FR2794443A1

FR2794443A1 - Procede de transfert d'elements et dispositif permettant ledit transfert

Info

Publication number: FR2794443A1
Application number: FR9906951A
Authority: FR
Inventors: Michel Bruel
Original assignee: Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Current assignee: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date: 1999-06-02
Filing date: 1999-06-02
Publication date: 2000-12-08
Anticipated expiration: 2019-06-02
Also published as: FR2794443B1; JP2003501827A; WO2000075968A1; EP1183714A1

Abstract

Une poignée (20) comporte des surfaces réceptrices (7) et des moyens (4) extensibles ou élastiques en sorte que les surfaces réceptrices (7) peuvent être éloignées ou rapprochées de façon uniforme les unes des autres. La poignée (20) est utilisée pour effectuer des transferts d'éléments tels que des plots (1) ou des puces (1, 10, 9, 42) d'un substrat émetteur (2) vers un substrat récepteur (3) avec modification de pas.

Description

PROCEDE DE TRANSFERT D'ELEMENTS ET DISPOSITIF PERMETTANT LEDIT TRANSFERT DESCRIPTION Domaine de l'invention

L'invention se situe dans le domaine du transfert d'éléments d'un substrat émetteur vers un substrat récepteur. Elle est relativeà une poignée de transfert,à un procédé de transfert utilisant la poignée selon l'invention età un procédé de fabrication de puces multifonction utilisant des poignées selon l'invention.

Art antérieur

Il est connu de transférer des puces d'un premier substrat sur un second substrat au moyen de ce qu'il est convenu d'appeler une poignée et qui est en fait un substrat intermédiaire réutilisable ou non. Il est connu également de transférer des puces d'un premier substrat, directement sur des puces d'un second substrat afin de réaliser une hybridation puceà puce entre les puces du premier substrat et les puces du second substrat. Les transferts collectifs se font toujours entre puces aux mêmes pas dans la direction en X et dans la direction en Y respectivement.

Brève description de l'invention

L'invention a pour objet un dispositif et un procédé permettant le transfert collectif d'éléments d'un substrat émetteur sur lequel ils sont espacés avec un premier pas selon une première direction et un second pas selon une seconde direction, vers un substrat récepteur, les éléments étant répartis sur le substrat récepteur avec un second pas dans la première direction et un second pas dans la seconde direction.

On entend par élément aussi bien une plaquette (wafer), une puce ou encore une sous-pucef en fonction des applications visées.

Le terme plaquette englobe toute structure monocouche ou multicouches apteà comporter des entités fonctionnelles.

Une plaquette peut-être subdivisée en puces identiques ou différentes, chaque puce comportant une ou plusieurs entités fonctionnelles qui peuvent être regroupées en sous-puces identiques ou différentes les sous-puces pouvant être séparées.

Dans les applications biochimiques et chimiques, les sous-puces sont généralement appelées plots.

L'invention permet, en particulier, la réalisation de puces comportant des plots de fonctions différentesà partir de puces ne comportant que des plots monofonction. Ainsi, l'invention permet le transfert aussi bien de plaquettes d'un support émetteur vers un support récepteur, le transfert de puces d'une plaquette sur une ou plusieurs plaquettes pouvant elles-mêmes comporter des puces, ou encore le transfert de sous-puces, d'une puce sur uneou plusieurs puces.

L'invention stapplique notammentà l'hybridation collective par exemple puce sur puce. Selon l'invention, les éléments d'un substrat dit substrat émetteur, sur lequel les puces ou plots sont organisées suivant un réseau de pasdl dans une première direction axiale X, etd2 dans une seconde direction axiale Y sont transférés collectivement du substrat émetteur vers un substrat intermédiaire ou poignée comportant des moyens de rapprochement et/ou d'éloignement. Lorsque ce premier transfert est réalisé, on actionne les moyens de rapprochement et/ou d'éloignement dans la direction X et/ou dans la direction Y, jusqu'à obtenir les nouveaux pasDl dans la direction X etD2 dans la direction Y.

Lorsque ce rapprochement et/ou éloignement est réalisé, on effectue le transfert terminal vers le substrat récepteur selon les méthodes connues.

