FR3121752A3 - DEVICE FOR DETECTING SURFACE DEFECTS ON AN OBJECT - Google Patents

DEVICE FOR DETECTING SURFACE DEFECTS ON AN OBJECT Download PDF

Info

Publication number
FR3121752A3
FR3121752A3 FR2202751A FR2202751A FR3121752A3 FR 3121752 A3 FR3121752 A3 FR 3121752A3 FR 2202751 A FR2202751 A FR 2202751A FR 2202751 A FR2202751 A FR 2202751A FR 3121752 A3 FR3121752 A3 FR 3121752A3
Authority
FR
France
Prior art keywords
lighting
image
color
data processing
light source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR2202751A
Other languages
French (fr)
Other versions
FR3121752B3 (en
Inventor
Roberto FINAZZI
Mario REGAZZONI
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
UTPVision SRL
Original Assignee
UTPVision SRL
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by UTPVision SRL filed Critical UTPVision SRL
Publication of FR3121752A3 publication Critical patent/FR3121752A3/en
Application granted granted Critical
Publication of FR3121752B3 publication Critical patent/FR3121752B3/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9515—Objects of complex shape, e.g. examined with use of a surface follower device
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8845—Multiple wavelengths of illumination or detection

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

Dispositif (1) pour détecter des défauts de surface sur un objet (100). Le dispositif comprend : des moyens d'éclairage (2) configurés pour éclairer l'objet avec un premier rayonnement lumineux (L1) ayant une première direction d'éclairage (D1) ou avec un deuxième rayonnement lumineux (L2) ayant une deuxième direction d'éclairage (D2) et des moyens d'acquisition (3) configurés pour acquérir au moins une image (I0, I1, I2) de l'objet, lorsqu'il est éclairé par les moyens d'éclairage. Les moyens d'éclairage (2) comprennent une première source lumineuse polychromatique (21) configurée pour fournir le premier rayonnement lumineux (L1) et une deuxième source lumineuse polychromatique (22) configurée pour fournir le deuxième rayonnement lumineux (L2). Figure pour l’abrégé : Figure 2Device (1) for detecting surface defects on an object (100). The device comprises: lighting means (2) configured to illuminate the object with a first light radiation (L1) having a first lighting direction (D1) or with a second light radiation (L2) having a second direction lighting (D2) and acquisition means (3) configured to acquire at least one image (I0, I1, I2) of the object, when it is illuminated by the lighting means. The lighting means (2) comprise a first polychromatic light source (21) configured to provide the first light radiation (L1) and a second polychromatic light source (22) configured to provide the second light radiation (L2). Figure for abstract: Figure 2

Description

DISPOSITIF DE DETECTION DE DEFAUTS DE SURFACE SUR UN OBJETDEVICE FOR DETECTING SURFACE DEFECTS ON AN OBJECT

Le présent modèle d'utilité se réfère au domaine technique des dispositifs de détection de défauts de surface sur un objet. Plus particulièrement, le présent modèle d'utilité concerne un dispositif configuré pour détecter des défauts de surface sur un objet coloré.This utility model refers to the technical field of devices for detecting surface defects on an object. More particularly, this utility model relates to a device configured to detect surface defects on a colored object.

Arrière-planBackground

Comme on le sait, certains composants utilisés dans le domaine industriel, tels que les joints industriels toroïdaux (joints de type O-ring) utilisés dans de nombreux appareils, doivent faire l'objet d'analyses minutieuses pour identifier la présence de défauts pouvant compromettre leur fonctionnement.As we know, some components used in the industrial field, such as industrial toroidal seals (O-ring type seals) used in many devices, must be carefully analyzed to identify the presence of defects that could compromise their operation.

En général, l'inspection de surface de ces composants est réalisée automatiquement, à l'aide d'équipements dédiés.In general, the surface inspection of these components is carried out automatically, using dedicated equipment.

La demande de brevet EP2280270A1 décrit un dispositif de détection de défauts de surface dans des joints de type O-ring.Patent application EP2280270A1 describes a device for detecting surface defects in O-ring type seals.

Le dispositif de détection comprend une paire de sources lumineuses monochromatiques disposées de part et d'autre d'un plan d'avancement de l'objet à inspecter et agencées pour émettre des rayonnements lumineux de longueurs d'onde différentes.The detection device comprises a pair of monochromatic light sources arranged on either side of a plane of advancement of the object to be inspected and arranged to emit light radiation of different wavelengths.

