FR3055429A1 - Dispositif a actionnement electrostatique - Google Patents

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Abstract

La présente invention se rapporte à un dispositif à actionnement électrostatique (100) comprenant au moins une première chambre (110), une chambre d'électrode (500) comprenant une électrode déformable. L'électrode déformable est disposée dans la chambre d'électrode (500) de manière à former une première chambre d'électrode (615) et une deuxième chambre d'électrode (625).

Description

DOMAINE TECHNIQUE DE L’INVENTION
Cette invention se rapporte au domaine des dispositifs de déplacement de liquides, qui sont utilisées en particulier dans des dispositifs ophtalmiques variables afin d’améliorer la qualité de vision d’un patient en utilisant des liquides dans les lentilles comme décrit dans la demande de brevet FR 16/56610. Plus spécifiquement, cette invention concerne une pompe électrostatique et précisément des dispositifs à aetionnement électrostatique utilisant une membrane pour déplacer au moins un fluide.
ARRIÈRE-PLAN
Certains dispositifs classiques utilisés pour déplacer une quantité de fluide, ont été conçus avec des technologies de micro-fabrication comme MEMS, en utilisant des actionneurs piézoélectriques, par exemple. Le principal problème posé par ces concepts est qu’ils sont généralement conçus pour des opérations continues telles que la circulation en continu de petits flux de liquides à travers un tuyau. En conséquence, ils sont lents, et présentent un très faible rendement énergétique, et pour certains un rendement énergétique inférieur à 0,1. Il est clair qu’ils ne sont pas adaptés à la nécessité du pompage réversible d’une quantité limitée de liquide et avec une faible consommation d’énergie.
RÉSUMÉ DE L’INVENTION
La présente invention se rapporte à un dispositif à aetionnement électrostatique, qui servira à pousser les fluides depuis une cellule de fluide avec une électrode déformable, afin de commander la puissance optique de la lentille fluide. Contrairement à un dispositif à aetionnement électrostatique continu, le dispositif à aetionnement électrostatique selon l’invention servira à pousser un volume limité uniquement, mais il le fera de manière très réversible, et avec un frottement réduit. Ce dispositif à aetionnement électrostatique peut faire partie d’une paire de lunettes utilisant des lentilles fluides variables comme des verres à puissance variable. Selon un aspect de l'invention, deux dispositifs à aetionnement électrostatique selon l’invention, un pour chaque côté, peuvent être situés dans les branches de la paire de lunettes, et seront actionnés par une batterie.
Afin d’atteindre cet objectif, la présente invention fournit, selon un premier aspect, un dispositif à actionnement électrostatique, comprenant au moins : - une première chambre : la première chambre comprend un premier passage de fluide primaire ; le premier passage de fluide primaire débouchant vers l’extérieur ; - une paroi de séparation primaire : la paroi de séparation primaire comprend une première surface primaire, une deuxième surface primaire et une pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires ; la deuxième surface primaire de la paroi de séparation primaire définit au moins partiellement la première chambre ; - une chambre d’électrode : la chambre d’électrode est définie de manière adjacente à la première surface primaire ; - une électrode déformable : l’électrode déformable comprend une première surface d’électrode déformable, une deuxième surface d’électrode déformable ; l’électrode déformable est disposée dans la chambre d’électrode de manière à former une première chambre d’électrode et une deuxième chambre d’électrode ; - une électrode : l’électrode est configurée pour coopérer avec l’électrode déformable de manière à actionner l’électrode déformable entre au moins une première position et une deuxième position ; la première chambre d’électrode est comprise entre la première surface d’électrode déformable et la première surface primaire et la première chambre d’électrode communique de manière fluidique avec la première chambre par l’intermédiaire de la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires lorsque l’électrode déformable est actionnée entre la première position et la deuxième position.
Ainsi, cette configuration permet le déplacement d’un deuxième fluide en comprimant le premier fluide à l’intérieur ou à l’extérieur de la chambre d’électrode. Un autre aspect de l’invention consiste à ajouter une restriction à l’expansion de la chambre d’électrode afin de commander le mouvement de l’électrode déformable.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, le dispositif à actionnement électrostatique comprend au moins : - une deuxième chambre : la deuxième chambre comprend un premier passage de fluide secondaire ; le premier passage de fluide secondaire débouchant vers l’extérieur ; - une paroi de séparation secondaire : la paroi de séparation secondaire comprend une première surface secondaire, une deuxième surface secondaire et une pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires ; la première surface secondaire fait face à la première surface primaire, la paroi de séparation secondaire définit au moins partiellement la deuxième chambre ; la deuxième chambre d’électrode est comprise entre la deuxième surface d’électrode déformable et la première surface secondaire et la deuxième chambre d’électrode déformable communique de manière fluidique avec la deuxième chambre par l’intermédiaire de la pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires lorsque l’électrode déformable est actionnée entre la première position et la deuxième position.
Ainsi, cette configuration permet le déplacement d’un deuxième fluide. Un autre aspect de l’invention consiste à avoir un déplacement antagoniste entre les fluides, ce qui signifie que, lorsque le premier fluide est poussé hors de la chambre d’électrode, le deuxième fluide est introduit dans la chambre d’électrode.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la distance entre parois qui sépare la paroi de séparation primaire de la paroi de séparation secondaire est inférieure à 600 pm.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la distance entre parois qui sépare la paroi de séparation primaire de la paroi de séparation secondaire est inférieure à 400 pm.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la distance entre parois qui sépare la paroi de séparation primaire de la paroi de séparation secondaire est inférieure à 200 pm.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la distance entre parois qui sépare la paroi de séparation primaire de la paroi de séparation secondaire est comprise entre 5 pm et 175 pm.
Ainsi, cette configuration permet d’avoir une pression de pompage plus forte sur les différents fluides.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, une dimension de la chambre d’électrode et/ou la distance entre parois qui sépare la paroi de séparation primaire de la paroi de séparation secondaire varie.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, une dimension de la chambre d’électrode et/ou la distance entre parois qui sépare la paroi de séparation primaire de la paroi de séparation secondaire varie dans l’espace.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la paroi de séparation primaire est configurée pour former un angle avec la paroi de séparation secondaire compris entre 0° et 60°, en particulier entre 0° et 45° et de préférence entre 0° et 30°.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la distance entre parois qui sépare la paroi de séparation primaire de la paroi de séparation secondaire varie de manière à former un angle, entre la paroi de séparation primaire et la paroi de séparation secondaire, compris entre 0° et 60°, en particulier entre 0° et 45° et de préférence entre 0° et 30°.
Ainsi, cette configuration permet d’avoir une meilleure commande des volumes de la première chambre d’électrode et de la deuxième chambre d’électrode.
Selon un mode de réalisation de la présente Invention, l’électrode déformable comprend une couche diélectrique déformable et au moins une partie électro-conductrice.
Ainsi, cette configuration permet d’avoir un déplacement de l’électrode par l’intermédiaire d’un champ électrique.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la paroi de séparation primaire comprend une superficie de paroi de séparation primaire et un plot électro-conducteur primaire ; le plot électro-conducteur primaire comprend un plot électro-conducteur primaire principal ayant une superficie primaire principale et au moins un plot électro-conducteur primaire auxiliaire ayant une superficie primaire auxiliaire ; le plot électro-conducteur primaire principal et l’au moins un plot électro-conducteur primaire auxiliaire sont électriquement isolés l’un de l’autre.
Ainsi, cette configuration permet d’avoir une commande numérique de l’électrode et divise le mouvement de l’électrode en des zones distinctes donnant lieu ainsi à des étages distincts pour le volume de fluide poussé.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la paroi de séparation secondaire comprend une superficie de paroi de séparation secondaire et un plot électro-conducteur secondaire ; le plot électro-conducteur secondaire comprend un plot électro-conducteur secondaire principal ayant une superficie secondaire principale et au moins un plot électro-conducteur secondaire auxiliaire ayant une superficie secondaire auxiliaire ; le plot électroconducteur secondaire principal et Pau moins un plot électro-conducteur secondaire auxiliaire sont électriquement isolés l’un de l’autre.
Ainsi, cette configuration permet d’avoir une commande numérique de l’électrode et divise le mouvement de l’électrode en des zones distinctes donnant lieu ainsi à des étages distincts pour le volume de fluide poussé.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la paroi de séparation primaire comprend une première couche isolante configurée pour isoler l’au moins une partie électro-conductrice de l’électrode déformable du plot électro-conducteur primaire de la paroi de séparation primaire.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la paroi de séparation secondaire comprend une deuxième couche isolante configurée pour isoler l’au moins une partie électro-conductrice de l’électrode déformable du plot électro-conducteur secondaire de la paroi de séparation secondaire.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'espacement entre plots qui sépare le plot électro-conducteur primaire principal du plot électro-conducteur primaire auxiliaire et/ou qui sépare un plot électro-conducteur primaire auxiliaire d’un autre est compris entre 10 pm et 1 mm.
Ainsi, cette configuration assure une isolation entre les plots électroconducteurs primaires.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, au moins l’une des parois de séparation parmi la paroi de séparation primaire et la paroi de séparation secondaire est partiellement constituée d’au moins un matériau cristallin.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, le matériau cristallin est le silicium, le dioxyde de silicium, l’oxyde d’aluminium, le saphir, le germanium, l’arséniure de gallium, le phosphure d’indium ou un alliage du matériau mentionné précédemment.