Selon les moyens de rapprochement et/ou d'éloignement employés, il peut arriver que la mise aux pas nouveaux soit effectuée en plusieurs fois et par exemple deux fois; dans ce cas on effectue la mise au pasDl par exemple par un premier transfert du substrat émetteur vers un premier substrat intermédiaire comportant des moyens de rapprochement et/ou d'éloignement, puis lorsque le rapprochementou l'éloignement a été effectué pour mise au pasDl, on effectue pour mise au second pasD2, un nouveau transfert vers un second substrat intermédiaire comportant des moyens de rapprochement et/ou d'éloignement. Ainsi, l'invention est-elle relativeà une poignée pour le transfert d'éléments arrangés en ligne selon un espacementdl, ou en réseau matriciel selon l'espacement di. dans une première direction X et un espacementd2 dans une seconde direction Y, la poignée étant dotée d'au moins autant de surfaces réceptrices que d'élémentsà transférer agencées selon un pas di dans la première direction et éventuellement un pasd2 dans la seconde direction, poignée caractérisée en ce qu'elle comporte: - des moyens de rapprochement et/ou d'éloignement des surfaces réceptrices l'une de l'autre, et apteà mouvoir les surfaces réceptrices pour leur donner un pas variable au moins dans la première direction.

Il està noter que les directions X et Y sont en général perpendiculaires l'uneà l'autre. Cette disposition n'est cependant pas obligatoire.

Dans un premier mode de réalisation, la poignée comporte une membrane extensible et le simple fait de tendre la membrane provoque un écartement uniforme des éléments les uns par rapport aux autres dans la ou les directions de traction de la membrane. Dans un mode de réalisation parent de ce premier mode, la poignée comporte une membrane élastique en sorte qu'une traction sur la membrane permet un écartement des éléments déposés. Il est également possible en utilisant cette membrane de rapprocher les éléments de façon uniforme. Pour cela, il suffit de prétendre la membrane avant de déposer les éléments puis de relâcher la tension pour obtenir le rapprochement.

Dans un second mode de réalisation, les surfaces réceptrices des éléments comportent des supports ayant chacun une surface supérieure. Les moyens d'éloignement et/ou de rapprochement comportent des moyens élastiques reliant au moins, dans la première direction, deux supports consécutifs et des moyens d'application de traction sur des supports extérieurs, au moins dans la première direction.

Les moyens de traction peuvent comporter des tiges de traction solidaires de chaque premier et dernier supports d'une ligne de supports, mobiles en translation parallèlement aux colonnes.

Ils peuvent comporter en outre des tiges de traction solidaires de chaque premier et dernier supports d'une colonne de supports, mobiles en translation parallèlement aux lignes. Dans une variante de ce mode de réalisation les surfaces réceptrices sont aptesà recevoir un liquide. Elles sont par exemple creusées ou poreuses.

De telles poignées peuvent être utilisées en particulier, pour réaliser des puces multifonctionsà partir de puces monofonction. On suppose, par exemple, que les plots d'une puce multifonctions sont répartis suivant le même pas di dans une direction selon un axe X et selon un même pasd2 selon un axe Y.

Si l'on veut faireN puces multifonctions de n<B≥ n, n2 plots ayant chacune n, colonnes, donc une dimension nj.dj dans la direction X, et n2 lignes donc une dimension n2.d2 dans la direction Y, on procède de la façon suivante. On réalise des puces monofonction ayant un nombre de plots au moins aussi grand que le nombreN de puces multifonctions que l'on veut réaliser. Par exemple, si l'on veutN puces multifonctions ayant chacune n plots, chaque plot ayant une fonction spécifique, on va réaliser n puces monofonction ayant chacuneN plots semblables. Les puces monofonction auront par exemple n3 colonnes et n4 lignes avec n3. n4 <B≥N.

On fera ainsiN puces multifonctions par exemple agencées matriciellement selon n3 colonnes et n4 lignes, chaque puce ayant n, colonnes et n2 lignes.

Pour obtenir ces puces multifonctions, on procède de la façon suivante:

- on va tout d'abord transférer lesN plots de la première puce monofonction sur une poignée munie de surfaces réceptrices et de moyens de rapprochement et/ou d'éloignement;

- on va rapprocher ou éloigner les surfaces réceptrices dans la direction X, de telle sorte que deux colonnes consécutives soient séparées l'une de l'autre d'une distance n,dl augmentée éventuellement de la largeur d'un chemin de découpeC ; - on va ensuite rapprocher ou éloigner les surfaces réceptrices dans la direction Y pour séparer deux lignes consécutives d'une distance n2d2 augmentée éventuellement de la largeur d'un chemin de découpeC ;

- on va transférer lesN plots sur le substrat final. Les deux étapes de rapprochementou d'éloignement dans les directions X et Y respectivement peuvent être réalisées successivement ou simultanément.

