnale di bassa frequenza centrato attorno ad una frequenza spaziale portante fo, con ricostruzione della fase del campo in modo noto con tecniche di analisi di Fourler, e cosi’ il fronte d’onda sulla sezione Y (costante) in analisi.

Vantaggiosamente si procede alla codifica nella frequenza spaziale delle frange dell’informazione di fase relativa a diversi tagli del profilo trasverso del fascio in esame, con l’impiego di sistemi ottici che consentono di costruire una diversa portante f per ogni y in cui si effettua il campionamento del fascio, con un diverso contributo in tilt (disallineamento) alle diverse ordinate, fra il fascio in esame ed un fascio di riferimento nell’interferometro; il segnale da tutte le sezioni con y costante essendo rivelato con un solo sensore.

Può’ essere previsto l’impiego di una sola matrice lineare parallela all’asse x, oppure l’impiego di un unico rivelatore ed una sola scansione in direzione x.

In una possibile soluzione, si può’ contemplare un filtraggio spaziale del fascio in esame, per ridurre le aberrazioni rivelate alle frequenze . spaziali correggibili.

Può’ essere adottato un pin-hole per evitare sovrapposizioni delle bande dei segnali ed aumentare quindi la nitidezza dei segnali rivelati.

Un altro oggetto dell’invenzione e’ una apparecchiatura cioè’ un impianto per attuare il metodo di rivelazione del fronte d’onda sopra indicato, con l’impiego di un interferometro Mach-Zehnder. L’impianto in oggetto comprende sostanzialmente mezzi per codifica in frequenza come sensore di fronte d’onda.

In una possibile forma di realizzazione, l’impianto può’ comprendere in combinazione: un beam-splitter per generare dal fascio in esame due percorsi distinti; un filtro spaziale su dì un percorso per generare un riferimento piano; sull’altro percorso un filtro spaziale per limitare la banda della distribuzione di aberrazione, ed un componente fortemente astigmatico per introdurre una figura di interferenza "portante"; specchi sui due percorsi ed uno specchio oscillante su un percorso ricongiunto da un beam-splitter; uno schermo con una serie di pin-holes allineati ortogonalmente alla direzione di scansione dello specchio oscillante, per fornire le informazioni, con campionatura della figura di frange a diverse ordinate e con centramento in frequenza.

Secondo un’altra possibile forma di applicazione, l’impianto in specie per applicazioni in I.R. può' comprendere in combinazione un beam-splitter per generare dal fascio in esame due percorsi distinti; un filtro spaziale su di un percorso per generare un fascio di riferimento; sull’altro percorso un filtro spaziale per limitare la banda della distribuzione di aberrazione; specchi sui due percorsi ed uno specchio oscillante sul percorso ricongiunto da un beam-splitter, sul quale i due fasci interferiscono con angolo fra le due direzioni di propagazione, che cresce linearmente con l’ordinata y; uno schermo con una serie di pin-holes allineati ortogonalmente aal scansione dello specchio oscillante, per fornire mediante una lente ad un rivelatore unico le informazioni, mano a mano che lo specchio effettua la scansione .

Per la codifica in frequenza, possono essere adottati mezzi per la variazione lineare del tilt fra i due fasci nell’interferometro. Possono essere previsti specchi segmentati, o reticoli di riflessione con passo variato linearmente in direzione parallela alla rigatura, in modo continuo o discontinuo.

Per la codifica in frequenza, può essere adottato un componente ottico astigmatico.

L’invenzione viene ora piu’ dettagliatamente descritta con riferimento ai disegni allegati e con esempi non limitativi dell’invenzione stessa.

Nei disegni:

Figura 1 mostra simbolicamente uno spettro relativo ad un taglio del sistema di frange;

Figura 2 mostra simbolicamente uno spettro relativo alla somma, sul rivelatore dei segnali codificati ottenuti dai diversi tagli;

Figura 3 mostra un interferometro Mach-Zehnder modificato con codifica in frequenza mediante componente ottico astigmatico;

Figura 4 mostra una immagine sullo schermo dell’apparecchio della figura 3;

Figura 5 mostra un interferometro Mach-Zehnder modificato con codifica in frequenza ottenuta mediante variazione lineare del tilt fra i due fasci nell’ interferometro;

Figura 6 mostra un’immagine sullo schermo dell’apparecchiatura della figura 5;

Figura 7 e’ un diagramma a blocchi del processamento del segnale rivelato dal sensore di fronte d’onda;

Figura 8 mostra uno schema di massima dell’elettronica dedicata per un processamento veloce del segnale dal rivelatore di fronte d’onda.