Ainsi, cette configuration fournit au moins l’une des parois de séparation parmi la paroi de séparation primaire et la paroi de séparation secondaire qui peut être gravée.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, au moins l’une des parois de séparation parmi la paroi de séparation primaire et la paroi de séparation secondaire est partiellement constituée d’au moins un matériau semi-cristallin.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, le matériau semi-cristallin est constitué de polymères, de sol-gel, de silicium, de dioxyde de silicium, d’oxyde d’aluminium, de saphir, de germanium, d’arséniure de gallium, de phosphure d’indium ou d’un alliage du matériau mentionné précédemment.
Ainsi, cette configuration fournit au moins l’une des parois de séparation parmi la paroi de séparation primaire et la paroi de séparation secondaire qui peut être gravée ou gravée de façon anisotrope.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, au moins l’une des parois de séparation parmi la paroi de séparation primaire et la paroi de séparation secondaire est partiellement constituée d’un matériau poreux, de tissus naturels ou de tissus artificiels.
Selon un mode de réalisation de |a présente invention, les tissus naturels ou les tissus artificiels sont ordonnés ou désordonnés.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, le matériau poreux, les tissus naturels ou les tissus artificiels est/sont partiellement constitué(s) de polymères, d’élastomères, de carbone amorphe, de Kevlar, de carbone ou d’un métal.
Ainsi, cette configuration permet d’avoir une paroi de séparation essentiellement plane.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la première chambre d’électrode comprend un premier volume et/ou la deuxième chambre d’électrode comprend un deuxième volume ; le premier volume et/ou le deuxième volume est/sont commandé(s) par une mesure de capacitance.
Ainsi, cette configuration permet de commander le premier volume et/ou le deuxième volume par une mesure de capacitance plus exactement en mesurant la fréquence d’un oscillateur à relaxation, qui dépend de la capacitance, par exemple.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la première chambre d’électrode comprend un premier volume et/ou la deuxième chambre d’électrode comprend un deuxième volume ; la capacitance du dispositif varie avec le premier volume et/ou le deuxième volume.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la première position définit une première surface de contact primaire de la première partie déformable ; la première surface de contact primaire de la première partie déformable représente la surface de contact entre la première partie déformable et la première surface primaire à la première position.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la deuxième position définit une deuxième surface de contact primaire de la première partie déformable ; la deuxième surface de contact primaire de la première partie déformable représente la surface de contact entre la première partie déformable et la première surface primaire à la deuxième position.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la première surface de contact primaire est comprise entre la première position et une extrémité de la première partie déformable.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la deuxième surface de contact primaire est comprise entre la deuxième position et une extrémité de la première partie déformable.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la deuxième surface de contact primaire est plus grande que la première surface de contact primaire.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la capacité formée par la première partie déformable et la première surface primaire augmente lorsque l’électrode déformable est actionnée à partir de la première position vers la deuxième position.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la capacité formée par la première partie déformable et la première surface primaire peut diminuer lorsque l’électrode déformable est actionnée à partir de la deuxième position vers la première position.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la première position définit une première surface de contact secondaire de la deuxième partie déformable ; la première surface de contact secondaire de la deuxième partie déformable représente la surface de contact entre la deuxième partie déformable et la première surface secondaire à la première position.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la deuxième position définit une deuxième surface de contact secondaire de la deuxième partie déformable ; la deuxième surface de contact secondaire de la deuxième partie déformable représente la surface de contact entre la deuxième partie déformable et la première surface secondaire à la deuxième position.
Selon on mode de réalisation de la présente invention, la première surface de contact secondaire est comprise entre la première position et une extrémité de la deuxième partie déformable.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la deuxième surface de contact secondaire est comprise entre la deuxième position et une extrémité de la deuxième partie déformable.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la deuxième surface de contact secondaire est plus petite que la première surface de contact secondaire.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la capacité formée par la deuxième partie déformable et la première surface secondaire diminue lorsque l’électrode déformable est actionnée à partir de la première position vers la deuxième position.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la capacité formée par la première partie déformable et la première surface secondaire augmente lorsque l’électrode déformable est actionnée à partir de la deuxième position vers la première position.
Ainsi, le premier volume et le deuxième volume sont complémentaires lorsque les dispositifs font varier le premier volume d’une quantité dV, le deuxième volume varie d’une quantité -dV.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, une alimentation électrique est configurée pour actionner l’électrode déformable et un régulateur de tension est configuré pour fournir un courant alternatif et/ou une tension alternative à partir de l’alimentation électrique à l’électrode déformable.
Ainsi, cette configuration permet l’actionnement de l’électrode déformable.
Selon un mode de réalisation de la présente invention : - la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires comprend une première ouverture primaire sur la première surface primaire ayant une première superficie ouverte primaire et une deuxième ouverture primaire sur la deuxième surface primaire ayant une deuxième superficie ouverte primaire : la première superficie ouverte primaire est plus petite que la deuxième superficie ouverte primaire ; et/ou, - la pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires comprend une première ouverture secondaire sur la première surface secondaire ayant une première superficie ouverte secondaire et une deuxième ouverture secondaire sur la deuxième surface secondaire ayant une deuxième superficie ouverte secondaire : la première superficie ouverte secondaire est plus grande que la deuxième superficie ouverte secondaire.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la somme de la première superficie ouverte primaire de la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires peut former une superficie ouverte primaire et/ou la somme de la première superficie ouverte secondaire de la pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires peut former une superficie ouverte secondaire. Selon un mode de réalisation de la présente invention : - la première superficie ouverte primaire est plus petite que la deuxième superficie ouverte primaire et le rapport entre la première superficie ouverte primaire et la deuxième superficie ouverte primaire est compris entre 0,001 et 0,5 ; - la superficie ouverte primaire est plus petite que la superficie de paroi de séparation primaire et le rapport entre la superficie ouverte primaire et la superficie de paroi de séparation primaire est compris entre 0,001 et 0,5 ; - la première superficie ouverte secondaire est plus petite que la deuxième superficie ouverte secondaire et le rapport entre la première superficie ouverte secondaire et la deuxième superficie ouverte secondaire est compris entre 0,001 et 0,5 ; et/ou - la superficie ouverte secondaire est plus petite que la superficie de paroi de séparation de secondaire et le rapport entre la superficie ouverte secondaire et la superficie de paroi de séparation secondaire est compris entre 0,001 et 0,5.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, le rapport entre : - la première superficie ouverte primaire est plus petite que la première superficie ouverte secondaire et le rapport entre la première superficie ouverte primaire et la première superficie ouverte secondaire est compris entre 0,01 et 0,4 ; - la superficie ouverte primaire est plus petite que la superficie de paroi de séparation primaire et le rapport entre la superficie ouverte primaire et la superficie de paroi de séparation primaire est compris entre 0,01 et 0,4 ; - la première superficie ouverte secondaire est plus petite que la deuxième superficie ouverte secondaire et le rapport entre la première superficie ouverte secondaire et la deuxième superficie ouverte secondaire est compris entre 0,01 et 0,4 ; et/ou - la superficie ouverte secondaire est plus petite que la superficie de paroi de séparation secondaire et le rapport entre la superficie ouverte secondaire et la superficie de paroi de séparation secondaire est compris entre 0,01 et 0,4.
Ainsi, cette configuration permet d’avoir en même temps une grande aire d’électrode faisant face à la membrane afin de maximiser l’actionnement électrostatique et une communication fluidique efficace à travers la paroi de séparation.
La présente invention se rapporte à des lunettes comprenant un dispositif à actionnement électrostatique selon J’un des modes de réalisation précédents et une alimentation électrique configurée pour actionner l’électrode déformable.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, les lunettes comprennent un régulateur de tension configuré pour fournir un courant alternatif à l’électrode déformable à partir de l’alimentation électrique.
BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS
Les buts, caractéristiques, aspects et avantages précédents de l’invention ainsi que d’autres apparaîtront à la lecture de la description détaillée suivante des modes de réalisation, donnés à titre illustratif et non limitatif en référence aux dessins annexés, où : - la figure 1 présente une vue en coupe d’un dispositif à actionnement électrostatique avec une vue en coupe d’une première chambre 110 et d’une chambre d’électrode 500 selon un autre mode de réalisation de la présente.invention ; - la figure 2 représente une vue en coupe d’un dispositif à actionnement électrostatique selon un mode de réalisation de la présente invention ; - la figure 3 montre une vue en coupe d’un dispositif à actionnement électrostatique avec une distance entre parois correspondante qui sépare les parois de séparation variant, selon un autre mode de réalisation de la présente invention ; - la figure 4 illustre un mode de réalisation des parois de séparation de la présente invention ; - la figure 5 présente une vue de dessus d’un dispositif à actionnement électrostatique avec un plot électro-conducteur primaire principal 271 et une pluralité de plots électro-conducteurs primaires auxiliaires 274 selon un autre mode de réalisation de la présente invention ; - les figures 6 et 7 montrent une section transversale de chambre avec une paroi primaire de support 210 et des chambres dimensionnées selon différents modes de réalisation de la présente invention ; - la Figure 8 illustre un enregistrement expérimental selon un autre mode de réalisation de la présente invention ; - la Figure 9 représente une décomposition de temps et de mouvement de l’électrode déformable selon un autre mode de réalisation de la présente invention ; et, - la Figure 10 illustre un mode de réalisation particulier utilisant le dispositif à actionnement électrostatique 100 dans des lunettes selon un autre mode de réalisation de la présente invention.
DESCRIPTION DE L’INVENTION
Des modes de réalisation spécifiques de l’invention seront maintenant décrits de manière détaillée en référence aux figures annexées. Les éléments identiques dans les diverses figures sont désignés par les mêmes numéros de référence pour assurer la cohérence. En outre, l’utilisation de "Fig." sera équivalente à l’utilisation de "Figure" dans la description.
