HU204142B - Electric discharge appliance - Google Patents
Electric discharge appliance Download PDFInfo
- Publication number
- HU204142B HU204142B HU903249A HU324990A HU204142B HU 204142 B HU204142 B HU 204142B HU 903249 A HU903249 A HU 903249A HU 324990 A HU324990 A HU 324990A HU 204142 B HU204142 B HU 204142B
- Authority
- HU
- Hungary
- Prior art keywords
- discharge device
- electrical discharge
- electron
- cathode
- cavity
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J3/02—Electron guns
- H01J3/023—Electron guns using electron multiplication
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/10—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
- H01J31/12—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
- H01J31/123—Flat display tubes
- H01J31/124—Flat display tubes using electron beam scanning
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Description
tartalmaz egy elektronforrást, egy elektronokat emittáló felülettel rendelkező katódja van, a katóddal együttműködő vákuumos elektron eltérítése van.
Ahagyományos elektromos kisülési eszközök, mint pL az elektroncsöveknemrendelkeznek az elektronsugár lokalizáltmódon való irányftásánaklehetőségével. Sőtkorlátot jelent az is, hogy csak bizonyos áramsűrűséggel rendelkező eléktronáramot képesek ezek az elektronforrások előállítani. Számos esetben jó lenne, ha az elektromos kisülési eszköz rendelkezne az elektronsugár lokalizált irányításának lehetőségével, vagy nagyobb áramsűrűségű áramot adna. Uyen alkalmazások pl. akatósugárcsŐ (TV), az elektronmikroszkópok, az elektronsugaras litográfiái eszközök.
Olyan hasonló célú alkalmazásokra szánt kisülési eszköz, amely szigetelő falak adott elrendezéséből álló eltérítéssel rendelkezik, megismerhető például DE 2519650 lajstromszámú szabadalomból. Itt az elektronokpárbuzamos lemezek között kiképzett üregeken haladnakkeresztűl. Amegoldásnál a belépő és a kilépő nyílások azonosságából, valamint a cellaszerű elemek struktúrájából és a forrás elrendezéséből adódóan csak korlátos elektronsugárnyaláb intenzitás! tartománybannyerbetőmegfelelő eltérítés.
Találmányunk céljául a már vázolt igények kielégítését tűztükki. Azígy nyert megoldás legyen egyszerű, hatékony, és rendelkezzen jól adaptálható paraméterekkel a különböző elektronsugaras berendezésekhez.
A találmány szerint célunk elérésére egy olyan elektromos kisülési elemet alkalmazunk, amely tartalmaz egy elektronforrást, és amely jellemzően egy elektronokat emittáló felülettel rendelkező katóddal rendelkezik, a katóddal együttműködő vákuumos elektron eltérítése van, amelyet egy δ másodlagos emissziós együtthatójú, elektromosan szigetelő anyagból levő falak által meghatározott üreg képez, amelyüregnekkimenetiapertúrájavan, és az elektródok össze vannakkötve az üregen keresztül vezető út mentén a kátédtól a kimeneti apertúráig egy E tere- 1 rősségn elektromos teret biztosító feszültségforrással, és ahol δ és E értékei az üregen keresztüli elektron átáramlást lehetővé tevő nagyságúak. Több hasonló üreg alkalmazása is lebtséges. Ekkor előnyös a vonal vagy mátrix elrendezés kialakítása. 2
A találmány azon a felismerésen alapul, hogy egy elektromosan szigetelő anyagú (pl. üveg, kerámia, petinax, kapton) falakkal megbatározott üregen keresztüli elektron átáramlás végbemehet, feltéve, ha kálóén erős elektromos teret biztosítunk az üreg hosszanti 50 irányában. Ezen tér nagysága függ az üreg falainak anyagától, geometriájától és méreteitől.
Az elektron áthaladás másodlagos emissziós folyamat útján megy végbe úgy, hogy minden, az üreg falába ütköző elektron átlagosan egy elektron emisszióját 55 okozza.
