HU220516B1

HU220516B1 - Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés és eljárás annak előállítására

Info

Publication number: HU220516B1
Application number: HU9601094A
Authority: HU
Inventors: Jeong Beom Ji; Dong Kuk Kim; Seok Won Lee
Original assignee: Daewoo Electronics Co. Ltd.
Priority date: 1993-10-29
Filing date: 1994-10-25
Publication date: 2002-03-28
Also published as: BR9407923A; CA2175198A1; MY113977A; JP3283881B2; ES2140490T3; US5900998A; EP0651274A1; PL314124A1; CZ288846B6; HUT75803A; DE69420666D1; TW279930B; RU2140722C1; CZ118096A3; EP0651274B1; PL176406B1; US5661611A; CN1134208A; WO1995012287A1; AU693119B2

Abstract

Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés (50) optikaivetítőrendszerhez M×N tükörelemmel (51), ahol M és N egész számok(50), amely tükörelem-elrendezésnek alapréteget, M×N darabtranzisztorból álló elrendezést és M×N darab csatlakozókapocsból állóelrendezést tartalmazó aktív mátrixa (52) van. A találmány szerintielrendezésnek van M×N darab vékonyréteges működtetőszerkezetből (54)álló elrendezése (53), amely működtetőszerkezetek (54) rendelkeznekfelső és alsó felülettel és első és második véggel, és tartalmaznakelmozdulást létrehozó anyagú, felső és alsó felülettel rendelkezőlegalább egy elmozdulást létrehozó vékonyréteget, valamintmeghatározott vastagságú, az elmozdulást létrehozó vékonyréteg felsőés alsó felületén lévő első és második elektródát, ahol az első ésmásodik elektródák közötti elmozdulást létrehozó vékonyrétegrekapcsolt villamos feszültség az elmozdulást létrehozó vékonyréteg és aműködtetőszerkezetek (54) deformációját okozza, és amely tükörelem-elrendezésnek (50) van továbbá M×N darab, a működtetőszerkezetek (54)rögzítésére, valamint a működtetőszerkezeteknek (54) az aktívmátrixszal (52) való villamos összekapcsolására szolgáló, felső ésalsó felülettel rendelkező tartóelemből (56) álló elrendezése (55),valamint a működtetőszerkezetek (54) tetején elhelyezett, aműködtetőszerkezetek (54) deformációjának hatására deformálódó,fénynyalábok visszaverésére szolgáló M×N darab tükörből (58) állóelrendezése (57). A találmány ezenkívül eljárás a fenti tükörelem-elrendezés (50) előállítására, amelynek során az aktív mátrix felsőfelületén az M×N elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezésben (50) lévő M×N darab tartóelemből (56) álló elrendezésnek(55) megfelelő M×N darab talapzatból álló elrendezéssel, valaminteltávolítandó zónával rendelkező tartóréteget alakítanak ki, atartóréteg eltávolítandó zónáját kezelik oly módon, hogy azeltávolítható legyen, a tartórétegre rugalmas vékonyrétegközbeiktatásával vagy anélkül első elektróda-- vékonyréteget visznekfel, az első elektróda-vékonyrétegre elmozdulást létrehozóvékonyréteget helyeznek, az elmozdulást létrehozó vékonyrétegenmásodik elektróda-vékonyréteget alakítanak ki, fényvisszaverő anyagútükörréteget visznek fel a második elektróda-vékonyrétegre, valamint atartóréteg eltávolítandó zónáját a vékonyréteggel működtetett, M×Ntükörelemet (51) tartalmazó elrendezés (50) kialakításáraeltávolítják. A találmány tárgya továbbá a fenti eljárás azzal akülönbséggel, hogy a tartórétegre első elektróda-vékonyréteget visznekfel, az első elektróda-vékonyrétegre elmozdulást létrehozóvékonyréteget helyeznek, az alsó elmozdulást létrehozó vékonyrétegfelső felületén közbenső fémréteget alakítanak ki, a közbensőfémrétegen felső elmozdulást létrehozó vékonyréteget helye

Description

A leírás terjedelme 18 oldal (ezen belül 10 lap ábra)

HU 220 516 Bl működtetőszerkezetek (54) deformációjának hatására deformálódó, fénynyalábok visszaverésére szolgáló MxN darab tükörből (58) álló elrendezése (57). A találmány ezenkívül eljárás a fenti tükörelem-elrendezés (50) előállítására, amelynek során az aktív mátrix felső felületén az MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezésben (50) lévő MxN darab tartóelemből (56) álló elrendezésnek (55) megfelelő MxN darab talapzatból álló elrendezéssel, valamint eltávolítandó zónával rendelkező tartóréteget alakítanak ki, a tartóréteg eltávolítandó zónáját kezelik oly módon, hogy az eltávolítható legyen, a tartórétegre rugalmas vékonyréteg közbeiktatásával vagy anélkül első elektróda-vékonyréteget visznek fel, az első elektróda-vékonyrétegre elmozdulást létrehozó vékonyréteget helyeznek, az elmozdulást létrehozó vékonyrétegen második elektróda-vékonyréteget alakítanak ki, fényvisszaverő anyagú tükörréteget visznek fel a második elektróda-vékonyrétegre, valamint a tartóréteg eltávolítandó zónáját a vékonyréteggel működtetett, M xN tükörelemet (51) tartalmazó elrendezés (50) kialakítására eltávolítják. A találmány tárgya továbbá a fenti eljárás azzal a különbséggel, hogy a tartórétegre első elektródavékonyréteget visznek fel, az első elektróda-vékonyrétegre elmozdulást létrehozó vékonyréteget helyeznek, az alsó elmozdulást létrehozó vékonyréteg felső felületén közbenső fémréteget alakítanak ki, a közbenső fémrétegen felső elmozdulást létrehozó vékonyréteget helyeznek el, a felső elmozdulást létrehozó vékonyrétegen második elektróda-vékonyréteget helyeznek el és ezzel bimorf struktúrát alakítanak ki.

