FR2995394B1 - Dispositif de support d'une pluralite de substrats pour un four vertical - Google Patents

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Abstract

Ce dispositif de support présente un axe central, et comprend : - trois montants (130), (131) et (132) s'étendant sensiblement parallèlement à l'axe central, - une pluralité de séries d'organes de support espacées suivant l'axe central, chaque série d'organes de support comprenant trois organes de support (140), (141) et (142) destinés à supporter un substrat (W) parmi la pluralité de substrats, et s'étendant selon des directions essentiellement longitudinales distinctes et transversales à l'axe central, chaque organe de support (140), (141) et (142) étant monté directement sur un montant distinct, ce dispositif de support étant remarquable en ce que les directions des trois organes de support (140), (141) et (142) de chaque série d'organes de support (135) sont concourantes en un point de l'axe central.
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