így a feltételi körülményeket úgy választhatjuk meg,hogy ahány elektron belép az üregbe, annyi távozik is annak kimenetén. így egy igen kedvező vákuumos elektron eltérítést valósíthatunkmeg. 60
A találmány szerinti kisülési eszköz igen egyszerű felépítésű lehet, ha a kátéd az elektron eltérítés üregén belül van elhelyezve. Az utóbbi kivitel sajátos vonása az, hogy ha a kimeneti apertúra SOut felülete kisebb, 5 mint akatódemittáló Scathfelülete, akimeneti apertúrán kilépő áramsűrűség egy faktor szerint nagyobb, mint a kátéd áramsűrűsége.
A katódot elhelyezhetjük azonban az üregen kívül is és az üreg bemeneti apertúrája a katód felé nézhet 10 Gyakorlatikivitel eseténazemittálókatód,valaminta bemeneti apertúra felület lényegében azonos nagyságú.
Legalább bizonyos távolságra áthatoló dektronáram létrehozásához az üreget célszerű hosszúkás for15 májúra kiképezni. Ez azt jelenti, hogy az elektron eltérítés egyenes vagy hajlított cső alakúlehet. Adott esetben az Scath felületű emittáló kátédról az elektronok az eltérítésbe injektálódnak annak egyik oldalán. A bemenet nagysága az felület, a kimenet pedig az 20 felület. Egy vezető elektróda van az ezen apertúrával szomszédos külső oldalon. Ezen elektrüda és a katód közötti delta V feszültség különbség hozza létre az átáramlásboz szükséges elektromos teret. Mivel a falak nem vesznek fel, sem nem szolgáltatnak áramot, ezért 25 lényegében ugyanannyi elektron hagyja el az üreget, mint ahánybelép-Akimeneti Jout áramsűrűségre:
^out “ (^cath^out) Tja ahol Jfo a bemeneti áramsűrűség, és ha Scatll .> ^out akkor nagy áramerősítés nyerhető, más szavakkal így 30 egynagyáramsűrűségetbiztosítókisülési eszközvalósíthatómeg.
Akatódnaklehet emittált elektron áramot moduláló eleme. Ha a kis áramsűrűségű ponton való modulációt tekintjük, ez kisebb eltérítő feszültséggel hajtható 35 végre, mint a hagyományos kisülési csövek esetében (pl. trióda).
A következőkben a találmányt rajzok segítségével fogjűkismertetni, ahol:
1. ábra: vázlatos keresztmetszete egy elektromos kisülő eszköz részének, katóddal és a találmány szerinti elektron eltérítéssel;
2. ábra: az előző oldalnézetben;
3. ábra: akisülő csővázlatos keresztmetszete katóddal és egy másik elektron eltérítéssel;
4. ábra: az elektron eltérítés működését szemlélteti;
5. ábra: az eltérítés egy másikkivitele;
. 6. ábra: több eltérítés közös katóddal;
7. ábra: több kimeneti apertúrájú eltérítés katóddal, elektromos ger jesztéssel;
8. ábra: több eltérítés több független ger jesztésű katóddal;
9. ábra: a találmány szerinti kisülési elemet tartalmazó elektronmikroszkóp vázlata;
10. ábra: a találmány szerinti kisülési elemmel ellátottkatódsugárcső:
11. ábra: az A-B-C ábrák egy elektronsugár ldválasztásirendszertmutatnak; és
12. ábra: diagram, amelyen a δ másodlagos emissziós együttható látható, egy alkalmas anyag Ep elsődleges elektron energiájánakf üggvényében ábrázolva.