Dans la description détaillée suivante des modes de réalisation de l’invention, de nombreux détails spécifiques sont présentés afin de fournir une compréhension plus approfondie de l’invention. Cependant, il sera évident pour l’homme du métier que l’invention peut être mise en pratique sans ces détails spécifiques. Dans d’autres cas, des caractéristiques bien connues ne sont pas décrites de manière détaillée afin de ne pas compliquer inutilement la description.
DESCRIPTION DÉTAILLÉE DE L’INVENTION SELON UN 1ER MODE DE RÉALISATION
Selon un premier mode de réalisation montré sur la figure 1, un dispositif à actionnement électrostatique 100 configuré pour appliquer seulement une force unidirectionnelle est divulgué. Le dispositif à actionnement électrostatique 100 comprend une première chambre 110. La première chambre 110 est configurée pour comprendre un premier fluide.
Ce premier fluide peut être configuré pour passer à travers un premier passage de fluide primaire 111, ce qui signifie que le premier fluide peut avoir une viscosité déterminée . Ce premier passage de fluide primaire 111 peut déboucher vers l’extérieur, de préférence vers l’extérieur de la première chambre 110. Ce premier passage de fluide primaire 111 peut être situé sur un côté de la première chambre 110.
La première chambre 110 peut être au moins partiellement définie par une paroi de séparation primaire 200. Cette paroi de séparation primaire 200 peut comprendre une première surface primaire 210, une deuxième surface primaire 220 et une pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires 230. La deuxième surface primaire 220 peut faire face à la première chambre 110 et plus précisément la deuxième surface primaire 220 peut faire face au premier passage de fluide primaire 111. La paroi de séparation primaire 200 peut comprendre une superficie de paroi de séparation primaire 290 ou plus exactement la deuxième surface primaire 220 peut comprendre une superficie de paroi de séparation primaire 290 faisant face à la première chambre 110.
Selon un mode de réalisation (non montré), le premier passage de fluide primaire 111 peut ne pas faire face à la deuxième surface primaire 220, mais peut être situé sur une paroi latérale. La première surface primaire 210 peut être opposée à la deuxième surface primaire 220, ce qui signifie que la première surface primaire 210 peut être à l’extérieur de la première chambre 110 et la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires 230 peuvent permettre à la partie extérieure de la première chambre 110 de communiquer avec la partie intérieure de la première chambre 110.
La pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires 230 peuvent comprendre au moins un deuxième passage de fluide primaire 240 et par l’intermédiaire de ce deuxième passage de fluide primaire 240 le premier fluide peut pénétrer dans la première chambre 110 ou sortir de la première chambre 110. Dans une certaine configuration, le premier fluide peut pénétrer dans la première chambre 110 par l’intermédiaire du premier passage de fluide primaire 111, peut traverser la première chambre 110 et sortir de la première chambre 110 par l’intermédiaire d’au moins un deuxième passage de fluide primaire 240, ou vice-versa, en d’autres termes, le premier passage de fluide primaire 111 et l’au moins un deuxième passage de fluide primaire 240 peuvent permettre au premier fluide d’avoir un mouvement de va-et-vient dans la première chambre 110.
Une chambre d’électrode 500 peut être située sur l’autre côté de la paroi de séparation primaire 200 adjacente à la première chambre 110. Cette chambre d’électrode 500 peut être définie, de manière adjacente à la première surface primaire 210 et peut comprendre une électrode déformable 600.
Cette électrode déformable 600 peut être disposée dans la chambre d’électrode 500 de manière à former une première chambre d’électrode 615 et une deuxième chambre d’électrode 625, en d’autres termes, la chambre d’électrode 500, qui peut avoir un volume principal qui peut être séparé en deux volumes: un premier volume d’électrode 611 et un deuxième volume d’électrode 621. La première chambre d’électrode 615 n’est pas en communication fluidique avec la deuxième chambre d’électrode 625. L’électrode déformable 600 peut comprendre une première surface d’électrode déformable 601, une deuxième surface d’électrode déformable 602. La première chambre d’électrode 615 peut être comprise entre la première surface d’électrode déformable 601 et la première surface primaire 210 et la première chambre d’électrode 615 peut communiquer de manière fluidique avec la première chambre 110 par l’intermédiaire d’au moins un deuxième passage de fluide primaire 240 lorsque l’électrode déformable 600 peut être actionnée entre une première position 691 et une deuxième position 692.
Le dispositif à aetionnement électrostatique 100 comprend une électrode qui fait partie de la paroi de séparation primaire 200. Cette électrode peut être configurée pour coopérer avec l’électrode déformable 600 de manière à actionner l’électrode déformable 600 entre la première position 691 et la deuxième position 692. La première chambre d’électrode 615 peut comprendre le premier volume d’électrode 611 et la deuxième chambre d’électrode 625 peut comprendre le deuxième volume d’électrode 621. L’électrode déformable 600 peut comprendre une couche diélectrique déformable 660 et une couche électro-conductrice déformable 670. L’électrode déformable 600 peut être constituée d'un matériau diélectrique qui est métallisé sur un côté. Le matériau préféré peut être du Polyéthylène Téréphtalate ou du polyéthylène, ou du polypropylène ou tout autre polymère mince ou une électrode déformable inorganique 600 présentant de bonnes propriétés diélectriques.
Lorsqu’une tension est appliquée entre la couche électro-conductrice déformable 670 et la paroi de séparation primaire 200, en d’autres termes lorsque l’électrode déformable 600 et la paroi de séparation primaire 200 sont électrifiées, l’électrode déformable est attirée vers la paroi de séparation primaire 200 électrifiée par l’intermédiaire d’un champ électrique. L’électrode déformable 600 se déforme et déplace une partie du fluide à travers des passages de fluide dans la paroi de séparation.
DESCRIPTION DÉTAILLÉE DE L’INVENTION SELON UN 2ÉME MODE DE RÉALISATION
Selon un deuxième mode de réalisation montré sur la figure 2, en plus des caractéristiques décrites selon le premier mode de réalisation, la chambre d’électrode 500 comprend une paroi de séparation secondaire 300. La paroi de séparation secondaire 300 peut comprendre une première surface secondaire 310, une deuxième surface secondaire 320 et une pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires 330. La pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires 330 peuvent comprendre au moins un deuxième passage de fluide secondaire 340. La première surface secondaire 310 de la paroi de séparation secondaire 300 peut faire face à la première surface primaire 210 de la paroi de séparation primaire 200, en d’autres termes, la chambre d’électrode 500 peut être comprise entre la première surface secondaire 310 et la première surface primaire 210.
Il peut y avoir une deuxième chambre 120 adjacente à la paroi de séparation secondaire 300. Cette deuxième chambre 120, configurée pour comprendre un deuxième fluide, peut être comprise dans le dispositif à actionnement électrostatique 100 et peut être similaire à la première chambre 110 selon l’un des modes de réalisation. Cette deuxième chambre 120 peut comprendre un premier passage de fluide secondaire 121. Le premier passage de fluide secondaire 121 peut être configuré pour admettre le deuxième fluide dans la deuxième chambre 120. En d’autres termes, le deuxième fluide peut entrer dans ou sortir de la deuxième chambre 120 par l’intermédiaire du premier passage de fluide secondaire 121.
Ce deuxième fluide peut être configuré pour passer à travers un premier passage de fluide secondaire 121, ce qui signifie que le deuxième fluide peut avoir une viscosité conçue. Ce premier passage de fluide secondaire 121 peut déboucher vers l’extérieur, de préférence vers l’extérieur de la deuxième chambre 120. Ce premier passage de fluide secondaire 121 peut être situé sur un côté de la deuxième chambre 120.
La deuxième chambre 120 peut être au moins partiellement définie par une paroi de séparation secondaire 300. Cette paroi de séparation secondaire 300 peut comprendre une première surface secondaire 310, une deuxième surface secondaire 320 et la pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires 330. La deuxième surface secondaire 320 peut faire face à la deuxième chambre 120, et plus précisément la deuxième surface secondaire 320 peut faire face au premier passage de fluide secondaire 121. La première surface secondaire 310 peut être opposée à la deuxième surface secondaire 320, ce qui signifie que la première surface secondaire 310 peut être à l’extérieur de la première chambre 110 et l’au moins un deuxième passage de fluide secondaire 330 peut permettre à la partie extérieure de la deuxième chambre 120 de communiquer avec la partie intérieure de la deuxième chambre 120. La paroi de séparation secondaire 300 peut comprendre une superficie de paroi de séparation secondaire ou plus exactement la deuxième surface secondaire 320 peut comprendre une superficie de paroi de séparation secondaire faisant face à la deuxième chambre 120.
La pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires 330 peuvent comprendre au moins un deuxième passage de fluide secondaire 340 et par l’intermédiaire de cet au moins un deuxième passage de fluide secondaire 340 le deuxième fluide peut pénétrer dans la deuxième chambre 120 ou sortir de la deuxième chambre 120. Dans une certaine configuration, le deuxième fluide peut pénétrer dans la deuxième chambre 120 par l’intermédiaire du premier passage de fluide secondaire 121, traverser la deuxième chambre 120 et sortir de la deuxième chambre 120 par l’intermédiaire d’au moins un deuxième passage de fluide secondaire 340, ou vice versa, en d’autres termes, le premier passage de fluide secondaire 121 et l’au moins un deuxième passage de fluide secondaire 330 peuvent permettre au deuxième fluide d’avoir un mouvement de va-et-vient dans la deuxième chambre 120.
La deuxième chambre d’électrode 625 peut être comprise entre la deuxième surface d’électrode déformable 602 et la première surface secondaire 310 et la deuxième chambre d’électrode déformable 625 peut communiquer de manière fluidique avec la deuxième chambre 120 par l’intermédiaire de l’au moins un deuxième passage de fluide secondaire 340 lorsque l’électrode déformable 600 peut être actionnée entre la première position 691 et la deuxième position 692.
