IT1395100B1 - Strutture micromeccaniche e procedimento per la produzione di strutture micromeccaniche - Google Patents
Strutture micromeccaniche e procedimento per la produzione di strutture micromeccanicheInfo
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- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00023—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
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