Contesto dell'invenzione:

Questa invenzione si inserisce nel campo dei rivelatori di fronte d’onda ed in particolare dei sensori per Ottica Adattiva dedicata al controllo di fasci laser di potenza detti C.O.A.T. (dall’inglese Coherent Optical Adaptive Tecniques).

Si vedano ad esempio: J.E.Pearson, R.H.Freemann, H.C.Reynolds, " Adaptive tecniques for wave-front correction " in Applied Optics and Optical Engeneering vo. VII - Academic Press (1979); J.C.Wyant, C.L.Kollopoul is, " Phase measurements for Adaptive Optics" Univ. Arizona ,Tucson, in AGARD conference proc.300 (1981).

Un fascio di luce può’ essere sensibilmente distorto quando attraversa l’atmosfera o altri mezzi di trasmissione e questo tipo di problema ha, fra l’altro, limitato la risoluzione delle immagini ricevute da telescopi stellari basati a terra. Allo stesso modo la distorsione atmosferica ha posto dei limiti al tentativi di irraggiare oggetti con fasci laser, quando questi oggetti sono collocati a grande distanza dal laser che emette. Altre distorsioni dovute alla presenza di sistemi ottici o alle instabilita’ intrinseche ed emissioni multimodali della sorgente laser, particolarmente presenti in applicazioni di potenza, possono aggiungersi a degradare la qualità’ del fascio generando una perdita di prestazioni del sistema.

Diversi sistemi di correzione del fronte d’onda sono stati pensati per superare queste distorsioni; la parte critica di questi sistemi e’ senza dubbio il sensore del fronte d’onda. In generale si può’ dire che l'obbiettivo principale dei sensori di fronte d’onda e’ quello di misurare la distribuzione spaziale delle deformazioni del fronte, ad esempio sotto forma di deviazioni del fronte da una superfice di riferimento come un piano od una sfera. La deformazione del fronte d’onda può’ essere espressa in termini della lungezza d’onda come differenza di cammino ottico detto O.P.D. (Optical Path Differece).

I sistemi per controllare la qualità’ del fascio sperimentati fino ad oggi, come descritto ad esempio nell’ U.S. PAT. 3923400, Hardy, 12/1975, si basano su sensori di fronte d’onda di tipo geometrico od interierometrico che misurano la fase del campo nelle diverse zone del fronte d’onda e producono un insieme di segnali propozionali alle correzioni da effettuare sul fascio. Questi segnali vengono inviati ad un correttore di fase su cui incide il fascio per cambiare la fase relativa nelle diverse zone del fronte. Il componente ottico attivo in grado di correggere il fascio può’essere realizzato con uno specchio deformabile o segmentato modificabile selettivamente per mezzo di una serie di attuatori piezoelettrici o, nel caso di radiazione nel campo del visibile, da un modulatore spaziale di luce come una matrice a cristalli liquidi. L’analisi del fronte d'onda con tecnica geometrica si basa sulla rivelazione della posizione dei fuochi parassiali ottenuti sezionando il fascio trasversalmente in molte componenti distinte. Questo metodo noto con il nome di "test di Hartmann" e’ stato usato nel passato anche in sistemi adattivi per astronomia, ma la sua realizzazione e’ resa particolarmente critica dalla necessita’ di avere a disposizione un gran numero di lenti sullo stesso piano e quattro sensori di posizione per ciascuna lente, nonché’ dalla necessita’ di mantenere tutti questi componenti allineati con grande stabilita’.

L’analisi interierometrica invece si basa sulla tecnica ormai classica di fare interferire due fasci al fine di convertire le inosservabili variazioni di fase del campo elettromagnetico in misure osservabili di cambiamenti di intensità’, generalmente noti come "sistemi di frange". In formule sia E1 il campo di cui

dove O. P. D. (x, y) e’ la quantità’ da misurare.