On obtient ainsi par exemple les plots du coin supérieur gauche de chaque puce multifonctions. On a n3 colonnes séparées l'une de l'autre de nl.dj + C (C étant la largeur du chemin de découpe) et n4 lignes séparées l'une de l'autre de n2.d2 + C- Il suffit de recommencer les mêmes opérations pour lesN-1 puces monofonction restantes, l'insertion des plots de rang i (i < nl) dans la direction X et de rangj (j :9 n2) dans la direction Y se faisant par décalage du substrat de réception de (i-l)dl dans la direction x et (j-l)d2 dans la directiony.

Naturellement si les plots n'ont pas tous la même dimensiondl dans la direction x mais des dimensionsdl,, d12 .... dln, et dans la directiony des dimensions d2l .... d2.2, alors il conviendra de remplacer nl.dj par

(i-1)dl par

et de remplacer n2.d2 par

et (j-l)d2 par

Si l'on utilise la variante de réalisation disposant de surfaces réceptrices capable de recevoir un liquide, et si c'est la même poignée qui est utilisée pour les différents transferts, on pourra prévoir après chaque transfert une étape de nettoyage puis un dépôt collectif sur l'ensemble des surfaces réceptrices d'un milieu liquide spécifique des prochains plotsà transférer.

Brève description des dessins

L'invention sera maintenant décriteà l'aide des dessins annexés, dans lesquels:

- la figure1 illustre le but de l'invention;

- les figures 2,3, 4,5 et6, illustrent une poignée selon l'invention et des étapes de son utilisation pour la réalisation d'un transfert d'éléments disposés sur un premier substrat selon un premier pas vers un second substrat selon un second pas;

- la figure7 représente un détail de réalisation de la poignée telle que représentée figure 3 ;

- les figures8 et9 illustrent un second mode de réalisation d'une poignée selon l'invention;

- la figure10 illustre un premier usage de la poignée et du procédé selon l'invention; et

- la figure11 illustre un second usage de la poignée et du procédé selon l'invention. Elle comporte les partiesA et B.

La figure1 illustre le but de l'invention. Il s'agit d'ordonner des éléments tels que des puces, sous-puces ou des plots1 d'une plaquette qui sont ordonnés suivant un premier réseau dans lequel un premier pas entre deux puces consécutives, (ou s'il S'agit de plots d'une puce, deux plots consécutifs) est dl dans une première direction etd2 dans une seconde direction, comme représenté en partieA de la figure, selon un second pasDl dans la première direction etD2 dans la seconde direction comme représenté en partie B. Sur la figure1, les élémentsà transférer sont matérialisés par des carrés qui portent la référence1. Sur la figure1 les premiers pasdl etd2 sont plus petits que les seconds pasDl etD2 mais les premiers pas pourraient être plus grands que les second ou l'un plus grand et l'autre plus petit. En se référant maintenantà la figure 2 on a représenté en coupe selon un plan perpendiculaireà un substrat 2 et parallèleà un rang, des puces10 espacées l'une de l'autre dun pasd. Le substrat 2 est un substrat émetteurà partir duquel les puces10 vont être transférées, au moyen d'une poignée 20, vers un substrat récepteur3 représenté sur les figures5 et6. Selon le procédé de l'invention les puces vont tout d'abord être transférées vers une poignée 20 représentée en coupe figure3. La poignée 20 comporte sur un plateau support 6 une membrane extensible ou élastique 4 dont les extrémités sont équipées de moyens de traction5. Le plateau support6 peut être de forme circulaire ou rectangulaire. Les bords du plateau présentent une forme sans arêtes vives, par exemple arrondies, de façonà ne pas blesser la membrane 4. Les moyens de traction5 peuvent avoir une forme annulaire permettant une traction simultanée dans toutes les directions ou être constitués en quatre parties, deux parties disposées symétriquement pour assurer la traction dans la direction X et deux parties disposées symétriquement pour assurer la traction dans la direction Y. Sur la f igure 3 on a représenté le substrat émetteur 2 et les puces10 du substrat émetteur 2, en position prêtes au transfert, du substrat 2 vers la membrane extensible ou élastique 4 de la poignée 20. De façon connue les puces 10 sont transférées du substrat émetteur 2 vers la membrane réceptrice 4, oÙ elles sont accueillies sur des surfaces réceptrices7 de la membrane 4, ménageant entre elles des surfaces intermédiaires8. Comme représenté figure 4, la membrane 4 est alors tractée, en sorte qu'elle est agrandie dans la direction ou les directions de traction. Du fait de l'homogénéité de la membrane 4, elle s'agrandit de façon uniforme en sorte que les puces10 se trouvent réparties de façon uniforme selon un nouveau pasD. Si la membrane 4 est simplement extensible sans être élastique la dimension D est nécessairement plus grande que la dimensiond, par contre si la membrane 4 est élastique, il suffit de la prétendre puis de la laisser se contracter après le transfert des puces10 sur la poignée 20 pour obtenir un pasD plus petit que le pas initiald. Evidemment si la membrane 4 est élastique on peut aussi obtenir un pas plus grand que le pas initial en tendant la membrane 4 comme dans le cas de la membrane simplement extensible. Lorsque les puces10 ont été mises au pas souhaité elles sont transférées de la poignée 20 vers le substrat récepteur3, comme représenté figure5. Lorsque le transfert est terminé les puces10 se retrouvent sur le substrat récepteur3 au pasD souhaité comme représenté figure6. La figure7 représente une vue agrandie du moyen de traction5 représenté schématiquement sur les figures3 à 5. Ce moyen est constitué par exemple par des mâchoires11, 12 entre lesquelles vient s'insérer la membrane 4. Un moyen13 de serrage des mâchoires11, 12, par exemple un collierà vis permet de rapprocher et de serrer les mâchoires11, 12 sur la membrane 4 sur toute la largeur de la membrane. Le serrage sur toute la largeur dans une direction perpendiculaireà la direction de traction permet d'avoir une extension uniforme dans la direction de traction. Pour une extension bidirectionnelle une autre mâchoire est prévue perpendiculairementà la seconde direction de traction. Les moyens de traction5 peuvent aussi avoir une forme annulaire permettant une extension dans différentes directions en exerçant une traction unique.