MŰSZAKI TERÜLET

A találmány optikai vetítőrendszerben alkalmazható, vékonyréteggel működtetett MxN tükörelemből álló elrendezésre és a tükörelem-elrendezés előállítási eljárására vonatkozik. A találmány különösen olyan új szerkezetű tükörelem-elrendezésre és eljárásra vonatkozik, amelyekben nem szükséges elektromosság hatására alakját változtató kerámialapka használata.

A KORÁBBI TECHNIKA

A technika állása szerinti különböző videomegjelenítő rendszerek között az optikai vetítőrendszerek köztudottan alkalmasak nagyméretű, jó minőségű képmegjelenítésre. Az ilyen optikai vetítőrendszerekben egy lámpából jövő fény egyenletesen világít meg egy, például MxN darab működtetett tükörelemből álló elrendezést, oly módon, hogy minden egyes tükörelem egy működtetőhöz kapcsolódik. A működtetők készülhetnek elektromosság hatására alakját változtató anyagból, például piezoelektromos vagy elektrosztrikciós anyagból, amely anyag a reá ható villamos feszültség hatására deformálódik.

A tükörelemek által visszavert fénynyalábok egy ernyő nyílására esnek. A működtetőkre villamos feszültséget kapcsolva a tükörelemeknek a beeső fénynyalábhoz viszonyított helyzete megváltozik, és ezáltal a tükörelemekről visszavert fénynyalábok optikai útja elhajlik. Ahogy a visszavert fénynyalábok optikai útja változik, megváltozik a tükörelemekről visszavert ama fénymennyiség, amely áthalad a nyíláson, és ez modulálja a fénynyaláb intenzitását. A modulált fénynyalábok a nyíláson és egy megfelelő optikai eszközön, például vetítőlencsén keresztül egy vetítőemyőre esnek és azon képet jelenítenek meg.

Az 1. ábrán egy optikai vetítőrendszerben alkalmazott MxN tükörelemből álló, elektromosság hatására alakváltozóan működtetett 10 tükörelem-elrendezés keresztmetszete látható, amelyet az US 08/278,472 számú, „Elektromosság hatására alakváltozóan működtetett tükörelem-elrendezés” című szabadalmi bejelentésben ismertetnek. A 10 tükörelem-elrendezés tartalmaz 11 aktív mátrixot, amely 11 aktív mátrix tartalmaz 12 alapréteget és azon MxN darab tranzisztorból álló elrendezést. A 10 tükörelem-elrendezés tartalmaz továbbá M xN darab, elektromosság hatására alakját változtató 30 működtetőből álló 13 elrendezést, amely elektromosság hatására alakjukat változtató 30 működtetők mindegyike tartalmaz egy pár 14, 15 működtetőtagot, egy pár előfeszítő 16, 17 elektródát, és egy 18 közösjelelektródát. A 10 tükörelem-elrendezés ezenkívül tartalmaz MxN darab 31 mozgatóelemből álló 19 elrendezést, amely 31 mozgatóelemek az elektromosság hatására alakjukat változtató 30 működtetőkbe vannak beépítve, Μ xN darab 22 csatlakozókapocsból álló 20 elrendezést, amely 22 csatlakozókapcsok a 18 elektródáknak a 11 aktív mátrixszal való villamos összekötésére szolgálnak, valamint MxN darab 23 tükörből álló 21 elrendezést, amely 23 tükrök az MxN darab 31 mozgatóelem tetején vannak elhelyezve.

A fent említett szabadalmi bejelentés eljárást is ismertet ilyen elektromosság hatására alakváltozóan működtetett M xN tükörelemből álló elrendezés előállítására, amely eljárásban 30-50 pm vastagságú kerámialapkát alkalmaznak.

A fent leírt, MxN elemből álló, elektromosság hatására alakváltozóan működtetett elrendezés előállítására szolgáló eljárásnak több hátránya van. Mindenekelőtt nehéz olyan kerámialapkát előállítani, amelynek vastagsága 30-50 pm továbbá ha a kerámialapka vastagsága 30-50 pm-es tartományba esik, annak mechanikai tulajdonságai rosszabbodnak, ami nehézkessé teszi a gyártási folyamat végrehajtását.

Ezenkívül az előállítási eljárás több, időigényes és nehezen ellenőrizhető műveletet tartalmaz, ami megnehezíti a kívánt reprodukálhatóság, megbízhatóság és kihozatal elérését, valamint korlátozza a lekicsinyíthetőséget.

A TALÁLMÁNY ISMERTETÉSE

A találmány elsődleges célja olyan eljárás szolgáltatása MxN elemből álló, működtetett tükörelem-elrendezés előállítására, amelynél nem szükséges vékony, elektromosság hatására alakját változtató kerámialapka használata.

HU 220 516 Bl

A találmány másik célkitűzése olyan javított és új eljárás szolgáltatása MxN elemből álló, működtetett tükörelem-elrendezés előállítására, amely nagyobb reprodukálhatósággal, megbízhatósággal és kihozatallal jár önmagában ismert, félvezetők gyártásánál általában alkalmazott vékonyréteg-technikák alkalmazásával.

A találmány további célkitűzése új struktúrával rendelkező, MxN elemből álló működtetett tükörelemelrendezés létrehozása, amelyben elmozdulást létrehozó, villamosán vezető és fényvisszaverő anyagokból lévő vékonyrétegek vannak.