DESCRIPTION DÉTAILLÉE DE L’INVENTION SELON UN 3èME MODE DE RÉALISATION
Selon un troisième mode de réalisation montré sur la figure 3, la paroi de séparation primaire 200 et la paroi de séparation secondaire 300 peuvent former un coin ou une pente de sorte que l’écart ou au la distance entre parois g qui sépare la paroi de séparation primaire 200 de la paroi de séparation secondaire 300 puisse augmenter d’un côté de la chambre d’électrode 500 à l’autre. Le gradient d’épaisseur de l’écart g assure une transition douce du dispositif à actionnement électrostatique 100 avec la tension comme on le verra plus tard.
Au moins l’une des parois de séparation parmi la paroi de séparation primaire 200 et la paroi de séparation secondaire 300, qui peuvent avoir une distance entre parois g inférieure à 600 pm entre elles, et de préférence inférieure à 200 pm entre elles, peut comprendre un plot électro-conducteur primaire. Selon le mode de réalisation montré sur la figure 3, la distance entre parois g qui sépare la paroi de séparation primaire 200 de la paroi de séparation secondaire 300 peut varier de manière à avoir une pente.
Plus précisément, la distance entre parois g qui sépare la paroi de séparation primaire 200 de la paroi de séparation secondaire 300 varie de manière à former un angle, entre la paroi de séparation primaire 200 et la paroi de séparation secondaire 300, compris entre 0° et 60°, en particulier entre 0° et 45° et de préférence entre 0° et 30°.
En outre, il est également possible de transposer ce troisième mode de réalisation particulier au premier mode de réalisation, par exemple, en faisant varier une dimension de la chambre d’électrode 500, comme la hauteur, la longueur ou la largeur.
DESCRIPTION DÉTAILLÉE DE L’INVENTION SELON UN 4ÈME MODE DE RÉALISATION
Selon un quatrième mode de réalisation montré sur la figure 4, la paroi de séparation primaire 200 et la paroi de séparation secondaire 300 peuvent faire partie de l’électrode en étant reliées à la tension la plus élevée et à la tension la plus faible ou vice-versa et l’électrode déformable en PET 600 à la référence commune ou masse électrique. Plus précisément, il peut y avoir un plot électro-conducteur primaire 270 sur la première surface primaire 210 et un plot électro-conducteur secondaire sur la première surface secondaire 310, qui sont reliés électriquement à la tension la plus élevée et à la tension la plus faible ou vice-versa, et l’électrode déformable en PET 600 peut comprendre une couche électro-conductrice déformable 670 à la référence commune ou masse électrique.
Dans un mode de réalisation particulier dans lequel la couche électroconductrice déformable 670 peut être disposée sur les deux côtés de l’électrode déformable 600, la paroi de séparation primaire 20Q et la paroi de séparation secondaire 300 sont isolées par une couche isolante 206 qui peut être déposée par au moins un procédé, sans s’y limiter, parmi le dépôt chimique en phase vapeur comme le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma ou le dépôt chimique en phase vapeur sous pression réduite par exemple, le dépôt physique en phase vapeur, par ex. le dépôt physique en phase vapeur par pulvérisation cathodique ou par faisceau d’électrons, le dépôt de couche atomique et/ou la sérigraphie. Cette couche isolante 206 peut être constituée d’un parylène, d’oxyde d’aluminium, de dioxyde de silicium ou de verre par exemple.
En effet, la paroi de séparation primaire 200 peut comprendre une première couche isolante 206 configurée pour isoler l’électrode déformable 600 de la paroi de séparation primaire 200. En particulier, l’électrode déformable 600 peut comprendre au moins une partie électro-conductrice et/ou la paroi de séparation primaire 200 peut comprendre un plot électro-conducteur primaire 270. Dans cette configuration, la paroi de séparation primaire 200 comprend une première couche isolante 206 configurée pour isoler l’au moins une partie électro-conductrice de l’électrode déformable 600 du plot électro-conducteur primaire 270 de la paroi de séparation primaire 200.
De même, la paroi de séparation secondaire 300 peut comprendre une deuxième couche isolante 306 configurée pour isoler l’électrode déformable 600 de la paroi de séparation secondaire 300. En particulier, l’électrode déformable 600 peut comprendre au moins une partie électro-conductrice et/ou la paroi de séparation secondaire 300 peut comprendre un plot électroconducteur secondaire. Dans cette configuration, la paroi de séparation secondaire 300 comprend une deuxième couche isolante 306 configurée pour isoler fau moins une partie électro-conductrice de l’électrode déformable 600 du plot électro-conducteur secondaire de la paroi de séparation secondaire 306.
Les parois de séparation peuvent être ainsi isolées de l’électrode déformable qui peut être revêtue sur les deux côtés d’une couche électro-conductrice, comme par exemple une couche conductrice d’aluminium. Les deux côtés de l’électrode déformable en PET peuvent être reliés électriquement ensemble, formant l’électrode commune/de masse. Ensuite, chacune des parois de séparation métalliques peut être une électrode. La partie déformable intermédiaire 602 peut être à 0V à peu près au milieu de la plage. Lors de l’application de la tension entre l’électrode commune et l’une des parois de séparation, cela aura tendance à déplacer l’électrode déformable en PET 600 et plus précisément la partie déformable intermédiaire 602 de l’électrode déformable en PET 600 vers la droite, par exemple.
La première surface primaire 210 comprend une superficie électro-conductrice primaire 260. Cette superficie électro-conductrice primaire 260 peut être partiellement ou totalement isolée de la couche électro-conductrice déformable 670 de l’électrode déformable 600 par l’intermédiaire de la première couche isolante 206, comme mentionné ci-dessus. Cette première couche isolante peut isoler partiellement ou totalement la superficie électro-conductrice primaire 260 de sorte qu’il n’y ait pas de contact électrique entre la superficie électro-conductrice primaire 260 de la première surface primaire 210 et la couche électro-conductrice déformable 670 de l’électrode déformable 600. Dans ce mode de réalisation particulier, la couche électro-Conductrice déformable 670 peut se trouver sur un côté de la couche diélectrique déformable 660.
La première surface secondaire 310 comprend une superficie électroconductrice secondaire 360. Cette superficie électro-conductrice secondaire 360 peut être partiellement ou totalement isolée de la couche électro-conductrice déformable 670 de l’électrode déformable 600 par l’intermédiaire de la deuxième couche isolante 306, comme mentionné ci-dessus. Cette couche isolante peut isoler partiellement ou totalement la superficie électro-conductrice secondaire 360 de sorte qu’il n’y ait pas de contact électrique entre la superficie électro-conductrice secondaire 360 de la première surface secondaire 310 et la couche électro-conductrice déformable 670 de l’électrode déformable 600. Dans ce mode de réalisation particulier, la couche électro-conductrice déformable 670 peut se trouver sur un côté de la couche diélectrique déformable 660.
Dans un mode de réalisation particulier, la superficie électro-conductrice primaire 260 sur la première surface primaire 210 et la superficie électro-condüctrice secondaire 360 sur la première surface secondaire 310 peuvent être partiellement ou totalement isolées de la couche électro-conductrice déformable 670 de l’électrode déformable 600 par l’intermédiaire de la première couche isolante 206 et de la deuxième couche isolante 306, c’est-à-dire, la couche électro-conductrice déformable 670 peut se trouver sur les deux côtés de la couche diélectrique déformable 660, c’est-à-dire, la couche diélectrique déformable 660 peut être partiellement ou totalement prise en tenaille entre deux couches électro-conductrices déformables 670. Dans cette configuration, la première couche isolante 206 et la deuxième couche isolante 306 peuvent faire face à la couche électro-conductrice déformable 670 et/ou à l’électrode déformable.
DESCRIPTION DÉTAILLÉE DE L’INVENTION SELON UN 5ÈME MODE DE RÉALISATION
La figure 5 montre un mode de réalisation de la paroi de séparation primaire 200 avec une pluralité de plots électro-conducteurs primaires 270 pour la commande numérique. Pour des raisons de simplification et pour assurer une meilleure compréhension du dispositif à actionnement électrostatique 100, seule la paroi de séparation primaire 200 est représentée. Ce mode de réalisation peut être littéralement transposé à la paroi de séparation secondaire 300 ou à l’électrode déformable 600.
Dans cette variante, l’électrode de la paroi de séparation primaire 200, c’est-à-dire le plot électro-conducteur primaire 270, peut être divisée en plusieurs plots. Chaque plot du plot électro-conducteur primaire 270 peut être électrifié indépendamment : Chaque plot sera soit activé ou désactivé, poussant ainsi un volume de fluide qui peut être proportionnel à l’aire du plot électrifié. Chaque plot peut être relié à une source de tension, correspondant à une tension qui peut être suffisante pour s’assurer que toute l’aire de l’électrode correspondante peut être poussée. Selon ce mode de réalisation, la paroi de séparation primaire 200 peut être constituée d’un matériau isolant et un film métallique mince peut être soit déposé par des procédés de revêtement, par sérigraphie sur la paroi de séparation primaire 200, ou peut être collé par une application macroscopique ou tout autre procédé. Selon un autre mode de réalisation, plusieurs parois de séparation métalliques pourraient être supportées par un milieu de support isolant sous-jacent pour le support mécanique.