La figure8 illustre schématiquement un deuxième mode de réalisation d'une poignée30 selon l'invention. Selon ce mode les surfaces réceptrices7 sont individualisées et de taille prédéterminée. Les surfaces réceptrices7 sont constituées par les surfaces supérieures de supports15. Dans un mode de réalisation particulier, la surface supérieure7 du support est apteà contenir un liquide, elle est par exemple concave ou comporte un milieu poreux. Les supports15 sont constitués en réseau matriciel en lignes selon la première direction et en colonnes selon la seconde direction. Chaque ligne de supports comprend un premier support, un dernier support et des supports intermédiaires. Dans la première direction un support est séparé du support immédiatement suivant par un espace intermédiaire19. Tous les supports intermédiaires ont dans la première direction une face qui est en regard de la face d'un autre support. Les premiers et derniers supports de chaque ligne ont une face perpendiculaireà la première direction qui n'est pas en regard d'une autre face d'un support. De même chaque colonne de support comprend un premier support, un dernier support et des supports intermédiaires. Dans la seconde direction un support est séparé du support immédiatement suivant par un espace intermédiaire 21. Tous les supports intermédiaires ont, dans la seconde direction, une face qui est en regard de la face d'un autre support. Les premiers et derniers supports de chaque colonne ont une face perpendiculaireà la seconde direction qui n'est pas en regard d'une autre face d'un support. Les supports15 extérieurs de la poignée30 sont montés reliés par des tiges de traction 25, 24, axées selon la première direction,à des premiers moyens d'applications de traction27, 23 et 26, 22 respectivement et par des tiges de traction 35, 34, axées selon la seconde directionà des deuxièmes moyens d'applications de traction32, 36 et 33, 37 respectivement. Dans chacun des espaces libres 19, 21 entre deux faces en regard de supports consécutifs des ressorts18, 17 sont reliés aux supports15 de façonà exercer une force sur le support 15 dans la première, (ressorts18), et dans la seconde directions, (ressorts17), respectivement. Les premiers moyens d'applications de traction comportent des barres de traction 22,23 perpendiculairesà la première direction placées de part et d'autre de l'ensemble des surfaces réceptrices. Les tiges de traction25, 24, lient les supports extérieurs de chaque ligneà des anneaux27, 26 respectivement montés coulissants sur les barres de traction23, 22 respectivement.