A találmány tehát egyrészt vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés optikai vetítőrendszerhez MxN tükörelemmel, ahol M és N egész számok, amely tükörelem-elrendezésnek alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és M xN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó aktív mátrixa van. A találmány szerint a tükörelem-elrendezésnek van MxN darab vékonyréteges működtetőszerkezetből álló elrendezése, amely működtetőszerkezetek rendelkeznek felső és alsó felülettel és első és második véggel, és tartalmaznak elmozdulást létrehozó anyagú, felső és alsó felülettel rendelkező legalább egy elmozdulást létrehozó vékonyréteget, valamint meghatározott vastagságú, az elmozdulást létrehozó vékonyréteg felső és alsó felületén lévő első és második elektródát, ahol az első és második elektródák közötti elmozdulást létrehozó vékonyrétegre kapcsolt villamos feszültség az elmozdulást létrehozó vékonyréteg és a működtetőszerkezetek deformációját okozza, és amely tükörelem-elrendezésnek van továbbá MxN darab, a működtetőszerkezetek rögzítésére, valamint a működtetőszerkezeteknek az aktív mátrixszal való villamos összekapcsolására szolgáló, felső és alsó felülettel rendelkező tartóelemből álló elrendezése, valamint a működtetőszerkezetek tetején elhelyezett, a működtetőszerkezetek deformációjának hatására deformálódó, fénynyalábok visszaverésére szolgáló MxN darab tükörből álló elrendezése.

A találmány másrészt eljárás optikai vetítőrendszerhez való, vékonyréteggel működtetett MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés előállítására, ahol M és N egész számok, amely elrendezésnek alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és MxN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó, felső és alsó felületekkel rendelkező aktív mátrixa van, amely eljárásban az aktív mátrix felső felületén az M xN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelemelrendezésben lévő MxN darab tartóelemből álló elrendezésnek megfelelő MxN darab talapzatból álló elrendezéssel, valamint eltávolítandó zónával rendelkező tartóréteget alakítunk ki, a tartóréteg eltávolítandó zónáját kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, a tartórétegre első elektróda-vékonyréteget viszünk fel, az első elektróda-vékonyrétegre elmozdulást létrehozó vékonyréteget helyezünk, az elmozdulást létrehozó vékonyrétegen második elektróda-vékonyréteget alakítunk ki, fényvisszaverő anyagú tükörréteget viszünk fel a második elektróda-vékonyrétegre, valamint a tartóréteg eltávolítandó zónáját a vékonyréteggel működtetett, MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés kialakítására eltávolítjuk.

A találmány harmadrészt eljárás optikai vetítőrendszerhez való, vékonyréteggel működtetett MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés előállítására, ahol M és N egész számok, amely elrendezésnek alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és M xN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó, felső és alsó felületekkel rendelkező aktív mátrixa van, amely eljárásban az aktív mátrix felső felületén az MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezésben lévő MxN darab tartóelemből álló elrendezésnek megfelelő MxN darab talapzatból álló elrendezéssel, valamint eltávolítandó zónával rendelkező tartóréteget alakítunk ki, a tartóréteg eltávolítandó zónáját kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, a tartóréteg teljes felső felületén rugalmas vékonyréteget alakítunk ki, a rugalmas vékonyrétegre első elektróda-vékonyréteget viszünk fel, az első elektróda-vékonyrétegre elmozdulást létrehozó vékonyréteget helyezünk, az elmozdulást létrehozó vékonyrétegre második elektróda-vékonyréteget viszünk fel, fényvisszaverő anyagú tükörréteget alakítunk ki a második elektróda-vékonyrétegen, valamint a tartóréteg eltávolítandó zónáját a vékonyréteggel működtetett, MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés kialakítására eltávolítjuk.

A találmány továbbá eljárás optikai vetítőrendszerhez való, vékonyréteggel működtetett MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés előállítására, ahol M és N egész számok, amely elrendezésnek alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és M xN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó, felső és alsó felületekkel rendelkező aktív mátrixa van, amely eljárásban az aktív mátrix felső felületén az M xN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezésben lévő MxN darab tartóelemből álló elrendezésnek megfelelő MxN darab talapzatból álló elrendezéssel, valamint eltávolítandó zónával rendelkező tartóréteget alakítunk ki, a tartóréteg eltávolítandó zónáját kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, a tartórétegre első elektróda-vékonyréteget viszünk fel, az első elektróda-vékonyrétegre alsó elmozdulást létrehozó vékonyréteget helyezünk, az alsó elmozdulást létrehozó vékonyréteg felső felületén közbenső fémréteget alakítunk ki, a közbenső fémrétegen felső elmozdulást létrehozó vékonyréteget helyezünk el, a felső elmozdulást létrehozó vékonyrétegen második elektróda-vékonyréteget helyezünk el és ezzel bimorf struktúrát alakítunk ki, fényvisszaverő anyagú tükörréteget helyezünk a második elektróda-vékonyrétegre, valamint a tartóréteg eltávolítandó zónáját a vékonyréteggel működtetett, MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés kialakítására eltávolítjuk.

A RAJZOK RÖVID LEÍRÁSA

A találmány előnyös kiviteli alakjait a következőkben rajzok alapján ismertetjük, ahol az

1. ábra egy ismert MxN elemből álló, elektromosság hatására alakváltozóan működtetett tükörelem-elrendezés keresztmetszeti rajza, a

2. ábra a találmány egy előnyös kiviteli alakja szerinti MxN tükörelemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés keresztmetszeti rajza, a

HU 220 516 Bl

3. ábra a 2. ábrán bemutatott első kiviteli alak egyik vékonyréteggel működtetett tükörelemének részletes keresztmetszeti rajza, a

4. ábra az első kiviteli alak egyik működtetett tükörelemének keresztmetszeti rajza, ahol a második elektróda alatt egy rugalmas vékonyréteg van elhelyezve, az

