Ausgehend vom genannten Stand der
Technik liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zu Grunde,
ein Reflexionssystem der eingangs genannten Art derart weiterzubilden,
daß die
im Zusammenhang mit dem Stand der Technik beschriebenen Nachteile
vermieden werden können.
Insbesondere soll eine Möglichkeit
geschaffen werden, mit der Reflexionselemente eines Reflexionssystems
besonders einfach und kostengünstig
gesteuert und geregelt werden können.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch
den piezoelektrischen Biegewandler mit den Merkmalen gemäß dem unabhängigen Patentanspruch
1, das Reflexionssystem mit den Merkmalen gemäß den unabhängigen Patentansprüchen 11
und 16 sowie die besondere Verwendung gemäß Anspruch 18. Weitere Vorteile,
Merkmale, Details, Aspekte und Effekte der Erfindung ergeben sich
aus den Unteransprüchen,
der Beschreibung sowie den Zeichnungen. Merkmale und Details, die
in Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen piezoelektrischen Biegewandler
beschrieben sind, gelten dabei selbstverständlich auch im Zusammenhang
mit den erfindungsgemäßen Reflexionssystemen,
und jeweils umgekehrt. Analoges gilt für die erfindungsgemäße Verwendung.
Der vorliegenden Erfindung liegt
die Erkenntnis zu Grunde, daß Reflexionselemente,
beziehungsweise Reflexionsschichten, direkt mit einem piezoelektrischen
Biegewandler gekoppelt werden können oder
aber Bestandteil von diesem sind.
Gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung wird
ein piezoelektrischer Biegewandler bereitgestellt, aufweisend wenigstens
eine erste Schicht und wenigstens eine zweite Schicht, wobei die
erste und/oder zweite Schicht elektrisch angesteuert oder ansteuerbar
ist. Der piezoelektrische Biegewandler ist erfindungsgemäß dadurch
gekennzeichnet, daß wenigstens
eine zumindest teilweise freiliegende Seite des piezoelektrischen
Biegewandlers eine Reflexionsschicht aufweist.
Durch den erfindungsgemäßen piezoelektrischen
Biegewandler wird es auf einfache Weise möglich, gewünschte Reflexionen weitestgehend trägheitsfrei
steuern und regeln zu können.
Dazu ist erfindungsgemäß vorgesehen,
daß wenigstens
eine zumindest teilweise freiliegende Seite des piezoelektrischen
Biegewandlers eine besondere Reflexionsschicht aufweist.
Erfindungsgemäß weist der piezoelektrische Biegewandler
wenigstens eine erste Schicht und wenigstens eine zweite Schicht
auf. Dabei kann die erste und/oder zweite Schicht elektrisch angesteuert sein
oder werden. Grundsätzlich
ist es ausreichend, wenn der piezoelektrische Biegewandler aus einer elektrisch
angesteuerten Schicht und einer weiteren Schicht besteht. In einem
solchen Fall wird die elektrisch angesteuerte Schicht bei elektrischer
Ansteuerung, piezoelektrisch reagieren und sich entweder verlängern oder
verkürzen.
Dadurch entstehen in den beiden Schichten jeweils unterschiedliche
geometrische Änderungen.
Für einen
als wie weiter unten noch näher
beschriebenen Biegewandler in Form eines Kreisscheibenbiegers bedeutet
dies, daß sich die
benachbarten Schichten geometrisch unterschiedlich ändern werden,
was zu einer entsprechenden Krümmung
beziehungsweise Biegung des Kreisscheibenbiegers führt.
Die vorliegende Erfindung ist nicht
auf bestimmte Ausgestaltungsformen für den piezoelektrischen Biegewandler
beschränkt.
Die jeweils angemessene Ausgestaltungsform ergibt sich je nach Anwendungsfall
und Einsatzgebiet für
den piezoelektrischen Biegewandler. Einige nicht ausschließliche, exemplarische
Beispiele für
piezoelektrische Biegewandler werden im weiteren Verlauf der Beschreibung
noch näher
erläutert.