Si possono ancora distinguere fra ì sistemi di rivelazione del fronte d’ onda due categorie: 1 ) i sistemi che misurano direttamente la differenza di cammino ott ico e 2) quell i che la misurano indirettamente. Il metodo indiretto si basa generalmente sulla misura della pendenza del fronte d’onda e da questo risale alla distribuzione di O.P.D.. L’errore di pendenza del fronte d’onda e’ il.risultato di tecniche geometriche come quelle basate sul sensore Hartmann o di metodi interferometrici tipo Radiai shear o Lateral shear. Esempi di questi approcci sono esposti ad esempio negli U.S. PAT. 4141652, Feineleib, 2/1979; U.S. PAT. 4518854, Hutchin, 5/1985; ed U.S. PAT.

4575248, Horwitz-MacGovern, 3/1986.

I metodi indiretti richiedono dei calcoli per convertire dati di pendenza in dati di O.P.D. . Questi calcoli possono essere fatti in tempo reale o off-line e con circuitistica dedicata o via software. Misure dirette della O.P.D. rispetto ad una superfice di riferimento ( come un piano ) sono piu’ spesso realizzate con le tecniche interferometriche. Esempi di rivelatori di questo tipo includono configurazioni interferometriche classiche tipo Mach-Zehnder o Twymann-Green come nei lavori di Massie e Massie-Holly, vedansi gli U.S. PAT. 4346999, Massie, 8/1982; U.S. PAT. 4188122, Massie-Holly, 2/1980, in cui vengono utilizzate tecniche di interferometria digitale per migliorare l’accuratezza della misura.

Descrizione dell’invenzione:

L’ invenzione consiste in un metodo di ricostruzione del fronte d’onda di un fascio basato su una configurazione interferometrìca Mach-Zehnder modificata, (si consultino J.C.Wyant, "Optical testing and testing instrumentations", Lectures notes, Optical Science Center, Uni v. Arizona, Tucson, e P.Hariharan, "Interferomertic metrology: current trend and future prospects", Proc. S.P. I.E. voi. 816, 2, (1987) ).

E’ già’ stato rilevato che la grandezza da misurare (0. P. D. (x, y) ) e’ ricavabile in tecnica interferometrìca da una distribuzione di intensità’ I(x,y). A questo scopo la realizzazione della misura si basa sulla rivelazione di questa intensità’ in funzione della posizione e richiede in genere la disponibilità’ di una matrice di NxM rivelatori tale da carpionare la

La tecnica della doppia scansione e’ in tutto analoga a quella realizzata in un cinescopio televisivo ed e’ spesso realizzata in tecniche di imaging infrarosso, dove non e’ ancora stata raggiunta la disponibilità’ di matrici bidimensionali integrate di sensori con una certa risoluzione. Se da una parte le tecniche di scansione consentono di ridurre il numero di sensori da utilizzare, dall’altra portano anche svantaggi come l’introduzione di componenti in movimento nel sistema ottico e l’allungamento dei tempi di acquisizione di un "quadro" con la conseguente perdita di sincronia della acquisizione: In altre parole ogni parte del fascio e’ analizzata ad un tempo diverso dalle altre.

Questa invenzione introduce una tecnica di rivelazione sincrona che permette la sostituzione di una scansione temporale o di una dimensione spaziale della matrice di sensori con una codifica in frequenza delle frange presenti nella funzione I(x,y). Questo risultato e’ estremamente importante per la rivelazione del fronte d’onda di fasci laser nell’ I.R. o nell’ U.V. quando non sono disponibili matrici planari integrate di rivelatori o perfino una matrice lineare risulta molto costosa e di difficile applicazione.

Questa tecnica risulta particolarmente adeguata a problemi inerenti alla realizzazione di una Ottica Adattiva per fasci laser, in cui la risoluzione spaziale da tenere in considerazione e’ piuttosto limitata, dato il limitato numero di elementi mobili del componente attivo, ed al tempo stesso e' importante la velocita’ e la sincronia della rivelazione.

Con riferimento alle equazioni (3) e (4),si e’ visto che l’informazione sulla deformazione del fronte d’onda (O.P.D.) e’ racchiusa in una funzione del posto di

In questo senso l’aberrazione d’onda del fascio, espressa dalla O.P.D. (x,y), può’ essere ricavata acquisendo un segnale ottenuto per mezzo di una sezione parallela all’asse x del sistema di frange in esame ed elaborando il segnale di bassa frequenza centrato attorno alla frequenza spaziale portante f . Lo spettro del segnale descritto nell’equazione (6) e’:

Isolando da questo spettro il solo contenuto attorno ad f si può’ ricostruire con tecnica di analisi di Fourier (si consultino: K.H.Womack, “Interferometric phase measurements using spatial sinchronous detection" Opt. Eng. 23, 391, (1984); K.H.Womack "frequency domain description of interferogram analysis" Opt. Eng.