Ainsi, lors du fonctionnement du dispositif de détection, ces sources lumineuses éclairent des zones différenciées de l'objet à inspecter avec une lumière de couleur différente, par exemple verte et rouge.Thus, during the operation of the detection device, these light sources illuminate differentiated areas of the object to be inspected with light of a different color, for example green and red.

Le dispositif de détection comprend en outre une caméra vidéo couleur apte à capturer une image couleur du joint éclairé simultanément par les deux sources lumineuses.The detection device further comprises a color video camera capable of capturing a color image of the joint illuminated simultaneously by the two light sources.

S'ils accomplissent de manière satisfaisante les tâches pour lesquelles ils ont été conçus, les dispositifs de détection de l'art antérieur présentent néanmoins certains inconvénients.If they perform satisfactorily the tasks for which they were designed, the detection devices of the prior art nevertheless have certain drawbacks.

Ceci est essentiellement dû au fait que ces dispositifs connus utilisent généralement (pour des raisons d'économie et pour réduire l'encombrement) des sources lumineuses monochromatiques avec émission de lumière à des longueurs d'ondes différentes les unes des autres.This is essentially due to the fact that these known devices generally use (for reasons of economy and to reduce bulk) monochromatic light sources with emission of light at different wavelengths from each other.

Bien entendu, cette particularité des dispositifs de détection de l'art antérieur, bien que permettant une détection optimale des défauts lorsque les objets à inspecter sont noirs, présente néanmoins des limites importantes lorsque les objets sont colorés.Of course, this feature of the detection devices of the prior art, although allowing optimal detection of defects when the objects to be inspected are black, nevertheless has significant limits when the objects are colored.

Naturellement, ce qui précède peut entraîner des limitations importantes en ce qui concerne les performances du dispositif de détection, surtout en ce qui concerne la précision de détection d'éventuels défauts.Naturally, the foregoing can entail significant limitations with regard to the performance of the detection device, especially with regard to the accuracy of detecting any faults.

Sommaire de l’inventionSummary of the invention

L’objet principal du présent modèle d'utilité est de fournir un dispositif de détection de défauts de surface sur un objet, qui permette de pallier ou de diminuer les inconvénients de l'art antérieur indiqués ci-dessus.The main object of this utility model is to provide a device for detecting surface defects on an object, which makes it possible to overcome or reduce the drawbacks of the prior art indicated above.

Dans ce but, un objet du présent modèle d'utilité est de fournir un dispositif de détection de défauts de surface dans un objet, qui assure un haut niveau de précision dans la détection de tout défaut de surface d'un objet coloré à inspecter.For this purpose, an object of this utility model is to provide a device for detecting surface defects in an object, which ensures a high level of precision in the detection of any surface defect of a colored object to be inspected.

Un autre objet du présent modèle d'utilité est de fournir un dispositif de détection de défauts de surface dans un objet, configuré de manière à s'adapter à la couleur de l'objet à inspecter.Another object of this utility model is to provide a device for detecting surface defects in an object, configured to match the color of the object to be inspected.

Un autre objet du modèle d'utilité est de fournir un dispositif de détection qui soit facilement produit ou mis en œuvre à l'échelle industrielle, à des coûts compétitifs avec les dispositifs de l'art antérieur du même type.Another object of the utility model is to provide a detection device which is easily produced or implemented on an industrial scale, at competitive costs with prior art devices of the same type.

Ces objets, ainsi que d'autres objets qui ressortiront de la description qui va suivre et des dessins annexés, sont atteints selon le modèle d'utilité par un dispositif de détection de défauts de surface sur un objet.These objects, as well as other objects which will emerge from the description which will follow and from the appended drawings, are achieved according to the utility model by a device for detecting surface defects on an object.

De préférence, ledit objet est un joint industriel de type joint torique.Preferably, said object is an industrial seal of the O-ring type.

Dans une définition générale de celui-ci, le dispositif de détection selon le modèle d'utilité comprend :In a general definition thereof, the sensing device according to the utility model includes:

- des moyens d'éclairage, configurés pour éclairer l'objet avec un premier rayonnement lumineux ayant une première direction d'éclairage et avec un deuxième rayonnement lumineux ayant une deuxième direction d'éclairage ; et- lighting means, configured to illuminate the object with a first light radiation having a first lighting direction and with a second light radiation having a second lighting direction; and

- des moyens d'acquisition, configurés pour acquérir au moins une image de l'objet, lorsqu'il est éclairé par les moyens d'éclairage.- acquisition means, configured to acquire at least one image of the object, when it is illuminated by the lighting means.