Beispielsweise kann zur elektrischen
Ansteuerung der wenigstens einen ersten und/oder der wenigstens
einen zweiten Schicht wenigstens ein Elektrodenpaar vorgesehen sein.
Vorteilhaft werden dabei solche Seiten
der Schicht en) mit der Reflexionsschicht beschichtet, die nicht
mit einer Elektrodenschicht verbunden sind. Es wäre jedoch auch denkbar, daß die Reflexionsschicht direkt
auf einer Elektrodenschicht aufgebracht wird. Grundsätzlich ist
die Anordnung der Reflexionsschicht auf oder an dem piezoelektrischen
Biegewandler beliebig. Wichtig ist lediglich, daß die Reflexionsschicht auf
einer äußeren Seite
des piezoelektrischen Biegewandlers vorgesehen ist, damit das zu reflektierende
Medium ungehindert auf die Reflexionsschicht auftreffen kann.
Gemäß der vorliegenden Erfindung
ist es ausreichend, wenn wenigstens ein Bestandteil der entsprechenden
Seite des piezoelektrischen Biegewandlers eine Reflexionsschicht
aufweist. Natürlich ist
auch denkbar, das die gesamte Seite eine solche Reflexionsschicht
aufweist. Die Größe, Form
sowie das Muster desjenigen Bereichs des piezoelektrischen Biegewandlers,
der mit einer Reflexionsschicht versehen ist, ergibt sich je nach
Einsatzgebiet und Funktion des entsprechenden Biegewandlers.
Grundsätzlich ist die Erfindung nicht
auf bestimmte Materialien für
die Reflexionsschicht, beziehungsweise auf zu reflektierende Medien,
beschränkt.
Die Erfindung kann überall
dort eingesetzt werden, wo ein auf die Reflexionsschicht auftreffendes
Medium gerichtet und gezielt in eine bestimmte Richtung reflektiert
werden soll. Beispielsweise, jedoch nicht ausschließlich, kann
der piezoelektrische Biegewandler zum Reflektieren von sichtbaren
und unsichtbaren Wellen, beispielsweise Licht, Funkwellen, Strahlungen
aller Art und dergleichen eingesetzt werden. Exemplarische, nicht
ausschließliche
Beispiele für
bevorzugte Einsatzmöglichkeiten
des erfindungsgemäßen piezoelektrischen
Biegewandlers werden im weiteren Verlauf der Beschreibung näher erläutert.
Wenn der die Reflexionsschicht aufweisende piezoelektrische
Biegewandler elektrisch angesteuert wird, bewirkt dies auf Grund
der weiter oben beschriebenen physikalischen Phänomene die konkave Krümmung der
einzelnen Schichten des piezoelektrischen Biegewandlers und damit
auch der Reflexionsschicht. Dadurch ergibt sich eine von der elektrischen Spannung
kontinuierlich einstellbare Krümmung
der Reflexionsschicht.
Beispielsweise kann der piezoelektrische Biegewandler
in einer Weise ausgebildet sein, daß zwischen zwei piezoelektrischen
Keramikschichten eine Elektrodenschicht vorgesehen ist. Denkbar
ist auch, daß zwischen
zwei benachbarten piezoelektrischen Keramikschichten zwei oder mehr
voneinander elektrisch isolierte Elektrodenschichten angeordnet
sind. Die Elektrodenschicht(en) ist/sind im Vergleich zu den Keramikschichten
vorteilhaft sehr dünn.
Mit Hilfe der Elektrodenschicht(en) wird jeweils eine bestimmte
Polarisation der benachbarten Keramikschichten erzeugt. Zudem dient/dienen
die Elektrodenschicht(en) der Erzeugung der für die Krümmung der einzelnen Schichten
benötigten
elektrischen Felder. Sowohl die Polarisationen als auch die elektrischen
Felder, beziehungsweise die Stärken der
elektrischen Felder, können
auf einfache Weise sehr genau eingestellt werden.