HU 204142 Β
Az 1. ábra vázlatos keresztmetszet, amely részlegesen mutatja az 1 kisülési eszközt, melynek egy 3 izzószálas 2 katódja van és egy 4 hordozóra vitt 5 emíttáló rétege. Az 5 emittáló rétegnek Scath felülete az Sin felületű bemeneti apertúra felé néz. Az elektroneltérítés hosszúkás 10 üregének 7,8,9 falai villamosán szigetelő anyagúak. Ennek az anyagnak szükségképpen nagy fajlagos ellenállása kell hogy legyen - minél nagyobb az ellenállás, annál kisebb a teljesítmény szükséglet és a S másodlagos emisszós együtthatónak 1-nél nagyobbnak kell lennie, (ld. 12. ábra), legalábbis egy bizonyos Ej, Ejj elsődleges elektron energia tartományban. Célszerűen Ej a lehető legkisebb, pl. egyszer vagy néhányszor 10 eV. így megfelelő pl. az üveg (Ej - 30 eV), kerámia, pertinax, kapton. A falak egyikén, esetünkben a 8 falon van egy 11 kimeneti apertúra (ld. 2. ábra). A 12 elektród és a 2 katód közé dV feszültség különbség van kapcsolva, amely a 10 üreg hosszában elektromos teret gerjeszt. Ha ez a tér kellő erősségű az anyagtól és a méretektől természetesen függően akkor elektron átáramlás jön létre a (légüres) 10 üregen keresztül.
Az átáramlás másodlagos emisszió útján történik, amikor a falnak ütköző elektron átlagosan egy elektron emittálását okozza (ld. a 4. ábrát). Következésképpen elmondható, hogy lényegében ahány elektron belép a 10 üreg 6 bemeneti apertúráján, annyi távozik a 11 kimeneti apertúrán, mert a szigetelő falaknak oly nagy az ellenállása, hogy nem tud jelentős elektron elnyelést vagy generálást okozni.
Az 1, ábra szerinti konstrukció egy különösen előnyös kivitelű eszközt mutat, térben korlátozott elektronáram áthaladásának biztosítására, amely térben korlátozott elektronáram számos különböző módon jól használható (ez az ún. elektronszál).
Ha Sout < Scath, a Jout áramsűrűség a 11. kimeneti apertúrán nagyobb lesz, mint a 2 katód szolgáltatta bemeneti áramsűrűség, így egy jól használható elektron sokszorozót kapunk.
Számos alkalmazás során fontos a B luminózitás (elektronsugárra vonatkoztatott, azáltal kiváltott „fényesség) értéke, amely arányos J/dE-vel, ahol dE az elektronok energiájának szórása.
Ha Bja és Bout a luminózitás a bemenetnél és a kimenetnél:
Bout-BinS^ídEVCSoutídEJout)
A legtöbb triódában alkalmazott izzított katódra dE kb. 0,2 eV a kis áramoknál, míg dE kb. 2 éV-ig növekedhet a mA nagyságrendű áramoknál. A11 kimeneti apertúránál kilépő elektronok energiájának (dE)0Ut szórása kb. 3 eV. A (άΕ^ζΰΕ)^ arány ebben az esetben 1/2-1/20. Következésképpen ha Sin/Sout 2-20 akkor:
BoutBin
Sjc/sout 200-nak megfelelő elektroneltérítéseket már a jelen találmány szerint megvalósítottuk, de jóval nagyobb értékek érhetők el. Luminózitásban 100500 erősítés valósítható meg. Ez azt jelenti, hogy a javasolt elektron sokszorozó rendkívül érdekes lehet pl. TV képcsövekhez, TV projektor csövekhez, elektronmikroszkópokhoz, elektronsugaras litográf iás eszközökhöz.
A találmány nemcsak erősítés nélküli, hanem erősítéssel rendelkező elektroneltérítésekre is vonatkozik. Utóbbi esetben a falaknak áramot kell tudni szolgáltatniuk. Erre pl. megfelelően nagy δ másodlagos emissziójú réteget alkalmazhatunk, így az áramerősítés elektronsokszorozással valósulhat meg. Mindazonáltal probléma, hogy az ilyen ismert kialakítású rétegek élettartama rövid. Bizonyos alkalmazásoknál ez viszont nem probléma. Ekkor a Jout kimeneti áramsűrűség:
^out - M Jjn Scath/Sout ahol M a sokszorozás általi áramerősítés.