Selon le modèle d'utilité, les moyens d'éclairage comprennent une première source lumineuse polychromatique, configurée pour fournir le premier rayonnement lumineux, et une deuxième source lumineuse polychromatique, configurée pour fournir le deuxième rayonnement lumineux.According to the utility model, the lighting means comprises a first polychromatic light source, configured to provide the first light radiation, and a second polychromatic light source, configured to provide the second light radiation.

De préférence, la première source lumineuse polychromatique et la deuxième source lumineuse polychromatique sont constituées d'un groupe de dispositifs LED de couleur différente, par exemple de quatre dispositifs LED, respectivement de couleur rouge, vert bleu et jaune, ou dispositifs LED RGBY.Preferably, the first polychromatic light source and the second polychromatic light source consist of a group of LED devices of different colors, for example of four LED devices, respectively of red, green, blue and yellow color, or RGBY LED devices.

De préférence, le dispositif de détection comprend en outre une unité de commande, configurée pour commander l'allumage de la pluralité de dispositifs LED, individuellement ou en toute combinaison, de manière à obtenir un spectre d'émission ayant une bande régulée en fonction de la couleur de l'objet. Avantageusement, cela permet de trouver la bonne couleur pour les illuminateurs capables de s'adapter de manière optimale à la couleur de l'objet à inspecter.Preferably, the detection device further comprises a control unit, configured to control the switching on of the plurality of LED devices, individually or in any combination, so as to obtain an emission spectrum having a band regulated according to the color of the object. Advantageously, this makes it possible to find the right color for the illuminators capable of adapting optimally to the color of the object to be inspected.

De préférence, la première source de lumière polychromatique et la deuxième source de lumière polychromatique ont des spectres superposés au minimum l'un sur l'autre. Avantageusement, cela permet de distinguer les spectres des images de l'objet à inspecter, acquises par les moyens d'acquisition.Preferably, the first polychromatic light source and the second polychromatic light source have spectra superimposed at least on each other. Advantageously, this makes it possible to distinguish the spectra of the images of the object to be inspected, acquired by the acquisition means.

De préférence, le dispositif de détection comprend des moyens de traitement de données, configurés pour traiter la au moins une image et fournir des données de détection indicatives de la présence de défauts de surface sur l'objet.Preferably, the detection device comprises data processing means, configured to process the at least one image and provide detection data indicative of the presence of surface defects on the object.

Selon des variantes possibles, la ou les images acquises par les moyens d'acquisition comprennent une première et une deuxième image en noir et blanc de l'objet éclairé par les moyens d'éclairage.According to possible variants, the image or images acquired by the acquisition means comprise a first and a second black and white image of the object illuminated by the lighting means.

Dans ce cas, les moyens de traitement de données comprennent de préférence des premiers moyens de traitement de données configurés pour traiter les première et deuxième images en noir de blanc et fournir une image couleur de l'objet et des deuxièmes moyens de traitement de données configurés pour traiter l'image couleur et fournir les données de détection.In this case, the data processing means preferably comprise first data processing means configured to process the first and second black-and-white images and provide a color image of the object and second data processing means configured to process the color image and provide detection data.

Selon d'autres variantes, la ou les images acquises par les moyens d'acquisition consistent en une seule image couleur de l'objet éclairé par les moyens d'éclairage.According to other variants, the image or images acquired by the acquisition means consist of a single color image of the object illuminated by the lighting means.

Selon une variante, ladite au moins une image acquise par les moyens d'acquisition consiste en une image monochrome de l'objet éclairé par les moyens d’éclairage. Dans ce cas, les moyens d'acquisition comprennent au moins une caméra vidéo, par exemple une caméra vidéo couleur, apte à acquérir, directement ou à travers un filtre Bayer, l'intensité du rayonnement lumineux émis par les moyens d'éclairage.According to a variant, said at least one image acquired by the acquisition means consists of a monochrome image of the object illuminated by the lighting means. In this case, the acquisition means comprise at least one video camera, for example a color video camera, capable of acquiring, directly or through a Bayer filter, the intensity of the light radiation emitted by the lighting means.

Selon un autre aspect de celui-ci, le modèle d'utilité concerne une station d'inspection d'un objet comprenant un dispositif de détection tel que défini ci-dessus.According to another aspect thereof, the utility model relates to an object inspection station comprising a detection device as defined above.

