IT1397072B1 - Procedimento atto alla fabbricazione di una struttura micromeccanica e struttura micromeccanica - Google Patents

Procedimento atto alla fabbricazione di una struttura micromeccanica e struttura micromeccanica

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IT1397072B1 ITMI2009A001243A ITMI20091243A IT1397072B1 IT 1397072 B1 IT1397072 B1 IT 1397072B1 IT MI2009A001243 A ITMI2009A001243 A IT MI2009A001243A IT MI20091243 A ITMI20091243 A IT MI20091243A IT 1397072 B1 IT1397072 B1 IT 1397072B1
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IT
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micromechanical structure
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micromechanical
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Tjalf Pirk
Christina Leinenbach
Christian Rettig
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Bosch Gmbh Robert
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    • B81B7/0077—Other packages not provided for in groups B81B7/0035 - B81B7/0074
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