Hasonlóképpen a kimenetiB0Ut luminózitás kifejezhető:
BOut “MBja (Scatf/dE)^)/ (S0Ut(dE)0Ut)
Megjegyzendő, hogy a találmány szerinti elektromos kisülési elem viszonylag kis ritkításé vákuumban működik (feltéve, hogy a katód így üzemképes); a cső bemeneténél az elektronáram modulációját a szokásosnál jóval kisebb eltérítő feszültséggel (pl. kb. 20 Vtal 150 V helyett) elvégezhetjük, valamint a katód lehet izzított vagy hideg, mint pl. egy field-emitter vagy egyp-nemitter.
A 3. ábra egy elektromos 13 kisülési csövet mutat, egy 14 katóddal és az elektroneltérítés 15 üregével, melynek típusa különböző az 1. ábrán láthatóétól. A 15 üreg elvékonyodó, és 16 bemeneti és 17 kimeneti apertúrájavan.
Az 5. ábra egy elektromos 18 kisülési elemet mutat, melynek szerkezete igen egyszerű, és amelyben a 19 katód az elektroneltérítés 20 üregében van. A 23 kimeneti apertúrának van egy 22 elektródája a 21 burkoló falon belül - amely ezúttal gömbszerű.
A 6. ábrán egy 27 elektronforrás látható egy közös 24 katóddal együtt működő néhány (itt 3) elektroneltérítés szerepét betöltő 26, 26’, 26” üregekkel. Ilyen konstrukció pl. egy színes képcsőben alkalmazható, amelyben a 26,26’, 26” üregek egymás után végzik az elektronok irányítását (meghajtásuk révén) és a 24 katód által emittált elektronáram modulálva van. Másik alternatíva a 28 katód és a vele együtt működő 29 üreg együttes alkalmazása, amely egy helyett több (itt 3) 30, 30’, 30 kimeneti apertúrával rendelkezik, amelyeknek 31, 32,33 elektródáik vannak azok elektromos „zárására” ill. „nyitására” (7. ábra).
Egyenes vagy hajlított, elkeskenyedő vagy nem elkeskenyedő 34,35,36 elektron eltérítéseket, és hozzájuk külön-külön vagy egy közösen alkalmazott katódos elrendezést pl. több kis felületű elektronfolt adott felületen való létrehozására lehet használni. A 8. ábra eztmutatja, egy37 elektron-optikai lencsével. Ekkor a 34, 35,36 elektron eltérítések együtt működnek egy vonalkatódot tartalmazó katódelrendezéssel, amely függetlenül meghajtott elektronforrásokat képez. Ez az elrendezés elektronsugaras litográfiái eszközök esetében előnyös.
A 9. ábra sematikusan ábrázol egy 39 elektronmik3
Hü 204142 Β roszkópot a 10. ábra pedig egy 40 képcsövet a 41,42 kisülési elemekkel, amelyek a fenti elektron sokszorozó típusúak. Ezekben a nagy áramsűrűség előállítására való képességkülönösen előnyös tulajdonság.
All. AB, Cábrákon bemutatott elektronsugár kiválasztási rendszer megjelenítők képcsöveiben kerül alkalmazásra.