5. ábra az első kiviteli alak egyik működtetett tükörelemének keresztmetszeti rajza, ahol a tükör és az első elektróda között egy rugalmas vékonyréteg van elhelyezve, a

6. ábra az első kiviteli alak egyik működtetett tükörelemének keresztmetszeti rajza, amelyben az első elektróda fényvisszaverő anyagú, és az első és a második elektróda egymástól eltérő vastagságú, a

7. ábra az első kiviteli alak egyik működtetett tükörelemének keresztmetszeti rajza, amelyben az első elektróda fényvisszaverő anyagú, és a működtetőszerkezet alsó felületén rugalmas vékonyréteg van elhelyezve, a

8. ábra az első kiviteli alak egyik működtetett tükörelemének keresztmetszeti rajza, amelyben az első elektróda fölött fényvisszaverő anyagú rugalmas vékonyréteg van elhelyezve, a

9A. és 9B. ábrák az első kiviteli alak egyik működtetett tükörelemének keresztmetszeti rajzai, amelyekben a működtetőszerkezetben lévő elmozdulást létrehozó réteg felső vagy alsó felületét részlegesen fedi le az első vagy a második elektróda, a

10. ábra az első kiviteli alak egyik működtetett tükörelemének keresztmetszeti rajza működtetett állapotban, a

11. ábra egy bimorf szerkezetű második kiviteli alak egyik működtetett tükörelemének keresztmetszeti rajza, a

12. ábra a második kiviteli alak egyik működtetett tükörelemének keresztmetszeti rajza, amelyben az első elektróda fényvisszaverő anyagú, és a

13A-13F. ábrák a találmány szerinti első kiviteli alak előállítási műveleteit szemléltető vázlatos keresztmetszeti rajzok.

A TALÁLMÁNY MEGVALÓSÍTÁSI MÓDJAI A 2-13. ábrákon a találmány előnyös kiviteli alakjai szerinti, optikai vetítőrendszerhez használható, MxN darab vékonyréteggel működtetett tükörelemből álló elrendezés vázlatos keresztmetszeti rajzai láthatók, ahol M és N egész számok. A 2-13. ábrákon az azonos részek azonos hivatkozási számmal vannak jelölve.

A 2. ábrán MxN darab, vékonyréteggel működtetett 51 tükörelemből álló 50 elrendezés első kiviteli alakjának keresztmetszeti rajza látható, amely tartalmaz 52 aktív mátrixot, MxN darab vékonyréteges 54 működtetőszerkezetből álló 53 elrendezést, MxN darab 56 tartóelemből álló 55 elrendezést és Μ χ N darab 58 tükörből álló 57 elrendezést.

A 3. ábrán a 2. ábrán bemutatott, vékonyréteggel működtetett 51 tükörelem részletes keresztmetszeti rajza látható. Az 52 aktív mátrix tartalmaz 59 alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést (az ábrán nem látható) és MxN darab 61 csatlakozókapocsból álló 60 elrendezést. A vékonyréteges 54 működtetőszerkezetnek van felső 62 felülete és alsó 63 felülete, első 64 vége és második 65 vége, továbbá rendelkezik legalább egy elmozdulást létrehozó anyagú 66 vékonyréteggel, amely 66 vékonyrétegnek van felső 67 felülete és alsó 68 felülete, a vékonyréteges 54 mfiködtetőszerkezet rendelkezik továbbá meghatározott vastagságú első 69 elektródával és második 70 elektródával, amely 69, 70 elektródák fémből, például aranyból (Au) vagy ezüstből (Ag) vannak, és amely első 69 elektróda felső felülete képezi a 62 felületet. Az első 69 elektróda a 66 vékonyréteg felső 67 felületén van, a második 70 elektróda pedig annak alsó 68 felületén. A 66 vékonyréteg piezoelektromos kerámiából, elektrosztrikciós kerámiából, magnetosztrikciós kerámiából vagy piezoelektromos polimerből van. Amennyiben a 66 vékonyréteg piezoelektromos kerámiából vagy piezoelektromos polimerből van, úgy azt polarizálni kell.

Az MxN darab 56 tartóelem, amelynek van felső 71 felülete és alsó 72 felülete, az egyes 54 működtetőszerkezetek rögzítésére szolgál, valamint arra, hogy az 54 működtetőszerkezetekben a második 70 elektródákat villamosán összekösse az 52 aktív mátrixon lévő megfelelő 61 csatlakozókapcsokkal azáltal, hogy az 56 tartóelemek el vannak látva egy villamosán vezető anyagú, például fémből lévő 73 vezetékkel. Ebben a találmány szerinti MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett 51 tükörelem- 50 elrendezésben az 54 működtetőszerkezetek konzolosan kinyúlnak az 56 tartóelemekről azáltal, hogy az 56 tartóelemek felső 71 felületére az 54 működtetőszerkezetek alsó 63 felülete azoknak az első 64 végén van felerősítve, és az 56 tartóelemek alsó 72 felülete az 52 aktív mátrix felső felületére van helyezve. A fénynyalábok visszaverésére szolgáló MxN darab 58 tükör az 54 működtetőszerkezetek tetején van elhelyezve. Az 54 működtetőszerkezetekben lévő első és második 69, 70 elektródák közötti 66 vékonyrétegre villamos feszültséget kapcsolunk. A villamos feszültség a 66 vékonyréteg, ezáltal az 54 működtetőszerkezet, valamint az annak tetején elhelyezett 58 tükör deformációját okozza.

Azért, hogy az MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett 51 tükörelem- 50 elrendezés megfelelően működjön, vagyis hogy az 51 tükörelem deformációja bekövetkezzen, a vékonyréteggel működtetett 51 tükörelemben lévő 58 tükör és az első 69 elektróda együttes vastagságának különböznie kell a második 70 elektróda vastagságától.