Au moins l’une des parois de séparation parmi la paroi de séparation primaire 200 et la paroi de séparation secondaire 300, qui peuvent avoir une distance entre parois g inférieure à 600 pm entre elles, et de préférence inférieure à 200 pm entre elles, peut comprendre un plot électro-conducteur primaire. Selon le mode de réalisation montré sur la figure 3, la distance entre parois g qui sépare la paroi de séparation primaire 200 de la paroi de séparation secondaire 300 peut varier de manière à avoir une pente.
Plus précisément, la distance entre parois g qui sépare la paroi de séparation primaire 200 de la paroi de séparation secondaire 300 varie de manière à former un angle, entre la paroi de séparation primaire 200 et la paroi de séparation secondaire 300, compris entre 0° et 60°, en particulier entre 0° et 45° et de préférence entre 0° et 30°.
Le plot électro-conducteur primaire peut comprendre au moins deux plots électro-conducteurs primaires, qui peuvent avoir un espacement entre plots s compris entre 10 pm et 1 mm ou entre 10 pm et 500 pm entre eux, et les au moins deux plots électro-conducteurs primaires peuvent couvrir, plutôt le plot électro-conducteur primaire peut couvrir au moins partiellement la superficie de paroi de séparation primaire 290, décrite ci-dessus, avec une superficie électroconductrice primaire 260.
Les au moins deux plots électro-conducteurs primaires du plot électroconducteur primaire peuvent comprendre un plot électro-conducteur primaire principal 271 ayant une superficie primaire principale 272 et au moins un plot électro-conducteur primaire auxiliaire 273 ayant une superficie primaire auxiliaire 274. La superficie primaire principale 272 et la superficie primaire auxiliaire 274 peuvent être comprises dans la superficie électro-conductrice primaire 260.
Le plot électro-conducteur primaire principal 271 et l’au moins un plot électro-conducteur primaire auxiliaire 273 peuvent être isolés électriquement l’un de l’autre. La superficie électro-conductrice primaire 260 peut comprendre la superficie primaire principale 272 et la superficie primaire auxiliaire 274 puisqu’elles peuvent former le plot électro-conducteur primaire.
La superficie primaire auxiliaire 274 peut être définie par une progression géométrique comprenant une raison et un facteur d’échelle ou une progression arithmétique comprenant une base et une raison. La superficie primaire principale 272 peut être le facteur d’échelle de la progression géométrique ou la base de la progression arithmétique.
Par exemple, dans ce cas, où la superficie primaire principale 272 peut être égale à une aire unitaire, la première superficie primaire auxiliaire 274 peut être égale à deux aires unitaires et la deuxième peut être égale à quatre aires unitaires. Dans cette configuration, l’électrode déformable 600 peut être en contact physique entre une et sept aires unitaires. En d’autres termes, la première chambre d’électrode 500 peut avoir jusqu’à huit volumes de fluide poussés différents 611 qui peuvent permettre un réglage fin.
Un autre mode de réalisation global, qui sera très avantageux, peut consister à combiner le dispositif à actionnement électrostatique 100 de la Figure 2 avec la caractéristique des Figures 4 et 5 : cela constituera un dispositif à actionnement électrostatique bipolaire 100, et la distance focale à tension nulle sera réglée pour être la vision nette à distance intermédiaire, en ajustant la quantité globale de deuxième fluide par exemple. Par rapport à la position de repos des fluides à 0V, le dispositif sera capable soit de pousser les liquides dans une direction ou de les tirer dans l’autre direction activement. Dans l’utilisation particulière de ce dispositif dans un dispositif ophtalmique, cela signifie que la position de repos du dispositif ophtalmique sera à une vision à distance intermédiaire. La pompe sera capable d’activer la lentille dans une direction ou une autre soit pour une vision de loin ou une vision de près.
En outre, il est possible d’avoir des structures de plot sur les deux parois de séparation, c’est-à-dire, sur la paroi de séparation primaire 200 et la paroi de séparation secondaire 300 et/ou sur l’électrode déformable 600. Les au moins deux plots électro-conducteurs primaires, le plot électro-conducteur primaire principal 271 et l’au moins un plot électro-conducteur primaire auxiliaire 273, ne sont pas forcément alignés entre eux ou avec au moins deux plots électroconducteurs secondaires disposés sur la paroi de séparation secondaire 300, le plot électro-conducteur secondaire principal et l’au moins un plot électroconducteur secondaire auxiliaire. En d’autres termes, le plot électro-conducteur secondaire principal n’est pas forcément aligné avec le plot électro-conducteur primaire principal· 271 ou en face de celui-ci. Il peut également ne pas être nécessaire de préciser que chaque plot électro-conducteur des au moins deux plots électro-conducteurs secondaires et/ou des au moins deux plots électroconducteurs primaires peut avoir individuellement une forme de polygone régulier ou une forme de polygone irrégulier.
DESCRIPTION DÉTAILLÉE DE LA STRUCTURE DE PAROI DE SÉPARATION
La Figure 6 montre une façon de fabriquer la paroi de séparation microfluidique en utilisant une gravure anisotrope de plaquettes de silicium : cela permettrait de produire un motif similaire à celui esquissé sur la Figure 6, adapté à la présente invention.
Dans un mode de réalisation particulier de la présente invention, au moins l’une des parois de séparation parmi la paroi de séparation primaire et la paroi de séparation secondaire est partiellement constituée d’au moins un matériau cristallin ou semi-cristallin. Plus précisément, au moins l’une des parois de séparation parmi la paroi de séparation primaire 200 et la paroi de séparation secondaire 300 est constituée d’au moins un matériau cristallin ou semi-cristallin comme des polymères, le sol-gel, le silicium, le dioxyde de silicium, l’oxyde d’aluminium, le saphir, le germanium, l’arséniure de gallium, le phosphure d’indium ou d’un alliage du matériau mentionné précédemment.
Une variante au mode de réalisation précédent peut être qu’au moins l’une des parois de séparation parmi la paroi de séparation primaire et la paroi de séparation secondaire peut être partiellement constituée d’un matériau poreux, de tissus naturels ou de tissus artificiels. Il peut être également possible d’utiliser des tissus naturels ou des tissus artificiels qui peuvent être ordonnés ou désordonnés. Dans tous les cas, le matériau poreux, les tissus naturels ou les tissus artificiels peut/peuvent être partiellement constitué(s) de polymères, d’élastomères, de carbone amorphe, de Kevlar, de carbone ou d’un métal.
Le deuxième passage de fluide primaire 240 de la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires 230, décrits ci-dessus, peut comprendre une première ouverture primaire sur la première surface primaire 210 ayant une première superficie ouverte primaire 239 et une deuxième ouverture primaire sur la deuxième surface primaire 220 ayant une deuxième superficie ouverte primaire 241 ; la première superficie ouverte primaire 239 peut être plus petite que la deuxième superficie ouverte primaire 241.
Le deuxième passage de fluide secondaire 340 des deuxièmes passages de fluide secondaires 330 peut comprendre une première ouverture secondaire sur la première surface secondaire 310 ayant une première superficie ouverte secondaire et une deuxième ouverture secondaire sur la deuxième surface secondaire 320 ayant une deuxième superficie ouverte secondaire ; la première superficie ouverte secondaire peut être plus grande que la deuxième superficie ouverte secondaire.
La somme de la première superficie ouverte primaire 239 de la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires 230 peut former une superficie ouverte primaire et/ou la somme de la première superficie ouverte secondaire de la pluralité de premiers passages de fluide secondaires peut former une superficie ouverte secondaire.
Globalement, la première superficie ouverte primaire 239 peut être plus petite que la deuxième superficie ouverte primaire 241 et le rapport entre la première superficie ouverte primaire 239 et la deuxième superficie ouverte primaire 241 peut être compris entre 0,001 et 0,5 et/ou là première superficie ouverte secondaire est plus petite que la deuxième superficie ouverte secondaire et le rapport entre la première superficie ouverte secondaire et la deuxième superficie ouverte secondaire peut être compris entre 0,001 et 0,5.
La première superficie ouverte primaire 239 peut être plus petite que la superficie de paroi de séparation primaire 290 et le rapport entre la première superficie ouverte primaire 239 et la superficie de paroi de séparation primaire 290 peut être compris entre 0,001 et 0,5 et la première superficie ouverte secondaire peut être plus petite que la superficie de paroi de séparation secondaire et le rapport entre la première superficie ouverte secondaire et la superficie de paroi de séparation secondaire peut être compris entre 0,001 et 0,5.
La superficie ouverte primaire peut être plus petite que la superficie de paroi de séparation primaire 290 et le rapport entre la superficie ouverte primaire et la superficie de paroi de séparation primaire 290 peut être compris entre 0,001 et 0,5 et la superficie ouverte secondaire peut être plus petite que la superficie de paroi de séparation secondaire et le rapport entre la superficie ouverte secondaire et la superficie de paroi de séparation secondaire peut être compris entre 0,001 et 0,5.
En particulier, le rapport entre la première superficie ouverte primaire 239 et la superficie de paroi de séparation primaire 290 peut être compris entre 0,01 et 0,4, et le rapport entre la première superficie ouverte secondaire et la superficie de paroi de séparation secondaire peut être compris entre 0,01 et 0,4.
En particulier, le rapport entre la superficie ouverte primaire et la superficie de paroi de séparation primaire 290 peut être compris entre 0,001 et 0,5 et le rapport entre la superficie ouverte secondaire et la superficie de paroi de séparation secondaire peut être compris entre 0,001 et 0,5.
Bien entendu, d’autres techniques de gravure peuvent également être appliquées : la gravure chimique anisotrope ou isotrope de silicium, de verre, de céramiques, d’oxydes, de métaux peut être utilisée, la gravure au laser peut être utilisée, etc...