De même, les deuxièmes moyens d'applications de traction comportent des barres de traction32, 33 perpendiculairesà la seconde direction placées de part et d'autre de l'ensemble des surfaces réceptrices. Les tiges35, 34 lient les supports extérieurs de chaque colonnesà des anneaux37, 36 respectivement montés coulissants sur les barres de traction33, 32 respectivement. Le fonctionnement de cette poignée30 est illustré sur la figure9. Cette figure représente la même poignée30 que celle de la figure8, dans laquelle les supports15 ont été éloignés les uns des autres. Pour simplifier la représentation, les supports ont été représentés plus petits que sur la figure8 età une échelle différente que les autres éléments. Lorsqu'une traction F est exercée sur les barres de traction 22, 23 parallèlementà la première direction, les tiges de colonne 34,35 solidaires des anneaux36, 37 respectivement coulissent sur les tiges32, 33 et s'éloignent uniformément l'une de l'autre sous l'action des ressorts18 insérés dans les espaces19 inter supports15. De même si une force de traction FI est appliquée aux barres de traction32, 33 les tiges de ligne 24,25 insérée dans les trous traversants28 des supports15 coulissent sur les tiges 22,23 pour s'éloigner uniformément l'une de l'autre, sous l'action des ressorts17 insérés dans les espaces 21 inter supports15. Des moyens de blocage non représentés insérés dans les anneaux27, 37 situés en coin, par exemple des vis de blocage permettent de figer les supports15 dans une configuration déterminée. Naturellement si l'on veut obtenir un rapprochement de puces ou plot entre le substrat émetteur et le substrat récepteur, il suffira d'éloigner au préalable les supports15 l'un de l'autre, de débloquer les moyens de blocage, des anneaux de coin, et enfin de manoeuvrer les tiges 22,23, 32, 33 jusqu'au point souhaité.

La figure10 illustre un premier emploi possible d'une poignée 20,30 selon l'invention pour hybrider des puces9 d'une matrice donneuse 14 agencées selon un pasdl, d2 dans la première et dans la seconde direction respectivement sur des puces38 d'une matrice réceptrice39, agencées selon un pasDl, D2 dans la première et dans la seconde direction respectivement. Les puces9 sont transférées sur une poignée 20 ou30 selon l'invention. La poignée n'est pas représentée figure10. Les surfaces réceptrices sont mises au pas Dl, D2 dans la première et dans la seconde direction respectivement. Le transfert sur la matrice réceptrice 39 est alors effectué pour obtenir la matrice hybridée 40. On a pu ainsi hybrider des puces AsGa de1 mm*l mm assurant des fonctions radiofréquence (amplification, changement de fréquence) sur des puces de silicium de8 mm*10 mm assurant toutes les fonctions de traitement logique et analogique du signal radio basse et moyenne fréquence. Un autre emploi du procédé et de poignées 20, 30 selon l'invention est illustré figure11. Il s'agit là de réaliser des bio-puces 41. Chaque bio-puces 41 est composée de plots 42 fonctionnalisés. Par exemple chaque plot peut porter une ou une pluralité de molécules identiques (chimique ou bio chimique), dites sondes aptesà des réactions sélectives d'hybridation avec des molécules cibles mises en contact avec les sondes. Ces sondes peuvent être par exemple des brins d'ADN. Sur la figure11, dans un but de simplification de la figure on a représenté en partieA une puce monofonction 43 comportant 12 plots 42 répartis matriciellement selon3 colonnes et 4 lignes. Dans un but de simplification également les plots 42 sont supposés être des carrés de dimensiond. Il va être expliqué ci-après comment avec douze de ces puces monofonction 43, portant chacune des plots 42 de fonctionnalités différentes, on peut réaliser douze puces multifonctions 41 réparties matriciellement selon 3 colonnes et 4 lignes, chaque puce comportant6 colonnes et 2 lignes.