Amennyiben ez nem áll fenn, a működtetett 51 tükörelemeket felső 40 felülettel rendelkező rugalmas 88 vékonyréteggel kell ellátni. Az 51 tükörelemekben a rugalmas 88 vékonyréteget vagy a második 70 elektróda alá, vagy az 58 tükör és az első 69 elektróda közé helyezhetjük, amint azt a 4. és 5. ábrák mutatják.

Az első 69 elektróda villamosán vezető anyaga szintén lehet fényvisszaverő, például alumínium (Al), amely

HU 220 516 Bl lehetővé teszi, hogy a vékonyréteggel működtetett 51 tükörelemekben az első 69 elektróda felső 62 felülete 58 tükörként is működjön. Ebben az esetben azért, hogy a vékonyréteggel működtetett 51 tükörelemek megfelelően működjenek, az első 69 elektróda és a második 70 elektróda vastagságának egymástól különböznie kell, vagy a vékonyréteggel működtetett 51 tükörelemeket el kell látni rugalmas 88 vékonyréteggel az azokban lévő 54 működtetőszerkezetek alsó felületén, amint azt a 6. és 7. ábra mutatja. Továbbá, amennyiben a rugalmas 88 vékonyréteg fényvisszaverő anyagú, az 58 tükörként is működhet, amint azt a 8. ábra mutatja.

A találmány szerinti vékonyréteggel működtetett 51 tükörelem- 50 elrendezés egyformán jól működhet akkor is, ha az 54 működtetőszerkezetben lévő 66 vékonyréteg felső 67 és alsó 68 felületeit teljesen beborítja az első 69 és második 70 elektróda, illetve akkor is, ha az 54 működtetőszerkezetben lévő 66 vékonyréteg felső 67 és alsó 68 felületeinek egyikét az első 69 vagy második 70 elektróda csak részlegesen borítja. A 9A. és 9B. ábrák ilyen szerkezetű működtetett 51 tükörelemre mutatnak két példát.

Az első kiviteli alakra példákat mutatnak a 8. és 10. ábrák, amelyeken egy vékonyréteggel működtetett 51 tükörelem látható, amely tartalmaz piezoelektromos kerámiából, például cirkónium-titanátból (PZT) lévő 54 működtetőszerkezetet. Az 54 működtetőszerkezetben lévő első és második 69, 70 elektródák közötti piezoelektromos 66 vékonyrétegre villamos feszültséget kapcsolunk. A villamos feszültség a piezoelektromos kerámia összehúzódását vagy kitágulását eredményezi attól függően, hogy a villamos feszültség polaritása hogy viszonyul a piezoelektromos anyag polarizáltsági irányához. Amennyiben a villamos feszültség polaritása megfelel a piezoelektromos kerámia polaritásának, a piezoelektromos kerámia összehúzódik. Ha a villamos feszültség polaritása ellentétes a piezoelektromos kerámia polaritásával, a piezoelektromos kerámia kitágul.

A 8. és 10. ábrákon a piezoelektromos kerámia polaritása megfelel a kapcsolt villamos feszültség polaritásának, ami által a piezoelektromos kerámia összehúzódik.

Mivel a rugalmas 88 vékonyréteg nem húzódik össze, az 54 működtetőszerkezet lefelé hajlik, amint azt a 10. ábra mutatja. Látható, hogy a 10. ábrán lévő működtetett 51 tükörelem rugalmas 88 vékonyrétegének 58 tükörként működő felső 40 felületéről visszaverődő fény nagyobb szögben térül el, mint a 8. ábrán lévő, nem működtetett 51 tükörelemről visszaverődő fény.

Adott esetben fordított polaritású villamos feszültséget is kapcsolhatunk a piezoelektromos 66 vékonyrétegre, ami által a piezoelektromos kerámia kitágul. Ekkor a rugalmas 88 vékonyréteg nem tágul ki, és ennek eredményeként az 54 működtetőszerkezet felfelé hajlik (nincs ábrázolva). A felfelé működtetett 51 tükörelem 58 tükréről visszaverődő fény kisebb szögben térül el, mint a 8. ábrán lévő nem működtetett 51 tükörelem rugalmas 88 vékonyrétegének felső 40 felületéről visszaverődő fény.

All. ábrán MxN darab, vékonyréteggel működtetett 101 tükörelemből álló 100 elrendezés második kiviteli alakjának keresztmetszeti rajza látható, ahol a második kiviteli alak abban különbözik az elsőtől, hogy az 54 működtetőszerkezetek bimorf szerkezetűek, és tartalmaznak első 69 elektródát, második 70 elektródát, közbenső 87 fémréteget, felső elmozdulást létrehozó 89 vékonyréteget felső 90 és alsó 91 felülettel, és alsó elmozdulást létrehozó 92 vékonyréteget felső 93 és alsó 94 felülettel. Az 54 működtetőszerkezetekben a felső 89 vékonyréteg és az alsó 92 vékonyréteg el van választva a közbenső 87 fémréteggel, az első 69 elektróda a felső 89 vékonyréteg felső 90 felületén van elhelyezve, a második 70 elektróda pedig az alsó 92 vékonyréteg alsó 94 felületén.

Ugyanúgy mint az első kiviteli alak esetében, az 54 működtetőszerkezetekben lévő felső 89 vékonyréteg és alsó 92 vékonyréteg piezoelektromos kerámiából, elektrosztrikciós kerámiából, magnetosztrikciós kerámiából vagy piezoelektromos polimerből van. Abban az esetben ha a felső 89 vékonyréteg és az alsó 92 vékonyréteg piezoelektromos kerámiából vagy piezoelektromos polimerből van, a felső 89 vékonyréteget és az alsó 92 vékonyréteget úgy kell polarizálni, hogy a felső 89 vékonyrétegben lévő piezoelektromos anyag polarizációja ellentétes legyen az alsó 92 vékonyrétegével. A 12. ábra a második kiviteli alak működtetett 101 tükörelemének keresztmetszeti rajzát mutatja, amelyben az első 69 elektróda fényvisszaverő anyagú, és ezáltal az első 69 elektróda felső 62 felülete 58 tükörként is működhet.