Vorzugsweise handelt es sich zumindest
bei einigen der ersten und/oder zweiten Keramikschichten um piezoelektrisch
aktive Keramikschichten. Unter dem Einfluß eines elektrischen Feldes
kommt es jeweils zu einer Abmessungsänderung (Verkürzung) der
betreffenden Keramikschicht entlang einer flächenhaften (lateralen) Ausdehnung
der Keramikschicht.
In einer beispielhaften Ausgestaltungsform kann
der piezoelektrische Biegewandler mindestens eine piezoelektrisch
aktive Keramikschicht mit einer durch ein elektrisches Feld erzeugbaren
lateralen Abmessungsänderung
und mindestens eine weitere piezoelektrisch aktive Keramikschicht
mit einer durch ein weiteres elektrisches Feld erzeugbaren, von
der vorgenannten lateralen Abmessungsänderung verschiedenen weiteren
lateralen Abmessungänderung aufweisen,
wobei zur Erzeugung der elektrischen Felder zwischen den Keramikschichten
mindestens ein Elektrodenpaar vorgesehen ist.
Beispielsweise kann der piezoelektrische Biegewandler
aus mehreren piezoelektrisch aktiven Keramikschichten und dazwischen
angeordneten inneren Elektrodenschichten bestehen. Jede der inneren
Elektrodenschichten dient der Erzeugung der elektrischen Felder
in den benachbarten piezoelektrisch aktiven Keramikschichten. Jede
der piezoelektrisch aktiven Keramikschichten ist vorzugsweise in Dickenrichtung
der Keramikschicht und damit in Stapelrichtung des monolithischen
Schichtverbunds polarisiert. Beim Polarisieren werden dann bei Anlegen alternierender
Polaritäten
an benachbarten Elektrodenschichten in benachbarten Keramikschichten
entgegengesetzte Polarisationsrichtungen erzeugt. Durch die elektrische
Ansteuerung der Elektrodenschichten im Betrieb des Biegewandlers,
das heißt durch
Erzeugen elektrischer Felder parallel zu den Polarisationsrichtungen,
kommt es dann zu den lateralen Abmessungsänderungen entlang der Keramikschichten.
Die Keramikschichten werden senkrecht zu den Polarisationsrichtungen
und damit zu den Dickenrichtungen der Keramikschichten verkürzt.
Denkbar sind jedoch auch Biegewandler
mit wenigstens einer piezoelektrisch aktiven und mindestens einer
piezoelektrisch inaktiven Schicht.
Beispielsweise können die Keramikschichten eine
im wesentlichen gleiche Schichtdicke aufweisen. „Im wesentlichen gleich" bedeutet in diesem Fall,
daß eine
Toleranz von bis zu 10% zulässig
sein soll. Wenn die Schichtdicken der Keramikschichten gleich sind
und die Keramikschichten aus dem gleichen Keramikmaterial bestehen,
kann vorteilhaft vorgesehen sein, daß bei gleicher Polarisation
unterschiedliche elektrische Feldstärken auf die Keramikschichten
einwirken. Auf diese Weise lassen sich unterschiedliche Abmessungsänderungen
in den einzelnen Keramikschichten erzeugen, wenn an die Elektrodenschichten
eine elektrische Spannung angelegt wird. Unterschiedliche Abmessungsänderungen
sind auch dadurch realisierbar, daß die Keramikschichten unterschiedliche
Polarisationen aufweisen und gleichen oder ähnlichen elektrischen Feldstärken ausgesetzt
werden. Die Feldstärken
werden dabei vorteilhaft so gewählt,
daß es
im Betrieb des Biegewandlers zu keiner Änderung der Polarisation der Keramikschichten
kommt (Nachpolung).
In weiterer Ausgestaltung können zumindest einzelne
Keramikschichten unterschiedliche Schichtdicken aufweisen. Sowohl
beim Polarisieren der Keramikschichten als auch im Betrieb des Biegewandlers
können
die Elektrodenschichten bei alternierender Beschaltung mit den gleichen
elektrischen Potentialen beaufschlagt werden. Dies führt dazu,
daß bei gleicher
elektrischer Ansteuerung der Elektrodenschichten unterschiedliche
Abmessungsänderungen der
Keramikschichten hervorgerufen werden können.