Description brève des figuresBrief description of figures

D'autres caractéristiques et avantages du présent modèle d'utilité ressortiront plus clairement de la description détaillée suivante de modes de réalisation préférés de celui-ci, présentée ci-dessous à titre d'exemple non limitatif, en référence aux dessins annexés. Dans lesquels :Other features and advantages of this utility model will emerge more clearly from the following detailed description of preferred embodiments thereof, presented below by way of non-limiting example, with reference to the accompanying drawings. Wherein :

illustre un schéma synoptique du dispositif de détection selon le modèle d'utilité ; illustrates a block diagram of the detection device according to the utility model;

illustre schématiquement une variante de réalisation du dispositif de détection selon le modèle d'utilité. schematically illustrates an alternative embodiment of the detection device according to the utility model.

Claims (11)

Dispositif (1) de détection de défauts de surface sur un objet (100), ledit dispositif comprenant :
- des moyens d'éclairage (2) configurés pour éclairer ledit objet avec un premier rayonnement lumineux (L1) ayant une première direction d'éclairage (D1) ou avec un deuxième rayonnement lumineux (L2) ayant une deuxième direction d'éclairage (D2) ; et
- des moyens d'acquisition (3) configurés pour acquérir au moins une image (I0, I1, I2) dudit objet, lorsqu'il est éclairé par lesdits moyens d'éclairage ;
caractérisé en ce que lesdits moyens d'éclairage (2) comprennent une première source de lumière polychromatique (21), configurée pour fournir ledit premier rayonnement lumineux (L1), et une deuxième source de lumière polychromatique (22), configurée pour fournir ledit deuxième rayonnement lumineux (L2) .Device (1) for detecting surface defects on an object (100), said device comprising:
- lighting means (2) configured to illuminate said object with a first light radiation (L 1 ) having a first direction of lighting (D 1 ) or with a second light radiation (L 2 ) having a second direction of lighting (D 2 ); and
- acquisition means (3) configured to acquire at least one image (I 0 , I 1 , I 2 ) of said object, when it is illuminated by said illuminating means;
characterized in that said lighting means (2) comprise a first polychromatic light source (21), configured to provide said first light radiation (L 1 ), and a second polychromatic light source (22), configured to provide said second light radiation (L 2 ). Dispositif (1) selon la revendication 1, dans lequel la première source lumineuse polychromatique (21) et la deuxième source lumineuse polychromatique (22) consistent en un groupe de dispositifs LED de couleur différente, de préférence un groupe de dispositifs LED RGBY.Device (1) according to claim 1, wherein the first polychromatic light source (21) and the second polychromatic light source (22) consist of a group of LED devices of different color, preferably a group of RGBY LED devices. Dispositif (1) selon la revendication 2, comprenant en outre des moyens de commande (4), configurés pour commander l'allumage des dispositifs LED de couleur différente, individuellement ou en toute combinaison, de manière à obtenir un spectre d'émission réglable en fonction de la couleur dudit objet (100).Device (1) according to claim 2, further comprising control means (4), configured to control the switching on of the LED devices of different color, individually or in any combination, so as to obtain an emission spectrum adjustable in depending on the color of said object (100). Dispositif (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant en outre des moyens de traitement de données (7) configurés pour traiter ladite au moins une image (I0, I1, I2) acquise par lesdits moyens d'acquisition et fournir des données de détection (DS) indiquant la présence de défauts de surface sur ledit objet (100).Device (1) according to any one of the preceding claims, further comprising data processing means (7) configured to process said at least one image (I 0 , I 1 , I 2 ) acquired by said acquisition means and providing detection data (DS) indicating the presence of surface defects on said object (100). Dispositif (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel ladite au moins une image acquise par les moyens d'acquisition (3) comprend une première et une deuxième image en noir et blanc (I1, I2) de l'objet (100) éclairé par les moyens d'éclairage.Device (1) according to any one of the preceding claims, in which the said at least one image acquired by the acquisition means (3) comprises a first and a second black and white image (I 1 , I 2 ) of the object (100) illuminated by the lighting means. Dispositif (1) selon la revendication 4, dans lequel lesdits moyens de traitement de données (7) comprennent des premiers moyens de traitement de données (5) configurés pour traiter lesdites première et deuxième images en noir et blanc (I1, I2) et fournir une image couleur (IC) dudit objet (100).Device (1) according to claim 4, wherein said data processing means (7) comprises first data processing means (5) configured to process said first and second black and white images (I 1 , I 2 ) and providing a color image (IC) of said object (100). Dispositif (1) selon la revendication 6, dans lequel lesdits moyens de traitement de données (7) comprennent des deuxièmes moyens de traitement de données (6) configurés pour traiter ladite image couleur (IC) et fournir lesdites données de détection (DS).Device (1) according to claim 6, wherein said data processing means (7) comprises second data processing means (6) configured to process said color image (IC) and provide said detection data (DS). Dispositif (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel ladite au moins une image acquise par les moyens d'acquisition (3) consiste en une image monochrome (I0) de l'objet (100) éclairé par les moyens d’éclairage.Device (1) according to any one of Claims 1 to 4, in which the said at least one image acquired by the acquisition means (3) consists of a monochrome image (I 0 ) of the object (100) illuminated by means of lighting. Dispositif (1) selon la revendication 8, dans lequel lesdits moyens d'acquisition (3) comprennent au moins une caméra vidéo apte à acquérir, directement ou à travers un filtre Bayer, l'intensité des rayonnements lumineux (L1, L2) émis par le des moyens d'éclairage (2).Device (1) according to Claim 8, in which the said acquisition means (3) comprise at least one video camera capable of acquiring, directly or through a Bayer filter, the intensity of the light rays (L 1 , L 2 ) emitted by the lighting means (2). Dispositif (1) selon la revendication 9, dans lequel ladite caméra vidéo est une caméra vidéo couleur.Device (1) according to claim 9, wherein said video camera is a color video camera. Station d'inspection d'un objet (100) caractérisée en ce qu'elle comprend un dispositif de détection (1) selon l’une des revendications précédentes.Object inspection station (100) characterized in that it comprises a detection device (1) according to one of the preceding claims.
FR2202751A 2021-04-07 2022-03-28 DEVICE FOR DETECTING SURFACE DEFECTS ON AN OBJECT Active FR3121752B3 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
IT202021000001754U IT202100001754U1 (en) 2021-04-07 2021-04-07 DEVICE FOR THE DETECTION OF SURFACE DEFECTS ON AN OBJECT.
IT202021000001754 2021-04-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR3121752A3 true FR3121752A3 (en) 2022-10-14
FR3121752B3 FR3121752B3 (en) 2023-09-01