A második kiviteli alak példaképpeni működéséhez feltételezzük, hogy all. ábrán lévő, vékonyréteggel működtetett 101 tükörelemekből álló 100 elrendezésben lévő felső 89 vékonyréteg és alsó 92 vékonyréteg piezoelektromos kerámia, például PZT-anyagú. Ha az 54 működtetőszerkezetekre, vagyis a felső 89 vékonyrétegre és az alsó 92 vékonyrétegre villamos feszültséget kapcsolunk, az 54 működtetőszerkezetek felfelé vagy lefelé hajlanak a piezoelektromos kerámia polarizáltsági irányától és a villamos feszültség polaritásától függően. Például, ha a polaritás a felső piezoelektromos 89 vékonyréteg összehúzódását és az alsó piezoelektromos 92 vékonyréteg kitágulását okozza, az 54 működtetőszerkezet felfelé hajlik. Ebben az esetben az 54 működtetőszerkezetről visszaverődő fény kisebb szögben térül el, mint a nem működtetett 54 működtetőszerkezetről visszaverődő fény. Ha azonban a piezoelektromos kerámia és a villamos feszültség polaritása a felső piezoelektromos 89 vékonyréteg kitágulását és az alsó piezoelektromos 92 vékonyréteg összehúzódását okozza, akkor az 54 működtetőszerkezet lefelé hajlik. Ebben az esetben az 54 működtetőszerkezetről visszaverődő fény nagyobb szögben térül el, mint a nem működtetett 54 működtetőszerkezetről visszaverődő fény.

A 13A-13F. ábrákon a találmány első kiviteli alakjának előállítási műveletei során kialakított szerkezetek láthatók. Az első kiviteli alak, vagyis az MxN darab, vékonyréteggel működtetett 51 tükörelemből álló 50 elrendezés előállításának folyamata, ahol M és N egész számok, az 52 aktív mátrix elkészítésével kezdődik, amelynek van felső 75 és alsó 76 felülete, és amely tar5

HU 220 516 Bl talmazza az 59 alapréteget, az MxN darab tranzisztorból álló elrendezést (nincs ábrázolva) és az MxN darab 61 csatlakozókapocsból álló 60 elrendezést, amint azt a 13A. ábra mutatja.

A következő műveletben az 52 aktív mátrix felső 75 felületén 80 tartóréteget alakítunk ki, amely tartalmaz az MxN darab 56 tartóelemből álló 55 elrendezésnek megfelelő MxN darab 82 talapzatból álló 81 elrendezést, valamint 83 eltávolítandó zónát, ahol a 80 tartóréteget úgy alakítjuk ki, hogy eltávolítandó réteget (nincs ábrázolva) helyezünk el az 52 aktív mátrix teljes felső 75 felületén, kialakítunk egy MxN darab üres résből álló elrendezést (nincs ábrázolva), ami által kialakul a 83 eltávolítandó zóna, ahol az üres rések az MxN darab 61 csatlakozókapocs körül helyezkednek el, és az üres résekbe 82 talapzatokat helyezünk, amint az a 13B. ábrán látható. Az eltávolítandó réteget vákuumpárologtatással alakítjuk ki, az üres rés elrendezést maratási eljárással, a 82 talapzatokat pedig vákuumpárologtatással vagy kémiai gőzöléses bevonással (CVD, Chemical vapour deposition), majd az azt követő maratási eljárással. A 80 tartóréteg 83 eltávolítandó zónáját ezután úgy kezeljük, hogy később maratási eljárással vagy kémiai anyagok alkalmazásával eltávolítható legyen.

A 82 talapzatokban a 61 csatlakozókapcsokat a második 70 elektródákkal összekötő, villamosán vezető, például volffám- (W) anyagú 73 vezetéket alakítunk ki úgy, hogy először maratással üreget hozunk létre a 82 talapzatok tetejétől a megfelelő 61 csatlakozókapocs tetejéig, majd azt megtöltjük villamosán vezető anyaggal, amint azt a 13C. ábra mutatja.

A következő, 13D. ábrán látható műveletben egy első elektróda- 84 vékonyréteget viszünk fel a 80 tartórétegre, amely elektróda- 84 vékonyréteg villamosán vezető anyagból, például aranyból (Au) van. Ezután az első elektróda- 84 vékonyrétegen elmozdulást létrehozó, például PZT-anyagú 85 vékonyréteget, valamint második elektróda- 95 vékonyréteget alakítunk ki.

Ezután a második elektróda- 95 vékonyréteg tetejére fényvisszaverő, például alumínium- (Al) anyagú 99 tükörréteget helyezünk.

A villamosán vezető, az elmozdulást létrehozó és a fényvisszaverő anyagok vékonyrétegeit önmagában ismert vékonyréteg-technikákkal, például vákuumpárologtatással, kolloid gélezéssel, gőzöléssel, maratással és mikromegmunkálással vihetjük fel és mintázhatjuk meg, amint az a 13E. ábrán látható.

A 80 tartóréteg 83 eltávolítandó zónáját ezután eltávolítjuk vagy kémiailag leoldjuk, és ezáltal kialakítjuk az Μ χ N elemből álló, vékonyréteggel működtetett 51 tükörelem- 50 elrendezést, amint azt a 13F. ábra mutatja.