Die Erfindung ist nicht auf bestimmte
Materialien für
die Keramikschichten beziehungsweise die Elektrodenschichten beschränkt. Vorteilhaft
können die
Keramikschichten, beziehungsweise die Elektrodenschichten, jeweils
aus dem gleichen Material gebildet sein. Natürlich ist auch denkbar, daß zumindest einzelne
Keramikschichten und/oder Elektrodenschichten im Vergleich zu anderen
Keramikschichten beziehungsweise Elektrodenschichten aus unterschiedlichen
Materialien gebildet sind.
Beispielsweise können die Keramikschichten aus
einem Bleizirkonattitanat (PZT) oder dergleichen gebildet sei. Die
Elektrodenschichten können bevorzugt
aus einem elektrisch leitfähigen
Material, beispielsweise aus einer Palladium-Silber-Paste oder dergleichen, hergestellt
sein.
Um die Reflexionsschicht am piezoelektrischen
Biegewandler anzuordnen, kann beispielsweise vorgesehen sein, daß die entsprechende,
zumindest teilweise freiliegende Seite des piezoelektrischen Biegewandlers
mit einer reflektierenden Schicht beschichtet ist. Beispielsweise
kann die Reflexionsschicht aufgedampft oder aber auf andere Weise
abgeschieden werden.
In weiterer Ausgestaltung kann auf
der zumindest teilweise freiliegenden Seite des piezoelektrischen
Biegewandlers eine reflektierende Schicht angeordnet sein. Bei einer
solchen Ausgestaltungsform kann die reflektierende Schicht zunächst in
einem separaten Fertigungsverfahren hergestellt und anschließend als
fertiges Bauelement auf dem piezoelektrischen Biegewandler aufgebracht
werden. Die Art und Weise, wie die reflektierende Schicht aufgebracht
wird, ergibt sich je nach den verwendeten Materialien. Beispielsweise
kann die Reflexionsschicht aufgeklebt, aufgelötet, aufgeschweißt oder
dergleichen werden.
Vorteilhaft kann die Reflexionsschicht
als Spiegelschicht ausgebildet sein.
In einem solchen Fall kann der piezoelektrische
Biegewandler vorteilhaft zur Steuerung und Regelung der Krümmung von
Spiegeln eingesetzt werden. Dabei kann der Biegewandler entweder
Bestandteil eines Spiegels, beispielsweise eines Hohlspiegels sein,
oder aber selbst den Spiegel bilden. Im erstgenannten Fall sind
vorzugsweise eine ganze Reihe von Biegewandlern vorgesehen, die
jeweils eine Facette des Spiegels bilden. Dabei ist durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung
des piezoelektrischen Biegewandlers sichergestellt, daß eine zumindest
im wesentlichen trägheitsfreie
Steuerung und Regelung der Brennweite von Spiegeln ermöglicht wird.
Wenn der piezoelektrische Biegewandler auf einer Seite spiegelnd
beschichtet ist, bewirkt die elektrische Ansteuerung des piezoelektrischen Biegewandlers,
daß sich
dessen spiegelnde Seite konkav krümmen kann. Damit ergibt sich
eine von der elektrischen Spannung kontinuierlich einstellbare Brennweite
des Spiegels.
Wenn die Reflexionsschicht als Spiegelschicht
ausgebildet ist, kann die Verspiegelung des piezoelektrischen Biegewandlers
beispielsweise durch Aufdampfen von Aluminium, Aufkleben von Aluminiumfolie
oder dergleichen bewerkstelligt werden.
Vorteilhaft können die Elektrodenschichten des
Elektrodenpaars mit einer Einrichtung zum Erzeugen einer variablen
Spannung verbunden sein. Auf diese Weise wird es möglich, die
Krümmung
der einzelnen Schichten des Biegewandlers sehr genau und definiert
einstellen zu können.