Egy katód elrendezés, mint pl. az 55 vonalkatód pl. 600 függetlenül meghajtott katódot képez, illetőleg ennek az elrendezésnekfelelmeg, és a lemez alakú 49 struktúra aljánál elhelyezett 54 hátsó fallal. Ha szükséges, több különálló emitter, pl. fidd-emitter vagy pnemitterkerülhetaz55vonalkatődhelyettfelhasználásra.Ezen emitterek mindegyike csupán pA vagy nA nagyságú árammal való táplálást igényel, az erősítéstől függően, így több típusú hideg vagy izzított katód megfelel a célnak. Ezen katódok emissziója modulálható. Az egy-egy katóddal ellátott 56,56’, 56”,... stb. cellák egy sorba vannak elhelyezve, az 55 vonalkód ill. katódsor fölött Ezen 56 cellákfalamegfelelő elektromos ellenállással bíró anyagból, pl. kerámiából vagy ólomüvegből van, amelynek bizonyos Ep elsődleges elektron energia tartományban δ 1 másodlagos emissziós együtthatója van. Az ellenállásnak olyan nagynak kell lennie, hogy a lehető legkisebb áram (pl. 10 mA-nél kevesebb) folyjon a falakban, amikor az a feszültség különbség van az 1 hosszúságú szakaszra kapcsolva (amely pl. 1-1000 mm lehet), amely ahhoz szükséges, hogy az elektronok vákuumon keresztüli átáramlása bekövetkezzen. A katód menti oldal ellenállásakisebb lehet (hozzávetőlegesen 100-szor), mint az 56 cellák többi részéé, hogy a katódáramot valamelyest erősítsük, de célszerűen az ezen oldali ellenállás is nagy (előnyösen 106 -1015 ohm), és a teljes áram szükséglet a kátédból származik, azaz erősítés mentes : átáramlás történik. Minden 56 cella, egyik fala az 54 hátsó fal, amely pl. egy sík hordozó alaplemez lehet, amelynek felületén vannak a párhuzamos üregek kialakítva.
Az összes egymásmellérakott56 cella 1 hosszúsága ‘ mentén kV-os nagyságrendű feszültséget hozunk létre. Ha pl. 50-100 Cfeszültségetkapcsolunkakatódsorokül. az56,56’, 56, stb. cellák közé, az elektronoka kátédtól a cellákig annyira felgyorsulnak, hogy másodlagos elektronokat generálnak az 56 cellákban. A 1 szükséges feszültség a körülményektől függ, de átlalánosságban az mondható, hogy másodlagos elektronokat generálnak az 56 cellákban. A szükséges feszültség a körülményektől függ, de általánosságban az mondható, hogy több mint 30 V. A másodlagos elektronok £ szintén felgyorsulnak, és új elektronokat generálnak.
Ez a folyamat folytatódik egészen a telítettségig. (Ez a telítés lehet egy tértölés telítettségbe való jutás, és/vagy létrejöhet a tér eltorzulása által). A telítési ponttól, amelyhezgyorsan eljutunk, egy állandó váku- 5 um áram főijük az adott cellán keresztül (v.ö. 4. ábra).
Ha a fal anyaga elégnagy faljagos ellenállású, akkor a falnál nem jelentkezik árarafelvétel vagy leadás, úgyhogy ez az áram jó közelítéssel megegyezik a belépő árammal· Ha az elektromos tér nagyobb, mint az ah- θ1 hoz szükséges minimális tér, hogy a 8eff - 1 állapot létrejöjjön, akövetkező történik. Amint ögff valamivel meghaladja az 1-et, a fal inhomogén pozitív feltöltődési nyer (az alacsony vezetőképesség következtében ez a töltés nem tud kiürülni). Ennek következtében az elektronok hamarabb érik el a falat, mint az a pozitív töltés nélkül történne, másrészt: az elektromos térből felvett átlagos energia hosszirányban kisebb lesz, így az effektív másodlagos emissziós együttható öeff «1 ! 0 állapota áll vissza. Ez egy kedvező dolog, mert így a térerő pontos értéke nem játszik fontos szerepet mindaddig, amíg meghaladja ez előzőekben említett minimális értéket.