Les plots 42 de la première des puces monofonction 43 sont tout d'abord transférés sur une poignée 20 ou30 selon l'invention. Les plots 42 sont écartés l'un de l'autre dans la première direction d'une distance égaleà six fois la distanced augmentée éventuellement de la largeur d'un chemin de découpe 44 prévu sur le substrat récepteur terminal. Les plots 42 sont également écartés l'un de l'autre dans la seconde direction d'une distance égaleà deux fois la distance d augmentée éventuellement de la largeur du chemin de découpe 44 prévu sur le substrat récepteur terminal. Les plots 42 ainsi disposés sont ensuite transférés sur un substrat récepteur terminal 45 où ils se trouvent dans la configuration des plots 42 représentés figure 11B. Il suffit de recommencer le transfert et les écartements décrits ci-dessus pour cinq autres matrices monofonction 43 et d'effectuer le transfert sur le substrat récepteur 45 en décalant avant chaque transfert le substrat 45 de la distanced dans la première direction pour obtenir la première ligne de chacune des douze puces multifonctions 41. On recommence ensuite six fois les mêmes opérations avec les six puces 43 monofonction restantes en ayant décalé au préalable le substrat 45 de la distanced dans la seconde direction pour obtenir les douze puces multifonctions terminées comme représenté par la puce 41 disposé dans le coin supérieur gauche du substrat 45. Naturellement il n'est pas obligatoire que les puces 41 comportent un nombre de plots qui soit un multiple entier du nombre de colonnes ou de lignes de la matrice 41 multifonctions. Dans ce cas une ou plusieurs dernières lignes seront incomplètes.

Les puces 41 peuvent être ensuite découpées si nécessaire suivant le chemin de découpe 44.

Commedéjà signalé plus haut on peut si nécessaire, et si l'on utilise la poignée30 dans sa variante où les surfaces supérieures7 des supports15 sont aptesà contenir un liquide, intercaler une étape de nettoyage après l'étape de transfert vers le substrat récepteur. Cette étape de nettoyage peut être suivie d'une étape de dépôt collectif sur l'ensemble des surfaces réceptrices7, d'un liquide spécifique correspondantà la fonction des plots qui seront déposés immédiatement après.

Avec le procédé décrit ci-dessus on a réalisé par exemple900 bio puces chacune de taille3 mm* 3mm chaque bio puce comportant225 plots répartis en15 lignes et15 colonnes,à partir de225 matrices monofonction comportant chacune900 plots identiques de 200*200 pm réparti.s en30 lignes et30 colonnes.

L'écartementà réaliser au niveau de la poignée de transfert est de3,1 mm dans chacune des directions, soit 15*200 pm + 100 pm pour le chemin de découpe.