A második kiviteli alakot az első kiviteli alakhoz hasonlóan állítjuk elő. A 80 tartóréteget felvisszük az 52 aktív mátrixra. A 80 tartóréteg tartalmazza az M xN darab 56 tartóelemből álló 55 elrendezésnek megfelelő MxN darab 82 talapzatból álló 81 elrendezést, valamint a 83 eltávolítandó zónát. Az első elektróda- 84 vékonyréteget, az alsó elmozdulást létrehozó 92 vékonyréteget, a közbenső 87 fémréteget, a felső elmozdulást létrehozó 89 vékonyréteget, a második elektróda- 95 vékonyréteget és a fényvisszaverő 99 tükörréteget megfelelően felvisszük a 80 tartórétegre. A villamosán vezető, az elmozdulást létrehozó és a fényvisszaverő anyagok vékonyrétegeit az előzőekben említett, önmagában ismert vékonyréteg-technikákkal vihetjük fel és mintázhatjuk meg. A 80 tartóréteg 83 eltávolítandó zónáját ezután eltávolítjuk vagy kémiailag leoldjuk, ami után a visszamaradó vékonyréteggel működtetett 101 tükörelem- 100 elrendezésnek bimorf szerkezetű, MxN darab 54 működtetőszerkezetből álló 53 elrendezése lesz, amely 54 működtetőszerkezetek konzolosan kinyúlnak az 56 tartóelemekről.

A találmány első és második kiviteli alakjai előállításának fent ismertetett eljárásai kiegészíthetők egy járulékos művelettel a rugalmas 88 vékonyréteg kialakítására, amely művelet hasonló a többi vékonyréteg kialakításához.

Claims

1. Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés optikai vetítőrendszerhez MxN tükörelemmel, ahol M és N egész számok, amely tükörelem-elrendezésnek alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és M xN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó aktív mátrixa van, azzal jellemezve, hogy van MxN darab vékonyréteges működtetőszerkezetből (54) álló elrendezése (53), amely működtetőszerkezetek (54) rendelkeznek felső és alsó felülettel (62, 63) és első és második véggel (64, 65), és tartalmaznak elmozdulást létrehozó anyagú, felső és alsó felülettel (67, 68) rendelkező legalább egy elmozdulást létrehozó vékonyréteget (66), valamint meghatározott vastagságú, az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (66) felső és alsó felületén (67, 68) lévő első és második elektródát (69, 70), ahol az első és második elektródák (69, 70) közötti elmozdulást létrehozó vékonyrétegre (66) kapcsolt villamos feszültség az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (66) és a működtetőszerkezetek (54) deformációját okozza, és amely tükörelem-elrendezésnek (50) van továbbá MxN darab, a működtetőszerkezetek (54) rögzítésére, valamint a működtetőszerkezeteknek (54) az aktív mátrixszal (52) való villamos összekapcsolására szolgáló, felső és alsó felülettel (71, 72) rendelkező tartóelemből (56) álló elrendezése (55), valamint a működtetőszerkezetek (54) tetején elhelyezett, a működtetőszerkezetek (54) deformációjának hatására deformálódó, fénynyalábok visszaverésére szolgáló MxN darab tükörből (58) álló elrendezése (57).

2. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a tartóelemekről (56) konzolosan kinyúló működtetőszerkezetek (54) alsó felülete (63) a tartóelemek (56) felső felületére (71) a működtetőszerkezetek (54) első végén (64) van felerősítve.

3. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a tartóelemek (56) alsó felülete (72) az aktív mátrix (52) felső felületén (75) van elhelyezve.

4. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a működtetőszerkezetek (54) bi6

HU 220 516 Bl morf szerkezetűek, és tartalmaznak egymástól közbenső fémréteggel (87) elválasztott felső elmozdulást létrehozó vékonyréteget (89) felső és alsó felülettel (90, 91), alsó elmozdulást létrehozó vékonyréteget (92) felső és alsó felülettel (93,94), a felső elmozdulást létrehozó vékonyréteg (89) felső felületén (90) lévő első elektródát (69) és az alsó elmozdulást létrehozó vékonyréteg (92) alsó felületén (94) lévő második elektródát (70).

5. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (66) piezoelektromos kerámia vagy piezoelektromos polimer anyagú.

6. Az 5. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzaljellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (66) polarizált.

7. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (66) elektrosztrikciós anyagú.

8. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (66) magnetosztrikciós anyagú.

9. A 4. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a felső és az alsó elmozdulást létrehozó vékonyrétegek (89, 92) piezoelektromos anyagúak.

10. A 9. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a felső elmozdulást létrehozó vékonyréteg (89) piezoelektromos anyaga és az alsó elmozdulást létrehozó vékonyréteg (92) piezoelektromos anyaga ellentétes irányban van polarizálva.

11. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a tartóelemek (56) el vannak látva a működtetőszerkezetekben (54) lévő második elektródákat (70) és az aktív mátrixon (52) lévő megfelelő csatlakozókapcsokat (61) villamosán összekapcsoló vezetékkel (73).

12. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (66) felső és alsó felületeit (67, 68) teljesen lefedő első és második elektródái (69, 70) vannak.

13. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (66) felső vagy alsó felületét (67, 68) részlegesen lefedő első vagy a második elektródája (69, 70) van.

14. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az első és második elektródák (69, 70) villamosán vezető anyagúak.

15. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy tartalmaz továbbá MxN darab, a működtetőszerkezetek (54) felső felületén (62) elhelyezett rugalmas vékonyréteget (88).

16. A 15. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a működtetőszerkezetekben (54) a rugalmas vékonyrétegek (88) a tükrök (58) és az első elektródák (69) között vannak elhelyezve.

17. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy tartalmaz továbbá MxN darab, a működtetőszerkezetek (54) alsó felületén (63) elhelyezett rugalmas vékonyréteget (88).

18. A 14. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az első elektróda (69) fényvisszaverő, az első elektróda (69) tükörként (58) való működését lehetővé tevő anyagból van.