Family

ID=82402633

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR2202751A Active FR3121752B3 (en) 2021-04-07 2022-03-28 DEVICE FOR DETECTING SURFACE DEFECTS ON AN OBJECT

Country Status (5)

Country Link
CN (1) CN217820062U (en)
DE (1) DE202022101557U1 (en)
ES (1) ES1295390Y (en)
FR (1) FR3121752B3 (en)
IT (1) IT202100001754U1 (en)

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1395116B1 (en) 2009-07-29 2012-09-05 Utpvision S R L OPTICAL SURFACE DETECTION SYSTEM

Also Published As

Publication number Publication date
FR3121752B3 (en) 2023-09-01
IT202100001754U1 (en) 2022-10-07
ES1295390Y (en) 2023-01-23
ES1295390U (en) 2022-11-02
DE202022101557U1 (en) 2022-06-29
CN217820062U (en) 2022-11-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI509220B (en) Surface topography interferometer with surface color
US10161796B1 (en) LED lighting based multispectral imaging system for color measurement
JP5600298B2 (en) Tire surface evaluation method
JP6670327B2 (en) Gemstone color measurement
US6346966B1 (en) Image acquisition system for machine vision applications
US5982493A (en) Apparatus and method for acquiring multiple images
WO2015111349A1 (en) Multicolor-fluorescence-image analysis device
CN106053342A (en) Grain quality discriminating apparatus and method of receiving light from grain in apparatus
US10429319B2 (en) Inspection system including parallel imaging paths with multiple and selectable spectral bands
US20040256557A1 (en) Infra-red photometric stereo
JP2007292576A (en) Visual inspection device for electronic component
JP5890953B2 (en) Inspection device
US10739264B1 (en) Soil imaging probe and method of processing soil image to detect hydrocarbon contamination
JP2013003386A (en) Image pickup apparatus and virtual slide device
Fredembach et al. Illuminant estimation and detection using near-infrared
FR3121752A3 (en) DEVICE FOR DETECTING SURFACE DEFECTS ON AN OBJECT
CN113614489B (en) Method for color inspection using monochromatic imaging of light of multiple wavelengths
JPWO2022113369A5 (en)
JP2010085388A (en) Method and apparatus for inspecting printed matter
GB2096793A (en) Visually examining a gem stone
US20240175826A1 (en) Wafer defect inspection apparatus
TWI759864B (en) Detection apparatus and light-receiving device thereof
RU2312314C2 (en) Mode of measuring color of objects(variants) and an arrangement for its execution(variants)
KR20170131085A (en) Intergrated Inspection Apparatus Using Multi Optical System
CN113109306A (en) Sorting device and sorting method with aflatoxin detection function

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 2

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 3