En outre, il est également possible d’envisager une autre façon de fabriquer la paroi de séparation primaire 200 avec la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires 230 en utilisant un matériau poreux, fabriqué à partir de polymères, d’élastomères, du carbone amorphe ou de l’oxyde d’aluminium par exemple. L’utilisation de tissus naturels ou artificiels fabriqués à partir d’un type quelconque de fibres entrelacées, soit ordonnées ou désordonnées, comme les polymères, le Kevlar, le carbone, un métal par exemple, pourrait également être envisagée pour la fabrication de la paroi de séparation primaire 200.
La paroi de séparation primaire 200 peut également être constituée d’un composite de plusieurs couches : une couche avec les trous et une couche de support, par exemple.
DESCRIPTION DÉTAILLÉE DE LA COMMANDE DU DISPOSITIF À ACTIONNERENT ÉLECTROSTATIQUE
La commande du dispositif à actionnement électrostatique 100 peut être réalisée par la tension et/ou la capacitance et/ou des volumes distincts. La distance entre parois g qui sépare la paroi de séparation primaire 200 de la paroi de séparation secondaire 300 devrait être généralement inférieure à 600 pm, et de préférence inférieure â 200 pm en fonction des dimensions hors-tout du système. Le dispositif à actionnement électrostatique 100 peut déplacer le fluide avec une différence de pression donnée par :
où ΔΡ est la différence de pression induite entre le premier fluide et le deuxième fluide qui peuvent être éloignés de l’électrode déformable diélectrique 600, ε la constante diélectrique de l’électrode déformable diélectrique 600, £o la permittivité du vide, e son épaisseur, g l’écart entre la paroi de séparation primaire 200 et la paroi de séparation secondaire 300 également connu comme la distance entre parois, y le rapport entre la superficie ouverte primaire et la superficie de paroi de séparation primaire de la paroi de séparation, et V la différence de tension appliquée entre la paroi de séparation et l’électrode déformable diélectrique 600. Si l’on prend des valeurs typiques pour une réalisation expérimentale, ε = 3, e = 2 pm, g = 200 pm, y = 0,8 et V= 100 V, on obtient une différence de pression à évaluer ΔΡ = 300Pa, ce qui signifie que le dispositif peut pomper des liquides contre une pression opposée de cette quantité, conformément à la nécessité d’applications ophtalmiques.
Comme on peut le voir d’après la formule ci-dessus, l’effet élèctrostatique sur la pression est proportionnel au carré de la tension V2. il est alors possible d’utiliser une tension alternative pour actionner le dispositif. Il est avantageux d’utiliser une tension alternative. En effet, l’utilisation de tensions alternatives supprime la contrainte sur les matériaux et les liquides qui peut conduire à l’application continue d’une tension à polarité unique, ce qui conduit à une diminution à long terme de l'efficacité du dispositif.
La formule ci-dessus s’applique lorsque le liquide qui est poussé par le champ électrostatique est isolant. En conséquence, les fluides doivent être conçus de façon appropriée pour que le dispositif fonctionne correctement. Pour des liquides conducteurs tels que l’eau, ils ne peuvent être placés que dans la partie du dispositif où aucun champ électrique n’est présent. Par exemple, dans le mode de réalisation 1, l’eau peut être présente dans la chambre 625. Pour des liquides diélectriques, ils peuvent être placés dans toutes les chambres de tout mode de réalisation présenté. Pour des liquides intermédiaires qui pourraient être diélectriques avec une faible conductivité, en général il existe une fréquence de tension alternative au-dessus de laquelle le comportement du liquide est presque purement diélectrique et sa conductivité peut être négligée. Il sera nécessaire de concevoir le dispositif pour fonctionner dans un tel régime.
La commande du dispositif à actionnement électrostatique 100 peut être faite par une variation de tension, ce qui induit une variation de pression. Une telle variation de pression correspondrait alors à un volume donné poussé, la relation mutuelle entre le volume de fluide poussé et la pression serait donnée par l’élasticité de la membrane déformable optique. Dans certains cas, l’élasticité de l’électrode déformable qui peut être à l’extérieur du dispositif à actionnement électrostatique 100 peut être insuffisante pour assurer une valeur précise du volume pompé par actionnement électrostatique.
Le mode de réalisation montré sur la Figure 3, avec un écart variable g permet d’étaler la réponse du dispositif à actionnement électrostatique 100, de sorte qu’à une tension correspondrait un volume donné de fluide poussé. En effet, dans la Figure 2 par exemple, il peut y avoir un seuil de tension brusque où tout le fluide peut être poussé hors du dispositif à actionnement électrostatique 100. Dans la Figure 3, le gradient assure un étalement de la réponse de tension, permettant ainsi de commander la quantité de fluide poussé par le dispositif à actionnement électrostatique 100 par une commande précise de la tension.
Il peut être possible de commander le dispositif à actionnement électrostatique 100 à travers la capacitance du système : en se référant à la Figure 2, la capacitance globale entre l’électrode commune, qui peut être l’électrode déformable 600 et soit la paroi de séparation primaire 200 ou la paroi de séparation secondaire 300 varie avec la position de la partie déformable intermédiaire 602 de l’électrode déformable 600 : à une tension maximale entre l’électrode déformable commune 600 et la paroi de séparation primaire 200, par exemple, l’électrode déformable 600 sera appliquée à la surface opposée sur toute l’aire du dispositif. La capacitance entre ces deux électrodes sera maximale. Donc la mesure de la capacitance entre paroi de séparation primaire 200-électrode déformable commune 600, ou à la fois entre paroi de séparation primaire 200-électrode déformable commune 600 et paroi de séparation secondaire 300-électrode déformable commune 600, conduira à la connaissance du volume de fluide qui a pu être déplacé par le dispositif à actionnement électrostatique 100, indépendamment de la pression. Ainsi, le dispositif à actionnement électrostatique 100 peut être commandé par cette capacitance avec une servocommande requise sur ce paramètre.
La capacitance peut être mesurée en utilisant un appareil externe (pont RLC ou tout autre appareil de mesure de capacitance) ou par un petit circuit inclus dans le circuit miniaturisé utilisé en tant qu’unité de commande de dispositif. Ces circuits miniaturisés sont déjà très répandus dans le Circuit Intégré à Application Spécifique uitra-miniaturisé, ASICs en abrégé, pour détecter des entrées tactiles par exemple à travers ce qu’on appelle "la détection capacitive". Il existe plusieurs principes pour ces circuits. On peut mesurer la fréquence d’un oscillateur à relaxation, qui dépend de la capacitance. Ou bien, on peut appliquer un signal de courant alternatif ou de tension alternative à une série de deux condensateurs, l’un fixe de valeur connue, l’autre étant le condensateur inconnu à mesurer. La mesure de la tension alternative sur le condensateur inconnu fournit un moyen pour déduire la valeur de la capacitance inconnue.
Une autre façon de commander le dispositif à actionnement électrostatique 100 peut consister à séparer le volume en sous-volumes distincts, en séparant l’une des électrodes en différentes électrodes. La figure 5 montre un exemple d’un ensemble de plots électro-conducteurs primaires 270 ayant des formes différentes de plots électro-conducteurs, telles que la résolution voulue sur le volume déplacé peut être atteinte. Sur la figure 5, seulement les parois de séparation et leurs plots électro-conducteurs peuvent être montrés, le reste du dispositif sera similaire aux figures précédentes. Dans l’exemple de la figure 5, la paroi de séparation primaire 200 peut être fabriquée à partir d’un matériau isolant et l’ensemble de plots électro-conducteurs primaires 270 peuvent être déposés sur la paroi de séparation primaire 200. Des connexions externes permettront de définir des tensions différentes aux plots électro-conducteurs différents. Chacun des plots électro-conducteurs sera relié à la source de tension en s’assurant que la zone correspondante peut être activée. Les autres plots électro-conducteurs seront reliés à la masse, de sorte que les zones correspondantes puissent être inactivées. La tension devrait être suffisamment élevée pour que dans les zones activées, le fluide puisse être efficacement poussé par l’électrode déformable 600. Chaque zone peut être ainsi activée de façon binaire MARCHE ou ARRÊT. La figure 5 montre un mode de réalisation particulier où il existe différentes aires pour les plots éleCtroconducteurs, chaque plot électro-conducteur ayant une surface proportionnelle au précédent. Cela peut permettre la production de différents étages du volume injecté du dispositif à actionnement électrostatique 100 tout en utilisant seulement N électrodes. Une autre façon serait d’inclure des tensions intermédiaires pour produire une résolution plus élevée.
Le mode de réalisation montré sur la figure 2 peut être particulièrement simple pour i’actionnement de deux fluides. L’électrode déformable métallisée unilatérale 600 peut être coincée entre la paroi de séparation primaire 200 et la paroi de séparation secondaire 300. La paroi de séparation qui peut se trouver sur le côté inverse de la métallisation de PET doit être conductrice comme elle Servira d’une électrode. La métallisation de l’électrode déformable en PET 600 serait l’autre électrode. Lors de l’application de la tension, l’électrode déformable 600 peut être attirée vers l’autre électrode de paroi de séparation, poussant ainsi le fluide qui peut se trouver sur le côté de la paroi de séparation conductrice servant d’électrode. La figure 8 montre un enregistrement expérimental de ces variations.
Dans la figure 8, la courbe C01 correspond à δΡ = 100 Pa, la courbe C02 à δΡ = 200 Pa et la courbe C03 à δΡ - 300 Pa. Le graphique montre la capacitance C tracée par rapport à la tension V de l’échantillon : comme expliqué ailleurs dans la présente demande, la capacitance reflète la quantité de film déformable qui peut être présente contre la paroi de séparation. Le graphique montre que le film présente une transition à une tension donnée entre l’état d’arrêt et l’état de marche. Cette tension de transition varie clairement avec la pression contre laquelle le dispositif à actionnement électrostatique 100 peut être amené à fonctionner. On voit aussi sur la figure ci-dessus que le phénomène présente une certaine hystérésis, les courbes ascendante et descendante étant différentes.