Das bedeutet gleichzeitig, daß auch
die Reflexionsschicht, die ja mit der/den Schicht (en) des piezoelektrischen
Biegewandlers, beispielsweise einer Keramikschicht, direkt verbunden
ist, auf gleiche Weise verändert,
insbesondere gekrümmt,
wird. Aus diesem Grund läßt sich über die
Einrichtung zum Erzeugen einer variablen Spannung bei Anlegen einer
eben solchen an die Elektrodenschicht (en) eine sehr genaue Steuerung und
Regelung der Krümmung
der Reflexionsschicht realisieren. Dies ist insbesondere dann von
Vorteil, wenn die Reflexionsschicht als Spiegelschicht ausgebildet
ist und eine genau definierte, variable Krümmung des Spiegels gewünscht ist,
um dessen Abbildungseigenschaften zu beeinflussen.
In weiterer Ausgestaltung kann wenigstens eine
Elektrodenschicht zumindest ein Elektrodensegment aufweisen. Im
einfachsten Fall besteht die Elektrodenschicht aus einem einzigen
Elektrodensegment, das auf der Keramikschicht angeordnet wird. In diesem
Fall kann die Elektrodenschicht in etwa der Kontur der Keramikschicht
angepaßt
sein. Es ist jedoch auch denkbar, daß zumindest einzelne Elektrodenschichten
des piezoelektrischen Biegewandlers aus mehr als einem Elektrodensegment
bestehen. Auf diese Weise wird es möglich, die piezoelektrisch aktiven
Bereiche des Biegewandlers zu strukturieren. So ist es beispielsweise
denkbar, daß jede
Elektrodenschicht aus mehreren Elektrodensegmenten besteht, die
unabhängig
voneinander ausgebildet sind und somit unabhängig voneinander mit einer
elektrischen Spannung angesteuert werden können. Insbesondere kann dabei
vorgesehen sein, daß jedes
oder zumindest einzelne Elektrodensegmente mit unterschiedlicher
Spannung angesteuert werden. Auf diese Weise läßt sich die Abmessungsänderung,
einer jeden Keramikschicht und damit auch die Krümmung der Reflexionsschicht
sehr genau regeln.
In weiterer Ausgestaltung kann wenigstens eine
Elektrodenschicht zumindest einen strukturierten Bereich aufweisen.
Durch die strukturierten Bereiche der Elektrodenschicht können die
piezoelektrisch aktiven Bereiche des Biegewandlers ebenfalls gezielt
und an die jeweiligen Bedürfnisse
angepaßt, eingestellt
werden.
Durch die Aufteilung der Elektrodenschicht
in einzelne Elektrodensegmente, beziehungsweise durch die Strukturierung
der Elektrodenschicht, wird es möglich,
eine variable Änderung
der Reflexionsschicht zu erzeugen, so daß diese ohne Schwierigkeiten
an sich ändernde äußere Begebenheiten
angepaßt
werden kann. Wenn die Reflexionsschicht beispielsweise als Spiegelschicht
ausgebildet ist, wird durch die Segmentierung, beziehungsweise Strukturierung,
der Elektrodenschicht(en) erreicht, daß eine örtlich variable Krümmung der
Spiegelschicht möglich
wird. Dadurch können
die Abbildungseigenschaften des Spiegels beeinflußt werden, beispielsweise
wenn statt einer sphärischen
Abbildung eine parabolische Abbildung gewünscht wird.
Grundsätzlich kann die Grundfläche des
piezoelektrischen Biegewandlers beliebig ausgebildet sein. Beispielsweise
kann die Grundfläche
rechteckig sein, was beispielsweise zu einem streifenförmigen Schichtverbund
führen
kann. Denkbar ist auch eine Grundfläche in Form eines regelmäßigen Sechsecks oder
dergleichen. In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung weist
der piezoelektrische Biegewandler eine runde Grundfläche auf.
In diesem Fall stellt der piezoelektrische Biegewandler einen sogenannten
Kreisscheibenbieger dar. Jede der Keramikschichten ist dabei vorzugsweise
eine Scheibe. Auf diese Weise wird es auf besonders einfache Weise möglich, einen
maximalen resultierenden Hub des Biegewandlers zu ermöglichen.