Az 56 cellának az 54 hátsó fal felé néző fala együt5 tesen egy 50 „meghajtó lemez”-t képez (ld. 11 JB. ábra). Ennek a lemeznek 58, 58', 58”,... stb. apertúrái vannak. Továbbá van egy sormeghajtó59 elektróda az 50 meghajtó lemez külső oldalán. Ezen 59 elektródák sora látható a 1 IB. ábrán (az 59 elektródák keresztül0 nyúlnak az 58 apertúrákon), ill. a 11C. ábrán, és e sor részét képezheti egy ellenállás osztós áramkörnek. A meghajtó 59 elektróda inaktív állapotában -Ul feszültségű az adott cella potenciáljához képest, amely feszültség biztosítja, hogy az elektronok ne hagyhas5 sák el az adott cellát. Bekapcsoláskor egy +U2 feszültség jelenik meg. Annak köszönhetően, hogy az 56 cellában levő elektronok sebessége viszonylag alacsony a fallal való ütközések következtében, Ul és U2 viszonlyagkicsilebet. Bizonyos esetben már 100 Vis jó ered3 ménjdbiztosítUl ésU2feszültségként alkalmazva.
A1 IB. ábra mutatja, hogy a meghajtó 59 elektróda által az 51 elektronterelő üregből felgyorsított elektronok tovább gyorsulnak az 57 target felé, és ezáltal egyszerre egy teljes képsor feldolgozása, letapogatása történikmeg.
Megjegyzendő, hogya 49 struktúra (Id. 11 A. ábra), amely magában foglal egy elektronsugár kiválasztó modult, különálló elemekből is összeállítható, hogy egy nyílással ellátott 54 hátsó falból és egy apertúrával 1 rendelkező elülső 50 meghajtó lemezből, de más, ettől eltérő kivitel esetén egyetlen darabként is kivitelezhető.
Továbbá megjegyzendő, hogy az elektrondtérítést képező falak villamosán szigetelő anyagból vannak, és szerkezet valamint másodlagos emissziós szerepet töltenek be. Lehetséges azonban, hogy a szerkezeti , hordozó szerepét beoltó szigetelő anyagon (pl. műanyagon) rétegként van kialakítva a másodlagos emissziós szerepet betöltő anyag (pl. kvarc vagy üveg vagy kerámia, ezutóbbinakmegfelelőMgO).
Claims (21)
1. Elektromos kisülési eszköz, amely tartalmaz egy elektronforrást, egy elektronokat emittáló felülettel (Sgath) rendelkező katódja (2) van, a katóddal (2) együttműködő vákuumos elektron eltérítése van, azzal jellemezve, hogy eltérítését egy δ másodlagos emissziós együtthatójú, elektromosan szigetelő anyagból levő falak (7,8,9) által meghatározott üreg (10) képezi,
Ηϋ 204142 Β amely üregnek (10) kimeneti apertúrája (11) van, és az elektród (12) és az emitter össze vannak kötve az üregen (10) keresztül vezető út mentén a katódtól (2) a kimeneti apertúráig (11) egy E térerősségű elektromos teret biztosító feszültségforrással, és ahol δ és E értékei az üregen (10) keresztiül elektron átáramlást lehetővé tevő nagyságúak.
2. Az 1. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy a katód (2) az üregen (10) belül van.
3. Az 1. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy a katód (2) az üregen (10) kívül van, és az üregnek (10) a katód (2) felé néző apertúrája van.
4. Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy az üreg (10) hosszúkás alakú.
5. A 4. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy a katód (2) emittáló felülete (Scath) és a bemeneti apertúra (6) felülete (%) azonos nagyságú.
6. Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy a kimeneti apertúra (11) felülete (S^) kisebb, mint a katód (2) emittáló felülete (Scatll).
7. A6. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy működés közben a kimeneti apertúrán (11) küépő elektronsugár áramsűrűsége (Jo_ ut) nagyobb a katód (2) által kibocsátott elektronsugár áramsűrűségénél (J7).
8. A 6. igénypont szerinti elekromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy működés közben a kimeneti apertúrán (11) küépő elektronsugár luminózitása (Bout) nagyobb, mint a katód (2) kibocsátotta elektronsugár luminózitása (¾).