DESCRIPTION DÉTAILLÉE DES POSITIONS DE L’ÉLECTRODE DÉFORMABLE
Les diverses positions de l’électrode déformable 600 seront maintenant décrites en référence à la figure 9.
Dans chaque position de l’électrode déformable 600, ladite électrode peut comprendre une première partie déformable 601, une partie déformable intermédiaire 602 et une deuxième partie déformable 603 de sorte que : - la première partie déformable 601 soit en contact physique avec ou à proximité de la première surface primaire 210 ; - la deuxième partie déformable 603 soit en contact physique avec ou à proximité de la première surface secondaire 310 ; et - la partie déformable intermédiaire 602 relie la première partie déformable 601 et la deuxième partie déformable 603 et traverse la distance entre parois qui sépare la première surface primaire 210 de la première surface secondaire 310 ; La partie déformable intermédiaire 602 peut n’être en contact physique ni avec la première surface primaire 210, ni avec la première surface secondaire 310.
Lors de l’actionnement de l’électrode déformable 600 dans une première direction, la partie déformable intermédiaire est déplacée dans une première direction et le premier fluide peut être poussé à partir de la première chambre d’électrode 615 vers la première chambre 110 par l’intermédiaire de la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires 230, ce qui signifie que le volume de la première électrode, à savoir le premier volume d’électrode 611 peut diminuer et, simultanément, le nombre de deuxièmes passages de fluide primaires 240 obstrués de la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires 230 peut augmenter ou la première partie déformable 601 peut être proche de la première surface primaire 210 de manière à empêcher le premier fluide de se déplacer de la première chambre d’électrode 615 à la première chambre 110 ou vice-versa par l’intermédiaire de la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires 230.
Lors de l’actionnement de l’électrode déformable 600 dans une deuxième direction opposée, la partie déformable intermédiaire est déplacée dans une deuxième direction et le deuxième fluide peut être déplacé vers la deuxième chambre 120 par l’intermédiaire de la pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires 330 lorsque le volume de la deuxième chambre d’électrode 625, à savoir le deuxième volume d’électrode 621 peut diminuer et, simultanément, le nombre de deuxièmes passages de fluide secondaires 340 non obstrués ou découverts de la pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires 330 peut augmenter ou la deuxième partie déformable 603 peut être proche de la première surface secondaire 310 de manière à empêcher le deuxième fluide de se déplacer de la deuxième chambre d’électrode 625 à la deuxième chambre 120 ou vice versa par l’intermédiaire de la pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires 330.
La partie déformable intermédiaire 602 peut former partiellement la première chambre d’électrode 615 avec la deuxième partie déformable 603 et peut former également partiellement la deuxième chambre d’électrode 625 avec la première partie déformable 601.
La première position 691 et la deuxième position 692 peuvent être définies relativement à la variation de la première partie déformable 601 comme montré dans la figure 9. En d’autres termes, la première position 691 peut définir une première surface de contact primaire de la première partie déformable 601. La première surface de contact primaire de la première partie déformable 601 peut représenter la surface de contact entre la première partie déformable 601 et la première surface primaire 210 à la première position 691. La deuxième position 692 peut définir une deuxième surface de contact primaire de la première partie déformable 601. La deuxième surface de contact primaire de la première partie déformable 601 peut représenter la surface de contact entra la première partie déformable 601 et la première surface primaire 210 à la deuxième position 692. La deuxième surface de contact primaire est plus grande que la première surface de contact primaire. En termes d’autres, la capacité formée par la première partie déformable 601 et la première surface primaire 210 peut augmenter lorsque l’électrode déformable 600 est actionnée de la première position 691 à la deuxième position 692 et, inversement, la capacité formée par la première partie déformable 601 et la première surface primaire 210 peut diminuer lorsque l’électrode déformable 600 est actionnée de la deuxième position 692 à la première position 691. Pour la deuxième partie déformable 603, la deuxième position 692 peut définir une deuxième surface de contact secondaire de la deuxième partie déformable 603. La deuxième surface de contact secondaire de la deuxième partie déformable 603 peut représenter la surface de contact entre la deuxième partie déformable 603 et la première surface secondaire 310 à la deuxième position 692. La première position 691 peut définir une première surface de contact secondaire de la deuxième partie déformable 603. La première surface de contact secondaire de la deuxième partie déformable 603 peut représenter la surface de contact entre la deuxième partie déformable 603 et la première surface secondaire 310 à la première position 691. La deuxième surface de contact secondaire est plus petite que la première surface de contact secondaire. En termes d’autres, la capacité formée par la deuxième partie déformable 603 et la première surface secondaire 310 peut diminuer lorsque l’électrode déformable 600 est actionnée de la première position 691 à la deuxième position 692 et, inversement, la capacité formée par la première partie déformable 601 et la première surface secondaire 310 peut augmenter lorsque l’électrode déformable 600 est actionnée de la deuxième position 692 à la première position 691.
Comme on peut le comprendre, lorsque l'électrode déformable 600 peut se déplacer de la première position 691 à la deuxième position 692, la surface de contact entre la première partie déformable 601 et la première surface primaire 210 peut augmenter de la première surface de contact primaire à la deuxième surface de contact primaire et simultanément la surface de contact entre la deuxième partie déformable 603 et la première surface secondaire 310 peut diminuer de la première surface de contact secondaire à la deuxième surface de contact secondaire.
Et réciproquement, lorsque l’électrode déformable 600 peut se déplacer de la deuxième position 692 à la première position 691, la surface de contact entre la première partie déformable 601 et la première surface primaire 210 peut diminuer de la deuxième surface de contact primaire à la première surface de contact primaire et simultanément la surface de contact entre la deuxième partie déformable 603 et la première surface secondaire 310 peut augmenter de la deuxième surface de contact secondaire à la première surface de contact secondaire.
Comme il peut être interprété, il peut y avoir un effet antagoniste ou la première chambre d’électrode 615 et la deuxième chambre d’électrode 625 peuvent être antagonistes. L’effet antagoniste peut être observé lorsque l’électrode déformable peut être actionnée d’une position à l’autre. En effet, pendant la déformation de l’électrode déformable, le nombre de deuxièmes passages de fluide primaires 240 non obstrués peut diminuer lorsque la première partie déformable 601 peut obstruer partiellement la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires 230 étant donné que la surface de contact entre la première partie déformable 601 et la première surface primaire 210 peut augmenter de la première surface de contact primaire à la deuxième surface de contact primaire. Le premier fluide peut se déplacer de la première chambre d’électrode 615 à la première chambre 110 par l’intermédiaire de la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires 230, et le volume de la première chambre d’électrode 615, à savoir le premier volume d’électrode 611 peut diminuer.
Dans le même temps, le nombre de deuxièmes passages de fluide secondaires 330 non obstrués peut augmenter lorsque la deuxième partie déformable 603 ne peut pas être partiellement en contact physique avec la pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires 330 étant donné que la surface de contact entre la deuxième partie déformable 603 et la première surface secondaire 310 peut diminuer de la première surface de contact secondaire à une deuxième surface de contact secondaire. Le deuxième fluide peut se déplacer de la deuxième chambre 120 à la deuxième chambre d’électrode 625 par l’intermédiaire de la pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires 330 et le volume de la deuxième chambre d’électrode 500, à savoir le deuxième volume d’électrode 621 peut augmenter.
DESCRIPTION DÉTAILLÉE DES LUNETTES
La figure 10 montre des lunettes 800, comme décrit dans la demande de brevet FR 16/, comprenant le dispositif à actionnement électrostatique 100 selon l’un des modes de réalisation précédents utilisant des fluides poussés par le dispositif. En particulier, deux dispositifs à actionnement électrostatique 100 sont situés respectivement dans les deux branches des lunettes 800. Les lunettes 800 peuvent comprendre une alimentation électrique 810 pour les dispositifs à actionnement électrostatique 100 configurée pour être reliée à l’électrode et à l’électrode déformable afin d’actionner l’électrode déformable 600. Le rapport entre la première partie déformable 601 en contact physique avec la première surface primaire 210 et la deuxième partie déformable 603 en contact physique avec la première surface secondaire 310 peut être commandé par l’intermédiaire d’un régulateur de tension 820. Ce régulateur de tension 820 peut être configuré pour fournir un courant alternatif à l’électrode déformable à partir de l’alimentation électrique 810. La première chambre 110 et la deuxième chambre 120 peuvent être reliées de manière fluidique à deux moitiés d’un verre actif, l’une postérieure et l’autre antérieure, de manière à former une cavité intérieure pour les fluides. Une membrane déformable, appelée membrane déformable optique, peut être serrée entre les deux moitiés, séparant les compartiments de deux fluides. La variation de la différence de pression entre les compartiments de deux fluides déformera la membrane déformable optique, modifiant ainsi la puissance optique comme les deux fluides peuvent avoir des indices de réfraction différents. Tout ce qui se trouve dans les verres des lunettes 800 peut être transparent. De préférence, on choisira les deux moitiés ayant deux indices de réfraction différents, chacune des moitiés ayant un indice adapté à l’indice du fluide correspondant. Cela est avantageux, ce qui rend invisible la cavité du fluide et les tunnels amenant les fluides à la région centrale.
Tableau 1 : Liquides à indice faible
Ce premier fluide peut être choisi parmi un liquide ayant un indice de réfraction élevé comme montré dans le tableau 1.