Weiterhin zeichnet sich ein Kreisscheibenbieger
durch eine gute Stabilität
aus. Der Kreisscheibenbieger ist selbsttragend. Eine Auflage des
Kreisscheibenbiegers ist beispielsweise nicht punktförmig, sondern
erstreckt sich über
den Umfang des Kreisscheibenbiegers. Ein weiterer Vorteil besteht
darin, daß der
Kreisscheibenbieger nur fixiert werden muß. Als weitere Vorteile sind
eine im Vergleich zu anderen Bauformen erhöhte Blockierkraft, eine erhöhte Steifigkeit
und eine relativ hohe Resonanzfrequenz zu nennen. Zudem kann zur
Herstellung des Kreisscheibenbiegers auf bewährte Verfahren zur Herstellung von
keramischen Mehrschichtaktoren zurückgegriffen werden.
Wenn die Reflexionsschicht als Spiegelschicht
ausgebildet und der piezoelektrische Biegewandler als Kreisscheibenbieger
ausgebildet ist, bewirkt die elektrische Ansteuerung des Kreisscheibenbiegers
die konkave Krümmung
der spiegelnden Seite. Damit ergibt sich eine von der elektrischen
Spannung kontinuierlich einstellbare Brennweite.
In weiterer Ausgestaltung kann der
piezoelektrische Biegewandler als monolithischer Schichtverbund
ausgebildet sein. Monolithisch bedeutet in diesem Fall, daß der Schichtverbund
etwa durch gemeinsames Sintern (Co-Firing) der Keramikschichten und
der dazwischen angeordneten Elektrodenschichten hergestellt wird.
Beispielsweise werden zum Herstellen des monolithischen Schichtverbunds mehrere,
mit Elektrodenmaterial bedruckte keramische Grünfolien übereinander gestapelt, laminiert, gegebenenfalls
entbindert und nachfolgend gesintert. Die Grünfolien sind beispielsweise
so gewählt, daß durch
das Sintern Schichtdicken der Keramikschichten im Bereich zwischen
20 μm und
500 μm resultieren.
Durch den wie vorstehend beschriebenen
erfindungsgemäßen piezoelektrischen
Biegewandler lassen sich eine Reihe von Vorteilen realisieren. So ist
es zum einen möglich,
die Reflexionsschicht in ihrer Krümmung sehr genau einzustellen.
Wenn die Reflexionsschicht als Spiegelschicht ausgebildet ist, läßt sich
auf diese Weise beispielsweise eine hochpräzise Einstellung der Brennweite
des Spiegels realisieren. Weiterhin kann die Reflexionsschicht mit
hohen Frequenzen verändert
werden. Darüber
hinaus ist eine kompakte Bauweise des Biegewandlers möglich. Durch
eine zusätzliche
Strukturierung, beziehungsweise Segmentierung, des Biegewandlers, insbesondere
zumindest einzelner Elektrodenschichten sowie eine separate Ansteuerung
dieser Segmente können
die Reflexionseigenschaften weiter verbessert werden. Insbesondere
dann, wenn der piezoelektrische Biegewandler als Kreisscheibenbieger
und die Reflexionsschicht als Spiegelschicht ausgebildet ist, können durch
zusätzliche
Strukturierung des Kreisscheibenbiegers und separate Ansteuerung dieser
Segmente die Eigenschaften der optischen Abbildung über die
der sphärischen
Grundform hinaus erweitert werden.
Gemäß dem zweiten Aspekt der Erfindung wird
ein Reflexionssystem bereitgestellt, das erfindungsgemäß dadurch
gekennzeichnet ist, daß es wenigstens
ein Systemsegment mit wenigstens einem wie vorstehend beschriebenen
erfindungsgemäßen piezoelektrischen
Biegewandler aufweist.
Dabei kann erfindungsgemäß vorgesehen sein,
daß jedes
Systemsegment und/oder jeder piezoelektrische Biegewandler separat
angesteuert wird oder ansteuerbar ist.