9 Az 1. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy a kátédnak (2) van a kibocsátott elektron áramot moduláló eszköze.
10. A 4. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy legalább egy kimeneti apertúra (11) van az üreg (10) hosszantifalában (7,8).
11. A 8. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy egy sor egymás melletti kimeneti apertúra (11) van az üreg (10) hosszanti falában (7,8).
12. A11. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy az elektródok (59) a kimeneti apertúrák (58) közvetlen közelében vannak, és a kimeneti apertúrák (58) működés közbeni villamos nyitásához vagy záráshoz szükséges feszültséget biztosító energia ellátó egységhez vannak kötve,
13. A12. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy a táplálást szekvenciálisán végző energiaellátó egységvanhozzá alkalmazva.
14. A11. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy több egymás melletti hosszúkás, az elektronokat kibocsátó forrással együtt működő elektron eltérítő üreges cellája (56) van, amely cellákat (56) villamosán szigetelő anyagú falak alkotják, a hosszanti falak el vannak látva egy sor elektromosan meghajtható apertúrával (58), amely apertúrákkal (58) együttesen egy elektronsugár kiválasztó mátrix struktúrát (49) alkotnak.
15. A14. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy az emitterek és az apertúrák (58) egy a mátrix struktúrában (49) működés közbeni soronkénti feldolgozást végző meghajtó eszközhözvannakkötve.
16. A14. vagy 15. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy elektronnyalábot előállító eszközként kamera felvevő csőbe van beépítve.
17. A14. vagy 15. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy elektronnyalábot előállító eszközként megjelenítő képcsőbe (40) van beépítve.
18. A1-10. igénypontok bármelyike szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy elektron nyalábot előállító eszközként elektronmikroszkópba (39) van beépítve.
19. A1. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy δ másodlagos emisszós együtthatójú, elektromosan szigetelő anyagból levő falak (7,8,9) által meghatározott több ürege (10) van, amely mindegyik üregnek (10) kimeneti apertúrája (110 van, és az elektródok rá vannak kötve a katódtól (2) kimeneti apertúrákig (11) az üregeken (10) keresztül vezető út mentén E térerősségű elektromos teret biztosító feszültségforrásra, és ahol δ és E értékei az egyes üregeken (10) keresztüli elektron átáramlást lehetővé tevő nagyságúak.
20. A19. igénypont szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy elektron nyalábot előállító eszközként elektron litográfiái berendezésbe van beépítve.
21. Az 1-20. igénypontok bármelyike szerinti elektromos kisülési eszköz, azzal jellemezve, hogy a működés közbeni öeff effektív másodlagos emisszós együtthatóra teljesül a következő Összefüggés 6eff -1.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL8901390A NL8901390A (nl) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | Elektrisch ontladingselement. |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| HU903249D0 HU903249D0 (en) | 1990-10-28 |
| HUT53981A HUT53981A (en) | 1990-12-28 |
| HU204142B true HU204142B (en) | 1991-11-28 |
Family
ID=19854759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| HU903249A HU204142B (en) | 1989-06-01 | 1990-05-29 | Electric discharge appliance |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0400751B1 (hu) |
| JP (1) | JP2860346B2 (hu) |
| KR (1) | KR910001864A (hu) |
| CN (1) | CN1041972C (hu) |
| DE (1) | DE69024406T2 (hu) |
| ES (1) | ES2083420T3 (hu) |
| HU (1) | HU204142B (hu) |
| NL (1) | NL8901390A (hu) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997029506A1 (en) * | 1996-02-09 | 1997-08-14 | Philips Electronics N.V. | Thin-type display device |