Tableau 2: Liquides à indice élevé
Le dispositif à actionnement électrostatique 100 est capable d’actionner de manière électrostatique et réversible environ 150 pl du premier fluide par rapport au deuxième fluide. Le dispositif à actionnement électrostatique 100 devrait être capable de maintenir une différence de pression entre les deux canaux de fluide de l’ordre de 200 Pa, de préférence de 400 Pa. L’écoulement de fluide devrait être d’au moins 100 μΙ/s, de préférence 200 μΙ/s. Ces performances sont atteintes avec des fluides ayant des viscosités allant jusqu’à 100 centistokes ou es en abrégé, de préférence allant jusqu’à 10 es.
APPLICABILITÉ INDUSTRIELLE
Il peut être évident d’après la description ci-dessus que l’utilisation principale de ce dispositif sera dans des lunettes électroniques 800. Néanmoins, il pourrait être appliqué à toute lentille oculaire ou tout autre dispositif qui peut être placé devant un œil humain, comme les lentilles oculaires de microscopes, télescopes, phoromètres, caméras rétiniennes et tous les appareils ophtalmiques.
En outre, le dispositif 100 décrit peut être utilisé dans des dispositifs microfluidiques pour des applications biologiques, des tests, des diagnostics, des dispositifs médicaux. De tels dispositifs médicaux comportent des lentilles de contact, des implants intraoculaires, à l’exception de dispositifs médicaux non-optiques comme les petits dispositifs à actionnement électrostatique 100 pour l’administration de médicaments de petits dispositifs à actionnement électrostatique 100 pour l’analyse de fluides biologiques externes ainsi que implantés dans un corps vivant, en fait tous les appareils où une quantité limitée de fluide doit être poussée avec une faible consommation d’énergie.
En outre, le dispositif 100 peut être utilisé dans tout dispositif fluidique utilisé pour déplacer des fluides dans l’un des domaines suivants comme la chimie, la physique, le génie chimique, la biologie, le génie biologique, le génie de l’environnement, l’industrie chimique, l’aéronautique, l’industrie électronique, les dispositifs électroniques, etc... "

Claims (14)

  1. revendications
    1. Dispositif à actionnement électrostatique (100) comprenant au moins : - une première chambre (110): la première chambre (110) comprend un premier passage de fluide primaire (111); le premier passage de fluide primaire (111) débouchant vers l'extérieur ; - une paroi de séparation primaire (200) : la paroi de séparation primaire (200) comprend une première surface primaire (210), une deuxième surface primaire (220) et une pluralité de deuxièmes passages de fluide primaire (230) ; la deuxième surface primaire (220) de la paroi de séparation primaire (200) définit au moins partiellement la première chambre (110) ; - une chambre d’électrode (500) : la chambre d’électrode (500) est définie de manière adjacente à la première surface primaire (210) ; - une électrode déformable (600) : l’électrode déformable (600) comprend une première surface d’électrode déformable, une deuxième surface d’électrode déformable ; l’électrode déformable (600) est disposée dans la chambre d’électrode (500) de manière à former une première chambre d’électrode (615) et une deuxième chambre d’électrode (625) ; - une électrode : l’électrode est configurée pour coopérer avec l’électrode déformable (600) de manière à actionner l’électrode déformable (600) entre au moins une première position (691) et une deuxième position (692) ; la première chambre d’électrode (615) est comprise entre la première surface d’électrode déformable et la première surface primaire (210) et la première chambre d’électrode (615) communique de manière fluidique avec la première chambre (110) par l’intermédiaire de la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires (240) lorsque l’électrode déformable est actionnée entre au moins une première position (691) et la deuxième position (692).
  2. 2. Dispositif à actionnement électrostatique (100) selon la revendication 1 comprenant au moins : - une deuxième chambre (120) : la deuxième chambre (120) comprend un premier passage de fluide secondaire (121) ; le premier passage de fluide secondaire (121 ) débouchant vers l’extérieur ; - une paroi de séparation secondaire (300) : la paroi de séparation secondaire (300) comprend une première surface secondaire (310), une deuxième surface secondaire (320) et un ensemble de deuxièmes passages de fluide secondaire (330) ; la première surface secondaire (310) fait face à la première surface primaire (210), la paroi de séparation secondaire (300) définit au moins partiellement la deuxième chambre (120) ; la deuxième chambre d’électrode (625) est comprise entre la deuxième surface d’électrode déformable et la première surface secondaire (310) et la deuxième chambre d’électrode déformable (625) communique de manière fluidique avec la deuxième chambre (120) par Îintermédiaire de la pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires (330) lorsque l’électrode déformable est actionnée entre au moins une première position (691) et la deuxième position (692).
  3. 3. Dispositif à actionnement électrostatique (100) selon l’une des revendications 1 et 2, dans lequel une dimension de la chambre d’électrode (500) et/ou la distance entre parois (g) qui sépare la paroi de séparation primaire (200) de la paroi de séparation secondaire (300) est inférieure à 600 pm.
  4. 4. Dispositif à actionnement électrostatique (100) selon la revendication 3, dans lequel la distance entre parois (g) qui sépare la paroi de séparation primaire (200) de la paroi de séparation secondaire (300) varie.
  5. 5. Dispositif à actionnement électrostatique (100) selon l’une des revendications 1 à 4, dans lequel l’électrode déformable comprend une couche diélectrique déformable (660) et au moins une partie électro-conductrice.
  6. 6. Dispositif à actionnement électrostatique (100) selon l’une des revendications 1 à 5, dans lequel la paroi de séparation primaire (200) comprend une superficie de paroi de séparation primaire (290) et un plot électro-conducteur primaire (270) ; le plot électro-conducteur primaire (270) comprend un plot électro-conducteur primaire principal (271) ayant une superficie primaire principale (272) et au moins un plot électro-conducteur primaire auxiliaire (273) ayant une superficie primaire auxiliaire (274) ; le plot électro-conducteur primaire principal (271) et Pau moins un plot électroconducteur primaire auxiliaire (273) sont isolés électriquement l’un de l’autre.
  7. 7. Dispositif à actionnement électrostatique (100) selon l’une des revendications 1 à 6, dans lequel la paroi de séparation primaire (200) comprend une première couche isolante (206) configurée pour isoler le plot électro-conducteur primaire (270) de la paroi de séparation primaire (200) de l’au moins une partie électro-conductrice de l’électrode déformable (600).
  8. 8. Dispositif à actionnement électrostatique (100) selon l’une des revendications 1 à 7, dans lequel l’espacement entre plots (s) qui sépare le plot électro-conducteur primaire principal du plot électro-conducteur primaire auxiliaire et/ou un plot électro-conducteur primaire auxiliaire d’un autre est compris entre 10 pm et 1 mm.
  9. 9. Dispositif à actionnement électrostatique (100) - selon l’une des revendications 1 à 8, dans lequel la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires (240) comprennent une première ouverture primaire sur la première surface primaire (210) ayant une première superficie ouverte primaire (239) et une deuxième ouverture primaire sur la deuxième surface primaire (220) ayant une deuxième superficie ouverte primaire (241): la première superficie ouverte primaire (239) est plus petite que la deuxième superficie ouverte primaire (241) ; et/ou, - selon l’une des revendications 2 à 8, dans lequel la pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires (330) comprennent une première ouverture secondaire sur la première surface secondaire (310) ayant une première superficie ouverte secondaire (249) et une deuxième ouverture secondaire sur la deuxième surface secondaire (320) ayant une deuxième superficie ouverte secondaire : la première superficie ouverte secondaire (249) est plus grande que la deuxième superficie ouverte secondaire.
  10. 10. Dispositif à actionnement électrostatique (100) selon la revendication 9, dans lequel la somme de la première superficie ouverte primaire (239) de la pluralité de deuxièmes passages de fluide primaires (230) forme la superficie ouverte primaire et/ou la somme de la première superficie ouverte secondaire de la pluralité de deuxièmes passages de fluide secondaires forme la superficie ouverte secondaire, où le rapport entre : - la première superficie ouverte primaire (239) et la deuxième superficie ouverte primaire (241) est compris entre 0,001 et 0,5 ; - la superficie ouverte primaire et la superficie de paroi de séparation primaire (290) est compris entre 0,001 et 0,5 ; - la première superficie ouverte secondaire et la deuxième superficie ouverte secondaire est compris entre 0,001 et 0,5 ; et/ou - la superficie ouverte secondaire et la superficie de paroi de séparation secondaire est compris entre 0,001 et 0,5.
  11. 11. Dispositif à actionnement électrostatique (100) selon l’une des revendications 1 à 10, dans lequel au moins l'une des parois de séparation parmi la paroi de séparation primaire (200) et la paroi de séparation secondaire (300) est partiellement constituée d’au moins un matériau cristallin.
  12. 12. Dispositif à actionnement électrostatique (100) selon l’une des revendications 1 à 11, dans lequel la première chambre d’électrode (615) comprend un premier volume et/ou la deuxième chambre d’électrode (625) comprend un deuxième volume ; le premier volume et/ou le deuxième volume est/sont commandé(s) par une mesure de capacitance.
  13. 13. Dispositif à actionnement électrostatique (100) selon l’une des revendications 1 à 12, comprenant une alimentation électrique (810) configurée pour actionner l’électrode déformable et un régulateur de tension (820) configuré pour fournir un courant alternatif et/ou une tension alternative à partir de l’alimentation électrique (810) à l’électrode déformable (600).
  14. 14. Lunettes (800) comprenant un dispositif à actionnement électrostatique (100) selon l’une des revendications 1 à 13.
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