Insbesondere dann, wenn ein solches
Reflexionssystem als Spiegel, beispielsweise als Hohlspiegel, ausgebildet
ist, wobei die Reflexionsschicht eines jeden piezoelektrischen Biegewandlers
als Spiegelschicht ausgebildet ist und die einzelnen piezoelektrischen
Biegewandler zu einem Gesamtsystem zusammengesetzt sind, kann die
Krümmung
eines jeden Spiegelsegments, und damit die Krümmung des gesamten Spiegels,
auf einfache Weise elektronisch gesteuert werden. Diese gezielte
Steuerung kann noch dadurch unterstützt werden, daß jedes
Systemsegment und/oder jeder piezoelektrische Biegewandler separat
angesteuert wird beziehungsweise ansteuerbar ist. In diesem Zusammenhang
ist es auch denkbar, daß jeweils
mehrere Biegewandler ein Systemsegment bilden und daß alle in
einem Systemsegment befindlichen Biegewandler gleichzeitig und/oder
gleichartig angesteuert werden.
Vorteilhaft kann zur Steuerung und/oder
zur Regelung des wenigstens einen Systemsegments und/oder des wenigstens
einen piezoelektrischen Biegewandlers eine Steuereinrichtung vorgesehen sein.
Diese Steuereinrichtung kann beispielsweise einen Mikroprozessor,
einen elektronischen Rechner und dergleichen aufweisen. Die Steuerung
der einzelnen Komponenten erfolgt vorteilhaft über entsprechende Elemente
der Steuereinrichtung. Hierbei kann es sich beispielsweise um Bestandteile
des wenigstens einen elektronischen Rechners, um elektronische Bauteile,
Komponenten, Schaltungen, Schaltungsteile, um geeignete Programmittel,
beziehungsweise Software, und dergleichen handeln.
Vorteilhaft kann das wenigstens eine
Systemsegment auf einer Grundfläche,
insbesondere auf einer verformbaren oder verformten Grundfläche, angeordnet
sein.
Gemäß einem weiteren Aspekt der
Erfindung wird ein Reflexionssystem bereitgestellt, das wenigstens
ein Systemsegment mit wenigstens einem piezoelektrischen Biegewandler
aufweist, wobei der piezoelektrische Biegewandler wenigstens eine erste
Schicht und wenigstens eine zweite Schicht aufweist und wobei die
erste und/oder zweite Schicht elektrisch angesteuert oder ansteuerbar
ist. Das Reflexionssystem ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß das Systemsegment
auf einer als Reflexionsschicht ausgebildeten Grundfläche, insbesondere
auf einer verformbaren Grundfläche,
angeordnet ist.
Auf diese Weise wird eine veränderliche
Reflexionsschicht geschaffen, wobei die eigentliche Reflexionsschicht
als Grundfläche
ausgebildet ist, die auf wenigstens einem Systemsegment mit wenigstens
einem piezoelektrischen Biegewandler gelagert ist. Vorzugsweise
ist die Reflexionsschicht jedoch auf einer Vielzahl von Systemsegmenten
beziehungsweise piezoelektrischen Biegewandlern gelagert. Durch
gezielte Einzelansteuerung der piezoelektrischen Biegewandler gelingt
die lokale Korrektur beziehungsweise Anpassung der Reflexionsschicht
an eine gewünschte
Kontur.
Vorteilhaft kann der piezoelektrische
Biegewandler dabei in einer wie weiter oben beschriebenen Weise
ausgebildet sein.
Insbesondere dann, wenn das Reflexionssystem
als Spiegel ausgebildet ist, kann durch gezielte Ansteuereung der
piezoelektrischen Biegewandler auf einfache und genaue Weise die
lokale Korrektur beziehungsweise Anpassung der Spiegeloberfläche an jede
gewünschte
Kontur erreicht werden.
Aus diesem Grund können derartige
Reflexionssysteme besonders vorteilhaft als Teleskope oder dergleichen
eingesetzt werden.
Gemäß noch einem weiteren Aspekt
der Erfindung kann ein wie vorstehend beschriebener erfindungsgemäßer piezoelektrischer
Biegewandler und/oder ein wie vorstehend beschriebenes erfindungsgemäßes Reflexionssystem
vorteilhaft als regulierbarer Spiegel verwendet werden.