23, 396, (1984); M.Takeda, H.Ina, S.Kobayashi "Fourier transform method of frlnge pattern analysis for computer-based topography and interferometry" J.O.S.A. , 72, 156, (1982).) la fase del campo, e dunque il profilo del fronte d’onda, sulla sezione analizzata (y=costante). Il processo andrebbe eventualmente ripetuto su altre sezioni del fascio. La tecnica particolare ed innovativa che viene invece introdotta in questa invenzione consiste nella codifica nella frequenza spaziale delle frange del1’informazione di fase relativa a diversi tagli del profilo trasverso del fascio in esame. In altre parole si fa uso di sistemi ottici che consentano di costruire una diversa portante f per ogni y in cui si effettua un campionamento del fascio. Ciò’ corrisponde In generale ad avere un diverso contributo di tilt alle diverse ordinate, fra il fascio in esame e quello di riferimento nell’ interferometro. Il segnale da tutte le sezioni y=cost. può’ allora essere semplicemente rivelato per mezzo di un solo sensore. Si raggiunge cosi’ il risultato che si può’ effettuare la rivelazione con una matrice lineare parallela all’asse x o alternativamente con un unico rivelatore ed una sola scansione sempre in direzione x.

Corrispondentemente si ha uno spettro del tipo rappresentato in figura 2 e dal quale si possono estrarre le informazioni sulla O.P.D. in tutti i punti (x,y), supposto soltanto che la separazione fra le frquenze portanti sia maggiore della larghezza di banda della funzione di aberrazione (O.P.D.). La banda utilizzabile per le frequenze portanti e’ limitata dalla risoluzione spaziale del sistema di rivelazione, ovvero dall’apertura del rivelatore. L'aumento di risoluzione del sistema di rivelazione può<1 >essere perseguito per mezzo di pin-holes piu’ piccoli a svantaggio della sensibilità’ del sistema. In pratica si potranno osservare frequenze spaziali piu’ alte tutte le volte che la potenza del fascio incidente sull’ interferometro e’ sufficentemente alta. Per quel che riguarda la limitatezza in banda della funzione di aberrazione si può’ pensare di introdurre nell’interferometro un filtraggio spaziale al fascio in esame, per ridurre le aberrazioni rivelate alle frequenze spaziali effettivamente correggibili dalla parte attiva del sistema.

Con questa tecnica si può’ realizzare un sensore di fronte d’onda per mezzo di un rivelatore singolo ed una sola scansione la cui massima velocita' di acquisizione e' limitata soltanto dall’elettronica a valle del sensore. In pratica questo porta a prevedere la possibilità’ di operare correzioni alla frequenza di 1 KHz su 100 punti del fascio avendo a disposizione un convertitore analogico digitale con un rate di 1 Msample/sec a valle del rivelatore.

Descrizione dettagliata degli schemi:

In figura 3 e’ riportato un primo schema di interferometro Mach-Zehnder modificato che consente la codifica in frequenza dell'informazione di fase lungo l'asse y.

Il fascio in esame viene separato dal beam-splitter 10 e si propaga lungo due cammini distinti A e B comportanti gli specchi 13 e 14. Nel cammino A il fascio viene filtrato da un filtro spaziale 11 per generare un riferimento piano che poi viene convertito in sferico da una lente positiva 12. Nel cammino B il fascio conserva l informazione di aberrazione del fronte d’onda, passando eventualmente attraverso un filtro spaziale 15 che ha lo scopo di limitare la banda della distribuzione di aberrazione (Q.P.D..). Quindi viene fatto passare attraverso un componente fortemente astigmatico, come una lente piano convessa fuori asse 16 o una lente cilindrica. I due fasci A e B sono ricombinati in un beam-splitter 17. L’astigmatismo introduce una figura di interferenza "portante" schematizzata sulla proiezione S dello schermo 19, mostrata in figura 4. Questa figura, dovuta alla forma a sella di un fronte d’onda affetto da puro astigmatismo, fa si che l’informazione campionata a diverse ordinate sia centrata in frequenza attorno ad una portante diversa. L’informazione secondo l’asse x e’ ottenuta per mezzo di una scansione ottica ruotando lo specchio 18 secondo un asse ortogonale al piano del disegno. Lo schermo 19 contiene una serie di pin-holes (19A) allineati in direzione y che effettuano la campionatura della figura di frange. La lente 20 raccoglie tutta l’Informazione sul singolo foto-rivelatore 21.