19. A 18. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a tükörelemekben (51) az első elektróda (69) és a második elektróda (70) azonos vastagságú.

20. A 19. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy tartalmaz továbbá MxN darab, a működtetőszerkezetek (54) alsó felületén (63) elhelyezett rugalmas vékonyréteget (88).

21. A 18. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a működtetőszerkezetekben (54) az első elektróda (69) és a második elektróda (70) egymástól különböző vastagságú.

22. Eljárás optikai vetítőrendszerhez való, vékonyréteggel működtetett MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés előállítására, ahol M és N egész számok, amely elrendezésnek alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és MxN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó, felső és alsó felületekkel rendelkező aktív mátrixa van, azzal jellemezve, hogy az aktív mátrix felső felületén az MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezésben (50) lévő MxN darab tartóelemből (56) álló elrendezésnek (55) megfelelő MxN darab (82) talapzatból álló elrendezéssel (81), valamint eltávolítandó zónával (83) rendelkező tartóréteget (80) alakítunk ki, a tartóréteg (80) eltávolítandó zónáját (83) kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, a tartórétegre (80) első elektróda-vékonyréteget viszünk fel, az első elektróda-vékonyrétegre elmozdulást létrehozó vékonyréteget (66) helyezünk, az elmozdulást létrehozó vékonyrétegen (66) második elektróda-vékonyréteget alakítunk ki, fényvisszaverő anyagú tükörréteget viszünk fel a második elektródavékonyrétegre, valamint a tartóréteg eltávolítandó zónáját a vékonyréteggel működtetett, MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés (50) kialakítására eltávolítjuk.

23. A 22. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az első és második elektróda-vékonyrétegeket vákuumpárologtatásos eljárással alakítjuk ki.

24. A 22. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteget (66) vákuumpárologtatásos eljárással alakítjuk ki.

25. A 22. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteget (66) kémiai gőzöléses bevonási eljárással alakítjuk ki.

26. A 22. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteget (66) kolloid gélezéses eljárással alakítjuk ki.

27. A 22. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a tükörréteget vákuumpárologtatásos eljárással alakítjuk ki.

28. A 22. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a tartóréteg kialakítására az aktív mátrix (52) felső felületére eltávolítandó réteget viszünk fel, az eltávolítandó rétegen az MxN darab csatlakozókapocs körül elhelyezkedő MxN darab üres rést alakítunk ki, és az üres résekben talapzatokat (82) alakítunk ki.

29. A 28. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az eltávolítandó réteget vákuumpárologtatásos eljárással alakítjuk ki.

HU 220 516 Bl

30. A 28. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az Μ χ N darab üres résből álló elrendezést maratási eljárással alakítjuk ki.

31. A 28. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a talapzatokat (82) vákuumpárologtatásos eljárással és az azt követő maratási eljárással alakítjuk ki.

32. A 28. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a talapzatokat (82) kémiai gőzöléses bevonási eljárással és az azt követő maratási eljárással alakítjuk ki.

33. Eljárás optikai vetítőrendszerhez való, vékonyréteggel működtetett MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés előállítására, ahol M és N egész számok, amely elrendezésnek alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és MxN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó, felső és alsó felületekkel rendelkező aktív mátrixa van, azzal jellemezve, hogy az aktív mátrix (52) felső felületén az Μ χ N elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezésben (50) lévő MxN darab tartóelemből (56) álló elrendezésnek megfelelő MxN darab talapzatból álló elrendezéssel, valamint eltávolítandó zónával rendelkező tartóréteget alakítunk ki, a tartóréteg eltávolítandó zónáját kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, a tartóréteg teljes felső felületén rugalmas vékonyréteget alakítunk ki, a rugalmas vékonyrétegre első elektróda-vékonyréteget viszünk fel, az első elektróda-vékonyrétegre elmozdulást létrehozó vékonyréteget (66) helyezünk, az elmozdulást létrehozó vékonyrétegre (66) második elektróda-vékonyréteget viszünk fel, fényvisszaverő anyagú tükörréteget alakítunk ki a második elektróda-vékonyrétegen, valamint a tartóréteg eltávolítandó zónáját a vékonyréteggel működtetett, MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés (50) kialakítására eltávolítjuk.

34. A 33. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a rugalmas vékonyréteget közvetlenül a tükörréteg felvitelét megelőzően visszük fel.

35. Eljárás optikai vetítőrendszerhez való, vékonyréteggel működtetett MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés előállítására, ahol M és N egész számok, amely elrendezésnek alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és MxN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó, felső és alsó felületekkel rendelkező aktív mátrixa van, azzal jellemezve, hogy az aktív mátrix (52) felső felületén az MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezésben (50) lévő MxN darab tartóelemből (56) álló elrendezésnek megfelelő MxN darab talapzatból álló elrendezéssel, valamint eltávolítandó zónával rendelkező tartóréteget alakítunk ki, a tartóréteg eltávolítandó zónáját kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, a tartórétegre első elektróda-vékonyréteget viszünk fel, az első elektróda-vékonyrétegre alsó elmozdulást létrehozó vékonyréteget (92) helyezünk, az alsó elmozdulást létrehozó vékonyréteg (92) felső felületén közbenső fémréteget (87) alakítunk ki, a közbenső fémrétegen (87) felső elmozdulást létrehozó vékonyréteget (89) helyezünk el, a felső elmozdulást létrehozó vékonyrétegen (89) második elektróda-vékonyréteget helyezünk el és ezzel bimorf struktúrát alakítunk ki, fényvisszaverő anyagú tükörréteget helyezünk a második elektróda-vékonyrétegre, valamint a tartóréteg eltávolítandó zónáját a vékonyréteggel működtetett, MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés (50) kialakítására eltávolítjuk.