| TW464903B (en) * | 1999-06-22 | 2001-11-21 | Koninkl Philips Electronics Nv | Cathode ray tube |
| CN112630288B (zh) * | 2020-11-17 | 2021-10-12 | 燕山大学 | 一种基于放电的二次电子发射系数测量装置及方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3808494A (en) * | 1968-12-26 | 1974-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Flexible channel multiplier |
| US4069439A (en) * | 1977-02-02 | 1978-01-17 | Rca Corporation | Flat panel display with beam injection cleanup |
| US4298817A (en) * | 1979-08-13 | 1981-11-03 | Carette Jean Denis | Ion-electron source with channel multiplier having a feedback region |
| GB2174535B (en) * | 1985-04-29 | 1989-07-05 | Philips Electronic Associated | Display tube |
| JPS63150835A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-23 | Mitsubishi Electric Corp | 陰極線管 |
-
1989
- 1989-06-01 NL NL8901390A patent/NL8901390A/nl not_active Application Discontinuation
-
1990
- 1990-05-29 DE DE69024406T patent/DE69024406T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-29 EP EP90201365A patent/EP0400751B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-05-29 ES ES90201365T patent/ES2083420T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1990-05-29 CN CN90104056A patent/CN1041972C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1990-05-29 HU HU903249A patent/HU204142B/hu not_active IP Right Cessation
- 1990-05-30 KR KR1019900007833A patent/KR910001864A/ko not_active Application Discontinuation
- 1990-06-01 JP JP2145255A patent/JP2860346B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR910001864A (ko) | 1991-01-31 |
| JPH0322319A (ja) | 1991-01-30 |
| ES2083420T3 (es) | 1996-04-16 |
| JP2860346B2 (ja) | 1999-02-24 |
| CN1047757A (zh) | 1990-12-12 |
| DE69024406T2 (de) | 1996-07-25 |
| EP0400751A1 (en) | 1990-12-05 |
| DE69024406D1 (de) | 1996-02-08 |
| NL8901390A (nl) | 1991-01-02 |
| EP0400751B1 (en) | 1995-12-27 |
| HUT53981A (en) | 1990-12-28 |
| CN1041972C (zh) | 1999-02-03 |
| HU903249D0 (en) | 1990-10-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0732719B1 (en) | Discharge device having cathode with micro hollow array | |
| WO2003088308A1 (fr) | Source lumineuse a luminescence cathodique | |
| US4029984A (en) | Fluorescent discharge cold cathode for an image display device | |
| US5270611A (en) | Electric discharge element | |
| US8081734B2 (en) | Miniature, low-power X-ray tube using a microchannel electron generator electron source | |
| JPH02177244A (ja) | 電子倍増器 | |
| JP3534377B2 (ja) | 真空電子装置 | |
| US5768337A (en) | Photoelectric X-ray tube with gain | |
| HU204142B (en) | Electric discharge appliance | |
| US20020121856A1 (en) | Florescent lamps with extended service life | |
| EP0316860A2 (en) | Pulsed optical source | |
| US6509701B1 (en) | Method and device for generating optical radiation | |
| US3030514A (en) | Image intensifier | |
| JP2748984B2 (ja) | チャネルプレートを備えたイメージ増強管の操作方法およびチャネルプレートを備えたイメージ増強管装置 | |
| JP3108136B2 (ja) | 平面型蛍光ランプ | |
| GB1585415A (en) | Apparatus and method for modulating a flat panel display device | |
| US7777196B2 (en) | Cold electron emitter device for display | |
| US3769540A (en) | Area electron flood gun | |
| US5986415A (en) | Linear electron accelerator | |
| US4596942A (en) | Field emission type electron gun | |
| CN214123833U (zh) | 一种电子枪、x射线源、ct机 | |
| GB2190785A (en) | Electron multiplier | |
| Martin et al. | Characterization of a microchannel plate photomultiplier tube with high sensitivity GaAs photocathode | |
| US6111252A (en) | Ionization cell for mass spectrometers | |
| JPS6122559A (ja) | 光放射電子管 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| HMM4 | Cancellation of final prot. due to non-payment of fee |