In figura 5 e’ schematizzata una tecnica alternativa per la codifica in frequenza dell’informazione lungo l’asse delle ordinate. Lo schema interferometrico e’ ancora tipo Mach-Zehnder modificato con beam-splitter 30, la propagazione su A e B, filtro spaziale 31, specchi 33 e 34, filtro spaziale 35, beam-splitter 37. In questa tecnica ciascuno o uno almeno degli specchi 33 e 34 e’ segmentato In strisce parallele all’asse x (nel piano del disegno) ed 1 due specchi sono montati in maniera tale da far interferire 1 due fasci sul beam-splitter 37 con angolo fra le due direzioni di propagazione che cresce linearmente con l’ordinata y di ciascun segmento degli specchi 33 e 34 o di almeno uno dì essi. 11 fascio nel cammino A costituisce ancora il riferimento essendo reso piano dal filtro spaziale 31, il fascio nel cammino B porta invece l'informazione di aberrazione (O.P.D. ) eventualmente limitata in banda dal filtro spaziale 35. A valle dello specchio oscillante 38, uno schermo 39 contiene ancora i pin-holes di campionamento e la lente 40 colleziona tutta l’informazione sul singolo rivelatore 41 mano a mano che lo specchio 38 effettua la scansione lungo x della sezione trasversa del fascio. La lente 42, che e’ facoltativa, ha funzione di ingrandimento della figura di interferenza.

I componenti 33 e 34 possono essere realizzati, In alternativa agli specchi segmentati, con reticoli di riflessione il cui passo sia variato linearmente in direzione parallela alla rigatura, eventualmente anche in modo discontinuo. Ovviamente il blasing del retìcolo deve essere tale da ottimizzare la potenza di uscita sul primo ordine di diffrazione. Questa soluzione può’ portane ad una notevole semplificazione del sistema in quanto viene drasticamente ridotto il numero di componenti da allineare e mantenere stabili nell’interferometro. E’ poi evidente che la soluzione di figura 6 risulta necessaria per applicazioni nell’I.R., e particolarmente nella banda spettrale del 10 μm, polche’, a questa lunghezza d’onda, la differenza di cammino ottico necessaria per separare sufficentemente le portanti non e’ realizzabile con l’aberrazione di un singolo componente come una lente astigmatica.

In figura 7 e’ riportato uno schema a blocchi che rappresenta le operazioni di processamento da effettuare sul segnale, implementabili via software dopo una conversione analogico-digitale, per generare i segnali di errore da inviare al componente attivo dell’Ottica Adattiva.

In figura 8 e‘ riportato uno schema di massima per realizzare una circuitistica analogica dedicata in modo da rendere piu’ veloce il processamento. L’operazionale SI e’ un buffer (disaccoppiatore) che ha il compito di disaccoppiare il rivelatore dall’elettronica a valle. Gli operazionali 52, 53, 54 e 55 hanno il compito di filtri attivi passa banda per generare segnali da miscelare in 56, 57, 58 e 59 con le basse frequenze di riferimento f0, 2f0, 3f0 ecc. , generate dalla catena 60 di clock sincronizzati, per spostare attorno alla continua il segnale di ogni finestra. Il convertitore analogico digitale 62 a piu’ canali (dotato di multiplexer) porta in 63 all’elaborazione digitale i segnali già’ decodificati, che possono quindi essere campionati a frequenza piu’ bassa. Dalla scheda digitale con una conversione D./A. si va a controllare lo specchio deformabile.