Claims

REVENDICATIONS 1. Poignée(20,30) pour le transfert d'éléments(1) arrangés en ligne selon un pasdl, ou en réseau matriciel en lignes et colonnes selon un pasdl dans une première direction X et un pasd2 dans une seconde direction Y, la poignée étant dotée d'au moins autant de surfaces réceptrices(7) que d'éléments(1) à transférer, agencées selon un pasdl dans la première direction et éventuellement un pasd2 dahs la seconde direction, poignée caractérisée en ce qu'elle comporte: - des moyens(5,4,7,8,17,18,22-27,32-37) de rapprochement et/ou d'éloignement des surfaces réceptrices(7) l'une de l'autre, et apteà mouvoir les surfaces réceptrices(7) pour leur donner un pas variable au moins dans la première direction. 2. Poignée (20) selon la revendication1, caractérisée en ce que les moyens d'éloignement et/ou de rapprochement (4,5) des surfaces réceptrices(7) comportent une membrane (4) extensible au moins dans la première direction. 3. Poignée (20) selon la revendication1, caractérisée en ce que les moyens (4,5) de rapprochement et/ou d'éloignement des surfaces réceptrices comportent une membrane élastique (4) au moins dans la première direction, et le moyen de rapprochement (4,5) des surfaces réceptrices(7) étant obtenu par relâchement de la membrane élastique (4) qui a été préalablement tendue. 4. Poignée(30) selon la revendication1, caractérisée en ce que les surfaces réceptrices(7) comportent des supports(15) ayant chacun une surface supérieure(7), les moyens d'éloignement et/ou de rapprochement comportent des moyens élastiques(18,17) reliant au moins, dans la première direction, deux supports(15) consécutifs et des moyens d'application de traction(22-27 ; 32-37) sur des supports(15) extérieurs, au moins dans la première direction. 5. Poignée(30) selon la revendication 4, caractérisée en ce que les moyens de traction(22-27 ; 32-37) comportent des tiges (24,25) de traction solidaires de chaque premier et dernier supports(15) d'une ligne de supports(15), mobiles en translation parallèlement aux colonnes. 6. poignée(30) selon la revendication 4, caractérisée en ce que les moyens de traction(22-27 ; 32-37) comportent en outre des tiges (34,35) de traction solidaires de chaque premier et dernier supports(15) d'une colonne de supports(15), mobiles en translation parallèlement aux lignes. 7. Poignée(30) selon l'une des revendications 5 ou6, caractérisée en ce que les tiges de traction (24,25; 34,35) sont solidaires d'anneaux(26,27 ; 36,37) coulissant dans des barres de traction(32,33 ; 22,23) parallèlesà la direction de traction des tiges de traction (24,25 34,35). 8. Poignée(30) selon l'une des revendication 4 à 7, caractérisée en ce que les surfaces réceptrices (7) des supports(15) sont aptesà recevoir un liquide. 9. Procédé de transfert d'éléments(1) arrangés en ligne selon un pasdl dans une première direction ou en réseau matriciel selon un pasdl dans la première direction et selon un pasd2 dans une seconde direction, le procédé consistantà transférer tout d'abord les éléments du premier substrat (2) vers une poignée(20,30) comportant au moins autant de surfaces réceptrices(7) que d'éléments(1) à transférer, puis de la poignée vers un second substrat(3), procédé caractérisé en ce que: - on utilise une poignée dont les surfaces réceptrices (7) sont mobiles les unes par rapport aux autres grâceà des moyens de rapprochement et/ou d'éloignement dans la première et éventuellement dans la seconde direction; - on transfère les éléments(1) du premier substrat (2) vers les surfaces réceptrice de la poignée; - on éloigne ou on rapproche l'une de l'autre selon la première et éventuellement selon la seconde direction les surfaces réceptrices(7) ; - on transfère les éléments(1) de la poignée vers le second substrat(3). 10. Procédé de fabrication deN puces (41) ayant chacune n plots (42) (Pl, P2,.... P.) de fonctions (Fl, F2,.... F#,) , chacune desN puces (41) ayant n, colonnes et n2 lignes (ni.n2=n) à partir de n puces monofonction ayant chacuneN plots identiques répartis selon n3 colonnes et n4 lignes (n3.n4=N), les plots étant répartis avec un pasdl selon une première direction et un pasd2 selon une deuxième direction, la première puce ayantN plots P, de fonction Fl, et la dernière puce ayantN plots P, de fonction F,,, procédé caractérisé en ce que: a) on transfère les plots de la première puce monofonction vers une poignée comportant au moinsN surfaces réceptrices(1) arrangées de façon matricielle selon n3 colonnes et n4 lignes, les surfaces réceptrices(7,15) étant mobiles les unes par rapport aux autres grâceà des moyens de rapprochement et/ou d'éloignement; b) on actionne les moyens de rapprochement et/ou d'éloignement dans la direction des lignes de façonà espacer les colonnes entres elles d'une distance au moins égaleà n, fois le pas di, augmentée éventuellement de la largeur d'un chemin (44) de découpe; c) on actionne les moyens de rapprochement et/ou d'éloignement dans la direction des colonnes de façonà espacer les lignes entres elles d'une distance au moins égaleà n2 fois le pasd2, augmentée éventuellement de la largeur d'un chemin (44) de découpe; d) on transfère ensuite les plots de la première puce de la poignée vers le substrat de réception desN puces; e) on recommence (ni-1) fois les opérations a)à d) ci- dessus, avec (nl-1) autres puces monofonction, en déplaçantà chaque fois le substrat de réception dans la direction des lignes d'une distancedl de façonà réaliser les premières lignes des (n3 x n4<B≥ N) puces (41) multifonctions; f) on recommence (n2-1) fois les opérations a)à e) ci- dessus, avec nl(n2-l) autres puces monofonction, pour les (n2-1) autres lignes en déplaçantà chaque fois le substrat de réception (45) dans la direction des colonnes d'une distanced2 de façonà réaliser les (n2- 1 ) autres lignes des (n3 x n4<B≥N) puces (41) multifonctions; g) éventuellement, on découpe le substrat de réception selon les chemins (44) de découpe prévus. 11. Procédé de fabrication selon la revendication10 caractérisé en ce que l'on utilise une poignée(30) de trans-fert selon la revendication8, et en ce que préalablement au transfert des plots de l'une au moins des puces monofonction on effectue un dépôt collectif sur l'ensemble des surfaces réceptrices7, d'un liquide spécifique correspondantà la fonction des plots qui seront déposés immédiatement après.