Claims

RIVENDICAZIONI 1 ) Metodo di rivelazione del fronte d’ onda di un fascio, basato su una configurazione interferometrica Mach-Zehnder, caratterizzato dal fatto che una rivelazione sincrona - che sostituisce una scansione temporale o una dimensione spaziale del la matrice di sensori - e’ ottenuta con codifica in frequenza delle frange presenti nel la funzione I ( x, y) .
2) Metodo di rivelazione del fronte d' onda di un fascio, come da rivendicazione precedente, caratterizzato dal fatto che viene acquisito un segnale per mezzo di una sezione, paral lela al l ' asse X, del sistema di frange in esame, e che viene elaborato il segnale di bassa frequenza centrato attorno al la frequenza spaziale portante f0, con ricostruzione della fase del campo in modo noto con tecnica di analisi di Fourier, e cosi’ del fronte d’onda sulla sezione y (costante) in analisi.
3) Metodo di rivelazione del fronte d’onda di un fascio, come da rivendicazione 1 o 2 caratterizzato dal fatto che si procede alla codifica nella frequenza spaziale delle frange dell’informazione di fase relativa a diversi tagli del profilo trasverso del fascio in esame, con l’impiego di sistemi ottici che consetono di costruire una diversa portante f per ogni y in cui si effettua il campionamento del fascio, con un diverso contributo in tilt (disallineamento) alle diverse ordinate, fra il fascio in esame ed un fascio di riferimento nell’interferometro; il segnale da tutte le sezioni con y costante essendo rivelato con un solo sensore.
4) Metodo di rivelazione del fronte d’onda di un fascio, come da rivendicazione 3, caratterizzato dall’impiego di una sola matrice lineare parallela all’asse x.
5) Metodo di rivelazione del fronte d’onda di un fascio, come da rivendicazione 3, caratterizzato dall’impiego di un unico rivelatore ed una sola scansione in direzione x. 61 Metodo di rivelazione del fronte d’onda di un fascio, come da rivendicazioni precedenti, caratterizzato dall’ adozione di un filtraggio spaziale del fascio in esame, per ridurre le aberrazioni rivelate alle frequenze spaziali correggibili. 7) Metodo di rivelazione del fronte d’onda di un fascio, come da rivendicazioni precedenti, caratterizzato dal fatto che viene impiegato un pin-hole per evitare sovrapposizioni delle bande dei segnali, per aumentare la nitidezza nei segnali rivelati . 8) Impianto per attuare il metodo di rivelazione del fronte d’onda secondo una almeno delle rivendicazioni da 1 a 7, con un interferometro Mach-Zehnder , caratterizzato dal fatto di comprendere mezzi per codifica in frequenza come sensore di fronte d’onda. 9) Impianto come da rivendicazione 8, caratterizzato dal fatto di comprendere in combinazione: un beam-spl itter (10) per generare dal fascio in esame due percorsi distinti (A,*B); un filtro spaziale (11) su di un percorso, per generare un riferimento piano; sull’altro percorso un filtro spaziale (15) per limitare la banda della distribuzione di aberrazione, ed un componente fortemente astigmatico per introdurre una figura di interferenza "portante"; specchi (13,14) sui due percorsi ed uno specchio oscillante (18) sul percorso ricongiunto da un beam-splitter ,(17); uno schermo (19) con una serie di pin-holes (19A) allineati ortogonalmente alla scansione dello specchio oscillante (18), per fornire le informazioni, con campionatura della figura di frange a diverse ordinate e con centramento in frequenza. 10) Impianto come da rivendicazione 8, in specie per applicazioni in I.R. ,caratterizzato dal fatto di comprendere in combinazione: un beam-splitter (30) per generare dal fascio in esame due percorsi distinti (A;B); un filtro spaziale (31) su di un percorso; sull’altro percorso un filtro spaziale (35) per limitare la banda della distribuzione di aberrazione; specchi (33,34) sui due percorsi ed uno specchio oscillante (38) sul percorso ricongiunto da un beam-splitter (37), sul quale i due fasci interferiscono con angolo fra le due direzioni di propagazione, che cresce linearmente con l’ordinata y; uno schermo (39) con una serie di pin-holes (39A) allineati ortogonalmente alla scansione dello specchio oscillante (38), per fornire mediante una lente (40) ad un rivelatore (41) unico le informazioni, mano a mano che lo specchio (38) effettua la scansione. 11) Impianto come da rivendicazione 8 o 9 o 10, caratterizzato dal fatto di comprendere, per la codifica in frequenza, mezzi per la variazione lineare del tilt fra i due fasci nell’interferometro. 12) Impianto come da rivendicazioni 8,10 ed 11, caratterizzato dal fatto che gli specchi sono specchi segmentati. 13) Impianto come da rivendicazioni 8,10 ed 11, caratterizzato dal fatto che gli specchi sono reticoli di riflessione con passo variato linearmente in direzione parallela alla rigatura, in modo continuo o discontinuo. 14) Impianto come da rivendicazioni 9 ed 11 caratterizzato dal fatto di comprendere, per la codifica in frequenza, un componente ottico astigmatico (16).